WO2011125974A1

WO2011125974A1 - フィルタ装置、フィルタの収容方法、及び露光装置

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Publication number: WO2011125974A1
Application number: PCT/JP2011/058512
Authority: WO
Inventors: 公一桂; 恵二松浦; 佳成堀田; 孝志増川
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Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2010-04-05
Filing date: 2011-04-04
Publication date: 2011-10-13
Anticipated expiration: 2012-10-05
Also published as: JPWO2011125974A1; KR20130019417A; CN102844093A; TW201206548A

Abstract

　フィルタ装置は、フィルタを保持するフレームと、フレームの側面の少なくとも一部に設けられ、フレームの端面側に向かい、かつフレームの外側に変化した形状変化部とを備えるフィルタボックスと、フィルタボックスを収容するケーシングとを備え、ケーシングは、フレームの形状変化部に係合してフレームを位置決めする位置決めブロックと、フレームの端面が押し付けられる仕切り板とを有する。フィルタの設置を容易に位置決めできるように行うことができる。

Description

フィルタ装置、フィルタの収容方法、及び露光装置

　本発明は、例えば気体中の不純物等を除去するためのフィルタを収容するフィルタ装置、フィルタの収容方法、そのフィルタ装置を備える露光装置、及びこの露光装置を用いて例えば半導体素子、液晶表示素子、又は撮像素子等を製造するためのデバイス製造方法に関する。

　例えば半導体素子等の電子デバイス（マイクロデバイス）を製造するためのリソグラフィー工程で使用される露光装置において、高い露光精度（解像度及び位置決め精度等）を得るためには、照明光学系の照明特性及び投影光学系の結像特性を所定の状態に維持し、かつレチクル（又はフォトマスク等）、投影光学系、及びウエハ（又はガラスプレート等）が設置される空間を所定の環境に維持する必要がある。そのため、従来より、露光装置の照明光学系の一部、レチクルステージ、投影光学系、及びウエハステージ等を含む露光本体部は、箱型のチャンバ内に設置され、このチャンバ内に、所定温度に制御されて、かつ防塵フィルタを通過した清浄な気体（例えば空気）をダウンフロー方式及びサイドフロー方式で供給する空調装置が備えられている。

　また、露光装置では、近年の回路パターンの著しい微細化要求に対応すべく、露光光の短波長化が進められており、最近では、露光光としてＫｒＦエキシマレーザ（波長２４８ｎｍ）、及びさらにほぼ真空紫外域のＡｒＦエキシマレーザ（波長１９３ｎｍ）が使用されている。このような短波長の露光光を用いる場合、露光光が通過する空間（例えば、鏡筒の内部空間）内に微量な有機物のガス（有機系ガス）が存在すると、露光光の透過率が低下するとともに、露光光と有機系ガスとの反応によって、レンズエレメント等の光学素子の表面に曇り物質を生ずる恐れがある。さらに、チャンバ内に供給する気体からは、ウエハに塗布されたフォトレジスト（感光材料）と反応するアルカリ性物質のガス（アルカリ系ガス）等も除去することが望ましい。

　そこで、従来より、露光装置の空調装置の気体の取り込み部には、チャンバ内に供給される気体から有機系ガス及び／又はアルカリ系ガス等を除去するための複数のケミカルフィルタが設けられている（例えば、特許文献１参照）。

国際公開第２００４／１０８２５２号パンフレット

　従来の露光装置において、ケミカルフィルタをケーシング内に設置する場合、例えばケミカルフィルタを収納する平板状のフレームを横置き（フィルタ面が鉛直方向となる向き）でケーシング内の側壁に突き当たるまで搬入した後、所定の設置位置まで、作業者がそのフレームをその側壁に沿ってフィルタ面に対して法線方向に移動していた。この場合、フレームの端面と、そのケーシングの通気用の開口が形成された仕切り部材の面との間に隙間があると、ケミカルフィルタを通過せずに、この隙間を介して不純物を含む気体が露光本体部に供給される恐れがある。そのため、そのフレームをその設置位置に正確に位置決めするための時間が長くなり、ひいては使用済みのケミカルフィルタの交換時間も長くなっていた。

　さらに、露光装置においては、要求される露光精度の一層の向上に対応して、設置するケミカルフィルタの数が増加しているため、ケミカルフィルタの交換を正確にかつ効率的に行う必要がある。
　本発明は、このような事情に鑑み、フィルタの設置を容易に位置決めできるように行うことを目的とする。

　本発明の第１の態様によれば、フィルタを収容するフィルタ装置が提供される。このフィルタ装置は、第１フィルタを保持する第１フレームと、その第１フレームの側面のうち第１側面の少なくとも一部に設けられ、その第１フレームの２つの端面のうち、一方の端面側から他方の端面側に向かい、かつその第１フレームの外側に変化した第１形状変化部とを備える第１フィルタボックスと、その第１フィルタボックスを収容する収容部とを備え、その収容部は、その第１フレームのその第１側面とは異なる側面を支持する第１ベース部材と、その第１フレームのその第１形状変化部に係合してその第１フレームを位置決めする第１位置決め部材と、その第１位置決め部材とその第１形状変化部とが係合することによって、その第１フレームのその一方の端面が押し付けられる第１仕切り部材とを備えるものである。

　また、本発明の第２の態様によれば、露光光でパターンを介して基板を露光する露光装置において、その基板を露光する露光本体部を収納するチャンバと、本発明のフィルタ装置と、そのチャンバの外部から取り込まれた気体をそのフィルタ保持装置を介してそのチャンバ内に送風する空調装置と、を備える露光装置が提供される。
　また、本発明の第３の態様によれば、フィルタを収容部に収容する収容方法が提供される。この収容方法は、第１フィルタを保持する第１フレームと、その第１フレームの側面のうち第１側面の少なくとも一部に形成され、その第１フレームの２つの端面のうち、一方の端面側から他方の端面側に向かい、かつその第１フレームの外側に変化した第１形状変化部とを備える第１フィルタボックスを用意する工程と、その第１フレームのその第１側面に隣接する側面をその収容部の第１ベース部材の表面に載置する工程と、その第１フレームのその第１形状変化部をその収容部の第１位置決め部材に係合させて、その第１フレームをその収容部の第１仕切り部材の方向に移動させる工程と、その第１フレームのその一方の端面を第１シール部材を介してその収容部のその第１仕切り部材に押し付ける工程と、を含むものである。

　また、本発明の第４の態様によれば、本発明の露光装置を用いて感光性基板を露光することと、その露光された感光性基板を処理することと、を含むデバイス製造方法が提供される。

　本発明によれば、例えば第１フレームの第１形状変化部を収容部の第１位置決め部材に係合させて、第１フレームを第１仕切り部材側に移動することによって、第１フレーム（第１フィルタ）の収容部内の目標位置に対して、第１フレームの設置を容易に位置決めできるように行うことができる。

実施形態の一例の露光装置の構成を示す一部が切り欠かれた図である。図１のフィルタ装置２６を示す斜視図である。図２のフィルタ装置２６を示す断面図である。（Ａ）は図３中のフィルタボックス３８を示す斜視図、（Ｂ）は図３中のフィルタボックス４０を示す斜視図である。（Ａ）及び（Ｂ）はそれぞれフィルタボックス３８とケーシング２８との相対位置の変化を示す一部が切り欠かれた平面図である。（Ａ）及び（Ｂ）はそれぞれフィルタボックス３８，４０とケーシング２８との相対位置の変化を示す一部が切り欠かれた平面図である。（Ａ）はフィルタボックスの設置動作の一例を示すフローチャート、（Ｂ）はフィルタボックスの交換動作の一例を示すフローチャートである。（Ａ）は第１変形例のフィルタボックス３８Ａを示す斜視図、（Ｂ）は第１変形例のフィルタボックス４０Ａを示す斜視図である。（Ａ）は第２変形例のフィルタボックス３８Ｂを示す斜視図、（Ｂ）は第２変形例のフィルタボックス４０Ｂを示す斜視図である。第３変形例のフィルタ装置を示す断面図である。（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ第４変形例、第５変形例、及び第６変形例のフィルタボックスを示す平面図である。（Ａ）は第７変形例のフィルタ装置を示す断面図、（Ｂ）は図１２（Ａ）中のフィルタボックスを示す斜視図である。電子デバイスの製造工程の一例を示すフローチャートである。

　以下、本発明の好ましい実施形態の一例につき図１～図７を参照して説明する。
　図１は、本実施形態のスキャニングステッパーよりなる走査露光型の露光装置ＥＸを示す一部を切り欠いた図である。図１において、露光装置ＥＸは、露光光（露光用の照明光）ＥＬを発生する光源部２と、露光光ＥＬでレチクルＲ（マスク）を照明する照明光学系ＩＬＳと、レチクルＲを保持して移動するレチクルステージＲＳＴと、レチクルＲのパターンの像をフォトレジスト（感光材料）が塗布されたウエハＷ（基板）の表面に投影する投影光学系ＰＬとを備えている。さらに、露光装置ＥＸは、ウエハＷを保持して移動するウエハステージＷＳＴと、その他の駆動機構及びセンサ類等と、複数枚のレチクルを保管するレチクルライブラリ９と、複数枚の未露光及び／又は露光済みのウエハを保管するウエハカセット７と、露光装置ＥＸの動作を統括的に制御する主制御装置（不図示）とを備えている。これらの光源部２から主制御装置（不図示）までの部材は、例えば半導体デバイス製造工場のクリーンルーム内の第１の床ＦＬ１の上面に設置されている。

　また、露光装置ＥＸは、床ＦＬ１上に設置された箱状の気密性の高いチャンバ１０を備え、チャンバ１０の内部は、例えばシャッタ２４Ｒ及び２４Ｗで開閉される２つの開口を有する仕切り部材１０ｄによって、露光室１０ａとローダ室１０ｂとに区画されている。そして、露光室１０ａ内に、照明光学系ＩＬＳ、レチクルステージＲＳＴ、投影光学系ＰＬ、及びウエハステージＷＳＴを含む露光本体部４が設置され、ローダ室１０ｂ内に、レチクルライブラリ９及びウエハカセット７をそれぞれ含むレチクルローダ系及びウエハローダ系が設置されている。

　また、露光装置ＥＸは、チャンバ１０の内部全体の空調を行うための全体空調システムを備えている。この全体空調システムは、第１の床ＦＬ１の階下の機械室の第２の床ＦＬ２の上面に設置されて、直列に配置された複数のケミカルフィルタを有するフィルタ装置２６と、床ＦＬ２の上面に設置された空調本体部３１を有する空調装置３０と、露光室１０ａの上部に設置された大型の吹き出し口１８と、照明光学系ＩＬＳを収納するサブチャンバ２２の底面に配置された小型の吹き出し口１９Ｒと、投影光学系ＰＬの近傍に配置された小型の吹き出し口１９Ｗとを備えている。フィルタ装置２６は、配管２５を介して供給される空調用の気体である空気ＡＲから所定の不純物を除去し、不純物を除去した空気を矢印Ａ１で示すように第１ダクト３２を介して空調本体部３１に供給する（詳細後述）。

　空調装置３０は、第１ダクト３２と、空調本体部３１と、空調本体部３１とチャンバ１０の内部とを床ＦＬ１に設けられた開口を通して連結する第２ダクト３５と、例えば第２ダクト３５の途中に配置されて、内部を流れる空気から微小な粒子（パーティクル）を除去するＵＬＰＡフィルタ（Ultra Low Penetration Air-filter）等の防塵フィルタ３６とを備えている。ダクト３２，３５及び配管２５は、例えばステンレス鋼又はフッ素樹脂など、汚染物質の発生量の少ない材料を用いて形成されている。

　空調本体部３１は、第１ダクト３２を介して供給される空気の温度を制御する温度制御部３３Ａと、その空気の湿度を制御する湿度制御部３３Ｂと、その空気を第２ダクト３５側に送風するファンモータ３４とを備えている。その空気は、温度が２０℃～３０℃の範囲内の例えば２３℃に制御されて、第２ダクト３５及び吹き出し口１８を介して露光室１０ａの内部にダウンフロー方式で供給される。チャンバ１０の内部は、この空気の供給によって陽圧状態に設定される。また、第２ダクト３５内の空気は、分岐管３５ａ及び３５ｂと、対応する吹き出し口１９Ｗ及び吹き出し口１９Ｒとを介して露光室１０ａ内に供給される。露光室１０ａ内の空気の一部はローダ室１０ｂにも流入する。

　一例として、チャンバ１０の内部（露光室１０ａ）を流れた空気は、チャンバ１０の底面に設けられた多数の開口４５ａ及び床ＦＬ１に設けられた多数の開口４５ｂを通して床下の排気ダクト４４内に流れ、排気ダクト４４内の空気は、不図示のフィルタを介して清浄化された後、排気される。なお、排気ダクト４４に流れた空気の全部又は一部を配管２５側に戻して再利用することも可能である。

　以下、図１において、投影光学系ＰＬの光軸ＡＸに平行にＺ軸を取り、Ｚ軸に垂直な平面（本実施形態ではほぼ水平面に平行である）内で図１の紙面に垂直にＸ軸を、図１の紙面に平行にＹ軸を取って説明する。本実施形態では、走査露光時のレチクルＲ及びウエハＷの走査方向はＹ方向である。また、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の回りの回転方向をθｘ、θｙ、θｚ方向とも呼ぶ。

　先ず、チャンバ１０の外側の床ＦＬ１上に設置された光源部２は、露光光ＥＬとしてＡｒＦエキシマレーザ光（波長１９３ｎｍ）を発生する露光光源と、その露光光ＥＬを照明光学系ＩＬＳに導くビーム送光光学系とを備えている。光源部２の露光光ＥＬの射出端は、チャンバ１０の＋Ｙ方向の側面上部の開口を通して露光室１０ａ内に配置されている。なお、露光光源としては、ＫｒＦエキシマレーザ光源（波長２４８ｎｍ）などの紫外パルスレーザ光源、ＹＡＧレーザの高調波発生光源、固体レーザ（半導体レーザなど）の高調波発生装置、又は水銀ランプ（ｉ線等）なども使用できる。

　また、チャンバ１０内の上部に配置された照明光学系ＩＬＳは、例えば米国特許出願公開第２００３／００２５８９０号明細書などに開示されるように、オプティカルインテグレータ等を含む照度均一化光学系、レチクルブラインド、及びコンデンサ光学系等を備えている。照明光学系ＩＬＳは、レチクルブラインドで規定されたレチクルＲのパターン面のＸ方向に細長いスリット状の照明領域を露光光ＥＬによりほぼ均一な照度で照明する。

　レチクルＲに形成されたパターン領域のうち、照明領域内のパターンの像は、両側テレセントリックで投影倍率βが縮小倍率（例えば１／４）の投影光学系ＰＬを介してウエハＷの表面に結像投影される。
　また、チャンバ１０の露光室１０ａ内の床ＦＬ１上に、複数の台座１１を介して下部フレーム１２が設置され、下部フレーム１２の中央部に平板状のベース部材１３が固定され、ベース部材１３上に例えば３箇所の防振台１４を介して平板状のウエハベースＷＢが支持され、ウエハベースＷＢのＸＹ平面に平行な上面にエアベアリングを介してウエハステージＷＳＴがＸ方向、Ｙ方向に移動可能に、かつθｚ方向に回転可能に載置されている。また、下部フレーム１２の上端に、ウエハベースＷＢを囲むように配置された例えば３箇所の防振台１５を介して光学系フレーム１６が支持されている。光学系フレーム１６の中央部の開口に投影光学系ＰＬが配置され、光学系フレーム１６上に投影光学系ＰＬを囲むように上部フレーム１７が固定されている。

　また、光学系フレーム１６の底面の＋Ｙ方向の端部にＹ軸のレーザ干渉計２１ＷＹが固定され、その底面の＋Ｘ方向の端部にＸ軸のレーザ干渉計（不図示）が固定されている。これらの干渉計よりなるウエハ干渉計は、それぞれウエハステージＷＳＴの側面の反射面（又は移動鏡）に複数軸の計測用ビームを照射して、例えば投影光学系ＰＬの側面の参照鏡（不図示）を基準として、ウエハステージＷＳＴのＸ方向、Ｙ方向の位置、及びθｘ、θｙ、θｚ方向の回転角を計測し、計測値を主制御装置（不図示）に供給する。

　主制御装置（不図示）内のステージ制御系が、上記のウエハ干渉計の計測値及びオートフォーカスセンサ（不図示）の計測値等に基づいて、リニアモータ等を含む駆動機構（不図示）を介してウエハステージＷＳＴのＸ方向、Ｙ方向の位置及び速度とθｚ方向の回転角とを制御するとともに、ウエハＷの表面が投影光学系ＰＬの像面に合焦されるように、ウエハステージＷＳＴ内のＺステージ（不図示）を制御する。また、レチクルＲ及びウエハＷのアライメントを行うためのアライメント系ＡＬＧ等も設けられている。

　一方、上部フレーム１７の＋Ｙ方向の上部に、照明光学系ＩＬＳを収納するサブチャンバ２２が固定されている。さらに、上部フレーム１７のＸＹ平面に平行な上面にエアベアリングを介して、レチクルステージＲＳＴがＹ方向に定速移動可能に、かつＸ方向への移動及びθｚへの回転が可能に載置されている。
　また、上部フレーム１７の上面の＋Ｙ方向の端部にＹ軸のレーザ干渉計２１ＲＹが固定され、その上面の＋Ｘ方向の端部にＸ軸のレーザ干渉計（不図示）が固定されている。これらの干渉計よりなるレチクル干渉計は、それぞれレチクルステージＲＳＴに設けられた移動鏡２１ＭＹ等に複数軸の計測用ビームを照射して、例えば投影光学系ＰＬの側面の参照鏡（不図示）を基準として、レチクルステージＲＳＴのＸ方向、Ｙ方向の位置、及びθｚ、θｘ、θｙ方向の回転角を計測し、計測値を主制御装置（不図示）に供給する。

　主制御装置（不図示）内のステージ制御系は、そのレチクル干渉計の計測値等に基づいてリニアモータ等を含む駆動機構（不図示）を介してレチクルステージＲＳＴのＹ方向の速度及び位置、Ｘ方向の位置、並びにθｚ方向の回転角等を制御する。
　また、本実施形態の露光装置ＥＸが液浸型である場合には、投影光学系ＰＬの下端の光学部材の下面に配置される例えばリング状のノズルヘッドを含む局所液浸機構（不図示）から、投影光学系ＰＬの先端の光学部材とウエハＷとの間の局所的な液浸領域に所定の液体（純水等）が供給される。その局所液浸機構としては、例えば米国特許出願公開第２００７／２４２２４７号明細書等に開示されている液浸機構を使用できる。なお、露光装置ＥＸがドライ型である場合には、その液浸機構を備える必要はない。

　また、ローダ室１０ｂの内部において、上方の支持台６７の上面にレチクルライブラリ９及び水平多関節型ロボットであるレチクルローダ８が設置されている。レチクルローダ８は、仕切り部材１０ｄのシャッタ２４Ｒで開閉される開口を通して、レチクルライブラリ９とレチクルステージＲＳＴとの間でレチクルＲの交換を行う。
　また、ローダ室１０ｂの内部において、下方の支持台６８の上面にウエハカセット７と、ウエハカセット７との間でウエハの出し入れを行う水平多関節型ロボット６ａとが設置されている。水平多関節型ロボット６ａの上方には、水平多関節型ロボット６ａとともにウエハローダ６を構成するウエハ搬送装置６ｂが設置されている。ウエハ搬送装置６ｂは、仕切り部材１０ｄのシャッタ２４Ｗで開閉される開口を通して、水平多関節型ロボット６ａとウエハステージＷＳＴとの間でウエハＷを搬送する。

　そして、露光装置ＥＸの露光時には、先ずレチクルＲ及びウエハＷのアライメントが行われる。その後、レチクルＲへの露光光ＥＬの照射を開始して、投影光学系ＰＬを介してレチクルＲのパターンの一部の像をウエハＷの表面の一つのショット領域に投影しつつ、レチクルステージＲＳＴとウエハステージＷＳＴとを投影光学系ＰＬの投影倍率βを速度比としてＹ方向に同期して移動（同期走査）する走査露光動作によって、そのショット領域にレチクルＲのパターン像が転写される。その後、ウエハステージＷＳＴを介してウエハＷをＸ方向、Ｙ方向にステップ移動する動作と、上記の走査露光動作とを繰り返すことによって、ステップ・アンド・スキャン方式でウエハＷの全部のショット領域にレチクルＲのパターン像が転写される。

　次に、本実施形態の露光装置ＥＸは、照明光学系ＩＬＳの照明特性（照度均一性等）及び投影光学系の結像特性（解像度等）を所定の状態に維持し、かつレチクルＲ、投影光学系ＰＬ、及びウエハＷが設置される雰囲気（空間）を所定の環境に維持して高い露光精度（解像度、位置決め精度等）で露光を行うために、上述のように、チャンバ１０の内部に温度制御された清浄な空気をダウンフロー方式で供給する空調装置３０を含む全体空調システムを備えている。

　また、その全体空調システムは局所空調部を備えている。即ち、第２ダクト３５の分岐管３５ｂ及び３５ａからそれぞれサブチャンバ２２の底面の吹き出し部１９Ｒ、及び光学系フレーム１６の底面の吹き出し部１９Ｗに温度制御された清浄な空気が供給されている。この場合、吹き出し部１９Ｒ及び１９Ｗは、それぞれレチクルステージＲＳＴ用のＹ軸のレーザ干渉計２１ＲＹ及びウエハステージＷＳＴ用のＹ軸のレーザ干渉計２１ＷＹの計測用ビームの光路上に配置されている。吹き出し部１９Ｒ，１９Ｗは、それぞれ温度制御された空気を、ほぼ均一な風速分布で計測用ビームの光路上にダウンフロー方式（又はサイドフロー方式でもよい）で吹き出す。同様に、Ｘ軸のレーザ干渉計の計測用ビームの光路にも温度制御された空気が局所的に供給される。これによって、レチクル干渉計２１Ｒ及びウエハ干渉計２１Ｗ等によってレチクルステージＲＳＴ及びウエハステージＷＳＴの位置を高精度に計測できる。

　また、ローダ室１０ｂ内に局所空調装置６０が設置されている。局所空調装置６０は、支持台６８の底面に配置された小型のファンモータ６１と、ファンモータ６１で送風された空気を上部に供給するダクト６２と、レチクルライブラリ９及びウエハカセット７の上方に配置された吹き出し口６５及び６６とを備えている。ダクト６２の先端部はそれぞれ吹き出し口６５及び６６に空気を供給する分岐管６２Ｒ及び６２Ｗに分かれている。また、吹き出し口６５及び６６の空気の流入口の近傍にそれぞれＵＬＰＡフィルタ等の防塵フィルタが設置され、ファンモータ６１の近傍のダクト６２内に、所定の不純物を除去するケミカルフィルタを収納するフィルタボックス６３，６４が設置されている。一例として、フィルタボックス６３のケミカルフィルタは、有機系ガス（有機物のガス）を除去し、フィルタボックス６４のケミカルフィルタは、アルカリ系ガス（アルカリ性物質のガス）及び酸性ガス（酸性物質のガス）を除去する。

　ローダ室１０ｂ内で局所空調装置６０を動作させると、ファンモータ６１から送風された空気は、フィルタボックス６３，６４及びダクト６２を介して吹き出し口６５及び６６からそれぞれダウンフロー方式でレチクルライブラリ９及びウエハカセット７が配置された空間に供給される。そして、レチクルライブラリ９の周囲を流れた空気は、支持台６７の周囲、支持台６７の下方のウエハカセット７の周囲、及び支持台６８の周囲を経てファンモータ６１に戻される。また、吹き出し口６６からウエハカセット７の周囲に供給された空気は、支持台６８の周囲を経てファンモータ６１に戻される。そして、ファンモータ６１に戻された空気は、再びフィルタボックス６３，６４及び防塵フィルタを介して吹き出し口６５，６６からローダ室１０ｂ内に供給される。このように、局所空調装置６０によって、ローダ室１０ｄ内の空気は清浄な状態に保たれる。

　次に、本実施形態の全体空調システムにおいて、空調装置３０に連結されるフィルタ装置２６の構成及び作用につき説明する。フィルタ装置２６は、Ｙ方向に細長い気密化された箱状のケーシング２８と、ケーシング２８内の空間をほぼ水平面内でＹ方向に４個の空間に分けるＸＺ平面に平行な仕切り板４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃと、仕切り板４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃのそれぞれの一方の面（図１では＋Ｙ方向の面）に密着させて設置される第１の種類のフィルタボックス３８、第２の種類のフィルタボックス４０、及び第１の種類のフィルタボックス３８とを有する。フィルタ装置２６は、２種類で３個（３段）の直列に配置されたフィルタボックス３８，４０を有する。以下では、第１の種類のフィルタボックス３８を第１のフィルタボックス３８とも呼び、第２の種類のフィルタボックス４０を第２のフィルタボックス４０とも呼ぶ。
　本実施形態において、フィルタボックスは、フィルタ面が水平方向に対して交差する方向、例えば、フィルタボックスのフィルタ面がＸＺ面内に設置される。なお、フィルタボックスのフィルタ面は、ＸＺ面に対して傾斜して設置されてもよい。この場合、フィルタボックスのフレームの設置面にテーパを形成したり、またはケーシング２８の底板２８ｈにテーパ部材を設けたりすればよい。
　本実施形態では、このフィルタボックスの設置状態を横置きとして、以下説明する。

　さらに、フィルタ装置２６は、フィルタボックス３８，４０の挿入時又は交換時に、フィルタボックス３８，４０を出し入れするための窓部２８ｂ（図２参照）を開くために、ケーシング２８に複数箇所でヒンジ機構２９ｈ（図３参照）を介して開閉可能に装着されたドア２９を有する。ケーシング２８の＋Ｙ方向の端部の第１の空間の上板には、開口２８ａが形成されており、この開口２８ａに空調用の空気ＡＲを取り込む配管２５の端部が取り付けられている。ケーシング２８の－Ｙ方向の側壁に開口２８ｇが形成され、ケーシング２８の－Ｙ方向の端部の第４の空間に開口２８ｇを通して第１ダクト３２が連結されている。

　図２は、図１中のケーシング２８のドア２９を開いた状態のフィルタ装置２６を示す。図２において、説明の便宜上、ケーシング２８、ドア２９、及び仕切り板４２Ａ～４２Ｃは２点鎖線で表している。図２において、ドア２９には、ドア２９でケーシング２８の窓部２８ｂを閉じたときに、窓部２８ｂの周辺及び仕切り板４２Ａ～４２Ｃの端部とドア２９との間を密閉するためのガスケット４６が固定されている。ガスケット４６は、耐食性に優れ、かつ脱ガスの少ない材料、例えばテフロン（デュポン社の登録商標）のシート、又はシリコンゴムのシート等から形成できる。

　また、ケーシング２８の内部において、－Ｙ方向の端部の仕切り板４２Ａ及び＋Ｙ方向の端部の仕切り板４２にそれぞれ密着するように横置きされた第１のフィルタボックス３８は、フレーム５０の開口５０ｆ（図３参照）に有機系ガス（有機物のガス）を除去するケミカルフィルタ５１を保持したものである。また、中央の仕切り板４２Ｂに密着するように横置きされた第２のフィルタボックス４０は、フレーム５５の開口５５ｆ（図３参照）にアンモニアやアミン等のアルカリ系ガス（アルカリ性物質のガス）及び酸性ガス（酸性物質のガス）を除去するケミカルフィルタ５６を保持したものである。

　各フィルタボックス３８，４０のＹ方向の幅は例えば２００～４００ｍｍであり、各フィルタボックス３８，４０の重量は例えば１０～２０ｋｇ程度である。
　有機系ガス除去用のケミカルフィルタ５１としては、例えば活性炭型フィルタ又はセラミックス型フィルタ等が使用可能である。また、アルカリ系ガス及び酸性ガス除去用のケミカルフィルタ５６としては、添着剤活性炭型フィルタ、イオン交換樹脂型フィルタ、イオン交換繊維型フィルタ、又は添着剤セラミックス型フィルタ等を使用することができる。また、フレーム５０，５５、仕切り板４２Ａ～４２Ｃ、ケーシング２８、及びドア２９は、それぞれ耐食性があり脱ガス等の少ない材料、例えば表面に酸化皮膜（酸化アルミニウム等）が形成されたアルミニウム（アルマイト処理されたアルミニウム）、又はステンレス鋼等から形成されている。なお、フレーム５０，５５等は、耐食性があり脱ガスの少ない樹脂材料を含む材料（ポリエチレンで覆った合板、又はフッ素系樹脂等）等で形成することも可能である。

　なお、有機系ガスを除去することで、チャンバ１０の露光室１０ａ内で露光光ＥＬの透過率が向上し、かつ有機系ガスと露光光ＥＬとの相互作用によって光学素子に表面に形成される曇り物質の発生が抑制される。また、アルカリ系ガス及び酸性ガスを除去することによって、ウエハＷのフォトレジストの特性の変化等が抑制される。特に、フォトレジストが化学増幅型フォトレジストである場合には、空気中にアンモニアやアミン等のアルカリ系ガスがあると、発生した酸が反応してフォトレジスト表面に難溶化層ができる恐れがある。従って、特にアンモニアやアミン等のアルカリ系ガスの除去が有効である。

　なお、図１のローダ室１０ｂ内のフィルタボックス６３，６４内のケミカルフィルタの構成は、ケミカルフィルタ５１，５６の構成と同様である。ただし、フィルタボックス６３，６４はフィルタボックス３８，４０より小型でもよい。
　また、フィルタ装置２６は、ケーシング２８の－Ｘ方向の側壁２８ｉに固定されて、それぞれ仕切り板４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃに対してフィルタボックス３８，４０，３８を位置決めするための位置決めブロック４８Ａ，４８Ｂ，４８Ｃと、位置決めブロック４８Ａ，４８Ｂ，４８Ｃに対してそれぞれフィルタボックス３８，４０，３８をＺ方向の中央付近で付勢するための移動用レバー５８Ａ，５８Ｂ，５８Ｃと、を有する。位置決めブロック４８Ａ，４８Ｂ，４８Ｃは、それぞれＺＹ平面に対して時計回りに所定のテーパ角φ（図３参照）で傾斜した平面よりなるテーパ部４８Ａａ，４８Ｂａ，４８Ｃａを有する。

　図３は、図２のケーシング２８のドア２９を閉じた状態のフィルタ装置２６を示す平面の断面図である。ただし、図３においては、ケーシング２８の上板に形成されている空気取り込み用の開口２８ａを２点鎖線で示している。図３において、仕切り板４２Ａ～４２Ｃにはそれぞれフィルタボックス３８，４０を通過した空気を通す開口４２Ａａ，４２Ｂａ，４２Ｃａが形成されている。また、ケーシング２８内の空間は、仕切り板４２Ａ～４２Ｃによって、＋Ｙ方向から順に４個の空間２８ｃ，２８ｄ，２８ｅ，２８ｆに別れ、第１空間２８ｃが開口２８ａを通して図１の配管２５に連通し、第４空間２８ｆが開口２８ｇを通して図１の第１ダクト３２に連通している。さらに、位置決めブロック４８Ａ～４８Ｃのテーパ部４８Ａａ～４８Ｃａのテーパ角φは互いに等しく、テーパ角φは例えば２０°～４０°であり、一例としてテーパ角φは３０°である。

　また、互いに同じ構成の移動用レバー５８Ａ，５８Ｂ，５８Ｃはそれぞれ仕切り板４２Ｂ，４２Ｃ及びケーシング２８の＋Ｙ方向の側壁に固定された支点部材５９Ａ，５９Ｂ，５９Ｃ（保持部材）に対してＺ軸に平行な軸の回り（θｚ方向）に回転可能に連結されている。一例として、移動用レバー５８Ａは、支点部材５９Ａに回転可能に連結されたロッド５８Ａ１と、ロッド５８Ａ１の先端部のそれぞれフィルタボックス３８側及びこれと反対側に固定された半球状の当接部材５８Ａ２及び取っ手５８Ａ３とを有する。

　次に、フィルタボックス３８及び４０の構成につき、図２の仕切り板４２Ａ及び４２Ｂ側からそれぞれフィルタボックス３８及び４０を見たときの斜視図である図４（Ａ）及び図４（Ｂ）を参照して説明する。図４（Ａ）及び図４（Ｂ）中の直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）は、それぞれフィルタボックス３８及び４０がフィルタ装置２６内で目標とする位置に設置された状態における座標系を表している。

　図４（Ａ）に示すように、第１のフィルタボックス３８は、中央部にほぼ正方形の開口５０ｆが設けられたほぼ環状のフレーム５０と、開口５０ｆ内に保持されたケミカルフィルタ５１と、フレーム５０に固定された１対の凸の取っ手部７０Ａとを有する。ガスケット５４の材料はガスケット４６と同様である。
　さらに、本実施形態において、フレーム５０のＸＺ平面に平行な－Ｙ方向の第１の端面５０ａに、開口５０ｆを囲むように接着等で固定されたほぼ正方形の環状のガスケット５４（シール部材）を設けている。なお、ガスケット５４は、第１の端面５０ａが密着する相手側（例えば、仕切り板）に設けてもよい。
　なお、第１のフィルタボックス３８の開口５０ｆは、四角形等の矩形状であっても、多角形状であってもよい。また、フレーム５０の形状も正方形に限らず、長方形や多角形状であってもよい。

　また、フィルタボックス３８は、フレーム５０の４つの側面のうち、－Ｘ方向側の第１側面及び＋Ｘ方向側の第２側面の全面に、それぞれフレーム５０のＸＺ平面に平行な＋Ｙ方向の第２の端面５０ｇから第１の端面５０ａ側に向かって、フレーム５０の外側に傾斜するように形成された平面よりなる対称な第１テーパ部５０ｂ及び第２テーパ部５０ｃを有する。この第２側面は、第１側面に対してケミカルフィルタ５６（又はフレーム５０の開口５０ｆ）を挟んで反対側の面である。第１テーパ部５０ｂはＺＹ平面に対して時計回りにテーパ角φで傾斜し、第２テーパ部５０ｃはＺＹ平面に対して反時計回りにテーパ角φで傾斜している。テーパ角φは、図３の位置決めブロック４８Ａ～４８Ｃのテーパ部４８Ａａ～４８Ｃａのテーパ角と等しい。従って、図３において、フレーム５０の端面５０ａに対して第１テーパ部５０ｂがなす角度をαとすると、角度αとテーパ角φとの和は９０°である。

　図４（Ａ）において、フレーム５０の第１テーパ部５０ｂの中央部から－Ｚ方向にずれた位置に取っ手部７０Ａが固定され、第２テーパ部５０ｃの中央部から＋Ｚ方向にずれた位置に取っ手部７０Ａが固定されている。即ち、フレーム５０の中心に対して１対の取っ手部７０Ａはほぼ点対称な位置にある。また、フレーム５０の－Ｚ方向及び＋Ｚ方向の側面がそれぞれＸＹ平面に平行な設置面５０ｄ及び５０ｅである。

　フィルタボックス３８のフレーム５０の設置面５０ｄをケーシング２８の第３空間２８ｅの底板２８ｈの上面に載置し、図３に示すように、フレーム５０の第１テーパ部５０ｂを位置決めブロック４８Ａのテーパ部４８Ａａに接触させて、かつフレーム５０の端面５０ａをガスケット５４を介して仕切り板４２Ａに密着させた状態が、第３空間２８ｅ内のフィルタボックス３８の設置位置Ｑ１である。フィルタボックス３８は、横置きで自重によって安定に静止している。この場合、位置決めブロック４８Ａのテーパ部４８Ａａの取っ手部７０Ａに対向する位置には凹部４８Ａｂが形成されているため、取っ手部７０Ａがあってもテーパ部４８Ａａにテーパ部５０ｂを密着可能である。

　同様に、ケーシング２８の第１空間２８ｃ内の設置位置Ｑ３においても、フィルタボックス３８のフレーム５０の設置面５０ｄが底板２８ｈの上面に載置され、フレーム５０の第１テーパ部５０ｂが位置決めブロック４８Ｃのテーパ部４８Ｃａに接触し、かつ端面５０ａがガスケット５４を介して仕切り板４２Ｃに密着している。また、第１テーパ部５０ｂに設けた取っ手部７０Ａが位置決めブロック４８Ｃのテーパ部４８Ｃａの凹部４８Ｃｂ内に収まっている。

　さらに、フィルタボックス３８は、１対の取っ手部７０Ａを取り外した状態において、Ｙ軸に平行な軸の回り（θｙ方向）に１８０°回転しても形状が同じであるため、フレーム５０の他方の設置面５０ｅをケーシング２８の底板２８ｈ上に載置することも可能である。このように設置面５０ｅを底板２８ｈ上に載置したときには、フレーム５０の第２テーパ部５０ｃが位置決めブロック４８Ａ（４８Ｃ）のテーパ部４８Ａａ（４８Ｃａ）に接触し、第２テーパ部５０ｃに設けた取っ手部７０Ａが凹部４８Ａｂ（４８Ｃｂ）内に収まるため、フィルタボックス３８は正確に設置位置Ｑ１又はＱ３に設置できる。

　図４（Ｂ）に示すように、第２のフィルタボックス４０は、フレーム５０と同じ形状の中央部に開口５５ｆが設けられたほぼ環状のフレーム５５と、開口５５ｆ内に保持されたケミカルフィルタ５６とを有する。また、フィルタボックス４０は、フレーム５５の－Ｘ方向側の側面及び＋Ｘ方向の側面の全面に、それぞれ＋Ｙ方向の第２の端面５５ｇから－Ｙ方向の第１の端面５５ａ側に向かって、フレーム５５の外側にテーパ角φで傾斜するように対称に形成された第１テーパ部５５ｂ及び第２テーパ部５５ｃを有する。第２のフィルタボックス４０は、第１のフィルタボックス３８と同様、フレーム５５の－Ｙ方向の第１の端面５５ａに、開口５５ｆを囲むようにガスケット５４を固定してもよい。また、第２のフィルタボックス４０の開口５５ｆも、第１のフィルタボックス３８と同様、四角形等の矩形状であっても、多角形状であってもよい。また、フレーム５５の形状も正方形に限らず、長方形や多角形状であってもよい。
　なお、フレーム５０，５５は、例えばモールド成形等によって製造可能である。

　さらに、フィルタボックス４０は、第１テーパ部５５ｂの中央から＋Ｚ方向にずれた位置、及びこの位置とフレーム５５の中心に関してほぼ点対称な第２テーパ部５５ｃ上の位置に固定された１対の取っ手部７０Ｂを有する。また、フレーム５５の－Ｚ方向及び＋Ｚ方向の側面がそれぞれ設置面５５ｄ及び５５ｅである。
　本実施形態では、第１のフィルタボックス３８及び第２のフィルタボックス４０の形状は、それぞれの１対の取っ手部７０Ａ及び７０Ｂの位置がＺ方向に沿って逆方向にずれている点が異なっている。また、この形状の相違は、フィルタボックス３８，４０をθｙ方向に１８０°回転しても維持される。従って、作業者は、外観からフィルタボックス３８，４０を容易に互いに識別可能である。さらに、図４（Ａ）のフレーム５０の１対の取っ手部７０Ａは例えばボルト（不図示）でテーパ部５０ｂ，５０ｃのネジ穴に固定され、テーパ部５０ｂ，５０ｃの中心から取っ手部７０ＡとＺ方向に対称な位置に取っ手部７０Ａを取り付け可能なネジ穴が形成された取り付け領域Ｅ１，Ｅ２が設定されている。このため、１対の取っ手部７０Ａのテーパ部５０ｂ，５０ａに対する取り付け位置は、傾斜方向とは異なる方向、本実施形態では、傾斜方向に対して直交する方向に沿って可変である。従って、取っ手部７０Ａをフレーム５０の取り付け領域Ｅ１，Ｅ２に取り付けることによって、フレーム５０は第２のフィルタボックス４０用のフレーム５５として使用可能である。

　同様に、図４（Ｂ）において、１対の取っ手部７０Ｂのフレーム５５のテーパ部５５ｂ，５５ａに対する取り付け位置は、取り付け領域Ｅ３，Ｅ４との間で傾斜がない方向に沿って可変である。従って、取っ手部７０Ｂをフレーム５５の取り付け領域Ｅ３，Ｅ４に取り付けることによって、フレーム５５は第１のフィルタボックス３８用のフレーム５０として使用可能である。

　フィルタボックス４０のフレーム５５の設置面５５ｄをケーシング２８の第２空間２８ｄの底板２８ｈの上面に載置し、図３に示すように、フレーム５５の第１テーパ部５５ｂを位置決めブロック４８Ｂのテーパ部４８Ｂａに接触させて、かつフレーム５５の端面５５ａをガスケット５４を介して仕切り板４２Ｂに密着させた状態が、第２空間２８ｄ内のフィルタボックス４０の設置位置Ｑ２である。フィルタボックス４０も、横置きで自重によって安定に静止している。この場合、位置決めブロック４８Ｂのテーパ部４８Ｂａの取っ手部７０Ｂに対向する位置には凹部４８Ｂｂが形成されているため、取っ手部７０Ｂがあってもテーパ部４８Ｂａにテーパ部５５ｂを密着可能である。

　さらに、フィルタボックス４０も、θｙ方向に１８０°回転しても形状が同じであるため、１対の取っ手部７０Ｂを取り外した状態で、フレーム５５の他方の設置面５５ｅをケーシング２８の底板２８ｈ上に載置することも可能である。このように設置面５５ｅを底板２８ｈ上に載置したときには、フレーム５５の第２テーパ部５５ｃが位置決めブロック４８Ｂのテーパ部４８Ｂａに接触し、第２テーパ部５５ｃに設けた取っ手部７０Ｂが凹部４８Ｂｂ内に収まるため、フィルタボックス４０は正確に設置位置Ｑ２に設置できる。

　なお、図２に示すように、位置決めブロック４８Ｃの凹部４８Ｃｂの位置は取っ手部７０Ａに合わせて低い位置にあり（位置決めブロック４８Ａの凹部４８Ａｂも同様）、位置決めブロック４８Ｂの凹部４８Ｂｂの位置は取っ手部７０Ｂに合わせて高い位置にある。従って、空間２８ｃ又は２８ｅ内の設置位置Ｑ３又はＱ１に第２のフィルタボックス４０を設置しようとすると、フィルタボックス４０の取っ手部７０Ｂが位置決めブロック４８Ｃ又は４８Ａのテーパ部４８Ｃａ又は４８Ａａと機械的に干渉するため、設置位置Ｑ３，Ｑ１に誤ってフィルタボックス４０を設置することが防止できる。同様に、空間２８ｄ内の設置位置Ｑ２に第１のフィルタボックス３８を設置しようとすると、フィルタボックス３８の取っ手部７０Ａが位置決めブロック４８Ｂのテーパ部４８Ｂａと機械的に干渉するため、設置位置Ｑ２に誤ってフィルタボックス３８を設置することが防止できる。このように本実施形態によれば、フィルタボックス３８の取っ手部７０Ａの位置とフィルタボックス４０の取っ手部７０Ｂの位置とが異なり、かつ対応するケーシング２８内の位置決めブロック４８Ａ，４８Ｃの凹部４８Ａａ，４８Ｃａの位置と位置決めブロック４８Ｂの凹部４８Ｂｂの位置とが異なっている。従って、仕切り板４２Ａ，４２Ｃの前面にアルカリ系ガス及び酸性ガスを除去するためのケミカルフィルタ５６を有するフィルタボックス４０を設置することが防止でき、逆に仕切り板４２Ｂの前面に有機系ガスを除去するためのケミカルフィルタ５１を有するフィルタボックス３８を設置することが防止できる。

　そして、図３において、仕切り板４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃの前面の設置位置Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３にそれぞれフィルタボックス３８，４０，３８を設置した後、移動用レバー５８Ａ，５８Ｂ，５８Ｃで、各フィルタボックス３８，４０，３８を仕切り板４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃに付勢し、ケーシング２８のドア２９が閉じられた状態では、位置決めブロック４８Ａ～４８Ｃ及び移動用レバー５８Ａ～５８Ｃによって、仕切り板４２Ａ～４２Ｃとフィルタボックス３８，４０のフレーム５０，５５との間の気密性はガスケット５４によって高く維持されている。この結果、ケーシング２８の開口２８ａが形成された上板と仕切り板４２Ｃとで挟まれた第１空間２８ｃ内の気体は、必ずフィルタボックス３８のケミカルフィルタ５１を通過した後、開口４２Ｃａを通って、仕切り板４２Ｂ及び４２Ｃで挟まれた第２空間２８ｄに流入する。同様に、空間２８ｄ内の気体は、必ずフィルタボックス４０のケミカルフィルタ５６を通過した後、開口４２Ｂａを通って、仕切り板４２Ａ及び４２Ｂで挟まれた第３空間２８ｅに流入する。同様に、空間２８ｅ内の気体は、必ずフィルタボックス３８のケミカルフィルタ５１を通過した後、開口４２Ａａ、仕切り板４２Ａの裏面の第４空間２８ｆ、及びケーシング２８の側壁の開口２８ｇを通って、図２の第１ダクト３２に流れる。従って、ケーシング２８の＋Ｙ方向の上部の開口２８ａから流入する空気ＡＲは、必ず２つ（２段）の有機系ガス除去用のフィルタボックス３８及び一つ（１段）のアルカリ系ガス及び酸性ガス除去用のフィルタボックス４０を通過して図１の空調装置３０に供給されるため、チャンバ１０内には不純物を高度に除去した空気が供給される。

　次に、ケーシング２８に対するフィルタボックス３８，４０の設置動作及び交換動作の一例につき、図５（Ａ）～図６（Ｂ）、及び図７（Ａ）、図７（Ｂ）のフローチャートを参照して説明する。図５（Ａ）～図６（Ｂ）は、それぞれケーシング２８を断面で表したフィルタ装置２６を示す平面図である。
　まず、ケーシング２８に最初に２つのフィルタボックス３８及び一つのフィルタボックス４０を設置するときには、図７（Ａ）のステップ１０２において、図４（Ａ）の未使用のケミカルフィルタ５１が充填された２つのフィルタボックス３８と、図４（Ｂ）の未使用のケミカルフィルタ５６が充填された一つのフィルタボックス４０とを用意する。次のステップ１０４において、ケーシング２８のロック（不図示）を解除してドア２９を開いた後、図５（Ａ）において、矢印Ｂ１で示すように、移動用レバー５８Ａ～５８Ｃを前方（ケーシング２８の窓部２８ｂの外側）に開く。

　次のステップ１０６において、作業者は１番目のフィルタボックス３８の取っ手部７０Ａを持ち、ケーシング２８の第３空間２８ｅ内の底板２８ｈ（図２参照）上にフィルタボックス３８（フレーム５０）の設置面５０ｄを載置する。そして、作業者は矢印Ｂ２で示すように、第３空間２８ｅ内にフィルタボックス３８を押し込む。次のステップ１０８において、図５（Ｂ）に矢印Ｂ３で示すように、作業者は、フィルタボックス３８の第１テーパ部５０ｂを位置決めブロック４８Ａのテーパ部４８Ａａに係合（接触）させる。フィルタボックス３８の一方の取っ手部７０Ａは位置決めブロック４８Ａの凹部４８Ａｂ内に収まる。そして、矢印Ｂ４で示すように、フィルタボックス３８の第２テーパ部５０ｃに移動用レバー５８Ａを押し当てて、フィルタボックス３８の移動を開始する。次のステップ１１０において、作業者は、図６（Ａ）に矢印Ｂ５で示すように移動用レバー５８Ａをさらに回転させて、フィルタボックス３８を－Ｘ方向及び－Ｙ方向に付勢する。これによって、矢印Ｂ６で示すように、フィルタボックス３８のフレーム５０の第１テーパ部５０ｂが位置決めブロック４８Ａのテーパ部４８Ａａに接した状態で、フィルタボックス３８はケーシング２８内の設置位置Ｑ１まで移動し、フィルタボックス３８（フレーム５０）の端面５０ａがガスケット５４を介して仕切り板４２Ａに密着する。

　次のステップ１１２において、作業者は、２番目のフィルタボックス４０の取っ手部７０Ｂを持ち、ケーシング２８の第２空間２８ｄ内の底板２８ｈ上にフィルタボックス４０（フレーム５５）の設置面５５ｄを載置する。そして、作業者は矢印Ｂ７で示すように、ケーシング２８の第２空間２８ｄ内にフィルタボックス４０を押し込む。次のステップ１１４において、作業者は図６（Ｂ）に示すように、フィルタボックス４０の第１テーパ部５５ｂを位置決めブロック４８Ｂのテーパ部４８Ｂａに係合（接触）させ、フィルタボックス４０の第２テーパ部５５ｃに移動用レバー５８Ｂを押し当てる。フィルタボックス４０の一方の取っ手部７０Ｂは位置決めブロック４８Ｂの凹部４８Ｂｂ内に収まる。

　次のステップ１１６において、作業者は、矢印Ｂ８で示すように移動用レバー５８Ｂをさらに回転して、矢印Ｂ９で示すように、フィルタボックス４０のフレーム５５の第１テーパ部５５ｂが位置決めブロック４８Ｂのテーパ部４８Ｂａに接した状態で、フィルタボックス４０をケーシング２８内の設置位置Ｑ２まで移動させる。これにより、フィルタボックス４０（フレーム５５）の端面５５ａがガスケット５４を介して仕切り板４２Ｂに密着する。次のステップ１１８において、矢印Ｂ１０で示すように、ケーシング２８の第１空間２８ｃ内で３番目のフィルタボックス３８を移動し、移動用レバー５８Ｃを回転して、第１空間２８ｃ内の設置位置にフィルタボックス３８を設置する。次のステップ１２０において、ケーシング２８のドア２９を閉じてロックすることで、フィルタボックス３８，４０の設置が完了する。

　この際に、フィルタボックス３８（４０）の第１テーパ部５０ｂ（５５ｂ）を位置決めブロック４８Ａ（４８Ｂ）のテーパ部４８Ａａ（４８Ｂａ）に押し当てて、フィルタボックス３８（４０）を付勢するのみで、フィルタボックス３８（４０）は仕切り板４２Ａ（４２Ｂ）の前面の設置位置Ｑ１（Ｑ２）に短時間に設置される。従って、フィルタボックス３８（４０）、ひいてはこの内部のケミカルフィルタ５１（５６）の目標とする位置への設置を効率的に、かつ容易に位置決めできるように行うことができる。

　次に、ケーシング２８内のフィルタボックス３８，４０の交換を行う場合、まず図７（Ｂ）のステップ１２２において、作業者は、ケーシング２８のロックを解除してドア２９を開き、図６（Ｂ）に矢印Ｄ１で示すように移動用レバー５８Ｃを開く。次のステップ１２４において、作業者は、第１空間２８ｃ内のフィルタボックス３８の取っ手部７０Ａを持ち、矢印Ｄ２で示すようにフィルタボックス３８を搬出する。次のステップ１２６において、図６（Ａ）に矢印Ｄ３で示すように移動用レバー５８Ｂを開いた後、作業者は、第２空間２８ｄ内のフィルタボックス４０の取っ手部７０Ｂを持ち、フィルタボックス４０の第１テーパ部５５ｂを位置決めブロック４８Ｂのテーパ部４２Ｂａに沿って前方へ移動させる。次のステップ１２８において、作業者は矢印Ｄ４で示すように、フィルタボックス４０をケーシング２８の第２空間２８ｄから引き抜く。

　次のステップ１３０において、図５（Ｂ）に矢印Ｄ５で示すように移動用レバー５８Ａを開いた後、作業者は、第３空間２８ｅ内のフィルタボックス３８の取っ手部７０Ａを持ち、取っ手部７０Ａを矢印Ｄ６で示す方向に引く。これによって、矢印Ｄ７で示すように、フィルタボックス３８の第１テーパ部５０ｂは、位置決めブロック４８Ａのテーパ部４８Ａａに沿って前方へ移動する。次のステップ１３２において、作業者は、図５（Ａ）に矢印Ｄ８で示すように、フィルタボックス３８をケーシング２８の第３空間２８ｅから引き抜く。

　次のステップ１３４において、ステップ１０６～１１８と同様の工程によって、作業者は新しいフィルタボックス３８，４０をケーシング２８内の目標とする位置に設置する。次のステップ１３６において、ケーシング２８のドア２９を閉じてロックすることで、フィルタボックス３８，４０の交換が終了する。
　この際に、フィルタボックス３８，４０は、設置位置から容易に引く抜くことができるため、ケーシング２８におけるフィルタボックス３８，４０の交換を容易に、かつ効率的に行うことができる。

　本実施形態の効果等は以下の通りである。
　（１）本実施形態の露光装置ＥＸは、フィルタ装置２６及び空調装置３０を含む全体空調システムを備え、フィルタ装置２６はケミカルフィルタ５１等を収容する装置である。そして、フィルタ装置２６は、ケミカルフィルタ５１（第１フィルタ）を保持する枠状のフレーム５０（第１フレーム）と、フレーム５０の－Ｘ方向の側面（第１側面）の少なくとも一部に形成され、フレーム５０の第２の端面５０ｇ側から第１の端面５０ａ側に向かって、フレーム５０の外側に次第に傾斜する第１テーパ部５０ｂ（形状変化部としての第１傾斜部）とを備える第１のフィルタボックス３８と、フィルタボックス３８を収容するケーシング２８（収容部）とを備えている。さらに、フレーム５０の２つの端面のうち第１の端面５０ａには、ガスケット５４（第１シール部材）が設けられている。
　そして、ケーシング２８は、フレーム５０の－Ｘ方向の側面とは異なる側面である設置面５０ｄを支持する底板２８ｈ（第１ベース部材）と、フレーム５０の第１テーパ部５０ｂに係合するテーパ部４８Ａａ（第１案内面）を持ちフレーム５０を位置決めする位置決めブロック４８Ａ（第１位置決め部材）と、位置決めブロック４８Ａと第１テーパ部５０ｂとが係合することによって、フレーム５０の第１の端面５０ａが押し付けられる仕切り板４２Ａ（第１仕切り部材）とを備えている。

　また、フィルタ装置２６を用いるフィルタをケーシング２８（収容部）に収容する方法は、ケミカルフィルタ５１を保持するとともに第１テーパ部５０ｂが形成されたフレーム５０と、フレーム５０の第１の端面５０ａに設けられたガスケット５４とを備える第１のフィルタボックス３８を用意するステップ１０２と、フレーム５０の第１テーパ部５０ｂが形成された側面に隣接する側面（設置面５０ｄ）をケーシング２８の底板２８ｈの表面に載置するステップ１０６と、フレーム５０の第１テーパ部５０ｂをケーシング２８の位置決めブロック４８Ａのテーパ部４８Ａａに係合させて、フレーム５０をケーシング２８の仕切り板４２Ａの方向に移動させるステップ１０８と、フレーム５０の端面５０ａをガスケット５４を介して仕切り板４２Ａに押し付けるステップ１１０と、を含んでいる。

　本実施形態によれば、ケーシング２８の位置決めブロック４８Ａに沿ってフレーム５０の第１テーパ部５０ｂが移動するように、フレーム５０を付勢する（移動する）ことによって、フレーム５０（ケミカルフィルタ５１）のケーシング２８内の目標位置（仕切り板４２Ａに接する位置）に対する設置を効率的に、及び容易に位置決めできるように行うことができる。言い換えると、フレーム５０の第１テーパ部５０ｂは、移動及び位置決めの２つの機能を果たすことができる。

　（２）また、フィルタボックス３８は、ケミカルフィルタ５１に関してフレーム５０の第１テーパ部５０ｂが形成された側面と反対側の側面（第２側面）の少なくとも一部に形成され、端面５０ｇ側から端面５０ａ側に向かって、フレーム５０の外側に次第に傾斜する第２テーパ部５０ｃ（形状変化部としての第２傾斜部）を備え、ケーシング２８は、ケーシング２８に移動可能に設けられ、かつフレーム５０の第２テーパ部５０ｃに係合し、フレーム５０を当接部材５８Ａ２（第３案内面）を介して仕切り板４２Ａに押し当てる移動用レバー５８Ａ（第２位置決め部材）を有する。従って、フレーム５０の移動を円滑に行うことができる。

　なお、移動用レバー５８Ａ～５８Ｃは必ずしも設ける必要はない。
　（３）また、フィルタ装置２６は、ケミカルフィルタ５１と異なるケミカルフィルタ５６フィルタを保持する枠状のフレーム５５（第２フレーム）と、フレーム５５の第１の端面５５ａに設けられたガスケット５４（第２シール部材）と、フレーム５５の－Ｘ方向の側面（第３側面）の少なくとも一部に形成され、フレーム５５の第２の端面５５ｇ側から第１の端面５５ａ側に向かって、フレーム５５の外側に傾斜する第１テーパ部５５ｂ（第３傾斜部）とを備える第２のフィルタボックス４０を備えている。そして、ケーシング２８は、フレーム５５の第１テーパ部５５ｂが形成された側面とは異なる側面（設置面５５ｄ）を支持する底板２８ｈ（第２ベース部材）と、フレーム５５の第１テーパ部５５ｂに係合するテーパ部４８Ｂａ（第２案内面）を持ちフレーム５５を位置決めする位置決めブロック４８Ｂ（第３位置決め部材）と、位置決めブロック４８Ｂと第１テーパ部５５ｂとが係合することによって、フレーム５５の端面５５ａが押し付けられる仕切り板４２Ｂ（第２仕切り部材）と、を備えている。

　従って、ケーシング２８の位置決めブロック４８Ｂに沿ってフレーム５５の第１テーパ部５５ｂが移動するように、フレーム５５を付勢する（移動する）ことによって、フレーム５５（ケミカルフィルタ５６）のケーシング２８内の目標位置（仕切り板４２Ｂに接する位置）に対する設置を効率的に、及び容易に位置決めできるように行うことができる。
　また、ケーシング２８内の仕切り板４２Ａ～４２Ｃは、鉛直線を含む面にほぼ平行（ほぼ水平面に垂直）であるが、本実施形態では、位置決めブロック４８Ａ～４８Ｃがあるため、フィルタボックス３８，４０の移動及び位置決めを円滑に行うことができる。なお、仕切り板４２Ａ～４２Ｃは、例えば鉛直線を含む面に対して斜めに傾斜していてもよい。
　（４）また、フィルタボックス３８は、ケミカルフィルタ５６に関してフレーム５５の第１テーパ部５５ｂが形成された側面と反対側の側面（第４側面）の少なくとも一部に形成され、端面５５ｇ側から端面５５ａ側に向かって、フレーム５５の外側に次第に傾斜する第４テーパ部５０ｃ（第４傾斜部）を備え、ケーシング２８は、ケーシング２８に移動可能に設けられ、かつフレーム５５の第２テーパ部５５ｃに係合し、フレーム５０を当接部材５８Ｂ２（第４案内面）を介して仕切り板４２Ａに押し当てる移動用レバー５８Ｂ（第４位置決め部材）を有する。従って、フレーム５５の移動を円滑に行うことができる。

　（５）また、フレーム５０の第１テーパ部５０ｂ及び第２テーパ部５０ｃはフレーム５０の２つの側面の全面に形成され、フレーム５５の第１テーパ部５５ｂ及び第２テーパ部５５ｃはフレーム５５の２つの側面の全面に形成されている。従って、テーパ部５０ｂ，５０ｃ等の加工が容易である。
　なお、テーパ部５０ｂ，５０ｃはフレーム５０の対応する側面の一部にのみ形成してもよい。この場合には、ケーシング２８側の対応する位置決めブロック４８Ａ，４８Ｃには、テーパ部５０ｂに対応する部分にのみテーパ部（第１案内面）を形成しておいてもよい。これはテーパ部５５ｂ，５５ｃ（第３案内面）も同様である。

　（６）また、フィルタボックス３８（フレーム５０）のテーパ部５０ｂ，５０ｃ及びフィルタボックス４０（フレーム５５）のテーパ部５５ｂ，５５ｃはそれぞれ平面、即ち直線状に形成されており、これらに対応する位置決めブロック４８Ａ，４８Ｂのテーパ部４８Ａａ，４８Ｂａも平面に形成されているため、テーパ部５０ｂ，５０ｃ等の形成が容易である。

　しかしながら、テーパ部５０ｂ，５０ｃ及びテーパ部５５ｂ，５５ｃを凸又は凹の球面状、即ち曲線状に形成してもよい。この場合には、これらに対応する位置決めブロック４８Ａ，４８Ｂのテーパ部４８Ａａ，４８Ｂａは凹又は凸の球面状に形成することで、上記の実施形態と同様に位置決めブロック４８Ａ，４８Ｂを用いてフィルタボックス３８，４０の移動及び位置決めを行うことができる。

　（７）また、図４（Ａ）のフィルタボックス３８のフレーム５０の－Ｘ方向の側面に設けた凸の取っ手部７０Ａ（第１取っ手部）は、第１テーパ部５０ｂに設けられており、これに対応するケーシング２８内の位置決めブロック４８Ａのテーパ部４８Ａａには取っ手部７０Ａが通過可能な凹部４８Ａｂが設けられている。従って、取っ手部７０Ａがあっても、フレーム５０の第１テーパ部５０ｂを位置決めブロック４８Ａのテーパ部４８Ａａに密着させて移動できる。これはフィルタボックス４０の第１テーパ部５５ｂの取っ手部７０Ｂ（第２取っ手部）についても同様である。

　（８）また、図４（Ａ）のフィルタボックス３８のフレーム５０の＋Ｘ方向の側面に設けた凸の取っ手部７０Ａ（第３取っ手部）は、第２テーパ部５０ｃに設けられている。この場合、２つの取っ手部７０Ａがあるため、フィルタボックス３８の搬送が容易であるとともに、フィルタボックス３８を１８０°回転した場合でも、フレーム５０の第２テーパ部５０ｃを位置決めブロック４８Ａのテーパ部４８Ａａに密着させて移動できる。これはフィルタボックス４０の第２テーパ部５５ｃの取っ手部７０Ｂ（第４取っ手部）についても同様である。

　なお、フレーム５０には凸の取っ手部７０Ａの代わりに凹の取っ手部を形成してもよい。同様にフレーム５５にも凸の取っ手部７０Ｂの代わりに凹の取っ手部を形成してもよい。
　なお、取っ手部７０Ａ，７０Ｂは必ずしも設ける必要はない。
　（９）また、図４（Ａ）において、第１のフィルタボックス３８のフレーム５０の第２テーパ部５０ｃの中央付近で、端面５０ａに近い位置Ｆ２に取っ手部７０Ａを設け、第１テーパ部５０ｂの位置Ｆ２と対称な位置に取っ手部７０Ａを設けてもよい。この場合には、図２の位置決めブロック４８Ａのテーパ部４８Ａａの対応する位置に凹部４８Ａｂを形成しておく。また、図４（Ｂ）において、第２のフィルタボックス４０のフレーム５５の第２テーパ部５５ｃの中央付近で、端面５０ａから離れた位置Ｆ４に取っ手部７０Ｂを設け、第１テーパ部５５ｂの位置Ｆ４と対称な位置に取っ手部７０Ｂを設ける。さらに、図２の位置決めブロック４８Ｂのテーパ部４８Ｂａの対応する位置に凹部４８Ｂｂを形成しておく。この場合には、フレーム５０，５５に対する取っ手部７０Ａ，７０Ｂの位置関係は端面５０ａ，５５ａとの距離が異なっている。従って、作業者は、フレーム５０，５５に対する取っ手部７０Ａ，７０Ｂの位置からフィルタボックス３８，４０を識別可能である。

　（１０）また、フィルタボックス３８（フレーム５０内）のケミカルフィルタ５１（濾材）は、その中を通過する気体中の有機系ガス（有機物）を除去し、フィルタボックス４０（フレーム５５内）のケミカルフィルタ５６（濾材）は、その中を通過する気体中のアルカリ性ガス及び酸性ガスを除去しているため、露光本体部４が収納されるチャンバ１０内に不純物が高度に除去された空気を供給できる。

　なお、フレーム５６内のフィルタは、例えばその中を通過する気体中のアルカリ性物質及び酸性物質の少なくとも一方を除去するフィルタでもよい。また、ケミカルフィルタが除去する不純物は任意であり、例えば一つのケミカルフィルタによって、有機系ガスとアルカリ性ガス及び酸性ガスとを吸収するようにしてもよい。
　さらに、フレーム５０，５５内のフィルタは、ケミカルフィルタ以外の任意のフィルタ（濾材）を使用できる。例えば、フレーム５０，５５内のフィルタとしては、ＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタのような微小な粒子（パーティクル）を除去するための防塵フィルタを用いることも可能である。

　（１１）さらに、本実施形態のフィルタ装置２６には、２つのフィルタボックス３８（フレーム５０）及び一つフィルタボックス４０（フレーム５５）が設置されているが、フィルタ装置２６が備えるフレーム５０，５５の個数は任意である。また、フィルタ装置２６には、一つ若しくは複数のフレーム５０、又は一つ若しくは複数のフレーム５５を設置するのみでもよい。

　（１２）また、本実施形態の露光装置ＥＸは、露光光ＥＬでレチクルＲのパターン及び投影光学系ＰＬを介してウエハＷ（基板）を露光する露光装置において、ウエハＷを露光する露光本体部４を収納するチャンバ１０と、本実施形態のフィルタ装置２６と、チャンバ１０の外部から取り込まれた空気をフィルタ装置２６を介してチャンバ１０内に送風する空調装置３０と、を備えている。

　本実施形態によれば、フィルタ装置２６のフィルタボックス３８，４０（フレーム５０，５５）の交換を効率的に行うことができ、フレーム５０，５５の位置決めを高精度に行うことができるため、露光装置のメンテナンスを効率的に行うことができ、かつチャンバ１０内の空気の不純物を高精度に除去できる。
　なお、本実施形態において、ローダ室１０ｂ内の局所空調装置６０のフィルタボックス６３，６４のフレームとしても、フィルタボックス３８，４０のフレーム５０，５５と同様のテーパ部が形成されたフレームを使用し、フィルタボックス６３，６４を位置決めブロック４８Ａ～４８Ｃと相似型のテーパ部が形成された位置決めブロックを備えたケーシングに収納してもよい。

　なお、上記の実施形態においては次のような変形が可能である。以下の変形例において、図３、図４（Ａ）及び図５（Ｂ）に対応する部分には同一符号を付してその詳細な説明を省略する。
　（１）図８（Ａ）は、上記の実施形態の第１変形例の第１のフィルタボックス３８Ａ及びこれに対応する位置決めブロック４８Ａを示す斜視図、図８（Ｂ）は、その第１変形例の第２のフィルタボックス４０Ａ及びこれに対応する位置決めブロック４８Ｂを示す斜視図である。図８（Ａ）の位置決めブロック４８Ａ及び図８（Ｂ）の位置決めブロック４８Ｂをそれぞれ図２の位置決めブロック４８Ａ，４８Ｃ及び４８Ｂの代わりにケーシング２８内に設置することで、この第１変形例のフィルタボックス３８Ａ，４０Ａをケーシング２８内に設置することができる。

　図８（Ａ）において、第１のフィルタボックス３８Ａは、ケミカルフィルタ５１を保持するほぼ環状のフレーム５０と、フレーム５０の第１の端面５０ａに設けられたガスケット５４Ａ（ガスケット５４の一部を切り欠いた形状）と、フレーム５０の－Ｘ方向の側面（第１側面）に設けられた凹部よりなる取っ手部５０ｂ１（第１取っ手部）と、フレーム５０の－Ｘ方向の側面に取っ手部５０ｂ１をＺ方向に挟むように形成され、フレーム５０の第２の端面５０ｇから第１の端面５０ａ側に向かって、フレーム５０の外側に次第に傾斜する２つの第１テーパ部５０ｂ２及び５０ｂ３（第１傾斜部の２つの部分）と、を有する。さらに、フィルタボックス３８Ａは、フレーム５０の＋Ｘ方向の側面（第３側面）に設けられた凹部よりなる取っ手部５０ｃ１（第３取っ手部）と、フレーム５０の＋Ｘ方向の側面に取っ手部５０ｃ１をＺ方向に挟むように形成され、第１テーパ部５０ｂ２，５０ｂ３と対称に傾斜する２つの第２テーパ部５０ｃ２，５０ｃ３（第２傾斜部の２つの部分）と、を有する。また、取っ手部５０ｂ１，５０ｃ１には作業者がさらに持ち易いようにグリップ部４９Ａが設けられている。

　また、フレーム５０の設置面に対する取っ手部５０ｂ１のＺ方向の位置は、取っ手部５０ｃ１のＺ方向の位置よりも低く、取っ手部５０ｂ１，５０ｃ１は、フレーム５０の中心に対して回転対称な位置関係で設けられている。言い換えると、一方の取っ手部５０ｂ１のフレーム５０の下方の設置面からのＺ方向の距離と、他方の取っ手部５０ｃ１のフレーム５０の上方の設置面からのＺ方向の距離とは等しい。さらに、位置決めブロック４８Ａのテーパ部４８Ａａの取っ手部５０ｂ１（及び５０ｃ１）に対応する位置に凸部４９Ｃが設けられている。凸部４９Ｃの高さは、テーパ部５０ｂ２，５０ｂ３からグリップ部４９Ａまでの深さよりも低く設定されている。従って、フレーム５０のテーパ部５０ｂ２，５０ｂ３（又は５０ｃ２，５０ｃ３）は、位置決めブロック４８Ａのテーパ部４８Ａａに密着させることができる。

　なお、位置決めブロック４８Ａには、凸部４９ＣをＺ方向に挟むように、テーパ部５０ｂ２，５０ｂ３に対応する２箇所のテーパ部ＦＡ１，ＦＡ２を形成してもよい。また、図２の移動用レバー５８Ａの代わりに、テーパ部５０ｃ３，５０ｃ２を個別に付勢する２つの移動用レバー５８ＡＵ，５８ＡＤを設けても良い。
　また、図８（Ｂ）において、第２のフィルタボックス４０Ａは、ケミカルフィルタ５６を保持するほぼ環状のフレーム５５と、フレーム５５の第１の端面５５ａに設けられたガスケット５４Ｂ（ガスケット５４の一部を切り欠いた形状）と、フレーム５５の－Ｘ方向の側面（第２側面）及びこれに対向する側面（第４側面）に設けられた凹部よりなる１対の取っ手部５５ｂ１，５５ｃ１（第２取っ手部及び第４取っ手部）と、フレーム５５のＸ方向の２つの側面にそれぞれ取っ手部５５ｂ１，５５ｃ１をＺ方向に挟むように形成された、第１テーパ部５５ｂ２及び５５ｂ３（第２傾斜部の２つの部分）及び第２テーパ部５５ｃ２及び５５ｃ３（第４傾斜部の２つの部分）と、を有する。また、取っ手部５５ｂ１，５５ｃ１にはグリップ部４９Ｂが設けられている。

　また、フレーム５５に対する取っ手部５５ｂ１，５５ｃ１のＺ方向の位置関係は、フレーム５０に対する取っ手部５０ｂ１，５０ｃ１のＺ方向の位置関係と逆になっている。言い換えると、一方の取っ手部５５ｂ１のフレーム５５の下方の設置面からのＺ方向の距離と、他方の取っ手部５５ｃ１のフレーム５５の上方の設置面からのＺ方向の距離とは等しい。さらに、フィルタボックス４０Ａの一方の取っ手部５５ｂ１のフレーム５５の下方の設置面からのＺ方向の距離と、フィルタボックス３８Ａの一方の取っ手部５０ｂ１のフレーム５０の下方の設置面からのＺ方向の距離とは互いに異なっている。さらに、位置決めブロック４８Ｂのテーパ部４８Ｂａの取っ手部５５ｂ１（及び５５ｃ１）に対応する位置に凸部４９Ｄが設けられている。従って、位置決めブロック４８Ｂに誤って第１のフィルタボックス３８Ａのフレーム５０を接触させようとすると、凸部４９Ｄとフレーム５０の第１テーパ部５０ｂ２（又は５０ｃ２）とが機械的に干渉する。これに対して、フレーム５５のテーパ部５５ｂ２，５５ｂ３（又は５５ｃ２，５５ｃ３）は、位置決めブロック４８Ｂのテーパ部４８Ｂａに密着させることができる。逆に、図８（Ａ）の位置決めブロック４８Ａに誤って第２のフィルタボックス４０Ａのフレーム５５を接触させようとすると、凸部４９Ｃとフレーム５５の第１テーパ部５５ｂ２（又は５５ｃ２）とが機械的に干渉する。従って、この第１変形例においても、位置決めブロック４８Ａのある空間に誤って第２のフィルタボックス４０Ａを設置することが防止され、位置決めブロック４８Ｂのある空間に誤って第１のフィルタボックス３８Ａを設置することが防止される。

　なお、この第１変形例において、フィルタボックス３８Ａのグリップ部４９Ａ及びフィルタボックス４０Ａのグリップ部４９Ｂは必ずしも設けなくともよい。また、位置決めブロック４８Ｂには、凸部４９ＤをＺ方向に挟むように、テーパ部５５ｂ２，５５ｂ３に対応する２箇所のテーパ部ＦＢ２，ＦＢ１を形成してもよい。また、図２の移動用レバー５８Ｂの代わりに、テーパ部５５ｃ２，５５ｃ３を個別に付勢する２つの移動用レバー５８ＢＵ，５８ＢＤを設けても良い。

　なお、図２において、例えばフィルタボックス４０のみを図８（Ｂ）のフィルタボックス４０Ａで置き換えて、対応する図２の位置決めブロック４８Ｂを図８（Ｂ）の位置決めブロック４８Ｂで置き換えてもよい。
　（２）次に、図９（Ａ）は、上記の実施形態の第２変形例の第１のフィルタボックス３８Ｂ及びこれに対応する位置決めブロック４８Ａ１を示す斜視図、図９（Ｂ）は、その第１変形例の第２のフィルタボックス４０Ｂ及びこれに対応する位置決めブロック４８Ａ２を示す斜視図である。図９（Ａ）の位置決めブロック４８Ａ１及び図９（Ｂ）の位置決めブロック４８Ａ１をそれぞれ図２の位置決めブロック４８Ａ，４８Ｃ及び４８Ｂの代わりにケーシング２８内に設置することで、この第２変形例のフィルタボックス３８Ｂ，４０Ｂ（フレーム５０Ａ，５５Ａ）をケーシング２８内に設置することができる。

　図９（Ａ）において、第１のフィルタボックス３８Ｂは、ケミカルフィルタ５１を保持するほぼ環状のフレーム５０Ａ（第１フレーム）と、フレーム５０Ａの－Ｙ方向の第１の端面に設けられたガスケット５４と、フレーム５０の＋Ｚ方向の側面に設けられた凸部よりなる取っ手部７０Ｃ（第１取っ手部）と、フレーム５０Ａの－Ｘ方向の側面５０Ａｂの＋Ｚ方向側に形成され、ガスケット５４側に向かってフレーム５０Ａの外側にテーパ角φで傾斜する第１テーパ部５０Ａｂｔ（第１傾斜部）と、を有する。フレーム５０Ａの＋Ｘ方向の側面５０ＡｃはＺＹ平面に平行で傾斜していない。

　さらに、位置決めブロック４８Ａ１のテーパ角φのテーパ部４８Ａ１ａはフレーム５０Ａの第１テーパ部５０ｂｔに対応する部分にのみ形成されている。従って、フレーム５０Ａの第１テーパ部５０Ａｂｔは、位置決めブロック４８Ａ１のテーパ部４８Ａ１ａに密着させることができる。
　また、図９（Ｂ）において、第２のフィルタボックス４０Ｂは、ケミカルフィルタ５６を保持するほぼ環状のフレーム５５Ａ（第２フレーム）と、フレーム５５Ａの第１の端面に設けられたガスケット５４と、フレーム５５の＋Ｚ方向の側面に設けられた凸部よりなる取っ手部７０Ｄ（第２取っ手部）と、フレーム５５Ａの－Ｘ方向の側面５５Ａｂの－Ｚ方向側に形成され、ガスケット５４側に向かってフレーム５５Ａの外側にテーパ角φで傾斜する第１テーパ部５５Ａｂｔ（第２傾斜部）と、を有する。フレーム５５Ａの＋Ｘ方向の側面５５ＡｃはＺＹ平面に平行で傾斜していない。さらに、位置決めブロック４８Ａ２のテーパ角φのテーパ部４８Ａ２ａはフレーム５５Ａの第１テーパ部５５Ａｂｔに対応する部分にのみ形成されている。

　この場合、フレーム５５Ａに対する第１テーパ部５５ＡｂｔのＺ方向の位置関係は、フレーム５０Ａに対する第１テーパ部５０ＡｂｔのＺ方向の位置関係と逆になっている。さらに、位置決めブロック４８Ａ１のテーパ部４８Ａ１ａと、位置決めブロック４８Ａ２のテーパ部４８Ａ２ａとはＺ方向の位置が異なっている。従って、フレーム５０Ａ，５５Ａは外観から容易に識別可能である。さらに、位置決めブロック４８Ａ２のある空間に誤って第１のフィルタボックス３８Ｂを設置することが防止され、逆に、図９（Ａ）の位置決めブロック４８Ａ１のある空間に誤って第２のフィルタボックス４０Ｂを設置することが防止できる。

　なお、この変形例において、一例として、第１のフィルタボックス３８Ｂのフレーム５０Ａの上面における取っ手部７０Ｃの第２側面５０Ａｃからの距離と、第２のフィルタボックス４０Ｂのフレーム５５Ａの上面における取っ手部７０Ｄの第２側面５０Ａｃからの距離とを異ならせてもよい。又は、取っ手部７０Ｃの端面５０Ａａからの距離と、取っ手部７０Ｄの端面５５Ａｃからの距離とを異ならせてもよい。

　（３）次に、図１０は、上記の実施形態の第３変形例のフィルタ装置２６Ａを示す平面断面図である。図１０において、ドア２９の内面に固定された支点部材５９Ｄ，５９Ｅ，５９Ｆ（保持部材）を介して回転可能に互いに同一構成の移動用レバー５８Ｄ，５８Ｅ，５８Ｆが設けられている。代表的に移動用レバー５８Ｅは、支点部材５９Ｅに回転可能に連結されたロッド５８Ｅ１と、ドア２９に固定された台座５８Ｅ３と、台座５８Ｅ３からロッド５８Ｅ１をフレーム５５の＋Ｘ方向の側面（テーパ部）側に付勢する圧縮コイルばね５８Ｅ２とを有する。ロッド５８Ｅ１には、反時計回りの回転角を所定の上限値以下にするストッパー（不図示）が設けられている。他の構成は図３と同様である。

　フィルタ装置２６Ａにおいて、ドア２９を開いた状態で、２つのフィルタボックス３８の第１テーパ部５０ｂの一部をそれぞれ位置決めブロック４８Ａ，４８Ｃのテーパ部４８Ａａ，４８Ｃａに係合させ、フィルタボックス４０の第１テーパ部５５ｂの一部を位置決めブロック４８Ｂのテーパ部４８Ｂａに係合させる。そして、矢印Ｂ２０で示すようにドア２９を閉じることによって、移動用レバー５８Ｄ～５８Ｆによって矢印Ｂ２１，Ｂ２２，Ｂ２３で示すようにフィルタボックス３８，４０，３８のフレーム５０，５５，５０の第２テーパ部５０ｃ，５５ｃ，５０ｃが付勢される。そして、フィルタボックス３８，４０，３８はそれぞれ矢印Ｂ２４，Ｂ２５，Ｂ２６で示すように位置決めブロック４８Ａ～４８Ｃに沿って移動し、仕切り板４２Ａ～４２Ｃの前面の設置位置Ｑ１～Ｑ３に設置される。従って、フィルタボックス３８，４０の設置を効率的に行うことができる。

　（４）次に、図１１（Ａ）は、上記の実施形態の第４変形例の第１のフィルタボックス３８Ｃ及びこれに対応する位置決めブロック４８Ａを示す平面図である。フィルタボックス３８Ｃは、環状のフレーム５０Ｃ内にケミカルフィルタ５１を収納し、フレーム５０Ｃの端面にガスケット５４を固定したものである。また、フレーム５０Ｃの対向する第１側面５０Ｃｂ及び第２側面５０Ｃｃは平均的に対称に傾斜するとともに、それぞれ階段状の段差部が形成され、側面５０Ｃｂ，５０Ｃｃに取っ手部７０Ａが取り付けられている。

　第１側面５０Ｃｂ又は第２側面５０Ｃｃを位置決めブロック４８Ａのテーパ部に接触させてフィルタボックス３８Ｃを移動することで、容易にケーシング２８内でフィルタボックス３８Ｃを仕切り板４２Ａに接触するように位置決めできる。

　また、図１１（Ｂ）は、第５変形例の第１のフィルタボックス３８Ｄ及びこれに対応する位置決めブロック４８Ａを示す平面図である。フィルタボックス３８Ｄは、環状のフレーム５０Ｄ内にケミカルフィルタ５１を収納し、フレーム５０Ｄの端面にガスケット５４を固定したものである。また、フレーム５０Ｄの対向する第１側面５０Ｄｂ及び第２側面５０Ｄｃは平均的に対称に傾斜するとともに、それぞれ外側に凸の複数の円弧部が形成され、側面５０Ｄｂ，５０Ｄｃに取っ手部７０Ａが取り付けられている。

　第１側面５０Ｄｂ又は第２側面５０Ｄｃを位置決めブロック４８Ａのテーパ部に接触させてフィルタボックス３８Ｄを移動することで、容易にフィルタボックス３８Ｄを仕切り板４２Ａに接触するように位置決めできる。

　また、図１１（Ｃ）は、第６変形例の第１のフィルタボックス３８Ｅ及びこれに対応する位置決めブロック４８Ａを示す平面図である。フィルタボックス３８Ｅは、環状のフレーム５０Ｅ内にケミカルフィルタ５１を収納し、フレーム５０Ｅの端面にガスケット５４を固定したものである。また、フレーム５０Ｅの対向する第１側面５０Ｅｂ及び第２側面５０Ｅｃは平均的に対称に傾斜するとともに、それぞれ外側に凸の円弧部が形成され、側面５０Ｅｂ，５０Ｅｃに取っ手部７０Ａが取り付けられている。

　第１側面５０Ｅｂ又は第２側面５０Ｅｃを位置決めブロック４８Ａのテーパ部に接触させてフィルタボックス３８Ｅを移動することで、容易にフィルタボックス３８Ｅを仕切り板４２Ａに接触するように位置決めできる。
　なお、図１１（Ｂ）の複数の円弧部、又は図１１（Ｃ）の凸の円弧部を回転ローラで構成してもよい。

　（５）次に、図１２（Ａ）は、上記の実施形態の第７変形例のフィルタ装置２６Ｂを示し、図１２（Ｂ）は図１２（Ａ）中の第１のフィルタボックス３８Ｆを示す。図１２（Ａ）のフィルタ装置２６Ｂにおいて、ケーシング２８内の仕切り板４２Ａのフィルタボックス３８Ｆ，４０Ｆに対向する面に、ガスケット５４から容易に離すことが可能で、かつ滑り易いとともに、中央部に気体を通過させる開口が形成された平板状のカバー部材ＴＦ５が被着されている。カバー部材ＴＦ５は、例えば合成樹脂から形成され、具体的には例えばテフロン（デュポン社の登録商標）から形成されている。

　また、仕切り板４２Ａに被着されたカバー部材ＴＦ５に密着するように第１のフィルタボックス３８Ｆが位置決めされ、このフィルタボックス３８Ｆに密着するように順次第２のフィルタボックス４０Ｆ、第１のフィルタボックス３８Ｆ、及び第２のフィルタボックス４０Ｆが位置決めされている。一列のフィルタボックス３８Ｆ，４０Ｆ，３８Ｆ，４０Ｆは、それぞれケーシング２８の内面に固定された位置決めブロック４８Ａ３，４８Ｂ３，４８Ａ４，４８Ｂ４によって位置決めされている。位置決めブロック４８Ａ３，４８Ｂ３等のＹ方向の長さは、フィルタボックス３８Ｆ，４０ＦのＹ方向の高さよりも小さく設定されている。

　また、フィルタボックス３８Ｆ，４０Ｆは、それぞれ環状のフレーム５０Ｆ，５５Ｆ内にケミカルフィルタ５１，５６を収納し、フレーム５０Ｆ，５５Ｆの端面にガスケット５４を固定したものである。さらに、フレーム５０Ｆ，５５Ｆの対向する第１側面及び第２側面は対称に傾斜するテーパ面とされ、フレーム５０Ｆ，５５Ｆの第１側面、第２側面、及びガスケット５４が固定されている端面に対向する端面に沿って、ガスケット５４から容易に離すことが可能で、かつ滑り易いカバー部材ＴＦ１，ＴＦ２が被着されている。フレーム５０Ｆ，５５Ｆの第１側面及び第２側面に、カバー部材ＴＦ３，ＴＦ４を通して取っ手部７０Ａ，７０Ｂが固定されている。取っ手部７０Ａ，７０Ｂが固定されている位置の高さは互いに異なっている。位置決めブロック４８Ａ３，４８Ａ４及び４８Ｂ３，４８Ｂ４のテーパ部にも、それぞれ平板状で一部に溝が形成されたカバー部材ＴＦ３及びＴＦ４が固定されている。カバー部材ＴＦ１，ＴＦ２，ＴＦ３，ＴＦ４の材料は、例えばカバー部材ＴＦ５の材料と同じである。

　図１２（Ｂ）に示すように、フィルタボックス３８Ｆのカバー部材ＴＦ１のケミカルフィルタ５１に対向する部分には気体を通過させる矩形の開口ＴＦ１ｃが形成されている。フレーム５０Ｆの第１側面及び第２側面を覆うカバー部材ＴＦ１の部分は、対称に傾斜するテーパ部ＴＦ１ａ，ＴＦ１ｂとされている。フィルタボックス４０Ｆの構成も同様であるが、取っ手部７０Ｂの位置が取っ手部７０Ａの位置とは異なっている。

　図１２（Ａ）において、ケーシング２８を閉じるドア２９の内側に移動用レバー部５８Ｇが設けられている。移動用レバー５８Ｇは、台座部５８Ｇ３と、Ｙ方向に沿って伸びるガイド部５８Ｇ４と、ガイド部５８Ｇ４に沿ってＹ方向に移動可能な傾斜面を持つレバー部５８Ｇ１と、台座部５８Ｇ３からレバー部５８Ｇ１を位置決めブロック４８Ｂ４に接触しているフィルタボックス４０Ｆのカバー部材ＴＦ２のテーパ部に付勢する圧縮コイルばね５８Ｇ２とを備えている。

　この例のフィルタ装置２６Ｂにおいて、フィルタボックス３８Ｆ，４０Ｆをケーシング２８内に収納する際には、位置決めブロック４８Ａ３，４８Ｂ３，４８Ａ４，４８Ｂ４を覆うカバー部材ＴＦ３，ＴＦ４に、それぞれフィルタボックス３８Ｆ，４０Ｆのカバー部材ＴＦ１，ＴＦ２のテーパ部を接触させて、フィルタボックス３８Ｆ，４０Ｆを順次ほぼ－Ｙ方向に移動させる。この際に、カバー部材ＴＦ１～ＴＦ４は滑り易いため、フィルタボックス３８Ｆ，４０Ｆを容易に移動可能である。

　さらに、フィルタボックス３８Ｆ，４０Ｆ，３８Ｆ，４０Ｆを位置決めした状態では、－Ｙ方向の端部のフィルタボックス３８Ｆのガスケット５４が仕切り板４２Ａを覆うカバー部材ＴＦ５に接触し、フィルタボックス３８Ｆ（４０Ｆ）のカバー部材ＴＦ１（ＴＦ２）にそれに隣接するフィルタボックス４０Ｆ（３８Ｆ）のガスケット５４が接触している。この状態で、ドア２９を閉じると、移動用レバー部５８Ｇによって、＋Ｙ方向の端部のフィルタボックス４０Ｆが－Ｙ方向に付勢されるため、仕切り板４２Ａ（カバー部材ＴＦ５）と、フィルタボックス３８Ｆ，４０Ｆとは気密性を保って密着できる。従って、４段のフィルタボックス３８Ｆ，４０Ｆを通して空調装置の送風部（不図示）に清浄な気体を供給できる。

　また、フィルタボックス３８Ｆ，４０Ｆを交換する場合には、ドア２９を開いて、順次フィルタボックス４０Ｆ，３８Ｆをケーシング２８から搬出する。この際に、例えばフィルタボックス４０Ｆのガスケット５４はフィルタボックス３８Ｆのカバー部材ＴＦ１から容易に離すことが可能であり、フィルタボックス３８Ｆのガスケット５４もカバー部材ＴＦ５から容易に離すことが可能であるため、フィルタボックス３８Ｆ，４０Ｆの交換を容易に行うことができる。

　なお、フィルタ装置２６Ｂにおいて、フィルタボックス３８Ｆ，４０Ｆの段数は任意である。また、位置決めブロック４８Ａ３，４８Ｂ３等のカバー部材ＴＦ３，ＴＦ４は省略可能である。さらに、位置決めブロック４８Ａ３，４８Ｂ３等のカバー部材ＴＦ３，ＴＦ４が設けられている場合には、フィルタボックス３８Ｆ，４０Ｆ側のカバー部材ＴＦ１，ＴＦ２のテーパ部を省略することも可能である。
　さらに、カバー部材ＴＦ１～ＴＦ４の代わりに、例えば滑り易い樹脂製の粘着テープを貼着してもよい。

　（６）上記の実施形態及び変形例においては、フィルタボックス３８，３８Ａ～３８Ｆ，４０，４０Ａ～４０Ｆのフレーム５０，５０Ａ～５０Ｆ及び５５，５５Ａ～５５Ｆの外形はほぼ正方形（ほぼ正方形の環状（枠状））である。しかしながら、フレーム５０，５０Ａ等及び５５，５５Ａ等の外形は例えば長方形等のほぼ矩形状（ほぼ矩形の環状（枠状））、又はほぼ正方形状若しくは矩形状で角部に面取り等が施されていてもよい。

　また、上記の実施形態の露光装置ＥＸを用いて半導体デバイス等の電子デバイス（又はマイクロデバイス）を製造する場合、電子デバイスは、図１３に示すように、電子デバイスの機能・性能設計を行うステップ２２１、この設計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作するステップ２２２、デバイスの基材である基板（ウエハ）を製造してレジストを塗布するステップ２２３、前述した実施形態の露光装置によりマスクのパターンを基板（感応基板）に露光する工程、露光した基板を現像する工程、現像した基板の加熱（キュア）及びエッチング工程などを含む基板処理ステップ２２４、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程などの加工プロセスを含む）２２５、並びに検査ステップ２２６等を経て製造される。

　従って、このデバイス製造方法は、上記の実施形態の露光装置を用いて基板上に感光層のパターンを形成することと、そのパターンが形成された基板を処理すること（ステップ２２４）とを含んでいる。その露光装置によれば、メンテナンスコストを低減でき、露光精度を向上できるため、電子デバイスを安価に高精度に製造できる。
　なお、上記の実施形態では、空調用の気体として空気が使用されているが、その代わりに窒素ガス若しくは希ガス（ヘリウム、ネオン等）、又はこれらの気体の混合気体等を使用してもよい。

　また、本発明は、走査露光型の投影露光装置のみならず、一括露光型（ステッパー型）の投影露光装置を用いて露光する場合にも適用することが可能である。
　また、本発明は、投影光学系を使用しないプロキシミティ方式やコンタクト方式の露光装置等で露光を行う際にも適用できる。
　また、本発明は、半導体デバイスの製造プロセスへの適用に限定されることなく、例えば、角型のガラスプレートに形成される液晶表示素子、若しくはプラズマディスプレイ等のディスプレイ装置の製造プロセスや、撮像素子（ＣＣＤ等）、マイクロマシーン、ＭＥＭＳ(Microelectromechanical Systems：微小電気機械システム)、薄膜磁気ヘッド、及びＤＮＡチップ等の各種デバイスの製造プロセスにも広く適用できる。更に、本発明は、各種デバイスのマスクパターンが形成されたマスク（フォトマスク、レチクル等）をフォトリソグラフィ工程を用いて製造する際の、製造工程にも適用することができる。

　このように、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得ることは勿論である。
　また、本願に記載した上記公報、各国際公開パンフレット、米国特許、又は米国特許出願公開明細書における開示を援用して本明細書の記載の一部とする。また、明細書、特許請求の範囲、図面、及び要約を含む２０１０年４月５日付け提出の米国特許出願第６１／３２０，９１４号の全ての開示内容は、そっくりそのまま引用して本願に組み込まれている。

　ＥＸ…露光装置、Ｒ…レチクル、ＰＬ…投影光学系、Ｗ…ウエハ、４…露光本体部、１０…チャンバ、２６…フィルタ装置、２８…ケーシング、３０…主空調装置、３８，４０…フィルタボックス、４２Ａ～４２Ｃ…仕切り板、４８Ａ～４８Ｃ…位置決めブロック、５０，５５…フレーム、５０ｂ，５５ｂ…第１テーパ部、５１，５６…ケミカルフィルタ、６０…局所空調装置、７０Ａ，７０Ｂ…取っ手部

Claims

　フィルタを収容するフィルタ装置であって、
　第１フィルタを保持する第１フレームと、前記第１フレームの側面のうち第１側面の少なくとも一部に設けられ、前記第１フレームの２つの端面のうち、一方の端面側から他方の端面側に向かい、かつ前記第１フレームの外側に変化した第１形状変化部とを備える第１フィルタボックスと、
　前記第１フィルタボックスを収容する収容部とを備え、
　前記収容部は、前記第１フレームの前記第１側面とは異なる側面を支持する第１ベース部材と、前記第１フレームの前記第１形状変化部に係合して前記第１フレームを位置決めする第１位置決め部材と、前記第１位置決め部材と前記第１形状変化部とが係合することによって、前記第１フレームの前記一方の端面が押し付けられる第１仕切り部材とを備えることを特徴とするフィルタ装置。
　前記第１フィルタボックスは、前記第１フレームの側面のうち、前記第１フィルタに関して前記第１側面と反対側の第２側面の少なくとも一部に設けられ、前記一方の端面側から前記他方の端面側に向かい、かつ前記第１フレームの外側に変化した第２形状変化部を備え、
　前記収容部は、前記収容部に移動可能に設けられ、かつ前記第１フレームの前記第２形状変化部に係合し、前記第１フレームを前記第１位置決め部材に押し当てる第２位置決め部材を有することを特徴とする請求項１に記載のフィルタ装置。
　前記第１形状変化部は、前記第１フレームの前記第１側面の少なくとも一部に形成され、前記一方の端面側から前記他方の端面側に向かって、前記第１フレームの外側に次第に傾斜する第１傾斜部を有し、
　前記第２形状変化部は、前記第１フレームの前記第２側面の少なくとも一部に形成され、前記一方の端面側から前記他方の端面側に向かって、前記第１フレームの外側に次第に傾斜する第２傾斜部を有することを特徴とする請求項２に記載のフィルタ装置。
　前記収容部は、前記第１フィルタボックスを挿入する開口部と、前記開口部を閉じる扉と、前記扉の内側に設けられ、前記第２位置決め部材が取り付けられる保持部材とを備えることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載のフィルタ装置。
　前記保持部材は、前記扉とは別に設けられることを特徴とする請求項４に記載のフィルタ装置。
　前記第１形状変化部及び前記第２形状変化部は、それぞれ前記第１側面、前記第２側面の全面に形成されたことを特徴とする請求項２から請求項５のいずれか一項に記載のフィルタ装置。
　前記第１形状変化部は、前記第１側面において少なくとも２つに分離され、
　前記第１位置決め部材は、分離された前記第１形状変化部に対応する少なくなくとも２つの第１案内面を有することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のフィルタ装置。
　前記第２形状変化部は、前記第２側面において少なくとも２つに分離され、
　前記第２位置決め部材は、分離された前記第２傾斜部に対応する少なくとも２つの第２案内面を有することを特徴とする請求項２から請求項６のいずれか一項に記載のフィルタ装置。
　前記第１フィルタと異なる第２フィルタを保持する第２フレームと、前記第２フレームの側面のうち第３側面の少なくとも一部に設けられ、前記第２フレームの２つの端面のうち、一方の端面側から他方の端面側に向かい、かつ前記第２フレームの外側に変化した第３形状変化部とを備える第２フィルタボックスを備え、
　前記収容部は、前記第２フレームの前記第３側面とは異なる側面を支持する第２ベース部材と、前記第２フレームの前記第３形状変化部に係合して前記第２フレームを位置決めする第３位置決め部材と、前記第３位置決め部材と前記第３形状変化部とが係合することによって、前記第２フレームの前記他方の端面が押し付けられる第２仕切り部材と、を備えることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のフィルタ装置。
　前記第３形状変化部は、前記第２フレームの前記第３側面の少なくとも一部に形成され、前記第２フレームの前記一方の端面側から前記他方の端面側に向かって前記第２フレームの外側に次第に傾斜する第３傾斜部を有することを特徴とする請求項９に記載のフィルタ装置。
　前記第１フレームの前記第１側面における第１形状変化部の位置と、前記第２フレームの前記第３側面における前記第３形状変化部の位置とが互いに異なることを特徴とする請求項９に記載のフィルタ装置。
　前記第１形状変化部は、前記第１側面において少なくとも２つに分離され、
　前記第３形状変化部は、前記第３側面の全面に形成されていることを特徴とする請求項９に記載のフィルタ装置。
　前記第１形状変化部は、前記第１側面の全面に形成され、
　前記第３形状変化部は、前記第３側面において少なくとも２つに分離されていることを特徴とする請求項９に記載のフィルタ装置。
　前記第１形状変化部は、前記第１側面において少なくとも２つに分離され、
　前記第３形状変化部は、前記第３側面において少なくとも２つに分離され、
　前記第１形状変化部の分離位置と、前記第３形状変化部の分離位置とが互いに異なることを特徴とする請求項９に記載のフィルタ装置。
　前記第１位置決め部材は、前記第１形状変化部の位置に対応する第１案内面を有し、
　前記第３位置決め部材は、前記第３形状変化部の位置に対応する第３案内面を有することを特徴とする請求項９から請求項１４のいずれか一項に記載のフィルタ装置。
　前記第２フィルタボックスは、前記第２フレームの側面のうち、前記第２フィルタに関して前記第３側面と反対側の第４側面の少なくとも一部に設けられ、前記一方の端面側から前記他方の端面側に向かい、かつ前記第２フレームの外側に変化した第４形状変化部を備え、
　前記収容部は、前記収容部に移動可能に設けられ、かつ前記第２フレームの前記第４形状変化部に係合し、前記第２フレームを前記第３位置決め部材に押し当てる第４位置決め部材を有することを特徴とする請求項９から請求項１５のいずれか一項に記載のフィルタ装置。
　前記第４形状変化部は、前記第２フレームの前記第４側面の少なくとも一部に形成され、前記一方の端面側から前記他方の端面側に向かって、前記第２フレームの外側に次第に傾斜する第４傾斜部を有することを特徴とする請求項１６に記載のフィルタ装置。
　前記第２形状変化部及び前記第４形状変化部は、それぞれ前記第２側面及び前記第４側面の全面に形成されていることを特徴とする請求項１６に記載のフィルタ装置。
　前記第１フレームの前記第２側面における第２形状変化部の位置と、前記第２フレームの前記第４側面における前記第４形状変化部の位置とが互いに異なることを特徴とする請求項１６に記載のフィルタ装置。
　前記第２形状変化部は、前記第２側面において少なくとも２つに分離され、
　前記第４形状変化部は、前記第４側面の全面に形成されていることを特徴とする請求項１６に記載のフィルタ装置。
　前記第２形状変化部は、前記第２側面の全面に形成され、
　前記第４形状変化部は、前記第４側面において少なくとも２つに分離されていることを特徴とする請求項１６に記載のフィルタ装置。
　前記第２形状変化部は、前記第２側面において少なくとも２つに分離され、
　前記第４形状変化部は、前記第４側面において少なくとも２つに分離され、
　前記第２形状変化部の分離位置と、前記第４形状変化部の分離位置とが互いに異なることを特徴とする請求項１６に記載のフィルタ装置。
　前記第２位置決め部材は、前記第２形状変化部の位置に対応する第２案内面を有し、
　前記第４位置決め部材は、前記第４形状変化部の位置に対応する第４案内面を有することを特徴とする請求項１６から請求項２１のいずれか一項に記載のフィルタ装置。
　前記第１形状変化部及び前記第３形状変化部は、それぞれ前記第１側面及び前記第３側面の全面に形成されていることを特徴とする請求項１６から請求項２１のいずれか一項に記載のフィルタ装置。
　前記第１フレームに設けられた第１取っ手部と、
　前記第２フレームに設けられた第２取っ手部とを有し、
　前記第１フレームに対する前記第１取っ手部の位置と、前記第２フレームに対する前記第２取っ手部との位置とが互いに異なることを特徴とする請求項９から請求項２４のいずれか一項に記載のフィルタ装置。
　前記第１取っ手部は前記第１形状変化部に設けられ、
　前記第２取っ手部は前記第３形状変化部に設けられることを特徴とする請求項２５に記載のフィルタ装置。
　前記第１取っ手部及び前記第２取っ手部はそれぞれ前記第１形状変化部及び前記第３形状変化部に設けられる凸部であることを特徴とする請求項２６に記載のフィルタ装置。
　前記第１形状変化部における前記第１取っ手部の位置と、前記第３形状変化部における前記第２取っ手部の位置とが異なり、
　前記第１位置決め部材及び前記第３位置決め部材の前記第１取っ手部及び前記第２取っ手部に対応する位置にそれぞれ凹部が設けられたことを特徴とする請求項２６に記載のフィルタ装置。
　前記第１フレームの前記第２形状変化部に設けられる第３取っ手部と、
　前記第２フレームの前記第４形状変化部に設けられる第４取っ手部と
を備えることを特徴とする請求項２５から請求項２８のいずれか一項に記載のフィルタ装置。
　前記第１取っ手部及び前記第２取っ手部はそれぞれ前記第１形状変化部及び前記第３形状変化部に設けられる凹部であることを特徴とする請求項２６に記載のフィルタ装置。
　前記第１形状変化部における前記第１取っ手部の位置と、第３形状変化部における前記第２取っ手部の位置とが異なり、
　前記第１位置決め部材及び前記第３位置決め部材の前記第１取っ手部及び前記第２取っ手部に対応する位置にそれぞれ凸部が設けられたことを特徴とする請求項３０に記載のフィルタ装置。
　前記第３取っ手部は前記第２形状変化部に設けられる凸部であり、
　前記第４取っ手部は前記第４形状変化部に設けられる凸部であることを特徴とする請求項２９に記載のフィルタ装置。
　前記第３取っ手部は前記第２形状変化部に設けられる凹部であり、
　前記第４取っ手部は前記第４形状変化部に設けられる凹部であることを特徴とする請求項２９に記載のフィルタ装置。
　前記第２形状変化部における前記第３取っ手部の位置と、前記第４形状変化部における前記第４取っ手部の位置とが異なることを特徴とする請求項３２又は請求項３３に記載のフィルタ装置。
　前記収容部の前記第１仕切り部材及び前記第２仕切り部材は、それぞれ水平面に対してほぼ垂直に又は傾斜して配置されることを特徴とする請求項９から請求項３４のいずれか一項に記載のフィルタ装置。
　前記第１フィルタは、前記第１フィルタを通過する気体中の有機物を除去し、
　前記第２フィルタは、前記第２フィルタを通過する気体中のアルカリ性物質及び酸性物質の少なくとも一方を除去することを特徴とする請求項９から請求項３５のいずれか一項に記載のフィルタ装置。
　前記第１フレームの前記他方の端面に設けられた第１シール部材と、
　前記第２フレームの前記他方の端面に設けられた第２シール部材とを有することを特徴とする請求項１から請求項３６のいずれか一項に記載のフィルタ装置。
　露光光でパターンを介して基板を露光する露光装置において、
　前記基板を露光する露光本体部を収納するチャンバと、
　請求項１から請求項３７のいずれか一項に記載のフィルタ装置と、
　前記チャンバの外部から取り込まれた気体を前記フィルタ装置を介して前記チャンバ内に送風する空調装置と、
を備えることを特徴とする露光装置。
　フィルタを収容部に収容する収容方法であって、
　第１フィルタを保持する第１フレームと、前記第１フレームの側面のうち第１側面の少なくとも一部に設けられ、前記第１フレームの２つの端面のうち、一方の端面側から他方の端面側に向かい、かつ前記第１フレームの外側に変化した第１形状変化部とを備える第１フィルタボックスを用意する工程と、
　前記第１フレームの前記第１側面に隣接する側面を前記収容部の第１ベース部材の表面に載置する工程と、
　前記第１フレームの前記第１形状変化部を前記収容部の第１位置決め部材に係合させて、前記第１フレームを前記収容部の第１仕切り部材の方向に移動させる工程と、
　前記第１フレームの前記一方の端面を第１シール部材を介して前記収容部の前記第１仕切り部材に押し付ける工程と、
を含むことを特徴とするフィルタの収容方法。
　前記第１フィルタボックスは、前記第１フレームの側面のうち、前記第１フィルタに関して前記第１側面と反対側の第２側面の少なくとも一部に設けられ、前記一方の端面側から前記他方の端面側に向かい、かつ前記第１フレームの外側に変化した第２形状変化部を備え、
　前記第１フレームを前記収容部の前記第１仕切り部材の方向に移動させる工程は、
　前記第１フレームの前記第２形状変化部に前記収容部の第２位置決め部材を係合させて、前記第２位置決め部材を介して前記第１フレームを付勢する工程を含むことを特徴とする請求項３９に記載のフィルタの収容方法。
　前記第１形状変化部は、前記第１フレームの前記第１側面の少なくとも一部に形成され、前記一方の端面側から前記他方の端面側に向かって、前記第１フレームの外側に次第に傾斜する第１傾斜部を有し、
　前記第２形状変化部は、前記第１フレームの前記第２側面の少なくとも一部に形成され、前記一方の端面側から前記他方の端面側に向かって、前記第１フレームの外側に次第に傾斜する第２傾斜部を有することを特徴とする請求項４０に記載のフィルタの収容方法。
　前記第１フィルタと異なる第２フィルタを保持する第２フレームと、前記第２フレームの側面のうち第３側面の少なくとも一部に設けられ、前記第２フレームの２つの端面のうち、一方の端面側から他方の端面側に向かい、かつ前記第２フレームの外側に変化した第３形状変化部とを備える第２フィルタボックスを用意する工程と、
　前記第２フレームの前記第３側面に隣接する側面を前記収容部の第２ベース部材の表面に載置する工程と、
　前記第２フレームの前記第３形状変化部を前記収容部の第３位置決め部材に係合させて、前記第２フレームを前記収容部の第２仕切り部材の方向に移動させる工程と、
　前記第２フレームの前記他方の端面を第２シール部材を介して前記収容部の前記第２仕切り部材に押し付ける工程と、
を含むことを特徴とする請求項３９から請求項４１のいずれか一項に記載のフィルタの収容方法。
　前記第２フィルタボックスは、前記第２フレームの側面のうち、前記第２フィルタに関して前記第３側面と反対側の第４側面の少なくとも一部に設けられ、前記一方の端面側から前記他方の端面側に向かい、かつ前記第２フレームの外側に変化した第４形状変化部を備え、
　前記第２フレームを前記収容部の前記第２仕切り部材の方向に移動させる工程は、
　前記第２フレームの前記第４形状変化部に前記収容部の第４位置決め部材を係合させて、前記第４位置決め部材を介して前記第２フレームを付勢する工程を含むことを特徴とする請求項４２に記載のフィルタの収容方法。
　前記第３形状変化部は、前記第２フレームの前記第３側面の少なくとも一部に形成され、前記第２フレームの前記一方の端面側から前記他方の端面側に向かって、前記第２フレームの外側に傾斜する第３傾斜部を有し、
　前記第４形状変化部は、前記第２フレームの前記第４側面の少なくとも一部に形成され、前記第２フレームの前記一方の端面側から前記他方の端面側に向かって、前記第２フレームの外側に傾斜する第４傾斜部を有することを特徴とする請求項４３に記載のフィルタの収容方法。
　前記第１フレームの前記第１形状変化部又は前記第２フレームの前記第３形状変化部をそれぞれ前記第１位置決め部材又は前記第３位置決め部材に係合させて、前記第１フレーム又は前記第２フレームをそれぞれ前記収容部の前記第１仕切り部材又は前記第２仕切り部材から離す工程と、
　前記第１フレーム又は前記第２フレームを前記収容部から搬出する工程と、
を含むことを特徴とする請求項４２から請求項４４のいずれか一項に記載のフィルタの収容方法。
　請求項３８に記載の露光装置を用いて感光性基板を露光することと、
　前記露光された感光性基板を処理することと、を含むデバイス製造方法。