WO2013058143A1 - 結合方法 - Google Patents

結合方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2013058143A1
WO2013058143A1 PCT/JP2012/076156 JP2012076156W WO2013058143A1 WO 2013058143 A1 WO2013058143 A1 WO 2013058143A1 JP 2012076156 W JP2012076156 W JP 2012076156W WO 2013058143 A1 WO2013058143 A1 WO 2013058143A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
core
image
cores
light
imaging
Prior art date
Application number
PCT/JP2012/076156
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
幸宏 尾関
史生 長井
Original Assignee
コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 filed Critical コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社
Publication of WO2013058143A1 publication Critical patent/WO2013058143A1/ja

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/255Splicing of light guides, e.g. by fusion or bonding
    • G02B6/2555Alignment or adjustment devices for aligning prior to splicing
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/04Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings formed by bundles of fibres
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/255Splicing of light guides, e.g. by fusion or bonding
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/02Optical fibres with cladding with or without a coating
    • G02B6/02042Multicore optical fibres

Definitions

  • the present invention relates to a method for coupling optical elements used for optical communication or the like.
  • a multi-core fiber that is an optical fiber in which a plurality of cores are provided in one clad can be used (see Patent Documents 1 and 2). Since the multi-core fiber has a plurality of cores, it is possible to perform large-capacity data communication compared to the single-core fiber.
  • such a multi-core fiber may be used by being optically coupled with, for example, a fiber bundle in which a plurality of single-core fibers are bundled, a light emitting element such as a laser diode, or a light receiving element such as a photodiode. is there.
  • a light emitting element such as a laser diode
  • a light receiving element such as a photodiode.
  • all or part of the multi-core fiber, the fiber bundle, the light emitting element, and the light receiving element may be referred to as “optical element”.
  • An object of the present invention is to realize alignment around the axis of a fiber when connecting end faces of two multi-core fibers.
  • the invention according to claim 1 is a coupling method for coupling the end faces of two multi-core fibers each having a plurality of cores arranged two-dimensionally, the end faces being opposed to each other, and the two multi-core fibers
  • the light from the light source is irradiated toward the side surface of the optical fiber, and the images of the three cores arranged at equal intervals around the axis of the multi-core fiber are formed on the imaging surface arranged at a predetermined position by the light.
  • the invention according to claim 2 is the coupling method according to claim 1, wherein the light source is a light source capable of switching and irradiating at least two lights having different characteristics from each other, and is predetermined around the axis.
  • a pre-adjusted optical system is interposed between the multi-core fiber and the imaging plane so that an image of two cores different from the core located on the imaging plane is formed on the imaging plane.
  • an image of the core located at the center is formed on the imaging surface by the one light, and two core images different from the core located at the center are formed by the other light.
  • Image on the imaging surface It is characterized by adjusting the orientation of the multi-core fiber to said predetermined orientation.
  • the invention according to claim 3 is the coupling method according to claim 1 or claim 2, wherein, in the imaging step, the side surfaces of the two multi-core fibers are irradiated from at least two different directions.
  • the invention according to claim 4 is a coupling method for coupling the end faces of two multi-core fibers, each having a plurality of other cores arranged around a central core, the end faces being opposed to each other, Light is emitted from the light source toward the side surface of the multi-core fiber, and the image of the central core and the image of any one of the other cores are formed on an imaging plane arranged at a predetermined position by the light.
  • An imaging step a rotation step of rotating the two multi-core fibers around an axis so that an image of the central core and an image of the other core are superimposed, and two superimposed cores of the two multi-core fibers
  • the invention according to claim 5 is the coupling method according to claim 4, wherein the light source is a light source capable of switching and irradiating at least two lights having different characteristics from each other, about the axis.
  • the multi-core fiber When the multi-core fiber is arranged in a predetermined direction, an image of the core located at the center is formed on the imaging plane by one of the two lights, and the other light
  • An optical system adjusted in advance is interposed between the multi-core fiber and the imaging plane so that an image of two cores different from the core located at the center is formed on the imaging plane.
  • the imaging step the image of the central core is formed on the imaging surface by the one light, and the image of the other core is formed on the imaging surface by the other light.
  • the orientation of the multi-core fiber And adjusting said predetermined orientation.
  • the invention according to claim 6 is the coupling method according to claim 4 or claim 5, wherein, in the imaging step, the side surfaces of the two multi-core fibers are irradiated from at least two different directions. And forming an image of the central core and an image of the other core on each of at least two different imaging planes, and adjusting the position of each of the two imaging planes in the position adjusting step. It is characterized by performing
  • FIG. 1 is a perspective view of the multi-core fiber 1. In FIG. 1, only the tip portion of the multi-core fiber 1 is shown.
  • the multi-core fiber 1 is made of a material having a high light transmittance such as quartz glass or plastic.
  • the core C k is a transmission path for transmitting light from a light source (not shown).
  • the core C k is made of a material in which germanium oxide (GeO 2 ) is added to, for example, quartz glass.
  • FIG. 1 shows a configuration having seven cores C 1 to C 7 , the number of cores C k may be at least two.
  • the clad 2 is a member that covers the plurality of cores Ck .
  • Cladding 2 has a function to confine light from a light source (not shown) in the core C k.
  • the clad 2 has an end face 2a.
  • the end surface Ek of the core Ck and the end surface 2a of the clad 2 form the same surface (the end surface 1b of the multicore fiber 1).
  • the cladding 2 material a low refractive index material is used than the core C k material.
  • quartz glass is used as the material of the clad 2.
  • the refractive index of the core C k higher than the refractive index of the cladding 2
  • the light from the light source (not shown) is totally reflected at the interface between the core C k and the cladding 2. Therefore, light can be transmitted in the core Ck .
  • FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the fiber coupling device.
  • the fiber coupling device according to the present embodiment includes a V-groove stage 100, a drive unit 110, a welding unit 200, optical systems 20a and 20b, a control unit 500, a display control unit 510, and the like.
  • the operation unit 521 and the display unit 522 are included.
  • the optical system 20a includes a light source 21a, a polarizing shutter 22a, a birefringent plate 23a, a condensing lens 24a, and an imaging surface 25a.
  • the optical system 20b has the same configuration as the optical system 20a. That is, the optical system 20b includes a light source 21b, a polarization shutter 22b, a birefringent plate 23b, a condenser lens 24b, and an image plane 25b.
  • the V-groove stage 100 is a holding member for holding the multi-core fiber 1 at a predetermined position.
  • the configuration of the V-groove stage 100 and the positional relationship between the V-groove stage 100 and the multi-core fiber 1 will be described with reference to FIGS. 3A to 3C.
  • FIG. 3A is a schematic perspective view showing the positional relationship between the V-groove stage 100 and the multi-core fiber 1.
  • the axial direction of the multi-core fiber 1 is referred to as a z-axis.
  • the width direction of the multi-core fiber 1 (that is, the width direction of the V-groove stage 100) is the x-axis direction, and the thickness direction is the y-axis direction.
  • FIG. 3B is a side view of the V-groove stage 100 and the multicore fiber 1 as seen from the z-axis direction.
  • FIG. 3C is a front view of the V-groove stage 100 and the multi-core fiber 1 as seen from the x-axis direction.
  • the V-groove stage 100 is provided with a V-groove 101 along the z-axis direction.
  • the multi-core fiber 1 is held on the V-groove stage 100 by being placed on the V-groove 101.
  • the two V-groove stages 100 are arranged so that the end faces 1b of the multi-core fibers 1 placed on each other face each other.
  • the end surface 1b side of each multi-core fiber 1 protrudes from the V-groove stage 100 toward the other multi-core fiber 1 side along the z-axis direction.
  • the protruding portion of the multi-core fiber 1 is referred to as a protruding portion 1c.
  • the driving unit 110 moves the position and orientation of the V-groove stage 100 based on an instruction from the operation unit 521 or the control unit 500.
  • the drive unit 110 includes a parallel movement mechanism and a rotation movement mechanism. Based on the received instruction, the translation mechanism translates each V-groove stage 100 independently along the x-axis direction, the y-axis direction, and the z-axis direction. Further, the rotational movement mechanism independently rotates each V-groove stage 100 around the axis of the multicore fiber 1 on the xy plane based on the received instruction.
  • FIG. 3D is a schematic enlarged front view of the multi-core fiber 1 viewed from the x-axis direction.
  • the end face 1b is processed in advance so that the cores C 1 to C 7 are exposed on the end face 1b.
  • the cores C 1 to C 7 exposed on the end faces 1 b of the two multi-core fibers 1 are welded together by the welded portion 200 and fused.
  • the welded part 200 will be described later.
  • the optical system 20a includes a light source 21a, a polarizing shutter 22a, a birefringent plate 23a, a condensing lens 24a, and an imaging surface 25a.
  • the light source 21a and the imaging surface 25a are arranged so as to sandwich the protruding portion 1c along the y-axis direction.
  • the light source 21a irradiates light toward the protrusion 1c.
  • a polarizing shutter 22a is interposed between the light source 21a and the protruding portion 1c.
  • the polarization shutter 22a operates in at least two different modes (first and second modes) based on control from the control unit 500.
  • the polarization shutter 22a transmits only different components among the light components from the light source 21a and blocks other components when operating in the first mode and when operating in the second mode. It is configured. For example, when operating in the first mode, the polarization shutter 22a transmits only the P wave among the light from the light source 21a, and transmits only the S wave when operating in the second mode. In the following description, it is assumed that the polarization shutter 22a transmits only the P wave when operating in the first mode and transmits only the S wave when operating in the second mode.
  • the birefringent plate 23a and the condenser lens 24a are arranged in this order from the protrusion 1c to the imaging surface 25a.
  • the light emitted from the light source 21a passes through the protruding portion 1c in the y-axis direction.
  • the portion constituted by the cores C 1 to C 7 and the portion constituted by the cladding 2 in the multi-core fiber 1 condense light from the light source 21a toward different focal positions. After condensing, the light is diverged with a predetermined divergence angle.
  • Birefringent plate 23a and the condenser lens 24a when any one of the cores C 1 ⁇ C 7 is held in place, is condensed by its core, the light scattered after, on the imaging plane 25a It arrange
  • FIG. 5 is a diagram for explaining a method of adjusting the position around the axis between the multi-core fibers 1, and the light transmitted through the cores C 2 to C 4 is condensed by the birefringent plate 23a and the condenser lens 24a. This shows how light is focused on the imaging surface 25a.
  • FIGS. 6A to 6C are diagrams for explaining the change in the depth of focus. 5 and 6A to 6C, the optical path of the condensing part by the cores C 2 to C 4 is omitted, and only the optical path of the diverging part after the condensing is schematically shown.
  • Figure 6A is a substance between the core C 2 and the condenser lens 24a of the projecting portion 1c (e.g., birefringent plate 23a) If there is no (or, the refractive index of the material if the 1) shows the Yes.
  • the position of the core C 2 along the y-axis direction and P11 passes through the core C 2, light traveling toward the y-axis direction in predetermined divergence angle, condensing at position P21 by the condenser lens 24a and the image F 2 of the core C 2 is focused on the position P21.
  • the birefringent plate 23a having a predetermined refractive index between the core C 2 and the condenser lens 24a indicates the case of intervention. If the refractive index of the birefringent plate 23a is larger than 1, the image F 2 is imaged at the position P22 far along the y-axis direction from the position P21 as viewed from the core C 2.
  • FIG. Figure 6C based on the state of Fig. 6B, so that the image F 2 is imaged at the position P21, the position of the core C 2, further along the y-axis direction from the position P11 as viewed from the condenser lens 24a spaced The case where it shifted to the position P12 performed is shown.
  • the distance L31 between the position P11 and the position P12 is expressed by the following formula [n] when the refractive index of the birefringent plate 23a is n and the thickness along the y-axis direction of the birefringent plate 23a is L32. Derived from Equation 1]. [Formula 1]
  • the refractive index of this material in the case of 1, as shown in FIG. 6A, forms an image F 2 of the core C 2 held on the P11 to the position P21.
  • the refractive index of this material in the case of n as shown in FIG. 6C, it forms an image F 2 of the core C 2 held on the P12 to the position P21.
  • the birefringent plate 23a has different refractive indexes for light incident when operating in the first mode (that is, P wave) and light incident when operating in the second mode (that is, S wave). . Therefore, for example, when the birefringent plate 23a is used as the birefringent plate 23a in FIG. 6C, the core C held at different positions depending on whether the P wave is irradiated from the light source 21a or the S wave is irradiated. 2 of an image F 2, it is possible to image at the position P21.
  • the refractive index of the birefringent plate 23a for the P wave is np
  • the refractive index of the birefringent plate 23a for the S wave is ns.
  • L31s is derived by the following formula [Formula 3].
  • FIG. 5 among the cores C 2 to C 4 adjacent to each other along the axis of the protruding portion 1c (that is, the multi-core fiber 1), the cores C 2 and C 4 located at both ends are aligned along the y-axis direction. It shows the state held at the same position. A distance along the y-axis direction between the cores C 2 and C 4 and the core C 3 at this time is L11.
  • a surface 25a is disposed.
  • FIG. 7 is a diagram for explaining a method of adjusting the position around the axis between the multicore fibers according to the embodiment.
  • the cores C 2 to C 4 are arranged at equal intervals along the axis of the multi-core fiber 1. That is, the axis distance of the core C 2 and C 3, equal to the axis of the spacing of the core C 2 and C 3.
  • the position of the core C 3 along the x-axis direction is the core C 2.
  • the center position along the x-axis direction of the C 4. Therefore, the image F 3a is formed at the center of the image F 2a and the image F 4a , and the distance L21 and the distance L22 are equal (L21 L22).
  • the projecting portion 1c i.e., multi-core fiber 1 along the axis shows the state of being rotated on the core C 2 side when viewed from the core C 3.
  • cores C 2 ′, C 3 ′, and C 4 ′ indicate the rotated cores C 2 ′, C 3 ′, and C 4 ′, respectively.
  • the images F 2a ′, F 3a ′, and F 4a ′ show the rotated images F 2a , F 3a , and F 4a .
  • the amount of movement of the core C 3 along the x-axis direction due to the rotation of the multi-core fiber 1 is larger than the amount of movement of the cores C 2 and C 4 along the x-axis direction. Therefore, as shown in FIG. 7, the image F 3a ′ moves to the F 2a ′ side from the centers of the images F 2a ′ and F 4a ′. Therefore, when the distance between the images F 2a ′ and F 3a ′ is L21 ′ and the distance between the images F 3a ′ and F 4a ′ is L22 ′, L21 ′ is smaller than L22 ′ (L21 ′ ⁇ L22 '). Similarly, reference to the state of FIG.
  • the projecting portion 1c i.e., multi-core fiber 1
  • L21 ′ L22 ′
  • the imaging surface 25a for example, a configuration that can detect light (for example, the images F 2a to F 4a formed ) that has reached the imaging surface 25a is used, such as a camera or a light receiving element.
  • the imaging surface 25a outputs information indicating the detected light to the display control unit 510 as image information, for example.
  • the display control unit 510 causes the display unit 522 to display this image information.
  • the operator can adjust the position of the multi-core fiber 1 by controlling the drive unit 110 via the operation unit 521 so that the images F 2a to F 4a are formed while confirming the display unit 522.
  • the configuration of the optical system 20b is the same as the configuration of the optical system 20a. That is, the light source 21b, the polarization shutter 22b, the birefringent plate 23b, the condensing lens 24b, and the imaging surface 25b in the optical system 20b are the light source 21a, the polarizing shutter 22a, the birefringent plate 23a, and the condensing lens 24a in the optical system 20a. , And the imaging plane 25a.
  • the optical system 20b is different from the set of the cores C 2 to C 4 when the images F 2a to F 4a are formed on the imaging surface 25a, and is equally spaced along the axis of the multicore fiber 1.
  • the other three core images arranged side by side are arranged so as to form an image on the imaging surface 25b.
  • the optical system 20a and the optical system 20b are arranged so that the optical axes of the light from each light source are shifted by 120 °.
  • the images F 2a to F 4a are formed on the image forming surface 25a
  • the images F 2b , F 7b , and F 6 of the cores C 2 , C 7 , and C 6 are formed on the image forming surface 25b.
  • 6b forms an image.
  • the direction in which the light from the light source 21b travels is the y ′ direction
  • the direction orthogonal to the z-axis direction and the y ′ direction is the x ′ direction.
  • the light source and the polarization shutter are provided in each of the optical systems 20a and 20b.
  • a common light source 21c and polarization shutter 22c are provided between the optical systems 20a and 20b.
  • the optical path may be adjusted as appropriate so that the core image is formed on each of the imaging surfaces 25a and 25b by the light emitted from the light source 21c.
  • the structure which switches P wave and S wave was demonstrated above, for example, if it is light from which a refractive index mutually differs about birefringent plates 23a and 23b by the difference in a wavelength etc., it will not be limited to the above-mentioned polarization.
  • each configuration of the optical systems 20a and 20b may be changed as appropriate.
  • the configuration of the polarizing shutters 22a and 22b may be replaced with a configuration capable of switching the wavelength to be transmitted.
  • FIG. 8 is a diagram for explaining alignment between the multi-core fibers 1 in the x-axis direction and the y-axis direction. As shown in FIG. 8, each multi-core fiber 1 is parallel along the x-axis direction and the y-axis direction so that the images of the corresponding cores between the two multi-core fibers 1 are arranged linearly along the z-axis direction. Move.
  • the image F 2a of one of the multi-core fiber 1, and the other is facing the image F 2a of the multi-core fiber 1, aligned linearly along the z-axis direction Yes.
  • the images F 3a and F 4a face each other and are arranged in a straight line along the z-axis direction.
  • the two multi-core fibers 1 are translated so as to satisfy this simultaneously for both the optical systems 20a and 20b. That is, on the imaging plane 25b, the images F 2b , the images F 6b , and the images F 7b of the two multi-core fibers 1 face each other, and are arranged in a straight line along the z-axis direction.
  • the fiber 1 is translated in the x-axis direction and the y-axis direction.
  • the end surfaces 1b are brought into contact with each other by moving the multi-core fibers 1 along the z-axis direction, and the end surfaces 1b are welded together by the welded portion 200. Put on. Details of the weld 200 will be described below.
  • the welding part 200 is a structure for welding between the multi-core fibers 1.
  • the welding part 200 welds between the multi-core fibers 1 by, for example, arc welding.
  • a pair of electrodes is disposed in the vicinity of the facing end surface 1b so as to sandwich the side surface of the multi-core fiber 1.
  • the welded portion 200 generates electric discharge between the electrodes and heats the vicinity of the end surface 1b to weld the end surface 1b.
  • the cores C 1 to C 7 exposed on the end faces 1b of the two multi-core fibers 1 are fused.
  • the welding method using the welded portion 200 is not limited to arc welding. That is, the configuration of the welded portion 200 may be switched as appropriate according to the welding method to be applied. In the following description, the welded portion 200 will be described as being fused between the multi-core fibers 1 by arc welding.
  • the controller 500 controls the operations of the light sources 21a and 21b and the polarization shutters 22a and 22b. Specifically, the control unit 500 irradiates light to the light sources 21a and 21b and switches the modes of the polarization shutters 22a and 22b based on an instruction from the operator via the operation unit 521. Thereby, the P wave or the S wave is irradiated from the light sources 21a and 22b toward the protruding portion 1c depending on the operating mode.
  • control unit 500 may receive image information from the imaging surfaces 25a and 25b, control the operation of the driving unit 110 based on the image information, and operate the multi-core fiber 1 to be aligned. Specifically, the control unit 500 analyzes the image information output from each of the imaging planes 25a and 25b while adjusting the position of each multi-core fiber 1, and the images F 2a , F 3a , and F 4a and images F 2b , F 6b , and F 7b are detected. The control unit 500 calculates the position of each detected image, controls the drive unit 110 based on the calculated information indicating the position of each image, and follows the alignment procedure described above to determine the position of the multi-core fiber 1. Perform alignment. By operating in this way, it is possible to cause the fiber coupling device to automatically perform alignment between the multi-core fibers 1.
  • control unit 500 controls the operation of the welded part 200. Specifically, the control unit 500 supplies electric power to the welded part 200 to apply a voltage between the electrodes of the welded part 200 to generate a discharge phenomenon. Thereby, the end surface 1b is welded.
  • FIG. 9 is a flowchart showing a series of processes related to the coupling between the multi-core fibers 1.
  • Step S11 First, the two multi-core fibers 1 are respectively held on the V-groove stage by placing them on the V-groove 101 provided on the V-groove stage 100. Note that the end face 1b side of each multi-core fiber 1 protrudes from the V-groove stage 100 along the z-axis direction. This protruding portion is called a protruding portion 1c.
  • each V-groove stage 100 is arranged so that the end faces 1b of the two multi-core fibers 1 face each other.
  • Step S13 Next, light is irradiated from each of the light sources 21a and 21b toward the side surface of the protruding portion 1c. While switching the mode of the polarization shutters 22a and 22b, the multi-core fiber 1 is rotated around the axis, and is translated in the x-axis direction and the y-axis direction, and adjacent to the imaging planes 25a and 25b, respectively, around the axis 3 An image of one core is formed. At this time the imaging surface 25a, when the P-wave is irradiated, when the image F 3a of the core C 3 is imaged, S waves are irradiated, the core C 2 and C 4 Images F 2a and F 4a are formed.
  • each multi-core fiber 1 is rotated about its axis so that the distance L21 between the images F 2a and F 3a and the distance L22 between the images F 3a and F 4a are equal.
  • the position of the multi-core fiber 1 is similarly adjusted so that the distance between the images F 2b and F 7b and the distance between the images F 7b and F 6b are equal on the imaging surface 25b.
  • the alignment around the axis between the two multi-core fibers 1 is performed.
  • Step S15 Next, the position in the x-axis direction and the position in the y-axis direction of each multicore fiber 1 are adjusted. Specifically, as shown in FIG. 8, the multi-core fibers 1 are arranged in the x-axis direction and the y-axis so that the images of the corresponding cores between the two multi-core fibers 1 are arranged linearly along the z-axis direction. Translate along the direction.
  • the image F 2a of one of the multi-core fiber 1, and the other is facing the image F 2a of the multi-core fiber 1, aligned linearly along the z-axis direction Yes.
  • the images F 3a and F 4a face each other and are arranged in a straight line along the z-axis direction.
  • the two multi-core fibers 1 are translated so as to satisfy this simultaneously for both the optical systems 20a and 20b. That is, on the imaging plane 25b, the images F 2b , the images F 6b , and the images F 7b of the two multi-core fibers 1 face each other, and are arranged in a straight line along the z-axis direction.
  • the fiber 1 is translated in the x-axis direction and the y-axis direction.
  • Step S16 When the alignment in the x-axis direction and the y-axis direction is completed, each multi-core fiber 1 is moved along the z-axis direction to bring the end faces 1b into contact with each other, and the end faces 1b are welded together by the welded portion 200. Put on.
  • the coupling method between the multi-core fibers 1 according to the present embodiment it is possible to precisely adjust the position around the axis between the two multi-core fibers 1. As a result, the cores included in the two multi-core fibers 1 can be accurately coupled.
  • FIG. 10 is a diagram for explaining a method of adjusting the position around the axis between the multi-core fibers 1 according to the modification.
  • FIG. 10 shows a state where the cores C 1 and C 3 are held at the same position along the x-axis direction.
  • the distance along the y-axis direction between the core C 1 and the core C 3 at this time is L12.
  • the P wave is irradiated from the light source 21a
  • the position along the y-axis direction of the core is within the range indicated by W21
  • an image of the core is formed on the imaging surface 25a.
  • the S-wave is irradiated from the light source 21a
  • the position along the y-axis direction of the core is within the range indicated by W22
  • an image of the core is formed on the imaging surface 25a.
  • the core C by the core C 3 is located within the range indicated by W21, when the core C 1 is positioned within the range indicated by W22, irradiating the P-wave
  • the image F 3a of the third image is formed on the image forming surface 25a, and the image F 1a of the core C 1 formed by irradiating the S wave is formed on the image forming surface 25a.
  • the images F 1a and F 3a are formed on the imaging surface 25a. I don't image. That is, while switching the light from the light source 21a to the P-wave and S-wave, by rotating the multi-core fiber 1 around the axis so that the image F 1a and F 3a is imaged on the imaging plane 25a, the multi-core fiber 1 It is possible to perform rough alignment around the axis.
  • an S wave is irradiated toward the protrusion 1c
  • the multi-core fiber 1 is translated in the x-axis direction and the y-axis direction
  • an image F 1a is formed on the image plane 25a.
  • irradiation with the P-wave toward the projecting portion 1c, while rotating the multi-core fiber 1 around the axis on the imaging surface 25a it is sufficient to form an image F 3a.
  • the multi-core fiber 1 is rotated around the axis so that the position of the image F 1a and the position of the image F 3a coincide on the image plane 25a.
  • the image F 1a and the image F 3a are connected to the same position on the image plane 25a.
  • Image That is, the cores C 1 and C 3 are held at the same position along the x-axis direction by rotating the multi-core fiber 1 around the axis so that the position of the image F 1a and the position of the image F 3a coincide. Is possible.
  • the multicore fiber 1 As described above, by adjusting the position along the axis of the multicore fiber 1, the multicore fiber 1 accompanying the widths of the ranges W21 and W22 in which the images F 1a and F 3a can be imaged on the imaging surface 25a. It is possible to correct an error related to the position around the axis.
  • the subsequent procedure is the same as that of the above-described embodiment. That is, the positions of the two multi-core fibers 1 in the x-axis direction and the y-axis direction may be adjusted, and the end faces 1b may be fused together by welding.
  • the multi-core fiber 1 is aligned around the axis based on whether or not the position of the image F 1a matches the position of the image F 3a. Can be done. Thereby, compared with the above-described embodiment, the process of measuring the distances L21 and L22 is not necessary, and the process related to the alignment around the axis can be simplified.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

