WO2012063833A1 - 穴検査装置 - Google Patents

穴検査装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2012063833A1
WO2012063833A1 PCT/JP2011/075752 JP2011075752W WO2012063833A1 WO 2012063833 A1 WO2012063833 A1 WO 2012063833A1 JP 2011075752 W JP2011075752 W JP 2011075752W WO 2012063833 A1 WO2012063833 A1 WO 2012063833A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
hole
moving
measuring
inspection apparatus
head
Prior art date
Application number
PCT/JP2011/075752
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
祥剛 霞流
正明 石井
Original Assignee
三菱重工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 三菱重工業株式会社 filed Critical 三菱重工業株式会社
Priority to US13/878,511 priority Critical patent/US9212881B2/en
Priority to EP11840172.8A priority patent/EP2639544B1/en
Publication of WO2012063833A1 publication Critical patent/WO2012063833A1/ja

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
    • G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B5/012—Contact-making feeler heads therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/08—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring diameters
    • G01B5/12—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring diameters internal diameters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/10—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring diameters
    • G01B21/14—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring diameters internal diameters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/16—Compasses, i.e. with a pair of pivoted arms
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/20—Slide gauges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/22—Feeler-pin gauges, e.g. dial gauges
    • G01B3/26—Plug gauges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/22—Feeler-pin gauges, e.g. dial gauges
    • G01B3/28—Depth gauges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/08—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring diameters

Definitions

  • the present invention relates to a hole inspection apparatus for inspecting the dimension of a hole formed in a tube support plate or the like for supporting a heat transfer tube in a steam generator used as a heat exchanger in a nuclear power plant.
  • a pressurized water reactor For example, in a pressurized water reactor (PWR), light water is used as a reactor coolant and neutron moderator, and high temperature and high pressure water that does not boil throughout the core is sent to a steam generator. Steam is generated by heat exchange, and the steam is sent to a turbine generator for power generation.
  • the heat of the high-temperature and high-pressure primary cooling water is transmitted to the secondary cooling water by the steam generator, and steam is generated by the secondary cooling water.
  • primary cooling water flows inside a large number of thin heat transfer tubes, heat is transferred to secondary cooling water flowing outside, and steam is generated, and a turbine is rotated by the steam to generate electric power.
  • a tube group outer cylinder is disposed at a predetermined distance from the inner wall surface in a hollow hermetically sealed body portion, and a plurality of inverted U-shaped heat transfer tubes are arranged in the tube group outer cylinder.
  • An end portion of each heat transfer tube is supported by the tube plate, and an inlet side water chamber mirror and an outlet side water chamber mirror of the primary cooling water are formed at the lower end portion of the trunk portion.
  • an inlet portion of the secondary cooling water is provided in the trunk portion above the outer tube of the tube group, and a steam / water separator and a moisture separator are arranged side by side, above which steam is placed. There is an exit.
  • the primary cooling water is supplied from the cooling water pipe to the plurality of heat transfer tubes through the inlet side water chamber mirror, while the secondary cooling water is supplied from the inlet portion into the trunk portion. Then, heat exchange is performed between the primary cooling water (hot water) flowing in the plurality of heat transfer tubes and the secondary cooling water (cold water) circulating in the body, so that the secondary cooling water absorbs heat. Water vapor is generated. Then, moisture is removed from the generated steam by the steam separator, and the steam from which moisture has been removed by the moisture separator is discharged from the steam outlet, while the primary cooling water that has finished heat exchange is discharged from the outlet side water. It is discharged from the mirror.
  • a large number of heat transfer tubes provided in the body are supported by a plurality of tube support plates.
  • the tube support plate is supported so that the large number of heat transfer tubes do not vibrate by inserting the heat transfer tubes into the formed holes.
  • the hole of the tube support plate is formed by cutting with a predetermined processing device, but after that, it is necessary to inspect whether the position of the hole and the inner diameter dimension are appropriate.
  • JP 09-318307 A Japanese Patent Application Laid-Open No. 08-155794
  • This invention solves the subject mentioned above, and aims at providing the hole inspection apparatus which can improve workability
  • a hole inspection apparatus includes a moving body that is movably supported in two intersecting directions, and moves in a direction that intersects the moving direction of the moving body with respect to the moving body.
  • a measurement head that is freely supported, a measurement head moving device that can move the measurement head relative to the moving body, and a measurement head that is movable relative to the measurement head in the same direction as the movement direction of the measurement head. It is characterized by comprising a plurality of measuring elements and a measuring element holding mechanism which can retract the measuring elements and can hold them in the advanced position advanced.
  • the measuring elements are inserted into the holes in the advanced position, or the measuring elements come in contact with the periphery of the hole and retract without being inserted into the holes.
  • the measuring element can be moved to the first measurement position inserted into the hole of the member to be inspected by the advancement of the measuring head by the measuring head moving device, It is possible to move to the second measurement position that has come into contact and moved backward.
  • the quality of the hole can be determined. It can be determined appropriately.
  • the measuring element includes a first measuring element that can be inserted when the hole formed in the member to be inspected is larger than the minimum tolerance, and the hole formed in the member to be inspected from the maximum tolerance. And a second measuring element that cannot be inserted when it is small.
  • the first measuring element and the second measuring element are arranged close to each other at a predetermined interval, and a plurality of them are arranged at equal intervals along the moving direction of the moving body. It is a feature.
  • a position detector that detects the moving position of the probe relative to the measuring head and a determination device that determines the quality of the hole of the member to be inspected based on the detection result of the position detector are provided. It is characterized by that.
  • the moving body moving device that moves the moving body
  • the position detector that detects the moving position of the moving body
  • the moving body moving device based on the detection result of the position detector.
  • a control device for controlling, and the control device moves the moving body by one unit along the arrangement direction of the measuring elements, with a distance corresponding to the number of the measuring elements as one unit;
  • the measuring element in the portion moves so as to face a hole formed in an end portion of the member to be inspected.
  • the end measuring element faces the hole in the end of the member to be inspected.
  • the measuring head is movably supported by the movable body, and a plurality of measuring elements can be retracted and held at the advanced position advanced to the measuring head.
  • FIG. 1 is a plan view showing a hole inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a front view illustrating the hole inspection apparatus according to the present embodiment.
  • FIG. 3 is a front view showing the inspection head in the hole inspection apparatus of the present embodiment.
  • FIG. 4 is a left side view of the inspection head in the hole inspection apparatus.
  • FIG. 5 is a front view showing a probe in the inspection head.
  • FIG. 6A is a schematic diagram illustrating an inspection method using a first inspector in the hole inspection apparatus according to the present embodiment.
  • FIG. 6B is a schematic diagram illustrating an inspection method using a second inspector in the hole inspection apparatus according to the present embodiment.
  • FIG. 7 is a schematic diagram showing a method of moving the inspection head by the hole inspection apparatus of this embodiment.
  • FIG. 8 is a schematic configuration diagram of a nuclear power plant to which the steam generator of the present embodiment is applied.
  • FIG. 9 is a schematic configuration diagram illustrating the steam generator of the present embodiment.
  • FIG. 1 is a plan view showing a hole inspection apparatus according to one embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a front view showing the hole inspection apparatus of this embodiment
  • FIG. 3 is an inspection head in the hole inspection apparatus of this embodiment.
  • FIG. 4 is a left side view of the inspection head in the hole inspection apparatus
  • FIG. 5 is a front view showing a probe in the inspection head
  • FIG. 6 shows an inspection method by the hole inspection apparatus of this embodiment.
  • Schematic diagram FIG. 7 is a schematic diagram showing a method of moving the inspection head by the hole inspection apparatus of the present embodiment
  • FIG. 8 is a schematic configuration diagram of a nuclear power plant to which the steam generator of the present embodiment is applied
  • FIG. are schematic block diagrams showing the steam generator of a present Example.
  • the nuclear reactor of this embodiment uses light water as a reactor coolant and neutron moderator, and generates high-temperature and high-pressure water that does not boil over the entire core and sends this high-temperature and high-pressure water to a steam generator to generate steam by heat exchange.
  • This is a pressurized water reactor (PWR) that sends this steam to a turbine generator to generate electricity.
  • PWR pressurized water reactor
  • a pressurized water reactor 12 and a steam generator 13 are stored in a reactor containment vessel 11, and this pressurized water type is stored.
  • the reactor 12 and the steam generator 13 are connected via cooling water pipes 14 and 15, a pressurizer 16 is provided in the cooling water pipe 14, and a cooling water pump 15 a is provided in the cooling water pipe 15. .
  • light water is used as the moderator and primary cooling water (cooling material), and the primary cooling system is maintained at a high pressure of about 150 to 160 atm by the pressurizer 16 in order to suppress boiling of the primary cooling water in the core. You are in control.
  • the pressurized water reactor 12 light water is heated as the primary cooling water by the low-enriched uranium or MOX as the fuel (nuclear fuel), and the high-temperature primary cooling water is cooled with the pressurizer 16 maintained at a predetermined high pressure. It is sent to the steam generator 13 through the water pipe 14. In the steam generator 13, heat exchange is performed between the high-pressure and high-temperature primary cooling water and the secondary cooling water, and the cooled primary cooling water is returned to the pressurized water reactor 12 through the cooling water pipe 15.
  • the steam generator 13 is connected to a steam turbine 17 via a cooling water pipe 18, and the steam turbine 17 includes a high pressure turbine 19 and a low pressure turbine 20, and a generator 21 is connected thereto. Further, a moisture separation heater 22 is provided between the high pressure turbine 19 and the low pressure turbine 20, and a cooling water branch pipe 23 branched from the cooling water pipe 18 is connected to the moisture separation heater 22. On the other hand, the high pressure turbine 19 and the moisture separation heater 22 are connected by a low temperature reheat pipe 24, and the moisture separation heater 22 and the low pressure turbine 20 are connected by a high temperature reheat pipe 25.
  • the low-pressure turbine 20 of the steam turbine 17 has a condenser 26, and a condenser pipe 26 and a drain pipe 28 for supplying and discharging cooling water (for example, seawater) are connected to the condenser 26.
  • This intake pipe 27 has a circulating water pump 29, and the other end portion thereof is disposed in the sea together with the drain pipe 28.
  • the condenser 26 is connected to a deaerator 31 through a cooling water pipe 30, and a condensate pump 32 and a low-pressure feed water heater 33 are provided in the cooling water pipe 30.
  • the deaerator 31 is connected to the steam generator 13 via a cooling water pipe 34, and a water supply pump 35 and a high-pressure feed water heater 36 are provided in the cooling water pipe 34.
  • the steam generated by performing heat exchange with the high-pressure and high-temperature primary cooling water in the steam generator 13 is sent to the steam turbine 17 (from the high-pressure turbine 19 to the low-pressure turbine 20) through the cooling water pipe 18, and this steam is generated. Then, the steam turbine 17 is driven to generate power by the generator 21. At this time, the steam from the steam generator 13 drives the high pressure turbine 19, and then the moisture contained in the steam is removed and heated by the moisture separator / heater 22, and then the low pressure turbine 20 is driven.
  • the steam that has driven the steam turbine 17 is cooled with seawater in the condenser 26 to become condensed water, and is heated by the low-pressure steam extracted from, for example, the low-pressure turbine 20 in the low-pressure feed water heater 33 and deaerated. After impurities such as dissolved oxygen and uncondensed gas (ammonia gas) are removed by the vessel 31, the high pressure feed water heater 36 is heated by, for example, high pressure steam extracted from the high pressure turbine 19, and then the steam generator 13. Returned.
  • the body portion 41 has a sealed hollow cylindrical shape, and the lower portion has a slightly smaller diameter with respect to the upper portion. ing.
  • the body portion 41 is configured by joining an upper body 42 and a lower body 43 by welding.
  • a tube group outer cylinder 44 having a cylindrical shape with a predetermined distance from the inner wall surface of the lower barrel 43 is disposed in the lower barrel 43 of the trunk portion 41, and a lower end portion extends to the vicinity of the tube plate 45. Yes.
  • a plurality of tube support plates 46 are disposed in correspondence with a predetermined height position, and are supported by a plurality of stay rods 47 extending upward from the tube plate 45. ing.
  • the tube group outer tube 44 is provided therein with a heat transfer tube group 49 including a plurality of heat transfer tubes 48 having an inverted U shape, and an end portion of each heat transfer tube 48 is expanded to the tube plate 45.
  • the intermediate portion is supported by a plurality of tube support plates 46.
  • the tube support plate 46 has a large number of through holes (not shown), and each heat transfer tube 48 is inserted into and supported by the through holes.
  • the lower body 43 has a water chamber mirror 50 fixed to the lower end thereof, and is divided into an entrance chamber 52 and an exit chamber 53 by a partition wall 51, and an inlet nozzle 54 and an outlet nozzle 55 are formed.
  • One end portion of the first chamber communicates with the entrance chamber 52, and the other end portion communicates with the exit chamber 53.
  • the inlet nozzle 54 is connected to the cooling water pipe 14 described above, while the outlet nozzle 55 is connected to the cooling water pipe 15.
  • the upper body 42 is provided with an air / water separator 56 that separates the feed water into steam and hot water, and a moisture separator 57 that removes the moisture of the separated steam and makes it close to dry steam. It has been.
  • the upper body 42 is provided with a water supply pipe 58 for supplying secondary cooling water into the body 41 between the heat transfer tube group 49 and the steam separator 56, while a steam outlet is provided on the ceiling. 59 is formed. Then, the body 41 circulates the secondary cooling water supplied from the water supply pipe 58 into the body 41 between the body 41 and the tube group outer tube 44 and circulates upward in the tube plate 45.
  • the cooling water pipe 34 is connected to the water supply pipe 58, while the cooling water pipe 18 is connected to the steam outlet 59.
  • the primary cooling water heated in the pressurized water reactor 12 is sent to the entrance chamber 52 of the steam generator 13 through the coolant pipe 14, circulates through the numerous heat transfer tubes 48, and reaches the exit chamber 53.
  • the secondary cooling water cooled by the condenser 19 is sent to the water supply pipe 58 of the steam generator 13 through the cooling water pipe 21 and flows through the heat transfer pipe 48 through the water supply path 60 in the trunk portion 41.
  • Exchange heat with water primary cooling water. That is, heat is exchanged between the high-pressure and high-temperature primary cooling water and the secondary cooling water in the trunk portion 41, and the cooled primary cooling water passes from the outlet chamber 53 through the cooling water pipe 15 to the pressurized water reactor 12.
  • the secondary cooling water subjected to heat exchange with the high-pressure and high-temperature primary cooling water rises in the body 41 and is separated into steam and hot water by the steam-water separator 56, and this is separated by the moisture separator 57. After the moisture of the steam is removed, the steam is sent to the steam turbine 17 through the cooling water pipe 18.
  • the body portion 41 has a plurality of tube support plates 46 disposed therein at a predetermined interval, and a tube plate 45 provided at the lower portion thereof.
  • a plurality of heat transfer tubes 48 that are configured to penetrate through through holes formed in the tube support plates 46 and the tube plates 45 are supported.
  • the through hole is not circular, but has a shape having one or more notches around the circle (for example, a three-leaf shape when there are three notches).
  • the through holes of the tube support plate 46 need not only fit and support the heat transfer tube 48 but also cause the generated steam to move upward from the tube support plate 46.
  • the hole inspection apparatus of the present embodiment inspects a large number of through holes formed in the tube support plate 46. Specifically, the inner diameter of each through hole of the tube support plate 46 falls within a set tolerance. It is to determine whether or not.
  • the inner diameter of the through hole described below is the inner diameter of the portion that supports the outer diameter of the heat transfer tube 48 that has passed through.
  • a support base 101 having an appropriate size is installed at a predetermined position, and a pair of first left and right firsts are provided on the support base 101.
  • a traveling rail 102 is installed.
  • the second traveling rail 103 is arranged so as to be spanned between the left and right first traveling rails 102, and each end is supported movably on the first traveling rail 102 via the legs 104.
  • the inspection head 105 is suspended and supported by the second traveling rail 103 and is movable.
  • the second traveling rail 103 accommodates a driving device (not shown) in each leg 104 and is movable with respect to the first traveling rail 102.
  • the pair of left and right first traveling rails 102 are disposed along the X direction
  • the second traveling rail 103 is disposed along the Y direction that is orthogonal to (intersects) the horizontal direction with respect to the X direction.
  • the inspection head 105 is supported so as to be movable in two intersecting X and Y directions.
  • the inspection table 106 is installed on the support table 101 between the left and right first traveling rails 102.
  • the inspection table 106 includes four support blocks 107 on which a disk-shaped tube support plate (member to be inspected) 46 can be placed, and two outer peripheral portions of the tube support plate (member to be inspected) 46 that can be locked.
  • a locking block 108 is provided.
  • a moving block (moving body) 111 having a box shape is disposed below the second traveling rail 103, and a plurality of moving blocks (moving bodies) 111 are arranged on both the left and right sides in the moving direction.
  • Support rollers 113 are mounted via brackets 112 having an L shape. Each of the support rollers 113 is fitted to rail portions 103a formed on both sides of the second traveling rail 103, and can freely roll. In FIG. 4, the bracket 112 and the support roller 113 are shown only on one side.
  • the moving block 111 is provided with a driving device 115 having a driving motor 114 on the side, and a pinion gear 116 driven and rotated by the driving motor 114 is attached to a rack gear 117 fixed to a side portion of the second traveling rail 103. I'm engaged. Therefore, the moving block 111 can be moved along the longitudinal direction (Y direction) of the second traveling rail 103 by the driving device 115.
  • the moving block 111 is provided with a position sensor (position detector) 118 at the top, and the position sensor 118 moves by detecting a detection piece 103b fixed to the bottom of the second traveling rail 103. The movement position of the block 111 is detected, and the control device 119 controls the drive device 115 based on the detection result.
  • the moving block 111 two types of air cylinders (measuring head moving devices) 121 and 122 are arranged in the lower direction, and a plurality (four in this embodiment) are arranged in two rows in the moving direction of the moving block 111.
  • a base end portion (upper end portion) is fixed to the lower portion of the moving block 111. That is, the first air cylinder 121 is located in the front row (right row in FIG. 4) in FIG. 3 and is provided along the moving direction of the moving block 111.
  • the second air cylinder 122 is located in the rear row (left row in FIG. 4) in FIG. 3 and is provided along the moving direction of the moving block 111.
  • the air cylinders 121 and 122 are disposed at positions facing each other.
  • Each air cylinder 121, 122 has drive rods 123, 124 that can extend downward (expand vertically), and measuring heads 125, 126 are connected to the tip of each drive rod 123, 124. Yes. Therefore, by extending and contracting the drive rods 123 and 124 by the air cylinders 121 and 122, the measurement heads 125 and 126 are moved in the vertical direction, that is, the Z direction intersecting the moving direction (X direction, Y direction) of the moving block 111. It is possible to move to.
  • first measuring head 125 a plurality (20 in the present embodiment) of first measuring elements 127 are linearly arranged at equal intervals along the longitudinal direction of the moving block 111.
  • second measuring head 126 a plurality (20 in this embodiment) of second measuring elements 128 are linearly arranged at equal intervals along the longitudinal direction of the moving block 111.
  • the measurement heads 125 and 126 are arranged at positions facing each other.
  • Each of the measuring elements 127 and 128 is a sphere gauge having a spherical outer peripheral surface.
  • the measuring element main body 131 has a rod shape and is fitted into a support hole 125a formed in the first measuring head 125, and is in the longitudinal direction, that is, the same Z direction as the first measuring head 125. It is possible to move along.
  • the probe main body 131 is supported on the distal end side protruding downward from the first measurement head 125 while the locking block 132 is fixed to the base end portion (upper end portion) protruding upward from the first measurement head 125.
  • a flange 133 is fixed, and a compression coil spring 134 is interposed between the first measurement head 125 and the support flange 133 around the probe body 131.
  • the probe main body 131 has a test body 135 mounted on a spherical support portion 131a at the tip thereof so as to be spherically supported, that is, movable in a three-dimensional direction, and fixed downward by a support flange 133 of the probe main body 131.
  • a compression coil spring 137 is interposed between the support flange 136 and the support flange 136.
  • the probe holding mechanism of the present invention is configured by the locking block 132, the compression coil spring 134, and the like.
  • the first measuring element 127 is urged downward by the urging force of the compression coil spring 134 and is positioned and supported at the advanced position where the locking block 132 is in contact with the upper surface of the first measuring head 125.
  • the first measuring element 127 allows the test body 135 to be inserted into the through hole 46a of the pipe support plate 46.
  • the first probe 127 can move to the upper retracted position against the urging force of the compression coil spring 134.
  • the inspection body 135 is supported on a spherical surface and is urged and supported at a predetermined measurement position by a compression coil spring 137. When the inspection body 135 is inserted into the through hole 46a of the tube support plate 46, X It can move in the -Y plane to absorb various errors.
  • each through hole 46a formed in the tube support plate 46 has a dimensional tolerance set at the time of designing, and the dimensional tolerance has a minimum tolerance and a maximum tolerance set with respect to a prescribed design value. Therefore, in the first probe 127, the outer diameter dimension of the inspection body 135 is larger than the minimum tolerance of the inner diameter of the through hole 46a of the tube support plate 46, that is, larger than the numerical value obtained by subtracting the minimum tolerance from the design value. The dimensions are such that the inner diameter can be inserted.
  • the outer diameter of the inspection body 138 is smaller than the maximum tolerance of the inner diameter of the through hole 46a of the tube support plate 46, that is, smaller than the numerical value obtained by adding the maximum tolerance to the design value.
  • the dimensions are such that the inner diameter cannot be inserted.
  • the inspection body 135 of the first probe 127 can be inserted into the through hole 46a of the tube support plate 46 and the inspection body 135 of the second probe 128 cannot be inserted into the through hole 46a of the tube support plate 46, It is determined that the through hole 46a of the support plate 46 is non-defective because it is within the dimensional tolerance with respect to the design value.
  • the inspection body 135 of the first probe 127 cannot be inserted into the through hole 46a of the tube support plate 46, or the inspection body 135 of the second probe 128 can be inserted into the through hole 46a of the tube support plate 46. If it does, the through hole 46a of the tube support plate 46 is determined as a defective product because it is not within the dimensional tolerance with respect to the design value.
  • the first measurement head 125 is provided with two position sensors (position detectors) 142 and 143 that detect the detection flange 141 formed at the upper end portion of the first probe 127.
  • the first position sensor 142 detects the detection flange 141 when the first probe 127 is in the forward position
  • the second position sensor 143 detects the detection flange 141 when the first probe 127 is in the retracted position.
  • the second measurement head 126 is provided with two position sensors (position detectors) 145 and 146 that detect a detection flange 144 formed at the upper end of the second probe 128.
  • the first position sensor 145 detects the detection flange 144 when the second probe 128 is in the forward position
  • the second position sensor 146 detects the detection flange 144 when the second probe 128 is in the retracted position.
  • the control device (determination device) 119 determines pass / fail of the through hole 46a of the tube support plate 46 based on the detection results of the position sensors 142, 143, 145, and 146. More specifically, as shown in FIG. 6A, in the first measurement head 125, the first measurement head 125 is lowered (advanced) by the first air cylinder 121, and the first measurement element 127 is similarly lowered ( When the test body 135 is inserted into the through hole 46a of the tube support plate 46, the first probe 127 is moved to the first measurement position. In this case, the first position sensor 142 detects the detection flange 141, but the second position sensor 143 does not detect the detection flange 141.
  • the control device 119 moves the first measuring element 127 to the first measurement position. Detect that.
  • the first probe 127 is moved. It moves backward to the second measurement position.
  • the first position sensor 142 does not detect the detection flange 141, but the second position sensor 143 detects the detection flange 141. Therefore, the control device 119 moves the first measuring element 127 to the second measurement position. Detect that.
  • the second measurement head 126 is lowered (advanced) by the second air cylinder 122, and the second probe 128 is similarly lowered (advanced).
  • the inspection body 138 is inserted into the through hole 46a of the tube support plate 46, the second probe 128 is moved to the first measurement position.
  • the first position sensor 145 detects the detection flange 144, but the second position sensor 146 does not detect the detection flange 144. Therefore, the control device 119 moves the second probe 128 to the first measurement position. Detect that.
  • the second probe 128 when the second probe 128 is lowered (advanced) in the same manner and the inspection body 138 cannot be inserted into the through hole 46a of the tube support plate 46, the second probe 128 is moved. It moves backward to the second measurement position. In this case, the first position sensor 145 does not detect the detection flange 144, but the second position sensor 146 detects the detection flange 144. Therefore, the control device 119 moves the second probe 128 to the second measurement position. Detect that.
  • the control device 119 detects that the first probe 127 has moved to the first measurement position and detects that the second probe 128 has moved to the second measurement position.
  • the control device 119 detects the through hole of the tube support plate 46.
  • 46a is determined to be a non-defective product as being within the dimensional tolerance.
  • the control device 119 supports the tube. If the through hole 46a of the plate 46 is not within the dimensional tolerance, it is determined as a defective product.
  • the tube support plate 46 has a disk shape, and a plurality of through holes 46a are formed on the straight line at predetermined intervals, and a plurality of rows are formed at predetermined intervals.
  • the hole inspection apparatus 100 inspects the through holes 46a in a predetermined row. In this case, as shown in FIG. 7, the inspection is first performed from one end side (left side in FIG. 7) to the other end side (right side in FIG. 7) with respect to the row of the plurality of through holes 46a. Go.
  • the inspection head 105 of the hole inspection apparatus 100 has one row of through-holes formed in the tube support plate 46 because each measuring head 125 and 126 has 20 measuring elements 127 and 128, respectively.
  • the inspection is performed on 20 through holes 46a from one end side (left side in FIG. 7) with respect to 46a. Therefore, in the control device 119, first, the measuring elements 127 and 128 at one end of each of the 20 measuring elements 127 and 128 are at one end in the arrangement direction of the plurality of through holes 46a in a predetermined row.
  • the inspection head 105 is moved so as to face the through hole 46a and is positioned at the positions of the measurement heads 125A and 126A.
  • control device 119 causes the 20 first first measuring elements 127 to face the respective through holes 46a, and as described above, the first measuring head 125A is lowered to perform the inspection, and then the 20 second The measuring element 128 is made to face each through hole 46a, and as described above, the second measuring head 126A is lowered to perform inspection.
  • the distance corresponding to the number of the measuring elements 127 and 128 (20 in this embodiment) along the arrangement direction of the measuring elements 127 and 128 is set as one unit, and control is performed.
  • the apparatus 119 moves the inspection head 105 by a distance corresponding to this one unit.
  • the probe 127, 128 of each measuring head 125, 126 passes through the through hole 46a that has been inspected, and moves to a position corresponding to the through hole 46a that has not been inspected.
  • the inspection is performed in the same manner as described above.
  • the control device 119 sets the distance corresponding to the number of the measuring elements 127 and 128 as one unit, and performs the inspection by moving the inspection head 105 by the distance for each unit as needed.
  • the number of through holes 46a that are not inspected is six.
  • the control device 119 moves the distance corresponding to the number of the measuring elements 127 and 128 as one unit, the measuring elements 127 and 128 move to a position where they do not face the through hole 46a. Therefore, in this case, the control device 119 is arranged so that the measuring elements 127 and 128 at the other end of the 20 measuring elements 127 and 128 face the through hole 46a at the other end in the arrangement direction.
  • the inspection head 105 is moved and positioned at the positions of the measurement heads 125C and 126C.
  • the inspection head 105 is movably supported along the X direction and the Y direction orthogonal to each other, and the measurement heads 125 and 126 are supported in the X direction with respect to the inspection head 105. And a plurality of first measuring elements 127 and a plurality of second measuring elements 128 arranged side by side on the measuring heads 125 and 126, and supported along the Z direction perpendicular to the Y direction. And can be held in the advanced position.
  • the measuring elements 127 and 128 are brought close to the tube support plate 46 together with the measuring heads 125 and 126, the measuring elements 127 and 128 are inserted into the through hole 46a in the advanced position, or the measuring elements 127 and 128 are moved.
  • the quality of the through hole 46a can be determined by contacting the periphery of the through hole 46a and retracting without being inserted into the through hole 46a, and the plurality of through holes 46a are simultaneously inspected. It is possible to improve the workability of the inspection work by shortening the inspection time and reducing the burden on the operator.
  • the measuring elements 127 and 128 are moved to the first measurement positions inserted into the through holes 46 a of the tube support plate 46 by the advancement of the measurement heads 125 and 126 by the air cylinders 121 and 122.
  • the first measuring element 127 that can be inserted when the through hole 46 a formed in the tube support plate 46 is larger than the minimum tolerance, and the through hole formed in the tube support plate 46.
  • a second probe 128 that cannot be inserted when 46a is smaller than the maximum tolerance is provided. Accordingly, when the first probe 127 can be inserted into the through hole 46a larger than the minimum tolerance, and when the second probe 128 is not inserted into the through hole 46a smaller than the maximum tolerance, the through hole 46a is set. It can be determined that it is good.
  • the first measuring element 127 and the second measuring element 128 are close to each other with a predetermined interval, and a plurality of them are arranged at equal intervals along the moving direction of the moving block 111. Yes. Therefore, by arranging a plurality of first measuring elements 127 and second measuring elements 128 side by side, a plurality of through holes 46a can be inspected at the same time, and the same through holes 46a can be inspected continuously. It is possible to improve inspection work efficiency.
  • the position sensors 142, 143, 145, and 146 for detecting the movement positions of the measuring elements 127 and 128 with respect to the measuring heads 125 and 126 and the position sensors 142, 143, 145, and 146 are used.
  • a control device 119 is provided for determining the quality of the through hole 46a of the tube support plate 46 based on the detection result. Therefore, by determining the quality of the through hole 46a of the tube support plate 46 based on the movement positions of the measuring elements 127 and 128, it is possible to determine the quality of the appropriate through hole 46a with a simple configuration.
  • the control device 119 detects the moving position of the moving block 111 (measuring heads 125 and 126) when the position sensor 118 detects the detection piece 103b of the second traveling rail 103.
  • the drive head 115 can be controlled, and the measurement heads 125, 126 are arranged in the number of the measurement elements 127, 128 along the arrangement direction of the measurement elements 127, 128.
  • the corresponding distance is set as one unit, and the distance for each unit is moved, and the measuring elements 127 and 128 at the end in the arrangement direction are opposed to the through holes 46 a formed at the end of the tube support plate 46. Has been moved to.
  • the measuring elements 127 and 128 at the end portions are the tubes.
  • the number and arrangement direction of the measuring heads 125 and 126 and the measuring elements 127 and 128 are not limited to two or twenty, but depending on the arrangement and number of holes to be inspected. Can be set appropriately.
  • the hole for inspecting the member to be inspected as the tube support plate 46 is the through hole 46a.
  • any hole may be used as long as a large number of holes are formed in a plate material having a predetermined thickness. Can also be applied.
  • the hole inspection apparatus is capable of improving the workability of the inspection work by allowing a plurality of measuring elements to be retracted and held at the advanced position advanced to the measuring head. It can be applied to the hole inspection work.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Monitoring And Testing Of Nuclear Reactors (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

　穴検査装置において、直交するＸ方向及びＹ方向に沿って検査ヘッド（１０５）を移動自在に支持し、この検査ヘッド（１０５）に対して測定ヘッド（１２５，１２６）をＸ方向及びＹ方向に直交するＺ方向に沿って移動自在に支持し、この測定ヘッド（１２５，１２６）に複数の第１測定子（１２７）と複数の第２測定子（１２８）とを並んで並設し、Ｚ方向に対して後退可能であると共に前進した位置に保持可能とすることで、検査作業の作業性の向上を可能とする。

Description

穴検査装置
　本発明は、原子力プラントに熱交換器として使用される蒸気発生器にて、伝熱管を支持するために管支持板などに形成された穴の寸法を検査する穴検査装置に関するものである。
　例えば、加圧水型原子炉（ＰＷＲ：Pressurized　Water　Reactor）では、軽水を原子炉冷却材及び中性子減速材として使用し、炉心全体にわたって沸騰しない高温高圧水とし、この高温高圧水を蒸気発生器に送って熱交換により蒸気を発生させ、この蒸気をタービン発電機へ送って発電するものである。そして、この加圧水型原子炉は、高温高圧の一次冷却水の熱を蒸気発生器により二次冷却水に伝え、二次冷却水で水蒸気を発生させるものである。この蒸気発生器は、多数の細い伝熱管の内側を一次冷却水が流れ、外側を流れる二次冷却水に熱を伝えて水蒸気を生成し、この水蒸気によりタービンを回して発電している。
　この蒸気発生器において、中空密閉形状をなす胴部内に、その内壁面と所定間隔をもって管群外筒が配設され、この管群外筒内に逆Ｕ字形状をなす複数の伝熱管が配設され、各伝熱管の端部が管板に支持され、胴部の下端部に一次冷却水の入口側水室鏡及び出口側水室鏡が形成されている。また、胴部内に、管群外筒の上方に位置して二次冷却水の入口部が設けられると共に、気水分離器と湿分分離器が上下に並んで配設され、その上方に蒸気出口が設けられている。
　従って、冷却水配管より入口側水室鏡を通して複数の伝熱管に一次冷却水が供給される一方、入口部からこの胴部内に二次冷却水が供給される。すると、複数の伝熱管内を流れる一次冷却水（熱水）と胴部内を循環する二次冷却水（冷水）との間で熱交換を行われることで、二次冷却水が熱を吸収して水蒸気が生成される。そして、生成された蒸気が気水分離器により水分が除去され、湿分分離器により湿分が除去された蒸気が蒸気出口から排出される一方、熱交換を終了した一次冷却水が出口側水室鏡から排出される。
　このような蒸気発生器では、胴部内に設けられた多数の伝熱管は、複数の管支持板により支持されている。この管支持板は、多数形成された穴に伝熱管が挿入されることで、多数の伝熱管が振動しないように支持されている。この場合、管支持板の穴は、所定の加工装置により切削加工がなされて形成されるが、その後、その穴の位置や内径寸法などが適正かどうかを検査する必要がある。
特開平０９－３１８３０７号公報 特開平０８－１５５７９４号公報
　管支持板に形成された穴の内径検査を行う場合、従来、作業者がゲージを用いて検査を行っていたが、１つの管支持板には多数の穴が形成されていることから、作業性が良くないという問題がある。また、上述した特許文献１の内径変位測定装置では、伝熱管内にガイドホルダを挿入し、センサホルダの移動量に応じて内径の変位を測定している。特許文献２の内径非接触測定装置では、測定ヘッドにプローブとして、エアマイクロメータまたは静電圧計を装備し、エアマイクロメータが穴内にエアを吹き出し、このエアの流量に基づいて穴の内径寸法が所定の寸法範囲内であるかどうかを検査している。いずれの場合であっても、多数の穴を検査するには、長時間を有してしまい、作業性が良くないという問題がある。
　本発明は、上述した課題を解決するものであり、検査作業の作業性の向上を可能とする穴検査装置を提供することを目的とする。
　上記の目的を達成するための本発明の穴検査装置は、交差する２つの方向に移動自在に支持される移動体と、該移動体に対して該移動体の移動方向に交差する方向に移動自在に支持される測定ヘッドと、前記移動体に対して前記測定ヘッドを移動可能な測定ヘッド移動装置と、前記測定ヘッドに対して該測定ヘッドの移動方向と同じ方向に移動自在に支持される複数の測定子と、該測定子を後退可能であると共に前進した前進位置に保持可能な測定子保持機構と、を備えることを特徴とするものである。
　従って、測定ヘッドと共に複数の測定子を被検査部材に接近させると、測定子が前進位置のままで穴に挿入されたり、測定子が穴の周囲に当接してこの穴に挿入されずに後退したりすることで、この穴の良否を判定することができ、しかも、同時に複数の穴の検査を行うことができ、検査時間の短縮や作業者の負担を軽減して検査作業の作業性を向上することができる。
　本発明の穴検査装置では、前記測定子は、前記測定ヘッド移動装置により前記測定ヘッドが前進することで被検査部材の穴に挿入した第１測定位置に移動可能であると共に、被検査物に当接して後退した第２測定位置に移動可能であることを特徴としている。
　従って、測定子が穴に挿入した第１測定位置と、測定子が穴の周囲に当接してこの穴に挿入されずに後退した第２測定位置とを検出することで、この穴の良否を適正に判定することができる。
　本発明の穴検査装置では、前記測定子は、被検査部材に形成された穴が最小公差よりも大きいときに挿入可能な第１測定子と、被検査部材に形成された穴が最大公差よりも小さいときに挿入不能な第２測定子とを有することを特徴としている。
　従って、第１測定子が最小公差よりも大きい穴に挿入可能されたとき、且つ、第２測定子が最大公差よりも小さい穴に挿入されないときに、この穴を良好であると判定することができる。
　本発明の穴検査装置では、前記第１測定子と前記第２測定子とは、所定の間隔をもって近接され、且つ、それぞれ前記移動体の移動方向に沿って等間隔で複数配列されることを特徴としている。
　従って、第１測定子と第２測定子とを並んで複数配列することで、同時に複数の穴の検査を行うことができると共に、連続して同じ穴の検査を行うことができ、検査作業効率を向上することができる。
　本発明の穴検査装置では、前記測定ヘッドに対する前記測定子の移動位置を検出する位置検出器と、該位置検出器の検出結果に基づいて被検査部材の穴の良否を判定する判定装置を設けることを特徴としている。
　従って、測定子の移動位置に基づいて被検査部材の穴の良否を判定することで、簡単な構成で適正な穴の良否判定を行うことができる。
　本発明の穴検査装置では、前記移動体を移動する移動体移動装置と、該移動体の移動位置を検出する位置検出器と、該位置検出器の検出結果に基づいて前記移動体移動装置を制御する制御装置を設け、該制御装置は、前記移動体を前記測定子の配列方向に沿って該測定子の数に対応する距離を１単位として１単位ごとに移動すると共に、配列方向の端部にある前記測定子が被検査部材の端部に形成された穴に対向するように移動することを特徴としている。
　従って、被検査部材における１列の穴の数が、測定ヘッドに配列された測定子の数と同数または倍数でないとき、端部の測定子が被検査部材の端部の穴に対向するように移動して検査を行うことで、被検査部材における１列の穴の数に拘わらず容易に穴の全数検査を行うことができる。
　本発明の穴検査装置によれば、該移動体に測定ヘッドを移動自在に支持し、この測定ヘッドに複数の測定子を後退可能であると共に前進した前進位置に保持可能とするので、複数の測定子により穴検査を効率的に行うことで、検査作業の作業性を向上することができる。
図１は、本発明の一実施例に係る穴検査装置を表す平面図である。 図２は、本実施例の穴検査装置を表す正面図である。 図３は、本実施例の穴検査装置における検査ヘッドを表す正面図である。 図４は、穴検査装置における検査ヘッドの左側面図である。 図５は、検査ヘッドにおける測定子を表す正面図である。 図６－１は、本実施例の穴検査装置における第１検査子による検査方法を表す概略図である。 図６－２は、本実施例の穴検査装置における第２検査子による検査方法を表す概略図である。 図７は、本実施例の穴検査装置による検査ヘッドの移動方法を表す概略図である。 図８は、本実施例の蒸気発生器が適用された原子力発電プラントの概略構成図である。 図９は、本実施例の蒸気発生器を表す概略構成図である。
　以下に添付図面を参照して、本発明に穴検査装置の好適な実施例を詳細に説明する。なお、この実施例により本発明が限定されるものではない。
　図１は、本発明の一実施例に係る穴検査装置を表す平面図、図２は、本実施例の穴検査装置を表す正面図、図３は、本実施例の穴検査装置における検査ヘッドを表す正面図、図４は、穴検査装置における検査ヘッドの左側面図、図５は、検査ヘッドにおける測定子を表す正面図、図６は、本実施例の穴検査装置による検査方法を表す概略図、図７は、本実施例の穴検査装置による検査ヘッドの移動方法を表す概略図、図８は、本実施例の蒸気発生器が適用された原子力発電プラントの概略構成図、図９は、本実施例の蒸気発生器を表す概略構成図である。
　本実施例の原子炉は、軽水を原子炉冷却材及び中性子減速材として使用し、炉心全体にわたって沸騰しない高温高圧水とし、この高温高圧水を蒸気発生器に送って熱交換により蒸気を発生させ、この蒸気をタービン発電機へ送って発電する加圧水型原子炉（ＰＷＲ：Pressurized　Water　Reactor）である。
　本実施例の加圧水型原子炉を有する原子力発電プラントにおいて、図８に示すように、原子炉格納容器１１内には、加圧水型原子炉１２及び蒸気発生器１３が格納されており、この加圧水型原子炉１２と蒸気発生器１３とは冷却水配管１４，１５を介して連結されており、冷却水配管１４に加圧器１６が設けられ、冷却水配管１５に冷却水ポンプ１５ａが設けられている。この場合、減速材及び一次冷却水（冷却材）として軽水を用い、炉心部における一次冷却水の沸騰を抑制するために、一次冷却系統は加圧器１６により１５０～１６０気圧程度の高圧状態を維持するように制御している。従って、加圧水型原子炉１２にて、燃料（原子燃料）として低濃縮ウランまたはＭＯＸにより一次冷却水として軽水が加熱され、高温の一次冷却水が加圧器１６により所定の高圧に維持した状態で冷却水配管１４を通して蒸気発生器１３に送られる。この蒸気発生器１３では、高圧高温の一次冷却水と二次冷却水との間で熱交換が行われ、冷やされた一次冷却水は冷却水配管１５を通して加圧水型原子炉１２に戻される。
　蒸気発生器１３は、蒸気タービン１７と冷却水配管１８を介して連結されており、この蒸気タービン１７は高圧タービン１９及び低圧タービン２０を有すると共に、発電機２１が接続されている。また、高圧タービン１９と低圧タービン２０との間には、湿分分離加熱器２２が設けられており、冷却水配管１８から分岐した冷却水分岐配管２３が湿分分離加熱器２２に連結される一方、高圧タービン１９と湿分分離加熱器２２は低温再熱管２４により連結され、湿分分離加熱器２２と低圧タービン２０は高温再熱管２５により連結されている。
　更に、蒸気タービン１７の低圧タービン２０は、復水器２６を有しており、この復水器２６には冷却水（例えば、海水）を給排する取水管２７及び排水管２８が連結されている。この取水管２７は、循環水ポンプ２９を有し、排水管２８と共に他端部が海中に配置されている。そして、この復水器２６は、冷却水配管３０を介して脱気器３１に連結されており、この冷却水配管３０に復水ポンプ３２及び低圧給水加熱器３３が設けられている。また、脱気器３１は、冷却水配管３４を介して蒸気発生器１３に連結されており、この冷却水配管３４には給水ポンプ３５及び高圧給水加熱器３６が設けられている。
　従って、蒸気発生器１３にて、高圧高温の一次冷却水と熱交換を行って生成された蒸気は、冷却水配管１８を通して蒸気タービン１７（高圧タービン１９から低圧タービン２０）に送られ、この蒸気により蒸気タービン１７を駆動して発電機２１により発電を行う。このとき、蒸気発生器１３からの蒸気は、高圧タービン１９を駆動した後、湿分分離加熱器２２で蒸気に含まれる湿分が除去されると共に加熱されてから低圧タービン２０を駆動する。そして、蒸気タービン１７を駆動した蒸気は、復水器２６で海水を用いて冷却されて復水となり、低圧給水加熱器３３で、例えば、低圧タービン２０から抽気した低圧蒸気により加熱され、脱気器３１で溶存酸素や不凝結ガス（アンモニアガス）などの不純物が除去された後、高圧給水加熱器３６で、例えば、高圧タービン１９から抽気した高圧蒸気により加熱された後、蒸気発生器１３に戻される。
　このように構成された原子力発電プラントに適用される蒸気発生器１３において、図９に示すように、胴部４１は、密閉された中空円筒形状をなし、上部に対して下部が若干小径となっている。この胴部４１は、上部胴４２と下部胴４３とが溶接により接合されて構成されている。この胴部４１における下部胴４３内には、この下部胴４３の内壁面と所定間隔をもって円筒形状をなす管群外筒４４が配設され、下端部が管板４５の近傍まで延設されている。
　管群外筒４４内は、内部に所定の高さ位置に対応して複数の管支持板４６が配設されており、管板４５から上方に延設された複数のステーロッド４７により支持されている。そして、この管群外筒４４は、内部に逆Ｕ字形状をなす複数の伝熱管４８からなる伝熱管群４９が配設されており、各伝熱管４８の端部は管板４５に拡管して支持されると共に、中間部が複数の管支持板４６により支持されている。この場合、管支持板４６は、多数の貫通穴（図示略）が形成されており、各伝熱管４８がこの貫通穴内に挿通して支持されている。
　下部胴４３は、下端部に水室鏡５０が固定されており、内部が隔壁５１により入室５２及び出室５３により区画されると共に、入口ノズル５４及び出口ノズル５５が形成され、各伝熱管４８の一端部が入室５２に連通し、他端部が出室５３に連通している。なお、この入口ノズル５４には上述した冷却水配管１４が連結される一方、出口ノズル５５には冷却水配管１５が連結されている。
　上部胴４２は、内部に給水を蒸気と熱水とに分離する気水分離器５６と、この分離された蒸気の湿分を除去して乾き蒸気に近い状態とする湿分分離器５７が設けられている。また、上部胴４２は、伝熱管群４９と気水分離器５６との間に、胴部４１内に二次冷却水の給水を行う給水管５８が挿入される一方、天井部には蒸気出口５９が形成されている。そして、胴部４１は、給水管５８からこの胴部４１内に給水された二次冷却水を、胴部４１と管群外筒４４との間を流下して管板４５にて上方に循環し、伝熱管群４９内を上昇するときに各伝熱管４８内を流れる熱水（一次冷却水）との間で熱交換を行う給水路６０が設けられている。なお、給水管５８には上述した冷却水配管３４が連結される一方、蒸気出口５９には冷却水配管１８が連結されている。
　従って、加圧水型原子炉１２で加熱された一次冷却水が冷却水配管１４を通して蒸気発生器１３の入室５２に送られ、多数の伝熱管４８内を通って循環して出室５３に至る。一方、復水器１９で冷却された二次冷却水が冷却水配管２１を通して蒸気発生器１３の給水管５８に送られ、胴部４１内の給水路６０を通って伝熱管４８内を流れる熱水（一次冷却水）と熱交換を行う。即ち、胴部４１内で、高圧高温の一次冷却水と二次冷却水との間で熱交換が行われ、冷やされた一次冷却水は出室５３から冷却水配管１５を通して加圧水型原子炉１２に戻される。一方、高圧高温の一次冷却水と熱交換を行った二次冷却水は、胴部４１内を上昇し、気水分離器５６で蒸気と熱水とに分離され、湿分分離器５７でこの蒸気の湿分を除去してから、冷却水配管１８を通して蒸気タービン１７に送られる。
　このように構成された蒸気発生器１３にて、胴部４１は、内部に管支持板４６が所定間隔で複数配設されると共に、下部に管板４５が設けられており、伝熱管群４９を構成する複数の伝熱管４８が、各管支持板４６及び管板４５に形成された貫通穴に貫通して支持されている。この貫通穴は、円形ではなく、円形の周囲に１つ以上の切欠を有する形状（例えば、切欠が３つのときには、三つ葉形状）をなしている。即ち、この管支持板４６の貫通穴は、伝熱管４８が嵌合してこれを支持するだけでなく、発生した蒸気を管支持板４６より上方に移行させる必要がある。
　本実施例の穴検査装置は、管支持板４６に形成された多数の貫通穴を検査するものであり、具体的には、管支持板４６の各貫通穴の内径が設定公差内に入っているかどうかを判定するものである。ここで、貫通穴は、前述したように、円形ではないことから、以下で説明する貫通穴の内径とは、貫通した伝熱管４８の外径を支持する箇所の内側の径である。
　本実施例にて、図１及び図２に示すように、穴検査装置１００において、所定の位置に適正な大きさの支持台１０１が設置され、この支持台１０１上に、左右一対の第１走行レール１０２が設置されている。第２走行レール１０３は、左右の第１走行レール１０２に掛け渡されるように配置され、各端部がそれぞれ脚部１０４を介して第１走行レール１０２に移動自在に支持されている。そして、検査ヘッド１０５は、この第２走行レール１０３に吊り下げ支持されて移動自在となっている。この場合、第２走行レール１０３は、各脚部１０４に図示しない駆動装置を収容しており、第１走行レール１０２に対して移動可能となっている。
　この場合、左右一対の第１走行レール１０２は、Ｘ方向に沿って配置され、第２走行レール１０３は、Ｘ方向に対して水平方向に直交（交差）するＹ方向に沿って配置されており、検査ヘッド１０５は、交差する２つのＸ方向、Ｙ方向に移動自在に支持されることとなる。
　また、検査台１０６は、左右の第１走行レール１０２の間にて、支持台１０１上に設置されている。この検査台１０６は、円盤形状をなす管支持板（被検査部材）４６を載置可能な４つの支持ブロック１０７と、管支持板（被検査部材）４６の外周部を係止可能な２つの係止ブロック１０８が設けられている。
　検査ヘッド１０５において、図３乃至図５に示すように、箱型形状をなす移動ブロック（移動体）１１１は、第２走行レール１０３の下方に配置され、移動方向における左右の両側に、複数のＬ字形状をなすブラケット１１２を介して支持ローラ１１３がそれぞれ装着されている。この各支持ローラ１１３は、第２走行レール１０３の両側に形成されたレール部１０３ａに嵌合し、且つ、転動自在となっている。なお、図４では、ブラケット１１２及び支持ローラ１１３を一方側のみ表している。
　また、移動ブロック１１１は、側方に駆動モータ１１４を有する駆動装置１１５が装着されており、駆動モータ１１４により駆動回転するピニオンギア１１６が第２走行レール１０３の側部に固定されたラックギア１１７に噛み合っている。従って、駆動装置１１５より移動ブロック１１１が第２走行レール１０３の長手方向（Ｙ方向）に沿って移動することができる。なお、移動ブロック１１１は、上部に位置センサ（位置検出器）１１８が設けられており、この位置センサ１１８は、第２走行レール１０３の下部に固定された検出片１０３ｂを検出することで、移動ブロック１１１の移動位置を検出しており、制御装置１１９は、この検出結果に基づいて駆動装置１１５を制御している。
　移動ブロック１１１は、下方に２種類のエアシリンダ（測定ヘッド移動装置）１２１，１２２が移動ブロック１１１の移動方向に複数（本実施例では、４個）が２列となって配列されており、基端部（上端部）が移動ブロック１１１の下部に固定されている。即ち、第１エアシリンダ１２１は、図３にて前列（図４にて右列）に位置し、移動ブロック１１１の移動方向に沿って設けられている。一方、第２エアシリンダ１２２は、図３にて後列（図４にて左列）に位置し、移動ブロック１１１の移動方向に沿って設けられている。この各エアシリンダ１２１，１２２は、それぞれが対向した位置に配置されている。
　各エアシリンダ１２１，１２２は、下方に向って伸張（上下に伸縮）可能な駆動ロッド１２３，１２４を有しており、各駆動ロッド１２３，１２４の先端部に測定ヘッド１２５，１２６が連結されている。従って、各エアシリンダ１２１，１２２により駆動ロッド１２３，１２４を伸縮することで、各測定ヘッド１２５，１２６を上下方向、つまり、移動ブロック１１１の移動方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に交差するＺ方向に移動可能となっている。
　第１測定ヘッド１２５は、移動ブロック１１１の長手方向に沿って複数（本実施例では、２０個）の第１測定子１２７が直線状に等間隔で配列されている。一方、第２測定ヘッド１２６は、移動ブロック１１１の長手方向に沿って複数（本実施例では、２０個）の第２測定子１２８が直線状に等間隔で配列されている。各測定ヘッド１２５，１２６は、それぞれが対向した位置に配置されている。各測定子１２７，１２８は、外周面が球面形状をなす球ゲージである。
　そして、第１測定子１２７において、測定子本体１３１は、棒状をなし、第１測定ヘッド１２５に形成された支持孔１２５ａに嵌合し、長手方向、つまり、第１測定ヘッド１２５と同じＺ方向に沿って移動自在となっている。この測定子本体１３１は、第１測定ヘッド１２５より上方に突出した基端部（上端部）に係止ブロック１３２が固定される一方、第１測定ヘッド１２５より下方に突出した先端部側に支持フランジ１３３が固定され、測定子本体１３１の周囲であって第１測定ヘッド１２５と支持フランジ１３３との間に圧縮コイルばね１３４が介装されている。また、測定子本体１３１は、先端の球面支持部１３１ａに検査体１３５が球面支持、つまり、三次元方向に移動自在に装着されており、測定子本体１３１における支持フランジ１３３により下方に固定された支持フランジ１３６との間に圧縮コイルばね１３７が介装されている。
　この場合、係止ブロック１３２や圧縮コイルばね１３４などにより、本発明の測定子保持機構が構成されている。
　従って、第１測定子１２７は、圧縮コイルばね１３４の付勢力により下方に付勢され、係止ブロック１３２が第１測定ヘッド１２５の上面に当接した前進位置に位置決め支持されている。この第１測定子１２７は、図６－１に示すように、検査体１３５が管支持板４６の貫通穴４６ａに挿入可能であるが、図６－２に示すように、検査体１３５が管支持板４６の貫通穴４６ａに挿入不能であるときには、第１測定子１２７が圧縮コイルばね１３４の付勢力に抗して上方の後退位置に移動可能となっている。また、この検査体１３５は、球面支持され、且つ、圧縮コイルばね１３７により所定の測定位置に付勢支持されており、この検査体１３５が管支持板４６の貫通穴４６ａに挿入するとき、Ｘ－Ｙ平面内で移動して各種の誤差を吸収することができる。
　一方、第２測定子１２８は、第１測定子１２７とほぼ同様の構成となっていることから、詳細な説明は省略する。ただし、第１測定子１２７と第２測定子１２８は、検査体１３５，１３８の外径寸法が相違している。即ち、管支持板４６に形成された各貫通穴４６ａは、設計時に寸法公差が設定されており、この寸法公差は、規定の設計値に対して最小公差と最大公差が設定されている。そのため、第１測定子１２７にて、検査体１３５の外径寸法は、管支持板４６の貫通穴４６ａの内径が最小公差よりも大きい、つまり、設計値から最小公差を減算した数値よりも大きい内径のときに挿入可能な寸法となっている。一方、第２測定子１２８にて、検査体１３８の外径寸法は、管支持板４６の貫通穴４６ａの内径が最大公差よりも小さい、つまり、設計値から最大公差を加算した数値よりも小さい内径のときに挿入不能な寸法となっている。
　つまり、第１測定子１２７の検査体１３５が管支持板４６の貫通穴４６ａに挿入でき、且つ、第２測定子１２８の検査体１３５が管支持板４６の貫通穴４６ａに挿入できないと、管支持板４６の貫通穴４６ａが設計値に対する寸法公差内にあるとして良品と判定する。一方、第１測定子１２７の検査体１３５が管支持板４６の貫通穴４６ａに挿入できなかったり、または、第２測定子１２８の検査体１３５が管支持板４６の貫通穴４６ａに挿入できてしまったりすると、管支持板４６の貫通穴４６ａが設計値に対する寸法公差内にないとして不良品と判定する。
　そのため、第１測定ヘッド１２５は、第１測定子１２７の上端部に形成された検出フランジ１４１を検出する２つの位置センサ（位置検出器）１４２，１４３が設けられている。第１位置センサ１４２は、第１測定子１２７が前進位置にあるときの検出フランジ１４１を検出し、第２位置センサ１４３は、第１測定子１２７が後退位置にあるときの検出フランジ１４１を検出する。同様に、第２測定ヘッド１２６は、第２測定子１２８の上端部に形成された検出フランジ１４４を検出する２つの位置センサ（位置検出器）１４５，１４６が設けられている。第１位置センサ１４５は、第２測定子１２８が前進位置にあるときの検出フランジ１４４を検出し、第２位置センサ１４６は、第２測定子１２８が後退位置にあるときの検出フランジ１４４を検出する。
　従って、制御装置（判定装置）１１９は、各位置センサ１４２，１４３，１４５，１４６の検出結果に基づいて管支持板４６の貫通穴４６ａの良否を判定する。具体的に説明すると、図６－１に示すように、第１測定ヘッド１２５において、第１エアシリンダ１２１により第１測定ヘッド１２５が下降（前進）し、第１測定子１２７も同様に下降（前進）するとき、検査体１３５が管支持板４６の貫通穴４６ａに挿入すると、第１測定子１２７が第１測定位置に移動することとなる。この場合、第１位置センサ１４２は検出フランジ１４１を検出するが、第２位置センサ１４３は検出フランジ１４１を検出しないことから、制御装置１１９は、第１測定子１２７が第１測定位置に移動したことを検出する。一方、図６－２に示すように、同様にして、第１測定子１２７が下降（前進）し、検査体１３５が管支持板４６の貫通穴４６ａに挿入できないと、第１測定子１２７が後退して第２測定位置に移動することとなる。この場合、第１位置センサ１４２は検出フランジ１４１を検出しないが、第２位置センサ１４３は検出フランジ１４１を検出することから、制御装置１１９は、第１測定子１２７が第２測定位置に移動したことを検出する。
　また、図６－１に示すように、第２測定ヘッド１２６において、第２エアシリンダ１２２により第２測定ヘッド１２６が下降（前進）し、第２測定子１２８も同様に下降（前進）するとき、検査体１３８が管支持板４６の貫通穴４６ａに挿入すると、第２測定子１２８が第１測定位置に移動することとなる。この場合、第１位置センサ１４５は検出フランジ１４４を検出するが、第２位置センサ１４６は検出フランジ１４４を検出しないことから、制御装置１１９は、第２測定子１２８が第１測定位置に移動したことを検出する。一方、図６－２に示すように、同様にして、第２測定子１２８が下降（前進）し、検査体１３８が管支持板４６の貫通穴４６ａに挿入できないと、第２測定子１２８が後退して第２測定位置に移動することとなる。この場合、第１位置センサ１４５は検出フランジ１４４を検出しないが、第２位置センサ１４６は検出フランジ１４４を検出することから、制御装置１１９は、第２測定子１２８が第２測定位置に移動したことを検出する。
　制御装置１１９は、第１測定子１２７が第１測定位置に移動したことを検出し、且つ、第２測定子１２８が第２測定位置に移動したことを検出すると、管支持板４６の貫通穴４６ａが寸法公差内にあるとして、良品と判定する。一方、制御装置１１９は、第１測定子１２７が第２測定位置に移動したことを検出したり、または、第２測定子１２８が第１測定位置に移動したことを検出したりすると、管支持板４６の貫通穴４６ａが寸法公差内にないとして、不良品と判定する。
　ここで、上述した本実施例の穴検査装置１００による管支持板４６の貫通穴４６ａの検査方法について説明する。
　管支持板４６は、円盤形状をなし、複数の貫通穴４６ａが直線上に所定間隔で形成されていると共に、所定の間隔で複数列形成されている。穴検査装置１００は、所定の列の貫通穴４６ａに対して検査を行う。この場合、図７に示すように、複数の貫通穴４６ａの列に対して、まず、一端部側（図７にて左側）から他端部側（図７にて右側）に向けて検査を行っていく。
　即ち、穴検査装置１００の検査ヘッド１０５は、各測定ヘッド１２５，１２６がそれぞれ２０個ずつの測定子１２７，１２８を有していることから、管支持板４６に形成された１列の貫通穴４６ａに対して、一端部側（図７にて左側）から２０個の貫通穴４６ａに対して検査を行う。そのため、制御装置１１９は、まず、各２０個の測定子１２７，１２８のうちの一端部の測定子１２７，１２８が、所定の列の複数の貫通穴４６ａのうちの配列方向の一端部にある貫通穴４６ａに対向するように、検査ヘッド１０５を移動して各測定ヘッド１２５Ａ，１２６Ａの位置に位置させる。このとき、制御装置１１９は、２０個の第１測定子１２７を各貫通穴４６ａに対向させ、上述したように、第１測定ヘッド１２５Ａを下降して検査を行った後、２０個の第２測定子１２８を各貫通穴４６ａに対向させ、上述したように、第２測定ヘッド１２６Ａを下降して検査を行う。
　１回目の検査が終了したら、次に、各測定子１２７，１２８の配列方向に沿ってこの測定子１２７，１２８の数（本実施例では、２０個）に対応する距離を１単位とし、制御装置１１９は、検査ヘッド１０５をこの１単位に対応する距離だけ移動する。すると、各測定ヘッド１２５，１２６の測定子１２７，１２８は、検査が終了した貫通穴４６ａを通過し、検査が終了していない貫通穴４６ａに対応した位置に移動することとなる。そして、この位置で、前述と同様に、検査を行う。このように制御装置１１９は、測定子１２７，１２８の数に対応する距離を１単位とし、検査ヘッド１０５をこの１単位ごとの距離だけ随時移動して検査を行う。
　そして、最後に、測定ヘッド１２５Ｂ，１２６Ｂの位置で貫通穴４６ａの検査が終了すると、検査していない貫通穴４６ａの数は、６個となる。この場合、制御装置１１９が、測定子１２７，１２８の数に対応する距離を１単位として移動すると、測定子１２７，１２８が貫通穴４６ａと対向しない位置まで移動してしまう。そのため、この場合、制御装置１１９は、各２０個の測定子１２７，１２８のうちの他端部の測定子１２７，１２８が、配列方向の他端部にある貫通穴４６ａに対向するように、検査ヘッド１０５を移動して各測定ヘッド１２５Ｃ，１２６Ｃの位置に位置させる。即ち、一部の測定子１２７，１２８が既に検査済の貫通穴４６ａと対向させることで、一部の測定子１２７，１２８が貫通穴４６ａと対向しない位置まで移動しないようにする。この位置で、前述と同様に、検査を行うと、一部の貫通穴４６ａに対して２度の検査を行うこととなる。この場合、重複して検査した貫通穴４６ａの検査結果については、採用しないようにしてもよい。
　このようにして所定の列の全ての貫通穴４６ａに対して検査が終了したら、隣の列の貫通穴４６ａに対して、前述と同様の検査を行う。
　このように本実施例の穴検査装置にあっては、直交するＸ方向及びＹ方向に沿って検査ヘッド１０５を移動自在に支持し、この検査ヘッド１０５に対して測定ヘッド１２５，１２６をＸ方向及びＹ方向に直交するＺ方向に沿って移動自在に支持し、この測定ヘッド１２５，１２６に複数の第１測定子１２７と複数の第２測定子１２８を並んで並設し、Ｚ方向に対して後退可能であると共に前進した位置に保持可能としている。
　従って、測定ヘッド１２５，１２６と共に複数の測定子１２７，１２８を管支持板４６に接近させると、測定子１２７，１２８が前進位置のままで貫通穴４６ａに挿入されたり、測定子１２７，１２８が貫通穴４６ａの周囲に当接してこの貫通穴４６ａに挿入されずに後退したりすることで、この貫通穴４６ａの良否を判定することができ、しかも、同時に複数の貫通穴４６ａの検査を行うことができ、検査時間の短縮や作業者の負担を軽減して検査作業の作業性を向上することができる。
　また、本実施例の穴検査装置では、測定子１２７，１２８は、エアシリンダ１２１，１２２により測定ヘッド１２５，１２６が前進することで管支持板４６の貫通穴４６ａに挿入した第１測定位置に移動可能であると共に、管支持板４６に当接して後退した第２測定位置に移動可能としている。従って、測定子１２７，１２８が貫通穴４６ａに挿入した第１測定位置と、測定子１２７，１２８が貫通穴４６ａの周囲に当接してこの貫通穴４６ａに挿入されずに後退した第２測定位置とを検出することで、この貫通穴４６ａの良否を適正に判定することができる。
　また、本実施例の穴検査装置では、管支持板４６に形成された貫通穴４６ａが最小公差よりも大きいときに挿入可能な第１測定子１２７と、管支持板４６に形成された貫通穴４６ａが最大公差よりも小さいときに挿入不能な第２測定子１２８とを設けている。従って、第１測定子１２７が最小公差よりも大きい貫通穴４６ａに挿入可能されたとき、且つ、第２測定子１２８が最大公差よりも小さい貫通穴４６ａに挿入されないときに、この貫通穴４６ａを良好であると判定することができる。
　また、本実施例の穴検査装置では第１測定子１２７と第２測定子１２８とは、所定の間隔をもって近接し、且つ、それぞれ移動ブロック１１１の移動方向に沿って等間隔で複数配列されている。従って、第１測定子１２７と第２測定子１２８とを並んで複数配列することで、同時に複数の貫通穴４６ａの検査を行うことができると共に、連続して同じ貫通穴４６ａの検査を行うことができ、検査作業効率を向上することができる。
　また、本実施例の穴検査装置では、測定ヘッド１２５，１２６に対する測定子１２７，１２８の移動位置を検出する位置センサ１４２，１４３，１４５，１４６と、この位置センサ１４２，１４３，１４５，１４６の検出結果に基づいて管支持板４６の貫通穴４６ａの良否を判定する制御装置１１９を設けている。従って、測定子１２７，１２８の移動位置に基づいて管支持板４６の貫通穴４６ａの良否を判定することで、簡単な構成で適正な貫通穴４６ａの良否判定を行うことができる。
　また、本実施例の穴検査装置では、制御装置１１９は、位置センサ１１８が第２走行レール１０３の検出片１０３ｂを検出することで、移動ブロック１１１（測定ヘッド１２５，１２６）の移動位置を検出して駆動装置１１５を制御可能であり、検査ヘッド１０５により貫通穴４６ａの検査を行うとき、測定ヘッド１２５，１２６を測定子１２７，１２８の配列方向に沿ってこの測定子１２７，１２８の数に対応する距離を１単位として、この１単位ごとの距離を移動すると共に、配列方向の端部にある測定子１２７，１２８が管支持板４６の端部に形成された貫通穴４６ａに対向するように移動させている。従って、管支持板４６における１列の貫通穴４６ａの数が、測定ヘッド１２５，１２６に配列された測定子１２７，１２８の数と同数または倍数でないとき、端部の測定子１２７，１２８が管支持板４６の端部の貫通穴４６ａに対向するように移動して検査を行うことで、管支持板４６における１列の貫通穴４６ａの数に拘わらず容易に貫通穴４６ａの全数検査を行うことができる。
　なお、上述した実施例にて、測定ヘッド１２５，１２６や測定子１２７，１２８の数や配置方向は２個や２０個に限定されるものではなく、検査を行う穴の配列や数などに応じて適宜設定すればよいものである。
　また、上述した実施例では、被検査部材を管支持板４６として検査する穴を貫通孔４６ａとしたが、所定厚さの板材に多数の穴が形成されたものであればよく、どの分野にも適用することができる。
　本発明に係る穴検査装置は、測定ヘッドに複数の測定子を後退可能であると共に前進した前進位置に保持可能とすることで、検査作業の作業性の向上を可能とするものであり、いずれの穴検査作業にも適用することができる。
　１１　原子炉格納容器
　１２　加圧水型原子炉
　１３　蒸気発生器
　１７　蒸気タービン
　１９　高圧タービン
　２０　低圧タービン
　２１　発電機
　４１　胴部
　４５　管板
　４６　管支持板（被検査部材）
　４６ａ　貫通穴（穴）
　４４　管群外筒
　４８　伝熱管
　４９　伝熱管群
　１００　穴検査装置
　１０２　第１走行レール
　１０３　第２走行レール
　１０５　検査ヘッド
　１１１　移動ブロック（移動体）
　１１５　駆動装置（移動体移動装置）
　１１８　位置センサ（位置検出器）
　１１９　制御装置（判定装置）
　１２１　第１エアシリンダ（測定ヘッド移動装置）
　１２２　第２エアシリンダ（測定ヘッド移動装置）
　１２５　第１測定ヘッド
　１２６　第２測定ヘッド
　１２７　第１測定子
　１２８　第２測定子
　１３５，１３８　検査体
　１４２，１４５　第１位置センサ
　１４３，１４６　第２位置センサ

Claims (6)

  1. 　交差する２つの方向に移動自在に支持される移動体と、
    　該移動体に対して該移動体の移動方向に交差する方向に移動自在に支持される測定ヘッドと、
    　前記移動体に対して前記測定ヘッドを移動可能な測定ヘッド移動装置と、
    　前記測定ヘッドに対して該測定ヘッドの移動方向と同じ方向に移動自在に支持される複数の測定子と、
    　該測定子を後退可能であると共に前進した前進位置に保持可能な測定子保持機構と、
    　を備えることを特徴とする穴検査装置。
  2. 　前記測定子は、前記測定ヘッド移動装置により前記測定ヘッドが前進することで被検査部材の穴に挿入した第１測定位置に移動可能であると共に、被検査物に当接して後退した第２測定位置に移動可能であることを特徴とする請求項１に記載の穴検査装置。
  3. 　前記測定子は、被検査部材に形成された穴が最小公差よりも大きいときに挿入可能な第１測定子と、被検査部材に形成された穴が最大公差よりも小さいときに挿入不能な第２測定子とを有することを特徴とする請求項１または２に記載の穴検査装置。
  4. 　前記第１測定子と前記第２測定子とは、所定の間隔をもって近接され、且つ、それぞれ前記移動体の移動方向に沿って等間隔で複数配列されることを特徴とする請求項３に記載の穴検査装置。
  5. 　前記測定ヘッドに対する前記測定子の移動位置を検出する位置検出器と、該位置検出器の検出結果に基づいて被検査部材の穴の良否を判定する判定装置を設けることを特徴とする請求項１から４のいずれか一つに記載の穴検査装置。
  6. 　前記移動体を移動する移動体移動装置と、該移動体の移動位置を検出する位置検出器と、該位置検出器の検出結果に基づいて前記移動体移動装置を制御する制御装置を設け、該制御装置は、前記移動体を前記測定子の配列方向に沿って該測定子の数に対応する距離を１単位として１単位ごとに移動すると共に、配列方向の端部にある前記測定子が被検査部材の端部に形成された穴に対向するように移動することを特徴とする請求項１から５のいずれか一つに記載の穴検査装置。
PCT/JP2011/075752 2010-11-09 2011-11-08 穴検査装置 WO2012063833A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US13/878,511 US9212881B2 (en) 2010-11-09 2011-11-08 Hole examining device
EP11840172.8A EP2639544B1 (en) 2010-11-09 2011-11-08 Hole inspecting apparatus

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010-251314 2010-11-09
JP2010251314A JP2012103081A (ja) 2010-11-09 2010-11-09 穴検査装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2012063833A1 true WO2012063833A1 (ja) 2012-05-18

Family

ID=46050975

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2011/075752 WO2012063833A1 (ja) 2010-11-09 2011-11-08 穴検査装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9212881B2 (ja)
EP (1) EP2639544B1 (ja)
JP (1) JP2012103081A (ja)
WO (1) WO2012063833A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105115384A (zh) * 2015-09-11 2015-12-02 吉林博仁科技股份有限公司 一种用于不锈钢燃油管的检具
CN108534725A (zh) * 2018-06-29 2018-09-14 太仓迪阳汽车装备有限公司 双孔形位公差测量机构
CN116659347A (zh) * 2023-08-02 2023-08-29 四川敏山电子科技有限公司 一种电路板孔径测量装置及其方法

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3023202B1 (fr) * 2014-07-02 2017-03-10 Aircelle Sa Outillage de controle de panneaux acoustique en materiaux composites presentant des percages
JP2016028227A (ja) 2014-07-08 2016-02-25 ファナック株式会社 力覚センサを利用して対象物を検査する検査システム
JP2021060215A (ja) * 2019-10-03 2021-04-15 日本車輌製造株式会社 ノズル径測定ゲージ、ノズル径測定装置、及び、ノズル径の測定方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57142501A (en) * 1981-01-27 1982-09-03 Finike Italiana Marposs Gauge
JPH01126505U (ja) * 1988-02-20 1989-08-29
JPH0434611U (ja) * 1990-07-16 1992-03-23
JPH0443205U (ja) * 1990-08-17 1992-04-13
JPH08155794A (ja) 1994-12-08 1996-06-18 Fuji Koki Seisakusho:Kk 内径非接触測定装置
JPH09318307A (ja) 1996-05-29 1997-12-12 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 内径変位測定装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2767478A (en) * 1954-05-03 1956-10-23 Ind Tectonics Inc Ball tip gauge assembly
US3676776A (en) * 1970-01-19 1972-07-11 Siemens Ag Testing probe construction
IT957145B (it) * 1972-03-03 1973-10-10 Marposs App Elett Macchina di misura per il control lo di pezzi similari aventi almeno una dimensione diversa
US4052793A (en) * 1976-10-04 1977-10-11 International Business Machines Corporation Method of obtaining proper probe alignment in a multiple contact environment
US4672750A (en) * 1984-02-17 1987-06-16 Amf, Inc. Thread measurement tool
IT1238193B (it) * 1990-03-08 1993-07-09 Marposs Spa Apparecchio per il controllo multiplo di dimensioni interne.
JPH04115560U (ja) * 1991-03-25 1992-10-14 豊田工機株式会社 自動孔加工装置における加工孔検出装置
US5822877A (en) * 1996-06-20 1998-10-20 Brown & Sharpe Manufacturing Company Multi-probe system for dimensional metrology
DE69820921T2 (de) * 1997-05-07 2004-10-28 Mitutoyo Corp., Kawasaki Verfahren und Instrument mit Taster zur Messung der Innen- oder Aussendimension eines Objektes
JP4721841B2 (ja) 2005-09-16 2011-07-13 株式会社ササクラ 心出し装置
WO2007086143A1 (ja) * 2006-01-30 2007-08-02 Ibiden Co., Ltd. ハニカム構造体の検査方法、及び、ハニカム構造体の製造方法
GB0611109D0 (en) * 2006-06-06 2006-07-19 Renishaw Plc A method for measuring workpieces
CN101221035A (zh) * 2007-01-08 2008-07-16 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 检测仪及其检测板
JP2009216548A (ja) * 2008-03-11 2009-09-24 Mitsutoyo Corp 測定装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57142501A (en) * 1981-01-27 1982-09-03 Finike Italiana Marposs Gauge
JPH01126505U (ja) * 1988-02-20 1989-08-29
JPH0434611U (ja) * 1990-07-16 1992-03-23
JPH0443205U (ja) * 1990-08-17 1992-04-13
JPH08155794A (ja) 1994-12-08 1996-06-18 Fuji Koki Seisakusho:Kk 内径非接触測定装置
JPH09318307A (ja) 1996-05-29 1997-12-12 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 内径変位測定装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP2639544A4

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105115384A (zh) * 2015-09-11 2015-12-02 吉林博仁科技股份有限公司 一种用于不锈钢燃油管的检具
CN108534725A (zh) * 2018-06-29 2018-09-14 太仓迪阳汽车装备有限公司 双孔形位公差测量机构
CN108534725B (zh) * 2018-06-29 2023-10-31 太仓迪阳汽车装备有限公司 双孔形位公差测量机构
CN116659347A (zh) * 2023-08-02 2023-08-29 四川敏山电子科技有限公司 一种电路板孔径测量装置及其方法
CN116659347B (zh) * 2023-08-02 2023-11-21 四川敏山电子科技有限公司 一种电路板孔径测量装置及其方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP2639544A1 (en) 2013-09-18
US20130192076A1 (en) 2013-08-01
US9212881B2 (en) 2015-12-15
JP2012103081A (ja) 2012-05-31
EP2639544A4 (en) 2017-03-29
EP2639544B1 (en) 2020-04-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2012063833A1 (ja) 穴検査装置
JP5843492B2 (ja) 放射線遮蔽方法及び構造体の処理方法
US9010404B2 (en) Inspection apparatus and inspection method for heat transfer tube
US9739695B2 (en) Water jet peening compressive residual stress test method, test device, and test facility
JP6041688B2 (ja) ウォータジェットピーニング装置
JP2013011494A (ja) 浸透探傷試験装置及び方法
US9468984B2 (en) Broaching device
US10020080B2 (en) Nuclear reactor nozzle repair method
JP6109510B2 (ja) 管台補修方法及び原子炉容器
JP2012159471A (ja) 伝熱管の検査方法および検査装置
US9375813B2 (en) Nozzle repairing method and nuclear reactor vessel
JP6104636B2 (ja) 検査方法および検査装置
JP6029466B2 (ja) 管台補修方法及び原子炉容器
JP6472258B2 (ja) 炉内構造物の組立方法
CN108831574A (zh) 一种适用于非能动cap1400安全系统的热态试验方法
JP2016148556A (ja) 熱音響センサ及び温度計測装置
JP2013040823A (ja) 原子炉容器の管台処理装置
JP2016161503A (ja) 水位計測装置
KR20130077609A (ko) 증기발생기와 튜브시트
JP2015194509A (ja) 放射線遮蔽装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 11840172

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 13878511

Country of ref document: US

Ref document number: 2011840172

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE