WO2010143438A1

WO2010143438A1 - 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ

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Publication number: WO2010143438A1
Application number: PCT/JP2010/003875
Authority: WO
Inventors: 桑野邦宏; 刈谷智志
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2009-06-10
Filing date: 2010-06-10
Publication date: 2010-12-16
Anticipated expiration: 2011-12-10
Also published as: US20120163787A1; US8981620B2; CN102460937A

Abstract

　この駆動装置（１）は、第１部材（３）と第２部材（４）とを相対駆動させる駆動装置であって、前記第１部材を駆動させる圧電素子（６）と、前記圧電素子を介して前記第１部材を駆動可能に支持するベース部（２）と、前記圧電素子の駆動電圧が印加される電極部（６ａ）と、を備え、前記電極部は、前記ベース部から露出された露出部（６ｂ）を有する。

Description

駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ

　本発明は、駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラに関する。
　本願は、２００９年６月１０日に日本に出願された特願２００９－１３９５６４号、及び２００９年１１月９日に日本に出願された特願２００９－２５６３７１号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

　従来から、圧電素子を用いた駆動装置が知られている。この種の駆動装置として、例えば、下記特許文献１は、複数の圧電素子を駆動させ、被駆動体に接触させるチップ部材を楕円運動させることで、被駆動体を駆動させるものを開示している。下記特許文献１では、ＸＹＺ直交座標系を設定した場合に、チップ部材のＸＺ平面に平行な楕円運動により被駆動体がＸ軸方向に駆動される。

特開２００７－２３６１３８号公報

　しかしながら、上記従来の駆動装置では、異なる２方向の振動をそれぞれ独立した振動として取り出せないという課題がある。上記特許文献１では、チップ部材のＸ軸方向とＺ軸方向との振動を、それぞれ独立した振動として取り出せないため、複数の圧電素子が互いの運動を妨げる可能性がある。複数の圧電素子が互いの運動を妨げるように駆動すると、被駆動体を駆動する駆動装置の出力が低下する。

　また、上記従来の駆動装置では、圧電素子を支持するベース部材が導電性を有するＷＣ（タングステンカーバイド）等により設けられている。ベース部材が導電性を有する場合には、ベース部材が共通電極となり、ベース部材に接する複数の圧電素子の電極の電位が等しくなる。したがって、複数の圧電素子に異なる電圧を印加することが困難であるという課題がある。

　本発明の態様は、異なる２方向の振動をそれぞれ独立した振動として取り出せる駆動装置とそれを用いたレンズ鏡筒及びカメラの提供を目的とする。

　また、本発明の態様は、圧電素子を支持する部材が導電性を有する場合であっても、圧電素子に異なる電圧を容易に印加できる駆動装置とそれを用いたレンズ鏡筒及びカメラの提供を目的とする。

　本発明の態様にかかる駆動装置は、第１部材と第２部材とを相対駆動させる駆動装置であって、前記第１部材を駆動させる圧電素子と、前記圧電素子を介して前記第１部材を駆動可能に支持するベース部と、前記圧電素子の駆動電圧が印加される電極部と、を備え、前記電極部は、前記ベース部から露出された露出部を有する。

　本発明の別の態様にかかる駆動装置は、圧電素子と、前記圧電素子により駆動される第１部材と、前記第１部材と当接して設けられ、前記第１部材が駆動されることにより、前記第１部材に対して相対移動する第２部材と、導電性を有し、前記圧電素子を介して前記第１部材を駆動可能に支持するベース部材と、前記第１部材及び前記圧電素子を有する複数の組と、を備え、少なくとも一の前記組の前記圧電素子と前記ベース部材との間に、絶縁膜が設けられている。
　本発明のさらに別の態様にかかるレンズ鏡筒は、上記記載の駆動装置を備える。
　本発明のさらに別の態様にかかるカメラは、上記記載の駆動装置を備える。

　本発明の態様にかかる駆動装置によれば、異なる２方向の振動をそれぞれ独立した振動として取り出すことができる。

　本発明の態様にかかる駆動装置によれば、少なくとも一の組の圧電素子とベース部材とが絶縁膜によって電気的に絶縁され、その組の圧電素子とその他の組の圧電素子とに異なる電圧を容易に印加することができる。

本発明の第１の実施形態にかかる駆動装置の正面図である。同、断面図である。図１に示す駆動装置の支持駆動部の斜視図である。同、平面図である。図１に示す駆動装置の保持部及び駆動駒の正面図である。図１に示す駆動装置の保持部及び駆動駒の正面図である。図１に示す駆動装置の保持部及び駆動駒の斜視図である。図１に示す駆動装置の回路図である。上記駆動装置の回路図である。図１に示す駆動装置の電源部が供給する電圧のタイミングチャートである。図１に示す駆動装置の駆動駒の動作を示す正面図である。同、正面図である。同、正面図である。図１に示す駆動装置の駆動駒の先端部の変位の時間変化を示すグラフである。図１に示す駆動装置を備えたカメラの概略構成図である。図１に示す駆動装置の変形例を示す保持部及び駆動駒の正面図である。図１に示す駆動装置の変形例を示す保持部及び駆動駒の正面図である。図１に示す駆動装置の駆動駒の先端部の変位の時間変化を示すグラフである。図１に示す駆動装置の駆動駒の先端部の変位の時間変化を示すグラフである。本発明の第２の実施形態にかかる駆動装置の正面図である。同、断面図である。図１７に示す駆動装置の駆動駒及びベース部の拡大断面図である。図１７に示す駆動装置の支持駆動部を示す斜視図である。図１７に示す駆動装置の支持駆動部を示す平面図である。図１７に示す駆動装置の回路図である。図１７に示す駆動装置の回路図である。図１７に示す駆動装置の電源部が供給する電圧のタイミングチャートである。図１７に示す駆動装置の駆動駒の動作を示す正面図である。同、正面図である。同、正面図である。図１７に示す駆動装置の駆動駒の先端部の変位の時間変化を示すグラフである。図１７に示す駆動装置を備えたレンズ鏡筒及びカメラの概略構成図である。

（１）第１の実施形態
　本発明の第１の実施形態にかかる駆動装置を、図面を参照しながら以下に説明する。本実施形態の駆動装置１は、例えば駆動駒等の第１部材とロータ等の第２部材とを相対的に変位させる相対駆動を行うことで、カメラのレンズ鏡筒等の光学機器や電子機器を駆動するためのものである。

　図１は本実施形態の駆動装置１の正面図であり、図２はその断面図である。
　図１及び図２に示すように、駆動装置１は、複数の保持部２ａが設けられたベース部（ベース部材）２と、保持部２ａに保持された駆動駒（第１部材）３と、駆動駒３に隣接して配置されたロータ（第２部材）４と、ベース部２に挿通された支持軸５と、を備えている。

　ベース部２は、例えばステンレス鋼等の金属材料により中空円筒状に形成され、支持軸５が挿通されることで、支持軸５を囲むように設けられている。ベース部２の表面は、例えば絶縁膜等が形成されて絶縁処理が施されている。
　ロータ４は、ベアリング５ｂを介して支持軸５によって軸支され、支持軸５を回転軸として回転自在に設けられている。ロータ４の外周面には、例えばカメラのレンズ鏡筒等を駆動するための歯車４ａが形成されている。ロータ４のベース部２側の面は、複数の駆動駒３によって支持されている。

　ベース部２の一方の端部は、例えば不図示のボルト等により取付部１０１ａに固定されている。ベース部２の取付部１０１ａに対向する面の中央部には、凹部２ｂが形成されている。凹部２ｂには、支持軸５の基端に形成された拡径部５ａが挿入（嵌入）されている。この状態でベース部２が取付部１０１ａに固定されることで、支持軸５がベース部２及び取付部１０１ａに固定されている。

　ベース部２の他方の端部には、凹状の保持部２ａが、ベース部２の周方向、すなわちロータ４の回転方向Ｒに複数設けられている。保持部２ａは、駆動駒３を支持軸５に垂直でロータ４の回転方向Ｒに沿う方向（第１の方向）の両側から支持するとともに、駆動駒３を支持軸５に平行な方向（第２の方向）に駆動可能に保持している。また、図１に示すように、ベース部２のロータ４側の端部の角部には、面取り部（露出形成部）２ｈが設けられている。面取り部２ｈは、ベース部２のロータ４側の端部の外周側の角部及び内周側の角部の双方に、ベース部２の全周に亘って設けられている。

　図２に示すように、ベース部２の側面２ｃは、支持軸５と略平行に設けられている。側面２ｃの保持部２ａと取付部１０１ａ側の端部との間には、取付部１０１ａから保持部２ａへの振動の伝達を抑制する振動抑制部としての溝部２ｄが形成されている。すなわち、溝部２ｄは、支持軸５に略垂直でかつロータ４の回転方向Ｒに沿う方向（第１の方向）と交差するベース部２の側面２ｃに設けられている。溝部２ｄは、ベース部２の周方向に連続的に設けられ、保持部２ａと取付部１０１ａ側の端部との中間よりも取付部１０１ａ側の端部に近い位置に設けられている。

　溝部２ｄの深さｄ１は、例えばベース部２の半径ｒ１の４０％以上かつ８０％以下の範囲である。上記数値は一例であってこれに限定されない。溝部２ｄの深さｄ１は、例えば、ベース部２の半径ｒ１の１０，２０，３０，４０，５０，６０，７０，８０，又は９０％にできる。また、支持軸５に平行な方向（第２の方向）の溝部２ｄの幅ｗ１は、ベース部２の振動の振幅よりも大きく、後述する第１圧電素子６、第２圧電素子７、駆動駒３、及びベース部２からなる支持駆動部（構造部）１ａの共振振動の振幅よりも大きくなるように形成されている。一例において、溝部２ｄの幅ｗ１は、ベース部２の半径よりも短くできる。

　図２に示すように、ベース部２と支持軸５との間には、取付部１０１ａから保持部２ａへの振動を抑制するための間隙（振動抑制部）２ｅが設けられている。間隙２ｅは、支持軸５と平行な方向に、ベース部２の保持部２ａ側の端部から溝部２ｄの取付部１０１ａ側の縁と同様の位置まで設けられている。また、間隙２ｅの幅ｗ２は、溝部２ｄの幅ｗ１と同様に、ベース部２の振動の振幅よりも大きく、後述する支持駆動部１ａの共振振動の振幅よりも大きくなるように形成されている。

　図３は図１に示す駆動装置１の支持駆動部１ａの斜視図であり、図４はその平面図である。
　図３及び図４に示すように、駆動駒３は、断面が山形の六角柱形状を有する先端部３ａと略直方体形状を有する基部３ｂと、を有している。先端部３ａは、例えばステンレス鋼等により形成されている。基部３ｂは、例えば軽金属合金等により形成されている。これら先端部３ａおよび基部３ｂは、双方とも導電性を有している。基部３ｂは、保持部２ａによって支持軸５と平行な方向に駆動可能に支持されている。先端部３ａは、保持部２ａから突出してロータ４を支持するようになっている。先端部３ａは、ロータ４に接触する上面の面積が基部３ｂ側の底面の面積よりも小さくなる先細状の形状に設けられている。

　図４に示すように、駆動駒３の幅ｗ３方向（第１の方向）には、駆動駒３の基部３ｂを幅ｗ３方向の両側から挟みこむ一対の第１圧電素子６，６が二対設けられている。駆動駒３の幅ｗ３方向は、支持軸５に垂直でロータ４の回転方向Ｒに沿う方向であって、ベース部２の平面視における中心線ＣＬと略垂直な方向である。第１圧電素子６は、保持部２ａの深さｄ２方向に沿って延びる細長い長方形状の形状に形成され、基部３ｂと保持部２ａとの間に挟持されている。これにより、第１圧電素子６は、ベース部２に設けられた溝部２ｄ（図１、図２参照）とロータ４との間に配置されている。

　第１圧電素子６は、例えば導電性の接着剤により駆動駒３の基部３ｂと保持部２ａとに接着されている。また、ベース部２の中心を通る中心線ＣＬと略平行な駆動駒３の奥行ｐ１方向に配置された２つの第１圧電素子６，６は、互いに略平行になっている。各々の第１圧電素子６の形状及び寸法は、全て略等しくなっている。

　図３に示すように、駆動駒３の基部３ｂと先端部３ａとの間には、一対の第２圧電素子７，７が、互いに略平行に設けられている。第２圧電素子７は、駆動駒３の幅ｗ３方向と略平行に延びる細長い長方形状に形成されている。第２圧電素子７は、先端部３ａの底面と基部３ｂの上面との間に挟持され、例えば導電性の接着剤により先端部３ａの底面と基部３ｂの上面とに接着されている。各々の第２圧電素子７の形状及び寸法は、全て略等しくなっている。

　第１圧電素子６及び第２圧電素子７は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）により形成され、その振動モードは厚み滑り振動である。すなわち、第１圧電素子６は、駆動駒３を、支持軸５と略平行な保持部２ａの深さｄ２方向に、ベース部２に対して相対的に駆動させる。第２圧電素子７は、駆動駒３の先端部３ａを駆動駒３の幅ｗ３方向（第３の方向）に、基部３ｂ及びベース部２に対して相対的に駆動させる。すなわち、本実施形態では、第１圧電素子６が駆動駒３を挟み込む方向（第１の方向）と、第２圧電素子７が駆動駒３の先端部３ａを駆動させる方向（第３の方向）とが略等しくなっている。

　これら複数の第１圧電素子６、第２圧電素子７、駆動駒３、及びベース部２により、ロータ４を支持し、かつロータ４を駆動駒３及びベース部２と相対的に駆動させる支持駆動部１ａが構成されている。

　図３に示すように、保持部２ａは、ベース部２の端部に設けられ、ベース部２に王冠状の凹凸を形成している。図４に示すように、保持部２ａは、ベース部２の周方向の略６０°毎に均等に形成されている。保持部２ａは、平面視でベース部２の中心を通る中心線ＣＬと略平行に設けられた一対の支持面２ｆ，２ｆを備えている。支持面２ｆは、駆動駒３の基部３ｂを、ベース部２の中心線ＣＬと略垂直な保持部２ａの幅ｗ４方向（第１の方向）の両側から一対の第１圧電素子６，６を介して挟み込むように保持している。

　図５Ａは保持部２ａ及び駆動駒３を拡大した組立正面図であり、図５Ｂは保持部２ａ及び駆動駒３を拡大した正面図である。
　図５Ａ及び図５Ｂに示すように、ベース部２に設けられた凹状の保持部２ａの支持面２ｆは、図２に示す支持軸５と略平行な保持部２ａの深さｄ２方向（第２の方向）に対して傾斜させて設けられている。

　支持面２ｆは、図１に示す駆動駒３の先端部３ａに支持されたロータ４からの距離が遠ざかるほど、対向する支持面２ｆ，２ｆ同士の間隔が漸次狭くなるように傾斜している。換言すると、保持部２ａは、底面２ｇに近づくほど幅ｗ４が狭くなっている。保持部２ａの深さｄ２方向に対する支持面２ｆの傾斜角度αは、各部材の寸法や公差等の関係から、２°以上６°以下であることが好ましい。本実施形態における支持面の傾斜角度αは４°である。

　また、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、支持面２ｆに対向する駆動駒３の基部３ｂの側面３ｃは、支持面２ｆと同様に、支持軸５と略平行な駆動駒３の高さｈ１方向（第２の方向）に対して傾斜させて設けられている。これにより、駆動駒３の基部３ｂの側面３ｃは、支持面２ｆと略平行に設けられている。側面３ｃには、電極部６ａを備えた第１圧電素子６が予め導電性の接着剤を介して接合されている。なお、図１～図４においては、電極部６ａの図示を省略している。

　ここで、基部３ｂの保持部２ａの底面２ｇ側の端部における基部３ｂ及び一対の第１圧電素子６，６の幅ｗ５は、保持部２ａの開口部における幅ｗ４よりも小さく、保持部２ａの深さｄ２方向の途中における幅ｗ４’よりも大きくなっている。

　そのため、駆動駒３の基部３ｂ及び一対の第１圧電素子６，６を保持部２ａに保持させると、図５Ｂに示すように、駆動駒３の底面３ｄと保持部２ａの底面２ｇとが離間した状態で、基部３ｂが保持部２ａの幅ｗ４方向の両側から一対の第１圧電素子６，６を介して支持面２ｆによって支持される。すなわち、支持面２ｆは、駆動駒３を保持部２ａの幅ｗ４方向（第１の方向）の両側から支持するとともに、支持軸５と略平行な保持部２ａの深さｄ２方向（第２の方向）において位置決めをするように、深さｄ２方向に対して傾斜させて設けられている。

　図６は、図３に示す駆動駒３及び保持部２ａを部分的に拡大して表した斜視図である。
　図６に示すように、第１圧電素子６は、駆動駒３の基部３ｂとベース部２の保持部２ａの支持面２ｆとの間に配置されている。電極部６ａは、第１圧電素子６の支持面２ｆに対向する面に設けられ、一部がベース部２の端部の角部に設けられた面取り部２ｈによってベース部２から露出されている。本実施形態では、面取り部２ｈによってベース部２から露出された電極部６ａの一部が、後述する電源部に接続される露出部６ｂとなっている。

　表面に絶縁処理が施されたベース部２の外周側の側面２ｃには、例えば銅箔等の導電性材料によって電極面２ｉが形成されている。電極面２ｉは、保持部２ａの縁に沿って設けられ、保持部２ａの周囲に所定の幅ｗ６を有して連続的に設けられている。電極面２ｉは、ベース部２の内周側の側面（図示略）にも外周側の側面２ｃと同様に設けられている。また、電極面２ｉは外周側の面取り部２ｈ、ロータ４側の端面及び内周側の面取り部２ｈにも、保持部２ａの縁に沿って連続的に設けられている。すなわち、ベース部２の各面に設けられた電極面２ｉは、全て連続して設けられている。

　面取り部２ｈによってベース部２から露出された電極部６ａの露出部６ｂは、導電性接着剤２１により面取り部２ｈに設けられた電極面２ｉと電気的に接続されている。これにより、駆動駒３の基部３ｂと保持部２ａの支持面２ｆとの間に設けられた４つの第１圧電素子６の電極部６ａは、全て電気的に接続される。

　保持部２ａの底面２ｇ側の縁に沿って設けられた電極面２ｉの中央部には、導電性接着剤２１を介して第１配線１１（第２配線１２）が接続されている。これにより、４つの第１圧電素子６の電極部６ａは、それぞれ露出部６ｂに接続された導電性接着剤２１及び電極面２ｉを介して第１配線１１（第２配線１２）に電気的に接続されている。すなわち、電極部６ａは第１配線１１（第２配線１２）を介して所定の駆動電圧が印加されるようになっている。

　また、図示は省略するが、駆動駒３の先端部３ａには、例えば導電性接着剤を介して、後述する第３配線（第４配線）が接続され、所定の駆動電圧が印加されるようになっている。また、基部３ｂには、例えば導電性接着剤を介してグランド配線が接続されている。これにより、基部３ｂは接地されている。

　本実施形態の駆動駒３は、先端部３ａと基部３ｂとの間に一対の第２圧電素子７，７を備え、基部３ｂの側面に第１圧電素子６，６を二対備えている。そして、図３及び図４に示すように、駆動装置１は、この駆動駒３及び二対の第１圧電素子６を３つ備えた駆動駒３の組を、第１組及び第２組の二組備えている。第１組の駆動駒３１と第２組の駆動駒３２とは、同一の円周上に配置されている。また、各々の組の駆動駒３１，３２は、ロータ４の回転方向Ｒにそれぞれ均等に配置され、異なる組の駆動駒３１，３２が回転方向Ｒに交互に（順番に）配置されている。

　図７Ａは第１圧電素子６の模式的な配線図であり、図７Ｂは第２圧電素子７の模式的な配線図である。なお、図６に示すように、電極部６ａの各々は導電性接着剤２１及び電極面２ｉを介して第１配線１１（第２配線１２）に電気的に接続されているが、図７Ａではこれらの図示は省略している。

　図７Ａ及び図７Ｂに示すように、本実施形態の駆動装置１は、第１圧電素子６及び第２圧電素子７の各々に電圧を供給する電源部１０を備えている。電源部１０は、図３及び図４に示す第１組及び第２組のそれぞれの駆動駒３１，３２の先端部３１ａ，３２ａが、順次、図１及び図２に示すロータ４との接触、ロータ４の回転方向Ｒへの送り、ロータ４からの離間、ロータ４の回転方向Ｒと逆方向の戻り、を繰り返すように第１圧電素子６及び第２圧電素子７に電圧を供給する。

　図７Ａに示すように、第１組の駆動駒３１の各々が備える第１圧電素子６１の電極部６１ａは、第１配線１１を介して電源部１０の第１端子Ｔ１に接続されている。第２組の駆動駒３２の各々が備える第１圧電素子６２の電極部６２ａは、第２配線１２を介して電源部１０の第２端子Ｔ２に接続されている。
　図７Ｂに示すように、第１組の駆動駒３１の各々が備える第２圧電素子７１は、駆動駒３１の先端部３１ａに接続された第３配線１３を介して電源部１０の第３端子Ｔ３に接続されている。第２組の駆動駒３２の各々が備える第２圧電素子７２は、駆動駒３２の先端部３２ａに接続された第４配線１４を介して電源部１０の第４端子Ｔ４に接続されている。

　また、図７Ａ及び図７Ｂにおいて図示は省略するが、駆動駒３１，３２の基部３１ｂ，３２ｂは、接地されている。
　以上の構成により、図６に示す第１圧電素子６の電極部６ａの露出部６ｂは、導電性接着剤２１、電極面２ｉ、第１配線１１（第２配線１２）を介して図７Ａ及び図７Ｂに示す電源部１０に電気的に接続される。したがって、第１圧電素子の電極部６ａと駆動駒３の基部３ｂとの間には、第１圧電素子６を駆動させる所定の駆動電圧が印加される。また、駆動駒３の先端部３ａと基部３ｂとの間には、第２圧電素子７を駆動させる所定の駆動電圧が印加される。

　図８は、電源部１０が各端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４に発生させる電圧のタイミングチャートの一例である。
　図８に示すように、電源部１０は第１端子Ｔ１にPhase１～Phase２の間は－１．０Ｖの電圧を発生させ、Phase３～Phase７の５Phaseは１．０Ｖの電圧を発生させ、Phase８～Phase１０の３Phaseは－１．０Ｖの電圧を発生させる。以降のPhaseでは、１．０Ｖの電圧を５Phase発生させ、－１．０Ｖの電圧を３Phase発生させることを繰り返す。すなわち、電源部１０は、第１端子に８Phaseを一周期とする電圧を発生させる。

　電源部１０は、第２端子Ｔ２に、第１端子Ｔ１に発生させる電圧と１８０°の位相差を有し、第１端子Ｔ１に発生させる電圧と同様の８Phaseを一周期とする電圧を発生させる。すなわち、第１端子に発生する電圧と、第２端子に発生する電圧とは、半周期分の４Phaseの位相差を有している。

　電源部１０は、Phase１において第３端子Ｔ３に発生させる電圧を０Ｖに維持し、Phase２において－３．０Ｖの電圧を発生させ、Phase３～Phase８までの各Phaseにおいて電圧を１．０Ｖずつ増加させる。以降のPhaseでは、このPhase１～Phase８の電圧の発生パターンを繰り返す。すなわち、電源部１０は、第３端子Ｔ３に８Phaseを一周期とする電圧を発生させる。

　電源部１０は、第４端子Ｔ４に、第３端子Ｔ３に発生させる電圧と１８０°の位相差を有し、第３端子Ｔ３に発生させる電圧と同様の８Phaseを一周期とする電圧を発生させる。すなわち、第３端子に発生する電圧と、第４端子に発生する電圧とは、半周期分の４Phaseの位相差を有している。

　本実施形態では、電源部１０が第１圧電素子６及び第２圧電素子７に供給する電圧の周波数は、第１圧電素子６、第２圧電素子７、駆動駒３、及びベース部２からなる支持駆動部（構造部）１ａの共振振動の振動数と略等しくなっている。

　次に、本実施形態の駆動装置１の作用について、図９～図１２を用いて説明する。
　図９～図１１は、第１組と第２組の駆動駒３１，３２の動作とロータ４の動作を示す拡大正面図である。
　図１２は、第１組及び第２組の駆動駒３１，３２の先端部３１ａ，３２ａの各軸方向の変位と時間ｔの関係を示すグラフである。図１２（ａ）及び図１２（ｂ）において、Ｙ軸方向におけるロータ４との接触位置ｙ１は、破線で表されている。

　図９（ａ）～図１１（ａ）では、ロータ４の回転方向Ｒ（図４参照）に沿う第１組の駆動駒３１の幅ｗ３１方向（第１の方向）をＸ１方向、支持軸５（図２参照）に平行な方向（第２の方向）をＹ方向とする直交座標系を用いて説明する。図９（ｂ）～図１１（ｂ）では、ロータ４の回転方向Ｒに沿う第２組の駆動駒３２の幅ｗ３２方向（第１の方向）をＸ２方向、支持軸５に平行な方向（第２の方向）をＹ方向とする直交座標系を用いて説明する。

（Phase０）
　電源部１０は、図８に示すように、Phase０において、各端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４に電圧を発生させず（０Ｖ）、図７Ａ及び図７Ｂに示す第１圧電素子６及び第２圧電素子７に０Ｖの電圧を供給している（電圧を供給していない）状態である。
　図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように、Phase０において、第１組の駆動駒３１と第２組の駆動駒３２は、それぞれ先端部３１ａ，３２ａの上面がロータ４に接した状態で静止している。ロータ４は、駆動駒３１，３２の先端部３１ａ，３２ａに支持された状態で静止している。

（Phase１）
　電源部１０は、図８に示すように、Phase１において、第１端子Ｔ１に－１．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ａに示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに、第１配線１１を介して電圧を供給する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase１において、第３端子Ｔ３の電圧を０Ｖに維持し、図７Ｂに示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して０Ｖの電圧を供給する。

　すると、図９（ａ）に示すように、Phase１において、第１組の駆動駒３１を駆動する第１圧電素子６１が厚み滑り変形し、駆動駒３１の基部３１ｂを保持部２ａの支持面２ｆに対してＹ方向のベース部２側（Ｙ軸負方向側）へ移動させる（図１２（ａ）、Phase１参照）。また、図９（ａ）に示すように、Phase１において、第２圧電素子７１は変形せず、先端部３１ａはＸ１方向へは移動しない（図１２（ｃ）、Phase１参照）。これにより、駆動駒３１の先端部３１ａがＹ軸負方向側へ移動し、ロータ４から離間する。

　電源部１０は、図８に示すように、Phase１において、第２端子Ｔ２に１．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ａに示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して電圧を供給する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase１において、第４端子Ｔ４の電圧を０Ｖに維持し、図７Ｂに示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２には第４配線を介して０Ｖの電圧を供給する。

　すると、図９（ｂ）に示すように、Phase１において、第２組の駆動駒３２を駆動する第１圧電素子６２が厚み滑り変形し、駆動駒３２の基部３２ｂを保持部２ａの支持面２ｆに対してＹ方向のロータ４側（Ｙ軸正方向側）へ移動させる（図１２（ｂ）、Phase１参照）。また、図９（ｂ）に示すように、Phase１において、第２圧電素子７２は変形せず、先端部３２ａはＸ２方向へは移動しない（図１２（ｄ）、Phase１参照）。これにより、駆動駒３２がＹ軸正方向側へ移動して、先端部３２ａがロータ４をＹ軸正方向側へ押し上げる。

　すなわち、Phase１においては、図９（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａは、Ｙ軸負方向側へ移動してロータ４から離間する。同時に、図９（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａは、ロータ４に当接してロータ４を支持しつつ、ロータ４をＹ軸正方向側へ押し上げる。

（Phase２）
　電源部１０は、図８に示すように、Phase２において、第１端子Ｔ１の電圧を－１．０Ｖに維持し、図７Ａに示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase２において、第３端子Ｔ３に－３．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ｂに示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。

　すると、図９（ａ）に示すように、Phase２において、第１組の駆動駒３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子６１の変形が維持されて、先端部３１ａがロータ４から離間した状態が維持される（図１２（ａ）、Phase２参照）。この状態で、図９（ａ）に示すように、Phase２において、第２圧電素子７１が厚み滑り変形し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸負方向側へ移動する（図１２（ｃ）参照）。このときの先端部３１ａの移動量は、第２圧電素子７１に供給される電圧の絶対値に比例する。

　電源部１０は、図８に示すように、Phase２において、第２端子Ｔ２の電圧を１．０Ｖに維持し、図７Ａに示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase２において、第４端子Ｔ４に１．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ｂに示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。

　すると、図９（ｂ）に示すように、Phase２において、第２組の駆動駒３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて、先端部３２ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１２（ｂ）、Phase２参照）。この状態で、図９（ｂ）に示すように、Phase２において、第２圧電素子７２が厚み滑り変形し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１２（ｄ）、Phase２参照）。このときの先端部３２ａの移動量は、電圧の絶対値に比例するため、第１組の先端部３１ａのＸ１軸負方向側への移動量と比較して小さくなる。

　すなわち、Phase２においては、図９（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａのＸ２軸正方向側への移動により、先端部３２ａの上面からロータ４の下面に摩擦力が作用する。ここで、第２組の駆動駒３２は、図３及び図４に示すように、ロータ４の回転方向Ｒに沿ってベース部２の周方向に配置される。先端部３２ａは、ロータ４の回転方向Ｒに沿う駆動駒３２の幅ｗ３２方向（Ｘ２方向）に変位する。そのため、ロータ４は、駆動駒３２の先端部３２ａによって回転方向Ｒに駆動され、図１及び図２に示す支持軸５を中心とする回転を開始する。

（Phase３）
　電源部１０は、図８に示すように、Phase３において、第１端子Ｔ１に正負が逆転した１．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ａに示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して電圧を供給する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase３において、第３端子Ｔ３に－２．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ｂに示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。

　すると、図９（ａ）に示すように、Phase３において、第１組の駆動駒３１を駆動する第１圧電素子６１が逆方向に厚み滑り変形し、駆動駒３１の基部３１ｂをＹ軸正方向側へ移動させる（図１２（ａ）、Phase３参照）。同時に、図９（ａ）に示すように、Phase３において、第２圧電素子７１のＸ１軸負方向側への変形量が減少し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図１２（ｃ）、Phase３参照）。このときの移動量は、Phase３で新たに供給された－２．０ＶとPhase２で供給されていた－３．０Ｖとの電圧の差に比例する。

　電源部１０は、図８に示すように、Phase３において、第２端子Ｔ２の電圧を維持し、図７Ａに示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase３において、第４端子Ｔ４に２．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ｂに示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。

　すると、図９（ｂ）に示すように、Phase３において、第２組の駆動駒３２を駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて、先端部３２ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１２（ｂ）、Phase３参照）。この状態で、図９（ｂ）に示すように、Phase３において、第２圧電素子７２が厚み滑り変形し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１２（ｄ）、Phase３参照）。このときの移動量は、Phase３で新たに供給された２．０ＶとPhase２で供給されていた１．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。

　すなわち、Phase３においては、図９（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａは、ロータ４の回転方向Ｒに沿うＸ１軸正方向側へ移動しながらＹ軸正方向側へ移動してロータ４に接近して当接する。同時に、図９（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａは、ロータ４に当接してロータ４を支持しつつ、ロータ４を回転方向Ｒへ駆動する。

（Phase４）
　電源部１０は、図８に示すように、Phase４において、第１端子Ｔ１の電圧を１．０Ｖに維持し、図７Ａに示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase４において、第３端子Ｔ３に－１．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ｂに示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。

　すると、図１０（ａ）に示すように、Phase４において、第１組の駆動駒３１をＹ軸正方向側に駆動する第１圧電素子６１の変形が維持されて、先端部３１ａがロータ４に当接した状態が維持される（図１２（ａ）、Phase４参照）。同時に、図１０（ａ）に示すように、Phase４において、第２圧電素子７１のＸ１軸負方向側への変形量が減少し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図１２（ｃ）、Phase４参照）。このときの移動量は、Phase４で新たに供給された－１．０ＶとPhase３で供給されていた－２．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。

　電源部１０は、図８に示すように、Phase４において、第２端子Ｔ２に正負が逆転した－１．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ａに示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して電圧を供給する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase４において、第４端子Ｔ４に３．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ｂに示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。

　すると、図１０（ｂ）に示すように、Phase４において、第２組の駆動駒３２を駆動する第１圧電素子６２が逆方向に厚み滑り変形し、駆動駒３２の基部３２ｂをＹ軸負方向側へ移動させる（図１２（ｂ）、Phase４参照）。同時に、図１０（ｂ）に示すように、Phase４において、第２圧電素子７２のＸ２軸正方向側への変形量が増加し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１２（ｄ）、Phase４参照）。このときの移動量は、Phase４で新たに供給された３．０ＶとPhase２で供給されていた２．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。

　すなわち、Phase４においては、図１０（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａは、ロータ４に当接した状態でロータ４の回転方向Ｒに沿うＸ１軸正方向側に移動し、ロータ４を支持して回転方向Ｒへ駆動させる。同時に、図１０（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａは、ロータ４の回転方向Ｒへ沿うＸ２軸正方向側へ移動しながら、Ｙ軸負方向側へ移動してロータ４から離間する。これにより、第１組及び第２組の駆動駒３１，３２の先端部３１ａ，３２ａによってロータ４を回転方向Ｒに駆動させつつ、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａから第１組の駆動駒３１の先端部３１ａへロータ４が受け渡される。

　このとき、Phase４において、双方の駆動駒３１，３２が、極めて短時間、ロータ４から離間する場合がある。このような場合であっても、ロータ４は、その慣性によりＹ方向の変位を殆どすることなく、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａによって支持されていた位置に留まる。そのため、ロータ４は、Ｙ方向の略一定の位置が維持され、回転方向Ｒに駆動された状態で、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａによりＹ方向に支持され、回転方向Ｒへ駆動される。これにより、ロータ４は、Ｙ方向の略一定の位置で支持軸５を中心として回転を継続する。

（Phase５）
　電源部１０は、図８に示すように、Phase５において、第１端子Ｔ１の電圧を１．０Ｖに維持し、図７Ａに示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase５において、第３端子Ｔ３に発生させる電圧を０Ｖにし、図７Ｂに示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して供給する電圧を０Ｖにする。

　すると、図１０（ａ）に示すように、Phase５において、第１組の駆動駒３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子６１の変形が維持されて、先端部３１ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１２（ａ）、Phase５参照）。この状態で、図１０（ａ）に示すように、Phase５において、第２圧電素子７１が元の形状に戻り、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図１２（ｃ）、Phase５参照）。このときの先端部３１ａの移動量は、Phase４において第２圧電素子７１に供給されていた電圧の絶対値に比例する。

　電源部１０は、図８に示すように、Phase５において、第２端子Ｔ２の電圧を－１．０Ｖに維持し、図７Ａに示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase５において、第４端子Ｔ４に発生させる電圧を０Ｖにし、図７Ｂに示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して供給する電圧を０Ｖにする。

　すると、図１０（ｂ）に示すように、Phase５において、第２組の駆動駒３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて、先端部３２ａがロータ４から離間した状態が維持される（図１２（ｂ）Phase５参照）。同時に、図１０（ｂ）に示すように、Phase５において、第２圧電素子７２が元の形状に戻り、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸負方向側へ移動する（図１２（ｄ）、Phase５参照）。このときの先端部３２ａの移動量は、Phase４において第２圧電素子７２に供給されていた電圧の絶対値に比例する。

　すなわち、Phase５においては、図１０（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａは、ロータ４に当接した状態を維持してロータ４を支持しつつ、Ｘ１軸正方向側に移動してロータ４を回転方向Ｒへ駆動させる。同時に、図１０（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａは、Ｙ軸負方向側へ移動してロータ４から離間した状態を維持しつつ、基部３２ｂ及びベース部２に対してロータ４の回転方向Ｒと逆のＸ２軸負方向側へ移動する。

（Phase６）
　電源部１０は、図８に示すように、Phase６において、第１端子Ｔ１の電圧を１．０Ｖに維持し、図７Ａに示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase６において、第３端子Ｔ３に１．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ｂに示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。

　すると、図１０（ａ）に示すように、Phase６において、第１組の駆動駒３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子６１の変形が維持されて、先端部３１ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１２（ａ）、Phase６参照）。この状態で、図１０（ａ）に示すように、Phase６において、第２圧電素子７１が厚み滑り変形し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図１２（ｃ）、Phase６参照）。このときの移動量は、Phase６で新たに供給された電圧の絶対値に比例する。

　電源部１０は、図８に示すように、Phase６において、第２端子Ｔ２の電圧を－１．０Ｖに維持し、図７Ａに示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase６において、第４端子Ｔ４に－３．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ｂに示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。

　すると、図１０（ｂ）に示すように、Phase６において、第２組の駆動駒３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて、先端部３２ａがロータ４から離間した状態が維持される（図１２（ｂ）、Phase６参照）。この状態で、図１０（ｂ）に示すように、Phase６において、第２圧電素子７２が厚み滑り変形し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸負方向側へ移動する（図１２（ｄ）、Phase６参照）。このときの先端部３２ａの移動量は、第２圧電素子７２に供給される電圧の絶対値に比例する。

　すなわち、Phase６においては、図１０（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａは、ロータ４に当接した状態を維持してロータ４を支持しつつ、Ｘ１軸正方向側に移動してロータ４を回転方向Ｒへ駆動する。同時に、図１０（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａは、ロータ４から離間した状態を維持しつつ、基部３２ｂ及びベース部２に対してロータ４の回転方向Ｒと逆のＸ２軸負方向側へさらに移動する。

（Phase７）
　電源部１０は、図８に示すように、Phase７において、第１端子Ｔ１の電圧を１．０Ｖに維持し、図７Ａに示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase７において、第３端子Ｔ３に２．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ｂに示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。

　すると、図１０（ａ）に示すように、Phase７において、第１組の駆動駒３１を駆動する第１圧電素子６１の変形が維持されて、先端部３１ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１２（ａ）、Phase７参照）。この状態で、図１０（ａ）に示すように、Phase７において、第２圧電素子７１が厚み滑り変形し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図１２（ｃ）、Phase７参照）。このときの移動量は、Phase７で新たに供給された２．０ＶとPhase６で供給されていた１．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。

　電源部１０は、図８に示すように、Phase７において、第２端子Ｔ２に正負が逆転した１．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ａに示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して電圧を供給する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase７において、第４端子Ｔ４に－２．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ｂに示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。

　すると、図１０（ｂ）に示すように、Phase７において、第２組の駆動駒３２を駆動する第１圧電素子６２が逆方向に厚み滑り変形し、駆動駒３２の基部３２ｂをＹ軸正方向側へ移動させる（図１２（ｂ）、Phase７参照）。同時に、図１０（ｂ）に示すように、Phase７において、第２圧電素子７２のＸ２軸負方向側への変形量が減少し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１２（ｄ）、Phase７参照）。このときの移動量は、Phase７で新たに供給された－２．０ＶとPhase６で供給されていた－３．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。

　すなわち、Phase７においては、図１０（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａは、ロータ４に当接した状態を維持してロータ４を支持しつつ、ロータ４を回転方向Ｒへ駆動する。同時に、図１０（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａは、ロータ４の回転方向Ｒに沿うＸ２軸正方向側へ移動しながらＹ軸正方向側へ移動してロータ４に接近して当接する。

（Phase８）
　電源部１０は、図８に示すように、Phase８において、第１端子Ｔ１に正負が逆転した－１．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ａに示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して電圧を供給する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase８において、第３端子Ｔ３に３．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ｂに示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。

　すると、図１１（ａ）に示すように、Phase８において、第１組の駆動駒３１を駆動する第１圧電素子６１が逆方向に厚み滑り変形し、駆動駒３の基部３ｂをＹ軸負方向側へ移動させる（図１２（ａ）、Phase８参照）。同時に、図１１（ａ）に示すように、Phase８において、第２圧電素子７１のＸ１軸正方向側への変形量が増加し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図１２（ｃ）、Phase８参照）。このときの移動量は、Phase８で新たに供給された３．０ＶとPhase７で供給されていた２．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。

　電源部１０は、図８に示すように、Phase８において、第２端子Ｔ２の電圧を１．０Ｖに維持し、図７Ａに示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase８において、第４端子Ｔ４に－１．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ｂに示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。

　すると、図１１（ｂ）に示すように、Phase８において、第２組の駆動駒３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて、先端部３２ａがロータ４に当接した状態が維持される（図１２（ｂ）、Phase８参照）。同時に、図１１（ｂ）に示すように、Phase８において、第２圧電素子７２のＸ２軸負方向側への変形量が減少し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１２（ｄ）、Phase８参照）。このときの移動量は、Phase８で新たに供給された－１．０ＶとPhase７で供給されていた－２．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。

　すなわち、Phase８においては、図１１（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａは、ロータ４の回転方向Ｒへ沿うＸ１軸正方向側へ移動しながら、Ｙ軸負方向側へ移動してロータ４から離間する。同時に、図１１（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａは、ロータ４に当接した状態で、ロータ４の回転方向Ｒに沿うＸ２軸正方向側に移動し、ロータ４を支持して回転方向Ｒへ駆動させる。これにより、第１組及び第２組の駆動駒３１，３２の先端部３１ａ，３２ａによってロータ４を回転方向Ｒに駆動させつつ、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａから第２組の駆動駒３２の先端部３２ａへロータ４が受け渡される。

　このとき、Phase８において、双方の駆動駒３１，３２が、極めて短時間、ロータ４から離間する場合がある。このような場合であっても、ロータ４は、その慣性によりＹ方向の変位を殆どすることなく、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａによって支持されていた位置に留まる。そのため、ロータ４は、Ｙ方向の略一定の位置が維持され、回転方向Ｒに駆動された状態で、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａによりＹ方向に支持され、回転方向Ｒへ駆動される。これにより、ロータ４は、Ｙ方向の略一定の位置で支持軸５を中心として回転を継続する。

（Phase９）
　電源部１０は、図８に示すように、Phase９において、第１端子Ｔ１の電圧を－１．０Ｖに維持し、図７Ａに示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase９において、第３端子Ｔ３に発生させる電圧を０Ｖにし、図７Ｂに示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して供給する電圧を０Ｖにする。

　すると、図１１（ａ）に示すように、Phase９において、第１組の駆動駒３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子６１の変形が維持され、先端部３１ａがロータ４から離間した状態が維持される（図１２（ａ）、Phase９参照）。同時に図１１（ａ）に示すように、Phase９において、第２圧電素子７１が元の形状に戻り、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸負方向側へ移動する（図１２（ｃ）、Phase９参照）。このときの先端部３１ａの移動量は、Phase８において第２圧電素子７に供給されていた電圧の絶対値に比例する。

　電源部１０は、図８に示すように、Phase９において、第２端子Ｔ２の電圧を１．０Ｖに維持し、図７Ａに示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase９において、第４端子Ｔ４に発生させる電圧を０Ｖにし、図７Ｂに示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して供給する電圧を０Ｖにする。

　すると、図１１（ｂ）に示すように、Phase９において、第２組の駆動駒３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて、先端部３２ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１２（ｂ）、Phase９参照）。この状態で、図１１（ｂ）に示すように、Phase９において、第２圧電素子７２が元の形状に戻り、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１２（ｄ）、Phase９参照）。このときの先端部３２ａの移動量は、Phase８において第２圧電素子７２に供給されていた電圧の絶対値に比例する。

　すなわち、Phase９においては、図１１（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａは、Ｙ軸負方向側へ移動してロータ４から離間した状態を維持しつつ、ロータ４の回転方向Ｒと逆のＸ１軸負方向側へ移動する。同時に、図１１（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａは、ロータ４に当接した状態を維持してロータ４を支持しつつ、ロータ４の回転方向Ｒに沿うＸ１軸正方向側に移動してロータ４を回転方向Ｒへ駆動させる。

（Phase１０）
　電源部１０は、図８に示すように、Phase１０において、第１端子Ｔ１の電圧を－１．０Ｖに維持し、図７Ａに示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase１０において、第３端子Ｔ３に－３．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ｂに示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。

　すると、図１１（ａ）に示すように、Phase１０において、第１組の駆動駒３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子６１の変形が維持されて、先端部３１ａがロータ４から離間した状態が維持される（図１２（ａ）、Phase１０参照）。この状態で、図１１（ａ）に示すように、Phase１０において、第２圧電素子７１が厚み滑り変形し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸負方向側へ移動する（図１２（ｃ）、Phase１０参照）。このときの先端部３１ａの移動量は、第２圧電素子７１に供給される電圧の絶対値に比例する。

　電源部１０は、図８に示すように、Phase１０において、第２端子Ｔ２の電圧を１．０Ｖに維持し、図７Ａに示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図８に示すように、Phase１０において、第４端子Ｔ４に１．０Ｖの電圧を発生させ、図７Ｂに示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。

　すると、図１１（ｂ）に示すように、Phase１０において、第２組の駆動駒３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて、先端部３２ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１２（ｂ）、Phase１０参照）。この状態で、図１１（ｂ）に示すように、Phase１０において、第２圧電素子７２が厚み滑り変形し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１２（ｄ）、Phase１０参照）。このときの移動量は、Phase１０で新たに供給された電圧の絶対値に比例する。

　すなわち、Phase１０においては、図１１（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａは、ロータ４から離間した状態を維持しつつ、基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸負方向側へさらに移動する。同時に、図１１（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａは、ロータ４に当接した状態を維持してロータ４を支持しつつ、ロータ４の回転方向Ｒに沿うＸ２軸正方向側に移動してロータ４を回転方向Ｒへ駆動する。

　Phase１１以降は、上記のPhase３からPhase１０までの動作と同様の動作が繰り返し行われ、ロータ４の回転が継続される。これにより、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａと先端部３ａと第２組の駆動駒３２の先端部３２ａとによって交互に（順番に）ロータ４のＹ軸方向の支持及び回転方向Ｒの駆動がされ、ロータ４が支持軸５回りの回転を継続する。

　本実施形態の駆動装置１は、各々の駆動駒３を支持軸５の平行な方向（第２の方向）へ駆動させる第１圧電素子６と、駆動駒３の先端部３ａをロータ４の回転方向Ｒに沿う駆動駒３の幅ｗ３方向（第１の方向）へ駆動させる第２圧電素子７とが別個に独立して設けられている。そのため、それぞれの方向の振動を独立した振動として取り出すことができる。

　したがって、駆動駒３によりロータ４を回転させ、ロータ４と駆動駒３とを相対駆動させる際に、従来よりもロータ４を安定して回転させることができる。また、基部３ｂを挟み込む第１圧電素子６が互いに異なる方向に基部３ｂを駆動させる場合と比較して損失が発生し難く、エネルギー効率を向上させることができ、駆動装置１の出力を増大させることができる。

　また、第１圧電素子６の電極部６ａが、ベース部２から露出される露出部６ｂを有している。したがって、ベース部２に対して電極部６ａを備えた第１圧電素子６を組み付ける際に、電極部６ａがベース部２に覆われて電気的な接続が困難になることを防止できる。これにより、駆動装置１の組立を容易かつ確実に行うことができ、生産性及び歩留まりを向上させることができる。

　また、本実施形態では、電極部６ａを通常の矩形状に形成し、ベース部２から露出させる部分を露出部６ｂとしている。すなわち、電極部６ａを特殊な形状に形成する必要がない。また、第１圧電素子６の電極部６ａは、第１圧電素子６と一体的に設けられている。このため、電極部６ａと第１圧電素子６とを別々に設けてベース部２にそれぞれ組み付ける場合と比較して、工程数を減少させて組立を容易にすることができる。

　また、図５Ａ、図５Ｂ及び図６に示すように、第１圧電素子６の電極部６ａが、ベース部２の保持部２ａの支持面２ｆに対向する面に設けられている。したがって、電極部６ａの一部である露出部６ｂをベース部２から露出させることが可能になる。

　また、駆動装置１の組立時には、第１圧電素子６及びその電極部６ａのロータ４側の端部の位置が、製造工程上の誤差によって、ベース部２のロータ４側の端面よりも保持部２ａの底面２ｇ側にずれる場合がある。
　本実施形態では、ベース部２に電極部６ａの露出部６ｂを露出させるための露出形成部として、面取り部２ｈが設けられている。したがって、組立時に誤差が生じた場合であっても、露出部６ｂをベース部２から確実に露出させることができる。

　また、面取り部２ｈは、ベース部２のロータ４側の端部の角部に設けられている。したがって、例えば外周側の角部と内周側の角部との間の端面に凹状の切欠き又は肉盗みを設ける場合や、保持部２ａの支持面２ｆの一部に凹状の切欠き又は肉盗みを設ける場合と比較して、ベース部２及び保持部２ａの剛性を高くすることができる。これにより、駆動駒３の幅ｗ３方向（第１の方向）と、支持軸５と平行な方向（第２の方向）における振動とをより独立させて取り出すことが可能になる。

　また、露出形成部を面取り部２ｈとすることで、通常の製造工程において容易に形成することが可能になる。したがって、製造工程が複雑化することを防止でき、製造工程数の増加を防ぐことができ、生産性の低下を防止することができる。
　また、露出部６ｂと電源部１０とが電気的に接続されているので、電源部１０において発生させた電圧を露出部６ｂを介して電極部６ａに印加することができる。また、電極部６ａと駆動駒３の基部との間に電圧を印加することで、第１圧電素子６を駆動させることができる。

　また、第１圧電素子６が駆動駒３の基部３ｂを幅ｗ３方向から挟み込み、第１圧電素子６が駆動駒３を幅ｗ３方向と異なる支持軸５に平行な方向へ駆動させるようになっている。また、基部３ｂを挟み込む一対の第１圧電素子６，６の寸法及び形状が、略等しくなっている。これにより、駆動駒３の幅ｗ３方向の剛性を均等にすることができる。したがって、駆動駒３の基部３ｂの幅ｗ３方向の振動を抑制することができる。また、全ての第１圧電素子６及び第２圧電素子７を同一の形状及び寸法とすることで、製造を容易にして生産性を向上させることができる。

　加えて、ベース部２には、駆動駒３を支持軸５と平行な方向へ駆動可能に保持する保持部２ａが設けられている。保持部２ａには、駆動駒３の幅ｗ３方向から駆動駒３の基部３ｂを支持する支持面２ｆが設けられている。そのため、支持面２ｆによって第１圧電素子６を支持し、第１圧電素子６を介して駆動駒３の基部３ｂを幅ｗ３方向から支持することができる。これにより、駆動駒３の幅ｗ３方向の剛性をより高め、駆動駒３の基部３ｂの幅ｗ３方向の振動を抑制することができる。

　ここで、第１圧電素子６は、厚み方向の弾性係数（縦弾性係数）と変形方向の弾性係数（横弾性係数）との比が例えば約３：１程度である。したがって、駆動駒３の幅ｗ３方向の剛性を高め、基部３ｂの駆動方向の剛性を低くすることができる。これにより、基部３ｂの幅ｗ３方向の移動を防止して振動を抑制できる。また、基部３ｂの駆動方向の変位をしやすくすることができる。

　また、保持部２ａの支持面２ｆは、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、駆動駒３の支持軸５に平行な方向に傾斜して設けられ、ロータ４から離間して保持部２ａの底面２ｇに近づくほど、支持面２ｆ，２ｆ同士の幅ｗ４が狭くなっている。また、支持面２ｆ，２ｆ同士の幅ｗ４’は、底面２ｇよりもロータ４側で駆動駒３の基部３ｂと一対の第１圧電素子６の幅ｗ５よりも狭くなっている。

　そのため、駆動駒３の基部３ｂとそれを挟み込む第１圧電素子６，６をロータ４側から支持軸５に平行な方向に沿って保持部２ａの底面２ｇ側へ挿入すると、支持面２ｆの途中で基部３ｂと第１圧電素子６は、幅ｗ４方向から支持面２ｆによって挟み込まれて支持される。これにより、駆動駒３を、支持軸５と平行な方向に位置決めすることができる。また、支持面２ｆは、駆動駒３のロータ４側への駆動を規制しないので、駆動駒３をロータ４側へ駆動可能に保持することができる。

　また、支持面２ｆに対向する駆動駒３の基部３ｂの側面３ｃは、支持面２ｆと同様に傾斜して支持面２ｆと略平行に設けられている。そのため、駆動駒３の基部３ｂと当該基部３ｂを挟み込む第１圧電素子６，６をロータ４側から支持軸５に平行な方向に沿って保持部２ａの底面２ｇ側へ挿入する際に、第１圧電素子６と保持部２ａの支持面２ｆを隙間なく接触させて、第１圧電素子６を支持面２ｆに圧着することができる。これにより、駆動駒３の基部３ｂの幅ｗ３方向の振動を抑制することができる。

　また、支持面２ｆの支持軸５と平行な方向に対する傾斜角度αが、２°以上６°以下であることから、駆動駒３の支持軸５と平行な方向における位置決め誤差を許容誤差の範囲に収めることが可能になる。ここで、傾斜角度αが２°よりも小さいと、位置決めの精度が低下するだけでなく製作が困難になる。また傾斜角度αが６°よりも大きいと、駆動駒３の支持軸５に平行な方向への駆動に悪影響が生じる。本実施形態では、傾斜角度αを４°とすることで、位置決め精度、製作性、及び駆動性を良好なものとすることができる。

　また、駆動駒３が保持部２ａの支持面２ｆによって位置決めされた中立位置において、駆動駒３の基部３ｂの底面３ｄと保持部２ａの底面２ｇとが駆動駒３の基部３ｂの駆動方向である支持軸５に平行な方向に離間している。したがって、駆動駒３を中立位置からベース部２側へ駆動させることができる。さらに、本実施形態では、駆動駒３を中立位置からベース部２側へ駆動させたときにも、基部３ｂの底面３ｄと保持部２ａの底面２ｇとが離間するようになっている。したがって、駆動駒３をベース部２側へ駆動させたときに基部３ｂの底面３ｄと保持部２ａの底面２ｇとが衝突することを防止して、駆動駒３の駆動に衝突による悪影響が及ぶことを防止できる。

　また、駆動駒３が、ロータ４を支持して回転方向Ｒに駆動させる先端部３ａと、一対の第１圧電素子６に挟み込まれた状態でベース部２の保持部２ａに保持された基部３ｂと、を備えている。さらに、駆動駒３は、先端部３ａと基部３ｂとの間に、先端部３ａをロータ４の回転方向Ｒに沿う保持部２ａ及び駆動駒３の幅ｗ３方向に駆動する第２圧電素子７を備えている。

　そのため、駆動駒３を幅ｗ３方向に駆動することで、ロータ４の下面と駆動駒３の先端部３ａとの間に回転方向Ｒの接線方向の摩擦力が作用し、ロータ４を回転方向Ｒに駆動することができる。また、第１圧電素子６及び第２圧電素子７をそれぞれ独立して制御することができる。これにより、駆動駒３の先端部３ａの支持軸５に沿う方向の駆動と、ロータ４の回転方向Ｒに沿う方向の駆動とを独立して制御することができる。

　また、第１圧電素子６及び第２圧電素子７を同時に作動させ、駆動駒３の先端部３ａの支持軸５に沿う方向の駆動と、ロータ４の回転方向Ｒに沿う方向の駆動とを同時に行うことができる。
　したがって、図９～図１１に示すように、ロータ４と先端部３ａの接触時及び離間時に、駆動駒３の先端部３ａをロータ４の回転方向Ｒに沿って移動させ、ロータ４の回転を妨げることなく、第１組の駆動駒３１から第２組の駆動駒３２へロータ４の受け渡しを行うことができる。

　また、駆動駒３及びその基部３ｂを挟み込む二対の第１圧電素子６，６を３つ備えた駆動駒３の組が、第１組と第２組の二組構成されている。したがって、各組を異なるタイミングで駆動させることができる。また、各組の駆動駒３１，３２の先端部３１ａ，３２ａによって、ロータ４を３点支持することが可能となる。したがって、２点支持や４点以上の支持の場合と比較して、ロータ４の支持を安定して行うことができる。

　また、各組の駆動駒３１，３２は、ロータ４の回転方向Ｒに均等に配置されている。第１組と第２組の駆動駒３１，３２が、回転方向Ｒに交互に順番に配置されている。したがって、ロータ４を各組の駆動駒３１，３２によってバランスよく支持し、回転方向Ｒに効率よく駆動することができる。
　また、駆動駒３の先端部３ａが駆動する方向は、駆動駒３の基部３ｂが第１圧電素子６及び保持部２ａの支持面２ｆによって挟み込まれる方向と同一の方向となっている。したがって、駆動駒３の先端部３ａが送り駆動及び戻り駆動を行った場合に、駆動方向の前後から駆動駒３の基部３ｂを支持することができる。したがって、駆動駒３が支持軸５に平行な方向からずれることを抑制し、ロータ４の駆動に悪影響が及ぶことを防止できる。

　また、電源部１０が、第１組及び第２組の駆動駒３１，３２に位相差を有する電圧を供給することで、各組の駆動駒３１，３２によってそれぞれロータ４を駆動することができる。
　また、電源部１０が、各組の第１圧電素子６及び第２圧電素子７に供給する電圧の位相差を１８０°とすることで、第１組の駆動駒３１と第２組の駆動駒３２とによって交互に順番にロータ４を駆動させることができる。

　また、電源部１０が、各組の第１圧電素子６及び第２圧電素子７に、駆動駒３の先端部３ａがロータ４との接触、駆動駒３の幅ｗ３方向への送り、ロータ４からの離間、駆動駒３の幅ｗ３方向の戻り、を順次繰り返すように電圧を供給することで、ロータ４の回転駆動を連続的に行うことができる。
　また、電源部１０は、図８のPhase３，７，１４に示すように、第１端子Ｔ１に供給する電圧と第２端子Ｔ２に供給する電圧をオーバーラップさせている。これにより、第１組の駆動駒３１から第２組の駆動駒３２へのロータ４の受け渡しを連続的かつスムーズに行うことが可能になる。

　また、電源部１０は、図８に示すように、駆動駒３の先端部３ａに幅ｗ３方向の送り駆動をさせる際に、第３端子Ｔ３及び第４端子Ｔ４に供給する電圧の増加率（傾き）と、戻り駆動をさせる際の電圧の減少率（傾き）とを、異ならせている。例えば、第３端子Ｔ３において、先端部３ａを送り駆動させるPhase２～Phase８までの各Phaseで電圧を１．０Ｖずつ上昇させ、先端部３ａを戻り駆動させるPhase９～Phase１０までの各Phaseで電圧を３．０Ｖずつ減少させている。これにより、駆動駒３の先端部３ａの送り駆動の時間を戻り駆動の時間よりも長くすることができ、駆動駒３の先端部３ａとロータ４との接触時間を長くすることができる。したがって、駆動駒３の動力を、より効率よくロータ４に伝達することが可能になる。

　また、電源部１０が第１圧電素子６及び第２圧電素子７に供給する電圧の周波数は、第１圧電素子６、第２圧電素子７、駆動駒３、及びベース部２からなる支持駆動部１ａの共振振動の振動数と略等しくなっている。そのため、駆動駒３の先端部３ａによるロータ４の送り駆動及び戻り駆動の振幅をより大きくすることができる。支持駆動部１ａの共振振動の周波数は、ベース部２、圧電素子、駆動駒３の先端部３ａ及び基部３ｂの材質を適切に選定することで調整することができる。

　また、本実施形態では、図８に示すように、第１端子Ｔ１及び第２端子Ｔ２から各組の駆動駒３１，３２の第１圧電素子６１，６２に供給される電圧の周期と、第３端子Ｔ３及び第４端子Ｔ４から各組の第２圧電素子７１，７２に供給される電圧の周期とが等しくなっている。したがって、駆動駒３１，３２の支持軸５に平行な方向の駆動と、駆動駒３１，３２の幅ｗ３１，ｗ３２方向の先端部３１ａ，３２ａの駆動の振動数が等しくなる。これにより、支持軸５に平行な方向の駆動駒３１，３２の振幅と、駆動駒３１，３２の幅ｗ３１，ｗ３２方向の先端部３１ａ，３２ａの振幅を最大振幅とすることができる。

　また、駆動駒３の先端部３ａは、ロータ４の回転方向Ｒに沿う断面積がロータ４に近づくほど小さくなるように先細状に設けられている。したがって、先端部３ａを直方体状の形状に形成する場合と比較して、先端部３ａとロータ４との接触面積を減少させ、先端部３ａの磨耗による先端部３ａの体積変化率を小さくすることができる。これにより、先端部３ａの磨耗による先端部３ａの重量の変化を小さくすることができ、駆動駒３の共振周波数の変化を小さくすることができる。また、先端部３ａを六角柱状の形状とすることで、その他の形状と比較して先端部３ａの剛性を高くすることができる。

　また、支持軸５と略平行に設けられ駆動駒３の幅ｗ３方向と略垂直に交差するベース部２の側面２ｃに、溝部２ｄが形成されている。すなわち、溝部２ｄは、ベース部２を介して伝播する支持軸５と略平行な方向の振動に対して、略垂直に交差するように設けられている。そのため、溝部２ｄによって振動を吸収し、ベース部２による振動の伝播を減少させることができる。
　また、第１圧電素子６が、ロータ４と溝部２ｄとの間に設けられている。したがって、ベース部２のロータ４と反対側から溝部２ｄを越えて伝播する振動を減少させることができる。

　また、ベース部２の駆動駒３を保持する保持部２ａと反対側の端部が取付部１０１ａに固定され、溝部２ｄは駆動駒３よりも取付部１０１ａに近い位置に設けられている。そのため、取付部１０１ａの振動がベース部２に伝播した場合であっても、駆動駒３から比較的遠い位置で振動を減少させ、取付部１０１ａの振動が駆動駒３の駆動に悪影響を及ぼすことを防止できる。

　また、溝部２ｄの支持軸５に平行な方向の幅ｗ１は、ベース部２の振動の振幅よりも大きくなっている。そのため、溝部２ｄの両側のベース部２同士が衝突することを防止できる。
　また、溝部２ｄの支持軸５に平行な方向の幅ｗ１は、ベース部２、駆動駒３、第１圧電素子６、及び第２圧電素子７からなる支持駆動部１ａの共振振動の振幅よりも大きくなっている。したがって、支持駆動部１ａが共振状態で振動した場合でも、溝部２ｄの両側のベース部２同士が衝突することを防止できる。

　また、溝部２ｄの深さｄ１をベース部２の半径の４０％以上８０％以下とすることで、ベース部２の強度を十分に確保しつつ、十分な振動の伝播の抑制効果を得ることができる。
　また、ベース部２と支持軸５との間に間隙２ｅが形成されているので、ベース部２から支持軸５に伝播する振動を減少させることができる。また、支持軸５からベース部２に伝播する振動を減少させることができる。したがって、駆動駒３及びロータ４の駆動に悪影響が及ぶことを防止できる。

　次に、本実施形態の駆動装置１を備えたレンズ鏡筒及びカメラの一例について説明する。本実施形態の交換レンズは、カメラボディとともにカメラシステムを形成するものである。交換レンズは、公知のＡＦ（オートフォーカス）制御に応じて合焦動作を行うＡＦモードと、撮影者からの手動入力に応じて合焦動作を行うＭＦ（マニュアルフォーカス）モードとが切り替え可能になっている。

　図１３は、本実施形態におけるカメラ１０１の構成を模式的に示す概略構成図である。
　図１３に示すように、カメラ１０１は、撮像素子１０８が内蔵されたカメラボディ１０２と、レンズ１０７を有するレンズ鏡筒１０３とを備えている。

　レンズ鏡筒１０３は、カメラボディ１０２に着脱可能な交換レンズである。レンズ鏡筒１０３は、レンズ１０７、カム筒１０６、駆動装置１等を備えている。駆動装置１は、カメラ１０１のフォーカス動作時にレンズ１０７を駆動する駆動源として用いられている。駆動装置１のロータ４から得られた駆動力は、直接、カム筒１０６に伝えられる。レンズ１０７は、カム筒１０６に保持されており、駆動装置１の駆動力により、光軸方向Ｌに略平行に移動して、焦点調節を行うフォーカスレンズである。

　カメラ１０１の使用時には、レンズ鏡筒１０３内に設けられたレンズ群（レンズ１０７を含む）によって、撮像素子１０８の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子１０８によって、結像された被写体像は、電気信号に変換される。その信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。

　以上説明したように、本実施形態のカメラ１０１及びレンズ鏡筒１０３は、上記の実施形態で説明した駆動装置１を備えている。したがって、従来よりもロータ４を安定的に回転させることができ、出力が向上した駆動装置１によって、カム筒１０６を直接駆動させることができる。したがって、エネルギーの損失が少なく省エネルギー効果が得られる。また、部品点数の削減が可能になる。
　本実施形態では、レンズ鏡筒１０３は、交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒としてもよい。

　尚、本発明の態様は上述した実施形態のみに限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、第１圧電素子の電極部は、第１圧電素子と一体的に設けられていなくてもよい。すなわち、電極部と第１圧電素子とを分離させておき、駆動駒を保持部に保持させる際に電極部と第１圧電素子とを接合させてもよい。また、電極部は、ベース部から突出することでベース部から露出される耳片状（タブ状）の露出部を有していてもよい。また、駆動駒の側面に第１圧電素子を接合した状態で、駆動駒を保持部に保持させる際に、予め第１圧電素子の寸法並びに電極部の寸法及びこれらの貼り付け位置を、電極部がベース部のロータ側の端部、又はベース部の側面から突出するように調整し、電極部がベース部から突出して露出された部分を露出部としてもよい。

　また、電極部の露出部を露出させる露出形成部は、上記の実施形態で説明した面取り部に限定されない。例えば、上述の面取り部と同様にベース部の端部の角部に露出形成部を設ける場合に、保持部の両側の部分の角部のみに面取り部、切欠き部又は肉盗み部を設けて露出部を露出させてもよい。また、ベース部のロータ側の端部に露出形成部を設ける場合に、外周側の角部と内周側の角部の間に溝状の面取り部、切欠き部又は肉盗み部を設けてもよい。また、ベース部のロータ側の端部と保持部の底面との間のベース部の側面に面取り部、切欠き部又は肉盗み部を設けて露出部を露出させてもよい。

　また、上記の実施形態では、電極部の露出部と電極面とを導通させる導電性材料として導電性接着剤を用いる場合について説明したが、導電性材料は導電性接着剤に限定されない。その他の導電性材料としては、例えば、導電ペースト、半田、ろう材等を用いることができる。

　また、上記の実施形態では、第１圧電素子及び第２圧電素子が厚み滑り変形する場合について説明したが、これらは厚み方向に変形するものであってもよい。この場合、第１圧電素子によって駆動駒は保持部の幅方向（第１の方向）に移動し、第２圧電素子によって駆動駒の先端部は回転軸に平行な方向（第２の方向）に移動する。

　また、ベース部は、支持軸を囲むように設けられていれば複数に分割されていてもよく、支持軸を完全に囲んでいなくてもよい。例えば、ベース部は、支持軸を囲む円周上の半分に偏って配置されていてもよく、支持軸を両側から挟みこむような配置であってもよい。

　また、上述の実施形態では、駆動駒を支持軸と平行な方向へ駆動する第１圧電素子が駆動駒を挟み込むように一対設けられている場合について説明したが、第１圧電素子は駆動駒の一方の側面のみに設けられていてもよい。また、厚み方向への変位をする圧電素子を第１圧電素子として用い、ベース部の保持部の底面と駆動駒の基部の底面との間に第１圧電素子を配置するようにしてもよい。この場合には、ベース部に設けられた保持部の支持面によってロータの回転方向に沿う保持部の幅方向の両側から圧電素子を介すことなく基部を直接支持する。そして、基部を支持軸と平行な方向へスライド可能に保持するガイド部として支持面を機能させるようにしてもよい。

　また、上述の実施形態では、第１圧電素子及び第２圧電素子を備える駆動駒の組を二組備える場合について説明したが、駆動駒の組は三組以上であってもよい。また、駆動駒の組が備える駆動駒の数は、１つ、２つ、若しくは４つ以上であってもよい。例えば、上述の実施形態において、ベース部の対角に配置された配置された２つの駆動駒を１組として、駆動駒の組を３組構成してもよい。この場合には、各組の電圧の位相差を例えば１２０度とすることができる。これにより、常に２組の駆動駒によってロータを支持・回転させることができる。駆動駒の各組の電圧の位相差は、３６０度を組数で除した値（すなわち二組の場合は１８０度、三組の場合は１２０度）とすればよい。

　また、上述の実施形態では、第１圧電素子が駆動駒の基部を挟み込む方向（第１の方向）と第２圧電素子が駆動駒の先端部を駆動する方向（第３の方向）とが同一の場合について説明したが、これらを異ならせてもよい。例えば、第３の方向を駆動駒の幅ｗ３方向と交差しかつロータの回転方向に沿う方向とすることで、ロータを回転させやすくしてもよい。

　また、ベース部の支持面は、支持軸と平行な方向（第２の方向）に対して傾斜していなくてもよい。例えば、図１４Ａに示すように、保持部に第１圧電素子の保持部の底面側の端部を係止する突起状の係止部を設けてもよい。また、図１４Ｂに示すように、第１圧電素子の保持部の底面側の端部を基部の底面よりも突出させて位置決め部として機能させ、位置決め部を保持部の底面に突き当てることで位置決めをしてもよい。

　また、ベース部と支持軸との間の間隙は、ベース部の強度確保の観点から溝部の保持部側の縁まで形成するようにしてもよい。

　また、電源部の各端子から第１圧電素子及び第２圧電素子へ供給する電圧を正弦波や正弦波状の電圧波形としてもよい。
　まず、上述の実施形態と同様に駆動駒の組が第１組と第２組の二組構成され、電源部の第１端子と第２端子に発生する正弦波の電圧波形の位相差が１８０°であり、第３端子と第４端子に発生する正弦波の電圧波形の位相差が１８０°である場合を例に図１５を用いて説明する。

　図１２（ａ）～図１２（ｄ）と同様に、図１５（ａ）は、第１組の駆動駒の先端部のＹ方向の変位を示している。図１５（ｂ）は、第２組の駆動駒のＹ方向の変位を示している。また、図１５（ｃ）は、第１組の駆動駒のＸ１方向の変位を示している。図１５（ｄ）は、第２組のＸ２方向の変位を示している（図９～図１１参照）。

　電源部の第１端子と第２端子に発生する正弦波の電圧波形の位相差が１８０°である場合、図１５（ａ）及び図１５（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に駆動する第１組及び第２組の駆動駒の先端部は、１８０°の位相差を有する正弦波状の軌跡を描くようになる。このとき、第１組の駆動駒の先端部は、図１５（ａ）に太線で示すように、Ｙ軸方向の変位が接触位置ｙ１を越えるとロータと接触する（図９～図１１参照）。また、図１５（ｂ）に太線で示すように、第２組の駆動駒の先端部も同様にロータと接触する。

　ここで、図１５（ａ）に示す第１組の駆動駒の軌跡と、図１５（ｂ）第２組の駆動駒の軌跡とは、１８０°の位相差を有している。そのため、第１組の駆動駒の先端部と第２組の駆動駒の先端部とが、ロータに交互に接触してロータを支持する（図９～図１１参照）。このとき、上述の実施形態と同様に、双方の駆動駒の先端部がロータから離間する期間が存在する。しかし、上述の実施形態と同様、その間に、ロータは、その慣性によりＹ方向へは殆ど変位しない。

　同様に、電源部の第２端子と第３端子に発生する正弦波の電圧波形の位相差が１８０°である場合、図１５（ｃ）及び図１５（ｄ）に示すように、Ｘ１軸方向及びＸ２軸方向へ駆動する第１組及び第２組の駆動駒の先端部は、正弦波状の軌跡を描くようになる（図９～図１１参照）。

　ここで、図１５（ｃ）に太線で示すように、第１組の駆動駒の先端部は、ロータと接触している間（図１５（ａ）に示す太線部分の間）に、ロータの回転方向に沿うＸ１軸正方向に移動する（図９～図１１参照）。また、図１５（ｄ）に太線で示すように、第２組の駆動駒の先端部も同様に、ロータと接触している間（図１５（ｂ）に示す太線部分の間）に、ロータの回転方向に沿うＸ２軸正方向に移動する。

　したがって、上述の実施形態と同様に、ロータは第１組の駆動駒と第２組の駆動駒とによって交互に回転方向へ駆動される（図９～図１１参照）。

　次に、駆動駒の組が第１組～第３組の三組構成され、電源部の各端子に１２０°の位相差を有する正弦波又は正弦波状の電圧波形を発生させる場合について、図１６を用いて説明する。この場合、電源部として、上述の第１端子～第４端子に加え、第３組の駆動駒の第１圧電素子と第２圧電素子にそれぞれ電圧を供給する第５端子と第６端子を備えたものを用いる。また、第１組の駆動駒のＸ１方向及び第２組の駆動駒のＸ２方向（図９～図１１参照）と同様に、支持軸に垂直でロータの回転方向に沿う第３組の駆動駒の幅方向（保持部の幅方向）をＸ３方向とする。

　図１６（ａ）は、第１組～第３組の駆動駒の先端部のＹ方向の変位を示している。図１６（ｂ）は、第１組～第３組の駆動駒の先端部のＸ１～Ｘ３方向の変位を示している。図１６（ａ）及び図１６（ｂ）では、第１組の駆動駒の先端部の軌跡を実線、第２組の駆動駒の先端部の軌跡を破線、第３組の駆動駒の軌跡を一点鎖線で示している。

　電源部が各組の第１圧電素子に供給する電圧波形が１２０°の位相差を有する場合、図１６（ａ）に示すように、Ｙ軸方向に駆動する各組の駆動駒の先端部は、１２０°の位相差を有する正弦波状の軌道を描くようになる。このとき、各組の駆動駒の先端部は、図１６（ａ）に太線で示すように、Ｙ軸方向の変位が接触位置ｙ１を越えるとロータと接触する（図９～図１１参照）。

　ここで、図１６（ａ）に示す各組の駆動駒の軌跡は、１２０°の位相差を有している。そのため、各組の駆動駒の先端部がロータに順番に接触してロータを支持する（図９～図１１参照）。このとき、上述の実施形態と同様に、各組の駆動駒の先端部がロータから離間する期間が存在する。しかし、上述の実施形態と同様、その間に、ロータは、その慣性によりＹ方向へは殆ど変位しない。

　同様に、電源部が各組の第２圧電素子に供給する電圧波形が１２０°の位相差を有する場合、図１５（ｂ）に示すように、Ｘ１～Ｘ３軸方向へ駆動する各組の駆動駒の先端部は、正弦波状の軌道を描くようになる（図９～図１１参照）。

　ここで、図１６（ｂ）に太線で示すように、各組の駆動駒の先端部は、ロータと接触している間（図１６（ａ）に示す太線部分の間）に、ロータの回転方向に沿うＸ１～Ｘ３軸正方向に移動する（図９～図１１参照）。
　したがって、上述の実施形態と同様に、ロータは各組の駆動駒によって順番に回転方向へ駆動される（図９～図１１参照）。

（２）第２の実施形態
　本発明の第２の実施形態にかかる駆動装置を、図面を参照しながら以下に説明する。本実施形態の駆動装置２０１は、例えば駆動駒等の第１部材に対してロータ等の第２部材を相対的に変位させる相対駆動を行うことで、カメラのレンズ鏡筒等の光学機器や電子機器を駆動するためのものである。

　図１７は本実施形態の駆動装置２０１の正面図であり、図１８はその断面図である。
　図１７及び図１８に示すように、駆動装置２０１は、複数の保持部２０２ａが設けられたベース部（ベース部材）２０２と、保持部２０２ａに保持された駆動駒（第１部材）２０３と、駆動駒２０３に隣接して配置されたロータ（第２部材）２０４と、ベース部２０２に挿通された支持軸２０５と、を備えている。

　ロータ２０４の外周面には、例えばカメラのレンズ鏡筒等を駆動するための歯車２０４ａが形成されている。ロータ２０４のベース部２０２側の被支持面２０４ｂは、複数の駆動駒２０３によって支持されている。ロータ２０４は、ベアリング２０４ｅを介して支持軸２０５によって軸支され、支持軸２０５を回転軸として回転自在に設けられている。すなわち、支持軸２０５は、ロータ２０４の回転軸Ｒ１に沿って設けられている。

　ベース部２０２は、導電性を有する弾性体であり、例えばステンレス鋼等の金属材料により中空円筒状に形成され、支持軸２０５が挿通されることで、支持軸２０５を囲むように設けられている。ベース部２０２の一方の端部は、例えば不図示のボルト等により取付部３０１ａに固定されている。ベース部２０２の取付部３０１ａに対向する面の中央部には、凹部２０２ｂが形成されている。凹部２０２ｂには、支持軸２０５の基端に形成された拡径部２０５ａが挿入（嵌入）されている。この状態でベース部２０２が取付部３０１ａに固定されることで、支持軸２０５がベース部２０２及び取付部３０１ａに固定されている。

　ベース部２０２の他方の端部には、凹状の保持部２０２ａが、ベース部２０２の周方向、すなわちロータ２０４の回転方向Ｒに複数設けられている。保持部２０２ａは、駆動駒２０３を支持軸２０５に垂直でロータ２０４の回転方向Ｒに沿う方向（第１の方向）の両側から支持するとともに、駆動駒２０３を支持軸２０５に平行な方向（第２の方向）に駆動可能に保持している。

　図１８に示すように、ベース部２０２の側面２０２ｃは、支持軸２０５と略平行に設けられている。側面２０２ｃの保持部２０２ａと取付部３０１ａ側の端部との間には、取付部３０１ａから保持部２０２ａへの振動の伝達を抑制する振動抑制部としての溝部２０２ｄが形成されている。すなわち、溝部２０２ｄは、支持軸２０５に略垂直でかつロータ２０４の回転方向Ｒに沿う方向（第１の方向）と交差するベース部２０２の側面２０２ｃに設けられている。溝部２０２ｄは、ベース部２０２の周方向に連続的に設けられ、保持部２０２ａと取付部３０１ａ側の端部との中間よりも取付部３０１ａ側の端部に近い位置に設けられている。

　溝部２０２ｄの深さｄ２０１は、例えばベース部２０２の半径ｒ２０１の４０％以上かつ８０％以下の範囲である。上記数値は一例であってこれに限定されない。溝部２０２ｄの深さｄ２０１は、例えば、ベース部２０２の半径ｒ２０１の１０，２０，３０，４０，５０，６０，７０，８０，又は９０％にできる。また、支持軸２０５に平行な方向（第２の方向）の溝部２０２ｄの幅ｗ２０１は、ベース部２０２の振動の振幅よりも大きく、後述する第１圧電素子２０６、第２圧電素子（第２の圧電素子）２０７、駆動駒２０３、及びベース部２０２からなる支持駆動部（構造部）２０１ａの共振振動の振幅よりも大きくなるように形成されている。一例において、溝部２０２ｄの幅ｗ２０１は、ベース部２０２の半径よりも短くできる。

　図１８に示すように、ベース部２０２と支持軸２０５との間には、取付部３０１ａから保持部２０２ａへの振動を抑制するための間隙（振動抑制部）２０２ｅが設けられている。間隙２０２ｅは、支持軸２０５と平行な方向に、ベース部２０２の保持部２０２ａ側の端部から溝部２０２ｄの取付部３０１ａ側の縁と同様の位置まで設けられている。また、間隙２０２ｅの幅ｗ２０２は、溝部２０２ｄの幅ｗ２０１と同様に、ベース部２０２の振動の振幅よりも大きく、後述する支持駆動部２０１ａの共振振動の振幅よりも大きくなるように形成されている。

　ベース部２０２の表面には、絶縁膜２０２ｇが成膜されて絶縁処理が施されている。絶縁膜２０２ｇは、例えばアクリル系やエポキシ系などの絶縁材料をベース部２０２の表面に塗布することにより成膜される。絶縁膜２０２ｇは、溝部２０２ｄよりも駆動駒２０３側のベース部２０２の側面、保持部２０２ａ、及び間隙２０２ｅ側の面に亘って連続的に成膜されている。ベース部２０２の絶縁膜２０２ｇが形成された部分の絶縁抵抗値は、沿面測定値でおよそ数ＭΩとなっている。

　絶縁膜２０２ｇは、例えば鉛筆硬度２Ｈ以上の高い硬度を有し、ダンパー成分が殆どないものが用いられる。絶縁膜２０２ｇの耐電圧は、例えば約２００ＶＤＣ以上であることが望ましい。絶縁膜２０２ｇの膜厚は、上記の耐電圧が維持できる範囲で可能な限り薄く形成する。膜厚は、例えば約１０μｍ以上２０μｍ以下であることが望ましい。また、膜厚のばらつきは、平均膜厚±５０％以下とし、望ましくは平均膜厚±３０％以下にする。
　本実施形態の絶縁膜２０２ｇは、例えばシリカ系組成を含む絶縁材料により形成され、硬度は３Ｈ以上、膜厚は約１５μｍ±３μ程度、耐電圧は約２７０ＶＤＣ以上となっている。

　図１９は、支持軸２０５に平行でロータ２０４の回転方向Ｒに沿う断面における駆動駒２０３及び保持部２０２ａのロータ２０４の拡大断面図である。
　図１９に示すように、絶縁膜２０２ｇは、保持部２０２ａは駆動駒２０３を支持する支持面２０２ｆ，２０２ｆを含む保持部２０２ａの全体に均一な膜厚で形成されている。第１圧電素子２０６は、導電性を有する接着剤により駆動駒２０３の側面２０３ｃ及び絶縁膜２０２ｇが形成された保持部２０２ａの支持面２０２ｆに固定されている。

　絶縁膜２０２ｇと第１圧電素子２０６とを接着する接着剤は、絶縁膜２０２ｇと同系の材料を含むものを用いることが望ましい。例えば、絶縁膜２０２ｇとしてアクリル系の材料を含むものを用いた場合には、アクリル系の材料を含む接着剤が用いられる。また、絶縁膜２０２ｇとしてエポキシ系の材料を含むものを用いた場合には、エポキシ系の材料を含む接着剤が用いられる。
　本実施形態では、全ての第１圧電素子２０６とベース部２０２との間に絶縁膜２０２ｇが設けられている。また、第１圧電素子２０６は、絶縁膜２０２ｇと接する面に電極２０６ａが設けられている。

　図２０Ａは図１７に示す駆動装置２０１の支持駆動部２０１ａの斜視図であり、図２０Ｂはその平面図である。
　図２０Ａ及び図２０Ｂに示すように、駆動駒２０３は、断面が山形の六角柱形状を有する先端部２０３ａと略直方体形状を有する基部２０３ｂと、を有している。先端部２０３ａは、例えばステンレス鋼等により形成されている。基部２０３ｂは、例えば軽金属合金等により形成され、双方とも導電性を有している。基部２０３ｂは保持部２０２ａによって支持軸２０５と平行な方向に駆動可能に支持され、先端部２０３ａは保持部２０２ａから突出してロータ２０４を支持するようになっている。先端部２０３ａは、ロータ２０４に接触する上面の面積が基部２０３ｂ側の底面の面積よりも小さくなる先細状の形状に設けられている。

　図２０Ｂに示すように、駆動駒２０３の幅ｗ２０３方向（第１の方向）には、駆動駒２０３の基部２０３ｂを幅ｗ２０３方向の両側から挟みこむ一対の第１圧電素子２０６，２０６が二対設けられている。駆動駒２０３の幅ｗ２０３方向は、支持軸２０５に垂直でロータ２０４の回転方向Ｒに沿う方向であって、ベース部２０２の平面視における中心線ＣＬと略垂直な方向である。第１圧電素子２０６は、保持部２０２ａの深さｄ２０２方向に沿って延びる細長い長方形状の形状に形成され、基部２０３ｂと保持部２０２ａとの間に挟持されている。これにより、第１圧電素子２０６は、ベース部２０２に設けられた溝部２０２ｄ（図１７、図１８参照）とロータ２０４との間に配置されている。

　第１圧電素子２０６は、例えば導電性の接着剤により駆動駒２０３の基部２０３ｂと絶縁膜２０２ｇが成膜された保持部２０２ａとに接着されている。また、ベース部２０２の中心を通る中心線ＣＬと略平行な駆動駒２０３の奥行ｐ２０１方向に配置された２つの第１圧電素子２０６，２０６は、互いに略平行になっている。各々の第１圧電素子２０６の形状及び寸法は、全て略等しくなっている。

　図２０Ａに示すように、駆動駒２０３の基部２０３ｂと先端部２０３ａとの間には、一対の第２圧電素子２０７，２０７が、互いに略平行に設けられている。第２圧電素子２０７は、駆動駒２０３の幅ｗ２０３方向と略平行に延びる細長い長方形状に形成されている。第２圧電素子２０７は、先端部２０３ａの底面と基部２０３ｂの上面との間に挟持され、例えば導電性の接着剤により先端部２０３ａの底面と基部２０３ｂの上面とに接着されている。各々の第２圧電素子２０７の形状及び寸法は、全て略等しくなっている。

　第１圧電素子２０６及び第２圧電素子２０７は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）により形成され、その振動モードは厚み滑り振動である。すなわち、第１圧電素子２０６は、駆動駒２０３を、支持軸２０５と略平行な保持部２０２ａの深さｄ２０２方向に、ベース部２０２に対して相対的に駆動させる。第２圧電素子２０７は、駆動駒２０３の先端部２０３ａを駆動駒２０３の幅ｗ２０３方向（第３の方向）に、基部２０３ｂ及びベース部２０２に対して相対的に駆動させる。すなわち、本実施形態では、第１圧電素子２０６が駆動駒２０３を挟み込む方向（第１の方向）と、第２圧電素子２０７が駆動駒２０３の先端部２０３ａを駆動させる方向（第３の方向）とが略等しくなっている。

　これら複数の第１圧電素子２０６、第２圧電素子２０７、駆動駒２０３、及びベース部２０２により、ロータ２０４を支持し、かつロータ２０４を駆動駒２０３及びベース部２０２と相対的に駆動させる支持駆動部２０１ａが構成されている。

　図２０Ａに示すように、保持部２０２ａは、ベース部２０２の端部に設けられ、ベース部２０２に王冠状の凹凸を形成している。図２０Ｂに示すように、保持部２０２ａは、ベース部２０２の周方向の略６０°毎に均等に形成されている。保持部２０２ａは、平面視でベース部２０２の中心を通る中心線ＣＬと略平行に設けられた一対の支持面２０２ｆ，２０２ｆを備えている。支持面２０２ｆは、駆動駒２０３の基部２０３ｂを、ベース部２０２の中心線ＣＬと略垂直な保持部２０２ａの幅ｗ２０４方向（第１の方向）の両側から一対の第１圧電素子２０６，２０６を介して挟み込むように保持している。

　本実施形態の駆動駒２０３は、先端部２０３ａと基部２０３ｂとの間に一対の第２圧電素子２０７，２０７を備え、基部２０３ｂの側面に第１圧電素子２０６，２０６を二対備えている。駆動装置２０１は、この駆動駒２０３及び二対の第１圧電素子２０６を３つ備えた駆動駒２０３の組を、第１組及び第２組の二組備えている。第１組の駆動駒２３１と第２組の駆動駒２３２とは同一の円周上に配置されている。また、各々の組の駆動駒２３１，２３２は、ロータ２０４の回転方向Ｒにそれぞれ均等に配置され、異なる組の駆動駒２３１，２３２が回転方向Ｒに交互に（順番に）配置されている。

　図２１Ａは第１圧電素子２０６の模式的な配線図であり、図２１Ｂは第２圧電素子２０７の模式的な配線図である。
　図２１Ａ及び図２１Ｂに示すように、本実施形態の駆動装置２０１は、第１圧電素子２０６の電極２０６ａ及び第２圧電素子２０７の電極（図示略）の各々に電圧を供給する電源部２１０を備えている。電源部２１０は、図２０Ａ及び図２０Ｂに示す第１組及び第２組のそれぞれの駆動駒２３１，２３２の先端部２３１ａ，２３２ａが、順次、図１７及び図１８に示すロータ２０４との接触、ロータ２０４の回転方向Ｒへの送り、ロータ２０４からの離間、ロータ２０４の回転方向Ｒと逆方向の戻り、を繰り返すように第１圧電素子２０６及び第２圧電素子２０７に電圧を供給する。

　図２１Ａに示すように、第１組の駆動駒２３１の各々が備える第１圧電素子２６１の第１電極２６１ａは、第１配線２１１を介して電源部２１０の第１端子Ｔ１に接続されている。第２組の駆動駒２３２の各々が備える第１圧電素子２６２の第１電極２６２ａは、第２配線２１２を介して電源部２１０の第２端子Ｔ２に接続されている。
　図２１Ｂに示すように、第１組の駆動駒２３１の各々が備える第２圧電素子２７１の電極は、駆動駒２３１の先端部２３１ａに接続された第３配線２１３を介して電源部２１０の第３端子Ｔ３に接続されている。第２組の駆動駒２３２の各々が備える第２圧電素子２７２の電極は、駆動駒２３２の先端部２３２ａに接続された第４配線２１４を介して電源部２１０の第４端子Ｔ４に接続されている。

　また、図２１Ａ及び図２１Ｂにおいて図示は省略するが、駆動駒２３１，２３２の基部２３１ｂ，２３２ｂは、接地されている。
　以上の構成により、第１圧電素子２０６の電極２０６ａと駆動駒２０３の基部２０３ｂとの間には、第１圧電素子２０６を駆動させる所定の駆動電圧が印加される。また、駆動駒２０３の先端部２０３ａと基部２０３ｂとの間には、第２圧電素子２０７を駆動させる所定の駆動電圧が印加される。

　図２２は、電源部２１０が各端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４に発生させる電圧のタイミングチャートの一例である。
　図２２に示すように、電源部２１０は第１端子Ｔ１にPhase１～Phase２の間は－１．０Ｖの電圧を発生させ、Phase３～Phase７の５Phaseは１．０Ｖの電圧を発生させ、Phase８～Phase１０の３Phaseは－１．０Ｖの電圧を発生させる。以降のPhaseでは、１．０Ｖの電圧を５Phase発生させ、－１．０Ｖの電圧を３Phase発生させることを繰り返す。すなわち、電源部２１０は、第１端子に８Phaseを一周期とする電圧を発生させる。

　電源部２１０は、第２端子Ｔ２に、第１端子Ｔ１に発生させる電圧と１８０°の位相差を有し、第１端子Ｔ１に発生させる電圧と同様の８Phaseを一周期とする電圧を発生させる。すなわち、第１端子に発生する電圧と、第２端子に発生する電圧とは、半周期分の４Phaseの位相差を有している。

　電源部２１０は、Phase１において第３端子Ｔ３に発生させる電圧を０Ｖに維持し、Phase２において－３．０Ｖの電圧を発生させ、Phase３～Phase８までの各Phaseにおいて電圧を１．０Ｖずつ増加させる。以降のPhaseでは、このPhase１～Phase８の電圧の発生パターンを繰り返す。すなわち、電源部２１０は、第３端子Ｔ３に８Phaseを一周期とする電圧を発生させる。

　電源部２１０は、第４端子Ｔ４に、第３端子Ｔ３に発生させる電圧と１８０°の位相差を有し、第３端子Ｔ３に発生させる電圧と同様の８Phaseを一周期とする電圧を発生させる。すなわち、第３端子に発生する電圧と、第４端子に発生する電圧とは、半周期分の４Phaseの位相差を有している。

　本実施形態では、電源部２１０が第１圧電素子２０６及び第２圧電素子２０７に供給する電圧の周波数は、第１圧電素子２０６、第２圧電素子２０７、駆動駒２０３、及びベース部２０２からなる支持駆動部（構造部）２０１ａの共振振動の振動数と略等しくなっている。

　次に、本実施形態の駆動装置２０１の作用について、図２３～図２６を用いて説明する。
　図２３～図２５は、第１組と第２組の駆動駒２３１，２３２の動作とロータ２０４の動作を示す拡大正面図である。
　図２６は、第１組及び第２組の駆動駒２３１，２３２の先端部２３１ａ，２３２ａの各軸方向の変位と時間ｔの関係を示すグラフである。図２６（ａ）及び図２６（ｂ）において、Ｙ軸方向におけるロータ２０４との接触位置ｙ１は、破線で表されている。

　図２３（ａ）～図２５（ａ）では、ロータ２０４の回転方向Ｒ（図２０Ｂ参照）に沿う第１組の駆動駒２３１の幅ｗ２３１方向（第１の方向）をＸ１方向、支持軸２０５（図１８参照）に平行な方向（第２の方向）をＹ方向とする直交座標系を用いて説明する。図２３（ｂ）～図２５（ｂ）では、ロータ２０４の回転方向Ｒに沿う第２組の駆動駒２３２の幅ｗ２３２方向（第１の方向）をＸ２方向、支持軸２０５に平行な方向（第２の方向）をＹ方向とする直交座標系を用いて説明する。

（Phase０）
　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase０において、各端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４に電圧を発生させず（０Ｖ）、図２１Ａ及び図２１Ｂに示す第１圧電素子２０６及び第２圧電素子２０７に０Ｖの電圧を供給している（電圧を供給していない）状態である。
　図２３（ａ）及び図２３（ｂ）に示すように、Phase０において、第１組の駆動駒２３１と第２組の駆動駒２３２は、それぞれ先端部２３１ａ，２３２ａの上面がロータ２０４に接した状態で静止している。ロータ２０４は、駆動駒２３１，２３２の先端部２３１ａ，２３２ａに支持された状態で静止している。

（Phase１）
　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase１において、第１端子Ｔ１に－１．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ａに示す第１組の駆動駒２３１の第１圧電素子２６１の電極部２６１ａに、第１配線２１１を介して電圧を供給する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase１において、第３端子Ｔ３の電圧を０Ｖに維持し、図２１Ｂに示す第１組の駆動駒２３１の第２圧電素子２７１に第３配線２１３を介して０Ｖの電圧を供給する。

　すると、図２３（ａ）に示すように、Phase１において、第１組の駆動駒２３１を駆動する第１圧電素子２６１が厚み滑り変形し、駆動駒２３１の基部２３１ｂを保持部２２ａの支持面２２ｆに対してＹ方向のベース部２０２側（Ｙ軸負方向側）へ移動させる（図２６（ａ）、Phase１参照）。また、図２３（ａ）に示すように、Phase１において、第２圧電素子２７１は変形せず、先端部２３１ａはＸ１方向へは移動しない（図２６（ｃ）、Phase１参照）。これにより、駆動駒２３１の先端部２３１ａがＹ軸負方向側へ移動し、ロータ２０４から離間する。

　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase１において、第２端子Ｔ２に１．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ａに示す第２組の駆動駒２３２の第１圧電素子２６２の電極部２６２ａに第２配線２１２を介して電圧を供給する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase１において、第４端子Ｔ４の電圧を０Ｖに維持し、図２１Ｂに示す第２組の駆動駒２３２の第２圧電素子２７２には第４配線２１４を介して０Ｖの電圧を供給する。

　すると、図２３（ｂ）に示すように、Phase１において、第２組の駆動駒２３２を駆動する第１圧電素子２６２が厚み滑り変形し、駆動駒２３２の基部２３２ｂを保持部２０２ａの支持面２０２ｆに対してＹ方向のロータ２０４側（Ｙ軸正方向側）へ移動させる（図２６（ｂ）、Phase１参照）。また、図２１Ｂに示すように、Phase１において、第２圧電素子２７２は変形せず、先端部２３２ａはＸ２方向へは移動しない（図２６（ｄ）、Phase１参照）。これにより、駆動駒２３２がＹ軸正方向側へ移動して、先端部２３２ａがロータ２０４をＹ軸正方向側へ押し上げる。

　すなわち、Phase１においては、図２３（ａ）に示すように、第１組の駆動駒２３１の先端部２３１ａは、Ｙ軸負方向側へ移動してロータ２０４から離間する。同時に、図２３（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒２３２の先端部２３２ａは、ロータ２０４に当接してロータ２０４を支持しつつ、ロータ２０４をＹ軸正方向側へ押し上げる。

（Phase２）
　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase２において、第１端子Ｔ１の電圧を－１．０Ｖに維持し、図２１Ａに示す第１組の駆動駒２３１の第１圧電素子２６１の電極部２６１ａに第１配線２１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase２において、第３端子Ｔ３に－３．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ｂに示す第１組の駆動駒２３１の第２圧電素子２７１に第３配線２１３を介して電圧を供給する。

　すると、図２３（ａ）に示すように、Phase２において、第１組の駆動駒２３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子２６１の変形が維持されて、先端部２３１ａがロータ２０４から離間した状態が維持される（図２６（ａ）、Phase２参照）。この状態で、図２３（ａ）に示すように、Phase２において、第２圧電素子２７１が厚み滑り変形し、先端部２３１ａが基部２３１ｂ及びベース部２０２に対してＸ１軸負方向側へ移動する（図２６（ｃ）参照）。このときの先端部２３１ａの移動量は、第２圧電素子２７１に供給される電圧の絶対値に比例する。

　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase２において、第２端子Ｔ２の電圧を１．０Ｖに維持し、図２１Ａに示す第２組の駆動駒２３２の第１圧電素子２６２の電極部２６２ａに第２配線２１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase２において、第４端子Ｔ４に１．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ｂに示す第２組の駆動駒２３２の第２圧電素子２７２に第４配線２１４を介して電圧を供給する。

　すると、図２３（ｂ）に示すように、Phase２において、第２組の駆動駒２３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子２６２の変形が維持されて、先端部２３２ａがロータ２０４に接触した状態が維持される（図２６（ｂ）、Phase２参照）。この状態で、図２３（ｂ）に示すように、Phase２において、第２圧電素子２７２が厚み滑り変形し、先端部２３２ａが基部２３２ｂ及びベース部２０２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図２６（ｄ）、Phase２参照）。このときの先端部２３２ａの移動量は、電圧の絶対値に比例するため、第１組の先端部２３１ａのＸ１軸負方向側への移動量と比較して小さくなる。

　すなわち、Phase２においては、図２３（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒２３２の先端部２３２ａのＸ２軸正方向側への移動により、先端部２３２ａの上面からロータ２０４の下面（非接触面２０４ｂ）に摩擦力が作用する。ここで、第２組の駆動駒２３２は、図２０Ａ及び図２０Ｂに示すように、ロータ２０４の回転方向Ｒに沿ってベース部２０２の周方向に配置される。先端部２３２ａは、ロータ２０４の回転方向Ｒに沿う駆動駒２３２の幅ｗ２３２方向（Ｘ２方向）に変位する。そのため、ロータ２０４は、駆動駒２３２の先端部２３２ａによって回転方向Ｒに駆動され、図１７及び図１８に示す支持軸２０５を中心とする回転を開始する。

（Phase３）
　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase３において、第１端子Ｔ１に正負が逆転した１．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ａに示す第１組の駆動駒２３１の第１圧電素子２６１の電極部２６１ａに第１配線２１１を介して電圧を供給する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase３において、第３端子Ｔ３に－２．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ｂに示す第１組の駆動駒２３１の第２圧電素子２７１に第３配線２１３を介して電圧を供給する。

　すると、図２３（ａ）に示すように、Phase３において、第１組の駆動駒２３１を駆動する第１圧電素子２６１が逆方向に厚み滑り変形し、駆動駒２３１の基部２３１ｂをＹ軸正方向側へ移動させる（図２６（ａ）、Phase３参照）。同時に、図２３（ａ）に示すように、Phase３において、第２圧電素子２７１のＸ１軸負方向側への変形量が減少し、先端部２３１ａが基部２３１ｂ及びベース部２０２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図２６（ｃ）、Phase３参照）。このときの移動量は、Phase３で新たに供給された－２．０ＶとPhase２で供給されていた－３．０Ｖとの電圧の差に比例する。

　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase３において、第２端子Ｔ２の電圧を維持し、図２１Ａに示す第２組の駆動駒２３２の第１圧電素子２６２の電極部２６２ａに第２配線２１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase３において、第４端子Ｔ４に２．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ｂに示す第２組の駆動駒２３２の第２圧電素子２７２に第４配線２１４を介して電圧を供給する。

　すると、図２３（ｂ）に示すように、Phase３において、第２組の駆動駒２３２を駆動する第１圧電素子２６２の変形が維持されて、先端部２３２ａがロータ２０４に接触した状態が維持される（図２６（ｂ）、Phase３参照）。この状態で、図２３（ｂ）に示すように、Phase３において、第２圧電素子２７２が厚み滑り変形し、先端部２３２ａが基部２３２ｂ及びベース部２０２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図２６（ｄ）、Phase３参照）。このときの移動量は、Phase３で新たに供給された２．０ＶとPhase２で供給されていた１．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。

　すなわち、Phase３においては、図２３（ａ）に示すように、第１組の駆動駒２３１の先端部２３１ａは、ロータ２０４の回転方向Ｒに沿うＸ１軸正方向側へ移動しながらＹ軸正方向側へ移動してロータ２０４に接近して当接する。同時に、図２３（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒２３２の先端部２３２ａは、ロータ２０４に当接してロータ２０４を支持しつつ、ロータ２０４を回転方向Ｒへ駆動する。

（Phase４）
　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase４において、第１端子Ｔ１の電圧を１．０Ｖに維持し、図２１Ａに示す第１組の駆動駒２３１の第１圧電素子２６１の電極部２６１ａに第１配線２１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase４において、第３端子Ｔ３に－１．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ｂに示す第１組の駆動駒２３１の第２圧電素子２７１に第３配線２１３を介して電圧を供給する。

　すると、図２４（ａ）に示すように、Phase４において、第１組の駆動駒２３１をＹ軸正方向側に駆動する第１圧電素子２６１の変形が維持されて、先端部２３１ａがロータ２０４に当接した状態が維持される（図２６（ａ）、Phase４参照）。同時に、図２４（ａ）に示すように、Phase４において、第２圧電素子２７１のＸ１軸負方向側への変形量が減少し、先端部２３１ａが基部２３１ｂ及びベース部２０２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図２６（ｃ）、Phase４参照）。このときの移動量は、Phase４で新たに供給された－１．０ＶとPhase３で供給されていた－２．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。

　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase４において、第２端子Ｔ２に正負が逆転した－１．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ａに示す第２組の駆動駒２３２の第１圧電素子２６２の電極部２６２ａに第２配線２１２を介して電圧を供給する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase４において、第４端子Ｔ４に３．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ｂに示す第２組の駆動駒２３２の第２圧電素子２７２に第４配線２１４を介して電圧を供給する。

　すると、図２４（ｂ）に示すように、Phase４において、第２組の駆動駒２３２を駆動する第１圧電素子２６２が逆方向に厚み滑り変形し、駆動駒２３２の基部２３２ｂをＹ軸負方向側へ移動させる（図２６（ｂ）、Phase４参照）。同時に、図２４（ｂ）に示すように、Phase４において、第２圧電素子２７２のＸ２軸正方向側への変形量が増加し、先端部２３２ａが基部２３２ｂ及びベース部２０２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図２６（ｄ）、Phase４参照）。このときの移動量は、Phase４で新たに供給された３．０ＶとPhase２で供給されていた２．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。

　すなわち、Phase４においては、図２４（ａ）に示すように、第１組の駆動駒２３１の先端部２３１ａは、ロータ２０４に当接した状態でロータ２０４の回転方向Ｒに沿うＸ１軸正方向側に移動し、ロータ２０４を支持して回転方向Ｒへ駆動させる。同時に、図２４（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒２３２の先端部２３２ａは、ロータ２０４の回転方向Ｒへ沿うＸ２軸正方向側へ移動しながら、Ｙ軸負方向側へ移動してロータ２０４から離間する。これにより、第１組及び第２組の駆動駒２３１，２３２の先端部２３１ａ，２３２ａによってロータ２０４を回転方向Ｒに駆動させつつ、第２組の駆動駒２３２の先端部２３２ａから第１組の駆動駒２３１の先端部２３１ａへロータ２０４が受け渡される。

　このとき、Phase４において、双方の駆動駒２３１，２３２が、極めて短時間、ロータ２０４から離間する場合がある。このような場合であっても、ロータ２０４は、その慣性によりＹ方向の変位を殆どすることなく、第２組の駆動駒２３２の先端部２３２ａによって支持されていた位置に留まる。そのため、ロータ２０４は、Ｙ方向の略一定の位置が維持され、回転方向Ｒに駆動された状態で、第１組の駆動駒２３１の先端部２３１ａによりＹ方向に支持され、回転方向Ｒへ駆動される。これにより、ロータ２０４は、Ｙ方向の略一定の位置で支持軸２０５を中心として回転を継続する。

（Phase５）
　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase５において、第１端子Ｔ１の電圧を１．０Ｖに維持し、図２１Ａに示す第１組の駆動駒２３１の第１圧電素子２６１の電極部２６１ａに第１配線２１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase５において、第３端子Ｔ３に発生させる電圧を０Ｖにし、図２１Ｂに示す第１組の駆動駒２３１の第２圧電素子２７１に第３配線２１３を介して供給する電圧を０Ｖにする。

　すると、図２４（ａ）に示すように、Phase５において、第１組の駆動駒２３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子２６１の変形が維持されて、先端部２３１ａがロータ２０４に接触した状態が維持される（図２６（ａ）、Phase５参照）。この状態で、図２４（ａ）に示すように、Phase５において、第２圧電素子２７１が元の形状に戻り、先端部２３１ａが基部２３１ｂ及びベース部２０２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図２６（ｃ）、Phase５参照）。このときの先端部２３１ａの移動量は、Phase４において第２圧電素子２７１に供給されていた電圧の絶対値に比例する。

　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase５において、第２端子Ｔ２の電圧を－１．０Ｖに維持し、図２１Ａに示す第２組の駆動駒２３２の第１圧電素子２６２の電極部２６２ａに第２配線２１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase５において、第４端子Ｔ４に発生させる電圧を０Ｖにし、図２１Ｂに示す第２組の駆動駒２３２の第２圧電素子２７２に第４配線２１４を介して供給する電圧を０Ｖにする。

　すると、図２４（ｂ）に示すように、Phase５において、第２組の駆動駒２３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子２６２の変形が維持されて、先端部２３２ａがロータ２０４から離間した状態が維持される（図２６（ｂ）Phase５参照）。同時に、図２４（ｂ）に示すように、Phase５において、第２圧電素子２７２が元の形状に戻り、先端部２３２ａが基部２３２ｂ及びベース部２０２に対してＸ２軸負方向側へ移動する（図２６（ｄ）、Phase５参照）。このときの先端部２３２ａの移動量は、Phase４において第２圧電素子２７２に供給されていた電圧の絶対値に比例する。

　すなわち、Phase５においては、図２４（ａ）に示すように、第１組の駆動駒２３１の先端部２３１ａは、ロータ２０４に当接した状態を維持してロータ２０４を支持しつつ、Ｘ１軸正方向側に移動してロータ２０４を回転方向Ｒへ駆動させる。同時に、図２４（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒２３２の先端部２３２ａは、Ｙ軸負方向側へ移動してロータ２０４から離間した状態を維持しつつ、基部２３２ｂ及びベース部２０２に対してロータ２０４の回転方向Ｒと逆のＸ２軸負方向側へ移動する。

（Phase６）
　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase６において、第１端子Ｔ１の電圧を１．０Ｖに維持し、図２１Ａに示す第１組の駆動駒２３１の第１圧電素子２６１の電極部２６１ａに第１配線２１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase６において、第３端子Ｔ３に１．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ｂに示す第１組の駆動駒２３１の第２圧電素子２７１に第３配線２１３を介して電圧を供給する。

　すると、図２４（ａ）に示すように、Phase６において、第１組の駆動駒２３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子２６１の変形が維持されて、先端部２３１ａがロータ２０４に接触した状態が維持される（図２６（ａ）、Phase６参照）。この状態で、図２４（ａ）に示すように、Phase６において、第２圧電素子２７１が厚み滑り変形し、先端部２３１ａが基部２３１ｂ及びベース部２０２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図２６（ｃ）、Phase６参照）。このときの移動量は、Phase６で新たに供給された電圧の絶対値に比例する。

　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase６において、第２端子Ｔ２の電圧を－１．０Ｖに維持し、図２１Ａに示す第２組の駆動駒２３２の第１圧電素子２６２の電極部２６２ａに第２配線２１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase６において、第４端子Ｔ４に－３．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ｂに示す第２組の駆動駒２３２の第２圧電素子２７２に第４配線２１４を介して電圧を供給する。

　すると、図２４（ｂ）に示すように、Phase６において、第２組の駆動駒２３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子２６２の変形が維持されて、先端部２３２ａがロータ２０４から離間した状態が維持される（図２６（ｂ）、Phase６参照）。この状態で、図２４（ｂ）に示すように、Phase６において、第２圧電素子２７２が厚み滑り変形し、先端部２３２ａが基部２３２ｂ及びベース部２０２に対してＸ２軸負方向側へ移動する（図２６（ｄ）、Phase６参照）。このときの先端部２３２ａの移動量は、第２圧電素子２７２に供給される電圧の絶対値に比例する。

　すなわち、Phase６においては、図２４（ａ）に示すように、第１組の駆動駒２３１の先端部２３１ａは、ロータ２０４に当接した状態を維持してロータ２０４を支持しつつ、Ｘ１軸正方向側に移動してロータ２０４を回転方向Ｒへ駆動する。同時に、図２４（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒２３２の先端部２３２ａは、ロータ２０４から離間した状態を維持しつつ、基部２３２ｂ及びベース部２０２に対してロータ２０４の回転方向Ｒと逆のＸ２軸負方向側へさらに移動する。

（Phase７）
　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase７において、第１端子Ｔ１の電圧を１．０Ｖに維持し、図２１Ａに示す第１組の駆動駒２３１の第１圧電素子２６１の電極部２６１ａに第１配線２１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase７において、第３端子Ｔ３に２．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ｂに示す第１組の駆動駒２３１の第２圧電素子２７１に第３配線２１３を介して電圧を供給する。

　すると、図２４（ａ）に示すように、Phase７において、第１組の駆動駒２３１を駆動する第１圧電素子２６１の変形が維持されて、先端部２３１ａがロータ２０４に接触した状態が維持される（図２６（ａ）、Phase７参照）。この状態で、図２４（ａ）に示すように、Phase７において、第２圧電素子２７１が厚み滑り変形し、先端部２３１ａが基部２３１ｂ及びベース部２０２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図２６（ｃ）、Phase７参照）。このときの移動量は、Phase７で新たに供給された２．０ＶとPhase６で供給されていた１．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。

　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase７において、第２端子Ｔ２に正負が逆転した１．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ａに示す第２組の駆動駒２３２の第１圧電素子２６２の電極部２６２ａに第２配線２１２を介して電圧を供給する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase７において、第４端子Ｔ４に－２．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ｂに示す第２組の駆動駒２３２の第２圧電素子２７２に第４配線２１４を介して電圧を供給する。

　すると、図２４（ｂ）に示すように、Phase７において、第２組の駆動駒２３２を駆動する第１圧電素子２６２が逆方向に厚み滑り変形し、駆動駒２３２の基部２３２ｂをＹ軸正方向側へ移動させる（図２６（ｂ）、Phase７参照）。同時に、図２４（ｂ）に示すように、Phase７において、第２圧電素子２７２のＸ２軸負方向側への変形量が減少し、先端部２３２ａが基部２３２ｂ及びベース部２０２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図２６（ｄ）、Phase７参照）。このときの移動量は、Phase７で新たに供給された－２．０ＶとPhase６で供給されていた－３．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。

　すなわち、Phase７においては、図２４（ａ）に示すように、第１組の駆動駒２３１の先端部２３１ａは、ロータ２０４に当接した状態を維持してロータ２０４を支持しつつ、ロータ２０４を回転方向Ｒへ駆動する。同時に、図２４（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒２３２の先端部２３２ａは、ロータ２０４の回転方向Ｒに沿うＸ２軸正方向側へ移動しながらＹ軸正方向側へ移動してロータ２０４に接近して当接する。

（Phase８）
　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase８において、第１端子Ｔ１に正負が逆転した－１．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ａに示す第１組の駆動駒２３１の第１圧電素子２６１の電極部２６１ａに第１配線２１１を介して電圧を供給する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase８において、第３端子Ｔ３に３．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ｂに示す第１組の駆動駒２３１の第２圧電素子２７１に第３配線２１３を介して電圧を供給する。

　すると、図２５（ａ）に示すように、Phase８において、第１組の駆動駒２３１を駆動する第１圧電素子２６１が逆方向に厚み滑り変形し、駆動駒２０３の基部２０３ｂをＹ軸負方向側へ移動させる（図２６（ａ）、Phase８参照）。同時に、図２５（ａ）に示すように、Phase８において、第２圧電素子２７１のＸ１軸正方向側への変形量が増加し、先端部２３１ａが基部２３１ｂ及びベース部２０２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図２６（ｃ）、Phase８参照）。このときの移動量は、Phase８で新たに供給された３．０ＶとPhase７で供給されていた２．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。

　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase８において、第２端子Ｔ２の電圧を１．０Ｖに維持し、図２１Ａに示す第２組の駆動駒２３２の第１圧電素子２６２の電極部２６２ａに第２配線２１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase８において、第４端子Ｔ４に－１．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ｂに示す第２組の駆動駒２３２の第２圧電素子２７２に第４配線２１４を介して電圧を供給する。

　すると、図２５（ｂ）に示すように、Phase８において、第２組の駆動駒２３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子２６２の変形が維持されて、先端部２３２ａがロータ２０４に当接した状態が維持される（図２６（ｂ）、Phase８参照）。同時に、図２５（ｂ）に示すように、Phase８において、第２圧電素子２７２のＸ２軸負方向側への変形量が減少し、先端部２３２ａが基部２３２ｂ及びベース部２０２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図２６（ｄ）、Phase８参照）。このときの移動量は、Phase８で新たに供給された－１．０ＶとPhase７で供給されていた－２．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。

　すなわち、Phase８においては、図２５（ａ）に示すように、第１組の駆動駒２３１の先端部２３１ａは、ロータ２０４の回転方向Ｒへ沿うＸ１軸正方向側へ移動しながら、Ｙ軸負方向側へ移動してロータ２０４から離間する。同時に、図２５（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒２３２の先端部２３２ａは、ロータ２０４に当接した状態で、ロータ２０４の回転方向Ｒに沿うＸ２軸正方向側に移動し、ロータ２０４を支持して回転方向Ｒへ駆動させる。これにより、第１組及び第２組の駆動駒２３１，２３２の先端部２３１ａ，２３２ａによってロータ２０４を回転方向Ｒに駆動させつつ、第１組の駆動駒２３１の先端部２３１ａから第２組の駆動駒２３２の先端部２３２ａへロータ２０４が受け渡される。

　このとき、Phase８において、双方の駆動駒２３１，２３２が、極めて短時間、ロータ２０４から離間する場合がある。このような場合であっても、ロータ２０４は、その慣性によりＹ方向の変位を殆どすることなく、第１組の駆動駒２３１の先端部２３１ａによって支持されていた位置に留まる。そのため、ロータ２０４は、Ｙ方向の略一定の位置が維持され、回転方向Ｒに駆動された状態で、第２組の駆動駒２３２の先端部２３２ａによりＹ方向に支持され、回転方向Ｒへ駆動される。これにより、ロータ２０４は、Ｙ方向の略一定の位置で支持軸２０５を中心として回転を継続する。

（Phase９）
　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase９において、第１端子Ｔ１の電圧を－１．０Ｖに維持し、図２１Ａに示す第１組の駆動駒２３１の第１圧電素子２６１の電極部２６１ａに第１配線２１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase９において、第３端子Ｔ３に発生させる電圧を０Ｖにし、図２１Ｂに示す第１組の駆動駒２３１の第２圧電素子２７１に第３配線２１３を介して供給する電圧を０Ｖにする。

　すると、図２５（ａ）に示すように、Phase９において、第１組の駆動駒２３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子２６１の変形が維持され、先端部２３１ａがロータ２０４から離間した状態が維持される（図２６（ａ）、Phase９参照）。同時に図２５（ａ）に示すように、Phase９において、第２圧電素子２７１が元の形状に戻り、先端部２３１ａが基部２３１ｂ及びベース部２０２に対してＸ１軸負方向側へ移動する（図２６（ｃ）、Phase９参照）。このときの先端部２３１ａの移動量は、Phase８において第２圧電素子２０７に供給されていた電圧の絶対値に比例する。

　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase９において、第２端子Ｔ２の電圧を１．０Ｖに維持し、図２１Ａに示す第２組の駆動駒２３２の第１圧電素子２６２の電極部２６２ａに第２配線２１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase９において、第４端子Ｔ４に発生させる電圧を０Ｖにし、図２１Ｂに示す第２組の駆動駒２３２の第２圧電素子２７２に第４配線２１４を介して供給する電圧を０Ｖにする。

　すると、図２５（ｂ）に示すように、Phase９において、第２組の駆動駒２３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子２６２の変形が維持されて、先端部２３２ａがロータ２０４に接触した状態が維持される（図２６（ｂ）、Phase９参照）。この状態で、図２５（ｂ）に示すように、Phase９において、第２圧電素子２７２が元の形状に戻り、先端部２３２ａが基部２３２ｂ及びベース部２０２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図２６（ｄ）、Phase９参照）。このときの先端部２３２ａの移動量は、Phase８において第２圧電素子２７２に供給されていた電圧の絶対値に比例する。

　すなわち、Phase９においては、図２５（ａ）に示すように、第１組の駆動駒２３１の先端部２３１ａは、Ｙ軸負方向側へ移動してロータ２０４から離間した状態を維持しつつ、ロータ２０４の回転方向Ｒと逆のＸ１軸負方向側へ移動する。同時に、図２５（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒２３２の先端部２３２ａは、ロータ２０４に当接した状態を維持してロータ２０４を支持しつつ、ロータ２０４の回転方向Ｒに沿うＸ１軸正方向側に移動してロータ２０４を回転方向Ｒへ駆動させる。

（Phase１０）
　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase１０において、第１端子Ｔ１の電圧を－１．０Ｖに維持し、図２１Ａに示す第１組の駆動駒２３１の第１圧電素子２６１の電極部２６１ａに第１配線２１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase１０において、第３端子Ｔ３に－３．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ｂに示す第１組の駆動駒２３１の第２圧電素子２７１に第３配線２１３を介して電圧を供給する。

　すると、図２５（ａ）に示すように、Phase１０において、第１組の駆動駒２３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子２６１の変形が維持されて、先端部２３１ａがロータ２０４から離間した状態が維持される（図２６（ａ）、Phase１０参照）。この状態で、図２５（ａ）に示すように、Phase１０において、第２圧電素子２７１が厚み滑り変形し、先端部２３１ａが基部２３１ｂ及びベース部２０２に対してＸ１軸負方向側へ移動する（図２６（ｃ）、Phase１０参照）。このときの先端部２３１ａの移動量は、第２圧電素子２７１に供給される電圧の絶対値に比例する。

　電源部２１０は、図２２に示すように、Phase１０において、第２端子Ｔ２の電圧を１．０Ｖに維持し、図２１Ａに示す第２組の駆動駒２３２の第１圧電素子２６２の電極部２６２ａに第２配線２１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部２１０は、図２２に示すように、Phase１０において、第４端子Ｔ４に１．０Ｖの電圧を発生させ、図２１Ｂに示す第２組の駆動駒２３２の第２圧電素子２７２に第４配線２１４を介して電圧を供給する。

　すると、図２５（ｂ）に示すように、Phase１０において、第２組の駆動駒２３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子２６２の変形が維持されて、先端部２３２ａがロータ２０４に接触した状態が維持される（図２６（ｂ）、Phase１０参照）。この状態で、図２５（ｂ）に示すように、Phase１０において、第２圧電素子２７２が厚み滑り変形し、先端部２３２ａが基部２３２ｂ及びベース部２０２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図２６（ｄ）、Phase１０参照）。このときの移動量は、Phase１０で新たに供給された電圧の絶対値に比例する。

　すなわち、Phase１０においては、図２５（ａ）に示すように、第１組の駆動駒２３１の先端部２３１ａは、ロータ２０４から離間した状態を維持しつつ、基部２３１ｂ及びベース部２０２に対してＸ１軸負方向側へさらに移動する。同時に、図２５（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒２３２の先端部２３２ａは、ロータ２０４に当接した状態を維持してロータ２０４を支持しつつ、ロータ２０４の回転方向Ｒに沿うＸ２軸正方向側に移動してロータ２０４を回転方向Ｒへ駆動する。

　Phase１１以降は、上記のPhase３からPhase１０までの動作と同様の動作が繰り返し行われ、ロータ２０４の回転が継続される。これにより、第１組の駆動駒２３１の先端部２３１ａと先端部２３ａと第２組の駆動駒２３２の先端部２３２ａとによって交互に（順番に）ロータ２０４のＹ軸方向の支持及び回転方向Ｒの駆動がされ、ロータ２０４が支持軸２０５回りの回転を継続する。

　本実施形態の駆動装置２０１は、各々の駆動駒２０３を支持軸２０５の平行な方向（第２の方向）へ駆動させる第１圧電素子２０６と、駆動駒２０３の先端部２０３ａをロータ２０４の回転方向Ｒに沿う駆動駒２０３の幅ｗ２０３方向（第１の方向）へ駆動させる第２圧電素子２０７とが別個に独立して設けられている。そのため、それぞれの方向の振動を独立した振動として取り出すことができる。

　したがって、駆動駒２０３によりロータ２０４を回転させ、ロータ２０４と駆動駒２０３とを相対駆動させる際に、従来よりもロータ２０４を安定して回転させることができる。また、基部２０３ｂを挟み込む第１圧電素子２０６が互いに異なる方向に基部２０３ｂを駆動させる場合と比較して損失が発生し難く、エネルギー効率を向上させることができ、駆動装置２０１の出力を増大させることができる。

　ここで、ベース部２０２は導電性を有しているため、第１圧電素子２０６を直接、ベース部２０２の表面に接合した場合には、ベース部２０２が第１圧電素子２０６の共通電極となる。そのため、第１組の駆動駒２３１を駆動する第１圧電素子２６１の電極２６１ａと、第２組の駆動駒２３２を駆動する第１圧電素子２６２の電極２６２ａとが共通電位になってしまう。すると、各組の第１圧電素子２６１，２６２に個別に異なる電圧を印加することが困難になり、駆動駒２３１，２３２を個別に駆動することが困難になる。

　しかし、本実施形態では、図１９に示すように、全ての第１圧電素子２０６とベース部材２０２との間に絶縁膜２０２ｇが設けられている。そのため、各組の駆動駒２３１，２３２を駆動する第１圧電素子２６１，２６２に個別に異なる電圧を容易に印加することができる。したがって、各組の駆動駒２３１，２３２を個別に駆動させ、ロータ２０４を安定的かつ連続的に回転させることができる。

　また、図１９に示すように、第１圧電素子２０６はベース部２０２の表面に設けられた絶縁膜２０２ｇと接する側の面に電極２０６ａが設けられ、導電性を有する駆動駒２０３の基部２０３ｂは接地されている。そのため、第１組及び第２組の駆動駒２３１，２３２それぞれの第１圧電素子２６１，２６２の電極２６１ａ，２６２ａに、図２１Ａ及び図２１Ｂに示す第１配線２１１及び第２配線２１２をそれぞれ接続することで、第１圧電素子２６１，２６２の電極２６１ａ，２６２ａと駆動駒２３１，２３２の基部２３１ｂ，２３２ｂとの間に電圧を印加することができる。

　ここで、絶縁膜２０２ｇの膜厚が例えば２０μｍよりも厚くなると、通常数μｍ程度の振幅で用いられる第１圧電素子２０６の振動が絶縁膜２０２ｇによって減衰し、ベース部２０２へ伝播し難くなる。また、膜厚のばらつきが例えば平均膜厚±５０％よりも大きい場合、硬度が例えば鉛筆硬度で２Ｈよりも低い場合、高密度である場合などには、振動減衰効果が大きくなり、ベース部２０２へ振動が伝播し難くなる。

　しかし、本実施形態の絶縁膜２０２ｇの膜厚は、１０μｍ以上２０μｍ以下となっている。加えて、絶縁膜２０２ｇは、膜厚のばらつきが平均膜厚±５０％以下となっている。このように、絶縁膜２０２ｇの膜厚を所望の耐電圧が維持できる範囲で可能な限り薄く形成することで、絶縁膜２０２ｇの振動減衰効果を最小にすることができる。よって、第１圧電素子２０６の振動を絶縁膜２０２ｇを介して弾性体であるベース部２０２に確実に伝播させることができる。

　また、絶縁膜２０２ｇの硬度は、鉛筆硬度で２Ｈ以上を有している。
　このように、絶縁膜２０２ｇの硬度を所定値以上の硬度にすることで、絶縁膜２０２ｇによって支持駆動部２０１の振動が減衰することが防止される。したがって、駆動装置２０１の出力の低下を防止することができる。

　また、第１圧電素子２０６の電極２０６ａとベース部２０２の表面の絶縁膜２０２ｇとを接着する接着剤が絶縁膜２０２ｇと同系材料を含んでいない場合、第１圧電素子２０６の電極２０６ａと絶縁膜２０２ｇとの接着が不十分になり、所望の接着強度を得ることができない場合がある。このような場合、第１圧電素子２０６の電極２０６ａと絶縁膜２０２ｇとの間に作用するせん断力・剥離力によって接着面が剥離・乖離し、駆動駒２０３がベース部２０２から脱落してしまう虞がある。

　しかし、本実施形態では、第１圧電素子２０６を絶縁膜２０２ｇに固定する接着剤と絶縁膜２０２ｇとが同系材料を含んでいる。これにより、接着剤と絶縁膜２０２ｇとが一体化して第１圧電素子２０６の電極２０６ａと絶縁膜２０２ｇとが強固に接着され、接着剤の接着力を維持することができる。したがって、第１圧電素子２０６の電極２０６ａと絶縁膜２０２ｇとの間に作用するせん断力・剥離力に対する強度を向上させることが可能になる。

　また、第１圧電素子２０６が駆動駒２０３の基部２０３ｂを幅ｗ２０３方向から挟み込み、第１圧電素子２０６が駆動駒２０３を幅ｗ２０３方向と異なる支持軸２０５に平行な方向へ駆動させるようになっている。また、基部２０３ｂを挟み込む一対の第１圧電素子２０６，２０６の寸法及び形状が、略等しくなっている。これにより、駆動駒２０３の幅ｗ２０３方向の剛性を均等にすることができる。したがって、駆動駒２０３の基部２０３ｂの幅ｗ２０３方向の振動を抑制することができる。また、全ての第１圧電素子２０６及び第２圧電素子２０７を同一の形状及び寸法とすることで、製造を容易にして生産性を向上させることができる。

　加えて、ベース部２０２には、駆動駒２０３を支持軸２０５と平行な方向へ駆動可能に保持する保持部２０２ａが設けられている。保持部２０２ａには、駆動駒２０３の幅ｗ２０３方向から駆動駒２０３の基部２０３ｂを支持する支持面２０２ｆが設けられている。そのため、支持面２０２ｆによって第１圧電素子２０６を支持し、第１圧電素子２０６を介して駆動駒２０３の基部２０３ｂを幅ｗ２０３方向から支持することができる。これにより、駆動駒２０３の幅ｗ２０３方向の剛性をより高め、駆動駒２０３の基部２０３ｂの幅ｗ２０３方向の振動を抑制することができる。

　ここで、第１圧電素子２０６は、厚み方向の弾性係数（縦弾性係数）と変形方向の弾性係数（横弾性係数）との比が例えば約３：１程度である。したがって、駆動駒２０３の幅ｗ２０３方向の剛性を高め、基部２０３ｂの駆動方向の剛性を低くすることができる。これにより、基部２０３ｂの幅ｗ２０３方向の移動を防止して振動を抑制できる。また、基部２０３ｂの駆動方向の変位をしやすくすることができる。

　また、駆動駒２０３が、ロータ２０４を支持して回転方向Ｒに駆動させる先端部２０３ａと、一対の第１圧電素子２０６に挟み込まれた状態でベース部２０２の保持部２０２ａに保持された基部２０３ｂと、を備えている。さらに、駆動駒２０３は先端部２０３ａと基部２０３ｂとの間に、先端部２０３ａをロータ２０４の回転方向Ｒに沿う保持部２０２ａ及び駆動駒２０３の幅ｗ２０３方向に駆動する第２圧電素子２０７を備えている。

　そのため、駆動駒２０３の先端部２０３ａを幅ｗ２０３方向に駆動することで、ロータ２０４の下面と先端部２０３ａとの間に回転方向Ｒの接線方向の摩擦力が作用し、ロータ２０４を回転方向Ｒに駆動することができる。また、第１圧電素子２０６及び第２圧電素子２０７をそれぞれ独立して制御することができる。これにより、駆動駒２０３の先端部２０３ａの支持軸２０５に沿う方向の駆動と、ロータ２０４の回転方向Ｒに沿う方向の駆動とを独立して制御することができる。

　また、第１圧電素子２０６及び第２圧電素子２０７を同時に作動させ、駆動駒２０３の先端部２０３ａの支持軸２０５に沿う方向の駆動と、ロータ２０４の回転方向Ｒに沿う方向の駆動とを同時に行うことができる。
　したがって、図２３～図２５に示すように、ロータ２０４と先端部２０３ａの接触時及び離間時に、駆動駒２０３の先端部２０３ａをロータ２０４の回転方向Ｒに沿って移動させ、ロータ２０４の回転を妨げることなく、第１組の駆動駒２３１から第２組の駆動駒２３２へロータ２０４の受け渡しを行うことができる。

　また、駆動駒２０３及びその基部２０３ｂを挟み込む二対の第１圧電素子２０６，２０６を３つ備えた駆動駒２０３の組が、第１組と第２組の二組構成されている。したがって、各組を異なるタイミングで駆動させることができる。また、各組の駆動駒２３１，２３２の先端部２３１ａ，２３２ａによって、ロータ２０４を３点支持することが可能となる。したがって、２点支持や４点以上の支持の場合と比較して、ロータ２０４の支持を安定して行うことができる。

　また、各組の駆動駒２３１，２３２は、ロータ２０４の回転方向Ｒに均等に配置されている。第１組と第２組の駆動駒２３１，２３２が、回転方向Ｒに交互に順番に配置されている。したがって、ロータ２０４を各組の駆動駒２３１，２３２によってバランスよく支持し、回転方向Ｒに効率よく駆動することができる。
　また、駆動駒２０３の先端部２０３ａが駆動する方向は、駆動駒２０３の基部２０３ｂが第１圧電素子２０６及び保持部２０２ａの支持面２０２ｆによって挟み込まれる方向と同一の方向となっている。したがって、駆動駒２０３の先端部２０３ａが送り駆動及び戻り駆動を行った場合に、駆動方向の前後から駆動駒２０３の基部２０３ｂを支持することができる。したがって、駆動駒２０３が支持軸２０５に平行な方向からずれることを抑制し、ロータ２０４の駆動に悪影響が及ぶことを防止できる。

　また、電源部２１０が、第１組及び第２組の駆動駒２３１，２３２に位相差を有する電圧を供給することで、各組の駆動駒２３１，２３２によってそれぞれロータ２０４を駆動することができる。
　また、電源部２１０が、各組の第１圧電素子２０６及び第２圧電素子２０７に供給する電圧の位相差を１８０°とすることで、第１組の駆動駒２３１と第２組の駆動駒２３２とによって交互に順番にロータ２０４を駆動させることができる。

　また、電源部２１０が、各組の第１圧電素子２０６及び第２圧電素子２０７に、駆動駒２０３の先端部２０３ａがロータ２０４との接触、駆動駒２０３の幅ｗ２０３方向への送り、ロータ２０４からの離間、駆動駒２０３の幅ｗ２０３方向の戻り、を順次繰り返すように電圧を供給することで、ロータ２０４の回転駆動を連続的に行うことができる。
　また、電源部２１０は、図２２のPhase３，７，１１，１５に示すように、第１端子Ｔ１に供給する電圧と第２端子Ｔ２に供給する電圧をオーバーラップさせている。これにより、第１組の駆動駒２３１から第２組の駆動駒２３２へのロータ２０４の受け渡しを連続的かつスムーズに行うことが可能になる。

　また、電源部２１０が第１圧電素子２０６及び第２圧電素子２０７に供給する電圧の周波数は、第１圧電素子２０６、第２圧電素子２０７、駆動駒２０３、及びベース部２０２からなる支持駆動部２０１ａの共振振動の振動数と略等しくなっている。そのため、駆動駒２０３の先端部２０３ａによるロータ２０４の送り駆動及び戻り駆動の振幅をより大きくすることができる。支持駆動部２０１ａの共振振動の周波数は、ベース部２０２、圧電素子、駆動駒２０３の先端部２０３ａ及び基部２０３ｂの材質を適切に選定することで調整することができる。

　また、本実施形態では、図２２に示すように、第１端子Ｔ１及び第２端子Ｔ２から各組の駆動駒２３１，２３２の第１圧電素子２６１，２６２に供給される電圧の周期と、第３端子Ｔ３及び第４端子Ｔ４から各組の第２圧電素子２７１，２７２に供給される電圧の周期とが等しくなっている。したがって、駆動駒２３１，２３２の支持軸２０５に平行な方向の駆動と、駆動駒２３１，２３２の幅ｗ２３１，ｗ２３２方向の先端部２３１ａ，２３２ａの駆動の振動数が等しくなる。これにより、支持軸２０５に平行な方向の駆動駒２３１，２３２の振幅と、駆動駒２３１，２３２の幅ｗ２３１，ｗ２３２方向の先端部２３１ａ，２３２ａの振幅を最大振幅とすることができる。

　また、駆動駒２０３の先端部２０３ａは、ロータ２０４の回転方向Ｒに沿う断面積がロータ２０４に近づくほど小さくなるように先細状に設けられている。したがって、先端部２０３ａを直方体状の形状に形成する場合と比較して、先端部２０３ａとロータ２０４との接触面積を減少させ、先端部２０３ａの磨耗による先端部２０３ａの体積変化率を小さくすることができる。これにより、先端部２０３ａの磨耗による先端部２０３ａの重量の変化を小さくすることができ、駆動駒２０３の共振周波数の変化を小さくすることができる。また、先端部２０３ａを六角柱状の形状とすることで、その他の形状と比較して先端部２０３ａの剛性を高くすることができる。

　また、支持軸２０５と略平行に設けられ駆動駒２０３の幅ｗ２０３方向と略垂直に交差するベース部２０２の側面２０２ｃに、溝部２０２ｄが形成されている。すなわち、溝部２０２ｄは、ベース部２０２を介して伝播する支持軸２０５と略平行な方向の振動に対して、略垂直に交差するように設けられている。そのため、溝部２０２ｄによって振動を吸収し、ベース部２０２による振動の伝播を減少させることができる。
　また、第１圧電素子２０６が、ロータ２０４と溝部２０２ｄとの間に設けられている。したがって、ベース部２０２のロータ２０４と反対側から溝部２０２ｄを越えて伝播する振動を減少させることができる。

　また、ベース部２０２の駆動駒２０３を保持する保持部２０２ａと反対側の端部が取付部３０１ａに固定され、溝部２０２ｄは駆動駒２０３よりも取付部３０１ａに近い位置に設けられている。そのため、取付部３０１ａの振動がベース部２０２に伝播した場合であっても、駆動駒２０３から比較的遠い位置で振動を減少させ、取付部３０１ａの振動が駆動駒２０３の駆動に悪影響を及ぼすことを防止できる。

　また、溝部２０２ｄの支持軸２０５に平行な方向の幅ｗ２０１は、ベース部２０２の振動の振幅よりも大きくなっている。そのため、溝部２０２ｄの両側のベース部２０２同士が衝突することを防止できる。
　また、溝部２０２ｄの支持軸２０５に平行な方向の幅ｗ２０１は、ベース部２０２、駆動駒２０３、第１圧電素子２０６、及び第２圧電素子２０７からなる支持駆動部２０１ａの共振振動の振幅よりも大きくなっている。したがって、支持駆動部２０１ａが共振状態で振動した場合でも、溝部２０２ｄの両側のベース部２０２同士が衝突することを防止できる。

　また、溝部２０２ｄの深さｄ２０１をベース部２０２の半径の４０％以上８０％以下とすることで、ベース部２０２の強度を十分に確保しつつ、十分な振動の伝播の抑制効果を得ることができる。
　また、ベース部２０２と支持軸２０５との間に間隙２０２ｅが形成されているので、ベース部２０２から支持軸２０５に伝播する振動を減少させることができる。また、支持軸２０５からベース部２０２に伝播する振動を減少させることができる。したがって、駆動駒２０３及びロータ２０４の駆動に悪影響が及ぶことを防止できる。

　次に、本実施形態の駆動装置２０１を備えたレンズ鏡筒及びカメラの一例について説明する。本実施形態の交換レンズは、カメラボディとともにカメラシステムを形成するものである。交換レンズは、公知のＡＦ（オートフォーカス）制御に応じて合焦動作を行うＡＦモードと、撮影者からの手動入力に応じて合焦動作を行うＭＦ（マニュアルフォーカス）モードとが切り替え可能になっている。

　図２７は、本実施形態におけるカメラ３０１の構成を模式的に示す概略構成図である。
　図２７に示すように、カメラ３０１は、撮像素子３０８が内蔵されたカメラボディ３０２と、レンズ３０７を有するレンズ鏡筒３０３とを備えている。

　レンズ鏡筒３０３は、カメラボディ３０２に着脱可能な交換レンズである。レンズ鏡筒３０３は、レンズ３０７、カム筒３０６、駆動装置２０１等を備えている。駆動装置２０１は、カメラ３０１のフォーカス動作時にレンズ３０７を駆動する駆動源として用いられている。駆動装置２０１のロータ２０４から得られた駆動力は、直接、カム筒３０６に伝えられる。レンズ３０７は、カム筒３０６に保持されており、駆動装置２０１の駆動力により、光軸方向Ｌに略平行に移動して、焦点調節を行うフォーカスレンズである。

　カメラ３０１の使用時には、レンズ鏡筒３０３内に設けられたレンズ群（レンズ３０７を含む）によって、撮像素子３０８の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子３０８によって、結像された被写体像は、電気信号に変換される。その信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。

　以上説明したように、本実施形態のカメラ３０１及びレンズ鏡筒３０３は、上記の実施形態で説明した駆動装置２０１を備えている。したがって、従来よりもロータ２０４を安定的に回転させることができ、出力が向上した駆動装置２０１によって、カム筒３０６を直接駆動させることができる。したがって、エネルギーの損失が少なく省エネルギー効果が得られる。また、部品点数の削減が可能になる。
　本実施形態では、レンズ鏡筒３０３は、交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒としてもよい。

　尚、上述した実施形態は、種々変形して実施することができる。例えば、上記の実施形態では全ての第１圧電素子とベース部の間に絶縁膜が設けられている構成について説明したが、例えば、絶縁膜は、少なくとも第１組又は第２組のいずれか一方の組の駆動駒が備える第１圧電素子とベース部との間に設けられていればよい。

　また、上述の実施形態では、第１圧電素子が駆動駒の基部を挟み込む方向（第１の方向）と第２圧電素子が駆動駒の先端部を駆動する方向（第３の方向）とが同一の場合について説明したが、これらを異ならせてもよい。例えば、第３の方向を駆動駒の幅ｗ２０３方向と交差しかつロータの回転方向に沿う方向とすることで、ロータを回転させやすくしてもよい。

　また、ベース部の支持面は、支持軸と平行な方向（第２の方向）に対して傾斜していなくてもよい。例えば、保持部に第１圧電素子の保持部の底面側の端部を係止する突起状の係止部を設けてもよい。また、第１圧電素子の保持部の底面側の端部を基部の底面よりも突出させて位置決め部として機能させ、位置決め部を保持部の底面に突き当てることで位置決めをしてもよい。

　また、ベース部と支持軸との間の間隙は、ベース部の強度確保の観点から溝部の保持部側の縁まで形成するようにしてもよい。
　また、電源部の各端子から第１圧電素子及び第２圧電素子へ供給する電圧を正弦波や正弦波状の電圧波形としてもよい。

　１　　　　駆動装置
　２　　　　ベース部（ベース部材）
　２ｈ　　　面取り部（露出形成部）
　３　　　　駆動駒（第１部材）
　３ａ　　　先端部
　３ｂ　　　基部
　４　　　　ロータ（第２部材）
　５　　　　支持軸（回転軸）
　６　　　　第１圧電素子（圧電素子）
　６ａ　　　電極部
　６ｂ　　　露出部
　７　　　　第２圧電素子（第２の圧電素子）
　１０１　　カメラ
　１０３　　レンズ鏡筒
　２０１　　駆動装置
　２０２　　ベース部（ベース部材）
　２０２ｇ　絶縁膜
　２０３　　駆動駒（第１部材）
　２０３ａ　先端部
　２０３ｂ　基部
　２０４　　ロータ（第２部材）
　２０６　　第１圧電素子（圧電素子）
　２０６ａ　電極
　２０７　　第２圧電素子（圧電素子、第２の圧電素子）
　２１０　　電源部
　３０１　　カメラ
　３０３　　レンズ鏡筒

Claims

　第１部材と第２部材とを相対駆動させる駆動装置であって、
　前記第１部材を駆動させる圧電素子と、
　前記圧電素子を介して前記第１部材を駆動可能に支持するベース部と、
　前記圧電素子の駆動電圧が印加される電極部と、を備え、
　前記電極部は、前記ベース部から露出された露出部を有する
ことを特徴とする駆動装置。
　前記電極部は、前記圧電素子の前記ベース部に対向する面に設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
　前記ベース部に前記露出部を露出させる露出形成部が設けられている
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の駆動装置。
　前記露出形成部は、前記ベース部の前記第２部材側の端部の角部に設けられている
ことを特徴とする請求項３に記載の駆動装置。
　前記露出形成部は、前記ベース部の面取り部である
ことを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の駆動装置。
　前記第１部材は、前記第２部材を支持する先端部と、第１の方向から一対の前記圧電素子に挟み込まれた基部と、前記先端部と前記基部との間に設けられた第２の圧電素子と、を備える
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の駆動装置。
　前記圧電素子は、前記第１部材を前記第１の方向と異なる第２の方向に駆動させ、
　前記第２の圧電素子は、前記先端部を前記第２の方向と異なる第３の方向に駆動させる
ことを特徴とする請求項６に記載の駆動装置。
　前記電極部に電圧を供給する電源部をさらに備え、
　前記露出部が、前記電源部と電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の駆動装置。
　前記電極部と前記第１部材との間に、電圧が印加される
ことを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の駆動装置。
　請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の駆動装置を備えたレンズ鏡筒。
　請求項１０に記載のレンズ鏡筒と、撮像素子とを備えたカメラ。
　圧電素子と、
　前記圧電素子により駆動される第１部材と、
　前記第１部材と当接して設けられ、前記第１部材が駆動されることにより、前記第１部材に対して相対移動する第２部材と、
　導電性を有し、前記圧電素子を介して前記第１部材を駆動可能に支持するベース部材とを有し、
　前記第１部材及び前記圧電素子の組を複数組備え、
　少なくとも一の前記組の前記圧電素子と前記ベース部材との間に、絶縁膜が設けられている
ことを特徴とする駆動装置。
　前記圧電素子の前記絶縁膜と接する側の面に、電極が設けられている
ことを特徴とする請求項１２に記載の駆動装置。
　前記圧電素子の前記電極に電圧を供給する電源部をさらに備える
ことを特徴とする請求項１３に記載の駆動装置。
　前記電源部は、各々の前記組に位相差を有する前記電圧を供給する
ことを特徴とする請求項１４に記載の駆動装置。
　前記絶縁膜は、前記複数の組のすべての圧電素子と前記ベース部材との間に設けられている
ことを特徴とする請求項１２から請求項１５のいずれか一項に記載の駆動装置。
　前記絶縁膜は、前記ベース部材に形成されている
ことを特徴とする請求項１２から請求項１６のいずれか一項に記載の駆動装置。
　前記第１部材は、前記圧電素子を介して前記ベース部材に支持される基部と、前記第２部材と接触可能に設けられた先端部と、前記基部と前記先端部との間に設けられた第２の圧電素子と、を有する
ことを特徴とする請求項１２から請求項１７のいずれか一項に記載の駆動装置。
　前記基部が、接地されている
ことを特徴とする請求項１８に記載の駆動装置。
　前記絶縁膜の硬度は、鉛筆硬度で２Ｈ以上である
ことを特徴とする請求項１２から請求項１９のいずれか一項に記載の駆動装置。
　前記絶縁膜の膜厚は、１０μｍ以上２０μｍ以下である
ことを特徴とする請求項１２から請求項２０のいずれか一項に記載の駆動装置。
　前記圧電素子を前記絶縁膜に固定する接着剤と前記絶縁膜とが、同系材料を含む
ことを特徴とする請求項１２から請求項２１のいずれか一項に記載の駆動装置。
　請求項１２から請求項２２のいずれか一項に記載の駆動装置を備えたレンズ鏡筒。
　請求項１２から請求項２２のいずれか一項に記載の駆動装置を備えたカメラ。