WO2011042983A1 - フレキシブルガラス基板の製造方法及びフレキシブルガラス基板 - Google Patents

フレキシブルガラス基板の製造方法及びフレキシブルガラス基板 Download PDF

Info

Publication number
WO2011042983A1
WO2011042983A1 PCT/JP2009/067625 JP2009067625W WO2011042983A1 WO 2011042983 A1 WO2011042983 A1 WO 2011042983A1 JP 2009067625 W JP2009067625 W JP 2009067625W WO 2011042983 A1 WO2011042983 A1 WO 2011042983A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
glass substrate
film
substrate
support
etching
Prior art date
Application number
PCT/JP2009/067625
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
吉川　実
Original Assignee
株式会社ミクロ技術研究所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社ミクロ技術研究所 filed Critical 株式会社ミクロ技術研究所
Priority to KR1020107022613A priority Critical patent/KR101057151B1/ko
Priority to US12/992,176 priority patent/US20120263945A1/en
Priority to CA2718446A priority patent/CA2718446A1/en
Priority to JP2010513555A priority patent/JP4565670B1/ja
Priority to EP09850254A priority patent/EP2374766A4/en
Priority to CN200980116843.5A priority patent/CN102131743A/zh
Priority to PCT/JP2009/067625 priority patent/WO2011042983A1/ja
Priority to TW099130648A priority patent/TW201113147A/zh
Publication of WO2011042983A1 publication Critical patent/WO2011042983A1/ja

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B32B17/10—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/28—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42
    • B32B27/281—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42 comprising polyimides
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/30—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers
    • B32B27/302—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers comprising aromatic vinyl (co)polymers, e.g. styrenic (co)polymers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/30—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers
    • B32B27/304—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers comprising vinyl halide (co)polymers, e.g. PVC, PVDC, PVF, PVDF
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/30—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers
    • B32B27/308—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers comprising acrylic (co)polymers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/32—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyolefins
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/34—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyamides
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/36—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyesters
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/38—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising epoxy resins
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/40—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyurethanes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/42—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising condensation resins of aldehydes, e.g. with phenols, ureas or melamines
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
    • B32B7/04—Interconnection of layers
    • B32B7/06—Interconnection of layers permitting easy separation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
    • B32B7/04—Interconnection of layers
    • B32B7/12—Interconnection of layers using interposed adhesives or interposed materials with bonding properties
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B9/00—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00
    • B32B9/04—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00 comprising such particular substance as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B9/045—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00 comprising such particular substance as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23—Oxides
    • C03C17/245—Oxides by deposition from the vapour phase
    • C03C17/2453—Coating containing SnO2
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3405—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of organic materials
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K77/00—Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
    • H10K77/10—Substrates, e.g. flexible substrates
    • H10K77/111—Flexible substrates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/30—Properties of the layers or laminate having particular thermal properties
    • B32B2307/306—Resistant to heat
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/50—Properties of the layers or laminate having particular mechanical properties
    • B32B2307/51—Elastic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/50—Properties of the layers or laminate having particular mechanical properties
    • B32B2307/546—Flexural strength; Flexion stiffness
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/70—Other properties
    • B32B2307/724—Permeability to gases, adsorption
    • B32B2307/7242—Non-permeable
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/70—Other properties
    • B32B2307/732—Dimensional properties
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2457/00—Electrical equipment
    • B32B2457/20—Displays, e.g. liquid crystal displays, plasma displays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2457/00—Electrical equipment
    • B32B2457/20—Displays, e.g. liquid crystal displays, plasma displays
    • B32B2457/202—LCD, i.e. liquid crystal displays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2457/00—Electrical equipment
    • B32B2457/20—Displays, e.g. liquid crystal displays, plasma displays
    • B32B2457/204—Plasma displays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2457/00—Electrical equipment
    • B32B2457/20—Displays, e.g. liquid crystal displays, plasma displays
    • B32B2457/206—Organic displays, e.g. OLED
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/90—Other aspects of coatings
    • C03C2217/94—Transparent conductive oxide layers [TCO] being part of a multilayer coating
    • C03C2217/948—Layers comprising indium tin oxide [ITO]
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/355—Temporary coating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/365—Coating different sides of a glass substrate
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/266—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension of base or substrate

Definitions

  • a flexible glass substrate 10 of the present invention is formed by bonding a film substrate 5 with an adhesive 2 to an extremely thin glass substrate 1 on which a pattern P is formed.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Abstract

【課題】ガスや水蒸気の透過を略１００％ガード可能であり、しかも柔軟性に優れたフレキシブルガラス基板の製造方法及びフレキシブルガラス基板を提供する。 【解決手段】ガラス基板１の一の面にパターンＰを形成した後、この一の面に支持体３を仮着し、ガラス基板１の他の面をエッチング処理して該ガラス基板１を薄肉化し、このエッチング処理後の他の面にフィルム基材５を貼合し、ガラス基板１の一の面に仮着された支持体３を剥離する。

Description

フレキシブルガラス基板の製造方法及びフレキシブルガラス基板
　本発明は、ガスや水蒸気の透過を略１００％ガード可能であり、しかも柔軟性に優れたフレキシブルガラス基板の製造方法及びフレキシブルガラス基板に関する。
　近年、液晶表示素子や有機ＥＬ表示素子等のフラットパネルディスプレイ分野においては、耐破損性の向上、軽量化、薄型化の要望から、透明高分子からなるプラスチックフィルムを従来のガラス基板と置き換える検討が続けられている。このようなフィルムとして例えば、特許文献１に記載した複屈折が小さいポリエーテルサルフォンフィルムにインジウム酸化物膜を形成したディスプレイ用の透明導電性フィルムがある。
　しかしながら、プラスチックフィルムは、ガラスと比較して熱や吸湿による寸法変化が大きく、しかもガスや水蒸気を透過しやすいという問題がある。
　そこで、本発明者は、ガスや水蒸気の透過を略１００％ガード可能なガラスをフィルムに貼合したガラスフィルム基板を発明した（非特許文献１参照）。このガラスフィルム基板は、ガラスとフィルムを貼り合わせ、ガラスのみをエッチング技術で厚さ０．１５ｍｍまで薄板化させることで、ガスや水蒸気のバリア効果が高く、その上、柔軟性に優れたこれまでにない曲がるガラス基板を実現させたものであった。
　しかしながら、液晶表示素子や有機ＥＬ等のフラットパネルディスプレイや電子ペーパの薄型化は更に進んでおり、本発明者においても前記非特許文献１に記載のガラスフィルム基板の更なる薄型化を進めていた。
特開昭５９－１５８０１５号公報
「曲がるガラス―ＥＬ/電子ペーパー用部材―」、「ｏｎｌｉｎｅ」、2009年1月、株式会社ミクロ技術研究所、[平成21年10月７日検索]、インターネット＜URL：http：//www.microtc.com/randd/index.html＞
　本発明は、前記ガラスフィルム基板の改良を図ったものであり、その目的とするところは、従来よりも飛躍的に薄型化が図れ、かつ、ガスや水蒸気の透過を略１００％ガード可能であるとともに、可撓性に富み自由に大きく曲げることができるフレキシブルガラス基板の製造方法及びフレキシブルガラス基板を提供することにある。
　前記目的を達成するために、本発明は、フィルム基材にガラス基板が貼合されたフレキシブルガラス基板の製造方法であって、ガラス基板の一の面に支持体を仮着する工程と、該ガラス基板の他の面をエッチング処理して該ガラス基板を薄肉化する工程と、このエッチング処理後の他の面にフィルム基材を貼合する工程と、ガラス基板の一の面に仮着された支持体を剥離する工程と、を含むことを特徴とする。
　また、本発明は、フィルム基材にガラス基板が貼合されたフレキシブルガラス基板の製造方法であって、ガラス基板の一の面に成膜処理後、この一の面に支持体を仮着する工程と、該ガラス基板の他の面をエッチング処理して該ガラス基板を薄肉化する工程と、このエッチング処理後の他の面にフィルム基材を貼合する工程と、ガラス基板の一の面に仮着された支持体を剥離する工程と、を含むことを特徴とする。
　また、本発明は、ガラス基板にフィルム基材が貼合されたフレキシブルガラス基板の製造方法であって、ガラス基板の一の面に成膜処理後、この一の面に支持体を仮着する工程と、該ガラス基板の他の面をエッチング処理して該ガラス基板を２～３０μｍまで薄肉化する工程と、このエッチング処理後の他の面にフィルム基材を貼合する工程と、ガラス基板の一の面に仮着された支持体を剥離する工程と、を含むことを特徴とする。
　また、本発明に係るフレキシブルガラス基板は、ガラス基板の一の面に支持体を仮着し、該ガラス基板の他の面をエッチング処理して該ガラス基板を薄肉化し、このエッチング処理後の他の面にフィルム基材を貼合し、ガラス基板の一の面に仮着された支持体を剥離してなることを特徴とする。
　また、本発明に係るフレキシブルガラス基板は、ガラス基板の一の面に成膜処理後、この一の面に支持体を仮着し、該ガラス基板の他の面をエッチング処理して該ガラス基板を薄肉化し、このエッチング処理後の他の面にフィルム基材を貼合し、ガラス基板の一の面に仮着された支持体を剥離してなることを特徴とする。
　また、本発明に係るフレキシブルガラス基板は、ガラス基板の一の面に成膜処理後、この一の面に支持体を仮着し、該ガラス基板の他の面をエッチング処理して該ガラス基板を厚さ２～３０μｍまで薄肉化し、このエッチング処理後の他の面にフィルム基材を貼合し、ガラス基板の一の面に仮着された支持体を剥離してなることを特徴とする。
　本発明にあっては、ガラス基板の一の面に支持体を仮着し、該ガラス基板の他の面をエッチング処理して該ガラス基板を薄肉化し、このエッチング処理後の他の面にフィルム基材を貼合し、ガラス基板の一の面に仮着された支持体を剥離するようにした。これにより、ガスや水蒸気の透過を略１００％ガード可能であるとともに、従来に比して飛躍的な薄型化及び曲げ特性の向上が図れる。
本発明のフレキシブルガラス基板の製造方法を説明するための図。
　以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明のフレキシブルガラス基板の製造方法を説明するための図である。なお、図１においては、（ｆ）に示すガラス基板はエッチングで削って薄くされた後のものであり、（ａ）に示すガラス基板とは厚みの点において構成が異なるが、厚みのみが異なるだけであるので同一の符号を付している。
　図１（ｆ）に示すように、本発明のフレキシブルガラス基板１０は、パターンＰが形成された極薄のガラス基板１にフィルム基材５が接着剤２により貼合されてなる。
　本発明のフレキシブルガラス基板１０は、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、プラズマパネルディスプレイ、電子ペーパ等の薄型ディスプレイ等を製造する際に用いられるものである。
　ガラス基板１へのパターンＰの形成方法としては既存の種々の手法が適用可能である。例えばそのような手法としては、インジウム－スズの複合酸化物（ＩＴＯ）を真空蒸着法やスパッタリング法等のドライプロセスにて製膜する方法がある。
　本発明に用いられるフィルム基材５の材質は特に限定されない。例えば、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルスルホン、ポリイミド、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ポリウレタン、ポリ尿素、ポリエチレン、ポリプロピレン、ナイロン樹脂、ポリ塩化ビニル、アクリル樹脂、ポリスチレン、アクリロニトリルブタジエンスチレン樹脂、アクリロニトリルスチレン樹脂、ポリ塩化ビニリデン等を用いることができる。
　また、本発明に用いられるフィルム基材５の厚さは特に限定されない。フレキシブル性を高めるためには厚さは５００μｍ以下が好ましく、強度を確保するためには１μｍ以上であることが好ましく、取扱いの容易性から２５μｍ以上であることが好ましい。
　次に、図１を参照してフレキシブルガラス基板１０の製造方法について詳細に説明する。
　まず、図１（ａ）に示すように、ガラス基板１を用意する。このガラス基板１の厚みは特に限定されないが、加工性を考慮すると０．２～０．７ｍｍの厚みのものが好適である。ガラス基板１の大きさは、例えば、板厚が０．２ｍｍであれば３００ｍｍ角、４００ｍｍ角、板厚が０．７ｍｍであれば１ｍ角のものを使用可能であり、この加工前のガラス基板１の大きさは、取扱い性を考慮すると、板厚との関係において適宜決定される。
　次いで、このガラス基板１の一の面（図１（ｂ）中においては上面）に、ＣＶＤ、スパッタ、蒸着、めっき等により成膜処理をした後フォトエッチングまたは印刷等によりパターンＰを形成する。本発明においては、ガラス基板１の板厚が厚いままパターン加工が可能なため、基板サイズの大型化が可能である。また、パターン形成をする際には１５０°～３５０°の高温プロセスを要するので、プラスチックフィルムであれば耐熱性に問題が生じるが、本発明においては、フィルム基材５を貼合する前のガラス基板１に対しパターン加工をするので、耐熱性の面における問題は生じない。
　続いて、図１（ｃ）に示すように、ガラス基板１のパターンＰが形成された面に、支持体３を接着剤２を介して仮着させる。支持体３はガラス板や樹脂の板が適用可能であるが、ある程度の腰があればフィルム材でもよい。また、接着剤２は、後から支持体３を剥離しやすいように、ガラス基板１の周縁に塗布されている。なお、この接着剤２は、エッチングの際にエッチング液がガラス基板１と支持体３との間に入らないように機能することになるので、耐酸性のものである。
　次に、図１（ｄ）に示すように、ガラス基板１の他の面（図１（ｄ）中においては下面）を、フッ酸等でエッチングして削って薄型化加工をする。本発明においては、ガラス基板１の板厚が２～３０μｍになるまで削る。本発明においては、ガラス基板１を支持体３により支持した状態でエッチング加工ができるので、前記非特許文献１に記載のガラスフィルム基板に比べて飛躍的に薄型化が図れるようになった。
　前記エッチング加工によりガラス基板１の厚さを所望の厚さまで削ったならば、次いで、図１（ｅ）に示すように、ガラス基板１の他の面（図１（ｅ）中においては下面）にフィルム基材５を接着剤４により貼合させる。接着剤４は、耐熱性のアクリル系の接着剤を用いている。
　その後、図１（ｆ）に示すように、ガラス基板１の一の面に仮着させていた支持体３をガラス基板１から剥離する。すると、本発明のフレキシブルガラス基板１０が製造される。熱による軟化ないし光による分解、刃物により剥離する等の方法が適用可能である。
　以上説明したように、本発明のフレキシブルガラス基板は、ガラス基板の一の面に成膜処理後、この一の面に支持体を仮着し、ガラス基板の他の面をエッチング処理して該ガラス基板を薄肉化し、このエッチング処理後の他の面にフィルム基材を貼合し、ガラス基板の一の面に仮着された支持体を剥離することにより構成した。これにより、ガスや水蒸気の透過略１００％ガード可能であるとともに、従来に比して飛躍的な薄型化及び曲げ特性の向上が図れる。すなわち、フィルムの持っている屈曲特性を損なわないでパッシベーション効果が出せる。
　なお、本発明のフレキシブルガラス基板は、フラットパネルディスプレイや電子ペーパの分野だけでなく、広く、電子、電気、電池、光学部材等の分野においてフィルム代用品としても適用可能である。また、前記においては、ガラス基板にパターンが形成される形態のみを説明したが、本発明のフレキシブルガラス基板は、ガラス基板に成膜処理のみを行うあるいは全く何ら表面には加工をしない形態にも適用可能である。
１　　ガラス基板
２　　接着剤
３　　支持体
４　　接着剤
５　　フィルム基材
１０　フレキシブルガラス基板
Ｐ　　パターン

Claims (6)

  1. 　フィルム基材にガラス基板が貼合されたフレキシブルガラス基板の製造方法であって、
    　ガラス基板の一の面に支持体を仮着する工程と、
    　該ガラス基板の他の面をエッチング処理して該ガラス基板を薄肉化する工程と、
    　このエッチング処理後の他の面にフィルム基材を貼合する工程と、
    　ガラス基板の一の面に仮着された支持体を剥離する工程と、を含むこと
    　を特徴とするフレキシブルガラス基板の製造方法。
  2. 　フィルム基材にガラス基板が貼合されたフレキシブルガラス基板の製造方法であって、
    　ガラス基板の一の面に成膜処理後、この一の面に支持体を仮着する工程と、
    　該ガラス基板の他の面をエッチング処理して該ガラス基板を薄肉化する工程と、
    　このエッチング処理後の他の面にフィルム基材を貼合する工程と、
    　ガラス基板の一の面に仮着された支持体を剥離する工程と、を含むこと
    　を特徴とするフレキシブルガラス基板の製造方法。
  3. 　ガラス基板にフィルム基材が貼合されたフレキシブルガラス基板の製造方法であって、
    　ガラス基板の一の面に成膜処理後、この一の面に支持体を仮着する工程と、
    　該ガラス基板の他の面をエッチング処理して該ガラス基板を２～３０μｍまで薄肉化する工程と、
    　このエッチング処理後の他の面にフィルム基材を貼合する工程と、
    　ガラス基板の一の面に仮着された支持体を剥離する工程と、を含むこと
    　を特徴とするフレキシブルガラス基板の製造方法。
  4. 　ガラス基板の一の面に支持体を仮着し、
    　該ガラス基板の他の面をエッチング処理して該ガラス基板を薄肉化し、
    　このエッチング処理後の他の面にフィルム基材を貼合し、
    　ガラス基板の一の面に仮着された支持体を剥離してなること
    　を特徴とするフレキシブルガラス基板の製造方法。
  5. 　ガラス基板の一の面に成膜処理後、この一の面に支持体を仮着し、
    　該ガラス基板の他の面をエッチング処理して該ガラス基板を薄肉化し、
    　このエッチング処理後の他の面にフィルム基材を貼合し、
    　ガラス基板の一の面に仮着された支持体を剥離してなること
    　を特徴とするフレキシブルガラス基板。
  6. 　ガラス基板の一の面に成膜処理後、この一の面に支持体を仮着し、
    　該ガラス基板の他の面をエッチング処理して該ガラス基板を厚さ２～３０μｍまで薄肉化し、
    　このエッチング処理後の他の面にフィルム基材を貼合し、
    　ガラス基板の一の面に仮着された支持体を剥離してなること
    　を特徴とするフレキシブルガラス基板。
PCT/JP2009/067625 2009-10-09 2009-10-09 フレキシブルガラス基板の製造方法及びフレキシブルガラス基板 WO2011042983A1 (ja)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020107022613A KR101057151B1 (ko) 2009-10-09 2009-10-09 플렉시블 유리 기판의 제조 방법 및 플렉시블 유리 기판
US12/992,176 US20120263945A1 (en) 2009-10-09 2009-10-09 Method for manufacturing flexible glass substrate and flexible glass substrate
CA2718446A CA2718446A1 (en) 2009-10-09 2009-10-09 Method for manufacturing flexible glass substrate and flexible glass substrate
JP2010513555A JP4565670B1 (ja) 2009-10-09 2009-10-09 フレキシブルガラス基板の製造方法及びフレキシブルガラス基板
EP09850254A EP2374766A4 (en) 2009-10-09 2009-10-09 PROCESS FOR PRODUCING FLEXIBLE GLASS SUBSTRATE AND FLEXIBLE GLASS SUBSTRATE
CN200980116843.5A CN102131743A (zh) 2009-10-09 2009-10-09 柔性玻璃基板的制造方法以及柔性玻璃基板
PCT/JP2009/067625 WO2011042983A1 (ja) 2009-10-09 2009-10-09 フレキシブルガラス基板の製造方法及びフレキシブルガラス基板
TW099130648A TW201113147A (en) 2009-10-09 2010-09-10 Process for producing flexible glass substrate, and flexible glass substrate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2009/067625 WO2011042983A1 (ja) 2009-10-09 2009-10-09 フレキシブルガラス基板の製造方法及びフレキシブルガラス基板

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2011042983A1 true WO2011042983A1 (ja) 2011-04-14

Family

ID=43098816

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2009/067625 WO2011042983A1 (ja) 2009-10-09 2009-10-09 フレキシブルガラス基板の製造方法及びフレキシブルガラス基板

Country Status (8)

Country Link
US (1) US20120263945A1 (ja)
EP (1) EP2374766A4 (ja)
JP (1) JP4565670B1 (ja)
KR (1) KR101057151B1 (ja)
CN (1) CN102131743A (ja)
CA (1) CA2718446A1 (ja)
TW (1) TW201113147A (ja)
WO (1) WO2011042983A1 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013054503A1 (ja) * 2011-10-12 2013-04-18 シャープ株式会社 薄膜状電子回路を備えた表示装置の製造方法
JP2013139093A (ja) * 2011-12-28 2013-07-18 Seiko Instruments Inc サーマルヘッドおよびプリンタ
US10868252B2 (en) 2015-09-10 2020-12-15 Showa Denko Materials Co., Ltd. Organic electronics material and use thereof
JP2021120341A (ja) * 2014-11-04 2021-08-19 コーニング インコーポレイテッド 無アルカリガラス要素による屈曲可能なガラス物品
US11358372B2 (en) 2014-01-29 2022-06-14 Corning Incorporated Bendable glass stack assemblies, articles and methods of making the same

Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012051777A (ja) * 2010-09-03 2012-03-15 Micro Gijutsu Kenkyusho:Kk フレキシブルガラス基板の製造方法及びフレキシブルガラス基板
KR101230191B1 (ko) 2010-12-14 2013-02-06 삼성디스플레이 주식회사 터치 스크린 패널 및 그 제조방법
WO2012104989A1 (ja) * 2011-02-01 2012-08-09 株式会社ミクロ技術研究所 薄板ガラス基板貼合体およびその製造方法
TWI470593B (zh) * 2011-08-15 2015-01-21 Au Optronics Corp 可撓式顯示面板的製造方法
WO2013057917A1 (ja) * 2011-10-20 2013-04-25 シャープ株式会社 薄型基板の製造方法
JP5991373B2 (ja) * 2012-05-29 2016-09-14 旭硝子株式会社 ガラス積層体および電子デバイスの製造方法
CN103258881B (zh) * 2013-05-07 2015-11-11 宁波山迪光能技术有限公司 薄膜太阳能电池板及其制备方法
KR20150019688A (ko) * 2013-08-14 2015-02-25 삼성전기주식회사 코어 기판 및 코어 기판 제조 방법
KR102087193B1 (ko) * 2013-09-09 2020-04-16 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 및 터치 패널의 제조 방법
TWI538978B (zh) 2013-09-30 2016-06-21 樂金顯示科技股份有限公司 用於製備有機電子裝置之方法
JP2016534382A (ja) * 2013-10-22 2016-11-04 コーニング インコーポレイテッド フレキシブルガラス光導波路構造体
JP6711824B2 (ja) * 2014-11-05 2020-06-17 コーニング インコーポレイテッド 非平面状の構造的特徴および無アルカリガラス要素を有するガラス物品
CN104465479B (zh) 2014-12-19 2017-03-01 京东方科技集团股份有限公司 柔性显示基板母板及柔性显示基板的制备方法
CN105204705A (zh) * 2015-11-10 2015-12-30 湖北仁齐科技有限公司 一种超薄gg触摸屏以及该超薄gg触摸屏的制造工艺
KR102480130B1 (ko) 2016-02-24 2022-12-23 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치용 윈도우, 이의 제조 방법, 및 표시 장치 제조 방법
US11597672B2 (en) 2016-03-09 2023-03-07 Corning Incorporated Cold forming of complexly curved glass articles
EP3475237A1 (en) 2016-06-28 2019-05-01 Corning Incorporated Laminating thin strengthened glass to curved molded plastic surface for decorative and display cover application
KR102434980B1 (ko) 2016-07-05 2022-08-22 코닝 인코포레이티드 냉간-형성 유리 물품 및 그의 조립 방법
US11384001B2 (en) 2016-10-25 2022-07-12 Corning Incorporated Cold-form glass lamination to a display
TWI771357B (zh) 2017-01-03 2022-07-21 美商康寧公司 具有彎曲的覆蓋玻璃以及顯示器或觸控面板的車輛內部系統及其形成方法
US11016590B2 (en) 2017-01-03 2021-05-25 Corning Incorporated Vehicle interior systems having a curved cover glass and display or touch panel and methods for forming the same
US11685684B2 (en) 2017-05-15 2023-06-27 Corning Incorporated Contoured glass articles and methods of making the same
TW201906798A (zh) * 2017-06-23 2019-02-16 美商康寧公司 包括結構化島狀層的可折曲疊層製品及其製造方法
EP3655282B1 (en) 2017-07-18 2023-02-15 Corning Incorporated Vehicle interior system comprising a cold formed complexly curved glass article
KR102564868B1 (ko) 2017-09-12 2023-08-09 코닝 인코포레이티드 장식용 유리 상에 터치 패널을 포함하는 디스플레이용 데드프론트 및 관련 방법
US11065960B2 (en) 2017-09-13 2021-07-20 Corning Incorporated Curved vehicle displays
TWI806897B (zh) 2017-09-13 2023-07-01 美商康寧公司 用於顯示器的基於光導器的無電面板、相關的方法及載具內部系統
CN117341302A (zh) 2017-10-10 2024-01-05 康宁股份有限公司 具有改进的可靠性的弯曲覆盖玻璃的交通工具内部系统及其形成方法
CN111758063B (zh) 2017-11-21 2022-08-09 康宁公司 用于抬头显示器系统的非球面镜及其形成方法
CN111656254B (zh) 2017-11-30 2023-06-02 康宁公司 用于真空成形非球面镜的系统与方法
JP7274480B2 (ja) 2017-11-30 2023-05-16 コーニング インコーポレイテッド 曲面ミラーを成形する真空成形装置、システム及び方法
JP7361705B2 (ja) 2018-03-13 2023-10-16 コーニング インコーポレイテッド 亀裂抵抗性の湾曲したカバーガラスを有する乗物内装システムおよびその形成方法
CN110556399B (zh) * 2018-05-31 2020-10-27 浙江清华柔性电子技术研究院 柔性器件的过渡装置、制备方法及柔性器件贴片的方法
EP3823825A1 (en) 2018-07-16 2021-05-26 Corning Incorporated Vehicle interior systems having a cold-bent glass substrate and methods for forming the same
CN112513960A (zh) * 2018-07-27 2021-03-16 深圳市柔宇科技股份有限公司 显示面板及其制备方法、显示装置
EP3771695A1 (en) 2019-07-31 2021-02-03 Corning Incorporated Method and system for cold-forming glass
CN112390536B (zh) * 2019-08-12 2022-07-15 重庆鑫景特种玻璃有限公司 超薄玻璃盖板、超薄强化玻璃盖板及其制备方法
CN111302655A (zh) * 2020-03-12 2020-06-19 凯盛科技股份有限公司 一种柔性玻璃盖板的制备方法
US11772361B2 (en) 2020-04-02 2023-10-03 Corning Incorporated Curved glass constructions and methods for forming same
KR102363911B1 (ko) * 2020-04-03 2022-02-18 한국전자기술연구원 플렉시블 가스 센서 및 이의 제조 방법

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003212600A (ja) * 2002-01-28 2003-07-30 Panac Co Ltd 機能層用支持体
JP2003222842A (ja) * 2002-01-31 2003-08-08 Hitachi Ltd 液晶表示装置
JP2007240908A (ja) * 2006-03-09 2007-09-20 Micro Gijutsu Kenkyusho:Kk カラーフィルタの製造方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1143394C (zh) * 1996-08-27 2004-03-24 精工爱普生株式会社 剥离方法、溥膜器件的转移方法和薄膜器件
JPH1126733A (ja) * 1997-07-03 1999-01-29 Seiko Epson Corp 薄膜デバイスの転写方法、薄膜デバイス、薄膜集積回路装置，アクティブマトリクス基板、液晶表示装置および電子機器
GB2335884A (en) * 1998-04-02 1999-10-06 Cambridge Display Tech Ltd Flexible substrates for electronic or optoelectronic devices
JP4052631B2 (ja) * 2002-05-17 2008-02-27 株式会社東芝 アクティブマトリクス型表示装置
CA2391745C (en) * 2002-06-25 2012-08-14 Albert Mark David Touch screen display using ultra-thin glass laminate
JP4063082B2 (ja) * 2003-01-10 2008-03-19 日本電気株式会社 フレキシブル電子デバイスとその製造方法
JP2006059535A (ja) * 2004-08-17 2006-03-02 Seiko Instruments Inc 有機電子デバイスの製造方法
CN101300133A (zh) * 2005-09-01 2008-11-05 积水化学工业株式会社 部分由塑料板构成的夹层玻璃的制造方法及夹层玻璃
JP2008013389A (ja) * 2006-07-04 2008-01-24 Nec Corp エッチング装置及び薄型ガラス基板の製造方法
JP4936989B2 (ja) * 2006-07-11 2012-05-23 日本合成化学工業株式会社 積層体、その製造方法、及びその用途
JP4327180B2 (ja) * 2006-07-24 2009-09-09 株式会社東芝 表示装置
TWI363891B (en) * 2006-11-14 2012-05-11 Lg Display Co Ltd Manufacturing method of the flexible display device
KR101362035B1 (ko) * 2007-05-09 2014-02-11 엘지디스플레이 주식회사 플렉서블 표시 기판의 제조 방법
CN201288147Y (zh) * 2008-10-07 2009-08-12 天津乐金新型建材有限公司 复合玻璃板
WO2012104989A1 (ja) * 2011-02-01 2012-08-09 株式会社ミクロ技術研究所 薄板ガラス基板貼合体およびその製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003212600A (ja) * 2002-01-28 2003-07-30 Panac Co Ltd 機能層用支持体
JP2003222842A (ja) * 2002-01-31 2003-08-08 Hitachi Ltd 液晶表示装置
JP2007240908A (ja) * 2006-03-09 2007-09-20 Micro Gijutsu Kenkyusho:Kk カラーフィルタの製造方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP2374766A4 *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013054503A1 (ja) * 2011-10-12 2013-04-18 シャープ株式会社 薄膜状電子回路を備えた表示装置の製造方法
JP2013139093A (ja) * 2011-12-28 2013-07-18 Seiko Instruments Inc サーマルヘッドおよびプリンタ
US11358372B2 (en) 2014-01-29 2022-06-14 Corning Incorporated Bendable glass stack assemblies, articles and methods of making the same
US11745471B2 (en) 2014-01-29 2023-09-05 Corning Incorporated Bendable glass stack assemblies, articles and methods of making the same
JP2021120341A (ja) * 2014-11-04 2021-08-19 コーニング インコーポレイテッド 無アルカリガラス要素による屈曲可能なガラス物品
US10868252B2 (en) 2015-09-10 2020-12-15 Showa Denko Materials Co., Ltd. Organic electronics material and use thereof

Also Published As

Publication number Publication date
EP2374766A1 (en) 2011-10-12
US20120263945A1 (en) 2012-10-18
CN102131743A (zh) 2011-07-20
EP2374766A4 (en) 2012-04-04
TW201113147A (en) 2011-04-16
JP4565670B1 (ja) 2010-10-20
CA2718446A1 (en) 2011-04-09
JPWO2011042983A1 (ja) 2013-02-28
KR101057151B1 (ko) 2011-08-16
KR20110043520A (ko) 2011-04-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2011042983A1 (ja) フレキシブルガラス基板の製造方法及びフレキシブルガラス基板
JP4845232B1 (ja) 薄板ガラス基板貼合体およびその製造方法
JP2012051777A (ja) フレキシブルガラス基板の製造方法及びフレキシブルガラス基板
Fukuda et al. The future of flexible organic solar cells
EP3340330B1 (en) Organic light-emitting diode device, manufacturing method, and display apparatus
JP7048488B2 (ja) 可撓性表示パネル、及びその製造方法、表示装置
CN101060980B (zh) 制备柔性机械补偿的透明层状材料的方法
US10371869B2 (en) Anti-scratch film for flexible display
WO2015043165A1 (zh) 一种柔性基板及其制作方法、以及显示装置
CN104465475B (zh) 柔性显示器件的制备方法及柔性显示器件
KR101865686B1 (ko) 필름 터치 센서 제조 방법 및 제조 장치
JP2020507937A (ja) 積層基板を備えた電子アセンブリおよびその製造方法
CN109946861A (zh) 一种偏光片、显示面板及其制备方法
JP5951372B2 (ja) タッチパネルおよびその製造方法
JP5572452B2 (ja) 導電板及びその製造方法
CN111142703B (zh) 触控面板及其制作方法
CN210668372U (zh) 应用于软性电子组件的复合基板强化结构、可挠性基材
KR20160059869A (ko) 터치스크린용 도전성 필름
JP2012064679A (ja) 半導体素子の製造方法
JP2005319632A (ja) 積層体の製造方法及び積層体並びに表示媒体
JP2005116824A (ja) 薄膜デバイス装置の製造方法、アクティブマトリクス基板の製造方法、電気光学装置の製造方法、薄膜デバイス装置、アクティブマトリクス基板及び電気光学装置

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 200980116843.5

Country of ref document: CN

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2010513555

Country of ref document: JP

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20107022613

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2718446

Country of ref document: CA

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 12992176

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2009850254

Country of ref document: EP

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 09850254

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE