WO2012163644A1 - Verfahren zur herstellung eines halbzeugs zur fertigung einer biegeoptimierten lichtleitfaser - Google Patents

Verfahren zur herstellung eines halbzeugs zur fertigung einer biegeoptimierten lichtleitfaser Download PDF

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Matthias Auth
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    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Definitions

  • the invention relates to a method for producing a semifinished product for producing a bending-optimized optical fiber according to claim 1 and an optical fiber made of the semifinished product.
  • Bending-optimized optical fibers have a bending behavior which is matched to the respective application angle, in particular a bending sensitivity adapted thereto with respect to their optical conductivity. This applies, on the one hand, to optical fibers which are intended to exhibit a particularly pronounced flexural sensitivity, such as, for example, sensor fibers in optical bending sensor arrangements and optical fibers, which are to be as little as possible sensitive to bending, such as, for example, optical fibers required for transmitting data with a high bandwidth.
  • Such optical fibers have a cross section with a structured refractive index profile. This applies in particular to trench structures, graduations or even complicated combinations of several trenches of different widths and intervening refractive index-increased webs.
  • Such fibers can only be made very complicated by the conventional means, ie the known chemical and / or physical deposition methods, because the deposition parameters are very difficult to reproduce in the case of these OVD processes, in particular the POVD process. This means that the most difficult parameter to be set is set at the end of the production process and thus threatens in the worst case in the last step, a total loss of the semifinished product. It is therefore an object to provide an economical and effective method for producing a semifinished product for producing the bending-optimized fiber, wherein the required refractive index profile can be both exactly plannable and manufactured with a minimized amount of time.
  • the object is achieved by a method for producing a semifinished product for producing a bending-optimized optical fiber having the features of claim 1.
  • the subclaims contain expedient embodiments and designs of the method.
  • Fabrication involves producing or providing at least one cladding tube with a lower cladding refractive index compared to the light-guiding core. This is followed by applying at least one protective, intermediate and / or barrier layer on a radially outermost and / or innermost tube surface of the respective jacket tube, wherein on the inside and / or outside of the jacket tube, a structure of light-guiding layers is performed. Finally, there is at least partial collapse and / or collapse of the jacket tube thus produced to form a capillary or a rod.
  • the formation of the semifinished product, wherein the chemical composition of the individual jacket tubes may be different.
  • the jacket tube is provided in the form of a fluorine-doped quartz glass tube. As a result, a refractive index reduction in the material of the jacket tube is achieved.
  • a fluorine-doped layer of desired thickness and refractive index is deposited on an undoped quartz glass tube, to which, in turn, a coating with undoped quartz glass takes place as a protective layer.
  • the structure of the light-guiding layers is carried out by means of a CVD, in particular of the MCVD method, and / or an OVD method, in particular the plasma method and / or a flame pyrolysis.
  • the protective, intermediate and / or barrier layer is preferably made of a quartz glass with a higher melting point compared to the melting point of the material of the jacket tube.
  • the protective, intermediate and / or barrier layer expediently has a diffusion-preventing blocking function with respect to volatile glass constituents, in particular dopants which modify the refractive index and / or, in particular, fluorine.
  • the refractive index profile is stabilized and can optionally be modified in further production steps still at a given time.
  • the protective, intermediate and / or barrier layer can fulfill a further function.
  • the protective, intermediate and / or barrier layer has, in an expedient embodiment, a chemical composition which, when the semifinished product is applied to a further substrate, the thermal, physical and / or chemical differences between the semifinished product and the further substrate, in particular the differences the thermal expansion coefficient and / or the different chemical compositions minimized.
  • this layer can also consist of several transition glasses of different chemical composition.
  • the modified casing pipe is prepared either inside or outside or on both sides accordingly.
  • a targeted setting of an ambient pressure and / or a pipe internal pressure takes place on the jacket pipe.
  • the further substrate may be either a solid rod or another jacket tube.
  • a partial or complete collapse process to a capillary or a solid rod.
  • mechanical processing can be added to a polygon rod.
  • the collapsing processes can also take place successively.
  • a subsequent Aufkollabieren at least one further doped and / or undoped jacket tube or semi-finished product.
  • the chemical composition of at least one dopant of each individual substrate may radially assume a constant, linear and / or gradual course in the case of a collapsed spiked casing tube or semifinished product.
  • This production can be combined with at least one further outer coating. It can also be provided manufacturing steps in which at least one of the protective, intermediate and / or barrier layers is removed again.
  • the protective, intermediate and / or barrier layer can have a chemical composition which, when the semifinished product is applied to a further substrate, the thermal, physical and / or chemical differences between the semifinished product and the further substrate, in particular the differences in the thermal expansion coefficients and / or the different chemical compositions, minimized, this layer consisting of at least one transition glass of different chemical composition.
  • At least one of the protective, intermediate and / or barrier layers can be at least partially removed again.
  • diffusion processes can be induced within the internal structure with which further modifications of the refractive index profile can be achieved.
  • a surface treatment preferably a plasma and / or Feuerpolitur is thus expediently carried out.
  • FIG. 2 shows the joining together of a plurality of jacket tubes and a solid rod to form a semifinished product for the production of light guides
  • Fig. 4 shows another advantageous embodiment of a jacket tube.
  • FIG. 1 shows a series of exemplary processing and production steps of a jacket tube 1.
  • the jacket tube consists in the present example of a quartz glass tube of a certain thickness.
  • the quartz glass is provided with one or more refractive index-changing dopants.
  • refractive index of the jacket tube is set so that it is smaller than a core refractive index of the subsequent light guide.
  • the jacket tube serves as a carrier for the coatings and surface modifications of the single component executed in the next steps.
  • at least one protective, intermediate and barrier layer 3 is applied to the inner and / or outer surface 2, 4 of the jacket tube.
  • This layer is substantially impermeable to the doping present within the jacket tube and, after the coating process, covers the inner surface of the jacket tube uniformly. It prevents outdiffusion of the refractive index changing dopants from the quartz glass matrix of the jacket tube during the next part manufacturing steps.
  • the known coating methods can be used. This concerns in particular wet-chemical Dipping processes, but especially vapor and gas phase separation processes known as Chemical Vapor Deposition CVD.
  • the jacket tube is either brought completely into a dipping bath or it is flushed through by the separating solution in the interior.
