WO2012121378A1

WO2012121378A1 - 生産効率化装置、生産効率化方法、コンピュータプログラム

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Publication number: WO2012121378A1
Application number: PCT/JP2012/056144
Authority: WO
Inventors: 浅川　輝雄; 山本　眞; 晃町田; 雅昭川口
Original assignee: Murata Machinery Ltd; Tokyo Electron Ltd; Daifuku Co Ltd; MA Solutions Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd; Tokyo Electron Ltd; Daifuku Co Ltd; MA Solutions Ltd
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Filing date: 2012-03-09
Publication date: 2012-09-13
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Abstract

被処理体に対する処理効率を向上させることができる生産効率化装置を提供する。被処理体を処理する複数の処理装置（２）との間で情報を通信する第１通信手段と、前記複数の処理装置（２）間で被処理体を搬送する搬送装置（３２）を有する搬送システム（３）との間で、該搬送装置（３２）の制御に関わる制御情報を通信する第２通信手段と、前記第１通信手段にて通信した情報に基づいて、該情報の通信先の処理装置（２）が処理済の被処理体に対する搬出および未処理の被処理体の搬入を要する搬送時機を予測する手段と、該手段が予測した搬送時機に前記情報の通信先の処理装置（２）へ前記搬送装置（３２）が到着するように前記搬送システム（３）への制御情報を生成する生成手段とを生産効率化装置（１）に備える。

Description

生産効率化装置、生産効率化方法、コンピュータプログラム

　本発明は、複数の処理装置間で被処理体を搬送し、該被処理体を処理する生産処理システムにおいて、被処理体の搬送及び処理の効率化を図る生産効率化装置、生産効率化方法、及びコンピュータを該生産効率化装置として動作させるためのコンピュータプログラムに関する。

　被処理体を処理する複数の処理装置と、該複数の処理装置間で被処理体を搬送する複数の搬送装置と、該複数の搬送装置の動作を制御する搬送制御装置と、被処理体が処理されるべき処理装置を決定し、被処理体の回収先及び搬送先を前記搬送制御装置へ指示すると共に、被処理体に対する処理内容を該処理装置へ指示する生産実行制御装置とを備える生産処理システムが実用化されている。

　また、特許文献１には、被処理体を処理する複数の処理装置と通信する手順と、任意の前記処理装置から任意の前記処理装置へ前記被処理体を搬送する複数の搬送装置と通信する手順と、前記処理装置へ被処理体に対する処理を指示する生産指示装置と通信する手順とを有し、通信して得た情報を用いて前記搬送装置へ該搬送装置の移動を指示する搬送指示手順と前記情報を用いて前記処理装置に対して実行する処理を指示する処理指示手順とのうちの少なくとも一方を有するソフトウェアが開示されている。

　また、非特許文献１には、工場の生産管理システムＭＥＳ（Manufacturing Execute System）と、ＭＥＳからの各種指示を受け、搬送装置（ＯＨＴ：Overhead Hoist Transfer）を制御する搬送制御装置ＭＣＳ（Material Control System）とが工場レイアウト等の情報を共有することで、搬送の効率化を図ることができる旨が開示されている。また、ＯＨＴの台車から直接被搬送体を移載することができるバッファ、たとえばＯＨＢ（Over Head Buffer：ＯＨＴレール下の棚）を設け、次工程の装置群が予めわかれば、ストッカーを使わずに該当ベイのバッファに予め被処理体を運んでおくことで、短時間に目的装置へ搬送できる旨が開示されている。

特開２００９－１３５２７５号公報特開２００８－３１０４６７号公報特開２００４－１３４７７８号公報

山本　眞，"次世代搬送システム"，ＳＥＭＩ　Ｎｅｗｓ　２００　　６，Ｖｏｌ．２２，Ｎｏ．６

　従来のシステムにおいては、処理装置は、被処理体に対する処理が完了すると生産管理システムＭＥＳへ完了した旨を報告し、これを受けた生産管理システムがこの被処理体の回収及び配送を搬送制御装置に指示している。次いで処理装置が、処理済の被処理体の回収を受けると、処理装置はロードポートが空いて次に処理をするべき被処理体を受け入れることができる状態になった旨を生産管理システムＭＥＳへ報告し、これを受けた生産管理システムが該処理装置において次に処理すべき被処理体を指定して前記処理装置への配達を搬送制御装置に指示している。このように構成されたシステムにおいては、処理装置における被処理体への処理が終了してから、該被処理体が搬送装置によって回収されるまでの時間が長くかかっていた。また、次に処理すべき被処理体が処理装置に到着するのにも時間がかかっていた。このため、処理装置において次に処理すべき被処理体がなくなるなどの状況が発生し、工場における生産効率が低下するなどの恐れがあった。或いは被処理体に対する処理が終了した装置が工場の一部エリアに複数発生した場合に、それら処理装置の近傍の搬送路にて搬送装置が渋滞し搬送に時間がかかるなどの状況が発生し、工場における生産効率が低下するなどの恐れがあった。

　本願発明は、斯かる事情に鑑みてなされたものであり、処理装置における被処理体の処理終了時間を予測して搬送装置を投機的に移動させることによって、生産効率を向上させることを目的とする。

　本発明に係る生産効率化装置は、被処理体を処理する複数の処理装置との間で情報を通信する第１通信手段と、前記複数の処理装置に被処理体を搬送する搬送装置を有する搬送システムとの間で、該搬送装置の制御に係る制御情報を通信する第２通信手段と、前記第１通信手段にて通信した情報に基づいて、該情報の通信先の処理装置が被処理体の搬送を要する搬送時機を予測する搬送時機予測手段と、該搬送時機予測手段が予測した搬送時機に前記情報の通信先の処理装置へ前記搬送装置が到着するように前記搬送システムへの制御情報を生成する生成手段とを備えることを特徴とする。

　本発明に係る生産効率化装置は、前記制御情報は、被処理体を搭載していない搬送装置を前記情報の通信元の処理装置へ移動させる指示を含むことを特徴とする。

　本発明に係る生産効率化装置は、前記制御情報は、被処理体を搭載している搬送装置を前記情報の通信元の処理装置へ移動させる指示を含むことを特徴とする。

　本発明に係る生産効率化装置は、前記搬送システムは複数の搬送装置を有しており、前記制御情報は、被処理体に対する処理が所定の期間内に終了する処理装置が少ない領域に比べて、処理が前記期間内に終了する処理装置が多く存在する領域に前記搬送装置を偏在させるように前記搬送装置を移動させる指示を含むことを特徴とする。

　本発明に係る生産効率化装置は、前記生成手段は、前記処理装置で被処理体の処理が終了する前に、前記搬送装置が該処理装置に到着した場合、該搬送装置を待機させる指示、前記搬送装置を前記処理装置の周辺で巡回させる指示、又は所定箇所に前記搬送装置を移動させる指示を含む制御情報を生成するようにしてあることを特徴とする。

　本発明に係る生産効率化装置は、前記制御情報は、被処理体を搭載していない搬送装置と、前記処理装置で処理されるべき被処理体を搭載した搬送装置とがこの順で前記処理装置に到着するように各搬送装置を移動させる指示を含むことを特徴とする。

　本発明に係る生産効率化装置は、前記処理装置及び前記搬送装置の動作を制御する生産実行制御装置から送信された生産実行制御情報を直接的又は間接的に通信する手段を備え、前記生産実行制御装置から送信された生産実行制御情報の内容と、生成手段が生成した制御情報の内容とが矛盾しないようにしてあることを特徴とする。

　本発明に係る生産効率化装置は、前記搬送時機に搬送装置が前記情報の通信元の処理装置へ到着するために要する時間である移動所要時間を予測する手段を更に備え、前記制御情報は、前記搬送装置の移動を開始させる時機である移動開始時機を有し、前記移動開始時機は前記搬送時機より前記移動所要時間前の時機であることを特徴とする。

　本発明に係る生産効率化装置は、前記搬送時機は、前記処理装置における処理が終了し、前記搬送装置による被処理体の取り出しが可能になる時機、該処理装置において処理すべき未処理の被処理体が無くなる時機、又は各時機の間の時機を含むことを特徴とする。

　本発明に係る生産効率化装置は、前記処理装置は、該処理装置に投入されている被処理体の残処理時間に係る情報と、連続して処理を継続する為に次に被処理体が必要になる時間の算出に係る情報とを通信するように構成してあり、複数の前記処理装置と通信した前記情報に基づいて、各処理装置に投入されている被処理体の処理が終了する終了時機、及び各処理装置が次の被処理体を必要とする開始時機を算出する手段と、算出された終了時機及び開始時機に基づいて、前記搬送装置を移動させるべき処理装置の優先順位を決定する手段とを備える。

　本発明に係る生産効率化装置は、前記処理装置で被処理体に対する処理に実際に要した実績時間又は処理を実際に終了した実終了時刻を通信する手段と、終了予測時機と、実績時間又は実終了時刻と、終了予測時機の予測に用いた情報とを対応付けて蓄積する手段とを備え、前記生成手段は、蓄積された情報を用いて制御情報を生成するようにしてあることを特徴とする。

　本発明に係る生産効率化装置は、前記第１通信手段が通信する情報は、被処理体に対する処理が特定の処理工程にあることを示す情報を含むことを特徴とする。

　本発明に係る生産効率化装置は、前記第１通信手段が通信する情報は、前記処理装置で被処理体に対する処理に要する時間又は処理が終了する予定時機を示した情報を含むことを特徴とする。

