WO2012017988A1 - ガラスフィルムの割断方法 - Google Patents

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WO2012017988A1
WO2012017988A1 PCT/JP2011/067609 JP2011067609W WO2012017988A1 WO 2012017988 A1 WO2012017988 A1 WO 2012017988A1 JP 2011067609 W JP2011067609 W JP 2011067609W WO 2012017988 A1 WO2012017988 A1 WO 2012017988A1
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WO
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glass film
width direction
cleaving
divided
glass
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PCT/JP2011/067609
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保弘 松本
森　浩一
浩 成瀬
道治 江田
森　弘樹
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日本電気硝子株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • Y10T225/10—Methods
    • Y10T225/12—With preliminary weakening

Definitions

  • the glass film while feeding a glass film, the glass film is cleaved and divided in the width direction by the thermal stress generated by locally heating along the cleaving line extending in the feeding direction and cooling the heating region.
  • FPD flat panel displays
  • liquid crystal displays plasma displays, organic EL displays, etc.
  • weight reduction has been promoted. Therefore, the present situation is that the thinning (glass filming) of glass substrates used for FPD is also promoted.
  • the organic EL is being used as a flat light source such as a light source for indoor lighting by emitting light only with a single color (for example, white) without causing the TFT to flicker the fine three primary colors like a display. Since this type of lighting device can freely deform the light emitting surface if the glass substrate is flexible, the glass substrate used in the lighting device is sufficiently flexible. In order to ensure this, a significant reduction in thickness is being promoted.
  • a scribe of a predetermined depth is engraved on the surface of the glass substrate along a planned breaking line, and then bending stress is applied to the scribe.
  • the edge in the width direction of the band-shaped plate glass is locally heated by a laser, and is cooled by a cooling device to generate a thermal stress.
  • a method for continuously cleaving the end edge portion by stress has been proposed.
  • the patent document discloses that the traveling direction of the plate glass main body (effective glass portion) and the edge portion divided from the plate glass is changed from the horizontal zone vertically downward, and the width at the lower end.
  • Patent Document 2 a continuous glass ribbon is cut along a predetermined line by thermal stress generated by irradiating a laser, and the edge of the cut glass ribbon is rotated by a plurality of rollers. It is described that the end edge portion and the main portion are separated by supporting and feeding out from the main portion of the glass ribbon in a direction gradually separating outward in the width direction.
  • the solution to the above problem is achieved by the method for cleaving a glass film according to the present invention. That is, in this cleaving method, while feeding the glass film in a predetermined direction, along the planned cutting line due to the thermal stress generated by locally heating along the planned cutting line extending in the feeding direction and cooling the heating region.
  • the glass film cleaving method the glass film is cleaved continuously to divide the glass film in the width direction and to change the direction of the divided glass films adjacent to each other in the front and back direction after the division. And before the direction change, it is characterized by the point which forms a predetermined
  • the “width direction” here refers to a direction along the front and back surfaces of the glass film and a direction orthogonal to the feeding direction of the glass film.
  • the “predetermined gap in the width direction” appears between the divided glass films when a pair of divided glass films adjacent to each other as a result of being divided in the width direction by cutting are viewed in plan view. It shall mean the gap in the width direction.
  • the size of the gap may be a size that does not cause substantial interference between the two divided glass films at the time of conveyance after division. Specifically, it is 0 in the state in plan view. 0.02 mm or more, preferably 0.05 mm or more, more preferably 0.1 mm or more.
  • each divided glass film will be conveyed in a feed direction in the state where the split sections of the divided glass films adjacent to each other in the width direction are separated from each other by a predetermined distance, Opportunities where the cut surfaces come into contact with each other by rubbing or the like are greatly reduced, and interference between the cut surfaces serving as hotbeds for generating defects can be avoided as much as possible. Therefore, generation
  • segmentation can be suppressed, and possibility that a breakage will arise due to the presence of this micro defect can be reduced.
  • a method of forming the predetermined gap in the width direction at the cleaving position of the glass film various methods can be employed, for example, bending at least one divided glass film along the width direction.
  • a method for forming a predetermined gap in the width direction can be mentioned. If the strip-shaped plate glass is thinned to the extent called a glass film, even a relatively narrow glass film has a corresponding flexibility in the width direction. It is possible to cause bending. Therefore, in this case, the bent glass film is deformed into a concave shape or a convex shape along the width direction by the bending, so that the end portion in the width direction moves toward the center in the width direction (described later). (See FIG. 4).
  • prescribed width direction clearance gap can be formed.
  • the direction of the split cross section of the split glass film that has undergone bending deformation is changed along with the bending deformation, it becomes easier to avoid undesirable interference such as rubbing of the split cross sections.
  • the front and back surfaces of the divided glass film return to a flat state by eliminating the bent state. Therefore, post-processing such as roll winding can be performed without delay.
  • bending along the width direction may be caused by supporting the divided glass film with a roller having a different outer diameter depending on the position in the width direction. Or you may make it produce the bending along a width direction by supporting the partial area
  • By supporting with these rollers if bending along the width direction is caused to occur in the divided glass film, it is not necessary to provide means for applying a special bending force separately from the conveying means.
  • a part of the width direction of the divided glass film is supported by a roller as will be described later, it is possible to avoid unnecessary contact with the surface of the glass film and maintain its quality (surface accuracy, etc.). Can do.
  • the predetermined gap in the width direction may be formed by thermally deforming the cleaved glass film.
  • a predetermined gap in the width direction can be formed while conveying the divided glass film in the feeding direction without applying any external force to the divided glass film. Since the thermal deformation is applied by thermal expansion and / or thermal contraction accompanying heating and / or cooling, a predetermined gap in the width direction can be formed while the divided glass film remains flat.
  • the size of the gap in the width direction can be controlled only by the temperature difference, so that it can be carried out without being restricted by the dimensions of the glass film, such as the ratio of the width direction dimension to the thickness direction dimension. Also have.
  • the start position of the direction change is changed from the start position of cleaving to the thickness dimension of the glass film.
  • This type of cleaving is to continuously advance the initial cracks by cooling the previously heated region, thereby cutting the glass film. In other words, if the position where separation work is started) is close to the cleaving start position, the bending stress generated in the split glass film at the time of the change of direction reaches the cleaving start position, and other than the thermal stress generated during laser cleaving. When the stress is applied, there is a possibility that accurate cleaving work cannot be performed. By securing the above-mentioned separation distance, this type of trouble can be avoided and the cleaving can be performed stably.
  • the cleaving method according to the present invention it is possible to provide a glass film cleaving method capable of continuously performing a cleaving operation of a stable glass film while avoiding interference between the fractured surfaces. It becomes possible.
  • FIG. 1 It is a schematic perspective view which shows a part of cleaving apparatus for implementing the cleaving method which concerns on 1st Embodiment of this invention. It is a schematic side view which shows the whole structure of the cleaving apparatus which concerns on 1st Embodiment. It is a principal part top view of the glass film divided
  • a glass film having a thickness of 300 ⁇ m or less, preferably 200 ⁇ m or less, more preferably 100 ⁇ m or less, which is used for an FPD, an organic EL lighting device, or a solar battery is used.
  • the thickness of the glass film is exaggerated in the accompanying drawings.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view showing a cleaving apparatus for carrying out the glass film cleaving method according to the first embodiment of the present invention.
  • the cleaving apparatus 1 includes a conveying unit 2 that conveys the glass film G in a predetermined feeding direction a, and a glass film G placed on the conveying unit 2 in a horizontal posture (for example, a horizontal posture).
  • the local heating means 3 that irradiates the laser L from the local heating means 3, the cooling means 4 that jets the cooling water W from the surface side to the local heating region H heated by the local heating means 3, and the gap formation described later Means 5 are mainly provided.
  • a carbon dioxide laser is used as the local heating means 3, but other means such as a heating wire or hot air jet may be used.
  • the cooling means 4 injects the cooling water W as a refrigerant by air pressure or the like.
  • This refrigerant is a cooling liquid other than cooling water, a gas such as air or inert gas, or a gas and a liquid. What mixed, Furthermore, what mixed solids, such as dry ice and ice, and the said gas and / or the said liquid, etc. may be sufficient.
  • the conveying means 2 is composed of a conveyor 6 that supports and conveys the glass film G.
  • the conveyor belt 7 of the conveyor 6 is driven in a direction to convey the glass film G in a predetermined feeding direction a along the planned cutting line 8.
  • the outer surface of the transport belt 7 may be a support surface that holds the glass film G by suction or the like.
  • the region supported by the conveyor belt 7 (conveyor 6) is not limited to the entire region in the width direction of the glass film G.
  • a pair of both side portions in the width direction of the glass film G are formed so that a predetermined space is formed over the entire length in the feed direction of the conveyor 6 on the back side of the planned cutting line 8 of the glass film G. You may make it support with the conveyor 6. This is because the heat energy generated by the heating by the local heating means 3 or the cooling by the cooling means 4 is suppressed by the conveyance belt 7 and the thermal efficiency is reduced.
  • the gap forming means 5 is composed of a plurality of transport rollers 9, and the plurality of transport rollers 9 constitutes a transport means 2 for the glass film G together with the conveyor 6 as a roller conveyor. That is, the glass film G at the stage before being cleaved is conveyed in the feeding direction a while being supported by the conveyor 6 having the conveying belt 7, and the cleaved glass film G (divided glass film 10) is also conveyed to the plurality of conveying rollers 9. It conveys in the same direction with the roller conveyor which consists of.
  • the plurality of conveying rollers 9 support each divided glass film 10 divided by cleaving.
  • the width direction of one divided glass film 10 Both ends are supported by two transport rollers 9. Therefore, the conveyance rollers 9 twice the number of the divided glass films 10 are arranged in a row, and a plurality (four in this example) of the conveyance rollers 9 arranged in the row along the feeding direction a are provided. One row or a plurality of rows (4 rows in the illustrated example) are arranged.
  • the laser L irradiated from the local heating means 3 is cooled by driving the conveying belt 7 of the conveyor 6 in a predetermined direction and conveying the glass film G in a predetermined feeding direction a.
  • the glass film G Prior to the injection of the cooling water W from the means 4, the glass film G is scanned from the one end side on the planned cutting line 8.
  • the local heating region H is formed at the irradiation position of the laser L, and the local heating region H is transported a predetermined distance along the feeding direction a (that is, the cooling water W in the local heating region H).
  • the position is the local cooling region C at the position).
  • an initial crack in advance on the planned cutting line 8 at one end portion in the longitudinal direction of the glass film G
  • the above-described local heating region H and local portion are formed.
  • the initial crack develops due to the thermal stress generated during the formation with the cooling region C.
  • rupture section 11 which penetrates from the surface to a back surface is formed on the planned cutting line 8, and the glass film G is continuously cut along the planned cutting line 8 (so-called full body cutting).
  • the glass film G is cleaved with the flatness maintained, the distance between the local heating means 3 or the cooling means 4 using the laser or the like and the glass film G is accurately maintained, and a precise cleaving operation is performed. can do.
  • the cleaving operation can be performed in a more stable state.
  • the cleaved glass film G is divided into a plurality of divided glass films 10 (two in this illustrated example). These divided glass films 10 are continuously conveyed in a predetermined feeding direction a by a plurality of conveying rollers 9 located on the downstream side of the conveyor 6. In this state, the split surfaces 11 of the divided glass films 10 are extremely close to each other in the width direction, and there is a possibility that interference between the split surfaces 11 occurs due to the movement between them.
  • segmentation glass film 10 comprises the clearance gap formation means 5, and with conveyance of the division
  • the gap in the width direction between the divided glass films 10 adjacent in the width direction also gradually expands toward the downstream side in the feeding direction a. Therefore, at a position advanced by a predetermined distance in the feeding direction a from the conveyance start position by the conveyance roller 9, in the subsequent conveyance process, the gap in the width direction is large enough to prevent the divided glass films 10 from substantially interfering with each other. S is secured.
  • the adjacent divided glass films 10 are sent out in a direction away from the front and back directions without changing the relative position in the width direction (direction change is started), and the transport roller 9 It winds up around the two cores 12 arrange
  • the cut section 11 of the divided glass film 10 After forming the predetermined width direction gap S between the adjacent divided glass films 10, by starting the direction change (separation operation) of the divided glass film 10, the cut section 11 of the divided glass film 10.
  • the occurrence of minute defects can be suppressed by avoiding as much as possible a situation in which they interfere with each other. Therefore, it is possible to reduce the possibility of breakage of the divided glass film 10 due to the presence of minute defects at the time of conveyance after the division or at the time of winding, thereby two glass film rolls as final products. 13 can be obtained with good yield.
  • the direction of change of the direction of each divided glass film 10 in other words, the separation start position X 1, the thickness dimension of the glass film G from the position (breaking start position) X 2 at which the cut surface 11 starts to be formed in the feed direction a.
  • the bending stress generated by changing the feeding direction of the divided glass film 10 does not substantially reach the cleaving start position X2, so that the cleaving is performed. Can be performed stably.
  • a plurality of conveying rollers 9 as the gap forming means 5 are arranged downstream of the cutting start position X2 in the feeding direction a, and the separation starting position X1) is further downstream of these conveying rollers 9. Since it is provided, the distance D between the positions X1 and X2 surely satisfies the condition relating to the separation distance.
  • the distance D is preferably set to 100 times or more, more preferably 500 times or more the thickness dimension of the glass film G.
  • the trajectory of one divided glass film 10 (lower right divided glass film 10 in FIG. 1) is not changed before and after the separation step, and the other divided glass film 10 (upper left in FIG. 1). Only the trajectory of the divided glass film 10) on the side is conveyed in the above-mentioned direction by changing it relatively upward with respect to the trajectory of this one divided glass film 10, but of course both the divided glasses You may make it convey in said direction by changing the track
  • the cleaving apparatus 1 is an original glass film obtained by winding the glass film G before cleaving around the core 16 in a roll shape on the upstream side of the conveyor 6.
  • a roll 17 may be further provided, and the glass film G drawn from the original glass film roll 17 may be continuously fed along the horizontal feeding direction a by the conveyor 6.
  • the protective sheet 18 is preliminarily stacked on the back side (or the front side) of the glass film G included in the original glass film roll 17, and when the glass film G is pulled out from the original glass film roll 17.
  • the protective sheet 18 is peeled off from the back surface (or front surface) of the glass film G while being wound around the protective sheet roll 19.
  • the cleaving method and cleaving apparatus are naturally not limited to the above-described embodiments, and are within the scope of the present invention. Any form can be adopted.
  • the gap forming means 5 is configured by supporting the divided glass film 10 at a predetermined position in the width direction with a plurality of transport rollers 9, it is naturally possible to adopt a configuration other than the example shown in FIG.
  • the example (modification) is demonstrated based on drawing.
  • FIG. 5 shows another configuration example of the gap forming means 5 that can be adopted when the glass film G is divided into three by the cleaving method according to the first embodiment.
  • the gap forming means 5 includes a plurality of conveying rollers 9a that convey the divided glass film 10 divided into three in the width direction toward the feeding direction a (see FIG. 1) while supporting the divided glass films 10 at both ends 10a in the width direction. , 9b.
  • the transport roller 9b has a smaller roller diameter than the first transport roller 9a that supports the divided glass film 10 positioned on both sides in the width direction.
  • both width direction edge part 10a can be shifted to the thickness direction (here vertical direction). Therefore, it becomes possible to avoid the interference between the split surfaces 11 with a higher probability.
  • the structure of the clearance gap formation means 5 can be simplified by making each conveyance roller 9a, 9b into the same rotating shaft member 20. FIG.
  • the gap forming means 5 of this form when the divided glass film 10 is transferred from the conveyor 6 to the transport rollers 9a and 9b (particularly the second transport roller 9b at the center in the width direction), In order to prevent rubbing between adjacent fractured surfaces 11, first, the three divided glass films 10 are conveyed and supported using the conveying rollers 9 having the same diameter shown in FIG. At that time, the divided glass film 10 may be transferred to the gap forming means 5 (conveying rollers 9a and 9b) shown in FIG.
  • FIG. 6 shows an example thereof, and the gap forming means 5 shown in FIG. 6 is formed of the divided glass film 10 located in the center in the width direction among the divided glass films 10 divided into three by the cleaving method according to the first embodiment.
  • Each of the remaining divided glass films 10 on both sides in the width direction is composed of a conveyance belt 7 (see FIGS. 1 and 2) having the same height as the conveyor 6 (see FIGS. 1 and 2). Is supported on the entire surface in the width direction.
  • the gap formation means 5 was comprised with the conveyance roller 9 (9a, 9b) which supports the width direction both ends 10a of the division
  • the gap forming means 5 may be configured by roller-supporting only the central portion 10b in the direction.
  • FIG. 7 shows an example, and the conveying roller 9c shown in FIG. 7 has a substantially drum shape in which the central portion in the rotational axis direction is slightly larger in diameter than the both end portions, and in the width direction by cleaving. The center part 10b of the width direction of the divided
  • the supported divided glass film 10 bends in a direction that protrudes on the opposite side to the supported surface, and thus along the width direction. causess bending. Accordingly, also in this case, both the width direction end portions 10a of the divided glass film 10 according to the support move closer to the width direction central portion 10b, and the divided glass adjacent to each other in the width direction gap corresponding to the amount of movement. It is formed between the films 10.
  • FIG. 8 shows an example, and the conveyance roller 9 according to FIG. 8 has a large-diameter portion 9d that supports both end portions 10a in the width direction of the divided glass film 10 serving as a support, and the large-diameter portion 9d. And a small-diameter portion 9e that has a small diameter and supports most of the divided glass film 10 except for both ends 10a in the width direction.