  • the jacket tube is locally heated from the outside and flows through a gas stream in the interior.
  • the gas stream contains the substance constituents intended for the layer to be applied in finely distributed form. These settle thermophoretically at the externally locally heated point of the jacket tube.
  • the protective, intermediate and barrier layer is preferably made of quartz glass with a melting point which is above that of the jacket tube. As a result, the barrier layer exerts an additional stabilizing function.
  • the protective, intermediate and barrier layer 3 which is arranged both inside and outside, serves as an adhesion promoter and / or as a compensating intermediate layer, which determines the differences between the coefficients of expansion of the material of the jacket tube on the one hand and the protective, intermediate and barrier layers on the other hand 3 following layers minimized.
  • CVD chemical vapor deposition
  • the jacket tube thus modified with the protective layer is now available for further coating operations to be carried out on its inner or outer surface.
  • the jacket tube is provided on the inside with a light-guiding coating 6.
  • the light-guiding coating may be doped with germanium. This serves as the starting structure for the light-guiding structure within the later light guide.
  • the same coating methods can be used, which are also used for inner coating of the jacket tube.
  • Parallel to the first individual module described above, further individual components, in particular a second and a third individual component, and a core doped with germanium are manufactured.
  • the individual blocks differ from the first single block in their coating sequence.
  • the second single module consists of a fluorine-doped jacket tube, which is provided on the outside with a protective, intermediate and barrier layer and on its inside with a germanium-doped coating.
  • the third single module consists of a likewise doped with fluorine jacket tube containing only on the inner surface of a protective, intermediate and barrier layer.
  • the jacket tube is brought into the flame region of a plasma torch located underneath and displaceable along the longitudinal axis of the tube and rotated about its longitudinal axis.
  • the substances intended for the outer photoconductive coating are added. These separate on the outside of the jacket tube.
  • Both the inside and the outside of the jacket tube can now be subjected to further coating operations.
  • the number of coating processes is in principle arbitrary.
  • complex layer structures can be generated on the thermophoretic path within the jacket tube.
  • the other manufacturing processes carried out on the jacket pipe depend on where the jacket pipe is to be inserted into the semifinished product to be manufactured.
  • a collapse process can be carried out on the jacket tube, wherein the jacket tube coincides to form a solid core rod.
  • This collapse process can be controlled.
  • a pressure difference is set between the inner and the outer side of the jacket tube, which coincide the jacket tube with a controllable speed and / or to a controllable radius.
  • the pressure difference can be generated either by generating a negative pressure in the pipe interior or by a pressure applied from the outside.
  • the semifinished product is produced from a plurality of such individual building blocks and / or a rod or a capillary in a convergent production process.
  • Fig. 2 shows the final converging manufacturing process for the production of the semifinished product.
  • a core rod 8 a middle jacket tube 9 and an outer jacket tube 10 is provided.
  • Each of the jacket tubes may have the previously described inner and / or outer Coatings have different designs and modifications. It is also possible that at least one of the jacket tubes has a deviating from the circular cross-section.
  • the core rod 8 serves as a starting substrate. This consists of a previously collapsed jacket tube, but it can also be specified as a solid rod.
  • the core rod 8 and the middle jacket tube 9 are pushed into each other. Subsequently, the middle jacket tube is collapsed onto the core rod. This collapse process can be done either spontaneously or under controlled conditions with a set pressure difference. Important here are either on the inside of the middle jacket tube or existing on the outside of the core rod protective, intermediate and barrier layers. These cause a voltage reduction or a voltage compensation during the collapse process.
  • the middle jacket tube collapsed with the core rod serves as a substrate for Aufkollabieren the outer jacket tube.
  • the arrangement thus formed can be subjected as a whole to a plasma and / or Feuerpolitur and / or a temperature treatment, so as to tension-free and provided with a flawless surface semi-finished product.
  • FIG. 3 describes an advantageous exemplary embodiment of a jacket tube, comprising an inner protective layer 15, a refractive index-reduced region 16, an undoped or doped intermediate layer 17, a further refractive index-reduced region 18 and an outer protective layer 19.
  • a jacket tube including an inner protective layer 15, a refractive index lowered portion 18 and an outer protective layer 19.
  • the outer diameter of the embodiments are each 30 to 40 mm, the inner diameter 25 to 35 mm.
  • an auxiliary material is provided in a first step.
  • This is preferably a graphite or SiC rod, whereby any other heat and temperature resistant material can be used.
  • a graphite rod is used.
  • the graphite rod is subjected to the inner protective layer 15 of 1-2 mm wall thickness, preferably 1.5 mm, which either alskollabiert in the form of a substrate tube on the graphite rod or can be formed in the course of a direct coating on the graphite rod.
  • This inner protective layer preferably consists of undoped quartz glass, but depending on the application, it may also contain at least one dopant.
  • a fluorine-doped trench 18 with a wall thickness of 1.5-2, 5mm, preferably 2mm and a refractive index reduction of ⁇ between -0.005 and -0.026, preferably -0.009, by means of deposition processes, preferably the POVD or MCVD Method or the so-called smoker is applied.
  • the graphite rod - there is a processing and / or cleaning and / or temperature treatment of the inner surface.
  • the outer diameter of the new tube between 24 and 36mm is preferably 32mm.
  • the light-guiding layers are deposited by means of the CVD method or the PIVD method, wherein the refractive index increases continuously from a certain number of layers.
  • the tube thus produced is collapsed to a capillary or a solid rod.
  • the product resulting therefrom is enveloped with at least one tube of desired refractive index and wall thickness or, in the course of a direct coating, coated with further layers of desired refractive index and wall thickness. This will produce the correct core / sheath ratio in the later fiber.
  • an auxiliary material for tube production preferably a graphite or SiC rod
  • any other heat and temperature resistant material can be used in this case.
  • a graphite rod with 43 mm outer diameter is used.
  • the graphite rod is charged with a glass soot layer of the desired refractive index.
  • the deposition of the inner protective layer 15 preferably takes place consisting of undoped quartz glass with a thickness between 0.2 and 1.2 mm, preferably 0.7 mm.
  • Another intermediate layer of quartz glass with a wall thickness of between 0.01 mm and 2.5 mm, preferably 0.7 mm, is applied by means of the abovementioned methods, which is either undoped quartz glass or doped quartz glass, in which case its refractive index difference ⁇ 2 preferably:
  • an auxiliary material for tube production preferably a graphite or SiC rod, wherein in this case also any other heat and temperature resistant material can be used.
  • a graphite rod with 43mm outer diameter is used.
  • the graphite rod is charged with a glass soot layer of the desired refractive index. This is at least partially fused by subsequent coating processes to form a glass layer. Subsequently, the formation of a fluorine-doped trench 18 with a wall thickness of 0.4-2, 5mm, preferably 1.5mm and a refractive index reduction of ⁇ between -0.004 and -0.026, preferably -0.009, by means of deposition processes, wherein preferably the POVD or MCVD method or the so-called smoker is applied.
  • This tube is provided with an outer protective layer 19 provided, which preferably consists of undoped quartz glass and has a wall thickness between 0.1 and 3 mm, preferably 0.5 mm.
  • the graphite rod - After removal of the auxiliary material - in the present example, the graphite rod - there is a processing and / or cleaning and / or temperature treatment of the inner surface.
  • One or more stretching processes may follow.
  • the desired refractive index sequence is produced.
  • a temperature treatment and / or stretching processes can be carried out.
  • the product resulting therefrom is enveloped after the preparation of the outer surface with at least one tube of desired refractive index and wall thickness or coated in the course of a direct coating with further layers of desired refractive index and wall thickness. This will produce the correct core / sheath ratio in the later fiber.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Halbzeugs zur Fertigung einer biegeoptimierten Lichtleitfaser mit den Schritten: Bereitstellen eines Mantelrohres mit einer im Vergleich zum lichtführenden Kern niedrigeren Mantelbrechzahl, Aufbringen mindestens einer Schutz-, Zwischen- und/oder Barriereschicht auf einer radial äußersten und/oder innersten Rohroberfläche des jeweiligen Mantelrohres, wobei auf der Innenseite und/oder der Außenseite des Mantelrohres ein Aufbau lichtführender Schichten ausgeführt wird, abschließendes aufkollabierendes Zusammenfügen der Mantelrohre zur Herausbildung des Halbzeugs.

Description

Verfahren zur Herstellung eines Halbzeugs zur Fertigung einer biegeoptimierten Lichtleitfaser
Beschreibung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Halbzeugs zur Fertigung einer biegeoptimierten Lichtleitfaser nach Anspruch 1 und eine aus dem Halbzeug gefertigte Lichtleitfaser.
Biegeoptimierte Lichtleitfasern weisen ein auf den jeweiligen Anwendungszeck abgestimmtes Biegeverhalten, insbesondere eine darauf angepasste Biegeempfindlichkeit hinsichtlich ihrer Lichtleitfähigkeit, auf. Dies betrifft einerseits Lichtleitfasern, die eine besonders ausgeprägte Biegeempfindlichkeit zeigen sollen, wie zum Beispiel Sensorfasern in optischen Biegesensoranordnungen und Lichtleitfasern, die möglichst wenig biegeempfindlich sein sollen, wie zum Beispiel Lichtleitfasern, die zur Übermittlung von Daten mit einer hohen Bandbreite benötigt werden.
Derartige Lichtleitfasern weisen einen Querschnitt mit einem strukturierten Brechzahlprofil auf. Dies betrifft insbesondere Grabenstrukturen, Graduierungen oder auch komplizierte Kombinationen aus mehreren Gräben verschiedener Breite und zwischengelagerten brechzahlerhöhten Stegen. Derartige Fasern sind mit den herkömmlichen Mitteln, d.h. den bekannten chemischen und/oder physikalischen Abscheideverfahren nur sehr kompliziert zu fertigen, weil dabei die Abscheideparameter bei dem bei diesen OVD Prozessen, inbesondere dem POVD Prozess nur sehr schwer zu reproduzieren sind. Dieses führt dazu, dass der schwerst einzustellende Parameter am Ende des Fertigungsprozesses eingestellt wird und so im ungünstigen Fall im letzten Schritt ein Totalverlust des Halbzeugs droht. Es besteht daher die Aufgabe, ein wirtschaftliches und effektives Verfahren zur Herstellung eines Halbzeugs zur Herstellung der biegeoptimierten Faser anzugeben, wobei das geforderte Brechzahlprofil sowohl exakt planbar als auch mit einem minimierten Zeitaufwand gefertigt werden kann.
Die Aufgabe wird mit einem Verfahren zur Fertigung eines Halbzeugs zur Herstellung einer biegeoptimierten Lichtleitfaser mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Die Unteransprüche enthalten zweckmäßige Ausführungsformen und Gestaltungen des Verfahrens.
Die Fertigung umfasst das Herstellen oder ein Bereitstellen mindestens eines Mantelrohres mit einer im Vergleich zum lichtführenden Kern niedrigeren Mantelbrechzahl. Danach erfolgt ein Aufbringen mindestens einer Schutz-, Zwischen- und/oder Barriereschicht auf einer radial äußersten und/oder innersten Rohroberfläche des jeweiligen Mantelrohres, wobei auf der Innenseite und/oder der Außenseite des Mantelrohres ein Aufbau lichtführender Schichten ausgeführt wird. Es erfolgt schließlich ein zumindest teilweises Kollabieren und/oder Aufkollabieren des so hergestellten Mantelrohres zu einer Kapillare oder einem Stab.
Bei einer zweckmäßigen Ausgestaltung erfolgt ein weiteres aufkollabierendes Zusammenfügen zusätzlicher Mantelrohre auf den Stab, wobei der Stab als Substrat dient. Dabei erfolgt die Herausbildung des Halbzeugs, wobei die chemische Zusammensetzung der einzelnen Mantelrohre verschieden sein kann.
Bei einer ersten Ausführungsform wird das Mantelrohr in Form eines mit Fluor dotierten Quarzglasrohres bereitgestellt. Dadurch wird eine Brechzahlreduzierung im Material des Mantelrohres erreicht.
In einer bevorzugten Ausführungsform wird auf ein undotiertes Quarzglasrohr eine fluordotierte Schicht gewünschter Dicke und Brechzahl abgeschieden, auf die wiederum eine Beschichtung mit undotiertem Quarzglas als Schutzschicht erfolgt. Bei einer weiteren zweckmäßigen Ausführungsform wird der Aufbau der licht- führenden Schichten mittels eines CVD-, insbesondere des MCVD Verfahrens, und/oder und/oder eines OVD-Verfahrens, insbesondere des Plasmaverfahrens und/oder einer Flammenpyrolyse ausgeführt.
Die Schutz-, Zwischen- und/oder Barriereschicht ist vorzugsweise aus einem Quarzglas mit einem höheren Schmelzpunkt im Vergleich zu dem Schmelzpunkt des Materials des Mantelrohres ausgeführt. Dadurch lässt sich eine erhöhte Stabilität des späteren Halbzeugs erreichen und es werden Ovalitäten und Exzentrizitäten im Aufbau reduziert.
Die Schutz-, Zwischen- und/oder Barriereschicht besitzt zweckmäßigerweise eine diffusionsverhindernde Sperrfunktion gegenüber flüchtigen Glasbestandteilen, insbesondere Brechzahl verändernden Dotanden und/oder insbesondere Fluor. Dadurch wird der Brechzahlverlauf stabilisiert und kann gegebenenfalls in weiteren Produktionsschritten noch zu einem gegebenen Zeitpunkt modifiziert werden.
Zugleich kann die Schutz-, Zwischen- und/oder Barriereschicht noch eine weitere Funktion erfüllen. Die Schutz-, Zwischen- und/oder Barriereschicht weist bei einer zweckmäßigen Ausbildung eine chemische Zusammensetzung auf, die beim Aufbringen des Halbzeugs auf ein weiteres Substrat, die thermischen, physikalischen und/oder chemischen Unterschiede zwischen dem Halbzeug und dem weiteren Substrat, insbesondere die Unterschiede der thermischen Ausdehnungskoeffizienten und/oder die unterschiedlichen chemischen Zusammensetzungen, minimiert. Dabei kann diese Schicht auch aus mehreren Übergangsgläsern unterschiedlicher chemischer Zusammensetzung bestehen.
Dadurch werden die Spannungen in dem dabei entstehenden Gesamtsystem minimiert oder auf eine zweckmäßige Größe eingestellt.
Nach dem Aufbau der lichtführenden Schichten kann eine Abscheidung mindestens einer weiteren inneren und/oder äußeren Schutz-, Zwischen- und/oder Barriereschicht ausgeführt werden. Dadurch wird das modifizierte Mantelrohr entweder innen oder außen oder auf beiden Seiten entsprechend präpariert.
An dem Mantelrohr erfolgt bei einer zweckmäßigen Ausgestaltung mit Hilfe mindestens eines Druckregelsystems ein gezieltes Einstellen eines Umgebungsdruckes und/oder eines Rohrinnendruckes.
Anschließend erfolgt bei einer zweckmäßigen Weiterführung der Ausgestaltung ein Kollabieren zu einem Vollstab oder einer Kapillare.
Im Zusammenhang damit erfolgt bei einer anderen Weiterführung nach dem Aufbau der lichtführenden Schichten ein Aufkollabieren des Mantelrohres auf ein weiteres Substrat. Das weitere Substrat kann entweder ein Vollstab oder ein weiteres Mantelrohr sein.
Bei einer zweckmäßigen Ausführungsform des Verfahrens erfolgt nach dem Aufbau der lichtführenden Schichten ein teilweise oder vollständiger Kollabier- prozess zu einer Kapillare bzw. zu einem massiven Stab. Nach dem teilweisen oder vollständigen Kollabierprozess kann sich eine mechanische Bearbeitung zu einem Vieleckstab anschließen.
Die Kollabierprozesse können auch sukzessive erfolgen. Bei einer Ausführungsform erfolgt ein nachfolgendes Aufkollabieren mindestens eines weiteren dotierten und/oder undotierten Mantelrohres oder Halbzeugs. Dabei kann bei einem aufkollabierten dotierten Mantelrohr oder Halbzeug die chemische Zusammensetzung wenigstens eines Dotanden jedes einzelnen Substrats radial einen konstanten, linearen und/oder graduellen Verlauf annehmen. Durch ein derartiges Vorgehen werden unterschiedliche Brechzahlverläufe, insbesondere Gräben, Graduierungen oder konstante Abschnitte radial nach außen hin angestückt und miteinander kombiniert.
Diese Fertigung kann mit mindestens einer weiteren Außenbeschichtung kombiniert werden. Es können auch Fertigungsschritte vorgesehen sein, bei denen mindestens eine der Schutz-, Zwischen- und/oder Barriereschichten wieder entfernt wird.
Vorteilhaft ist es, bei den Kollabierprozessen Gläser gleicher oder ähnlicher chemischer Zusammensetzung zu vereinigen. Die Schutz-, Zwischen- und/oder Barriereschicht kann eine chemische Zusammensetzung aufweisen, die beim Aufbringen des Halbzeugs auf ein weiteres Substrat, die thermischen, physikalischen und/oder chemischen Unterschiede zwischen dem Halbzeug und dem weiteren Substrat, insbesondere die Unterschiede der thermischen Ausdehnungskoeffizienten und/oder die unterschiedlichen chemischen Zusammensetzungen, minimiert, wobei diese Schicht aus mindestens einem Übergangsglas unterschiedlicher chemischer Zusammensetzung besteht.
Dies erhöht die Ausbeute des Prozessschrittes, da zumindest Teile der Gläser als Übergangsgläser verwendet werden können.
In einem finalen Fertigungsschritt kann mindestens eine der Schutz-, Zwischen- und/oder Barriereschichten wenigstens teilweise wieder entfernt werden. Dadurch lassen sich Diffusionsvorgänge innerhalb des inneren Aufbaus induzieren, mit denen sich weitere Modifikationen des Brechzahlprofils erreichen lassen.
Die genannten Fertigungsschritte können mit Oberflächenbehandlungen kombiniert werden. In einem Zwischenschritt und/oder einem finalen Fertigungsschritt wird somit zweckmäßigerweise eine Oberflächenbehandlung, vorzugsweise eine Plasma- und/oder Feuerpolitur ausgeführt.
Das Verfahren soll nun anhand beispielhafter Ausführungsformen näher erläutert werden. Zur Verdeutlichung dienen die Figuren 1 und 2. Es werden für gleiche bzw. gleichwirkende Teile die selben Bezugszeichen verwendet.
Es zeigt: Fig. 1 eine Reihe beispielhafter Bearbeitungsschritte an einem Mantelrohr,
Fig. 2 das Zusammenfügen mehrerer Mantelrohre und eines massiven Stabes zu einem Halbzeug für die Lichtleiterfertigung,
Fig. 3 ein vorteilhaftes Ausführungsbeispiel eines Mantelrohres,
Fig. 4 ein weiteres vorteilhaftes Ausführungsbeispiel eines Mantelrohres.
Fig. 1 zeigt eine Reihe beispielhafter Bearbeitungs- und Fertigungsschritte eines Mantelrohrs 1.
Das Mantelrohr besteht im hier vorliegenden Beispiel aus einer Quarzglasröhre einer bestimmten Dicke. Das Quarzglas ist mit einem oder mehreren Brechzahl verändernden Dotanden versehen. Hierbei kann insbesondere auf Fluor, Fluorverbindungen, Germanium, Phosphor, Aluminium, Bor oder auch auf andere Halogene und deren Verbindungen sowie auf andere Stoffe zurückgegriffen werden. Dabei wird die Brechzahl des Mantelrohres so eingestellt, dass diese kleiner als eine Kernbrechzahl des späteren Lichtleiters ist.
Das Mantelrohr dient als Träger für die in den nächsten Schritten ausgeführten Beschichtungen und Oberflächenmodifikationen des Einzelbausteins. In einem ersten Schritt wird auf die innere und/oder äußere Oberfläche 2, 4 des Mantelrohres mindestens eine Schutz-, Zwischen- und Barriereschicht 3 aufgebracht. Diese Schicht ist für die innerhalb des Mantelrohres vorhandene Dotierung im wesentlichen undurchlässig und bedeckt nach dem Beschichtungsvorgang die innere Oberfläche des Mantelrohres gleichmäßig. Sie verhindert ein Ausdiffundieren der Brechzahl verändernden Dotanden aus der Quarzglasmatrix des Mantelrohres während der nächstfolgenden Teilfertigungsschritte.
Zum Ausführen der Beschichtung können die dafür bekannten Beschichtungs- verfahren zur Anwendung kommen. Dies betrifft insbesondere nasschemische Tauchverfahren, aber vor allem Abscheidevorgänge aus der Dampf- und Gasphase, die als Chemical Vapor Deposition CVD bekannt sind. Bei den nasschemischen Beschichtungsvorgängen wird das Mantelrohr entweder vollständig in ein Tauchbad gebracht oder es wird von der Abscheidelösung im Inneren durchspült. Zum Ausführen des CVD-Verfahrens wird das Mantelrohr lokal von außen erwärmt und im Inneren von einem Gasstrom durchströmt. Der Gasstrom enthält die für die aufzubringende Schicht vorgesehenen Stoffbestandteile in fein verteilter Form. Diese setzen sich thermophoretisch an der von außen lokal aufgeheizten Stelle des Mantelrohres ab. Zur Beschichtung der gesamten Innenfläche des Mantelrohres wird nun die Stelle der lokalen Erwärmung in Längsrichtung des Mantelrohres verschoben, sodass eine gleichmäßige Innenbeschichtung mit der Schutz-, Zwischen- und Barriereschicht 3 erreicht wird. Die Schutz-, Zwischen- und Barriereschicht besteht vorzugsweise aus Quarzglas mit einem Schmelzpunkt, der über jenem des Mantelrohres liegt. Dadurch übt die Barriereschicht eine zusätzlich stabilisierende Funktion aus.
Weiterhin dient die sowohl innen als auch außen angeordnete Schutz-, Zwischen- und Barriereschicht 3 als ein Haftvermittler und/oder als eine ausgleichende Zwischenschicht, die die Unterschiede zwischen den Ausdehnungskoeffizienten des Materials des Mantelrohres einerseits und den auf die Schutz-, Zwischen- und Barriereschicht 3 folgenden Schichten minimiert. Zum Aufbringen der Schutz-, Zwischen- und Barriereschicht wird auf CVD-Verfahren zurückgegriffen.
Das so mit der Schutzschicht modifizierte Mantelrohr steht nun für weitere, auf dessen Innen- oder Außenfläche auszuführende Beschichtungsvorgänge zur Verfügung. In dem hier vorliegenden Beispiel wird das Mantelrohr auf dessen Innenseite mit einer lichtführenden Beschichtung 6 versehen. Die lichtführende Beschichtung kann mit Germanium dotiert sein. Diese dient als Ausgangsstruktur für die lichtführende Struktur innerhalb des späteren Lichtleiters. Für die innere wie für die äußere Beschichtung können prinzipiell die gleichen Be- schichtungsverfahren eingesetzt werden, die auch zum inneren Beschichten des Mantelrohres verwendet werden. Parallel zu dem vorhergehend beschriebenen ersten Einzelbaustein werden weitere Einzelbausteine, insbesondere ein zweiter und ein dritter Einzelbaustein, sowie ein mit Germanium dotierter Kern gefertigt.
Die Einzelbausteine unterscheiden sich von dem ersten Einzelbaustein in ihrer Beschichtungsfolge. Der zweite Einzelbaustein besteht aus einem mit Fluor dotierten Mantelrohr, das auf dessen Außenseite mit einer Schutz-, Zwischen- und Barriereschicht und auf dessen Innenseite mit einer mit Germanium dotierten Beschichtung versehen ist.
Der dritte Einzelbaustein besteht aus einem ebenfalls mit Fluor dotierten Mantelrohr, das ausschließlich auf dessen Innenfläche eine Schutz-, Zwischen- und Barriereschicht enthält.
Für ein Aufbringen einer äußeren Beschichtung erweist sich die Verwendung eines Plasmaabscheideverfahrens als besonders zweckmäßig. Hierzu wird das Mantelrohr in den Flammenbereich eines darunter befindlichen und entlang der Längsachse des Rohres verschiebbaren Plasmabrenners gebracht und um seine Längsachse gedreht. Innerhalb des Flammenstroms des Plasmabrenners werden die für die äußere lichtleitende Beschichtung vorgesehenen Stoffe zugesetzt. Diese scheiden sich auf der Außenseite des Mantelrohres ab.