　本発明に係る生産効率化装置は、前記第１通信手段が通信する情報は、前記処理装置の自身の状態が特定の状態にあることを示す情報を含むことを特徴とする。

　本発明に係る生産効率化装置は、前記第１通信手段が通信する情報は、前記処理装置における過去の処理に要した実績時間又は処理が終了した実績時刻に係る情報を含むことを特徴とする。

　本発明に係る生産効率化装置は、前記第１通信手段は、前記処理装置で被処理体に対する処理が特定の処理工程にある場合に送信された情報を受信するようにしてあることを特徴とする。

　本発明に係る生産効率化装置は、前記処理装置が被処理体の搬送を要する搬送時機を予測するために必要な情報を前記処理装置へ要求する手段を備え、前記第１通信手段は、前記要求に応じて前記処理装置から送信された情報を受信するようにしてあることを特徴とする。

　本発明に係る生産効率化装置は、前記処理装置が被処理体の搬送を要する搬送時機を予測するための情報を送信する時機の設定を前記処理装置に要求する手段を備えることを特徴とする。

　本発明に係る生産効率化方法は、被処理体を処理する複数の処理装置との間で情報を通信し、前記複数の処理装置に被処理体を搬送する搬送装置を有する搬送システムとの間で、該搬送装置の制御に係る制御情報を通信し、通信した情報に基づいて、該情報の通信先の処理装置が処理を終了した被処理体の搬出を要する搬出時間又は被処理体の搬入を要する搬入時間を予測し、予測した搬出時間又は搬入時間に応じた時機に前記情報の通信先の処理装置へ前記搬送装置が到着するように前記搬送システムへの制御情報を生成することを特徴とする。

　本発明に係るコンピュータプログラムは、コンピュータを、被処理体を処理する複数の処理装置との間で情報を通信する第１通信手段と、前記複数の処理装置に被処理体を搬送する搬送装置を有する搬送システムとの間で、該搬送装置の制御に係る制御情報を通信する第２通信手段と、前記第１通信手段にて通信した情報に基づいて、該情報の通信先の処理装置が被処理体の搬出を要する搬出時間又は搬入を要する搬入時間を予測する手段と、該手段が予測した搬出時間又は搬入時間に応じた時機に前記情報の通信先の処理装置へ前記搬送装置が到着するように前記搬送システムへの制御情報を生成する生成手段として機能させることを特徴とする。

　本願発明にあっては、処理装置から送信された情報を受信し、受信した情報を用いて該処理装置が被処理体の搬送を要する搬送時機を予測する。そして、搬送装置を前記処理装置へ移動させる制御情報を生成する。生成された制御情報は搬送システムへ送信される。搬送装置の移動は、予測された搬送時機に応じて開始する。従って、搬送装置は、被処理体の処理の終了を待たずに、被処理体の回収、次に処理されるべき被処理体の搬送等の準備的動作を開始することが可能である。

　本発明にあっては、被処理体を搭載していない搬送装置を処理装置へ移動させる。搬送装置は、該処理装置から処理済みの被処理体を回収する。

　本発明にあっては、被処理体を搭載している搬送装置を処理装置へ移動させる。つまり、該処理装置で次に処理されるべき被処理体を搭載している搬送装置を処理装置へ移動させる。処理装置は、搬送装置によって搬送された被処理体を処理する。

　本発明にあっては、所定の期間内に処理が終了する処理装置が多い領域に搬送装置が偏在する。従って、効率的に被処理体を処理装置に搬送することが可能である。

　本発明にあっては、処理装置で被処理体に対する処理が終了する前に、搬送装置が該処理装置に到着した場合、該搬送装置は待機する。また、搬送装置を処理装置の周辺で巡回させても良い。更に、搬送装置を所定箇所、例えば車庫に移動させても良い。従って、搬送装置の渋滞を回避しつつ、処理装置から処理済みの被処理体を効率的に回収し、次に必要な被処理体を処理装置へ搬送することが可能である。

　本発明にあっては、被処理体を搭載していない搬送装置を処理装置へ移動させ、該処理装置から処理済みの被処理体を回収する。そして、次に処理されるべき被処理体を搭載した搬送装置を処理装置へ移動させ、被処理体を処理装置に処理させる。

　本発明にあっては、生産実行制御装置から送信された生産実行制御情報を直接的又は間接的に受信する。生産実行制御装置は、処理装置及び搬送システムの動作を確定的に制御する装置である。一方、生産効率化装置は、被処理体の搬送及び処理を効率化すべく、搬送装置及び処理装置に対する制御内容が確定する前段階で、投機的に搬送装置の動作を制御する装置である。生産効率化装置は、自身が生成した制御情報と、生産実行制御装置から送信された生産実行制御情報とを矛盾しないように整合させる。従って、生産効率化装置が生成した制御情報によって、搬送システムが誤動作するなど動作へ支障をきたすことは無い。

　本発明にあっては、予測した搬送時機に、搬送装置が処理装置へ到着するために要する移動所要時間を予測する。そして、前記搬送時機より前記移動所要時間前の時機を移動開始時機とする。制御情報は、該移動開始時機に係る情報を有する。

　本発明にあっては、搬送時機には、前記処理装置における処理が終了し、前記搬送装置による被処理体の取り出しが可能になる時機、該処理装置において処理すべき未処理の被処理体が無くなる時機、又は各時機の間の時機を含む。

　本発明にあっては、処理装置は、該処理装置に投入されている被処理体の残処理時間に係る情報と、連続して処理を継続する為に次に被処理体が必要になる時間の算出に係る情報とを通信する。複数の前記処理装置と通信した前記情報に基づいて、各処理装置に投入されている被処理体の処理が終了する終了時間、及び各処理装置が次の被処理体を必要とする開始時間を算出し、算出された終了時間及び開始時間に基づいて、前記搬送装置を移動させるべき処理装置の優先順位を決定する。

　本発明にあっては、処理予測時間と、処理装置で被処理体に対する処理に実際に要した実績時間、又は実際に処理が終了した実終了時刻と、処理予測時間の予測に利用した情報とを対応付けて蓄積しておき、蓄積した情報を利用して搬送時機を予測する。従って、搬送時機の精度が向上する。

　本発明にあっては、処理装置は、被処理体に対する処理が特定の処理工程にあることを示す情報を送信する。生産効率化装置は、処理装置から送信された情報を受信し、該情報を用いて搬送時機を予測する。

　本発明にあっては、処理装置は、処理装置で被処理体に対する処理が終了する予定時間を示した情報を送信する。生産効率化装置は、処理装置から送信された情報を受信し、該情報を用いて搬送時機を予測する。

　本発明にあっては、処理装置が被処理体の処理以外の特定の状態にあることを示す情報を送信する。生産効率化装置は、処理装置から送信された情報を受信し、該情報を用いて搬送時機を予測する。

　本発明にあっては、処理装置は、過去の処理終了時間の実績に係る情報を送信し、生産効率化装置は該情報を用いて処理終了時間を予測する。

　本発明にあっては、処理装置は、処理装置で被処理体に対する処理が特定の処理工程に入った場合、搬送時機の予測に利用される情報を送信する。

　本発明にあっては、生産効率化装置は、搬送時機の予測に必要な情報を処理装置に要求し、処理装置は要求に応じて該情報を生産効率化装置へ送信する。

　本発明にあっては、生産効率化装置は、搬送時機の予測に必要な情報を送信する時機を処理装置に設定する。処理装置は、設定された時機に前記情報を生産効率化装置へ送信する。

　本発明によれば、処理装置における被処理体の処理終了時間を予測して搬送装置を投機的に移動させることによって、生産効率を向上させることができる。

本実施の形態に係る生産効率化装置を有する生産処理システムの一構成例を示したブロック図である。処理装置の一構成例を示したブロック図である。本実施の形態に係る生産効率化装置の一構成例を示したブロック図である。生産効率化装置の処理手順を示したフローチャートである。生産効率化装置の処理手順を示したフローチャートである。処理装置における情報送信手順の一例を示したフローチャートである。処理装置における情報送信手順の他の例を示したフローチャートである。処理装置における情報送信手順の他の例を示したフローチャートである。処理装置における情報送信手順の他の例を示したフローチャートである。処理装置における情報送信手順の他の例を示したフローチャートである。処理装置における処理終了予測に必要な情報の送信タイミングの設定に係るフローチャートである。搬送装置への投機的指示が的中しなかった場合の処理手順を示したフローチャートである。変形例１における生産効率化に係る処理手順を示したフローチャートである。変形例２に係る空の搬送装置及び被処理体搭載の搬送装置の到着タイミングを示したタイミングチャートである。変形例４における生産効率化に係る処理順を示したフローチャートである。変形例５に係る生産処理システムの一構成例を示したブロック図である。変形例６に係る生産処理システムの一構成例を示したブロック図である。変形例７における生産効率化に係る処理順を示したフローチャートである。変形例７における生産効率化に係る処理順を示したフローチャートである。

　以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。
　図１は、本実施の形態に係る生産効率化装置を有する生産処理システムの一構成例を示したブロック図である。本発明の実施の形態に係る生産処理システムは、複数の処理装置２と、複数の搬送装置３２及び該搬送装置３２の動作を制御する搬送制御装置３１を有する搬送システム３と、処理装置２及び搬送システム３へ制御指示を与え、各装置の動作を制御する生産実行制御装置４と、前記複数の処理装置２及び搬送システム３の間で通信する生産効率化装置１とを有する。

　生産実行制御装置４は、いわゆるＭＥＳを構成しており、製造されるべき製品の種類、仕様等に応じて生産計画を作成するスケジューラモジュール、作成した生産計画に従って、被処理体が処理されるべき処理装置２を特定し、被処理体に対する処理内容及び搬送制御内容をそれぞれ処理装置２及び搬送システム３へ指示する処理を行うディスパッチャモジュール等を有するコンピュータである。以下、生産実行制御装置４から処理装置２及び搬送システム３へそれぞれ送信される、該処理装置２及び搬送システム３の動作を制御する情報を生産実行制御情報と言う。

　処理装置２は、例えば、有機ＥＬデバイス製造用のガラス基板、半導体デバイス等製造用のシリコンウエハ等の被処理体を処理するプラズマＣＶＤ装置、プラズマエッチング装置、スパッタリング装置等の基板処理装置である。また、処理装置２は、被処理体に対する処理が終了する前に、処理の終了時刻を予測するための情報を生産効率化装置１へ送信する機能を有する。なお、本実施の形態では、搬送制御に係る各種時間を、時刻を用いて処理する例を説明するが、任意の時点を基準とした時間を用いて処理するように構成しても良い。更に、処理装置２は、被処理体に対する処理が終了した旨を示す処理終了情報を生産実行制御装置４へ送信する機能を有する。

　図２は、処理装置２の一構成例を示したブロック図である。処理装置２は、例えば、マルチチャンバー式の基板処理システムである。処理装置２は、被処理体Ｗを収容するＦＯＵＰ（ＦＯＵＰ：Front Open Unified Pod）を受け渡しするためにＦＯＵＰが載置される第１及び第２のロードポート２１ａ、２１ｂ（ＬＰ：Load Port）が設けられたロードモジュール２２を備える。ロードモジュール２２には、ロードロックモジュール２３ａ、２３ｂ（ＬＬＭ：Load Lock Module）を介してトランスファーモジュール２４（ＴＭ：Transfer Module）が接続されている。トランスファーモジュール２４が有する真空ロボットは、ロードロックモジュール２３ａ、２３ｂを通じて搬入された被処理体Ｗをプロセスモジュール２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄ（ＰＭ：Process Module）へ搬送する。プロセスモジュール２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄは、レシピに従って、被処理体Ｗに所定の処理を施す。処理された被処理体Ｗは、逆の経路を辿って、第１又は第２のロードポート２１ａ，２１ｂに載置されたＦＯＵＰに回収され、ＦＯＵＰ単位でロードポート２１ａ，２１ｂから搬出される。

　搬送装置３２は、例えば、天井又は床上に設置された軌道を走行する搬送シャトル、所定のルートを走行する無人搬送車等であり、ＦＯＵＰを搬送するものである。搬送装置３２は搬送制御装置３１から与えられた指示に従って、複数の処理装置２とＦＯＵＰを保管しているストッカとの間を移動し、ＦＯＵＰに収容された被処理体を搬送する。

　搬送制御装置３１は、いわゆるＭＣＳを構成しており、生産実行制御装置４から与えられた生産実行制御情報、及び後述する生産効率化装置１から与えられた制御情報の一方或いは両方に従って、搬送装置３２の動作を制御するコンピュータである。

　図３は、本実施の形態に係る生産効率化装置１の一構成例を示したブロック図である。生産効率化装置１は、処理装置２との間で情報を通信し、通信により獲得した情報に基づいて、該情報の送信元の処理装置２で被処理体に対する処理が終了する時刻（以下、処理終了時刻という）を予測する機能、処理装置２からの情報の内容や通信時機を設定し処理装置２に指示する機能、予測した処理終了時刻に応じた時機に前記情報の送信元の処理装置２へ搬送装置３２が到着するように移動を開始させる指示情報を生成する機能等を有するコンピュータである。指示情報は、搬送装置３２の制御に係る制御情報の一つである。
　具体的には、生産効率化装置１は、該生産効率化装置１の各構成部の動作を制御する制御部１１、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を備えたコンピュータである。制御部１１には、バスを介して接続されたＲＯＭ、又はＲＡＭなどの内部記憶装置１３、ハードディスクドライブや、ソリッドステートドライブや、可搬式記録メディアからのデータの読み出しが可能な装置であるＣＤ－ＲＯＭドライブなどの外部記憶装置１２、第１乃至第３通信部１４，１５，１６、及び時計部１７が接続されている。

　ＲＯＭは、コンピュータの動作に必要な制御プログラムを記憶したマスクＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ等の不揮発性メモリである。
　ＲＡＭは、制御部１１の演算処理を実行する際に生ずる各種データやコンピュータの動作に必要な制御プログラムを一時記憶するＤＲＡＭ、ＳＲＡＭ等の揮発性メモリである。
　第１乃至第３通信部１４，１５，１６は、夫々処理装置２、搬送制御装置３１及び生産実行制御装置４との間で情報を送受信するためのインタフェースである。第１乃至第３通信部１４，１５，１６による各種情報の送受信は制御部１１によって制御される。
　コンピュータプログラム５ａは、コンピュータ読み取り可能に記録された可搬式メディアであるＣＤ（Compact Disc）－ＲＯＭ、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）－ＲＯＭ、ＢＤ（Blu-ray Disc）等の記録媒体５或いはハードディスクドライブやソリッドステートドライブに記録されている。制御部１１はこれらコンピュータプログラム５ａが記録された可搬式メディアやハードディスクドライブなどから、コンピュータプログラム５ａを読み出し、内部記憶装置１３に記憶させる。また、言うまでもなく、光ディスク及び光ディスクドライブは、記録媒体５及び外部記憶装置１２の一例であり、フレキシブルディスク、磁気光ディスク、外付けハードディスク、半導体メモリ等にコンピュータプログラム５ａをコンピュータ読み取り可能に記録し、前記外部記憶装置１２にて読み出すように構成しても良い。また、通信網に接続されている図示しない外部コンピュータから本発明に係るコンピュータプログラム５ａをダウンロードするようにしても良い。

　図４及び図５は、生産効率化装置１の処理手順を示したフローチャートである。
＜生産効率化基本フロー＞
　被処理体に対して処理を実行している処理装置２は、被処理体に対する処理が終了する時刻を予測するために必要な情報を生産効率化装置１へ送信する（ステップＳ１１）。

（情報１：特定の処理工程を通過したことを通知する情報）
　図６は、処理装置２における情報送信手順の一例を示したフローチャートである。処理装置２は、被処理体に対する処理を開始する（ステップＳ５１）。そして、処理装置２は、被処理体に対する処理が、設定された特定の処理工程にあるか否かを判定する（ステップＳ５２）。特定の処理工程にあると判定した場合（ステップＳ５２：ＹＥＳ）、処理装置２は、被処理体に対する処理が特定の処理工程にあることを示す情報を生産効率化装置１へ送信する（ステップＳ５３）。該情報は、処理装置２における処理シーケンスが特定の処理ステップを通過したことを報告する情報である。ステップＳ５３の処理を終えた場合、又は特定の処理工程にないと判定した場合（ステップＳ５２：ＮＯ）、処理装置２は、被処理体に対する処理を終了したか否かを判定する（ステップＳ５４）。処理を終了していないと判定した場合（ステップＳ５４：ＮＯ）、処理装置２は処理をステップＳ５２へ戻し、被処理体に対する処理を続行する。処理を終了したと判定した場合（ステップＳ５４：ＹＥＳ）、処理装置２は、終了情報を生産実行制御装置４へ送信し（ステップＳ５５）、処理を終える。

　例えば、設定された特定の処理工程とは、第１及び第２のロードポート２１ａ，２１ｂに配置されているＦＯＵＰ毎に、各々のＦＯＵＰに収容されている未処理の被処理体の枚数が所定数未満になった工程として設定され、処理装置２は、ロードポート２１ａ、２１ｂに載置された各ＦＯＵＰ毎に、ＦＯＵＰに収容されている未処理の被処理体が所定数未満になったタイミングで生産効率化装置１へ報告する。
　また例えば、前記設定された特定の処理工程とは、処理装置２が複数の被処理体を同時に処理するバッチ式の熱処理装置である場合、実行している処理シーケンスの終了ステップの例えば３ステップ手前など所定の処理ステップとして設定された処理ステップである。

（情報２：処理終了予定時刻）
　図７は、処理装置２における情報送信手順の他の例を示したフローチャートである。処理装置２は、被処理体に対する処理を開始する（ステップＳ７１）。そして、処理装置２は、被処理体に対する処理が特定の処理工程にあるか否かを判定する（ステップＳ７２）。特定の処理工程にあると判定した場合（ステップＳ７２：ＹＥＳ）、処理装置２は、被処理体に対する処理が終了する終了予定時刻を含む情報を生産効率化装置１へ送信する（ステップＳ７３）。なお、処理終了予定時刻は一例であり、処理が終了する予定時機を示した情報に代えても良い。処理装置２から送信される終了予定時刻は、レシピの情報に基づいて所定の演算式で算出しても良いし、過去の処理終了時刻から統計的に算出しても良い。ステップＳ７３の処理を終えた場合、又は特定の処理工程にないと判定した場合（ステップＳ７２：ＮＯ）、処理装置２は、被処理体に対する処理を終了したか否かを判定する（ステップＳ７４）。処理を終了していないと判定した場合（ステップＳ７４：ＮＯ）、処理装置２は処理をステップＳ７２へ戻し、被処理体に対する処理を続行する。処理を終了したと判定した場合（ステップＳ７４：ＹＥＳ）、処理装置２は、終了情報を生産実行制御装置４へ送信し（ステップＳ７５）、処理を終える。
　生産効率化装置１は、上述の処理手順に従って処理装置２から送信された情報に基づいて、処理終了時刻を予測する。なお、処理装置２から送信された情報が示す時刻を、そのまま処理終了時刻として取り扱っても良い。

（情報３：特定状態）
　図８は、処理装置２における情報送信手順の他の例を示したフローチャートである。処理装置２は、被処理体に対する処理を開始する（ステップＳ９１）。そして、処理装置２は、被処理体に対する処理が特定の処理工程にあるか否かを判定する（ステップＳ９２）。特定の処理工程にあると判定した場合（ステップＳ９２：ＹＥＳ）、処理装置２は、被処理体に対する処理が終了する過去の処理終了時刻の実績に係る情報を生産効率化装置１へ送信する（ステップＳ９３）。該実績に係る情報は、例えば、処理装置２における過去の処理に要した実績時間又は処理が終了した実績時刻に係る情報である。ステップＳ９３の処理を終えた場合、又は特定の処理工程にないと判定した場合（ステップＳ９２：ＮＯ）、処理装置２は、被処理体に対する処理を終了したか否かを判定する（ステップＳ９４）。処理を終了していないと判定した場合（ステップＳ９４：ＮＯ）、処理装置２は処理をステップＳ９２へ戻し、被処理体に対する処理を続行する。処理を終了したと判定した場合（ステップＳ９４：ＹＥＳ）、処理装置２は、処理終了時刻を記憶し（ステップＳ９５）、終了情報を生産実行制御装置４へ送信し（ステップＳ９６）、処理を終える。
　生産効率化装置１は、上述の処理手順に従って処理装置２から送信された情報を統計的に処理し、処理終了時刻を予測する。例えば、処理に要した時間の平均値、分散、最大値、最小値、中央値、最頻値等に基づいて、処理終了時刻を予測する。

　なお、過去の処理終了時刻の実績に係る情報は、処理装置２側で適宜加工して生産効率化装置１へ送信しても良いし、処理装置２で記録された処理終了時刻の生データを生産効率化装置１へ送信しても良い。

（情報４：処理装置の特定状態）
　図９は、処理装置２における情報送信手順の他の例を示したフローチャートである。処理装置２のプロセスモジュール２５ａは、メンテナンスのためのドライクリーニング処理などの被処理体を用いない処理を開始する（ステップＳ１１１）。そして、処理装置２は、処理装置２が特定の状態にあるか否かを判定する（ステップＳ１１２）。特定の状態にあると判定した場合（ステップＳ１１２：ＹＥＳ）、処理装置２は、自身が特定の状態にあることを示した情報を生産効率化装置１へ送信する（ステップＳ１１３）。ステップＳ１１３の処理を終えた場合、又は処理装置２が特定の状態に無いと判定した場合（ステップＳ１１２：ＮＯ）、処理装置２は、該処理を終了したか否かを判定する（ステップＳ１１４）。処理を終了していないと判定した場合（ステップＳ１１４：ＮＯ）、処理装置２は処理をステップＳ１１２へ戻し、該処理を続行する。処理を終了すると判定した場合（ステップＳ１１４：ＹＥＳ）、処理装置２は、終了情報を生産実行制御装置４へ送信し（ステップＳ１１５）、処理を終える。　生産効率化装置１は、この特定の状態にあることを示した情報を元にこの処理が終了する時刻を予測し、前記時刻にあわせて次に処理すべき被処理体を処理装置２へ向けて移動する準備を行う。この予測した処理が終了する時刻に合わせて次に処理すべき被処理体を処理装置２へ動かす指示情報を搬送制御装置３１へ送信し、被処理体を処理装置２へ配達することで、処理装置２のプロセスモジュール２５ａにおける被処理体を用いない処理が終了してから、被処理体への処理の開始ができるようになるまでの時間を短縮することができ、プロセスモジュール２５ａにおける生産に寄与する度合いを高め、処理効率を高めることができる。
　このため、次に処理すべき被処理体を処理装置２へ配達するのに要する時間の統計値により、被処理体を用いない処理が終了するタイミングよりも求められた統計値の時間分手前のタイミングを特定の状態として設定することがより好ましい。

（情報取得方法１：要求）
　図１０は、処理装置２における情報送信手順の他の例を示したフローチャートである。生産効率化装置１の制御部１１は、被処理体に対する処理の終了予測に必要な情報を要求する要求情報を処理装置２へ送信する（ステップＳ１３１）。

　処理装置２は、生産効率化装置１から送信された前記要求情報を受信する（ステップＳ１３２）。そして、処理装置２は、要求があった時の被処理体に対する処理工程、処理装置２の状態、被処理体に対する処理のレシピなど、処理の終了予測に必要な情報を生産効率化装置１へ送信し（ステップＳ１３３）、処理を終える。

（情報取得方法２：タイミング設定及び変更）
　図１１は、処理装置２における処理終了予測に必要な情報の送信タイミングの設定に係るフローチャートである。生産効率化装置１の制御部１１は、処理の終了予測に必要な情報を生産効率化装置１へ送信するタイミングの設定を、図示しない入力装置にて受け付ける（ステップＳ１５１）。そして、制御部１１は、情報の送信タイミングの設定を要求する設定情報を処理装置２へ送信する（ステップＳ１５２）。

　処理装置２は、生産効率化装置１から送信された設定情報を受信する（ステップＳ１５３）。そして、処理装置２は、ステップＳ１５３で受信した設定情報の内容に従って、情報の送信タイミングを設定する（ステップＳ１５４）。既に送信タイミングが設定されている場合、新たな設定タイミングに変更される。以後、処理装置２は、ステップＳ１５４で設定されたタイミングで、処理終了予測に必要な情報を生産効率化装置１へ送信する。

　なお、情報の送信タイミングを手動で設定する例を説明したが、自動的に設定を変更するように構成しても良い。例えば、搬送装置３２への移動指示が遅れる頻度が閾値以上である場合、情報の送信タイミングが早くなるように設定変更を行う。搬送装置３２への投機的移動指示の遅れを減らすことによって、生産をより効率化することができる。投機的移動指示とは、予測した処理終了時刻に応じた時機に前記情報の送信元の処理装置２へ搬送装置３２が到着するように移動を開始させる指示を言う。逆に、処理装置２から情報が送信されてから、実際に搬送装置３２の移動を指示するまでの時間が所定時間以上である場合、情報の送信タイミングを遅くするように設定変更を行う。処理装置２からの情報送信タイミングを最適化することによって、搬送装置３２への投機的移動指示の精度を向上させ、生産をより効率化することができる。

　図４に戻って、ステップＳ１２以降の処理を説明する。
　生産効率化装置１の制御部１１は、処理装置２から送信された情報を、第１通信部１４にて受信し（ステップＳ１２）、受信した情報に基づいて、該情報の送信元の処理装置２が処理を終える処理終了時刻を予測する（ステップＳ１３）。該処理終了時刻は、例えば、処理装置２における処理が終了し、該処理が終了した被処理体がロードポートに載置されたＦＯＵＰに回収されて、該ＦＯＵＰを搬出することが可能になる予定の時刻である。

　次いで、制御部１１は、予測した処理終了時刻に基づいて、該処理終了時刻に応じたタイミングで前記情報の送信元の処理装置２へ前記搬送装置３２の移動を開始させる投機的指示情報を生成し（ステップＳ１４）、生成した投機的指示情報を第２通信部１５にて搬送制御装置３１へ送信する（ステップＳ１５）。投機的指示情報は、搬送装置３２の制御に係る制御情報の一例である。

　なお、この際、生産効率化装置１は、搬送装置３２の到達予定時機に処理装置２から回収されるべき被処理体を準備するように処理装置２に対して指示を行うための情報を該処理装置２へ送信するように構成しても良い。前記処理装置２は、生産効率化装置１から送信された前記情報を受信した場合、被処理体を搬送装置３２へ引き渡すための準備処理を実行する。

　搬送装置３２の移動を開始させるための投機的指示情報を送信するタイミングは、搬送装置３２が処理装置２へ移動するために必要な所要時間と、処理装置２における処理が終了し、該処理が終了した被処理体を取り出すことが可能になる予定の時刻とを元に決定される。例えば、処理装置２から被処理体を取り出すことが可能になる予定の時刻に合わせて、搬送装置３２が該処理装置２に到着するように搬送装置３２の移動を指示するようにすると良い。なお、搬送装置３２の渋滞のおそれが低い場合、処理装置２から被処理体を取り出すことが可能になる予定の時刻よりも先に搬送装置３２が到着するように構成しても良い。逆に搬送装置３２の渋滞が予想される場合、搬送装置の移動によって引き起こされる渋滞を回避すべく、処理装置２から被処理体を取り出すことが可能になる予定の時刻よりも遅れて搬送装置３２が処理装置２に到着するように構成しても良い。その他の好適な移動指示のタイミングについては後述の変形例で説明する。

