WO2013127701A2 - Vorrichtung zur spannungsversorgung der kathode eines massenspektrometers - Google Patents

Vorrichtung zur spannungsversorgung der kathode eines massenspektrometers Download PDF

Info

Publication number
WO2013127701A2
WO2013127701A2 PCT/EP2013/053550 EP2013053550W WO2013127701A2 WO 2013127701 A2 WO2013127701 A2 WO 2013127701A2 EP 2013053550 W EP2013053550 W EP 2013053550W WO 2013127701 A2 WO2013127701 A2 WO 2013127701A2
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
output
voltage
transformer
cathode
transistor
Prior art date
Application number
PCT/EP2013/053550
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
WO2013127701A3 (de
Inventor
Norbert Rolff
Original Assignee
Inficon Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inficon Gmbh filed Critical Inficon Gmbh
Priority to CN201380007996.2A priority Critical patent/CN104094378B/zh
Priority to US14/381,171 priority patent/US9530634B2/en
Priority to RU2014138553A priority patent/RU2638303C2/ru
Priority to EP13707587.5A priority patent/EP2820668B1/de
Priority to JP2014559156A priority patent/JP6291424B2/ja
Publication of WO2013127701A2 publication Critical patent/WO2013127701A2/de
Publication of WO2013127701A3 publication Critical patent/WO2013127701A3/de
Priority to IN7154DEN2014 priority patent/IN2014DN07154A/en

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02—Details
    • H01J49/022—Circuit arrangements, e.g. for generating deviation currents or voltages ; Components associated with high voltage supply
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02—Details
    • H01J49/10—Ion sources; Ion guns
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02—Details

