WO2013016889A1 - 液晶显示器中玻璃基板的目视检查机及检查方法 - Google Patents

液晶显示器中玻璃基板的目视检查机及检查方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2013016889A1
WO2013016889A1 PCT/CN2011/079341 CN2011079341W WO2013016889A1 WO 2013016889 A1 WO2013016889 A1 WO 2013016889A1 CN 2011079341 W CN2011079341 W CN 2011079341W WO 2013016889 A1 WO2013016889 A1 WO 2013016889A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
slide rail
scale
glass substrate
length direction
emitter
Prior art date
Application number
PCT/CN2011/079341
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
WO2013016889A9 (zh
Inventor
吴若杉
Original Assignee
深圳市华星光电技术有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 深圳市华星光电技术有限公司 filed Critical 深圳市华星光电技术有限公司
Priority to US13/378,670 priority Critical patent/US8854616B2/en
Publication of WO2013016889A1 publication Critical patent/WO2013016889A1/zh
Publication of WO2013016889A9 publication Critical patent/WO2013016889A9/zh

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod

Definitions

  • the invention belongs to the technical field of liquid crystal display production, in particular to a visual inspection machine for a glass substrate in a liquid crystal display, and to a method for inspecting a glass substrate in a liquid crystal display.
  • Thin film field effect transistor Thin film field effect transistor
  • TFT Transistor
  • the detector In the prior art inspection abutment, the detector often obtains the coordinates of the glass substrate by visual inspection before inspecting the glass substrate.
  • the visual inspection machine includes an inspection base 100 including an inspection base body 101 to which a glass substrate to be inspected is fixed.
  • the visual inspection machine further includes two scale devices 102, which are disposed perpendicular to each other on both sides of the inspection base body 101. After the glass substrate to be inspected is placed on the inspection abutment main body 101, the examiner reads out the visual values of coordinates of a certain point on the glass substrate to be inspected by the scale devices 102 on both sides.
  • FIG. 2 wherein FIG. 2 is in the prior art.
  • a in Fig. 2 is a recessed area on the side of the visual inspection machine, that is, a blind spot.
  • An object of the present invention is to provide a visual inspection machine and inspection method for a glass substrate in a liquid crystal display In order to solve the technical problem in the prior art that the corresponding coordinates cannot be accurately read, and the blindness is present due to the presence of a blind zone.
  • the invention constructs a visual inspection machine for a glass substrate in a liquid crystal display, comprising an inspection base, the inspection base comprising an inspection base body, wherein the glass substrate to be inspected is fixed on the inspection base body,
  • the visual inspection machine further includes a first sliding rail and a third sliding rail, wherein the first sliding rail and the third sliding rail are disposed on at least two adjacent sides of the inspection base body, and the length of the sliding rail a direction parallel to a horizontal plane of the inspection base body, and longitudinal directions of the first slide rail and the third slide rail are perpendicular to each other;
  • the visual inspection machine further includes a coordinate reader including a first movable scale and a second movable scale, the first movable scale and the second movable scale being slidably coupled to the a first slide rail and a third slide rail, wherein the first movable scale and the second movable scale are used to alternately form an anchor point above a horizontal plane of the inspection base body, and the detector reads the The coordinates of the positioning point acquire the corresponding coordinates of the glass substrate to be inspected;
  • the longitudinal direction of the first movable scale is perpendicular to the longitudinal direction of the first slide rail; the longitudinal direction of the second movable scale is perpendicular to the longitudinal direction of the third slide rail;
  • the coordinate reader further includes a first scale and a second scale; wherein a length direction of the first scale is parallel to a length direction of the first rail; the second scale The length direction is parallel to the length direction of the second slide rail.
  • the slide rail further includes a second slide rail and a fourth slide rail.
  • the length direction of the second slide rail is parallel to the length direction of the first slide rail, and the first slide rail and the second slide rail are separated from opposite sides of the inspection base body.
  • the first movable ruler is slidably coupled to the first slide rail and the second slide rail;
  • the length direction of the fourth slide rail is parallel to the length direction of the third slide rail, and the fourth slide rail and the third slide rail are separated from opposite sides of the inspection base body, the first Two movable rulers slidably connect the third slide rail and the fourth slide rail.
  • the coordinate reader further includes a first emitter, a second emitter;
  • the first emitter is slidably coupled to the first slide rail, and the first scale is disposed corresponding to the first emitter;
  • the second emitter is slidably coupled to the second rail, and the second scale is disposed corresponding to the second emitter.
  • the first emitter and the second emitter are both laser pointers.
  • the present invention constructs a visual inspection machine for a glass substrate in a liquid crystal display, comprising an inspection base, the inspection base comprising an inspection base body, and a glass substrate to be inspected is fixed on the inspection base body,
  • the visual inspection machine further includes at least two slide rails disposed on at least adjacent sides of the inspection base body, the length direction of the slide rails being parallel to a horizontal plane of the inspection base body, and The lengths of the adjacent rails on both sides are perpendicular to each other;
  • the visual inspection machine further includes a coordinate reader, the coordinate reader is slidably connected to the slide rail, and the coordinate reader is configured to interactively form an positioning point above the horizontal plane of the inspection base body, and detecting The coordinates of the glass substrate to be inspected are obtained by reading the coordinates of the positioning point.
  • the slide rail includes a first slide rail and a third slide rail; and the coordinate reader includes a first movable scale and a second movable scale.
  • the first movable scale is slidably coupled to the first slide rail, and a length direction of the first movable scale is perpendicular to a length direction of the first slide rail;