　なお、搬送装置３２が処理装置２へ移動するために必要な所要時間は、搬送装置３２と処理装置２との距離、搬送装置３２の移動速度、搬送経路、渋滞状況、その他の状況を考慮して算出される。例えば、移動に要した時間を記録しておき、この記録された時間を元に統計的に算出しても良いし、搬送装置３２の位置と搬送経路と移動速度を元に内部的にシミュレーションを行うことで算出しても良いし、複数の搬送装置３２それぞれの移動予定と、その移動予定を元にした搬送経路の混雑状況とをシミュレーションすることで算出しても良い。

　更に、被処理体に対する処理が所定の期間内に終了する処理装置２が少ない領域に比べて、処理が前記期間内に終了する処理装置２が多く存在する領域に前記搬送装置３２を偏在させるように搬送装置３２を移動させる指示を指示情報に含めると良い。搬送装置３２の意味の無い過密化及び過疎化を防止することができ、より効率的に、搬送装置３２を処理装置２に移動させることが可能になる。

　搬送制御装置３１は、生産効率化装置１から送信された投機的指示情報を受信する（ステップＳ１６）。そして、搬送制御装置３１は、受信した投機的指示情報に基づいて、搬送装置３２の配車スケジューリング、及び搬送装置３２の待機処理を実行し（ステップＳ１７）、移動指示を空の搬送装置３２へ送信する（ステップＳ１８）。ステップＳ１８で行う指示は、生産実行制御装置４から送信される確定的な制御指示に先だって行われる投機的な準備に係る指示である。移動指示を搬送装置３２へ送信する（ステップＳ１８）と同時に、回収指示を送信してもかまわない。

　搬送装置３２は、搬送制御装置３１からの移動指示を受信する（ステップＳ１９）。そして、空の搬送装置３２は、受信した指示に従って、指示された処理装置２近傍へ移動する（ステップＳ２０）。つまり、処理装置２で処理された被処理体を回収するための搬送装置３２は、生産実行制御装置４からの指示に先だって、該処理装置２へ移動している。

　また、指示された処理装置２（以下、第１の処理装置２と言う。）近傍へ被処理体搭載の搬送装置３２、詳しくは該第１の処理装置２で次に処理すべき被処理体を搭載した搬送装置３２を移動させる（ステップＳ２１）。なお、前記第１の処理装置２で次に処理すべき被処理体を搭載した搬送装置３２が無い場合は、前記第１の処理装置２の直前の工程の処理装置２（以下、第２の処理装置２と言う。）にて回収待ちとなっている該被処理体を取り出すために該第２の処理装置２へ、あるいは処理装置２で次に処理すべき被処理体が保管されたストッカー（図示せず）へ、空の搬送装置３２を移動させ、次に処理すべき被処理体を搭載してから、該搬送装置３２を指示された前記第１の処理装置２に移動させる。

　処理装置２は、被処理体に対する処理を終え（ステップＳ２２）、処理が終了したことを示す終了情報を生産実行制御装置４へ送信する（ステップＳ２３）。

　生産実行制御装置４は、処理装置２から終了情報を受信し（ステップＳ２４）、確定的な搬送指示情報を生産効率化装置１へ送信する（ステップＳ２５）。搬送指示情報は、生産実行制御情報の一つである。

　生産効率化装置１の制御部１１は、生産実行制御装置４から送信された搬送指示情報を第３通信部１６にて受信する（ステップＳ２６）。そして、制御部１１は、ステップＳ１４で生成した投機的指示情報の内容と、ステップＳ２６で受信した搬送指示情報の内容とを整合させ（ステップＳ２７）、整合させた搬送指示情報を搬送制御装置３１へ送信する（ステップＳ２８）。

　以下、搬送指示情報と、投機的指示情報とを整合させる処理について説明する。まず、処理装置２、生産実行制御装置４及び搬送制御装置３１で行われる既存のシーケンスを説明する。処理装置２における処理が終了し、処理装置２から搬出することができるようになった被処理体が存在すると、処理装置２は生産実行制御装置４へ処理が終了し搬出することができる旨の情報を送信する。生産実行制御装置４は、前記処理が終了し搬出することができる旨の情報を受信した場合、搬送制御装置３１に対して、該被処理体を該処理装置２から回収させる指示を示した搬送指示情報を送信する。搬送制御装置３１は、該搬送指示情報を受信した場合、該搬送指示情報に従って搬送装置３２を該処理装置２へ移動させ、被処理体の回収を行う。

　本実施の形態に係る生産効率化装置の導入によっても、このような既存のシーケンスに対して大きな変更を不要にするために、生産効率化装置１は、処理装置２からの処理終了報告が出されるより前に、処理終了の予測時機を元に、該予測時機に処理装置２へ搬送装置３２が到達するように搬送装置３２を移動させ、搬送装置３２が行き先の処理装置２に対応する位置へ到着したとしても、生産実行制御装置４から搬送制御装置３１への被処理体の回収指示が出されるまでは、搬送装置３２をその処理装置２に対応する位置に留まらせて待機させる、或いは近辺を周遊させるなどを行わせるように構成すれば良い。このように構成した場合は、搬送制御装置３１は、生産実行制御装置４からの被処理体の回収指示を受信すると、その受信に対応して該搬送装置３２による処理装置２からの被処理体の回収を行う。

　このように、搬送装置３２への投機的な搬送を指示するための投機的指示情報と、搬送装置３２への処理装置２からの被処理体の回収あるいは配達を指示するため搬送指示情報とを分けて、被処理体の移載作業の実施は生産実行制御装置４からの指示を待つように、既存の搬送実行制御装置４の制御シーケンスと整合をとらせる。

　なお、搬送指示情報と、投機的指示情報とを整合させる上述の処理は一例であり、これに限定されない。例えば、上述の例では、搬送装置３２は、生産実行制御装置４からの指示を待って、被処理体の回収を行っているが、本実施の形態に係る生産効率化装置の導入により、既存のシーケンスに変更を許容して更なる生産効率向上を目指す場合には、生産実行制御装置４から搬送指示情報が送信される前であっても、処理を終了した被処理体の回収は搬送装置３２および処理装置２が被処理体の回収が可能な状態になり次第実行し、次の搬送先の処理装置が生産実行制御装置から指示されていない場合は近傍のバッファーやストッカーに搬送し、保管することによって次にその装置で処理される被処理体の搬入が命令され次第対応できるようにするようにしても良いし、または次に該処理体を搬送する搬送先に係る指示を生産効率化装置１あるいは搬送制御装置３１より生産実行制御装置に要求し、得られた指示に基づいて該被処理体を次の処理装置あるいはストッカーに搬送するようにして整合をとっても良い。さらには生産実行制御装置４から搬送指示情報が送信される前に、搬送装置３２が処理装置２から被処理体を回収し、又は処理装置２にＦＯＵＰを載置するように構成しても良い。この場合、搬送制御装置３１は、搬送装置３２の処理内容を示した情報を生産実行制御装置４へ送信し、生産実行制御装置４は該情報に基づいて、以後の処理装置２及び搬送装置３２に対する制御内容を補正するようにすると良い。

　搬送制御装置３１は、生産効率化装置１から送信された整合済みの搬送指示情報を受信する（ステップＳ２９）。そして、搬送制御装置３１は、被処理体の回収を指示する回収指示、及び処理済みの被処理体を別の処理装置２またはストッカー（図示せず）へ搬送させる搬送指示を搬送装置３２へ送信する（ステップＳ３０）。

　空の搬送装置３２は、搬送制御装置３１から送信された回収指示及び搬送指示を受信し（ステップＳ３１）、受信した回収指示に従って、指定された処理装置２へ移動し、被処理体を回収する（ステップＳ３２）。回収した被処理体を搭載した搬送装置３２は、該被処理体を該処理装置２またはストッカーに搬送する（ステップＳ３３）。

　なお、上述の処理手順では、空の搬送装置の移動を被処理体搭載の搬送装置の移動より先に指示する例を示しているが、搬送装置３２の配置状況によっては、被処理体搭載の搬送装置の移動を先に開始させ、次いで空の搬送装置の移動を指示するようにしても良い。例えば、空の搬送装置が被処理体搭載の搬送装置に比べて処理装置２近傍に位置しているような場合、被処理体搭載の搬送装置の方が移動に時間を要するため、先に被処理体搭載の搬送装置の移動を指示すると良い。

＜投機準備失敗フォロー処理＞
　図１２は、搬送装置３２への投機的指示が的中しなかった場合の処理手順を示したフローチャートである。搬送制御装置３１は、搬送装置３２の状態及び生産実行制御装置４から送信される生産実行制御情報を監視しており、処理装置２における被処理体の処理が終了する前に搬送装置３２が到着したことを認識することができる。搬送制御装置３１は、処理装置２における被処理体の処理が終了する前に搬送装置３２が到着した場合、投機的移動失敗通知を生産効率化装置１へ送信する（ステップＳ１７１）。

　生産効率化装置１の制御部１１は、投機的移動失敗通知を搬送制御装置３１から受信した場合（ステップＳ１７２）、搬送装置３２の待機若しくは巡回、又は搬送装置３２を車庫へ移動させる指示情報を生成する（ステップＳ１７３）。そして、制御部１１は、ステップＳ１７３で生成した指示情報を搬送制御装置３１へ送信する（ステップＳ１７４）。

　搬送制御装置３１は、生産効率化装置１から送信された指示情報を受信した場合（ステップＳ１７５）、処理装置２に到着した搬送装置３２を待機若しくは巡回させ、又は搬送装置３２を所定の車庫へ移動させる指示を搬送装置３２に送信する（ステップＳ１７６）。

　搬送装置３２は、搬送制御装置３１の指示に従って、処理装置２周辺で待機し、周辺を巡回し、又は所定の車庫へ移動する（ステップＳ１７７）。

　本実施の形態によれば、処理装置２における被処理体の処理終了時間を予測して被処理体を投機的に搬送することによって、搬送装置３２の搬送時間を短縮して被処理体に対する処理効率を向上させ、生産効率を向上させることができる。
　また、現状でも処理負荷が高い生産実行制御装置４へ処理装置２の動作状況を送信し、予測処理を実行させた場合、生産実行制御装置４の処理負荷が更に増大し、搬送装置２及び処理装置２に対する制御が遅延することになり、却って生産効率が悪化するおそれがあった。しかし、本実施の形態によれば、生産効率化装置１の制御によって、搬送装置３２を投機的に移動させることができるため、かかる問題を回避しつつ、生産効率を向上させることができる。

　なお、上述の実施の形態では、処理装置２における被処理体の処理が終了する時刻を予測し、搬送装置３２を該処理装置２近傍へ移動させるように構成した例を説明したが、処理終了予測を行わずに搬送装置３２の投機的移動を指示するように構成しても良い。
　例えば、処理装置２から特定のタイミングでイベント信号が出力されるように構成し、生産効率化装置１は、処理装置２から出力されたイベント信号を受信した場合、直ちに、搬送装置３２を該処理装置２へ移動させるように構成しても良い。イベント信号の内容及び出力タイミングは特に限定されるものでは無い。具体的には、イベント信号は、被処理体に対する処理が特定の工程に入った場合に出力される信号、処理装置２が特定の状態にある場合に出力される信号、処理装置２から出力された処理終了時刻情報を有する信号などである。

　また、生産効率化装置１は、処理装置２から出力されたイベント信号を受信した場合、該イベント信号を受信してから所定時間後に、搬送装置３２を該処理装置２へ移動させるように構成しても良い。

　更に、本実施の形態では、生産実行制御装置４からの制御命令に先だって、投機的に搬送装置３２の移動を指示するように構想してあるが、状況によっては、生産実行制御装置４からの制御命令が送信された後に、生産効率化装置１が搬送装置３２の移動指示を搬送制御装置３１へ送信することがあっても良い。

　処理装置２が処理の状況を生産実行制御装置４へ送信し、生産実行制御装置４に予測処理を実行させるように構成した場合は、生産実行制御装置４の処理負荷は現状でも高いところ、更に処理負荷が増大し、搬送装置３２及び処理装置２に対する制御が遅延することになり、却って生産効率が悪化するおそれがある。しかし、本実施の形態によれば、搬送制御装置３１と生産効率化装置１とは別に生産効率化装置１を設けることにより、生産実行装置４の処理負荷の増大を最小限に抑えることができる。

　また、本実施の形態では生産実行装置４と搬送制御装置３１と生産効率化装置１とを個別に設ける例を説明したが、生産効率化装置１と搬送制御装置３１の機能を１つのコンピュータに構築させてもよい。

（変形例１：統計的処理終了予測）
　図１３は、変形例１における生産効率化に係る処理手順を示したフローチャートである。処理装置２及び生産効率化装置１の制御部１１は、図４のステップＳ１１～ステップＳ１２と同様、情報の送受信（ステップＳ１９１，１９２）、処理装置２における被処理体に対する処理終了予測を行う（ステップＳ１９３）。
　その後、被処理体に対する処理を終えた処理装置２は、被処理体に対する処理を実際に終えた実終了時刻を生産効率化装置１へ送信する（ステップＳ１９４）。なお、実終了時刻に代えて、被処理体に対する処理を終えるのに実際に要した実終了時間を送信し、実終了時間を用いて以下の処理を実行するように構成しても良い。

　生産効率化装置１の制御部１１は、処理装置２から送信された実終了時刻を受信し（ステップＳ１９５）、終了予測時刻と、処理装置２から送信された実終了時刻と、処理終了予測に用いた情報とを対応付けて内部記憶装置１３に蓄積する（ステップＳ１９６）。なお、処理終了時刻と、実終了時刻とに対応付けられる情報は、例えば処理装置２を特定するＩＤ、レシピ等を含む。このように、生産効率化装置１は、処理装置２における処理の終了予測を行う都度、終了予測時間と、実終了時刻と、終了予測に用いた情報とを対応付けて蓄積する。内部記憶装置１３に蓄積された処理終了予測に係る情報は、処理終了予測に利用される。

　次いで、上述の情報が内部記憶装置１３に蓄積された後、再び処理装置２から、処理終了予測に必要な情報が生産効率化装置１へ送信された場合（ステップＳ１９７）、生産効率化装置１は該情報を受信し（ステップＳ１９８）、受信した情報と、内部記憶装置１３に蓄積された情報とを用いて、前記情報の送信元である処理装置２で処理が終了する時刻を予測する（ステップＳ１９９）。処理終了予測の統計計算方法は特に限定されない。例えば、内部記憶装置１３が記憶する情報に基づいて、処理終了時刻の最大値、最小値、平均値、最頻値、分散などを計算して、処理終了時刻を算出する。以下、図４のステップＳ１４以降の処理と同様の処理が実行される。

　変形例１に係る生産効率化装置１によれば、処理終了時刻を統計的に算出するように構成してあるため、より適切なタイミングで搬送装置３２の移動を投機的に指示することができ、更に生産効率を向上させることができる。

（変形例２：同期）
　図１４は、変形例２に係る空の搬送装置及び被処理体搭載の搬送装置の到着タイミングを示したタイミングチャートである。図１４Ａは、被処理体搭載の搬送装置の到着タイミングの確率分布、図１４Ｂは、空の搬送装置の到着タイミングの確率分布、図１４Ｃ及び図１４Ｄは、第１及び第２のロードポート２１ａ、２１ｂに載置された被処理体に対する処理が行われるタイミングを示している。

　変形例２に係る生産効率化装置１は、搬送装置３２が処理装置２へ移動するために必要な所要時間と、該処理装置２における第１のロードポート２１ａに載置された被処理体に対する処理が終了し、該処理が終了した被処理体を取り出すことが可能になる予定の第１の時刻と、第２のロードポート２１ｂに載置された被処理体に対する処理が全て終了する予定の第２の時刻とを元に、第１の時刻から第２の時刻までの間に搬送装置３２が到着可能なタイミングで搬送装置３２の移動を指示する。例えば、生産効率化装置１の制御部１１は、空の搬送装置が処理装置２に到着する時刻の確率分布と、被処理体搭載の搬送装置が処理装置２に到着する時刻の確率分布とを算出し、各確率分布が第１の時刻と、第２の時刻との間に分布し、空の搬送装置の到着時刻に係る確率分布が、被処理体搭載の搬送装置の到着時刻に係る確率分布よりも第１の時刻寄りに分布するように、各搬送装置３２の移動を指示する。より好適には、各確率分布が重複しないように、即ち各確率分布の重複部分の割合が所定値未満になるように、搬送装置３２の移動を指示すると良い。なお、第１及び第２の時刻は、ロードポートの切替時刻と、処理される被処理体の枚数、レシピ等に基づいて予測することができる。

　より具体的に説明すると、図１４に示すように、第１のロードポート２１ａに載置された被処理体を処理している場合、処理装置２から送信された情報に基づいて、該被処理体に対する処理が終了し、該処理が終了した被処理体を取り出すことが可能になる第１の時刻を予測する。また、前記被処理体に対する処理を終了した後、第２のロードポート２１ｂに載置された被処理体に対して処理が実行されるが、制御部１１は、該被処理体に対する処理が全て終了する第２の時刻をレシピを用いて予測する。そして、制御部１１は、搬送装置３２が該処理装置２へ移動するために必要な所要時間を推定し、前記第１の時刻と、第２の時刻との間に空の搬送装置と、被処理体搭載の搬送装置とがこの順で到着可能なタイミングで搬送装置３２の移動を指示する。

　変形例２に係る生産効率化装置１によれば、適切なタイミングで搬送装置３２の移動を投機的に指示することができ、更に生産効率を向上させることができる。

（変形例３：優先度スケジューリング）
　次に本発明にかかわる変形例３を説明する。
　本変形例３では、生産効率化装置１は、処理終了時刻を予測することにより、処理装置からの搬出が可能になるタイミングと、処理装置２においてこれから処理すべき被処理体が無くなってしまうタイミングを求める。

　例えば、処理装置２において、処理が終了することにより該処理装置２からの搬出が可能となった被処理体を収納したＦＯＵＰがひとつのロードポート上にある場合であっても、該処理装置２において、この搬出が可能となったＦＯＵＰとは別の未処理の被処理体を収納したＦＯＵＰが別のロードポートにあり、未処理の被処理体が残っている場合は、プロセスモジュールが被処理体への処理ができない状態に至るまでには猶予時間がある。処理装置２内にある複数の被処理体毎あるいは、被処理体を収納したＦＯＵＰの単位で処理終了時刻を予測することで、生産効率化装置１が搬送制御装置３１へ送信する搬送必要時機にかかわる情報は、少なくともひとつのロードポートに載置されたＦＯＵＰに収納されていた被処理体の処理が終了し搬送装置による回収が可能になる時機を始点とし、他方のロードポートに載置されたＦＯＵＰに収納されていた被処理体への処理が終了してその後処理すべき被処理体が装置内に無くなる時機を終点とする時間幅を持った情報とする。
　これにより、搬送制御装置３１は、搬送必要時機の始点から終点の間に搬送装置３２が処理装置２に到着するように制御すればよく、このように時間幅を有しているので搬送制御装置３１において搬送の優先度を考慮し、搬送路における搬送装置３２の混雑を低減させた搬送装置３２の移動スケジューリングがしやすくなる。更に例えば処理装置２における被処理体への処理が終了し、処理装置２から生産実行制御装置４へ処理が終了した旨の報告がなされ、生産実行制御装置４から搬送制御装置３１へ該処理装置からの被処理体の回収の指示がだされたあとであっても、前記搬送必要時機の終点までに時間的余裕があるのであれば、搬送制御装置３１は複数の搬送装置の位置や移動状態を考慮し、混雑が発生しないように前記生産実行制御装置４からの回収指示に即応せずに、遅れて移動させるように構築してもよい。
　このように、処理装置２において、処理が終了し搬出することが可能になった被処理体が発生しても、処理すべき未処理の被処理体が無いという状態にならなければ、プロセスモジュールは連続的に処理を続けることができるので、処理装置２の高い生産効率を維持することが可能となる。

（変形例４：優先度スケジューリング）
　図１５は、変形例４における生産効率化に係る処理順を示したフローチャートである。投機的に搬送装置３２を移動させた後、生産実行制御装置４から搬送指示情報が送信され（ステップＳ２１１）、該搬送指示情報を生産効率化装置１が受信した場合（ステップＳ２１２）、生産効率化装置１の制御部１１は、ロードポート２１ａ，２１ｂの切替時刻、及び現在行っている被処理体に対する処理内容が記述されたレシピを処理装置２に要求する（ステップＳ２１３）。

　処理装置２は、生産効率化装置１からロードポート２１ａ，２１ｂの切替時刻及びレシピの要求を受けた場合（ステップＳ２１４）、直近のロードポート切替時刻と、現在行っている被処理体に対する処理内容を記述したレシピを生産効率化装置１へ送信する（ステップＳ２１５）。

　生産効率化装置１の制御部１１は、処理装置２から送信されたロードポート切替時刻及びレシピを受信する（ステップＳ２１６）。そして、制御部１１は、現在の時刻と、ロードポート切替時刻と、レシピとに基づいて、現在行われている処理が終了するまでの時間（以下、処理残時間という）を算出する（ステップＳ２１７）。そして、制御部１１は、被処理体の搬送が必要な処理装置２が複数ある場合、搬送装置３２を手配すべき処理装置２の優先順位を決定する（ステップＳ２１８）。優先順位は、処理残時間が短い程、高くなるように決定される。

　そして、制御部１１は、優先順位に応じた回収指示及び搬送指示情報を搬送制御装置３１へ送信する（ステップＳ２１９）。

　このように搬送装置３２の移動をスケジューリングすることによって、場合によっては、処理装置２における処理が終了した直後に搬送装置３２が到着するように搬送装置３２の移動を指示するのではなく、他の処理装置２において処理すべき被処理体が無くなってしまうような事態も勘案して、被処理体の到着待ちが発生しそうな処理装置２へ搬送装置３２を優先的に移動させることができる。

　変形例４に係る生産効率化装置１によれば、搬送装置３２の手配が必要な処理装置２の優先順位を決定し、優先的に搬送装置３２を移動させるように構成しているため、生産効率をより向上させることができる。

（変形例５：生産実行制御装置４の接続例）
　図１６は、変形例５に係る生産処理システムの一構成例を示したブロック図である。上述の実施の形態では生産効率化装置１が、処理装置２、搬送制御装置３１、生産実行制御装置４との間で情報の通信を行う第１乃至第３通信部１４，１５，１６を備えている例を説明したが、生産実行制御装置４からの情報を間接的に受信するように構成しても良い。例えば、生産実行制御装置４から送信される情報を搬送制御装置３１を介して受信するように構成しても良い。

　変形例５に係る生産効率化装置１によれば、生産実行制御装置４との間で情報を送受信するインタフェースが不要であり、低コストで通信システムを構築することができる。

（変形例６：搬送システム３の通信線流用）
　図１７は、変形例６に係る生産処理システムの一構成例を示したブロック図である。これまでに説明した本発明における形態では、変形例６生産効率化装置１が処理装置２と通信するための専用線を有する例を説明したが、これに限るものでは無く、変形例６に係る生産効率化装置１は、搬送制御装置３１と、搬送装置３２との間で情報を送受信する通信線路３３を流用して、処理装置２から送信される情報を受信するように構成されている。通信線路３３は、例えば、搬送システム３を構成する搬送装置３２の搬送路に沿って敷設されている。
　また、通信線路３３を経由し、搬送システム３が有する被処理基板を搬送する搬送装置３２が処理装置２への被処理基板の受け渡しをするための停止点近傍に、処理装置２との通信線路を接続するアクセスポイント（局）が配置されるように構成しても良い。

　変形例６に係る生産効率化装置１によれば、処理装置２との間で情報を送受信する専用線が不要であり、低コストで通信システムを構築することができる。

（変形例７：被処理体搭載の搬送装置移動指示処理）
　図１８及び図１９は、変形例７における生産効率化に係る処理順を示したフローチャートである。変形例７に係る生産効率化装置１は、生産実行制御装置４からの情報を利用して被処理体搭載の搬送装置のより的確な投機的移動指示を行うものである。

　被処理体に対して処理を実行している処理装置２は、被処理体に対する処理が終了する時刻を予測するために必要な情報を生産効率化装置１へ送信する（ステップＳ２３１）。

　生産効率化装置１の制御部１１は、処理装置２から送信された情報を、第１通信部１４にて受信し（ステップＳ２３２）、受信した情報に基づいて、該情報の送信元の処理装置２が処理を終える処理終了時刻を予測する（ステップＳ２３３）。

　次いで、制御部１１は、予測した処理終了時刻に基づいて、空の搬送装置の投機的指示情報を生成し（ステップＳ２３４）、生成した空の搬送装置の投機的指示情報を第２通信部１５にて搬送制御装置３１へ送信する（ステップＳ２３５）。

　搬送制御装置３１は、生産効率化装置１から送信された空の搬送装置の投機的指示情報を受信する（ステップＳ２３６）。そして、搬送制御装置３１は、受信した投機的指示情報に基づいて、搬送装置３２の引き当てと移動すなわち配車のスケジューリング、及び搬送装置３２の待機を指示し（ステップＳ２３７）、空の搬送装置の移動指示を送信する（ステップＳ２３８）。

　搬送装置３２は、搬送制御装置３１からの指示を受信する（ステップＳ２３９）。そして、前記指示を受信した搬送装置３２は、受信した指示に従って、指示された処理装置２近傍へ移動する（ステップＳ２４０）。つまり、処理装置２で処理された被処理体を回収するための搬送装置３２は、生産実行制御装置４からの指示に先だって、該処理装置２へ移動している。

　次いで、制御部１１は、情報の送信元の処理装置２で次に処理されるべき被処理体のロット番号等、次処理に係る情報を生産実行制御装置４へ要求する（ステップＳ２４１）。

　生産実行制御装置４は、生産効率化装置１から次処理に係る情報の要求を受けた場合（ステップＳ２４２）、次処理に係る被処理体の指定情報又は次処理に係る被処理体を特定するための情報を生産効率化装置１へ送信する（ステップＳ２４３）。

　生産効率化装置１の制御部１１は、生産実行制御装置４から送信された情報を受信し（ステップＳ２４４）、該情報に基づいて被処理体搬送の投機的指示情報を生成し（ステップＳ２４５）、生成した被処理体搬送の投機的指示情報を第２通信部１５にて搬送制御装置３１へ送信する（ステップＳ２４６）。

　搬送制御装置３１は、生産効率化装置１から送信された被処理体搬送の投機的指示情報を受信する（ステップＳ２４７）。そして、搬送制御装置３１は、受信した投機的指示情報に基づいて、前記指定された被処理体を搭載中の搬送装置３２を特定し配車のスケジューリング、及び該搬送装置３２の待機処理を実行し（ステップＳ２４８）、移動指示を送信する（ステップＳ２４９）。ステップＳ２４８で行う指示は、後述するように、生産実行制御装置４から送信される確定的な制御指示に先だって行われる投機的な準備に係る指示である。なお、ステップＳ２４８において指定された被処理体が搬送装置３２には搭載されておらず、ストッカーなどに保管されている場合などには、搬送制御装置３１は前記指定された被処理体の現在の保管場所特定と該被処理体を搭載するための搬送装置３２の引き当てと該被処理体の搭載と移動のスケジューリング、及び該搬送装置３２の待機処理を実行することにすればよい。