Definitions

  • the invention relates to a device for powering an ion source of a mass spectrometer and in particular for supplying power to the mass spectrometer cathode.
  • Mass spectrometers are used for the analysis of gases and are used, among other things, in leak detectors.
  • An electric field accelerates the electrons leaving the hot cathode.
  • an electron current is generated which ionizes the substance to be investigated in the gas phase by the electrons and fed to an analyzer.
  • This electric field is generated between a cathode and an anode.
  • a predetermined emission current must be generated reliably and with the lowest possible interference component by varying the heating voltage of the cathode as an actuator.
  • the invention has for its object to provide a device for powering the cathode of a mass spectrometer with little components and low power loss.
  • the device according to the invention is defined by the features of claim 1.
  • a primary-side input voltage is applied to a transformer in a switched-mode power supply.
  • the transformer is equipped with two output connections and one output side center connection. At the two output terminals of the transformer are opposite, d. H. mutually 180 ° out of phase output voltages.
  • a positive output voltage is applied to the first terminal, the same reversed-signed output voltage is applied to the second output terminal.
  • the two output terminals of the transformer are each directly connected to a diode.
  • transistors are used parallel to the diodes corresponding to a controlled rectifier, wherein in the case of two n-channel transistors, the cathode of a diode is connected directly to the first transformer output and the cathode of the second diode directly to the second transformer output ,
  • p-channel transistors are correspondingly the anode of a diode connected to the first transformer output and the anode of the other diode to the second output of the transformer.
  • the gate of one transistor is directly connected to the first output terminal and the gate of the second transistor is directly connected to the other output terminal of the transformer.
  • the diodes serve to rectify the transformer output voltages, with the transistors connected in parallel with the diodes improving the efficiency of the circuit.
  • the drain terminal of one transistor is preferably connected directly to the first transformer output and the drain terminal of the other transistor is connected directly to the second transformer output.
  • the source terminals of the two transistors may be connected to each other and directly to the transformer opposite and not directly connected to the transformer terminals. The source connections are then applied to the two cathodes of the diodes in the case of p-channel transistors and to the two anodes of the diodes in the case of n-channel transistors.
  • the transistors are preferably field-effect transistors of the p-channel or n-channel type.
  • a smoothing capacitor and a choke coil form a low pass between the center of the transformer and the sources of the transistors.
  • the circuit can also be designed as a single-ended flux converter, wherein only one transistor and one diode is required in each case.
  • the voltage supply device serves to drive two cathodes, in which two transistors alternately control exactly one of the two cathode output connections.
  • a conventionally used relay for alternating control of the cathode connections is then eliminated.
  • the control by the transistors is also more reliable and faster than by conventional switching relays.
  • At least one of the output voltages applied to the two transformer outputs becomes a further DC voltage with the aid of generated at least one voltage multiplier.
  • each of the two transformer outputs can be assigned exactly one voltage multiplier, which can be connected to the respective output via a separation capacitor.
  • the DC voltage can a) serve as a supply for generating the electron energy (anode voltage) for the mass spectrometer, b) for generating a supply voltage for the two cathode terminals driving transistors and / or c) for supplying a measuring circuit for measuring and / or regulating the emission current.
  • the emission current is the current flowing within the ion source from the anode to the respective switched-on cathode, the electron energy being given by the voltage difference between the anode and the cathode.
  • the emission current is transmitted by means of the pulse width modulation.
  • Fig. 1 is a schematic diagram of the power supply device as
  • FIG. 2 shows a detail from FIG. 1.
  • a transformer 1 is provided on the primary side and secondary side, each with three terminals. At one of the primary terminals, the input voltage Ui is applied to the transformer. At the first output terminal 32 and the second output terminal 30 are mutually phase-shifted, ie opposite, transformer output voltages. The third Secondary terminal is formed as an output side center terminal 31.
  • the first output terminal 32 is referred to as a negative output and the second output terminal 30 as a positive output, ie only one phase of the resulting output voltages is considered.
  • the negative output 32 is connected to the cathode of a diode 7.
  • the positive output 30 is connected to the cathode of a diode 9.
  • the anodes of the two diodes 7, 9 are connected together.
