WO2011024947A1 - 成形構造体 - Google Patents

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WO2011024947A1
WO2011024947A1 PCT/JP2010/064587 JP2010064587W WO2011024947A1 WO 2011024947 A1 WO2011024947 A1 WO 2011024947A1 JP 2010064587 W JP2010064587 W JP 2010064587W WO 2011024947 A1 WO2011024947 A1 WO 2011024947A1
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WO
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region
molded structure
water
resin
convex
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PCT/JP2010/064587
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English (en)
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Inventor
和彦 須藤
鈴木 弥志雄
岩井 満
一真 栗原
中野 隆志
Original Assignee
株式会社ハウステック
独立行政法人産業技術総合研究所
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Publication date
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/11Anti-reflection coatings
    • G02B1/118Anti-reflection coatings having sub-optical wavelength surface structures designed to provide an enhanced transmittance, e.g. moth-eye structures
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/18Coatings for keeping optical surfaces clean, e.g. hydrophobic or photo-catalytic films
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/0006Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 with means to keep optical surfaces clean, e.g. by preventing or removing dirt, stains, contamination, condensation
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24355Continuous and nonuniform or irregular surface on layer or component [e.g., roofing, etc.]

Definitions

  • the present invention relates to a molded structure suitably used for, for example, windows, mirrors, etc. for architectural, industrial, automotive, solar cell panels, etc., and exhibits hydrophilicity only with a fine uneven structure on the surface of a resin substrate. And a molded structure having anti-fogging and self-cleaning functions. Furthermore, the present invention relates to a molded structure having high sensitivity of antigen-antibody reaction by a DNA array and low pressure loss of a fluid cell or the like by patterning a resin substrate into a hydrophilic portion and a water-repellent portion.
  • the present invention claims priority based on Japanese Patent Application No. 2009-200444 filed in Japan on August 31, 2009, the contents of which are incorporated herein by reference.
  • a technique for forming fine irregularities a technique is known in which hydrophilicity can be maintained by a nanometer-sized fine structure (see, for example, Patent Document 6).
  • this technique by forming a short concavo-convex structure having a wavelength shorter than the wavelength of visible light, the influence of irregular reflection is suppressed and an antireflection function is obtained, while super hydrophilicity is obtained by selecting a substrate to be coated.
  • Patent Document 1 Although the technique described in Patent Document 1 described above can easily change the surface of the base material to hydrophilic, there is a problem in that it lacks hydrophilic sustainability due to application by spraying or the like.
  • Patent Document 2 is excellent in the antifogging effect on the surface of the base material, but is expensive and consumes a large amount of power, so its application is limited.
  • Patent Document 3 requires a sufficient amount of ultraviolet rays to develop the photocatalytic function, and therefore has a problem that the usable place is restricted, and an efficient photocatalytic material is indispensable.
  • the photocatalytic function is lost, there is a problem in that it is disadvantageous in terms of cost because facilities for supplementing ultraviolet rays are required to restore the function.
  • the photocatalyst decomposes a polymer material such as a resin under the influence of its action, the base material is limited to an inorganic material.
  • Patent Document 4 is a method in which a dispersion containing silicon dioxide fine powder is applied to soda glass and heated and cured. However, since the heating and curing conditions are 120 ° C. for 30 minutes, Limited. Moreover, the application
  • Patent Document 5 is based on the premise that an unevenness manufacturing method is performed using a photolithography method and a trench dry etching method. The substrate is premised on a silicon substrate and cannot be applied to a resin substrate.
  • the present invention has been proposed in view of such conventional circumstances, and exhibits hydrophilicity only by the fine concavo-convex structure on the surface of the resin substrate, and has anti-fogging and self-cleaning functions for a long time. And when a resin base material is transparent, it aims at providing the molded structure which can maintain transparency. Another object of the present invention is to provide a molded structure that can control the operation of the water film and leave the water film at a desired position.
  • the present invention relates to the following.
  • a fine concavo-convex structure that continuously prevents water agglomeration and expresses hydrophilicity for forming a water film is formed.
  • a molded structure characterized in that the width or diameter is equal to or shorter than the shortest wavelength of visible light, and the distance between centers of convex portions is 200 to 400 nm.
  • a region A in which the fine concavo-convex structure is formed on a surface of the resin substrate and a water-repellent region B in which the fine concavo-convex structure is not formed are formed adjacent to each other, and a water film is formed in the region B.
  • the “aspect ratio” means the ratio of the height of the convex portion to the width or diameter of the bottom portion (bottom surface) of the convex portion, that is, (height of the convex portion) / ( It represents the width or diameter of the convex portion.
  • a molded structure that exhibits functions such as hydrophilicity, antifogging properties, and self-cleaning properties over a long period of time while maintaining transparency only by the fine uneven structure of the resin base material.
  • functions such as hydrophilicity, antifogging properties, and self-cleaning properties over a long period of time while maintaining transparency only by the fine uneven structure of the resin base material.
  • a molded structure can be suitably used for windows, mirrors, and the like for construction, industrial, automobile, and solar battery panels.
  • the DNA array has the hydrophilic region A only on the cell portion.
  • the antigen-antibody reaction can be detected with high sensitivity while leaving the liquid.
  • a micron order fluid cell such as micro TAS (Micro Total Analysis System)
  • region A is formed in a flow channel portion where a fluid is desired to flow
  • region B is formed in a portion where fluid is not desired to flow, Since the fluid easily flows only in a desired portion, it is possible to flow the fluid at a lower pressure.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the molded structure shown in FIG. 1 taken along line X-X ′. It is sectional drawing which shows an example of the type
  • the molded structure M to which the present invention is applied has, for example, as shown in FIG. 1 and FIG. Are aligned and formed. Dimensions such as the width (or diameter) and height of the convex portion 2 are characterized by being formed in a pillar shape (columnar shape in the form of FIGS. 1 and 2) below the wavelength of visible light. Moreover, it is preferable that the aspect ratio represented by (height of the convex part 2) / (width or diameter of the convex part 2) is 0.5 or more.
  • the resin base material 1 a material that can be thermally deformed or a material that is polymerized and cured by active energy rays can be used.
  • a material that can be thermally deformed or a material that is polymerized and cured by active energy rays can be used.
  • a thermoplastic resin, a thermosetting resin, a photocuring agent, or the like can be used. May be mentioned.
  • thermoplastic resin for example, polyethylene, polypropylene, polyvinyl alcohol, polyvinyl chloride, polyethylene terephthalate (PET), polyvinyl chloride, polystyrene, ABS resin, acrylic resin, polyamide, polyacetal, polybutylene terephthalate, glass reinforced polyethylene terephthalate, Polycarbonate, modified polyphenylene ether, polyphenylene sulfide, polyether ether ketone, liquid crystalline polymer, fluororesin, polyarylate, polysulfone, polyethersulfone, polyamideimide, polyetherimide, thermoplastic polyimide, acrylonitrile, etc.
  • PET polyethylene terephthalate
  • polystyrene polystyrene
  • ABS resin acrylic resin
  • polyamide polyacetal
  • polybutylene terephthalate glass reinforced polyethylene terephthalate
  • Polycarbonate modified polyphenylene ether, polyphenylene sulfide, polyether ether ketone
  • thermosetting resin examples include phenol resin, melamine resin, urea resin, epoxy resin, unsaturated polyester resin, polyimide resin, silicone resin, diallyl phthalate resin, polyurethane resin, and the like. Or two or more types can be used in a mixed or multilayer form.
  • the photocurable resin examples include an ultraviolet curable urethane acrylate resin, an ultraviolet curable epoxy acrylate resin, an ultraviolet curable polyester acrylate resin, and the like. Can be used for In addition, the thermoplastic resins, thermosetting resins, and photocurable resins mentioned above can be used by appropriately mixing or multilayering.
  • the resin substrate 1 is transparent to visible light
  • the resin base material 1 is not particularly limited with respect to its shape, and any shape can be used. However, a plate-like resin base material is preferable for processing the surface 1a.
  • the wettability of a solid surface such as hydrophilicity and water repellency is evaluated by a contact angle ⁇ on a smooth surface.
  • the contact angle ⁇ is an angle formed by the solid surface and the tangent of the liquid surface at the point where the solid and the liquid are in contact.
  • the liquid is water
  • the liquid is hydrophilic when the angle is 90 ° or less, and 90 °. It is said that water repellency is exceeded.
  • the contact angle ⁇ is expressed by the Young's formula as shown in the formula (1).
  • ⁇ SV is the surface tension or interfacial free energy between the solid and liquid of the liquid deposition line (triple line) formed by solid-liquid-gas
  • ⁇ LV is between the liquid and gas of the same liquid deposition line (triple line).
  • the surface tension or interfacial free energy, ⁇ SL is the solid-gas surface tension or interfacial free energy of the same liquid line (triple line).
  • ⁇ SV ⁇ LV cos ⁇ + ⁇ SL (1)
  • the contact angle ⁇ is determined by ⁇ SV and ⁇ SL . That is, the contact angle ⁇ decreases when the surface energy of the solid is large, and the contact angle ⁇ increases when the surface energy of the solid is small.
  • inorganic materials have a large surface energy, hydrophilicity tends to be developed, and polymer materials tend to hardly develop hydrophilicity because of a small surface energy.
  • the water when a relatively large amount of water is applied onto the surface 1a of the molded structure M, for example, the water is maintained in a film state without being aggregated even after 3 seconds, that is, the water film is maintained without interruption.
  • the state of being treated is treated as having “hydrophilicity”.
  • the hydrophilicity in the present invention is not necessarily the magnitude of the contact angle ⁇ formed between the edge of the droplet and the surface of the molded structure when a droplet of several ⁇ l is dropped on the molded structure M of the present invention. It is not represented.
  • the hydrophilicity can be expressed by forming an uneven structure like that of Wenzel.
  • the shape of the convex portion 2 is not particularly limited, and may be any shape, but may be a circular shape, an oval shape, or a similar shape in plan view (hereinafter, these shapes are collectively referred to as “substantially. It is preferable to carry out molding. Moreover, the cross-sectional shape of the convex part 2 can be a columnar shape, a weight shape, or a shape similar to these, but the weight shape is preferable in forming.
  • the dimension of the convex part 2 has a maximum width or maximum diameter that is not more than the shortest wavelength of visible light in a plan view, and the height is an aspect ratio with respect to the maximum width or maximum diameter of the convex part 2 (that is, (the height of the convex part 2 ) / (Maximum width or maximum diameter of the convex portion 2)) is preferably 0.5 or more, more preferably 0.6 or more, and still more preferably 0.65 or more.
  • the center-to-center distance (hereinafter referred to as pitch) of the convex portion 2 is preferably 200 nm to 400 nm, more preferably 225 nm to 375 nm, and further preferably 250 nm to 350 nm.
  • the dimension of the convex part 2 is 50 nm or more in terms of the width or the diameter because of restrictions on the manufacturing surface. Below this dimension is the processing limit. Since the wavelength region of visible light is about 400 to 800 nm, the width or diameter of the convex portion 2 is preferably 50 nm or more and 400 nm or less. Moreover, the thing whose pitch is less than 200 nm is the limit of processing. On the other hand, the height of the convex portion 2 is preferably in the range of 0.5 to 50 in aspect ratio. When the aspect ratio is 50 or more, when the molded structure is transferred from the mold, the molded structure cannot be peeled off from the mold, which is a processing limit.
  • the molded structure M of the present invention has a fine concavo-convex structure having the convex portions 2 having the shape and pitch as described above formed on the surface of the molded structure, so that the molded structure M is stably hydrophilic over a long period of time. Can be expressed.
  • hydrophilicity is maintained, the anti-fogging property and self-cleaning property of a molded structure will improve.
  • the condensed water does not form individual droplets even if moisture or steam in the air is condensed, Since the surface does not cause light-scattering haze, the anti-fogging property becomes remarkable. The effect is especially great in a high humidity environment such as a bathroom.
  • a window glass or an automobile rearview mirror is exposed to rain or splash, there is an effect that a visual field is ensured without forming discrete and annoying water droplets.
  • the resin substrate 1 itself is formed by the protrusions 2 particularly when the resin substrate 1 is transparent. It is possible to obtain a clear visual field characteristic without impairing the transparency.
  • the pitch of the convex portion 2 is kept below the shortest wavelength of visible light and the actual diffraction wave of light is suppressed. is required. Moreover, it is desirable that the width or diameter of the convex portion 2 is not more than the shortest wavelength of visible light. Since the wavelength region of visible light is about 400 nm to 800 nm, the maximum pitch of the adjacent convex portions 2 is about 400 nm, and the maximum width or maximum diameter of the convex portions 2 is about 400 nm.
  • Equation (3) the actual diffracted wave generated from the concavo-convex structure maintained below the shortest wavelength of visible light is defined by equation (3) based on diffraction theory.
  • D is a grating period
  • N is a constant
  • is a wavelength
  • is an incident angle
  • is an output angle
  • n is a refractive index of the medium.
  • Dsin ⁇ + Dsin ⁇ Nn ⁇ (3) From this equation, it can be seen that by setting the grating period D to ⁇ / n (wavelength / refractive index of the medium), generation of actual diffracted waves can be suppressed and transparency can be maintained.
  • the arrangement of the protrusions 2 is not particularly limited, and for example, a plurality of protrusions 2 may be arranged side by side at a pitch below the shortest wavelength of visible light, such as concentric circles, spirals, lattices, and staggered shapes. it can. Further, a hydrophilic region A in which a fine concavo-convex structure, which will be described later, and a water-repellent region B in which a fine concavo-convex structure is not formed are mixed on the surface 1a of the same resin base material 1 so that the hydrophilic region and the water repellent It is also possible to mix areas. Moreover, the convex part 2 can also be formed over a part of the surface 1a or the whole surface.
  • a concave portion 3 having a shape obtained by inverting the shape of the desired convex portion 2 is formed on a base material 4a different from the resin base material 1 to form a mold 4.
  • the processing method which transfers the shape to the resin base material 1 can be used.
  • the processing method of the mold 4 is not particularly limited, it is preferable to use an optical lithography method, an electron beam lithography method, or a thermal lithography method because it is nano-scale fine processing.
  • a series of processes for forming the recesses 3 on the surface 4b of the substrate 4a by reactive ion etching (RIE) after drawing a pattern on the substrate 4a using an optical lithography method or an electron beam lithography method is as follows. is there. On the surface 4b of the substrate 4a, a photosensitive photoresist is applied, for example, by spin coating, and a photomask manufactured in advance by another means is overlaid. At this stage, exposure is performed using a laser beam or an electron beam. In the photolithography method, a short-wavelength laser light source such as an excimer laser is used to improve transfer resolution. The electron beam lithography method can obtain higher resolution than the method using laser light.
  • RIE reactive ion etching
  • the beam itself is thin, there is an advantage that a photomask is not required.
  • exposure is performed in this way, and the pattern transfer is completed by removing the exposed portion.
  • RIE is performed to remove the photoresist and the photomask, and the mold 4 in which the desired recesses 3 are formed can be obtained.
  • RIE is a method of performing etching by extracting ions from plasma generated in a vacuum.
  • plasma chemically active radicals and ions are formed, + ions are accelerated toward the base material 4a having a negative potential, collide with the base material 4a at high speed, and the radicals react with the base material 4a.
  • the substrate 4a is vaporized and etching proceeds. This reaction takes place vigorously where the ions are hit (straight direction) and only slightly on the side. As a result, etching proceeds in the ion flight direction, and etching faithful to the pattern is performed.
  • mold 4 When a dimensional accuracy etc. are considered, it is preferable to use a silicon substrate.
  • FIG. 1 A nano-processing apparatus (manufacturing apparatus for forming structure) 100 as shown is used.
  • the nano-processing apparatus 100 performs a drawing process on a rotatable rotary stage 101 that holds the substrate 4a, a moving table 102 that moves the rotary stage 101 in a plane, and a processing target on the rotary stage 101. And an optical unit 103.
  • the optical unit 103 includes a laser light source 104 that emits the laser light L, a collimator lens 105 that collimates the laser light L emitted from the laser light source 104, and a laser light L that has been collimated by the collimator lens 105.
  • the polarization beam splitter 106 that transmits the return laser beam L reflected from the surface 4b of the substrate 4a and the linearly polarized laser beam L reflected by the polarization beam splitter 106 into circularly polarized light.
  • the quarter-wave plate 107 that converts the laser light L reflected and returned from the surface 4b of the base material 4a into linearly polarized light, and the laser light L that has passed through the quarter-wave plate 107 is converted into the surface of the base material 4a.
  • An objective lens 108 that focuses light on 4b, and a quarter-wave plate 107 and a polarizing beam splitter 1 that are reflected from the surface 4b of the substrate 4a. 6 includes a condensing lens 109 that condenses the laser light L that has returned through 6 and a photodetector 110 that receives the laser light L collected by the condensing lens 109, and is detected by the photodetector 110. Based on the detected light detection signal, the objective lens 108 is controlled to focus on the surface 4b of the substrate 4a while scanning the objective lens 108 in the optical axis direction.
  • a plurality of recesses 3 are formed on the surface 4 b of the substrate 4 a of the mold 4 with a pitch equal to or shorter than the shortest wavelength of visible light.
  • a resist is applied to the surface 4b of the substrate 4a by spin coating, and a multilayer film mainly composed of platinum oxide is formed as a thermal lithography layer by sputtering.
  • a thermal lithography layer germanium, antimony, terbium, or the like, or a phase change material using an alloy, oxide, or nitride whose main component is the above-mentioned material, or has nonlinear reaction characteristics with respect to temperature.
  • An organic substance or the like can be used, but a multilayer film containing platinum oxide as a main component is preferable because a development process for forming a pattern is not necessary and can be manufactured with good reproducibility.
  • the base material 4a in this state is placed on the rotary table 101, the base material is rotated by the rotary table 101, and the rotary table 101 is moved by the moving table 102 in the radial direction of the base material 4a every visible light. Drawing is performed on the thermal lithography layer while the laser light source 104 is driven at a constant pulse frequency while being relatively moved at a pitch equal to or less than the shortest wavelength.
  • the temperature distribution generated in the spot of the laser beam L collected on the surface 4b of the substrate 4a is used for drawing processing.
  • the spot region S1 of the laser light L collected on the surface 4b of the substrate 4a generally has a light intensity distribution T having a Gaussian distribution.
  • the object absorbs light, so that the energy of the light is converted into heat.
  • the temperature distribution generated by the heat generated by the object absorbing light is also a Gaussian distribution.
  • a region S2 (hereinafter referred to as a thermal lithography region) S2 generated in the spot S1 of the focused laser beam L is used for processing that causes a chemical / physical reaction. Therefore, according to this thermal lithography method, it is possible to perform drawing using the thermal lithography region S2 smaller than the spot region S1 of the laser beam L irradiated onto the surface 4b of the substrate 4a.
  • the temperature distribution in the spot region S1 of the laser light L depends on the power of the laser light L, the moving speed of the substrate 4a, and the like. Therefore, it is needless to say that these conditions need to be adjusted as appropriate in order to obtain the recess 3 having a desired shape.
  • the thermal lithography layer is removed according to the pattern drawn on the surface 4b of the substrate 4a, and the drawn pattern 3a corresponding to the recess 3 is formed on the photoresist with the shortest wavelength of visible light. It can be formed concentrically with the following pitch.
  • the drawing pattern 3a is formed concentrically or spirally in this way, the substrate 4a is set on the rotary stage 101 and processed, or the optical unit 103 is rotated while rotating with respect to the substrate 4a. By doing so, processing can be performed easily. Further, there is an advantage that the processing time can be shortened and the processing cost can be reduced as compared with the case where the processing is performed while the optical unit 103 is relatively moved in the in-plane direction (XY direction) with respect to the substrate 4a.
  • a resist pattern having openings at positions corresponding to the recesses 3 is formed on the substrate 4a after drawing by developing the photoresist. Then, after etching the surface 4b of the base material 4a on which the resist pattern is formed, by removing the resist pattern, the surface 4b of the base material 4a has a plurality of pitches with a pitch equal to or shorter than the shortest wavelength of visible light. Can be formed in a dot shape.
  • the shape of the concave portion 3 which is a shape obtained by inverting the shape of the desired convex portion 2, is transferred to the surface 1 a of the resin substrate 1.
  • molding structure M in which the convex part 2 of the predetermined shape was formed can be obtained.
  • the transfer method from the mold 4 include a method in which the mold 4 and the resin substrate 1 are heated to perform press molding, injection molding, injection molding, and nanoimprinting.
  • Nanoimprint is a technology for transferring the nanostructure by sandwiching the resin base material 1 between the mold 4 and another substrate.
  • the process consists of application of the resin base material 1 to the substrate, pressing, transfer by heating or UV irradiation, and mold release, and is a processing technique that enables simple and low-cost mass production of the apparatus.
  • a UV curable photocurable resin is first applied by spin coating or the like to a resin base material 1 using a UV transparent material as a substrate. And it puts into a baking process and removes a solvent. Next, the mold 4 is pressed against the resin base material 1, irradiated with UV from the substrate side to cure the resin base material 1, and then the mold 4 is released from the resin base material 1.
  • a molding structure M in which convex portions 2 having a predetermined shape are formed on the surface 1a of the material 1 can be molded.
  • molding structure by mixing the inorganic material which has hydrophilic property into photocurable resin.
  • the substrate and the resin base material 1 may be separated or integrated as they are, and a multilayer is formed on the opposite surface side (the surface opposite to the surface on which the convex portions 2 are formed). May be used. That is, if the outermost surface side is an embodiment described in the present invention, the configuration of the lower layer side is not particularly limited.
  • the material that transmits UV is not particularly limited as long as it is transparent to visible light as described above.
  • a silicon plate is used as the base material 4a of the mold 4 and the concave portion 3 is formed on the surface 4b, and the shape of the concave portion 3 can be transferred to the resin base material 1 using this as the die 4.
  • the master can be produced by reversing from the silicon plate, and the master can be reversed again from this master to obtain a transfer mold.
  • any method can be used as long as the original shape can be precisely reversed.
  • nickel electroforming is used.
  • Nickel electroforming is a method in which a master surface is plated in a nickel sulfamate bath. And a reversal thing can be obtained by peeling off this plating. Note that nickel sulfamate is suitable for electroforming because it has a small internal stress in the coating and is easily peeled off from the substrate.
  • the back surface is a surface opposite to the surface on which the convex portions 2 are formed.
  • the reflective material 7 on 1b it is possible to function as a mirror.
  • this molded structure also functions as an anti-fogging mirror, it can be suitably used, for example, in automobile mirrors and building materials.
  • the reflective material 7 is not particularly limited as long as it is used for a mirror.
  • silver plating is generally formed as the reflector 7 by electroless plating.
  • a metal film such as aluminum, chrome, platinum, or titanium is formed as a reflector 7 in a vacuum furnace, or an alloy film mainly composed of aluminum, chrome, silver, titanium, iron, platinum, or the like.
  • the reflective material 7 is deposited by sputtering or vapor deposition.
  • a region A where the fine concavo-convex structure is formed and a region B where the fine concavo-convex structure is not formed on the surface 1a of the same resin substrate 1 as shown in FIG. Will be described.
  • the region A is a fine concavo-convex structure in which convex portions as described so far are formed, and exhibits hydrophilicity.
  • the region B has a flat shape without a fine relief structure, and exhibits water repellency because it is the surface of the resin substrate 1 itself.
  • the hydrophilic region A is in a state where the water is wet and spread, and the water-repellent region B is in a state of repelling water.
  • the water film can be moved from the region B to the region A.
  • the water film remains in the region A and no water remains in the region B.
  • the shape, area, and arrangement of the region A and the region B are not particularly limited as long as the region A and the region B are adjacent to each other.
  • the region A is an island-like arrangement, and the region B is adjacent to the region A around it. However, it can also be arranged continuously.
  • the sea-island arrangement of the area A and the area B can be reversed.
  • the interval between the adjacent regions A is 3 mm or less ( That is, it is preferable that the width of the region B sandwiched between the plurality of adjacent regions A is 3 mm or less. If it is 3 mm or less, it can be controlled so that no water remains in the region B. If it exceeds 3 mm, water moves from the region B to the region A, but the interval is too wide and water remains. Note that the interval and arrangement of the regions A can be appropriately adjusted in accordance with the size of the region A.
  • the molding structure M3 in which the region A and the region B are formed is formed with the desired convex portion 2 and the concave portion 3 having a shape reversed from the shape and arrangement of the regions A and B.
  • the mold 4 can be produced by transferring it to the resin substrate 1, and the mold 4 can use a photolithographic method, an electron beam lithography method, or a thermal lithography method. In either case, drawing is performed in correspondence with the area A and the area B.
  • the region A in which the fine concavo-convex structure is formed and the region B in which the fine concavo-convex structure is not formed are provided on the resin substrate 1, and the hydrophilicity and the region of the region A are provided.
  • the water repellency of B it is possible to move the water film from the region B to the region A, control the operation of the water film, and leave the water film only in the region A.
  • Example 1 a molded structure to which the present invention was actually applied was produced. Specifically, in order to produce a mold, a recess was drawn on a silicon plate (Mitsubishi Materials Electronics Chemical Co., Ltd., ⁇ 5 inch silicon wafer, plate thickness 0.6 mm) using a thermal lithography method.
  • a silicon plate Mitsubishi Materials Electronics Chemical Co., Ltd., ⁇ 5 inch silicon wafer, plate thickness 0.6 mm
  • a thermal lithography layer was formed using a sputtering apparatus (I-Miller, manufactured by Shibaura Mechatronics Co., Ltd.).
  • the thermal lithography layer used here is a multilayer film containing platinum oxide as a main component, and after film formation, a nanometer-size concave portion was drawn using the nano-processing apparatus shown in FIG.
  • a fine recess having a diameter equal to or smaller than the spot diameter of the laser beam was drawn using a thermal lithography method.
  • the drawing conditions at this time were set such that the laser intensity during drawing was 15 mW, the rotation speed was 3 m / second, the drawing pulse width was 10 nsec, and the drawing frequency was 30 MHz.
  • etching was performed using a reactive etching apparatus (RIE-10NR, manufactured by Samco Corporation) to form a recess on the surface of the silicon plate.
  • the reaction gas used at this time is CF 4 , O 2 , or CHF 3 .
  • the thermal lithography layer was removed with hydrofluoric acid or the like to produce a silicon plate having a recess.
  • the shape of the formed recess was an inverted cone, the depth was about 200 nm, the pitch was about 300 nm, and the diameter of the maximum opening was about 300 nm.
  • a PET film (Teijin DuPont Film Co., Ltd., HLF175, thickness 0.175 mm) is coated with a photocurable resin (Toyo Gosei Co., Ltd., PAK-02).
  • a film was set on a spin coater, and the resin was applied to a thickness of 0.01 mm.
  • this PET film with resin and the mold produced above are set in an imprint apparatus, and further UV light having an intensity of 250 W / m 2 is applied from the film side while holding the mold on the resin application side of the film at a press pressure of 1 MPa.
  • a press pressure of 1 MPa was irradiated for 20 seconds to cure the photocurable resin.
  • FIGS. 9A to 9C show data obtained by measuring the surface of the base material with the AFM (atomic force microscope, manufactured by SII NanoTechnology Inc., Probe Station NanoNavi) for the molded structure 5 of Example 1 manufactured as described above. Show.
  • the shape of the convex portion 20 of the molded structure is conical, and the size of the cone is about 300 nm in diameter at the bottom, about 200 nm in height, and about 300 nm in pitch. The ratio was 0.67.
  • Comparative Example 1 In Comparative Example 1, a silicon plate having no recesses was used as a mold, and other conditions were the same as in Example 1, and a flat plate-shaped molded structure was produced.
  • Comparative Example 2 a hydrophilic mirror (manufactured by Nissan Motor Co., Ltd., Blue hydrophilic mirror for Fit (registered trademark)) used for a door mirror of an automobile was prepared.
  • a base material is glass and the reflecting material is provided in the single side
  • films are formed by sputtering in the order of TiO 2 and SiO 2 from the glass side to the outside. Since SiO 2 is formed into a relatively porous film, TiO 2 has hydrophilicity due to a photocatalyst, and SiO 2 has hydrophilicity maintenance in a dark place.
  • Example 1 The hydrophilicity shown below was evaluated for the molded structures of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2, and the transparency of Example 1 was further evaluated.
  • the hydrophilicity of the molded structures of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 was evaluated.
  • the room temperature was 23 ⁇ 3 ° C. and the relative humidity was 45 ⁇ 10%.
  • the molded structure was leveled, and 2 cc of water was sprayed in several portions from a distance of 100 mm over the entire surface, and the molded structure was placed at a right angle for 5 seconds.
  • the wet spread state was calculated as the wet area ratio, and the relationship between the aging and the wet area ratio was evaluated.
  • the wet area ratio is the wet area of water with respect to the entire surface.
  • Example 1 the wetted area ratio of the molded structure is 98 to 100% even after 65 days have passed since the production, and the hydrophilicity is maintained over a long period of time.
  • Comparative Example 1 it can be seen that the wet area ratio of the molded structure is 0% from the initial state, and the photocurable resin itself is not hydrophilic.
  • Comparative Example 2 the molded structure was once subjected to pretreatment with ultraviolet irradiation as defined in JIS R 1703-1.
  • the time when the hydrophilic property was expressed was set as an initial state, and thereafter the molded structure was stored in a room and the hydrophilic property was evaluated. Then, after 7 days, the wet area ratio of the molded structure was 78%, and after 21 days, it was 60%, and the darkness maintenance was insufficient.
  • the molded structure to which the present invention was applied was more hydrophilic. You can see that it is maintained.
  • FIG. 10 is a photograph showing a state in which the molded structure 5 of Example 1 is placed on paper on which characters are printed. From FIG. 10, since the character under the molding structure 5 of Example 1 can also be read clearly, the molding structure 5 of Example 1 has transparency even though there are many convex portions on the surface. You can see that it is maintained.
  • Example 2 A molded structure in which a region A (region indicated by reference numeral 8 in FIG. 11) and a region B (region indicated by reference numeral 9 in FIG. 11) as shown in FIG. 11 were formed was produced by thermal lithography and nanoimprinting using UV.
  • region A a fine concavo-convex structure is formed, the shape of the convex portion is conical, the bottom diameter is about 300 nm, the height is about 200 nm, the pitch is about 300 nm, and the aspect ratio is 0.67.
  • the area A is a 1 mm ⁇ 1 mm square area a1, twelve 0.5 mm ⁇ 0.6 mm rectangular areas a2 formed surrounding the area a1, and adjacent areas a2 and a2 surrounding the area a1.
  • a plurality of 0.2 mm ⁇ 0.2 mm square regions a3 formed between the two are arranged in an island shape as one unit.
  • a region B in which a fine uneven structure is not formed continuously exists around the region A (region a1, region a2, and region a3), and the interval between the regions B (that is, the distance between the adjacent regions A). Is 2 mm at the widest point and 0.2 mm at the narrowest point.
  • FIG. 12 is a photograph showing the state of the molded structure of Example 2 after 60 seconds of watering. As shown in FIG. 12, the water film remained in the region A, and no water remained in the region B.
  • the water film is moved by utilizing the hydrophilicity of the region A in which the fine concavo-convex structure is formed and the water repellency of the region B in which the fine concavo-convex structure is not formed. Can be controlled to leave a water film at the target position.
  • a molded structure that exhibits functions such as hydrophilicity, antifogging properties, and self-cleaning properties over a long period of time while maintaining transparency only by the fine uneven structure of the resin base material.
  • Such a molded structure can be suitably used for window materials, mirrors, and the like for architectural, industrial, automotive, and solar cell panels.
  • Molding structure 1 ... Base material 2 ; Convex part 3 ... Concave part 4 ... Mold 4a ... Base material 5 ; Molding structure 7 ... Reflective material 8 ... Area A 9 ... Area B 100 ... Nano-processing device 101 ... Rotating stage 102 ... moving table 103 ... optical unit 104 ... laser light source 105 ... collimator lens 106 ... polarizing beam splitter 107 ... quarter wavelength plate 108 ... objective lens 109 ... condensing lens 110 ... photodetector A ... area A B ... area B

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Abstract

 樹脂基材の面上の微細凹凸構造だけで親水性を発現し、長期に亘り防曇やセルフクリーニング機能を有し、なお且つ、樹脂基材が透明である場合は透明性を維持できる成形構造体の提供。樹脂基材(1)の一方の面上に連続的に水の凝集現象を防ぎ、水膜を形成するための親水性を発現する微細凹凸構造が形成され、その微細凹凸構造の凸部(2)の幅又は径が可視光の最短波長以下であり、凸部(2)の中心間距離が200~400nmであることを特徴とする成形構造体。

Description

成形構造体
 本発明は、例えば建築用、産業用、自動車用、太陽電池パネルなどの窓材や鏡などに好適に用いられる成形構造体に関し、樹脂基材の面上の微細凹凸構造だけで親水性を発現し、防曇やセルフクリーニング機能を有する成形構造体に関する。さらに、樹脂基材を親水部分と撥水部分とにパターニングすることで、DNAアレイによる抗原抗体反応の高感度化や、流体セル等の低圧損化を有する成形構造体に関する。
 本発明は、2009年8月31日に、日本に出願された特願2009-200464号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
 従来、樹脂やガラスなどの基材表面に親水性や防曇性などを付与するための技術として、例えば界面活性剤などを含む防曇剤を対象物の表面に塗布することにより、塗布面の水に対する濡れ性を向上させ、微細な水滴を生じさせないようにする方法が知られている(例えば、特許文献1を参照。)。
 また、浴室に設置される鏡の防曇性を向上するための技術として、鏡の裏面にヒータを配置し、このヒータにより鏡を加熱しながら、鏡の表面を常に露点以上の温度に保つ方法が知られている(例えば、特許文献2を参照。)。
 また、親水性や防曇性、セルフクリーニング性などを付与する技術として、ガラス基板の表面に光触媒機能を有するTiOを積層し、このTiOの光触媒活性を利用する方法が知られている(例えば、特許文献3を参照。)。
 また、透明基材表面の親水性を向上させる技術として、基材に膜を塗布し、膜に添加する無機系粉末によって、微細な凹凸面を一様に形成することで親水化する方法が知られている(例えば、特許文献4を参照。)。
 さらに、親水性が長期間に亘って持続される技術として、シリコン板やガラスにフォトリソグラフィーとエッチングにより凹凸を形成し、その凹凸面を酸化させて親水化する方法が知られている。(例えば、特許文献5を参照。)。
 また、微細な凹凸を形成する技術としては、ナノメータサイズの微細な構造物によって親水性を維持できる技術が知られている(例えば、特許文献6を参照。)。この技術は、可視光線の波長以下の短い凹凸構造を構成することにより、乱反射の影響を抑え、反射防止機能を得る一方、被覆する基材の選択により超親水性を得ている。
特開2004-263008号公報 実公平7-42365号公報 特開2002-201045号公報 特開平11-217560号公報 特開2001-212966号公報 特開2007-187868号公報
 しかしながら、上述した特許文献1に記載の技術は、手軽に基材表面を親水性に変えることが可能であるものの、スプレー等による塗布のため、親水性の持続性に欠けるという問題がある。
 一方、特許文献2に記載の技術は、基材表面の防曇効果に優れるものの、価格が高く、さらに電力消費も大きいので、その用途は限定的である。
 特許文献3に記載の技術は、光触媒機能を発現させるのに十分な紫外線量が必要となるため、使用可能な場所が制約されるという問題があり、効率の良い光触媒材料が必要不可欠である。また、光触媒機能が失われた場合には、その機能を回復させるため、紫外線を補充するための設備が必要となることから、コスト面でも不利になるといった問題がある。また、光触媒はその作用の影響で、樹脂などの高分子材料を分解するため、基材としては無機材料に限定される。
 特許文献4に記載の技術は、二酸化ケイ素微粉末を含む分散液をソーダガラスに塗布し加熱、硬化させるものであるが、加熱、硬化させる条件が120℃で30分間である為、基材の制約を受ける。また透明樹脂基材への塗布条件は開示されていない。
 特許文献5に記載の技術は、フォトリソグラフィー法及びトレンチドライエッチング法を用いて凹凸の製法を行うことが前提である。基材はシリコン基板が前提であり、樹脂基材には適用できない。
 特許文献6に記載の技術において、親水性に関する開示は、自動車用のフロントウィンドウやサイドウィンドウのように基材がガラスであるもの限られており、アクリル樹脂等の樹脂基材の親水性に関しては開示されていない。
 本発明は、このような従来の事情に鑑みて提案されたものであり、樹脂基材の面上の微細凹凸構造だけで親水性を発現し、長期に亘り防曇やセルフクリーニング機能を有し、なお且つ、樹脂基材が透明である場合は透明性を維持できる成形構造体を提供することを目的とする。
 また、本発明は、水膜の動作を制御して、所望の位置に水膜を残留させることができる成形構造体を提供することを目的とする。
 本発明は、以下のものに関する。
 (1)樹脂基材の一方の面上において、連続的に水の凝集現象を防ぎ、水膜を形成するための親水性を発現する微細凹凸構造が形成され、前記微細凹凸構造の凸部の幅又は径が可視光の最短波長以下であり、凸部の中心間距離が200~400nmであることを特徴とする成形構造体。
 (2)(前記凸部の高さ)/(前記凸部の幅又は径)で表されるアスペクト比が0.5以上であることを特徴とする(1)に記載の成形構造体。
 (3)前記樹脂基材の面上で前記微細凹凸構造が形成された領域Aと、微細凹凸構造が形成されていない撥水性の領域Bとが隣接して形成され、水膜が前記領域Bから前記領域Aに移動することを特徴とする(1)又は(2)に記載の成形構造体。
 (4)可視光に対して透明であることを特徴とする(1)~(3)の何れかに記載の成形構造体。
 なお、本明細書および特許請求の範囲において、「アスペクト比」とは、凸部の底部(底面)の幅又は径に対する凸部の高さの比率、すなわち、(凸部の高さ)/(凸部の幅又は径)を表すものである。
 以上のように、本発明によれば、樹脂基材の微細凹凸構造だけで透明性を維持しながら、親水性、防曇性、セルフクリーニング性などの機能を長期に亘って発現する成形構造体を実現することが可能である。したがって、本発明によれば、このような成形構造体を、建築用、産業用、自動車用、太陽電池パネルなどの窓材や鏡などに好適に用いることが可能である。
 また、樹脂基材上で親水性の領域Aと撥水性の領域Bを設け、水膜を領域Bから領域Aに移動させることで、DNAアレイでは、セルの部分のみに親水性の領域Aを形成し、他の部分を領域Bとするならば、液体を残して抗原抗体反応を高感度に検出することができる。また、マイクロTAS(Micro Total Analysis System)等、ミクロンオーダーの流体セルでは、流体を流したい流路部分に領域Aを形成し、流体を流したくない部分に領域Bを形成しておくならば、所望の部分のみに流体が流れやすくなるため、より低圧で流体を流すことが可能である。
本発明を適用した成形構造体の一例を示す平面図である。 図1に示す成形構造体の線分X-X’による断面図である。 図1に示す成形構造体を作製するための型の一例を示す断面図である。 上記型を形成するためのナノ加工装置の一例の構成を示す模式図である。 型の基材の表面上に集光されたレーザー光のスポット領域及び熱リソグラフィー領域を示す模式図である。 型の基材の表面上のフォトレジストに凹部に対応した描画パターンが形成された状態を示す平面図である。 本発明を適用した成形構造体の他の例を示す断面図である。 本発明を適用した成形構造体の他の例を示す平面図である。 実施例1の成形構造体のAFMによる測定データである。 実施例1の成形構造体のAFMによる測定データである。 実施例1の成形構造体のAFMによる測定データである。 実施例1の成形構造体の透明性を示す写真である。 実施例2の成形構造体の外観写真である。 実施例2の成形構造体の散水60秒後の状態を示す写真である。
 以下、本発明を適用した成形構造体について、図面を参照して詳細に説明する。
 なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
 本発明を適用した成形構造体Mは、例えば図1、図2に示すように、板状の樹脂基材1の一方の面(表面)1aに微細凹凸構造として凸部2が複数所定のピッチで整列形成されている。凸部2の幅(又は径)や高さといった寸法は可視光の波長以下でピラー状(図1、図2の形態では円柱状)に形成されていることを特徴とするものである。また、(凸部2の高さ)/(凸部2の幅又は径)で表されるアスペクト比が0.5以上であることが好ましい。
 具体的に、樹脂基材1については、熱変形できる材料、又は活性エネルギー線によって重合して硬化する材料を用いることができ、そのような材料として、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂などを挙げることができる。
 熱可塑性樹脂については、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニリテン、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリ塩化ビニール、ポリスチレン、ABS樹脂、アクリル樹脂、ポリアミド、ポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、ガラス強化ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルィド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶性ポリマー、フッ素樹脂、ポリアリレート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、熱可塑性ポリイミド、アクリロニトリル等を挙げることができ、これらの材料を単独で又は2種以上混合又は多層状に使用することができる。
 熱硬化性樹脂については、例えば、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ポリウレタン樹脂等を挙げることができ、これらの材料を単独で又は2種以上混合又は多層状にして使用することができる。
 光硬化性樹脂については、例えば、紫外線硬化型ウレタンアクリレート樹脂、紫外線硬化型エポキシアクリレート樹脂、紫外線硬化型ポリエステルアクリレート樹脂等を挙げることができ、これらの材料を単独で又は2種以上混合又は多層状に使用することができる。
 また以上挙げてきた熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂を適宜混合又は多層状にして使用することができる。
 また、樹脂基材1を可視光に対して透明とする場合には、上述した中でも例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニール、ポリスチレン、ABS樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート、アクリロニトリル、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ポリウレタン樹脂、紫外線硬化型ウレタンアクリレート樹脂、紫外線硬化型エポキシアクリレート樹脂、紫外線硬化型ポリエステルアクリレート樹脂等の透明樹脂を用いることができる。
 樹脂基材1は、その形状について特に限定されるものではなく、任意の形状のものを用いることができる。しかし、樹脂基材が板状のものが表面1aを加工する上で好ましい。
 親水性や撥水性といった固体表面の濡れ性は、平滑な表面では接触角θで評価される。接触角θとは、固体と液体が接している点における液体表面の接線と固体表面がなす角のことであり、液体が水の場合、この角度が90°以下の場合は親水性、90°を超える場合は撥水性といわれている。なお、接触角θはYoungの式によって、式(1)のように表される。ここで、γSVは固体-液体-気体がなす着液線(三重線)の固体-液体間の表面張力又は界面自由エネルギー、γLVは同着液線(三重線)の液体-気体間の表面張力又は界面自由エネルギー、γSLは同着液線(三重線)の固体-気体間の表面張力又は界面自由エネルギーである。
 γSV=γLVcosθ+γSL … (1)
 式(1)によると、液体が水、気体は空気とした場合、接触角θはγSV、γSLで決定されることがわかる。すなわち、固体の表面エネルギーが大きい場合には接触角θが小さくなり、固体の表面エネルギーが小さい場合には接触角θが大きくなることを示している。一般的に無機材料は表面エネルギーが大きいので親水性が発現しやすく、高分子材料は表面エネルギーが小さいので親水性が発現しにくい傾向にある。
 本発明では、比較的大量の水を成形構造体Mの表面1a上にかけたときに、例えば3秒後でも水が凝集しないで膜状に維持される状態、すなわち水膜が途切れないように維持される状態のことを「親水性」があるものとして取り扱う。また、本発明における親水性は、数μリットルの液滴を本発明の成形構造体Mに滴下したときに、液滴端部と前記成形構造体の表面とのなす接触角θの大小では必ずしも表されるものではない。
 ここで、凹凸のある表面の濡れ性を考えた場合、Cassie-Baxterの取り扱いとなる場合と、Wenzelの取り扱いになる場合とがある。
 Cassie-Baxterの取り扱いとなるのは、凹凸構造の凹部が深くなり、毛管現象によって水が凹部の底まで到達できず、水滴の下に空気が残る場合である。この場合、水滴は、平らな表面上での接触角θよりも凹凸表面上での接触角θが大きくなる。したがって、本発明のような微細凹凸構造を有する成形構造体Mの凹凸表面上に、数μリットルの液滴を滴下したときの液滴端部と成形構造体Mの表面とのなす接触角θを測定する場合は、Cassie-Baxterの取り扱いとなる。しかしながら、現実の生活レベルでは数μリットルの液滴が一滴だけ滴下されるケースは稀で、ほとんどの場合が成形構造体に水を大量にかけた状態になるので、Cassie-Baxterの取り扱いによって、前記成形構造体の表面の親水性や濡れ性を正しく評価することは困難である。
 一方、Wenzelの取り扱いとなるのは、凹凸構造の上に置かれた液体がその固体表面と完全に接触する場合である。これは、上述したCassie-Baxterの取り扱いのときのような空気の介在がない状態で、表面の凹凸構造によって実表面積が見掛けの表面積に比べて大きくなると、濡れが強調される。表面張力とは、単位表面積あたりの過剰表面自由エネルギーのことであるから、もし微細な凹凸構造によって表面積がR倍大きくなったとすると、前記式(1)中の固体の表面張力及び固体と液体の表面張力又は界面自由エネルギーにRを乗じる必要がある。この場合の接触角θは式(2)で表される。
 cosθ=R(γSV-γSL)/γLV =Rcosθ …(2)
 式(2)において、Rは常に1よりも大きな正の数であることから、表面の凹凸構造によって見かけの表面積が大きくなると、親水性の表面はより親水性が向上する。従って、凹凸構造をより細かく、アスペクト比をより大きくすることでRの値が大きくなり濡れ性が向上する。
 現実の生活レベルでは、成形構造体の表面に水を大量にかけ、前記成形構造体の表面に付着した水はその自重の影響で、空気をほとんど追い出す状態となる。したがって、本発明における親水性の評価では、このようなWenzelの取り扱いで評価した場合に、水膜が途切れないように維持される状態を親水性があるものとして扱う。
 以上のように、樹脂などの親水性が発現しにくい材料であっても、Wenzelの扱いのような凹凸構造を形成することで親水性を発現させることができる。
 凸部2は、その形状について特に限定されるものではなく、任意の形状とすることができるが、平面視で円形又は長円形若しくはこれらに類似した形状(以下、これらの形状をまとめて「略円形」という。)とすることが成形を行う上で好ましい。
 また凸部2の断面形状は柱状又は錘状若しくはこれらに類似した形状とすることができるが、錘状は成形を行う上で好ましい。
 凸部2の寸法は、平面視でその最大幅又は最大径が可視光の最短波長以下であり、高さは凸部2の最大幅又は最大径に対するアスペクト比(すなわち、(凸部2の高さ)/(凸部2の最幅又は最大径))が0.5以上であることが好ましく、0.6以上がより好ましく、0.65以上が更に好ましい。また、凸部2の中心間距離(以下、ピッチという。)が200nm~400nmであることが好ましく、225nm~375nmがより好ましく、250nm~350nmがさらに好ましい。このような寸法とピッチとすることによって、樹脂基材であっても親水性が発現する。
 一方、製法面の制約から、凸部2の寸法は幅又は径は50nm以上であることが好ましい。この寸法以下は加工限界である。可視光の波長領域は約400~800nmであることから、凸部2の寸法は、幅又は径は50nm以上、400nm以下とすることが好ましい。また、ピッチも200nmに満たないものは加工の限界である。
 一方、凸部2の高さは、アスペクト比が0.5~50の範囲である事が好ましい。アスペクト比50以上では、成形構造体を型から転写した際に前記成形構造体を型から引き剥がす事が出来ず、加工の限界である。
 本発明の成形構造体Mは、上述したような形状及びピッチの凸部2を有する微細凹凸構造が前記成形構造体の表面に形成されていることにより、長期に亘って安定して親水性を発現させることができる。このように、親水性が維持されると、成形構造体の防曇性やセルフクリーニング性が向上する。
 成形構造体Mの表面に水をかけて、一旦薄い水膜が形成されて維持されると、空気中の湿分や湯気が結露しても凝縮水が個々の水滴を形成せず、また、表面に光散乱性の曇りを生じさせない為、防曇性が顕著になる。特に浴室などの高湿度環境での効果は絶大である。
 同様に、窓ガラスや自動車用のバックミラーが降雨や水しぶきを浴びた場合に、離散した目障りな水滴が形成されずに視野が確保される効果がある。
 また、例えば浴室内で、人体からの皮脂や老廃物、石けんカス、ヘアコンディショナーなどの撥水性汚染物質や、水垢などの無機系汚染物質の双方が成形構造体の表面に付着しにくく、付着した場合でも、水をかけることによって、成形構造体表面と汚染物質との間に水が入り込み、汚染物質を浮かせて洗い流すセルフクリーニング性の効果もある。
 さらに、本発明を適用した成形構造体Mでは、表面における光の回折や屈折などの影響を抑えることで、特に樹脂基材1が透明である場合には、凸部2によって樹脂基材1自体の透明性を損なうことなく、明瞭な視野特性を得ることが可能である。
 成形構造体Mの表面1aに凸部2を設けて樹脂基材1の透明性を確保するには、凸部2のピッチが可視光の最短波長以下を保ち、光の実回折波を抑えることが必要である。また、凸部2の幅又は径も可視光の最短波長以下であることが望ましい。なお、可視光の波長領域は約400nm~800nmであることから、隣接する凸部2の最大ピッチは400nm程度であり、凸部2の最大幅又は最大径は400nm程度である。
 ここで、可視光の最短波長以下で保たれた凹凸構造体から発生する実回折波は回折理論に基づき、式(3)で定義される。なお式(3)において、Dは格子周期であり、Nは定数、λは波長、αは入射角、βは出射角、nは媒質の屈折率である。
 Dsinα+Dsinβ=Nnλ … (3)
 この式から、格子周期Dをλ/n(波長/媒質の屈折率)にすることにより、実回折波の発生が抑えられて透明性を維持できることが分かる。例えば、樹脂基材1として屈折率n=1.57のPET(ポリエチレンテレフタレート)板を用いた場合、可視光の最短波長に対してD≦250nmであれば実回折波の発生が抑えられ透明性を維持できる。
 凸部2は、その配列について特に限定されるものではなく、例えば、同心円状や、螺旋状、格子状、千鳥状など、可視光の最短波長以下のピッチで複数並べて配置したパターンとすることができる。更に同一の樹脂基材1の表面1aに、後述する微細凹凸構造が形成された親水性の領域Aと微細凹凸構造が形成されていない撥水性の領域Bとを混在させ、親水領域と撥水領域とを混在させることもできる。また、凸部2は、表面1aの一部又はその全面に亘って形成することもできる。
 凸部2の形成方法としては、図3に示すように樹脂基材1とは別の基材4aに、所望の凸部2の形状が反転した形状の凹部3を形成して型4とし、その形状を樹脂基材1に転写する加工方法を用いることができる。型4の加工方法は特に限定されないが、ナノスケールの微細加工であるので、光リソグラフィー法や電子線リソグラフィー法や熱リソグラフィー法を用いることが好ましい。
 光リソグラフィー法や電子線リソグラフィー法を用いて、基材4aにパターンを描画した後、反応性イオンエッチング(RIE)により基材4aの表面4bに凹部3を形成する一連のプロセスは以下の通りである。基材4aの表面4b上に、例えばスピンコートにより感光性のフォトレジストを塗布し、さらに予め別の手段で製作したフォトマスクを重ねる。そして、この段階でレーザー光や電子線を用いて露光する。光リソグラフィー法では、転写の解像度を向上させるため、エキシマレーザ等の短波長のレーザー光源が用いられる。電子線リソグラフィー法は、レーザー光を用いる方法よりもさらに高解像度を得られる。またビーム自体が細いので、フォトマスクが不要になるといった利点があるが、このような方法での露光を行い、感光した箇所を取り除くことでパターンの転写が完了する。その後、RIEを行い、フォトレジストやフォトマスクを除去して、所望の凹部3が形成された型4を得ることができる。
 RIEは、真空中で発生させたプラズマからイオンを取り出しエッチングを行う方法である。プラズマが生じると、化学的に活性なラジカルやイオンが出来、+イオンは負の電位である基材4aに向けて加速され、高速で基材4aに激突し、ラジカルは基材4aと反応して、蒸発し、基材4aが気化してエッチングが進行する。この反応はイオンの当たるところ(直進方向)で、活発に起こり、側面ではわずかしか起きない。その結果、イオンの飛行方向にエッチングが進行し、パターンに忠実なエッチングが行われる。
 なお、型4の基材4aとしては特に限定されないが、寸法精度などを考慮するとシリコン基板を用いることが好ましい。
 熱リソグラフィー法を用いて基材4aの表面4bに、所望の凸部2の形状が反転した形状である複数の凹部3を可視光の最短波長以下のピッチで形成する際は、例えば図4に示すようなナノ加工装置(成形構造体の製造装置)100が用いられる。
 このナノ加工装置100は、基材4aを保持する回転可能な回転ステージ101と、回転ステージ101を面内で移動させる移動テーブル102と、回転ステージ101上の加工対象物に対して描画加工を行う光学ユニット103とを備えている。
 さらに、光学ユニット103は、レーザー光Lを出射するレーザー光源104と、レーザー光源104から出射されたレーザー光Lを平行光とするコリメータレンズ105と、コリメータレンズ105により平行光とされたレーザー光Lを反射させ、基材4aの表面4bから反射して戻ってきた戻りのレーザー光Lを透過させる偏光ビームスプリッタ106と、偏光ビームスプリッタ106で反射された直線偏光のレーザー光Lを円偏光に変換し、基材4aの表面4bから反射して戻ってきたレーザー光Lを直線偏光に変換する1/4波長板107と、1/4波長板107を通過したレーザー光Lを基材4aの表面4b上に集光させる対物レンズ108と、基材4aの表面4bから反射して1/4波長板107及び偏光ビームスプリッタ106を透過して戻ってきたレーザー光Lを集光させる集光レンズ109と、集光レンズ109により集光されたレーザー光Lを受光する光検出器110とを備え、光検出器110により検出された光検出信号に基づいて、対物レンズ108を光軸方向に走査しながら、基材4aの表面4b上に対物レンズ108の焦点を合わせる制御を行う。
 そして、このナノ加工装置100を用いて、型4の基材4aの表面4bに可視光の最短波長以下のピッチで複数の凹部3を形成する。先ず、基材4aの表面4bにスピンコートによりレジストを塗布し、さらにスパッタリングにより酸化白金を主成分とする多層膜を熱リソグラフィー層として形成する。なお、熱リソグラフィー層としてはゲルマニウム、アンチモン、テルビウムなどの単体、または前述した材料を主成分とする合金、酸化物、窒化物を用いた相変化材料や、温度に対して非線形の反応特性を持つ有機物などを用いることが出来るが、酸化白金を主成分とする多層膜がパターンを形成するための現像プロセスが不要となり、再現性良く製造できるため好適である。
 そして、この状態の基材4aを回転テーブル101上に設置した後、回転テーブル101により基材を回転させると共に、移動テーブル102により回転ステージ101を基材4aの半径方向に一回転毎に可視光の最短波長以下のピッチで相対移動させながら、レーザー光源104を一定のパルス周波数で駆動しながら熱リソグラフィー層に対して描画を行う。
 ここで、熱リソグラフィー法では、基材4aの表面4b上に集光されたレーザー光Lのスポット内に生じた温度分布を描画加工に利用する。具体的に、図5に示すように、基材4aの表面4bに集光されたレーザー光Lのスポット領域S1は、一般にガウス分布を持った光強度分布Tを有している。また、光を物体に照射した場合、前記物体が光を吸収することによって、光のエネルギーは熱に変換される。この場合、前記物体が光を吸収した発熱で生じる温度分布も同様にガウス分布となる。熱リソグラフィー法では、この集光されたレーザー光LのスポットS1内に生じる一定温度以上の領域(以下、熱リソグラフィー領域という。)S2を化学的・物理的な反応を生じさせる加工に利用する。したがって、この熱リソグラフィー法によれば、基材4aの表面4b上に照射されるレーザー光Lのスポット領域S1よりも小さい熱リソグラフィー領域S2を用いて描画加工を行うことが可能である。
 なお、上記レーザー光Lのスポット領域S1内における温度分布は、レーザー光Lのパワーや基材4aの移動速度などに依存する。したがって、所望の形状の凹部3を得るためには、これらの条件を適宜調整する必要があることは言うまでもない。
 これにより、図6に示すように、基材4aの表面4b上で描画されたパターンに応じて、熱リソグラフィー層が除去され、フォトレジストに凹部3に対応した描画パターン3aを可視光の最短波長以下のピッチで同心円状に形成することができる。なお、このように描画パターン3aを同心円状又は螺旋状に形成する場合は、基材4aを回転ステージ101上に設置して加工する、或いは光学ユニット103を基材4aに対して回転させながら加工することによって、加工を容易に行うことができる。また、基材4aに対して光学ユニット103を面内方向(XY方向)に相対移動しながら加工を行う場合よりも、加工時間を短縮して加工コストを低減できるメリットがある。
 描画後の基材4aには、フォトレジストを現像することによって、凹部3に対応した位置に開口部を有するレジストパターンが形成される。そして、前記レジストパターンが形成された基材4aの表面4bに対してエッチング加工を行った後、レジストパターンを除去することによって、基材4aの表面4bに可視光の最短波長以下のピッチで複数の凹部3をドット状に形成することができる。
 次に、形成した型4を転写型として用い、所望の凸部2の形状が反転した形状である凹部3の形状を樹脂基材1の表面1aに転写する。これにより、所定の形状の凸部2が形成された成形構造体Mを得ることができる。なお、型4からの転写方法としては、型4や樹脂基材1を加熱して、プレス成形、射出成形、注入成形、ナノインプリントを行う方法などがある。
 ナノインプリントは、樹脂基材1を型4と他の基板とで挟み込み、ナノ構造を転写する技術である。その工程は、樹脂基材1の基板への塗布、プレス、加熱やUV照射による転写、離型からなり、装置が簡単で低コストで量産できる加工技術である。
 例えば、UV照射によるナノインプリントでは、まずUVを透過する素材を基板としてUV硬化型の光硬化性樹脂をスピンコート等により均一膜厚となるように塗布し、樹脂基材1とする。そしてベーク工程に入れて溶剤を除去する。次に、上述した型4を樹脂基材1に押し当て、基板側からUVを照射し、樹脂基材1を硬化させた後、型4を樹脂基材1より離型することによって、樹脂基材1の表面1aに所定の形状の凸部2が形成された成形構造体Mを成形することができる。また、光硬化性樹脂に親水性をもつ無機材料を混入することによって、親水性の成形構造体を作製してもよい。
 また、この後、基板と樹脂基材1とを分離してもよいし、このまま一体化してもよいし、さらに反対面側(凸部2が形成された面とは反対側の面)に多層化してもよい。すなわち、最表面側が本発明に記載した実施形態であれば、その下層側の構成は特に限定されない。
 なお、UVを透過する素材としては、前述した可視光に対して透明である素材であれば特に限定されない。
 前述したように型4の基材4aとしてシリコン板を用い、表面4bに凹部3を形成して、これを型4として樹脂基材1に凹部3の形状を転写することもできるが、転写型としての寿命を考慮すると、このシリコン板から反転してマスターを作製し、このマスターから、もう一度反転して転写型とすることができる。
 反転する際は、元の形状を精密に反転できる方法であればよく、例えばニッケル電鋳などが用いられる。ニッケル電鋳は、スルファミン酸ニッケル浴中でマスター表面にめっきを施す方法である。そしてこのめっきを引き剥がすことで反転物を得ることができる。なお、スルファミン酸ニッケルは皮膜の内部応力が小さいため、基材から引き剥がしやすく電鋳には好適である。
 なお、本発明は、上記実施形態のものに必ずしも限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。なお、以下の説明では、上記成形構造体と同等の部位については、説明を省略すると共に、図面において同じ符号を付すものとする。
 例えば、本発明を適用した成形構造体の他の例の成形構造体M2として、図7に示すように、樹脂基材1の凸部2が形成された面とは反対側の面である裏面1bに反射材7を設けることによって、ミラーとして機能させることも可能である。また、この成形構造体は、防曇性を有するミラーとしても機能するため、例えば自動車のミラーや建築資材等において好適に用いることができる。
 反射材7については、ミラーに用いられるものであれば特に限定されるものではない。例えば、ミラーの製法は、湿式と乾式とがあり、湿式では無電解めっきにより銀めっきを反射材7として形成するのが一般的である。一方、乾式の場合は、真空炉中でアルミニウムやクロム、プラチナ、チタンなどの金属膜を反射材7として形成したり、アルミニウムやクロム、銀、チタン、鉄、プラチナなどを主成分とする合金膜を反射材7としてスパッタリングや蒸着により堆積させて形成したりするのが一般的である。
 次に、本発明の他の実施形態である、図8に示すような同一の樹脂基材1の表面1aに、微細凹凸構造が形成された領域Aと微細凹凸構造が形成されていない領域Bとを混在させた成形構造体M3について説明する。
 領域Aは、これまで説明してきたような凸部が形成された微細凹凸構造であって、親水性を呈する。一方、領域Bは微細凹凸構造は形成されておらず平坦な形状であり、樹脂基材1の表面そのものであるので撥水性を呈する。
 これにより、比較的大量の水を本実施形態の成形構造体M3にかけたとき、親水性である領域Aは水が濡れ広がった状態となり、撥水性である領域Bでは水を弾く状態となり、領域Aと領域Bとを隣接させると、領域Bから領域Aへの水膜の移動を行うことができ、時間経過とともに、領域Aには水膜が残り、領域Bには水が残らない状態に制御できる。
 領域Aと領域Bの形状や面積、配置は、領域Aと領域Bとが隣接していれば特に限定されず、領域Aは島状配置であって領域Bはその周囲で領域Aと隣接しながら連続的に配置することもできる。また、領域Aと領域Bの海島配置を逆に配置することもできる。
 領域Bから領域Aへの水の移動を制御するには,たとえば領域Aを0.5×0.5mmの大きさで島状に配置した場合、近接する複数の領域Aの間隔を3mm以下(すなわち、近接する複数の領域Aに挟まれた領域Bの幅が3mm以下)とすることが好ましい。3mm以下とすると領域Bに水が残らないように制御できる。3mmを超えた場合は、領域Bから領域Aへの水の動きは発生するが間隔が広すぎて水が残ってしまう。なお、領域Aの間隔や配置は領域Aの大きさに合わせて、適宜間隔を調整することができる。
 このような領域Aと領域Bとが形成された成形構造体M3は、前述してきたように、所望の凸部2及び領域A、Bの形状及び配置が反転した形状の凹部3が形成された型4を、樹脂基材1へ転写することによって作製することができ、その型4は光リソグラフィー法、電子線リソグラフィー法、熱リソグラフィー法を用いることができる。いずれの場合も、領域Aと領域Bとに対応させて描画を行う。
 本実施形態の成形構造体M3によれば、樹脂基材1上に、微細凹凸構造が形成された領域Aと微細凹凸構造が形成されていない領域Bとを設け、領域Aの親水性と領域Bの撥水性とを利用することにより、水膜を領域Bから領域Aへと移動させて、水膜の動作を制御し、領域Aのみに水膜を残留させることが可能となる。
 以下、実施例により本発明の効果をより明らかなものとする。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することができる。
(実施例1)
 実施例1では、実際に本発明を適用した成形構造体を作製した。具体的には、型を作製するために、シリコン板(三菱マテリアル電子化成株式会社製、Φ5インチシリコンウエハー、板厚0.6mm)に熱リソグラフィー法を用いて凹部を描画した。
 そのために先ず、スパッタリング装置(芝浦メカトロニクス株式会社製、I-Miller)を用いて、熱リソグラフィー層の成膜を行った。ここで用いた熱リソグラフィー層は、酸化白金を主成分とする多層膜であり、成膜後、図4に示すナノ加工装置を用いて、ナノメータサイズの凹部の描画加工を行った。
 ここで、熱リソグラフィー層には、熱リソグラフィー法を用いて、レーザー光のスポット径以下の微細な凹部を描画した。このときの描画条件は、描画時のレーザー強度が15mW、回転速度が3m/秒、描画パルス幅が10n秒、描画周波数30MHzとした。
 次に、反応性エッチング装置(サムコ株式会社製、RIE-10NR)を用いて、エッチングを行い、シリコン板の表面に凹部を形成した。このとき用いた反応ガスは、CF、O、CHFである。さらに、熱リソグラフィー層を沸酸等で除去し、凹部が形成されたシリコン板を作製した。形成された凹部の形状は逆円錐状であり、深さは約200nm、ピッチは約300nm、最大開口部の径は約300nmであった。
 次に、成形構造体をナノインプリントで作製するために、先ず、PETフィルム(帝人デュポンフィルム株式会社製、HLF175、厚み0.175mm)に光硬化性樹脂(東洋合成工業株式会社製、PAK-02)を適宜塗布し、スピンコーターにフィルムをセットし、樹脂厚0.01mmとなるように塗布した。
 次に、この樹脂付きPETフィルムと上記で作製した型をインプリント装置にセットし、さらに型をフィルムの樹脂塗布側にプレス圧1MPaで保持しながら、フィルム側から強度250W/mのUV光を20秒間照射し、光硬化性樹脂を硬化させた。
 次に、型とフィルムを引き剥がし成形構造体を得た。以上により作製された実施例1の成形構造体5について、基材の表面をAFM(原子間力顕微鏡、エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社製、プローブステーション NanoNavi)で測定したデータを図9A~Cに示す。図9A~Cによると、成形構造体の凸部20の形状は円錐状であり、その円錐の寸法は底面の径が約300nm、高さが約200nmであり、ピッチは約300nmであり、アスペクト比は0.67であった。
(比較例1)
 比較例1では、凹部が形成されていないシリコン板を型に用い、その他条件は実施例1と同一とし、平板状の成形構造体を作製した。
(比較例2)
 比較例2では、自動車のドアミラーに使用されている親水ミラー(本田技研工業株式会社製、フィット(登録商標)用ブルー親水ミラー)を用意した。前記親水ミラーは、基材がガラスであって、片面に反射材が設けられている。表面には、ガラス側から外側へTiO、SiOの順にスパッタリングにより成膜されている。SiOは比較的多孔質に成膜されている為、TiOは光触媒による親水性を有し、SiOは暗所での親水性維持を有している。
 実施例1、比較例1~2の成形構造体について以下に示す親水性の評価を行い、さらに実施例1については透明性の評価を行った。
(親水性評価)
 実施例1、比較例1~2の成形構造体について親水性を評価した。なお、測定室内は室温を23±3℃、相対湿度を45±10%にした。
 親水性の評価は、成形構造体を水平にして、その表面全体に100mmの距離から、水2ccを霧吹きで数回に分けてかけ、5秒間かけて成形構造体を直角に立て、その時の水の濡れ広がりの状態を濡れ面積率として算出し、経日と濡れ面積率の関係を評価した。なお、濡れ面積率は、表面全体に対する水の濡れ面積である。
 実施例1は、作製後65日経過しても成形構造体の濡れ面積率は98~100%であり、長期に亘って親水性が維持されている。比較例1は、初期状態から成形構造体の濡れ面積率が0%であり、光硬化性樹脂そのものには親水性がないことがわかる。
 比較例2は、成形構造体に一旦JIS R 1703-1に定められた紫外線照射の前処理を行った。親水性を発現させた時を初期状態として、その後は前記成形構造体を室内に保管し親水性を評価した。
 すると、7日後には前記成形構造体の濡れ面積率が78%、21日後には60%となり、暗所維持性は不十分であり、本発明を適用した成形構造体の方が親水性を維持できていることがわかる。
(透明性評価)
 実施例1の成形構造体5の透明性の確認結果を図10に示す。図10は、実施例1の成形構造体5を、文字が印刷された紙の上に配置した状態の写真である。図10より、実施例1の成形構造体5の下にある文字も鮮明に読み取れることから、実施例1の成形構造体5は、表面に多数の凸部があるにも拘らず、透明性が維持されていることがわかる。
(実施例2)
 図11に示すような領域A(図11に符号8で示す領域)と領域B(図11に符号9で示す領域)が形成された成形構造体を熱リソグラフィー法とUVによるナノインプリントにより作製した。
 領域Aには微細凹凸構造が形成され、凸部の形状は円錐状であり、底面の径は約300nm、高さが約200nm、ピッチが約300nmであり、アスペクト比は0.67である。領域Aは1mm×1mmの正方形の領域a1と、領域a1を囲んで形成された12個の0.5mm×0.6mmの長方形よりなる領域a2と、領域a1を囲んで隣接する領域a2、a2の間に形成された4個の0.2mm×0.2mmの正方形よりなる領域a3とを一つの単位として、島状に複数配置されている。
 一方、領域A(領域a1、領域a2および領域a3)の周囲には微細凹凸構造が形成されていない領域Bが連続的に存在し、領域Bの間隔(すなわち、近接する領域A間の距離)は、最も広い箇所で2mm、最も狭い箇所で0.2mmである。
(水膜の動作)
 この成形構造体を地面に対して45度となるように壁に立てかけ、200mlの水をかけると、その直後は傾斜に合わせて水のほとんどが流れ去り、その後、成形構造体の表面に残っていた水膜が領域Bから領域Aに移動した。図12は、実施例2の成形構造体の散水60秒後の状態を示す写真である。図12に示すように、領域Aには水膜が残り、領域Bには水が残らない状態となった。したがって、本発明の成形構造体によれば、微細凹凸構造が形成された領域Aの親水性と、微細凹凸構造が形成されていない領域Bの撥水性とを利用することにより、水膜の移動を制御して、目的の位置に水膜を残すことが可能である。
 本発明によれば、樹脂基材の微細凹凸構造だけで透明性を維持しながら、親水性、防曇性、セルフクリーニング性などの機能を長期に亘って発現する成形構造体を実現することが可能である。このような成形構造体を、建築用、産業用、自動車用、太陽電池パネルなどの窓材や鏡などに好適に用いることが可能である。
 M…成形構造体 1…基材 2…凸部 3…凹部 4…型 4a…基材 5…成形構造体 7…反射材 8…領域A 9…領域B 100…ナノ加工装置 101…回転ステージ 102…移動テーブル 103…光学ユニット 104…レーザー光源 105…コリメータレンズ 106…偏光ビームスプリッタ 107…1/4波長板 108…対物レンズ 109…集光レンズ 110…光検出器 A…領域A B…領域B

Claims (4)

  1.  樹脂基材の一方の面上において、連続的に水の凝集現象を防ぎ、水膜を形成するための親水性を発現する微細凹凸構造が形成され、前記微細凹凸構造の凸部の幅又は径が可視光の最短波長以下であり、前記凸部の中心間距離が200~400nmであることを特徴とする成形構造体。
  2.  (前記凸部の高さ)/(前記凸部の幅又は径)で表されるアスペクト比が0.5以上であることを特徴とする請求項1に記載の成形構造体。
  3.  前記樹脂基材の面上で前記微細凹凸構造が形成された領域Aと、前記微細凹凸構造が形成されていない撥水性の領域Bとが隣接して形成され、水膜が前記領域Bから前記領域Aに移動することを特徴とする請求項1又は2に記載の成形構造体。
  4.  可視光に対して透明であることを特徴とする請求項1~3の何れかに記載の成形構造体。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019050017A1 (ja) 2017-09-07 2019-03-14 三菱瓦斯化学株式会社 バイオチップ用基体、バイオチップ、バイオチップの製造方法およびその保存方法
WO2022050418A1 (ja) 2020-09-07 2022-03-10 三菱瓦斯化学株式会社 バイオチップ、その製造方法及びその使用
WO2022050416A1 (ja) 2020-09-07 2022-03-10 三菱瓦斯化学株式会社 アレルギー疾患の判定方法及び判定システム

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6131034B2 (ja) * 2012-12-07 2017-05-17 デンカ株式会社 撥水性を付与した積層シート及びラミネート用フィルム
JP6146645B2 (ja) * 2012-12-27 2017-06-14 大日本印刷株式会社 親水性制御素子及びその製造方法
JP2014155689A (ja) 2013-01-17 2014-08-28 Dexerials Corp 顔面保護用光学素子
JP5629025B2 (ja) 2013-01-23 2014-11-19 デクセリアルズ株式会社 親水性積層体、及びその製造方法、防汚用積層体、物品、及びその製造方法、並びに防汚方法
JP6268907B2 (ja) * 2013-10-17 2018-01-31 デクセリアルズ株式会社 防曇用フィルム及びそれを用いた計器
JP6393479B2 (ja) * 2014-01-23 2018-09-19 デクセリアルズ株式会社 親水性積層体、及びその製造方法、並びに物品、及びその製造方法
TWI482963B (zh) * 2014-03-05 2015-05-01 Coretronic Corp 親水膜片及其製造方法以及具有該親水膜片的生物感測器
JP2015197560A (ja) * 2014-03-31 2015-11-09 ソニー株式会社 光学素子、原盤およびその製造方法、ならびに撮像装置
JP6384102B2 (ja) * 2014-04-21 2018-09-05 大日本印刷株式会社 機能性素子の製造方法および印刷装置
FR3020471B1 (fr) 2014-04-25 2017-10-06 Peugeot Citroen Automobiles Sa Procede de traitement de surface d'une piece transparente et piece ainsi traitee
KR101492823B1 (ko) * 2014-08-06 2015-02-23 경희대학교 산학협력단 미세 라인 패턴을 갖는 물 포집기
JP6446959B2 (ja) * 2014-09-30 2019-01-09 大日本印刷株式会社 微細構造体製造用金型、細構造体製造用金型の製造方法、及び微細構造体の製造方法
CN106796310B (zh) * 2014-10-07 2018-11-30 夏普株式会社 透明膜和透明膜的制造方法
KR101800351B1 (ko) * 2015-02-11 2017-11-22 부산대학교 산학협력단 나노 패턴 구조를 갖는 농업용 필름 및 그의 제조 방법
US10292384B2 (en) * 2015-12-18 2019-05-21 International Business Machines Corporation Nanostructures fabricated by metal assisted chemical etching for antibacterial applications
JP6746436B2 (ja) * 2016-08-30 2020-08-26 日本電子株式会社 分析方法
KR101800357B1 (ko) * 2016-11-17 2017-11-22 부산대학교 산학협력단 나노 패턴 구조를 갖는 농업용 필름 및 그의 제조 방법
JP6932341B2 (ja) * 2017-04-27 2021-09-08 トヨタ車体株式会社 車両部品、及びその製造方法
KR20200010183A (ko) 2017-05-31 2020-01-30 제이엑스티지 에네루기 가부시키가이샤 방담 부재
JP6509976B2 (ja) * 2017-08-24 2019-05-08 リソテック ジャパン株式会社 樹脂製シートおよびチューブ
JP2020107402A (ja) * 2018-12-26 2020-07-09 市光工業株式会社 表面処理方法及びアウターカバー
JP2020118909A (ja) * 2019-01-25 2020-08-06 富士フイルム株式会社 凹凸構造の形成方法、基材の製造方法および基材
WO2021215243A1 (ja) * 2020-04-24 2021-10-28 パナソニックIpマネジメント株式会社 成形体及び成形体の製造方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004288783A (ja) * 2003-03-20 2004-10-14 Hitachi Ltd ナノプリント装置、及び微細構造転写方法
JP2007187868A (ja) * 2006-01-13 2007-07-26 Nissan Motor Co Ltd 濡れ制御性反射防止光学構造体及び自動車用ウインドウガラス
WO2008123019A1 (ja) * 2007-03-05 2008-10-16 Olympus Corporation 遺伝子変化の検出方法および検出装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5856829U (ja) * 1981-10-13 1983-04-18 日本板硝子株式会社
JPH08150543A (ja) * 1994-09-26 1996-06-11 Kao Corp 親液性表面を有する固体およびその生成方法
JP3700358B2 (ja) * 1996-12-18 2005-09-28 日本板硝子株式会社 防曇防汚ガラス物品
JP2000135755A (ja) * 1998-07-17 2000-05-16 Toto Ltd 親水性複合材
GB2374818B (en) * 2001-04-23 2005-01-12 Secr Defence Surface for promoting droplet formation
WO2005014702A1 (en) * 2003-07-24 2005-02-17 Paul Scherrer Institut Method for grafting a chemical compound to a support substrate
JP2008158293A (ja) * 2006-12-25 2008-07-10 Nissan Motor Co Ltd 親水性反射防止構造

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004288783A (ja) * 2003-03-20 2004-10-14 Hitachi Ltd ナノプリント装置、及び微細構造転写方法
JP2007187868A (ja) * 2006-01-13 2007-07-26 Nissan Motor Co Ltd 濡れ制御性反射防止光学構造体及び自動車用ウインドウガラス
WO2008123019A1 (ja) * 2007-03-05 2008-10-16 Olympus Corporation 遺伝子変化の検出方法および検出装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019050017A1 (ja) 2017-09-07 2019-03-14 三菱瓦斯化学株式会社 バイオチップ用基体、バイオチップ、バイオチップの製造方法およびその保存方法
WO2022050418A1 (ja) 2020-09-07 2022-03-10 三菱瓦斯化学株式会社 バイオチップ、その製造方法及びその使用
WO2022050416A1 (ja) 2020-09-07 2022-03-10 三菱瓦斯化学株式会社 アレルギー疾患の判定方法及び判定システム

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