WO2010083818A1

WO2010083818A1 - Verfahren und vorrichtung zur herstellung von siliziumdünnstäben

Info

Publication number: WO2010083818A1
Application number: PCT/DE2010/000070
Authority: WO
Inventors: Helge Riemann; Friedrich-Wilhelm Schulze; Jörg Fischer; Matthias Renner
Original assignee: Pv Silicon Forschungs Und Produktions Gmbh
Priority date: 2009-01-21
Filing date: 2010-01-19
Publication date: 2010-07-29
Also published as: CN102292475A; JP2012515698A; DE102009005837A1; CN102292475B; DK2379783T3; EP2379783B1; JP5559203B2; US20110314869A1; EP2379783A1; US8197595B2; DE102009005837B4

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung von Siliziumdünnstäben, wie sie beim herkömmlichen Siemens-Verfahren für die Siliziumabscheidung verwendet werden. Durch den stark steigenden Bedarf an Silizium für Halbleiter und Solarzellen steigt auch der Bedarf an Siliziumdünnstäben. Das erfindungsgemäße Verfahren entspricht grundsätzlich dem klassischen Pedestal-Verfahren. Erfindungsgemäß weist die verwendete Induktionsspule (1) um die stromumflossene Zentralöffnung (4) herum weitere Ziehöffnungen (5.1, 5.2, 5.3, 5.4) auf. Im Vorratsstab unter der Induktionsspule (1) wird ein ausreichend gleichmäßiges Temperaturprofil erzeugt, dass die Kuppe des Vorratsstabes schmilzt und ein Schmelzensee entsteht (6.1) auf (6). Durch die weiteren Ziehöffnungen in der Induktionsspule kann jeweils ein Siliziumdünnstab (9.1, 9.2, 9.3, 9.4) aus dem Schmelzensee nach oben gezogen werden. Im Gegensatz zum bekannten Stand der Technik wird durch die stromumflossene Zentralöffnung kein Stab nach oben gezogen. Die weiteren zusätzlichen Ziehöffnungen sind vorzugsweise konzentrisch zur Zentralöffnung und mit einem ausreichenden Abstand zum Außenrand des Vorratsstabes (6) angeordnet. Ihr Abstand zueinander ist so gewählt, dass die wachsenden Siliziumdünnstäbe sich gegenseitig thermisch nicht zu stark beeinflussen, damit die einzelnen Siliziumdünnstäbe möglichst gleich wachsen. Je größer der Durchmesser des verwendeten Si-Rohstabes ist, desto größer kann auch der Durchmesser der Induktionsspule gewählt werden und es können somit auch eine entsprechend größere Anzahl zusätzlicher Ziehöffnungen vorgesehen werden.

Description

Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Siliziumdünnstäben

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung von Siliziumdünnstäben, wie sie beim herkömmlichen Siemens-Verfahren für die Siliziumabscheidung verwendet werden. Dabei werden die Dünnstäbe in einem Reaktor senkrecht angeordnet und durch Stromdurchgang auf ca.1100°C erhitzt, so dass sich auf ihnen aus einem Trichlorsilan- Wasserstoffgemisch das Silizium pyrolytisch abscheidet. Dieser grundsätzliche Herstellungsprozess für das polykristalline Silizium ist für die Elektronik- wie für die Solarindustrie fast identisch.

Beschreibung des Standes der Technik

Durch den stark angestiegenen und weiter steigenden Bedarf an polykristallinem Silizium als Ausgangsmaterial von Silizium für Halbleiter und als Ausgangsmaterial von Solarzellen steigt auch entsprechend der Bedarf an Siliziumdünnstäben mit einem Durchmesser von ca. 4 - 10mm. Die Herstellung der Siliziumdünnstäbe ist ein unumgänglicher und teilweise auch begrenzender Bestandteil der Produktion von Siliziumstäben durch die pyrolytische Abscheidung von Silizium aus Trichlorsilan (Siemensverfahren) oder auch analog aus Monosilan. Da die Gesamtlänge der Siliziumdünnstäbe der Länge der produzierten Si- Stäbe entspricht, werden mit dem steilen Anstieg der Solar- und Halbleiter- Siliziumproduktion auch entsprechend große Mengen dieser Dünnstäbe gebraucht.

Siliziumdünnstäbe werden beispielsweise nach dem klassischen Pedestal- Verfahren hergestellt, indem der Stab aus dem Innenloch einer einwindigen Induktionsspule gezogen wird, die gleichzeitig das obere Ende eines Rohstabes von 30-50 mm Durchmesser aufschmilzt. Zur Herstellung von Siliziumstäben sind verschiedene Verfahren beschrieben worden. Ein Beispiel ist in der DE 10 2005 016 776 A1 beschrieben, bei dem in einer Startphase aus einem hängenden Schmelztropfen mit bekannten Mitteln durch die zentrale Öffnung einer einwindigen Induktionsspule ein Dünnhals vertikal abwärts gezogen wird. Bei Erreichen eines für die Flächenmaße des zu ziehenden Kristalls notwendigen Durchmessers wird die Rotation des wachsenden Kristalls auf eine Drehzahl unter 1 U/min reduziert. Anschließend wird in einer Züchtungsphase ein Si-Einkristall mit annähernd rundem Querschnitt vertikal abwärts gezogen, wobei der verwendete Induktor Mittel zur Erzeugung eines nahezu rotationssymmetrischen Temperaturprofils an der Wachstumsphasengrenze aufweist.

In der DE 29 52 602 A1 wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen von Silizium-Dünnstäben beschrieben. Dabei wird aus einem senkrecht stehenden Vorratsstab, der an seinem oberen Ende mittels einer Induktionsspule aufgeschmolzen wird, ein an seinem oberen Ende gehalterter Silizium-Dünnstab nach oben gezogen. Damit der wachsende Silizium- Dünnstab stabilisiert wird, sind entsprechende Stabilisierungsmittel vorgesehen, die aus Federstäben bestehen, zwischen denen der Silizium- Dünnstab geführt wird.

Ein weiteres Verfahren zur Herstellung von Dünnstäben ist der DE 24 58 490 A1 zu entnehmen. Hierbei werden kreisförmig gebogene Dünnstäbe für den Trägerkörper bei der Materialabscheidung durch Abziehen von der geschmolzenen Kuppe eines Dickstabes mittels einer ringförmigen Induktionsspule längs einer Kreisbahn mittels eines Motors mit hoch untersetztem Getriebe bei reiner Drehbewegung gezogen.

Bei den vorgenannten Verfahren kann jeweils nur ein Dünnstab aus der Schmelze eines Rohstabes gezogen werden.

Für die Abscheidung von polykristallinen Si-Stäben können auch Vierkant- Seelen verwendet werden, die aus großen Si-Stäben wie Leisten gesägt werden. Gesägte Vierkant-Seelen haben eine gestörte und verunreinigte Oberfläche. Dadurch sind sie sehr bruchempfindlich und sie müssen nasschemisch geätzt und gereinigt werden. Werden sie aus original abgeschiedenen hochreinen PoIy- Si Stäben gesägt, haben sie außerdem einen ungünstig hohen elektrischen Widerstand, der im Abscheideprozess den Prozessstart verkompliziert. Ihre Länge ist auch immer etwas kleiner als die des verwendeten Stabes, aus dem sie gesägt werden.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren und eine Vorrichtung anzugeben, mit denen es möglich ist in einem Arbeitsgang aus einem

Vorratsstab mit Standarddurchmesser von z.B. 120mm gleichzeitig mehrere Siliziumdünnstäbe mit der Materialreinheit zonengezogener Si-Kristalle und den gewünschten Parametern herzustellen. Mit dem Verfahren sollen die Produktionskosten für die Dünnstabproduktion durch wegfallende Herstellung von Sondermaterial sowie die Arbeits- und Energiekosten gesenkt werden.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst, wobei das Verfahren grundsätzlich dem klassischen Pedestal- Verfahren entspricht, bei dem als Heizquelle eine nur eine Windung aufweisende flache Induktionsspule verwendet wird, die gleichzeitig das obere Ende eines Rohstabes aufschmilzt und gleichzeitig der Einstellung der Kristallisationsfront an den wachsenden Siliziumdünnstäben dient, die aus der Schmelze nach oben gezogen werden. Die verwendete scheibenförmige einwindige Induktionsspule weist einen Hauptschlitz, der als Stromzuführung ausgebildet ist, und in der Mitte eine Zentralöffnung auf. Erfindungsgemäß weist die Induktionsspule um die stromumflossene Zentralöffnung weitere Durchgangslöcher auf, die als Ziehöffnungen für die Siliziumdünnstäbe dienen. Unter der vom HF-Strom durchflossenen Induktionsspule wird ein ausreichend gleichmäßiges Temperaturprofil erzeugt, das die Entstehung eines Schmelzensees in der Kuppe des Vorratsstabes bewirkt. Durch die weiteren Ziehöffnungen in der Induktionsspule kann jeweils ein Siliziumdünnstab aus dem darunter befindlichen Schmelzensee nach oben gezogen werden. Im Gegensatz zum bekannten Stand der Technik wird durch die stromumflossene Zentralöffnung kein Stab nach oben gezogen, sie bleibt frei. Der Durchmesser der einwindigen Induktionsspule ist größer als der Durchmesser des Si- Rohstabes, welcher vorteilhafterweise einen technisch üblichen relativ großen Durchmesser aufweist. Die weiteren zusätzlichen Ziehöffnungen sind vorzugsweise konzentrisch oder paarweise und jeweils symmetrisch zur Zentralöffnung angeordnet. Ihr Abstand ist so gewählt, dass die wachsenden Siliziumdünnstäbe sich gegenseitig thermisch nicht zu stark beeinflussen, damit die einzelnen Siliziumdünnstäbe möglichst gleich wachsen. Je größer der Durchmesser des verwendeten Si-Rohstabes ist, desto größer kann auch der Durchmesser der Induktionsspule gewählt werden und es können somit auch eine entsprechende Anzahl zusätzlicher Ziehöffnungen vorgesehen werden.

Vorteilhafterweise sind oberhalb der Induktionsspule Mittel vorgesehen, die eine aktive Wärmezufuhr vom Magnetfeld der Induktionsspule zu den kristallisierenden Siliziumdünnstäben verhindern, um ein gleichmäßiges Kristallwachstum zu unterstützen.

In der Startphase wird nach dem Aufschmelzen der Kuppe des, an seinem unteren Ende gehalterten, senkrecht stehenden Si-Rohstabes durch jede weitere Ziehöffnung in der Induktionsspule jeweils ein an einem Träger befestigtes Silizium-Keimstäbchen mit der Schmelze in Kontakt gebracht. Mit Beginn des Kristallwachstums werden die Träger mit einer derartigen Geschwindigkeit nach oben gezogen, dass an jedem Träger ein Siliziumdünnstab gleichmäßig wächst. Dabei wird der Si-Rohstab während des Ziehprozesses mit einer solchen Geschwindigkeit nach oben nachgeführt, dass in Abhängigkeit der Ziehgeschwindigkeit der Siliziumdünnstäbe nach oben und der Anzahl der Siliziumdünnstäbe jederzeit für alle wachsenden Dünnstäbe eine ausreichende Menge an Si-Schmelze gewährleistet wird. Vorzugsweise werden alle Träger synchron, d. h. gleichzeitig und mit gleicher Geschwindigkeit, nach oben gezogen.

Es hat sich gezeigt, dass es von Vorteil ist, wenn die Siliziumdünnstäbe eine Dotierung aufweisen, die ein direktes und ausschließliches Aufheizen im Siemens-Reaktor erlauben. Damit dies ermöglicht wird, weist die Si-Schmelze durch besondere Maßnahmen eine solche Dotierung mit Bor und/oder anderen dotierenden Elementen auf, dass die gezogenen Siliziumdünnstäbe die gewünschte Dotierung aufweisen.

Das Verfahren wird vorzugsweise in einer Ziehkammer unter Schutzgasatmosphäre durchgeführt.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens weist die Merkmale des Patentanspruchs 9 auf. Das wesentliche erfindungsgemäße Merkmal besteht darin, dass die als Heizquelle verwendete, nur eine Windung aufweisende, Induktionsspule neben der, aus dem Stand der Technik bekannten, Zentralöffnung, die sich an den Hauptschlitz anschließt, weitere Durchgangslöcher aufweist, die als Ziehöffnungen verwendet werden. Um diese Ziehöffnungen kreist kein separater Ringstrom, sie stellen somit weitgehend induktiv passive Durchgangslöcher in der Scheibe der Induktionsspule dar. Die Ziehöffnungen weisen einen derartigen Durchmesser auf, dass die herzustellenden Siliziumdünnstäbe durch sie hindurch gezogen werden können. Diese zusätzlichen Ziehöffnungen sind vorzugsweise paarweise und symmetrisch oder aber konzentrisch zur Zentralöffnung und mit einem ausreichenden Abstand zum Rand der Induktionsspule angeordnet. Dabei weisen benachbarte Ziehöffnungen jeweils ähnliche Abstände auf, so dass die durch diese hindurch nach oben gezogenen Siliziumdünnstäbe praktisch gleiche Durchmesser aufweisen und sich gegenseitig thermisch nicht zu stark beeinflussen. Der als Vorratsstab verwendete Si-Rohstab ist auf einer vertikal verschiebbaren Spindel angeordnet, die auch rotieren kann. Über der Induktionsspule sind vertikal verschiebbare vorzugsweise nicht rotierende Träger angeordnet, die die Silizium-Keimstäbchen zum Züchten der Siliziumdünnstäbe tragen. Jeder Träger wird in der Startphase des Verfahrens durch jeweils eine Ziehöffnung so weit abgesenkt, dass das Silizium-Keimstäbchen mit der Schmelze am oberen Ende des Si-Rohstabes in Berührung kommt. Mit Beginn des Kristallwachstums wird der Träger mit einer solchen Geschwindigkeit nach oben gezogen, dass am Impfstab ein Siliziumdünnstab wächst, der mittels des jeweiligen Trägers durch die jeweilige passive Ziehöffnung gezogen wird. Vorzugsweise sind die Träger miteinander derart verbunden, dass sie synchron, gleichzeitig und mit gleicher Ziehgeschwindigkeit nach oben bewegt werden, so dass für jeden Siliziumdünnstab ein fast gleiches Kristallwachstum gewährleistet ist. Während die Siliziumdünnstäbe wachsen und nach oben abgezogen werden, wird der Si-Rohstab mit seiner Spindel mit einer solchen Geschwindigkeit nach oben nachgeführt, dass jederzeit eine ausreichende aufgeschmolzene Materialmenge zur Verfügung steht, damit die wachsenden Siliziumdünnstäbe mit optimaler Ziehgeschwindigkeit gezogen werden können.

In Abhängigkeit des Querschnittes des verwendeten Si-Rohstabes ist der Querschnitt der Induktionsspule zu wählen; der stets größer als der des Si- Rohstabes ist. Bei den derzeit üblichen Querschnitten der verwendeten Si- Rohstäbe weist die erfindungsgemäße Induktionsspule vier oder mehr zusätzliche Löcher zum Ziehen von Siliziumdünnstäben auf.

Damit ein gleichmäßiges Kristallwachstum der wachsenden Siliziumdünnstäbe gewährleistet wird, ist dicht oberhalb der Induktionsspule eine Abschirmplatte vorgesehen, die eine induktive Wärmezufuhr über das Magnetfeld der Induktionsspule zu den kristallisierenden Siliziumdünnstäben unterdrücken soll. Die Abschirmplatte weist kongruent zu den Ziehöffnungen in der Induktionsspule angeordnete Öffnungen in Form von Durchgangsbohrungen auf. Somit können die wachsenden Siliziumdünnstäbe durch die Induktionsspule und die Abschirmung hindurch nach oben gezogen werden.

Damit eine möglichst kleine Ziehkammer für die Vorrichtung verwendet werden kann und trotzdem möglichst lange Siliziumdünnstäbe kontinuierlich gezogen werden können, werden zur Durchführung der Träger und der Siliziumdünnstäbe durch die obere Wandung der Ziehkammer entsprechende Gasschleusen vorgesehen. Diese Gasschleusen bestehen üblicherweise aus langen Röhren, die einen geringfügig größeren Innenquerschnitt aufweisen als der Querschnitt der wachsenden Siliziumdünnstäbe.

Die Vorteile des erfindungsgemäßen Verfahrens und der zur Durchführung dieses Verfahrens vorgeschlagenen Vorrichtung bestehen darin, dass gleichzeitig in einem Ziehprozess mehrere Siliziumdünnstäbe tiegelfrei hergestellt werden können. Somit wächst die Produktivität entsprechend der Anzahl der gleichzeitig gezogenen Siliziumdünnstäbe. Außerdem wird die Energiebilanz bei der Herstellung der Siliziumdünnstäbe wesentlich verbessert, da mit vergleichbarem Energieeinsatz mehrere Siliziumdünnstäbe gleichzeitig hergestellt werden können.

Das erfindungsgemäße Verfahren und die zur Durchführung des Verfahrens vorgeschlagene Vorrichtung werden nachfolgend in einem Ausführungsbeispiel anhand von Zeichnungen näher erläutert. Die Figuren zeigen:

Fig. 1 : Draufsicht auf die Induktionsspule

Fig. 2: Seitenansicht der Vorrichtung

Fig.3: Perspektivische Ansicht der Vorrichtung

In der Fig. 1 ist eine Draufsicht auf eine erfindungsgemäß ausgeführte

Induktionsspule 1 dargestellt. Die Induktionsspule 1 besteht aus einer flachen quadratischen Metallscheibe. Die Kantenlänge L₁ der Induktionsspule 1 beträgt im Beispiel 160 mm und ihre Dicke beträgt 10 mm. Die Induktionsspule 1 weist in ihrer einer Diagonalen einen Hauptschlitz 2 auf, der in einer in der Mitte der Induktionsspule 1 befindlichen Zentralöffnung 4 mündet. Seitlich des Hauptschlitzes 2 sind jeweils die Stromzuführungen 3 für den HF-Strom angeordnet. Soweit entspricht die Ausgestaltung der

Induktionsspule dem bekannten Stand der Technik. Erfindungsgemäß weist die Induktionsspule 1 zusätzlich zur Zentralöffnung 4 weitere Durchgangslöcher auf, die als Ziehöffnungen 5.1, 5.2, 5.3, 5.4 dienen. Durch diese vier Ziehöffnungen 5.1, 5.2, 5.3, 5.4 können im gewählten Beispiel vier Siliziumdünnstäbe 9.1, 9.2, 9.3, 9.4 separat oder gleichzeitig gezogen werden. Die Ziehöffnungen 5.1, 5.2, 5.3, 5.4 sind derart über die Oberfläche der Induktionsspule 1 verteilt, dass sie einen ausreichenden Seitenabstand zum Rand der Induktionsspule aufweisen. Im Beispiel sind die Ziehöffnungen 5.1, 5.2, 5.3, 5.4 konzentrisch um die Zentralöffnung 4 auf einem Kreisring angeordnet sind der einen Durchmesser D_κ aufweist, der ca. die Hälfte des Durchmessers D_s des Si-Rohstabes 6 hat. Somit befinden sich die Ziehöffnungen 5.1, 5.2, 5.3, 5.4 über dem im Si-Rohstab 6 erzeugten Schmelzensee 6.1 befinden. Die Ziehöffnungen 5.1, 5.2, 5.3, 5.4 sind auf dem Kreisring in gleichmäßigen Abständen zueinander angeordnet, so dass sich die wachsenden Siliziumdünnstäbe 9.1, 9.2, 9.3, 9.4 gegenseitig thermisch nicht zu stark beeinflussen. Der Durchmesser der Ziehöffnungen 5.1, 5.2, 5.3, 5.4 ist ca. 8 mm größer als der Durchmesser der wachsenden Siliziumdünnstäbe 9.1, 9.2, 9.3, 9.4, die hier einen Durchmesser von 8 mm aufweisen. In Abhängigkeit von der Fläche der Induktionsspule 1 , die hier 160 mm x 160 mm beträgt, können so viele Ziehöffnungen in die

Induktionsspule eingebracht werden, wie es die zuvor genannten Kriterien zulassen.

Unterhalb der Induktionsspule 1 befindet sich der Si-Rohstab 6 als

Vorratsstab zur Bereitstellung des geschmolzenen Materials, das zum Ziehen der Siliziumdünnstäbe dient. Die Kantenlänge Di der Induktionsspule 1 ist mit 160 mm größer als der Durchmesser D_s des Si-Rohstabes 6 mit 120 mm, so dass die Fläche der Induktionsspule 1 den gesamten Querschnitt des Si- Rohstabes überdeckt. Somit ist gewährleistet, dass das von der Induktionsspule 1 erzeugte Temperaturprofil die Kuppe des Si-Rohstabes 6 vollständig aufschmelzen kann.

Es hat sich gezeigt, dass es von Vorteil ist, wenn die im Siemens-Prozess verwendeten Siliziumdünnstäbe derart dotiert sind, dass sie eine elektrische Leitfähigkeit im Bereich von 0,05 bis 1 Ohm/cm aufweisen. Mit dieser elektrischen Leitfähigkeit lassen sich die Siliziumdünnstäbe ausschließlich elektrisch auf die notwendige Abscheidetemperatur aufheizen. Somit sind zusätzliche Heizquellen beim Prozessstart des Siemens-Prozesses nicht erforderlich. Der hier verwendete Si-Rohstab β weist ebenfalls eine derartige Dotierung auf.

Die Fig. 2 zeigt eine schematische Seitenansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung. Das erfindungsgemäße Verfahren wird anhand der Fig. 2 näher erläutert. Die Ziehkammer, in der die Vorrichtung angeordnet ist und in der das Verfahren durchgeführt wird, ist nicht dargestellt. Ebenfalls nicht dargestellt sind die in der oberen Wandung der Ziehkammer angeordneten Gasschleusen.

Unter der Induktionsspule 1 befindet sich der Si-Rohstab 6, der als Vorratsstab für die Bereitstellung des zum Ziehen der Siliziumdünnstäbe 9.1, 9.2, 9.3, 9.4 erforderlichen Materials dient, das durch das von der Induktionsspule 1 erzeugte Temperaturprofil in Form eines Schmelzensees 6.1 an der Kuppe des Si-Rohstabes 6 aufgeschmolzen wird. Der Si-Rohstab 6 ist auf einer vertikal verschiebbaren und drehbaren Spindel 6.2 angeordnet, die mit einem nicht dargestellten Motor verbunden ist.

Unmittelbar oberhalb der Induktionsspule 1, in einem Abstand von ca. 15 mm, ist eine gekühlte Abschirmplatte 11 angeordnet, die eine induktive Wärmezufuhr von der Induktionsspule 1 zu den kristallisierenden Siliziumdünnstäben 9.1, 9.2, 9.3, 9.4 unterdrückt, wodurch ein gleichmäßiges und gerades Wachstum der Siliziumdünnstäbe ermöglicht wird. Die Abschirmplatte 11 besteht aus einer Metallplatte und weist, wie die Induktionsspule 1 , einen quadratischen Querschnitt auf, dessen Kantenlänge in etwa der Kantenlänge Li der Induktionsspule entspricht. In der Abschirmplatte 11 sind kongruent zu den Ziehöffnungen in der Induktionsspule 5.1, 5.2, 5.3, 5.4 Öffnungen 11.1, 11.2, 11.3, 11.4 in Form von Durchgangsbohrungen angeordnet. Somit können die wachsenden Siliziumdünnstäbe 9.1, 9.2, 9.3, 9.4 durch die Induktionsspule 1 und die Abschirmplatte 11 hindurch nach oben gezogen werden.

Das Verfahren beginnt damit, dass der Si-Rohstab 6 mit seiner vertikal verschiebbaren Spindel 6.2 vertikal so nahe an die vom Hochfrequenzstrom durchflossene Induktionsspule 1 herangefahren wird, dass durch das von deren Magnetfeld erzeugte Temperaturprofil unter der Induktionsspule 1 an der Kuppe des Si-Rohstabes 6 ein runder Schmelzensees 6.1 aufgeschmolzen wird.

Im nächsten Schritt werden die an den Trägern 7.1, 7.2, 7.3, 7.4 befestigten Silizium-Keimstäbchen 8.1, 8.2, 8.3, 8.4 mittels einer Ziehvorrichtung 10 durch die Öffnungen 11.1, 11.2, 11.3, 11.4 in der Abschirmplatte 11 und die Ziehöffnungen 5.1, 5.2, 5.3, 5.4 in der Induktionsspule 1 hindurch soweit vertikal abgesenkt, bis sie den Schmelzensee 6.1 berühren. Mit Beginn des Kristallwachstums werden die Träger 7.1, 7.2, 7.3, 7.4 mit einer Geschwindigkeit von ca. 10mm/min. nach oben gezogen, so dass an jedem Silizium-Keimstäbchen 8.1, 8.2, 8.3, 8.4, die jeweils an einem Träger 7.1, 7.2, 7.3, 7.4 befestigt sind, ein Siliziumdünnstab 9.1, 9.2, 9.3, 9.4 wächst. Im gewählten Beispiel sind die Träger 7.1, 7.2, 7.3, 7.4 miteinander und einer gemeinsamen Ziehvorrichtung 10 verbunden, so dass alle Träger synchron, gleichzeitig und mit gleicher Ziehgeschwindigkeit nach oben bewegt werden, so dass für jeden Siliziumdünnstab 9.1, 9.2, 9.3, 9.4 ein gleiches Kristallwachstum gewährleistet ist. Die an den jeweiligen Silizium-Keimstäbchen 8.1, 8.2, 8.3, 8.4 wachsenden Siliziumdünnstäbe 9.1, 9.2, 9.3, 9.4 werden über die jeweiligen Träger 7.1, 7.2, 7.3, 7.4 durch die jeweiligen Ziehöffnungen 5.1, 5.2, 5.3, 5.4 in der Induktionsspule 1 sowie die Öffnungen 11.1, 11.2, 11.3, 11.4 in der Abschirmplatte 11 kontinuierlich nach oben gezogen bis der aufgeschmolzene Materialvorrat des Si-Rohstabes 6 verbraucht ist.

Während die wachsenden Siliziumdünnstäbe 9.1, 9.2, 9.3, 9.4 mittels der Träger 7.1, 7.2, 7.3, 7.4 nach oben gezogen werden, wird Si-Rohstab 6 mit seiner verschiebbaren Spindel 6.2 vertikal nach oben nachgeführt, so dass stets ein ausreichender aufgeschmolzener Materialvorrat im Schmelzensee 6.1 unter der Induktionsspule 1 für das Kristallwachstum der Siliziumdünnstäbe 9.1, 9.2, 9.3, 9.4 zur Verfügung steht. Vorteilhafterweise wird der Si-Rohstab 6 mit der Spindel 6.2 gedreht, so dass unter der Induktionsspule 1 ein gleichmäßig aufgeschmolzener Schmelzensee 6.1 erzeugt wird.

Die Fig. 3 zeigt eine perspektivische Darstellung der erfindungsgemäßen Vorrichtung. Deutlich ist zu sehen, wie vier Siliziumdünnstäbe 9.1, 9.2, 9.3, 9.4 gleichzeitig gezogen werden. Der Si-Rohstab 6 ist zu erkennen, der auf der Spindel 6.2 angeordnet ist und von der Induktionsspule 1 sowie auch von der Abschirmplatte 11 überragt wird. Durch die Öffnungen 11.1, 11.2, 11.3, 11.4 in der Abschirmplatte 11 ragen vier wachsende Siliziumdünnstäbe 9.1, 9.2, 9.3, 9.4 heraus, an deren oberen Enden die vier Silizium-Keimstäbchen 8.1, 8.2, 8.3, 8.4 zu sehen sind. Die Träger 7.1, 7.2, 7.3, 7.4 sowie die gemeinsame Ziehvorrichtung 10 sind hier nicht dargestellt. Aufstellung der verwendeten Bezuqszeichen

1 Induktionsspule

2 Hauptschlitz

3 Stromzuführungen

4 Zentralöffnung

5.1 , 5.2, 5.3, 5.4 Ziehöffnungen

6 Si-Rohstab 6.1 Schmelzensee

6.2 Spindel 7.1 , 7.2, 7.3, 7.4 Träger

8.1 , 8.2, 8.3, 8.4 Silizium-Keimstäbchen

9.1 , 9.2, 9.3, 9.4 Siliziumdünnstäbe

10 Ziehvorrichtung

11 Abschirmplatte 11.1 , 11.2, 11.3, 11.4 Öffnungen in der Abschirmung Li Kantenlänge der Induktionsspule Ds Durchmesser des Si-Rohstabes

D_κ Durchmesser des Kreises auf dem die Ziehöffnungen angeordnet sind

Claims

Patentansprüche

1. Verfahren zur Herstellung von Siliziumdünnstäben nach einem tiegelfreien Pedestal- Kristallisationsverfahren, bei dem aus der Schmelze am oberen Ende eines Si-Rohstabs, der einen technisch üblichen Durchmesser aufweist, , die durch die flache vom HF-Strom durchflossene Induktionsspule, die nur eine Windung aufweist und aus einer Scheibe mit einem Schlitz als Stromzuführung besteht , erzeugt wird, ein Siliziumdünnstab durch die flache Induktionsspule hindurch nach oben gezogen wird, dadurch gekennzeichnet, dass das bekannte Pedestal- Verfahren derart modifiziert ist, dass die flache

Induktionsspule (1), die nur der induktiven Heizung der Schmelze dient, neben der stromumflossenen Zentralöffnung (4), weitere Ziehöffnungen (5.1 , 5.2, 5.3,

5.4) aufweist, durch die jeweils ein Siliziumdünnstab (9.1 , 9.2, 9.3, 9.4) gezogen wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass in der Startphase mehrere Silizium-Keimstäbchen (8.1, 8.2, 8.3, 8.4), die jeweils an einem Träger (7.1, 7.2, 7.3, 7.4) befestigt sind, in den von der Induktionsspule (1) aufgeschmolzenen Schmelzensee (6.1) an der Kuppe des Si-Rohstabes (6) durch die Ziehöffnungen (5.1, 5.2, 5.3, 5.4) hindurch die Schmelze berühren und dann die Züchtung erfolgt, indem die Silizium- Keimstäbchen (8.1, 8.2, 8.3, 8.4) jeweils durch eine Ziehöffnung (5.1 , 5.2, 5.3, 5.4) nach oben gezogen werden.

3. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass oberhalb der Induktionsspule (1) Mittel vorgesehen sind, die eine induktive Wärmezufuhr zu den kristallisierenden Siliziumdünnstäben (9.1, 9.2, 9.3, 9.4) unterdrücken.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Träger (7.1 , 7.2, 7.3, 7.4) mit den Silizium-Keimstäbchen (8.1 , 8.2, 8.3, 8.4). und den daran wachsenden Siliziumdünnstäben (9.1, 9.2, 9.3, 9.4) synchron nach oben gezogen werden.

5. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der Si-Rohstab (6) während des Ziehprozesses mit einer solchen Geschwindigkeit nach oben nachgeführt wird, dass im Schmelzensee (6.1) stets eine ausreichende geschmolzene Materialmenge für die Züchtung der Siliziumdünnstäbe (9.1 , 9.2, 9.3, 9.4) zur Verfügung steht.

6. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der verwendete Si-Rohstab (6) eine solche Dotierung mit Bor und/oder anderen dotierenden Stoffen aufweist, dass die gezogenen Siliziumdünnstäbe (9.1 , 9.2, 9.3, 9.4) die gewünschte Dotierung aufweisen.

7. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass dass der Dotierstoff der Schmelze im Prozess zugeführt wird.

8. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren in einem geschlossenen Gefäß unter Schutzgasatmosphäre ausgeführt wird.

9. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die wachsenden Siliziumdünnstäbe (9.1, 9.2, 9.3, 9.4) durch Gasschleusen, die sich im oberen Teil der Ziehkammer befinden, kontinuierlich aus der Ziehkammer heraus bis in den Außenraum gezogen werden, so dass der Ziehprozess andauern kann bis der aufgeschmolzene Materialvorrat des Si- Rohstabes (6) verbraucht ist.

10. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach den Ansprüchen 1 bis 8, wobei eine flache Induktionsspule, die nur eine Windung aufweist und aus einer Scheibe mit einem Schlitz als Stromzuführung besteht, verwendet wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Induktionsspule (1) neben der vom HF-Strom umflossenen Zentralöffnung (4) weitere Ziehöffnungen (5.1 , 5.2, 5.3, 5.4) aufweist, die nicht von einem Ringstrom umflossen werden und durch die jeweils ein Siliziumdünnstab (9.1 , 9.2, 9.3, 9.4) ziehbar ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die weiteren Ziehöffnungen (5.1 , 5.2, 5.3, 5.4) konzentrisch zur Zentralöffnung (4) und mit nahezu gleichem Abstand zueinander angeordnet sind.

12. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die weiteren Ziehöffnungen (5.1 , 5.2, 5.3, 5.4) paarweise und jeweils symmetrisch zur Zentralöffnung (4) angeordnet sind.

13. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Querschnitt der einwindigen Induktionsspule (1) vollständig den Querschnitt des Si-Rohstabes (6) überdeckt.

14. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass in einem geringen Abstand oberhalb der Induktionsspule (1) eine Abschirmplatte (11) angeordnet ist, die kongruent zu den Ziehöffnungen (5.1 , 5.2, 5.3, 5.4) in der Induktionsspule (1) angeordnete Öffnungen (11.1 , 11.2, 11.3, 11.4) aufweist.

15. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Si-Rohstab (6) auf einer vertikal verschiebbaren und drehbaren Spindel (6.2) angeordnet ist.

16. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass jedes Silizium-Keimstäbchen (8.1 , 8.2, 8.3, 8.4) an dem ein Siliziumdünnstab (9.1, 9.2, 9.3, 9.4) ziehbar ist, mit einem vertikal verschiebbaren Träger (7.1 , 7.2, 7.3, 7.4) verbunden ist.

17. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass alle Träger (7.1 , 7.2, 7.3, 7.4) synchron, gleichzeitig und mit gleicher Geschwindigkeit nach oben bewegbar sind.

18. Vorrichtung nach Anspruch 10 und 16, dadurch gekennzeichnet, dass alle Träger (7.1 , 7.2, 7.3, 7.4) an einer gemeinsamen Ziehvorrichtung (10) angeordnet sind.

19. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung in einer gasdichten Ziehkammer angeordnet ist, welche in ihrer oberen Gefäßwand, über den Ziehöffnungen (5.1 , 5.2, 5.3, 5.4) in der Induktionsspule (1) und den Öffnungen (11.1 , 11.2, 11.3, 11.4) in der Abschirmplatte (11), Gasschleusen in Form von langen Röhren aufweist, durch die die Siliziumdünnstäbe (9.1, 9.2, 9.3, 9.4) ziehbar sind.