  • the second movable scale is slidably coupled to the third slide rail, and a length direction of the second movable scale is perpendicular to a length direction of the third slide rail.
  • the slide rail further includes a second slide rail and a fourth slide rail.
  • the first movable ruler is slidably coupled to the first slide rail and the second slide rail;
  • the length direction of the fourth slide rail is parallel to the length direction of the third slide rail, and the fourth slide rail and the third slide rail are separated from opposite sides of the inspection base body; Two movable rulers slidably connect the third slide rail and the fourth slide rail.
  • the slide rail includes a fifth slide rail and a sixth slide rail;
  • the coordinate reader includes a first emitter, a second emitter, and a first a scale and a second scale;
  • the first emitter is slidably coupled to the fifth rail, the first scale is disposed corresponding to the first emitter, and a length direction of the first scale is parallel to the fifth The length direction of the slide rail;
  • the second emitter is slidably coupled to the sixth slide rail, the second scale is disposed corresponding to the second emitter, and a length direction of the second scale is parallel to a length of the sixth rail direction.
  • the first emitter and the second emitter are both laser pointers.
  • the invention constructs a method for inspecting a glass substrate in a liquid crystal display, the method comprising the following steps:
  • slide rails are disposed on at least two adjacent sides of the inspection base body, the longitudinal direction of the slide rails is parallel to the horizontal plane of the inspection base body, and the lengths of the adjacent two sides of the slide rails The directions are perpendicular to each other; the coordinate reader is slidably coupled to the slide rail.
  • the step of reading the corresponding coordinates by the coordinate reader disposed on the slide rail specifically includes:
  • the longitudinal direction of the first movable scale is perpendicular to the longitudinal direction of the first slide rail; the longitudinal direction of the second movable scale is perpendicular to the longitudinal direction of the third slide rail.
  • the step of reading the corresponding coordinates by the coordinate reader disposed on the slide rail further includes:
  • the length direction of the second slide rail is parallel to the length direction of the first slide rail, and the first slide rail and the second slide rail are separated from opposite sides of the inspection base body;
  • the length direction of the fourth slide rail is parallel to the length direction of the third slide rail, and the fourth slide rail and the third slide rail are separated from opposite sides of the inspection base body.
  • the step of reading the corresponding coordinates by the coordinate reader disposed on the slide rail specifically includes:
  • the length direction of the first scale is parallel to the length direction of the fifth slide rail and corresponds to the first emitter; the length direction of the second scale is parallel to the sixth slide rail The length direction and corresponds to the second emitter.
  • the first emitter and the second emitter are both laser pointers.
  • the invention eliminates the technical problem that it is difficult to accurately read the corresponding coordinates when inspecting the glass substrate of the liquid crystal display, effectively eliminating the blind zone during the inspection process, and improving the accuracy of the glass substrate inspection. rate.
  • FIG. 1 is a structural view of a visual inspection machine in the prior art
  • FIG. 2 is a side structural view of a visual inspection machine in the prior art
  • FIG. 3 is a structural view showing a first preferred embodiment of a visual inspection machine for a glass substrate in a liquid crystal display according to the present invention
  • FIG. 4 is a structural view showing a second preferred embodiment of a visual inspection machine for a glass substrate in a liquid crystal display according to the present invention.
  • FIG. 5 is a flow chart showing a first preferred embodiment of a method for inspecting a glass substrate in a liquid crystal display according to the present invention
  • Figure 6 is a flow chart showing a second preferred embodiment of the method for inspecting a glass substrate in a liquid crystal display according to the present invention.
  • Fig. 3 is a structural view showing a first preferred embodiment of a visual inspection machine for a glass substrate in a liquid crystal display of the present invention.
  • the visual inspection machine includes an inspection base 100 that includes an inspection abutment body 101.
  • the visual inspection machine further includes a slide rail and a coordinate reader (not shown).
  • the coordinate reader comprises a movable scale 301 extending along the lateral direction B1 and a movable scale 302 extending along the longitudinal direction B2.
  • the slide rail comprises a slide rail 303 and a slide rail 304 extending in the longitudinal direction B2, and a slide rail 305 and a slide rail 306 extending along the lateral direction B1.
  • the movable scale 301 is slidably coupled to the slide rail 303 and the slide rail 304, and the movable scale 302 is slidably coupled to the slide rail 305 and the slide rail 306.
  • the mobile scale 301 can only be slidably connected to the slide rail 303, and the mobile scale 302 is only slidably connected to the slide rail 305. Since the principle is similar, it will not be described again.
  • the longitudinal direction of the movable scale 301 is perpendicular to the longitudinal direction of the slide rail 303 and the slide rail 304; the longitudinal direction of the movable scale 302 is perpendicular to the slide rail 305 and the slide rail 306.
  • the length direction, and the length direction of the slide rail 303 and the slide rail 304, and the longitudinal direction of the slide rail 305 and the slide rail 306 are both parallel to the horizontal plane of the inspection base body 101.
  • the direction in which the movable scale 301 extends along the slide rail 303 and the slide rail 304, that is, the longitudinal direction B2 is controlled. While sliding, the movable scale 302 is controlled to slide along the extending direction of the slide rail 305 and the slide rail 306, that is, the lateral direction B1. After the movable scale 301 and the movable scale 302 are slid to a certain position, the movable scale 301 and the movable scale 302 are moved.
  • An positioning point D is formed alternately above the horizontal plane of the inspection abutment main body 101, and the detector reads the coordinates of the positioning point D through the scales on the movable scale 301 and the movable scale 302, and the coordinates of the positioning point D are to be inspected. Corresponding coordinates on the liquid crystal panel, it is apparent that this embodiment achieves accurate positioning of the liquid crystal panel to be inspected.
  • the slide rail since the slide rail is in close proximity to the inspection base main body 101 and is disposed on at least adjacent sides of the inspection base main body 101, it can be taken and placed in the inspection.
  • the coordinates of any position of the glass substrate to be inspected on the base body 101 avoid the problem of inspection errors due to the presence of the read dead zone in FIG. 2, and the accuracy of the read result is ensured.
  • FIG. 4 is a structural diagram of a second preferred embodiment of a visual inspection machine for a glass substrate in a liquid crystal display according to the present invention.
  • the visual inspection machine includes an inspection base 100 that includes an inspection abutment body 101.
  • the slide rail includes a slide rail 403 extending in the lateral direction C1 and a longitudinal direction C2.
  • An extended slide 404, the coordinate reader includes a transmitter 401, a transmitter 402, a scale 405, and a scale 406.
  • the emitter 401 is slidably disposed on the slide rail 403 and corresponds to the scale 405; the emitter 402 is slidably disposed on the slide rail 404 and corresponds to the scale 406.
  • the length direction of the scale 405 is parallel to the longitudinal direction of the slide rail 403; the length direction of the scale 406 is parallel to the longitudinal direction of the slide rail 404, and the length of the slide rail 403 Both the direction and the length direction of the slide rail 404 are parallel to the horizontal plane of the inspection base body 101.
  • the control emitter 401 is slid along the extending direction of the slide rail 403, that is, the lateral direction C1, while controlling the emission.
  • the slider 402 slides along the extending direction of the slide rail, that is, the longitudinal direction C2.
  • the light of the emitter 401 and the emitter 402 alternately form an anchor point E, and the detector passes the emitter 401.
  • the scale of the scale 405 corresponding to the light ray and the scale of the scale 406 corresponding to the light of the emitter 402 read the coordinates of the positioning point E.
  • the coordinates of the positioning point E are the corresponding coordinates on the liquid crystal panel to be inspected. Obviously, this The embodiment achieves accurate positioning of the liquid crystal panel to be inspected.
  • the scale since the slide rail and the scale are close to the inspection base main body 101, and the slide rails are disposed on the adjacent sides of the inspection base main body 101, the scale Correspondingly, it is disposed on the other two sides, so that the coordinates of any position of the glass substrate to be inspected placed on the inspection abutment main body 101 can be acquired, and the problem of measurement error due to the presence of the read dead zone in FIG. 2 is avoided.
  • FIG. 5 shows a flow of a first preferred embodiment of a method for inspecting a glass substrate in a liquid crystal display of the present invention.
  • step S501 the glass substrate to be inspected is fixed on the inspection base body 101.
  • step S502 the first mobile scale is controlled to slide along the first slide rail and the second slide rail, while controlling the second mobile scale slide along the third slide rail and the fourth slide rail.
  • the first mobile scale can be controlled to slide only along the first slide rail, and the second mobile scale can be controlled to slide only along the third slide rail. Since the principle is similar, it will not be repeated here.
  • the longitudinal direction of the first movable scale is perpendicular to the longitudinal direction of the first slide rail; the longitudinal direction of the second movable scale is perpendicular to the longitudinal direction of the third slide rail.
  • the length direction of the second slide rail is parallel to the length direction of the first slide rail, and the first slide rail and the second slide rail are separated from opposite sides of the inspection base body;
  • the length direction of the fourth slide rail is parallel to the length direction of the third slide rail, and the fourth slide rail and the third slide rail are separated from opposite sides of the inspection base body.
  • step S503 after the first moving scale and the second moving scale are slid to a certain position, the corresponding coordinates are read by the scales on the first moving scale and the second movable scale.
  • step S504 the glass substrate to be inspected is processed according to the read coordinates and the inspection standard of the glass substrate.
  • the inspection standard of the glass substrate in the present invention is the cutting standard of the glass substrate by the manufacturer, or the size specification of the glass substrate after the cutting, and the like, and will not be described herein.
  • the detector can accurately read the coordinates of a point on the glass substrate to be inspected through the coordinate reader, thereby avoiding the existing In the technology, the problem of low accuracy caused by obtaining coordinates is estimated.
  • Fig. 6 is a view showing the flow of a second preferred embodiment of the inspection method of the glass substrate in the liquid crystal display of the present invention.
  • step S601 the glass substrate to be inspected is fixed on the inspection base body.
  • step S602 the first transmitter is controlled to slide along the fifth sliding rail while controlling the second transmitter to slide along the sixth sliding rail.
  • step S603 after the first emitter and the second emitter slide to a certain position, the scale of the first scale corresponding to the light passing through the first emitter and the second scale corresponding to the light of the second emitter The scale of the ruler reads the corresponding coordinates.
  • step S604 the glass substrate to be inspected is processed according to the read coordinates and the inspection standard of the glass substrate.
  • the length direction of the first scale is parallel to the length direction of the fifth slide rail and corresponds to the first emitter; the length direction of the second scale is parallel to the sixth slide rail The length direction and corresponds to the second emitter.
  • the first emitter and the second emitter are both laser pointers, and of course other instruments capable of emitting light, which are not enumerated here.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

一种液晶显示器中玻璃基板的目视检查机，包括检查基台（100）以及至少两个滑轨（303-306），待检查的玻璃基板固定在检查基台主体（101）上，所述滑轨（303-306）设置于所述检查基台主体（101）至少相邻的两侧，所述滑轨（303-306）的长度方向平等于所述检查基台主体（101）的水平面方向，且相邻两侧滑轨（303-306）的长度方向相互垂直；坐标读取器，滑动连接到所述滑轨（303-306），所述坐标读取器用于在所述检查基台主体（101）的水平面上方交互形成一定位点，检测者通过读取所述定位点的坐标获取待检查玻璃基板相应的坐标。还提供了一种液晶显示器中玻璃基板的检查方法。

Description

液晶显示器中玻璃基板的目视检查机及检查方法 技术领域
本发明属于液晶显示器生产技术领域，特别是涉及一种液晶显示器中玻璃基板的目视检查机，还涉及一种液晶显示器中玻璃基板的检查方法。
 背景技术
液晶显示技术的不断发展，对液晶显示器的生产提出了很高的要求。
以薄膜场效应晶体管(Thin Film Transistor，TFT)的显示器为例，随着TFT显示屏幕的尺寸越来越大，大规格的玻璃基板也开始被广泛的应用。
现有技术中的检查基台，在对玻璃基板进行检查之前，检测者往往是通过目测的方式获取玻璃基板的坐标。
请参阅图1，所述目视检查机包括检查基台100，所述检查基台100包括检查基台主体101，待检查的玻璃基板固定于检查基台主体101上。所述目视检查机还包括两刻度器件102，所述两刻度器件102相互垂直设于检查基台主体101两侧。在将待检查的玻璃基板放置到检查基台主体101上后，检测者通过两侧的刻度器件102读出待检查的玻璃基板上某一点坐标的目测值。
现有的液晶显示器中玻璃基板的检查方式存在以下缺点：
1）、不同检查者有不同的读取结果；
2）、由于待检查玻璃基板的坐标无法精准，使得实际读取的坐标值往往与真实的坐标值之间有极大的误差，最大可达50mm。
3）、由于读取的玻璃基板的坐标资料不准确，很容易产生错误的源信息，而且一旦出现需要进行特殊检查的斜角时，只能利用光折射才能测量出，影响异常问题的解析效率；
4）、由于现有的检查仪器的倍率较大，使得视野减小，一般视野最大约5mm，经常导致无法准确检查玻璃基板上的盲区，请参阅图2，其中，图2为现有技术中目视检查机侧边。图2中的a为目视检查机侧边上的凹陷区，即为盲区。
综上，由于玻璃基板的尺寸、检查距离以及检查斜角等因素，使得在对待检查的玻璃基板进行检查时，难以准确的读取相应的坐标，而且由于存在视野上的盲区，导致检查结果错误。
 技术问题
本发明的一个目的在于提供一种液晶显示器中玻璃基板的目视检查机与检查方法 ，以解决现有技术中由于不能准确的读取相应的坐标，且由于存在盲区，导致检查结果错误的技术问题。
 技术解决方案
本发明构造了一种液晶显示器中玻璃基板的目视检查机，包括检查基台，所述检查基台包括检查基台主体，待检查的玻璃基板固定在所述检查基台主体上，
所述目视检查机还包括第一滑轨和第三滑轨，所述第一滑轨和第三滑轨设置于所述检查基台主体至少相邻的两侧，所述滑轨的长度方向平行于所述检查基台主体的水平面，且所述第一滑轨和第三滑轨的长度方向相互垂直；
所述目视检查机还包括坐标读取器，所述坐标读取器包括第一移动式标尺和第二移动式标尺，所述第一移动式标尺和第二移动式标尺分别滑动连接所述第一滑轨和所述第三滑轨，所述第一移动式标尺和第二移动式标尺用于在所述检查基台主体的水平面上方交互形成一定位点，检测者通过读取所述定位点的坐标获取待检查的玻璃基板相应的坐标；
其中，所述第一移动式标尺的长度方向垂直于所述第一滑轨的长度方向；所述第二移动式标尺的长度方向垂直于所述第三滑轨的长度方向；
所述坐标读取器还包括第一刻度尺以及第二刻度尺；其中，且所述第一刻度尺的长度方向平行于所述第一滑轨的长度方向；所述第二刻度尺的长度方向平行于所述第二滑轨的长度方向。
在本发明的液晶显示器中玻璃基板的目视检查机中，所述滑轨还包括第二滑轨和第四滑轨，
其中，所述第二滑轨的长度方向平行于所述第一滑轨的长度方向，且所述第一滑轨和所述第二滑轨分居所述检查基台主体的相对两侧，所述第一移动式标尺滑动连接所述第一滑轨和第二滑轨；
所述第四滑轨的长度方向平行于所述第三滑轨的长度方向，且所述第四滑轨和所述第三滑轨分居所述检查基台主体的相对两侧，所述第二移动式标尺滑动连接所述第三滑轨和第四滑轨。
在本发明的液晶显示器中玻璃基板的目视检查机中，所述坐标读取器还包括第一发射器，第二发射器；
其中，所述第一发射器滑动连接所述第一滑轨，所述第一刻度尺对应所述第一发射器设置；
所述第二发射器滑动连接所述第二滑轨，所述第二刻度尺对应所述第二发射器设置。
在本发明的液晶显示器中玻璃基板的目视检查机中，所述第一发射器和第二发射器均为激光笔。
本发明构造了一种液晶显示器中玻璃基板的目视检查机，包括检查基台，所述检查基台包括检查基台主体，待检查的玻璃基板固定在所述检查基台主体上，所述目视检查机还包括至少两个滑轨，所述滑轨设置于所述检查基台主体至少相邻的两侧，所述滑轨的长度方向平行于所述检查基台主体的水平面，且相邻的两侧的滑轨的长度方向相互垂直；
所述目视检查机还包括坐标读取器，所述坐标读取器滑动连接所述滑轨，所述坐标读取器用于在所述检查基台主体的水平面上方交互形成一定位点，检测者通过读取所述定位点的坐标获取待检查的玻璃基板相应的坐标。
在本发明的液晶显示器中玻璃基板的目视检查机中，所述滑轨包括第一滑轨和第三滑轨；所述坐标读取器包括第一移动式标尺和第二移动式标尺，
所述第一移动式标尺滑动连接所述第一滑轨，且所述第一移动式标尺的长度方向垂直于所述第一滑轨的长度方向；
所述第二移动式标尺滑动连接所述第三滑轨，且所述第二移动式标尺的长度方向垂直于所述第三滑轨的长度方向。
在本发明的液晶显示器中玻璃基板的目视检查机中，所述滑轨还包括第二滑轨和第四滑轨，
其中，所述第二滑轨的长度方向平行于所述第一滑轨的长度方向，且所述第一滑轨和所述第二滑轨分居所述检查基台主体的相对两侧；所述第一移动式标尺滑动连接所述第一滑轨和第二滑轨；
所述第四滑轨的长度方向平行于所述第三滑轨的长度方向，且所述第四滑轨和所述第三滑轨分居所述检查基台主体的相对两侧；所述第二移动式标尺滑动连接所述第三滑轨和第四滑轨。
在本发明的液晶显示器中玻璃基板的目视检查机中，所述滑轨包括第五滑轨和第六滑轨；所述坐标读取器包括第一发射器，第二发射器，第一刻度尺以及第二刻度尺；
其中，所述第一发射器滑动连接所述第五滑轨，所述第一刻度尺对应所述第一发射器设置，且所述第一刻度尺的长度方向平行于所述第五滑轨的长度方向；
所述第二发射器滑动连接所述第六滑轨，所述第二刻度尺对应所述第二发射器设置，且所述第二刻度尺的长度方向平行于所述第六滑轨的长度方向。
在本发明的液晶显示器中玻璃基板的目视检查机中，所述第一发射器和第二发射器均为激光笔。
本发明构造了一种液晶显示器中玻璃基板的检查方法，所述方法包括以下步骤：
将待检查的玻璃基板固定在检查基台主体上；
通过设置在滑轨上的坐标读取器读取相应的坐标；
将读取的坐标与玻璃基板的检查标准进行对比，判断所述待检查的玻璃是否符合玻璃基板的检查标准；
其中，所述滑轨设置于所述检查基台主体至少相邻的两侧，所述滑轨的长度方向平行于所述检查基台主体的水平面，且相邻的两侧的滑轨的长度方向相互垂直；所述坐标读取器滑动连接所述滑轨。
在本发明的液晶显示器中玻璃基板的检查方法中，所述通过设置在滑轨上的坐标读取器读取相应的坐标的步骤具体包括：
控制第一移动式标尺沿第一滑轨滑动；
控制第二移动式标尺沿第三滑轨滑动；
根据所述第一移动式标尺和所述第二移动式标尺读取相应的坐标；
其中，所述第一移动式标尺的长度方向垂直于所述第一滑轨的长度方向；所述第二移动式标尺的长度方向垂直于所述第三滑轨的长度方向。
在本发明的液晶显示器中玻璃基板的检查方法中，所述通过设置在滑轨上的坐标读取器读取相应的坐标的步骤还包括；
控制所述第一移动式标尺同时沿所述第一滑轨和第二滑轨滑动；
控制所述第二移动式标尺沿所述第三滑轨和第四滑轨滑动；
根据所述第一移动式标尺和所述第二移动式标尺读取相应的坐标；
其中，所述第二滑轨的长度方向平行于所述第一滑轨的长度方向，且所述第一滑轨和所述第二滑轨分居所述检查基台主体的相对两侧；所述第四滑轨的长度方向平行于所述第三滑轨的长度方向，且所述第四滑轨和所述第三滑轨分居所述检查基台主体的相对两侧。
在本发明的液晶显示器中玻璃基板的检查方法中，所述通过设置在滑轨上的坐标读取器读取相应的坐标的步骤具体包括：
控制第一发射器沿第五滑轨滑动；
控制第二发射器沿第六滑轨滑动；
根据第一发射器的光线对应的第一刻度尺的刻度以及第二发射器的光线对应的第二刻度尺的刻度读取相应的坐标；
其中，所述第一刻度尺的长度方向平行于所述第五滑轨的长度方向，且对应所述第一发射器；所述第二刻度尺的长度方向平行于所述第六滑轨的长度方向，且对应所述第二发射器。
在本发明的液晶显示器中玻璃基板的检查方法中，所述第一发射器和第二发射器均为激光笔。
 有益效果
本发明相对于现有技术，消除了在对液晶显示器的玻璃基板进行检查时，难以准确的读取相应的坐标的技术问题，有效地消除了检查过程中的盲区，提高了玻璃基板检查的准确率。
附图说明
图1为现有技术中目视检查机的结构图；
图2为现有技术中目视检查机的侧边结构图；
图3为本发明中液晶显示器中玻璃基板的目视检查机的第一较佳实施例的结构图；
图4为本发明中液晶显示器中玻璃基板的目视检查机的第二较佳实施例的结构图；
图5为本发明中液晶显示器中玻璃基板的检查方法的第一较佳实施例的流程图；
图6为本发明中液晶显示器中玻璃基板的检查方法的第二较佳实施例的流程图。
 本发明的最佳实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。
图3为本发明中液晶显示器中玻璃基板的目视检查机的第一较佳实施例的结构图。
在图3所示的第一较佳实施例中，所述目视检查机包括检查基台100，检查基台100包括检查基台主体101。
请参阅图3，所述目视检查机还包括滑轨和坐标读取器（图未标）。其中，所述坐标读取器包括沿横向B1延伸的移动式标尺301以及沿纵向B2延伸的移动式标尺302。对应的，所述滑轨包括沿纵向B2延伸的滑轨303和滑轨304，以及沿横向B1延伸的滑轨305和滑轨306。
其中，移动式标尺301滑动连接滑轨303和滑轨304，移动式标尺302滑动连接滑轨305和滑轨306。
在具体实施过程中，还可以将移动式标尺301仅滑动连接滑轨303，移动式标尺302仅滑动连接滑轨305，由于原理类似，不再一一赘述。
在图3所示的第一较佳实施例中，移动式标尺301的长度方向垂直于滑轨303和滑轨304的长度方向；移动式标尺302的长度方向垂直于滑轨305和滑轨306的长度方向，且滑轨303和滑轨304的长度方向，以及滑轨305和滑轨306的长度方向均平行于检查基台主体101的水平面。
在图3所示的第一较佳实施例中，在将待检查的玻璃基板放置到检查基台主体101上后，控制移动式标尺301沿滑轨303和滑轨304的延伸方向即纵向B2滑动，同时控制移动式标尺302沿滑轨305和滑轨306的延伸方向即横向B1滑动，在移动式标尺301和移动式标尺302滑动到某一位置后，移动式标尺301和移动式标尺302在所述检查基台主体101的水平面上方交互形成一定位点D，检测者通过移动式标尺301和移动式标尺302上的刻度读取定位点D的坐标，定位点D的坐标即为待检查的液晶面板上相应的坐标，显然，本实施例实现了对待检查的液晶面板的准确定位。
而且，在图3所示的第一较佳实施例中，由于滑轨贴近所述检查基台主体101，且设置于检查基台主体101的至少相邻的两侧，因此可以获取放置在检查基台主体101上待检查的玻璃基板的任一位置的坐标，避免了由于存在图2中的读取盲区造成的检查错误的问题，保证了读取结果的准确性。
请参阅图4，图4为本发明中液晶显示器中玻璃基板的目视检查机的第二较佳实施例的结构图。
在图4所示的第二较佳实施例中，所述目视检查机包括检查基台100，检查基台100包括检查基台主体101。
其中，相对于图3所示的第一较佳实施例，在图4所示的第二较佳实施例中，所述滑轨包括沿横向C1延伸的滑轨403和沿纵向C2 延伸的滑轨404，所述坐标读取器包括发射器401，发射器402，刻度尺405以及刻度尺406。
请参阅图4，发射器401滑动设置在滑轨403上，并与刻度尺405对应；发射器402滑动设置在滑轨404上，并与刻度尺406对应。
在图4所示的第二较佳实施例中，刻度尺405的长度方向平行于滑轨403的长度方向；刻度尺406的长度方向平行于滑轨404的长度方向，且滑轨403的长度方向和滑轨404的长度方向均平行于检查基台主体101的水平面。
在图4所示的第二较佳实施例中，在将待检查的玻璃基板放置到检查基台主体101上后，控制发射器401沿滑轨403的延伸方向即横向C1滑动，同时控制发射器402沿滑轨的延伸方向即纵向C2滑动，在发射器401和发射器402滑动到某一位置后，发射器401和发射器402的光线交互形成一定位点E，检测者通过发射器401的光线对应的刻度尺405的刻度以及发射器402的光线对应的刻度尺406的刻度读取定位点E的坐标，定位点E的坐标即为待检查的液晶面板上相应的坐标，显然，本实施例实现了对待检查的液晶面板的准确定位。
而且，在图4所示的第二较佳本实施例，由于滑轨和刻度尺贴近所述检查基台主体101，且滑轨设置于检查基台主体101的相邻的两侧，刻度尺对应设置于另外两侧，因此可以获取放置在检查基台主体101上待检查的玻璃基板的任一位置的坐标，避免了由于存在图2中的读取盲区造成的测量错误的问题。
请参阅图5，图5示出了本发明中液晶显示器中玻璃基板的检查方法的第一较佳实施例的流程。
在步骤S501中，将待检查的玻璃基板固定在检查基台主体101上。
在步骤S502中，控制第一移动式标尺沿第一滑轨和第二滑轨滑动，同时控制第二移动式标尺沿第三滑轨和第四滑轨滑动。
当然，在具体实施过程中，还可以控制第一移动式标尺仅沿第一滑轨滑动，控制第二移动式标尺仅沿第三滑轨滑动，由于原理类似，此处不一一赘述。
其中，所述第一移动式标尺的长度方向垂直于所述第一滑轨的长度方向；所述第二移动式标尺的长度方向垂直于所述第三滑轨的长度方向。
其中，所述第二滑轨的长度方向平行于所述第一滑轨的长度方向，且所述第一滑轨和所述第二滑轨分居所述检查基台主体的相对两侧；所述第四滑轨的长度方向平行于所述第三滑轨的长度方向，且所述第四滑轨和所述第三滑轨分居所述检查基台主体的相对两侧。
在步骤S503中，在第一移动式标尺和第二移动式标尺滑动到某一位置后，通过第一移动式标尺和第二移动式标尺上的刻度读取相应的坐标。
在步骤S504中，根据读取的坐标以及玻璃基板的检查标准对所述待检查的玻璃基板进行处理。
其中，本发明中玻璃基板的检查标准为厂商针对玻璃基板的切割标准，或者是切割后的玻璃基板的尺寸规格等，此处不再赘述。
本发明实施例中，在将待检查的玻璃基板放置到检查基台主体上后，检测者就可以通过坐标读取器准确的读出待检查的玻璃基板上某一点的坐标，避免了现有技术中通过估测获取坐标带来的准确率低的问题。
图6示出了本发明中液晶显示器中玻璃基板的检查方法的第二较佳实施例的流程。
在步骤S601中，将待检查的玻璃基板固定在检查基台主体上。
在步骤S602中，控制第一发射器沿第五滑轨滑动，同时控制第二发射器沿第六滑轨滑动。
在步骤S603中，在第一发射器和第二发射器滑动到某一位置后，通过第一发射器的光线对应的第一刻度尺的刻度以及第二发射器的光线对应的第二刻度尺的刻度读取相应的坐标。
在步骤S604中，根据读取的坐标以及玻璃基板的检查标准对所述待检查的玻璃基板进行处理。
其中，所述第一刻度尺的长度方向平行于所述第五滑轨的长度方向，且对应所述第一发射器；所述第二刻度尺的长度方向平行于所述第六滑轨的长度方向，且对应所述第二发射器。
优选的，所述第一发射器和第二发射器均为激光笔，当然也可以是其它的能够发射光线的仪器，此处不一一列举。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。
 本发明的实施方式
工业实用性
序列表自由内容

Claims (14)

  1. 一种液晶显示器中玻璃基板的目视检查机，包括检查基台，所述检查基台包括检查基台主体，待检查的玻璃基板固定在所述检查基台主体上，其特征在于，
    所述目视检查机还包括第一滑轨和第三滑轨，所述第一滑轨和第三滑轨设置于所述检查基台主体至少相邻的两侧，所述滑轨的长度方向平行于所述检查基台主体的水平面，且所述第一滑轨和第三滑轨的长度方向相互垂直；
    所述目视检查机还包括坐标读取器，所述坐标读取器包括第一移动式标尺和第二移动式标尺，所述第一移动式标尺和第二移动式标尺分别滑动连接所述第一滑轨和所述第三滑轨，所述第一移动式标尺和第二移动式标尺用于在所述检查基台主体的水平面上方交互形成一定位点，检测者通过读取所述定位点的坐标获取待检查的玻璃基板相应的坐标；
    其中，所述第一移动式标尺的长度方向垂直于所述第一滑轨的长度方向；所述第二移动式标尺的长度方向垂直于所述第三滑轨的长度方向；
    所述坐标读取器还包括第一刻度尺以及第二刻度尺；其中，且所述第一刻度尺的长度方向平行于所述第一滑轨的长度方向；所述第二刻度尺的长度方向平行于所述第二滑轨的长度方向。
  2. 根据权利要求1所述的液晶显示器中玻璃基板的目视检查机，其特征在于，所述滑轨还包括第二滑轨和第四滑轨，
    其中，所述第二滑轨的长度方向平行于所述第一滑轨的长度方向，且所述第一滑轨和所述第二滑轨分居所述检查基台主体的相对两侧，所述第一移动式标尺滑动连接所述第一滑轨和第二滑轨；
    所述第四滑轨的长度方向平行于所述第三滑轨的长度方向，且所述第四滑轨和所述第三滑轨分居所述检查基台主体的相对两侧，所述第二移动式标尺滑动连接所述第三滑轨和第四滑轨。
  3. 根据权利要求1所述的液晶显示器中玻璃基板的目视检查机，其特征在于，所述坐标读取器还包括第一发射器，第二发射器；
    其中，所述第一发射器滑动连接所述第一滑轨，所述第一刻度尺对应所述第一发射器设置；
    所述第二发射器滑动连接所述第二滑轨，所述第二刻度尺对应所述第二发射器设置。
  4. 根据权利要求1所述的液晶显示器中玻璃基板的目视检查机，其特征在于，所述第一发射器和第二发射器均为激光笔。
  5. 一种液晶显示器中玻璃基板的目视检查机，包括检查基台，所述检查基台包括检查基台主体，待检查的玻璃基板固定在所述检查基台主体上，其特征在于，
    所述目视检查机还包括至少两个滑轨，所述滑轨设置于所述检查基台主体至少相邻的两侧，所述滑轨的长度方向平行于所述检查基台主体的水平面，且相邻的两侧的滑轨的长度方向相互垂直；
    所述目视检查机还包括坐标读取器，所述坐标读取器滑动连接所述滑轨，所述坐标读取器用于在所述检查基台主体的水平面上方交互形成一定位点，检测者通过读取所述定位点的坐标获取待检查的玻璃基板相应的坐标。
  6. 根据权利要求5所述的液晶显示器中玻璃基板的目视检查机，其特征在于，所述滑轨包括第一滑轨和第三滑轨；所述坐标读取器包括第一移动式标尺和第二移动式标尺，
    所述第一移动式标尺滑动连接所述第一滑轨，且所述第一移动式标尺的长度方向垂直于所述第一滑轨的长度方向；
    所述第二移动式标尺滑动连接所述第三滑轨，且所述第二移动式标尺的长度方向垂直于所述第三滑轨的长度方向。
  7. 根据权利要求6所述的液晶显示器中玻璃基板的目视检查机，其特征在于，所述滑轨还包括第二滑轨和第四滑轨，
    其中，所述第二滑轨的长度方向平行于所述第一滑轨的长度方向，且所述第一滑轨和所述第二滑轨分居所述检查基台主体的相对两侧，所述第一移动式标尺滑动连接所述第一滑轨和第二滑轨；
    所述第四滑轨的长度方向平行于所述第三滑轨的长度方向，且所述第四滑轨和所述第三滑轨分居所述检查基台主体的相对两侧，所述第二移动式标尺滑动连接所述第三滑轨和第四滑轨。
  8. 根据权利要求5所述的液晶显示器中玻璃基板的目视检查机，其特征在于，所述滑轨包括第五滑轨和第六滑轨；所述坐标读取器包括第一发射器，第二发射器，第一刻度尺以及第二刻度尺；
    其中，所述第一发射器滑动连接所述第五滑轨，所述第一刻度尺对应所述第一发射器设置，且所述第一刻度尺的长度方向平行于所述第五滑轨的长度方向；
    所述第二发射器滑动连接所述第六滑轨，所述第二刻度尺对应所述第二发射器设置，且所述第二刻度尺的长度方向平行于所述第六滑轨的长度方向。
  9. 根据权利要求8所述的液晶显示器中玻璃基板的目视检查机，其特征在于，所述第一发射器和第二发射器均为激光笔。
  10. 一种液晶显示器中玻璃基板的检查方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
    将待检查的玻璃基板固定在检查基台主体上；
    通过设置在滑轨上的坐标读取器读取相应的坐标；
    将读取的坐标与玻璃基板的检查标准进行对比，判断所述待检查的玻璃是否符合玻璃基板的检查标准；
    其中，所述滑轨设置于所述检查基台主体至少相邻的两侧，所述滑轨的长度方向平行于所述检查基台主体的水平面，且相邻的两侧的滑轨的长度方向相互垂直；所述坐标读取器滑动连接所述滑轨。
  11. 根据权利要求10所述的液晶显示器中玻璃基板的检查方法，其特征在于，所述通过设置在滑轨上的坐标读取器读取相应的坐标的步骤具体包括：
    控制第一移动式标尺沿第一滑轨滑动；
    控制第二移动式标尺沿第三滑轨滑动；
    根据所述第一移动式标尺和所述第二移动式标尺读取相应的坐标；
    其中，所述第一移动式标尺的长度方向垂直于所述第一滑轨的长度方向；所述第二移动式标尺的长度方向垂直于所述第三滑轨的长度方向。
  12. 根据权利要求11所述的液晶显示器中玻璃基板的检查方法，其特征在于，所述通过设置在滑轨上的坐标读取器读取相应的坐标的步骤还包括；
    控制所述第一移动式标尺同时沿所述第一滑轨和第二滑轨滑动；
    控制所述第二移动式标尺沿所述第三滑轨和第四滑轨滑动；
    根据所述第一移动式标尺和所述第二移动式标尺读取相应的坐标；
    其中，所述第二滑轨的长度方向平行于所述第一滑轨的长度方向，且所述第一滑轨和所述第二滑轨分居所述检查基台主体的相对两侧；所述第四滑轨的长度方向平行于所述第三滑轨的长度方向，且所述第四滑轨和所述第三滑轨分居所述检查基台主体的相对两侧。
  13. 根据权利要求10所述的液晶显示器中玻璃基板的检查方法，其特征在于，所述通过设置在滑轨上的坐标读取器读取相应的坐标的步骤具体包括：
    控制第一发射器沿第五滑轨滑动；
    控制第二发射器沿第六滑轨滑动；
    根据第一发射器的光线对应的第一刻度尺的刻度以及第二发射器的光线对应的第二刻度尺的刻度读取相应的坐标；
    其中，所述第一刻度尺的长度方向平行于所述第五滑轨的长度方向，且对应所述第一发射器；所述第二刻度尺的长度方向平行于所述第六滑轨的长度方向，且对应所述第二发射器。
  14. 根据权利要求13所述的液晶显示器中玻璃基板的检查方法，其特征在于，所述第一发射器和第二发射器均为激光笔。
PCT/CN2011/079341 2011-08-03 2011-09-05 液晶显示器中玻璃基板的目视检查机及检查方法 WO2013016889A1 (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US13/378,670 US8854616B2 (en) 2011-08-03 2011-09-05 Visual inspection apparatus for glass substrate of liquid crystal display and inspection method thereof

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201110220835.4 2011-08-03
CN2011102208354A CN102393576A (zh) 2011-08-03 2011-08-03 液晶显示器中玻璃基板的目视检查机及检查方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2013016889A1 true WO2013016889A1 (zh) 2013-02-07
WO2013016889A9 WO2013016889A9 (zh) 2013-04-25

Family

ID=45860927

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/CN2011/079341 WO2013016889A1 (zh) 2011-08-03 2011-09-05 液晶显示器中玻璃基板的目视检查机及检查方法

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN102393576A (zh)
WO (1) WO2013016889A1 (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102721692B (zh) * 2012-06-19 2015-11-25 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板卡匣的检测装置
CN102997795B (zh) * 2012-12-03 2015-10-21 京东方科技集团股份有限公司 一种摩擦装置和整机设备
CN106773189A (zh) * 2017-03-27 2017-05-31 武汉华星光电技术有限公司 宏观自动检查机及提升显示异常区域量测效率的方法
CN112213876B (zh) * 2020-10-29 2021-08-24 Tcl华星光电技术有限公司 可调式曲面液晶显示面板试验装置及其操作方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2625707A1 (fr) * 1988-01-13 1989-07-13 Levin Laurent Dispositif a main pour encadrer tout ou partie d'un texte
CN2114804U (zh) * 1991-12-30 1992-09-02 张直 位置度测量装置
GB2354864A (en) * 1999-06-26 2001-04-04 Keith Lyons A measuring device
CN1442688A (zh) * 2002-03-06 2003-09-17 Lg.菲利浦Lcd株式会社 用于测试液晶显示面板的设备和方法
CN1532521A (zh) * 2003-03-24 2004-09-29 �ָ��� 用于检测多坐标测量仪中探头元件位置的装置
CN1566971A (zh) * 2003-06-11 2005-01-19 友达光电股份有限公司 具动力驱动的同轴旋转快速定位系统和方法
CN201555577U (zh) * 2009-12-03 2010-08-18 甘太喜 坐标测量装置的水平横向构件及具有其的坐标测量装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002082067A (ja) * 2000-09-05 2002-03-22 Olympus Optical Co Ltd 基板検査装置
TWI221190B (en) * 2001-06-29 2004-09-21 Olympus Optical Co Coordinate detector
JP4334895B2 (ja) * 2003-03-24 2009-09-30 オリンパス株式会社 大型基板ステージ
JP4653500B2 (ja) * 2005-01-18 2011-03-16 オリンパス株式会社 座標検出装置及び被検体検査装置
CN201014999Y (zh) * 2007-02-28 2008-01-30 英志企业股份有限公司 光学检测装置
CN201311924Y (zh) * 2008-01-31 2009-09-16 深超光电（深圳）有限公司 基板尺寸定位机构校准装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2625707A1 (fr) * 1988-01-13 1989-07-13 Levin Laurent Dispositif a main pour encadrer tout ou partie d'un texte
CN2114804U (zh) * 1991-12-30 1992-09-02 张直 位置度测量装置
GB2354864A (en) * 1999-06-26 2001-04-04 Keith Lyons A measuring device
CN1442688A (zh) * 2002-03-06 2003-09-17 Lg.菲利浦Lcd株式会社 用于测试液晶显示面板的设备和方法
CN1532521A (zh) * 2003-03-24 2004-09-29 �ָ��� 用于检测多坐标测量仪中探头元件位置的装置
CN1566971A (zh) * 2003-06-11 2005-01-19 友达光电股份有限公司 具动力驱动的同轴旋转快速定位系统和方法
CN201555577U (zh) * 2009-12-03 2010-08-18 甘太喜 坐标测量装置的水平横向构件及具有其的坐标测量装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2013016889A9 (zh) 2013-04-25
CN102393576A (zh) 2012-03-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2013016889A1 (zh) 液晶显示器中玻璃基板的目视检查机及检查方法
WO2013155749A1 (zh) 基板的检测方法和装置
WO2015030343A1 (en) Optical element rotation type mueller-matrix ellipsometer and method for measuring mueller-matrix of sample using the same
JP4839301B2 (ja) 形状測定装置
US20060279743A1 (en) Measuring device and method for determining relative positions of a positioning stage configured to be moveable in at least one direction
WO2011065697A2 (ko) 레이저 거리측정기를 이용한 맥파측정로봇장치 및 이를 이용한 맥파측정방법
WO2013187584A1 (ko) 클리노미터, 이를 이용한 주향 및 경사각 측정 방법
JP2004535580A (ja) 表面特性の測定方法及び座標測定装置
US10030970B2 (en) Image measuring apparatus and measuring apparatus
WO2018095109A1 (zh) 一种显示面板弯曲测试的方法及装置
US20120253722A1 (en) Electronic device and method for measurement of flatness of objects using the electronic device
WO2015143608A1 (zh) 反射水泡水平尺
WO2020045852A1 (ko) 시편 두께 측정 장치 및 시편 두께 측정 방법
US9880408B2 (en) Substrate inspection device and method
WO2016180246A1 (zh) 蓝宝石的激光加工方法、设备和存储介质
KR20080052410A (ko) 표면 형상 측정 장치
KR100652948B1 (ko) 액정표시장치용 유리기판의 두께 측정 시스템 및 방법
WO2019000726A1 (zh) 一种显示面板检测方法及装置
WO2018090446A1 (zh) 投影仪调试安装方法及装置
WO2023075368A1 (ko) 물체 형상 복원 방법
TW419933B (en) Method and apparatus for measuring position errors based on positioning marks, and a machining apparatus for correcting positions based on the results of measuring position errors based on positioning marks
JP2000001326A (ja) ガラススクライブ装置
WO2016140458A1 (ko) 개량형 포터블 프리즘 수신장치와 개량형 포터블 gps 수신장치 그리고 이를 이용한 측량방법
WO2019009513A1 (ko) 선형 가변 차동 변환기
WO2021106767A1 (ja) 表面検査装置および形状矯正装置、並びに表面検査方法および形状矯正方法

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 13378670

Country of ref document: US

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 11870482

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 11870482

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1