  • a transistor 8, 10 is connected in parallel in the form of an n-channel field effect transistor.
  • the source terminals of the two transistors 8, 10 are respectively connected to the anodes of the two diodes.
  • the drain terminal of the first transistor 8 is connected to the negative output 32 and the drain terminal of the second transistor 10 is connected to the positive output 30.
  • the gate terminal of the first transistor 8 is connected to the drain terminal of the second transistor 10 and to the positive output 30.
  • the gate terminal of the second transistor 10 is connected to the drain terminal of the first transistor 8 and to the negative output 32. At this time, therefore, the transistor 8 is conductive while the transistor 10 is turned off.
  • the supply voltage for the detection, regulation and generation of the electron energy for the anode-cathode emission is generated from the same transformer winding of the transformer 1.
  • the rectification is supported by a controlled rectifier 8, 10, which in the push-pull converter directly from the Transformer output voltage of the other path is controlled.
  • the controlled rectifier 8, which rectifies the output 32, is directly controlled via the transformer output 30. In the times when the transformer output voltage is near zero volts, the current flows through the inductor 11 connected to the sources of the two transistors 8, 10 and through the diodes 7, 9.
  • a voltage multiplier 16, 17 is connected to the positive output 30 and to the negative output 32 of the transformer 1 via a respective separation capacitor 13, 14.
  • a simple voltage multiplier which is formed from the diodes 33 and 34.
  • the DC voltage U 3 is tapped, which can be used, for example, to supply a voltage generating device 18 for generating the anode voltage U A.
  • a voltage supply device 21 can be fed, which supplies via the optocoupler 22 the information for the gate voltages for two transistors 19, 20 which alternately drive two separate cathode connections Kati, Kat 2 .
  • the drain terminals of the two transistors 19, 20 are each connected to the center terminal 31 of the transformer, which represents the positive pole of the cathode voltage supply in the case of n-channel transistors.
  • the gate terminals of the transistors 19, 20 are each connected to the power supply device 21.
  • the source terminal of one transistor 19 is connected to the second cathode terminal Kat 2 and the source terminal of the transistor 20 is connected to the first cathode terminal Kati.
  • Kat 2 can each be connected to a cathode whose opposite pole to the common Cathode terminal is connected Kat.
  • a switching of the cathodes can be done by the DC heating in a simple manner each with a transistor 19, 20.
  • the control of the cathode terminals in the case of a plurality of cathode terminals, ie more than two cathode terminals, each with a transistor, the control of the cathode terminals.
  • the emission current flows within the ion source from the terminal for the anode voltage U A to the terminals of the respectively switched-on cathode Kati or Kat 2 and the common cathode terminal.
  • the average cathode potential is represented by means of the resistors 27, 28 including the voltage drop arising from the emission current at the resistors 26 and 29.
  • the signal evaluation 25 which is preferably a processor module is normally located
  • the emission current which causes a voltage drop across the resistors 26, 29, by means of conversion in the pulse width modulation converter 23 into a PWM signal shaped.
  • the PWM signal is transmitted via an optocoupler 24 to the mass-related signal evaluation 25.
  • the PWM signal is converted into numerical values with a microprocessor, which are then proportional to the emission current.
  • the emission current can be regulated with the aid of the numerical values obtained and software.
  • the manipulated variable is the duty cycle of the switching power supply 4 and can be generated directly from the processor.
  • the manipulated variable is generated via an analog output, which is formed with the aid of a digital-to-analog converter 6 and a switched-mode power supply IC ("Integrated Circuit") 4.
  • the realized in the switching power supply IC current limit can be used.
  • the resistor 5 is used as the current limiting resistor.
  • the generation of the electron energy only requires an up-converter 18, which normally generates a voltage of about 70 to 100 V from the isolated supply voltage U3.
  • the voltage multipliers 16, 17, which consist of at least two rectifiers each, are powered by a capacitive connection to the transformer consisting of the capacitors 13, 14, 15 and allow a connection isolated for direct currents, as shown in FIG. 2 shown.
  • the DC isolation of the power supply ensures that the emission current, which flows at the power output of the rectifier consisting of the parts 7, 8, 9 and 10 in the active cathode, can be evaluated error-free.
  • a voltage multiplier is preferably connected to both transformer outputs 30, 32, whereby the current carrying capacity is greater and the ripple is smaller. In addition, peaks in the transformer are reduced, which could destroy the active rectifier.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Dc-Dc Converters (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Rectifiers (AREA)
  • Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
  • Amplifiers (AREA)

