WO2012144481A1 - シロキサン化合物およびその硬化物 - Google Patents

シロキサン化合物およびその硬化物 Download PDF

Info

Publication number
WO2012144481A1
WO2012144481A1 PCT/JP2012/060314 JP2012060314W WO2012144481A1 WO 2012144481 A1 WO2012144481 A1 WO 2012144481A1 JP 2012060314 W JP2012060314 W JP 2012060314W WO 2012144481 A1 WO2012144481 A1 WO 2012144481A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
group
siloxane compound
represented
siloxane
cured product
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2012/060314
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
本城 啓司
弘 江口
山中 一広
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Central Glass Co Ltd
Original Assignee
Central Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Central Glass Co Ltd filed Critical Central Glass Co Ltd
Priority to DE112012001421T priority Critical patent/DE112012001421T5/de
Priority to KR1020137030819A priority patent/KR20130140210A/ko
Priority to US14/112,866 priority patent/US20140046014A1/en
Priority to CN201280018918.8A priority patent/CN103492396A/zh
Publication of WO2012144481A1 publication Critical patent/WO2012144481A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W74/00Encapsulations, e.g. protective coatings
    • H10W74/40Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their materials
    • H10W74/47Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their materials comprising organic materials, e.g. plastics or resins
    • H10W74/476Organic materials comprising silicon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07FACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAINING ELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN, SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
    • C07F7/00Compounds containing elements of Groups 4 or 14 of the Periodic Table
    • C07F7/02Silicon compounds
    • C07F7/21Cyclic compounds having at least one ring containing silicon, but no carbon in the ring
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F30/00Homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and containing phosphorus, selenium, tellurium or a metal
    • C08F30/04Homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and containing phosphorus, selenium, tellurium or a metal containing a metal
    • C08F30/08Homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and containing phosphorus, selenium, tellurium or a metal containing a metal containing silicon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F38/00Homopolymers and copolymers of compounds having one or more carbon-to-carbon triple bonds
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G77/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
    • C08G77/04Polysiloxanes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J183/00Adhesives based on macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon, with or without sulfur, nitrogen, oxygen, or carbon only; Adhesives based on derivatives of such polymers
    • C09J183/04Polysiloxanes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J183/00Adhesives based on macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon, with or without sulfur, nitrogen, oxygen, or carbon only; Adhesives based on derivatives of such polymers
    • C09J183/04Polysiloxanes
    • C09J183/08Polysiloxanes containing silicon bound to organic groups containing atoms other than carbon, hydrogen, and oxygen
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G77/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
    • C08G77/04Polysiloxanes
    • C08G77/20Polysiloxanes containing silicon bound to unsaturated aliphatic groups
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G77/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
    • C08G77/04Polysiloxanes
    • C08G77/22Polysiloxanes containing silicon bound to organic groups containing atoms other than carbon, hydrogen and oxygen
    • C08G77/26Polysiloxanes containing silicon bound to organic groups containing atoms other than carbon, hydrogen and oxygen nitrogen-containing groups

Definitions

  • the present invention relates to a resin having heat resistance, particularly a siloxane compound and a cured product thereof.
  • the cured product obtained by curing the siloxane compound of the present invention is a variety of sealing materials, adhesives, and the like that are required for heat resistance such as for semiconductors. It can also be used for thin films.
  • ⁇ Semiconductor encapsulants such as light emitting diodes (LEDs) are required to have heat resistance to withstand the heat generated by the semiconductor during operation.
  • epoxy resins or silicones which are heat resistant resins have been used as semiconductor sealing materials.
  • SiC silicon carbide
  • Si silicon carbide
  • the power semiconductors generate a large amount of heat.
  • the epoxy resin or silicone sealing material has insufficient heat resistance, and has a problem that it tends to undergo thermal decomposition during semiconductor operation.
  • Patent Document 1 discloses a surface protective film for a semiconductor element formed by heating and curing a polyimide precursor composition film at 230 ° C. to 300 ° C.
  • the polyimide precursor composition is solid in a low temperature region near room temperature (20 ° C.), there is a problem that the moldability is poor.
  • silsesquioxane which is a network-like polysiloxane obtained by hydrolyzing an alkyltrialkoxysilane or the like and subjecting it to condensation polymerization is exemplified.
  • Silsesquioxane can be used for various applications because of its high heat resistance of the inorganic siloxane skeleton and the characteristics of organic groups bonded to it.
  • Some silsesquioxanes are liquid at room temperature, and after hanging on the surface of the base material, potting can be performed by condensation by heating or ultraviolet irradiation and curing.
  • An object of the present invention is to obtain a siloxane compound that has fluidity and is easy to mold at a lower temperature than conventional silsesquioxanes.
  • a siloxane compound obtained by bonding a specific crosslinking group to a specific siloxane skeleton is liquid at 60 ° C. or lower, and the cured product is heated by heating to 150 ° C. or higher and 350 ° C. or lower. As a result, it was found that good moldability was exhibited even at a low temperature, and the present invention was completed.
  • the present invention is as follows.
  • a siloxane compound represented by the general formula (1) is independently represented by X1 or X2, and at least one of X is X1, and in X1 and X2, R 1 to R 8 are each independently a hydrogen atom or carbon number. 1 to 8 alkyl group, alkenyl group or alkynyl group, phenyl group or pyridyl group, the carbon atom may be substituted with an oxygen atom, and the structure contains an ether bond, a carbonyl group or an ester bond M is an integer of 3 to 8, n is an integer of 0 to 9, p is 0 or 1, and Y is a bridging group.)
  • the siloxane compound of the present invention is liquid at 60 ° C. or lower and can be molded, applied or potted.
  • the siloxane compound of the present invention is heated alone or as a composition to which another composition is added, so that the cross-linking groups are cross-linked with each other to give a cured product having excellent heat resistance.
  • siloxane compound of the present invention its synthesis method and its characteristics, and the application of the siloxane compound to the semiconductor sealing material will be described in order.
  • siloxane compound of the present invention is a siloxane compound represented by the following general formula (1).
  • the siloxane compound represented by the formula (1) may be referred to as “siloxane compound (1)”.
  • each X is independently represented by X1 or X2, and at least one of X is X1.
  • R 1 to R 8 are each independently a hydrogen atom or a carbon number of 1
  • m is an integer of 3 to 8
  • n is an integer of 0 to 9
  • p is 0 or 1
  • Y is a bridging group.
  • the alkyl group having 1 to 8 carbon atoms include a methyl group, an ethyl group, a 1-propyl group, a 2-propyl group, an n-butyl group, and a sec-butyl group.
  • the siloxane compound (1) containing a methyl group is particularly easy to synthesize, and the alkyl group is preferably a methyl group.
  • alkenyl group having 1 to 8 carbon atoms examples include vinyl group, allyl group, methacryloyl group, acryloyl group, styryl group, and norbornenyl group.
  • a siloxane compound (1) containing a vinyl group or a methacryloyl group is particularly easy to synthesize, and the alkenyl group is preferably a vinyl group or a methacryloyl group.
  • alkynyl group having 1 to 8 carbon atoms examples include an ethynyl group and a phenylethynyl group.
  • a siloxane compound (1) containing a phenylethynyl group is particularly easy to synthesize, and a phenylethynyl group is preferred as the alkynyl group.
  • the phenyl group is preferably a phenyl group having 6 carbon atoms
  • the pyridyl group is preferably a pyridyl group having 5 carbon atoms.
  • the phenyl group and pyridyl group may have a substituent, but are preferably unsubstituted.
  • the carbon atom may be substituted with an oxygen atom, and the structure may include an ether bond, a carbonyl group, or an ester bond. These are useful for adjusting the viscosity.
  • the bridging group Y preferably includes a cyclic structure represented by an aromatic ring or a hetero ring for heat resistance, and the reactive site is a double bond or a triple bond. It is a certain group.
  • the bridging group Y is preferably a bridging group selected from the group represented by structural formulas (2) to (12).
  • These crosslinking groups represented by the structural formulas (2) to (12) have heat resistance due to the cyclic structure, and do not lower the heat resistance of the siloxane compound (1).
  • the crosslinking group represented by the structural formulas (2) to (12) has a double bond or a triple bond, so that the bonding is easy, and a siloxane compound having at least two X1, preferably three or more X1 ( 1) The two are cross-linked by heating to become a cured product.
  • the siloxane compound (1) is obtained by bonding the crosslinkable group Y represented by the structural formulas (2) to (12) to X2, and the siloxane (1) is heated to crosslink and cure the crosslinkable group Y. By doing so, a cured product with extremely high heat resistance can be obtained.
  • siloxane compound (1) in which Y is the crosslinking group is It is easy to obtain as a single composition by organic synthesis.
  • the siloxane compound (1) is liquid at room temperature (20 ° C.) or higher and 60 ° C. or lower, and is suitable for use as a semiconductor sealing material.
  • siloxane compound (1) 2.1. Synthesis of Siloxane Compound Precursor (A) First, as shown in the following reaction scheme, the siloxane compound represented by the structural formula (13) is chlorinated.
  • the chlorination is carried out by reacting with trichloroisocyanuric acid (see Non-patent Document 2), reacting with hexachlorocyclohexane in the presence of a rhodium catalyst (see Non-Patent Document 3), or reacting with chlorine gas.
  • trichloroisocyanuric acid see Non-patent Document 2
  • hexachlorocyclohexane in the presence of a rhodium catalyst
  • chlorine gas rhodium catalyst
  • reaction scheme it can be chlorinated by reacting tetramethyltetrahydrocyclotetrasiloxane with trichloroisocyanuric acid in an organic solvent.
  • siloxane compound (1) is obtained by adding a crosslinking group represented by the structural formulas (2) to (12) to the siloxane compound precursor (A).
  • the siloxane compound (1) is represented by the structural formula (7).
  • a siloxane compound (1) containing a crosslinking group represented by the formula i.e., a benzocyclobutenyl group
  • 4-bromobenzocyclobutene is reacted with an alkyl lithium salt, specifically n-butyl lithium, tert-butyl lithium, or methyl lithium, and is represented by the structural formula (7). It is set as the benzocyclobutenyl-lithium body as a precursor compound which gives the crosslinking group. (See Non-Patent Document 5)
  • n-butyllithium is preferably used because of its availability. After lithiation, by reacting with trimethyltrivinylcyclotrisiloxane, a siloxylithium compound containing a benzocyclobutenyl group is obtained as a result via a ring cleavage reaction of trimethyltrivinylcyclotrisiloxane.
  • the siloxylithium compounds (A) to (E) can be obtained from the bromo compounds (a) to (e) by carrying out the same operation as described above to advance the reaction.
  • the corresponding siloxane compounds (AA) to (EE) are obtained from the siloxylithium compounds (A) to (E) by the same operation as described above.
  • siloxane compound (1) to semiconductor encapsulant applications
  • strong adhesion to metal wiring materials is required over a wide temperature range. It is necessary to adjust to a value as close as possible.
  • the following measures can be cited as the solution.
  • siloxane compound (1) is a mixture of a siloxane compound (1) and an inorganic filler.
  • an inorganic filler such as silica and alumina
  • the siloxane compound (1) is a liquid in a temperature range up to 60 ° C. and can be easily mixed with the inorganic filler.
  • thermal addition polymerization is a curing system suitable for an encapsulant because it does not use ultraviolet light or a curing catalyst.
  • the most preferred addition-polymerizable crosslinking group is a crosslinking group Y.
  • These bridging groups Y are extremely durable when the curing reaction is completed at 350 ° C. or less, which is the heat resistant temperature range of the material used for the power semiconductor, and the mass reduction is 10% by mass or less in a long-term heat resistance test at 250 ° C. Is expensive.
  • Example 1 Synthesis of siloxane compound
  • a 300 mL three-necked flask equipped with a thermometer and a reflux condenser was charged with 50.0 g of tetrahydrofuran and 4.88 g (20.0 mmol) of tetramethyltetrahydrocyclotetrasiloxane, and cooled to ⁇ 78 ° C. while stirring. Subsequently, after the internal temperature reached ⁇ 78 ° C., 6.28 g (27.0 mmol) of trichloroisocyanuric acid was added. After completion of the addition, the mixture was stirred at ⁇ 78 ° C. for 30 minutes and then warmed to room temperature while stirring.
  • the precipitated insoluble material was filtered off to obtain a tetrahydrofuran solution.
  • the obtained tetrahydrofuran solution was added dropwise little by little over 10 minutes to the diethyl ether solution of the precursor compound A obtained in Synthesis Example 1 cooled to 3 ° C.
  • the mixture was warmed to room temperature with stirring and stirred at room temperature for 2 hours.
  • 50 g of diisopropyl ether and 50 g of water were added and stirred for 30 minutes, and then two layers were separated. Thereafter, the aqueous layer was removed, and the organic layer was washed 3 times with 50 g of distilled water.
  • the obtained siloxane compound was poured into a silicone (SH 9555 made by Shin-Etsu Silicone) mold and heated at 250 ° C. for 1 hour under atmospheric pressure to obtain a cured product having a thickness of 2 mm free from bubbles and cracks.
  • the 5% mass reduction temperature of this cured product was 430 ° C.
  • the obtained siloxane compound was poured into a silicone (SH9555 made by Shin-Etsu Silicone) mold and heated at 330 ° C. for 1 hour under atmospheric pressure to obtain a cured product having a thickness of 2 mm free from bubbles and cracks.
  • the 5% mass reduction temperature of this cured product was 450 ° C.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Silicon Polymers (AREA)
  • Sealing Material Composition (AREA)
  • Polyoxymethylene Polymers And Polymers With Carbon-To-Carbon Bonds (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)

Abstract

 本発明のシロキサン化合物は、下記一般式(1)で表される。(式(1)中、XはX1またはX2、Xのうち少なくとも1個はX1であり、R1~R5は水素原子、炭素数1~8のアルキル基、アルケニル基もしくはアルキニル基、フェニル基またはピリジル基であり、炭素原子は酸素原子に置換されていてもよく、構造中にエーテル結合、カルボニル基、またはエステル結合を含んでもよい。mは3~8の整数、nは0~9の整数、pは0または1であり、Yは架橋基である。) 本発明のシロキサン化合物は、従来のシルセスキオキサンに比較して、耐熱性が高く、低温で流動性を有し、容易に成形可能である。

Description

シロキサン化合物およびその硬化物
 本発明は、耐熱性を有する樹脂、特にシロキサン系化合物およびその硬化物に関する。本発明のシロキサン化合物を硬化させた硬化物は、半導体用など耐熱性を要求される種々の封止材、接着剤等、さらには無色透明な場合は光学部材用封止材、レンズ材料または光学用薄膜等にも使用できる。
 発光ダイオード(Light Emitting Diode:LED)等の半導体用封止材は、動作中の半導体の発熱に耐える耐熱性が要求される。
 従来、耐熱性樹脂であるエポキシ樹脂またはシリコーンが、半導体の封止材として用いられてきた。しかしながら、ケイ素(Si)を用いた半導体に比べ耐電圧性が高い、炭化ケイ素(SiC)を用いたパワー半導体に代表される高性能な半導体に用いると、パワー半導体の発熱量が多いため、従来のエポキシ樹脂またはシリコーンによる封止材は耐熱性が十分でなく、半導体の動作中に熱分解を起こし易いという問題があった。
 エポキシ樹脂またはシリコーンに比べて耐熱性の高い樹脂に、ポリイミドが挙げられる。特許文献1には、ポリイミド前駆体組成物膜を230℃~300℃に加熱して硬化させ形成する半導体素子の表面保護膜が開示されている。しかしながら、ポリイミド前駆体組成物は室温(20℃)付近の低温領域において固体であるために成形性に乏しいという問題があった。
 他に、耐熱性を有する材料として、例えば、アルキルトリアルコキシシラン等を加水分解し縮重合させてなるネットワーク状ポリシロキサンであるシルセスキオキサンが挙げられる。シルセスキオキサンにおいては、無機物であるシロキサン骨格の持つ高耐熱性とそれに結合する有機基の特性を生かした分子設計が可能であり、様々な用途に使用される。また、シルセスキオキサンは、常温で液体のものもあり、基材表面に垂らした後に、加熱または紫外線照射で縮重合させて硬化させるポッティング加工が可能である。シルセスキオキサンの合成方法は、例えば、特許文献2~5、非特許文献1~6に開示されている。
 耐熱性と成形性を兼ね備えたシルセスキオキサンを用いた封止材料は、種々検討されている。しかしながら、250℃以上の高温下で、数千時間に渡って加熱しても劣化しない材料は、未だ得られていない。半導体等を封止する際に、ポッティング加工可能な常温付近で液体のシルセスキオキサンの合成には、ヒドロシリル化反応を用いる場合が多く、ヒドロシリル化反応によって形成されたシルセスキオキサン末端のアルキレン鎖、例えばプロピレン鎖が耐熱性の劣化の原因となる問題があった(非特許文献5および非特許文献6を参照)。
特開平10-270611号公報 特開2004-143449号公報 特開2007-15991号公報 特開2009-191024号公報 特開2009-269820号公報
I. Hasegawa et al., Chem. Lett., pp.1319(1988) V. Sudarsanan et al., J. Org. Chem., pp.1892(2007) M. A. Esteruelas, et al., Organometallics, pp.3891(2004) A. Mori et al., Chemistry Letters, pp.107(1995) J.Mater.Chem.,2007,17, 3575-3580 Proc. of SPIE Vol. 6517 651729-9
 本発明は、従来のシルセスキオキサンに比べ、より低温で流動性を有し成形が容易なシロキサン化合物を得ることを目的とする。
 本発明者らは、特定のシロキサン骨格に特定の架橋基を結合させることにより得られたシロキサン化合物は、60℃以下で液体であり、150℃以上、350℃以下に加熱することで硬化物が得られ、低温でも良好な成形性を示すことを見出し、本発明を完成するに至った。
 すなわち、本発明は以下の通りである。
 [発明1]
 一般式(1)で表されるシロキサン化合物。
(式(1)中、Xはそれぞれ独立にX1またはX2で表わされ、Xのうち少なくとも1個はX1であり、X1およびX2中、R1~R8はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1~8のアルキル基、アルケニル基もしくはアルキニル基、フェニル基またはピリジル基であり、炭素原子は酸素原子に置換されていてもよく、構造中にエーテル結合、カルボニル基、またはエステル結合を含んでいてもよい。mは3~8の整数、nは0~9の整数、pは0または1であり、Yは架橋基である。)
 [発明2]
 Yがそれぞれ独立に構造式(2)~(12)で表される基からなる群から選ばれた架橋基である、発明1のシロキサン化合物。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
 [発明3]
 R1~R8が全てメチル基であり、nおよびpが1である、発明1または発明2のシロキサン化合物。
 [発明4]
 発明1~3のシロキサン化合物の架橋基が反応して得られた硬化物。
 [発明5]
 発明4の硬化物を含む封止材。
 本発明のシロキサン化合物は、60℃以下で液体であり、成形、塗布またはポッティング加工が可能である。また、本発明のシロキサン化合物は、単独または他の組成物を加えた組成物として加熱することで、架橋基が互いに架橋結合し、耐熱性に優れた硬化物を与える。
 本発明のシロキサン化合物、その合成方法およびその特徴、並びにシロキサン化合物の半導体封止材用途への応用について、順を追って説明する。
 1.シロキサン化合物
 本発明のシロキサン化合物は、下記一般式(1)で表されるシロキサン化合物である。尚、本発明において、式(1)で表わされるシロキサン化合物を「シロキサン化合物(1)」と称することがある。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
式(1)中、Xはそれぞれ独立にX1またはX2で表わされ、Xのうち少なくとも1個はX1であり、X1およびX2中、R1~R8はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1~8のアルキル基、アルケニル基もしくはアルキニル基、フェニル基またはピリジル基であり、炭素原子は酸素原子に置換されていてもよく、構造中にエーテル結合、カルボニル基、またはエステル結合を含んでいてもよい。mは3~8の整数、nは0~9の整数、pは0または1であり、Yは架橋基である。
 炭素数1~8のアルキル基は、具体的には、メチル基、エチル基、1-プロピル基、2-プロピル基、n-ブチル基またはsec-ブチル基等が挙げられる。本発明において、特にメチル基を含有するシロキサン化合物(1)が合成しやすく、アルキル基としては、メチル基が好ましい。
 炭素数1~8のアルケニル基は、具体的には、ビニル基、アリル基、メタクリロイル基、アクリロイル基、スチレニル基またはノルボルネニル基が挙げられる。本発明において、特にビニル基またはメタクリロイル基を含有するシロキサン化合物(1)が合成しやすく、アルケニル基としては、ビニル基またはメタクリロイル基が好ましい。
 炭素数1~8のアルキニル基は、具体的には、エチニル基、フェニルエチニル基などが挙げられる。本発明において、特に中でもフェニルエチニル基を含有するシロキサン化合物(1)が合成しやすく、アルキニル基としては、フェニルエチニル基が好ましい。
 同様の理由で、フェニル基は炭素数6個のフェニル基、ピリジル基は炭素数5個のピリジル基が好ましい。フェニル基、ピリジル基は置換基を有していてもよいが、未置換のものが好ましい。
 また、粘度等の調整のために、炭素原子は酸素原子に置換されていてもよく、構造中にエーテル結合、カルボニル基、またはエステル結合を含んでもよい。これらは粘度を調整するために有用である。
 本発明のシロキサン化合物(1)において、架橋基Yは、耐熱性のために、芳香環、ヘテロ環に代表される環状構造を含むことが好ましく、反応性部位は2重結合または3重結合である基である。
 特に、架橋基Yは、それぞれ独立に構造式(2)~(12)で表される群からから選ばれた架橋基であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000006
これら構造式(2)~(12)で表される架橋基は、環状構造による耐熱性を有し、シロキサン化合物(1)の耐熱性を低下させることがない。また、構造式(2)~(12)で表される架橋基は、二重結合または三重結合を有することにより、結合が容易で、少なくともX1を2個、好ましくは3個以上有するシロキサン化合物(1)同士が加熱により架橋し、硬化物となる。
 すなわち、構造式(2)~(12)で表される架橋基YをX2に結合させることで、シロキサン化合物(1)が得られ、当該シロキサン(1)を加熱し、架橋基Yを架橋硬化させることで、極めて耐熱性の高い硬化物が得られる。
 尚、式(1)中のX、即ち、X1およびX2において、R1~R8が全てメチル基であり、nおよびpが2であり、Yが前記架橋基であるシロキサン化合物(1)は、有機合成により単一組成物としとして得ることが容易である。また、当該シロキサン化合物(1)は、室温(20℃)以上、60℃以下で液体であり、半導体の封止材料として用いるのに好適である。
 2.シロキサン化合物(1)の合成
 2.1.シロキサン化合物前駆体(A)の合成
 最初に、以下の反応スキームに示すように、構造式(13)で表されるシロキサン化合物のクロル化を行う。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000007
 当該クロル化は、トリクロロイソシアヌル酸と反応させること(非特許文献2参照)、ロジウム触媒の存在下、ヘキサクロロシクロヘキサンと反応させること(非特許文献3参照)、または塩素ガスと反応させて行うことができる。例えば、公知文献(Journal of Organic Chemistry, vol.692, pp1892-1897(2007)、S.Varaprathら著)に記載のクロル化手法は制限無く使用出来るが、中でも副生成物が少なく、経済性において実用的であることより、トリクロロイソシアヌル酸または塩素ガスと反応させることが好ましい。
 具体的には、以下の反応スキームに示すように、テトラメチルテトラヒドロシクロテトラシロキサンにトリクロロイソシアヌル酸を有機溶媒中で反応させることにより、クロル化できる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000008
 2.2.シロキサン化合物(1)の合成
 シロキサン化合物前駆体(A)に、構造式(2)~(12)で表される架橋基を付加させることで、シロキサン化合物(1)が得られる。
 例えば、4-ブロモベンゾシクロブテンに有機金属試薬を反応させハロゲン-金属交換したのち、前述のシロキサン化合物前駆体(A)と反応させることで、シロキサン化合物(1)である、構造式(7)で表される架橋基、即ち、ベンゾシクロブテニル基を含有したシロキサン化合物(1)を得ることができる。詳しくは、以下の反応スキームに示すように、4-ブロモベンゾシクロブテンにアルキルリチウム塩、具体的にはn-ブチルリチウム、tert-ブチルリチウムまたはメチルリチウムを反応させ、構造式(7)で表される架橋基を与える前駆体化合物としての、ベンゾシクロブテニルーリチウム体とする。(非特許文献5参照)
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000009
 前記有機金属試薬としては、入手の容易さなどからn-ブチルリチウムが好適に用いられる。リチウム化後、トリメチルトリビニルシクロトリシロキサンと作用させることで、トリメチルトリビニルシクロトリシロキサンの環開裂反応を経由して、結果としてベンゾシクロブテニル基を含有したシロキシリチウム化合物が得られる。
 前述した同様の操作を行い反応を進行させることによって、ブロモ化合物(a)~(e)から、シロキシリチウム化合物(A)~(E)が得られる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000010
 次いで、以下の反応スキームに示すように、シロキサン化合物前駆体(A)とベンゾシクロブテニル基を含有したシロキシリチウム化合物と反応させることで、シロキサン化合物(1)である、構造式(7)に示されるベンゾシクロブテニル基を含有したシロキサン化合物を得ることができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000011
 前記と同様の操作にて、シロキシリチウム化合物(A)~(E)から、それぞれ対応するシロキサン化合物(AA)~(EE)が得られる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000012
 3.シロキサン化合物(1)の半導体封止材用途への応用
 半導体用途の封止材用途では、広い温度範囲において金属配線材料との強い密着性が求められ、封止材の線膨張係数を金属配線材料とできるだけ近い値に調整することが必要でなる。その解決策として、以下の方策を挙げることができる。
 先ず、シロキサン化合物(1)と無機フィラーとの混合である。シリカやアルミナなどの無機フィラーを、本発明のシロキサン組成物(1)と混合することで、任意の線膨張係数に調整することができる。尚、シロキサン化合物(1)は、60℃までの温度範囲で液体であり、上記無機フィラーと容易に混合することが可能である。
 次に、熱付加重合の採用である。重合反応については、ゾルゲル反応に代表されるシリコンアルコキシドを用いた加水分解、脱水縮重合を最終硬化反応とすると、発泡および体積収縮が問題となるために、本発明では付加重合架橋基による熱付加重合を採用する。熱付加重合は紫外線や硬化触媒を用いない点で、封止材に適した硬化システムである。本発明において、最も好適な付加重合性架橋基として、架橋基Yが挙げることができる。これらの架橋基Yは、パワー半導体に用いる材料の耐熱温度範囲である350℃以下で硬化反応が完了し、且つ250℃の長期耐熱性試験において質量減少が10質量%以下となる非常に耐久性が高いものである。
 以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。尚、本実施例および比較例で得られたシロキサン化合物およびその硬化物の品質評価は、以下に示す方法でおこなった。
 [評価方法]
 <粘度測定>
 回転粘度計(ブルックフィールド・エンジニアリング・ラボラトリーズ・インク製、品名、DV-II+PRO」と温度制御ユニット(ブルックフィールド・エンジニアリング・ラボラトリーズ・インク、品名、THERMOSEL)を用い25℃における試料の粘度を測定した。
 <5質量%減少温度の測定>
 熱質量・示差熱分析計(株式会社リガク製、品名、TG8120)を用い、空気、50ml/minの気流下で、各々のシロキサン化合物の硬化物を、30℃から昇温速度5℃/minで昇温し、測定前の質量を基準として、5質量%減少した時点の温度を測定した。
 1.架橋基前駆体化合物の合成
 シロキサン化合物前駆体(A)に構造式(7)で表される架橋基を含有させるための前駆体化合物Aの合成(合成例1)、構造式(10)で表される架橋基を含有させるための前駆体化合物Bの合成(合成例2)を行った。以下、詳細に示す。
 [合成例1:構造式(7)で表される架橋基を含有させるための前駆体化合物(A)の合成]
 温度計、還流冷却器を備えた1L三口フラスコに4-ブロモベンゾシクロブテン14.6g(80.0mmol)、ジエチルエーテル50gを入れ、攪拌しながら-78℃に冷却した。内温が-78℃に達した後に1.6mol/Lブチルリチウムヘキサン溶液56ml(90mmol)を30分間で滴下した。滴下終了後に30分間攪拌した後に、トリメチルトリビニルシクロトリシロキサン6.89g(26.7mmol)を加えた。攪拌しながら室温までの昇温し、室温で12時間攪拌し、以下の反応スキームにおいて、構造式(14)で表される化合物のジエチルエーテル溶液を得た。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000013
 [合成例2:構造式(10)で表される架橋基を含有させるための前駆体化合物(B)の合成]
 温度計、還流冷却器を備えた1L三口フラスコに4-ブロモジフェニルアセチレン20.6g(80.0mmol)、ジエチルエーテル50gを入れ、攪拌しながら-78℃に冷却した。内温が-78℃に達した後に1.6mol/Lブチルリチウムヘキサン溶液56ml(90mmol)を30分間で滴下した。滴下終了後に30分間攪拌した後に、ヘキサメチルシクロトリシロキサン5.94g(26.7mmol)を加えた。攪拌しながら室温までの昇温し、室温で12時間攪拌し、以下の反応スキームにおいて、構造式(15)で表される前駆体化合物Bのジエチルエーテル溶液を得た。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000014
 2.シロキサン化合物(1)の合成
 次いで、前記前駆体化合物(A)(合成例1)および前駆体化合物(B)(合成例2)を各々用い、シロキサン化合物前駆体Aと反応させて、シロキサン化合物(1)を合成した。以下、実施例1および実施例2に詳細に示す。
 [実施例1:シロキサン化合物の合成]
 温度計、還流冷却器を備えた300mLの三口フラスコに、テトラヒドロフランを50.0g、テトラメチルテトラヒドロシクロテトラシロキサンを4.88g(20.0mmol)を入れ、攪拌しがながら-78℃に冷却した。次いで、内温が-78℃に達した後にトリクロロイソシアヌル酸6.28g(27.0mmol)を加えた。添加終了後に-78℃で30分間攪拌した後に、攪拌しながら室温まで昇温した。析出した不溶物を濾別し、テトラヒドロフラン溶液を得た。
 次いで得られたテトラヒドロフラン溶液を、3℃に冷却した合成例1で得られた前駆値化合物Aのジエチルエーテル溶液に10分間かけて、少量ずつ滴下した。滴下終了後に攪拌しながら室温まで昇温し、室温で2時間攪拌した。攪拌終了後にジイソプロピルエーテル50g、上水50gを加え30分間攪拌後、2層分離した。その後、水層を除去し、有機層を蒸留水50gで3回洗浄した。有機層を硫酸マグネシウム10gで乾燥し、硫酸マグネシウムを濾別した後に、150℃/0.1mmHgで減圧濃縮し、無色透明油状物として、以下の反応スキームに示すように、構造式(16)で表されるシロキサン組成物(R1=CH3、R4=CH3、R5=Vinyl,Y=構造式(7)で表わされる架橋基、m=4,n=0)16.5gを収率83%で得た。粘度測定を行ったところ、当該油状物の粘度は1700mPa・sであった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000015
 得られたシロキサン化合物をシリコーン(信越シリコーン製SH 9555)の型枠に流し込み、大気圧下250℃で1時間加熱することで、泡・クラックのない厚さ2mmの硬化物を得た。この硬化物の5%質量減少温度は430℃であった。
 [実施例2]
 合成例2で得られた前駆体化合物Bのジエチルエーテル溶液を用いて、実施例1と同様の手順にて、無色透明油状物として、以下の反応スキームに示すように、構造式(17)で表されるシロキサン組成物(R1、R4、R5=CH3,Y=構造式(10)で表わされる架橋基、m=4,n=0)19.9gを収率80%で得た。粘度測定を行ったところ、当該油状物の粘度は3600mPa・sであった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000016
 得られたシロキサン化合物をシリコーン(信越シリコーン製SH9555)の型枠に流し込み、大気圧下330℃で1時間加熱することで、泡・クラックのない厚さ2mmの硬化物を得た。この硬化物の5%質量減少温度は450℃であった。
 [比較例1]
 温度計を備えた300mLの三口フラスコにテトラヒドロフラン、50.0g、テトラメチルテトラヒドロシクロテトラシロキサン、4.88g(20.0mmol)、4-ビニルベンゾシクロブテン、10.42g(80.0mmol)、白金-ジビニルテトラメチルジシロキサン混合物のキシレン溶液(2%白金含有)0.10gを加え、室温下で3時間攪拌した。150℃/0.1mmHgで減圧濃縮し、無色透明油状物として、以下の反応スキームに示すように、構造式(18)で表されるシロキサン組成物12.2gを収率80%で得た。粘度測定を行ったところ、当該油状物の粘度は2800mPa・sであった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000017
 得られたシロキサン化合物をシリコーン(信越シリコーン製SH9555)の型枠に流し込み、大気圧下250℃で1時間加熱することで、泡・クラックのない厚さ2mmの硬化物を得た。この硬化物の5質量%減少温度は400℃であった。
 [5質量%減少温度の比較]
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000018
 表に1示した結果から、本発明の実施例1および実施例2で得られたシロキサン化合物(1)の硬化物の5質量%減少温度は、比較例1で得られた硬化物の5質量%減少温度よりも高くなることがわかった。この理由として、本発明の実施例1および実施例2のシロキサン化合物(1)は、耐熱性が劣るエチレン結合を含有しないため、比較例1で得られた硬化物よりも耐熱性が高くなったものと思われる。
 以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者の通常の知識に基づいて、以下の実施形態に対し適宜変更、改良可能であることはいうまでもない。

Claims (5)

  1. 一般式(1)で表されるシロキサン化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
    (式(1)中、Xはそれぞれ独立にX1またはX2で表わされ、Xのうち少なくとも1個はX1であり、X1およびX2中、R1~R8はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1~8のアルキル基、アルケニル基もしくはアルキニル基、フェニル基またはピリジル基であり、炭素原子は酸素原子に置換されていてもよく、構造中にエーテル結合、カルボニル基、またはエステル結合を含んでいてもよい。mは3~8の整数、nは0~9の整数、pは0または1であり、Yは架橋基である。)
  2. Yがそれぞれ独立に構造式(2)~(12)で表される基からなる群から選ばれた架橋基である、請求項1に記載のシロキサン化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
  3. 1~R8が全てメチル基であり、nおよびpが1である、請求項1または請求項2に記載のシロキサン化合物。
  4. 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のシロキサン化合物の架橋基が反応して得られた硬化物。
  5. 請求項4に記載の硬化物を含む封止材。
PCT/JP2012/060314 2011-04-20 2012-04-17 シロキサン化合物およびその硬化物 Ceased WO2012144481A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE112012001421T DE112012001421T5 (de) 2011-04-20 2012-04-17 Siloxanverbindung und ausgehärtetes Produkt derselben
KR1020137030819A KR20130140210A (ko) 2011-04-20 2012-04-17 실록산 화합물 및 그 경화물
US14/112,866 US20140046014A1 (en) 2011-04-20 2012-04-17 Siloxane compound and cured product thereof
CN201280018918.8A CN103492396A (zh) 2011-04-20 2012-04-17 硅氧烷化合物及其固化物

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011-094194 2011-04-20
JP2011094194 2011-04-20
JP2012090666A JP2012232975A (ja) 2011-04-20 2012-04-12 シロキサン化合物およびその硬化物
JP2012-090666 2012-04-12

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2012144481A1 true WO2012144481A1 (ja) 2012-10-26

Family

ID=47041587

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2012/060314 Ceased WO2012144481A1 (ja) 2011-04-20 2012-04-17 シロキサン化合物およびその硬化物

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20140046014A1 (ja)
JP (1) JP2012232975A (ja)
KR (1) KR20130140210A (ja)
CN (1) CN103492396A (ja)
DE (1) DE112012001421T5 (ja)
WO (1) WO2012144481A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017145229A (ja) * 2016-02-19 2017-08-24 国立大学法人群馬大学 ルイス酸を用いた環状シロキサンの製造方法

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20160244540A1 (en) * 2013-09-27 2016-08-25 Rimtec Corporation Norbornene cross-linked polymer and method for producing same
CN107987278B (zh) * 2017-11-14 2021-03-30 复旦大学 一种苯并环丁烯官能化有机硅树脂及其制备方法
CN108299645B (zh) * 2018-02-05 2021-12-14 中国科学院上海有机化学研究所 可直接热固化的有机硅氧烷的制备和应用

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0853622A (ja) * 1994-06-07 1996-02-27 Shin Etsu Chem Co Ltd シリコーンゲル組成物
JP2003511465A (ja) * 1999-10-12 2003-03-25 ユニバーシティ オブ サザン カリフォルニア 新規シクロトリシロキサン、新規シロキサンポリマーおよびそれらの製造
JP2007023163A (ja) * 2005-07-15 2007-02-01 Fujifilm Corp 膜形成用組成物、絶縁膜、およびその製造方法
US20090171058A1 (en) * 2007-12-31 2009-07-02 John Kilgour Low temperature platinum-vinylpolysiloxane hydrosilylation catalyst
JP2010195751A (ja) * 2009-02-27 2010-09-09 Shin-Etsu Chemical Co Ltd 嵩高い置換基を有するシロキシ基含有シリル(メタ)アクリレート化合物及びその製造方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4414375A (en) * 1980-09-02 1983-11-08 Neefe Russell A Oxygen permeable contact lens material comprising copolymers of multifunctional siloxanyl alkylesters
JP2937622B2 (ja) * 1992-05-25 1999-08-23 北辰工業株式会社 定着ロール
US5599894A (en) * 1994-06-07 1997-02-04 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Silicone gel compositions
JP3427713B2 (ja) 1997-01-22 2003-07-22 株式会社日立製作所 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法
JP4256756B2 (ja) 2002-09-30 2009-04-22 新日鐵化学株式会社 官能基を有するかご型シルセスキオキサン樹脂の製造方法
JP4465233B2 (ja) * 2003-06-30 2010-05-19 三星電子株式会社 多官能性環状シロキサン化合物、この化合物から製造されたシロキサン系重合体及びこの重合体を用いた絶縁膜の製造方法
JP2007015991A (ja) 2005-07-08 2007-01-25 Tokyo Univ Of Science かご状シルセスキオキサンの製造方法
WO2007100329A1 (en) * 2006-03-02 2007-09-07 Designer Molecules, Inc. Adhesive composition containing cyclic siloxanes
JP2009191024A (ja) 2008-02-14 2009-08-27 Tatsuya Okubo かご型シロキサン化合物
KR101445878B1 (ko) * 2008-04-04 2014-09-29 삼성전자주식회사 보호 필름 및 이를 포함하는 봉지 재료
JP2009269820A (ja) 2008-04-30 2009-11-19 Showa Denko Kk かご型シロキサン化合物の製造方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0853622A (ja) * 1994-06-07 1996-02-27 Shin Etsu Chem Co Ltd シリコーンゲル組成物
JP2003511465A (ja) * 1999-10-12 2003-03-25 ユニバーシティ オブ サザン カリフォルニア 新規シクロトリシロキサン、新規シロキサンポリマーおよびそれらの製造
JP2007023163A (ja) * 2005-07-15 2007-02-01 Fujifilm Corp 膜形成用組成物、絶縁膜、およびその製造方法
US20090171058A1 (en) * 2007-12-31 2009-07-02 John Kilgour Low temperature platinum-vinylpolysiloxane hydrosilylation catalyst
JP2010195751A (ja) * 2009-02-27 2010-09-09 Shin-Etsu Chemical Co Ltd 嵩高い置換基を有するシロキシ基含有シリル(メタ)アクリレート化合物及びその製造方法

Non-Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ANDRIANOV,K.A. ET AL.: "Conversion of alkoxy derivatives of methylphenylsiloxanes", IZVESTIYA AKADEMII NAUK SSSR, SERIYA KHIMICHESKAYA, no. 3, 1975, pages 703 - 706 *
BILOW, N. ET AL.: "Synthesis and polymerization of 1,3-bis-(2,3-epoxypropylphenyl) tetramethyldisoloxanes and related compounds", JOURNAL OF POLYMER SCIENCE, PART A-1: POLYMER CHEMISTRY, vol. 5, no. 10, 1967, pages 2595 - 615 *
CAI,G. ET AL.: "Preparation and reactivity of polyfunctional six- and eight-membered cyclic silicates", JOURNAL OF ORGANOMETALLIC CHEMISTRY, vol. 689, no. 3, 2004, pages 689 - 693, XP004487861, DOI: doi:10.1016/j.jorganchem.2003.11.001 *
PAULASAARI,J.K. ET AL.: "Preparation and Orthogonal Polymerizations of 1-Hydrido-1-vinyldimethylsiloxy-3,3,5,5- tetramethylcyclotris iloxane", MACROMOLECULES, vol. 32, no. 16, 1999, pages 5217 - 5221 *
PAULASAARI,J.K. ET AL.: "Synthesis of Hyperbranched Polysiloxanes by Base-Catalyzed Proton-Transfer Polymerization. Comparison of Hyperbranched Polymer Microstructure and Properties to Those of Linear Analogues Prepared by Cationic or Anionic Ring-Opening Polymerization", MACROMOLECULES, vol. 33, no. 6, 2000, pages 2005 - 2010 *
QIU,W. ET AL.: "Preparation and electrochemical properties of an inorganic-organic hybrid polymer electrolyte", GAOFENZI XUEBAO, 2005, pages 496 - 500 *
SHCHEGOLIKHINA,O.I. ET AL.: "Synthesis and Properties of Stereoregular Cyclic Polysilanols: cis-[Phsi(O)OH]4, cis-[PhSi(O)OH]6, and Tris-cis-tris-trans-[Phsi(O)OH]12", INORGANIC CHEMISTRY, vol. 41, no. 25, 2002, pages 6892 - 6904, XP002386862, DOI: doi:10.1021/ic020546h *
ZHANG,X. ET AL.: "Three-dimensional configurations of organic/inorganic hybrid nanostructural blocks (I). A quantum mechanical investigation for ladder-like structure of vinylsilsesquioxane", SCIENCE IN CHINA, SERIES B: CHEMISTRY, vol. 47, no. 5, 2004, pages 388 - 395 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017145229A (ja) * 2016-02-19 2017-08-24 国立大学法人群馬大学 ルイス酸を用いた環状シロキサンの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20140046014A1 (en) 2014-02-13
CN103492396A (zh) 2014-01-01
JP2012232975A (ja) 2012-11-29
DE112012001421T5 (de) 2013-12-24
KR20130140210A (ko) 2013-12-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5821761B2 (ja) シロキサン化合物およびその硬化物
CN103890100B (zh) 硅氧烷系组合物及其固化物以及其用途
JP5302586B2 (ja) (チオ)フェノキシフェニルシラン組成物およびその製造方法
JP5153635B2 (ja) 新規エポキシ化合物およびその製造方法
KR101215736B1 (ko) 에폭시 화합물 및 그 제조 방법
JP6213123B2 (ja) シリカ粒子を含む硬化性組成物およびその硬化物、並びにそれを用いた半導体封止材
WO2012144481A1 (ja) シロキサン化合物およびその硬化物
US20080071017A1 (en) Anhydride-Functional Silsesquioxane Resins
JP2009173910A (ja) 硬化性組成物
CN109415397B (zh) 包含金属非质子有机硅烷氧化物化合物的制剂
KR101718175B1 (ko) 광학 재료 형성용 실리콘 수지 조성물 및 광학 재료
JP2008274184A (ja) ケイ素原子に結合した水素原子を有する多環式炭化水素基含有有機ケイ素化合物およびその製造方法
JP2023532443A (ja) ポリシロキサンを製造するための前駆体、ポリシロキサン、ポリシロキサン樹脂、ポリシロキサンの製造方法、ポリシロキサン樹脂の製造方法およびオプトエレクトロニクス部品
JP2002155144A (ja) ボラジン含有ケイ素系共重合ポリマー及びその薄膜の製造方法
JP2014098147A (ja) シロキサン化合物およびそれを含む硬化性組成物と硬化体
TW201809081A (zh) 金屬非質子性有機矽烷氧化物化合物
JP2022142064A (ja) 熱硬化性樹脂組成物、有機ケイ素化合物、成形体、および光半導体装置
KR20130058642A (ko) 오가노폴리실록산의 제조 방법
JP2014208742A (ja) ヒダントイン環含有オルガノポリシロキサン

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 12774861

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 14112866

Country of ref document: US

Ref document number: 112012001421

Country of ref document: DE

Ref document number: 1120120014219

Country of ref document: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20137030819

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 12774861

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1