WO2012007381A1 - Träger für einen siliziumblock, trägeranordnung mit einem solchen träger und verfahren zur herstellung einer solchen trägeranordnung - Google Patents

Träger für einen siliziumblock, trägeranordnung mit einem solchen träger und verfahren zur herstellung einer solchen trägeranordnung Download PDF

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WO2012007381A1 PCT/EP2011/061606 EP2011061606W WO2012007381A1 WO 2012007381 A1 WO2012007381 A1 WO 2012007381A1 EP 2011061606 W EP2011061606 W EP 2011061606W WO 2012007381 A1 WO2012007381 A1 WO 2012007381A1
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carrier
channels
silicon block
grooves
depressions
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PCT/EP2011/061606
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Michael Essich
Marc Schuster
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Gebr. Schmid Gmbh & Co.
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    • B28D7/04—Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups for supporting or holding work or conveying or discharging work

Definitions

  • the invention relates to a support for a silicon block, a carrier assembly and a method for producing such a carrier assembly.
  • the invention has for its object to provide a support mentioned above, a corresponding carrier assembly and a method for producing such a carrier assembly with which probable
  • the prior art can be achieved and, in particular, an advantageous, inexpensive and process-reliable method can be created for producing and using such a carrier.
  • the carrier is designed to be fixedly connected as part of a carrier arrangement with a silicon block, which is usually quite heavy and weighs a few kg.
  • the carrier does not even have to be firmly connected directly to the silicon block or it is envisaged that it will not be connected directly to the silicon block.
  • a later explained in more detail carrier base is advantageously provided, which is attached to the bottom of the carrier, and on this support base in turn, the silicon block is fixed, in particular glued in a known manner.
  • the carrier assembly is therefore divided into two parts in the sense that the one-piece carrier in the aforementioned prior art now consists of two parts, namely the carrier and the carrier base.
  • the carrier as part of the carrier assembly may be connected to the carrier base and this unit in turn may be connected to the heavy silicon block.
  • the carrier itself can be designed to be attached to movement devices, with which it is retracted into a saw or a cleaning device, advantageously by fastening means such as screwing or the like.
  • the carrier At its pointing to the silicon block underside, the carrier has a plurality of wells, Channels or cuts on. These are open at the bottom at the bottom. They are then later closed or covered by the carrier base and, so to speak, are transformed from open channels that are easy to produce to integrated inner longitudinal channels, which in turn are much more difficult to produce on their own.
  • the carrier lower part with the silicon block in turn is intended to be sawn during sawing down to the recesses mentioned and in any case until complete separation of the individual wafers.
  • the carrier with a carrier lower part together forms a carrier arrangement, as is known in one-piece form from the aforementioned prior art.
  • a plurality of parallel open channels are provided in the manner of grooves in the underside of the carrier. Particularly advantageous they run along the longitudinal direction of the carrier and may preferably have regular distances from one another. Thus, for example, it may be 4 to 10 depressions or channels, which advantageously extend at the same distance from one another along the longitudinal direction of the carrier.
  • the underside of the carrier is flat or flat except for the recesses, channels or cuts mentioned. It can be provided that the carrier has a substantially constant thickness and in particular is a kind of plate. It is advantageous as in the known carrier arrangements - - oblong and rectangular, as otherwise usually the silicon blocks.
  • the carrier fastening means On the upper side of the carrier fastening means may be provided in an embodiment of the invention, with which the carrier can be attached to an aforementioned movement device or a handling device. The composite of carrier assembly and silicon block can then be gripped and moved on the attachment means.
  • the fastening means are designed as fastening projections with threaded holes. In this case, they can particularly preferably point upwards for a screwing-in direction perpendicular to the carrier.
  • various other fastening means are conceivable and known to the person skilled in the art.
  • the carrier may be made of metal. It is particularly advantageous from steel or stainless steel. Its dimensions may correspond to conventional carrier arrangements in terms of length and width and, above all, depend on the silicon blocks with which it is to be connected.
  • the thickness of the support may vary between 1 cm and 3 cm, for example about 2 cm. This allows the heavy silicon blocks to be well held and transported. Its length can be between 20 cm and 50 cm, under some circumstances even more.
  • the carrier or at least one rectangular carrier plate, which essentially forms it, is in one piece and in one piece. The aforementioned fastening means can then be subsequently attached to the support plate or already worked in one piece or molded.
  • a cross-section of the recesses, channels or cuts can basically be arbitrary.
  • they are rectangular or round, in particular semicircular. They can be made by milling. - -
  • the wells, channels or incisions may be closed down, but liquid-permeable closed.
  • a closure can be done by a type of perforated grid or perforated plates.
  • This liquid-permeable closure serves essentially as a kind of diffuser or distributor.
  • the depressions in the carrier and thus the integrated longitudinal channels are accessible from above or from its upper side.
  • supply channels may be provided in the carrier.
  • inlet channels connect several recesses, channels or cuts with each other. This means that they are formed, for example, transversely to the direction of the depressions and are also incorporated at the bottom. They can be accessible through holes through the top.
  • projections may be provided on the upper side, which have such an inlet channel and for connecting a water supply or the like. can serve.
  • An advantageous possibility here is a bonding of the carrier with the carrier base.
  • the carrier base is a wear part used only once, since it is also sawed when sawing the silicon block itself. To remove it from the carrier, the bonding can be solved in a conventional manner, for example chemically or thermally. Then the carrier can be cleaned on its underside of adhesive residues and then glued back to a new carrier base. With this new carrier assembly, a new silicon block can be connected, in particular also be glued to it, for subsequent processing steps such as sawing or cleaning.
  • the carrier is metallic and on its underside a carrier base is attached to which in turn a heavy silicon block can be attached, for example, durable and stable by sticking.
  • the carrier base is made of non-metallic material and has recesses, channels or grooves on its upper side connected to the carrier. These may correspond to the form or from the training forth the depressions, channels or notches or grooves, as they have been previously described for an advantageous embodiment of the carrier. In this case, the carrier itself need not necessarily be provided on its underside with such wells.
  • said depressions, channels or cuts may have a depth of a few millimeters, for example 3 mm to 12 mm. Their width can also be a few millimeters, advantageously 3 mm to 15 mm.
  • Such a carrier base is used particularly advantageously in a carrier arrangement according to the invention with a carrier mentioned at the outset, which has recesses of corresponding design on its underside. This means that they run exactly one above the other and in particular also have exactly the same width. Furthermore, it is possible that they have exactly the same shape. - -
  • the carrier base should occupy the same area as the carrier itself, so be about the same size.
  • they also have similar thickness, for example, the few centimeters mentioned above.
  • FIG. 1 is a sectional view through a carrier assembly a carrier and not yet arranged on the underside carrier base,
  • FIG. 2 shows a representation of the underside of the carrier of FIG. 1 with individual outlet holes
  • FIG. 3 is a plan view of the carrier base with matching to the outlet holes of FIG. 2 longitudinal channels
  • FIG. 4 is a sectional view similar to FIG. 1 with carrier and lower carrier part joined together as a carrier arrangement and silicon block on the carrier lower part, FIG. - -
  • FIG. 5 is an illustration of the underside of a modification of the carrier similar to FIG. 2 with continuous longitudinal channels, which are covered with a perforated grid and
  • Fig. 6 is a section similar to Fig. 1 in high magnification showing a perforated grid over an outlet channel.
  • a carrier assembly 1 1 is shown as it is being assembled or manufactured.
  • the carrier assembly 1 1 has a carrier 13 in the form of an elongated rectangular plate, wherein the carrier 13 is cut along its width, for example, is halved in length. It has a carrier upper side 14 and a carrier lower side 15, the latter being essentially planar.
  • the stable support 13 is advantageously made of steel or tool steel or stainless steel and may generally be between 20cm and 50cm long, sometimes longer.
  • outlet holes 17 are provided, which are recognizable from the representation in Fig. 2 as round holes. So they break through the carrier base 15 so that it is flat or flat except for the outlet holes 17.
  • the outlet holes 17 are connected to each other by means of feed lines 18 in the carrier 13, which are shown in dashed lines in FIGS. 1 and 2.
  • the connection pattern may be as shown here, but may also deviate therefrom, in particular towards the center region, significantly more outlet holes 17 for a particularly improved cleaning there.
  • To produce the leads 18 can for example be drilled from the side into the carrier 13 and these openings are then closed outside again.
  • the leads 18 go up into two ports 19 left and right over.
  • the connections 19 are - - in the fastening projections 21 and can be connected in a manner not shown with water or makes remedykeitszuleitun- gene.
  • the fastening projections 21 each have a central thread 22 on which the carrier assembly 1 1 can be fixed in a known manner.
  • the carrier 13 has four such fastening projections 21 on its upper side 14 of the carrier.
  • four terminals 19 may be provided to the leads 18, but it may also be more or less.
  • the outlet holes 17 may have a diameter of a few millimeters, for example 1 mm to 6 mm, advantageously about 3 mm to 5 mm.
  • the carrier base 25 shown in Fig. 1 is advantageous in terms of length and width similar to the size of the carrier 13, wherein a top 26 and a bottom 27 are basically flat. However, while the bottom 27 is advantageously designed completely flat and without interruptions or recesses or projections, the top 26 has a plurality of open channels 29. These extend with advantageously straight extension over the entire upper side 26 from the front to the rear end of the carrier base 25 and extend parallel to each other, although at different distances. This can be seen from the top view of the carrier lower part 25 according to FIG. 3.
  • the carrier lower part 25 advantageously made of a glass or ceramic material, particularly advantageously made of glass, alternatively of plastic.
  • the channels 29 are arranged exactly so that they correspond to the rows of the outlet holes 17 in the longitudinal direction of the carrier 13 or, in the assembled state, are located exactly below the channels 29. This can be seen below from FIG. 4.
  • the width of the channels 29 may also be approximately in the range of the diameter of the outlet holes 17, alternatively, some of it may differ.
  • the channels 29 are each the same and advantageously have a rounded cross-section, for example semicircular or semi-oval.
  • they are even a little deeper than wide.
  • Fig. 4 the composite or assembled carrier assembly 1 1 is shown in a simplified representation.
  • the carrier base 25 is attached or glued with its upper side 26 to the carrier base 15 of the carrier 13.
  • the outlet holes 17 in the carrier 13 are located exactly above the channels 29 of the carrier base 25.
  • a heavy silicon block 31 is fixed, and in turn glued. Also, this sticking is done, as known in the art and has the advantage of secure support of the heavy silicon block and the possibility of subsequent detachment.
  • the carrier base 25 is then no longer usable, only the carrier 13th
  • the carrier assembly 11 of FIG. 4 thus substantially corresponds to a carrier arrangement known from the prior art mentioned at the beginning, namely with internal and quasi-integrated longitudinal channels. These are essentially generated by the channels 29. They may be closed at the ends or openings at the end to the outside, for example by plugging or the like, to the water only - - but not through the crevices between the wafers for improved cleaning.
  • channels 29 can now be supplied or flooded with water or cleaning liquid by means of the connections 19, supply lines 18 and outlet holes 17 above them.
  • a feed can be made much more uniformly by the distributed outlet holes 17, whereas in the aforementioned prior art it was only possible via the two ends or openings of the channels 29.
  • a better cleaning effect is possible.
  • the beginning and end openings of the channels 29 to be recognized in FIG. 4 are closed, so that water or cleaning liquid can only actually escape through the sawn wafer of the silicon block 31.
  • a carrier base 25 may be formed as a wear part because it is sawn, ie in turn made of glass, ceramic or a similar material or even plastic.
  • the channels 29 are advantageously introduced even during the preparation of the carrier base 25. This can be - - Without any additional step in a continuous casting or the like. respectively.
  • the carrier 13 itself is not a wearing part and can be reused frequently. After removing the sawed-out wafers, it is only necessary to remove the used or sawed-off carrier lower part 25 by releasing the adhesive bond. Then the carrier base 15 can be cleaned and glued to a new carrier base 25.
  • the production of the water supply is easier, so the attachment of the outlet holes 17 and the leads 18 together with terminals 19 in the support 13 made of steel. They can each be drilled in a known manner. Since the carrier 13 can be reused frequently, it is also worthwhile to provide the relatively complicated system of outlet holes 17 together with feed lines 18 and connections 19.
  • FIG. 5 an alternative embodiment of a support 1 13 is shown similar to FIG. 3, namely as a view of a carrier base 1 15 of the carrier 1 13.
  • a plurality of long outlet channels 1 17 provided along the
  • these outlet channels 1 17 correspond to the channels 29 in the carrier lower part 25 corresponding to FIGS. 1 and 3.
  • These outlet channels 1 17 are even easier to manufacture than the plurality of outlet holes 17 according to FIGS. 1 and 2, for example appropriate milling or cutting.
  • outlet channels 1 17 are simply open and water, which is introduced by supply lines, not shown here, exits arbitrarily in the outlet channels 1 17 and from there into the directly adjacent channels 29 in the top of the carrier base 25th , - -
  • Fig. 6 shows in an enlarged sectional view shows that a perforated grid 120 is used, so to speak, in the outlet channels 1 17.
  • This may be a press fit, alternatively gluing or screwing.
  • the perforated grids 120 thus cover, as it were, all the outlet channels 17, ie are located between them and the channels 29 in the upper side of a suitable carrier lower part 25.
  • the perforated grids 120 have a multiplicity of holes with advantageously quite a small distance.
  • the holes may have a diameter of about 1 mm and a distance of 1 mm to 3 mm, but in some cases also slightly more or less.
  • a carrier above no holes or channels or the like. on its underside is a closed or massive steel plate with a flat and closed bottom without recesses.
  • This is a carrier base according to FIG. 4 attached by gluing. Because the carrier base has longitudinal channels on its upper side, as described above, integrated longitudinal channels as described in the aforementioned prior art can also be produced. Their production is considerably simpler, however, since it is only the lower part of the support that needs to have the channels on its upper side and thus on the outer side, which simplifies production. The introduction of water or cleaning liquid then takes place at the ends of the channels via their local openings, as also described in the prior art.

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Abstract

Ein Träger (13) für einen Siliziumblock (31) ist dazu ausgebildet ist, als Teil einer Trägeranordnung (11) zusammen mit einem Trägerunterteil (25) mit dem Siliziumblock (31) fest verbunden und zusammen mit diesem bewegt zu werden zur Bearbeitung durch Sägen, Reinigen odgl.. Der Träger (13) weist an seiner zu dem Siliziumblock (31) hin weisenden Unterseite mehrere Kanäle (29) auf und das hier angeklebte Trägerunterteil (25) auch, wobei die Kanäle (29) jeweils übereinander liegen. Wasser wird von oben im Träger (13) in die Kanäle (29) eingebracht und kann durch Sägeschlitze im Trägerunterteil (25) zwischen die Wafer des zersägten Siliziumblocks (31) laufen zur Reinigung.

Description

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Beschreibung
Träger für einen Siliziumblock, Trägeranordnung mit einem solchen Träger und Verfahren zur Herstellung einer solchen Trägeranordnung
Anwendungsgebiet und Stand der Technik
Die Erfindung betrifft einen Träger für einen Siliziumblock, eine Trägeranordnung sowie ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Trägeranordnung.
Es ist aus der DE 102009023121 A1 und der DE 102009023122 A1 bekannt, einen Träger für einen Siliziumblock aus Kunststoff oder aus Keramik herzustellen. Der Träger dient zur besseren Handhabung des Siliziumblocks bei verschiedenen Arbeitsschritten, insbesondere beim Sägen, wobei der Siliziumblock an die Unterseite angeklebt ist. In einen solchen Träger sind durchgehende innere Längskanäle integriert. Diese Längskanäle werden beim Zersägen des Siliziumblocks von unten angesägt. Dadurch wird es möglich, Wasser oder andere Reinigungsflüssigkeit in die Längskanäle einzubringen, so dass es dann von oben in die Zwischenräume zwischen den einzelnen zersägten Wafern eintritt und dort Sägerückstände ausspült.
Die dadurch erzielte Reinigungswirkung ist sehr vorteilhaft. Das Einbringen der integrierten Längskanäle in die Träger aus den genannten Materialien stellt jedoch einen erheblichen Aufwand dar.
Aufgabe und Lösung
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen eingangs genannten Träger, eine entsprechende Trägeranordnung sowie ein Verfahren zur Herstellung eine solchen Trägeranordnung zu schaffen, mit denen Prob- - - lerne des Standes der Technik gelöst werden können und insbesondere eine vorteilhafte, preisgünstige und prozesssichere Methode geschaffen werden kann, einen solchen Träger herzustellen und zu verwenden.
Gelöst wird diese Aufgabe durch einen Träger mit den Merkmalen des Anspruchs 1 , eine Trägeranordnung mit den Merkmalen des Anspruchs 9 sowie ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Trägeranordnung mit den Merkmalen des Anspruchs 14. Vorteilhafte sowie bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der weiteren Ansprüche und werden im Folgenden näher erläutert. Dabei werden manche der nachfolgenden Merkmale nur für den Träger oder nur für die Trägeranordnung oder nur für das Verfahren genannt. Sie sollen jedoch unabhängig davon sowohl für den Träger als auch für die Trägeranordnung oder das Verfahren gelten können. Der Wortlaut der Ansprüche wird durch ausdrückliche Bezugnahme zum Inhalt der Beschreibung gemacht.
Es ist vorgesehen, dass der Träger dazu ausgebildet ist, als Teil einer Trägeranordnung mit einem Siliziumblock fest verbunden zu sein, der üblicherweise recht schwer ist und einige kg wiegt. Dabei muss der Träger noch nicht einmal direkt mit dem Siliziumblock fest verbunden sein bzw. es ist vorgesehen, dass er nicht direkt mit dem Siliziumblock fest verbunden wird. Dazu ist vorteilhaft ein später noch näher erläutertes Trägerunterteil vorgesehen, das unten an dem Träger befestigt wird, und an diesem Trägerunterteil wiederum wird der Siliziumblock befestigt, insbesondere festgeklebt auf an sich bekannte Art und Weise. Die Trägeranordnung ist also in der Hinsicht zweigeteilt, dass der im vorgenannten Stand der Technik einteilige Träger nun aus zwei Teilen besteht, nämlich dem Träger und dem Trägerunterteil. Der Träger als Teil der Trägeranordnung kann mit dem Trägerunterteil verbunden sein und diese Einheit wiederum kann mit dem schweren Siliziumblock verbunden sein. - -
Dieser kann mit der Trägeranordnung bewegt werden zur Bearbeitung durch Sägen, Reinigen odgl..
Vorteilhaft kann der Träger selbst dazu ausgebildet sein, an Bewegungsvorrichtungen befestigt zu werden, mit denen er in eine Säge oder in eine Reinigungsvorrichtung eingefahren wird, vorteilhaft durch Befestigungsmittel wie Verschraubungen odgl.. An seiner zu dem Siliziumblock hin weisenden Unterseite weist der Träger mehrere Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte auf. Diese sind an der Unterseite nach unten hin offen. Sie werden dann später durch das Trägerunterteil verschlossen bzw. überdeckt und wandeln sich sozusagen von offenen Kanälen, die leicht herstellbar sind, um in integrierte innere Längskanäle, die für sich wiederum sehr viel schwieriger herstellbar sind. Das Trägerunterteil mit dem Siliziumblock wiederum ist dazu vorgesehen, beim Sägen angesägt zu werden bis an die genannten Vertiefungen und auf alle Fälle bis zum vollständigen Trennen der einzelnen Wafer. Somit bildet der Träger mit einem Trägerunterteil zusammen eine Trägeranordnung, wie sie in einstückiger Form aus dem eingangs genannten Stand der Technik bekannt ist.
Vorteilhaft sind mehrere parallele offene Kanäle nach Art von Nuten in der Unterseite des Trägers vorgesehen. Besonders vorteilhaft verlaufen sie entlang der Längsrichtung des Trägers und können bevorzugt regelmäßige Abstände zueinander aufweisen. So können es beispielsweise 4 bis 10 Vertiefungen bzw. Kanäle sein, die vorteilhaft mit gleichem Abstand zueinander entlang der Längsrichtung des Trägers verlaufen.
In vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung ist die Unterseite des Trägers bis auf die genannten Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte eben bzw. flach und plan. Dabei kann vorgesehen sein, dass der Träger im Wesentlichen eine konstante Dicke aufweist und insbesondere eine Art Platte ist. Vorteilhaft ist er wie bei den bekannten Trägeranordnungen - - länglich und rechteckig, wie im übrigen auch üblicherweise die Siliziumblöcke.
Auf der Oberseite des Trägers können in Ausgestaltung der Erfindung Befestigungsmittel vorgesehen sein, mit denen der Träger an einer vorgenannten Bewegungsvorrichtung bzw. einer Handhabungsvorrichtung befestigt werden kann. An den Befestigungsmitteln kann der Verbund aus Trägeranordnung und Siliziumblock dann gegriffen und bewegt werden. In bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung sind die Befestigungsmittel als Befestigungsvorsprünge mit Gewindebohrungen ausgebildet. Besonders bevorzugt können sie dabei nach oben weisen für eine Ein- schraubrichtung senkrecht zu dem Träger. Vielfältige andere Befestigungsmittel sind aber denkbar und dem Fachmann bekannt.
Vorteilhaft kann der Träger aus Metall bestehen. Besonders vorteilhaft ist er aus Stahl bzw. Edelstahl. Seine Abmessungen können hinsichtlich Länge und Breite üblichen Trägeranordnungen entsprechen und vor allem von den Siliziumblöcken abhängen, mit denen er verbunden werden soll. Die Dicke des Trägers kann zwischen 1 cm und 3 cm variieren, beispielsweise etwa 2 cm betragen. So können die schweren Siliziumblöcke gut gehalten und transportiert werden. Seine Länge kann zwischen 20 cm und 50 cm liegen, unter Umständen auch noch etwas mehr. Allgemein kann vorteilhaft vorgesehen sein, dass der Träger oder zumindest eine rechteckige Trägerplatte, die ihn im Wesentlichen bildet, einteilig und einstückig ist. Die vorgenannten Befestigungsmittel können dann an der Trägerplatte nachträglich befestigt sein oder aber bereits einstückig herausgearbeitet bzw. angeformt sein.
Ein Querschnitt der genannten Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte kann grundsätzlich beliebig sein. Vorteilhaft sind sie rechteckig oder rund, insbesondere halbkreisförmig. Sie können durch Fräsen hergestellt sein. - -
In nochmals weiterer Ausgestaltung der Erfindung können die Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte nach unten verschlossen sein, allerdings flüssigkeitsdurchlässig verschlossen. Dies kann knapp oberhalb der Unterseite erfolgen. Vorteilhaft kann ein Verschluss durch eine Art Lochgitter oder Lochplatten erfolgen. Dieser flüssigkeitsdurchlässige Verschluss dient im Wesentlichen als eine Art Diffusor oder Verteiler. So kann in die Vertiefungen eingebrachtes Wasser in etwa gleichmäßig verteilt nach unten aus den Vertiefungen austreten und über die Sägespalte in den unten am Träger befestigten Trägerunterteilen in die Zwischenräume zwischen den Wafern eintreten. So kann sichergestellt werden, dass selbst bei Einleitung von Wasser an nur einem oder zwei Punkten pro Vertiefung oder Kanal ein etwa gleichmäßiger Eintritt von Wasser in die Sägespalte zwischen den Wafern erfolgt.
Eine Möglichkeit, die aus dem Stand der Technik bekannt ist, um in die Vertiefungen bei einer fertigen Trägeranordnung Wasser einzubringen bzw. sie zugänglich zu machen geht über die Anfangs- und Endöffnungen der entstandenen Längskanäle. Eine weitere vorteilhafte Möglichkeit besteht darin, dass die Vertiefungen im Träger und somit die integrierten Längskanäle von oben bzw. von seiner Oberseite zugänglich sind. Hierfür können im Träger Zulaufkanäle vorgesehen sein. Vorteilhaft verbinden solche Zulaufkanäle mehrere Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte miteinander. Dies bedeutet also, dass sie beispielsweise quer zur Verlaufsrichtung der Vertiefungen ausgebildet sind und auch an der Unterseite eingearbeitet sind. Sie können durch Bohrungen durch die Oberseite her zugänglich sein. In weiterer Ausgestaltung können auf der Oberseite Vorsprünge vorgesehen sein, die einen solchen Zulaufkanal aufweisen und zum Anschluss einer Wasserversorgung odgl. dienen können. - -
Die genannte Verteilungswirkung von eingebrachtem Wasser auf die verschiedenen Vertiefungen, insbesondere auch mit den vorgenannten Zulaufkanälen, basiert darauf, dass bei der fertigen Trägeranordnung dann an dem Träger das Trägerunterteil angesetzt ist. Eine vorteilhafte Möglichkeit ist hier ein Verkleben des Trägers mit dem Trägerunterteil. Das Trägerunterteil ist ein nur einmal verwendetes Verschleißteil, da es beim Zersägen des Siliziumblocks selbst auch angesägt wird. Um es von dem Träger zu entfernen, kann die Verklebung gelöst werden auf an sich übliche Art und Weise, beispielsweise chemisch oder thermisch. Dann kann der Träger an seiner Unterseite von Klebstoffresten gereinigt werden und danach wieder mit einem neuen Trägerunterteil verklebt werden. Mit dieser neuen Trägeranordnung kann ein neuer Siliziumblock verbunden werden, insbesondere auch daran festgeklebt werden, für nachfolgende Bearbeitungsschritte wie Zersägen oder Reinigen.
Bei einer erfindungsgemäßen Trägeranordnung ist der Träger metallisch und an seiner Unterseite ist ein Trägerunterteil befestigt, an dem wiederum ein schwerer Siliziumblock angebracht werden kann, beispielsweise dauerhaft und stabil durch Festkleben. Das Trägerunterteil besteht aus nicht-metallischem Material, und weist an seiner mit dem Träger verbundenen Oberseite Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte bzw. Nuten auf. Diese können von der Form bzw. von der Ausbildung her den Vertiefungen, Kanälen oder Einschnitten bzw. Nuten entsprechen, wie sie für eine vorteilhafte Ausgestaltung des Trägers zuvor beschrieben worden sind. In diesem Fall muss der Träger selbst nicht zwingend an seiner Unterseite mit solchen Vertiefungen versehen sein. Es ist ganz offensichtlich, dass nach dem Verbinden des Trägers mit einem Trägerunterteil eine Trägeranordnung in Form einer Platte vorliegt, welche wie die bekannten und eingangs genannten Trägeranordnungen einen oder vorteilhaft mehrere integrierte Längskanäle ausweist, die beim Zersägen eines unten an der Trägeranordnung befestigten Siliziumblocks angesägt werden. Durch Einbringen von Wasser in die Längskanäle kann dann wie- - - der die bereits beschriebene und bekannte vorteilhafte Reinigungswirkung erfolgen. Auch bei dieser relativ einfachen Ausbildung von Träger und Trägerunterteil besteht die Möglichkeit, das zersägte und verbrauchte Trägerunterteil vom Träger zu entfernen und ein neues Trägerunterteil daran zu befestigen. So kann nicht nur der Träger wieder verwendet werden. Vor allem aber ist es auch sehr viel leichter, bei dem Trägerunterteil und insbesondere auch an dem Träger selbst an seiner Unterseite die Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte zu erzeugen, wenn dies eine frei zugängliche Oberfläche ist. Bei einem Träger aus Metall können sie eingefräst werden. Bei einem Trägerunterteil aus nicht-metallischem Material, vorteilhaft Glas oder Keramik, können sie bei der Herstellung durch Strangpressen mit einem entsprechenden Profil erzeugt werden. Durch das Verbinden von Träger und Trägerunterteil wird aus an einer offenen Seite vorhandenen Vertiefungen ein integrierter Kanal bzw. Längskanal. Wichtig sind also die Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte im Trägerunterteil bzw. hier sind sie unerlässlich. Im Träger bzw. an seiner Unterseite sind sie zwar vorteilhaft vorgesehen, dies muss jedoch nicht so sein.
Allgemein können die genannten Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte eine Tiefe von wenigen Millimetern aufweisen, beispielsweise 3 mm bis 12 mm. Ihre Breite kann ebenfalls wenige Millimeter betragen, vorteilhaft 3 mm bis 15 mm.
Besonders vorteilhaft wird ein solches Trägerunterteil bei einer erfindungsgemäßen Trägeranordnung mit einem eingangs genannten Träger verwendet, der an seiner Unterseite korrespondierend ausgebildete Vertiefungen aufweist. Dies bedeutet, dass sie genau übereinander verlaufen und insbesondere auch noch genau gleiche Breite aufweisen. Des Weiteren ist es möglich, dass sie genau gleiche Form aufweisen. - -
Das Trägerunterteil sollte die gleiche Fläche einnehmen wie der Träger selbst, also in etwa gleich groß sein. Vorteilhaft weisen sie auch ähnliche Dicke auf, beispielsweise die eingangs genannten wenigen Zentimeter.
Diese und weitere Merkmale gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehreren in Form von Unterkombinationen bei einer Ausführungsform der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausführungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird. Die Unterteilung der Anmeldung in einzelne Abschnitte sowie Zwi- schen-Überschriften beschränken die unter diesen gemachten Aussagen nicht in ihrer Allgemeingültigkeit.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen schematisch dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert. In den Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 eine Schnittdarstellung durch eine Trägeranordnung einem Träger und einem noch nicht an dessen Unterseite angeordneten Trägerunterteil,
Fig. 2 eine Darstellung der Unterseite des Trägers aus Fig. 1 mit einzelnen Auslasslöchern,
Fig. 3 eine Draufsicht auf das Trägerunterteil mit zu den Auslasslöchern gemäß Fig. 2 passenden Längskanälen,
Fig. 4 eine Schnittdarstellung ähnlich Fig. 1 mit Träger und Trägerunterteil zusammengefügt als Trägeranordnung und Siliziumblock an dem Trägerunterteil, - -
Fig. 5 eine Darstellung der Unterseite einer Abwandlung des Trägers ähnlich Fig. 2 mit durchgehenden Längskanälen, die mit einem Lochgitter abgedeckt sind und
Fig. 6 einen Schnitt ähnlich Fig. 1 in starker Vergrößerung mit Darstellung eines Lochgitters über einem Auslasskanal.
Detaillierte Beschreibung der Ausführungsbeispiele
In Fig. 1 ist eine Trägeranordnung 1 1 dargestellt, wie sie gerade zusammengebaut bzw. herstellt wird. Die Trägeranordnung 1 1 weist einen Träger 13 auf in Form einer länglichen rechteckigen Platte, wobei der Träger 13 entlang seiner Breite geschnitten ist, beispielsweise in der Länge halbiert ist. Er weist eine Trägeroberseite 14 und eine Trägerunterseite 15 auf, wobei letztere im Wesentlichen eben bzw. plan ist. Der stabile Träger 13 besteht vorteilhaft aus Stahl bzw. Werkzeugstahl oder Edelstahl und kann allgemein zwischen 20cm und 50cm lang sein, unter Umständen auch länger.
An der Trägerunterseite 15 sind mehrere Auslasslöcher 17 vorgesehen, die aus der Darstellung in Fig. 2 als runde Löcher erkenntlich sind. Sie durchbrechen also die Trägerunterseite 15, so dass diese bis auf die Auslasslöcher 17 eben bzw. plan ist. Die Auslasslöcher 17 sind mittels Zuleitungen 18 im Träger 13, die in den Fig. 1 und 2 gestrichelt dargestellt sind, miteinander verbunden. Das Verbindungsmuster kann so sein wie hier dargestellt, kann jedoch auch davon abweichen, insbesondere zu dem Mittenbereich hin deutlich mehr Auslasslöcher 17 für eine vor allem dort verbesserte Reinigung. Zur Herstellung können die Zuleitungen 18 beispielsweise von der Seite in den Träger 13 hineingebohrt und diese Öffnungen dann außen wieder verschlossen werden.
Im oberen Bereich des Trägers 13 gehen die Zuleitungen 18 nach oben in zwei Anschlüsse 19 links und rechts über. Die Anschlüsse 19 befin- - - den sich in Befestigungsvorsprüngen 21 und können auf nicht dargestellter Art und Weise mit Wasser- bzw. Reinigungsflüssigkeitszuleitun- gen verbunden werden. Des weiteren weisen die Befestigungsvorsprünge 21 jeweils ein zentrales Gewinde 22 auf, an denen die Trägeranordnung 1 1 auf bekannte Art und Weise befestigt werden kann.
Vorteilhaft weist der Träger 13 an seiner Trägeroberseite 14 vier derartige Befestigungsvorsprünge 21 auf. Somit können auch vier Anschlüsse 19 an die Zuleitungen 18 vorgesehen sein, es können jedoch auch mehr oder weniger sein. Die Auslasslöcher 17 können einen Durchmesser von einigen Millimetern aufweisen, beispielsweise 1 mm bis 6 mm, vorteilhaft etwa 3 mm bis 5 mm.
Das in Fig. 1 dargestellte Trägerunterteil 25 ist von den Abmessungen bezüglich Länge und Breite vorteilhaft ähnlich groß wie der Träger 13, wobei eine Oberseite 26 und eine Unterseite 27 grundsätzlich plan sind. Während die Unterseite 27 jedoch vorteilhaft völlig plan und ohne Unterbrechungen bzw. Ausnehmungen oder Vorsprünge ausgebildet ist, weist die Oberseite 26 mehrere offene Kanäle 29 auf. Diese ziehen sich mit vorteilhaft gerader Erstreckung über die gesamte Oberseite 26 hin vom vorderen bis zum hinteren Ende des Trägerunterteils 25 und verlaufen parallel zueinander, wenngleich mit unterschiedlichem Abstand. Dies ist aus der Draufsicht auf das Trägerunterteil 25 gemäß Fig. 3 zu erkennen. Das Trägerunterteil 25 vorteilhaft aus einem Glas- oder Keramikwerkstoff, besonders vorteilhaft aus Glas, alternativ aus Kunststoff.
Wie Fig. 1 zeigt sind die Kanäle 29 genau so angeordnet, dass sie den Reihen der Auslasslöcher 17 in Längsrichtung des Trägers 13 entsprechen bzw. im zusammengebauten Zustand genau unter den Kanälen 29 befinden. Dies ist nachfolgend aus Fig. 4 zu ersehen. Die Breite der Kanäle 29 kann auch etwa im Bereich des Durchmessers der Auslasslöcher 17 liegen, alternativ auch etwas davon abweichen. Untereinander - - sind die Kanäle 29 jedoch jeweils gleich und weisen vorteilhaft einen abgerundeten Querschnitt auf, beispielsweise halbkreisartig oder halbovalartig. Vorteilhaft sind sie sogar etwas tiefer als breit.
In Fig. 4 ist in vereinfachter Darstellung die zusammengesetzte bzw. zusammenmontierte Trägeranordnung 1 1 dargestellt. Hier ist das Trägerunterteil 25 mit seiner Oberseite 26 an die Trägerunterseite 15 des Trägers 13 befestigt bzw. angeklebt.
Aufgrund der Werkstoffkombination Stahl für den Träger 13 und Glas oder Keramik für das Trägerunterteil 25 kann für die Klebung ein hierfür üblicher Klebstoff verwendet werden, mit dem auch im Stand der Technik sogenannte Beams aus Glas oder Keramik mit einem Träger aus Stahl verklebt werden. Später werden diese Beams dann wieder abgelöst, was nachfolgend noch erläutert wird.
Die Auslasslöcher 17 im Träger 13 liegen genau über den Kanälen 29 des Trägerunterteils 25. Am Trägerunterteil 25 bzw. dessen Unterseite 27 ist ein schwerer Siliziumblock 31 befestigt, und zwar wiederum festgeklebt. Auch dieses Festkleben erfolgt, wie im Stand der Technik bekannt und weist den Vorteil der sicheren Halterung des schweren Siliziumblocks auf sowie die Möglichkeit eines späteren Ablösens. Das Trägerunterteil 25 ist dann ohnehin nicht mehr verwendbar, nur noch der Träger 13.
Die Trägeranordnung 1 1 aus Fig. 4 entspricht somit im Wesentlichen einer aus dem eingangs genannten Stand der Technik bekannten Trägeranordnung, nämlich mit innen liegenden und quasi integrierten Längskanälen. Diese sind im Wesentlichen durch die Kanäle 29 erzeugt. Sie können an den Enden bzw. Öffnungen am Ende nach außen verschlossen sein, beispielsweise durch Stopfen odgl., um das Wasser nur - - durch die Sägespalte zwischen den Wafern auszulassen für eine verbesserte Reinigung, müssen es aber nicht.
Durch das Zersägen des Siliziumblocks 31 wird dieser in einzelne Siliziumscheiben bzw. Wafer getrennt. Gestrichelt dargestellt ist eine Sägelinie 32, bis zu der ein Sägedraht reicht bzw. bis zu der gesägt wird. Dabei ist zu erkennen, dass alle Längskanäle 29 von unten angesägt werden und somit der gleiche Reinigungseffekt erzielt werden kann, wie er aus dem eingangs genannten Stand der Technik auch bekannt ist. Insofern wird darauf verwiesen.
Einer der Vorteile der Erfindung, der sich auch an diesem Ausführungsbeispiel zeigt, ist der, dass diese Kanäle 29 nun mittels der Anschlüsse 19, Zuleitungen 18 und Auslasslöcher 17 über ihnen mit Wasser bzw. Reinigungsflüssigkeit versorgt bzw. geflutet werden können. Eine Ein- speisung kann durch die verteilt angeordneten Auslasslöcher 17 viel gleichmäßiger erfolgen, während es im eingangs genannten Stand der Technik ja nur über die beiden Enden bzw. Öffnungen der Kanäle 29 möglich war. Somit ist auch eine bessere Reinigungswirkung möglich. Es kann eben vorteilhaft vorgesehen sein, dass die in Fig. 4 zu erkennenden Anfangs- und Endöffnungen der Kanäle 29 verschlossen werden, so dass Wasser bzw. Reinigungsflüssigkeit nur tatsächlich durch die zersägten Wafer des Siliziumblocks 31 austreten kann.
Ein weiterer großer Vorteil der Erfindung liegt darin, dass ein Trägerunterteil 25 als Verschleißteil ausgebildet sein kann, da es zersägt wird, also wiederum aus Glas, Keramik oder einem ähnlichen Werkstoff bzw. sogar aus Kunststoff. Durch das Vorsehen der Kanäle 29 an seiner Oberseite 26 ist deren Herstellung auch sehr viel leichter als bei geschlossenen integrierten Längskanälen wie im Stand der Technik bekannt, wobei die Kanäle 29 vorteilhaft auch schon während der Herstellung des Trägerunterteils 25 eingebracht werden. Dies kann beispiels- - - weise ohne zusätzlichen Arbeitsschritt bei einem Stranggießen odgl. erfolgen.
Der Träger 13 selbst ist kein Verschleißteil und kann häufig wiederverwendet werden. Es ist nach Entfernen der zersägten Wafer lediglich das verbrauchte bzw. zersägte Trägerunterteil 25 zu entfernen durch Lösen der Verklebung. Dann kann die Trägerunterseite 15 gereinigt werden und mit einem neuen Trägerunterteil 25 verklebt werden.
Des weiteren ist auch beim Träger 13 aus Stahl die Herstellung der Wasserführung leichter, also das Anbringen der Auslasslöcher 17 und der Zuleitungen 18 samt Anschlüssen 19. Sie können jeweils auf bekannte Art und Weise gebohrt werden. Da der Träger 13 häufig wiederverwendet werden kann, lohnt es sich auch, das relativ komplizierte System der Auslasslöcher 17 samt Zuleitungen 18 und Anschlüssen 19 vorzusehen.
In Fig. 5 ist eine alternative Ausgestaltung eines Trägers 1 13 dargestellt ähnlich wie Fig. 3, nämlich als Ansicht einer Trägerunterseite 1 15 des Trägers 1 13. Hier sind anstelle der einzelnen Auslasslöcher 17 entsprechend Fig. 2 mehrere lange Auslasskanäle 1 17 vorgesehen entlang der Längsrichtung des Trägers 1 13. Somit entsprechen diese Auslasskanäle 1 17 den Kanälen 29 im Trägerunterteil 25 entsprechend Fig. 1 und 3. Diese Auslasskanäle 1 17 sind sogar noch leichter herzustellen als die Vielzahl von Auslasslöchern 17 entsprechend der Fig. 1 und 2, beispielsweise durch entsprechendes Fräsen oder Schneiden.
Einerseits ist es in einer Variante möglich, dass die Auslasskanäle 1 17 einfach offen sind und Wasser, das durch hier nicht dargestellte Zuleitungen herangeführt wird, beliebig austritt in die Auslasskanäle 1 17 und von dort in die direkt anschließenden Kanäle 29 in der Oberseite des Trägerunterteils 25. - -
Für eine etwas bessere Verteilung von herangeführtem Wasser kann vorgesehen sein, wie Fig. 6 in vergrößerter Schnittdarstellung zeigt, dass ein Lochgitter 120 sozusagen in die Auslasskanäle 1 17 eingesetzt ist. Dies kann ein Presssitz sein, alternativ ein Verkleben oder Ver- schrauben. Die Lochgitter 120 bedecken also sozusagen sämtliche Auslasskanäle 1 17, befinden sich also zwischen diesen und den Kanälen 29 in der Oberseite eines passenden Trägerunterteils 25. Die Lochgitter 120 weisen eine Vielzahl von Löchern auf mit vorteilhaft recht geringem Abstand. So können beispielsweise die Löcher einen Durchmesser von etwa 1 mm aufweisen und einen Abstand von 1 mm bis 3 mm aufweisen, unter Umständen aber auch jeweils etwas mehr oder etwas weniger.
Der Vorteil dieser Löcher im Lochgitter 120 besteht darin, dass sie eine stark verteilende Wirkung für das von oben eingebrachte Wasser haben, so dass sie unabhängig davon, wie weit eine bestimmte Stelle von einer Zuleitung entfernt ist, einen über die Länge der Kanäle 29 gleichmäßig verteilten Zustrom von Wasser bewirken. Aus Fig. 6 ist zu erkennen, dass sich in dem Raum im Auslasskanal 1 17 oberhalb des Lochgitters 120 Wasser ungehindert über die Länge des Auslasskanals verteilen kann für einen etwa gleichmäßigen Austritt nach unten. So ist die Reinigungswirkung an allen gesägten Wafern des Siliziumblocks 31 gleich. Somit kann zwar weiterhin eine Vielzahl von untereinander verzweigten Zuleitungen 18 entsprechend der Fig. 1 und 2 vorgesehen sein, es muss jedoch nicht so aufwändig sein. Unter Umständen reicht sogar eine Zuleitung quer zu den Auslasskanälen 1 17, welche zu jedem von ihnen eine Öffnung aufweist, wobei auch diese quer verlaufende Zuleitung nur einen einzigen Anschluss aufweisen muss. So ist nicht nur der An- schluss vereinfacht, sondern auch die Herstellung des Trägers 1 13 selbst. - -
In einer hier nicht dargestellten, anhand von Fig. 4 aber leicht vorstellbaren Ausführung weist ein Träger oben gar keine Löcher oder Kanäle odgl. an seiner Unterseite auf, sondern ist eine geschlossene bzw. massive Stahlplatte mit planer und geschlossener Unterseite ohne Ausnehmungen. Daran wird ein Trägerunterteil entsprechend Fig. 4 befestigt durch Festkleben. Weil das Trägerunterteil an seiner Oberseite Längskanäle aufweist, wie zuvor beschrieben worden ist, können auch so integrierte Längskanäle hergestellt werden, wie sie im eingangs genannten Stand der Technik beschrieben sind. Deren Herstellung ist aber erheblich einfacher, da eben nur das Trägerunterteil an seiner Oberseite und somit einer Außenseite die Kanäle aufzuweisen braucht, was die Herstellung vereinfacht. Das Einbringen von Wasser bzw. Reinigungsflüssigkeit erfolgt dann an den Enden der Kanäle über deren dortige Öffnungen, wie ebenfalls im Stand der Technik beschrieben ist.

Claims

Patentansprüche
1. Träger für einen Siliziumblock, wobei der Träger dazu ausgebildet ist, als Teil einer Trägeranordnung mit dem Siliziumblock fest verbunden zu sein und zusammen mit diesem bewegt zu werden zur Bearbeitung durch Sägen, Reinigen odgl., wobei der Träger an seiner zu dem Siliziumblock hin weisenden Unterseite mehrere Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte aufweist.
2. Träger nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass mehrere parallele Kanäle nach Art von Nuten in der Unterseite vorgesehen sind, vorzugsweise entlang der Längsrichtung des Trägers, insbesondere in regelmäßigen Abständen zueinander.
3. Träger nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Unterseite bis auf die Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte eben ist, wobei insbesondere der Träger im wesentlich gleichbleibende Dicke aufweist.
4. Träger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf seiner Oberseite Befestigungsmittel zur Befestigung an einer Bewegungsvorrichtung wie einer Säge oder einer Reinigungsvorrichtung vorgesehen sind, wobei insbesondere die Befestigungsmittel als nach oben weisende Befestigungsvorsprünge mit Gewindebohrungen ausgebildet sind.
5. Träger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass er aus Metall besteht, insbesondere Stahl bzw. Edelstahl.
6. Träger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger im Wesentlichen aus einer rechteckigen Trägerplatte besteht, die insbesondere einteilig und einstückig ist, auf die vorzugsweise die vorgenannten Befestigungsmittel nach Anspruch 4 aufgesetzt sind bzw. an ihrer Oberseite vorhanden sind.
7. Träger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte bzw. Nuten nach unten flüssigkeitsdurchlässig verschlossen sind, insbesondere knapp oberhalb der Unterseite, wobei sie vorzugsweise durch Lochgitter oder Lochplatten verschlossen sind.
8. Träger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte bzw. Nuten in der Unterseite von oben zugänglich sind, insbesondere durch Zulaufkanäle, wobei vorzugsweise die Zulaufkanäle mehrere Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte bzw. Nuten miteinander verbinden und zur Oberseite hin oder in Vorsprüngen auf der Oberseite zugänglich sind.
9. Trägeranordnung mit einem Träger, insbesondere mit einem Träger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Träger metallisch ist, wobei an der Unterseite des Trägers ein Trägerunterteil befestigt ist zum Anbringen eines Siliziumblocks daran, insbesondere festgeklebt ist, das aus nicht-metallischem Material besteht, wobei das Trägerunterteil an seiner mit dem Träger verbundenen Oberseite Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte bzw. Nuten aufweist.
10. Trägeranordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Trägerunterteil aus Glas oder Keramik besteht.
1 1. Trägeranordnung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte bzw. Nuten eine Tiefe von wenigen Millimetern aufweisen, insbesondere 3 mm bis 12 mm, und eine Breite von wenigen Millimetern aufweisen, insbesondere 3 mm bis 15 mm.
12. Trägeranordnung nach einem der Ansprüche 9 bis 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass sowohl an der Unterseite des Trägers als auch an der Oberseite des Trägerunterteils Nuten bzw. Vertiefungen vorgesehen sind, die genau übereinander verlaufen, insbesondere mit jeweils genau gleicher Breite.
13. Trägeranordnung nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger und das Trägerunterteil deckungsgleich sind bzw. gleich groß sind, wobei sie vorzugsweise ähnliche Dicken aufweisen.
14. Verfahren zur Herstellung einer Trägeranordnung nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass ein Träger gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8 mit einem Trägerunterteil verklebt wird.
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass eine benutzte Trägeranordnung nach dem Ablösen des zersägten Siliziumblocks gereinigt wird und die Verklebung zwischen Träger und Trägerunterteil gelöst wird, insbesondere chemisch oder thermisch, wobei anschließend der Träger, insbesondere an seiner Unterseite, von Klebstoffresten odgl. gereinigt wird und anschließend mit einem neuen Trägerunterteil verklebt wird.
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