Abstract

Eine vereinfachte Vorrichtung zur Spannungsversorgung der Kathode eines Massenspektrometers weist einen Gegentaktwandlerauf, wobei außer den normalen Gleichrichterdioden (7, 9) ein gesteuerter Gleichrichter (8, 10) vorhanden ist. Das Gate des ersten Transistors (8) ist mit dem zweiten Ausgang(30) und das Gate des zweiten Transistors (10) mit dem ersten Ausgang (32) des Transformators verbunden. Eine Spannungsversorgungseinrichtung, bestehend aus mindestens einem Spannungsvervielfacher, ist über Kondensatoren (13, 14, 15) mit dem Ausgang des Transformators verbunden und speist unter anderem die Emissionsstrommesseinrichtung.

Description

Vorrichtung zur Spannungsversorgung der
Kathode eines Massenspektrometers
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Spannungsversorgung einer Ionenquelle eines Massenspektrometers und insbesondere zur Spannungsversorgung der Massenspektrometer-Kathode.
Massenspektrometer dienen zur Analyse von Gasen und finden unter anderem in Lecksuchgeräten Anwendung. Durch ein elektrisches Feld werden die aus der heißen Kathode austretenden Elektronen beschleunigt. Hierbei wird ein Elektronenstrom erzeugt, der die zu untersuchende Substanz in der Gasphase durch die Elektronen ionisiert und einem Analysator zugeführt. Dieses elektrische Feld wird zwischen einer Kathode und einer Anode erzeugt. Zur Spannungsversorgung der Kathode eines Massenspektrometers muss ein vorgegebener Emissionsstrom zuverlässig und mit möglichst geringem Störanteil erzeugt werden, indem die Heizspannung der Kathode als Stellglied variiert wird . Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Spannungsversorgung der Kathode eines Massenspektrometers mit wenig Bauteilen und geringer Verlustleistung bereitzustellen.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird definiert durch die Merkmale von Anspruch 1.
Hierzu liegt in einem Schaltnetzteil an einem Transformator eine primärseitige Eingangsspannung an. Sekundärseitig ist der Transformator mit zwei Ausgangsanschlüssen und einem ausgangsseitigen Mittenanschluss versehen. An den beiden Ausgangsanschlüssen des Transformators liegen gegenläufige, d. h. zueinander um 180° phasenverschobene Ausgangsspannungen an. Wenn an dem ersten Anschluss eine positive Ausgangsspannung anliegt, liegt dieselbe Ausgangsspannung mit umgekehrtem Vorzeichen an dem zweiten Ausgangsanschluss an. Die beiden Ausgangsanschlüsse des Transformators sind jeweils direkt mit einer Diode verbunden. Zur Erhöhung des Wirkungsgrades werden parallel zu den Dioden entsprechend einem gesteuerten Gleichrichter, Transistoren eingesetzt, wobei im Falle von zwei n-Kanal-Transistoren die Kathode der einen Diode direkt mit dem ersten Transformatorausgang und die Kathode der zweiten Diode direkt mit dem zweiten Transformatorausgang verbunden ist. Im Falle von p-Kanal-Transistoren sind entsprechend die Anode der einen Diode mit dem ersten Transformatorausgang und die Anode der anderen Diode mit dem zweiten Ausgang des Transformators verbunden. Das heißt mit anderen Worten, dass einander entsprechende Anschlüsse der beiden Dioden jeweils mit verschiedenen Ausgängen des Transformators direkt verbunden sind .
Bei den beiden Dioden ist jeweils genau ein Transistor parallel geschaltet, wobei erfindungsgemäß das Gate des einen Transistors direkt mit dem ersten Ausgangsanschluss und das Gate des zweiten Transistors direkt mit dem anderen Ausgangsanschluss des Transformators verbunden ist. Die Dioden dienen zur Gleichrichtung der Transformator-Ausgangsspannungen, wobei die parallel zu den Dioden geschalteten Transistoren den Wirkungsgrad der Schaltung verbessern.
Hierbei ist vorzugsweise der Drain-Anschluss des einen Transistors direkt mit dem ersten Transformatorausgang und der Drain-Anschluss des anderen Transistors direkt mit dem zweiten Transformatorausgang verbunden. Die Source-Anschlüsse der beiden Transistoren können miteinander verbunden sein und direkt an den dem Transformator gegenüberliegenden und nicht direkt mit dem Transformator verbundenen Anschlüssen anliegen. Die Source-Anschlüsse liegen dann also an den beiden Kathoden der Dioden im Falle von p-Kanal- Transistoren und an den beiden Anoden der Dioden im Falle von n-Kanal- Transistoren an. Vorzugsweise handelt es sich bei den Transistoren um Feldeffekt-Transistoren nach dem p-Kanal- oder nach dem n-Kanal-Typ.
Vorzugsweise bilden ein Glättungskondensator und eine Drosselspule einen Tiefpass zwischen dem Mittenanschluss des Transformators und den Source- Anschlüssen der Transistoren. Im Gegensatz zu der beschriebenen Variante als Gegentakt-Wandler kann die Schaltung auch als Eintaktflusswandler ausgeführt werden, wobei jeweils nur ein Transistor und eine Diode benötigt wird.
