WO2012099201A1

WO2012099201A1 - フォトレジストの管理装置及び方法

Info

Publication number: WO2012099201A1
Application number: PCT/JP2012/051074
Authority: WO
Inventors: ビョンミンイム; ウォンジョンキム; ソクジェキム; ヨンファンキム; グァンウキム; ヨンジュンキム; ヒョウソクイ; ミョンシクハン; サンウンソン
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2011-01-21
Filing date: 2012-01-19
Publication date: 2012-07-26
Anticipated expiration: 2013-07-21
Also published as: KR20140018084A; WO2012098673A1

Abstract

　本発明に係るフォトレジスト管理装置は、半導体工程ツールからフォトレジスト容器が空状態であることを示す第１のメッセージを受信すると、空状態のフォトレジスト容器に関するデータを無線タグリーダーに要求して取得し、当該データをホストへ送る第１のイベント処理部と、半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第２のメッセージを無線タグリーダーから受信すると、取り外されたフォトレジスト容器に関するデータをホストへ送る第２のイベント処理部と、半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器の位置に新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第３のメッセージを無線タグリーダーから受信すると、新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータをホストへ送る第３のイベント処理部と、を含む。

Description

フォトレジストの管理装置及び方法

　本発明は、半導体製造工程においてフォトレジストの管理に係り、特に半導体フォトリソグラフィ工程用フォトレジストの管理装置及び管理方法に関する。

　従来、半導体フォトリソグラフィ工程において使用されるフォトレジスト（以下、「ＰＲ」と略称する）は、バーコードを用いて管理され、半導体製造工程を実施する半導体工程ツールからのデータと、ＰＲを管理するバーコードシステムからのデータとが別途のチャンネルを介してホストへ報告されていた。

　図１は、従来のバーコードを用いたＰＲ管理システムの構成を示す図である。ホスト２０は、半導体工程ツール１０に接続され、半導体製造工程に関するデータを送受信及び処理する。ＰＲは、フォトリソグラフィに使用される感光性高分子物質であり、一般に、ボトル形状のＰＲ容器３０に入れられて半導体工程ツール１０内に配置される。ＰＲ容器３０には、バーコードが付着されており、オペレーターは、バーコードリーダー５０にてＰＲに関するデータを取得し、該データをバーコードコントローラ４０を介してホスト２０へ送る。

　図１に示された従来のＰＲ管理システムでは、次のようなプロセスによってＰＲを管理する。

　半導体製造工程の進行に伴い、ＰＲ容器３０内のＰＲが完全に無くなると、半導体工程ツール１０はＰＲ容器３０内にＰＲがないことを検出し、それをホスト２０に通知する。そこで、オペレーターは、ホスト２０から通知されたメッセージを見てＰＲ容器３０が空状態であることを認識する。しかる後、オペレーターは、半導体工程ツール１０に配置されたＰＲ容器３０の状態を直接目視して空状態のＰＲ容器３０を確認する。そして、オペレーターは、同じＰＲが入っている新しいＰＲ容器３０’（図示せず）に関するデータをバーコードリーダー５０にて入力した後、空状態のＰＲ容器３０を新しいＰＲ容器３０’に取り替える。バーコートリーダー５０にて入力されたデータは、バーコードリーダーコントローラ４０を介してホスト２０へ送られる。

　なお、従来は所定の位置（例えば、半導体工程ツール１０）に取り付けられたＰＲ容器３０内のＰＲがすべて使用されたときのＰＲ容器３０の取り替え作業は次のような順で行われた。先に、センサーによって、ＰＲ容器３０内にＰＲが存在しないこと（ＰＲエンプティーイベント）が検出されると、オペレーターは、同じ種類の新しい容器３０’を持ってくる。その後、オペレーターは、ＰＲのないＰＲ容器３０を取り外し、その位置に新たにＰＲ容器３０’を取り付け、新たに取り付けられたＰＲ容器３０’に付着されたバーコードをバーコードリーダー５０を通じて読み出す。このとき、バーコードリーダー５０が接続されたＰＲ管理装置は、読み出されたバーコードデータから取り替え前後のＰＲ容器（３０、３０’）内のＰＲ種類が同じか否かを判定し、同じ種類ではない場合には警告メッセージを表示する。

　図１に示された従来のＰＲ管理システムでは、半導体工程ツール１０とホスト２０間での通信チャンネルと、バーコードリーダー５０とホスト２０間での通信チャンネルとが別に存在するため、ホスト２０では２つの別の経路を介して入ってくるデータを同期化して使用する必要があるという煩わしさがあった。また、従来のＰＲ管理システムは、基本的にバーコードを用いたシステムであって、ＰＲの取り替え作業の際にオペレーターが、取り替えられるＰＲのデータをバーコードリーダー５０にて直接入力していたため、その取り替えに手間がかかり、またオペレーターのエラーによって別のＰＲに取り替えられてしまうという問題点が存在していた。

　なお、前述した従来技術では、取り替え前後のＰＲ容器（３０、３０’）に付着されたバーコードデータを用いてＰＲの種類が一致するか否かのみを確認したが、実際の半導体製造の際に、同じ種類のＰＲであるとしても、製造社、ロット番号、エージングがあるか否か等が異なる場合には、ＰＲにおいて微細な成分の差異が発生し、このような差異が実際の半導体製造プロセスに影響を及ぼすという問題点が存在した。

　本発明は、こうした従来技術の問題点を解決するためになされたものであって、半導体製造工程において使用されたＰＲを無線タグ技術を用いて管理し、通信系統を一元化することで同期化されたＰＲ管理データをより適切なタイミングで提供することをその目的とする。

　また、本発明は実際の半導体製造プロセスに影響を及ぼす不適合なＰＲへの取替えを事前に検出してプロセスの安定性を高めることを目的とする。

　上記の目的を達成するための本発明に係るフォトレジストの管理装置は、半導体工程ツール、無線タグリーダー、及びホストに接続され、上記半導体工程ツールからフォトレジスト容器が空状態であることを示す第１のメッセージを受信すると、空状態の上記フォトレジスト容器に関するデータを上記無線タグリーダーに対して要求して取得し、上記無線タグリーダーから取得したデータを上記ホストへ送る第１のイベント処理部と、上記半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第２のメッセージを上記無線タグリーダーから受信すると、取り外されたフォトレジスト容器に関するデータを上記ホストへ送る第２のイベント処理部と、上記半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器の位置に新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第３のメッセージを上記無線タグリーダーから受信すると、新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータを上記ホストへ送る第３のイベント処理部と、を含む。

　また、上記の目的を達成するための本発明に係るフォトレジスト管理方法は、半導体工程ツール、無線タグリーダー、及びホストに接続されたフォトレジスト管理装置における、フォトレジストを管理するための方法であって、上記半導体工程ツールからフォトレジスト容器が空状態であることを示す第１のメッセージを受信すると、空状態の上記フォトレジスト容器に関するデータを上記無線タグリーダーに要求して取得し、上記無線タグリーダーから取得したデータを上記ホストへ送る第１のイベント処理ステップと、上記半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第２のメッセージを上記無線タグリーダーから受信すると、取り外されたフォトレジスト容器に関するデータを上記ホストへ送る第２のイベント処理ステップと、上記半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器の位置に新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第３のメッセージを上記無線タグリーダーから受信すると、新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータを上記ホストへ送る第３のイベント処理ステップと、を含む。

　なお、本発明による他のフォトレジスト管理装置は、所定の位置に取り付けられたフォトレジスト容器に対し、フォトレジストの種類を示すフォトレジスト種類データと、フォトレジストの属性を示すフォトレジスト属性データを取得する取得部と、前記取得部によって得られた前記フォトレジスト種類データと前記フォトレジスト属性データを格納する格納部と、前記フォトレジスト容器が取り替えられた場合、前記格納部に格納されたか前記取得部から得られたデータを用いて、取り替え前のフォトレジスト容器に対するフォトレジスト種類データ及びフォトレジスト属性データを取り替え後のフォトレジスト容器に対するフォトレジスト種類データ及びフォトレジスト属性データと比較する比較部と、前記比較の結果に応じて、フォトレジスト容器の取り替えにおいてエラーがあったか否かを通知する通知部とを含む。

　さらに、本発明による他のフォトレジスト管理方法は、所定の位置に取り付けられたフォトレジスト容器に対し、フォトレジストの種類を示すフォトレジスト種類データと、フォトレジストの属性を示すフォトレジスト属性データを取得する取得ステップと、前記取得ステップから得られた前記フォトレジスト種類データと前記フォトレジスト属性データを格納する格納ステップと、前記フォトレジスト容器が取り替えられた場合、前記格納ステップで格納されたか前記取得ステップで得られたデータを用いて、取り替え前のフォトレジスト容器に対するフォトレジスト種類データ及びフォトレジスト属性データをそれぞれ取り替え後のフォトレジスト容器に対するフォトレジスト種類データ及びフォトレジスト属性データと比較する比較ステップと、前記比較結果に応じて、フォトレジスト容器の取り替えにおいてエラーがあったか否かを通知する通知ステップとを含む。

　本発明によれば、半導体製造工程において使用されるＰＲを無線タグ技術を用いて管理し、通信系統を一元化することで同期化されたＰＲ管理データをより適切なタイミングで提供することができる。

　また、本発明によれば、二元化されていた従来のＰＲ管理体系を一元化することで、半導体工程ツールからの情報とＰＲ容器からデータを読み取る無線タグリーダーからの情報とが同時に取り集められてホストへ通知されるため、ＰＲ管理データを適切なタイミングで管理することができる。

　さらに、本発明によれば、半導体工程ツールや無線タグリーダーから取得したデータをＳＥＣＳプロトコルメッセージに変換して管理することで、ホスト側においてより容易にデータを管理することができる。なお、ＳＥＣＳは“ＳＥＭＩ　Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ　Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ　Ｓｔａｎｄａｒｄ”の略称であって、ＳＥＣＳプロトコルはＳＥＭＩスタンダードの中で半導体工程ツールとホスト間のメッセージ交換に関する通信プロトコルである。また、ＳＥＭＩは、“Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ　ａｎｄ　Ｍａｔｅｒｉａｌ　Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ”の略称である。

　なお、本発明によれば、実際の半導体製造プロセスに影響を及ぼす不適合なＰＲへの取り替えを事前に検出してプロセスの安定性を高めることができる。

従来技術のＰＲ管理システムの構成を示す図である。本発明の第１実施形態に係るＰＲ管理装置６０が半導体工程ツール１０、ホスト２０、及び無線タグリーダー７０に接続されている構成を示す図である。本発明の第１実施形態に係るＰＲ管理装置６０を示すブロック図である。本発明の第１実施形態に係るＰＲ管理方法を示すフローチャートである。本発明の第２実施形態に係るＰＲ管理装置８０のブロック図である。本発明の第２実施形態に係るＰＲ管理方法のフローチャートを示す。

　以下、図面を参照して本発明の実施形態に係るＰＲ管理装置６０、８０及びＰＲ管理方法について詳しく説明する。

＜第１実施形態＞
　図２は、本発明の第１実施形態に係るＰＲ管理装置６０が、半導体工程ツール１０、ホスト２０、及び無線タグリーダー７０に接続されている構成を示す図である。

　ＰＲ管理装置６０は、半導体工程ツール１０、ホスト２０、及び無線タグリーダー７０に接続され、半導体工程ツール１０または無線タグリーダー７０から送られてくるデータを同期化してホスト２０へ送り、ホスト２０からのデータを半導体工程ツール１０または無線タグリーダー７０へ送る。半導体工程ツール１０は、半導体製造工程において発生する各種のデータをＰＲ管理装置６０を介してホスト２０へ送る。無線タグリーダー７０は、半導体工程ツール１０内に配置された各ＰＲ容器３０に付着された無線タグからデータを読み取り、該読み取りデータをＰＲ管理装置６０を介してホスト２０へ送る。

　以下、図３を参照して本発明の第１実施形態に係るＰＲ管理装置６０の構成について説明する。

　ＰＲ管理装置６０は、半導体工程ツール１０とのデータのやり取りのためのインターフェース部である半導体工程ツールＩＦ６１０、無線タグリーダー７０とのデータのやり取りのためのインターフェース部である無線タグリーダーＩＦ６２０、及びホスト２０とのデータのやり取りのためのインターフェース部であるホストＩＦ６３０と、を含む。さらに、ＰＲ管理装置６０は、半導体工程ツールＩＦ６１０、無線タグリーダーＩＦ６２０、及びホストＩＦ６３０からのデータを処理し且つ必要な指令を送る制御部６００を含む。制御部６００が処理したデータは表示部６９０に表示され、オペレーターが容易に確認することができる。

　第１のイベント処理部としてのＰＲエンプティー（ｅｍｐｔｙ）イベント処理部６５０は、半導体工程ツール１０からＰＲ容器３０が空状態であることを示す、第１のメッセージとしてのＰＲエンプティーメッセージを受信すると、空状態のＰＲ容器３０に関するデータを無線タグリーダー７０に要求して取得し、無線タグリーダー７０から取得したデータをホスト２０へ送る構成となっている。

　また、ＰＲエンプティーイベント処理部６５０は、無線タグリーダー７０から取得したＰＲ容器３０に関するデータに基づき、半導体工程ツール１０内の空状態のＰＲ容器３０の位置及びＰＲ容器３０に関するデータを表示部６９０にディスプレイする。これにより、オペレーターは空状態のＰＲ容器３０の位置及びＰＲ容器３０に関するデータを容易に把握することができる。

　第２のイベント処理部としてのＰＲ取り外しイベント処理部６６０は、半導体工程ツール１０からＰＲ容器３０が取り外され、該取り外されたＰＲ容器３０に関するデータを含む、第２のメッセージとしてのＰＲ取り外しメッセージを無線タグリーダー７０から受信すると、該取り外されたＰＲ容器３０に関するデータをホスト２０へ送る構成となっている。

　第３のイベント処理部としてのＰＲ投入イベント処理部６７０は、半導体工程ツール１０から取り外されたＰＲ容器３０の位置に新しいＰＲ容器３０’が配置され、該新しいＰＲ容器３０’に関するデータを含む、第３のメッセージとしてのＰＲ投入メッセージを無線タグリーダー７０から受信すると、新たに配置されたＰＲ容器３０’に関するデータをホスト２０へ送る構成となっている。

　エラー判定部６８０は、空状態のＰＲ容器３０に関するデータと新たに配置されたＰＲ容器３０’に関するデータとを比べて、ＰＲ取り替え作業にエラーがあったか否かを判定し、エラーがあったと判定された場合にＰＲ容器３０、３０’の取り替え作業にエラーがあることを通知する構成となっている。なお、本実施形態では、ＰＲ管理装置６０内にエラー判定部６８０を設けて、ＰＲ管理装置６０にてＰＲ容器３０、３０’の取り替え作業にエラーがあったか否かを判定するように構成したが、他の実施形態として、ホスト２０内にエラー判定部６８０を設けて、ホスト２０にてＰＲ容器３０、３０’の取り替え作業にエラーがあったか否かを判定することに構成することもできる。エラー判定部６８０は、ＰＲの種類を示すＰＲ種類データを比較してＰＲ容器３０の取り替え作業にエラーがあったか否かを判定することができ、後述する第２実施形態のようにＰＲの種類を示すＰＲ種類データだけではなく、ＰＲの種類に比べてより詳細なＰＲの属性を示すＰＲ属性データを比較してＰＲ容器３０の取り替え作業にエラーがあったか否かを判定することもできる。

　半導体工程ツール１０とホスト２０間でのデータ通信と、無線タグリーダー７０とホスト２０間でのデータ通信とでは互いに異なる通信規約を用いる。このため、ＰＲエンプティーイベント処理部６５０、ＰＲ取り外しイベント処理部６６０及びＰＲ投入イベント処理部６７０は、無線タグリーダー７０からの空状態のＰＲ容器３０に関するデータ、ＰＲ取り外しメッセージ及びＰＲ投入メッセージを、例えば、ＳＥＣＳプロトコルのような半導体工程ツール１０とホスト２０間でのデータのやり取りに用いられる通信規約のデータに変換し、該変換されたデータをホスト２０へ送る。

　以下、図４を参照して本発明の第１実施形態に係るＰＲ管理装置６０によるＰＲ管理方法について説明する。

　先ず、ＰＲ管理装置６０は、半導体工程ツール１０からＰＲ容器３０が空状態であることを示すＰＲエンプティーメッセージを受信したか否かを判定する（ステップＳ４１０）。ＰＲ管理装置６０がＰＲエンプティーメッセージを受信した場合（ステップＳ４１０の「ＹＥＳ」）には、ＰＲ管理装置６０は、空状態のＰＲ容器３０に関するデータ（ＰＲ容器３０の位置及びＰＲの種類などに関するデータ）を無線タグリーダー７０に要求して取得し、無線タグリーダー７０から取得したデータを半導体工程ツール１０とホスト２０間でのデータのやり取りに用いられる通信規約（ＳＥＣＳプロトコル）のデータに変換してホスト２０へ送る（ステップＳ４２０）。またＰＲ管理装置６０は、無線タグリーダー７０から取得したＰＲ容器３０に関するデータに基づき、半導体工程ツール１０内の空状態のＰＲ容器３０の位置及びＰＲ容器３０に関するデータを表示部６９０にディスプレイする（ステップＳ４３０）。これにより、オペレーターは、空状態のＰＲ容器３０の位置及びＰＲ容器３０に関するデータを容易に把握することができる。なお、ステップＳ４１０、Ｓ４２０及びＳ４３０は、本発明の第１のイベント処理ステップを構成している。

　しかる後、ＰＲ管理装置６０は、半導体工程ツール１０から取り外されたＰＲ容器３０に関するデータを含むＰＲ取り外しメッセージを無線タグリーダー７０から受信したか否かを判定する（ステップＳ４４０）。ＰＲ管理装置６０がＰＲ取り外しメッセージを受信した場合（ステップＳ４４０の「ＹＥＳ」）、ＰＲ管理装置６０は、取り外されたＰＲ容器３０に関するデータを半導体工程ツール１０とホスト２０間でのデータのやり取りに用いられる通信規約のデータに変換してホスト２０へ送る（ステップＳ４５０）。すなわち、オペレーターがＰＲ管理装置６０の表示部６９０にディスプレイされたデータから空状態のＰＲ容器３０と同じの新しいＰＲ容器３０’をクリーンルーム内のＰＲ仮保管所（ＰＲ　Ｓｔｏｃｋｅｒ）から持ってきて、空状態のＰＲ容器３０を新しいＰＲ容器３０’で取り替えるために空状態のＰＲ容器３０を取り外した場合、無線タグリーダー７０がＰＲ取り外しメッセージをＰＲ管理装置６０へ送り、該メッセージを受信したＰＲ管理装置６０は、取り外されたＰＲ容器３０に関するデータをＳＥＣＳプロトコルに変換してホスト２０へ送るようになる。なお、ステップＳ４４０及びＳ４５０は、本発明の第２のイベント処理ステップを構成している。

　そして、ＰＲ管理装置６０は、半導体工程ツール１０から取り外されたＰＲ容器３０の位置にＰＲ容器３０’が新たに配置され、新たに配置されたＰＲ容器３０’に関するデータを含むＰＲ投入メッセージを無線タグリーダー７０から受信したか否かを判定する（ステップＳ４６０）。ＰＲ管理装置６０がＰＲ投入メッセージを受信した場合（ステップＳ４６０の「ＹＥＳ」）、ＰＲ管理装置６０は、新たに配置されたＰＲ容器３０’に関するデータを半導体工程ツール１０とホスト２０間でのデータのやり取りに用いられる通信規約のデータに変換してホスト２０へ送る（ステップＳ４７０）。すなわち、オペレーターが新しいＰＲ容器３０’をＰＲ容器３０が取り外された位置に装着すると、無線タグリーダー７０がＰＲ投入メッセージをＰＲ管理装置６０へ送り、該メッセージを受信したＰＲ管理装置６０は新たに配置されたＰＲ容器３０’に関するデータをＳＥＣＳプロトコルに変換してホスト２０へ送るようになる。なお、ステップＳ４６０及びＳ４７０は、本発明の第３のイベント処理ステップを構成している。

　最後に、ＰＲ管理装置６０は、空状態のＰＲ容器３０に関するデータと新たに配置されたＰＲ容器３０’に関するデータとを比べてＰＲ取り替え作業にエラーがあったか否かを判定する（ステップＳ４８０）。エラーがない場合（ステップＳ４８０の「ＮＯ」）にプロセスを終了する。エラーがあった場合（ステップＳ４８０の「ＹＥＳ」）にはＰＲ取り替え作業にエラーがあったことを通知する（ステップＳ４９０）。これにより、オペレーターはＰＲ取り替え作業にエラーが発生したことを認識し、対応処理を遂行するようになる。なお、ステップＳ４８０及びＳ４９０は、本発明のエラー判定ステップを構成している。

＜第２実施形態＞
　図５は本発明の第２実施形態に係るＰＲ管理装置８０のブロック図を示す。
ＰＲ管理装置８０は無線タグリーダー７０と接続され、取得部８１０、格納部８２０、比較部８３０及び通知部８４０を含む。

　取得部８１０は、無線タグリーダー７０を通じて、所定の位置に取り付けられたＰＲ容器３０に対し、ＰＲの種類を示すＰＲ種類データと、ＰＲの種類に比べてより詳細なＰＲの属性を示すＰＲ属性データを取得し、格納部８２０は、取得部８１０により得られたＰＲ種類データとＰＲ属性データを格納する。取得部８１０は、無線タブリーダー７０と接続されており、無線タグリーダー７０はＰＲ容器３０に付着された無線タグに格納されたＰＲ種類データとＰＲ属性データを含むデータを読み出して取得部８１０に転送し、取得部８１０は無線タグリーダー７０から転送されたＰＲ種類データ及びＰＲ属性データを取得する。

　本実施形態では、ＰＲ管理装置８０が無線タグリーダー７０に接続し、取得部８１０が無線タグリーダー７０からＰＲ種類データ及びＰＲ属性データを取得することを例示しているが、他の実施形態としてＰＲ管理装置８０がバーコードリーダーに接続し、取得部８１０がバーコードリーダーからＰＲ種類データ及びＰＲ属性データを取得するように構成することもできる。

　ＰＲ種類データは、一般的にＰＲの種類（タイプ）を識別するためのデータであって、例えば、ＰＲの製造社が販売するＰＲの商品名或いは該当商品名に対応する製品固有のコード等であり、ＰＲ属性データは、ＰＲの種類に比べてより詳細なＰＲの属性を識別するためのデータであって、例えば、ＰＲの製造社を示すデータ、ＰＲの製造ロット番号（ＬＯＴ　Ｎｏ.）を示すデータ及びＰＲにエージング（Ａｇｉｎｇ）があったか否かを示すデータである。

　比較部８３０は、ＰＲ容器３０が取り替えられた場合に、格納部８２０に格納されたか取得部８１０から得られたデータを用いて、取り替え前のＰＲ容器３０に対するＰＲ種類データ及びＰＲ属性データをそれぞれ取り替え後のＰＲ容器３０’に対するＰＲ種類データ及びＰＲ属性データと比較する。従来技術では、ＰＲ容器３０の取り替え前後において、ＰＲ種類データが一致しているか否かのみを比較したが、本実施形態では、ＰＲ種類データに比べてより詳細なＰＲ属性を示すＰＲ属性データと一致しているか否かも比較するため、半導体製造プロセスに影響を及ぼす小さな変化も感知することができ、半導体製造プロセスをさらに安定化することができる。

　通知部８４０は、比較部８３０の比較結果に応じて、ＰＲ容器３０の取り替えにおいてエラーがあったか否かを通知する。比較の結果、ＰＲ容器３０の取り替え前後においてＰＲ種類データが異なると判断された場合、通知部８４０は不適合なＰＲ容器３０に取り替えられたことを通知する。また、比較の結果、ＰＲ容器３０の取り替え前後においてＰＲ種類データは同じであるが、ＰＲ属性データが異なる場合、通知部８４０はＰＲ容器３０の取り替えによりエラーが発生する可能性があることを通知する。通知部８４０による通知は、聴覚的または視覚的な報知等、如何なる方法によっても行うことができ、その通知はオペレーターまたはホスト装置に伝達することができる。

　本発明の第２実施形態によるＰＲ管理装置８０は、ＰＲ容器３０の取替えの際に、ＰＲ種類データに比べてより詳細なＰＲ属性を示すＰＲ属性データと一致しているか否かを比較するため、半導体製造プロセスに影響を及ぼす小さな変化も感知することができるので、ＰＲ管理装置８０によれば、半導体製造プロセスをさらに安定化することができる効果が得られる。

　以下では図６を参考にして本発明の第２実施形態によるＰＲ管理装置８０によるＰＲ管理方法を説明する。

　先に、取得部８１０は、無線タグリーダー７０を通じてＰＲ容器３０内のＰＲの種類を示すＰＲ種類データと、ＰＲの種類に比べてより詳細なＰＲの属性を示すＰＲ属性データを取得する（Ｓ６１０）。取得部８１０によって得られたＰＲ種類データとＰＲ属性データは格納部８２０に格納される（Ｓ６２０）。

　その後、ＰＲ管理装置８０はＰＲ容器が取り替えられたか否かを判定する（Ｓ６３０）。ここで、ＰＲ容器３０に取替えがあったか否かの判定は、ＰＲ容器３０が載置された位置における圧力の変化や無線タブリーダーによる検出等、既に知られた方法により行うことができる。

　ＰＲ容器３０が取り替えられたと判定されると（Ｓ６３０の‘はい’）、取得部８１０は無線タブリーダー７０を通じて新たに取り替えられたＰＲ容器３０’に対するＰＲ種類データ及びＰＲ属性データを取得する（Ｓ６４０）。そして、比較部８３０は、取り替え前後において、ＰＲ種類データが同じか否かを判定し（Ｓ６５０）、同じでないと判断された場合（Ｓ６５０の‘いいえ’）、通知部８４０は不適合なＰＲ容器３０に取り替えられたことを通知する（Ｓ６６０）。比較部８３０は、取り替え前後において、ＰＲ種類データが同じであると判断した場合（Ｓ６５０の‘はい’）には、続いて取り替え前後においてＰＲ属性データが同じか否かを判定する（Ｓ６７０）。ここで、同じではないと判断された場合（Ｓ６７０‘いいえ’）、通知部８４０がＰＲ容器の取り替えによりエラーが発生する可能性があることを通知する（Ｓ６８０）。取り替え前後において、ＰＲ属性データが同じであると判断された場合（Ｓ６７０の‘はい’）には、通知部８４０がＰＲ容器の取り替えによりエラーが発生する可能性がないことを通知する（Ｓ６９０）。

　上記のような実施形態のすべては、本発明を実施するにおいて具体的な例を示したものに過ぎなく、これらによって本発明の技術的範囲を限定して解釈してはならなく、本発明はその技術思想、またはその主な特徴を有する多様な形態で実施することができる。

　１０　半導体工程ツール
　２０　ホスト
　３０、３０’　ＰＲ容器
　４０　バーコードリーダーコントローラ
　５０　バーコードリーダー
　６０、８０　ＰＲ管理装置
　７０　無線タグリーダー
　６００　制御部
　６１０　半導体工程ツールＩＦ
　６２０　無線タグリーダーＩＦ
　６３０　ホストＩＦ
　６５０　ＰＲエンプティーイベント処理部
　６６０　ＰＲ取り外しイベント処理部
　６７０　ＰＲ投入イベント処理部
　６８０　エラー判定部
　６９０　表示部
　８１０　取得部
　８２０　格納部
　８３０　比較部
　８４０　通知部

Claims

　半導体工程ツール、無線タグリーダー、及びホストに接続されたフォトレジスト管理装置であって、
　前記半導体工程ツールからフォトレジスト容器が空状態であることを示す第１のメッセージを受信すると、空状態の前記フォトレジスト容器に関するデータを前記無線タグリーダーに要求して取得し、前記無線タグリーダーから取得したデータを前記ホストへ送る第１のイベント処理部と、
　前記半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第２のメッセージを前記無線タグリーダーから受信すると、取り外されたフォトレジスト容器に関するデータを前記ホストへ送る第２のイベント処理部と、
　前記半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器の位置に新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第３のメッセージを前記無線タグリーダーから受信すると、新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータを前記ホストへ送る第３のイベント処理部と
を含む。
　請求項１に記載のフォトレジスト管理装置であって、
　前記第１のイベント処理部、前記第２のイベント処理部、及び前記第３のイベント処理部は、前記無線タグリーダーから受信した空状態の前記フォトレジスト容器に関するデータ、第２のメッセージ、及び第３のメッセージを前記半導体工程ツールと前記ホスト間でのデータのやり取りに用いられる通信規約のデータに変換し、該変換したデータを前記ホストへ送る。
　請求項２に記載のフォトレジスト管理装置であって、
　前記通信規約はＳＥＣＳプロトコルである。
　請求項１に記載のフォトレジスト管理装置であって、
　第１のイベント処理部は、前記無線タグリーダーから取得した前記フォトレジスト容器に関するデータに基づき、前記半導体工程ツール内の空状態のフォトレジスト容器の位置を表示する。
　請求項１に記載のフォトレジスト管理装置であって、
　空状態のフォトレジスト容器に関するデータと新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータとを比べてフォトレジストの取り替え作業にエラーがあったか否かを判定し、エラーがあったと判定された場合、エラーの発生を通知するエラー判定部をさらに含む。
　請求項５に記載のフォトレジスト管理装置であって、
　フォトレジスト取り替え作業にエラーがあったか否かを判定するために比較されるデータは、フォトレジストの種類を示すフォトレジスト種類データと、フォトレジストの属性を示すフォトレジスト属性データである。
　半導体工程ツール、無線タグリーダー、及びホストに接続されたフォトレジスト管理装置における、フォトレジストを管理するためのフォトレジスト管理方法であって、
　前記半導体工程ツールからフォトレジスト容器が空状態であることを示す第１のメッセージを受信すると、空状態の前記フォトレジスト容器に関するデータを前記無線タグリーダーに要求して取得し、前記無線タグリーダーから取得したデータを前記ホストへ送る第１のイベント処理ステップと、
　前記半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第２のメッセージを前記無線タグリーダーから受信すると、取り外されたフォトレジスト容器に関するデータを前記ホストへ送る第２のイベント処理ステップと、
　前記半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器の位置に新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第３のメッセージを前記無線タグリーダーから受信すると、新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータを前記ホストへ送る第３のイベント処理ステップと
を含む。
　請求項７に記載のフォトレジスト管理方法であって、
　前記第１のイベント処理ステップ、前記第２のイベント処理ステップ、及び前記第３のイベント処理ステップは、前記無線タグリーダーから受信した空状態の前記フォトレジスト容器に関するデータ、第２のメッセージ、及び第３のメッセージを前記半導体工程ツールと前記ホスト間でのデータのやり取りに用いられる通信規約のデータに変換し、該変換したデータを前記ホストへ送る。
　請求項７に記載のフォトレジスト管理方法であって、
　前記通信規約はＳＥＣＳプロトコルである。
　請求項７に記載のフォトレジスト管理方法であって、
　第１のイベント処理ステップは、前記無線タグリーダーから取得した前記フォトレジスト容器に関するデータに基づき、前記半導体工程ツール内の空状態のフォトレジスト容器の位置を表示するステップを含む。
　請求項７に記載のフォトレジスト管理方法であって、
　空状態のフォトレジスト容器に関するデータと新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータとを比べてフォトレジストの取り替え作業にエラーがあったか否かを判定し、エラーがあったと判定された場合、エラーの発生を通知するエラー判定ステップをさらに含む。
　請求項１１に記載のフォトレジスト管理方法であって、
　フォトレジスト取り替え作業にエラーがあったか否かを判定するために比較されるデータは、フォトレジストの種類を示すフォトレジスト種類データと、フォトレジストの属性を示すフォトレジスト属性データを含む。
　フォトレジストを管理するためのフォトレジスト管理装置であって、
　所定の位置に取り付けられたフォトレジスト容器に対し、フォトレジストの種類を示すフォトレジスト種類データと、フォトレジストの属性を示すフォトレジスト属性データを取得する取得部と、
　前記取得部によって得られた前記フォトレジスト種類データと前記フォトレジスト属性データを格納する格納部と、
　前記フォトレジスト容器が取り替えられた場合、前記格納部に格納されたか前記取得部から得られたデータを用いて、取り替え前のフォトレジスト容器に対するフォトレジスト種類データ及びフォトレジスト属性データをそれぞれ取り替え後のフォトレジスト容器に対するフォトレジスト種類データ及びフォトレジスト属性データと比較する比較部と、
　前記比較の結果に応じて、フォトレジスト容器の取り替えにおいてエラーがあったか否かを通知する通知部とを含む。
　請求項１３に記載のフォトレジスト管理装置であって、
　前記取得部は、前記フォトレジスト種類データ及び前記フォトレジスト属性データをバーコードリーダー又は無線タグリーダーから取得する。
　請求項１３に記載のフォトレジスト管理装置であって、
　前記比較の結果、フォトレジスト容器の取り替え前後において、フォトレジスト種類データが異なる場合、前記通知部は不適合なフォトレジスト容器に取り替えられたことを通知する。
　請求項１３に記載のフォトレジスト管理装置であって、
　前記比較の結果、フォトレジスト容器の取り替え前後において、フォトレジスト種類データは同じであるが、フォトレジスト属性データが異なる場合、前記通知部は、フォトレジスト容器の取り替えによりエラーが発生する可能性があることを通知する。
　請求項１３に記載のフォトレジスト管理装置であって、
　前記フォトレジスト属性データは、フォトレジストの製造社を示すデータ、フォトレジストの製造ロット番号（ＬＯＴ　Ｎｏ.）を示すデータ及びフォトレジストにエージング（Ａｇｉｎｇ）があったか否かを示すデータのうちいずれか一つ以上を含む。
　フォトレジストを管理するためのフォトレジスト管理方法であって、
　所定の位置に取り付けられたフォトレジスト容器に対し、フォトレジストの種類を示すフォトレジスト種類データと、フォトレジストの属性を示すフォトレジスト属性データを取得する取得ステップと、
　前記取得ステップから得られた前記フォトレジスト種類データと前記フォトレジスト属性データを格納する格納ステップと、
　前記フォトレジスト容器が取り替えられた場合、前記格納ステップで格納されたか前記取得ステップで得られたデータを用いて、取り替え前のフォトレジスト容器に対するフォトレジスト種類データ及びフォトレジスト属性データをそれぞれ取り替え後のフォトレジスト容器に対するフォトレジスト種類データ及びフォトレジスト属性データと比較する比較ステップと、
　前記比較結果に応じて、フォトレジスト容器の取り替えにおいてエラーがあったか否かを通知する通知ステップとを含む。
　請求項１８に記載のフォトレジスト管理方法であって、
　前記取得ステップは、前記フォトレジスト種類データ及び前記フォトレジスト属性データをバーコードリーダー又は無線タグリーダーから取得する。
　請求項１８に記載のフォトレジスト管理方法であって、
　前記比較の結果、フォトレジスト容器の取り替え前後において、フォトレジスト種類データが異なる場合、前記通知ステップは不適合なフォトレジスト容器に取り替えられたことを通知する。
　請求項１８に記載のフォトレジスト管理方法であって、
　前記比較の結果、フォトレジスト容器の取り替え前後において、フォトレジスト種類データは同じであるが、フォトレジスト属性データが異なる場合、前記通知ステップは、フォトレジスト容器の取り替えによりエラーが発生する可能性があることを通知する。
　請求項１８に記載のフォトレジスト管理方法であって、
　前記フォトレジスト属性データは、フォトレジストの製造社を示すデータ、フォトレジストの製造ロット番号を示すデータ及びフォトレジストにエージングがあったか否かを示すデータのうちいずれか一つ以上を含む。