WO2010134491A1 - カセット - Google Patents

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WO2010134491A1
WO2010134491A1 PCT/JP2010/058293 JP2010058293W WO2010134491A1 WO 2010134491 A1 WO2010134491 A1 WO 2010134491A1 JP 2010058293 W JP2010058293 W JP 2010058293W WO 2010134491 A1 WO2010134491 A1 WO 2010134491A1
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WO
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cassette
bottom plate
substrate
opening
wire
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PCT/JP2010/058293
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English (en)
French (fr)
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章男 松山
資 有光
浩幸 島田
貴行 湊
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Sharp Corp
Yodogawa Hu Tech Co Ltd
Original Assignee
Sharp Corp
Yodogawa Hu Tech Co Ltd
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Priority to JP2011514403A priority patent/JPWO2010134491A1/ja
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
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    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
    • H10P72/19—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers
    • H10P72/1914—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers characterised by locking systems
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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    • H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
    • H10P72/19—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers
    • H10P72/1918—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions

Definitions

  • the present invention relates to a cassette for storing a substrate, and more particularly to a cassette for storing a thin substrate (for example, a glass substrate) used in a method for manufacturing a flat panel display (for example, a liquid crystal panel).
  • a thin substrate for example, a glass substrate
  • a flat panel display for example, a liquid crystal panel
  • a liquid crystal panel which is a component of a liquid crystal display device, has a structure in which a pair of glass substrates are opposed to each other with a predetermined gap secured.
  • glass substrates for liquid crystal panels are becoming larger year by year.
  • Such a next-generation large-sized liquid crystal glass substrate transport system uses a storage cassette for storing liquid crystal glass substrates in multiple stages (for example, Patent Documents 1 to 3). *
  • the storage cassette storing the glass substrate is used for transporting and storing the glass substrate from the mounting portion of the liquid crystal panel manufacturing apparatus to the mounting portion of another manufacturing apparatus in the manufacturing process in the clean room.
  • the storage cassette is also used for transporting and storing a glass substrate between a placement unit of a liquid crystal panel manufacturing apparatus and a storage unit of a cassette storage.
  • the atmosphere in the clean room has sufficient air cleanliness, but foreign substances such as dust scattered from the operator and floor surface when transporting and storing the storage cassette adhere to the substrate surface, and organics during substrate processing A mist such as gas may float in the clean room and adhere to the substrate surface. If the substrate is processed with foreign matter or mist attached, the quality of the liquid crystal panel may be deteriorated. For this reason, the glass substrate is transported and stored in a state where it is shielded in the storage cassette so that no foreign matter adheres.
  • the shelf-type storage cassette has a small area for supporting the glass substrate.
  • the substrate may be distorted. Therefore, such a storage cassette cannot be used for a large glass substrate.
  • the main objective is to provide the cassette structure which can seal a bottom face simply.
  • the cassette according to the present invention is a cassette for storing a substrate, a cassette main body portion in which the substrate is disposed, a cassette opening formed on a side surface of the cassette main body portion, in which the substrate is taken in and out, and the cassette A bottom opening formed on the bottom surface of the main body, a bottom plate that closes the bottom opening, a support rod that supports the bottom surface of the bottom plate, and a bottom plate that holds down the top surface of the peripheral edge of the bottom plate supported by the replacement rod A holding part.
  • the support rod is disposed on a pedestal located below the bottom opening.
  • a sealing member that seals a gap between the bottom plate pressing portion and the bottom plate is formed.
  • the sealing member is a resilient member formed on the lower surface of the bottom surface pressing portion.
  • the bottom surface pressing portion is formed so as to go around the inner wall of the cassette body portion.
  • a plurality of the support rods are provided, and an elevating arm for raising and lowering the cassette body is inserted in a space between the support rods in a lower region of the bottom plate.
  • a plurality of wires are arranged inside the cassette body, the substrate is a glass substrate, the glass substrate is supported by the wires, and is formed in the bottom opening. The substrate transfer device for moving the glass substrate is inserted.
  • the bottom surface opening formed on the bottom surface of the cassette body, the bottom plate that closes the bottom surface opening, the support rod that supports the bottom surface of the bottom plate, and the bottom plate presser that presses the top surface of the peripheral edge of the bottom plate The cassette structure that can easily seal and open the bottom surface can be provided.
  • FIG. 4 is an enlarged view of the periphery of the bottom plate pressing portion 22 including the sealing member 24 and the bottom plate 20.
  • (A) And (b) is a perspective view which shows the periphery of the baseplate pressing part 22, respectively. It is sectional drawing explaining the step which open
  • FIG. It is sectional drawing explaining the step which conveys the cassette main-body part 10 in a sealed state. It is sectional drawing explaining the step which conveys the cassette main-body part 10 in a sealed state.
  • FIG. It is sectional drawing for demonstrating the step which carries the board
  • FIG. It is sectional drawing for demonstrating the step which carries the board
  • FIG. It is sectional drawing of the wire cassette 1100 of a comparative example.
  • FIG. 1 is a perspective view schematically showing the overall configuration of the wire cassette 100 of the present embodiment.
  • the wire cassette 100 of the present embodiment is a storage cassette that can store the substrate 40 by supporting the substrate 40 with a wire.
  • the wire is not shown.
  • An arrow 50 indicates the direction of gravity (vertical direction). *
  • substrate 40 of this embodiment is a glass substrate for liquid crystal panels, for example.
  • the glass substrate 40 may be a mother glass before being cut out to the dimensions of the liquid crystal panel, or may be a glass having the size of the liquid crystal panel after being cut out. Further, the glass substrate 40 may be an array substrate on which a thin film transistor (TFT) is manufactured (or a product in the middle of manufacturing), or a CF substrate on which a color filter (CF) is formed (or a device in the middle of manufacturing thereof).
  • TFT thin film transistor
  • CF color filter
  • the substrate 40 may be another thin plate such as a wafer in addition to a glass substrate.
  • it is not limited to the liquid crystal panel substrate 40, but a thin substrate for manufacturing a PDP, an organic EL panel, and other flat panel displays (not limited to glass, but in a sheet form that can be stored in a wire cassette ). *
  • the wire cassette 100 of the present embodiment includes a cassette body 10, a cassette opening 12 formed on the side surface of the cassette body 10, a bottom opening 14 formed on the bottom surface of the cassette body 10, and a bottom opening. 14 and a bottom plate 20 that closes 14.
  • a substrate 40 can be disposed inside the cassette body 10. Further, the substrate 40 can be taken in and out from the cassette opening 12. Note that a panel (not shown) for closing the opening can be disposed in the cassette opening 12. *
  • a bottom plate 20 that closes the bottom opening 14 is provided at the bottom of the cassette body 10.
  • a replacement rod 30 that supports the lower surface of the bottom plate 20 is disposed below the bottom plate 20.
  • the upper surface of the peripheral portion of the bottom plate 20 supported by the refill rod 30 is pressed by a bottom plate pressing portion 22 formed on the inner wall of the cassette main body portion 10.
  • a sealing member (24) that closes the gap is provided between the bottom plate pressing portion 22 and the bottom plate 20.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a side configuration of the wire cassette 100 of the present embodiment.
  • wires 60 that support the substrate 40 are arranged inside the cassette body 10.
  • one substrate 40 is supported by a plurality of wires 60, and the plurality of wires 60 are arranged in multiple stages.
  • the glass substrates 40 can be accommodated in multiple stages inside the cassette body 10.
  • the number of substrates 40 accommodated corresponds to the number of stages of the wires 60, and the number of stages can be set as appropriate.
  • the wire 60 is stretched between opposing wall surfaces (inner walls) inside the cassette body 10 and supports the substrate 40 with the tension.
  • a roller conveyor (not shown) for taking in and out the substrate 40 is inserted into the bottom opening 14 formed on the bottom surface of the cassette body 10.
  • the roller conveyor has a function of contacting the substrate 40 from between the wires 60 and discharging the substrate 40 from the cassette opening 12.
  • the bottom opening 14 is provided with a bottom plate 20 that closes the opening.
  • the air floating conveyor which has the structure which can float and move the board
  • the replacement rod 30 is a rod-shaped member extending from the ground.
  • the tip of the support rod 30 supports the bottom plate 20, and the base of the support rod 30 is fixed to the ground side.
  • a plurality of support rods 30 are provided to stably support the bottom plate 20.
  • the support rods 30 are arranged in a matrix in a lower region of the bottom plate 20.
  • the arrangement of the replacement rods 30 may be not only uniform but also unequal. *
  • the support rod 30 is disposed on a mounting table 32 positioned below the bottom opening 14.
  • the pedestal 32 is, for example, a pedestal for a wire cassette installed in a manufacturing factory or a loading platform for a transport vehicle that transports the wire cassette.
  • a recess 33 is formed in the mounting table 32 of the present embodiment, and the support rod 30 extends in the vertical direction from the bottom surface 34A. That is, the height of the support rod 30 is determined corresponding to the height at which the bottom surface of the bottom plate pressing portion 22 is positioned (or the height at which the sealing member 24 is positioned) with reference to the concave bottom surface 34A of the mounting base 32. . Further, the lower end 15 of the cassette body 10 is placed on the upper surface 34B of the mounting table 32 where the recess 33 is not located. *
  • the filling rod 30 is made of, for example, a metal material.
  • the shape of the holding rod 30 is a cylinder, for example, and the diameter is about 10 mm, for example.
  • the shape of the support rod 30 is not limited, and may be another shape (for example, a prism) as long as the bottom plate 20 can be appropriately supported.
  • the tip of the filling rod 30 can be rounded so as not to damage the bottom surface of the bottom plate 20, or an interference material such as resin may be attached.
  • each dimension can be suitably changed according to conditions. *
  • the bottom plate 20 is pressed by a bottom plate pressing portion 22 provided on the inner wall of the cassette body 10.
  • a sealing member 24 that closes the gap between the bottom plate pressing portion 22 and the bottom plate 20 is formed.
  • the sealing member 24 is formed on the lower surface of the bottom plate pressing portion 22, but the sealing member 24 may be formed on the upper surface of the bottom plate 20.
  • FIG. 3 is an enlarged view of the periphery of the bottom plate pressing portion 22 including the sealing member 24 and the bottom plate 20.
  • the bottom plate 20 is pushed up from below by the support rod 30, and is received by the bottom plate pressing portion 22 through the sealing member 24.
  • the distortion caused by pushing up the support rod 30 is absorbed by the sealing member 24, thereby closing the gap between the bottom plate pressing portion 22 and the bottom plate 20.
  • the sealing member 24 is preferably a cushioning elastic member (for example, rubber, resin, elastomer). *
  • the sealing member 24 may not be formed as a member independent of the bottom plate pressing portion 22 as long as the gap between the bottom plate pressing portion 22 and the bottom plate 20 can be closed.
  • the sealing member 24 may exist as a coating member coated so as to cover at least the bottom surface of the bottom plate pressing portion 22.
  • the sealing member 24 may exist as a coating portion that covers at least the upper surface of the peripheral edge of the bottom plate 20.
  • the peripheral portion of the bottom plate 20 is a region located below the bottom plate pressing portion 22. *
  • FIG. 4A is an enlarged perspective view of a part of the bottom plate pressing portion 22.
  • the bottom plate pressing portion 22 extends from the inner wall 10a of the cassette body 10 toward the center.
  • the bottom plate pressing portion 22 is made of, for example, a metal, and may be made of the same material as a part of the material of the cassette body 10 in one example.
  • the width W1 of the bottom plate pressing portion 22 is about 50 mm to 60 mm
  • the thickness T1 of the bottom plate pressing portion 22 is about 2 mm to 3 mm. *
  • a sealing member 24 is formed on a part of the lower surface of the bottom plate pressing portion 22.
  • the sealing member 24 is a strip-like elongated linear member.
  • the sealing member 24 has a rectangular cross section.
  • the width W2 of the sealing member 24 is about 20 mm, and the thickness T2 of the sealing member 24 is about 5 mm.
  • the cross section of the sealing member 24 is not limited to a rectangle, and may be substantially semicircular (semicircular, semielliptical, semielliptical) as long as the gap between the bottom plate pressing portion 22 and the bottom plate 20 can be closed. It may be trapezoidal. *
  • the sealing member 24 is formed on the inner side of the center of the lower surface of the bottom plate pressing portion 22 (a half of the width W1). It may be formed at the center position, or may be formed on the outer side (inner wall 10a side) than the center position of the bottom plate pressing portion 22. It is also possible to form the sealing member 24 on the entire lower surface of the bottom plate pressing portion 22 (or almost the entire surface).
  • the bottom plate pressing portion 22 of the present embodiment is formed so as to go around the inner wall 10 a of the cassette body 10.
  • the strip-shaped elongate sealing member 24 is also formed so as to make one round. Therefore, as shown in FIG. 4B, when the bottom plate 20 is pressed against the lower surface of the bottom plate pressing portion 22 via the sealing member 24, the bottom opening 14 can be closed by the bottom plate 20, and in addition, the sealing member 24 can close the gap between the bottom plate pressing portion 22 and the bottom plate 20.
  • the structure of this embodiment can block the inside of the cassette body 10 and the outside air (air). *
  • the bottom plate 20 is made of metal (for example, aluminum).
  • the material of the part (and / or the bottom plate pressing portion 22) of the cassette body 10 is used. You may be comprised from the same material.
  • the thickness T3 of the bottom plate 20 is, for example, about 2 mm to 3 mm.
  • a reinforcing material for example, L-shaped angle
  • the bottom plate 20 is pressed against the sealing member 24 of the bottom plate pressing portion 22, but the bottom plate 20 and the sealing member 24 are not integrated with each other by bonding or the like.
  • the bottom plate 20 is fixed by a force acting below the bottom plate pressing portion 22 based on the weight of the cassette body portion 10 and a force acting above the replacement rod 30 extending from the ground (mounting base 32) side. Only. Therefore, when the cassette body 10 is lifted upward, the bottom plate 20 remains placed on the support rod 30. Therefore, the bottom opening 14 of the cassette body 10 is easily opened. become.
  • the cassette body 10 of the present embodiment has a box shape.
  • the side part of the cassette body 10 can be made with a frame structure, and the surface part of the cassette body 10 can be made with a panel structure.
  • the frame structure portion may be made of metal (for example, aluminum, iron, stainless steel, etc.)
  • the panel structure portion may be made of a resin plate, a metal plate (for example, aluminum plate), or the like.
  • the skeleton of the cassette body 10 has a frame structure, and the side surface (left surface / right surface) 11A and the upper surface 11B of the cassette body 10 have a panel structure (for example, Metal plate).
  • the cassette opening 12 is formed on the front surface of the cassette body 10, but may be formed on the rear surface in addition to the front surface.
  • the substrate 40 can be taken in and out from both the front and rear.
  • the cassette opening 12 formed on the side surface of the cassette body 10 can be provided with a closing plate for closing the opening.
  • the closing plate can take various configurations.
  • the effect obtained by providing the bottom plate 20 of the present embodiment can be obtained.
  • the cassette body 10 is raised from the state shown in FIG. Since the bottom plate 20 is not integrated with the cassette body 10 (particularly, the bottom plate holding portion 22 and the sealing member 24), the bottom plate 20 is detached from the bottom opening 14 as shown in FIG. The part 14 changes from the sealed state to the open state.
  • the cassette body 10 can be raised by, for example, a separately installed lifting device. *
  • a lifting arm 35 that lifts and lowers the cassette body 10 is inserted into a space 37 below the bottom plate 20 and between the support rods 30.
  • an arm insertion opening 31 for inserting the elevating arm 35 is formed in the lower part of the cassette body 10.
  • an arm insertion opening 31 is formed in the lower part of the cassette body 10.
  • Such an arm insertion opening 31 is formed. Can be provided as appropriate.
  • the bottom plate 20 moves away from the holding rod 30, and the bottom plate 20 is opened to the bottom opening.
  • the cassette body 10 can be raised with 14 being substantially closed.
  • the lifting arm 35 is configured to be movable in the horizontal direction (front / rear / left / right)
  • the cassette body 10 is moved horizontally in the state where the lifting arm 35 is substantially closed by the bottom plate 20. Can also be transported.
  • the cassette body 10 lifted up by the elevating arm 35 is placed on the table 32 on which the replacement rod 30 is formed, the cassette body 10 can be stored in a state of being closed by the bottom plate 20.
  • the structure or number of the raising / lowering arm 35 should just be what can raise / lower or convey the cassette main-body part 10 stably.
  • the space 37 between the support rods 30 may be wide or narrow as long as there is a space in which the lifting arm 35 can be inserted. *
  • the cassette body 10 is moved downward with the bottom opening 14 opened, and the roller conveyor 61 is inserted into the bottom opening 14.
  • the cassette body 10 can be fixed and the roller conveyor 61 can be moved upward to be inserted into the bottom opening 14.
  • the roller conveyor 61 is exemplified as the substrate transfer device.
  • the present invention is not limited to this, and other devices (for example, an air levitation conveyor) may be used. *
  • the roller conveyor 61 is raised and passed between the wires 60, the roller conveyor 61 and the substrate 40 are brought into contact with each other, and then the substrate 40 is lifted by the roller conveyor 61.
  • the roller portion of the roller conveyor 61 is rotated to move the substrate 40 in the horizontal direction.
  • the substrate 40 is paid out from the cassette opening 12 and moves onto the transfer device 64 located outside the wire cassette 100.
  • the substrate 40 is subjected to a necessary process or stored in a necessary place.
  • the payout of the lowermost substrate 40 is completed, the payout of the upper substrate 40 is then executed. Specifically, the roller conveyor 61 is further raised, passed between the wires 60, the roller portion of the roller conveyor 61 is rotated, and the substrate 40 (second substrate 40 from the bottom) is removed from the cassette opening 12. Pay out. This process is sequentially repeated to complete the dispensing of the substrates 40 at all stages.
  • the bottom opening 14 can be sealed and opened with such a simple structure, the bottom opening 14 is sealed with the bottom plate 20 as needed, even if the wire cassette 100 is not always placed in a clean room.
  • the wire cassette 100 can be moved out of the clean room. Thereby, it becomes easy to transport and store the substrate 40 outside the clean room, and it is possible to greatly reduce the equipment cost of a factory (for example, a liquid crystal panel manufacturing factory) for the clean room. *
  • the wire cassette 100 of this embodiment and the other wire cassette are compared and examined.
  • the following can also be considered.
  • FIG. 10 shows a wire cassette 1100 (comparative example) including a bottom cover 120 having a sliding structure including a sliding portion 125.
  • the cassette opening 112 in which the substrate 40 is taken in and out is covered with the front cover 115. *
  • a slide structure (sliding portion) 125 is provided in the bottom opening 114 of the cassette body 110.
  • the bottom cover 120 that closes the bottom opening 114 performs a horizontal operation (arrow 54) while sliding on the slide structure 125.
  • the slide structure 125 becomes a dust generation source in the vicinity of the inside of the cassette body 110 in which the substrate 40 is stored. Therefore, this is not suitable for use in a clean room.
  • FIG. 11 shows a wire cassette 1200 in which the bottom cover 121 has a door opening / closing structure 127.
  • the wire cassette 1100 having the door opening / closing structure 127 shown in FIG. 11, it is necessary to secure a rotation space (56) for opening and closing the bottom cover 121, and therefore a cassette that requires a large occupation area. End up. Therefore, with this configuration, the wire cassette does not have an opening / closing structure with a small occupation area.
  • both the wire cassettes 1100 and 1200 have drawbacks, and it is difficult to solve the drawbacks due to the structure.
  • the wire cassette 100 of this embodiment can avoid such a fault.
  • an original mechanism 125, 127) must be attached to open and close the bottom cover (120, 121)
  • the bottom opening 14 of the cassette body 10 can be easily opened and closed by the raising and lowering operation of the cassette body 10.
  • the configuration of the present embodiment has great technical value.
  • a structure with a small occupied space can be realized in opening and closing the bottom opening 14. That is, in the case of the wire cassette 1100 shown in FIG. 10, an occupied space (a space in the horizontal direction 54) for moving the bottom cover 120 is required. In the case of the wire cassette 1200 shown in FIG. 11, a large space is required below the cassette body 110 to move the bottom cover 121, which also hinders the operation of the roller conveyor. *
  • the bottom plate 20 of the wire cassette 100 is either in a state of being placed on the support rod 30 or in a state of closing the bottom opening 14.
  • the periphery of the bottom surface of the wire cassette 100 can be simplified. Therefore, according to the configuration of the present embodiment, a structure with a small occupied space can be realized.
  • the bottom opening 14 of the cassette body 10 is preferably completely closed by the bottom plate pressing portion 22, the sealing member 24, and the bottom plate 20, but there is a portion that is not slightly closed. Even so, if it has a structure in which outside air (air) does not easily enter the inside of the cassette body 10, it alone has technical value. Further, even if the sealing member 24 is removed and the bottom plate pressing portion 22 and the bottom plate 20 are used to block the bottom surface opening portion 14, since the intrusion of outside air is suppressed, there is sufficient technical significance.
  • the bottom plate 20 can suppress the intrusion of outside air by pressing the upper surface of the peripheral portion of the bottom plate 20, for example, at a plurality of locations.
  • the bottom plate pressing portion 22 extends from the inner wall of the cassette body portion 10, but the bottom plate pressing portion 22 does not necessarily have to be in direct contact with the inner wall of the cassette body portion 10. That is, the bottom plate pressing portion 22 may be provided on the inner wall of the cassette main body portion 10 via another member between the inner wall of the cassette main body portion 10 and a part of the bottom plate pressing portion 22. Moreover, when the material (for example, resin) with a high friction degree is used for at least the surface of the sealing member 24, the effect which suppresses that the baseplate 20 slip
  • this embodiment demonstrated the structural example of the wire cassette which can accommodate the board
  • the technique of this embodiment is not restricted to a wire cassette
  • the present invention can be applied to a storage cassette (for example, a storage cassette in a shelf-hanging form).
  • the support rod 30 that supports the lower surface of the bottom plate 20 is not limited to the configuration arranged on the mounting table 32 shown in FIG.
  • a replacement rod 30a on the upper surface of the lifting arm 35 and to support the bottom plate 20 with the replacement rod 30a.
  • the bottom surface 20 can be brought into contact with the sealing member 24 by the holding rod 30 a while supporting the cassette body 10 with the lifting arm 35, thereby closing the bottom opening 14.
  • the portion that supports the lower surface of the bottom plate 20 can be constructed by the replacement rod 30a of the lifting arm 35 by omitting the replacement rod 30 arranged on the mounting base 32.
  • the raising structure for providing the recess 33 under the cassette body 10 is not limited to the structure of the mounting table 32 having the recess 33 shown in FIG. 2, and a height for providing the recess 33 is ensured. You may make it the structure which provided the member in the cassette main-body part 10 side.
  • release a bottom face simply can be provided.

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Abstract

【課題】底面を簡便に密閉および開放できるカセット構造を提供する。 【解決手段】基板（４０）を収納するカセット（１００）であって、内部に基板（４０）が配置されるカセット本体部（１０）と、カセット本体部（１０）の側面に形成されたカセット開口部（１２）と、カセット本体部（１０）の底面に形成された底面開口部（１４）と、底面開口部（１４）を塞ぐ底板（２０）と、底板（２０）の下面を支えるつっかえ棒（３０）と、つっかえ棒（３０）で支えられている底板（２０）の周縁部の上面を押さえる底板押さえ部（２２）とを備える、カセット（１００）である。

Description

カセット
本発明は、基板を収納するカセットに関し、特に、フラットパネルディスプレイ（例えば、液晶パネル）の製造方法に用いる薄型の基板（例えば、ガラス基板）を収納するカセットに関する。



なお、本出願は２００９年５月２０日に出願された日本国特許出願２００９－１２１５６７号に基づく優先権を主張しており、その出願の全内容は本明細書中に参照として組み入れられている。
液晶表示装置の構成部品である液晶パネルは、一対のガラス基板を所定のギャップを確保した状態で対向させた構造を有している。液晶パネルの大型化・量産化に伴って、液晶パネル用のガラス基板は年々大型化している。このような次世代の大型液晶ガラス基板を搬送する基板搬送システムでは、液晶ガラス基板を多段収納する収納カセットが用いられる（例えば、特許文献１～３など）。　
ガラス基板を収納した収納カセットは、クリーンルーム内の製造工程において液晶パネル製造装置の載置部から別の製造装置の載置部へガラス基板を搬送したり保管したりするのに用いられる。また、収納カセットは、液晶パネル製造装置の載置部とカセット保管庫の保管部との間でガラス基板を搬送・保管したりすることにも用いられる。　
クリーンルーム内の雰囲気は十分な空気清浄度が確保されているが、収納カセットの搬送・保管時に作業者や床面などから飛散したゴミなどの異物が基板表面に付着したり、基板処理時の有機ガスなどのミストがクリーンルーム内を浮遊して基板表面に付着することがある。そして、異物やミストが付着したまま、基板をプロセス処理すると液晶パネルの品質が低下するおそれがある。そのため、ガラス基板は、収納カセットの中で遮蔽された状態にして、異物などが付着しないよう搬送・保管を行うようにされている。
特開平９－１１５９９７号公報 特開２００５－１４２４８０号公報 特開２００５－１４５６２８号公報
近年のガラス基板の大型化に伴って、棚片の張り出し形式の収納カセットでは、ガラス基板を支持する棚片の面積が小さいために、大型のガラス基板を収納する場合には、その重量によってガラス基板に歪みが発生する場合がある。したがって、そのような形式の収納カセットでは、大型のガラス基板に使用することができない。　
そこで、最近では、大型のガラス基板を収納・搬送する場合、そのような歪みを抑制する上で、収納カセットの内壁に前後並列してワイヤーを多段的に配置したワイヤーカセットが用いられることがある。　
しかしながら、ワイヤーカセットを用いてガラス基板を収納・搬送する場合、ワイヤーカセットの下面には、ローラーコンベアを挿入するための開口部があり、それゆえに、密閉性が確保されていない。ガラス基板を収容したワイヤーカセットを常にクリーンルームに置いておく場合には、ワイヤーカセットの下面が密閉していない点の問題は少ないが、ガラス基板を搬送する点でいえば、常時、クリーンルーム中だけでワイヤーカセットを用いることができない場合もある。そのような状況の中、ワイヤーカセットの底面の開口を簡単に密閉できる構造は技術的に大きな価値を提供することができる。　
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、底面を簡便に密閉できるカセット構造を提供することにある。
本発明に係るカセットは、基板を収納するカセットであり、内部に基板が配置されるカセット本体部と、前記カセット本体部の側面に形成され、前記基板が出し入れされるカセット開口部と、前記カセット本体部の底面に形成された底面開口部と、前記底面開口部を塞ぐ底板と、前記底板の下面を支えるつっかえ棒と、前記つっかえ棒で支えられている前記底板の周縁部の上面を押さえる底板押さえ部とを備える。



ある好適な実施形態において、前記つっかえ棒は、前記底面開口部の下方に位置する置台に配置されている。



ある好適な実施形態において、前記底板押さえ部と前記底板との間の隙間を密閉する密閉部材が形成されている。



ある好適な実施形態において、前記密閉部材は、前記底面押さえ部の下面に形成された弾力性部材である。



ある好適な実施形態において、前記底面押さえ部は、前記カセット本体部の内壁を一周するように形成されている。



ある好適な実施形態において、前記つっかえ棒は、複数本設けられており、前記底板の下方領域で、前記つっかえ棒の間のスペースには、前記カセット本体部を昇降する昇降アームが挿入される。



ある好適な実施形態において、前記カセット本体部の内部には、複数のワイヤーが配列されており、前記基板は、ガラス基板であり、前記ガラス基板は、前記ワイヤーによって支持され、前記底面開口部には、前記ガラス基板を移動させる基板搬送装置が挿入される。
本発明に係るカセットによれば、カセット本体部の底面に形成された底面開口部と、底面開口部を塞ぐ底板と、底板の下面を支えるつっかえ棒と、底板の周縁部の上面を押さえる底板押さえ部と、密閉部材とを備えているので、底面を簡便に密閉および開放できるカセット構造を提供することができる。
本発明の実施形態に係るワイヤーカセット１００の斜視図である。 本発明の実施形態に係るワイヤーカセット１００の側面構成を示す断面図である。 密閉部材２４を含む底板押さえ部２２と底板２０の周辺を拡大した図である。 （ａ）および（ｂ）は、それぞれ、底板押さえ部２２の周辺を示す斜視図である。 ワイヤーカセット１００の底面開口部１４を開放するステップを説明する断面図である。 カセット本体部１０を密閉状態にして搬送するステップを説明する断面図である。 カセット本体部１０を密閉状態にして搬送するステップを説明する断面図である。 ワイヤーカセット１００から基板４０を搬出するステップを説明するための断面図である。 ワイヤーカセット１００から基板４０を搬出するステップを説明するための断面図である。 比較例のワイヤーカセット１１００の断面図である。 比較例のワイヤーカセット１２００の断面図である。 ワイヤーカセット１００の改変例の側面構成を示す断面図である。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面においては、説明の簡潔化のため、実質的に同一の機能を有する構成要素を同一の参照符号で示す。なお、本発明は以下の実施形態に限定されない。　
まず、図１から図４を参照しながら、本発明の実施形態に係るワイヤーカセット１００について説明する。　
図１は、本実施形態のワイヤーカセット１００の全体構成を模式的に示す斜視図である。本実施形態のワイヤーカセット１００は、ワイヤーによって基板４０を支持することによって、基板４０を収納することができる収納カセットである。なお、図１においては、ワイヤーは図示していない。また、矢印５０は重力方向（鉛直方向）を表している。　
本実施形態の基板４０は、例えば、液晶パネル用のガラス基板である。このガラス基板４０は、液晶パネルの寸法に切り出す前のマザーガラスであってもよいし、切り出した後の液晶パネルのサイズのガラスであってもよい。さらに、ガラス基板４０は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が作製されるアレイ基板（またはその作製途中のもの）であってもよいし、カラーフィルタ（ＣＦ）が形成されるＣＦ基板（またはその作製途中のもの）であってもよい。
また、基板４０は、ガラス基板の他、ウェハのような他の薄板であっても構わない。加えて、液晶パネル用の基板４０に限らず、ＰＤＰ、有機ＥＬパネル、その他フラットパネルディスプレイを製作する上での薄型の基板（ガラスに限らず、シート状のものでワイヤーカセットに保管され得るもの）であってもよい。　
本実施形態のワイヤーカセット１００は、カセット本体部１０と、カセット本体部１０の側面に形成されたカセット開口部１２と、カセット本体部１０の底面に形成された底面開口部１４と、底面開口部１４を塞ぐ底板２０とから構成されている。カセット本体部１０の内部には、基板４０を配置することができる。また、カセット開口部１２からは、基板４０を出し入れすることができる。なお、カセット開口部１２には、その開口を塞ぐパネル（不図示）を配置することができる。　
カセット本体部１０の下部には、底面開口部１４を塞ぐ底板２０が設けられている。底板２０の下方には、底板２０の下面を支えるつっかえ棒３０が配置されている。また、つっかえ棒３０で支えられている底板２０の周縁部の上面は、カセット本体部１０の内壁に形成された底板押さえ部２２によって押さえられている。なお、図１に示していないが、底板押さえ部２２と底板２０との間には、その隙間を塞ぐ密閉部材（２４）が設けられている。　
図２は、本実施形態のワイヤーカセット１００の側面構成を模式的に示す断面図である。図２に示した例では、カセット本体部１０の内部には、基板４０を支持するワイヤー６０が配列されている。具体的には、一枚の基板４０を複数本のワイヤー６０で支持し、その複数本のワイヤー６０が多段に配列されている。ワイヤー６０が多段に配列されていることによって、カセット本体部１０の内部にガラス基板４０を多段に収納することができる。　
この例では、基板４０を４段収納しているが、基板４０の収納の枚数は、ワイヤー６０の段数に対応し、その段数は適宜好適なものを設定することができる。また、ワイヤー６０は、カセット本体部１０の内部の対向する壁面（内壁）の間に張られており、その張力で基板４０を支持している。　
なお、カセット本体部１０の底面に形成された底面開口部１４には、基板４０を出し入れするローラーコンベア（不図示）が挿入される。ローラーコンベアは、ワイヤー６０の間から基板４０に接触して、そして、基板４０をカセット開口部１２から払い出す機能を有している。そして、底面開口部１４には、その開口を塞ぐ底板２０が設けられている。なお、基板４０をカセット本体部１０から払い出すための基板搬送装置としては、ローラーコンベアの他、例えば、基板４０を空気で浮上させて移動させることが可能な構造を有するエア浮上コンベアを用いることもできる。　
つっかえ棒３０は、地上から延びた棒状部材である。つっかえ棒３０の先端が、底板２０を支え、つっかえ棒３０の根本は地面側に固定されている。つっかえ棒３０は、底板２０を安定に支えるために複数本設けられており、一例では、底板２０の下方領域に行列状に配列される。なお、底板２０を適切に支えることができるのであれば、つっかえ棒３０の配列は、その間隔が均等なものだけでなく、不均等なものであってもよい。　
本実施形態では、つっかえ棒３０は、底面開口部１４の下方に位置する置台３２に配置されている。置台３２は、例えば、製造工場内に設置されたワイヤーカセット用の台座、または、ワイヤーカセットを搬送する搬送ビークルの荷台である。本実施形態の置台３２には、凹部３３が形成されており、その底面３４Ａから、つっかえ棒３０は垂直方向に延びている。つまり、つっかえ棒３０の高さは、置台３２の凹部底面３４Ａを基準にして、底板押さえ部２２の底面が位置する高さ（または、密閉部材２４が位置する高さ）に対応して決められる。また、凹部３３が位置していない置台３２の上面３４Ｂには、カセット本体部１０の下端１５が載っている。　
つっかえ棒３０は、例えば、金属材料からなる。また、つっかえ棒３０の形状は、例えば、円柱であり、その直径は、例えば１０ｍｍ程度である。ただし、つっかえ棒３０の形状は限定されず、底板２０を適切に支えられるのであれば、他の形状（例えば、角柱）であってもよい。つっかえ棒３０の先端は、底板２０の底面を傷つけないように丸くすることができるし、樹脂などの干渉材料を取り付けてもよい。なお、ここでは、液晶パネル用のガラス基板４０の寸法が３ｍ×３ｍ程度の場合を想定したときのものを例として示しているが、各寸法は条件にあわせて適宜改変可能である。　
また、底板２０は、カセット本体部１０の内壁に設けられた底板押さえ部２２によって押さえられている。底板押さえ部２２と底板２０との間の隙間を塞ぐ密閉部材２４が形成されている。本実施形態の構成では、底板押さえ部２２の下面に、密閉部材２４が形成されているが、底板２０の上面に、密閉部材２４を形成してもよい。　
図３は、密閉部材２４を含む底板押さえ部２２と底板２０の周辺を拡大した図である。図３に示すように、底板２０は、つっかえ棒３０によって下から押し上げられ、一方、密閉部材２４を介して底板押さえ部２２によって受けとめられる。つっかえ棒３０の押し上げによって生じる歪みは、密閉部材２４によって吸収され、それによって、底板押さえ部２２と底板２０との間の隙間を塞ぐことができる。密閉部材２４は、クッション性のある弾力性部材（例えば、ゴム、樹脂、エラストマー）であることが好ましい。　
また、底板押さえ部２２と底板２０との間の隙間を塞ぐことができるのであれば、密閉部材２４は、底板押さえ部２２と独立した部材として形成されていなくてもよい。例えば、密閉部材２４は、底板押さえ部２２の少なくとも底面を覆うように被覆されたコーティング部材として存在してもよい。また、密閉部材２４は、底板２０の周縁部の上面を少なくとも覆うコーティング部として存在してもよい。なお、底板２０の周縁部は、底板押さえ部２２の下方に位置する領域である。　
図４（ａ）は、底板押さえ部２２の一部を拡大した斜視図である。底板押さえ部２２は、カセット本体部１０の内壁１０ａから中央向きに延びている。底板押さえ部２２は、例えば、金属から構成されており、一例ではカセット本体部１０の一部の材料と同じ材料から構成されていてもよい。図４（ａ）に示した例では、底板押さえ部２２の幅Ｗ１は、５０ｍｍ～６０ｍｍ程度であり、底板押さえ部２２の厚さＴ１は、２ｍｍ～３ｍｍ程度である。　
底板押さえ部２２の下面の一部には、密閉部材２４が形成されている。この例では、密閉部材２４は、短冊状の細長く延びる線状部材であり、例えば、密閉部材２４の断面は矩形である。密閉部材２４の幅Ｗ２は、２０ｍｍ程度であり、密閉部材２４の厚さＴ２は、５ｍｍ程度である。なお、密閉部材２４の断面は矩形に限らず、底板押さえ部２２と底板２０との間の隙間を塞ぐことができるのであれば、略半円形（半円形、半楕円系、半長円形）であっても、台形であっても構わない。　
また、図示した例では、密閉部材２４の形成位置は、底板押さえ部２２の下面の中央（幅Ｗ１の半分の箇所）よりも内側にされているが、密閉部材２４は、底板押さえ部２２の中央の位置に形成されていてもよいし、あるいは、底板押さえ部２２の中央の位置よりも外側（内壁１０ａ側）に形成されていてもよい。また、底板押さえ部２２の下面の全面（またはほぼ全面）に、密閉部材２４を形成することも可能である。　
本実施形態の底板押さえ部２２は、カセット本体部１０の内壁１０ａを一周するように形成されている。この例では、短冊状の細長く延びる密閉部材２４も、同様に一周するように形成されている。したがって、図４（ｂ）に示すように、底板押さえ部２２の下面に、密閉部材２４を介して底板２０を押し付けると、底板２０によって底面開口部１４を塞ぐことができ、加えて、密閉部材２４によって底板押さえ部２２と底板２０との間の隙間を塞ぐことができる。このようにして、本実施形態の構成により、カセット本体部１０の内部と外気（エア）とを遮ることができる。　
なお、図４（ｂ）に示す例では、底板２０は、金属（例えば、アルミニウム）から構成されており、一例では、カセット本体部１０の一部（及び／又は底板押さえ部２２）の材料と同じ材料から構成されていてもよい。また底板２０の厚さＴ３は、例えば、２ｍｍ～３ｍｍ程度である。なお、底板２０に発生するたわみが大きい場合には、底板２０の上部の少なくとも一部に（例えば、底板２０の周縁領域以外の部分に）、補強材（例えば、Ｌ字アングル）を設けることも可能である。　
本実施形態の構成において、底板２０は、底板押さえ部２２の密閉部材２４に押し付けられているが、底板２０と密閉
部材２４とは、互いに、接着などによる一体化はされていない。具体的には、底板２０は、カセット本体部１０の重みに基づく底板押さえ部２２の下方に働く力と、地上（置台３２）側から延びるつっかえ棒３０の上方に働く力とによって固定されているにすぎない。したがって、底板２０は、カセット本体部１０を上方に持ち上げれば、つっかえ棒３０の上に載置されたままとなり、それゆえ、簡単に、カセット本体部１０の底面開口部１４は開放されることになる。　
本実施形態のカセット本体部１０は、箱形形状を有している。例えば、カセット本体部１０の辺の部分をフレーム構造で作製して、カセット本体部１０の面の部分をパネル構造で作製することができる。その場合、フレーム構造の部分は、金属（例えば、アルミ、鉄、ステンレスなど）から構成され、パネル構造の部分は、樹脂板、金属板（例えば、アルミ板）などから構成され得る。　
図１及び図２に示した構成例では、カセット本体部１０の骨格はフレーム構造を有しており、そして、カセット本体部１０の側面（左面・右面）１１Ａおよび上面１１Ｂはパネル構造（例えば、金属板）によって覆われている。この例では、カセット開口部１２は、カセット本体部１０の前面に形成されているが、前面に加えて後面に形成してもよい。カセット本体部１０の前面と後面との両方にカセット開口部１２を形成した場合には、前後の両方から基板４０を出し入れすることが可能となる。　
なお、必ずしも、カセット開口部１２以外のカセット本体部１０の側面のすべてにパネルを設けなくてもよい。例えば、カセット本体部１０の側面にパネルがない形態において、底板２０が設けられている構成であっても、カセット本体部１０を載せたカセット搬送車が走行したときのエア（ダスト）の巻き上がりを抑制する効果が得られる。　
カセット本体部１０の側面に形成されたカセット開口部１２には、その開口を塞ぐための閉塞板を設けることができる。なお、カセット開口部１２を塞ぐことができる構成であれば、閉塞板は、種々の構成をとることができる。加えて、上述したように、閉塞板を設けない構成でも、本実施形態の底板２０を設けたことによる効果を得ることができる。　
次に、図５を参照しながら、本実施形態のワイヤーカセット１００から底板２０を外して底面開口部１４を開放するステップについて説明する。　
まず、図２に示した状態から、カセット本体部１０を上昇させる。底板２０は、カセット本体部１０（特に、底板押さえ部２２及び密閉部材２４）と一体になっているわけでないので、図５に示すように、底板２０は底面開口部１４から外れて、底面開口部１４は密閉状態から開放状態になる。カセット本体部１０は、例えば、別途設置された昇降装置によって上昇することができる。　
次に、図６及び図７を参照しながら、カセット本体部１０の底面開口部１４に実質的に底板２０を残したままワイヤーカセット１００を搬送するステップについて説明する。　
まず、図６に示すように、底板２０の下方でつっかえ棒３０の間にあるスペース３７に、カセット本体部１０を昇降する昇降アーム３５を挿入する。なお、図１には、カセット本体部１０の下部には昇降アーム３５を挿入するためのアーム挿入開口部３１が形成されており、ワイヤーカセット１００の構成によっては、そのようなアーム挿入開口部３１を適宜設けることも可能である。　
次に、図７に示すように、カセット本体部１０の下端１５を昇降アーム３５で支えながら、昇降アーム３５を上昇させると、底板２０は、つっかえ棒３０から離れて、底板２０が底面開口部１４を実質的に塞いだ状態でカセット本体部１０を上昇させることができる。また、昇降アーム３５が水平方向（前後・左右）にも移動可能な構成にされている場合は、昇降アーム３５によって、実質的に底板２０で塞いだ状態のままカセット本体部１０を水平方向にも搬送することができる。　
昇降アーム３５によって上に持ち上げられたカセット本体部１０を、つっかえ棒３０が形成された置台３２の上に置けば、底板２０で塞いだ状態でカセット本体部１０を保管することができる。昇降アーム３５の構造または数は、カセット本体部１０を安定して昇降または搬送できるものであればよい。また、つっかえ棒３０の間にあるスペース３７（つっかえ棒３０の間のスペース）は、昇降アーム３５が挿入できる空間があればよいので、広いものでも狭いものであってもよい。　
次に、図８及び図９を参照しながら、本実施形態のワイヤーカセット１００から基板４０を搬出するステップについて説明する。　
図８に示すように、底面開口部１４を開放した状態でカセット本体部１０を下方させて、ローラーコンベア６１を底面開口部１４内に挿入させる。なお、カセット本体部１０を固定し、ローラーコンベア６１を上方させることによって底面開口部１４内に挿入させることもできる。なお、本実施形態では、基板搬送装置として、ローラーコンベア６１を例示したが、これに限らず他の装置（例えば、エア浮上コンベア）を用いることも可能である。　
次に、図９に示すように、ローラーコンベア６１を上昇させて、ワイヤー６０の間に通して、ローラーコンベア６１と基板４０とを接触させ、次いで、ローラーコンベア６１によって基板４０を持ち上げる。次いで、基板４０とワイヤー６０とを離した状態で、ローラーコンベア６１のローラ部を回転させて、基板４０を水平方向に移動させる。それにより、基板４０は、カセット開口部１２から払い出され、ワイヤーカセット１００の外に位置する搬送装置６４の上に移動する。その後は、基板４０は必要な工程に供されたり、必要な場所に保管されたりする。　
一番下の段の基板４０の払い出しが終了すると、次に、その上の基板４０の払い出しが実行される。具体的には、ローラーコンベア６１を更に上昇させて、ワイヤー６０の間に通し、そのローラーコンベア６１のローラ部を回転させて、基板４０（下から２番目の基板４０）をカセット開口部１２から払い出しする。この工程を順次繰り返して、全ての段の基板４０の払い出しを完了する。　
本実施形態のワイヤーカセット１００によれば、カセット本体部１０の底面に形成された底面開口部１４と、底面開口部１４を塞ぐ底板２０と、底板２０の下面を支えるつっかえ棒３０と、底板２０の周縁部の上面を押さえる底板押さえ部２２及び密閉部材２４とを備えているので、底面開口部１４を簡便に密閉および開放できるワイヤーカセット構造を実現することができる。
このような簡便な構造によって底面開口部１４の密閉および開放ができると、ワイヤーカセット１００を常にクリーンルームに置いておかなくても、必要に応じて、底面開口部１４を底板２０で密閉して、ワイヤーカセット１００をクリーンルームの外に移動させることができる。これにより、基板４０をクリーンルームの外でも搬送・保管することが容易になり、クリーンルームについての工場（例えば、液晶パネル製造工場）の設備コストを大幅に低減させることが可能となる。　
ここで、本実施形態のワイヤーカセット１００と、他のワイヤーカセット（比較例）とを比較して検討してみる。本実施形態における底面開口部１４を底板２０で塞ぐ構成以外には、次のようなものも考えることができる。　
図１０は、摺動部１２５を備えたスライド式構造の底面カバー１２０を備えたワイヤーカセット１１００（比較例）を示している。なお、図１０に示したワイヤーカセット１１００では、基板４０が出し入れされるカセット開口部１１２を前面カバー１１５で覆っている。　
カセット本体部１１０の底面開口部１１４には、スライド構造（摺動部）１２５が設けられている。そして、底面開口部１１４を塞ぐ底面カバー１２０は、スライド構造１２５で摺動しながら水平動作（矢印５４）を行う。この場合、基板４０が収納されているカセット本体部１１０の内部の近傍において、そのスライド構造１２５がダスト発生源となる。したがって、これではクリーンルームでの使用に適さない。　
また、図１１は、底面カバー１２１が扉開閉構造１２７を有する形態のワイヤーカセット１２００を示している。図１１に示した扉開閉構造１２７を持ったワイヤーカセット１１００の場合、底面カバー１２１の開閉において回動スペース（５６）を確保しておく必要があり、それゆえに、多くの占有面積が必要なカセットとなってしまう。したがって、この構成では、占有面積の小さい開閉構造を有するワイヤーカセットにはならない。　
以上のように、本実施形態のワイヤーカセット１００と比較して、ワイヤーカセット１１００および１２００は何れも欠点があり、構造上、その欠点を解決するのが困難である。一方、本実施形態のワイヤーカセット１００は、そのような欠点を回避することができる。また、比較例のワイヤーカセット１１００及び１２００では、底面カバー（１２０、１２１）を開閉する上で独自の機構（１２５、１２７）を取り付けなければならないのに対し、本実施形態のワイヤーカセット１００では、そのような独自の機構を取り付けなくても、カセット本体部１０の昇降動作によって、カセット本体部１０の底面開口部１４の開閉を簡便に実行することができる。その点においても、本実施形態の構成は技術的に大きな価値を有する。　
さらには、本実施形態のワイヤーカセット１００では、底面開口部１４の開閉において、占有スペースの小さい構造を実現できている。すなわち、図１０に示したワイヤーカセット１１００の場合には、底面カバー１２０を動かすための占有スペース（水平方向５４のスペース）が必要となる。そして、図１１に示したワイヤーカセット１２００の場合には、底面カバー１２１を動かすためにカセット本体部１１０の下方に大きなスペースが必要となり、これではローラーコンベアの動作の妨げにもなる。　
一方、本実施形態のワイヤーカセット１００によれば、ワイヤーカセット１００の底板２０は、つっかえ棒３０の上に載置された状態か、あるいは、底面開口部１４を塞いだ状態のいずれかであるので、ワイヤーカセット１００の底面の周囲をシンプルにすることができる。したがって、本実施形態の構成によれば、占有スペースの小さい構造を実現することができる。　
以上、本発明を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、勿論、種々の改変が可能である。　
例えば、カセット本体部１０の底面開口部１４は、底板押さえ部２２及び密閉部材２４と底板２０によって完全に塞がれていることが好ましいが、一部少しだけ塞がれていない箇所があったとしても、カセット本体部１０の内部へ外気（エア）が侵入し難い構造となっていれば、それだけでも技術的価値がある。また、密閉部材２４を外して、底板押さえ部２２と底板２０とによって底面開口部１４を塞ぐ形態であっても、外気の侵入は抑制されるので、技術的な意義は十分ある。さらに、底板押さえ部２２は、底板２０の周縁部の全周にわたって押さえなくても、底板２０の周縁部の上面を例えば複数箇所押さえることによって、外気侵入の抑制効果を得ることができる。　
また、底板押さえ部２２は、カセット本体部１０の内壁から延びているが、必ずしも、カセット本体部１０の内壁に底板押さえ部２２の一部が直接接触している必要はない。すなわち、カセット本体部１０の内壁と、底板押さえ部２２の一部との間に他の部材を介して、カセット本体部１０の内壁に底板押さえ部２２が設けられていてもよい。また、密閉部材２４の少なくとも表面に摩擦度が高い材料（例えば、樹脂）を用いた場合には、ワイヤーカセット１００の搬送の加速や振動に対して底板２０がずれることを抑制する効果を得ることもできる。さらに、本実施形態では、複数のワイヤーによって基板４０を収納可能なワイヤーカセットの構成例について説明したが、本実施形態の技術
はワイヤーカセットに限らず、ワイヤー以外の手段で基板４０を収納する基板収納カセット（例えば、棚片の張り出し形式の収納カセット）に適用可能なものである。　
加えて、底板２０の下面を支えるつっかえ棒３０は、図２に示した置台３２に配置した構成に限らず、他の構成であってもよい。例えば、図１２に示すように、昇降アーム３５の上面につっかえ棒３０ａを配置する構成にして、そのつっかえ棒３０ａで底板２０を支えることも可能である。図１２に示した構成の場合、カセット本体部１０を昇降アーム３５で支えながら、つっかえ棒３０ａによって底面２０を密閉部材２４に接触させることができ、それによって底面開口部１４を塞ぐことができる。また、底板２０の下面を支える部位は、置台３２に配置されたつっかえ棒３０を省略して、昇降アーム３５のつっかえ棒３０ａによって構築することも可能である。さらに、カセット本体部１０の下に凹部３３を設けるためのかさ上げ構造としては、図２に示した凹部３３を持った置台３２の構造に限らず、凹部３３を設けるための高さを確保する部材をカセット本体部１０の側に設けた構造にしても構わない。
本発明によれば、底面を簡便に密閉および開放できるカセット構造を提供することができる。



 １０ カセット本体部



 １０ａ 内壁



 １２ カセット開口部



 １４ 底面開口部



 ２０ 底板



 ２２ 底板押さえ部



 ２４ 密閉部材



 ３０ つっかえ棒



 ３１ アーム挿入開口部



 ３２ 置台



 ３５ 昇降アーム



 ４０ 基板



 ６０ ワイヤー



 ６１ ローラーコンベア



 ６４ 搬送装置



１００ ワイヤーカセット



１１００、１２００ ワイヤーカセット

Claims (7)




  1. 基板を収納するカセットであって、



    内部に基板が配置されるカセット本体部と、



    前記カセット本体部の側面に形成され、前記基板が出し入れされるカセット開口部と、



    前記カセット本体部の底面に形成された底面開口部と、



    前記底面開口部を塞ぐ底板と、



    前記底板の下面を支えるつっかえ棒と、



    前記つっかえ棒で支えられている前記底板の周縁部の上面を押さえる底板押さえ部と



    を備える、カセット。
  2. 前記つっかえ棒は、前記底面開口部の下方に位置する置台に配置されている、請求項１に記載のカセット。
  3. 前記底板押さえ部と前記底板との間の隙間を密閉する密閉部材が形成されている、請求項１または２に記載のカセット。
  4. 前記密閉部材は、前記底面押さえ部の下面に形成された弾力性部材である、請求項３に記載のカセット。
  5. 前記底面押さえ部は、前記カセット本体部の内壁を一周するように形成されている、請求項１から４の何れか一つに記載のカセット。



  6. 前記つっかえ棒は、複数本設けられており、



    前記底板の下方領域で、前記つっかえ棒の間のスペースには、前記カセット本体部を昇降する昇降アームが挿入されることを特徴とする、請求項１から５の何れか一つに記載のカセット。



  7. 前記カセット本体部の内部には、複数のワイヤーが配列されており、



    前記基板は、ガラス基板であり、



    前記ガラス基板は、前記ワイヤーによって支持され、



    前記底面開口部には、前記ガラス基板を移動させる基板搬送装置が挿入される、請求項１から６の何れか一つに記載のカセット。 
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