Gemäß einer Ausführungsform dient die Spannungsversorgungsvorrichtung zur Ansteuerung zweier Kathoden, in dem zwei Transistoren abwechselnd genau einen der beiden Kathodenausgangsanschlüsse ansteuern. Ein herkömmlicherweise verwendetes Relais zur wechselnden Ansteuerung der Kathodenanschlüsse entfällt dann. Die Ansteuerung durch die Transistoren erfolgt zudem zuverlässiger und schneller als durch herkömmliche Schaltrelais.
Vorzugsweise wird aus mindestens einer der an den beiden Transformatorausgängen anliegenden Ausgangsspannungen eine weitere Gleichspannung mit Hilfe mindestens eines Spannungsvervielfachers erzeugt. Hierbei kann jedem der beiden Transformator-Ausgänge genau ein Spannungsvervielfacher zugeordnet sein, der über einen Trennungskondensator mit dem jeweiligen Ausgang verbunden sein kann. Die Gleichspannung kann a) als Versorgung zur Erzeugung der Elektronenenergie (Anodenspannung) für das Massenspektrometer, b) zur Erzeugung einer Versorgungsspannung für die die beiden Kathodenanschlüsse ansteuernden Transistoren und/oder c) zur Versorgung einer Messschaltung zur Messung und/oder Regelung des Emissionsstroms dienen.
Der Emissionsstrom ist der innerhalb der Ionenquelle von der Anode zur jeweils eingeschalteten Kathode fließende Strom, wobei die Elektronenenergie durch die Spannungsdifferenz zwischen Anode und Kathode gegeben ist. Vorzugsweise wird der Emissionsstrom mit Hilfe der Pulsweitenmodulation übertragen.
Im Folgenden wird anhand der Figuren ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert. Es zeigen
Fig. 1 ein Prinzipschaltbild der Spannungsversorgungsvorrichtung als
Gegentaktwandler und
Fig. 2 ein Detail aus Fig. 1.
Ein Transformator 1 ist primärseitig und sekundärseitig mit jeweils drei Anschlüssen versehen. An einer der Primäranschlüsse liegt die Eingangsspannung Ui für den Transformator an. An dem ersten Ausgangsanschluss 32 und dem zweiten Ausgangsanschluss 30 liegen zueinander phasenverschobene, d. h. gegenläufige, Transformatorausgangsspannungen an. Der dritte Sekundäranschluss ist als ausgangsseitiger Mittenanschluss 31 ausgebildet. Im Folgenden wird der erste Ausgangsanschluss 32 als negativer Ausgang und der zweite Ausgangsanschluss 30 als positiver Ausgang bezeichnet, d. h. es wird jeweils nur eine Phase der sich einstellenden Ausgangsspannungen betrachtet.
Der negative Ausgang 32 ist mit der Kathode einer Diode 7 verbunden. Der positive Ausgang 30 ist mit der Kathode einer Diode 9 verbunden. Die Anoden der beiden Dioden 7, 9 sind miteinander verbunden.
Zu jeder der beiden Dioden 7, 9 ist ein Transistor 8, 10 in Form eines n-Kanal- Feldeffekttransistors parallel geschaltet. Hierbei sind die Source-Anschlüsse der beiden Transistoren 8, 10 jeweils mit den Anoden der beiden Dioden verbunden. Der Drain-Anschluss des ersten Transistors 8 ist mit dem negativen Ausgang 32 verbunden und der Drain-Anschluss des zweiten Transistors 10 ist mit dem positiven Ausgang 30 verbunden. Der Gate-Anschluss des ersten Transistors 8 ist mit dem Drain-Anschluss des zweiten Transistors 10 und mit dem positiven Ausgang 30 verbunden. Der Gate-Anschluss des zweiten Transistors 10 ist mit dem Drain-Anschluss des ersten Transistors 8 und mit dem negativen Ausgang 32 verbunden. Zu diesem Zeitpunkt ist also der Transistor 8 leitend, während der Transistor 10 gesperrt ist.
Im Falle von p-Kanal-Transistoren 8, 10 wären lediglich die Dioden in ihrer Richtung umzukehren, so dass die Kathoden der beiden Dioden 7, 9 miteinander verbunden und die Anoden der Dioden mit jeweils verschiedenen Ausgängen 30, 32 des Transformators 1 verbunden sind.
Erfindungsgemäß wird aus derselben Trafo-Wicklung des Transformators 1 die Versorgungsspannung für die Erfassung, Regelung und Generierung der Elektronenenergie für die Anoden-Kathoden-Emission erzeugt. Bei größeren Kathoden-Heizströmen wird die Gleichrichtung durch einen gesteuerten Gleichrichter 8, 10 unterstützt, der bei dem Gegentaktwandler direkt aus der Trafo-Ausgangsspannung des jeweils anderen Pfades gesteuert wird. Der gesteuerte Gleichrichter 8, der den Ausgang 32 gleichrichtet, wird über den Transformatorausgang 30 direkt angesteuert. In den Zeiten, in denen die Transformatorausgangsspannung nahe null Volt ist, fließt der Strom durch die mit den Source-Anschlüssen der beiden Transistoren 8, 10 verbundene Drosselspule 11 und durch die Dioden 7, 9.
Da die Spannungen an dem Transformatorausgang, die für die Kathode passend sind, oft niedrig sind, empfiehlt es sich, die Spannung mit einem Spannungsvervielfacher 16, 17 auf den gewünschten Wert U3 zu bringen. Erfindungsgemäß ist hierzu jeweils ein Spannungsvervielfacher 16, 17 über jeweils einen Trennungskondensator 13, 14 mit dem positiven Ausgang 30 und mit dem negativen Ausgang 32 des Transformators 1 verbunden. In Fig . 2 erkennt man einen einfachen Spannungsvervielfacher, der aus den Dioden 33 und 34 gebildet wird. An den Ausgängen der Spannungsvervielfacher 16, 17 wird die Gleichspannung U3 abgegriffen, die beispielsweise genutzt werden kann, um eine Spannungserzeugungseinrichtung 18 zur Generierung der Anodenspannung UA zu versorgen. Alternativ oder ergänzend kann mit Hilfe der Gleichspannung U3 eine Spannungsversorgungseinrichtung 21 gespeist werden, die über den Optokoppler 22 die Information für die Gate-Spannungen für zwei Transistoren 19, 20 liefert, die wechselnd zwei separate Kathoden-Anschlüsse Kati, Kat2 ansteuern.
Hierbei sind die Drain-Anschlüsse der beiden Transistoren 19, 20 jeweils mit dem Mittenanschluss 31 des Transformators verbunden, welches im Falle von n- Kanal-Transistoren der positive Pol der Kathodenspannungsversorgung darstellt. Die Gate-Anschlüsse der Transistoren 19, 20 sind jeweils mit der Spannungsversorgungeinrichtung 21 verbunden. Der Source-Anschluss des einen Transistors 19 ist mit dem zweiten Kathodenanschluss Kat2 und der Source- Anschluss des Transistors 20 mit dem ersten Kathodenanschluss Kati verbunden. An den Kathodenanschlüssen Kati, Kat2 können jeweils eine Kathode angeschlossen sein, deren gegenüberliegender Pol mit dem gemeinsamen Kathodenanschluss Kat verbunden ist. Eine Umschaltung der Kathoden kann durch die Gleichspannungsheizung auf einfache Weise jeweils mit einem Transistor 19, 20 erfolgen. Insbesondere kann auch im Falle mehrerer Kathodenanschlüsse, d. h. bei mehr als zwei Kathodenanschlüssen, mit jeweils einem Transistor die Ansteuerung der Kathodenanschlüsse erfolgen.
Der Emissionsstrom fließt innerhalb der Ionenquelle von dem Anschluss für die Anodenspannung UA zu den Anschlüssen der jeweils eingeschalteten Kathode Kati bzw. Kat2 und der gemeinsame Kathodenanschluss. Das mittlere Kathodenpotential wird mittels der Widerstände 27, 28 einschließlich des durch den Emissionsstrom entstehenden Spannungsabfalls an den Widerständen 26 und 29 abgebildet. Um den Emissionsstrom auf Massepotential, auf dem sich die Signalauswertung 25, welches vorzugsweise ein Prozessorbaustein ist, normalerweise befindet, wird der Emissionsstrom, der an den Widerständen 26, 29 einen Spannungsabfall hervorruft, mittels Wandlung in dem Pulsweitenmodulations-Wandler 23 in ein PWM-Signal geformt. Das PWM-Signal wird über einen Optokoppler 24 zur massebezogenen Signalauswertung 25 übertragen. Dort wird mit einem Mikroprozessor das PWM-Signal in Zahlenwerte umgeformt, die dann proportional zu dem Emissionsstrom sind. Dadurch kann mit Hilfe der erhaltenen Zahlenwerte und einer Software der Emissionsstrom geregelt werden.
Die Stellgröße ist das Tastverhältnis des Schaltnetzteils 4 und kann direkt aus dem Prozessor generiert werden. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel wird die Stellgröße über einen Analogausgang, der mit Hilfe eines Digital-Analog- Konverters 6 und einem Schaltnetzteil-IC ("Integrated Circuit") 4 gebildet, generiert. Hierbei kann die in dem Schaltnetzteil-IC realisierte Strombegrenzung genutzt werden. Hierfür wird als Strombegrenzungswiderstand der Widerstand 5 genutzt. Die Erzeugung der Elektronenenergie benötigt nur einen Aufwärtswandler 18, der normalerweise eine Spannung von ca. 70 bis 100 V aus der isolierten Versorgungsspannung U3 generiert. Die Spannungsvervielfacher 16, 17, die mindestens aus je zwei Gleichrichtern bestehen, werden durch eine kapazitive Anbindung an den Transformator bestehend aus den Kondensatoren 13, 14, 15 gespeist und ermöglichen eine für Gleichströme isolierte Anbindung, wie in Fig . 2 dargestellt. Die gleichspannungsmäßige Isolierung der Spannungsversorgung sorgt dafür, dass der Emissionsstrom, der am Leistungsausgang des Gleichrichters bestehend aus den Teilen 7, 8, 9 und 10 in die aktive Kathode fließt, fehlerfrei ausgewertet werden kann. Jeweils ein Spannungsvervielfacher wird vorzugsweise an beiden Transformatorausgängen 30, 32 angeschlossen, wodurch die Strombelastbarkeit größer und der Ripple kleiner wird. Zudem werden Spitzen im Transformator abgebaut, die den aktiven Gleichrichter zerstören könnten.

Claims

Patentansprüche
Vorrichtung zur Spannungsversorgung der Kathode eines Massenspektro- meters, mit einem mit einer Eingangsspannung (Ui) versorgten Transformator (1) mit mindestens einem ersten Ausgang (30) und/oder einem zweiten Ausgang (32) und einem ausgangsseitigen Mittenanschluss (31), mindestens zwei Dioden (7, 9) über deren einander entsprechende Anschlüsse, also die Kathoden oder die Anoden, mit verschiedenen der Ausgänge (30, 32) des Transformators (1) verbunden sind, wobei der Anschluss der ersten Diode (7) mit dem ersten Ausgang (32) und der Anschluss der zweiten Diode (9) mit dem zweiten Ausgang (30) verbunden ist, wobei für jede Diode (7, 9) ein zu der jeweiligen Diode parallel geschalteter erster (8) bzw. zweiter Transistor (10) vorgesehen ist, wobei der Source-Anschluss jedes Transistors (8, 10) mit dem dem Transformator (1) gegenüberliegenden Anschluss der zugehörigen Diode (7, 9) verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Gate des ersten Transistors (8) mit dem zweiten Ausgang (30) und das Gate des zweiten Transistors (10) mit dem ersten Ausgang (32) des Transformators (1) verbunden ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Drain- Anschluss des ersten Transistors (8) mit dem ersten Ausgang (32) und der Drain-Anschluss des zweiten Transistors (10) mit dem zweiten Ausgang (30) des Transformators (1) verbunden ist.
3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem ausgangsseitigen Mittenan- schluss (31) des Transformators (1) und den Source-Anschlüssen der Transistoren (8, 10) ein Tiefpass aus einem Glättungskondensator (12) und einer Drosselspule (11) vorgesehen ist.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung zur Versorgung zweier Kathoden mit jeweils einem Ausgang (Kati, Kat2) für jede der beiden Kathoden versehen ist, wobei zwei Transistoren (19, 20) zum wechselnden Ansteuern der beiden Kathodenanschlüsse (Kati, Kat2) mit dem Transformator (1) verbunden sind .
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Kathodenanschluss (Kati, Kat2) mit dem Source-Anschluss genau eines der beiden Transistoren (19, 20) verbunden ist, wobei ein Transistor (19,20) den zugehörigen Kathodenanschluss (Kati, Kat2) genau dann ansteuert, wenn die an dem jeweiligen Gate-Anschluss anliegende Transistor- Spannung, die an dem Source-Anschluss anliegende Kathodenspannung übersteigt.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass aus der an dem ersten Ausgang (32) und/oder an dem zweiten Ausgang (30) des Transformators anliegenden Ausgangsspannung eine Gleichspannung (U3) mit mindestens einem Spannungsvervielfacher (16, 17) erzeugt wird.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Spannungsvervielfacher, bestehend aus mindestens zwei Gleichrichtern (16, 17) über einen Trennungskondensator (13, 14) mit einem der beiden Ausgangsanschlüsse (30, 32) des Transformators (1) als aktiver Pfad verbunden ist und über einen Kondensator (15) mit den dem Transformator (1) gegenüberliegenden Anschlüssen der Dioden (7, 9) als Bezugspfad verbunden ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Gleichspannung (U3) zur Versorgung einer die Gate-Spannung der beiden Transistoren (19, 20) erzeugenden Spannungsversorgungseinrichtung (21), und/oder zur Versorgung einer die Anodenspannung (UA) des Massenspektrometers erzeugenden Spannungsversorgungseinrichtung (18) und/oder zur Versorgung einer Messschaltung (23) zur Messung des Emissionsstroms der jeweils aktivierten Kathode (Kati, Kat2) dient.
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Messschaltung (23) zur Messung des Emissionsstroms der jeweils aktivierten Kathode (Kati, Kat2) in Form eines Pulsweitenmodulators (PWM) vorgesehen ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Emissionsstrom über zwei zwischen dem Mittenanschluss (31) und den dem Transformator (1) gegenüberliegenden Anschlüssen der beiden Dioden (7, 9) in Reihe geschalteten ersten Widerständen (26, 29) abfällt und über zwei zueinander in Reihe und zu den ersten Widerständen (26, 29) parallel geschaltete Widerstände (27, 28) gemittelt wird .
PCT/EP2013/053550 2012-02-29 2013-02-22 Vorrichtung zur spannungsversorgung der kathode eines massenspektrometers WO2013127701A2 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201380007996.2A CN104094378B (zh) 2012-02-29 2013-02-22 质谱仪阴极的电压供应装置
US14/381,171 US9530634B2 (en) 2012-02-29 2013-02-22 Device for supplying voltage to the cathode of a mass spectrometer
RU2014138553A RU2638303C2 (ru) 2012-02-29 2013-02-22 Устройство для питания напряжением катода масс-спектрометра
EP13707587.5A EP2820668B1 (de) 2012-02-29 2013-02-22 Vorrichtung zur spannungsversorgung der kathode eines massenspektrometers
JP2014559156A JP6291424B2 (ja) 2012-02-29 2013-02-22 質量分析計のカソードの電圧供給のための装置
IN7154DEN2014 IN2014DN07154A (de) 2012-02-29 2014-08-26

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102012203141A DE102012203141A1 (de) 2012-02-29 2012-02-29 Vorrichtung zur Spannungsversorgung der Kathode eines Massenspektrometers
DE102012203141.3 2012-02-29

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2013127701A2 true WO2013127701A2 (de) 2013-09-06
WO2013127701A3 WO2013127701A3 (de) 2014-01-30

Family

ID=47827161

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2013/053550 WO2013127701A2 (de) 2012-02-29 2013-02-22 Vorrichtung zur spannungsversorgung der kathode eines massenspektrometers

Country Status (9)

Country Link
US (1) US9530634B2 (de)
EP (1) EP2820668B1 (de)
JP (1) JP6291424B2 (de)
CN (1) CN104094378B (de)
DE (1) DE102012203141A1 (de)
IN (1) IN2014DN07154A (de)
RU (1) RU2638303C2 (de)
TW (1) TWI590295B (de)
WO (1) WO2013127701A2 (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116316406B (zh) * 2022-09-08 2023-11-07 瑞莱谱(杭州)医疗科技有限公司 一种质谱仪检测保护电路

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2587555A (en) * 1948-10-26 1952-02-26 Sun Oil Co Mass spectrometer
US3493840A (en) * 1968-09-11 1970-02-03 Electronic Devices Inc Regulated voltage-multiplier system
US3869659A (en) * 1974-03-19 1975-03-04 Nasa Controllable high voltage source having fast settling time
JPS53138789A (en) * 1977-05-11 1978-12-04 Hitachi Ltd Filament current control circuit for mass spectrometer
DE4017859A1 (de) * 1990-06-02 1991-12-12 Deutsches Elektronen Synchr Steuerungsschaltung fuer ein lecksuchgeraet
ES2040171B1 (es) * 1991-12-31 1994-05-01 Alcatel Standard Electrica Sistema de rectificacion para convertidores conmutados de tension no resonantes.
JPH06215886A (ja) * 1993-01-14 1994-08-05 Matsushita Electric Works Ltd 電源装置
US5625541A (en) * 1993-04-29 1997-04-29 Lucent Technologies Inc. Low loss synchronous rectifier for application to clamped-mode power converters
JPH09191649A (ja) * 1996-01-11 1997-07-22 Jeol Ltd 高電圧発生回路
JP3673075B2 (ja) * 1998-03-09 2005-07-20 新電元工業株式会社 スイッチング電源装置
JP2000253658A (ja) * 1999-02-26 2000-09-14 Sanken Electric Co Ltd Ｄｃ−ｄｃコンバータ
US6784867B1 (en) * 2000-11-16 2004-08-31 Koninklijke Philips Electronics N.V. Voltage-fed push LLC resonant LCD backlighting inverter circuit
JP4136342B2 (ja) 2001-08-31 2008-08-20 新電元工業株式会社 スイッチング電源装置およびこのスイッチング電源装置に設けるトランス
JP3790256B2 (ja) 2005-03-08 2006-06-28 新電元工業株式会社 スイッチング電源装置の制御方法
US8058861B2 (en) * 2007-06-05 2011-11-15 Bayer Materialscience Ag Miniature high-voltage power supplies
JP4689648B2 (ja) * 2007-08-31 2011-05-25 新電元工業株式会社 スイッチング電源装置
US8711593B2 (en) * 2008-08-20 2014-04-29 ConvenientPower HK Ltd. Generalized AC-DC synchronous rectification techniques for single- and multi-phase systems

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
None
See also references of EP2820668A2

Also Published As

Publication number Publication date
EP2820668B1 (de) 2021-05-05
IN2014DN07154A (de) 2015-04-24
RU2014138553A (ru) 2016-04-20
TW201342421A (zh) 2013-10-16
TWI590295B (zh) 2017-07-01
JP2015513765A (ja) 2015-05-14
WO2013127701A3 (de) 2014-01-30
US9530634B2 (en) 2016-12-27
DE102012203141A1 (de) 2013-08-29
CN104094378B (zh) 2016-08-17
RU2638303C2 (ru) 2017-12-13
JP6291424B2 (ja) 2018-03-14
US20150028743A1 (en) 2015-01-29
CN104094378A (zh) 2014-10-08
EP2820668A2 (de) 2015-01-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112014004859B4 (de) Energieumwandlungsvorrichtung
DE69302461T2 (de) Spannungssteuerschaltungen
WO2008116866A1 (de) Spannungskonverter mit geschalteten kondensatoren und vorrichtung zum angleichen der kondensatorspannungen
DE102016101058A1 (de) Auf Rückkopplungs-Spannungsregler basierende Vorspannungs- und Treiberschaltung für eine elektrische Last
DE102013223457A1 (de) Netzteilvorrichtung
DE102017106424B4 (de) Leistungswandlerschaltung mit einem Hauptwandler und einem Hilfswandler
EP3123603B1 (de) Modulationsverfahren für den hochsetzsteller-betrieb eines gegentaktwandlers
EP0355333A2 (de) Verfahren zum Betreiben eines Schaltreglers
DE3618221C1 (de) Schaltnetzteil mit einem primaer getakteten Gleichspannungswandler
DE112012003123T5 (de) Schaltnetzteil
DE102005033477A1 (de) Schaltungsanordnung und Verfahren zum Konvertieren einer Wechselspannung in eine gleichgerichtete Spannung
EP2820668B1 (de) Vorrichtung zur spannungsversorgung der kathode eines massenspektrometers
DE4008652A1 (de) Netzteil mit gleichstrom-gleichstrom-wandler
DE102017118973B4 (de) Leistungswandler
DE2819676A1 (de) Schalt-netzteil fuer hohe eingangsspannungen
DE3710801C2 (de)
EP3857696B1 (de) Verfahren zur steuerung eines serien-resonanz-wandlers
EP1034611B1 (de) Drosselwandler
DE102012217554A1 (de) Schaltung für Photovoltaik-Module und Verfahren zum Betrieb
EP2826126B1 (de) Leistungselektronische anordnung mit symmetrierung eines spannungsknotens im zwischenkreis
EP2378652A1 (de) Schaltungsanordnung und Verfahren zur potentialgetrennten Energieübertragung mit zwei Ausgangsgleichspannungen
DE102019102550B4 (de) Leistungswandler und leistungswandlungsverfahren
DE2631388C3 (de) Schaltungsanordnung für die Steuer-ünpulserzeugung eines Impulsbreiten-gesteuerten Schaltreglertransistors
DE2714152A1 (de) Schaltungsanordnung zur erzeugung von spannungen mit wechselnder polaritaet aus einer gleichspannung
DE112022000244T5 (de) Resonanzstromversorgungsschaltung

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 14381171

Country of ref document: US

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2014559156

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2013707587

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2014138553

Country of ref document: RU

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 13707587

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2