WO2011111911A1

WO2011111911A1 - 고내산화성 Ｆｅ계 비정질 합금용 조성물, 이를 이용한 Ｆｅ계 비정질 합금 분말 제조 방법 및 그 방법으로 제조된 Ｆｅ계 비정질 합금 분말

Info

Publication number: WO2011111911A1
Application number: PCT/KR2010/005744
Authority: WO
Inventors: 김병두
Original assignee: Kim Byung Doo
Priority date: 2010-03-12
Filing date: 2010-08-26
Publication date: 2011-09-15
Also published as: KR100974807B1

Abstract

대기압에서 분말화가 가능한 Fe계 비정질 합금용 조성물, 이를 이용한 Fe계 비정질 합금 분말 제조 방법 및 그 방법으로 제조되어 고내산화성을 가지는 Fe계 비정질 합금 분말에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 Fe계 비정질 합금 분말 제조 방법은 (a) 탄소(C) : 1.2 ~ 2.2 중량%, 실리콘(Si) : 1.0 ~ 2.0 중량%, 붕소(B) : 1.5 ~ 2.5 중량%, 인(P) : 2.3 ~ 3.1 중량%, 크롬(Cr) : 6.8 ~ 14.5 중량%, 몰리브덴(Mo) : 1.6 ~ 3.3 중량%, 알루미늄(Al) : 0.35 ~ 0.75 중량%, 망간(Mn) : 0.75 ~ 1.24 중량% 및 잔량의 철(Fe)을 포함하는 Fe계 합금용 조성물을 용융시켜 용탕을 형성하는 단계; (b) 대기압 하에서 상기 용탕에 고압가스를 분사하여, 상기 용탕을 급냉 및 분쇄시켜 분말화하는 단계; 및 (c) 상기 분말화된 Fe계 합금을 포집하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

고내산화성 Ｆｅ계 비정질 합금용 조성물, 이를 이용한 Ｆｅ계 비정질 합금 분말 제조 방법 및 그 방법으로 제조된 Ｆｅ계 비정질 합금 분말

본 발명은 철을 기반으로 하는 Fe계 비정질 합금(Fe-based amorphous alloy)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대기압에서 분말화가 가능한 Fe계 비정질 합금용 조성물, 이를 이용한 Fe계 비정질 합금 분말 제조 방법 및 그 방법으로 제조되어 고내산화성을 가지는 Fe계 비정질 합금 분말에 관한 것이다.

비정질 합금 또는 메탈릭 글래스(metallic glass) 합금은 초고강도, 고내식성, 고내마모성의 특성을 가져, 자동차나 고속전철용의 부품이나 코팅재료로 많은 응용이 진행되고 있다.

그러나, 종래의 비정질 합금이나 메탈릭 글래스 합금은 원 소재들의 순도가 매우 높아야 하고 또한 대략 10^-3mmHg 이하의 고진공에서 주조가 이루어져야 제조가 가능하였기 때문에, 상용화에 부적합한 문제점이 있다.

본 발명의 목적은 Fe계 비정질 합금을 대기압 하에서도 제조할 수 있는 합금용 조성물을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 상기 제시된 조성물로 부터 대기압 하에서 Fe계 비정질 합금을 제조하는 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 상기 제조 방법을 통하여 제조되어, 고내산화성, 초고강도 등 우수한 물성을 갖는 Fe계 비정질 합금을 제공하는 것이다.

상기 하나의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일실시예에 따른 고내산화성 Fe계 비정질 합금용 조성물은 탄소(C) : 1.2 ~ 2.2 중량%, 실리콘(Si) : 1.0 ~ 2.0 중량%, 붕소(B) : 1.5 ~ 2.5 중량%, 인(P) : 2.3 ~ 3.1 중량%, 크롬(Cr) : 6.8 ~ 14.5 중량%, 몰리브덴(Mo) : 1.6 ~ 3.3 중량%, 알루미늄(Al) : 0.35 ~ 0.75 중량%, 망간(Mn) : 0.75 ~ 1.24 중량% 및 잔량의 철(Fe)을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 고내산화성 Fe계 비정질 합금 분말 제조 방법은 (a) 탄소(C) : 1.2 ~ 2.2 중량%, 실리콘(Si) : 1.0 ~ 2.0 중량%, 붕소(B) : 1.5 ~ 2.5 중량%, 인(P) : 2.3 ~ 3.1 중량%, 크롬(Cr) : 6.8 ~ 14.5 중량%, 몰리브덴(Mo) : 1.6 ~ 3.3 중량%, 알루미늄(Al) : 0.35 ~ 0.75 중량%, 망간(Mn) : 0.75 ~ 1.24 중량% 및 잔량의 철(Fe)을 포함하는 Fe계 합금용 조성물을 용융시켜 용탕을 형성하는 단계; (b) 대기압 하에서 상기 용탕에 고압가스를 분사하여, 상기 용탕을 급냉 및 분쇄시켜 분말화하는 단계; 및 (c) 상기 분말화된 Fe계 합금을 포집하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 또 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 고내산화성 Fe계 비정질 합금 분말은 상기 방법에 의해 제조되며, 10 ~ 90 ㎛의 평균입도를 가질 수 있다.

본 발명에 따른 내산화성 Fe계 비정질 합금용 조성물은 용탕을 형성한 상태에서 5기압 정도의 질소가스를 대기압에서 분사하여 분말화할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 Fe계 비정질 합금 분말 제조 방법으로부터 제조된 Fe계 비정질 합금 분말은 고내산화성, 초고강도 등의 우수한 물성을 통하여 자동차, 고속전철, 반도체, 각종 산업기기 등의 부품이나 코팅 소재로 다양하게 적용될 수 있는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 Fe계 합금 분말 제조 방법을 나타내는 순서도이다.

도 2는 도 1에 도시된 방법으로 제조된 Fe계 비정질 합금 분말의 미세조직사진을 나타낸 것이다.

도 3은 본 발명에 따른 제조 방법으로 제조된 Fe계 비정질 합금 분말의 DSC 열분석 결과를 나타낸 것이다.

도 4는 본 발명에 따른 제조 방법으로 제조된 Fe계 비정질 합금 분말의 X-선 회절 분석 결과를 나타낸 것이다.

이하, 본 발명에 따른 고내산화성 Fe계 비정질 합금용 조성물, 이를 이용한 Fe계 비정질 합금 분말 제조 방법 및 그 방법으로 제조된 Fe계 비정질 합금 분말에 대하여 상세히 설명하기로 한다.

이때, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로써, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다.

그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

본 발명에 따른 고내산화성 Fe계 비정질 합금용 조성물은 철(Fe)을 주성분으로 하며, 탄소(C), 실리콘(Si), 붕소(B), 인(P), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al) 및 망간(Mn)을 포함한다.

구체적으로, 본 발명에 따른 고내산화성 Fe계 비정질 합금용 조성물은 탄소(C) : 1.2 ~ 2.2 중량%, 실리콘(Si) : 1.0 ~ 2.0 중량%, 붕소(B) : 1.5 ~ 2.5 중량%, 인(P) : 2.3 ~ 3.1 중량%, 크롬(Cr) : 6.8 ~ 14.5 중량%, 몰리브덴(Mo) : 1.6 ~ 3.3 중량%, 알루미늄(Al) : 0.35 ~ 0.75 중량%, 망간(Mn) : 0.75 ~ 1.24 중량% 및 잔량의 철(Fe)을 포함한다.

이때, 잔량의 철(Fe)은 순수한 Fe 성분으로만 이루어져 있을 수 있으며, 또한 제강 과정 등에서 불가피하게 포함되는 불순물이 더 포함되어 있을 수 있다.

이하 본 발명에 따른 Fe계 비정질 합금용 조성물에 첨가되는 각 성분의 함량범위 및 그 제한 이유에 대하여 설명하기로 한다.

탄소(C)

탄소(C)는 본 발명에 따른 Fe계 비정질 합금 내에서 침입형 고용 강화 (interstitial solid solution hardening) 효과를 나타내며, 또한 Cr, Mo 등과 함께 탄화물을 형성한다.

상기 탄소(C)는 합금용 조성물 전체 중량의 1.2~2.2 중량%로 첨가되는 것이 바람직하다. 탄소(C)가 본 발명에 따른 합금용 조성물에서 1.2 중량% 미만으로 첨가되는 경우에는 페라이트(ferrite) 상이 형성되며, 또한 탄소(C)가 본 발명에 따른 합금용 조성물에서 2.2 중량%를 초과할 경우에는 내마모성이 약간 증가하지만 취성이 강하여 내충격성이 현저히 저하되는 문제점이 있다.

실리콘(Si)

실리콘(Si)은 본 발명에 따른 Fe계 비정질 합금의 내산화성을 향상시키고, 비정질상 형성을 조장하는 역할을 한다.

상기 실리콘(Si)는 합금용 조성물 전체 중량의 1.0~2.0 중량%로 첨가되는 것이 바람직하다. 실리콘(Si)이 본 발명에 따른 합금용 조성물에서 1.0 중량% 미만으로 첨가될 경우 상기의 내산화성 향상 및 비정질상 형성 조장 효과를 기대하기 어렵고, 실리콘이 본 발명에 따른 합금용 조성물에서 2.0 중량%를 초과할 경우에는 내산화성 수명이 더 이상 길어지지 않고, 오히려 Fe₂Si, Fe₃Si 등의 화합물을 형성하여 바람직하지 못한 문제점이 있다.

붕소(B)

붕소(B)는 본 발명에 따른 Fe계 비정질 합금에 첨가되어 내마모성을증가시키고, 결정질-비정질 변태를 결정하는 역할을 한다.

상기 붕소(B)는 합금용 조성물 전체 중량의 1.5~2.5 중량%로 포함되는 것이 바람직하다. 붕소(B)의 함량이 본 발명에 따른 합금용 조성물에서 1.5 중량% 미만일 경우 상기의 첨가 효과를 얻을 수 없고, 본 발명에 따른 합금용 조성물에서 2.5 중량%를 초과할 경우에는 취성이 증가되어 내충격성이 저하되는 문제점이 있다.

인(P)

인(P)은 본 발명에 따른 Fe계 비정질 합금의 성형성을 저하시키지 않으면서 강도를 향상시키는 역할을 한다.

상기 인(P)은 합금용 조성물 전체 중량의 2.3 ~ 3.1 중량%로 포함되는 것이 바람직하다. 인(P)의 함량이 본 발명에 따른 합금용 조성물에서 2.3 중량% 미만일 경우, 인(P) 첨가 효과가 불충분하다. 또한, 인(P)이 본 발명에 따른 합금용 조성물 전체 중량의 3.1 중량%를 초과할 경우 강도 상승에도 불구하고, Fe계 비정질 합금의 취성이 급격히 증가하는 문제점이 있다.

크롬(Cr)

크롬(Cr)은 본 발명에 따른 Fe계 비정질 합금에서 표면에 Cr2O3와 FeO·Cr2O3 등과 같은 내산화성인 크롬 화합물을 형성하여, 높은 강도와 함께 Fe의 산화물 생성을 억제하여 Fe계 비정질 합금의 내산화성을 확보하는 역할을 한다.

이러한 크롬은 본 발명에 따른 합금용 조성물 전체 중량의 크롬(Cr) : 6.8 ~ 14.5 중량%의 함량비로 첨가되는 것이 바람직하다. 크롬이 본 발명에 따른 합금용 조성물 전체 중량의 6.8 중량% 미만으로 첨가될 경우, 상기의 크롬 첨가 효과를 충분히 발휘할 수 없으며, 크롬이 본 발명에 따른 합금용 조성물 전체 중량의 14.5 중량%를 초과할 경우 고 크롬강의 효과로 비정질화에 방해가 되어 바람직하지 못하다.

몰리브덴(Mo)

몰리브덴(Mo)은 본 발명에 따른 Fe계 비정질 합금에서 경질입자를 구성하여 내마모성을 향상시키는 역할을 한다.

상기 몰리브덴(Mo)은 합금용 조성물 전체 중량의 1.6 ~ 3.3 중량%로 첨가되는 것이 바람직하다. 몰리브덴(Mo)이 본 발명에 따른 합금용 조성물에서 1.6 중량% 미만으로 첨가되면 몰리브덴(Mo) 첨가에 따른 내마모성 향상 효과가 불충분하며, 반대로 몰리브덴(Mo)의 함량이 본 발명에 따른 합금용 조성물에서 3.3 중량%를 초과하면 다른 부품 마모시킬 수 있어 바람직하지 못하다.

알루미늄(Al)

알루미늄(Al)은 본 발명에 따른 Fe계 비정질 합금의 내산화 수명을 향상키시는 역할을 한다.

상기 알루미늄(Al)은 합금용 조성물 전체 중량의 0.35 ~ 0.75 중량%로 첨가되는 것이 바람직하다.

알루미늄(Al)의 함량이 본 발명에 따른 합금용 조성물에서 0.35 중량% 미만으로 첨가될 경우, 알루미늄 첨가에 따른 내산화 수명 향상을 기대하기 어렵다. 또한, 알루미늄(Al)이 본 발명에 따른 합금용 조성물에서 0.75 중량%를 초과할 경우 내산화 수명의 향상에도 불구하고 합금의 강도 및 가공성 등의 물성이 취약해지는 문제점이 있다.

망간(Mn)

망간(Mn)은 본 발명에 따른 Fe계 비정질 합금의 비정질상을 안정화시키는 역할을 한다.

상기 망간(Mn)은 Fe계 비정질 합금용 조성물 전체 중량의 0.75 ~ 1.24 중량%로 첨가되는 것이 바람직하다. 그 이유는 망간(Mn)이 본 발명에 따른 합금용 조성물에서 0.75 중량% 미만으로 첨가되는 경우, 망간(Mn) 첨가 효과를 얻을 수 없으며, 망간(Mn)이 본 발명에 따른 합금용 조성물에서 1.24 중량%를 초과하여 첨가되는 경우, 내산화성이 저하되는 문제점이 있다.

루테늄(Ru)

상기의 합금용 조성물에는 충분한 강도 및 내산화성을 확보하기 위하여 루테늄(Ru)이 더 포함될 수 있다.

루테늄(Ru)은 본 발명에 따른 Fe계 비정질 합금의 강도 및 경도를 향상시키고, 산소와 쉽게 결합하여 안정적인 RuO₂를 형성함으로써 Fe의 산화물 생성을 억제하여 크롬(Cr)이 포함되지 않은 상태에서도 내산화성을 강화하는 역할을 한다.

상기 루테늄(Ru)은 합금용 조성물 전체 중량의 1.7 ~ 2.3 중량%로 첨가되는 것이 바람직하다. 상기 루테늄(Ru)이 1.7 중량% 미만으로 첨가되면 합금의 강도 향상 효과 및 내산화성 향상 효과를 얻을 수 없으며, 2.3 중량%를 초과하면 Fe계 비정질 합금의 취성이 급격히 증가하는 문제점이 있다.

상기 제시된 Fe계 비정질 합금용 조성물을 이용하면 도 1에 도시된방법을 이용하여 Fe계 비정질 합금 분말로 제조할 수 있다.

도 1을 참조하면, 도시된 비정질 합금 분말 제조 방법은 용탕 형성 단계(S110), 고압가스 분사 단계(S120) 및 분쇄물 포집 단계(S130)를 포함한다.

용탕 형성 단계(S110)에서는 우선 본 발명에 따른 Fe계 합금용 조성물, 즉 철(Fe)을 주성분으로 하며, 탄소(C) : 1.2 ~ 2.2 중량%, 실리콘(Si) : 1.0 ~ 2.0 중량%, 붕소(B) : 1.5 ~ 2.5 중량%, 인(P) : 2.3 ~ 3.1 중량%, 크롬(Cr) : 6.8 ~ 14.5 중량%, 몰리브덴(Mo) : 1.6 ~ 3.3 중량%, 알루미늄(Al) : 0.35 ~ 0.75 중량%, 망간(Mn) : 0.75 ~ 1.24 중량%이 첨가된 Fe계 합금용 조성물을 마련한다. 이때, Fe계 합금용 조성물에는 루테늄(Ru) : 1.7 ~ 2.3 중량%가 더 첨가될 수 있다.

용탕을 형성하기 위하여, 상기 Fe계 합금용 조성물을 용융 도가니 내부로 장입시키고, 용융 도가니 내부의 온도를 약 1500℃ 이상으로 높여 용탕을 형성한다.

다음으로, 고압가스 분사 단계(S120)에서는 상기 형성된 용탕에 고압가스를 분사한다. 이를 통해, 용탕은 급냉과 동시에 분쇄되어 분말화된다. 이때 이용될 수 있는 고압가스는 2~10기압의 분사 압력을 갖는 질소 가스가 될 수 있다. 용탕의 냉각 속도는 고압가스의 분사 압력 등에 따라 달라질 수 있다. 고압가스 분사 단계(S120)에서는 고압가스를 분사하여 용탕이 급냉되므로, 용탕이 결정화되는 것을 억제할 수 있고, 이를 통하여 비정질 합금을 형성하게 된다.

한편, 고압가스 분사 단계(S120)는 대략 10^-3mmHg 이하의 고진공에서 이루어질 수도 있으나, 이 경우 고진공 유지에 고가의 비용이 소요된다. 그러나, 상기 제시된 조성을 갖는 합금용 조성물의 경우 대기압 하에서 고압가스 분사 공정이 가능하였으며, 이를 통하여 종래에 비하여 Fe계 비정질 합금 분말 등의 제조 비용을 현격히 낮출 수 있게 되었다.

다음으로, 분쇄물 포집 단계(S130)에서는 포집기를 이용하여 고압가스 분사에 의하여 분쇄된 결과물, 즉 Fe계 비정질 합금 분말을 포집한다. 포집기에는 10 ~ 90 ㎛ 정도의 입경을 갖는 분말이 포집될 수 있도록 1장 이상의 포집망이 구비될 수 있으며, 이 외에도 분말의 사용 목적에 따라서 다른 입경 범위를 갖는 분말이 포집될 수 있는 포집망이 구비될 수 있다.

도 2는 대기압 하에서 도 1에 도시된 방법에 의해 제조된 Fe계 비정질 합금 분말의 미세조직사진을 나타낸 것이다.

이때, 도 2 내지 도 4에서 이용된 Fe계 비정질 합금용 조성물에는 탄소(C) : 2 중량%, 실리콘(Si) : 1.6 중량%, 붕소(B) : 2.1 중량%, 인(P) : 2.9 중량%, 크롬(Cr) : 12.5 중량%, 루테늄(Ru) : 2.1 중량%, 몰리브덴(Mo) : 3.0 중량%, 알루미늄(Al) : 0.6 중량%, 망간(Mn) : 1 중량%가 첨가되었다. 이때, 원재료는 전체적인 순도가 95%급 이하의 저순도 원재료를 사용하였다.

또한 고압가스는 5기압의 질소가스가 이용되었으며, 반응용기 내 분위기 압력은 대기압이었다.

도 2를 참조하면, 대기압 하에서도, 분말이 10 ~ 90 ㎛의 평균 입도를 가지면서 구형의 고른 형상을 가지는 것을 볼 수 있다.

DSC(Differential Scanning Calorimeter)에 의한 열분석에서 비정질 상태인 경우에는 낮은 열량을 나타내며, 결정화가 진행되는 특정 온도에서는 열량이 급격히 증가한다.

*도 3을 참조하면, DSC 열분석 결과, 본 발명에 따른 Fe계 비정질 합금 분말은 500℃ 이하의 온도에서는 비정질 상태를 유지하다가 510~540℃ 부근에서 비로소 결정화가 시작되는 것을 알 수 있다.

비정질 합금 분말의 경우, X-선 회절 강도(Intensity)가 완만하게 나타나는 특성이 있다.

도 4를 참조하면, X-선 회절 분석 결과, 본 발명에 따른 Fe계 비정질 합금 분말은 모든 회절 각도(2θ)에서 비교적 완만한 회절 강도를 나타내고 있어, 비정질 상태 특성을 잘 나타내고 있는 것을 알 수 있다.

즉, 도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 제조 방법은 원재료의 순도가 95%급 이하의 저순도 원재료를 사용하고, 고압가스 분사가 대기압 하에서 이루어졌음에도 비정질 합금의 형성이 가능하다.

상기 제조된 Fe계 비정질 합금 분말을 100℃의 온도 및 상대습도 90% 조건에서 200 시간 동안 방치한 후, 산화 테스트를 수행한 결과 녹이 발생하지 않았다. 따라서, 본 발명에 따른 Fe계 비정질 합금 분말은 충분한 내산화성을 갖는 것을 알 수 있다.

본 발명에 따른 제조 방법에 따라 제조되는 Fe계 비정질 합금분말은 다음과 같은 특성이 있다.

우선, 상기 방법을 통하여 제조된 Fe계 비정질 합금 분말은 초고강도 및 고인성을 가진다. 따라서, 자동차 크랭크 트레인, 자동차 밸브 트레인, 스프링, 차체, 실린더 슬리브, 베인, 오일 펌프 로터, 캠 캡, 로커 암, 스프라켓, 엔진용 흡/배기벨브, 기어류, 콘로드(con-rod), 센서하우징 등과 같은 자동차 및 고속전철용 부품이나 고속전철 차체에 적용될 수 있으며, 또한 박형 노트북 케이스, 휴대전화기 케이스, 미니 디스크 케이스, 디지털 카메라 케이스 등의 전기전자 통신기기 부품으로 활용할 수 있다.

또한, 상기 방법을 통하여 제조된 Fe계 비정질 합금 분말은 고강도 및 우수한 내마모 특성을 갖는다. 따라서, 실린더 블록, 엔진무빙시스템, 베어링, 고속전철 브레이크 디스크 등과 같은 자동차 및 고속전철용 부품의 코팅 재료나 렌즈 금형, 반도체 제조장비 치구와 같은 금형의 코팅 재료로 활용할 수 있으며, 또한 초소형 기어, 고압 밸브, 고속 팬, 풀리, 브러시 롤, 정밀베어링, oil drilling Joint, 노즐, 펌프, pressure rolls, coal crusher 등의 산업기기 부품의 코팅 재료로 활용할 수 있다.

또한, 상기 방법을 통하여 제조된 Fe계 비정질 합금 분말은 고강도 및 고내식성을 갖는다. 따라서, 내식 튜브 및 파이프, 열교환기용 소형 압출재, 반도체장비용 반응관 등의 반도체 및 환경산업 부품으로 활용할 수 있다.

이상에서는 본 발명의 실시예를 중심으로 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 기술자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 이하에 기재되는 특허청구범위에 의해서 판단되어야 할 것이다.

Claims

(a) 탄소(C) : 1.2 ~ 2.2 중량%, 실리콘(Si) : 1.0 ~ 2.0 중량%, 붕소(B) : 1.5 ~ 2.5 중량%, 인(P) : 2.3 ~ 3.1 중량%, 크롬(Cr) : 6.8 ~ 14.5 중량%, 몰리브덴(Mo) : 1.6 ~ 3.3 중량%, 알루미늄(Al) : 0.35 ~ 0.75 중량%, 망간(Mn) : 0.75 ~ 1.24 중량% 및 잔량의 철(Fe)을 포함하는 Fe계 합금용 조성물을 용융시켜 용탕을 형성하는 단계;

(b) 대기압 하에서 상기 용탕에 2 ~ 10 기압의 분사 압력을 갖는 가스를 분사하여, 상기 용탕을 냉각 및 분쇄시켜 분말화하는 단계; 및

(c) 상기 분말화된 Fe계 합금을 포집하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 고내산화성 Fe계 비정질 합금 분말 제조 방법.
제1항에 있어서,

상기 (a) 단계에서, 상기 합금용 조성물은

루테늄(Ru) : 1.7 ~ 2.3 중량%를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 Fe계 비정질 합금용 조성물 제조 방법.
제1항에 있어서,

상기 가스는 질소 가스인 것을 특징으로 하는 고내산화성 Fe계 비정질 합금 분말 제조 방법.
제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 기재된 제조 방법에 의해 제조되어, 10 ~ 90 ㎛의 평균입도를 갖는 것을 특징으로 하는 고내산화성 Fe계 비정질 합금 분말.
탄소(C) : 1.2 ~ 2.2 중량%, 실리콘(Si) : 1.0 ~ 2.0 중량%, 붕소(B) : 1.5 ~ 2.5 중량%, 인(P) : 2.3 ~ 3.1 중량%, 크롬(Cr) : 6.8 ~ 14.5 중량%, 몰리브덴(Mo) : 1.6 ~ 3.3 중량%, 알루미늄(Al) : 0.35 ~ 0.75 중량%, 망간(Mn) : 0.75 ~ 1.24 중량% 및 잔량의 철(Fe)을 포함하는 Fe계 비정질 합금용 조성물.
제1항에 있어서,

상기 합금용 조성물은 루테늄(Ru) : 1.7 ~ 2.3 중량%를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 Fe계 비정질 합금용 조성물.