WO2010150531A1 - 保管庫 - Google Patents

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WO2010150531A1
WO2010150531A1 PCT/JP2010/004162 JP2010004162W WO2010150531A1 WO 2010150531 A1 WO2010150531 A1 WO 2010150531A1 JP 2010004162 W JP2010004162 W JP 2010004162W WO 2010150531 A1 WO2010150531 A1 WO 2010150531A1
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WO
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load
shelf
port
buffer
warehousing
Prior art date
Application number
PCT/JP2010/004162
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English (en)
French (fr)
Inventor
村田正直
山路孝
Original Assignee
ムラテックオートメーション株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ムラテックオートメーション株式会社 filed Critical ムラテックオートメーション株式会社
Priority to US13/379,749 priority Critical patent/US20120093620A1/en
Priority to EP10791854.2A priority patent/EP2447193A4/en
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/34—Devices for discharging articles or materials from conveyor 
    • B65G47/46—Devices for discharging articles or materials from conveyor  and distributing, e.g. automatically, to desired points
    • B65G47/51—Devices for discharging articles or materials from conveyor  and distributing, e.g. automatically, to desired points according to unprogrammed signals, e.g. influenced by supply situation at destination
    • B65G47/5104—Devices for discharging articles or materials from conveyor  and distributing, e.g. automatically, to desired points according to unprogrammed signals, e.g. influenced by supply situation at destination for articles
    • B65G47/515—First In-Last Out systems [FILO]; Last In-First Out systems [LIFO]
    • B65G47/5181—First In-Last Out systems [FILO]; Last In-First Out systems [LIFO] using stacking or destacking arrangements or stacks of articles or article-carriers

Definitions

  • the present invention relates to a technical field of a storage such as a stocker in which goods such as a FOUP (Front Opening Unified Pod) that accommodates various substrates for manufacturing semiconductor elements are loaded and unloaded, for example.
  • a FOUP Front Opening Unified Pod
  • a FOUP capable of accommodating a plurality of semiconductor wafers having a diameter of 300 mm is disclosed (for example, see Patent Document 1).
  • Such FOUP is mainly used to transport or temporarily store a plurality of semiconductor wafers between or within a plurality of processes along the route of a transport vehicle in a facility where a storage is installed. Used for.
  • the diameter of the semiconductor wafer housed in the FOUP disclosed in Patent Document 1 described above is regulated to 300 mm.
  • the diameter has been further increased, and for example, the diameter has been promoted to 450 mm. is there.
  • FOUPs tend to be larger and heavier. In response to this trend, it is envisaged that FOUPs will not only increase width and depth size, but also increase the height size.
  • the storage when a load is transferred (ie, stored / removed) to / from an overhead traveling vehicle that travels along a track laid on the ceiling, the load is temporarily stored.
  • the transfer part namely, loading / unloading port
  • the transfer part is installed so as to protrude laterally from the storage body.
  • the present inventor is installed below the overhead traveling vehicle stopped at a predetermined entry / exit position on the track at a distance shorter than the height of one load.
  • a storage room with a transfer section is proposed. Specifically, for example, in a state where the load is completely transferred from the overhead traveling vehicle to the transfer portion, at least the upper part of the load is located inside the overhead traveling vehicle. Thereafter, when being transferred from the transfer portion into the storage, the load is horizontally moved through the side surface of the overhead traveling vehicle. That is, even if the load is increased in size, the installation position in the vertical direction in the transfer portion can be reduced little or not at all. For this reason, the transfer section is maintained at a height that can ensure the overhead safety of workers working in the vicinity of the storage (that is, the “safety height”) while supporting the increase in the size of the load. It becomes possible to do.
  • the overhead traveling vehicle since at least the upper part of the load remains inside the overhead traveling vehicle when it is transferred from the overhead traveling vehicle to the transfer portion, the overhead traveling vehicle cannot travel as long as the load is placed on the transfer portion. Therefore, the conveyance of the load by the overhead traveling vehicle may become inefficient. Specifically, when transferring a plurality of loads continuously from a plurality of overhead traveling vehicles to the transfer section (that is, warehousing), a plurality of overhead traveling is performed unless the loads are retreated from the transfer section. There is a technical problem that each car cannot finish warehousing, and there is a possibility that congestion of overhead traveling vehicles may occur on the track.
  • the present invention has been made in view of the above-described problems, and provides a storage that makes it possible to efficiently perform continuous warehousing while maintaining a safe height for a warehousing port such as a placement unit.
  • the issue is to provide.
  • a storage according to a first aspect of the present invention is a storage in which a load is stored between a traveling vehicle that travels along a track provided on a ceiling and transports the load. is there.
  • the storage includes a housing, a storage port, an internal movement device, a fixed shelf portion, a movable shelf portion, a shelf portion displacement device, and an outside / inside movement device.
  • the casing has a plurality of stages arranged in the vertical direction, and has an inlet provided at least one corresponding to at least one of the plurality of stages.
  • the warehousing port is adjacent to the entrance outside the housing, and can load a load.
  • the internal movement device can move the load in at least one horizontal direction and can move in the vertical direction within the housing.
  • the plurality of fixed shelf portions are arranged in at least one horizontal direction in each of the plurality of stages in the housing, and are configured to be able to place a load moved by the internal movement device.
  • the movable shelf portion is movable with one shelf portion and two shelf portions connected to each other.
  • the shelf part displacement device is capable of displacing the movable shelf part between a first position where the first shelf part is adjacent to the entrance and a second position where the second shelf part is adjacent to the entrance.
  • the outer / inner moving device can move the load between the one shelf portion or the second shelf portion adjacent to the entrance and the warehousing port via the entrance.
  • the shelf portion displacing device when the outer / inner moving device moves one load from the warehousing port to one shelf portion adjacent to the entrance, the shelf portion displacing device then displaces the movable shelf from the first position to the second position.
  • the second shelf portion on which no luggage is placed is adjacent to the entrance.
  • the inner moving device is placed on the one shelf portion to fix the one load. Move to part.
  • the shelf part displacement device displaces the movable shelf part from the second position to the first position.
  • one shelf portion of the empty load is adjacent to the entrance instead of the second shelf portion.
  • the shelf portion on which the load is placed is retracted, and the shelf portion on which the load is not placed is placed next to the entrance, so that the next entry port Prepare for the goods that will be received from.
  • the load is quickly moved from the warehousing port to the movable shelf portion, and the time during which the load is placed on the warehousing port is shortened, in other words, the time for the transport vehicle to stop at the warehousing position is shortened.
  • At least two shelf parts that can temporarily place the load moved from the warehousing port into the storage are provided, and two shelf parts are provided for each warehousing. Alternately adjacent to the entrance. Thereby, it is possible to efficiently perform continuous warehousing from the warehousing port regardless of the operation status of the internal mobile device.
  • the one shelf portion and the second shelf portion are connected side by side in a first direction parallel to the extension direction of the track near the entrance, and the shelf portion displacement device may move the movable shelf portion in the first direction. Good.
  • the movable shelf part when the movable shelf part is displaced between the first position and the second position by the shelf part displacement device, for example, the width of one shelf part in a direction parallel to the extension direction of the track. Moved a minute. This makes it possible to change the shelf portion adjacent to the entrance very quickly.
  • the outside / inside moving device is controlled so that the one load placed on the entry port from the one transport vehicle is moved to the one shelf portion from the entry port, Subsequently, the shelf portion displacing device is controlled so as to displace the movable shelf portion from the first position to the second position. Subsequently, the second load placed on the warehousing port from the second transport vehicle is You may further provide the control part which controls an outer / inner moving apparatus so that it may move to a shelf part.
  • the outer / inner moving device and the shelf partial displacement device can be controlled in order, and one load and two loads can be received continuously and efficiently.
  • a storage is a storage in which a load is stored between a transport vehicle that travels along a track provided on a ceiling and transports the load. It is.
  • the storage includes a housing, a storage port, an internal movement device, a plurality of shelf portions, an external / internal movement device, and a movement device between the shelf portions.
  • the casing has a plurality of stages arranged in the vertical direction, and at least one entrance capable of loading a load is provided corresponding to at least one of the plurality of stages.
  • the warehousing port is adjacent to the entrance outside the housing, and can load a load.
  • the internal movement device can move the load in at least one horizontal direction and can move in the vertical direction within the housing.
  • the plurality of shelf parts are arranged in at least one horizontal direction in each of the plurality of stages in the housing, and are configured to be able to place a load moved by the internal movement device.
  • the outer / inner moving device is capable of moving a load through the entrance between the shelf portion adjacent to the entrance and the warehousing port among the plurality of shelf portions.
  • the inter-shelf moving device is capable of moving a load between one shelf portion and two shelf portions adjacent to the one shelf portion among the plurality of shelf portions.
  • a device for moving between shelves such as a roller mechanism, a conveyor mechanism, and an arm mechanism is provided.
  • the outer / inner moving means device moves one load from the warehousing port to one shelf portion
  • the moving device is placed on the one shelf portion for the shelf portion, and the second shelf portion Move to.
  • the inner / outer moving device moves the second load from the warehousing port to the first shelf portion, and the inner moving device is transferred to the second shelf portion. Move to part.
  • the moving device between the shelves moves the second load placed on the one shelf part to the second shelf part.
  • the load is transferred to the shelf portion. In this way, it is possible to prepare for the next goods received from the warehousing port.
  • the load is quickly moved from the warehousing port through the first shelf portion to the second shelf portion, and the time for the warehousing port to support the load is shortened, in other words, the time for the transport vehicle to stop at the warehousing position is shortened. .
  • the shelf moving device is configured separately from the internal moving device, but is not particularly limited as long as the load can be moved between the one shelf portion and the second shelf portion. You may have the same structure.
  • the outer / inner moving device is not particularly limited as long as the load can be moved between the warehousing port and one shelf, and may have the same configuration as the inner moving device and / or the shelf moving device. .
  • At least two shelf parts on which the load moved from the warehousing port can be temporarily placed are provided, and as soon as the load is placed on one shelf part, By retreating the load to the shelf part, one shelf part can be made empty. Thereby, it is possible to efficiently perform continuous warehousing from the warehousing port regardless of the operation status of the internal mobile device.
  • the outer / inner moving device can move the first placement portion having the first placement surface capable of supporting the load from the bottom side and the first placement portion between the one shelf portion and the warehousing port. You may have a 1st moving part.
  • the device for moving between shelves moves the second placing part having the second placing surface capable of supporting the load from the bottom side, and the second placing part between the one shelf part and the second shelf part. You may have the 2nd moving part which is possible.
  • the warehousing port, the one shelf portion, and the second shelf portion each have a support portion that supports a load portion different from the load portion supported by the first placement portion or the second placement portion.
  • the first mounting portion or the second mounting portion and the support portion of the warehousing port, the one shelf portion, and the second shelf portion support different portions on the bottom surface of the load. It is possible to support the load on either side. Therefore, the load supported by the support portion of the warehousing port is raised by the first placement portion of the outer / inner moving device, moved above the support portion of the one shelf portion, and finally lowered and then lowered. It is mounted on the support part of the shelf part. Further, the load supported by the support part of the first shelf part is raised by the second placement part of the moving device for the part of the shelf part, moved above the support part of the second shelf part, and finally lowered. And placed on the support part of the second shelf part.
  • the load can be transferred between the one shelf portion and the warehousing port by the outer / inner moving device and between the one shelf portion and the second shelf portion by the moving device between the shelf portions. Is possible.
  • the vault is located inside and outside so that when a plurality of loads are to be received in the vault, one load placed from one transport vehicle to the warehousing port is moved from the warehousing port to one shelf part. Control the moving device, then control the moving device for the shelf part to move one load from the one shelf part to the second shelf part, and then the second placed on the warehousing port from the second carrier A control unit is further provided for controlling the outer / inner moving device so that the load of the item moves from the warehousing port to the one shelf part.
  • the distance between the support portion of the warehousing port and the lower surface of the transport vehicle stopped at the warehousing position may be shorter than the height of one load.
  • the distance between the support portion of the warehousing port and the lower surface of the transport vehicle located at the warehousing position is shorter than the height of one load, so that the space between the warehousing port and the transport vehicle is reduced.
  • At the time of transfer at, at least the upper part of the load is not exposed outside the transport vehicle.
  • the vertical position of the warehousing port is hardly or not lowered compared to before the load is enlarged. Therefore, it is possible to maintain the above-described safety height for the warehousing port while accommodating an increase in the size of the load.
  • the warehousing port has a positioning structure for positioning the loaded load, and when the transport vehicle is stopped at the warehousing / unloading position, the opening is opened so that the load horizontally moving by the outer / inner moving device can pass therethrough.
  • a main body having a holding portion, a holding portion capable of holding a load inside the main body, and a load held by the holding portion are displaced between a positioning position positioned by the positioning structure and a release position released from the positioning position. You may have a raising / lowering part which can be raised / lowered like this.
  • the “positioning structure” is a convex portion such as a plurality of positioning pins provided on the upper surface of the warehousing port, and a predetermined transfer position when transferring the load between the warehousing port and the transport vehicle.
  • the convex portion may be engageable with a concave portion provided on the bottom surface of the load.
  • the load is lowered and placed on the warehousing port. At this time, the load is positioned at the positioning position.
  • the “positioning position” indicates a state in which the concave portion on the cargo side is engaged with the convex portion on the warehousing port side. Subsequently, the load at the positioning position is moved by the outer / inner moving device to the shelf portion adjacent to the inlet through the inlet. At this time, the load passes through the opening formed in the main body and is moved to the side from the inside of the transport vehicle.
  • the lifting unit needs to lift and lower the load by a distance corresponding to the distance between the positioning position and the release position, that is, the vertical length of the positioning structure. This makes it possible to shorten the time required for warehousing and to carry in more efficiently.
  • FIG. 2 is a one-way sectional view schematically showing an internal structure of the storage of FIG. 1.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view in the other direction schematically showing the internal structure of the storage of FIG. 1.
  • the “transport vehicle” is a so-called vehicle of a ceiling traveling type, and is laid on or near the ceiling of a semiconductor element manufacturing factory or a semiconductor element manufacturing facility, for example, when loading and unloading goods. Travel along a track such as a rail. Specifically, when receiving a load, for example, a transport vehicle that holds the load to be stored by a gripper or the like reaches a predetermined storage position on the track corresponding to the storage, and stops.
  • the gripper or the like and the load to be stored held by the gripper are lowered in the vertical direction, and the load is placed on the storage port for loading and unloading the load inside and outside the storage. Then, the load to be received from the gripper or the like is released. After this, the released load moves into the storage. As a result, the transport vehicle is ready to travel, and the loading of the load by the transport vehicle is completed.
  • the empty transport vehicle reaches the aforementioned loading / unloading position and stops. Thereafter, the load to be unloaded in the storage moves to the warehousing port located below the transport vehicle. Then, the above-described gripper or the like is lowered in the vertical direction by the above-described hoist or the like, and the load to be unloaded placed on the warehousing port is held on the transport vehicle side by the gripper or the like. Then, the gripper or the like and the load to be delivered held by the hoist or the like rise in the vertical direction by the hoist or the like. As a result, the transport vehicle is ready to travel, and the delivery of the load by the transport vehicle is completed.
  • the external appearance of the storage is constituted by a casing or a frame, and a plurality of shelf parts are arranged in the casing or the frame.
  • the “plurality of shelf portions” refers to a shelf row having a plurality of placement surfaces arranged in one or more rows in the vertical direction.
  • m where m is a natural number of 2 or more
  • n where n is a natural number of 1 or more
  • the skeleton of the entire shelf may be configured so as to have a thin and flat plate shape, for example, o (where o is a natural number equal to or greater than 1) in “thickness direction”).
  • Loads that are stored in the storage by the transport vehicle are, for example, a plurality of externally moving devices such as a roller mechanism and a conveyor mechanism, and are provided from the storage port through two entrances that are typically provided for storage and storage. It is moved horizontally to the shelf portion adjacent to the entrance of the shelf portion.
  • an internal movement device that is a transport device in a storage such as a robot arm moves between a plurality of shelves in, for example, two directions or two axial directions such as a vertical direction and a horizontal direction, and enters an entrance.
  • the load on the adjacent shelf portion is moved to the other shelf portion among the plurality of shelf portions. That is, the load that has been transported and stored in the storage is stored or stored in the storage.
  • one transport vehicle is stopped at a storage position and one load is placed on a storage port. To do. Then, just before the one load moves horizontally from the warehousing port to the inside of the storage, the one unloaded carriage starts to move away from the loading / unloading position. Subsequently, the second transport vehicle stops at the loading / unloading position and places the second load on the loading port. Then, immediately before the second load horizontally moves from the warehousing port to the inside of the storage, the empty unloaded second carriage starts to move away from the loading / unloading position.
  • the time required for such continuous warehousing is, if no contrivance is given, the longer the time that the warehousing port supports the load, in other words, the time that the transport vehicle stops at the warehousing position for warehousing. The longer it is, the longer it takes, and continuous warehousing will be performed inefficiently.
  • FIG. 1 is a perspective view showing an appearance of a transport system including the storage according to the first embodiment
  • FIG. 2 schematically shows the internal structure of the storage shown in FIG.
  • FIG. 3 is a unidirectional cross-sectional view taken along the front-rear direction (that is, referred to as “one direction”)
  • FIG. 3 is a diagram illustrating the operation of the shelf partial displacement device of FIG. It is another direction sectional drawing at the time of cut
  • the transport system 1000 includes a transport instruction unit 100, a vehicle controller 101, and a stocker controller 102 as a control system in addition to the rail R1, the vehicle 10, and the stocker 20.
  • the transport system 1000 transports the FOUP 3 to various manufacturing apparatuses and the stocker 20 according to a transport schedule in semiconductor element manufacturing, and stores or stores the FOUP 3 in the stocker 20.
  • the FOUP 3 is transported along the rail R1 by the vehicle 10 as an example of “load” according to the present invention, and is transported in the stocker 20 for entering / exiting or adjusting the storage position (that is, storage warehouse). Inside transport).
  • the FOUP 3 is provided with a flange 4 held on the upper surface thereof by the vehicle 10 and an automatic transfer device 30 described later.
  • the FOUP 3 has a plurality of recesses 5 and 6 at the center and side of the lower surface.
  • the recessed part 5 located in the lower surface side part is formed in the size corresponding to the convex part in each of port P1, P2 mentioned later and the several shelf parts 21 and 23.
  • the recessed part 6 located in the lower surface center part is formed in the size corresponding to the convex part 32 provided in the mounting part 31 mentioned later.
  • the rail R1 is laid on the ceiling of the semiconductor element manufacturing facility as an example of the “track” according to the present invention, and serves as a track for the vehicle 10 to travel.
  • Various manufacturing apparatuses, a stocker 20, and the like are installed below and adjacent to the rail R1.
  • a rail portion positioned vertically above the ports P1 and P2 is set as a loading / unloading position.
  • a vehicle 10 is an OHT (overhead traveling vehicle) that uses a linear motor as a power source as an example of the “conveyance vehicle” according to the present invention, and travels along the rail R ⁇ b> 1 to convey the FOUP 3.
  • the FOUP 3 is configured to be capable of being transferred to and from a port (for example, port P1) provided in each of the various manufacturing apparatuses and the stocker 20 and the like, stopping at the loading / unloading position on the rail R1.
  • the vehicle 10 includes a main body 10 a, a hoist 11, a belt 12, and a gripper 13, and these parts are controlled by a vehicle controller 101.
  • the main body 10a has a space that can accommodate the entire FOUP 3 therein.
  • This space is open downward and at least one side (specifically, the right side of the main body 10a in FIG. 2). That is, in the main body 10a, the opening located below the space is formed to a size that allows the FOUP 3 accommodated in the main body 10a to be moved up and down in the vertical direction.
  • the opening H0 located on one side of the space is formed to a size that allows the FOUP 3 placed on the ports P1 and P2 to move horizontally to the one side.
  • the hoist 11 is attached inside the vehicle 10.
  • the hoist 11 is an example of an “elevating device” according to the present invention together with the belt 12, and is driven by an actuator or a motor so that the belt 12 can be wound or unwound.
  • the belt 12 has one end fixed to the hoist 11 and the other end fixed to the gripper 13.
  • the gripper 13 is driven by an actuator or a motor, holds the FOUP 3 by gripping the flange 4, and releases to release the FOUP 3 (in other words, the flange 4). It is configured to be displaceable between states.
  • the hoist 11 raises and lowers the gripper 13 by the winding or lowering operation of the belt 12.
  • the lifting distance of the gripper 13 (in other words, the FOUP 3) is slightly different from the length of the positioning pin when, for example, the positioning pins as an example of the “positioning device” according to the present invention are provided in the ports P1 and P2. It is the distance which added the surplus of.
  • the stocker 20 can accommodate or store a plurality of FOUPs 3 transported by the vehicle 10 as an example of the “first storage” according to the present invention.
  • the stocker 20 includes a main body 20a, ports P1 and P2, a plurality of shelf portions 21 and 23, an automatic conveyance device 30, and a buffer device 40.
  • the main body 20a (that is, an example of the “casing or frame” according to the present invention) is provided with two openings H1 and H2 for loading and unloading on the side surface on the rail R1 side (that is, the right surface in FIG. 1). ing.
  • the two openings H1 and H2 are adjacent to the ports P1 and P2, respectively, as an example of the “inlet” according to the present invention, and the FOUP 3 can be taken in and out between the port P1 or P2 and the inside of the main body 20a. It is formed in size.
  • a plurality of shelf portions 21, 23, an automatic transport device 30, and a buffer device 40 are provided inside the main body 20a.
  • the port P1 is an example of the “reception port” according to the present invention, and is a rail adjacent to the opening H1 on the outer surface of the main body portion 20a on the rail R1 side so that the FOUP 3 can be transferred between the vehicle 10 and the stocker 20. It is provided vertically below R1.
  • the port P1 includes a conveyor 41 that can horizontally move the FOUP 3 transferred from the vehicle 10 toward the inside of the main body 20a through the opening H1.
  • the conveyor 41 functions as a part of the “outer / inner movement device” according to the present invention, and is driven by an actuator or a motor.
  • the conveyor 41 on the port P1 is adjacent to the opening H1 among the plurality of shelf portions 21 and 23. It is configured to move horizontally on the shelf portion (that is, located in the area A1 indicated by a two-dot chain line in FIG. 2).
  • the conveyor 41 is composed of a pair of conveyor portions 41a and 41b each having a mounting surface capable of supporting the lower surface side portion of the FOUP 3. These mounting surfaces are respectively set to heights that take a distance L1 (that is, shown in FIG. 2) in the vertically downward direction from the lower surface of the vehicle 2 stopped at the loading / unloading position.
  • the distance L1 is shorter than the height of one FOUP3.
  • shelf parts 21 and 23 it is 7 steps
  • a total of 42 shelves can be installed in two rows.
  • one row on the opening H1 side among the two rows in the thickness direction at the top is typically three in one horizontal direction (ie, the up-down direction in FIG. 3).
  • the plurality of shelf parts 21 and 23 are configured by a total of 41 shelf parts.
  • the two shelf portions on the opening H ⁇ b> 1 side in the uppermost stage described above are examples of the “first shelf portion” and the “second shelf portion” according to the present invention.
  • the movable shelf portion 23 is driven by a displacement mechanism described later, and is configured to be movable in a direction parallel to the direction of the rail R1 (that is, one horizontal direction).
  • the movable shelf portion 23 has a first buffer B1 and a second buffer B2.
  • the first buffer 1 and the second buffer B2 are arranged in a direction parallel to the extending direction of the track R1 in the vicinity of the opening H1.
  • the first buffer B ⁇ b> 1 and the second buffer B ⁇ b> 2 have transport belts 23 a and 23, which are a pair of placement portions, each having a placement surface that can support the lower surface side portion of the FOUP 3.
  • each other shelf portion 21 has a placement surface that is fixed and can support the lower surface side portion of the FOUP 3, and the placement surface is a first linear portion. And a pair of second linear portions extending in one direction from both sides thereof.
  • Each placement surface is provided with a convex portion 22.
  • the convex portion 22 is formed in a size that can be engaged with the concave portion 5 formed on the lower surface side portion of the FOUP 3.
  • the automatic conveyance device 30 is a stacker that is a conveyance device in a storage that can automatically convey the FOUP 3 between the plurality of shelf portions 21 and 23 under the control of the stocker controller 102. (Or stacker robot).
  • the automatic conveyance device 30 includes a placement unit 31, a main body unit 30a, a vertical guide unit 34, and a horizontal telescopic swivel arm (hereinafter simply referred to as an “arm”) 35, and includes a plurality of rollers 33 serving as slide guides, Each part of the vertical guide part 34 and the horizontal telescopic turning arm 35 is controlled by the stocker controller 102.
  • the placement unit 31 reciprocates between the plurality of shelf portions 21 and 23 by driving in a horizontal direction by a plurality of rollers 33, driving in a vertical direction by a vertical guide unit 34, and driving in a thickness direction by an arm 35. It is configured to be movable.
  • the placement unit 31 has a placement surface that can support the center of the lower surface of the FOUP 3 (that is, an example of the “first placement surface” according to the present invention).
  • the placement portion 31 has a convex portion 32 on the placement surface.
  • the convex portion 32 is formed in a size corresponding to the concave portion 6 formed at the center of the lower surface of the FOUP 3 and is engaged with the concave portion 6 when the FOUP 3 is transferred.
  • a plurality of rollers 33 driven by an actuator or a motor are attached to the bottom surface of the main body 30a so as to be rotatable on a rail R20 laid on the floor surface inside the stocker 20.
  • a vertical guide portion 34 is fixed to the main body portion 30a in the vertical direction.
  • the main body portion 30 a is configured to be able to move the vertical guide portion 34 (in other words, the placement portion 31) in one horizontal direction by the rotation of the plurality of rollers 33.
  • the arm 35 is attached to the vertical guide 34 so as to be movable only in the vertical direction.
  • the vertical guide portion 34 includes a mechanism 34a that is rotated in the vertical direction by an actuator or a motor, and a rotation portion 34b that is fixed to a rotation portion of the mechanism 34a.
  • the vertical guide portion 34 is configured to be able to reciprocate in the vertical direction an arm 35 (in other words, the placement portion 31) pivotably attached to the upper surface of the rotation portion 34 b by the operation of the mechanism 34 a.
  • the mounting portion 31 is attached to the arm 35 so as to be movable only in the thickness direction.
  • the arm 35 includes two arm portions connected in the vertical direction. These two arm portions are configured to be extendable in the thickness direction by reciprocally turning with an actuator (for example, a hydraulic cylinder or the like) or a motor.
  • the arm 35 is configured to be able to reciprocate in the thickness direction on the mounting portion 31 fixed to the upper arm portion of the two arm portions by the operation of the two arm portions.
  • the buffer device 40 is a device for temporarily placing the load carried into the loading / unloading port P1 in the vicinity of the opening H1 in the main body 20a.
  • the buffer device 40 includes a movable shelf portion 23 and a displacement mechanism 39 as an example of the “shelf portion displacement device” according to the present invention.
  • FIG. 4 is a perspective view showing in detail the appearance of the buffer device 40 of FIG.
  • the displacement mechanism 39 includes a displacement guide 48, a motor 49, and a ball screw 50, and the motor 49 is controlled by the stocker controller 102.
  • a displacement guide 48 laid in one horizontal direction is fitted to the lower portion of the connecting portion 47.
  • a first displacement guide 48 a and a second displacement guide 48 b are respectively provided for the pair of connecting portions 47.
  • a ball screw 50 that rotates by driving of a motor is attached to the connecting portion 47.
  • the connecting portion 47 reciprocates in one horizontal direction along the displacement guide 48 by the rotation of the ball screw 50 so that one of the first buffer B1 and the second buffer B2 is disposed at a position adjacent to the opening H1. It is configured.
  • the first buffer B1 or the second buffer B2 arranged at a position adjacent to the opening H1 by the above-described displacement mechanism 39 functions as a part of the “outer / inner moving device” according to the present invention, and is placed on each placement surface.
  • the FOUP 3 is horizontally moved onto the port P1.
  • the first buffer B1 and the second buffer B2 include a pair of conveying belts 23a and 23b that can support the lower surface side portion of the FOUP 3, a motor 43 that is a driving source, a driving roller 44 that is rotated by driving the motor 43, and the driving roller 44.
  • the auxiliary roller 45 that rotates one of the conveyor belts 23a and the transmission shaft 46 that transmits the rotation of the one conveyor belt 23a to the other conveyor belt 23b.
  • the conveyor 41 described above is configured to move the FOUP 3 on the port P1 onto the shelf portion (the first buffer B1 or the second buffer B2) adjacent to the opening H1.
  • the transfer instruction unit 100 can create a transfer schedule of FOUP 3 based on the semiconductor element manufacturing schedule in the manufacturing instruction unit as the main controller, and can control the vehicle controller 101 and the stocker controller 102 based on the transfer schedule.
  • MCS Magnetic Control System
  • the transport instruction unit 100 is configured to instruct the vehicle controller 101 to transport the FOUP 3 by the vehicle 10 and to instruct the stocker controller 102 to transport the FOUP 3 inside the stocker 20.
  • the vehicle controller 101 controls each part of the vehicle 10 according to an instruction from the conveyance instruction unit 100, executes conveyance of the FOUP 3 along the rail R1, and executes transfer of the FOUP 3 between various manufacturing apparatuses, the stocker 20, and the like. It is configured to be possible.
  • the stocker controller 102 controls each part of the port P1 and the automatic transport device 30 according to instructions from the transport instruction unit 100, and executes transfer of the FOUP 3 to the vehicle 10 via the port P1 (that is, entry or exit).
  • each part of the automatic conveyance device 30 is controlled so that the conveyance of the FOUP 3 in the stocker 20 (that is, conveyance in the storage) can be executed.
  • the stocker controller 102 controls each part of the buffer device 40 as an example of the “control unit” according to the present invention, and responds to continuous warehousing and warehousing, as will be described later.
  • the process is configured to be executable. That is, the FOUP 3 is temporarily accommodated or stored by using the movable shelf portion 23 that is a buffer in the storage between the above-described operations of entering or leaving and transporting in the storage.
  • FIG. 5 is a flowchart showing the first continuous warehousing process.
  • the first continuous warehousing process an operation when the second FOUP 3 is received by the second vehicle 10 after the first FOUP 3 is received by the first vehicle 10 is shown.
  • the movable shelf portion 23 assumes the first position. In the first position, the empty first buffer B1 is located adjacent to the opening H1 so that the first FOUP 3 to be received first can be supported.
  • step S41 the vehicle 10 is stopped at the loading / unloading position under the control of the vehicle controller 101 (step S41). Then, one FOUP 3 held in one vehicle 10 is lowered to a height at which the bottom surface of the FOUP 3 comes into contact with the placement surface of the conveyor 41, and the one FOUP 3 is released from the gripper 13, thereby causing the port P1. (Step S42). At this time, the upper part of the FOUP 3 is not exposed below the vehicle 10. Next, the conveyor 41 is rotated by the control of the stocker controller 102, and one FOUP3 on the port P1 moves onto the first buffer B1 in FIG. 4 through the opening H0 of the vehicle 10 and the opening H1 of the stocker 20. (Step S43).
  • step S44 Thereafter, under the control of the vehicle controller 101, one vehicle 10 travels toward the next conveyance source (step S44). Then, the motor 49 is driven by the control of the stocker controller 102, and the movable shelf portion 23 is moved from the first position to the second position. In the second position, the empty second buffer B2 is located adjacent to the opening H1 so that the second FOUP 3 to be received next can be supported (step S45). Note that the operation in step S45 may be performed in parallel with the operation in step S44 or before step S44.
  • the second vehicle 10 is stopped at the loading / unloading position under the control of the vehicle controller 101 (step S46). Then, the second FOUP 3 held in the second vehicle 10 is transferred to the port P1 (step S47), and the second FOUP 3 on the port P1 is adjacent to the opening H1 under the control of the stocker controller 102. It is moved onto the second buffer B2 (step S48). Thereafter, under the control of the vehicle controller 101, the second vehicle 10 travels toward the next conveyance source (step S49). Then, under the control of the stocker controller 102, the movable shelf portion 23 is moved from the second position to take the first position again (step S50). Thereby, a series of 1st continuous warehousing processes are complete
  • FIG. 6 is a flowchart showing the first continuous shipping process.
  • the operation when the second FOUP 3 is delivered by the second vehicle 10 after the delivery of the first FOUP 3 by the first vehicle 10 is shown.
  • the movable shelf portion 23 assumes the first position. In the first position, the first buffer B1 supporting the first FOUP 3 to be delivered first is adjacent to the opening H1.
  • first vehicle 10 is stopped at the loading / unloading position under the control of vehicle controller 101 (step S51). Then, the conveyor belts 23a and 23b of the first buffer B1 are rotated by the control of the stocker controller 102, and one FOUP3 on the first buffer B1 is connected to the port P1 via the opening H1 of the stocker 20 and the opening H0 of the vehicle 10. It is moved upward (step S52). Then, under the control of the vehicle controller 101, one FOUP 3 on the port P1 is held by the gripper 13, and the one FOUP 3 is raised to a height at which the bottom surface and the placement surface of the conveyor 41 are not in contact with each other. As a result, the sample is transferred to one vehicle 10 (step S53).
  • step S54 Thereafter, one vehicle 10 travels toward the next transport destination (step S54). Then, the motor 49 is driven by the control of the stocker controller 102, and the movable shelf portion 23 is moved so as to take the second position from the first position (step S55). In the second position, the second buffer B2 supporting the second FOUP 3 to be delivered next is adjacent to the opening H1. Note that the operation in step S55 may be performed in parallel with the operations in step S53 and step S54 or before step S53 and step S54.
  • the second vehicle 10 is stopped at the loading / unloading position under the control of the vehicle controller 101 (step S56). Then, under the control of the stocker controller 102, the second FOUP 3 on the second buffer B2 is moved onto the port P1 (step S57). Then, under the control of the vehicle controller 101, the second FOUP 3 on the port P1 is transferred to the second vehicle 10 (step S58). Thereafter, the second vehicle 10 travels toward the next transport destination (step S59). Then, under the control of the stocker controller 102, the movable shelf portion 23 is moved from the second position so as to take the first position so as to take the initial state (step S60). Thereby, a series of 1st continuous leaving processes are complete
  • first continuous warehousing process of the present embodiment at least two first buffers B1 and second buffers B2 on which the FOUP 3 moved from the port P1 to the inside of the stocker 20 can be temporarily placed. And the first buffer B1 and the second buffer B2 are alternately adjacent to the opening H1 at the time of each warehousing. Accordingly, continuous warehousing from the port P1 can be efficiently performed regardless of the operation state of the automatic conveyance device 30. The same applies to the shipping process.
  • the vertical distance L1 between the port P1 and the vehicle 10 stopped at the warehousing / unloading position is equal to one FOUP3.
  • the vertical distance L1 between the port P1 and the vehicle 10 stopped at the warehousing / unloading position is equal to one FOUP3.
  • the stocker 20 is a stocker 20 that travels along the track R1 provided on the ceiling and that stores the FOUP 3 with the vehicle 10 that transports the FOUP 3.
  • the stocker 20 includes a main body portion 20a, a port P1, an automatic conveyance device 30, a shelf portion 21, a movable shelf portion 23, a displacement mechanism 39, and a conveyor 41.
  • the main body 20a has a plurality of stages arranged in the vertical direction, and has an opening H1 provided at least one corresponding to at least one of the plurality of stages.
  • the port P1 is adjacent to the opening H1 outside the main body 20a, and the FOUP 3 can be placed thereon.
  • the automatic conveyance device 30 can move the FOUP 3 in at least one horizontal direction and can move in the vertical direction within the main body 20a.
  • the plurality of shelf portions 21 are arranged in at least one horizontal direction in each of the plurality of stages in the main body portion 20a, and are configured to be able to place the FOUP 3 moved by the automatic conveyance device 30.
  • the movable shelf portion 23 has a first buffer B1 and a second buffer B2 connected to each other and is movable.
  • the displacement mechanism 39 can displace the movable shelf portion 23 between the first position where the first buffer B1 is adjacent to the opening H1 and the second position where the second buffer B1 is adjacent to the opening H1.
  • the conveyor 41 can move the FOUP 3 between the first buffer B1 or the second buffer B2 adjacent to the opening H1 and the port P1 through the opening H1.
  • the displacement mechanism 39 when one FOUP 3 moves from the warehousing port to the first buffer B1 adjacent to the opening H1, the displacement mechanism 39 then displaces the movable shelf portion 23 from the first position to the second position.
  • the second buffer B2 on which the FOUP 3 is not mounted is adjacent to the opening H1 instead of the first buffer B1.
  • the automatic conveying device 30 moves the one FOUP 3 placed on the first buffer B1 to the shelf portion 21. Move to.
  • the displacement mechanism 39 displaces the movable shelf portion 23 from the second position to the first position.
  • an empty first buffer B1 is adjacent to the opening H1 instead of the second buffer B2.
  • the shelf portion on which the FOUP 3 is placed is retracted, and instead the shelf portion on which the FOUP 3 is not placed is adjacent to the opening H1. It prepares for FOUP3 received from port P1.
  • the FOUP 3 is quickly moved from the port P1 to the movable shelf portion 23, and the time during which the FOUP 3 is placed at the port P1 is shortened. In other words, the time during which the vehicle 10 stops at the storage position is shortened.
  • At least two shelf parts on which the FOUP 3 moved from the port P1 into the stocker 20 can be temporarily placed are provided, and two shelf parts are provided for each warehousing.
  • the openings H1 are alternately adjacent to each other. Accordingly, continuous warehousing from the port P1 can be efficiently performed regardless of the operation state of the automatic conveyance device 30.
  • the first buffer B1 and the second buffer B2 are connected side by side in a direction parallel to the extending direction of the track R1 in the vicinity of the opening H1, and the displacement mechanism 39 can move the movable shelf portion 23 in the parallel direction. is there.
  • the movable shelf portion 23 when the movable shelf portion 23 is displaced between the first position and the second position by the displacement mechanism 39, for example, in the direction parallel to the extension direction of the track R1, for example, one shelf portion. Moved by width. As a result, the shelf portion adjacent to the opening H1 can be changed very quickly.
  • the conveyor 41 is controlled so as to move one FOUP 3 placed on the port P1 from one vehicle 10 to the first buffer B1 from the port P1, and then The displacement mechanism 39 is controlled so as to displace the movable shelf portion 23 from the first position to the second position. Subsequently, the second FOUP 3 placed on the port P1 from the second vehicle 10 is transferred from the port P1 to the second buffer B2.
  • a stocker controller 102 is further provided for controlling the conveyor 41 so as to be moved.
  • the conveyor 41 and the displacement mechanism 39 can be controlled in order, and the first FOUP 3 and the second FOUP 3 can be continuously received efficiently.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view in the other direction schematically showing the internal structure of the storage according to the second embodiment
  • FIG. 8 shows the inside / outside moving device and the shelf portion moving device according to the second embodiment. It is a perspective view which shows an external appearance in detail.
  • elements that are configured in the same manner as in the first embodiment are given the same reference numerals, and descriptions thereof are omitted as appropriate.
  • the stocker 120 is an example of a “second storage” according to the present invention.
  • the shelf portion 123 is a buffer adjacent to the opening H1, and includes a first buffer B11 and a second buffer B12.
  • the first buffer B11 is adjacent to the opening H11
  • the second buffer B12 is aligned with the first buffer B11 in a direction parallel to the extending direction of the track R1 in the vicinity of the opening H1.
  • the first buffer B11 and the second buffer B12 are fixed to the main body 120a.
  • the inter-port moving device 150 is configured to be able to move the FOUP 3 between the port P11 and the first buffer B11 as an example of the “outside / inside moving device” according to the present invention.
  • the inter-port moving device 150 includes a first arm 151 that can support the center of the lower surface of the FOUP 3 and a moving unit that will be described later.
  • the moving unit in the inter-port moving device 150 includes a traverse guide 153, a traverse motor 154, a main body 155, an elevating unit 156, and an elevating motor 157.
  • the traversing motor 154 and the elevating motor 157 are operated by a stocker controller. Be controlled.
  • a traversing guide 153 is fitted to the lower portion of the main body 155.
  • the transverse guide 153 is installed below the port P11 in the thickness direction, and includes a conveyor that is rotated by the transverse motor 154 in the thickness direction. More specifically, the traversing guide 153 includes a first traversing guide 153a and a second traversing guide 153b.
  • the main body 155 is configured such that the first arm 151 can be reciprocated in the thickness direction by the rotation of the conveyor.
  • An elevating part 156 is attached to the upper surface of the main body part 155 so as to be movable only in the vertical direction.
  • the elevating unit 156 is configured to be reciprocated in the vertical direction by an elevating motor 157.
  • the inter-buffer moving device 160 is configured to be able to move the FOUP 3 between the first buffer B11 and the second buffer B12 as an example of the “shelf part moving device” according to the present invention.
  • the inter-buffer moving device 160 includes a second arm 161 similar to the first arm 151 of the inter-port moving device 150, and a moving unit described later.
  • the moving unit in the inter-buffer moving device 160 includes a traversing guide 163, a traversing motor 164, a main body 165, an elevating guide 166, and an elevating motor 167, and the traversing motor 164 and the elevating motor 167 are controlled by a stocker controller.
  • a transverse guide 163 is fitted to the main body 165.
  • the traverse guide 163 is installed in one horizontal direction above the first buffer B11 and the second buffer B12, and includes a roller that is rotated in one horizontal direction by the traverse motor 164.
  • the main body 165 is configured to be able to reciprocate the second arm 161 in one horizontal direction by the rotation of the roller.
  • an elevating guide 166 is installed on the upper surface of the main body 165 in the vertical direction.
  • the elevating guide 166 includes a roller that is rotated in the vertical direction by the elevating motor 167.
  • the main body 165 is configured to be able to reciprocate the second arm 161 in the vertical direction by the rotation of the roller.
  • the first arm 151 and the second arm 161 common to the inter-port moving device 150 and the inter-buffer moving device 160 are triangular mounting surfaces that can support the center of the lower surface of the FOUP 3 (that is, the “first mounting according to the present invention”).
  • the first arm 151 and the second arm 161 have a plurality of convex portions 152 and 162, respectively.
  • the port P11 has a mounting surface 141 (that is, an example of the “supporting portion” according to the present invention) that can support the lower surface side portion of the FOUP 3.
  • the mounting surface 141 includes a first straight line portion and a pair of second straight line portions extending in one direction from both sides thereof.
  • a plurality of convex portions 142 are formed on the mounting surface 141.
  • Each of the first buffer B11 and the second buffer B12 to which the inter-buffer moving device 160 corresponds is a rectangular mounting surface that can support the lower surface side portion of the FOUP 3 (that is, an example of the “support portion” according to the present invention). ), And a pair of mounting portions 123a and 123b.
  • Convex portions 124 are formed on the placement portions 123a and 123b. That is, the mounting surfaces of the first arm 151 and the second arm 161 and the mounting surfaces of the port P11 or the first buffer B11 and the second buffer B12 have mutually complementary planar shapes.
  • the FOUP 3 is transferred between the two placement surfaces.
  • FIG. 9 is a flowchart showing the second continuous warehousing process.
  • the operation when the second FOUP 3 is received by the second vehicle 10 after the first FOUP 3 is received by the first vehicle 10 is performed. Indicated.
  • the first buffer B11 is empty so as to support the first FOUP 3 to be received first
  • the second arm 161 of the inter-buffer moving device 160 is the first buffer B11 of the inter-port moving device 150. It is assumed that it is located on the second buffer B12 side so as not to hinder the movement of one arm 151.
  • step S61 one vehicle 10 is stopped at the loading / unloading position under the control of the vehicle controller (step S61). Then, one FOUP 3 held in one vehicle 10 is lowered to a height at which the bottom surface of the FOUP 3 comes into contact with the placement surface 141 of the port P1, and the one FOUP 3 is released from the gripper 13, so that the port Transferred to P11 (step S62). Then, the first arm 151 is moved in the thickness direction and the vertical direction by the control of the stocker controller, and is raised or lowered with respect to the mounting surface of the port P11 and the first buffer B11, so that one FOUP 3 on the port P11 is moved to the vehicle 10.
  • step S63 Are moved onto the first buffer B1 through the opening H0 and the opening H11 of the stocker 120 (step S63). Thereafter, under the control of the vehicle controller, one vehicle 10 travels toward the next conveyance source (step S64). Then, the second arm 161 is moved in the thickness direction and the vertical direction by the control of the stocker controller, and is moved up and down with respect to the mounting surface of the first buffer B11 and the second buffer B12, so that one FOUP3 on the first buffer B11. Is moved onto the second buffer B12 (step S65).
  • the second vehicle 10 is stopped at the loading / unloading position under the control of the vehicle controller (step S66). Then, the second FOUP 3 held in the second vehicle 10 is transferred to the port P11 (step S67), and the second FOUP 3 on the port P11 is moved onto the first buffer B1 by the control of the stocker controller. (Step S68). Thereafter, under the control of the vehicle controller, the second vehicle 10 travels toward the next conveyance source (step S69). Then, under the control of the stocker controller, the second FOUP 3 on the first buffer B11 is moved onto the second buffer B12 (step S70). Thereby, a series of 2nd continuous warehousing processes are complete
  • FIG. 10 is a flowchart showing the second continuous shipping process.
  • the operation when the second FOUP 3 is unloaded by the second vehicle 10 after the first FOUP 3 has been unloaded by the first vehicle 10 is performed in the same manner as the first continuous unloading process of FIG. Indicated.
  • the first buffer B11 supports one FOUP 3 to be delivered first
  • the second arm 161 of the inter-buffer moving device 160 moves the first arm 151 of the inter-port moving device 150. It is assumed that it is located on the second buffer B12 side so as not to hinder.
  • step S71 one vehicle 10 is stopped at the loading / unloading position under the control of the vehicle controller (step S71). Then, the first arm 151 is moved in the thickness direction and the vertical direction by the control of the stocker controller, and the height of the first arm 151 with respect to the placement surface of the first buffer B11 and the port P11 makes one FOUP 3 on the first buffer B11 It is moved onto port P11 (step S72). Then, under the control of the vehicle controller, one FOUP 3 on the port P11 is held by the gripper 13, and the one FOUP 3 is raised to a height at which the bottom surface and the mounting surface 141 of the port P1 are not in contact with each other. And transferred to one vehicle 10 (step S73).
  • step S74 one vehicle 10 travels toward the next transport destination (step S74).
  • the second arm 161 is moved in the thickness direction and the vertical direction by the control of the stocker controller, and is raised or lowered with respect to the mounting surface of the second buffer B12 and the first buffer B11, whereby the second FOUP3 on the second buffer B12 is obtained. Is moved onto the first buffer B11 (step S75).
  • the second vehicle 10 is stopped at the loading / unloading position under the control of the vehicle controller (step S76). Then, under the control of the stocker controller, the second FOUP 3 on the second buffer B2 is moved onto the port P11 (step S77). Then, under the control of the vehicle controller, the second FOUP 3 on the port P11 is transferred to the second vehicle 10 (step 78). Thereafter, the second vehicle 10 travels toward the next transport destination (step S79). Then, under the control of the stocker controller, the second arm 161 is moved to the second buffer B12 side to take the initial state. Thereby, a series of 2nd continuous shipping processes are complete
  • the first buffer B11 and the second buffer on which the FOUP 3 moved from the port P11 into the main body 120a of the stocker 120 can be temporarily placed.
  • B12 is provided, and as soon as the FOUP 3 is placed in the first buffer B11, the FOUP 3 is moved to the second buffer B12.
  • the first buffer B11 becomes empty immediately. Thereby, it is possible to efficiently perform continuous warehousing from the port P11 regardless of the operation status of the automatic conveyance device 30.
  • the stocker 120 is a stocker that moves along the track R1 provided on the ceiling and that receives the FOUP 3 with the vehicle 10 that transports the FOUP 3.
  • the stocker 120 includes a main body 120a, a port P11, an automatic conveyance device 30, a plurality of shelf portions 21, an inter-port movement device 150, and an inter-buffer movement device 160.
  • the main body 120a has a plurality of stages arranged in the vertical direction inside, and has at least one opening H1 provided corresponding to at least one of the plurality of stages.
  • the port P11 is adjacent to the opening H1 outside the main body 120a, and the FOUP 3 can be placed thereon.
  • the automatic conveyance device 30 can move the FOUP 3 in at least one horizontal direction and can move in the vertical direction within the main body 120a.
  • the plurality of shelf portions 21 are arranged in at least one horizontal direction in each of the plurality of stages in the main body 120a, and are configured to be able to place the FOUP 3 moved by the automatic conveyance device 30.
  • the inter-port moving device 150 can move the FOUP 3 through the opening H1 between the first buffer B11 adjacent to the opening H1 and the port P11 among the plurality of shelf portions.
  • the inter-buffer moving device 160 can move the FOUP 3 between the first buffer B11 and the second buffer B12 adjacent to the first buffer B11 among the plurality of shelf portions.
  • the inter-buffer moving device 160 such as a roller mechanism, a conveyor mechanism, and an arm mechanism is provided to cope with continuous warehousing.
  • the inter-buffer moving device 160 moves one FOUP 3 from the port P11 to the first buffer B11
  • the inter-buffer moving device 160 next transfers the one FOUP 3 placed in the first buffer B11 to the second buffer B12. Move.
  • the automatic transfer device 30 replaces the one FOUP 3 placed in the second buffer B12 with the movement of the second FOUP 3 from the port P11 to the first buffer B11. Move to the shelf part.
  • the inter-buffer moving device 160 moves the second FOUP 3 placed in the first buffer B11 to the second buffer B12.
  • the FOUP 3 is transferred to the second buffer B 12. In this way, it is possible to prepare for the FOUP 3 that is next received from the port P11. As a result, the FOUP 3 is quickly moved from the port P11 to the second buffer B12 via the first buffer B11, and the time for placing the FOUP 3 on the port P11 is shortened, in other words, the time for the vehicle 10 to stop at the warehousing position. Shorter.
  • the inter-buffer moving device 160 is configured separately from the automatic transport device 30, but is not particularly limited as long as the FOUP 3 can be moved between the first buffer B11 and the second buffer B12. 30 may have the same configuration.
  • the inter-port transfer device 150 is not particularly limited as long as the FOUP 3 can be moved between the port P11 and the first buffer B11, and has the same configuration as the automatic transfer device 30 and / or the inter-buffer transfer device 160. Also good.
  • At least two shelf portions on which the FOUP 3 moved from the port P11 into the stocker 120 can be temporarily placed are provided, and as soon as the FOUP 3 is placed in the first buffer B11, the second The first buffer B11 can be emptied by retreating the FOUP3 to the buffer B12. Thereby, it is possible to efficiently perform continuous warehousing from the port P11 regardless of the operation status of the automatic conveyance device 30.
  • the inter-port moving device 150 includes a first arm 151 having a first mounting surface that can support the FOUP 3 from the bottom side, and a movement that can move the first arm 151 between the first buffer B11 and the port P11. May have a part.
  • the inter-buffer moving device 160 can move the second arm 161 having the second mounting surface capable of supporting the FOUP 3 from the bottom side, and the second arm 161 between the first buffer B11 and the second buffer B12. You may have a certain moving part.
  • the warehousing port P11, the first buffer B11, and the second buffer B12 each have a support portion (141, 123a, 123b) that supports a portion different from the portion where the first arm 151 or the second arm 161 supports the FOUP 3. is doing
  • the first arm 151 and the mounting surface 141 of the port P1 are configured to support different portions on the bottom surface of the FOUP 3. Furthermore, the first arm 151 and the placement portions 123a and 123b of the first buffer B11 are configured to support different portions on the bottom surface of the FOUP 3. Further, the second arm 161 and the placement portions 123a and 123b of the first buffer B11 are configured to support different portions on the bottom surface of the FOUP 3. Further, the second arm 161 and the mounting portions 123a and 123b of the second buffer B11 are configured to support different portions on the bottom surface of the FOUP 3.
  • the FOUP 3 supported by the support part of the port P11 is raised by the first arm 151 of the inter-port moving device 150, moved above the placement parts 123a and 123b of the first buffer B11, and finally lowered. And placed on the placement parts 123a and 123b of the first buffer B11. Furthermore, the FOUP 3 supported by the placement units 123a and 123b of the first buffer B11 is lifted by the second arm 161 of the inter-buffer moving device 160 and moved above the placement units 123a and 123b of the second buffer B12. Finally, it is lowered and placed on the placement parts 123a and 123b of the second buffer B12.
  • the FOUP 3 is transferred between the first buffer B11 and the port P11 by the inter-port transfer device 150, and between the first buffer B11 and the second buffer B12 by the inter-buffer transfer device 160. Is possible.
  • the stocker 120 moves the inter-port transfer device 150 from the port P11 to the first buffer B11 so that the one FOUP 3 placed from the one vehicle 10 to the port P11. Then, the inter-buffer moving device 160 is controlled so as to move one FOUP 3 to the second buffer B12. Subsequently, the second FOUP 3 placed on the port P11 from the second vehicle 10 is moved from the port P11.
  • a stocker controller for controlling the inter-port moving device 150 to move to the first buffer B11 is further provided.
  • the inter-port moving device 150 and the inter-buffer moving device 160 can be controlled in order, and the first FOUP 3 and the second FOUP 3 can be received continuously and efficiently.
  • FIG. 11 is a perspective view illustrating an appearance of a transport system including an example of a storage according to the present invention.
  • the stocker 220 main body is provided with a first opening H21 and a second opening H22.
  • the stocker 220 includes a first port P21 adjacent to the first opening H21 and a second port P22 adjacent to the second opening H22.
  • the stocker controller that controls each part of the stocker 220 sets the first port P21 as a dedicated port for entry and the second port P22 as a dedicated port for delivery. In this case, it is possible to multiply the number of FOUPs 3 that are loaded and unloaded in the stocker 220 by causing the above-mentioned storage buffer to function for the first and second ports P21 and P22.
  • the two in-storage buffers function only for the first port P21 dedicated to warehousing, the time required for warehousing that is required to be longer than the warehousing is shortened, and continuous warehousing is performed. It can be done more efficiently.
  • the number of shelf portions in the buffer near the entrance is two, but the present invention is not limited to this.
  • the number of shelf portions in the buffer may be three or more.

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Abstract

　保管庫（２０）は、開口（Ｈ１）が設けられている本体部（２０ａ）と、本体部（２０ａ）外にて開口（Ｈ１）に隣接し、ＦＯＵＰ（３）を載置可能であるポート（Ｐ１）と、本体部（２０ａ）内に、複数段の各々において水平一方向に並んでおり、内部移動装置（３０）により移動される荷を載置可能に構成されている複数の棚部分（２１）と、相互に連結された第１バッファ（Ｂ１）及び第２バッファ（Ｂ２）を有する移動可能な可動棚部分（２３）と、第１バッファ（Ｂ１）が開口（Ｈ１）に隣接する第１位置と第２バッファ（Ｂ２）が開口（Ｈ１）に隣接する第２位置との間で、変位可能な変位機構（３９）と、開口（Ｈ１）に隣接する位置にある第１バッファ（Ｂ１）又は第２バッファ（Ｂ２）とポート（Ｐ１）との間で開口（Ｈ１）を介してＦＯＵＰ（３）を移動可能なコンベア（４１）とを備える。

Description

保管庫
　本発明は、搬送車との間で、例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ　Ｏｐｅｎｉｎｇ　Ｕｎｉｆｉｅｄ　Ｐｏｄ）等の荷の入出庫が行われる、例えばストッカ等の保管庫の技術分野に関する。
　この種の保管庫に適応する荷として、例えば口径が３００ｍｍである半導体ウェハを複数枚収容可能なＦＯＵＰが開示されている（例えば、特許文献１参照）。このようなＦＯＵＰは、主に、保管庫が設置される施設内において、搬送車の経路に沿った複数の工程間又は各工程内で、複数の半導体ウェハを搬送したり一時的に保管するために使用される。
特開２００７－１２３６７３号公報
　ここで、上述した特許文献１に開示されるＦＯＵＰに収納される半導体ウェハについて、その口径は３００ｍｍに規定されるが、近年、更なる大口径化が図られ、例えば口径が４５０ｍｍに促進されつつある。これに対応して、ＦＯＵＰが大型化及び大重量化される傾向がある。こうした傾向を受け、ＦＯＵＰについて、幅及び奥行きのサイズを大きくするだけでなく、高さのサイズもまた大きくすることが想定されている。
　ここで、当該保管庫には、典型的に、天井に敷設された軌道に沿って走行する天井走行車との間で荷を移載（即ち、入出庫）する際に、荷が一時的に載置される移載部（即ち、入出庫ポート）が、保管庫本体からその側方に突出するように設置されている。
　上述したＦＯＵＰの大型化に対応して、本願発明者は、軌道上の所定の入出庫位置に停止される天井走行車の下方に、荷の一つ分の高さより短い距離をとって設置された移載部を備える保管庫を提案している。詳細には、例えば天井走行車から移載部に荷が完全に移載された状態で、荷の少なくとも上部が天井走行車内部に位置する。この後に、移載部上から保管庫内に移載される際に、荷は天井走行車の側面を貫通して水平移動される。即ち、荷が大型化されても、移載部における鉛直方向の設置位置を殆ど又は全く下げなくて済む。このため、荷の大型化に対応しつつ、移載部について、保管庫周辺で作業する作業者等の頭上の安全性を確保可能な高さ（即ち、「安全上の高さ」）を維持することが可能となる。
　一方で、天井走行車から移載部への移載時に、天井走行車内部に荷の少なくとも上部が残るために、荷が移載部上に載置される限り、天井走行車は走行不能であって、天井走行車による荷の搬送が非効率になり兼ねない。具体的には、複数の天井走行車から移載部へ、連続して複数の荷を移載（即ち、入庫）する場合に、移載部上から荷を退かさない限り、複数の天井走行車はそれぞれ入庫を終えられず、軌道上で天井走行車の渋滞が生じ兼ねない旨の技術的問題点がある。
　本発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであり、載置部等の入庫ポートについて安全上の高さを維持しつつ、連続する入庫を効率的に行うことを可能ならしめる保管庫を提供することを課題とする。
　以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組み合せることができる。
　本発明の一見地に係る保管庫は、上記課題を解決するために、天井に設けられた軌道に沿って走行すると共に荷を搬送する搬送車との間で荷の入庫が行われる保管庫である。保管庫は、筐体と、入庫ポートと、内部移動装置と、固定棚部分と、可動棚部分と、棚部分変位装置と、外内移動装置とを備えている。筐体は、鉛直方向に並んだ複数段を有しており、複数段のうち少なくとも一つの段に対応して少なくとも一つ設けられている入口を有する。入庫ポートは、筐体外にて入口に隣接しており、荷を載置可能である。内部移動装置は、筐体内にて荷を少なくとも水平一方向に移動可能であると共に鉛直方向に移動可能である。複数の固定棚部分は、筐体内に、複数段の各々において少なくとも水平一方向に並んでおり、内部移動装置により移動される荷を載置可能に構成されている。可動棚部分は、相互に連結された一の棚部分及び二の棚部分を有して移動可能である。棚部分変位装置は、第１棚部分が入口に隣接する第１位置と第２棚部分が入口に隣接する第２位置との間で、可動棚部分を変位可能である。外内移動装置は、入口に隣接する位置にある一の棚部分又は二の棚部分と、入庫ポートとの間で入口を介して荷を移動可能である。
　例えば、外内移動装置が入庫ポートから、入口に隣接する一の棚部分に一の荷が移動させると、次に棚部分変位装置が可動棚を第１位置から第２位置に変位させる。この結果、入口には、一の棚部分に代わって、荷物が載っていない二の棚部分が隣接する。この後、外内移動装置が、入庫ポートから、二の棚部分に二の荷を移動するのに前後して、内部移動装置が一の棚部分に載置されている一の荷を固定棚部分に移動させる。そして、棚部分変位装置が、可動棚部分を第２位置から第１位置に変位させる。この結果、入口には、二の棚部分に代わって、空荷の一の棚部分が隣接する。このように、入口に隣接する棚部分に荷が載置されると直ちに、荷が載った棚部分を退避させ、代わりに荷が載ってない棚部分を入口に隣接させることで次に入庫ポートから入庫される荷に備える。これにより、入庫ポートから可動棚部分に荷が迅速に移動され、入庫ポートに荷が載置されている時間が短くなる、言い換えれば搬送車が入庫位置に停止する時間が短くなる。
　以上のように、入庫ポートから保管庫内に移動された荷を一時的に載置可能である棚部分（所謂、保管庫内バッファ）を少なくとも２つ設けると共に、各入庫に際して２つの棚部分を入口に交互に隣接させる。これにより、内部移動装置の動作状況に関わらず、入庫ポートからの連続する入庫を効率的に行うことが可能である。
　一の棚部分及び二の棚部分は、入口付近における軌道の延長方向に平行な第１方向に並んで連結されており、棚部分変位装置は、可動棚部分を、第１方向に移動可能でもよい。
　この態様によれば、棚部分変位装置により、可動棚部分が第１位置及び第２位置の相互間で変位される際に、軌道の延長方向に平行な方向に、例えば１つの棚部分の幅分移動される。これにより、入口に隣接する棚部分を極めて迅速に変更することが可能となる。
　複数の荷が保管庫に入庫されるときに、一の搬送車から入庫ポートに載置された一の荷を、入庫ポートから一の棚部分に移動させるように外内移動装置を制御し、続いて可動棚部分を第１位置から第２位置に変位させるように棚部分変位装置を制御し、続いて二の搬送車から入庫ポートに載置された二の荷を、入庫ポートから二の棚部分に移動させるように外内移動装置を制御する制御部を更に備えてもよい。
　この態様によれば、外内移動装置及び棚部分変位装置を順序よく制御し、一の荷及び二の荷を連続して効率よく入庫することが可能である。
　本発明の他の見地に係る保管庫は、上記課題を解決するために、天井に設けられた軌道に沿って走行すると共に荷を搬送する搬送車との間で荷の入庫が行われる保管庫である。保管庫は、筐体と、入庫ポートと、内部移動装置と、複数の棚部分と、外内移動装置と、棚部分間移動装置とを備えている。筐体は、鉛直方向に並んだ複数段を有しており、荷を入れることが可能な入口が、複数段のうち少なくとも一つの段に対応して少なくとも一つ設けられている。入庫ポートは、筐体外にて入口に隣接しており、荷を載置可能である。内部移動装置は、筐体内にて荷を少なくとも水平一方向に移動可能であると共に鉛直方向に移動可能である。複数の棚部分は、筐体内に、複数段の各々において少なくとも水平一方向に並んでおり、内部移動装置により移動される荷を載置可能に構成されている。外内移動装置は、複数の棚部分のうち入口に隣接する一の棚部分と入庫ポートとの間で入口を介して荷を移動可能である。棚部分間移動装置は、一の棚部分と複数の棚部分のうち一の棚部分に隣接する二の棚部分との間で、荷を移動可能である。
　この保管庫によれば、連続する入庫に対応すべく、例えばローラ機構やコンベア機構、アーム機構等の棚部分間移動装置が設けられている。、例えば、外内移動手段装置が入庫ポートから一の棚部分に一の荷を移動すると、次に、棚部分間移動装置が一の棚部分に載置された一の荷を二の棚部分に移動させる。この後、外内移動装置が入庫ポートから一の棚部分に二の荷が移動するのに相前後して、内部移動装置が二の棚部分に載置されている一の荷を他の棚部分に移動させる。次に、棚部分間移動装置が、一の棚部分に載置された二の荷を二の棚部分に移動させる。このように、入口一の棚部分に荷が載置されると直ちに、一の棚部分にその荷が移載される。このようにして、次に入庫ポートから入庫される荷に備えることができる。これにより、入庫ポートから一の棚部分を経て二の棚部分に荷が迅速に移動され、入庫ポートが荷を支持する時間が短くなる、言い換えれば搬送車が入庫位置に停止する時間が短くなる。
　なお、棚部分間移動装置は、内部移動装置と別体に構成されるが、一の棚部分と二の棚部分との間で荷を移動可能であれば特に限定されず、内部移動装置と同一の構成を有してもよい。また、外内移動装置は、入庫ポート及び一の棚部分間で荷を移動可能であれば特に限定されず、内部移動装置及び／又は棚部分間移動装置と同一の構成を有してもよい。
　以上のように、入庫ポートから保管庫内に移動された荷を一時的に載置可能である棚部分を少なくとも２つ設けると共に、一の棚部分に荷が載置されるや否や、二の棚部分にその荷を退かせることで、一の棚部分を空けることができる。これにより、内部移動装置の動作状況に関わらず、入庫ポートからの連続する入庫を効率的に行うことが可能である。
　外内移動装置は、荷を底側から支持可能な第１載置面を有する第１載置部と、第１載置部を、一の棚部分と入庫ポートとの間で移動可能である第１移動部とを有していてもよい。棚部分間移動装置は、荷を底側から支持可能な第２載置面を有する第２載置部と、第２載置部を、一の棚部分と二の棚部分との間で移動可能である第２移動部とを有していてもよい。入庫ポート、一の棚部分、及び二の棚部分は、第１載置部又は第２載置部が支持する荷の部分とは異なる荷の部分を支持する支持部をそれぞれ有している
　この態様によれば、例えば、第１載置部又は第２載置部と、入庫ポート、一の棚部分、及び二の棚部分の支持部とは、荷の底面における相異なる部分を支持するように構成されており、どちらか一方で荷を支持することが可能である。したがって、入庫ポートの支持部に支持された荷は、外内移動装置の第１載置部によって上昇させられ、一の棚部分の支持部の上方に移動させられ、最後に下降させられて一の棚部分の支持部に載置される。さらに、一の棚部分の支持部に支持された荷は、棚部分間移動装置の第２載置部によって上昇させられ、二の棚部分の支持部の上方に移動させられ、最後に下降させられて二の棚部分の支持部に載置される。
　以上のように、外内移動装置により一の棚部分と入庫ポートとの間で、棚部分間移動装置により一の棚部分と二の棚部分との間で、荷をそれぞれ移載することが可能である。
　保管庫は、複数の荷が保管庫に入庫されるすべき場合に、一の搬送車から入庫ポートに載置された一の荷を、入庫ポートから一の棚部分に移動させるように外内移動装置を制御し、続いて一の棚部分から一の荷を二の棚部分に移動させるように棚部分間移動装置を制御し、続いて二の搬送車から入庫ポートに載置された二の荷が、入庫ポートから一の棚部分に移動するように外内移動装置を制御する制御部を更に備える。
　この態様によれば、外内移動装置及び棚部分間移動装置を順序よく制御し、一の荷及び二の荷を連続して効率よく入庫することが可能である。
　入庫ポートの支持部と、入庫位置に停止された搬送車の下面との間の距離は、荷の一つ分の高さより短くてもよい。
　この態様によれば、詳細には、入庫ポートの支持部と、入庫位置に位置する搬送車の下面と間の距離を、荷の一つ分の高さより短くすることにより、入庫ポート及び搬送車間での移載時に、搬送車外部に荷の少なくとも上部が露呈しなくなっている。これにより、荷が大型化する前と比較して、入庫ポートにおける鉛直方向の位置が殆ど又は全く下がらないで済む。従って、入庫ポートについて、荷の大型化に対応しつつ上述した安全上の高さを維持することが可能となる。
　入庫ポートは、載置された荷の位置決めを行う位置決め構造を有し、搬送車は、入出庫位置に停止された際に、外内移動装置により水平移動する荷が通過可能に開いている開口を有する本体部と、本体部の内部に荷を保持可能な保持部と、保持部により保持された荷を、位置決め構造により位置決めした位置決め位置と位置決め位置から解除した解除位置との間で変位させるように昇降可能な昇降部とを有してもよい。
　このように構成すれば、位置決め構造を利用することで、次のように入出庫を効率的に行える。ここに「位置決め構造」とは、入庫ポートの上面に設けられた複数の位置決めピン等の凸部であって、入庫ポートと搬送車との間で荷を移載する際の所定の移載位置を意味する。例えば凸部は、荷の底面に設けられた凹部に係合可能であってもよい。具体的には、例えば、荷を入庫すべき場合に、入庫位置に停止された搬送車において、グリッパ等の保持部により入庫すべき荷が保持されており、ホイスト等の昇降部により保持部ごと荷が下降され、入庫ポート上に載置される。この際に、荷が位置決め位置に位置する。ここに「位置決め位置」とは、入庫ポート側の凸部に荷側の凹部が係合されている状態を示す。続いて、位置決め位置にある荷が、外内移動装置により、入口を介して入口に隣接する棚部分に移動される。この際に、荷が、本体部に形成された開口を通過して、搬送車内部からその側方へ移動される。
　以上のように、入庫の動作における荷の昇降について、昇降部は、荷を位置決め位置及び解除位置間の距離、即ち位置決め構造の鉛直方向の長さに対応する距離だけ昇降させればよく、入庫に係る時間をより短縮して、より効率よく入庫することが可能となる。
　本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。
第１実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す斜視図である。 図１の保管庫の内部構造を模式的に示す一方向断面図である。 図１の保管庫の内部構造を模式的に示す他方向断面図である。 図３の棚部分変位装置の動作を説明するための斜視図である。 図１の制御部による第１連続入庫処理を示すフローチャートである。 図１の制御部による第１連続出庫処理を示すフローチャートである。 第２実施形態に係る保管庫の内部構造を模式的に示す他方向断面図である。 図７の棚部分間移動装置の動作を説明するための斜視図である。 第２実施形態に係る第２連続入庫処理を示すフローチャートである。 第２実施形態に係る第２連続出庫処理を示すフローチャートである。 本発明に係る保管庫の一例を示す斜視図である。
（前提となる構成及び課題）
　本発明に係る保管庫では、例えばＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ　Ｈｏｉｓｔ　Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）等の搬送車により、例えばＦＯＵＰ等の荷の入出庫が行われる。ここに「搬送車」は、天井走行型の、所謂、ビークルであって、荷の入出庫を行う際に、例えば半導体素子製造工場或いは半導体素子製造用の施設等の天井又は天井近傍に敷設されたレール等の軌道に沿って走行する。具体的には、荷を入庫する際に、例えばグリッパ等により入庫すべき荷を保持する搬送車が、軌道における、当該保管庫に対応する所定の入出庫位置に到達し、停止する。すると、例えばホイスト等により、グリッパ等及びこれに保持された入庫すべき荷が鉛直方向に下降し、当該保管庫の内外で荷を出し入れするための入庫ポートに該荷が載置される。すると、グリッパ等から入庫すべき荷が解放される。この後、解放された荷が保管庫内へ移動する。これにより、搬送車が走行可能な状態となり、搬送車による荷の入庫が完了する。
　一方、荷を出庫する際に、空荷の搬送車が上述した入出庫位置に到達し、停止する。この後、保管庫内の出庫すべき荷が搬送車下方に位置する入庫ポートに移動する。すると、上述したホイスト等により、上述したグリッパ等が鉛直方向に下降し、グリッパ等により、入庫ポートに載置されている出庫すべき荷が搬送車側に保持される。すると、ホイスト等により、グリッパ等及びこれに保持された出庫すべき荷が鉛直方向に上昇する。これにより、搬送車が走行可能な状態となり、搬送車による荷の出庫が完了する。
　当該保管庫について、その外観は、筐体又はフレームにより構成されており、該筐体又はフレーム内には、複数の棚部分が配列されている。ここに「複数の棚部分」とは、鉛直方向に一又は複数列配列された複数の載置面を有する棚列を示す。例えば、鉛直方向にｍ（但し、ｍは２以上の自然数）段、水平一方向にｎ（但し、ｎは１以上の自然数）列、且つこれに垂直である残る水平一方向（以下、単に「厚み方向」と称する）にはｏ（但し、ｏは１以上の自然数）列といった具合に、例えば薄く且つ横に細長い平板形状となるように、棚全体の骨格が構成されてもよい。搬送車により当該保管庫に入庫された荷は、例えばローラ機構やコンベア機構等の外内移動装置により、入庫ポートから、典型的に入庫及び出庫用に２つ設けられる入口を介して、複数の棚部分のうち入口に隣接する棚部分に水平移動される。すると、例えばロボットアーム等の保管庫内搬送装置たる内部移動装置（所謂、スタッカ）が、複数の棚部分間を、例えば鉛直方向及び水平一方向という２方向或いは２軸方向に移動し、入口に隣接する棚部分の荷が、複数の棚部分のうち他の棚部分に移動される。即ち、保管庫内搬送され、入庫された荷が当該保管庫に収容或いは保管される。
　ここで、当該保管庫に対し、複数の搬送車から複数の荷を連続して入庫する場合、典型的に、一の搬送車が入出庫位置に停止し、一の荷を入庫ポートに載置する。すると、一の荷が入庫ポートから当該保管庫内部に水平移動するのに相前後して、空荷の一の搬送車が走行を開始し入出庫位置から離れる。続いて、二の搬送車が入出庫位置に停止し、二の荷を入庫ポートに載置する。すると、二の荷が入庫ポートから当該保管庫内部に水平移動するのに相前後して、空荷の二の搬送車が走行を開始し入出庫位置から離れる。こうした連続する入庫にかかる所要時間は、仮に何らの工夫を施さないとすれば、入庫ポートが荷を支持する時間が長い程、言い換えれば入庫のために搬送車が入出庫位置に停止する時間が長い程、長期化し、連続する入庫が非効率に行われることとなる。
　以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
（第１実施形態）
　（第１実施形態の構成）
　図１から図３を参照して、本発明の第１実施形態に係る保管庫の構成について説明する。ここに図１は、第１実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す斜視図であり、図２は、図１の保管庫の内部構造を模式的に示す、図１の保管庫を前後方向（即ち、「一方向」と称する）に切断した場合の一方向断面図であり、図３は、図２の棚部分変位装置の動作を説明するために、図１の保管庫の上面を水平面で切断した場合の他方向断面図である。
　図１において、搬送システム１０００は、レールＲ１、ビークル１０及びストッカ２０の他、制御系として、搬送指示部１００、ビークルコントローラ１０１及びストッカコントローラ１０２を備える。搬送システム１０００は、半導体素子製造における搬送スケジュールに従って、各種製造装置及びストッカ２０等に対してＦＯＵＰ３の搬送を行うと共に、ストッカ２０においてＦＯＵＰ３の収納或いは保管を行う。
　ＦＯＵＰ３は、本発明に係る「荷」の一例として、ビークル１０によりレールＲ１に沿って搬送されると共に、ストッカ２０内で、入庫若しくは出庫、又は保管位置の調整のために搬送（即ち、保管庫内搬送）される。ＦＯＵＰ３は、その上面に、ビークル１０及び後述する自動搬送装置３０により把持されるフランジ４を備えている。図３に示すように、ＦＯＵＰ３は、その下面中央部及び側部に、複数の凹部５，６を有する。下面側部に位置する凹部５は、後述するポートＰ１，Ｐ２及び複数の棚部分２１，２３の各々における凸部に対応するサイズに形成されている。一方、下面中央部に位置する凹部６は、後述する載置部３１に設けられた凸部３２に対応するサイズに形成されている。
　レールＲ１は、本発明に係る「軌道」の一例として、半導体素子製造施設の天井に敷設されており、ビークル１０が走行するための軌道の役割を果たす。レールＲ１の下方且つこれに隣接する位置に、各種製造装置及びストッカ２０等が設置されている。レールＲ１において、ポートＰ１，Ｐ２の鉛直上方に位置するレール部分は、入出庫位置として設定されている。
　図２において、ビークル１０は、本発明に係る「搬送車」の一例として、リニアモータを動力源とするＯＨＴ（天井走行車）であって、レールＲ１に沿って走行し、ＦＯＵＰ３を搬送すると共に、レールＲ１上の入出庫位置で停止し、各種製造装置及びストッカ２０等にそれぞれ備えられたポート（例えば、ポートＰ１）との間でＦＯＵＰ３を移載可能に構成されている。ビークル１０は、本体部１０ａ、ホイスト１１、ベルト１２及びグリッパ１３を備えており、これら各部は、ビークルコントローラ１０１により制御される。
　本体部１０ａは、内部に、ＦＯＵＰ３全体を収容可能な空間を有する。この空間は、下方及び少なくとも一側方（具体的には、図２における本体部１０ａの右側方）に開放されている。即ち、本体部１０ａにおいて、空間の下方に位置する開口は、本体部１０ａ内部に収容されているＦＯＵＰ３が鉛直方向に昇降可能であるサイズに形成されている。また、空間の一側方に位置する開口Ｈ０は、ポートＰ１，Ｐ２に載置されたＦＯＵＰ３が前記一側方に水平移動可能であるサイズに形成されている。
　ホイスト１１は、ビークル１０内部に取り付けられている。ホイスト１１は、ベルト１２と共に本発明に係る「昇降装置」の一例を成しており、アクチュエータ或いはモータにより駆動され、ベルト１２を巻き上げ又は巻き下げ可能に構成されている。ベルト１２について、その一端がホイスト１１に固定され、その他端がグリッパ１３に固定されている。グリッパ１３は、本発明に係る「保持装置」の一例として、アクチュエータ或いはモータにより駆動され、フランジ４を把持することによりＦＯＵＰ３を保持する保持状態、及びＦＯＵＰ３（言い換えれば、フランジ４）を解放する解放状態間で変位可能に構成されている。
　ホイスト１１は、ベルト１２の巻き上げ又は巻き下げ動作により、グリッパ１３を昇降する。このグリッパ１３（言い換えれば、ＦＯＵＰ３）の昇降距離は、例えば、ポートＰ１，Ｐ２に、本発明に係る「位置決め装置」の一例たる位置決めピンが設けられている場合、その位置決めピンの長さに若干の有余を加えた距離とする。
　ストッカ２０は、本発明に係る「第１の保管庫」の一例として、ビークル１０により搬送されるＦＯＵＰ３を複数収容或いは保管可能である。ストッカ２０は、本体部２０ａ、ポートＰ１，Ｐ２、複数の棚部分２１，２３、自動搬送装置３０、並びにバッファ装置４０を備える。
　本体部２０ａ（即ち、本発明に係る「筐体又はフレーム」の一例）には、レールＲ１側の側面（即ち、図１における右面）に、入出庫用の２つの開口Ｈ１，Ｈ２が設けられている。２つの開口Ｈ１，Ｈ２は、本発明に係る「入口」の一例として、ポートＰ１，Ｐ２にそれぞれ隣接しており、ポートＰ１又はＰ２と本体部２０ａ内部との間で、ＦＯＵＰ３を出し入れ可能であるサイズに形成されている。本体部２０ａ内部には、複数の棚部分２１，２３、自動搬送装置３０及びバッファ装置４０が設けられている。なお、本実施形態では、ストッカ２０における、２つの開口Ｈ１，Ｈ２のうち一の開口Ｈ１に係る構成及び動作について詳述し、開口Ｈ１と同一の他の開口Ｈ２に係る構成及び動作については省略することとする。
　ポートＰ１は、本発明に係る「入庫ポート」の一例として、本体部２０ａのレールＲ１側の外面に開口Ｈ１に隣接して、且つビークル１０とストッカ２０との間でＦＯＵＰ３を移載可能にレールＲ１の鉛直下方向に設けられている。ポートＰ１は、ビークル１０から移載されたＦＯＵＰ３を、開口Ｈ１を介して、本体部２０ａ内部へ向けて水平移動可能なコンベア４１を備える。
　コンベア４１は、本発明に係る「外内移動装置」の一部として機能し、アクチュエータ或いはモータにより駆動され、ポートＰ１上のＦＯＵＰ３を、複数の棚部分２１，２３のうち、開口Ｈ１に隣接する棚部分（即ち、図２において二点鎖線で示されるエリアＡ１に位置する）上に水平移動するように構成されている。コンベア４１は、ＦＯＵＰ３の下面側部を支持可能な載置面をそれぞれ有する、一対のコンベア部分４１ａ，４１ｂから構成されている。これら載置面は、入出庫位置に停止したビークル２の下面から、鉛直下方向に距離Ｌ１（即ち、図２に示される）をとった高さにそれぞれ設定されている。距離Ｌ１は、ＦＯＵＰ３の１つ分の高さより短いものとする。
　複数の棚部分２１，２３について、鉛直方向に７段、各段における水平一方向（即ち、図１における前後方向）に３列、且つ各段における厚み方向（即ち、図１における左右方向）に２列として、合計４２個の棚部分が設置可能である。本実施形態では、最上段における厚み方向（即ち、図３における左右方向）の２列のうち開口Ｈ１側の１列について、水平一方向（即ち、図３における上下方向）に通例３個であるところを２個のみとしている。即ち、複数の棚部分２１，２３は、合計４１個の棚部分から構成されることとなる。
　図３において、複数の棚部分２１，２３のうち、上述した最上段における開口Ｈ１側の２個の棚部分は、本発明に係る「第１棚部分」及び「第２棚部分」の一例として、連結部４７（図３及び図４）によって相互に連結されており、可動棚部分２３を構成している。可動棚部分２３は、後述する変位機構により駆動され、レールＲ１の方位に対し平行な方向（即ち、水平一方向）に移動可能に構成されている。可動棚部分２３は、第１バッファＢ１と第２バッファＢ２と有している。第１バッファ１と第２バッファＢ２は、開口Ｈ１付近における軌道Ｒ１の延長方向に平行な方向に並んでいる。第１バッファＢ１及び第２バッファＢ２は、ＦＯＵＰ３の下面側部を支持可能な載置面をそれぞれ有する、一対の載置部である搬送ベルト２３ａ，２３を有している。
　他方、複数の棚部分２１，２３のうち、他の各棚部分２１は、固定されておりＦＯＵＰ３の下面側部を支持可能な載置面を有し、その載置面は、第１直線部と、その両側から一方向に延びる一対の第２直線部とから構成されている。各載置面には、凸部２２が設けられている。凸部２２は、ＦＯＵＰ３の下面側部に形成された凹部５に係合可能であるサイズに形成されている。
　自動搬送装置３０は、本発明に係る「内部移動装置」の一例として、ストッカコントローラ１０２の制御により、複数の棚部分２１，２３間でＦＯＵＰ３を自動的に搬送可能な保管庫内搬送装置たるスタッカ（或いはスタッカロボット）である。自動搬送装置３０は、載置部３１、本体部３０ａ、鉛直ガイド部３４及び水平伸縮旋回アーム（以下、適宜単に「アーム」と称する）３５を備えており、スライドガイドとしての複数のローラ３３、鉛直ガイド部３４及び水平伸縮旋回アーム３５の各部が、ストッカコントローラ１０２により制御される。
　載置部３１は、複数のローラ３３による水平一方向への駆動、鉛直ガイド部３４による鉛直方向への駆動、及びアーム３５による厚み方向への駆動により、複数の棚部分２１，２３間を往復移動可能に構成されている。載置部３１は、ＦＯＵＰ３の下面中央部を支持可能な載置面（即ち、本発明に係る「第１載置面」の一例）を有する。図３において、載置部３１は、その載置面に、凸部３２を有する。凸部３２は、ＦＯＵＰ３の下面中央部に形成された凹部６に対応するサイズに形成されており、ＦＯＵＰ３の移載時にこの凹部６に係合される。
　本体部３０ａの底面には、アクチュエータ或いはモータにより駆動する複数のローラ３３が、ストッカ２０内部の床面に敷設されたレールＲ２０上を回転可能に取り付けられている。本体部３０ａには、上下方向に、鉛直ガイド部３４が固定されている。本体部３０ａは、複数のローラ３３の回転により、鉛直ガイド部３４（言い換えれば、載置部３１）を水平一方向に移動可能に構成されている。
　鉛直ガイド部３４には、アーム３５が鉛直方向にのみ移動可能に取り付けられている。鉛直ガイド部３４は、アクチュエータ或いはモータにより鉛直方向に回動する機構３４ａと、該機構３４ａにおける回動部位に固定された回動部３４ｂとから成っている。鉛直ガイド部３４は、機構３４ａの動作により、回動部３４ｂの上面に旋回自在に取り付けられたアーム３５（言い換えれば、載置部３１）を鉛直方向に往復移動可能に構成されている。
　アーム３５には、載置部３１が厚み方向にのみ移動可能に取り付けられている。アーム３５は、上下方向に連結された２つのアーム部から成っている。これら２つのアーム部は、アクチュエータ（例えば、油圧シリンダ等）或いはモータにより相互に旋回することにより、厚み方向に伸縮自在に構成されている。アーム３５は、２つのアーム部の動作により、２つのアーム部のうち上方のアーム部に固定された載置部３１を厚み方向に往復移動可能に構成されている。
　バッファ装置４０は、入出庫ポートＰ１に搬入された荷を本体部２０ａ内の開口Ｈ１付近において仮置きさせるための装置である。バッファ装置４０は、可動棚部分２３と、本発明に係る「棚部分変位装置」の一例としての変位機構３９とを備える。
　次に、図４を参照して、バッファ装置４０の変位機構３９について詳細に説明する。ここに図４は、図３のバッファ装置４０の外観を詳細に示す斜視図である。
　図４において、変位機構３９は、変位ガイド４８、モータ４９及びボール螺子５０から構成されており、モータ４９がストッカコントローラ１０２により制御される。
　連結部４７の下部には、水平一方向に敷設された変位ガイド４８が嵌合されている。具体的には、一対の連結部４７に対して第１変位ガイド４８ａ及び第２変位ガイド４８ｂがそれぞれ設けられている。また、連結部４７には、モータの駆動により回転するボール螺子５０が取り付けられている。連結部４７は、このボール螺子５０の回転により、変位ガイド４８に沿って水平一方向に往復移動し、第１バッファＢ１及び第２バッファＢ２のいずれかを開口Ｈ１に隣接する位置に配置するように構成されている。
　上述した変位機構３９により、開口Ｈ１に隣接する位置に配置された第１バッファＢ１又は第２バッファＢ２は、本発明に係る「外内移動装置」の一部として機能し、各載置面上のＦＯＵＰ３をポートＰ１上に水平移動するように構成されている。次に、こうした第１バッファＢ１及び第２バッファＢ２の構成について説明する。
　第１バッファＢ１及び第２バッファＢ２は、ＦＯＵＰ３の下面側部を支持可能な一対の搬送ベルト２３ａ，２３ｂ、駆動源たるモータ４３、該モータ４３の駆動により回転する駆動ローラ４４、該駆動ローラ４４と共に一方の搬送ベルト２３ａを回動する補助ローラ４５、及び一方の搬送ベルト２３ａの回動を他方の搬送ベルト２３ｂに伝達する伝達シャフト４６から構成されている。なお、本実施形態では、上述したコンベア４１は、ポートＰ１上のＦＯＵＰ３を、開口Ｈ１に隣接する棚部分（第１バッファＢ１又は第２バッファＢ２）上に移動するように構成されている。
　再び図１において、搬送指示部１００は、メインコントローラたる製造指示部における半導体素子製造スケジュールに基づいてＦＯＵＰ３の搬送スケジュールを作成し、該搬送スケジュールに基づいて、ビークルコントローラ１０１及びストッカコントローラ１０２を制御可能に構成された、ＭＣＳ（Ｍａｔｅｒｉａｌ　Ｃｏｎｔｒｏｌ　Ｓｙｓｔｅｍ）である。搬送指示部１００は、ビークルコントローラ１０１に対し、ビークル１０によるＦＯＵＰ３の搬送を指示すると共に、ストッカコントローラ１０２に対し、ストッカ２０内部におけるＦＯＵＰ３の搬送を指示可能に構成されている。
　ビークルコントローラ１０１は、搬送指示部１００の指示により、ビークル１０各部を制御し、レールＲ１に沿ったＦＯＵＰ３の搬送を実行すると共に、各種製造装置及びストッカ２０等との間でＦＯＵＰ３の移載を実行可能に構成されている。
　ストッカコントローラ１０２は、搬送指示部１００の指示により、ポートＰ１及び自動搬送装置３０の各部を制御し、ビークル１０との間でポートＰ１を介してＦＯＵＰ３の移載（即ち、入庫若しくは出庫）を実行すると共に、自動搬送装置３０各部を制御し、ストッカ２０内部におけるＦＯＵＰ３の搬送（即ち、保管庫内搬送）を実行可能に構成されている。また、ストッカコントローラ１０２は、本発明に係る「制御部」の一例として、バッファ装置４０の各部を制御し、連続する入庫及び出庫に対応すべく、後述する第１連続入庫処理及び第１連続出庫処理を実行可能に構成されている。即ち、上述した入庫若しくは出庫と保管庫内搬送との動作間で、保管庫内バッファたる可動棚部分２３を使用してＦＯＵＰ３の一時的収容或いは保管を行う。
　（第１実施形態の動作）
　　（第１連続入庫処理）
　次に、再び図４、及び図５を参照して、ストッカコントローラ１０２による第１連続入庫処理について説明する。ここに図５は、第１連続入庫処理を示すフローチャートである。第１連続入庫処理では、一のビークル１０により一のＦＯＵＰ３が入庫された後に、二のビークル１０により二のＦＯＵＰ３が入庫される際の動作が示される。また、初期状態として、可動棚部分２３が第１位置をとるものとする。第１位置では、最初に入庫すべき一のＦＯＵＰ３を支持可能に、空荷の第１バッファＢ１が開口Ｈ１に隣接する位置にある。
　図５において、先ずビークルコントローラ１０１の制御により、一のビークル１０が入出庫位置に停止される（ステップＳ４１）。すると、一のビークル１０に保持されている一のＦＯＵＰ３がその底面とコンベア４１の載置面とが接触する高さまで下降されると共に、一のＦＯＵＰ３がグリッパ１３から解放されることにより、ポートＰ１に移載される（ステップＳ４２）。この際、ＦＯＵＰ３の上部が、ビークル１０の下方で露呈されていない。次に、ストッカコントローラ１０２の制御によりコンベア４１が回動され、ポートＰ１上の一のＦＯＵＰ３が、ビークル１０の開口Ｈ０及びストッカ２０の開口Ｈ１を介して、図４における第１バッファＢ１上に移動される（ステップＳ４３）。この後、ビークルコントローラ１０１の制御により、一のビークル１０が次の搬送元に向けて走行される（ステップＳ４４）。すると、ストッカコントローラ１０２の制御によりモータ４９が駆動され、可動棚部分２３が、第１位置から第２位置に移動させられる。第２位置では、次に入庫すべき二のＦＯＵＰ３を支持可能に、空荷の第２バッファＢ２が開口Ｈ１に隣接する位置にある（ステップＳ４５）。なお、ステップＳ４５の動作は、ステップＳ４４の動作と並行して、又はステップＳ４４より前に行われても構わない。
　続いて、ビークルコントローラ１０１の制御により、二のビークル１０が入出庫位置に停止される（ステップＳ４６）。すると、二のビークル１０に保持されている二のＦＯＵＰ３が、ポートＰ１に移載されると共に（ステップＳ４７）、ストッカコントローラ１０２の制御により、ポートＰ１上の二のＦＯＵＰ３が、開口Ｈ１に隣接する第２バッファＢ２上に移動される（ステップＳ４８）。この後、ビークルコントローラ１０１の制御により、二のビークル１０が次の搬送元に向けて走行される（ステップＳ４９）。すると、ストッカコントローラ１０２の制御により、可動棚部分２３が、第２位置から再び第１位置をとるように移動される（ステップＳ５０）。これにより、一連の第１連続入庫処理が終了される。
　　（第１連続出庫処理）
　次に、再び図４、及び図６を参照して、ストッカコントローラ１０２による第１連続出庫処理について説明する。ここに図６は、第１連続出庫処理を示すフローチャートである。第１連続出庫処理では、一のビークル１０により一のＦＯＵＰ３が出庫された後に、二のビークル１０により二のＦＯＵＰ３が出庫される際の動作が示される。また、初期状態として、可動棚部分２３が第１位置をとるものとする。第１位置では、最初に出庫すべき第１のＦＯＵＰ３を支持している第１バッファＢ１が開口Ｈ１に隣接する。
　図６において、先ずビークルコントローラ１０１の制御により、一のビークル１０が入出庫位置に停止される（ステップＳ５１）。すると、ストッカコントローラ１０２の制御により第１バッファＢ１の搬送ベルト２３ａ，２３ｂが回動され、第１バッファＢ１上の一のＦＯＵＰ３が、ストッカ２０の開口Ｈ１及びビークル１０の開口Ｈ０を介してポートＰ１上に移動される（ステップＳ５２）。すると、ビークルコントローラ１０１の制御により、ポートＰ１上の一のＦＯＵＰ３がグリッパ１３に保持されると共に、一のＦＯＵＰ３がその底面とコンベア４１の載置面とが非接触となる高さまで上昇されることにより、一のビークル１０に移載される（ステップＳ５３）。この後、一のビークル１０が次の搬送先に向けて走行される（ステップＳ５４）。すると、ストッカコントローラ１０２の制御によりモータ４９が駆動され、可動棚部分２３が、第１位置から第２位置をとるように移動される（ステップＳ５５）。第２位置では、次に出庫すべき二のＦＯＵＰ３を支持している第２バッファＢ２が開口Ｈ１に隣接する。なお、ステップＳ５５の動作は、ステップＳ５３及びステップＳ５４の動作と並行して、又はステップＳ５３及びステップＳ５４より前に行われてもよい。
　続いて、ビークルコントローラ１０１の制御により、二のビークル１０が入出庫位置に停止される（ステップＳ５６）。すると、ストッカコントローラ１０２の制御により、第２バッファＢ２上の二のＦＯＵＰ３が、ポートＰ１上に移動される（ステップＳ５７）。すると、ビークルコントローラ１０１の制御により、ポートＰ１上の二のＦＯＵＰ３が、二のビークル１０に移載される（ステップＳ５８）。この後、二のビークル１０が次の搬送先に向けて走行される（ステップＳ５９）。すると、ストッカコントローラ１０２の制御により、可動棚部分２３が、第２位置から、初期状態をとるべく第１位置をとるように移動される（ステップＳ６０）。これにより、一連の第１連続出庫処理が終了される。
　以上のように、本実施形態の第１連続入庫処理によれば、ポートＰ１からストッカ２０内部に移動されたＦＯＵＰ３を一時的に載置可能である第１バッファＢ１及び第２バッファＢ２を少なくとも２つ設けると共に、各入庫に際して第１バッファＢ１及び第２バッファＢ２を開口Ｈ１に交互に隣接させる。これにより、自動搬送装置３０の動作状況に関わらず、ポートＰ１からの連続する入庫を効率的に行うことが可能である。出庫処理も同様である。
　また、本実施形態の第１連続入庫処理及び第１連続出庫処理によれば、ポートＰ１と、入出庫位置に停止されたビークル１０との間の鉛直方向の距離Ｌ１を、ＦＯＵＰ３の一つ分の高さより短くすることで、移載時にＦＯＵＰ３の少なくとも上部を露呈させないようにしている。これにより、ＦＯＵＰ３の大型化以前と比較して、ポートＰ１の鉛直方向の配置が下がらない。従って、ＦＯＵＰ３の大型化に対応しつつ安全上の高さを維持することが可能となる。
　（第１実施形態の特徴）
　上述の第１実施形態の特徴は以下の通りである。ストッカ２０は、天井に設けられた軌道Ｒ１に沿って走行すると共にＦＯＵＰ３を搬送するビークル１０との間でＦＯＵＰ３の入庫が行われるストッカ２０である。ストッカ２０は、本体部２０ａと、ポートＰ１と、自動搬送装置３０と、棚部分２１と、可動棚部分２３と、変位機構３９と、コンベア４１とを備えている。本体部２０ａは、鉛直方向に並んだ複数段を有しており、複数段のうち少なくとも一つの段に対応して少なくとも一つ設けられている開口Ｈ１を有している。ポートＰ１は、本体部２０ａ外にて開口Ｈ１に隣接しており、ＦＯＵＰ３を載置可能である。自動搬送装置３０は、本体部２０ａ内にてＦＯＵＰ３を少なくとも水平一方向に移動可能であると共に鉛直方向に移動可能である。複数の棚部分２１は、本体部２０ａ内に、複数段の各々において少なくとも水平一方向に並んでおり、自動搬送装置３０により移動されるＦＯＵＰ３を載置可能に構成されている。可動棚部分２３は、相互に連結された第１バッファＢ１及び第２バッファＢ２を有して移動可能である。変位機構３９は、第１バッファＢ１が開口Ｈ１に隣接する第１位置と第２バッファＢ１が開口Ｈ１に隣接する第２位置との間で、可動棚部分２３を変位可能である。コンベア４１は、開口Ｈ１に隣接する位置にある第１バッファＢ１又は第２バッファＢ２と、ポートＰ１との間で開口Ｈ１を介してＦＯＵＰ３を移動可能である。
　例えば、コンベア４１が入庫ポートから、開口Ｈ１に隣接する第１バッファＢ１に一のＦＯＵＰ３が移動させると、次に変位機構３９が可動棚部分２３を第１位置から第２位置に変位させる。この結果、開口Ｈ１には、第１バッファＢ１に代わって、ＦＯＵＰ３が載っていない第２バッファＢ２が隣接する。この後、コンベア４１が、ポートＰ１から、第２バッファＢ２に二のＦＯＵＰ３を移動するのに前後して、自動搬送装置３０が第１バッファＢ１に載置されている一のＦＯＵＰ３を棚部分２１に移動させる。そして、変位機構３９が、可動棚部分２３を第２位置から第１位置に変位させる。この結果、開口Ｈ１には、第２バッファＢ２に代わって、空荷の第１バッファＢ１が隣接する。このように、開口Ｈ１に隣接する棚部分にＦＯＵＰ３が載置されると直ちにＦＯＵＰ３が載った棚部分を退避させ、代わりにＦＯＵＰ３が載ってない棚部分を開口Ｈ１に隣接させることで、次にポートＰ１から入庫されるＦＯＵＰ３に備える。これにより、ポートＰ１から可動棚部分２３にＦＯＵＰ３が迅速に移動され、ポートＰ１にＦＯＵＰ３が載置されている時間が短くなる、言い換えればビークル１０が入庫位置に停止する時間が短くなる。
　以上のように、ポートＰ１からストッカ２０内に移動されたＦＯＵＰ３を一時的に載置可能である棚部分（所謂、保管庫内バッファ）を少なくとも２つ設けると共に、各入庫に際して２つの棚部分を開口Ｈ１に交互に隣接させる。これにより、自動搬送装置３０の動作状況に関わらず、ポートＰ１からの連続する入庫を効率的に行うことが可能である。
　第１バッファＢ１及び第２バッファＢ２は、開口Ｈ１付近における軌道Ｒ１の延長方向に平行な方向に並んで連結されており、変位機構３９は、可動棚部分２３を、平行な方向に移動可能である。
　この態様によれば、変位機構３９により、可動棚部分２３が第１位置及び第２位置の相互間で変位される際に、軌道Ｒ１の延長方向に平行な方向に、例えば１つの棚部分の幅分移動される。これにより、開口Ｈ１に隣接する棚部分を極めて迅速に変更することが可能となる。
　複数のＦＯＵＰ３がストッカ２０に入庫されるときに、一のビークル１０からポートＰ１に載置された一のＦＯＵＰ３を、ポートＰ１から第１バッファＢ１に移動させるようにコンベア４１を制御し、続いて可動棚部分２３を第１位置から第２位置に変位させるように変位機構３９を制御し、続いて二のビークル１０からポートＰ１に載置された二のＦＯＵＰ３を、ポートＰ１から第２バッファＢ２に移動させるようにコンベア４１を制御するストッカコントローラ１０２を更に備えている。
　この態様によれば、コンベア４１及び変位機構３９を順序よく制御し、一のＦＯＵＰ３及び二のＦＯＵＰ３を連続して効率よく入庫することが可能である。
（第２実施形態）
　（第２実施形態の構成）
　次に、図７及び図８を参照して、本発明の第２実施形態に係る保管庫の構成について説明する。ここに図７は、第２実施形態に係る保管庫の内部構造を模式的に示す他方向断面図であり、図８は、第２実施形態に係る外内移動装置及び棚部分間移動装置の外観を詳細に示す斜視図である。なお、第２実施形態では、第１実施形態と同一に構成される要素について、同一の符号を付与すると共に、その説明について適宜省略する。
　図７において、ストッカ１２０は、本発明に係る「第２の保管庫」の一例として、本体部１２０ａ、ポートＰ１、複数の棚部分２１，１２３及び自動搬送装置３０の他に、ポート間移動装置１５０及びバッファ間移動装置１６０を備える。
　この実施形態では、棚部分１２３は、開口Ｈ１に隣接するバッファであり、第１バッファＢ１１及び第２バッファＢ１２から構成されている。第１バッファＢ１１は、開口Ｈ１１に隣接しており、第２バッファＢ１２は、第１バッファＢ１１に対して、開口Ｈ１付近における軌道Ｒ１の延長方向に平行な方向に並んでいる。この実施形態では、第１バッファＢ１１及び第２バッファＢ１２は本体部１２０ａに固定されている。
　ポート間移動装置１５０は、本発明に係る「外内移動装置」の一例として、ポートＰ１１と、及び第１バッファＢ１１との間でＦＯＵＰ３を移動可能に構成されている。ポート間移動装置１５０は、ＦＯＵＰ３の下面中央部を支持可能な第１アーム１５１、及び後述する移動部を備える。
　図８において、ポート間移動装置１５０における移動部は、横行ガイド１５３、横行モータ１５４、本体部１５５、昇降部１５６及び昇降モータ１５７から構成されており、横行モータ１５４及び昇降モータ１５７がストッカコントローラにより制御される。
　本体部１５５の下部には、横行ガイド１５３が嵌合されている。横行ガイド１５３は、ポートＰ１１の下方に厚み方向に設置されており、横行モータ１５４により厚み方向に回動するコンベアを含んでいる。より詳細には、横行ガイド１５３は、第１横行ガイド１５３ａと第２横行ガイド１５３ｂとから構成されている。本体部１５５は、このコンベアの回動により、第１アーム１５１を厚み方向に往復移動可能に構成されている。本体部１５５の上面には、昇降部１５６が鉛直方向にのみ移動可能に取り付けられている。昇降部１５６は、昇降モータ１５７により鉛直方向に往復移動可能に構成されている。
　バッファ間移動装置１６０は、本発明に係る「棚部分間移動装置」の一例として、第１バッファＢ１１と第２バッファＢ１２との間でＦＯＵＰ３を移動可能に構成されている。バッファ間移動装置１６０は、ポート間移動装置１５０の第１アーム１５１と同様の第２アーム１６１、及び後述する移動部を備える。
　バッファ間移動装置１６０における移動部は、横行ガイド１６３、横行モータ１６４、本体部１６５、昇降ガイド１６６及び昇降モータ１６７から構成されており、横行モータ１６４及び昇降モータ１６７がストッカコントローラにより制御される。
　本体部１６５には、横行ガイド１６３が嵌合されている。横行ガイド１６３は、第１バッファＢ１１及び第２バッファＢ１２の上方に水平一方向に設置されており、横行モータ１６４により水平一方向に回動するローラを含んでいる。本体部１６５は、このローラの回動により、第２アーム１６１を水平一方向に往復移動可能に構成されている。また、本体部１６５の上面には、昇降ガイド１６６が鉛直方向に設置されている。昇降ガイド１６６は、昇降モータ１６７により鉛直方向に回動するローラを含んでいる。本体部１６５は、このローラの回動により、第２アーム１６１を鉛直方向に往復移動可能に構成されている。
　ポート間移動装置１５０及びバッファ間移動装置１６０に共通する第１アーム１５１及び第２アーム１６１は、ＦＯＵＰ３の下面中央部を支持可能な三角形の載置面（即ち、本発明に係る「第１載置面」及び「第２載置面」の一例）を有する。第１アーム１５１及び第２アーム１６１は、複数の凸部１５２，１６２をそれぞれ有している。一方、ポートＰ１１は、ＦＯＵＰ３の下面側部を支持可能な載置面１４１（即ち、本発明に係る「支持部」の一例）を有する。載置面１４１は、第１直線部と、その両側から一方向に延びる一対の第２直線部とから構成されている。載置面１４１には、複数の凸部１４２が形成されている。また、バッファ間移動装置１６０が対応する第１バッファＢ１１及び第２バッファＢ１２の各々は、ＦＯＵＰ３の下面側部を支持可能な矩形の載置面（即ち、本発明に係る「支持部」の一例）をそれぞれ有する、一対の載置部１２３ａ，１２３ｂから構成されている。載置部１２３ａ，１２３ｂには、凸部１２４が形成されている。即ち、第１アーム１５１及び第２アーム１６１の載置面、及びポートＰ１１又は第１バッファＢ１１及び第２バッファＢ１２の載置面は、相互に相補の平面形状を有している。このような２つの載置面間で、ＦＯＵＰ３の移載が行われる。
　（第２実施形態の動作）
　　（第２連続入庫処理）
　次に、再び図８、及び図９を参照して、ストッカコントローラによる第２連続入庫処理について説明する。ここに図９は、第２連続入庫処理を示すフローチャートである。第２連続入庫処理では、図５の第１連続入庫処理と同様にして、一のビークル１０により一のＦＯＵＰ３が入庫された後に、二のビークル１０により二のＦＯＵＰ３が入庫される際の動作が示される。また、初期状態として、第１バッファＢ１１は、最初に入庫すべき第１のＦＯＵＰ３を支持可能に空荷であって、バッファ間移動装置１６０の第２アーム１６１は、ポート間移動装置１５０の第１アーム１５１の移動を妨げないように第２バッファＢ１２側に位置するものとする。
　図９において、先ずビークルコントローラの制御により、一のビークル１０が入出庫位置に停止される（ステップＳ６１）。すると、一のビークル１０に保持されている一のＦＯＵＰ３がその底面とポートＰ１の載置面１４１とが接触する高さまで下降されると共に、一のＦＯＵＰ３がグリッパ１３から解放されることにより、ポートＰ１１に移載される（ステップＳ６２）。すると、ストッカコントローラの制御により第１アーム１５１が厚み方向及び鉛直方向に移動され、ポートＰ１１及び第１バッファＢ１１の載置面に対し高低することにより、ポートＰ１１上の一のＦＯＵＰ３が、ビークル１０の開口Ｈ０及びストッカ１２０の開口Ｈ１１を介して第１バッファＢ１上に移動される（ステップＳ６３）。この後、ビークルコントローラの制御により、一のビークル１０が次の搬送元に向けて走行される（ステップＳ６４）。すると、ストッカコントローラの制御により第２アーム１６１が厚み方向及び鉛直方向に移動され、第１バッファＢ１１及び第２バッファＢ１２の載置面に対し高低することにより、第１バッファＢ１１上の一のＦＯＵＰ３が、第２バッファＢ１２上に移動される（ステップＳ６５）。
　続いて、ビークルコントローラの制御により、二のビークル１０が入出庫位置に停止される（ステップＳ６６）。すると、二のビークル１０に保持されている二のＦＯＵＰ３が、ポートＰ１１に移載されると共に（ステップＳ６７）、ストッカコントローラの制御により、ポートＰ１１上の二のＦＯＵＰ３が第１バッファＢ１上に移動される（ステップＳ６８）。この後、ビークルコントローラの制御により、二のビークル１０が次の搬送元に向けて走行される（ステップＳ６９）。すると、ストッカコントローラの制御により、第１バッファＢ１１上の二のＦＯＵＰ３が、第２バッファＢ１２上に移動される（ステップＳ７０）。これにより、一連の第２連続入庫処理が終了される。
　　（第２連続出庫処理）
　次に、再び図８、及び図１０を参照して、ストッカコントローラによる第２連続出庫処理について説明する。ここに図１０は、第２連続出庫処理を示すフローチャートである。第２連続出庫処理では、図６の第１連続出庫処理と同様にして、一のビークル１０により一のＦＯＵＰ３が出庫された後に、二のビークル１０により二のＦＯＵＰ３が出庫される際の動作が示される。また、初期状態として、第１バッファＢ１１は、最初に出庫すべき一のＦＯＵＰ３を支持しており、バッファ間移動装置１６０の第２アーム１６１は、ポート間移動装置１５０の第１アーム１５１の移動を妨げないように第２バッファＢ１２側に位置するものとする。
　図１０において、先ずビークルコントローラの制御により、一のビークル１０が入出庫位置に停止される（ステップＳ７１）。すると、ストッカコントローラの制御により第１アーム１５１が厚み方向及び鉛直方向に移動され、第１バッファＢ１１及びポートＰ１１の載置面に対し高低することにより、第１バッファＢ１１上の一のＦＯＵＰ３が、ポートＰ１１上に移動される（ステップＳ７２）。すると、ビークルコントローラの制御により、ポートＰ１１上の一のＦＯＵＰ３がグリッパ１３に保持されると共に、一のＦＯＵＰ３が底面とポートＰ１の載置面１４１とが非接触となる高さまで上昇されることにより、一のビークル１０に移載される（ステップＳ７３）。この後、一のビークル１０が次の搬送先に向けて走行される（ステップＳ７４）。すると、ストッカコントローラの制御により第２アーム１６１が厚み方向及び鉛直方向に移動され、第２バッファＢ１２及び第１バッファＢ１１の載置面に対し高低することにより、第２バッファＢ１２上の二のＦＯＵＰ３が、第１バッファＢ１１上に移動される（ステップＳ７５）。
　続いて、ビークルコントローラの制御により、二のビークル１０が入出庫位置に停止される（ステップＳ７６）。すると、ストッカコントローラの制御により、第２バッファＢ２上の二のＦＯＵＰ３が、ポートＰ１１上に移動される（ステップＳ７７）。すると、ビークルコントローラの制御により、ポートＰ１１上の二のＦＯＵＰ３が、二のビークル１０に移載される（ステップ７８）。この後、二のビークル１０が次の搬送先に向けて走行される（ステップＳ７９）。すると、ストッカコントローラの制御により、第２アーム１６１が、初期状態をとるべく第２バッファＢ１２側に移動される。これにより、一連の第２連続出庫処理が終了される。
　以上のように、本実施形態の第２連続入庫処理によれば、ポートＰ１１からストッカ１２０の本体部１２０ａ内に移動されたＦＯＵＰ３を一時的に載置可能である第１バッファＢ１１及び第２バッファＢ１２を設けると共に、第１バッファＢ１１にＦＯＵＰ３が載置されるや否や、第２バッファＢ１２にそのＦＯＵＰ３を移動させる。その結果、第１バッファＢ１１はすぐに空いた状態になる。これにより、自動搬送装置３０の動作状況に関わらず、ポートＰ１１からの連続する入庫を効率的に行うことが可能である。
　（第２実施形態の特徴）
　上述の第２実施形態の特徴は下記の通りである。ストッカ１２０は、天井に設けられた軌道Ｒ１に沿って走行すると共にＦＯＵＰ３を搬送するビークル１０との間でＦＯＵＰ３の入庫が行われるストッカである。ストッカ１２０は、本体部１２０ａと、ポートＰ１１と、自動搬送装置３０と、複数の棚部分２１と、ポート間移動装置１５０と、バッファ間移動装置１６０とを備えている。本体部１２０ａは、鉛直方向に並んだ複数段を内部に有しており、複数段のうち少なくとも一つの段に対応して設けられた少なくとも一つの開口Ｈ１を有している。ポートＰ１１は、本体部１２０ａ外にて開口Ｈ１に隣接しており、ＦＯＵＰ３を載置可能である。自動搬送装置３０は、本体部１２０ａ内にてＦＯＵＰ３を少なくとも水平一方向に移動可能であると共に鉛直方向に移動可能である。複数の棚部分２１は、本体部１２０ａ内に、複数段の各々において少なくとも水平一方向に並んでおり、自動搬送装置３０により移動されるＦＯＵＰ３を載置可能に構成されている。ポート間移動装置１５０は、複数の棚部分のうち開口Ｈ１に隣接する第１バッファＢ１１とポートＰ１１との間で開口Ｈ１を介してＦＯＵＰ３を移動可能である。バッファ間移動装置１６０は、第１バッファＢ１１と複数の棚部分のうち第１バッファＢ１１に隣接する第２バッファＢ１２との間で、ＦＯＵＰ３を移動可能である。
　このストッカ１２０によれば、連続する入庫に対応すべく、例えばローラ機構やコンベア機構、アーム機構等のバッファ間移動装置１６０が設けられている。例えば、ポート間移動装置１５０がポートＰ１１から第１バッファＢ１１に一のＦＯＵＰ３を移動すると、次に、バッファ間移動装置１６０が第１バッファＢ１１に載置された一のＦＯＵＰ３を第２バッファＢ１２に移動させる。この後、ポート間移動装置１５０がポートＰ１１から第１バッファＢ１１に二のＦＯＵＰ３が移動するのに相前後して、自動搬送装置３０が第２バッファＢ１２に載置されている一のＦＯＵＰ３を他の棚部分に移動させる。次に、バッファ間移動装置１６０が、第１バッファＢ１１に載置された二のＦＯＵＰ３を第２バッファＢ１２に移動させる。このように、第１バッファＢ１１にＦＯＵＰ３が載置されると直ちに、第２バッファＢ１２にそのＦＯＵＰ３が移載される。このようにして、次にポートＰ１１から入庫されるＦＯＵＰ３に備えることができる。これにより、ポートＰ１１から第１バッファＢ１１を経て第２バッファＢ１２にＦＯＵＰ３が迅速に移動され、ポートＰ１１にＦＯＵＰ３を載置される時間が短くなる、言い換えればビークル１０が入庫位置に停止する時間が短くなる。
　なお、バッファ間移動装置１６０は、自動搬送装置３０と別体に構成されるが、第１バッファＢ１１と第２バッファＢ１２との間でＦＯＵＰ３を移動可能であれば特に限定されず、自動搬送装置３０と同一の構成を有してもよい。また、ポート間移動装置１５０は、ポートＰ１１及び第１バッファＢ１１間でＦＯＵＰ３を移動可能であれば特に限定されず、自動搬送装置３０及び／又はバッファ間移動装置１６０と同一の構成を有してもよい。
　以上のように、ポートＰ１１からストッカ１２０内に移動されたＦＯＵＰ３を一時的に載置可能である棚部分を少なくとも２つ設けると共に、第１バッファＢ１１にＦＯＵＰ３が載置されるや否や、第２バッファＢ１２にそのＦＯＵＰ３を退かせることで、第１バッファＢ１１を空けることができる。これにより、自動搬送装置３０の動作状況に関わらず、ポートＰ１１からの連続する入庫を効率的に行うことが可能である。
　ポート間移動装置１５０は、ＦＯＵＰ３を底側から支持可能な第１載置面を有する第１アーム１５１と、第１アーム１５１を、第１バッファＢ１１とポートＰ１１との間で移動可能である移動部とを有していてもよい。バッファ間移動装置１６０は、ＦＯＵＰ３を底側から支持可能な第２載置面を有する第２アーム１６１と、第２アーム１６１を、第１バッファＢ１１と第２バッファＢ１２との間で移動可能である移動部とを有していてもよい。入庫ポートＰ１１、第１バッファＢ１１、及び第２バッファＢ１２は、第１アーム１５１又は第２アーム１６１がＦＯＵＰ３を支持する部分とは異なる部分を支持する支持部（１４１，１２３ａ，１２３ｂ）をそれぞれ有している
　この態様によれば、例えば、第１アーム１５１とポートＰ１の載置面１４１とは、ＦＯＵＰ３の底面における相異なる部分を支持するように構成されている。さらに、第１アーム１５１と第１バッファＢ１１の載置部１２３ａ，１２３ｂとは、ＦＯＵＰ３の底面における相異なる部分を支持するように構成されている。さらに、第２アーム１６１と第１バッファＢ１１の載置部１２３ａ，１２３ｂとは、ＦＯＵＰ３の底面における相異なる部分を支持するように構成されている。さらに、第２アーム１６１と第２バッファＢ１１の載置部１２３ａ，１２３ｂとは、ＦＯＵＰ３の底面における相異なる部分を支持するように構成されている。したがって、ポートＰ１１の支持部に支持されたＦＯＵＰ３は、ポート間移動装置１５０の第１アーム１５１によって上昇させられ、第１バッファＢ１１の載置部１２３ａ，１２３ｂの上方に移動させられ、最後に下降させられて第１バッファＢ１１の載置部１２３ａ，１２３ｂに載置される。さらに、第１バッファＢ１１の載置部１２３ａ，１２３ｂに支持されたＦＯＵＰ３は、バッファ間移動装置１６０の第２アーム１６１によって上昇させられ、第２バッファＢ１２の載置部１２３ａ，１２３ｂの上方に移動させられ、最後に下降させられて第２バッファＢ１２の載置部１２３ａ，１２３ｂに載置される。
　以上のように、ポート間移動装置１５０により第１バッファＢ１１とポートＰ１１との間で、バッファ間移動装置１６０により第１バッファＢ１１と第２バッファＢ１２との間で、ＦＯＵＰ３をそれぞれ移載することが可能である。
　ストッカ１２０は、複数のＦＯＵＰ３がストッカ１２０に入庫されるときに、一のビークル１０からポートＰ１１に載置された一のＦＯＵＰ３を、ポートＰ１１から第１バッファＢ１１にさせるようにポート間移動装置１５０を制御し、続いて一のＦＯＵＰ３を第２バッファＢ１２に移動させるようにバッファ間移動装置１６０を制御し、続いて二のビークル１０からポートＰ１１に載置された二のＦＯＵＰ３が、ポートＰ１１から第１バッファＢ１１に移動するようにポート間移動装置１５０を制御するストッカコントローラを更に備える。
　この態様によれば、ポート間移動装置１５０及びバッファ間移動装置１６０を順序よく制御し、一のＦＯＵＰ３及び二のＦＯＵＰ３を連続して効率よく入庫することが可能である。
（他の実施形態）
　以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態および変形例は必要に応じて任意に組合せ可能である。
　次に、図１１を参照して、本発明に係る保管庫の一例について説明する。図１１は、本発明に係る保管庫の一例を備える搬送システムの外観を示す斜視図である。
　図１１の搬送システム２０００において、ストッカ２２０本体には、第１開口Ｈ２１及び第２開口Ｈ２２が設けられている。ストッカ２２０は、第１開口Ｈ２１に隣接する第１ポートＰ２１、及び第２開口Ｈ２２に隣接する第２ポートＰ２２を備える。こうしたストッカ２２０の各部を制御するストッカコントローラは、第１ポートＰ２１を入庫専用のポートとして、第２ポートＰ２２を出庫専用のポートとして設定する。この場合、第１及び第２ポートＰ２１，Ｐ２２に対し、上述した保管庫内バッファを機能させることにより、ストッカ２２０において入出庫されるＦＯＵＰ３の数を増倍させることが可能である。また、特に、入庫専用の第１ポートＰ２１に対してのみ、２つの保管庫内バッファを機能させることにより、出庫よりも所要時間が長いとされる入庫に係る時間を短縮し、連続する入庫をより効率的に行うことが可能である。
　前記実施形態では、入口付近のバッファにおける棚部分の数は２個あったが、本発明はこれに限定されない。バッファにおける棚部分の数は３個又はそれより多くてもよい。
３　　　　ＦＯＵＰ（荷）
４　　　　フランジ
５　　　　凹部
６　　　　凹部
１０　　　ビークル（搬送車）
１０ａ　　本体部
１１　　　ホイスト（昇降装置）
１２　　　ベルト
１３　　　グリッパ（保持装置）
２０　　　ストッカ（保管庫）
２０ａ　　本体部（筐体）
２１　　　棚部分（固定棚部分）
２２　　　凸部
２３　　　可動棚部分
２３ａ　　搬送ベルト
２３ｂ　　搬送ベルト
３０　　　自動搬送装置（内部移動装置）
３１　　　載置部
３２　　　凸部
３３　　　ローラ
３４　　　鉛直ガイド部
３４ａ　　機構
３４ｂ　　ガイド部
３５　　　アーム
３９　　　変位機構（棚部分変位装置）
４０　　　バッファ装置
４１　　　コンベア（外内移動装置）
４１ａ　　コンベア部分
４３　　　モータ
４４　　　駆動ローラ
４５　　　補助ローラ
４６　　　伝達シャフト
４７　　　連結部
４８　　　変位ガイド
４９　　　モータ
５０　　　ボール螺子
１００　　搬送指示部
１０１　　ビークルコントローラ
１０２　　ストッカコントローラ（制御部）
１２０　　ストッカ
１２０ａ　本体部
１２３　　棚部分
１２３ａ　載置部（支持部）
１２３ｂ　載置部（支持部）
１２４　　凸部
１４１　　載置面（支持部）
１４２　　凸部
１５０　　ポート間移動装置（外内移動装置）
１５１　　第１アーム（第１載置部）
１５２　　凸部
１５３　　横行ガイド
１５４　　横行モータ
１５５　　本体部
１５６　　昇降部
１５７　　モータ
１６０　　バッファ間移動装置（棚部分間移動装置）
１６１　　第２アーム（第２載置部）
１６３　　横行ガイド
１６４　　横行モータ
１６５　　本体部
１６６　　昇降ガイド
１６７　　昇降モータ
２２０　　ストッカ
Ｂ１　　　第１バッファ（一の棚部分）
Ｂ２　　　第２バッファ（二の棚部分）
Ｂ１１　　第１バッファ（一の棚部分）
Ｂ１２　　第２バッファ（二の棚部分）
Ｈ１　　　開口（入口）
Ｈ２　　　開口
Ｈ１１　　開口（入口）
Ｈ２１　　開口
Ｈ２２　　開口
Ｐ１　　　ポート
Ｐ２　　　ポート
Ｐ１１　　ポート
Ｐ２１　　ポート
Ｐ２２　　ポート
１０００　搬送車システム
２０００　搬送車システム

Claims (12)

  1. 　天井に設けられた軌道に沿って走行すると共に荷を搬送する搬送車との間で前記荷の入庫が行われる保管庫であって、
    　鉛直方向に並んだ複数段を内部に有しており、前記複数段のうち少なくとも一つの段に対応して少なくとも一つ設けられている入口を有する筐体と、
    　該筐体外にて前記入口に隣接しており、前記荷を載置可能である入庫ポートと、
    　前記筐体内にて前記荷を少なくとも水平一方向に移動可能であると共に前記鉛直方向に移動可能な内部移動装置と、
    　前記筐体内に、前記複数段の各々において前記少なくとも水平一方向に並んでおり、前記内部移動装置により移動される荷を載置可能に構成されている複数の固定棚部分と、
    　相互に連結された一の棚部分及び二の棚部分を有する移動可能な可動棚部分と、
    　前記一の棚部分が前記入口に隣接する第１位置と、前記二の棚部分が前記入口に隣接する第２位置との間で、前記可動棚部分を変位可能な棚部分変位装置と、
    　前記入口に隣接する位置にある前記一の棚部分又は前記二の棚部分と、前記入庫ポートとの間で、前記入口を介して前記荷を移動可能な外内移動装置と
    　を備えることを特徴とする保管庫。
  2. 　前記一の棚部分及び前記二の棚部分は、前記入口付近における前記軌道の延長方向に平行な第１方向に並んで連結されており、
    　前記棚部分変位装置は、前記可動棚部分を、前記第１方向に移動可能である、
    請求項１に記載の保管庫。
  3. 　当該保管庫は、複数の荷が前記保管庫に入庫されるときに、
    　一の搬送車から前記入庫ポートに載置された一の荷を、前記入庫ポートから前記一の棚部分に移動させるように前記外内移動装置を制御し、
    　続いて前記前記可動棚部分を前記第１位置から前記第２位置に変位させるように前記棚部分変位装置を制御し、
    　続いて二の搬送車から前記入庫ポートに載置された二の荷を、前記入庫ポートから前記二の棚部分に移動させるように前記外内移動装置を制御する
    　制御部を更に備える、請求項１に記載の保管庫。
  4. 　当該保管庫は、複数の荷が前記保管庫に入庫されるときに、
    　一の搬送車から前記入庫ポートに載置された一の荷を、前記入庫ポートから前記一の棚部分に移動させるように前記外内移動装置を制御し、
    　続いて前記前記可動棚部分を前記第１位置から前記第２位置に変位させるように前記棚部分変位装置を制御し、
    　続いて二の搬送車から前記入庫ポートに載置された二の荷を、前記入庫ポートから前記二の棚部分に移動させるように前記外内移動装置を制御する
    　制御部を更に備える、請求項２に記載の保管庫。
  5. 　前記入庫ポートの支持部と、入庫位置に停止された前記搬送車の下面との間の距離は、前記荷の一つ分の高さより短い
    　請求項１に記載の保管庫。
  6. 　前記入庫ポートは、前記載置された荷の位置決めを行う位置決め構造を有し、
    　前記搬送車は、
    　前記入庫位置に停止された際に、前記外内移動装置により水平移動する荷が通過可能に開いている開口を有する本体部と、
    　該本体部の内部に前記荷を保持可能な保持部と、
    　該保持装置により保持された荷を、前記位置決め構造により位置決めした位置決め位置と該位置決め位置から解除した解除位置との間で変位させるように昇降可能な昇降部と
    　を有する請求項５に記載の保管庫。
  7. 　天井に設けられた軌道に沿って走行すると共に荷を搬送する搬送車との間で前記荷の入庫が行われる保管庫であって、
    　鉛直方向に並んだ複数段を内部に有しており、前記複数段のうち少なくとも一つの段に少なくとも一つに対応して設けられている入口を有する筐体と、
    　該筐体外にて前記入口に隣接しており、前記荷を載置可能である入庫ポートと、
    　前記筐体内にて前記荷を少なくとも水平一方向に移動可能であると共に前記鉛直方向に移動可能な内部移動装置と、
    　前記筐体内に、前記複数段の各々において前記少なくとも水平一方向に並んでおり、前記内部移動装置により移動される荷を載置可能に構成されている複数の棚部分と、
    　該複数の棚部分のうち前記入口に隣接する一の棚部分と、前記入庫ポートとの間で、前記入口を介して前記荷を移動可能な外内移動装置と、
    　前記一の棚部分と、前記複数の棚部分のうち前記一の棚部分に隣接する二の棚部分との間で、前記荷を移動可能な棚部分間移動装置と
    　を備える保管庫。
  8. 　前記外内移動装置は、
    　前記荷を底側から支持可能な第１載置面を有する第１載置部と、
    　該第１載置部を、前記一の棚部分と前記入庫ポートとの間で移動可能である第１移動部とを有し、
    　前記棚部分間移動装置は、
    　前記荷を底側から支持可能な第２載置面を有する第２載置部と、
    　該第２載置部を、前記一の棚部分と前記二の棚部分との間で移動可能である第２移動部とを有しており、
    　前記入庫ポート、前記一の棚部分、及び前記二の棚部分は、前記第１載置部又は前記第２載置部が支持する前記荷の部分とは異なる前記荷の部分を支持できる支持部をそれぞれ有している請求項７に記載の保管庫。
  9. 　当該保管庫は、複数の荷が前記保管庫に入庫されるときに、
    　一の搬送車から前記入庫ポートに載置された一の荷を、前記入庫ポートから前記一の棚部分に移動させるように前記外内移動装置を制御し、
    　続いて前記一の棚部分から前記一の荷を前記二の棚部分に移動させるように前記棚部分間移動装置を制御し、
    　続いて二の搬送車から前記入庫ポートに載置された二の荷を、前記入庫ポートから前記一の棚部分に移動させるように前記外内移動装置を制御する
    　制御部を更に備える請求項７に記載の保管庫。
  10. 　当該保管庫は、複数の荷が前記保管庫に入庫されるときに、
    　一の搬送車から前記入庫ポートに載置された一の荷を、前記入庫ポートから前記一の棚部分に移動させるように前記外内移動装置を制御し、
    　続いて前記一の棚部分から前記一の荷を前記二の棚部分に移動させるように前記棚部分間移動装置を制御し、
    　続いて二の搬送車から前記入庫ポートに載置された二の荷を、前記入庫ポートから前記一の棚部分に移動させるように前記外内移動装置を制御する
    　制御部を更に備える請求項８に記載の保管庫。
  11. 　前記入庫ポートの支持部と、前記軌道における所定の入庫位置に停止された前記搬送車の下面との間の距離は、前記荷の一つ分の高さより短い
    　請求項７に記載の保管庫。
  12. 　前記入庫ポートは、前記載置された荷の位置決めを行う位置決め構造を有し、
    　前記搬送車は、
    　前記入庫位置に停止された際に、前記外内移動装置により水平移動する荷が通過可能に開いている開口を有する本体部と、
    　該本体部の内部に前記荷を保持可能な保持部と、
    　該保持部により保持された荷を、前記位置決め構造により位置決めした位置決め位置と該位置決め位置から解除した解除位置との間で変位させるように昇降可能な昇降部と
    　を有する請求項１１に記載の保管庫。
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