 それぞれ複数のコアが2次元的に配列された、2つのマルチコアファイバの端面どうしを結合する結合方法であって、結像ステップと、回転ステップと、位置調整ステップと、融着工程とを備える。結像ステップでは、端面どうしを対向させ、2つのマルチコアファイバの側面に向けて光源から光を照射し、軸回りに沿って等間隔に並んだ3つのコアの像を結像面に結像させる。回転ステップでは、3つのコアの像が等間隔に並ぶように2つのマルチコアファイバを軸回りに回転させる。位置調整ステップでは、2つのマルチコアファイバにおける3つのコアの像のうち中心に位置する像がマルチコアファイバの軸方向に沿って直線状に並ぶように、2つのマルチコアファイバの位置を調整する。融着工程では、軸方向に相対的に移動させることで端面どうしを突き合わせ、コアどうしを融着させる。

Description

結合方法
 この発明は、光通信等に用いられる光学素子の結合方法に関する。
 スマートフォンやタブレット端末等の普及により、莫大な情報量を有するデータの通信が要求されている。それに伴い、光通信の更なる大容量化が望まれている。
 従来の光通信は、クラッド内に一つのコアが設けられたシングルコアファイバを用いて行われている。しかし、一つのシングルコアファイバで通信を行う場合には容量の限界があるため、それを超える容量のデータ通信を行うための手段が要求されている。
 これに関し、たとえば、一つのクラッド内に複数のコアが設けられた光ファイバであるマルチコアファイバを用いることができる(特許文献1、2参照)。マルチコアファイバは複数のコアを有するため、シングルコアファイバに比べ、大容量のデータ通信を行うことが可能となる。
 光通信においては、このようなマルチコアファイバを、たとえば、シングルコアファイバを複数本束ねたファイバ束や、レーザーダイオード等の発光素子、フォトダイオード等の受光素子と光学的に結合させて使用する場合がある。以下、マルチコアファイバ、ファイバ束、発光素子及び受光素子の全て或いは一部を「光学素子」という場合がある。
特開平10-104443号公報 特開平8-119656号公報 特表2009-522594号公報
 相対する2つのファイバの端面どうしを接合する場合には、各ファイバのコアどうしが結合されるように、ファイバ間の位置を調整する必要がある。従来のシングルコアファイバの場合には、各ファイバを平行移動させることで、このコア間の位置合わせを実現することが可能であった。
 しかしながら、マルチコアファイバの場合には、ファイバの軸回りの方向に複数のコアが配置されている。そのため、2つのファイバの端面どうしを接合する場合には、ファイバの軸回りの位置合わせについても考慮する必要がある。
 本発明の目的は、2つのマルチコアファイバの端面を接続する場合において、ファイバの軸回りの位置合わせを実現することにある。
 請求項1に記載の発明は、それぞれ複数のコアが2次元的に配列された、2つのマルチコアファイバの端面どうしを結合する結合方法であって、前記端面どうしを対向させ、前記2つのマルチコアファイバの側面に向けて光源から光を照射し、前記光により、前記マルチコアファイバの軸回りに沿って等間隔に並んだ3つの前記コアの像を所定の位置に配置された結像面に結像させる結像ステップと、前記3つのコアの像が等間隔に並ぶように前記2つのマルチコアファイバを軸回りに回転させる回転ステップと、前記2つのマルチコアファイバにおける前記3つのコアの像のうち中心に位置する像が、前記マルチコアファイバの軸方向に沿って直線状に並ぶように、前記2つのマルチコアファイバの位置を調整する位置調整ステップと、前記軸方向に相対的に移動させることで前記端面どうしを突き合わせ、前記コアどうしを融着させる融着工程と、を備えたことを特徴とする結合方法である。
 また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の結合方法であって、前記光源は、少なくとも互いに特性の異なる2つの光を切り替えて照射可能な光源であり、前記軸回りにおいて所定の向きに前記マルチコアファイバが配置された場合に、前記2つの光のうち一方の光により、前記中心に位置するコアの像が前記結像面上に結像し、他方の光により、前記中心に位置するコアとは異なる2つのコアの像が前記結像面上に結像するように、あらかじめ調整された光学系を、前記マルチコアファイバと前記結像面との間に介在させ、前記結像ステップにおいて、前記一方の光により、前記中心に位置するコアの像を前記結像面上に結像させ、前記他方の光により、前記中心に位置するコアとは異なる2つのコアの像を前記結像面上に結像させることで、前記マルチコアファイバの向きを前記所定の向きに調整することを特徴とする。
 また、請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載の結合方法であって、前記結像ステップにおいて、少なくとも異なる2つの方向から前記2つのマルチコアファイバの側面に光を照射し、少なくとも異なる2つの前記結像面それぞれに前記3つのコアの像を結像させ、前記位置調整ステップにおいて、前記2つの結像面それぞれについて、前記位置の調整を行うことを特徴とする。
 また、請求項4に記載の発明は、それぞれ中心コアの周りに他のコアが複数配列された、2つのマルチコアファイバの端面どうしを結合する結合方法であって、前記端面どうしを対向させ、前記マルチコアファイバの側面に向けて光源から光を照射し、前記光により前記中心コアの像と、いずれか1つの前記他のコアの像とを所定の位置に配置された結像面に結像させる結像ステップと、前記中心コアの像と前記他のコアの像とが重畳するように前記2つのマルチコアファイバを軸回りに回転させる回転ステップと、前記2つのマルチコアファイバにおける重畳した2つのコアの像が、前記マルチコアファイバの軸方向に沿って直線状に並ぶように、前記2つのマルチコアファイバの位置を調整する位置調整ステップと、前記軸方向に相対的に移動させることで前記端面どうしを突き合わせ、前記コアどうしを融着させる融着工程と、を備えたことを特徴とする結合方法である。
 また、請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の結合方法であって、前記光源は、少なくとも互いに特性の異なる2つの光を切り替えて照射可能な光源であって、前記軸回りにおいて所定の向きに前記マルチコアファイバが配置された場合に、前記2つの光のうち一方の光により、前記中心に位置するコアの像が前記結像面上に結像し、他方の光により、前記中心に位置するコアとは異なる2つのコアの像が前記結像面上に結像するように、あらかじめ調整された光学系を、前記マルチコアファイバと前記結像面との間に介在させ、前記結像ステップにおいて、前記一方の光により、前記中心コアの像を前記結像面上に結像させ、前記他方の光により、前記他のコアの像を前記結像面上に結像させることで、前記マルチコアファイバの向きを前記所定の向きに調整することを特徴とする。
 また、請求項6に記載の発明は、請求項4または請求項5に記載の結合方法であって、前記結像ステップにおいて、少なくとも異なる2つの方向から前記2つのマルチコアファイバの側面に光を照射し、少なくとも異なる2つの前記結像面それぞれに前記中心コアの像と前記他のコアの像とを結像させ、前記位置調整ステップにおいて、前記2つの結像面それぞれについて、前記位置の調整を行うことを特徴とする。
 この発明によると、2つのマルチコアファイバの端面を接続する場合において、ファイバの軸回りの位置合わせを実現することが可能となる。
マルチコアファイバの構成を示した概略的な斜視図である。 ファイバ結合装置の構成を示したブロック図である。 V溝ステージとマルチコアファイバとの位置関係を示した概略的な斜視図である。 z軸方向から見たV溝ステージとマルチコアファイバとの位置関係を示した概略的な側面図である。 x軸方向から見たV溝ステージとマルチコアファイバとの位置関係を示した概略的な正面図である。 x軸方向から見たマルチコアファイバの概略的な拡大正面図である。 ファイバ間の軸回りの位置を調整するための構成を示した概略図である。 実施形態に係るマルチコアファイバ間の軸回りの位置を調整する方法について説明するための図である。 焦点深度の変化について説明するための図である。 焦点深度の変化について説明するための図である。 焦点深度の変化について説明するための図である。 マルチコアファイバ間の軸回りの位置を調整する方法について説明するための図である。 マルチコアファイバ間のx軸方向及びy軸方向の位置合わせについて説明するための図である。 マルチコアファイバ間の結合に係る一連の処理を示したフローチャートである。 変形例に係るマルチコアファイバ間の軸回りの位置を調整する方法について説明するための図である。
[マルチコアファイバの構成]
 図1を参照して、マルチコアファイバ1の構成について説明する。マルチコアファイバ1は、一般に可撓性を有する長尺の円柱部材である。図1は、マルチコアファイバ1の斜視図である。図1では、マルチコアファイバ1の先端部分のみを示している。
 マルチコアファイバ1は、たとえば石英ガラスやプラスチック等、光の透過性が高い素材により形成されている。マルチコアファイバ1は、複数のコアC(k=1~n)と、クラッド2を含んで構成されている。
 コアCは、光源(図示なし)からの光を伝送する伝送路である。コアCはそれぞれ端面E(k=1~n)を有する。端面Eからは、光源(図示なし)で発せられた光が出射される。クラッド2よりも屈折率を高めるために、コアCは、たとえば石英ガラスに酸化ゲルマニウム(GeO)が添加された素材により形成されている。なお、図1では7つのコアC~Cを有する構成を示したが、コアCの数は少なくとも2つ以上であればよい。