  • the thickness direction positions of the both ends 10a in the width direction and the center portion 10b in the width direction of the divided glass film 10 supported by the respective transport rollers 9 (9a to 9e) (here) In the vertical direction), the outer peripheral surface serving as the roller diameter and the support surface so that the difference between the thickness dimension of the glass film G is not less than 1 time and not more than 0.01 times the width dimension of the divided glass film 10. It is preferable to set the shape, the support position in the width direction, and the like.
  • the difference in thickness direction position between the width direction both ends 10a and the width direction center portion 10b is less than 1 times the thickness dimension of the glass film G, the split section 11 of the one split glass film 10 that has caused the bending, This is because there remains a possibility that the divided glass film 10 adjacent to the other divided glass film 10 comes into contact. Moreover, when the difference in the thickness direction position exceeds 0.01 times the width direction dimension of the divided glass film 10, the degree of warpage in the width direction of the divided glass film 10 is too large, so that the bending is caused. This is because it is difficult to cause the divided glass film 10 to be further bent along the conveyance direction.
  • the gap forming means 5 is configured by the transport rollers 9 (9a to 9e) that support the divided glass film 10, that is, the case where the gap forming means 5 also serves as the transport means 2 has been described.
  • the gap forming means 5 can be provided separately from the conveying means 2.
  • FIG. 9 is a view for explaining an outline of the glass film cleaving method according to the second embodiment of the present invention, and shows a plan view of the glass film G according to the cleaving.
  • the gap forming means 5 is a global heating device (not shown) that heats the glass film G over the entire width direction before cleaving due to thermal stress generated by local heating and cooling.
  • a whole area cooling device (not shown) that cools the divided glass film 10 divided by the cleaving over the entire width direction thereof, and the heating / cooling device causes the glass film G before cleaving to be divided over the entire width direction.
  • Heating region 21 and cooling region 22 extending across the entire width direction of all the divided glass films 10 after cleaving.
  • the glass film G (or the divided glass film 10) has a predetermined value before and after cleaving. Gives a temperature drop.
  • segmentation glass film 10 heat-shrinks in the width direction according to the amount of temperature reductions (from the two-dot chain line to the position shown as a continuous line in the figure), and predetermined
  • the width direction clearance gap will be made without contacting a certain member to the glass film G (the division
  • the cleaving method according to the first embodiment is combined with the cleaving method (width gap forming method by heat shrinkage) according to the present embodiment (second embodiment) to obtain a larger value.
  • a gap S in the width direction can be formed.
  • the heating region 21 and the cooling region 22 are formed over the entire width direction of the glass film G.
  • the glass film G is divided into three by cleaving as illustrated, the division in the center in the width direction is performed.
  • the cooling region 22 may be formed over the entire width direction of the glass film 10 alone.
  • the glass film G is cleaved, for example, in a molding process described later, the glass film G is cleaved at a stage having a predetermined temperature (for example, about 100 ° C.), and then the above-described cooling region 22 is provided.
  • prescribed temperature fall can be provided to the glass film G (or the division
  • the above is for heating the glass film G before division uniformly and cooling the division glass film 10 uniformly to form a predetermined width direction gap S. ), The other surface is cooled, and a temperature gradient may be provided in the thickness direction of the divided glass film 10.
  • transforms into a shape as shown in FIG. 4 by thermal expansion and thermal contraction, Therefore
  • the predetermined width direction clearance gap S can be formed also by this method.
  • a method of forming a predetermined gap in the width direction by, for example, chemical dissolution of a fractured surface is also conceivable.
  • a hydrofluoric acid aqueous solution or a hydrofluoric sulfuric acid aqueous solution having a predetermined concentration (about 10%) is jetted toward the gaps 11 between the adjacent divided glass films 10, and thereby the width direction between the gaps 11.
  • a method for forming and expanding the gap can be given as an example. This method works more effectively by combining with any one or both of the gap forming means 5 described above.
  • the glass film G drawn downward from the forming apparatus 23 for forming the glass film G by a draw method (overflow downdraw method, slot downdraw method, etc.) or by a downdraw method (redraw method) for reheating the glass plate. May be sent in the lateral direction with respect to the conveyor 6 by being smoothly curved by a plurality of conversion rollers 24.

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Abstract

　このガラスフィルムＧの割断方法は、ガラスフィルムＧを所定の方向に送りながら、送り方向ａに伸びる割断予定線８に沿って局部加熱しかつ局部加熱領域Ｈを冷却することで発生する熱応力により、割断予定線８に沿ってガラスフィルムＧを連続的に割断して、ガラスフィルムＧを幅方向に分割すると共に、分割後に隣り合う各分割ガラスフィルム１０をその表裏方向に離反するように方向変換させるに際し、ガラスフィルムＧの分割後でかつ各分割ガラスフィルム１０の方向変換前に、各分割ガラスフィルム１０の相互間に所定の幅方向隙間を形成する。

Description

ガラスフィルムの割断方法
　本発明は、ガラスフィルムを送りながら、その送り方向に伸びる割断予定線に沿って局部加熱しかつその加熱領域を冷却することで発生する熱応力により、ガラスフィルムを割断して幅方向に分割する技術に関する。
　周知のように、近年における画像表示装置は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイなどに代表されるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）が主流となっており、また、その軽量化が推進されている。従って、ＦＰＤに使用されるガラス基板についても薄板化（ガラスフィルム化）が推進されているのが現状である。
　また、有機ＥＬについては、ディスプレイのように微細な三原色をＴＦＴにより明滅させずに、単色（例えば白色）のみで発光させて屋内照明の光源などの平面光源としても利用されつつある。この種の照明装置は、そのガラス基板が可撓性を有すれば、自由に発光面を変形させることが可能であるから、当該照明装置に使用されるガラス基板に関しても、十分な可撓性を確保するべく大幅な薄板化が推進されている。
　ここで、上記ＦＰＤや照明装置等に使用されるガラス基板を割断する手法としては、ガラス基板の表面に、割断予定線に沿って所定深さのスクライブを刻設した後、このスクライブに曲げ応力を発生させてガラス基板を割断する手法が一般的に採られている。
　しかしながら、このように曲げ応力によりガラス基板を割断する手法は、ガラス基板がガラスフィルムの状態まで薄肉化されると、スクライブを刻設することが非常に困難になることから採用が難しい。また、割断面に形成される欠陥（例えば、ラテラルクラックなど）によって著しい強度低下を招くという問題が生じ得る。
　加えて、ガラスフィルムを順次送りながら連続的に割断することが要請される場合には、ガラスフィルムに刻設したスクライブに対して連続的に曲げ応力を作用させることが困難になるという問題もある。
　そこで、上記曲げ応力を利用したガラスフィルムの割断手法に代えて、熱応力を利用したガラスフィルムの割断手法が採用されるに至っている。
　具体的には、下記特許文献１に記載のように、帯状の板状ガラスの幅方向の端縁部をレーザーにより局部加熱し、かつ冷却装置により冷却することで熱応力を発生させ、当該熱応力により上記端縁部を連続的に割断する方法が提案されている。
　また、同特許文献には、上記板状ガラスの割断により板状ガラスの本体（有効ガラス部）と分割された端縁部の進行方向を水平ゾーンから垂直下方に変化させて、下方端で幅方向に割断して廃棄処分にすると共に、板状ガラスの有効ガラス部を、進行方向を変化させることなくそのまま水平方向に送った後、所定長さで幅方向に割断して製品としてのガラス板を得ることが記載されている。
　一方で、下記特許文献２には、レーザーを照射することにより生じた熱応力で連続ガラスリボンを所定のラインに沿って切断すると共に、当該切断したガラスリボンの端縁部を複数のローラで回転支持してガラスリボンの要部から幅方向外側に徐々に離間する向きに送り出すことで、上記端縁部と要部とを分離する旨が記載されている。
特開２０００－３３５９２８号公報 特開昭４９－７５６２２号公報
　しかしながら、上記特許文献１に記載された割断方法を採用した場合には、割断により分割された複数の分割ガラスフィルムのうち、互いに隣り合う一方の分割ガラスフィルムと他方の分割ガラスフィルムとが干渉する事態が懸念される。すなわち、図１１に示すように、互いに隣り合う一方の分割ガラスフィルム１０と他方の分割ガラスフィルム１０とを、例えばロール状の巻き取り等を目的として、その表裏方向に離反するように方向転換する場合、その方向転換開始位置（すなわち分離開始位置）において、双方の分割ガラスフィルム１０の割断面１１同士が極近接しているため互いに擦れ合う等して干渉する事態が不可避的に生じる（図１１中、クロスハッチングで示す部分）。このような干渉が生じると、互いに干渉し合う割断面１１に微小な欠陥が発生し、当該欠陥に起因してガラスフィルムＧに破損が生じ易くなるおそれが生じる。あるいは、当該欠陥が原因となってガラスフィルムＧの強度低下を招くおそれが生じる。
　上記特許文献２に記載のように、切断後のガラスリボンの端縁部をその幅方向外側に向けて引張るようにして、隣り合うガラスリボンの要部から分離するようにすれば、上記干渉の問題は回避できる。しかし、この方法を、上記特許文献１に記載の手法で割断したガラスフィルムの分離手段として採用した場合、ガラスが脆性材料であることも影響して、その分離開始位置には、レーザー割断の際に生じる熱応力以外の応力が発生する可能性が高い。そのため、上記分離作業により生じる応力が、割断開始位置に発生させる熱応力に加わる形で影響を及ぼし、結果として、ガラスフィルムの割断が不安定になるおそれが生じる。
　以上の事情に鑑み、本明細書では、割断面同士の干渉を避けつつも、安定したガラスフィルムの割断作業を連続的に行うことのできるガラスフィルムの割断方法を提供することを、解決すべき技術的な課題とする。
　前記課題の解決は、本発明に係るガラスフィルムの割断方法により達成される。すなわち、この割断方法は、ガラスフィルムを所定の方向に送りながら、送り方向に伸びる割断予定線に沿って局部加熱しかつ加熱領域を冷却することで発生する熱応力により、割断予定線に沿ってガラスフィルムを連続的に割断して、ガラスフィルムを幅方向に分割すると共に、分割後に隣り合う各分割ガラスフィルムをその表裏方向に離反するように方向変換させるガラスフィルムの割断方法において、分割後でかつ方向変換前に、各分割ガラスフィルムの相互間に所定の幅方向隙間を形成する点をもって特徴づけられる。
　なお、ここでいう、「幅方向」とは、ガラスフィルムの表裏面に沿う向きでかつガラスフィルムの送り方向に直交する向きをいうものとする。同様に、「所定の幅方向隙間」とは、割断により幅方向に分割された結果、隣り合うこととなった一対の分割ガラスフィルムを平面視した場合に、当該分割ガラスフィルムの相互間に現れる幅方向の隙間をいうものとする。また、その隙間の大きさは、分割後の搬送時において双方の分割ガラスフィルム同士が実質的に干渉を生じない程度の大きさであればよく、具体的には、上記平面視した状態で０．０２ｍｍ以上、好ましくは０．０５ｍｍ以上、さらに好ましくは０．１ｍｍ以上であればよい。
　上記の方法によれば、幅方向に隣り合う分割ガラスフィルムの割断面同士が互いに所定距離だけ離間した状態で、各分割ガラスフィルムが送り方向に搬送されることになるので、当該分割ガラスフィルムの割断面同士が互いに擦れ合う等して接触する機会を大幅に減じて、欠陥発生の温床となる割断面間の干渉を可及的に回避することができる。そのため、分割後の搬送時に分割ガラスフィルムに微小な欠陥が発生するのを抑えて、この微小欠陥の存在に起因して破損が生じる可能性を低減することができる。また、割断により分割された後でかつ表裏方向に離反するように方向転換を行う前に、所定の幅方向隙間を形成するようにしたので、従来のように分割ガラスフィルムを幅方向外側に引張ることによる応力が割断開始位置に実質的に及ぶ事態を避けることができる。従って、割断によるガラスフィルムの分割を連続的かつ安定して行うことが可能となる。
　ここで、ガラスフィルムの割断位置に上記所定の幅方向隙間を形成する方法としては、種々の手法を採用することができ、例えば、少なくとも一つの分割ガラスフィルムに、その幅方向に沿った曲げを生じさせることにより、所定の幅方向隙間を形成する手法を挙げることができる。ガラスフィルムと称される程度に帯状の板ガラスを薄肉化したものであれば、比較的幅の狭いガラスフィルムであってもその幅方向について相応の可撓性を有することから、上記幅方向に沿った曲げを生じさせることが可能となる。よって、この場合には、上記曲げにより、分割ガラスフィルムがその幅方向に沿って凹状又は凸状に変形することで、その幅方向端部が幅方向中央寄りに移動することになる（後述する図４を参照）。これにより、上記所定の幅方向隙間を形成することができる。また、曲げ変形を生じた分割ガラスフィルムの割断面は、当該曲げ変形に伴いその向きを変えることになるので、割断面同士の擦れ合い等好ましくない干渉をより回避し易くなる。また、割断面同士の干渉が懸念される段階を経過した後には、曲げ状態を解消させることで、分割ガラスフィルムの表裏面が平坦な状態に戻る。そのため、ロール巻き取り等の後処理を滞りなく実施することができる。
　この場合、分割ガラスフィルムを、幅方向位置によって外径寸法の異なるローラで支持することにより、幅方向に沿った曲げを生じさせるようにしてもよい。あるいは、分割ガラスフィルムにおける幅方向の一部領域をローラで支持することで、幅方向に沿った曲げを生じさせるようにしてもよい。これらローラで支持することにより、上記幅方向に沿った曲げを分割ガラスフィルムに生じさせるようにすれば、特段の曲げ力を付与するための手段を搬送手段と別に設けずに済む。また、後述のように分割ガラスフィルムの幅方向の一部領域をローラで支持するようにすれば、ガラスフィルム表面との必要以上の接触を避けて、その品質（面精度など）を維持することができる。
　また、上述のように分割ガラスフィルムの幅方向の一部領域をローラで支持する場合、当該分割ガラスフィルムにおける幅方向両端部のみをローラで支持するようにしてもよい。このように支持することで、分割ガラスフィルムに対して、その自重による撓みでもって自然に幅方向に沿った曲げを生じさせることができる。
　以上、幅方向隙間を形成する手段として、分割ガラスフィルムに幅方向に沿った曲げを生じさせる場合について述べたが、もちろんこれ以外の手段を採用することも可能である。
　例えば、割断後のガラスフィルムを熱変形させることにより、所定の幅方向隙間を形成するようにしてもよい。この手段によれば、分割ガラスフィルムに対して何らの外力を加えることなく当該分割ガラスフィルムを送り方向に向けて搬送しつつ、所定の幅方向隙間を形成できる。上記熱変形は加熱及び／又は冷却に伴う熱膨張及び／又は熱収縮で付与するため、上記分割ガラスフィルムを平坦なままの状態で所定の幅方向隙間を形成することができる。さらに、曲げによる手段と異なり、その温度差のみで幅方向隙間の大きさを制御できるので、例えば厚み方向寸法に対する幅方向寸法の比など、ガラスフィルムの寸法上の制約を受けずに実施できる利点も有する。
　また、以上のように、所定の幅方向隙間を形成した後、隣り合う各分割ガラスフィルムの方向転換を行う際、当該方向変換の開始位置を、割断の開始位置からガラスフィルムの厚み寸法の５０倍以上離すようにしてもよい。この種の割断は、先に局部加熱された領域を冷却することにより初期クラックを連続して進展させ、これによりガラスフィルムの切断を行うものであるが、上記分割ガラスフィルムの方向転換開始位置（言い換えると分離作業を開始する位置）が割断開始位置に近いと、上記方向転換の際に分割ガラスフィルムに生じる曲げ応力が割断開始位置にまで及ぶこととなり、レーザー割断の際に生じる熱応力以外の応力が加わることで正確な割断作業が実施できないおそれが生じるところ、上記の離間距離を確保することで、この種の不具合を回避して、上記割断を安定して行うことができる。
　あるいは、上記方向転換を図った各分割ガラスフィルムをロール状に巻き取るようにしてもよい。この場合、上記幅方向隙間の形成が、割断開始位置から上記方向転換の開始位置までの間の領域において実施されることで、割断面同士の干渉を避けつつ隣り合う双方の分割ガラスフィルムをロール状に巻き取ることが可能となる。
　以上のように、本発明に係る割断方法によれば、割断面同士の干渉を避けつつも、安定したガラスフィルムの割断作業を連続的に行うことのできるガラスフィルムの割断方法を提供することが可能となる。
本発明の第１実施形態に係る割断方法を実施するための割断装置の一部を示す概略斜視図である。 第１実施形態に係る割断装置の全体構成を示す概略側面図である。 第１実施形態に係る割断方法により分割されるガラスフィルムの要部平面図である。 第１実施形態に係る割断方法による分割後に、ガラスフィルムの割断位置に所定の幅方向隙間を形成する工程の一例を説明するための要部断面図である。 ガラスフィルムの割断位置に所定の幅方向隙間を形成する工程の他の例を説明するための要部断面図である。 ガラスフィルムの割断位置に所定の幅方向隙間を形成する工程の他の例を説明するための要部断面図である。 ガラスフィルムの割断位置に所定の幅方向隙間を形成する工程の他の例を説明するための要部断面図である。 ガラスフィルムの割断位置に所定の幅方向隙間を形成する工程の他の例を説明するための要部断面図である。 本発明の第２実施形態に係る割断方法を説明するための図であって、当該割断方法により分割されるガラスフィルムの要部平面図である。 ガラスフィルムを連続的に供給する手法の変形例を示す割断装置の概略側面図である。 従来技術の問題点を説明するためのガラスフィルムの要部斜視図である。
　以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。なお、以下の実施形態においては、ＦＰＤや有機ＥＬ照明装置あるいは太陽電池に使用されるもので厚みが３００μｍ以下、好ましくは２００μｍ以下、更に好ましくは１００μｍ以下のガラスフィルムを対象とする。また、本発明に関する以下の説明の理解を容易にするため、添付図面においては、ガラスフィルムの厚みを誇張して図示している。
　図１は、本発明の第１実施形態に係るガラスフィルムの割断方法を実施するための割断装置を示す概略斜視図である。この割断装置１は、ガラスフィルムＧを所定の送り方向ａに向けて搬送する搬送手段２と、この搬送手段２上に横姿勢（例えば、水平姿勢）で載置されたガラスフィルムＧに表面側からレーザーＬを照射して局部加熱を施す局部加熱手段３と、この局部加熱手段３により加熱された局部加熱領域Ｈに表面側から冷却水Ｗを噴射する冷却手段４、および、後述する隙間形成手段５とを主に備えている。
　なお、この実施形態では、局部加熱手段３として、炭酸ガスレーザーが使用されているが、電熱線や熱風噴射などの他の局部加熱を実施し得る手段を用いてもよい。また、冷却手段４は、エアー圧等により冷却水Ｗを冷媒として噴射するものであるが、この冷媒は、冷却水以外の冷却液、またはエアーや不活性ガス等の気体、若しくは気体と液体を混合したもの、更にはドライアイスや氷等の固体と前記気体及び／又は前記液体とを混合したもの等であってもよい。
　搬送手段２は、ガラスフィルムＧを支持して搬送するコンベア６で構成される。このコンベア６の搬送ベルト７は、ガラスフィルムＧを割断予定線８に沿う所定の送り方向ａに向けて搬送する向きに駆動される。なお、この搬送ベルト７は、その外側表面がガラスフィルムＧを吸着等により保持する支持面とされていてもよい。また、搬送ベルト７（コンベア６）により支持する領域はガラスフィルムＧの幅方向全領域には限定されない。例えば、図示は省略するが、ガラスフィルムＧの割断予定線８の裏面側に、コンベア６の送り方向全長に亘って所定の空間が形成されるように、ガラスフィルムＧの幅方向両側部分を一対のコンベア６で支持するようにしてもよい。これは、局部加熱手段３による加熱や、冷却手段４による冷却によって生じる熱エネルギーが、搬送ベルト７に吸収されて熱効率が低下するのを抑制するためである。
　隙間形成手段５は、この実施形態では、複数の搬送ローラ９で構成されると共に、これら複数の搬送ローラ９はローラコンベアとして、コンベア６と共にガラスフィルムＧの搬送手段２を構成している。すなわち、割断される前の段階のガラスフィルムＧを搬送ベルト７を有するコンベア６で支持しながら送り方向ａに搬送すると共に、割断後のガラスフィルムＧ（分割ガラスフィルム１０）を複数の搬送ローラ９からなるローラコンベアで同方向に搬送するようになっている。ここで、複数の搬送ローラ９は、図４に示すように、割断により分割された各分割ガラスフィルム１０を支持するもので、例えばこの図示例のように、１つの分割ガラスフィルム１０の幅方向両端部を２個の搬送ローラ９で支持するようになっている。そのため、分割ガラスフィルム１０の数の２倍の搬送ローラ９が一列に配置されると共に、送り方向ａに沿って上記一列に配置された複数個（この図示例では４個）の搬送ローラ９が１列又は複数列（この図示例では４列）にわたって配置される。
　上記構成の割断装置１において、コンベア６の搬送ベルト７を所定の向きに駆動させ、ガラスフィルムＧを所定の送り方向ａに搬送することにより、局部加熱手段３から照射されたレーザーＬを、冷却手段４からの冷却水Ｗの噴射に先立ってガラスフィルムＧの割断予定線８上を一端部側から走査していく。これにより、上記レーザーＬの照射位置に局部加熱領域Ｈが形成されると共に、この局部加熱領域Ｈが送り方向ａに沿って所定距離搬送された位置（すなわち、局部加熱領域Ｈのうち冷却水Ｗの供給を受けた位置）において局部冷却領域Ｃとなる。この場合、例えば図示は省略するが、ガラスフィルムＧの長手方向の一端部における割断予定線８上に、予め初期亀裂（初期クラック）を形成しておくことにより、上述の局部加熱領域Ｈと局部冷却領域Ｃとの形成時に発生する熱応力によって初期亀裂が進展する。これにより、割断予定線８上に表面から裏面に貫通する割断面１１が形成され、ガラスフィルムＧが割断予定線８に沿って連続的に割断（いわゆるフルボディ割断）される。また、ガラスフィルムＧの平坦度を保った状態で割断されるので、レーザー等を用いた局部加熱手段３や冷却手段４とガラスフィルムＧとの距離を正確に保って、精密な割断作業を実施することができる。特に、ガラスフィルムＧを搬送ベルト７に吸着保持した状態で搬送する場合には、より安定した状態で割断作業を行うことが可能となる。
　以上のようにして割断されることにより、当該割断されたガラスフィルムＧは複数の分割ガラスフィルム１０（この図示例では２つ）に分割される。そして、これら分割ガラスフィルム１０は、コンベア６の下流側に位置する複数の搬送ローラ９によって引き続き所定の送り方向ａに搬送される。この状態において、各分割ガラスフィルム１０の割断面１１同士は幅方向に極近接しており、相互間の移動により割断面１１間の干渉が生じるおそれがある。ここで、各分割ガラスフィルム１０を搬送する複数の搬送ローラ９は隙間形成手段５を構成しており、分割ガラスフィルム１０の搬送に伴い、各分割ガラスフィルム１０の相互間に所定の幅方向隙間を形成する。具体的には、図４に示すように、隙間形成手段５を構成する複数の搬送ローラ９で各分割ガラスフィルム１０の幅方向両端部を支持することにより、当該分割ガラスフィルム１０に自重による撓みが生じ、その結果、幅方向に沿った曲げが生じる。このようにして分割ガラスフィルム１０に幅方向の曲げを生じさせることで、双方の幅方向端部１０ａが幅方向中央部１０ｂ寄りに移動し、当該移動量の分だけ、双方の分割ガラスフィルム１０相互間に所定の幅方向隙間Ｓが形成される。この実施形態では、所定の速度でガラスフィルムＧないし分割ガラスフィルム１０が所定の送り方向ａに搬送されることから、上記搬送ローラ９による幅方向に沿った曲げも搬送に伴って大きくなり、結果、図３に示すように、幅方向に隣り合う分割ガラスフィルム１０相互間の幅方向隙間も送り方向ａの下流側に向けて徐々に拡がって行く。そのため、搬送ローラ９による搬送開始位置から送り方向ａに所定の距離だけ進んだ位置では、その後の搬送工程において、分割ガラスフィルム１０同士が実質的に干渉を生じない程度の大きさの幅方向隙間Ｓが確保される。
　然る後、図１及び図２に示すように、隣り合う分割ガラスフィルム１０を、その幅方向相対位置を変えることなく表裏方向に離反する向きに送り出し（方向転換を開始し）、搬送ローラ９（搬送手段２）の下流側に配置された２本の巻芯１２のまわりにそれぞれロール状に巻き取る。このように、隣り合う分割ガラスフィルム１０の相互間に所定の幅方向隙間Ｓを形成した後に、分割ガラスフィルム１０の方向転換（分離作業）を開始することで、分割ガラスフィルム１０の割断面１１同士が擦れ合う等して干渉する事態を可及的に回避して、微小な欠陥の発生を抑えることができる。従って、分割後の搬送時ないし上記巻取り時に、微小欠陥の存在に起因して分割ガラスフィルム１０に破損が生じる可能性を低減することができ、これにより、最終製品となる２つのガラスフィルムロール１３を歩留まり良く得ることができる。
　また、この際、各分割ガラスフィルム１０の方向転換開始位置、言い換えると分離開始位置Ｘ1を、割断面１１が形成され始めた位置（割断開始位置）Ｘ2から送り方向ａにガラスフィルムＧの厚み寸法の５０倍以上離しておくことで、上述した分離作業の際、分割ガラスフィルム１０の送り方向を変えることにより生じる曲げ応力が、割断開始位置Ｘ2にまで実質的に及ばないようにして、当該割断を安定して行うことができる。この実施形態では、割断開始位置Ｘ2よりも送り方向ａの下流側に隙間形成手段５としての複数の搬送ローラ９を配置し、かつこれら搬送ローラ９の更に下流側に上記分離開始位置Ｘ1）を設けていることから、位置Ｘ1，Ｘ2間の距離Ｄは、上記離間距離に関する条件を確実に満たす。なお、上記の距離Ｄは、好ましくはガラスフィルムＧの厚み寸法の１００倍以上、より好ましくは５００倍以上に設定されるのがよい。
　この実施形態では、一方の分割ガラスフィルム１０（図１中右下側の分割ガラスフィルム１０）の軌道は、上記分離工程の前後で変化させずに、他方の分割ガラスフィルム１０（図１中左上側の分割ガラスフィルム１０）の軌道のみを、この一方の分割ガラスフィルム１０の軌道に対して相対的に上方に変化させることで、上記の向きに搬送しているが、もちろん、双方の分割ガラスフィルム１０の軌道を共に変化させることで、上記の向きに搬送するようにしてもよい。
　また、図２に示すように、本実施形態では、各保護シート巻回体１４から引き出された保護シート１５が、それぞれの分割ガラスフィルム１０の裏面側（又は表面側）に重ねられた状態で、当該分割ガラスフィルム１０を巻芯１２まわりに巻き取っているが、場合によっては、保護シート１５を省略してもよい。
　また、同図に示すように、第１実施形態に係る割断装置１は、コンベア６の上流側に、割断前のガラスフィルムＧを巻芯１６の回りにロール状に巻き取ってなる元ガラスフィルムロール１７を更に備えてもよく、この元ガラスフィルムロール１７から引き出したガラスフィルムＧがコンベア６によって水平な送り方向ａに沿って連続的に送られるものであってもよい。なお、この実施形態では、元ガラスフィルムロール１７に含まれるガラスフィルムＧの裏面側（又は表面側）には保護シート１８が予め重ねられており、元ガラスフィルムロール１７からガラスフィルムＧを引き出す際に、この保護シート１８が保護シート巻回体１９に巻き取られながらガラスフィルムＧの裏面（又は表面）から引き剥がされる。
　以上、本発明に係るガラスフィルムの割断方法および割断装置の一実施形態を説明したが、この割断方法および割断装置は当然に、上記例示の形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内において任意の形態を採り得る。
　例えば、隙間形成手段５を、複数の搬送ローラ９で分割ガラスフィルム１０を幅方向所定位置で支持することにより構成する場合、図４に示す一例以外の構成を採ることも当然に可能である。以下、その例（変形例）を図面に基づき説明する。
　図５は、第１実施形態に係る割断方法でガラスフィルムＧを３分割する場合に採用し得る隙間形成手段５の他の構成例を示している。この隙間形成手段５は、幅方向に３分割された分割ガラスフィルム１０を何れもその幅方向両端部１０ａで支持しながら送り方向ａ（図１を参照）に向けて搬送する複数の搬送ローラ９ａ，９ｂで構成されている。このうち、幅方向には１枚の分割ガラスフィルム１０につき２個、３枚で計６個の搬送ローラ９ａ，９ｂが配設されると共に、幅方向中央の分割ガラスフィルム１０を支持する第２の搬送ローラ９ｂは、その幅方向両側に位置する分割ガラスフィルム１０を支持する第１の搬送ローラ９ａに比べてそのローラ径を小さく設定している。このようにすれば、隣り合う分割ガラスフィルム１０間に所定の幅方向隙間Ｓが形成されると共に、双方の幅方向端部１０ａをその厚み方向（ここでは鉛直方向）にずらすことができる。そのため、割断面１１同士の干渉をより高い確率で回避することが可能となる。また、各搬送ローラ９ａ，９ｂを同一の回転軸部材２０とすることで、隙間形成手段５の構成を簡素化できる。なお、この形態の隙間形成手段５を使用する場合、コンベア６から搬送ローラ９ａ，９ｂ（特に幅方向中央の第２の搬送ローラ９ｂ）への分割ガラスフィルム１０の移載時に、幅方向に極近接する割断面１１同士の擦れ合いを防止するため、まず、図４に示す同一径の搬送ローラ９を用いて上記３枚の分割ガラスフィルム１０を搬送支持し、ある程度の幅方向隙間を形成した時点で、図５に示す隙間形成手段５（搬送ローラ９ａ，９ｂ）に上記分割ガラスフィルム１０を移載するのがよい。
　もちろん、割断により幅方向に分割された全ての分割ガラスフィルム１０をその幅方向両端部１０ａでローラ支持する必要はなく、以後の搬送を不具合なく行い得るために必要な大きさの幅方向隙間が確保できる限りにおいて、その一部の分割ガラスフィルム１０のみをその幅方向両端部１０ａ，１０ａでローラ支持するようにしてもよい。図６はその一例を示すもので、同図に示す隙間形成手段５は、第１実施形態に係る割断方法により３分割された分割ガラスフィルム１０のうち幅方向中央に位置する分割ガラスフィルム１０の幅方向両端部１０ａのみを支持する搬送ローラ９で構成されており、残る幅方向両側の分割ガラスフィルム１０はそれぞれ、コンベア６（図１及び図２を参照）と同じ高さの搬送ベルト７（を有するベルトコンベア）でその幅方向全域にわたって面支持されている。
　また、以上の説明では、分割ガラスフィルム１０の幅方向両端部１０ａを支持する搬送ローラ９（９ａ，９ｂ）で隙間形成手段５を構成した場合を説明したが、例えば、分割ガラスフィルム１０の幅方向中央部１０ｂのみをローラ支持することにより隙間形成手段５を構成するようにしても構わない。図７はその一例を示すもので、同図に示す搬送ローラ９ｃは、その回転軸方向中央部をその両端部に比べて僅かに大径とした略太鼓状を呈すると共に、割断により幅方向に分割された分割ガラスフィルム１０の幅方向中央部１０ｂを支持するようになっている。このような搬送ローラ９ｃで構成される隙間形成手段５を用いた場合、支持された分割ガラスフィルム１０は、被支持面とは反対側に凸となる向きに撓み、これにより幅方向に沿った曲げを生じる。従って、この場合においても、上記支持に係る分割ガラスフィルム１０の双方の幅方向端部１０ａが幅方向中央部１０ｂ寄りに移動し、当該移動量に見合った分の幅方向隙間が隣り合う分割ガラスフィルム１０の相互間に形成される。
　また、以上の説明では、分割ガラスフィルム１０の幅方向一部領域をローラ支持することで隙間形成手段５を構成した場合を説明したが、当然の如く、その幅方向の略全域をローラ支持することにより隙間形成手段５を構成するようにしても構わない。図８はその一例を示すもので、同図に係る搬送ローラ９は、被支持体となる分割ガラスフィルム１０の幅方向両端部１０ａを支持する大径部９ｄと、該大径部９ｄに比べて小径でかつ上記分割ガラスフィルム１０の幅方向両端部１０ａを除く大部分を支持する小径部９ｅとを一体的に有する。このように、ローラ径の異なる部位９ｄ，９ｅを一体的に有する搬送ローラ９で分割ガラスフィルム１０を支持することにより、隣り合う一方の分割ガラスフィルム１０の幅方向両端部１０ａに所定の曲げ変形を生じさせ、これにより他方の分割ガラスフィルム１０との間に所定の幅方向隙間を形成することができる。もちろん、小径部９ｅに相当する径のローラの幅方向両側に大径部９ｄに相当する径のローラを回転軸が重なるように配設することも可能である。この場合、双方のローラを互いに独立して回転可能とすることで、夫々が分割ガラスフィルム１０の送り速度に合わせて回転するので、一体的に回転させる場合に搬送ローラ９と分割ガラスフィルム１０とが擦れる心配もない。
　なお、上記何れの形態を採る場合においても、各搬送ローラ９（９ａ～９ｅ）で支持された状態における分割ガラスフィルム１０の幅方向両端部１０ａと幅方向中央部１０ｂとの厚み方向位置（ここでは鉛直方向位置）の差が、ガラスフィルムＧの厚み寸法の１倍以上でかつ当該分割ガラスフィルム１０の幅方向寸法の０．０１倍以下となるように、ローラ径や支持面となる外周面の形状、幅方向支持位置などを設定するのがよい。上記幅方向両端部１０ａと幅方向中央部１０ｂとの厚み方向位置の差がガラスフィルムＧの厚み寸法の１倍未満だと、当該曲げを生じた一方の分割ガラスフィルム１０の割断面１１と、この分割ガラスフィルム１０に隣り合う他方の分割ガラスフィルム１０の割断面１１とが接触する可能性が残るためである。また、上記厚み方向位置の差が分割ガラスフィルム１０の幅方向寸法の０．０１倍を上回ると、分割ガラスフィルム１０の幅方向の反りの度合いが大き過ぎるために、当該曲げを生じた状態の分割ガラスフィルム１０に対して更に搬送方向に沿った曲げを生じさせることが困難となるためである。
　また、以上の説明では、分割ガラスフィルム１０を支持する搬送ローラ９（９ａ～９ｅ）で隙間形成手段５を構成した場合、すなわち、隙間形成手段５が搬送手段２を兼ねる場合を説明したが、もちろん、隙間形成手段５を搬送手段２とは別に設けることも可能である。
　図９は、本発明の第２実施形態に係るガラスフィルムの割断方法の概略を説明するための図であって、当該割断に係るガラスフィルムＧを平面視した図を示している。同図に示すように、この実施形態において、隙間形成手段５は、局部加熱及び冷却で生じた熱応力による割断の前にガラスフィルムＧをその幅方向全域にわたって加熱する全域加熱装置（図示は省略）と、上記割断により分割された分割ガラスフィルム１０をその幅方向全域にわたって冷却する全域冷却装置（図示は省略）とを備え、これら加熱・冷却装置により、割断前のガラスフィルムＧに幅方向全域に及ぶ加熱領域２１と、割断後の全ての分割ガラスフィルム１０の幅方向全域に及ぶ冷却領域２２とを生じさせるものである。そして、このようにして生じさせた加熱領域２１及び冷却領域２２の温度差を所定の値ないし範囲内に設定することで、割断の前後でガラスフィルムＧ（又はその分割ガラスフィルム１０）に所定の温度低下を付与する。これにより、分割ガラスフィルム１０が温度低下量に応じて幅方向に熱収縮し（同図中２点鎖線から実線で示す位置まで）、隣り合う分割ガラスフィルム１０相互間に所定の幅方向隙間Ｓが形成される。
　このように、分割ガラスフィルム１０に熱変形を与えることで、所定の幅方向隙間を形成するようにすれば、ガラスフィルムＧ（の分割ガラスフィルム１０）に何らかの部材を接触させることなく幅方向隙間Ｓを形成できるので、分割ガラスフィルム１０に不要な傷や異物の付着が生じる事態を回避できる。また、分割ガラスフィルム１０の分離開始位置Ｘ1までコンベア６で搬送することができるので、搬送ローラ９を省略して、搬送手段２の簡素化を図ることができる。もちろん、第１実施形態に係る割断方法（曲げによる幅隙間形成手法）に、本実施形態（第２実施形態）に係る割断方法（熱収縮による幅隙間形成手法）を組合せることで、より大きな幅方向隙間Ｓを形成することができる。
　なお、この図示例では、加熱領域２１及び冷却領域２２をガラスフィルムＧの幅方向全域にわたって形成しているが、例えば図示のようにガラスフィルムＧを割断により３分割する場合、幅方向中央の分割ガラスフィルム１０のみの幅方向全域に冷却領域２２が形成されるようにしてもよい。また、ガラスフィルムＧが例えば後述する成形工程中において割断される場合、当該ガラスフィルムＧが所定の温度（例えば１００℃程度）を有する段階で割断し、然る後、上述の冷却領域２２を設けるようにしても、所定の温度低下をガラスフィルムＧ（ないしその分割ガラスフィルム１０）に付与することができ、これにより所定の幅方向隙間Ｓを形成することができる。また、その場合、加熱領域２１は省略できる。
　以上は、分割前のガラスフィルムＧを均一に加熱し、分割ガラスフィルム１０を均一に冷却して、所定の幅方向隙間Ｓを形成するものであるが、分割ガラスフィルム１０の一面（表面又は裏面）を加熱し、他面を冷却して、分割ガラスフィルム１０の厚み方向に温度勾配を設けるようにしてもよい。このようにすることで、分割ガラスフィルム１０は熱膨張及び熱収縮により、あたかも図４に示すような形状に変形するので、この方法によっても所定の幅方向隙間Ｓを形成することができる。
　また、以上に述べた手段以外にも、例えば割断面の化学的溶解により所定の幅方向隙間を形成するような方法も考えられる。この場合、例えば所定の濃度（１０％程度）のフッ酸水溶液又はフツ硫酸水溶液を隣り合う各分割ガラスフィルム１０の割断面１１間に向けてノズル噴射し、これにより割断面１１相互間に幅方向隙間を形成し、拡げる方法を一例として挙げることができる。この手法は、既述した何れか一方又は双方の隙間形成手段５と組合せることでより有効に作用する。
　また、上記実施形態では、元ガラスフィルムロール１７からガラスフィルムＧを引き出すことにより、ガラスフィルムＧを連続的に供給する場合を説明したが、図１０に示すように、図示しない溶融ガラスからのダウンドロー法（オーバーフローダウンドロー法や、スロットダウンドロー法など）によるか、ガラス板を再加熱するダウンドロー法（リドロー法）によりガラスフィルムＧを成形する成形装置２３から下方に引き出されたガラスフィルムＧを複数の変換ローラ２４によって滑らかに湾曲させることで、コンベア６に対して横方向に送るようにしてもよい。
　また、上記実施形態では、割断により分割した全ての分割ガラスフィルム１０を最終的に製品としてロール状に巻き取る場合を説明したが、本発明に係る割断方法は、ガラスフィルムＧの端縁部（いわゆる耳部）の切断分離にも適用できることはもちろんである。
１　　　割断装置
２　　　搬送手段
３　　　局部加熱手段
４　　　冷却手段
５　　　隙間形成手段
６　　　コンベア
７　　　搬送ベルト
８　　　割断予定線
９，９ａ，９ｂ，９ｃ　搬送ローラ
９ｄ　　大径部
９ｅ　　小径部
１０　　分割ガラスフィルム
１０ａ　幅方向端部
１０ｂ　幅方向中央部
１１　　割断面
１２　　巻芯
１３　　ガラスフィルムロール
１４　　保護シート巻回体
１５　　保護シート
１６　　巻芯
１７　　元ガラスフィルムロール
１８　　保護シート
１９　　保護シート巻回体
２０　　回転軸部材
２１　　加熱領域
２２　　冷却領域
２３　　成形装置
２４　　変換ローラ
ａ　　　送り方向
Ｃ　　　局部冷却領域
Ｄ　　　距離
Ｇ　　　ガラスフィルム
Ｈ　　　局部加熱領域
Ｌ　　　レーザー
Ｓ　　　幅方向隙間
Ｗ　　　冷却水
Ｘ1　　分離開始位置
Ｘ2　　割断開始位置

Claims (7)

  1. 　ガラスフィルムを所定の方向に送りながら、該送り方向に伸びる割断予定線に沿って局部加熱しかつ該加熱領域を冷却することで発生する熱応力により、前記割断予定線に沿って前記ガラスフィルムを連続的に割断して、該ガラスフィルムを幅方向に分割すると共に、該分割後に隣り合う各分割ガラスフィルムをその表裏方向に離反するように方向変換させるガラスフィルムの割断方法において、
    　前記分割後でかつ前記方向変換前に、前記各分割ガラスフィルムの相互間に所定の幅方向隙間を形成することを特徴とするガラスフィルムの割断方法。
  2. 　前記少なくとも一つの分割ガラスフィルムに、その幅方向に沿った曲げを生じさせることにより、前記所定の幅方向隙間を形成する請求項１に記載のガラスフィルムの割断方法。
  3. 　前記分割ガラスフィルムを、幅方向位置によって外径寸法の異なるローラで支持することにより、前記幅方向に沿った曲げを生じさせる請求項２に記載のガラスフィルムの割断方法。
  4. 　前記分割ガラスフィルムにおける幅方向の一部領域をローラで支持することで、前記幅方向に沿った曲げを生じさせる請求項２に記載のガラスフィルムの割断方法。
  5. 　前記分割ガラスフィルムにおける幅方向両端部のみをローラで支持する請求項４に記載のガラスフィルムの割断方法。
  6. 　前記割断後のガラスフィルムを熱変形させることにより、前記所定の幅方向隙間を形成する請求項１に記載のガラスフィルムの割断方法。
  7. 　前記隣り合う各分割ガラスフィルムの方向変換の開始位置を、前記割断の開始位置から前記ガラスフィルムの厚み寸法の５０倍以上離した請求項１～６の何れかに記載のガラスフィルムの割断方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2799404A4 (en) * 2011-12-26 2015-08-26 Nippon Electric Glass Co METHOD FOR THE PRODUCTION OF BANDED GLASS
US9809483B2 (en) 2012-09-26 2017-11-07 Corning Incorporated Apparatus and method for making and separating a flexible ribbon configuration
US9834389B2 (en) 2012-11-29 2017-12-05 Corning Incorporated Methods and apparatus for fabricating glass ribbon of varying widths

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5669001B2 (ja) * 2010-07-22 2015-02-12 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムの割断方法、ガラスロールの製造方法、及びガラスフィルムの割断装置
JP5617556B2 (ja) * 2010-11-22 2014-11-05 日本電気硝子株式会社 帯状ガラスフィルム割断装置及び帯状ガラスフィルム割断方法
JP5679324B2 (ja) * 2011-05-19 2015-03-04 日本電気硝子株式会社 ガラスロールの製造方法および製造装置
CN103313946B (zh) * 2011-06-08 2016-11-23 日本电气硝子株式会社 板状玻璃的切断方法
JP5888158B2 (ja) * 2012-04-05 2016-03-16 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムの割断方法
US8940123B2 (en) * 2012-04-27 2015-01-27 Web Industries, Inc. Prepreg tape slitting apparatus and method
CN102749746B (zh) * 2012-06-21 2015-02-18 深圳市华星光电技术有限公司 液晶基板切割装置及液晶基板切割方法
JP5888176B2 (ja) * 2012-08-09 2016-03-16 日本電気硝子株式会社 強化ガラスの割断方法
TW201412658A (zh) * 2012-09-26 2014-04-01 Corning Inc 用於可撓式玻璃帶之邊緣修正管理
US9216924B2 (en) * 2012-11-09 2015-12-22 Corning Incorporated Methods of processing a glass ribbon
CN104619658B (zh) * 2012-11-13 2017-10-20 日本电气硝子株式会社 平板玻璃的制造方法以及制造装置
US9212081B2 (en) * 2012-11-21 2015-12-15 Corning Incorporated Methods of cutting a laminate strengthened glass substrate
CN107382048B (zh) * 2013-08-28 2020-03-27 日本电气硝子株式会社 玻璃膜带制造方法以及玻璃膜带制造装置
WO2015084668A1 (en) 2013-12-03 2015-06-11 Corning Incorporated Apparatus and method for severing a glass sheet
CN105960383B (zh) 2013-12-03 2019-10-18 康宁股份有限公司 用于切割无机材料的移动带的装置和方法
US20170066679A1 (en) * 2014-03-04 2017-03-09 Saint-Gobain Glass France Method for cutting a laminated ultra-thin glass layer
CN103896483B (zh) * 2014-03-27 2016-08-17 深圳市华星光电技术有限公司 一种玻璃基板切割设备及切割方法
WO2016033040A1 (en) 2014-08-28 2016-03-03 Corning Incorporated Apparatus and method for cutting a glass sheet
JP6424674B2 (ja) 2015-02-25 2018-11-21 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムの割断方法
US10793462B2 (en) 2015-07-07 2020-10-06 Corning Incorporated Apparatuses and methods for heating moving glass ribbons at separation lines and/or for separating glass sheets from glass ribbons
CN106604898B (zh) 2015-08-10 2021-06-04 法国圣戈班玻璃厂 用于切割薄玻璃层的方法
KR102400342B1 (ko) * 2016-12-06 2022-05-20 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 띠 형상 유리 필름의 품질 검사 방법, 및 유리 롤
JP6929525B2 (ja) * 2017-02-07 2021-09-01 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムの製造方法
JP7365002B2 (ja) * 2019-12-24 2023-10-19 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムの製造装置
JPWO2021141022A1 (ja) * 2020-01-08 2021-07-15
JP7316550B2 (ja) 2020-01-08 2023-07-28 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムの製造装置
KR20230010130A (ko) * 2021-07-09 2023-01-18 코닝 인코포레이티드 유리 와인딩 시스템, 유리 롤들을 형성하기 위한 시스템 및 방법
CN114291630A (zh) * 2022-01-20 2022-04-08 郑州中远防务材料有限公司 一种单向拉伸薄膜无器具分切设备及方法
US11978820B2 (en) * 2022-09-20 2024-05-07 Semivation, LLC Thin single-crystal silicon solar cells mounted to a structural support member and method of fabricating

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4975622A (ja) 1972-10-12 1974-07-22
JPH08231239A (ja) * 1994-12-27 1996-09-10 Asahi Glass Co Ltd ガラスリボンの割断方法およびそのための装置
JPH0952725A (ja) * 1995-08-11 1997-02-25 Nippon Electric Glass Co Ltd 薄板ガラスの切断方法及び装置
JP2000335928A (ja) 1999-04-27 2000-12-05 Carl Zeiss:Fa 個別のガラス板を製造する方法及び装置
JP2007260749A (ja) * 2006-03-29 2007-10-11 Toshiba Corp レーザ加工方法、レーザ加工装置及び脆性材料の加工品
JP2010105900A (ja) * 2008-10-01 2010-05-13 Nippon Electric Glass Co Ltd ガラスロール及びその製造方法

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1246481A (en) * 1968-03-29 1971-09-15 Pilkington Brothers Ltd Improvements in or relating to the cutting of glass
US3871855A (en) * 1973-07-05 1975-03-18 Ppg Industries Inc Apparatus for roll-press forming heat-softened glass sheets
US3929441A (en) * 1974-07-10 1975-12-30 Ppg Industries Inc Roll forming heat-softened glass sheets
US4018372A (en) * 1975-12-05 1977-04-19 The Fletcher-Terry Company Glass cutting method and apparatus
US4139359A (en) * 1977-11-02 1979-02-13 Ppg Industries, Inc. Method and apparatus for shaping glass sheets by roll forming
US4218232A (en) * 1979-01-18 1980-08-19 Ppg Industries, Inc. Method of shaping moving sheets on roll forming apparatus
US4311509A (en) * 1980-09-26 1982-01-19 Ppg Industries, Inc. Apparatus for conveying glass sheets
US5871134A (en) 1994-12-27 1999-02-16 Asahi Glass Company Ltd. Method and apparatus for breaking and cutting a glass ribbon
US5992180A (en) * 1997-08-06 1999-11-30 Asahi Glass Company Ltd. Method and apparatus for bend-shaping a glass plate
JPH11240730A (ja) * 1998-02-27 1999-09-07 Nec Kansai Ltd 脆性材料の割断方法
US6363753B1 (en) * 1998-12-03 2002-04-02 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Curved glass manufacturing apparatus with improved bending and conveyor units
DE19952331C1 (de) 1999-10-29 2001-08-30 Schott Spezialglas Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum schnellen Schneiden eines Werkstücks aus sprödbrüchigem Werkstoff mittels Laserstrahlen
MXPA03002331A (es) * 2001-07-18 2003-07-18 Asahi Glass Co Ltd Aparato para flexionar una hoja de vidrio y rodillo curvo.
KR100786179B1 (ko) 2002-02-02 2007-12-18 삼성전자주식회사 비금속 기판 절단 방법 및 장치
FR2852951B1 (fr) * 2003-03-26 2007-02-16 Saint Gobain Procede de bombage de feuilles de verre par pressage et aspiration
JP4200177B2 (ja) 2004-08-06 2008-12-24 浜松ホトニクス株式会社 レーザ加工方法及び半導体装置
JP4722054B2 (ja) * 2004-10-25 2011-07-13 三星ダイヤモンド工業株式会社 クラック形成方法およびクラック形成装置
JP4890462B2 (ja) * 2005-10-28 2012-03-07 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性材料基板のスクライブライン形成方法およびスクライブライン形成装置
JP4675786B2 (ja) * 2006-01-20 2011-04-27 株式会社東芝 レーザー割断装置、割断方法
JP2007301624A (ja) 2006-05-15 2007-11-22 Shibaura Mechatronics Corp 割断装置及び割断方法
CN100581709C (zh) 2006-12-13 2010-01-20 富士迈半导体精密工业（上海）有限公司 激光切割系统及切割方法
JP4962365B2 (ja) * 2008-03-14 2012-06-27 旭硝子株式会社 ガラス板の曲げ成形方法及び曲げ成形装置
JP5532507B2 (ja) 2008-10-01 2014-06-25 日本電気硝子株式会社 ガラスロール及びガラスロールの処理方法
JP5788134B2 (ja) 2008-10-01 2015-09-30 日本電気硝子株式会社 ガラスロール及びガラスロールの製造方法
JP5691148B2 (ja) * 2008-10-01 2015-04-01 日本電気硝子株式会社 ガラスロール、ガラスロールの製造装置、及びガラスロールの製造方法
JP5532506B2 (ja) 2008-10-01 2014-06-25 日本電気硝子株式会社 ガラスロール
JP5435267B2 (ja) * 2008-10-01 2014-03-05 日本電気硝子株式会社 ガラスロール、ガラスロールの製造装置、及びガラスロールの製造方法
US8171753B2 (en) * 2009-11-18 2012-05-08 Corning Incorporated Method for cutting a brittle material

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4975622A (ja) 1972-10-12 1974-07-22
JPH08231239A (ja) * 1994-12-27 1996-09-10 Asahi Glass Co Ltd ガラスリボンの割断方法およびそのための装置
JPH0952725A (ja) * 1995-08-11 1997-02-25 Nippon Electric Glass Co Ltd 薄板ガラスの切断方法及び装置
JP2000335928A (ja) 1999-04-27 2000-12-05 Carl Zeiss:Fa 個別のガラス板を製造する方法及び装置
JP2007260749A (ja) * 2006-03-29 2007-10-11 Toshiba Corp レーザ加工方法、レーザ加工装置及び脆性材料の加工品
JP2010105900A (ja) * 2008-10-01 2010-05-13 Nippon Electric Glass Co Ltd ガラスロール及びその製造方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP2548852A4 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2799404A4 (en) * 2011-12-26 2015-08-26 Nippon Electric Glass Co METHOD FOR THE PRODUCTION OF BANDED GLASS
US9809483B2 (en) 2012-09-26 2017-11-07 Corning Incorporated Apparatus and method for making and separating a flexible ribbon configuration
US9834389B2 (en) 2012-11-29 2017-12-05 Corning Incorporated Methods and apparatus for fabricating glass ribbon of varying widths

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