　搬送装置３２は、搬送制御装置３１からの指示を受信する（ステップＳ２５０）。そして、搬送装置３２は、受信した指示に従って、指示された処理装置２近傍へ該処理装置２の次処理に係る被処理体を搭載して移動する（ステップＳ２５１）。つまり、処理装置２で次に処理されるべき被処理体を搬送するための搬送装置３２は、生産実行制御装置４からの指示に先だって、該処理装置２へ移動される。

　なお、空の搬送装置の投機的な移動指示の処理で説明した各種変形例は、被処理体を搭載している搬送装置の投機的移動指示についても適用することができる。

　変形例７に係る生産効率化装置１によれば、被処理体搭載の搬送装置の投機的移動を適確に指示することができ、生産効率を向上させることができる。

　本実施の形態では、生産実行装置４と搬送制御装置３１と生産効率化装置１とを個別に設ける例を説明したが、生産効率化装置１に更に搬送制御装置３１の機能を持たせてもよい。

　今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものでは無いと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味では無く、請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

　今回開示された実施の形態は、被処理体を収容し、側面に開閉可能な蓋を有した密閉容器であるＦＯＵＰを用いて被処理体を搬送する例として説明したが、下面に蓋を有したＳＭＩＦポッドであっても適用できるし、密閉されない開放型の収容容器であるオープンカセットでも良いし、収容容器に収容する被処理体の枚数が１枚であっても良いし、被処理体を容器に入れずに被処理体そのものを移動させる形態であってもよい。

　１　生産効率化装置
　２　処理装置
　３　搬送システム
　４　生産実行制御装置
　５　記録媒体
　５ａ　コンピュータプログラム
　１１　制御部
　１２　外部記憶装置
　１３　内部記憶装置
　１４　第１通信部
　１５　第２通信部
　１６　第３通信部
　１７　時計部
　２１ａ　第１のロードポート
　２１ｂ　第２のロードポート
　２２　ロードモジュール
　２３ａ、２３ｂ　ロードロックモジュール
　２４　トランスファーモジュール
　２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄ　プロセスモジュール
　３１　搬送制御装置
　３２　搬送装置

Claims

　被処理体を処理する複数の処理装置との間で情報を通信する第１通信手段と、
　前記複数の処理装置に被処理体を搬送する搬送装置を有する搬送システムとの間で、該搬送装置の制御に係る制御情報を通信する第２通信手段と、
　前記第１通信手段にて通信した情報に基づいて、該情報の通信先の処理装置が被処理体の搬送を要する搬送時機を予測する搬送時機予測手段と、
　該搬送時機予測手段が予測した搬送時機に前記情報の通信先の処理装置へ前記搬送装置が到着するように前記搬送システムへの制御情報を生成する生成手段と
　を備える生産効率化装置。
　前記制御情報は、
　被処理体を搭載していない搬送装置を前記情報の通信元の処理装置へ移動させる指示を含む
　請求項１に記載の生産効率化装置。
　前記制御情報は、
　被処理体を搭載している搬送装置を前記情報の通信元の処理装置へ移動させる指示を含む
　請求項１又は請求項２に記載の生産効率化装置。
　前記搬送システムは複数の搬送装置を有しており、
　前記制御情報は、
　被処理体に対する処理が所定の期間内に終了する処理装置が少ない領域に比べて、処理が前記期間内に終了する処理装置が多く存在する領域に前記搬送装置を偏在させるように前記搬送装置を移動させる指示を含む
　請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載の生産効率化装置。
　前記生成手段は、
　前記処理装置で被処理体の処理が終了する前に、前記搬送装置が該処理装置に到着した場合、該搬送装置を待機させる指示、前記搬送装置を前記処理装置の周辺で巡回させる指示、又は所定箇所に前記搬送装置を移動させる指示を含む制御情報を生成するようにしてある請求項２乃至請求項４のいずれか一つに記載の生産効率化装置。
　前記制御情報は、
　被処理体を搭載していない搬送装置と、前記処理装置で処理されるべき被処理体を搭載した搬送装置とがこの順で前記処理装置に到着するように各搬送装置を移動させる指示を含む
　請求項１乃至５に記載の生産効率化装置。
　前記処理装置及び前記搬送装置の動作を制御する生産実行制御装置から送信された生産実行制御情報を直接的又は間接的に通信する手段を備え、
　前記生産実行制御装置から送信された生産実行制御情報の内容と、生成手段が生成した制御情報の内容とが矛盾しないようにしてある請求項１乃至請求項６のいずれか一つに記載の生産効率化装置。
　前記搬送時機に搬送装置が前記情報の通信元の処理装置へ到着するために要する時間である移動所要時間を予測する手段を更に備え、
　前記制御情報は、前記搬送装置の移動を開始させる時機である移動開始時機を有し、前記移動開始時機は前記搬送時機より前記移動所要時間前の時機である
　請求項１乃至７のいずれか一つに記載の生産効率化装置。
　前記搬送時機は、
　前記処理装置における処理が終了し、前記搬送装置による被処理体の取り出しが可能になる時機、該処理装置において処理すべき未処理の被処理体が無くなる時機、又は各時機の間の時機を含む
　請求項１乃至８のいずれか一つに記載の生産効率化装置。
　前記処理装置は、該処理装置に投入されている被処理体の残処理時間に係る情報と、連続して処理を継続する為に次に被処理体が必要になる時間の算出に係る情報とを通信するように構成してあり、
　複数の前記処理装置と通信した前記情報に基づいて、各処理装置に投入されている被処理体の処理が終了する終了時機、及び各処理装置が次の被処理体を必要とする開始時機を算出する手段と、
　算出された終了時機及び開始時機に基づいて、前記搬送装置を移動させるべき処理装置の優先順位を決定する手段と
　を備える請求項１乃至請求項９のいずれか一つに記載の生産効率化装置。
　前記処理装置で被処理体に対する処理に実際に要した実績時間又は処理を実際に終了した実終了時刻を通信する手段と、
　終了予測時機と、実績時間又は実終了時刻と、終了予測時機の予測に用いた情報とを対応付けて蓄積する手段と
　を備え、
　前記生成手段は、
　蓄積された情報を用いて制御情報を生成するようにしてある
　請求項１乃至請求項１０のいずれか一つに記載の生産効率化装置。
　前記第１通信手段が通信する情報は、
　被処理体に対する処理が特定の処理工程にあることを示す情報を含む
　請求項１乃至請求項１１のいずれか一つに記載の生産効率化装置。
　前記第１通信手段が通信する情報は、
　前記処理装置で被処理体に対する処理に要する時間又は処理が終了する予定時機を示した情報を含む
　請求項１乃至請求項１２のいずれか一つに記載の生産効率化装置。
　前記第１通信手段が通信する情報は、
　前記処理装置の自身の状態が特定の状態にあることを示す情報を含む
　請求項１乃至請求項１３のいずれか一つに記載の生産効率化装置。
　前記第１通信手段が通信する情報は、
　前記処理装置における過去の処理に要した実績時間又は処理が終了した実績時刻に係る情報を含む
　請求項１乃至請求項１４のいずれか一つに記載の生産効率化装置。
　前記第１通信手段は、
　前記処理装置で被処理体に対する処理が特定の処理工程にある場合に送信された情報を受信するようにしてある
　請求項１乃至請求項１５のいずれか一つに記載の生産効率化装置。
　前記処理装置が被処理体の搬送を要する搬送時機を予測するために必要な情報を前記処理装置へ要求する手段を備え、
　前記第１通信手段は、
　前記要求に応じて前記処理装置から送信された情報を受信するようにしてある
　請求項１乃至請求項１６のいずれか一つに記載の生産効率化装置。
　前記処理装置が被処理体の搬送を要する搬送時機を予測するための情報を送信する時機の設定を前記処理装置に要求する手段を備える
　請求項１乃至請求項１７のいずれか一つに記載の生産効率化装置。
　被処理体を処理する複数の処理装置との間で情報を通信し、
　前記複数の処理装置に被処理体を搬送する搬送装置を有する搬送システムとの間で、該搬送装置の制御に係る制御情報を通信し、
　通信した情報に基づいて、該情報の通信先の処理装置が処理を終了した被処理体の搬出を要する搬出時間又は被処理体の搬入を要する搬入時間を予測し、
　予測した搬出時間又は搬入時間に応じた時機に前記情報の通信先の処理装置へ前記搬送装置が到着するように前記搬送システムへの制御情報を生成する
　生産効率化方法。
　コンピュータを、
　被処理体を処理する複数の処理装置との間で情報を通信する第１通信手段と、
　前記複数の処理装置に被処理体を搬送する搬送装置を有する搬送システムとの間で、該搬送装置の制御に係る制御情報を通信する第２通信手段と、
　前記第１通信手段にて通信した情報に基づいて、該情報の通信先の処理装置が被処理体の搬出を要する搬出時間又は搬入を要する搬入時間を予測する手段と、
　該手段が予測した搬出時間又は搬入時間に応じた時機に前記情報の通信先の処理装置へ前記搬送装置が到着するように前記搬送システムへの制御情報を生成する生成手段と
　して機能させるコンピュータプログラム。