WO2012050033A1 - 板材の検査装置 - Google Patents

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plate
conductive
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巻口健
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シャープ株式会社
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    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/38—Concrete; Lime; Mortar; Gypsum; Bricks; Ceramics; Glass
    • G01N33/386—Glass

Definitions

  • the present invention relates to an inspection apparatus for inspecting a plate material such as a glass substrate, a metal plate, or a resin film, and more particularly to an inspection apparatus for a plate material for inspecting the presence or absence of defects such as protrusions on the surface of the plate material.
  • liquid crystal display devices have been widely used in liquid crystal televisions, monitors, mobile phones and the like as flat panel displays having features such as thinness and light weight compared to conventional cathode ray tubes.
  • a liquid crystal display device includes an illumination device (backlight) that emits light and a liquid crystal panel that displays a desired image by serving as a shutter for light from a light source provided in the illumination device. It is.
  • liquid crystal panel as described above is provided with an active matrix substrate and a color filter substrate that sandwich a liquid crystal layer, and for example, a glass substrate is used as the active matrix substrate and the color filter substrate.
  • liquid crystal panels are strongly demanded to be lighter and thinner.
  • wet etching is performed on a glass substrate included in an active matrix substrate or a color filter substrate.
  • the plate thickness of about 0.5 mm is reduced to about 0.1 mm to 0.3 mm.
  • the part to which the foreign substance has adhered may not be etched and may remain as a defect such as a protrusion.
  • the inspection process of the glass substrate generally, after the wet etching, only an appearance inspection is performed, and defects such as protrusions as described above may not be detected.
  • a polarizing plate is usually bonded to the surface of a glass substrate, but when there are defects such as protrusions as described above, the polarizing plate is appropriately attached to the surface of the glass substrate. I could not. As a result, due to defects on the surface of the glass substrate, poor appearance or defective display may occur in the liquid crystal panel.
  • the glass substrate and the polarizing plate are bonded to each other, when the above display defect occurs in the liquid crystal panel, it is necessary to remove the polarizing plate from the glass substrate and perform a correction process to polish the panel surface. In this case, the peeled polarizing plate is discarded, resulting in member loss.
  • the polarizing plate cannot be removed properly. In this case, it is necessary to discard the liquid crystal panel, resulting in a decrease in the manufacturing yield of the liquid crystal panel.
  • this conventional plate material inspection apparatus has a projector that projects inspection light so as to be in contact with the inspection portion of the object to be inspected, a first light receiving portion that receives inspection light that has passed through the inspection portion, and is scattered by the inspection portion. A second light receiving portion for receiving the inspection light.
  • the conventional plate inspection apparatus includes a position adjustment mechanism that adjusts a light projection position of the inspection light according to the amount of inspection light received by the first light receiving unit, and a light receiving by the second light receiving unit. And a determination unit that determines the surface state of the inspection unit in accordance with the amount of the inspection light. And in this conventional board
  • the conventional inspection apparatus for plate materials as described above has a problem that the inspection object cannot be inspected depending on the material of the inspection object (plate material).
  • a film as an object to be inspected is wound around an inspection roll, and in the wound film, an inspection portion that is curved in a convex shape is used as inspection light from a projector. A laser beam was projected.
  • the film was conveyed by rotating a test
  • inspection roll was not able to be test
  • an object of the present invention is to provide a plate material inspection apparatus capable of inspecting the presence or absence of defects such as protrusions on the surface of a plate material regardless of the material of the plate material.
  • an inspection apparatus for a plate material is an inspection apparatus for inspecting a plate material, An elastic material that is installed on the surface of the plate material and is elastically deformable; A first conductive member provided on a surface of the elastic member opposite to the plate member and configured to be elastically deformable according to elastic deformation of the elastic member; A second conductive member provided to face the first conductive member; A support portion for supporting the second conductive member on the upper side of the elastic material; A pass / fail determination unit that is connected to the first and second conductive members and determines pass / fail of the plate based on whether or not the first and second conductive members are in contact with each other; It is characterized by having.
  • an elastic material that can be elastically deformed is installed on the surface of the plate material.
  • a first conductive member configured to be elastically deformable according to elastic deformation of the elastic material is provided on the surface of the elastic material opposite to the plate material.
  • a second conductive member supported by the support portion is provided on the upper side of the elastic material so as to face the first conductive member.
  • the quality determination unit is connected to the first and second conductive members, and performs quality determination of the plate material based on whether or not these first and second conductive members are in contact with each other. .
  • the plate material can be inspected only by placing the elastic material, the first and second conductive members, and the support portion on the surface of the plate material.
  • the support portion includes a gap adjustment mechanism for adjusting a gap between the first and second conductive members.
  • the inspection accuracy of the inspection apparatus can be easily changed by adjusting the gap between the first and second conductive members.
  • the said 2nd electroconductive member is comprised so that the size can be changed, and, It is preferable that a size adjusting mechanism for adjusting the size of the second conductive member is attached to the second conductive member.
  • a display unit that indicates a quality determination result of the plate material may be used as the quality determination unit.
  • the quality of the plate material can be determined using the display on the display unit.
  • a sound generation unit that indicates a quality determination result of the plate material may be used as the quality determination unit.
  • the quality of the plate material can be determined using the sound from the sound generation unit.
  • a single synthetic resin having flexibility may be used as the elastic member.
  • the plate inspection apparatus preferably includes a fixed substrate provided on a surface of the second conductive member opposite to the first conductive member and having the surface fixed thereto. .
  • the second conductive member can be stably held, and the gap between the first and second conductive members can be easily maintained at a predetermined size. As a result, the inspection accuracy can be easily increased.
  • the present invention it is possible to provide a plate inspection apparatus that can inspect for defects such as protrusions on the surface of a plate regardless of the material of the plate.
  • FIG. 1 is a diagram for explaining the overall configuration of the plate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a top view of the plate inspection apparatus.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining a specific operation of the plate inspection apparatus.
  • FIG. 4 is a diagram for explaining an example of the operation of the plate inspection apparatus in the case where a protrusion is present on the plate.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating the overall configuration of the plate inspection apparatus according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a diagram for explaining the overall configuration of the plate material inspection apparatus according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a top view of the plate inspection apparatus shown in FIG.
  • FIG. 8 is a top view of a plate material inspection apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating an overall configuration of a modified example of the plate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a diagram for explaining the overall configuration of the plate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a top view of the plate inspection apparatus. 1 and 2
  • the plate material inspection apparatus 1 according to the present embodiment includes a first conductive member 2 and a second conductive member provided to face the first conductive member 2. 3, the lower substrate 4 to which the surface of the first conductive member 2 opposite to the second conductive member 3 is fixed, and the first conductive member 2 of the second conductive member 3 An upper substrate 5 having an opposite surface fixed thereto is provided.
  • the plate inspection apparatus 1 includes a support member 6 that supports the second conductive member 3 and a display unit 7 connected to the first and second conductive members 2 and 3.
  • a support member 6 that supports the second conductive member 3
  • a display unit 7 connected to the first and second conductive members 2 and 3.
  • the lower substrate 4 is formed in a rectangular shape, and is installed on the surface of a plate material and constitutes an elastic material that can be elastically deformed.
  • a single synthetic resin having flexibility such as urethane resin or silicon resin is used for the lower substrate 4, and the lower substrate 4 is formed according to defects such as protrusions existing on the surface of the plate material. Elastic deformation is performed.
  • the first conductive member 2 is provided on the surface of the lower substrate 4 opposite to the plate material, and is configured to be elastically deformable according to the elastic deformation of the lower substrate 4.
  • the first conductive member 2 is made of, for example, a common metal such as silver or copper, a conductive polymer (for example, polyacetylene imparted with conductivity), carbon black, or the like.
  • the second conductive member 3 includes, for example, a common metal such as silver or copper, a conductive polymer (for example, polyacetylene imparted with conductivity), or carbon. Black or the like is used.
  • the first and second conductive members 2 and 3 have a size slightly larger than the surface of the plate material to be inspected, so that defects such as protrusions generated at the end portions of the plate material can be reliably ensured. It is configured so that it can be detected. Further, in the first and second conductive members 2 and 3, the gap (separation dimension) is maintained at a predetermined value on the entire surfaces of the first and second conductive members 2 and 3 facing each other. When there is a defect such as a protrusion on the surface of the plate material, the first conductive member 2 is elastically deformed toward the second conductive member 3 according to the defect, and the gap is partially To change.
  • the gap between the first and second conductive members 2 and 3 is set to, for example, several ⁇ m to several tens of ⁇ m.
  • the gap is equal to or higher than the same height as the gap. It is possible to detect defects such as protrusions.
  • the upper substrate 5 is formed in a rectangular shape, and is provided on the surface of the second conductive member 3 opposite to the first conductive member 2 so that the surface is fixed.
  • the fixed substrate is configured.
  • a single synthetic resin having flexibility such as urethane resin or silicon resin is used.
  • the support member 6 constitutes a support portion that supports the second conductive member 3 on the upper side of the lower substrate (elastic material) 4. Further, as shown in FIG. 2, the support member 6 is formed in a frame shape, and is installed on the outer edge portion of the lower substrate 4 so as to contact the outer edge portion of the upper substrate 5. The second conductive member 3 fixed to this is supported. Further, a non-conductive substance such as a synthetic resin is used for the support member 6, and the support member 6 does not deform even when the first conductive member 2 and the lower substrate 4 are elastically deformed. Without being generated, the upper substrate 5 and the second conductive member 3 are configured to be supported.
  • the support member 6 may be in direct contact with the second conductive member 3 to support the second conductive member 3.
  • the display unit 7 constitutes a pass / fail determination unit that determines pass / fail of the plate material based on whether or not the first and second conductive members 2 and 3 are in contact with each other.
  • the display unit 7 includes, for example, a power source and a lamp (not shown) connected to the first and second conductive members 2 and 3, and the first conductive member.
  • the lamp is lit. That is, when the first and second conductive members 2 and 3 are brought into contact with each other due to a defect such as a protrusion to be detected on the surface of the plate material, the display unit 7 is not allowed for the plate material by lighting the lamp. Informs that a defect exists.
  • the display unit 7 may be configured to use a display that visually displays whether the first and second conductive members 2 and 3 are in contact with each other. That is, the display part 7 should just display the board
  • FIG. 3 is a diagram for explaining a specific operation of the plate material inspection apparatus.
  • FIG. 4 is a diagram for explaining an example of the operation of the plate inspection apparatus in the case where a protrusion is present on the plate. In the following description, the operation when a protrusion is present on the plate material will be described as an example.
  • the plate material S has a protrusion Sb on a part of the surface of the specimen of the main body Sa.
  • the plate material S is, for example, a glass substrate, a synthetic resin film sheet, a metal plate, or a wooden plate constituting an active matrix substrate or a color filter substrate of a liquid crystal panel.
  • the lower substrate 4 is attached to the plate material S so as to cover the surface of the plate material S to be inspected.
  • the plate inspection apparatus 1 of the present embodiment is attached to the plate S, in the inspection apparatus 1, the lower substrate 4 and the first conductive member 2 are elastic according to the protrusions Sb as shown in FIG. Deform.
  • the lamp is lit on the display unit 7.
  • inspection apparatus 1 of this embodiment it can notify an inspector (operator) that the 1986
  • an elastically deformable lower substrate (elastic material) 4 is installed on the surface of the plate material. Further, a first conductive member 2 configured to be elastically deformable in accordance with elastic deformation of the lower substrate 4 is provided on the surface of the lower substrate 4 opposite to the plate material. A second conductive member 3 supported by a support member (support portion) 6 is provided on the upper side of the lower substrate 4 so as to face the first conductive member 2.
  • the display unit (good / bad determination unit) 7 is connected to the first and second conductive members 2 and 3 and whether or not these first and second conductive members 2 and 3 are in contact with each other. The quality of the plate material is determined based on the above.
  • plate material inspection apparatus 1 of this embodiment unlike the said prior art example, the presence or absence of defects, such as a protrusion, on the surface of a board
  • the display unit 7 indicating the quality determination result of the plate material is used as the quality determination unit.
  • plate material can be discriminate
  • FIG. 5 is a diagram illustrating the overall configuration of the plate inspection apparatus according to the second embodiment of the present invention.
  • the main difference between this embodiment and the first embodiment is that a sound generator is used instead of the display.
  • symbol is attached
  • the sound generator 8 is connected to the first and second conductive members 2 and 3.
  • the sound generator 8 constitutes a pass / fail determination unit that determines pass / fail of the plate material based on whether or not the first and second conductive members 2 and 3 are in contact with each other.
  • the sound generator 8 includes, for example, a power source and a speaker connected to the first and second conductive members 2 and 3 (not shown), and the first conductive member.
  • the speaker is configured to generate sound. That is, the sound generator 8 generates sound from the speaker when the first and second conductive members 2 and 3 come into contact with each other due to defects such as protrusions to be detected on the surface of the plate. Is notified that there is an unacceptable defect.
  • a configuration using a sound generation unit 8 that notifies by voice whether or not the first and second conductive members 2 and 3 are in contact with each other may be used. That is, the sound generator 8 only needs to indicate the quality determination result of the plate material by sound.
  • the present embodiment can achieve the same operations and effects as the first embodiment.
  • the sound generation part 8 which shows the quality determination result of a board
  • plate material can be discriminate
  • FIG. 6 is a diagram for explaining the overall configuration of the plate material inspection apparatus according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a top view of the plate inspection apparatus shown in FIG.
  • the support includes a gap adjusting mechanism for adjusting the gap between the first and second conductive members.
  • symbol is attached
  • a gap adjusting mechanism 9 is provided to adjust the gap H between the first and second conductive members 2 and 3. It is configured to be able to.
  • a ball screw structure is used for the gap adjusting mechanism 9.
  • the gap adjusting mechanism 9 is provided on the lower substrate 4 at two locations in the central portion of the two opposite sides of the lower substrate 4. Yes.
  • the gap adjusting mechanism 9 is connected to the adjusting knob 9a via an adjusting knob 9a and a ball screw structure (not shown), and the upper substrate 5 and the second conductive member 3 are connected to the gap adjusting mechanism 9.
  • Supporting support columns 9b are provided.
  • the upper substrate 5 and the second conductive member 3 move along the support column 9b so that the gap H increases or decreases by rotating the adjustment knob 9a.
  • the gap adjusting mechanism 9 is included in the support portion, and supports the upper substrate 5 and the second conductive member 3 when the adjustment knob 9a is stopped.
  • the present embodiment can achieve the same operations and effects as the first embodiment. Moreover, in this embodiment, since the gap adjustment mechanism 9 adjusts the gap H of the 1st and 2nd electroconductive members 2 and 3, the test
  • inspection apparatus 1 can be changed easily.
  • the gap adjusting mechanism 9 may be configured using, for example, an X link structure. Further, in the above description, the case where the gap adjusting mechanism 9 is provided in the above-described two places has been described. However, the present embodiment is not limited to this, and the gap adjusting mechanism 9 is provided in one or more places. Anything is acceptable.
  • FIG. 8 is a top view of a plate material inspection apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.
  • the main difference between this embodiment and the first embodiment is that each size of the second conductive member and the upper substrate (fixed substrate) can be changed, and the second conductive
  • the size adjusting mechanism for adjusting the size of the adhesive member and the upper substrate is provided.
  • symbol is attached
  • the size adjusting mechanism 10 is attached to the right end of the upper substrate 5 and the second conductive member 3.
  • the two support members 16 each comprised by the square pillar shape are provided in the left upper end part and the lower left end part of the lower board
  • the second conductive member 3 is supported.
  • the right end portions of the upper substrate 5 and the second conductive member 3 are fixed to the size adjusting mechanism 10, and the rotating shaft 10 a around which the upper substrate 5 and the second conductive member 3 are wound, and the lower substrate 4 is provided so as to be slidable on the upper edge and the lower edge, and a support column 10b for supporting the upper substrate 5 and the second conductive member 3 is provided.
  • the size adjusting mechanism 10 can change the size W of the second conductive member 3 with respect to the lower substrate 4 and the first conductive member 2 having a certain size.
  • the rotation shaft 10a is rotated so that the size W of the second conductive member 3 increases or decreases as indicated by the arrows in the figure.
  • the upper substrate 5 and the second conductive member 3 are wound around 10a.
  • the support column 10b slides on the upper edge and the lower edge of the lower substrate 4 in accordance with the winding state (the size W of the second conductive member 3) on the rotating shaft 10a.
  • the present embodiment can achieve the same operations and effects as the first embodiment.
  • the size adjustment mechanism 10 that adjusts the size W of the second conductive member 3 is provided, the size adjustment mechanism 10 adjusts the size W of the second conductive member 3. Accordingly, it is possible to easily inspect plate materials of various sizes.
  • the installation of the upper substrate (fixed substrate) 5 is omitted, and the second conductive member 3 faces the first conductive member 2 without being fixed to the upper substrate 5.
  • the size adjusting mechanism 10 may be configured to be attached to the second conductive member 2 and adjust the size W thereof.
  • FIG. 9 is a diagram for explaining the overall configuration of a modification of the plate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.
  • the main difference between the present embodiment and the first embodiment is that the first and second conductive members having a thickness dimension larger than those of the upper substrate and the lower substrate are used.
  • symbol is attached
  • the plate material inspection apparatus 1 of the present embodiment uses the first conductive member 2 having a thickness dimension larger than that of the lower substrate 4, unlike the first embodiment. .
  • the second conductive member 3 having a thickness dimension larger than that of the upper substrate 5 is used.
  • the present embodiment can achieve the same operations and effects as the first embodiment.
  • the quality determination unit of the present invention is connected to the first and second conductive members, and these There is no limitation as long as the quality of the plate material is determined based on whether the first and second conductive members are in contact with each other.
  • the elastic material of the present invention is installed on the surface of the plate material and can be elastically deformed.
  • a material obtained by integrating a plurality of synthetic resins or metal films can be used as the elastic material.
  • the case where a single synthetic resin having flexibility is used has excellent workability, and a thin elastic material can be easily configured. It is preferable at the point which can test
  • the case where the upper substrate (fixed substrate) is provided and the surface of the second conductive member opposite to the first conductive member is fixed to the upper substrate has been described.
  • the second conductive member need only be provided so as to face the first conductive member, and is arranged to face the first conductive member without being fixed to the fixed substrate. But you can.
  • the second conductive member can be stably held when the second conductive member is fixed by providing the fixed substrate.
  • the present invention is useful for a plate inspection apparatus that can inspect for defects such as protrusions on the surface of a plate regardless of the material of the plate.

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Abstract

　板材を検査する検査装置（１）において、板材の表面に設置されるとともに、弾性変形可能な下部基板（弾性材）（４）と、下部基板（４）の板材とは反対側の表面に設けられるとともに、当該下部基板（４）の弾性変形に応じて、弾性変形可能に構成された第１の導電性部材（２）と、第１の導電性部材（２）に対向するように設けられた第２の導電性部材（３）と、下部基板（４）の上側で第２の導電性部材（３）を支持する支持部材（支持部）（６）と、第１及び第２の導電性部材（２、３）に接続されるとともに、これらの第１及び第２の導電性部材（２、３）が互いに接触するか否かに基づいて、板材の良否判定を行う表示部（良否判定部）（７）を設ける。

Description

板材の検査装置
　本発明は、ガラス基板、金属板、あるいは樹脂フィルムなどの板材を検査する検査装置、特に上記板材の表面での突起等の欠陥の有無を検査する板材の検査装置に関する。
　近年、例えば液晶表示装置は、在来のブラウン管に比べて薄型、軽量などの特長を有するフラットパネルディスプレイとして、液晶テレビ、モニター、携帯電話などに幅広く利用されている。このような液晶表示装置には、光を発光する照明装置（バックライト）と、照明装置に設けられた光源からの光に対しシャッターの役割を果たすことで所望画像を表示する液晶パネルとが含まれている。
　また、上記のような液晶パネルには、液晶層を狭持するアクティブマトリクス基板及びカラーフィルタ基板が設けられており、これらのアクティブマトリクス基板及びカラーフィルタ基板には、例えばガラス基板が用いられている。また、液晶パネルでは、その軽量化並びに薄型化が強く要望されており、これらの要望に対処すべく、アクティブマトリクス基板やカラーフィルタ基板に含まれたガラス基板に対し、例えばウェットエッチングを施すことにより、０．５ｍｍ程度の板厚を、０．１ｍｍ～０．３ｍｍ程度に薄くすることが行われている。
　ところが、ガラス基板の表面にのりなどの異物が付着した状態で、ウェットエッチングが行われると、その異物が付着した部分がエッチングされずに突起等の欠陥として残ってしまうことがあった。また、上記ガラス基板の検査工程では、一般的に、ウェットエッチングの後は外観検査が行われるだけであり、上記のような突起等の欠陥を検出できないことがあった。
　また、液晶パネルでは、通常、ガラス基板の表面に対して、偏光板が接着されるが、上記のような突起等の欠陥が存在する場合、偏光板をガラス基板の表面に適切に貼り付けることができなかった。この結果、ガラス基板の表面での欠陥に起因して、外観不良、または液晶パネルに表示不良が生じることがある。また、ガラス基板と偏光板とは互いに接着されているため、上記表示不良が液晶パネルに生じた場合、ガラス基板から偏光板を剥がして、パネル表面を研磨する修正処理をする必要があるが、その場合剥がした偏光板を廃棄することになり部材ロスとなる。また偏光板を適切に剥がすことができないことがあり、その場合は当該液晶パネルを廃棄する必要があり、液晶パネルの製造歩留まりの低下を招いた。
　また、従来の板材の検査装置には、例えば下記特許文献１に記載されているように、被検査体（板材）の表面に光を照射して、その照射した光の光量に基づき、被検査体の表面に突起等の欠陥が存在するか否かについて検査することが提案されている。すなわち、この従来の板材の検査装置は、被検査体の検査部に接するように検査光を投光する投光器と、検査部を通過した検査光を受光する第１受光部と、検査部によって散乱された検査光を受光する第２受光部を備えている。また、この従来の板材の検査装置には、第１受光部にて受光した検査光の光量に従い、検査部に対する検査光の投光位置を調整する位置調整機構と、第２受光部にて受光した検査光の光量に従い、検査部の表面状態を判定する判定部とが設けられている。そして、この従来の板材の検査装置では、第２受光部にて受光した検査光の光量が低下したときに、判定部が検査部の表面に突起が存在していると判定していた。
特開２０１０－１１２９３５号公報
　しかしながら、上記のような従来の板材の検査装置では、被検査体（板材）の材質によっては、その被検査体を検査できないという問題点があった。
　具体的にいえば、上記従来の板材の検査装置では、被検査体としてのフィルムを検査ロールに巻装し、その巻装したフィルムにおいて、凸状に湾曲する検査部に投光器から検査光としてのレーザビームを投光していた。そして、この従来の板材の検査装置では、検査ロールを回転させることにより、フィルムを搬送して、当該フィルムの表面全体を連続的に検査していた。このため、この従来の板材の検査装置では、検査ロールに巻装することができない材質の板材を被検査体として検査することができなかった。より具体的にいえば、この従来の板材の検査装置では、ガラス材や硬質プラスチックあるいは木材などの検査ロールに沿って曲げることができない、剛直な材質の板材については、その検査を行うことができないという問題点があった。
　上記の課題を鑑み、本発明は、板材の材質に関わらず、板材の表面での突起等の欠陥の有無を検査することができる板材の検査装置を提供することを目的とする。
　上記の目的を達成するために、本発明にかかる板材の検査装置は、板材を検査する検査装置であって、
　前記板材の表面に設置されるとともに、弾性変形可能な弾性材と、
　前記弾性材の前記板材とは反対側の表面に設けられるとともに、当該弾性材の弾性変形に応じて、弾性変形可能に構成された第１の導電性部材と、
　前記第１の導電性部材に対向するように設けられた第２の導電性部材と、
　前記弾性材の上側で前記第２の導電性部材を支持する支持部と、
　前記第１及び第２の導電性部材に接続されるとともに、これらの第１及び第２の導電性部材が互いに接触するか否かに基づいて、前記板材の良否判定を行う良否判定部とを備えたことを特徴とするものである。
　上記のように構成された板材の検査装置では、弾性変形可能な弾性材が板材の表面に設置される。また、弾性材の板材とは反対側の表面には、弾性材の弾性変形に応じて、弾性変形可能に構成された第１の導電性部材が設けられている。また、弾性材の上側には、支持部によって支持された第２の導電性部材が第１の導電性部材に対向するように設けられている。また、良否判定部が、第１及び第２の導電性部材に接続されるとともに、これらの第１及び第２の導電性部材が互いに接触するか否かに基づいて、板材の良否判定を行う。これにより、上記従来例と異なり、板材の材質に関わらず、板材の表面での突起等の欠陥の有無を検査することができる。すなわち、上記従来例と異なり、板材の表面に対して、弾性材、第１及び第２の導電性部材、及び支持部を載置するだけにより、当該板材の検査を行うことができる。
　また、上記板材の検査装置において、前記支持部には、前記第１及び第２の導電性部材のギャップを調整するギャップ調整機構が含まれていることが好ましい。
　この場合、第１及び第２の導電性部材のギャップを調整することにより、検査装置の検査精度を容易に変更することができる。
　また、上記板材の検査装置において、前記第２の導電性部材は、そのサイズを変更可能に構成され、かつ、
　前記第２の導電性部材には、当該第２の導電性部材のサイズを調整するサイズ調整機構が取り付けられていることが好ましい。
　この場合、第２の導電性部材のサイズを調整することにより、様々なサイズの板材の検査を容易に行うことができる。
　また、上記板材の検査装置において、前記良否判定部として、前記板材の良否判定結果を示す表示部が用いられてもよい。
　この場合、表示部での表示を用いて、板材の良否を判別することができる。
　また、上記板材の検査装置において、前記良否判定部として、前記板材の良否判定結果を示す音発生部が用いられてもよい。
　この場合、音発生部からの音を用いて、板材の良否を判別することができる。
　また、上記板材の検査装置において、前記弾性材として、柔軟性を有する単一の合成樹脂が用いられてもよい。
　この場合、優れた作業性を有し、薄型化された弾性材を容易に構成することができ、板材の検査作業を容易に行うことができる。
　また、上記板材の検査装置において、前記第２の導電性部材の前記第１の導電性部材とは反対側の表面に設けられて、当該表面が固定された固定基板を備えていることが好ましい。
　この場合、第２の導電性部材を安定的に保持することができ、第１及び第２の導電性部材のギャップを所定寸法で容易に維持することができる。この結果、検査精度を容易に高めることができる。
　本発明によれば、板材の材質に関わらず、板材の表面での突起等の欠陥の有無を検査することができる板材の検査装置を提供することが可能となる。
図１は、本発明の第１の実施形態にかかる板材の検査装置の全体構成を説明する図である。 図２は、上記板材の検査装置の上面図である。 図３は、上記板材の検査装置の具体的な動作を説明する図である。 図４は、板材に突起が存在している場合での上記板材の検査装置の動作例を説明する図である。 図５は、本発明の第２の実施形態にかかる板材の検査装置の全体構成を説明する図である。 図６は、本発明の第３の実施形態にかかる板材の検査装置の全体構成を説明する図である。 図７は、図６に示した板材の検査装置の上面図である。 図８は、本発明の第４の実施形態にかかる板材の検査装置の上面図である。 図９は、本発明の第１の実施形態にかかる板材の検査装置の変形例の全体構成を説明する図である。
　以下、本発明の板材の検査装置の好ましい実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、各図中の構成部材の寸法は、実際の構成部材の寸法及び各構成部材の寸法比率等を忠実に表したものではない。
　［第１の実施形態］
　図１は、本発明の第１の実施形態にかかる板材の検査装置の全体構成を説明する図である。図２は、上記板材の検査装置の上面図である。図１及び図２において、本実施形態の板材の検査装置１には、第１の導電性部材２と、この第１の導電性部材２に対向するように設けられた第２の導電性部材３と、第１の導電性部材２の第２の導電性部材３とは反対側の表面が固定された下部基板４と、第２の導電性部材３の第１の導電性部材２とは反対側の表面が固定された上部基板５とが設けられている。
　また、板材の検査装置１は、第２の導電性部材３を支持する支持部材６と、第１及び第２の導電性部材２、３に接続された表示部７を備えている。そして、板材の検査装置１では、後に詳述するように、検査対象の板材の表面に対して、下部基板４を設置することによって、当該板材の表面での突起等の欠陥の有無を検査することができるように構成されている。
　下部基板４は、図２に示すように、矩形状に形成されており、板材の表面に設置されるとともに、弾性変形可能な弾性材を構成している。また、下部基板４には、例えばウレタン樹脂あるいはシリコン樹脂などの柔軟性を有する単一の合成樹脂が用いられており、下部基板４は、板材の表面に存在する突起等の欠陥に応じて、弾性変形を行うようになっている。
　第１の導電性部材２は、下部基板４の板材とは反対側の表面に設けられるとともに、当該下部基板４の弾性変形に応じて、弾性変形可能に構成されている。また、この第１の導電性部材２には、例えば銀、銅等の一般的な金属、導電性高分子（例えば、導電性を付与したポリアセチレンなど）、あるいはカーボンブラックなどが用いられている。
　第２の導電性部材３には、第１の導電性部材２と同様に、例えば銀、銅等の一般的な金属、導電性高分子（例えば、導電性を付与したポリアセチレンなど）、あるいはカーボンブラックなどが用いられている。
　また、第１及び第２の導電性部材２、３には、検査対象の板材の表面よりも若干大きいサイズのものが用いられており、板材の端部に生じた突起等の欠陥を確実に検出できるように構成されている。また、第１及び第２の導電性部材２、３では、それら第１及び第２の導電性部材２、３の互いに対向する表面全面において、そのギャップ（離間寸法）が所定の値で維持されており、板材の表面に突起等の欠陥が存在する場合に、第１の導電性部材２が、当該欠陥に応じて、第２の導電性部材３側に弾性変形して、ギャップが部分的に変化するようになっている。
　さらに、第１及び第２の導電性部材２、３のギャップは、例えば数μｍ～数十μｍに設定されており、本実施形態の板材の検査装置１では、上記ギャップと同じ高さ寸法以上の突起等の欠陥を検出可能に構成されている。
　上部基板５は、図２に示すように、矩形状に形成されており、第２の導電性部材３の第１の導電性部材２とは反対側の表面に設けられて、当該表面が固定された固定基板を構成している。また、上部基板５には、下部基板４と同様に、例えばウレタン樹脂あるいはシリコン樹脂などの柔軟性を有する単一の合成樹脂が用いられている。
　支持部材６は、下部基板（弾性材）４の上側で第２の導電性部材３を支持する支持部を構成している。また、この支持部材６は、図２に示すように、枠状に形成されており、上部基板５の外縁部に当接するように下部基板４の外縁部上に設置されて、上部基板５及びこれに固定された第２の導電性部材３を支持するようになっている。さらに、この支持部材６には、合成樹脂などの非導電性物質が用いられており、支持部材６は、第１の導電性部材２及び下部基板４が上記弾性変形をしたときでも、変形を生じることなく、上部基板５及び第２の導電性部材３を支持するように構成されている。
　尚、上記の説明以外に、支持部材６が第２の導電性部材３に直接的に当接して、当該第２の導電性部材３を支持する構成でもよい。
　表示部７は、第１及び第２の導電性部材２、３が互いに接触するか否かに基づいて、板材の良否判定を行う良否判定部を構成している。具体的にいえば、この表示部７には、例えば第１及び第２の導電性部材２、３に接続された電源及びランプが含まれており（図示せず）、第１の導電性部材２が弾性変形して、第２の導電性部材３に接触したときに、上記ランプが点灯するように構成されている。すなわち、表示部７は、板材の表面に検出すべき突起等の欠陥によって第１及び第２の導電性部材２、３が互いに接触したときに、そのランプを点灯することによって当該板材に許容できない欠陥が存在していることを通知するようになっている。
　尚、上記の説明以外に、例えば第１及び第２の導電性部材２、３が互いに接触したか否かについて、視覚的に表示するディスプレイを表示部７に用いる構成でもよい。すなわち、表示部７は、板材の良否判定結果を示す表示を行うものであればよい。
　ここで、図３及び図４も参照して、本実施形態の板材の検査装置１の動作について具体的に説明する。
　図３は、上記板材の検査装置の具体的な動作を説明する図である。図４は、板材に突起が存在している場合での上記板材の検査装置の動作例を説明する図である。尚、以下の説明では、板材に突起が存在している場合での動作を例示して説明する。
　図３に示すように、板材Ｓには、その本体Ｓａの検体対象の表面の一部分に、突起Ｓｂが生じている。また、この板材Ｓは、例えば液晶パネルのアクティブマトリクス基板やカラーフィルタ基板を構成するガラス基板、合成樹脂フィルムシート、金属板、または木板などである。
　また、図３の矢印にて示すように、本実施形態の板材の検査装置１では、下部基板４が板材Ｓの検査対象の表面を覆うように当該板材Ｓに取り付けられる。そして、本実施形態の板材の検査装置１が板材Ｓに取り付けられると、検査装置１では、図４に示すように、下部基板４及び第１の導電性部材２が突起Ｓｂに応じて、弾性変形する。このとき、第１の導電性部材２が、第２の導電性部材３に接触すると、表示部７では、上記ランプが点灯する。これにより、本実施形態の板材の検査装置１では、板材Ｓの表面に、許容されない高さを有する突起Ｓｂが存在することを検査員（作業者）に通知することができる。そして、検査員は、板材Ｓが不良品であると判断することができる。
　以上のように構成された本実施形態の板材の検査装置１では、弾性変形可能な下部基板（弾性材）４が板材の表面に設置される。また、下部基板４の板材とは反対側の表面には、下部基板４の弾性変形に応じて、弾性変形可能に構成された第１の導電性部材２が設けられている。また、下部基板４の上側には、支持部材（支持部）６によって支持された第２の導電性部材３が第１の導電性部材２に対向するように設けられている。また、表示部（良否判定部）７が、第１及び第２の導電性部材２、３に接続されるとともに、これらの第１及び第２の導電性部材２、３が互いに接触するか否かに基づいて、板材の良否判定を行う。これにより、本実施形態の板材の検査装置１では、上記従来例と異なり、板材の材質に関わらず、板材の表面での突起等の欠陥の有無を検査することができる。すなわち、本実施形態の板材の検査装置１では、上記従来例と異なり、板材の表面に対して、下部基板４、第１及び第２の導電性部材２、３、及び支持部材６を載置するだけにより、当該板材の検査を行うことができる。
　また、本実施形態では、良否判定部として、板材の良否判定結果を示す表示部７が用いられている。これにより、本実施形態では、表示部７での表示を用いて、板材の良否を判別することができる。
　［第２の実施形態］
　図５は、本発明の第２の実施形態にかかる板材の検査装置の全体構成を説明する図である。図において、本実施形態と上記第１の実施形態との主な相違点は、表示部に代えて、音発生部を用いた点である。なお、上記第１の実施形態と共通する要素については、同じ符号を付して、その重複した説明を省略する。
　すなわち、図５に示すように、本実施形態の板材の検査装置１では、音発生部８が第１及び第２の導電性部材２、３に接続されている。この音発生部８は、第１及び第２の導電性部材２、３が互いに接触するか否かに基づいて、板材の良否判定を行う良否判定部を構成している。具体的にいえば、この音発生部８には、例えば第１及び第２の導電性部材２、３に接続された電源及びスピーカが含まれており（図示せず）、第１の導電性部材２が弾性変形して、第２の導電性部材３に接触したときに、上記スピーカが音を発生するように構成されている。すなわち、音発生部８は、板材の表面に検出すべき突起等の欠陥によって第１及び第２の導電性部材２、３が互いに接触したときに、そのスピーカから音を発生することによって当該板材に許容できない欠陥が存在していることを通知するようになっている。
　尚、上記の説明以外に、例えば第１及び第２の導電性部材２、３が互いに接触したか否かについて、音声によって通知する音発生部８を用いる構成でもよい。すなわち、音発生部８は、音により、板材の良否判定結果を示すものであればよい。
　以上の構成により、本実施形態では、上記第１の実施形態と同様な作用・効果を奏することができる。また、本実施形態では、良否判定部として、板材の良否判定結果を示す音発生部８が用いられている。これにより、本実施形態では、音発生部８からの音を用いて、板材の良否を判別することができる。
　［第３の実施形態］
　図６は、本発明の第３の実施形態にかかる板材の検査装置の全体構成を説明する図である。図７は、図６に示した板材の検査装置の上面図である。図において、本実施形態と上記第１の実施形態との主な相違点は、第１及び第２の導電性部材のギャップを調整するギャップ調整機構を支持部に含めた点である。なお、上記第１の実施形態と共通する要素については、同じ符号を付して、その重複した説明を省略する。
　すなわち、図６及び図７に示すように、本実施形態の板材の検査装置１では、ギャップ調整機構９が設けられており、第１及び第２の導電性部材２、３のギャップＨを調整することが可能に構成されている。このギャップ調整機構９には、例えばボールねじ構造が用いられており、支持部材６と異なり、下部基板４上で、その下部基板４の互いに対向する二辺の中央部の２箇所に設けられている。
　具体的にいえば、ギャップ調整機構９には、調整つまみ９ａと、ボールねじ構造（図示せず）を介して調整つまみ９ａに接続されるとともに、上部基板５及び第２の導電性部材３を支持する支持支柱９ｂが設けられている。そして、ギャップ調整機構９では、調整つまみ９ａを回転させることにより、ギャップＨが増加または減少するように、上部基板５及び第２の導電性部材３が、支持支柱９ｂに沿って移動する。また、ギャップ調整機構９は、上記支持部に含まれたものであり、調整つまみ９ａを停止しているときには、上部基板５及び第２の導電性部材３を支持するようになっている。
　以上の構成により、本実施形態では、上記第１の実施形態と同様な作用・効果を奏することができる。また、本実施形態では、ギャップ調整機構９が第１及び第２の導電性部材２、３のギャップＨを調整するので、板材の検査装置１の検査精度を容易に変更することができる。
　尚、上記の説明以外に、例えばＸリンク構造を用いて、ギャップ調整機構９を構成してもよい。また、上記の説明では、ギャップ調整機構９が上述の２箇所に設けられた場合について説明したが、本実施形態はこれに限定されるものではなく、１箇所以上、ギャップ調整機構９を設けたものであればよい。
　［第４の実施形態］
　図８は、本発明の第４の実施形態にかかる板材の検査装置の上面図である。図において、本実施形態と上記第１の実施形態との主な相違点は、第２の導電性部材及び上部基板（固定基板）の各サイズを変更可能に構成するとともに、当該第２の導電性部材及び上部基板のサイズを調整するサイズ調整機構を設けた点である。なお、上記第１の実施形態と共通する要素については、同じ符号を付して、その重複した説明を省略する。
　すなわち、図８に示すように、本実施形態の板材の検査装置１では、サイズ調整機構１０が上部基板５及び第２の導電性部材３の右端部に取り付けられている。また、本実施形態の板材の検査装置１では、各々四角柱状に構成された２つの支持部材１６が下部基板４の左上端部及び左下端部に設けられており、上記支持部として上部基板５及び第２の導電性部材３を支持するようになっている。
　サイズ調整機構１０には、上部基板５及び第２の導電性部材３の右端部が固定されるとともに、これら上部基板５及び第２の導電性部材３を巻装する回転軸１０ａと、下部基板４の上縁上及び下縁上をスライド移動可能に設けられるとともに、上部基板５及び第２の導電性部材３を支持する支持支柱１０ｂが設けられている。そして、サイズ調整機構１０は、一定のサイズを有する下部基板４及び第１の導電性部材２に対して、第２の導電性部材３のサイズＷを変更できるようになっている。
　具体的にいえば、サイズ調整機構１０では、回転軸１０ａを回転させることによって、第２の導電性部材３のサイズＷが図の矢印にて示すように増加または減少するように、当該回転軸１０ａに上部基板５及び第２の導電性部材３を巻装する。また、支持支柱１０ｂは、回転軸１０ａでの巻装状態（第２の導電性部材３のサイズＷ）に応じて、下部基板４の上縁上及び下縁上をスライド移動する。
　以上の構成により、本実施形態では、上記第１の実施形態と同様な作用・効果を奏することができる。また、本実施形態では、第２の導電性部材３のサイズＷを調整するサイズ調整機構１０が設けられているので、サイズ調整機構１０が第２の導電性部材３のサイズＷを調整することにより、様々なサイズの板材の検査を容易に行うことができる。
　尚、上記の説明以外に、上部基板（固定基板）５の設置が省略され、第２の導電性部材３が当該上部基板５に固定されることなく、第１の導電性部材２に対向して配置されている場合では、サイズ調整機構１０は、当該第２の導電性部材２に取り付けられて、そのサイズＷを調整する構成であればよい。
　［変形例］
　図９は、本発明の第１の実施形態にかかる板材の検査装置の変形例の全体構成を説明する図である。図において、本実施形態と上記第１の実施形態との主な相違点は、上部基板及び下部基板よりも、厚さ寸法が大きい第１及び第２の導電性部材を用いた点である。なお、上記第１の実施形態と共通する要素については、同じ符号を付して、その重複した説明を省略する。
　すなわち、図９に示すように、本実施形態の板材の検査装置１では、第１の実施形態と異なり、下部基板４よりも厚さ寸法が大きい第１の導電性部材２が用いられている。同様に、上部基板５よりも厚さ寸法が大きい第２の導電性部材３が用いられている。
　以上の構成により、本実施形態では、上記第１の実施形態と同様な作用・効果を奏することができる。
　尚、上記の実施形態はすべて例示であって制限的なものではない。本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって規定され、そこに記載された構成と均等の範囲内のすべての変更も本発明の技術的範囲に含まれる。
　例えば、上記の説明では、良否判定部に表示部または音発生部を使用した場合について説明したが、本発明の良否判定部は、第１及び第２の導電性部材に接続されるとともに、これらの第１及び第２の導電性部材が互いに接触するか否かに基づいて、板材の良否判定を行うものであれば何等限定されない。
　また、上記の説明では、下部基板（弾性材）に柔軟性を有する合成樹脂を用いた場合について説明したが、本発明の弾性材は、板材の表面に設置されるとともに、弾性変形可能なものであればよく、例えば弾性材として、複数の合成樹脂や金属膜を一体化したものを用いることもできる。
　但し、上記の各実施形態のように、柔軟性を有する単一の合成樹脂を用いる場合の方が、優れた作業性を有し、薄型化された弾性材を容易に構成することができ、板材の検査作業を容易に行うことができる点で好ましい。
　また、上記の説明では、上部基板（固定基板）を設けて、第２の導電性部材の第１の導電性部材とは反対側の表面を上部基板に固定した場合について説明したが、本発明の第２の導電性部材は、第１の導電性部材に対向するように設けられたものであればよく、固定基板に固定することなく、第１の導電性部材に対向して配置する構成でもよい。
　但し、上記の各実施形態のように、固定基板を設けて、第２の導電性部材を固定する場合の方が、第２の導電性部材を安定的に保持することができ、第１及び第２の導電性部材のギャップを所定寸法で容易に維持することができる点で好ましく、これにより、板材の検査装置の検査精度を容易に高めることができる点で好ましい。
　また、上記の説明以外に、第１～第４の各実施形態及び変形例を適宜組み合わせたものでもよい。
　本発明は、板材の材質に関わらず、板材の表面での突起等の欠陥の有無を検査することができる板材の検査装置に対して有用である。
　１　板材の検査装置
　２　第１の導電性部材
　３　第２の導電性部材
　４　下部基板（弾性材）
　５　上部基板（固定基板）
　６、１６　支持部材（支持部）
　７　表示部（良否判定部）
　８　音発生部（良否判定部）
　９　ギャップ調整機構
　１０　サイズ調整機構

Claims (7)

  1. 板材を検査する検査装置であって、
    　前記板材の表面に設置されるとともに、弾性変形可能な弾性材と、
    　前記弾性材の前記板材とは反対側の表面に設けられるとともに、当該弾性材の弾性変形に応じて、弾性変形可能に構成された第１の導電性部材と、
    　前記第１の導電性部材に対向するように設けられた第２の導電性部材と、
    　前記弾性材の上側で前記第２の導電性部材を支持する支持部と、
    　前記第１及び第２の導電性部材に接続されるとともに、これらの第１及び第２の導電性部材が互いに接触するか否かに基づいて、前記板材の良否判定を行う良否判定部と
    　を備えたことを特徴とする板材の検査装置。
  2. 前記支持部には、前記第１及び第２の導電性部材のギャップを調整するギャップ調整機構が含まれている請求項１に記載の板材の検査装置。
  3. 前記第２の導電性部材は、そのサイズを変更可能に構成され、かつ、
    　前記第２の導電性部材には、当該第２の導電性部材のサイズを調整するサイズ調整機構が取り付けられている請求項１または２に記載の板材の検査装置。
  4. 前記良否判定部として、前記板材の良否判定結果を示す表示部が用いられている請求項１～３のいずれか１項に記載の板材の検査装置。
  5. 前記良否判定部として、前記板材の良否判定結果を示す音発生部が用いられている請求項１～４のいずれか１項に記載の板材の検査装置。
  6. 前記弾性材として、柔軟性を有する単一の合成樹脂が用いられている請求項１～５のいずれか１項に記載の板材の検査装置。
  7. 前記第２の導電性部材の前記第１の導電性部材とは反対側の表面に設けられて、当該表面が固定された固定基板を備えている請求項１～６のいずれか１項に記載の板材の検査装置。
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