Sowohl die Innen- als auch die Außenseite des Mantelrohres können nun weiteren Beschichtungsvorgängen unterzogen werden. Die Zahl der Beschich- tungsvorgänge ist prinzipiell beliebig. Dabei lassen sich vor allem auf ther- mophoretischem Wege innerhalb des Mantelrohres komplexe Schichtstrukturen erzeugen.
In Abhängigkeit von der vorgesehenen Struktur des Halbzeugs bzw. des daraus zu fertigenden Lichtleiters können nun bei Bedarf weitere Modifikationen der Gesamtstruktur erfolgen. Möglich ist hier insbesondere ein Aufbringen einer weiteren Schutz-, Zwischen- und Barriereschicht auf die Außenseite des be- schichteten Rohres oder aber auch eine Bearbeitung der äußeren Kontur des Rohres. Dies beinhaltet insbesondere ein Einarbeiten von Abflachungen, ein Überführen der runden äußeren Rohrkontur in eine polygonale, insbesondere eine gleichmäßig hexagonale, oktogonale oder auch eine quadratische Form, oder auch ein Einbringen lokaler Vertiefungen oder in Längsrichtung des Mantelrohres verlaufender Rillen. Derartige Modifikationen können beispielsweise durch ein lokales Ätzen, Laserbehandlungen oder durch Sputterprozesse vorgenommen werden.
Die weiteren an dem Mantelrohr vorgenommenen Herstellungsprozesse richten sich danach, an welche Stelle das Mantelrohr in das zu fertigende Halbzeug eingefügt werden soll. Bei einer Verwendung des Mantelrohres im Kernbereich des späteren Halbzeugs kann ein Kollabierprozess an dem Mantelrohr ausgeführt werden, wobei das Mantelrohr zu einem massiven Kernstab zusammenfällt. Dieser Kollabierprozess kann kontrolliert erfolgen. Dabei wird zwischen der Innen- und der Außenseite des Mantelrohres eine Druckdifferenz eingestellt, die das Mantelrohr mit einer kontrollierbaren Geschwindigkeit und/oder auf einen kontrollierbaren Radius zusammenfallen lässt. Die Druckdifferenz kann entweder durch das Erzeugen eines Unterdrucks im Rohrinnenraum oder durch einen von außen angelegten Überdruck erzeugt werden.
Das Halbzeug wird schließlich aus mehreren derartigen Einzelbausteinen und/oder einem Stab oder einer Kapillare in einem konvergenten Produktionsablauf erzeugt. Das heißt, dass mehrere Mantelrohre und der Stab mit unterschiedlichen Größen, Beschichtungen zeitlich parallel gefertigt und in einem abschließenden Herstellungsprozess miteinander vereinigt werden, wobei die zunächst unabhängigen Produktionsschritte der einzelnen Mantelrohre schließlich in den abschließenden Schritt einmünden, d.h. konvergieren.
Fig. 2 zeigt den abschließenden konvergierenden Fertigungsprozess zur Herstellung des Halbzeugs. In dem hier vorliegenden Fall ist ein Kernstab 8, ein mittleres Mantelrohr 9 und ein äußeres Mantelrohr 10 vorgesehen. Jedes der Mantelrohre kann die vorhergehend beschriebenen inneren und/oder äußeren Beschichtungen in unterschiedlichen Gestaltungen und Modifikationen aufweisen. Es ist ebenso möglich, dass mindestens eines der Mantelrohre einen von der Kreisform abweichenden Querschnitt aufweist.
Die Vereinigung der Mantelrohre wird als eine Folge von Aufkollabierungen ausgeführt. Dabei dient der Kernstab 8 als Ausgangssubstrat. Diese besteht aus einem vorher kollabierten Mantelrohr, er kann aber auch als Massivstab vorgegeben sein.
Der Kernstab 8 und das mittlere Mantelrohr 9 werden ineinander geschoben. Anschließend wird das mittlere Mantelrohr auf den Kernstab kollabiert. Dieser Kollabiervorgang kann entweder spontan oder unter kontrollierten Bedingungen mit einer eingestellten Druckdifferenz erfolgen. Wichtig sind hierbei die entweder auf der Innenseite des mittleren Mantelrohres oder die auf der Außenseite des Kernstabs vorhandenen Schutz-, Zwischen- und Barriereschichten. Diese bewirken einen Spannungsabbau bzw. einen Spannungsausgleich während des Kollabiervorgangs.
Der gleiche Kollabiervorgang vollzieht sich nun zwischen dem mittleren Mantelrohr 9 und dem äußeren Mantelrohr 10. Nunmehr dient das mit dem Kernstab zusammenkollabierte mittlere Mantelrohr als Substrat zum Aufkollabieren des äußeren Mantelrohrs. Als Resultat entsteht dabei eine durch das Grundmaterial der Mantelrohre einerseits und durch deren innere und äußere Beschichtungen andererseits ausgebildete konzentrische Schichtstruktur aus unterschiedlichen Brechzahlbereichen, die entweder graduell oder sprunghaft ineinander übergehen und insbesondere im Bereich der Beschichtungen der Mantelrohre Grabenoder Stufenstrukturen ausbilden, die nach dem Ziehen des Lichtleiters Brech- zahl-Grabenstrukuren ergeben, die auf die jeweils geforderte Biegeempfindlichkeit des Lichtleiters abgestimmt sind.
Die so gebildete Anordnung kann als Ganzes eines Plasma- und/oder Feuerpolitur und/oder einer Temperaturbehandlung unterzogen werden, um so ein spannungsfreies und mit einer einwandfreien Oberfläche versehenes Halbzeug zu erreichen.
Nachfolgend werden weitere Ausführungsbeispiele zur Herstellung der Einzelbausteine sowie des Halbzeugs erläutert.
Fig. 3 beschreibt ein vorteilhaftes Ausführungsbeispiel eines Mantelrohrs, beinhaltend eine innere Schutzschicht 15, einen brechzahlabgesenkten Bereich 16, eine undotierte oder dotierte Zwischenschicht 17 , einen weiteren brechzahlabgesenkten Bereich 18 und eine äußere Schutzschicht 19.
Fig.4 beschreibt ein vorteilhaftes Ausführungsbeispiel eines Mantelrohrs, beinhaltend eine innere Schutzschicht 15, einen brechzahlabgesenkten Bereich 18 und eine äußere Schutzschicht 19. Die Außendurchmesser der Ausführungsbeispiele betragen jeweils 30 bis 40 mm, die Innendurchmesser 25 bis 35 mm.
Zur Rohrfertigung wird in einem ersten Schritt ein Hilfsmaterial bereitgestellt. Dies ist vorzugsweise ein Graphit- oder SiC-Stab, wobei hierbei auch jedwedes andere hitze- und temperaturbeständige Material verwendet werden kann. Im angeführten Beispiel wird ein Graphitstab verwendet.
Im Folgenden erfolgt die Beaufschlagung des Graphitstabs mit der inneren Schutzschicht 15 von 1-2 mm Wandstärke, vorzugsweise 1,5mm, die entweder in Form eines Substratrohrs auf den Graphitstab aufkollabiert oder im Zuge einer Direktbeschichtung auf dem Graphitstab gebildet werden kann. Diese innere Schutzschicht besteht vorzugsweise aus undotiertem Quarzglas, wobei sie aber je nach Anwendungsfall auch zumindest einen Dotanden mit enthalten kann. Nachfolgend erfolgt die Bildung eines fluordotierten Grabens 18 mit einer Wandstärke von 1,5-2, 5mm, vorzugsweise 2mm und einer Brechzahlabsenkung von Δη zwischen -0,005 und -0,026 , vorzugsweise -0,009, mit Hilfe von Abscheideprozessen, wobei bevorzugt das POVD bzw. MCVD Verfahren oder der sog. Smoker angewendet wird. Anschließend erfolgt die Aufbringung der äußeren Schutzschicht von 0,2- 3mm vorzugsweise 1mm, entweder durch Aufkollabieren eines Rohres mit gewünschter Glaszusammensetzung oder durch Direktbeschichtung mit zuvor genannten Verfahren.
Nach dem Entfernen des Hilfsmaterials - im vorliegenden Beispiel des Graphitstabs - erfolgt eine Bearbeitung und/oder Reinigung und/oder Temperaturbehandlung der Innenoberfläche.
An diese Prozedur schließt sich ein Streckschritt an, so dass der Außendurchmesser des neuen Rohrs zwischen 24 und 36mm vorzugsweise 32mm beträgt. In diesem Rohr werden die lichtführenden Schichten mit Hilfe des CVD- Verfahrens oder des PIVD Verfahrens abgeschieden, wobei sich die Brechzahl ab einer gewissen Schichtanzahl kontinuierlich erhöht. Abschließend wird das so hergestellte Rohr zu einer Kapillare oder einem massiven Stab kollabiert.
Das daraus entstehende Produkt wird nach der Aufbereitung der äußeren 0- berfläche mit wenigstens einem Rohr gewünschter Brechzahl und Wandstärke umfangen oder im Zuge einer Direktbeschichtung mit weiteren Schichten gewünschter Brechzahl und Wandstärke beschichtet. Dadurch wird das korrekte Kern / Mantel -Verhältnis bei der späteren Lichtleitfaser erzeugt.
Bei einem anderen Ausführungsbeispiel erfolgt im ersten Schritt ebenfalls die Bereitstellung eines Hilfsmaterial für die Rohrfertigung, vorzugsweise eines Graphit oder SiC-Stabs, wobei hierbei auch jedwedes andere hitze- und temperaturbeständige Material verwendet werden kann. Im angeführten Beispiel wird ein Graphitstab mit 43 mm Außendurchmesser verwendet.
Im Folgenden erfolgt die Beaufschlagung des Graphitstabs mit einer Glasrußschicht gewünschter Brechzahl. Anschließend erfolgt die Abscheidung der inneren Schutzschicht 15 bevorzugt bestehend aus undotiertem Quarzglas mit einer Dicke zwischen 0,2 - 1,2mm, bevorzugt 0,7mm. Nachfolgend erfolgt die Bildung eines ersten dotierten Grabens 16 mit einer Wandstärke von 0,2- 1,3mm, vorzugsweise 0,7mm und einer Brechzahländerung von Δη betragsmäßig vorteilhafter Weise zwischen 0,001 und -0,005 , vorzugsweise 0,0025, mit Hilfe von Abscheideprozessen, wobei bevorzugt das POVD bzw. MCVD Verfahren oder der sog. Smoker angewendet wird.
Eine weitere Zwischenschicht aus Quarzglas mit einer Wandstärke zwischen 0,01mm und 2,5mm vorzugsweise 0,7mm wird mit Hilfe der zuvor genannten Verfahren aufgebracht, wobei es sich entweder um undotiertes Quarzglas handelt oder um dotiertes Quarzglas, wobei für diesen Fall für dessen Brechzahldifferenz Δη2 vorzugsweise gilt :
Δη2 = - Δη +/- 0,001
Im Anschluss an diese Zwischenschicht 17 erfolgt die Bildung eines fluordotierten Grabens 18 mit einer Wandstärke von 0,3-2, 5mm, vorzugsweise 1,0 mm und einer Brechzahlabsenkung von Δη zwischen -0,005 und -0,026 , vorzugsweise -0,009. Die restlichen Schritte gleichen denen des Ausführungsbeispieles 1.
Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel erfolgt im ersten Schritt die Bereitstellung eines Hilfsmaterial für die Rohrfertigung, vorzugsweise eines Graphit oder SiC-Stabs, wobei hierbei auch jedwedes andere hitze- und temperaturbeständige Material verwendet werden kann. Im angeführten Beispiel wird ein Graphitstab mit 43mm Außendurchmesser verwendet.
Im Folgenden erfolgt die Beaufschlagung des Graphitstabs mit einer Glasrußschicht gewünschter Brechzahl. Diese wird zumindest ansatzweise durch nachfolgende Beschichtungsprozesse zu einer Glasschicht verschmolzen. Nachfolgend erfolgt die Bildung eines fluordotierten Grabens 18 mit einer Wandstärke von 0,4-2, 5mm, vorzugsweise 1,5mm und einer Brechzahlabsenkung von Δη zwischen -0,004 und -0,026 , vorzugsweise -0,009, mit Hilfe von Abscheideprozessen, wobei bevorzugt das POVD bzw. MCVD Verfahren oder der sog. Smoker angewendet wird. Dieses Rohr wird mit einer äußeren Schutzschicht 19 versehen, das vorzugsweise aus undotiertem Quarzglas besteht und eine Wandstärke zwischen 0,1 und 3mm vorzugsweise 0,5mm aufweist.
Nach dem Entfernen des Hilfsmaterials - im vorliegenden Beispiel des Graphitstabs - erfolgt eine Bearbeitung und/oder Reinigung und/oder Temperaturbehandlung der Innenoberfläche. Es können sich ein oder mehrere Streckprozesse anschließen.
Anschließend wird mit Hilfe von Innenabscheideprozessen, wie beispielsweise MCVD oder PIVD (Plasma Inside Vapor deposition) die gewünschte Brechzahlabfolge hergestellt. Nach Abschluss der Innenbeschichtungen können eine Temperaturbehandlung und/oder Streckprozesse durchgeführt werden. Das daraus entstehende Produkt wird nach der Aufbereitung der äußeren Oberfläche mit wenigstens einem Rohr gewünschter Brechzahl und Wandstärke umfangen oder im Zuge einer Direktbeschichtung mit weiteren Schichten gewünschter Brechzahl und Wandstärke beschichtet. Dadurch wird das korrekte Kern / Mantel -Verhältnis bei der späteren Lichtleitfaser erzeugt.
Es versteht sich von selbst, dass die hier ausgeführten Ausführungsbeispiele in der Abfolge der einzelnen Schritte und Beschichtungsparameter wie Brechzahl, Wandstärke, Durchmesserangaben, Schichtanzahl und Abfolge vom Fachmann gemäß der zu lösenden Aufgabe angepasst werden müssen.
Das Verfahren wurde anhand von beispielhaften Ausführungsformen beschrieben. Weitere Ausführungsformen ergeben sich aus den Unteransprüchen sowie im Rahmen fachmännischen Handelns.
Bezugszeichenliste
1 Mantelrohr
2 Innenseite
3 Schutz-, Zwischen- und Barriereschicht
4 Außenseite lichtführende Beschichtung innere lichtleitende Beschichtung äußere lichtleitende Beschichtung Kernstab
mittleres Mantelrohr
äußeres Mantelrohr
innere Schutzschicht
erster dotierter Graben
Zwischenschicht
fluordotierter Graben
äußere Schutzschicht

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Herstellung eines Halbzeugs zur Fertigung einer biegeoptimierten Lichtleitfaser mit den Schritten:
Bereitstellen mindestens eines Mantelrohres (1), mit einer im Vergleich zum lichtführenden Kern niedrigeren Mantelbrechzahl,
Aufbringen mindestens einer Schutz-, Zwischen- und/oder Barriereschicht (3) auf einer radial äußersten und/oder innersten Rohroberfläche (2, 4) des jeweiligen Mantelrohres, wobei auf der Innenseite und/oder der Außenseite des Mantelrohres ein Aufbau lichtführender Schichten (5, 6, 7) ausgeführt wird, zumindest teilweises Kollabieren und/oder Aufkollabieren des so hergestellten Mantelrohrs zu einer Kapillare oder einem Stab (8) .
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass
als letzter Verfahrensschritt ein aufkollabierendes Zusammenfügen der Mantelrohre (9, 10) auf das Substrat (8) zur Herausbildung des Halbzeugs erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Mantelrohr (1) in Form eines mit Fluor dotierten Quarzglasrohres bereitgestellt wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, dass
der Aufbau lichtführender Schichten (5, 6, 7) mittels eines CVD- und/oder PIVD und/oder OVD Verfahrens, insbesondere eines Plasmaverfahrens, oder einer Flammenpyrolyse ausgeführt wird.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Schutz-, Zwischen- und/oder Barriereschicht (3) vorzugsweise aus Quarzglas mit einem höheren Schmelzpunkt im Vergleich zu dem Schmelzpunkt des Materials des Mantelrohres ausgeführt ist.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Schutz-, Zwischen- und/oder Barriereschicht (3) eine diffusionsverhin- dernde Sperrfunktion gegenüber flüchtigen Glasbestandteilen, insbesondere brechzahlabsenkenden Dotanden und/oder insbesondere Fluor, besitzt.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Schutz-, Zwischen- und/oder Barriereschicht (3) eine chemische Zusammensetzung aufweist, die beim Aufbringen des Halbzeugs auf ein weiteres Substrat, die thermischen, physikalischen und/oder chemischen Unterschiede zwischen dem Halbzeug und dem weiteren Substrat, insbesondere die Unterschiede der thermischen Ausdehnungskoeffizienten und/oder die unterschiedlichen chemischen Zusammensetzungen, minimiert, wobei diese Schicht (3) aus mindestens einem Übergangsglas unterschiedlicher chemischer Zusammensetzung besteht.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
nach dem Aufbau der lichtführenden Schichten (5, 6, 7) eine Abscheidung mindestens einer weiteren inneren Schutz-, Zwischen- und/oder Barriereschicht (3) ausgeführt wird.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
mit Hilfe mindestens eines Druckregelsystems ein gezieltes Einstellen eines Umgebungsdruckes und/oder eines Rohrinnendruckes erfolgt.
10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
nach dem teilweisen oder vollständigen Kollabierprozess eine mechanische Bearbeitung zu einem Vieleckstab erfolgt.
11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
ein nachfolgendes Aufkollabieren mindestens eines weiteren dotierten und/oder undotierten Mantelrohres oder Halbzeugs erfolgt, wobei bei einem aufkollabierten dotierten Mantelrohr oder Halbzeug die chemische Zusammensetzung wenigstens eines Dotanden jedes einzelnen Substrats radial einen konstanten, linearen und/oder graduellen Verlauf annimmt.
12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
mindestens eine weitere Außenbeschichtung ausgeführt wird.
13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
in einem Zwischenschritt mindestens eine der Schutz- , Zwischen- und/oder Barriereschichten (3) zumindest teilweise wieder entfernt wird.
14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
in einem Zwischenschritt und/oder einem finalen Fertigungsschritt eine Oberflächenbehandlung, vorzugsweise eine Plasma- und/oder Feuerpolitur ausgeführt wird.
15. Lichtleitfaser, hergestellt aus einem Halbzeug nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
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