WO2012115003A1 - 液晶パネルの検査装置および検査方法 - Google Patents

Abstract

　駆動回路を取り付ける検査の前段階にて、表示ムラの不良モードを検知できる検査装置を提供する。液晶パネル５０の表示ムラを検査する検査装置１００であり、液晶パネル５０を撮像するカメラ２０と、カメラ２０を制御する制御装置３２と、カメラ２０が撮像した画像データに基づいて、輝度分布を測定する輝度分布測定装置３６と、制御装置３２に接続された記憶装置３４とを備える。記憶装置３４は、輝度分布データと、蓄積された輝度分布データとを対比することによって、表示ムラを判定する判定プログラム３５を有する。制御装置３２には、蓄積された輝度分布データが格納された蓄積データ保存装置３８が接続されており、蓄積された輝度分布データは、実装工程後における表示ムラの判定結果データを含んでいる。

Description

液晶パネルの検査装置および検査方法

　本発明は、液晶パネルの検査装置および検査方法に関する。特に、液晶パネルの表示ムラを検査する検査装置および検査方法に関する。
　なお、本出願は２０１１年２月２５日に出願された日本国特許出願２０１１－３９４２２号に基づく優先権を主張しており、その出願の全内容は本明細書中に参照として組み入れられている。

　液晶表示装置（ＬＣＤ）の構成部品である液晶パネルは、一対のガラス基板を所定のギャップを確保した状態で対向させた構造を有している。液晶パネルの製造工程においては、まず、アレイ側のガラス基板（マザーガラス）と、カラーフィルタ側のガラス基板（マザーガラス）がそれぞれ別々の工程で加工が行われる。

　アレイ側のガラス基板においては、成膜工程とフォトリソグラフィ工程とエッチング工程とが繰り返され（ＴＦＴアレイ工程）、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）、透明電極、それらを繋ぐ配線などを形成した後、最後に配向膜処理を行う。なお、カラーフィルタ側の加工については省略する。セル工程に入ると、アレイ側のガラス基板とカラーフィルタ側のガラス基板との間に、スペーサを介して、液晶材料を注入する。その後は、それぞれのパネルサイズに切り分けた後、偏光板等のフィルムを接着する。このようにして液晶パネルが製造される。

　液晶パネルの検査には、その製造工程において大別して２つの機能検査がある。１つはアレイ工程の最終に行う検査である。この検査は、ガラス基板上に作製されたＴＦＴ回路の機能、および、短絡を検査するものである。もう一方は、セル工程の最終に行う検査である。この検査は、液晶を封入したパネル（アレイ基板）を点灯させて、テストパターンを表示させることによって、パネルの動作状態を確認するものである。この検査は、点灯検査とも呼ばれ、色度、色ムラ、パネルの動作状態を確認するものである。

　上述のように、液晶パネルが製造されたときには、液晶パネルの欠陥検査が行われる。図１を参照しながら、液晶パネルの欠陥検査について説明する（例えば、特許文献１参照）。

　図１は、液晶パネル２００の等価回路図を示している。図１に示した液晶パネル２００では、複数の走査信号配線１１と画像信号配線１２とがマトリックス状に設けられている。走査信号配線１１と画像信号配線１２との各交点に画素電極１３を設ける。この画素電極１３と画像信号配線１２にソース・ドレイン端子が接続されると共に、走査信号配線１１にゲート端子が接続されたスイッチング用トランジスタ（ＴＦＴ）１４を設ける。そして、この画素電極１３と対向電極１５との間には、電荷保持用の付加容量１６を設けている。

　このような液晶パネル２００では、駆動回路（不図示）を走査信号配線１１および画像信号配線１２の端子に接続する前に、正常に動作するか否かを検査する。このような検査を行うに際しては、複数の走査信号配線１１を短絡環１１ａで短絡接続するとともに、複数の画像信号配線１２を短絡環１２ａで短絡接続する。そして、この複数の走査信号配線１１と複数の画像信号配線１２に、走査信号Ｖ_Gと画像信号Ｖ_Sを供給することによって、全点灯試験を行っていた。

特開平６－８２８１７号公報

　この液晶パネル２００の検査では、簡便な検査用配線および端子にて、点欠陥、および、白・黒・グレーの表示ムラを検査することができる。すなわち、図１に示した構造２００では、全ての画像信号配線（ソース配線）１２を短絡環１２ａにて短絡接続しているので、全ての絵素領域（またはサブ画素領域）を一度に点灯させて検査することができるので便利である。

　しかしながら、駆動回路を取り付ける前の検査では、良品と判定された表示ムラが、駆動回路を実装した後の検査で不良品と判定されるケースが発生する。一例を挙げると、図２（ａ）に示すように、所定の液晶パネル（例えば、４０インチの液晶パネル）３００において、駆動回路を取り付ける前の検査では、表示ムラ３１０（例えば、セル厚ムラが８％）が存在していた。この表示ムラ３１０は許容できる程度のものであったので、液晶パネル３００を良品として判断していた。それが、図２（ｂ）に示すように、駆動回路を実装した後の検査では、不良品と判定される表示ムラ３２０になることがある。これは、駆動回路を実装した後の検査では、偏光板を貼る工程が加わるなどして、液晶パネル３００の状態が変化したことに起因すると推測される。

　このように、駆動回路を実装する前の検査で良品と判定された液晶パネル３００が、駆動回路を実装した後の検査では不良品と判定されることは問題である。具体的には、不良品の液晶パネル３００に対して行った駆動回路の実装工程が無駄になる。駆動回路を実装する前の検査において、そのような不良モード（表示ムラ）を発見できれば、製造工程のスループットの向上にも繋がり、そして、製造コストの低下にもなる。

　本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、駆動回路を取り付ける検査の前段階にて、表示ムラの不良モードを検知することができる検査装置または検査方法を提供することになる。

　本発明に係る検査装置は、液晶パネルの表示ムラを検査する検査装置であり、液晶パネルを撮像するカメラと、前記カメラを制御する制御装置と、前記カメラが撮像した画像データに基づいて、輝度分布を測定する輝度分布測定装置と、前記制御装置に接続された記憶装置とを備え、前記記憶装置は、前記輝度分布測定装置が測定した輝度分布と、蓄積された輝度分布データとを対比することによって、表示ムラを判定する判定プログラムを有しており、前記制御装置には、前記蓄積された輝度分布データが格納された蓄積データ保存装置が接続されており、前記蓄積された輝度分布データは、実装工程後における表示ムラの判定結果データを含んでいる。

　ある好適な実施形態において、前記制御装置、前記輝度分布測定装置、前記記憶装置および前記蓄積データ保存装置は、表示ムラ判定装置を構築しており、前記表示ムラ判定装置は、前記カメラに接続され、前記輝度分布の処理を行う輝度分布処理部と、前記輝度分布処理部に接続され、前記表示ムラの判定を行う表示ムラ判定シミュレーション部と、前記表示ムラ判定シミュレーション部に接続され、前記蓄積された輝度分布データが格納された記憶部とから構成されている。

　本発明に係る検査方法は、液晶パネルの検査方法であり、液晶パネルの輝度分布を測定する工程と、前記輝度分布と、蓄積された輝度分布データとを対比する工程と、前記対比工程によって、実装工程後における表示ムラの有無を検出する工程とを含み、前記対比工程における前記蓄積された輝度分布データは、実装工程後における表示ムラの判定結果データを含んでいる。

　本発明によれば、液晶パネルを撮像するカメラを制御する制御装置と、輝度分布を測定する輝度分布測定装置と、輝度分布データと蓄積された輝度分布データとを対比することによって表示ムラを判定する判定プログラムを有する記憶装置とを備えている。蓄積された輝度分布データは、実装工程後における表示ムラの判定結果データを含んでいるので、表示ムラを判定する判定プログラムによって、駆動回路を取り付ける検査の前段階にて、駆動回路を取り付けた後における表示ムラの不良モードを検知することが可能となる。

特許文献１に開示された液晶パネル２００の等価回路図である。 （ａ）および（ｂ）は、それぞれ、駆動回路を取り付ける前および後の検査を示す液晶パネル３００を表す図である。 本発明の実施形態に係る検査装置１００の構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態に係る表示ムラ判定装置３０の構成を示すブロック図である。 （ａ）および（ｂ）は、それぞれ、駆動回路を取り付ける前および後における液晶パネル５０の輝度分布を表す図である。 本発明の実施形態に係る検査方法を説明するためのフローチャートである。

　以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。以下の図面においては、説明の簡潔化のために、実質的に同一の機能を有する構成要素を同一の参照符号で示す。なお、本発明は以下の実施形態に限定されない。

　図３は、本発明の実施形態に係る検査装置１００の構成を示すブロック図である。本実施形態の検査装置１００は、液晶パネルの表示ムラを検査する装置である。

　本実施形態の検査装置１００は、液晶パネルを撮像するカメラ２０と、カメラ２０が撮像した画像データに基づいて、輝度分布を測定する輝度分布測定装置３６と、制御装置３２に接続された記憶装置３４とを備えている。記憶装置３４は、輝度分布測定装置３６が測定した輝度分布データと、蓄積された輝度分布データ３１ａとを対比することによって、表示ムラを判定する判定プログラム３５を有している。制御装置３２には、蓄積された輝度分布データ（蓄積輝度分布データ）３１ａが格納された蓄積データ保存装置３８が接続されており、蓄積輝度分布データ３１ａは、実装工程後における表示ムラの判定結果データを含んでいる。

　本実施形態のカメラ２０は、例えば、ＣＣＤイメージセンサ、または、ＣＭＯＳイメージセンサなどである。本実施形態の制御装置３２は、半導体集積回路からなり、例えばＭＰＵ（マイクロ・プロセッシング・ユニット）またはＣＰＵ（セントラル・プロセッシング・ユニット）である。制御装置３２は、カメラ２０の動作を制御するとともに、カメラ２０が撮像した画像データを輝度分布測定装置３６に出力することができる。また、制御装置３２は、輝度分布測定装置３６からのデータを、記憶装置３４および／または蓄積データ保存装置３８に出力することもできる。

　本実施形態の記憶装置３４は、例えば、ハードディスク（ＨＤＤ）、半導体メモリ、光ディスク、光磁気ディスクなどである。本実施形態の記憶装置３４には、表示ムラを判定する判定プログラム（表示ムラ判定プログラム）３５が格納されているが、他のプログラム、データなどを格納しておくことができる。また、輝度分布測定装置３６が、カメラ２０が撮像した画像データに基づいて輝度分布を測定するプログラムから構築されている場合、その輝度分布測定プログラムを記憶装置３４に格納しておくことができる。

　本実施形態の蓄積データ保存装置３８は、記憶装置３４と同じ部材から構築されており、例えば、ハードディスク（ＨＤＤ）、半導体メモリなどである。また、本実施形態の構成では、蓄積データ保存装置３８は、記憶装置３４の一部に形成されており、記憶装置３４がハードディスクの場合、そのハードディスクの一部に蓄積データ保存装置３８が構築される。なお、記憶装置３４と、蓄積データ保存装置３８とを同じ装置で構築しなくても、別の装置で構築することも勿論可能である。

　本実施形態の制御装置３２には、検査用の液晶パネルが載置されるステージ２２が接続されており、制御装置３２によってステージ２２の移動を制御することができる。ステージ２２は、液晶パネルをピンで支持できる構成のものの他、コンベア形式（ローラコンベア、ベルトコンベア）にて液晶パネルを支持・移動できるものであってもよい。

　さらに、制御装置３２には、入力装置４２（キーボード、マウス、タッチパネルなど）および出力装置４４（ディスプレイなど）が接続されている。本実施形態の制御装置３２、記憶装置３４、入力装置４２、出力装置４４は、汎用のＰＣ（パーソナル・コンピュータ）のものを適用することができる。また、本実施形態の制御装置３２、輝度分布測定装置３６、記憶装置３４および蓄積データ保存装置３８によって、表示ムラ判定装置３０を構築することができる。

　制御装置３２、輝度分布測定装置３６、記憶装置３４および蓄積データ保存装置３８から、表示ムラ判定装置３０を構築した場合、図４に示した構成にすることができる。図４に示した表示ムラ判定装置３０は、輝度分布の処理を行う輝度分布処理部３７と、表示ムラの判定を行う表示ムラ判定シミュレーション部３９と、標準輝度分布データ３１ｂが格納された記憶部３１とを含んでいる。

　輝度分布処理部３７は、輝度分布測定装置３６を構築する輝度分布測定プログラムと、制御装置３２および記憶装置３４が協働して動作することによって構築されている。表示ムラ判定シミュレーション部３９は、記憶装置３４に格納された表示ムラ判定プログラム３５と制御装置３２とが協働して動作することによって構築されている。

　また、記憶部３１は、記憶装置３４および蓄積データ保存装置３８から構築されている。記憶部３１には、蓄積輝度分布データ３１ａが格納されている。また、本実施形態の構成では、記憶部３１には、良品の液晶パネルの検査結果データを示す標準輝度分布データ３１ｂも格納されている。

　本実施形態の表示ムラ判定装置３０は、カメラ２０に接続されている。具体的には、輝度分布処理部３７がカメラ２０に接続されている。また、輝度分布処理部３７、表示ムラ判定シミュレーション部３９、記憶部３１は、相互に接続されている。表示ムラ判定装置３０には、入出力部（インターフェイス）３３が設けられており、入出力部３３を介して入力装置４２、出力装置４４が接続されている。

　本実施形態の入力装置４２によって操作者は、輝度分布処理部３７、表示ムラ判定シミュレーション部３９及び／又はカメラ２０に指示を出すことができる。また、出力装置４４には、カメラ２０の画像データ、輝度分布処理部３７の出力結果（輝度分布データ）、表示ムラ判定シミュレーション部３９の出力結果（判定結果）、記憶部３１の各種データ３１ａ、３１ｂなどを表示することができる。

　図５（ａ）は、液晶パネル５０の輝度分布５１の一例を示している。図５（ａ）に示した液晶パネル５０は、駆動回路を取り付ける前のものである。液晶パネル５０には点欠陥は発見されず、輝度分布５１から評価した表示ムラは、良品として許容範囲のものである。したがって、図２（ａ）に示した液晶パネル３００と同様に、これだけの状態では良品と判断されるものである。

　一方、図５（ｂ）に示した液晶パネル５０は、駆動回路を取り付けた後における輝度分布５２を示している。図５（ｂ）に示した輝度分布５２は、図５（ａ）に示した輝度分布５１と比較して、輝度のマッピングによって表現される分布の範囲が広がっている。また、図５（ｂ）に示した輝度分布５２には、表示ムラとして不良品として評価される領域５３も含まれている。

　同じ液晶パネル５０であっても、駆動回路を取り付けた前と後で輝度分布（５１、５２）の差異が出る正確な理由はわからない。おそらく、偏光板を取り付ける工程、駆動回路（不図示）を液晶パネルに実装する工程を通じて、輝度分布の変化が生じるに至ったと推測される。そして、駆動回路を取り付けた前と後で輝度分布（５１、５２）の変化の傾向を集計して蓄積すると、駆動回路を取り付けた後において、表示ムラが強くなるような輝度分布（一例では、領域５３を含むような輝度分布５２）が示される。

　ここで、図５（ａ）に示した液晶パネル５０の輝度分布５１は、カメラ２０にて液晶パネル５０を撮像し、その液晶パネル５０の画像データを、輝度分布測定装置３６（または輝度分布処理部３７）によって処理して輝度分布表示にしたものである。検査対象の液晶パネル５０は、ステージ２２の上に載置され、その液晶パネル５０をカメラ２０が撮像する。同様に、図５（ｂ）に示した液晶パネル５０の輝度分布５２は、駆動回路を取り付けた後の液晶パネル５０をカメラ２０にて撮像し、当該液晶パネル５０の画像データを、輝度分布測定装置３６（または輝度分布処理部３７）によって処理して輝度分布表示にしたものである。

　本実施形態の構成では、駆動回路の取付け前と後の輝度分布（５１、５２）のデータを蓄積しておき、蓄積データ保存装置３８内に蓄積輝度分布データ３１ａとして格納しておく。蓄積輝度分布データ３１ａは、実装工程後における表示ムラの判定結果データを含んでいる。具体的には、輝度分布５１が良品で輝度分布５２が不良品、あるいは、輝度分布５１が良品で輝度分布５２も良品の判定結果データが、蓄積輝度分布データ３１ａ内に付け加わっている。

　同一機種の液晶パネル５０の場合、同一の製造ラインで製造されているときには、駆動回路の取付前の輝度分布５１と、駆動回路の取付後の輝度分布５２とのペアを集計して蓄積していくと、一定の傾向を導き出すことができる。蓄積輝度分布データ３１ａでは、輝度分布（５１、５２）が所定値（例えば、少なくとも１０個、好ましくは５０個以上）蓄積されたならば、有効に利用することができる。

　例えば、輝度分布５１の状態においてセル厚ムラが８％存在する場合に良品としていたのに、輝度分布５２の状態では不良品に評価を変更しなければならない場合、蓄積輝度分布データ３１ａに基づきながら、セル厚ムラ８％の基準（閾値）を、８％未満（例えば、６％）に変更することができる。あるいは、図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、液晶パネル５０の右上に表示ムラ（輝度分布５１、５２）が発生しているもののデータを集計して蓄積する。同様の位置に発生した表示ムラは、統計学的に処理した場合、同様の傾向を導き出すことができることが多いので、その蓄積データ（蓄積輝度分布データ）３１ａを、実装工程後における表示ムラの有無を検出する判定指標に使用する。

　次に、図６を参照しながら、本実施形態の検査方法の一例を説明する。図６は、本実施形態の検査方法を説明するためのフローチャートである。

　まず、検査する液晶パネル５０をステージ２２の上に載置して、カメラ２０によって液晶パネル５０を撮像する。本実施形態では、液晶パネル５０は、グレー（中間色）又は白にて点灯し、カメラ５０にて撮像する。次に、液晶パネル５０の輝度分布を測定する（ステップＳ１００）。輝度分布の測定は、輝度分布処理部３７によって実行し、カメラ２０の画像データから座標ごとに輝度を求め、その輝度に基づいて輝度分布の表示（図５（ａ）中の「５１」参照）に変換する。

　次に、輝度分布処理部３７で得られた輝度分布（５１）と、記憶部３１に格納され蓄積輝度分布データ３１ａとを対比する（ステップＳ１１０）。ステップＳ１１０は、実装工程前における輝度分布（５１）から、実装工程後の輝度分布（５２）への推測を行う輝度分布シミュレーション工程である。

　具体的には、表示ムラ判定シミュレーション部３９によって、輝度分布処理部３７で得られた輝度分布（５１）と、記憶部３１内の蓄積輝度分布データ３１ａとを対比する。まず、表示ムラ判定シミュレーション部３９は、蓄積輝度分布データ３１ａから、輝度分布（５１）と同種パターンのものが存在するかをサーチする。サーチの結果、同種パターンのものが蓄積輝度分布データ３１ａにあれば、表示ムラ判定を実行する（ステップＳ１２０）。

　具体的には、ステップＳ１２０において、当該同種パターンの蓄積輝度分布データ３１ａに含まれている判定結果を、検査対象の液晶パネル５０の判定結果にする。すなわち、当該同種パターンの蓄積輝度分布データ３１ａに含まれている判定結果が良品であれば、液晶パネル５０の判定結果を良品にする（ステップＳ１３０）。あるいは、当該同種パターンの蓄積輝度分布データ３１ａに含まれている判定結果が不良品であれば、液晶パネル５０の判定結果を不良品にする（ステップＳ１４０）。

　ステップＳ１１０において、蓄積輝度分布データ３１ａに、輝度分布（５１）と同種パターンのものが存在しない場合には、当該同種パターンではないが、類似パターンが存在するかをサーチする。そして、類似パターンが存在する場合、表示ムラ判定シミュレーション部３９は、他の蓄積輝度分布データ３１ａを参照しながら、その類似のパターンにおける輝度分布（５２）を補正していき、実装工程前の輝度分布（５１）から、実装工程後の輝度分布（５２）を算出する。

　表示ムラ判定シミュレーション部３９にて算出された実装工程後の輝度分布（５２）は、記憶部３１に格納されている標準輝度分布データ３１ｂと対比されて、その対比によって、表示ムラ判定を実行する（ステップＳ１２０）。標準輝度分布データ３１ｂには、輝度分布５２が良品であるか不良品であるかの判断基準となるデータ（閾値）が含まれている。表示ムラ判定（Ｓ１２０）の結果、検査対象の液晶パネル５０を良品（Ｓ１３０）にするか、不良品（Ｓ１４０）にするかが決定される。

　ステップＳ１１０において、蓄積輝度分布データ３１ａに、輝度分布（５１）と同種パターンのものも類似パターンのものも存在しない場合には、表示ムラ判定シミュレーション部３９が、蓄積輝度分布データ３１ａ（すなわち、多数の蓄積データ）から合成パターンを作成する工程を実行する。

　この合成パターンの作成は、例えば、蓄積輝度分布データ３１ａの統計処理に基づいて、輝度分布５１の状態から輝度分布５２の状態になると、セル厚ムラが所定割合増加、または、所定数値増加すること（例えば、２％プラスして計算）によって行われる。あるいは、合成パターンの作成は、液晶パネル５０の右上に表示ムラが発生しているもののデータを集計して、その平均値などの統計学的な数値を利用することによって行うこともできる。なお、単純な平均値を利用する場合に限らず、集計した所定の上限・下限の値（例えば、上下５％の値）を排除した上で残りのデータの平均値を利用したり、中央値または最頻値を利用したりしても構わない。

　ここでも、表示ムラ判定シミュレーション部３９で算出した合成パターン（算出された実装工程後の輝度分布（５２））は、標準輝度分布データ３１ｂと対比されて、その対比によって、表示ムラ判定を実行する（ステップＳ１２０）。標準輝度分布データ３１ｂには、輝度分布５２が良品であるか不良品であるかの判断基準となるデータ（閾値）が含まれている。表示ムラ判定（Ｓ１２０）の結果、検査対象の液晶パネル５０を良品（Ｓ１３０）にするか、不良品（Ｓ１４０）にするかが決定される。

　なお、類似パターン、合成パターンのプロセスを経て表示ムラ判定（Ｓ１２０）を実行した液晶パネル５０は、実際に後工程で実行される実装工程後の表示ムラ検査において、再度、その良品・不良品の結果が示されることになる。その液晶パネル５０の結果は、蓄積輝度分布データ３１ａに追加されて、蓄積輝度分布データ３１ａの充実が図られる。また、同種パターンの範囲、あるいは、類似パターンの範囲は、実際の製造ラインの条件、液晶パネル５０の条件に応じて適宜好適なものを設定すればよい。さらに、標準輝度分布データ３１ｂも、蓄積輝度分布データ３１ａの精度、及び／又は、表示ムラ判定シミュレーション部３９によって算出される類似パターン・合成パターンの精度にあわせて、変更していくことも可能である。

　以上説明したように、本実施形態の検査装置１００は、液晶パネル５０を撮像するカメラ２０を制御する制御装置３２と、輝度分布（５１）を測定する輝度分布測定装置３６と、輝度分布データ（５１）と蓄積輝度分布データ３１ａとを対比することによって表示ムラを判定する判定プログラム３５を有する記憶装置３４とを備えている。蓄積輝度分布データ３１ａは、実装工程後における表示ムラの判定結果データを含んでいるので、判定プログラム３５によって、駆動回路を取り付ける検査の前段階にて、駆動回路を取り付けた後における表示ムラの不良モードを検知することが可能となる。

　また、本実施形態の手法によれば、輝度分布処理部３７によって輝度分布（５１）を測定し（ステップＳ１００）、次いで、表示ムラ判定シミュレーション部３９によって輝度分布５１と蓄積輝度分布データ３１ａとを対比する（ステップＳ１１０）。このステップＳ１１０によって、実装工程の前の検査でありながら、実装工程後における表示ムラの有無を検出することができる（ステップＳ１２０）。仮に、不良品の液晶パネル５０に駆動回路を取り付けて検査しなければならないとすると、駆動回路およびその実装工程が無駄になるため、スループットの低下およびコストの問題が生じる。本実施形態の手法ではそのような問題を回避することができる。

　以上、本発明を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、勿論、種々の改変が可能である。例えば、本実施形態の技術は、大画面液晶パネル（例えば、４０インチ以上）に好適に適用できる他、タッチパネル式の液晶パネルにも好適に適用することができる。

　本発明によれば、駆動回路を取り付ける検査の前段階にて、表示ムラの不良モードを検知することができる検査装置または検査方法を提供することができる。

 １１ 走査信号配線
 １１ａ 短絡環
 １２ 画像信号配線
 １２ａ 短絡環
 １３ 画素電極
 １５ 対向電極
 １６ 付加容量
 ２０ カメラ
 ２２ ステージ
 ３０ 表示ムラ判定装置
 ３１ 記憶部
 ３１ａ 蓄積輝度分布データ
 ３１ｂ 標準輝度分布データ
 ３２ 制御装置
 ３３ 入出力部
 ３４ 記憶装置
 ３５ 表示ムラ判定プログラム
 ３６ 輝度分布測定装置
 ３７ 輝度分布処理部
 ３８ 蓄積データ保存装置
 ３９ 表示ムラ判定シミュレーション部
 ４２ 入力装置
 ４４ 出力装置
 ５０ 液晶パネル
 ５１ 実装工程前の輝度分布
 ５２ 実装工程後の輝度分布
１００ 検査装置
２００ 液晶パネル
３００ 液晶パネル

Claims (3)

1. 　液晶パネルの表示ムラを検査する検査装置であって、
   　液晶パネルを撮像するカメラと、
   　前記カメラを制御する制御装置と、
   　前記カメラが撮像した画像データに基づいて、輝度分布を測定する輝度分布測定装置と、
   　前記制御装置に接続された記憶装置と
   　を備え、
   　前記記憶装置は、前記輝度分布測定装置が測定した輝度分布と、蓄積された輝度分布データとを対比することによって、表示ムラを判定する判定プログラムを有しており、
   　前記制御装置には、前記蓄積された輝度分布データが格納された蓄積データ保存装置が接続されており、
   　前記蓄積された輝度分布データは、実装工程後における表示ムラの判定結果データを含んでいる、検査装置。
2. 　前記制御装置、前記輝度分布測定装置、前記記憶装置および前記蓄積データ保存装置は、表示ムラ判定装置を構築しており、
   　前記表示ムラ判定装置は、
         前記カメラに接続され、前記輝度分布の処理を行う輝度分布処理部と、
         前記輝度分布処理部に接続され、前記表示ムラの判定を行う表示ムラ判定シミュレーション部と、
         前記表示ムラ判定シミュレーション部に接続され、前記蓄積された輝度分布データが格納された記憶部と
   　から構成されている、請求項１に記載の検査装置。
3. 　液晶パネルの検査方法であって、
   　液晶パネルの輝度分布を測定する工程と、
   　前記輝度分布と、蓄積された輝度分布データとを対比する工程と、
   　前記対比工程によって、実装工程後における表示ムラの有無を検出する工程と
   　を含み、
   　前記対比工程における前記蓄積された輝度分布データは、実装工程後における表示ムラの判定結果データを含んでいる、検査方法。

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