 クラッド2は、複数のコアCを覆う部材である。クラッド2は、光源(図示なし)からの光をコアC内に閉じ込める役割を有する。クラッド2は端面2aを有する。コアCの端面E及びクラッド2の端面2aは同一面(マルチコアファイバ1の端面1b)を形成している。クラッド2の素材としては、コアCの素材よりも屈折率が低い素材が用いられる。たとえば、コアCの素材が石英ガラスと酸化ゲルマニウムからなる場合には、クラッド2の素材としては石英ガラスを用いる。このように、コアCの屈折率をクラッド2の屈折率よりも高くすることで、光源(図示なし)からの光をコアCとクラッド2の境界面で全反射させる。よって、コアC内に光を伝送させることができる。
 次に図2を参照しながら、マルチコアファイバ1の端面どうしを接合するための、本実施形態に係るファイバ結合装置の構成について説明する。図2は、ファイバ結合装置の構成を示したブロック図である。図2に示すように、本実施形態に係るファイバ結合装置は、V溝ステージ100と、駆動部110と、溶接部200と、光学系20a及び20bと、制御部500と、表示制御部510と、操作部521と、表示部522とを含んで構成される。光学系20aは、光源21aと、偏光シャッター22aと、複屈折板23aと、集光レンズ24aと、結像面25aとを含んで構成される。光学系20bは、光学系20aと同様の構成を成している。即ち、光学系20bは、光源21bと、偏光シャッター22bと、複屈折板23bと、集光レンズ24bと、結像面25bとを含んで構成される。
 V溝ステージ100は、マルチコアファイバ1を所定の位置に保持するための保持部材である。V溝ステージ100の構成と、V溝ステージ100とマルチコアファイバ1との位置関係について、図3A~図3Cを参照しながら説明する。図3Aは、V溝ステージ100とマルチコアファイバ1との位置関係を示した概略的な斜視図である。なお、以降では、マルチコアファイバ1の軸方向をz軸とする。また、マルチコアファイバ1の幅方向(即ち、V溝ステージ100の幅方向)をx軸方向とし、厚み方向をy軸方向とする。図3Bは、z軸方向から見たV溝ステージ100及びマルチコアファイバ1の側面図である。また、図3Cは、x軸方向から見たV溝ステージ100及びマルチコアファイバ1の正面図である。
 図3A~図3Cに示すように、V溝ステージ100は、z軸方向に沿ってV溝101が設けられている。マルチコアファイバ1は、V溝101上に載置されることにより、V溝ステージ100に保持される。図3Aに示すように、2つのV溝ステージ100は、それぞれに載置されたマルチコアファイバ1の端面1bどうしが対向するように配置される。また、図3A及び図3Cに示すように、各マルチコアファイバ1の端面1b側は、V溝ステージ100からz軸方向に沿って他方のマルチコアファイバ1側に向けて突出している。このマルチコアファイバ1の突出している部分を突出部1cと呼ぶ。
 駆動部110は、操作部521または制御部500からの指示に基づきV溝ステージ100の位置及び向きを移動させる。駆動部110は、平行移動機構と回転移動機構とを備えている。平行移動機構は、受けた指示に基づき、各V溝ステージ100を、x軸方向、y軸方向、及びz軸方向に沿って、それぞれ独立に平行移動させる。また、回転移動機構は、受けた指示に基づき、各V溝ステージ100を、xy平面上においてマルチコアファイバ1の軸を中心に、それぞれ独立に回転移動させる。
 ここで、図3Dを参照する。図3Dは、x軸方向から見たマルチコアファイバ1の概略的な拡大正面図である。図3Dに示すように、端面1bは、コアC~Cが端面1b上に露出するようにあらかじめ加工されている。2つのマルチコアファイバ1の各端面1b上に露出したコアC~Cどうしが、溶接部200により溶接されることで融着する。溶接部200については後述する。
 次に、図4を参照しながら、光学系20a及び20bの構成について、光学系20aを例に説明する。光学系20aは、光源21aと、偏光シャッター22aと、複屈折板23aと、集光レンズ24aと、結像面25aとを含んで構成される。y軸方向に沿って突出部1cを挟むように、光源21aと結像面25aとが配置されている。光源21aは、突出部1cに向けて光を照射する。
 光源21aと突出部1cとの間には、偏光シャッター22aが介在する。偏光シャッター22aは、制御部500からの制御に基づき、少なくとも異なる2つのモード(第1及び第2のモード)で動作する。偏光シャッター22aは、第1のモードで動作する場合と、第2のモードで動作する場合とで、光源21aからの光の成分のうちそれぞれ異なる成分のみを透過させ、他の成分を遮断するように構成されている。例えば、偏光シャッター22aは、第1のモードで動作する場合には、光源21aからの光のうちP波のみを透過させ、第2のモードで動作する場合には、S波のみを透過させる。以降では、偏光シャッター22aは、第1のモードで動作する場合にはP波のみを透過させ、第2のモードで動作する場合にはS波のみを透過させるものとして説明する。
 突出部1cと結像面25aとの間には、複屈折板23aと集光レンズ24aとが、突出部1cから結像面25aに向けて、この順序で配置されている。光源21aから照射された光は、突出部1c内をy軸方向に向けて透過する。このとき、マルチコアファイバ1中の、コアC~Cにより構成される部分と、クラッド2により構成される部分とは、それそれが異なる焦点位置に向けて光源21aからの光を集光させ、集光後は所定の発散角を持って発散させる。複屈折板23a及び集光レンズ24aは、コアC~Cのいずれかが所定の位置に保持されたときに、そのコアにより集光され、後に発散する光を、結像面25a上に集光させるように配置されている。これにより、このコアの像が結像面25a上に結像する。
 本実施形態に係るマルチコアファイバ1間の接合方法では、この結像面25a上に結像したコアの像を基に、マルチコアファイバ1間の軸回りの位置を調整する。このマルチコアファイバ1間の軸回りの位置調整の方法について、図5及び図6A~図6Cを参照しながら以下に具体的に説明する。図5は、マルチコアファイバ1間の軸回りの位置を調整する方法について説明するための図であり、コアC~Cを透過した光が複屈折板23a及び集光レンズ24aにより集光され、結像面25a上に集光される様子を示している。また、図6A~図6Cは、焦点深度の変化について説明するための図である。なお、図5及び図6A~図6Cでは、コアC~Cによる集光部分の光路を省略し、集光後の発散部分の光路のみを概略的に示している。
 まず、図6Aを参照する。図6Aは、突出部1c内のコアCと集光レンズ24aとの間に物質(例えば、複屈折板23a)が存在しない場合(または、その物質の屈折率が1の場合)を示している。y軸方向に沿ったコアCの位置をP11とするとき、コアCを透過して、所定の発散角でy軸方向に向けて進む光は、集光レンズ24aにより位置P21で集光し、コアCの像Fが位置P21に結像する。
 次に、図6Bを参照する。図6Bは、図6Aの状態を基準として、コアCと集光レンズ24aの間に所定の屈折率を有する複屈折板23aが介在する場合を示している。複屈折板23aの屈折率が1より大きい場合には、像Fは、コアCから見て位置P21よりもy軸方向に沿って遠い位置P22で結像する。
 次に、図6Cを参照する。図6Cは、図6Bの状態を基準として、像Fが位置P21で結像するように、コアCの位置を、集光レンズ24aから見て位置P11からさらにy軸方に沿って離間した位置P12にシフトさせた場合を示している。このとき、位置P11と位置P12との間の距離L31は、複屈折板23aの屈折率をn、複屈折板23aのy軸方向に沿った厚みをL32とした場合に、以下に示す数式[式1]により導かれる。
[式1]
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000001
 以上のことから、コアCと集光レンズ24aとの間に介在する物質(例えば、複屈折板23a)の屈折率に応じて、位置P21に像Fを結像させる場合の、コアCのy軸方向に沿った位置が異なる。即ち、この物質の屈折率が、図6Aに示すように1の場合には、P11上に保持されたコアCの像Fを位置P21に結像させる。また、この物質の屈折率が、図6Cに示すようにnの場合には、P12上に保持されたコアCの像Fを位置P21に結像させる。
 ここで、複屈折板23aについて説明する。複屈折板23aは、第1のモードで動作する場合に入射する光(即ち、P波)と、第2のモードで動作する場合に入射する光(即ち、S波)とで屈折率が異なる。そのため、例えば、図6Cの複屈折板23aとして、複屈折板23aを用いると、光源21aからP波を照射した場合と、S波を照射した場合とで、それぞれ異なる位置に保持されたコアCの像Fを、位置P21で結像させることが可能となる。P波に対する複屈折板23aの屈折率をnp、S波に対する複屈折板23aの屈折率をnsとする。光源21aからP波を照射した場合のシフト量L31をL31pとした場合には、L31pは、以下に示す数式[式2]により導かれる。
[式2]
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000002
 また、光源21aからS波を照射した場合のシフト量L31をL31sとした場合には、L31sは、以下に示す数式[式3]により導かれる。
[式3]
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000003
 L31pだけシフトした位置と、L31sだけシフトした位置との距離を、ΔL31=L31p-L31sとした場合には、ΔL31は、以下に示す数式[式4]により導かれる。
[式4]
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000004
 ここで、図5を参照する。図5では、突出部1c(即ち、マルチコアファイバ1)の軸回りに沿って隣接したコアC~コアCのうち、両端に位置するコアC及びCが、y軸方向に沿った同じ位置に保持されている状態を示している。このときのコアC及びCとコアCとの間のy軸方向に沿った距離をL11とする。
 図5に示すように、距離L11=ΔL31であり、かつ、結像面25aが、図6Cに示す位置P21に相当する位置となるように、複屈折板23a、集光レンズ24a、及び結像面25aが配置されている。これにより、光源21aからP波を照射したとき、コアのy軸方向に沿った位置がW11で示された範囲内の場合には、そのコアの像が結像面25a上に結像する。また、光源21aからS波を照射したとき、コアのy軸方向に沿った位置がW12で示された範囲内の場合には、そのコアの像が結像面25a上に結像する。即ち、図5に示すように、W11で示された範囲内にコアCが位置し、W12で示された範囲内にコアC及びCが位置する場合に、P波を照射することでコアCの像F3aが結像面25a上に結像し、S波を照射することでのコアC及びCの像F2a及びF4aが結像面25a上に結像する。
 また、コアC~Cが図5に示す状態からマルチコアファイバ1の軸回りに回転し、各コアの位置がW11またはW12で示された範囲外にずれると、結像面25a上に像F2a~F4aが結像しない。即ち、光源21aからの光をP波及びS波に切り替えながら、結像面25a上に像F2a~F4aが結像するようにマルチコアファイバ1を軸回りに回転させることで、マルチコアファイバ1の軸回りの大まかな位置合わせを行うことが可能となる。
 なお、結像面25a上に像F2a~F4aが結像可能な範囲W11及びW12には幅がある。そのため、結像面25a上に像F2a~F4aが結像の判断のみでは、コアC~Cの位置について、マルチコアファイバ1の軸回りの位置に誤差が生じる場合がある。そのため、本実施形態では、像F2a及びF3aの間の距離L21と、像F3a及びF4aの間の距離L22とを基に、この誤差を補正する。この誤差の補正方法について、図5及び図7を参照しながら以下に説明する。図7は、実施形態に係るマルチコアファイバ間の軸回りの位置を調整する方法について説明するための図である。
 まず、図5を参照する。コアC~Cはマルチコアファイバ1の軸回り沿って等間隔に並んでいる。即ち、コアC及びCの軸回りの間隔と、コアC及びCの軸回りの間隔とは等しい。このとき、図5に示すように、コアC及びCが、y軸方向に沿った同じ位置に保持されている場合に、コアCのx軸方向に沿った位置は、コアC及びCのx軸方向に沿った位置の中心となる。そのため、像F3aは、像F2a及び像F4aの中心に結像し、距離L21と距離L22とは等しくなる(L21=L22となる)。
 次に、図7を参照する。図7は、図5の状態を基準として、突出部1c(即ち、マルチコアファイバ1)が軸回りに沿って、コアCから見てコアC側に回転した状態を示している。図7において、コアC’、C’、及びC’は、それぞれ、回転後のコアC’、C’、及びC’を示している。また、像F2a’、F3a’、及びF4a’は、回転後の像F2a、F3a、及びF4aを示している。このとき、マルチコアファイバ1の回転によるコアCのx軸方向に沿った移動量は、コアC及びCのx軸方向に沿った移動量よりも大きい。そのため、図7に示すように、像F3a’は、像F2a’及びF4a’の中心よりもF2a’側に移動する。そのため、像F2a’及びF3a’の間の距離をL21’、像F3a’及びF4a’の間の距離をL22’とすると、L21’は、L22’よりも小さくなる(L21’<L22’となる)。同様にして、図5の状態を基準として、突出部1c(即ち、マルチコアファイバ1)を軸回りに沿って、コアCから見てコアC側に回転させると、像F3a’は、像F2a’及びF4a’の中心よりもF4a’側に移動する。即ち、L21’は、L22’よりも大きくなる(L21’=L22’となる)。以上のように、距離L21と距離L22とが等しくなるように(L21=L22となるように)、マルチコアファイバ1を軸回りに回転させることで、マルチコアファイバ1の軸回りの詳細な位置合わせを行うことが可能となる。
 結像面25aには、例えば、カメラや受光素子などのように、結像面25a上に到達した光(例えば、結像した像F2a~F4a)を検知可能な構成を用いる。結像面25aは、検知された光を示す情報を、例えば、画像情報として表示制御部510に出力する。表示制御部510は、この画像情報を表示部522に表示させる。これにより、操作者は、表示部522を確認しながら、像F2a~F4aが結像するように、操作部521を介して駆動部110を制御してマルチコアファイバ1の位置合わせを行うことが可能となる。また、結像面25aは画像情報を制御部500に出力するように動作させてもよい。この場合には、制御部500が、受けた画像情報に基づき、像F2a~F4aが結像し、かつL21=L22となるように、駆動部110を制御してマルチコアファイバ1の位置合わせを行うことが可能となる。
 光学系20bの構成は、光学系20aの構成と同様である。即ち、光学系20bにおける光源21b、偏光シャッター22b、複屈折板23b、集光レンズ24b、及び結像面25bが、光学系20aにおける光源21a、偏光シャッター22a、複屈折板23a、集光レンズ24a、及び結像面25aに対応している。また、光学系20bは、結像面25aに像F2a~F4aが結像する場合に、コアC~Cの組とは異なり、かつマルチコアファイバ1の軸回りに沿って等間隔に並んだ他の3つのコアの像が結像面25bに結像するように配置されている。例えば、図4では、光学系20aと光学系20bとでは、各光源からの光の光軸が120°ずれるように配置されている。この場合には、結像面25aに像F2a~F4aが結像する場合に、結像面25bには、コアC、C、及びCの像F2b、F7b、及びF6bが結像する。光学系20bについては、光源21bからの光が進行する方向をy’方向とし、z軸方向及びy’方向に直交する方向をx’方向とする。
 なお、上記では、光学系20a及び20bのそれぞれに光源及び偏光シャッターを設けていたが、例えば、図4に示すように、光学系20a及び20b間で共通の光源21c及び偏光シャッター22cを設けてもよい。この場合には、光源21cから照射された光により、結像面25a及び25bのそれぞれにコアの像が結像するように、光路を適宜調整すればよい。また、上記ではP波とS波を切り替える構成について説明したが、例えば、波長の違い等により、複屈折板23a及び23bについて互いに屈折率の異なる光であれば、上述した偏波に限定されない。この場合には、光学系20a及び20bの各構成を適宜変更すればよい。例えば、波長を切り替える場合には、偏光シャッター22a及び22bの構成を透過させる波長を切り替え可能な構成に置き換えればよい。また、上述した例では、マルチコアファイバ1の軸回りに沿って隣接する3つのコアの像を用いる例について説明したが、3つのコアが軸回りに沿って等間隔に並んでいれば、これらは必ずしも隣接している必要はない。
 本実施形態に係る結合方法では、端面1bが対向する2つのマルチコアファイバ1それぞれに対して、軸回りの位置を調整した後は、各マルチコアファイバ1のx軸方向の位置及びy軸方向の位置を調整する。この位置の調整方法について、図8を参照しながら説明する。図8は、マルチコアファイバ1間のx軸方向及びy軸方向の位置合わせについて説明するための図である。図8に示すように、2つのマルチコアファイバ1間の対応するコアの像どうしがz軸方向に沿って直線状に並ぶように、各マルチコアファイバ1をx軸方向及びy軸方向に沿って平行移動させる。
 例えば、図8の例では、結像面25aにおいて、一方のマルチコアファイバ1の像F2aと、他方のマルチコアファイバ1の像F2aとが対向し、z軸方向に沿って直線状に並んでいる。同様に、像F3aどうし、及び像F4aどうしが対向し、z軸方向に沿って直線状に並んでいる。これを、光学系20a及び20bの双方について同時に満たすように2つのマルチコアファイバ1を平行移動させる。即ち、結像面25bにおいて、2つのマルチコアファイバ1の像F2bどうし、像F6bどうし、及び像F7bどうしのそれぞれが対向し、z軸方向に沿って直線状に並ぶように、各マルチコアファイバ1をx軸方向及びy軸方向に平行移動させる。
 x軸方向及びy軸方向の位置合わせが完了したら、各マルチコアファイバ1をz軸方向に沿って移動させることで、端面1bどうしを接触させ、溶接部200により端面1bどうしを溶接することで融着させる。溶接部200の詳細については以下に説明する。
 溶接部200は、マルチコアファイバ1間を溶接するための構成である。溶接部200は、例えば、アーク溶接によりマルチコアファイバ1間を溶接する。この場合には、マルチコアファイバ1の側面を挟み込むように、対向する端面1bの近傍に1対の電極が配置される。溶接部200は、この電極間で電気放電を発生させ、端面1b近傍を加熱することで端面1b間を溶接することで融着させる。これにより、2つのマルチコアファイバ1の各端面1b上に露出したコアC~Cどうしが融着する。なお、マルチコアファイバ1間を溶接できれば、溶接部200による溶接方法は、アーク溶接に限られない。即ち、適用する溶接方法に応じて、溶接部200の構成を適宜切り替えれば良い。なお、以降では、溶接部200は、アーク溶接によりマルチコアファイバ1間を融着させるものとして説明する。
 制御部500は、光源21a及び21bと、偏光シャッター22a及び22bとの動作を制御する。具体的には、制御部500は、操作部521を介した操作者の指示に基づき、光源21a及び21bに光を照射させ、偏光シャッター22a及び22bのモードを切り替える。これにより、光源21a及び22bから突出部1cに向けて、動作するモードに応じてP波またはS波が照射される。
 また、制御部500は、結像面25a及び25bから画像情報を受けて、この画像情報に基づき駆動部110の動作を制御し、マルチコアファイバ1の位置合わせを行うように動作させてもよい。具体的には、制御部500は、各マルチコアファイバ1の位置を調整しながら、結像面25a及び25bのそれぞれから出力される画像情報に対して解析を施し、像F2a、F3a、及びF4aと、像F2b、F6b、及びF7bとを検出する。また、制御部500は、検出された各像の位置を算出し、算出された各像の位置を示す情報を基に駆動部110を制御し、前述した位置合わせの手順に従い、マルチコアファイバ1の位置合わせを行う。このように動作させることで、ファイバ結合装置に、マルチコアファイバ1間の位置合わせを自動で行わせることが可能となる。
 また、制御部500は、溶接部200の動作を制御する。具体的には、制御部500は、溶接部200に電力を供給することで、溶接部200の電極間に電圧を印加し放電現象を発生させる。これにより、端面1b間が溶接される。
 次に、マルチコアファイバ1間の結合に係る一連の処理の流れについて、図9を参照しながら説明する。図9は、マルチコアファイバ1間の結合に係る一連の処理を示したフローチャートである。
  (ステップS11)
 まず、2つのマルチコアファイバ1を、それぞれV溝ステージ100に設けられたV溝101上に載置することで、V溝ステージに保持する。なお、各マルチコアファイバ1の端面1b側は、V溝ステージ100からz軸方向に沿って突出している。この突出している部分を突出部1cと呼ぶ。
  (ステップS12)
 各V溝ステージ100にマルチコアファイバ1を保持したら、2つのマルチコアファイバ1の端面1bどうしが対向するように、各V溝ステージ100を配置する。
  (ステップS13)
 次に、光源21a及び21bのそれぞれから、突出部1cの側面に向けて光を照射させる。偏光シャッター22a及び22bのモードを切り替えながら、マルチコアファイバ1を軸回りに回転させながら、x軸方向及びy軸方向に平行移動させ、結像面25a及び25bのそれぞれに、軸回りに隣接する3つのコアの像を結像させる。このとき結像面25aには、P波が照射されている場合には、コアCの像F3aが結像し、S波が照射されている場合には、コアC及びCの像F2a及びF4aが結像する。また、結像面25bには、P波が照射されている場合には、コアCの像F7aが結像し、S波が照射されている場合には、コアC及びCの像F2b及びF7bが結像する。
  (ステップS14)
 次に、結像面25aにおいて、像F2a及びF3aの間の距離L21と、像F3a及びF4aの間の距離L22とが等しくなるように、各マルチコアファイバ1を軸回りに回転させる。このとき、結像面25bにおいても、同様に、像F2b及びF7bの間の距離と、像F7b及びF6bの間の距離とが等しくなるようにマルチコアファイバ1の位置を調整する。以上により、2つのマルチコアファイバ1間における軸回りの位置合わせが行われる。
  (ステップS15)
 次に、各マルチコアファイバ1のx軸方向の位置及びy軸方向の位置を調整する。具体的には、図8に示すように、2つのマルチコアファイバ1間の対応するコアの像どうしがz軸方向に沿って直線状に並ぶように、各マルチコアファイバ1をx軸方向及びy軸方向に沿って平行移動させる。
 例えば、図8の例では、結像面25aにおいて、一方のマルチコアファイバ1の像F2aと、他方のマルチコアファイバ1の像F2aとが対向し、z軸方向に沿って直線状に並んでいる。同様に、像F3aどうし、及び像F4aどうしが対向し、z軸方向に沿って直線状に並んでいる。これを、光学系20a及び20bの双方について同時に満たすように2つのマルチコアファイバ1を平行移動させる。即ち、結像面25bにおいて、2つのマルチコアファイバ1の像F2bどうし、像F6bどうし、及び像F7bどうしのそれぞれが対向し、z軸方向に沿って直線状に並ぶように、各マルチコアファイバ1をx軸方向及びy軸方向に平行移動させる。
  (ステップS16)
 x軸方向及びy軸方向の位置合わせが完了したら、各マルチコアファイバ1をz軸方向に沿って移動させることで、端面1bどうしを接触させ、溶接部200により端面1bどうしを溶接することで融着させる。
 以上のように、本実施形態に係るマルチコアファイバ1間の結合方法に依れば、2つのマルチコアファイバ1間で軸回りの精密な位置調整が可能となる。これにより、2つのマルチコアファイバ1に含まれるコアどうしを正確に結合することが可能となる。
 (変形例)
 次に、上記した実施形態の変形例について説明する。上記の実施例では、中心に位置するコアC以外の、軸回りに隣接するコア(例えば、コアC~C)の像(例えば、像F2a~F4a)を基に、軸回りの位置合わせを行っていた。変形例に係るマルチコアファイバ1間の結合方法では、中心に位置するコアCの像F1aと、中心以外に位置するコアC~Cのいずれか1つの像(例えば、像F3a)とを基に、軸回りの位置合わせを行う。変形例に係るマルチコアファイバ1間の結合方法について、軸回りの位置合わせに着目し、図10を参照しながら説明する。図10は、変形例に係るマルチコアファイバ1間の軸回りの位置を調整する方法について説明するための図である。
 図10の例では、コアCの像F1aとコアCの像F3aとに基づき、軸回りの位置を調整する場合について示している。図10では、コアC及びCがx軸方向に沿った同じ位置に保持されている状態を示している。このときの、コアCとコアCとのy軸方向に沿った距離をL12とする。
 複屈折板23a、集光レンズ24a、及び結像面25aは、図10に示すように、距離L12=ΔL31であり、かつ、結像面25aが、図6Cに示す位置P21に相当する位置となるように配置されている。これにより、光源21aからP波を照射したとき、コアのy軸方向に沿った位置がW21で示された範囲内の場合には、そのコアの像が結像面25a上に結像する。また、光源21aからS波を照射したとき、コアのy軸方向に沿った位置がW22で示された範囲内の場合には、そのコアの像が結像面25a上に結像する。即ち、図5に示すように、W21で示された範囲内にコアCが位置し、W22で示された範囲内にコアCが位置する場合に、P波を照射することでコアCの像F3aが結像面25a上に結像し、S波を照射することでのコアCの像F1aが結像面25a上に結像する。
 また、コアC及びCが図10に示す状態から移動し、各コアの位置がW11またはW12で示された範囲外にずれると、結像面25a上に像F1a及びF3aが結像しない。即ち、光源21aからの光をP波及びS波に切り替えながら、結像面25a上に像F1a及びF3aが結像するようにマルチコアファイバ1を軸回りに回転させることで、マルチコアファイバ1の軸回りの大まかな位置合わせを行うことが可能となる。具体的には、まず、突出部1cに向けてS波を照射し、マルチコアファイバ1をx軸方向及びy軸方向に平行移動させ、結像面25a上に像F1aを結像させる。その後、突出部1cに向けてP波を照射し、マルチコアファイバ1を軸回りに回転させながら結像面25a上に像F3aを結像させればよい。
 次に、結像面25a上において、像F1aの位置と像F3aの位置が一致するように、マルチコアファイバ1を軸回りに回転させる。図10に示すように、コアC及びCがx軸方向に沿った同じ位置に保持されている場合には、像F1aと像F3aとが結像面25a上の同じ位置に結像する。即ち、像F1aの位置と像F3aの位置が一致するように、マルチコアファイバ1を軸回りに回転させることで、コアC及びCをx軸方向に沿った同じ位置に保持することが可能となる。以上のように、マルチコアファイバ1の軸回りに沿った位置を調整することで、結像面25a上に像F1a及びF3aが結像可能な範囲W21及びW22の幅に伴う、マルチコアファイバ1の軸回りの位置に関する誤差を補正することが可能となる。
 なお、以降の手順については、前述した実施形態と同様である。即ち、2つのマルチコアファイバ1をx軸方向及びy軸方向の位置を調整し、端面1bどうしを溶接により融着させればよい。
 以上のように、変形例に係るマルチコアファイバ1間の結合方法に依れば、像F1aの位置と像F3aの位置が一致するか否かに基づきマルチコアファイバ1を軸回りの位置合わせを行うことが可能となる。これにより、上述した実施形態に比べて、距離L21及びL22の測定する処理が不要となり、軸回りの位置合わせに係る処理を簡略化することが可能となる。
 1 マルチコアファイバ
 1b 端面
 1c 突出部
 2 クラッド
 2a 端面
 20a、20b 光学系
 21a、21b、21c 光源
 22a、22b、22c 偏光シャッター
 23a、23b 複屈折板
 24a、24b 集光レンズ
 25a、25b 結像面
 100 V溝ステージ
 101 V溝
 110 駆動部
 200 溶接部
 500 制御部
 510 表示制御部
 521 操作部
 522 表示部

