JP6104636B2 - 検査方法および検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、原子力発電プラントの原子炉容器に設けられる管台内面を検査する検査方法および検査装置に関するものである。

例えば、加圧水型原子炉（ＰＷＲ：Pressurized Water Reactor）を備える原子力発電プラントは、一次冷却水としての軽水を原子炉冷却材および中性子減速材として使用し、炉心全体にわたって沸騰しない高温高圧水とし、この高温高圧水を蒸気発生器に送って熱交換により蒸気を発生させ、この蒸気をタービン発電機へ送って発電するものである。

このような原子力発電プラントにて、加圧水型原子炉は、十分な安全性や信頼性を確保するために各種の構造物などを定期的に検査する必要がある。そして、各検査を施工して不具合を発見した場合は、その不具合に関係する必要箇所を補修している。例えば、加圧水型原子炉にて、原子炉容器本体は、一次冷却水を蒸気発生器へ供給するための出口側管台と、蒸気発生器で熱交換された一次冷却水を取り込むための入口側管台とが設けられている。これらの管台は、蒸気発生器に連通する一次冷却水管が溶接により接続されている。そして、管台と一次冷却水管とは材質が異なるため、その間にセーフエンド管が溶接により接続される。

特許文献１に記載された原子力容器の管台内面の切削方法および切削装置は、管台の溶接部に、経年変化によるクラックなどの表面欠陥が判明した場合、管台の内部に切削装置を挿入して切削位置に位置決めし、溶接部を切削する。そして、切削に際し、渦電流探傷器用センサにより切削位置を決定し、変位検出器用センサにより管台の内面形状を記録し、これらのデータに基づき管台の内面を切削している。

上述した特許文献１は、原子力容器の管台内面の補修を行うことが示され、クレーン吊りして装置を管台の内部に挿入し、渦電流探傷器用センサにより切削位置を決定している。このような補修工法において、渦電流探傷器用センサを校正する場合には、装置を管台の内部に挿入する以前に、原子力発電プラントの原子炉建屋の作業フロアにて校正を行ってから、クレーン吊りして装置を管台の内部に挿入し、そこで渦電流探傷器用センサにより切削位置を決定し、その後クレーン吊りして装置を作業フロアに戻し校正を行う必要があった。ここで、原子炉容器は、上述したように入口側管台および出口側管台を有し１つの蒸気発生器に繋がるループを形成している。また、複数の蒸気発生器を備える原子力発電プラントにおいては、蒸気発生器の数分のループを形成するように、原子炉容器は複数の入口側管台および出口側管台を有する。すなわち、複数の管台に対し、校正のためにクレーン吊りして装置を管台の内部に挿入したり、装置を作業フロアに戻したりする作業が必要であるため、多くの時間を要し作業効率が低下することになる。

また、特許文献２に記載された水中渦電流試験装置は、固定した燃料棒に沿って上下縦方向に移動し、かつ上下縦方向に直交する横方向および前後方向に移動する操作ヘッドに、試験コイルと標準コイルとを取り付け、その近傍に感度校正用試験片を設けている。そして、測定時は、試験コイルを前方に押し出して燃料棒に接触させる。一方、測定に先立ち、試験コイルの感度校正を行う場合、感度校正用試験片が操作ヘッドの横方向移動に対して固定されており、試験コイルを横方向移動させることで、感度校正用試験片に対向接触させる。

また、特許文献３に記載された燃料被覆管の渦電流検査装置は、燃料被覆管を保持させるチャック部と、検査用センサを燃料被覆管の中心にかつ垂直に押し当てるセンサホルダ部と、検査用センサの零校正用試験片部と、から構成され、零校正用試験片部は、回転機構を有しており、校正時に検査用センサの前側に移動可能に配設されている。

特許第４４４４１６８号公報 特開平７−２１８４７４号公報 特許第３３７８５００号公報

特許文献２および特許文献３は、装置に校正用試験片が搭載されているため、検査を行う水中環境下で校正を行うことが可能である。しかし、特許文献２では、測定時は試験コイルを前方に押し出して燃料棒に接触させる一方、試験コイルの感度校正を行う場合は試験コイルを横方向移動させて感度校正用試験片に対向接触させる。このため、試験コイルの位置が燃料棒に対向する位置から外れてしまい、それぞれの環境が変化した場合に正確な校正が行われないおそれがある。また、特許文献３では、零校正用試験片部は、回転機構を有しており、校正時に検査用センサの前側に移動可能に配設されている。このため、検査を行う位置に装置を配置した場合は検査用センサの前側に零校正用試験片部を配置することはできないため、その結果、校正時は装置を燃料被覆管の前側から位置を変えなければならず、環境が変化し正確な校正が行われないおそれがある。

本発明は、上述した課題を解決するものであり、装置を施工位置から移動させることなく検査および校正を行うことのできる検査方法および検査装置を提供することを目的とする。

上述の目的を達成するために、第１の発明の検査方法は、原子力発電プラントに設けられた被検査体を検査する検査方法において、前記被検査体を検査する基準位置に検査部および校正試験部を備える検査装置を配置する工程と、次に、前記検査部が前記被検査体の検査対象部位に対して押出移動する軌跡上に対して前記校正試験部を進退移動させ前記検査部の校正を行う工程と、次に、前記検査部により前記検査対象部位を検査する工程と、を含むことを特徴とする。

この検査方法によれば、被検査体の検査対象部位を検査する際、検査部が押出移動する軌跡上で検査部の校正試験を行える。この結果、検査装置を施工位置から移動させることなく検査および校正を行うことができる。従って、正確な校正により信頼性の高い検査結果を得ることができる。しかも、検査部が押出移動できる範囲で校正試験をするため、検査部が押出移動できる条件の狭隘な場所においても校正試験を行うことができる。

上述の目的を達成するために、第２の発明の検査方法は、原子炉容器に設けられた管台の内面を検査する検査方法において、検査部および校正試験部を備える検査装置を前記管台の内部に挿入する工程と、次に、前記検査装置が前記管台の内部に挿入された基準位置で前記検査部が前記管台の内面に対して押出移動する軌跡上に対して前記校正試験部を進退移動させ前記検査部の校正を行う工程と、次に、前記検査部により前記管台の内面を検査する工程と、を含むことを特徴とする。

この検査方法によれば、原子炉容器に設けられた管台の内面を検査する際、検査部が押出移動する軌跡上で検査部の校正試験を行える。この結果、検査装置を施工位置から移動させることなく検査および校正を行うことができる。従って、正確な校正により信頼性の高い検査結果を得ることができる。

また、第３の発明の検査方法は、第２の発明において、前記検査部により前記管台の内面を検査する工程の次に、前記基準位置で前記検査部が前記管台の内面に対して押出移動する軌跡上に対して前記校正試験部を進退移動させ検査後の前記検査部の校正を行う工程をさらに含むことを特徴とする。

この検査方法によれば、原子炉容器に設けられた管台の内面を検査した後、検査部が押出移動する軌跡上で検査部の校正試験を行える。この結果、検査装置を施工位置から移動させることなく検査後の校正を行うことができる。従って、正確な校正により信頼性の高い検査結果を得ることができる。

また、上述の目的を達成するために、第４の発明の検査装置は、原子力発電プラントに設けられた被検査体を検査する検査装置において、前記被検査体を検査する基準位置に設置される装置フレームと、前記装置フレームに設けられて前記被検査体の検査対象部位を検査する検査部と、前記装置フレームが前記基準位置に設置された状態で前記検査部を前記検査対象部位に向けて押出移動させる検査部押出移動機構と、前記装置フレームに設けられて前記検査部の校正をするための校正試験部と、前記基準位置に設置された状態での前記検査部の押出移動の軌跡上に対し、前記校正試験部を進退移動させる校正試験部進退移動機構と、を備えることを特徴とする。

この検査装置によれば、被検査体の検査対象部位を検査する際、検査部が押出移動する軌跡上で検査部の校正試験を行える。この結果、検査装置を施工位置から移動させることなく検査および校正を行うことができる。従って、正確な校正により信頼性の高い検査結果を得ることができる。しかも、検査部が押出移動できる範囲で校正試験をするため、省スペース化を図り、検査部が押出移動できる条件の狭隘な場所においても校正試験を行うことができる。さらに、検査部の押出移動の軌跡上に対して校正試験部を進退移動させることから、装置構成を簡素化して省スペース化を図り、装置を小型化することができる。

また、上述の目的を達成するために、第５の発明の検査装置は、原子炉容器に設けられた管台の内面を検査する検査装置において、前記管台の内部に挿入される装置フレームと、前記装置フレームに設けられて前記管台の内面を検査する検査部と、前記装置フレームが前記管台の内部に設置された状態で前記検査部を前記管台の内面に向けて押出移動させる検査部押出移動機構と、前記装置フレームが前記管台の内部に設置された状態で前記検査部を前記管台の周方向に沿って所定の中心軸の廻りに回転移動させる回転移動機構と、前記装置フレームに設けられて前記検査部の校正をするための校正試験部と、前記検査部の押出移動の軌跡上に対し、前記校正試験部を前記中心軸に沿う方向に進退移動させる校正試験部進退移動機構と、を備えることを特徴とする。

この検査装置によれば、原子炉容器に設けられた管台の内面を検査する際、検査部が押出移動する軌跡上で検査部の校正試験を行える。この結果、検査装置を施工位置から移動させることなく検査および校正を行うことができる。従って、正確な校正により信頼性の高い検査結果を得ることができる。

また、第６の発明の検査装置は、第５の発明において、前記検査部は、前記管台の内面に接触し探傷する探傷センサ、または前記管台の内面を撮影する撮像センサの少なくとも一方を備え、前記校正試験部は、前記探傷センサの校正を行うための探傷センサ用校正試験片、または前記撮像センサの校正を行うための撮像センサ用校正試験片の少なくとも一方を備えることを特徴とする。

この検査装置によれば、探傷センサによる探傷検査、または撮像センサによる目視検査の少なくとも一方において、検査装置を施工位置から移動させることなく検査および校正を行うことができる。従って、正確な校正により信頼性の高い検査結果を得ることができる。

また、第７の発明の検査装置は、第５の発明において、前記検査部は、前記管台の内面に接触し探傷する探傷センサおよび前記管台の内面を撮影する撮像センサが前記中心軸に沿って並設されており、前記校正試験部は、前記探傷センサの校正を行うための探傷センサ用校正試験片および前記撮像センサの校正を行うための撮像センサ用校正試験片が前記中心軸に沿って前記探傷センサおよび前記撮像センサの並設位置に合わせて配置されることを特徴とする。

この検査装置によれば、探傷センサ用校正試験片および撮像センサ用校正試験片が中心軸に沿って探傷センサおよび撮像センサの並設位置に合わせて配置されることで、これらを進退移動させる校正試験部進退移動機構を共通した構成として設けることができ、１機構の１動作で双方の校正試験を行うことができるとともに、装置の大型化を防ぐことができる。

また、第８の発明の検査装置は、第６または第７の発明において、前記校正試験部は、前記管台の内部に設置された状態で前記撮像センサが前記管台の内面を撮影する際の距離と同距離の位置に合わせて配置されることを特徴とする。

この検査装置によれば、撮像センサによる目視検査のときと同じ条件で撮像センサの校正を行うことができ、さらに正確な校正によりさらに信頼性の高い検査結果を得ることができる。

また、第９の発明の検査装置は、第６〜第８のいずれか１つの発明において、前記校正試験片が、前記中心軸を中心とする曲率の試験面を有することを特徴とする。

この検査装置によれば、中心軸を中心とする曲率の試験面を有することで、検査部による管台の内面の検査と校正試験部での校正試験とが同等の条件となる。この結果、さらに正確な校正によりさらに信頼性の高い検査結果を得ることができる。

また、第１０の発明の検査装置は、第６〜第９のいずれか１つの発明において、検査対象部位が前記管台の内面の溶接部であり、前記探傷センサ用校正試験片は前記溶接部やその周囲の材料および形態を模擬して形成されていることを特徴とする。

この検査装置によれば、溶接部やその周囲の材料および形態を模擬することで、実際の検査に近似した状態での校正を行うことができる。

また、第１１の発明の検査装置は、第６〜第１０のいずれか１つの発明において、前記探傷センサ用校正試験片は、深さや延在方向の異なる複数種の溝が形成されていることを特徴とする。

この検査装置によれば、深さや延在方向の異なる複数種の溝を形成することで、想定外の欠陥（亀裂）が発見された場合でも評価できる。

本発明によれば、装置を施工位置から移動させることなく検査および校正を行うことができる。

図１は、原子力発電プラントの一例の概略構成図である。 図２は、本発明の実施形態に係る検査装置の据付状態を表す概略図である。 図３は、本発明の実施形態に係る検査装置の側断面図である。 図４は、本発明の実施形態に係る検査装置の他の使用形態を示す側断面図である。 図５は、本発明の実施形態に係る検査装置の平面図である。 図６は、図３および図５におけるＡ−Ａ断面図である。 図７は、図４におけるＢ−Ｂ断面図である。 図８は、図３におけるＣ−Ｃ断面図である。 図９は、図３におけるＤ−Ｄ矢視図である。 図１０は、図３におけるＥ−Ｅ矢視図である。 図１１は、本発明の実施形態に係る検査装置による検査手順を示す概略図である。 図１２は、本発明の実施形態に係る検査装置による検査手順を示す概略図である。 図１３は、本発明の実施形態に係る検査装置による検査手順を示す概略図である。 図１４は、本発明の実施形態に係る検査装置による検査手順を示す概略図である。 図１５は、本発明の実施形態に係る検査装置による検査手順を示す概略図である。 図１６は、探傷センサ用校正試験片を示す平面図である。 図１７は、探傷センサ用校正試験片を示す側面図である。 図１８は、探傷センサ用校正試験片を示す側面図である。 図１９は、探傷センサ用校正試験片の他の例を示す平面図である。 図２０は、探傷センサ用校正試験片の他の例を示す平面図である。 図２１は、撮像センサ用校正試験片を示す平面図である。 図２２は、撮像センサ用校正試験片を示す側面図である。

以下に、本発明に係る実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。

図１は、原子力発電プラントの一例の概略構成図である。図１に示す原子力発電プラントは、加圧水型原子炉（ＰＷＲ：Pressurized Water Reactor）を有する。この原子力発電プラントは、原子炉格納容器１００内において、加圧水型原子炉の原子炉容器１０１、加圧器１０２、蒸気発生器１０３および一次冷却水ポンプ１０４が、一次冷却水管１０５により順次接続されて、一次冷却水の循環経路が構成されている。

原子炉容器１０１は、内部に燃料集合体１２０を密閉状態で格納するもので、燃料集合体１２０が挿抜できるように、原子炉容器本体１０１ａとその上部に装着される原子炉容器蓋１０１ｂとにより構成されている。原子炉容器本体１０１ａは、上部に一次冷却水としての軽水を給排する入口側管台１０１ｃおよび出口側管台１０１ｄが設けられている。出口側管台１０１ｄは、蒸気発生器１０３の入口側水室１０３ａに連通するように一次冷却水管１０５が接続されている。また、入口側管台１０１ｃは、蒸気発生器１０３の出口側水室１０３ｂに連通するように一次冷却水管１０５が接続されている。

蒸気発生器１０３は、半球形状に形成された下部において、入口側水室１０３ａと出口側水室１０３ｂとが仕切板１０３ｃによって区画されて設けられている。入口側水室１０３ａおよび出口側水室１０３ｂは、その天井部に設けられた管板１０３ｄによって蒸気発生器１０３の上部側と区画されている。蒸気発生器１０３の上部側には、逆Ｕ字形状の伝熱管１０３ｅが設けられている。伝熱管１０３ｅは、入口側水室１０３ａと出口側水室１０３ｂとを繋ぐように端部が管板１０３ｄに支持されている。そして、入口側水室１０３ａは、入口側の一次冷却水管１０５が接続され、出口側水室１０３ｂは、出口側の一次冷却水管１０５が接続されている。また、蒸気発生器１０３は、管板１０３ｄによって区画された上部側の上端に、出口側の二次冷却水管１０６ａが接続され、上部側の側部に、入口側の二次冷却水管１０６ｂが接続されている。

また、原子力発電プラントは、蒸気発生器１０３が、原子炉格納容器１００外で二次冷却水管１０６ａ，１０６ｂを介して蒸気タービン１０７に接続されて、二次冷却水の循環経路が構成されている。

蒸気タービン１０７は、高圧タービン１０８および低圧タービン１０９を有するとともに、発電機１１０が接続されている。また、高圧タービン１０８および低圧タービン１０９は、湿分分離加熱器１１１が、二次冷却水管１０６ａから分岐して接続されている。また、低圧タービン１０９は、復水器１１２に接続されている。この復水器１１２は、二次冷却水管１０６ｂに接続されている。二次冷却水管１０６ｂは、上述したように蒸気発生器１０３に接続され、復水器１１２から蒸気発生器１０３に至り、復水ポンプ１１３、低圧給水加熱器１１４、脱気器１１５、主給水ポンプ１１６、および高圧給水加熱器１１７が設けられている。

従って、原子力発電プラントでは、一次冷却水が原子炉容器１０１にて加熱されて高温・高圧となり、加圧器１０２にて加圧されて圧力を一定に維持されつつ、一次冷却水管１０５を介して蒸気発生器１０３に供給される。蒸気発生器１０３では、一次冷却水と二次冷却水との熱交換が行われることにより、二次冷却水が蒸発して蒸気となる。熱交換後の冷却した一次冷却水は、一次冷却水管１０５を介して一次冷却水ポンプ１０４側に回収され、原子炉容器１０１に戻される。一方、熱交換により蒸気となった二次冷却水は、蒸気タービン１０７に供給される。蒸気タービン１０７に係り、湿分分離加熱器１１１は、高圧タービン１０８からの排気から湿分を除去し、さらに加熱して過熱状態とした後に低圧タービン１０９に送る。蒸気タービン１０７は、二次冷却水の蒸気により駆動され、その動力が発電機１１０に伝達されて発電される。タービンの駆動に供された蒸気は、復水器１１２に排出される。復水器１１２は、取水管１１２ａを介してポンプ１１２ｂにより取水した冷却水（例えば、海水）と、低圧タービン１０９から排出された蒸気とを熱交換し、当該蒸気を凝縮させて低圧の飽和液に戻す。熱交換に用いられた冷却水は、排水管１１２ｃから排出される。また、凝縮された飽和液は、二次冷却水となり、復水ポンプ１１３によって二次冷却水管１０６ｂを介して復水器１１２の外部に送り出される。さらに、二次冷却水管１０６ｂを経る二次冷却水は、低圧給水加熱器１１４で、例えば、低圧タービン１０９から抽気した低圧蒸気により加熱され、脱気器１１５で溶存酸素や不凝結ガス（アンモニアガス）などの不純物が除去された後、主給水ポンプ１１６により送水され、高圧給水加熱器１１７で、例えば、高圧タービン１０８から抽気した高圧蒸気により加熱された後、蒸気発生器１０３に戻される。

このように構成された原子力発電プラントの加圧水型原子炉において、原子炉容器１０１は、上述したように、入口側管台１０１ｃおよび出口側管台１０１ｄに一次冷却水管１０５が接続されている。そして、入口側管台１０１ｃおよび出口側管台１０１ｄと、一次冷却水管１０５とは、材質が異なるため、その間にセーフエンド管１２１が溶接（開先溶接部１２２）により接続される（図３および図４参照）。

そのため、開先溶接部１２２およびその周辺部に引張応力が残留している可能性があり、応力緩和を施す必要がある。そこで、原子炉補修装置としてのウォータジェットピーニング装置により対象となる開先溶接部１２２およびその周辺部である管台１０１ｃ，１０１ｄの内面の引張残留応力を圧縮残留応力に改善することで、応力腐食割れを防止するようにしている。このウォータジェットピーニング装置は、水中で金属部材表面にキャビテーション気泡を含む高圧水を噴射し、金属部材表面の引張残留応力を圧縮残留応力に改善するものである。

そして、ウォータジェットピーニング装置により開先溶接部１２２およびその周辺部である管台１０１ｃ，１０１ｄの内面の引張残留応力を圧縮残留応力に改善する場合、このウォータジェットピーニング装置を管台１０１ｃ，１０１ｄの内部に挿入して作業を行う。また、ウォータジェットピーニングを行う場合、ウォータジェットを噴射する位置を被施工面の位置を特定するうえで検査を行う。そして、本実施形態においては、検査装置とウォータジェットピーニング装置とが一体に装備されている。なお、検査装置は、ウォータジェットピーニング装置以外の補修装置と一体に装備されていてもよい。

図２は、本実施形態に係る検査装置の据付状態を表す概略図である。図３は、本実施形態に係る検査装置の側断面図である。図４は、本実施形態に係る検査装置の他の使用形態を示す側断面図である。図５は、本実施形態に係る検査装置の平面図である。図６は、図３および図５におけるＡ−Ａ断面図である。図７は、図４におけるＢ−Ｂ断面図である。図８は、図３におけるＣ−Ｃ断面図である。図９は、図３におけるＤ−Ｄ矢視図である。図１０は、図３におけるＥ−Ｅ矢視図である。図１１〜図１５は、本実施形態に係る検査装置による検査手順を示す概略図である。

図２に示すように、検査装置（ウォータジェットピーニング装置）１は、被検査体として原子炉容器１０１（原子炉容器本体１０１ａ）の入口側管台１０１ｃや出口側管台１０１ｄの内部に挿入されて据え付けられる。なお、本実施形態において、検査装置が検査する被検査体として、入口側管台１０１ｃや出口側管台１０１ｄを一例としているが、これに限定されるものではない。

また、原子力発電プラントにおいて、原子炉建屋（図示略）は、作業フロア１５１が設けられており、この作業フロア１５１より下方にキャビティ１５２が設けられ、このキャビティ１５２に冷却水が貯留されている。キャビティ１５２は、内部に原子炉容器１０１が配置され、吊下げ支持されている。原子炉建屋は、キャビティ１５２の両側に並行な一対のガイドレール１５５が敷設され、移動式クレーン１５６が移動自在に支持されている。この移動式クレーン１５６は、水平方向における一方向（図２にて、左右方向）に移動自在であるとともに、水平方向における一方向に交差（直交）する他方向（図２にて、紙面直交方向）に移動自在な電動ホイスト１５７が設けられている。そして、この電動ホイスト１５７は、鉛直方向に沿って昇降可能なフック１５８を有している。このフック１５８を介し、据付用ポール１５９が吊り下げられる。

据付用ポール１５９は、長尺部材であって、所定の長さを有しており、下端部に検査装置１が連結可能となっている。この据付用ポール１５９は、複数の分割ポールから構成され、その上下端のフランジ部同士を密着させ、複数のスイングボルトにより両者を締結することができる。

図３〜図５に示すように、管台１０１ｃ，１０１ｄは、原子炉容器１０１の内側の壁面１０１ｅに開口部１０１ｆを有して水平方向（または水平方向の成分を含み）延在して設けられている。検査装置１は、開口部１０１ｆから管台１０１ｃ，１０１ｄの内部に挿入されて据え付けられる。なお、本実施例では、検査装置１の据え付けに用いる据付用治具として据付用ポール１５９を用いたが、この構成に限定されるものではなく、例えば、ワイヤやケーブル、ロープなどを用いてもよい。

この検査装置１は、据付用ポール１５９に連結される装置フレーム２を有している。装置フレーム２は、管台１０１ｃ，１０１ｄの内部に挿入可能な外形とされて当該挿入方向Ｔに沿って延在する筒状に形成されている。装置フレーム２は、主に、外部当接部材３と、内部当接部材４と、吸着手段５と、当接検出手段６と、撮影手段７と、噴射ノズル８と、ノズル押出移動機構９と、回転移動機構１５と、スライド移動機構１８と、検査部２０と、検査部押出移動機構２１と、校正試験部２２と、校正試験部進退移動機構２３と、が設けられている。

外部当接部材３は、図３〜図５に示すように、装置フレーム２が管台１０１ｃ，１０１ｄの内部の所定位置に挿入された場合に、壁面１０１ｅに当接されるものである。外部当接部材３は、図３〜図６に示すように、装置フレーム２の外側に張り出して固定された支持部材１３に対し、装置フレーム２の挿入先端側（挿入方向Ｔ側）に先端を向けて突出するように取り付けられている。本実施形態において、外部当接部材３は、支持部材１３の上側で左右に１つずつ２箇所、下側で左右に２つずつ４箇所の計６箇所に配置されている。

図３および図５に示すように、上側の２箇所および下側のやや上寄りの２つの外部当接部材３は、スペーサ３ａの有無により装置フレーム２の挿入先端側への先端の位置を変えられるように構成されている。また、図３〜図５に示すように、下側の下寄りの２つの外部当接部材３は、アクチュエータ（空圧シリンダ）３ｂにより装置フレーム２の挿入先端側への先端の位置を変えられるように移動可能に構成されている。入口側管台１０１ｃと出口側管台１０１ｄとは、開口部１０１ｆの形状が異なり、出口側管台１０１ｄには突起１０１ｇが形成され、この突起１０１ｇの有無に対応するためである。

このように、外部当接部材３を備えることで、装置フレーム２が管台１０１ｃ，１０１ｄの内部の所定位置に挿入された状態を位置決めすることが可能になる。

内部当接部材４は、図３〜図５、図７、図８に示すように、装置フレーム２が管台１０１ｃ，１０１ｄの内部に挿入される部分であって、装置フレーム２（中心軸Ｓ）を中心とした周囲の複数箇所に設けられ、半径方向の外側に先端を向けて突出するように設けられている。本実施形態において、内部当接部材４は、図５に示すように、装置フレーム２の中心よりも上側の左右で装置フレーム２の挿入方向Ｔの前後に２つずつ４箇所、装置フレーム２の中心位置近傍の高さの両側に１つずつ２箇所、図４および図７に示すように装置フレーム２の中心位置の下側で１つの計７箇所に配置されている。これら内部当接部材４は、アクチュエータ（空圧シリンダ）４ａにより装置フレーム２を中心とする半径方向に進退移動可能に構成されている。アクチュエータ４ａにより前進移動した内部当接部材４は、管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に当接する。

図４および図７に示すように、装置フレーム２の中心位置の下側で１つの内部当接部材４は、上側の左右で装置フレーム２の挿入方向Ｔの前の２つの内部当接部材４の下方に位置し、装置フレーム２の中心位置近傍の高さの両側の２つの内部当接部材４を含め５箇所で入口側管台１０１ｃに挿入される場合、装置フレーム２の中心位置を入口側管台１０１ｃの中心位置に合わせるために用いられる。一方、図３および図８に示すように、装置フレーム２の中心位置の下側で１つの内部当接部材４の後側には、挿入方向Ｔに転動するタイヤ４ｂが進退移動しない内部当接部材４として設けられている。このタイヤ４ｂは、上側の左右で装置フレーム２の挿入方向Ｔの後の２つの内部当接部材４の下方に位置し、装置フレーム２の中心位置近傍の高さの両側の２つの内部当接部材４を含め５箇所で出口側管台１０１ｄに挿入される場合、装置フレーム２の中心位置を出口側管台１０１ｄの中心位置に合わせるために用いられる。入口側管台１０１ｃと出口側管台１０１ｄとは、穴形状が異なり、入口側管台１０１ｃには内部に向かって細径となる傾斜が内面に形成され、出口側管台１０１ｄにはこの傾斜が無く、この傾斜の有無に対応して装置フレーム２の中心位置を管台１０１ｃ，１０１ｄの中心位置に合わせるためである。

このように、内部当接部材４を備えることで、装置フレーム２の中心位置を管台１０１ｃ，１０１ｄの中心位置に合わせることが可能になる。

吸着手段５は、図５に示すように、装置フレーム２が管台１０１ｃ，１０１ｄの内部の所定位置に挿入された場合に、壁面１０１ｅに吸着可能に設けられている。吸着手段５は、図５および図６に示すように、支持部材１３に対し、装置フレーム２の挿入先端側（挿入方向Ｔ側）に吸着面を向けるように取り付けられている。本実施形態において、吸着手段５は、支持部材１３の上側で左右に１つずつ２箇所、下側で左右に１つずつ２箇所の計４箇所に配置されている。また、吸着手段５は、図５に示すように、アクチュエータ（空圧シリンダ）５ａにより挿入方向Ｔに沿って移動可能に設けられている。また、吸着手段５は、図５に示すように、壁面１０１ｅの傾きに対応するようにアクチュエータ５ａのロッド５ｂに対して左右方向に揺動可能に設けられている。

このように、吸着手段５を備えることで、外部当接部材３により管台１０１ｃ，１０１ｄの内部に挿入した装置フレーム２を位置決めした状態、および内部当接部材４により装置フレーム２の中心位置を管台１０１ｃ，１０１ｄの中心位置に合わせた状態を維持することが可能になる。

当接検出手段６は、図５に示すように、外部当接部材３が壁面１０１ｅに当接した場合、これを検出するものである。当接検出手段６は、図５および図６に示すように、支持部材１３に対し、上側の外部当接部材３の側部に配置され、装置フレーム２の挿入先端側（挿入方向Ｔ側）に接触子６ａの先端を向けるように取り付けられている。接触子６ａは、ケーシング６ｂに対して挿入方向Ｔに沿って移動可能に設けられ、常に挿入方向Ｔ側に突出するようにバネ（図示せず）により付勢されている。ケーシング６ｂは、その内部に、近接センサ（図示せず）が設けられ、接触子６ａが挿入方向Ｔの反対方向に移動した場合、これを検出する。そして、当接検出手段６は、外部当接部材３が壁面１０１ｅに当接した場合、同時に接触子６ａが壁面１０１ｅに当接し、挿入方向Ｔと反対方向に移動することで、これを近接センサにより検出し、外部当接部材３が壁面１０１ｅに当接したこととして検出する。

このように、当接検出手段６を備えることで、外部当接部材３が壁面１０１ｅに当接した状態、すなわち外部当接部材３により管台１０１ｃ，１０１ｄの内部に挿入した装置フレーム２を位置決めした旨を認識することが可能になる。

撮影手段７は、図３、図４および図６に示すように、支持部材１３に対し、装置フレーム２の上下左右に１つずつ計４箇所に配置されている。撮影手段７は、カメラ７ａおよび照明７ｂを有し、それぞれが装置フレーム２の挿入先端側（挿入方向Ｔ）に向けて設けられている。この撮影手段７は、管台１０１ｃ、１０１ｄに挿入される装置フレーム２の挿入先端側を挿入後端側から撮影する。

このように、撮影手段７を備えることで、管台１０１ｃ、１０１ｄに挿入される装置フレーム２の状態を監視することが可能になる。

従って、装置フレーム２を管台１０１ｃ、１０１ｄに挿入する場合、撮影手段７により撮影した映像を作業フロア１５１に配置したモニタ（図示せず）で監視しながら行い、当接検出手段６の検出信号を入力したときに、外部当接部材３が壁面１０１ｅに当接したと認識する。その後、内部当接部材４を管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に当接させ、吸着手段５を管台１０１ｃ，１０１ｄの壁面１０１ｅに吸着させる。

噴射ノズル８は、管台１０１ｃ，１０１ｄにおける内面にウォータジェットを噴射するものである。噴射ノズル８は、図３、図４および図９に示すように、ウォータジェットを噴射する噴射口８ａが管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に向くように、装置フレーム２の挿入先端側に設けられた支持部１４に配置されている。

支持部１４は、図３および図４に示すように、装置フレーム２に対して装置フレーム２の中心軸Ｓ（管台１０１ｃ，１０１ｄの中心軸）の廻りに回転可能に支持されている。具体的に、支持部１４は、回転移動機構１５に支持されている。回転移動機構１５は、回転軸部１５ａを有する。この回転軸部１５ａは、支持部１４が取り付けられているとともに、装置フレーム２に対して中心軸Ｓを中心に回転可能に支持されている。回転軸部１５ａは、中心軸Ｓに沿って延在する円筒状に形成され、その外周に従動歯車１５ｂが取り付けられている。従動歯車１５ｂは、装置フレーム２に固定された回転モータ１５ｃの出力軸に設けられた駆動歯車１５ｄに噛合されている。回転移動機構１５は、回転モータ１５ｃの駆動により駆動歯車１５ｄの回転が従動歯車１５ｂに伝達されることで、回転軸部１５ａを回転させる。このため、回転軸部１５ａに支持された支持部１４が、噴射ノズル８を伴って回転する。この結果、噴射ノズル８が、中心軸Ｓの廻りに所定の移動軌跡に沿って回転移動する。

上述したように、噴射ノズル８は、ウォータジェットを噴射する噴射口８ａが管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に向くように支持部１４に配置されている。従って、回転移動機構１５により回転移動する噴射ノズル８は、その噴射口８ａが管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に向きながら、管台１０１ｃ，１０１ｄの周方向に沿って所定の移動軌跡に沿って回転移動する。即ち、噴射ノズル８の噴射口８ａの向きは、鉛直下向きの回転角度を０°とした場合、鉛直上向きの回転角度１８０°を経て管台１０１ｃ，１０１ｄの周方向に沿って３６０°回転する。この移動軌跡における噴射口８ａおよび後述の検査部２０（探傷センサ２０Ａおよび撮像センサ２０Ｂ）の移動位置は、回転移動機構１５に設けられたノズル位置検出手段（図示せず）により検出される。本実施形態では、ノズル位置検出手段は、回転モータ１５ｃがサーボモータとして構成され、これにより移動軌跡における噴射口８ａおよび検査部２０（探傷センサ２０Ａおよび撮像センサ２０Ｂ）の移動位置が検出される。

上述した回転移動機構１５は、図３および図４に示すように、回転軸部１５ａの内部に、噴射ノズル８に対して高圧水を供給する高圧水供給管１６が配置されている。この高圧水供給管１６は、回転軸部１５ａにおいて装置フレーム２の挿入後端側から中心軸Ｓに沿って延出して設けられ、その延出端部にスイベル軸受１７が介在されている。高圧水供給管１６は、スイベル軸受１７から上方に延出し、図２に示すように、作業フロア１５１に設置されて高圧水を送る高圧水ポンプ１６０に接続されている。すなわち、高圧水ポンプ１６０から送られる高圧水は、高圧水供給管１６を経て噴射ノズル８に供給され噴射口８ａから管台１０１ｃ，１０１ｄの内面にウォータジェットとして噴射される。そして、回転移動機構１５により中心軸Ｓの廻りに噴射ノズル８が回転されることで、管台１０１ｃ，１０１ｄの周方向に沿ってその内面にウォータジェットが噴射される。また、回転移動機構１５により回転軸部１５ａが回転すると、その内部の高圧水供給管１６もともに回転することになるが、途中にスイベル軸受１７が介在されているため、高圧水供給管１６の捩れを防ぐことが可能である。

また、支持部１４は、図３および図４に示すように、装置フレーム２に対して装置フレーム２の中心軸Ｓ（管台１０１ｃ，１０１ｄの中心軸）に沿ってスライド移動可能に支持されている。具体的に、支持部１４は、装置フレーム２の内部に設けられたスライド移動機構１８に支持されている。スライド移動機構１８は、図３〜図５、図７、図８に示すように、スライドレール１８ａ、スライド架台１８ｂ、スライダ１８ｃ、ボールネジ１８ｄ、ナット部１８ｅおよびスライドモータ１８ｆを有する。スライドレール１８ａは、装置フレーム２の中心軸Ｓと平行に延在し、左右一対設けられている。スライド架台１８ｂは、スライドレール１８ａに対してスライドレール１８ａの延在方向に移動可能に支持されている。スライダ１８ｃは、スライドレール１８ａを介して取り付けられているとともに、スライド架台１８ｂに固定されている。ボールネジ１８ｄは、スライドレール１８ａと平行に、装置フレーム２の中心軸Ｓに沿って延在して設けられ、装置フレーム２に対して中心軸Ｓと平行な軸心を中心に回転可能に支持されている。このボールネジ１８ｄにナット部１８ｅが螺合されている。スライドモータ１８ｆは、ボールネジ１８ｄに連結され、ボールネジ１８ｄを回転させる。そして、スライド移動機構１８は、スライドモータ１８ｆの駆動によりボールネジ１８ｄが回転することで、ナット部１８ｅとともにスライダ１８ｃがボールネジ１８ｄの延在方向（中心軸Ｓと平行な方向）にスライド架台１８ｂを伴って移動する。このスライド架台１８ｂは、支持部１４を支持する上述した回転移動機構１５の回転軸部１５ａが取り付けられている。すなわち、回転軸部１５ａは、噴射ノズル８が支持された支持部１４を伴い、スライド架台１８ｂとともに中心軸Ｓと平行な方向に移動する。この結果、噴射ノズル８が、中心軸Ｓに沿ってスライド移動する。

ところで、上述したように、回転軸部１５ａは、中心軸Ｓの廻りに回転するものであり、スライド架台１８ｂに対して回転が許容された形態で取り付けられている。また、回転軸部１５ａは、従動歯車１５ｂが中心軸Ｓに沿って移動可能に設けられている。また、従動歯車１５ｂは、駆動歯車１５ｄとの噛合を維持した状態で中心軸Ｓに沿う移動を規制されている。このため、回転軸部１５ａを回転させる駆動の伝達は、スライド移動機構１８による回転軸部１５ａのスライド移動の際、常に維持されている。すなわち、回転軸部１５ａは、自身が回転し、かつ中心軸Ｓに沿うスライド移動が可能に設けられている。

ノズル押出移動機構９は、噴射口８ａからウォータジェットが噴射される方向に沿って噴射ノズル８を押出移動させるものである。ノズル押出移動機構９は、図９に示すように、支持部１４に設けられ、スライドレール９ａ、スライダ９ｂ、スライド架台９ｃ、およびアクチュエータ９ｄを有する。スライドレール９ａは、中心軸Ｓに直交する方向に延在して一対設けられている。スライダ９ｂは、スライドレール９ａの延在方向に移動可能に支持されている。スライド架台９ｃは、スライダ９ｂに支持されており、スライドレール９ａの延在方向に移動可能に設けられている。このスライド架台９ｃに対し、噴射ノズル８が噴射口８ａをスライドレール９ａの延在方向に向けて固定されている。アクチュエータ９ｄは、各スライドレール９ａにそれぞれ配置されるように支持部１４に設けられているとともに、スライド架台９ｃに連結されている。アクチュエータ９ｄは、スライド架台９ｃをスライドレール９ａの延在方向に移動させるもので、本実施形態では空圧シリンダとして構成されている。アクチュエータ９ｄは、空圧シリンダに限らず、スライド架台９ｃをスライドレール９ａの延在方向に移動させるものであればよい。そして、ノズル押出移動機構９は、アクチュエータ９ｄの駆動によりスライド架台９ｃが噴射ノズル８を伴って中心軸Ｓと直交する方向に移動する。すなわち、噴射ノズル８の噴射口８ａが管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に対向する形態で、管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に対して接近または離間するように押出移動する。この結果、噴射口８ａから管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に至る距離であるウォータジェットの噴射距離が設定される。このウォータジェットの噴射距離は、１３０ｍｍ±１０ｍｍが所定距離とされる。

従って、外部当接部材３、内部当接部材４、および吸着手段５により装置フレーム２が管台１０１ｃ，１０１ｄの内部に挿入された状態で、スライド移動機構１８により噴射口８ａがウォータジェットピーニングを施工する管台１０１ｃ，１０１ｄの所定の内面に向く位置に噴射ノズル８を進退移動させる。その後、ノズル押出移動機構９により噴射距離となるように噴射ノズル８を押出移動させる。その後、噴射ノズル８の噴射口８ａからウォータジェットを噴射させながら回転移動機構１５により噴射ノズル８を回転移動させる。これにより、管台１０１ｃ，１０１ｄの所定の内面にウォータジェットピーニングが施工される。

検査部２０は、本実施形態ではウォータジェットピーニングが施工される管台１０１ｃ，１０１ｄの所定の内面（開先溶接部１２２）の検査を行うものである。検査部２０は、図３〜図５に示すように、支持部１４に設けられている。従って、検査部２０は、上述した回転移動機構１５により中心軸Ｓの廻りに回転移動し、スライド移動機構１８により中心軸Ｓに沿ってスライド移動する。この検査部２０は、探傷センサ２０Ａと、撮像センサ２０Ｂとを有する。探傷センサ２０Ａは、管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に接触し探傷検査をするためのもので、本実施形態では、渦電流探傷センサであり、回転移動機構１５により中心軸Ｓの廻りに回転移動することで、管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に対して周方向に沿って移動し探傷する。また、探傷センサ２０Ａは、本実施形態では検査対象部位となる管台１０１ｃ，１０１ｄの内面の周方向に沿うように複数（２つ）並設して設けられている。撮像センサ２０Ｂは、管台１０１ｃ，１０１ｄの内面を撮影し目視検査をするためのもので、回転移動機構１５により中心軸Ｓの廻りに回転移動することで、管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に対して周方向に沿って移動し撮影する。なお、検査部２０は、図には明示しないが、撮像センサ２０Ｂによる撮影部位を照らす照明を有する。

検査部押出移動機構２１は、検査部２０を管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に向けて押出移動させるものである。検査部押出移動機構２１は、図９に示すように、支持部１４に設けられ、スライドレール２１ａ、スライダ２１ｂ、スライド架台２１ｃ、およびアクチュエータ２１ｄを有する。スライドレール２１ａは、中心軸Ｓに直交する方向に延在して一対設けられ、上述したノズル押出移動機構９のスライドレール９ａを延長して形成されている。スライダ２１ｂは、スライドレール２１ａの延在方向に移動可能に支持されている。スライド架台２１ｃは、スライダ２１ｂに支持されており、スライドレール２１ａの延在方向に移動可能に設けられている。このスライド架台２１ｃに対し、検査部２０である探傷センサ２０Ａ（図１０参照）および撮像センサ２０Ｂが取り付けられている。アクチュエータ２１ｄは、一方のスライドレール２１ａの側部に配置されるように支持部１４に設けられているとともに、スライド架台２１ｃに連結されている。アクチュエータ２１ｄは、スライド架台２１ｃをスライドレール２１ａの延在方向に移動させるもので、本実施形態では空圧シリンダとして構成されている。アクチュエータ２１ｄは、空圧シリンダに限らず、スライド架台２１ｃをスライドレール２１ａの延在方向に移動させるものであればよい。そして、検査部押出移動機構２１は、アクチュエータ２１ｄの駆動によりスライド架台２１ｃが検査部２０（探傷センサ２０Ａおよび撮像センサ２０Ｂ）を伴って中心軸Ｓと直交する方向に移動する。この押出移動の方向は、検査部２０が検査をするための方向であって、探傷センサ２０Ａの場合は管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に接触する面が向く方向であり、撮像センサ２０Ｂの場合は管台１０１ｃ，１０１ｄの内面を撮影する方向である。すなわち、検査部押出移動機構２１は、検査部２０が管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に対して接近または離間するように押出移動する。

また、検査部押出移動機構２１は、図９および図１０に示すように、探傷センサ２０Ａを単独で押出移動させる探傷センサ押出移動機構２１Ａと、撮像センサ２０Ｂを単独で押出移動させる撮像センサ押出移動機構２１Ｂとを有する。

探傷センサ押出移動機構２１Ａは、図１０に示すように、スライド架台２１ｃに設けられ、固定架台２１Ａａ、スライドレール２１Ａｂ、スライダ２１Ａｃ、アクチュエータ２１Ａｄ、およびスライド架台２１Ａｅを有する。固定架台２１Ａａは、スライド架台２１ｃに固定されている。スライドレール２１Ａｂは、スライドレール９ａと平行であって、中心軸Ｓ（図３〜図５参照）に直交する方向に延在して一対設けられている。スライダ２１Ａｃは、スライドレール２１Ａｂの延在方向に移動可能に支持されている。アクチュエータ２１Ａｄは、固定架台２１Ａａに固定されているとともに、スライド架台２１Ａｅに連結されている。アクチュエータ２１Ａｄは、スライド架台２１Ａｅをスライドレール２１Ａｂの延在方向に移動させるもので、本実施形態では空圧シリンダとして構成されている。アクチュエータ２１Ａｄは、空圧シリンダに限らず、スライド架台２１Ａｅをスライドレール２１Ａｂの延在方向に移動させるものであればよい。スライド架台２１Ａｅは、探傷センサ２０Ａを支持するものである。探傷センサ２０Ａは、上述したように検査対象部位となる管台１０１ｃ，１０１ｄの内面の周方向に沿うように複数（２つ）並設して設けられており、それぞれが当該周方向で傾くように各センサ第一支持部２０Ａａに支持されている。各センサ第一支持部２０Ａａは、センサ架台２０Ａｂに一体に取り付けられている。そして、センサ架台２０Ａｂは、スライドレール２１Ａｂと直交する軸心の廻りであって中心軸Ｓの延在方向で傾くように両端が各センサ第二支持部２０Ａｃに支持されている。このセンサ第二支持部２０Ａｃがスライド架台２１Ａｅに取り付けられている。また、センサ第二支持部２０Ａｃは、スライド架台２１Ａｅに対し、スライドレール２１Ａｂの延在方向に移動可能に設けられてバネ（図示せず）により弾性を有して支持されている。すなわち、探傷センサ２０Ａは、センサ第一支持部２０Ａａおよびセンサ第二支持部２０Ａｃにより周方向および中心軸Ｓの延在方向に自由に傾き、かつバネにより付勢されて管台１０１ｃ，１０１ｄの内面の形状に追従して接触するように支持されている。そして、探傷センサ押出移動機構２１Ａは、アクチュエータ２１Ａｄの駆動によりスライド架台２１Ａｅが探傷センサ２０Ａを伴って中心軸Ｓと直交する方向に押出移動する。

撮像センサ押出移動機構２１Ｂは、図９に示すように、スライド架台２１ｃに設けられ、アクチュエータ２１Ｂａ、およびスライド架台２１Ｂｂを有する。アクチュエータ２１Ｂａは、スライド架台２１ｃに固定されているとともに、スライド架台２１Ｂｂに連結されている。アクチュエータ２１Ｂａは、スライド架台２１Ｂｂをスライドレール２１ａの延在方向に移動させるもので、本実施形態では空圧シリンダとして構成されている。アクチュエータ２１Ｂａは、空圧シリンダに限らず、スライド架台２１Ｂｂをスライドレール２１ａの延在方向に移動させるものであればよい。スライド架台２１Ｂｂは、撮像センサ２０Ｂを支持するものである。そして、撮像センサ押出移動機構２１Ｂは、アクチュエータ２１Ｂａの駆動によりスライド架台２１Ｂｂが撮像センサ２０Ｂを伴って中心軸Ｓと直交する方向に押出移動する。

校正試験部２２は、検査部２０（探傷センサ２０Ａおよび撮像センサ２０Ｂ）を校正試験するためのものである。校正試験部２２は、図３〜図５に示すように、校正試験部進退移動機構２３に設けられている。この校正試験部２２は、各探傷センサ２０Ａの校正を行う各探傷センサ用校正試験片２２Ａと、撮像センサ２０Ｂの校正を行う撮像センサ用校正試験片２２Ｂとを有する。

校正試験部進退移動機構２３は、校正試験部２２を中心軸Ｓに沿う方向に進退移動させるものである。校正試験部進退移動機構２３は、図３〜図５に示すように、装置フレーム２に設けられている。従って、校正試験部進退移動機構２３および校正試験部２２は、上述した回転移動機構１５やスライド移動機構１８による回転移動やスライド移動に関与しない。この校正試験部進退移動機構２３は、固定架台２３ａ、スライドレール２３ｂ、スライド架台２３ｃ、およびアクチュエータ２３ｄを有する。固定架台２３ａは、装置フレーム２に固定されている。スライドレール２３ｂは、中心軸Ｓと平行に延在して一対設けられている。スライド架台２３ｃは、校正試験部２２を支持するもので、スライドレール２３ｂの延在方向に移動可能に設けられている。アクチュエータ２３ｄは、固定架台２３ａに固定されているとともに、スライド架台２３ｃに連結されている。アクチュエータ２３ｄは、スライド架台２３ｃをスライドレール２３ｂの延在方向に移動させるもので、本実施形態では空圧シリンダとして構成されている。アクチュエータ２３ｄは、空圧シリンダに限らず、スライド架台２３ｃをスライドレール２３ｂの延在方向に移動させるものであればよい。そして、校正試験部進退移動機構２３は、アクチュエータ２３ｄの駆動によりスライド架台２３ｃが校正試験部２２（各探傷センサ用校正試験片２２Ａおよび撮像センサ用校正試験片２２Ｂ）を伴って中心軸Ｓと平行に直線の軌跡で進退移動する（図１１〜図１５参照）。

ここで、スライド架台２３ｃに支持されている校正試験部２２は、各探傷センサ用校正試験片２２Ａおよび撮像センサ用校正試験片２２Ｂの位置を、上述した検査部２０における各探傷センサ２０Ａおよび撮像センサ２０Ｂが、装置フレーム２の鉛直方向の上方であって検査対象部位である管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に向く位置に合わせて配置している。そのため、図１１および図１４に示すように、校正試験部進退移動機構２３により前進移動した状態で、各探傷センサ用校正試験片２２Ａおよび撮像センサ用校正試験片２２Ｂは、検査部２０（探傷センサ２０Ａおよび撮像センサ２０Ｂ）の押出移動の軌跡上に対し、各探傷センサ２０Ａおよび撮像センサ２０Ｂが検査対象部位である管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に向く位置に一致する。また、図１４および図１５に示すように、校正試験部２２は、校正試験部進退移動機構２３により前進移動した状態で、撮像センサ２０Ｂが管台１０１ｃ，１０１ｄの内面を撮影する際の距離Ｌ１と同距離Ｌ２の位置に合わせて配置されている。

以下、検査装置１による検査手順（検査方法）について説明する。図１１〜図１５では、外部当接部材３により管台１０１ｃ，１０１ｄの内部の所定位置に挿入された状態の装置フレーム２を位置決めし、内部当接部材４により管台１０１ｃ，１０１ｄの中心位置に装置フレーム２の中心（中心軸Ｓ）位置を合わせ、これを吸着手段５により維持した状態を示している。また、回転移動機構１５は、検査部２０の各探傷センサ２０Ａや撮像センサ２０Ｂが装置フレーム２の鉛直方向の上方に向く位置（基準位置）となるようにセッティングされる。

そして、探傷センサ２０Ａにより探傷検査を行う場合、図１１に示すように、スライド移動機構１８により、検査部２０の各探傷センサ２０Ａが開先溶接部１２２の鉛直下方の位置となるように中心軸Ｓと平行にスライド移動させる。この状態で、校正試験部進退移動機構２３により校正試験部２２を前進させる。これにより、検査装置１が管台１０１ｃ，１０１ｄの内部に挿入された基準位置で、各探傷センサ２０Ａが管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に対して押出移動する軌跡上に、各探傷センサ用校正試験片２２Ａが配置される。次に、図１２に示すように、探傷センサ押出移動機構２１Ａにより、各探傷センサ２０Ａを中心軸Ｓと直交する方向に押出移動させ、各探傷センサ用校正試験片２２Ａに当接させる。次に、回転移動機構１５により、中心軸Ｓの廻りに各探傷センサ２０Ａを回転移動させて各探傷センサ用校正試験片２２Ａを探傷する。これにより、各探傷センサ用校正試験片２２Ａに基づき各探傷センサ２０Ａの校正試験が行われる。次に、図１３に示すように、校正試験部進退移動機構２３により校正試験部２２を後退させる。次に、検査部押出移動機構２１および探傷センサ押出移動機構２１Ａにより、各探傷センサ２０Ａを中心軸Ｓと直交する方向に押出移動させ、管台１０１ｃ，１０１ｄの内面（開先溶接部１２２）に当接させる。次に、回転移動機構１５により、中心軸Ｓの廻りに各探傷センサ２０Ａを回転移動させて管台１０１ｃ，１０１ｄの内面を探傷する。これにより、各探傷センサ２０Ａにより探傷検査が行われる。次に、図１１および図１２に示すように、各探傷センサ用校正試験片２２Ａに基づき各探傷センサ２０Ａの検査後の校正試験を行う。

また、撮像センサ２０Ｂにより目視検査を行う場合、図１４に示すように、スライド移動機構１８により、検査部２０の撮像センサ２０Ｂが開先溶接部１２２の鉛直下方の位置となるように中心軸Ｓと平行にスライド移動させる。この状態で、校正試験部進退移動機構２３により校正試験部２２を前進させる。これにより、検査装置１が管台１０１ｃ，１０１ｄの内部に挿入された基準位置で、撮像センサ２０Ｂが管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に対して押出移動する軌跡上に、撮像センサ用校正試験片２２Ｂが配置される。これにより、撮像センサ用校正試験片２２Ｂに基づき撮像センサ２０Ｂの校正試験が行われる。次に、図１５に示すように、校正試験部進退移動機構２３により校正試験部２２を後退させる。次に、検査部押出移動機構２１および撮像センサ押出移動機構２１Ｂにより、撮像センサ２０Ｂを中心軸Ｓと直交する方向に押出移動させる。次に、回転移動機構１５により、中心軸Ｓの廻りに撮像センサ２０Ｂを回転移動させて管台１０１ｃ，１０１ｄの内面を撮影する。これにより、撮像センサ２０Ｂにより撮影した映像により目視検査が行われる。次に、図１４に示すように、撮像センサ用校正試験片２２Ｂに基づき撮像センサ２０Ｂの検査後の校正試験を行う。

このように、本実施形態の検査方法は、原子力発電プラントに設けられた被検査体を検査する検査方法において、被検査体を検査する基準位置に検査部２０および校正試験部２２を備える検査装置１を配置する工程と、次に、検査部２０が被検査体の検査対象部位に対して押出移動する軌跡上に対して校正試験部２２を進退移動させ検査部２０の校正を行う工程と、次に、検査部２０により検査対象部位を検査する工程と、を含む。

この検査方法によれば、被検査体の検査対象部位を検査する際、検査部２０が押出移動する軌跡上で検査部２０の校正試験を行える。この結果、検査装置１を施工位置から移動させることなく検査および校正を行うことができる。従って、正確な校正により信頼性の高い検査結果を得ることができる。しかも、検査部２０が押出移動できる範囲で校正試験をするため、検査部２０が押出移動できる条件の狭隘な場所においても校正試験を行うことができる。

また、本実施形態の検査方法は、原子炉容器１０１に設けられた管台１０１ｃ，１０１ｄの内面を検査する検査方法において、検査部２０および校正試験部２２を備える検査装置１を管台１０１ｃ，１０１ｄの内部に挿入する工程と、次に、検査装置１が管台１０１ｃ，１０１ｄの内部に挿入された基準位置で検査部２０が管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に対して押出移動する軌跡上に対して校正試験部２２を進退移動させ検査部２０の校正を行う工程と、次に、検査部２０により管台１０１ｃ，１０１ｄの内面を検査する工程と、を含む。

この検査方法によれば、原子炉容器１０１に設けられた管台１０１ｃ，１０１ｄの内面を検査する際、検査部２０が押出移動する軌跡上で検査部２０の校正試験を行える。この結果、検査装置１を施工位置から移動させることなく検査および校正を行うことができる。従って、正確な校正により信頼性の高い検査結果を得ることができる。

また、本実施形態の検査方法は、検査部２０により管台１０１ｃ，１０１ｄの内面を検査する工程の次に、基準位置で検査部２０が管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に対して押出移動する軌跡上に対して校正試験部２２を進退移動させ検査後の検査部２０の校正を行う工程をさらに含む。

この検査方法によれば、原子炉容器１０１に設けられた管台１０１ｃ，１０１ｄの内面を検査した後、検査部２０が押出移動する軌跡上で検査部２０の校正試験を行える。この結果、検査装置１を施工位置から移動させることなく検査後の校正を行うことができる。従って、正確な校正により信頼性の高い検査結果を得ることができる。

また、本実施形態の検査装置１は、原子力発電プラントに設けられた被検査体を検査する検査装置において、被検査体を検査する基準位置に設置される装置フレーム２と、装置フレーム２に設けられて被検査体の検査対象部位を検査する検査部２０と、装置フレーム２が基準位置に設置された状態で検査部２０を検査対象部位に向けて押出移動させる検査部押出移動機構２１と、装置フレーム２に設けられて検査部２０の校正をするための校正試験部２２と、基準位置に設置された状態での検査部２０の押出移動の軌跡上に対し、校正試験部２２を進退移動させる校正試験部進退移動機構２３と、を備える。

この検査装置によれば、被検査体の検査対象部位を検査する際、検査部２０が押出移動する軌跡上で検査部２０の校正試験を行える。この結果、検査装置１を施工位置から移動させることなく検査および校正を行うことができる。従って、正確な校正により信頼性の高い検査結果を得ることができる。しかも、検査部２０が押出移動できる範囲で校正試験をするため、省スペース化を図り、検査部２０が押出移動できる条件の狭隘な場所においても校正試験を行うことができる。さらに、検査部２０の押出移動の軌跡上に対して校正試験部２２を進退移動させることから、装置構成を簡素化して省スペース化を図り、装置を小型化することができる。

また、本実施形態の検査装置１は、原子炉容器１０１に設けられた管台１０１ｃ，１０１ｄの内面を検査する検査装置１において、管台１０１ｃ，１０１ｄの内部に挿入される装置フレーム２と、装置フレーム２に設けられて管台１０１ｃ，１０１ｄの内面を検査する検査部２０と、装置フレーム２が管台１０１ｃ，１０１ｄの内部に設置された状態で検査部２０を管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に向けて押出移動させる検査部押出移動機構２１と、装置フレーム２が管台１０１ｃ，１０１ｄの内部に設置された状態で検査部２０を管台１０１ｃ，１０１ｄの周方向に沿って所定の中心軸Ｓの廻りに回転移動させる回転移動機構１５と、装置フレーム２に設けられて検査部２０の校正をするための校正試験部２２と、検査部２０の押出移動の軌跡上に対し、校正試験部２２を中心軸Ｓに沿う方向に進退移動させる校正試験部進退移動機構２３と、を備える。

この検査装置１によれば、原子炉容器１０１に設けられた管台１０１ｃ，１０１ｄの内面を検査する際、検査部２０が押出移動する軌跡上で検査部２０の校正試験を行える。この結果、検査装置１を施工位置から移動させることなく検査および校正を行うことができる。従って、正確な校正により信頼性の高い検査結果を得ることができる。

また、本実施形態の検査装置１では、検査部２０は、管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に接触し探傷する探傷センサ２０Ａ、または管台１０１ｃ，１０１ｄの内面を撮影する撮像センサ２０Ｂの少なくとも一方を備え、校正試験部２２は、探傷センサ２０Ａの校正を行うための探傷センサ用校正試験片２２Ａ、または撮像センサ２０Ｂの校正を行うための撮像センサ用校正試験片２２Ｂの少なくとも一方を備える。

この検査装置１によれば、探傷センサ２０Ａによる探傷検査、または撮像センサ２０Ｂによる目視検査の少なくとも一方において、検査装置１を施工位置から移動させることなく検査および校正を行うことができる。従って、正確な校正により信頼性の高い検査結果を得ることができる。

また、本実施形態の検査装置１では、検査部２０は、管台１０１ｃ，１０１ｄの内面に接触し探傷する探傷センサ２０Ａおよび管台１０１ｃ，１０１ｄの内面を撮影する撮像センサ２０Ｂが中心軸Ｓに沿って並設されており、校正試験部２２は、探傷センサ２０Ａの校正を行うための探傷センサ用校正試験片２２Ａおよび撮像センサ２０Ｂの校正を行うための撮像センサ用校正試験片２２Ｂが中心軸Ｓに沿って探傷センサ２０Ａおよび撮像センサ２０Ｂの並設位置に合わせて配置される。

この検査装置１によれば、探傷センサ用校正試験片２２Ａおよび撮像センサ用校正試験片２２Ｂが中心軸Ｓに沿って探傷センサ２０Ａおよび撮像センサ２０Ｂの並設位置に合わせて配置されることで、これらを進退移動させる校正試験部進退移動機構２３を共通した構成として設けることができ、１機構の１動作で双方の校正試験を行うことができるとともに、装置の大型化を防ぐことができる。

また、本実施形態の検査装置１では、校正試験部２２は、管台１０１ｃ，１０１ｄの内部に設置された状態で撮像センサ２０Ｂが管台１０１ｃ，１０１ｄの内面を撮影する際の距離Ｌ１と同距離Ｌ２の位置に合わせて配置される。

この検査装置１によれば、撮像センサ２０Ｂによる目視検査のときと同じ条件で撮像センサ２０Ｂの校正を行うことができ、さらに正確な校正によりさらに信頼性の高い検査結果を得ることができる。

ところで、図１６は、探傷センサ用校正試験片を示す平面図である。図１７は、探傷センサ用校正試験片を示す側面図である。図１８は、探傷センサ用校正試験片を示す側面図である。図１９は、探傷センサ用校正試験片の他の例を示す平面図である。図２０は、探傷センサ用校正試験片の他の例を示す平面図である。図２１は、撮像センサ用校正試験片を示す平面図である。図２２は、撮像センサ用校正試験片を示す側面図である。

図１６〜図２０に示す探傷センサ用校正試験片２２Ａは、１つの探傷センサ２０Ａに対応するものである。図１６および図１７に示す探傷センサ用校正試験片２２Ａは、中心軸Ｓを中心とする曲率の試験面２２Ａａを有する。試験面２２Ａａとは、探傷センサ２０Ａが接触する面であり、校正用の溝２２Ａｂが探傷センサ２０Ａの走査方向に直交して形成されている面である。また、溝２２Ａｂは、校正試験部進退移動機構２３により校正試験部２２を前進させた場合に、探傷センサ２０Ａの走査方向の中央に配置されるように形成されている。このため、溝２２Ａｂから試験面２２Ａａの両端まで十分な探傷センサ２０Ａの走査スペースを確保することができる。

従って、図１６および図１７に示す探傷センサ用校正試験片２２Ａのように、中心軸Ｓを中心とする曲率の試験面２２Ａａを有することで、探傷センサ２０Ａによる管台１０１ｃ，１０１ｄの内面の走査と探傷センサ用校正試験片２２Ａの走査とが同等の条件となる。この結果、さらに正確な校正によりさらに信頼性の高い検査結果を得ることができる。

なお、本実施形態の検査装置１では、探傷センサ２０Ａが検査対象部位となる管台１０１ｃ，１０１ｄの内面の周方向に沿うように２つ並設して設けられている。そのため、探傷センサ用校正試験片２２Ａは、図１８に示すように、各探傷センサ２０Ａに対応して２つ並設されており、２つを併せて中心軸Ｓを中心とする曲率の試験面２２Ａａをそれぞれ有する。このため、各探傷センサ２０Ａによる管台１０１ｃ，１０１ｄの内面の走査と各探傷センサ用校正試験片２２Ａの走査とが同等の条件となる。この結果、さらに正確な校正によりさらに信頼性の高い検査結果を得ることができる。これは、図１９および図２０で示す探傷センサ用校正試験片２２Ａも同様に適用できる。

図１９に示す探傷センサ用校正試験片２２Ａは、検査対象部位が管台１０１ｃ，１０１ｄの内面の溶接部（開先溶接部１２２）であり、この溶接部やその周囲の材料および形態を模擬して形成されている。具体的には、図１９に示すように、開先溶接部１２２の表面は、中心軸Ｓに沿う方向の一方にステンレス鋼からなるセーフエンド管１２１があり、他方にバタリング溶接部１２３があり、バタリング溶接部１２３のさらに他方にオーバレイ溶接部１２４がある。また、オーバレイ溶接部１２４の断面内側に管台１０１ｃ，１０１ｄの材料である低合金鋼がある。そして、図１９に示す探傷センサ用校正試験片２２Ａは、このような開先溶接部１２２やその周囲の材料および形態を模擬して形成されている。

従って、図１９に示す探傷センサ用校正試験片２２Ａのように、溶接部やその周囲の材料および形態を模擬することで、実際の検査に近似した状態での校正を行うことが可能になる。なお、図１９に一点鎖線で示すように、溶接部（開先溶接部１２２）の周囲にも溝２２Ａｃを形成すれば、溶接部の周囲に欠陥（亀裂）が発見された場合でも評価が可能になる。

図２０に探傷センサ用校正試験片２２Ａは、深さや延在方向の異なる複数種の溝２２Ａｂ，２２Ａｄが形成されている。例えば、溝２２Ａｂは探傷センサ２０Ａの走査方向に直交して形成され、溝２２Ａｄは探傷センサ２０Ａの走査方向に沿って形成されている。また、溝２２Ａｂは、例えば、両側が例えば幅０．５ｍｍの通常の欠陥（亀裂）を想定する溝で、左から２番目が例えば幅１．０ｍｍで深い欠陥（亀裂）を想定する溝で、右から２番目が例えば幅３．０ｍｍでさらに深い欠陥（亀裂）を想定する溝である。なお、図２０に示す探傷センサ用校正試験片２２Ａは、図１９と同様に溶接部やその周囲の材料および形態を模擬しているが、模擬をしていなくてもよい。

従って、図２０に示す探傷センサ用校正試験片２２Ａのように、深さや延在方向の異なる複数種の溝２２Ａｂ，２２Ａｄを形成することで、想定外の欠陥（亀裂）が発見された場合でも評価が可能になる。

図２１および図２２に示す撮像センサ用校正試験片２２Ｂは、中心軸Ｓを中心とする曲率の試験面２２Ｂａを有する。試験面２２Ｂａとは、撮像センサ２０Ｂが撮影する面であり、撮像センサ２０Ｂの撮影範囲（二点鎖線で示す）となる１ミルワイヤ２２Ｂｂおよび大きさの指標となるスケール２２Ｂｃが形成されている面である。

従って、図２１および図２２に示す撮像センサ用校正試験片２２Ｂのように、中心軸Ｓを中心とする曲率の試験面２２Ｂａを有することで、撮像センサ２０Ｂで撮影する管台１０１ｃ，１０１ｄの内面と撮像センサ用校正試験片２２Ｂの試験面２２Ｂａとが同等の条件となる。この結果、さらに正確な校正によりさらに信頼性の高い検査結果を得ることができる。

１ 検査装置
２ 装置フレーム
３ 外部当接部材
４ 内部当接部材
５ 吸着手段
６ 当接検出手段
７ 撮影手段
１５ 回転移動機構
１８ スライド移動機構
２０ 検査部
２０Ａ 探傷センサ
２０Ｂ 撮像センサ
２１ 検査部押出移動機構
２１Ａ 探傷センサ押出移動機構
２１Ｂ 撮像センサ押出移動機構
２２ 校正試験部
２２Ａ 探傷センサ用校正試験片
２２Ａａ 試験面
２２Ｂ 撮像センサ用校正試験片
２２Ｂａ 試験面
２３ 校正試験部進退移動機構
１０１ 原子炉容器
１０１ｃ，１０１ｄ 管台

Claims (9)

1. 原子力発電プラントに設けられた被検査体を検査する基準位置に設置される装置フレームと、
   前記装置フレームに設けられて前記被検査体の検査対象部位を検査する検査部と、
   前記装置フレームが前記基準位置に設置された状態で前記検査部を前記検査対象部位に向けて押出移動させる検査部押出移動機構と、
   前記装置フレームが前記基準位置に設置された状態で前記検査部を所定の中心軸の廻りに回転移動させる回転移動機構と、
   前記装置フレームに設けられて前記検査部の校正をするための校正試験部と、
   前記基準位置に設置された状態での前記検査部の押出移動の軌跡上に対し、前記校正試験部を前記中心軸に沿う方向に進退移動させる校正試験部進退移動機構と、
   を備え、
   前記検査部は、前記被検査体に接触し探傷する探傷センサおよび前記被検査体を撮影する撮像センサが前記中心軸に沿って並設されており、
   前記校正試験部は、前記探傷センサの校正を行うための探傷センサ用校正試験片および前記撮像センサの校正を行うための撮像センサ用校正試験片が前記中心軸に沿って前記探傷センサおよび前記撮像センサの並設位置に合わせて配置される検査装置を用い、前記被検査体を検査する検査方法において、
   前記被検査体を検査する基準位置に前記検査装置を配置する工程と、
   次に、前記検査部が前記被検査体の検査対象部位に対して押出移動する軌跡上に対して前記校正試験部を進退移動させ前記検査部の校正を行う工程と、
   次に、前記検査部により前記検査対象部位を検査する工程と、
   を含むことを特徴とする検査方法。
2. 原子炉容器に設けられた管台の内部に挿入される装置フレームと、
   前記装置フレームに設けられて前記管台の内面を検査する検査部と、
   前記装置フレームが前記管台の内部に設置された状態で前記検査部を前記管台の内面に向けて押出移動させる検査部押出移動機構と、
   前記装置フレームが前記管台の内部に設置された状態で前記検査部を前記管台の周方向に沿って所定の中心軸の廻りに回転移動させる回転移動機構と、
   前記装置フレームに設けられて前記検査部の校正をするための校正試験部と、
   前記検査部の押出移動の軌跡上に対し、前記校正試験部を前記中心軸に沿う方向に進退移動させる校正試験部進退移動機構と、
   を備え、
   前記検査部は、前記管台の内面に接触し探傷する探傷センサおよび前記管台の内面を撮影する撮像センサが前記中心軸に沿って並設されており、
   前記校正試験部は、前記探傷センサの校正を行うための探傷センサ用校正試験片および前記撮像センサの校正を行うための撮像センサ用校正試験片が前記中心軸に沿って前記探傷センサおよび前記撮像センサの並設位置に合わせて配置される検査装置を用い、前記管台の内面を検査する検査方法において、
   前記検査装置を前記管台の内部に挿入する工程と、
   次に、前記検査装置が前記管台の内部に挿入された基準位置で前記検査部が前記管台の内面に対して押出移動する軌跡上に対して前記校正試験部を進退移動させ前記検査部の校正を行う工程と、
   次に、前記検査部により前記管台の内面を検査する工程と、
   を含むことを特徴とする検査方法。
3. 前記検査部により前記管台の内面を検査する工程の次に、前記基準位置で前記検査部が前記管台の内面に対して押出移動する軌跡上に対して前記校正試験部を進退移動させ検査後の前記検査部の校正を行う工程をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の検査方法。
4. 原子力発電プラントに設けられた被検査体を検査する検査装置において、
   前記被検査体を検査する基準位置に設置される装置フレームと、
   前記装置フレームに設けられて前記被検査体の検査対象部位を検査する検査部と、
   前記装置フレームが前記基準位置に設置された状態で前記検査部を前記検査対象部位に向けて押出移動させる検査部押出移動機構と、
   前記装置フレームが前記基準位置に設置された状態で前記検査部を所定の中心軸の廻りに回転移動させる回転移動機構と、
   前記装置フレームに設けられて前記検査部の校正をするための校正試験部と、
   前記基準位置に設置された状態での前記検査部の押出移動の軌跡上に対し、前記校正試験部を前記中心軸に沿う方向に進退移動させる校正試験部進退移動機構と、
   を備え、
   前記検査部は、前記被検査体に接触し探傷する探傷センサおよび前記被検査体を撮影する撮像センサが前記中心軸に沿って並設されており、
   前記校正試験部は、前記探傷センサの校正を行うための探傷センサ用校正試験片および前記撮像センサの校正を行うための撮像センサ用校正試験片が前記中心軸に沿って前記探傷センサおよび前記撮像センサの並設位置に合わせて配置されることを特徴とする検査装置。
5. 原子炉容器に設けられた管台の内面を検査する検査装置において、
   前記管台の内部に挿入される装置フレームと、
   前記装置フレームに設けられて前記管台の内面を検査する検査部と、
   前記装置フレームが前記管台の内部に設置された状態で前記検査部を前記管台の内面に向けて押出移動させる検査部押出移動機構と、
   前記装置フレームが前記管台の内部に設置された状態で前記検査部を前記管台の周方向に沿って所定の中心軸の廻りに回転移動させる回転移動機構と、
   前記装置フレームに設けられて前記検査部の校正をするための校正試験部と、
   前記検査部の押出移動の軌跡上に対し、前記校正試験部を前記中心軸に沿う方向に進退移動させる校正試験部進退移動機構と、
   を備え、
   前記検査部は、前記管台の内面に接触し探傷する探傷センサおよび前記管台の内面を撮影する撮像センサが前記中心軸に沿って並設されており、
   前記校正試験部は、前記探傷センサの校正を行うための探傷センサ用校正試験片および前記撮像センサの校正を行うための撮像センサ用校正試験片が前記中心軸に沿って前記探傷センサおよび前記撮像センサの並設位置に合わせて配置されることを特徴とする検査装置。
6. 前記校正試験部は、前記管台の内部に設置された状態で前記撮像センサが前記管台の内面を撮影する際の距離と同距離の位置に合わせて配置されることを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
7. 前記校正試験片が、前記中心軸を中心とする曲率の試験面を有することを特徴とする請求項５または６に記載の検査装置。
8. 検査対象部位が前記管台の内面の溶接部であり、前記探傷センサ用校正試験片は前記溶接部やその周囲の材料および形態を模擬して形成されていることを特徴とする請求項５〜７のいずれか１つに記載の検査装置。
9. 前記探傷センサ用校正試験片は、深さや延在方向の異なる複数種の溝が形成されていることを特徴とする請求項５〜８のいずれか１つに記載の検査装置。
   

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