WO2010094795A1 - Elektrisches vielschichtbauelement - Google Patents

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WO2010094795A1
WO2010094795A1 PCT/EP2010/052203 EP2010052203W WO2010094795A1 WO 2010094795 A1 WO2010094795 A1 WO 2010094795A1 EP 2010052203 W EP2010052203 W EP 2010052203W WO 2010094795 A1 WO2010094795 A1 WO 2010094795A1
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dielectric layer
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electrical multilayer
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Thomas Feichtinger
Georg Krenn
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Epcos Ag
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    • H01T4/10—Overvoltage arresters using spark gaps having a single gap or a plurality of gaps in parallel
    • H01T4/12—Overvoltage arresters using spark gaps having a single gap or a plurality of gaps in parallel hermetically sealed

Definitions

  • An object to be solved is to provide a multilayer electrical component comprising an ESD protection element with a low breakdown voltage and a low ESD clamping voltage.
  • an electrical multilayer component having a base body with at least two outer electrodes.
  • the outer electrodes are preferably arranged at least on the side surfaces of the electrical multilayer component.
  • the electrical multilayer component has at least one first and at least one second inner electrode, which in embodiments may be electrically conductively connected to one outer electrode each.
  • the electrical multilayer component has at least one ceramic varistor layer, which is at least the first
  • the Internal electrode comprises.
  • the first and second inner electrodes may be connected directly or via plated-through holes in the main body with the outer electrodes.
  • the multilayer electrical component has at least one dielectric layer which is arranged between the at least one varistor layer and the second inner electrode and adjoins the varistor layer.
  • the dielectric layer of the electrical multilayer component has at least one opening.
  • the opening may be formed as an opening, as a recess or as a cavity or a cavity.
  • the opening of the dielectric layer is preferably filled with a gaseous medium and adjoins the varistor layer in embodiments.
  • the gaseous medium with which the opening in the dielectric layer is filled is air.
  • the opening of the dielectric layer may also be filled with another gas or a gas mixture.
  • the opening is filled with a noble gas.
  • the dielectric layer comprises a porous material.
  • the porous material comprises openings or depressions or partially or completely closed cavities which are filled with the gaseous medium.
  • At least one further layer is arranged between the dielectric layer and the second inner electrode.
  • the further layer is preferably formed such that it comprises the second inner electrode.
  • the outer electrodes extend at least partially up to the upper side and / or lower side of the main body.
  • the second inner electrode is formed by partial regions of one of the outer electrodes of the electrical multilayer component.
  • the portion of the outer electrode, which has a direct contact with the body of the electrical multilayer component, assumes the function of a second inner electrode.
  • a third internal electrode is arranged in the body.
  • the third inner electrode is designed in one embodiment as a floating inner electrode.
  • the third inner electrode is preferably at a distance from the outer electrodes of the multilayer electrical component and has no electrical contact with one or more outer electrodes of the multilayer electrical component.
  • the first and second inner electrodes overlap at least partially.
  • the internal electrodes are designed such that they preferably do not overlap one another.
  • first and / or the second inner electrode overlap at least partially with the third inner electrode.
  • the first and second inner electrodes do not overlap with the third inner electrode.
  • the third internal electrode is arranged between the dielectric layer and one of the first or second internal electrodes of the electrical multilayer component.
  • the multilayer electrical component has at least one cover package.
  • the cover package comprises at least one dielectric layer.
  • the at least one cover package of the multilayer electrical component and / or the dielectric layers having at least one opening comprise the same material.
  • the at least one cover package and the dielectric layer comprise different materials.
  • the base body has individual or a plurality of through contacts, so-called vias, via which the first and / or the second inner electrode of the multilayer electrical component are connected to external contacts of the electrical multilayer component.
  • the third inner electrode is preferably not connected as a floating inner electrode via plated-through holes with external contacts of the electrical multilayer component.
  • BGA Ball Grid Array
  • Arrays are at least the first and second inner electrode of the electrical multilayer component preferably connected via plated-through holes with the external contacts of the electrical multilayer component.
  • the dielectric layer which comprises at least one opening, is designed such that it forms an ESD charge gap (spark gap) together with at least one adjacent varistor layer which comprises at least one first inner electrode and a further overlapping inner electrode. forms.
  • the electrical multilayer component has the function of a varistor with an integrated gas discharge protection element.
  • the varistor preferably has a capacity of less than 1 pF.
  • An electrical multilayer component as described above has a reduction in the total capacitance of the component, especially as a result of the arrangement of the small capacitance of the dielectric layer with an opening connected in series with the varistor capacitance.
  • the clamping voltage of the electrical multilayer component is only slightly increased by the dielectric layer compared to conventional multilayer components.
  • the specified clamping voltage of the ESD protection element is essentially dependent on the spacing of the inner electrode layers, as well as on the design of the opening in the dielectric layer.
  • the overall capacitance of the electrical multilayer component is significantly reduced.
  • FIG. 1 shows a first embodiment of the multilayer electrical component
  • FIG. 2 shows a further embodiment of the electrical multilayer component
  • FIG. 3 shows a further variant of the electrical multilayer component
  • FIG. 4 shows another embodiment of the electrical
  • Multilayer component in which the opening in the dielectric layer is arranged between a third internal electrode and an external contact
  • FIG. 5 shows a schematic structure of a further exemplary embodiment of the electrical multilayer component, in which the dielectric layer is arranged between two varistor layers, each of which comprises an inner electrode,
  • Figure 6 shows another embodiment of the electrical
  • Multi-layer component wherein the external contacts as
  • FIG. 7 shows another embodiment of the electrical
  • Multi-layer component wherein the
  • FIG. 1 shows a first embodiment of an electrical multilayer component which comprises a main body 1. On the side surfaces of the main body 1 outer electrodes 2, 2 'are arranged, which are conductively connected to the inner electrodes 3, 4 located in the interior of the main body.
  • the main body 1 has a varistor layer 5, which comprises a first inner electrode 3.
  • the first inner electrode 3 is for the most part, ie, except for the connection to the outer electrode 2, 2 ', enclosed by the varistor layer 5.
  • the electrical multilayer component has a further layer 7, which is designed as cover glass 12 in the illustrated embodiment.
  • a dielectric layer 6 is arranged, which comprises an opening 8.
  • a second inner electrode 4 is arranged at the interface between the dielectric layer 6 and the further layer 7, a second inner electrode 4 is arranged. The free ends of the first 3 and second 4 inner electrodes overlap.
  • the opening 8 in the dielectric layer 6 is preferably filled with a gaseous medium.
  • the main body 1 of the electrical multilayer component is in the thickness direction of a cover package 9 and the other layer 7, which is designed as a cover glass 12 completed.
  • the cover package 9 comprises at least one dielectric layer.
  • FIG. 2 shows a further embodiment of the electrical multilayer component.
  • the structure of the multilayer electrical component of Figure 2 is similar to the structure of the multilayer electrical component in Figure 1, with the
  • the dielectric layer 6 of the multilayer electrical component consists of a porous material.
  • the dielectric layer 6 has a plurality of openings or breakthroughs 8, 8 'on.
  • the first electrode 3 is arranged at the interface between the varistor layer 5 and the cover package 9. The free ends of the first 3 and second 4 internal electrodes overlap in a wide area of the electrode surface.
  • the first electrode 3 is also for the most part encompassed by the varistor layer 5, as in the embodiment of the multilayer electrical component illustrated in FIG.
  • FIG. 3 shows a further embodiment of the electrical multilayer component.
  • the electrical multilayer component comprises a main body 1, on which external electrodes 2, 2 'are arranged on the side surfaces.
  • the main body has a first inner electrode 3, which is arranged at the interface between a varistor layer 5 and a cover package 9.
  • the electrical multilayer component has a second internal electrode 4, which is arranged at an interface to a further layer 7. Between the further layer 7 and the varistor layer 5, a dielectric layer 6 with an opening 8 is arranged. Between the dielectric layer 6 and the varistor layer 5, a further, third inner electrode 11 is arranged.
  • the third inner electrode 11 has no direct, in particular no electrical contact with the outer electrodes 2, 2 'of the electrical multilayer component.
  • the third inner electrode 11 is therefore floating with no fixed electrical potential.
  • FIG. 4 shows a further embodiment of the electrical multilayer component.
  • the electrical multilayer component comprises a main body 1.
  • the embodiment of the electrical multilayer component in FIG. 4 is constructed similarly to the embodiment in FIG.
  • the second electrode 4 is formed in the embodiment of Figure 4 by a portion of the outer electrode 2.
  • the dielectric 6 is connected directly to the outer electrode 2.
  • the opening 8 in the dielectric layer 6 is between the third electrode 11 and the portion of the
  • Outside electrode 2 which includes the function of the second internal electrode 4, arranged.
  • FIG. 5 shows a further embodiment of the electrical multilayer component.
  • the electrical multilayer component has a main body 1, with external electrodes 2, 2 'arranged on the side surfaces.
  • the main body 1 comprises a varistor layer 5 which largely encloses the first inner electrode 3.
  • a dielectric layer 6 is arranged, which has an opening 8.
  • the dielectric layer 6 is adjoined by another layer 7, which largely encloses a second electrode 4.
  • the further layer 7 is designed as a varistor layer.
  • the multilayer electrical component of cover packages 9, 9 ' is completed.
  • the cover packages 9, 9 'each comprise at least one dielectric layer.
  • the inner electrodes 3, 4 overlap each other and form with the opening 8 to the dielectric layer 6 an ESD protection element.
  • FIG. 6 shows a further embodiment of the electrical multilayer component.
  • the main body 1 of the electric Multilayer component comprises a varistor layer 5, on which a first inner electrode 3 is arranged.
  • a dielectric layer 6 is arranged, which in the illustrated embodiment has two openings 8, 8 '.
  • the main body 1 of the electrical multilayer component is finished in the thickness direction by cover packages 9, 9 '.
  • the cover packages 9, 9 ' comprise at least one dielectric layer.
  • the electrical multilayer component has two second ones
  • Electrodes 4, 4 ' which are arranged at the interface between the dielectric layer 6 and the second cover package 9'.
  • the external contacts 2, 2 'of the multilayer electrical component in the illustrated embodiment are designed as ball grid arrays (BGA).
  • BGA ball grid arrays
  • FIG. 7 shows a further embodiment of the electrical multilayer component.
  • the embodiment of the multilayer electrical component in FIG. 7 is constructed similarly to the embodiment in FIG.
  • multilayer components do not overlap in the illustrated embodiment.
  • the first 3 and the second 4 inner electrodes reach down to the opening 8 in the dielectric layer, wherein the first 3 and the second 4 inner electrodes do not overlap each other in the thickness direction of the multilayer electrical component.
  • the invention is not limited to these. It is in principle possible for the multilayer electrical component to have several ESDs connected in series or in parallel.
  • Protective means formed by a dielectric layer having one or more openings and at least one adjacent varistor layer.
  • the openings in the dielectric layer may be in the form of an aperture, cavity, recess or otherwise.

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Abstract

Es wird ein elektrisches Vielschichtbauelement angegeben, das einen Grundkörper (1) mit wenigstens zwei Außenelektroden (2, 2') aufweist. Das elektrische Vielschichtbauelement weist wenigstens eine erste (3) und eine zweite (4) Innenelektrode auf, die elektrisch leitend mit je einer Außenelektrode (2, 2') verbunden sind. Das elektrische Vielschichtbauelement weist wenigstens eine keramische Varistorschicht (5) auf, die wenigstens die erste Innenelektrode (3) umfasst. Das elektrische Vielschichtbauelement weist wenigstens eine dielektrische Schicht (6) auf, die zwischen der wenigstens einen Varistorschicht (5) und der zweiten Innenelektrode (4) angeordnet ist. Die dielektrische Schicht (6) weist wenigstens eine Öffnung (8) auf, die mit einem gasförmigen Medium gefüllt ist.

Description

Beschreibung
Elektrisches VielSchichtbauelement
Aus der Druckschrift DE 102004058410 Al ist ein elektrisches Vielschichtbauelement mit Schutzelement bekannt.
Eine zu lösende Aufgabe ist es, ein elektrisches Vielschichtbauelement anzugeben, das ein ESD-Schutzelement mit einer niedrigen Durchbruchspannung und einer niedrigen ESD- Klemmspannung umfasst.
Die Aufgabe wird durch ein elektrisches Vielschichtbauelement nach Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen des elektrischen Vielschichtbauelements sind Gegenstand von Unteransprüchen .
Es wird ein elektrisches Vielschichtbauelement angegeben, das einen Grundkörper mit wenigstens zwei Außenelektroden aufweist. Die Außenelektroden sind vorzugsweise wenigstens an den Seitenflächen des elektrischen Vielschichtbauelements angeordnet .
Das elektrische Vielschichtbauelement weist wenigstens eine erste und wenigstens eine zweite Innenelektrode auf, die bei Ausführungsbeispielen elektrisch leitend mit je einer Außenelektrode verbunden sein können.
Das elektrische Vielschichtbauelement weist wenigstens eine keramische Varistorschicht auf, die wenigstens die erste
Innenelektrode umfasst. Die erste und zweite Innenelektrode können direkt oder über Durchkontaktierungen im Grundkörper mit den Außenelektroden verbunden sein. Das elektrische Vielschichtbauelement weist wenigstens eine dielektrische Schicht auf, die zwischen der wenigstens einen Varistorschicht und der zweiten Innenelektrode angeordnet ist und an die Varistorschicht angrenzt.
Die dielektrische Schicht des elektrischen Vielschichtbauele- ments weist wenigstens eine Öffnung auf. Die Öffnung kann als Durchbruch, als Aussparung beziehungsweise als eine Kavität oder ein Hohlraum ausgebildet sein.
Die Öffnung der dielektrischen Schicht ist vorzugsweise mit einem gasförmigen Medium gefüllt und grenzt bei Ausführungsbeispielen an die Varistorschicht an.
In einer Ausführungsform ist das gasförmige Medium, mit dem die Öffnung in der dielektrischen Schicht gefüllt ist, Luft. In einer weiteren Ausführungsform kann die Öffnung der dielektrischen Schicht auch mit einem anderen Gas oder einem Gasgemisch gefüllt sein. Insbesondere ist die Öffnung mit einem Edelgas gefüllt.
In einer Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauele- ments umfasst die dielektrische Schicht ein poröses Material. Das poröse Material umfasst Öffnungen beziehungsweise Vertiefungen oder teilweise beziehungsweise vollständig abgeschlossene Hohlräume, die mit dem gasförmigen Medium gefüllt sind.
In einer Ausführungsform ist zwischen der dielektrischen Schicht und der zweiten Innenelektrode wenigstens eine weitere Schicht angeordnet. Die weitere Schicht ist vorzugsweise derart ausgebildet, dass sie die zweite Innenelektrode umfasst. In einer Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauele- ments reichen die Außenelektroden wenigstens teilweise bis auf die Ober- und/oder Unterseite des Grundkörpers.
In einer Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauele- ments ist vorgesehen, dass die zweite Innenelektrode durch Teilbereiche einer der Außenelektroden des elektrischen Vielschichtbauelements gebildet ist. Vorzugsweise übernimmt der Teilbereich der Außenelektrode, der einen direkten Kontakt zum Körper des elektrischen Vielschichtbauelements aufweist, die Funktion einer zweiten Innenelektrode.
In einer Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauelements ist eine dritte Innenelektrode im Körper angeordnet. Die dritte Innenelektrode ist in einer Ausführungsform als schwebende Innenelektrode ausgeführt. Die dritte Innenelektrode ist vorzugsweise von den Außenelektroden des elektrischen Vielschichtbauelements beabstandet und weist keinen elektrischen Kontakt zu einer oder mehreren Außenelek- troden des elektrischen Vielschichtbauelements auf.
In einer Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauelements überlappen sich die erste und die zweite Innenelektrode wenigstens teilweise.
In einer weiteren Ausführungsform sind die Innenelektroden derart ausgebildet, dass sie sich vorzugsweise nicht gegenseitig überlappen.
In einer weiteren Ausführungsform überlappen sich die erste und/oder die zweite Innenelektrode mit der dritten Innenelektrode wenigstens teilweise. - A -
In einer weiteren Ausführungsform überlappen sich die erste und die zweite Innenelektrode nicht mit der dritten Innenelektrode .
In einer Ausführungsform ist die dritte Innenelektrode zwischen der dielektrischen Schicht und einer der ersten oder zweiten Innenelektroden des elektrischen Vielschichtbauele- ments angeordnet.
In einer Ausführungsform weist das elektrische Vielschicht- bauelement wenigstens ein Deckpaket auf.
In einer Ausführungsform umfasst das Deckpaket wenigstens eine dielektrische Schicht.
In einer Ausführungsform umfassen das wenigstens eine Deckpaket des elektrischen Vielschichtbauelements und/oder die dielektrischen Schichten, die wenigstens eine Öffnung aufweisen, das gleiche Material.
In einer weiteren Ausführungsform ist es auch möglich, dass das wenigstens eine Deckpaket und die dielektrische Schicht unterschiedliche Materialien umfassen.
Vorzugsweise wird für die dielektrische Schicht ein
Zirkoniumoxid (ZrO) beziehungsweise ein Zirkoniumoxid-Glas- Komposit, ein Aluminiumoxid (AlOx) beziehungsweise ein Aluminiumoxid-Glas-Komposit , ein Manganoxid (MnO) beziehungsweise ein Manganoxid-Glas verwendet. Die dielektrischen Schichten können jedoch auch weitere Materialien umfassen. In einer Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauele- ments weist der Grundkörper einzelne oder mehrere Durchkon- taktierungen, so genannte Vias, auf, über die die erste und/oder die zweite Innenelektrode des elektrischen Viel- Schichtbauelements mit Außenkontakten des elektrischen Vielschichtbauelements verbunden sind. Die dritte Innenelektrode ist als schwebende Innenelektrode vorzugsweise nicht über Durchkontaktierungen mit Außenkontakten des elektrischen Vielschichtbauelements verbunden.
In einer Ausführungsform sind die Außenkontakte des elektrischen Vielschichtbauelements als Array (Reihenanordnung oder Matrixanordnung) ausgebildet. Hierbei sind besonders Land Grid Array (LGA) oder Ball Grid Array (BGA) geeignet. Bei der Kontaktierung des elektrischen Vielschichtbauelements über
Arrays (LGA, BGA) sind wenigstens die erste und zweite Innenelektrode des elektrischen Vielschichtbauelements vorzugsweise über Durchkontaktierungen mit den Außenkontakten des elektrischen Vielschichtbauelements verbunden.
In einer Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauelements ist die dielektrische Schicht, die wenigstens eine Öffnung umfasst, derart ausgebildet, dass sie zusammen mit wenigstens einer benachbarten Varistorschicht, die wenigstens eine erste Innenelektrode umfasst, und einer weiteren überlappenden Innenelektrode eine ESD-Ladungsstrecke (Spark- Gap) bildet.
In einer bevorzugten Ausführungsform weist das elektrische Vielschichtbauelement die Funktion eines Varistors mit einem integrierten Gasentladungs-Schutzelement auf. Der Varistor weist vorzugsweise eine Kapazität von weniger als 1 pF auf.
Ein wie zuvor beschriebenes elektrisches Vielschichtbauele- ment weist speziell durch die Anordnung der seriell zu der Varistorkapazität geschalteten Kleinkapazität der dielektrischen Schicht mit einer Öffnung eine Reduktion der Gesamtkapazität des Bauteils auf. Die Klemmspannung des elektrischen Vielschichtbauelements ist durch die dielektrische Schicht gegenüber herkömmlichen Vielschichtbauelementen nur gering erhöht .
Die angegebene Klemmspannung des ESD-Schutzelements ist im Wesentlichen vom Abstand der Innenelektrodenschichten abhängig, sowie von der Ausführung der Öffnung in der dielektrischen Schicht.
Durch ein wie zuvor beschriebenes Design des elektrischen Vielschichtbauelements wird bei einer sehr kleinen Kapazität somit eine geringe Klemmspannung erreicht.
Durch die zusätzliche, eine Öffnung enthaltende Dielektrikumsschicht zwischen wenigstens zwei Innenelektroden des elektrischen Vielschichtbauelements ist die Gesamtkapazität des elektrischen Vielschichtbauelements deutlich reduziert.
Die oben beschriebenen Gegenstände werden anhand der folgenden Figuren und Ausführungsbeispiele näher erläutert.
Die nachfolgend beschriebenen Zeichnungen sind nicht als maßstabsgetreu aufzufassen. Vielmehr können die Darstellungen im Einzelnen vergrößert, verkleinert oder auch verzerrt dargestellt sein. Elemente, die einander gleichen oder die die gleichen Funktionen übernehmen, sind mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet.
Es zeigen:
Figur 1 eine erste Ausführungsform des elektrischen VielSchichtbauelements,
Figur 2 eine weitere Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauelements,
Figur 3 eine weitere Variante des elektrischen Vielschichtbauelements,
Figur 4 eine weitere Ausführungsform des elektrischen
Vielschichtbauelements, bei der die Öffnung in der dielektrischen Schicht zwischen einer dritten Innenelektrode und einem Außenkontakt angeordnet ist,
Figur 5 einen schematischen Aufbau eines weiteren Ausführungsbeispiels des elektrischen Vielschichtbauelements, bei der die dielektrische Schicht zwischen zwei Varistorschichten angeordnet ist, die jeweils eine Innenelektrode umfassen,
Figur 6 eine weitere Ausführungsform des elektrischen
Vielschichtbauelements, wobei die Außenkontakte als
Ball Grid Array ausgeführt sind,
Figur 7 eine weitere Ausführungsform des elektrischen
Vielschichtbauelements, wobei sich die
Innenelektroden nicht überlappen. In Figur 1 ist eine erste Ausführungsform eines elektrischen Vielschichtbauelements gezeigt, das einen Grundkörper 1 umfasst. An den Seitenflächen des Grundkörpers 1 sind Außenelektroden 2, 2' angeordnet, die mit den im Inneren des Grundkörpers liegenden Innenelektroden 3, 4 leitend verbunden sind. Der Grundkörper 1 weist eine Varistorschicht 5 auf, die eine erste Innenelektrode 3 umfasst. Die erste Innenelektrode 3 ist größtenteils, d.h. bis auf den Anschluss zur Außenelektrode 2, 2', von der Varistorschicht 5 umschlossen. Das elektrische Vielschichtbauelement weist eine weitere Schicht 7 auf, die in der dargestellten Ausführungsform als Abdeckglas 12 ausgeführt ist.
Zwischen der weiteren Schicht 7 und der Varistorschicht 5 ist eine dielektrische Schicht 6 angeordnet, die eine Öffnung 8 umfasst. An der Grenzfläche zwischen der dielektrischen Schicht 6 und der weiteren Schicht 7 ist eine zweite Innenelektrode 4 angeordnet. Die freien Enden der ersten 3 und zweiten 4 Innenelektrode überlappen sich. Die Öffnung 8 in der dielektrischen Schicht 6 ist vorzugsweise mit einem gasförmigen Medium gefüllt. Der Grundkörper 1 des elektrischen Vielschichtbauelements ist in Dickenrichtung von einem Deckpaket 9 und der weiteren Schicht 7, die als Abdeckglas 12 ausgeführt ist, abgeschlossen. Das Deckpaket 9 umfasst wenigstens eine dielektrische Schicht.
Figur 2 zeigt eine weitere Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauelements. Der Aufbau des elektrischen Vielschichtbauelements nach Figur 2 ist ähnlich zu dem Aufbau des elektrischen Vielschichtbauelements in Figur 1, mit dem
Unterschied, dass die dielektrische Schicht 6 des elektrischen Vielschichtbauelements aus einem porösen Material besteht. Die dielektrische Schicht 6 weist mehrere Öffnungen beziehungsweise Durchbrüche 8, 8' auf. Die erste Elektrode 3 ist an der Grenzfläche zwischen der Varistorschicht 5 und dem Deckpaket 9 angeordnet. Die freien Enden der ersten 3 und zweiten 4 Innenelektroden überlappen sich in einem weiten Bereich der Elektrodenfläche.
In einer nicht dargestellten Ausführungsform ist die erste Elektrode 3 jedoch auch wie in der in Figur 1 dargestellten Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauelements von der Varistorschicht 5 größtenteils umfasst.
Figur 3 zeigt eine weitere Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauelements. Das elektrische Vielschichtbauelement umfasst einen Grundkörper 1, an dem an den Seitenflächen Außenelektroden 2, 2' angeordnet sind. Der Grundkörper weist eine erste Innenelektrode 3 auf, die an der Grenzfläche zwischen einer Varistorschicht 5 und einem Deckpaket 9 angeordnet ist. Das elektrische Vielschichtbauelement weist eine zweite Innenelektrode 4 auf, die an einer Grenzfläche zu einer weiteren Schicht 7 angeordnet ist. Zwischen der weiteren Schicht 7 und der Varistorschicht 5 ist eine dielektrische Schicht 6 mit einer Öffnung 8 angeordnet. Zwischen der dielektrischen Schicht 6 und der Varistorschicht 5 ist eine weitere, dritte Innenelektrode 11 angeordnet. Die dritte Innenelektrode 11 weist keinen direkten, insbesondere keinen elektrischen Kontakt zu den Außenelektroden 2, 2' des elektrischen Vielschichtbauelements auf. Die dritten Innenelektrode 11 ist also schwebend mit keinem festen elektrischen Potential. Die erste 3 und die zweite 4 Innenelektrode des elektrischen Vielschichtbauelements sind weiter in direktem elektrischen Kontakt zu den Außenelektroden 2, 2' des elektrischen Vielschichtbauelements. Figur 4 zeigt eine weitere Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauelements . Das elektrische Vielschichtbauelement umfasst einen Grundkörper 1. Die Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauelements in der Figur 4 ist ähnlich zu der Ausführungsform in Figur 3 aufgebaut. Die zweite Elektrode 4 wird in der Ausführungsform nach Figur 4 durch einen Teilbereich der Außenelektrode 2 gebildet. Die dielektrische 6 schließt sich direkt an die Außenelektrode 2 an. Die Öffnung 8 in der dielektrischen Schicht 6 ist zwischen der dritten Elektrode 11 und des Teilbereichs der
Außenelektrode 2, die die Funktion der zweiten Innenelektrode 4 umfasst, angeordnet.
In Figur 5 ist eine weitere Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauelements gezeigt. Das elektrische Vielschichtbauelement weist einen Grundkörper 1 auf, mit an den Seitenflächen angeordneten Außenelektroden 2, 2'. Der Grundkörper 1 umfasst eine Varistorschicht 5, die die erste Innenelektrode 3 größtenteils umschließt. Über der Varistor- schicht 5 ist eine dielektrische Schicht 6 angeordnet, die eine Öffnung 8 aufweist. An die dielektrische Schicht 6 schließt sich eine weitere Schicht 7 an, die eine zweite Elektrode 4 größtenteils umschließt. In der dargestellten Ausführungsform ist die weitere Schicht 7 als Varistorschicht ausgeführt. In Dickenrichtung ist das elektrische Vielschichtbauelements von Deckpaketen 9, 9' abgeschlossen. Die Deckpakete 9, 9' umfassen jeweils wenigstens eine dielektrische Schicht. Die Innenelektroden 3, 4 überlappen einander und bilden mit der Öffnung 8 zur dielektrischen Schicht 6 ein ESD-Schutzelement .
Figur 6 zeigt eine weitere Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauelements. Der Grundkörper 1 des elektrischen Vielschichtbauelements umfasst eine Varistorschicht 5, auf der eine erste Innenelektrode 3 angeordnet ist. In Dickenrichtung unter der Varistorschicht 5 ist eine dielektrische Schicht 6 angeordnet, die in der dargestellten Ausführungs- form zwei Öffnungen 8, 8' aufweist. Der Grundkörper 1 des elektrischen Vielschichtbauelements ist in Dickenrichtung von Deckpaketen 9, 9' abgeschlossen. Die Deckpakete 9, 9' umfassen wenigstens eine dielektrische Schicht.
Das elektrische Vielschichtbauelement weist zwei zweite
Elektroden 4, 4' auf, die an der Grenzfläche zwischen der dielektrischen Schicht 6 und dem zweiten Deckpaket 9' angeordnet sind. Die Kontaktierung der ersten Innelektroden 3 und der zwei zweiten Innenelektroden 4, 4' erfolgt über Durchkontaktierungen (Vias) 10, 10'. Die Außenkontakte 2, 2' des elektrischen Vielschichtbauelements in der dargestellten Ausführungsform sind als Ball Grid Arrays (BGA) ausgeführt. An den Außenkontakten 2, 2' sind so genannte Bumps 13, 13' angeordnet .
In Figur 7 ist eine weitere Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauelements gezeigt. Die Ausführungsform des elektrischen Vielschichtbauelements in der Figur 7 ist ähnlich zu der Ausführungsform in Figur 5 aufgebaut. Die erste 3 und die zweite 4 Innenelektrode des elektrischen
Vielschichtbauelements überlappen sich in der dargestellten Ausführungsform jedoch nicht. Die erste 3 und die zweite 4 Innenelektrode reichen bis an die Öffnung 8 in der dielektrischen Schicht heran, wobei sich die erste 3 und die zweite 4 Innenelektrode in Dickenrichtung des elektrischen Vielschichtbauelements nicht gegenseitig überlappen. Obwohl in den Ausführungsbeispielen nur eine beschränkte Anzahl möglicher Weiterbildungen beschrieben werden konnte, ist die Erfindung nicht auf diese beschränkt. Es ist prinzipiell möglich, dass das elektrische Vielschichtbauele- ment mehrere in Reihe oder parallel geschaltete ESD-
Schutzeinrichtungen umfasst, die durch eine dielektrische Schicht mit einer oder mehreren Öffnungen und wenigstens einer anliegenden Varistorschicht gebildet sind. Die Öffnungen in der dielektrischen Schicht können als Durchbruch, Hohlraum, Vertiefung oder anderweitig ausgeführt sein.
Die Beschreibung der hier angegebenen Gegenstände ist nicht auf die einzelnen speziellen Ausführungsformen beschränkt. Vielmehr können die Merkmale der einzelnen Ausführungsformen, soweit technisch sinnvoll, beliebig miteinander kombiniert werden .
Bezugs zeichenliste
I Grundkörper
2, 2' Außenelektrode 3 erste Innenelektrode
4 zweite Innenelektrode
5 Varistorschicht
6 dielektrische Schicht
7 weitere Schicht 8, 8' Öffnung
9, 9' Deckpaket
10, 10' Durchkontaktierung (Via)
II dritte Innenelektrode 12 Abdeckglas 13, 13' Bump

Claims

Patentansprüche
1. Elektrisches Vielschichtbauelement, aufweisend
- einen Grundkörper (1) mit zwei Außenelektroden (2, 2'), - eine erste (3) und eine zweite (4) Innenelektrode, die elektrisch leitend mit je einer Außenelektrode (2, 2') verbunden sind,
- wenigstens eine keramische Varistorschicht (5) , die die erste Innenelektrode (3) umfasst, und - wenigstens eine dielektrische Schicht (6), die zwischen der Varistorschicht (5) und der zweiten Innenelektrode (4) angeordnet ist, wobei
- die dielektrische Schicht (6) an die Varistorschicht (5) angrenzt und - die dielektrische Schicht (6) wenigstens eine Öffnung (8) aufweist .
2. Elektrisches Vielschichtbauelement nach Anspruch 1, bei dem die Öffnung (8) in der dielektrischen Schicht (6) an die Varistorschicht (5) angrenzt.
3. Elektrisches Vielschichtbauelement nach Anspruch 1 oder 2, bei dem die Öffnung (8) mit einem gasförmigen Medium gefüllt ist
4. Elektrisches Vielschichtbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die dielektrische Schicht (6) ein poröses Material umfasst.
5. Elektrisches Vielschichtbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem zwischen der dielektrischen Schicht (6) und der zweiten Innenelektrode (4) eine weitere Schicht (7) angeordnet ist, die die zweite Innenelektrode (4) umfasst.
6. Elektrisches Vielschichtbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem die zweite Innenelektrode (4) durch Teilbereiche einer Außenelektrode (2, 2') gebildet ist.
7. Elektrisches Vielschichtbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 6, das eine dritte Innenelektrode (11) aufweist, die als schwebende Innenelektrode ausgeführt ist.
8. Elektrisches Vielschichtbauelement nach Anspruch 7, bei dem die dritte Innenelektrode (11) zwischen der dielektrischen Schicht (6) und der ersten Innenelektrode (3) angeordnet ist.
9. Elektrisches Vielschichtbauelement nach Anspruch 7, bei dem die dritte Innenelektrode (11) zwischen der dielektrischen Schicht (6) und der zweiten Innenelektrode (4) angeordnet ist.
10. Elektrisches Vielschichtbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 9, bei dem der Grundkörper (1) wenigstens ein Deckpaket (9, 9') aufweist, das wenigstens eine dielektrische Schicht (6) umfasst.
11. Elektrisches Vielschichtbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 10, bei dem die dielektrische Schicht (6) ZrO2, ein ZrO2-Glas- Komposit, AlOx, ein AlOx-GIaS, MgO, oder ein MgO-Glas umfasst .
12. Elektrisches Vielschichtbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 11, bei dem die erste Innenelektrode (3) und die zweite Innenelektrode (4) über Durchkontaktierungen (10) mit den Außenkontakten (2, 2') verbunden sind.
13. Elektrisches Vielschichtbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 12, bei dem die Außenkontakte (2, 2') als Land-Grid-Array (LGA) oder als Ball-Grid-Array (BGA) ausgebildet sind.
14. Elektrisches Vielschichtbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 13, bei dem die dielektrische Schicht (6) zusammen mit wenigstens einer benachbarten Varistorschicht (5) und zwei überlappenden Innenelektroden (2, 3, 11) eine ESD- Entladungsstrecke bildet.
15. Elektrisches Vielschichtbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 14, das die Funktion eines Varistors mit einem integrierten Gasentlade-Schutzelement aufweist.
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