Claims (6)

  1.  それぞれ複数のコアが2次元的に配列された、2つのマルチコアファイバの端面どうしを結合する結合方法であって、
     前記端面どうしを対向させ、前記2つのマルチコアファイバの側面に向けて光源から光を照射し、前記光により、前記マルチコアファイバの軸回りに沿って等間隔に並んだ3つの前記コアの像を所定の位置に配置された結像面に結像させる結像ステップと、
     前記3つのコアの像が等間隔に並ぶように前記2つのマルチコアファイバを軸回りに回転させる回転ステップと、
     前記2つのマルチコアファイバにおける前記3つのコアの像のうち中心に位置する像が、前記マルチコアファイバの軸方向に沿って直線状に並ぶように、前記2つのマルチコアファイバの位置を調整する位置調整ステップと、
     前記軸方向に相対的に移動させることで前記端面どうしを突き合わせ、前記コアどうしを融着させる融着工程と、
     を備えたことを特徴とする結合方法。
  2.  前記光源は、少なくとも互いに特性の異なる2つの光を切り替えて照射可能な光源であって、
     前記軸回りにおいて所定の向きに前記マルチコアファイバが配置された場合に、前記2つの光のうち一方の光により、前記中心に位置するコアの像が前記結像面上に結像し、他方の光により、前記中心に位置するコアとは異なる2つのコアの像が前記結像面上に結像するように、あらかじめ調整された光学系を、前記マルチコアファイバと前記結像面との間に介在させ、
     前記結像ステップにおいて、前記一方の光により、前記中心に位置するコアの像を前記結像面上に結像させ、前記他方の光により、前記中心に位置するコアとは異なる2つのコアの像を前記結像面上に結像させることで、前記マルチコアファイバの向きを前記所定の向きに調整することを特徴とする請求項1に記載の結合方法。
  3.  前記結像ステップにおいて、少なくとも異なる2つの方向から前記2つのマルチコアファイバの側面に光を照射し、少なくとも異なる2つの前記結像面それぞれに前記3つのコアの像を結像させ、
     前記位置調整ステップにおいて、前記2つの結像面それぞれについて、前記位置の調整を行うことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の結合方法。
  4.  それぞれ中心コアの周りに他のコアが複数配列された、2つのマルチコアファイバの端面どうしを結合する結合方法であって、
     前記端面どうしを対向させ、前記マルチコアファイバの側面に向けて光源から光を照射し、前記光により前記中心コアの像と、いずれか1つの前記他のコアの像とを所定の位置に配置された結像面に結像させる結像ステップと、
     前記中心コアの像と前記他のコアの像とが重畳するように前記2つのマルチコアファイバを軸回りに回転させる回転ステップと、
     前記2つのマルチコアファイバにおける重畳した2つのコアの像が、前記マルチコアファイバの軸方向に沿って直線状に並ぶように、前記2つのマルチコアファイバの位置を調整する位置調整ステップと、
     前記軸方向に相対的に移動させることで前記端面どうしを突き合わせ、前記コアどうしを融着させる融着工程と、
     を備えたことを特徴とする結合方法。
  5.  前記光源は、少なくとも互いに特性の異なる2つの光を切り替えて照射可能な光源であって、
     前記軸回りにおいて所定の向きに前記マルチコアファイバが配置された場合に、前記2つの光のうち一方の光により、前記中心に位置するコアの像が前記結像面上に結像し、他方の光により、前記中心に位置するコアとは異なる2つのコアの像が前記結像面上に結像するように、あらかじめ調整された光学系を、前記マルチコアファイバと前記結像面との間に介在させ、
     前記結像ステップにおいて、前記一方の光により、前記中心コアの像を前記結像面上に結像させ、前記他方の光により、前記他のコアの像を前記結像面上に結像させることで、前記マルチコアファイバの向きを前記所定の向きに調整することを特徴とする請求項4に記載の結合方法。
  6.  前記結像ステップにおいて、少なくとも異なる2つの方向から前記2つのマルチコアファイバの側面に光を照射し、少なくとも異なる2つの前記結像面それぞれに前記中心コアの像と前記他のコアの像とを結像させ、
     前記位置調整ステップにおいて、前記2つの結像面それぞれについて、前記位置の調整を行うことを特徴とする請求項4または請求項5に記載の結合方法。
PCT/JP2012/076156 2011-10-21 2012-10-10 結合方法 WO2013058143A1 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011232091A JP2015004695A (ja) 2011-10-21 2011-10-21 結合方法
JP2011-232091 2011-10-21

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2013058143A1 true WO2013058143A1 (ja) 2013-04-25

Family

ID=48140791

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2012/076156 WO2013058143A1 (ja) 2011-10-21 2012-10-10 結合方法

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2015004695A (ja)
WO (1) WO2013058143A1 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015025629A1 (ja) * 2013-08-23 2015-02-26 株式会社フジクラ 光ファイバの調心装置、接続装置、調心方法、および接続方法
JP2015145989A (ja) * 2014-02-04 2015-08-13 住友電気工業株式会社 マルチコアファイバの調芯方法、コネクタの製造方法、及びリボンファイバの製造方法
WO2017217539A1 (ja) * 2016-06-17 2017-12-21 住友電気工業株式会社 結合型マルチコア光ファイバの軸合わせ方法
WO2020077921A1 (zh) * 2018-10-16 2020-04-23 成都理想境界科技有限公司 一种拼接式扫描成像设备及调整方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08506432A (ja) * 1993-11-29 1996-07-09 テレフオンアクチーボラゲツト エル エム エリクソン 光学的な軸非対称性を持つ光ファイバの間の角オフセットの決定とファイバの芯合わせおよび継ぎ合わせ
WO2010073821A1 (ja) * 2008-12-24 2010-07-01 古河電気工業株式会社 マルチコア光ファイバ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08506432A (ja) * 1993-11-29 1996-07-09 テレフオンアクチーボラゲツト エル エム エリクソン 光学的な軸非対称性を持つ光ファイバの間の角オフセットの決定とファイバの芯合わせおよび継ぎ合わせ
WO2010073821A1 (ja) * 2008-12-24 2010-07-01 古河電気工業株式会社 マルチコア光ファイバ

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
KAZUYUKI YOSHIDA ET AL.: "Fusion splicer for specialty optical fiber with advanced functions", FUJIKURA TECHNICAL JOURNAL, April 2011 (2011-04-01), pages 12 - 15, Retrieved from the Internet <URL:http://www.fujikura.co.jp/rd/gihou/backnumber/pages/_icsFiles/afieldfile/2011/08/22/120_R3.pdf> [retrieved on 20121025] *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015025629A1 (ja) * 2013-08-23 2015-02-26 株式会社フジクラ 光ファイバの調心装置、接続装置、調心方法、および接続方法
JP2015041078A (ja) * 2013-08-23 2015-03-02 株式会社フジクラ 光ファイバの調心装置、接続装置、調心方法、接続方法
US10025032B2 (en) 2013-08-23 2018-07-17 Fujikura Ltd. Alignment device, splicing device, aligning method, and splicing method for optical fibers
JP2015145989A (ja) * 2014-02-04 2015-08-13 住友電気工業株式会社 マルチコアファイバの調芯方法、コネクタの製造方法、及びリボンファイバの製造方法
WO2017217539A1 (ja) * 2016-06-17 2017-12-21 住友電気工業株式会社 結合型マルチコア光ファイバの軸合わせ方法
WO2020077921A1 (zh) * 2018-10-16 2020-04-23 成都理想境界科技有限公司 一种拼接式扫描成像设备及调整方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015004695A (ja) 2015-01-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9470842B2 (en) Laser processing apparatus capable of switching fiber core
WO2013058143A1 (ja) 結合方法
JP6647375B2 (ja) 光合波器の製造装置
JP2020112811A (ja) 多チャネル発光モジュールの製造方法、及び多チャネル発光モジュール
JP2010156842A (ja) 光変調器
JP2013054116A (ja) マルチコアファイバの結合方法
JP2013231937A (ja) 光学装置およびその製造方法
JP6025680B2 (ja) 集積型光モジュールの製造装置および製造方法
EP3508899A1 (en) Method of making an optical connector and such optical connector
JP6037974B2 (ja) 光送信機の製造方法
JP5998707B2 (ja) 光部品の光軸調整方法及び光軸調整装置
US11656410B2 (en) Optical fiber fusing and connecting machine and optical fiber fusing and connecting method
US10955618B2 (en) Fiber coupling device
JP2014018800A (ja) レーザ接合方法及びレーザ接合システム
EP3153902A1 (en) Lens device
JP2010261730A (ja) 光ファイバの観察方法および観察装置
JP6115259B2 (ja) 光学素子モジュール及びその光軸調整方法
JP2007178603A (ja) 光部品およびその製造方法
JP2008286948A (ja) 融着接続方法
KR102064838B1 (ko) 광섬유 융착접속기
JP3764446B2 (ja) 光伝送モジュールの接続方法および装置、および光導波路におけるコア位置検出方法
US9335486B2 (en) Method and apparatus for aligning a large diameter optical fiber
JP2012163765A (ja) 平面光波回路接続装置
JP2012027241A (ja) ファイバレーザ加工機に用いられるファイバ接続方法及びファイバ接続構造
JP2012211939A (ja) レーザ光照射装置、レーザ光照射モジュール調整装置、およびレーザ光照射モジュール調整方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 12842266

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 12842266

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP