WO2010024190A1 - リニア同期モータ制御方法及び制御装置 - Google Patents

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WO2010024190A1
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axis
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control
speed
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PCT/JP2009/064617
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祐樹 野村
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Thk株式会社
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    • H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P6/00—Arrangements for controlling synchronous motors or other dynamo-electric motors using electronic commutation dependent on the rotor position; Electronic commutators therefor
    • H02P6/006—Controlling linear motors
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P25/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details
    • H02P25/02—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details characterised by the kind of motor
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    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P25/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details
    • H02P25/02—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details characterised by the kind of motor
    • H02P25/06—Linear motors
    • H02P25/064—Linear motors of the synchronous type

Definitions

  • the present invention relates to a technical field of a control method and a control device of a linear synchronous motor using a permanent magnet as a field.
  • a position sensor In a linear synchronous motor in which a mover moves linearly by a magnetic field generated by a permanent magnet field and an armature, a position sensor, a speed sensor, a magnetic pole sensor, etc. are used to adjust the position and moving speed of the mover. I have control.
  • sensorless vector control is generally used as a control method for driving a linear synchronous motor without using such a sensor (for example, Patent Document 1).
  • sensorless vector control a method of estimating the position and moving speed of the mover using an induced electromotive force generated in the armature by the rotation of the linear synchronous motor is generally used.
  • the present invention has been made in view of the above points, and without using a position sensor, the mover can be smoothly moved by sensorless vector control in the constant speed region, and the stop control and the control in the low speed region can also be performed. It is an object of the present invention to provide a linear synchronous motor control method and a control device that can be used.
  • the invention described in claim 1 is a linear synchronous motor control method for controlling a current flowing through an armature of a linear synchronous motor in which a mover moves by movement of a magnetic field generated from the armature.
  • a mover moves by movement of a magnetic field generated from the armature.
  • the position is detected by a position sensor that detects a position of the movable element by reading a linear scale in the movable range of the movable element.
  • the current flowing through the armature is controlled based on the position of the mover detected by the position sensor. It is characterized by doing.
  • a control device that controls a current flowing through an armature of a linear synchronous motor in which a mover moves by movement of a magnetic field generated from the armature, and the electric machine uses predetermined sensorless vector control.
  • Sensorless vector control means for controlling the current flowing in the child
  • open loop control means for controlling the current flowing in the armature using open loop control
  • selection means for selecting the control means for controlling the current flowing in the armature
  • the open loop control means responds to the position command in the dq coordinate where the direction of the magnetic flux generated by the field is the d-axis and the phase advanced by ⁇ / 2 with respect to the d-axis is the q-axis.
  • Phase generating means for generating the d-axis electrical angle, phase generating means for generating the d-axis electrical angle corresponding to the position command, and a three-phase alternating current flowing through the armature. Based on the output current detection means and the electrical angle generated by the phase generation means, the three-phase alternating current detected by the current detection means is coordinate-converted into a d-axis armature current and a q-axis armature current.
  • Phase alternating current / dq coordinate conversion means and current control means for controlling the d-axis armature current and the q-axis armature current so that a current flows in the d-axis armature and no current flows in the q-axis armature
  • the selecting means has a moving speed of the mover in advance within a range in which the mover can be moved in synchronization with the movement of the magnetic field generated from the armature by the sensorless vector control.
  • the sensorless vector control means is selected when it is faster than a predetermined speed
  • the open loop control means is selected when the moving speed of the mover is slower than the predetermined speed.
  • the electric machine based on the position detected by the position sensor that reads the linear scale and detects the position of the mover, the electric machine is used using feedback control.
  • Feedback control means for controlling the current flowing through the child, and the selection means moves the movable element within a movable range of the movable element in which the position can be detected by the position sensor. When the movable element is stopped during the operation, the feedback control means is selected.
  • the movement of the mover when the moving speed of the mover is faster than a predetermined speed, the movement of the mover can be controlled by sensorless vector control.
  • the mover can be smoothly moved by the sensorless vector control.
  • an electronic angle corresponding to the position command is generated, and a current flows through the d-axis armature and a current flows through the q-axis armature.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration of a linear motor system 1 according to a first embodiment. It is the schematic which shows the synchronous motor for demonstrating the open loop control which concerns on 1st Embodiment. It is a block diagram of an example of a control device for explaining open loop control concerning a 1st embodiment. It is an operation diagram of a synchronous motor represented by dq coordinates, (a) is an operation diagram of conventional feedback control using a position detector, and (b) is an embodiment of the present invention that does not use a position detector. It is an operation
  • 2 is a block diagram illustrating an example of a schematic configuration of a driver 3 according to the first embodiment.
  • FIG. 9 is a block diagram illustrating an example of a schematic configuration of the driver 30 according to the second embodiment. It is a flowchart which shows the process example of the control switch 41 of the driver 30 which concerns on 2nd Embodiment.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration of the linear motor system 1 according to the first embodiment.
  • the linear motor system 1 includes an actuator 2 and a driver 3 as a control device.
  • the actuator 2 includes a slider (moving body) 4 and a base 5 that slidably supports the slider 4.
  • the linear synchronous motor 6 includes an armature 6 a as a mover attached to the lower part of the slider 4 and a magnet plate 6 b as a stator attached to the bottom surface of the base 5.
  • the armature 6a includes a core made of a magnetic material and a three-phase coil wound around the salient pole of the core. A three-phase alternating current is supplied to each of the three-phase coils.
  • the magnet plate 6b is configured by arranging a plurality of permanent magnets in the longitudinal direction of the base 5 so that magnetic poles of N and S poles appear alternately on the surface.
  • the three-phase current flowing in the three-phase coil of the armature 6a is controlled by the driver 3.
  • the three-phase current output from the driver 3 is supplied to the armature 6a via the power cable 51.
  • a linear scale and a position sensor are not attached to the linear motion device. Therefore, the driver 3 does not perform feedback control. Instead, the driver 3 performs sensorless vector control according to the moving speed of the slider 4 (armature 6a) and an open loop for controlling current to flow to the d-axis armature and not to flow to the q-axis armature. Control and change over selectively.
  • FIG. 2 is a schematic diagram showing a synchronous motor for explaining the open loop control according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a block diagram illustrating an example of a control device for explaining the open loop control according to the first embodiment.
  • the dq conversion converts both the fixed part and the movable part of the synchronous motor into rotating orthogonal coordinates, and the coordinate system is the dq coordinate system.
  • the q axis is in a phase advanced by ⁇ / 2 with respect to the d axis.
  • the d-axis is generally taken in the direction of the magnetic flux generated by the field.
  • Vda and vqa are d and q axis armature voltages
  • ida and iqa are d and q axis armature currents
  • ⁇ fa is the number of armature winding interlinkage magnetic fluxes
  • Ra is an armature winding resistance
  • La is an electric machine. This is the self-inductance of the child winding. From this equivalent circuit, a relational expression of voltage, current, impedance, that is, a circuit equation is obtained.
  • FIG. 2 shows that the armature windings are connected to a commutator like a DC motor and are innumerable in the radial direction, and Vda, through the brushes arranged on the d and q axes rotating at the same speed as the magnetic field. It shows that Vqa is applied and ida and iqa flow. If Vda and Vqa are set to DC voltages, ida and iqa also become DC voltages and can be handled by two-axis DC.
  • Equation 1 When transforming Equation 1 into a state equation (differential equation),
  • FIG. 3 is a block diagram of an example of a control device for explaining the open loop control according to the first embodiment.
  • this control device When driving the synchronous motor, this control device does not use a position detector, but always allows a constant current to flow through the d-axis (the direction of the magnetic flux of the permanent magnet) of the synchronous motor to drive the synchronous motor in an open loop.
  • the control device includes a position controller 11 that receives a position command, a q-axis armature current controller 12 and a d-axis armature current controller 13 that control q-axis and d-axis armature currents, and an electric power corresponding to the position command.
  • a phase detector 14 that generates an angle
  • a power converter 15 such as a voltage-type PWM (Pulse Width Modulation) inverter that supplies power to a synchronous motor according to q-axis and d-axis armature voltage commands
  • current detector 17 for detecting feedback current from synchronous motor 20, vector rotator / dq coordinate / 3-phase AC converter 19.
  • a position command ⁇ * rm is given to the position controller 11 from a host control device such as a computer.
  • the position controller 11 outputs the position command ⁇ * rm to the phase detector 14.
  • the phase detector 14 calculates an electrical angle ⁇ * re corresponding to the position command, and converts the electrical angle ⁇ * re into a vector rotator / three-phase AC / dq coordinate which is a three-phase AC / dq coordinate conversion means. Output to the converter 16.
  • the vector rotator / three-phase AC / dq coordinate converter 16 converts the three-phase feedback current values iu, iv, iw from the current detector 17 into the q-axis armature current iqa based on the electrical angle ⁇ * re. And d-axis armature current ida.
  • the q-axis armature current controller 12 calculates a difference between the q-axis armature current command and the q-axis armature current iqa, and calculates a command value v * qa of the q-axis armature voltage.
  • the q-axis armature current command is set to zero.
  • the q-axis armature current controller 12 controls the q-axis armature current iqa so that the q-axis armature current iqa becomes zero.
  • the q-axis armature current command is variable according to the required torque.
  • the q-axis armature current command is always set to 0. There is a feature in that.
  • the d-axis armature current controller 13 calculates a difference between the d-axis armature current command and the d-axis armature current ida, and calculates a command value v * da of the d-axis armature voltage.
  • the d-axis armature current command is set to a constant current value, for example, a rated current of the synchronous motor.
  • the rated current is a current value at which the synchronous motor does not burn even when a current is passed through the synchronous motor for a long time.
  • the d-axis current command i * da is normally set to 0, but this embodiment is characterized by being set to a constant current value.
  • the vector rotator / dq coordinate / 3-phase AC converter 19 generates a three-phase voltage command v * u, v * v, based on the voltage command v * da, v * qa and the electrical angle ⁇ * re. Outputs v * w.
  • the power converter 15 performs PWM control on the output voltage based on these voltage commands, and controls the current flowing through the synchronous motor 20.
  • FIG. 4 is an operation diagram of the synchronous motor represented by dq coordinates.
  • FIG. 4A shows an operation diagram of the conventional feedback control using the position detector
  • FIG. 4B shows an operation diagram of the open loop control of the present embodiment in which the position detector is not used.
  • the d-axis armature current is set to 0, and the q-axis armature current is controlled to a value that matches the required torque.
  • Torque was generated by passing a current through the q-axis armature, and the permanent magnet 23 of the synchronous motor 20 was rotating ((a1) ⁇ (a2) ⁇ (a3)).
  • the d-axis position (magnetic pole position) has been calculated from position information detected by the position detector.
  • the magnetic pole position command 22 (d-axis command) of the permanent magnet 23 to be driven is calculated from the position command. Then, the d-axis armature current and the q-axis armature current are controlled so that a constant current flows through the d-axis armature and no current flows through the q-axis armature. Then, the magnetic pole position (d-axis position) of the permanent magnet 23 is attracted to the magnetic pole position command 22 and stops at the position of the magnetic pole position command 22.
  • the magnetic pole position command 22 is changed in the order of (b1) ⁇ (b2) ⁇ (b3) in FIG. 4B, the permanent magnet 23 is rotated. When the motor stops, a holding force is generated when a rated current is passed through the synchronous motor 20.
  • the torque generated in the synchronous motor 20 is small. For this reason, when a load is applied to the synchronous motor 20, the synchronous motor 20 may not follow the change in the electrical angle. However, the torque of the synchronous motor 20 can be increased by passing the rated current through the synchronous motor 20. Further, as the electrical angle is gradually increased to +5 degrees, +10 degrees, +15 degrees, etc., the synchronous motor 20 gradually increases in torque (when the electrical angle is increased to +90 degrees, the largest torque is applied). The synchronous motor can be operated by increasing the electrical angle. Once the synchronous motor has operated, the synchronous motor continues to operate due to its inertia, so that it can finally approach the electrical angle.
  • FIG. 5 is a block diagram illustrating an example of a schematic configuration of the driver 3 according to the first embodiment.
  • the driver 3 includes a position controller 31 that receives a position command, a speed controller 32 that controls the moving speed of the armature 6a of the linear synchronous motor 6, and the position and moving speed of the armature 6a.
  • Position / speed estimator 33 to be estimated q-axis armature current controller 34 and d-axis armature current controller 35 as current control means for controlling the q-axis and d-axis armature currents, and the electric power corresponding to the position command
  • a phase detector 36 as phase generating means for generating an angle; a power converter 37 such as a voltage-type PWM inverter that supplies power to the synchronous motor in response to q-axis and d-axis armature voltage commands;
  • a vector rotator as a / dq coordinate conversion means, a three-phase AC / dq coordinate converter 39, a current detector 38 as a current detection means for detecting a feedback current from the synchronous motor 20, and a vector rotator Dq coordinate
  • the vector rotator / three-phase AC / dq coordinate converter 39 and the vector rotator / dq coordinate / three-phase AC converter 40 constitute sensorless vector control means.
  • the q coordinate converter 39 and the vector rotator / dq coordinate / 3 phase AC converter 40 constitute an open loop control means.
  • the position controller 31 performs two kinds of control according to the control command from the control switch 41.
  • This control command includes a sensorless vector control command and an open loop control command.
  • the position controller 31 outputs the position command ⁇ * rm output from a host control device such as a computer and the estimated position ⁇ ⁇ rm output from the position speed estimator 33.
  • the speed command ⁇ * rm is calculated based on the deviation between the speed command ⁇ * rm and the speed command ⁇ * rm is output to the speed controller 32.
  • the position controller 31 outputs the position command ⁇ * rm output from the host controller to the phase detector 14.
  • the speed controller 32 performs two kinds of control according to the control command from the control switch 41.
  • the position controller 31 outputs the speed command ⁇ * rm output from the position controller 31, the estimated speed ⁇ ⁇ rm output from the position speed estimator 33, and The thrust command is calculated based on the deviation, and the q-axis current command i * qa is further calculated.
  • the speed controller 32 outputs the q-axis current command i * qa to the q-axis armature current controller 34, and normally sets the d-axis current command i * da to 0 to control the d-axis armature current. Output to the device 35.
  • the speed controller 32 sets the d-axis current command i * da to, for example, a rated current and outputs it to the d-axis armature current controller 35.
  • the q-axis current command i * qa is set to 0 and output to the q-axis armature current controller 34.
  • the position / speed estimator 33 operates when a sensorless vector control command is output from the control switch 41.
  • the position / speed estimator 33 includes a d-axis armature current ida and a q-axis armature current iqa output from the vector rotator / three-phase AC / dq coordinate converter 39, and a d-axis current controller. Based on the d-axis armature voltage command output from the q-axis and the q-axis armature voltage command output from the q-axis current controller, the estimated position ⁇ ⁇ rm and the estimated speed ⁇ ⁇ rm are calculated.
  • the estimation method of the estimated position and the estimated speed a method used for general sensorless vector control can be applied. Further, the estimated position and the estimated speed may be calculated based on only one of the voltage command and the armature current.
  • the position / speed estimator 33 outputs the estimated position ⁇ ⁇ rm to the position controller 31 and the phase detector 36, and outputs the estimated speed ⁇ ⁇ rm to the speed controller and the control switch 41.
  • a position command ⁇ * rm or an estimated position ⁇ ⁇ rm is supplied to the phase detector 36 in accordance with a control command output from the control switch 41 to the position controller 31 and the position / speed estimator 33.
  • the control command is a sensorless vector control command
  • the estimated position ⁇ ⁇ rm is supplied to the phase detector 36 from the position / speed estimator 33.
  • the control command is an open loop control command
  • the phase command 36 is supplied with the position command ⁇ * rm.
  • the phase detector 36 calculates an electrical angle ⁇ * re corresponding to the position command ⁇ * rm or the estimated position ⁇ ⁇ rm, and converts the electrical angle ⁇ * re into a vector rotator / three-phase AC / dq coordinate conversion. Output to the converter 39 and the vector rotator / dq coordinate / 3-phase AC converter 40.
  • the vector rotator / three-phase AC / dq coordinate converter 39 converts the three-phase feedback current values iu, iv, iw from the current detector 38 into the q-axis armature current iqa based on the electrical angle ⁇ * re. And d-axis armature current ida.
  • the q-axis armature current controller 34 calculates a command value v * qa of the q-axis armature voltage by taking a deviation between the q-axis armature current command and the q-axis armature current iqa, and this command value v * qa. Is output to the position / speed estimator 33 and the vector rotator / dq coordinate / 3-phase AC converter 40.
  • the d-axis armature current controller 35 calculates a command value v * da of the d-axis armature voltage by taking a deviation between the d-axis armature current command and the d-axis armature current ida, and this command value v * da. Is output to the position / speed estimator 33 and the vector rotator / dq coordinate / 3-phase AC converter 40.
  • the vector rotator / dq coordinate / 3-phase AC converter 40 includes voltage commands v * da, v * qa and a phase detector 36 from the q-axis armature current controller 34 and the d-axis armature current controller 35.
  • the three-phase voltage commands v * u, v * v, v * w are output based on the electrical angle ⁇ * re from.
  • the power converter 15 performs PWM control on the output voltage based on these voltage commands, and controls the current flowing through the armature 6 a of the linear synchronous motor 6.
  • the control switch 41 determines whether to perform sensorless vector control or open loop control based on the moving speed of the armature 6a of the linear synchronous motor 6, and sends a control command as a result to the position controller 31 and the speed.
  • the data is output to the controller 32 and the position / speed estimator 33.
  • the armature 6a moves more smoothly when the movement of the armature 6a is controlled by sensorless vector control than when the armature 6a is controlled by the open loop control according to the present embodiment.
  • the control by the sensorless vector control is not effective. That is, the position estimation and the speed estimation by the sensorless vector control are performed based on, for example, the induced electromotive force generated in the armature 6a according to the moving speed of the armature 6a based on the applied voltage or the feedback current to the armature 6a.
  • it is performed by obtaining, if the armature 6a is stopped or the moving speed is too low, the induced electromotive force cannot be detected. Then, the magnetic field generated from the armature 6a cannot be moved in synchronization with the movement of the armature 6a.
  • the control switching device 41 switches control at a preset speed ⁇ .
  • This speed ⁇ is a preset speed within a speed range in which the movement of the armature 6a can be moved in synchronization with the movement of the magnetic field generated from the armature 6a by sensorless vector control. It is set based on the result of.
  • the speed ⁇ is set to be lower within a range in which the movement of the armature 6a can be controlled.
  • FIG. 6 is a graph showing the relationship between the moving time and the moving speed when the armature 6a is moved from one end to the other end in the longitudinal direction of the magnet plate 6b.
  • the horizontal axis represents the moving time.
  • the vertical axis represents the moving speed.
  • the open loop control is performed until the time t1 when the moving speed reaches the speed ⁇ after the armature 6a starts moving.
  • sensorless vector control is performed from time t1 to t2 and from t2 to t3.
  • the sensorless vector control is continuously performed from time t3 to time t4 when the moving speed drops to the speed ⁇ . Open loop control is performed from time t4 to te.
  • control switching device 41 outputs a sensorless vector control command when the moving speed of the armature 6a is equal to or higher than the speed ⁇ , and opens loop when the moving speed of the armature 6a is less than the speed ⁇ . Output control commands.
  • the position and speed estimator 33 can estimate the position and moving speed of the armature 6a. Which control is to be performed is determined based on the estimated position ⁇ ⁇ rm. Note that the estimated position ⁇ ⁇ rm is equivalent to the moving speed of the armature 6a.
  • the position / speed estimator 33 may not be able to accurately estimate the position and moving speed of the armature 6a.
  • the moving speed of the armature 6a is calculated based on the position command ⁇ * rm from the device.
  • Open-loop control according to the present embodiment generates an electrical angle theta * re corresponding to the position command theta * rm, electrical angle theta * re continuously changes according to the position command theta * rm continuously supplied
  • the armature 6a moves in synchronization with the change in the electrical angle ⁇ * re, and the moving speed of the armature 6a is obtained from the position command ⁇ * rm.
  • the driver 3 As a method for causing the driver 3 to recognize the initial position of the armature 6a, there is a method using a magnetic pole sensor. Further, the armature 6a can be forcibly moved to a set position without using a magnetic pole sensor, thereby replacing the recognition of the initial position of the armature 6a. This is performed, for example, by supplying a direct current from the driver 3 to the armature 6a at a predetermined electrical angle with reference to the center of the U-phase coil of the armature 6a. The electrical angle at this time can be set arbitrarily. The armature 6a is excited by the direct current, and an S-pole magnetic pole appears on the surface facing the magnet plate 6b at a position away from the center of the U-phase coil by the electrical angle.
  • the armature 6a moves by attracting the S pole and the N pole of the magnet plate 6b, and the armature 6a stops when the position of the S pole appearing on the armature 6a coincides with the position of the N pole of the magnet plate 6b. To do. Thus, the armature 6a is moved from the initial position of the main book to the set position. At this time, since the phase shift between the magnetic poles of the armature 6a and the magnet plate 6b is ⁇ 180 ° at the maximum, the armature 6a moves a distance half the magnetic pole pitch of the magnet plate 6b at the maximum.
  • FIG. 7 is a flowchart illustrating a processing example of the control switch 41 of the driver 3 according to the first embodiment.
  • the control switch 41 determines whether the moving speed of the armature 6a is equal to or higher than the speed ⁇ (step S1). At this time, if the moving speed is equal to or higher than the speed ⁇ (step S1: YES), the control switch 41 determines to perform sensorless vector control (step S2), and proceeds to step S1.
  • the control switch 41 outputs a sensorless vector control command to the position controller 31, the speed controller 32, and the position / speed estimator 33. Then, the position / speed estimator 33 calculates the estimated position ⁇ ⁇ rm and the estimated speed ⁇ ⁇ rm, outputs the estimated position ⁇ ⁇ rm to the position controller 31 and the phase detector 36, and calculates the estimated speed ⁇ ⁇ rm. Output to the control switch 41 and the speed controller 32.
  • the position controller 31 outputs the speed command ⁇ * rm to the speed controller 32 based on the position command ⁇ * rm and the estimated position ⁇ ⁇ rm, while the output of the position command ⁇ * rm to the phase detector 36 is Let it stop.
  • the speed controller 32 calculates the q-axis current command i * qa based on the speed command ⁇ * rm and the estimated speed ⁇ ⁇ rm. Moreover, the speed controller 32 sets the d-axis current command i * qa to 0.
  • the phase detector 36 calculates the electrical angle ⁇ * re corresponding to the estimated position ⁇ ⁇ rm. Thus, the driver 3 performs sensorless vector control.
  • step S3 determines to perform the open loop control (step S3), and proceeds to step S1.
  • the control switch 41 outputs an open loop control command to the position controller 31, the speed controller 32, and the position / speed estimator 33. Then, the position / speed estimator 33 stops the operation.
  • the position controller 31 outputs the position command ⁇ * rm to the phase detector 36 while stopping the calculation of the speed command ⁇ * rm.
  • the speed controller 32 sets the q-axis current command i * qa to 0, and sets the d-axis current command i * qa to the rated current.
  • the phase detector 36 calculates an electrical angle ⁇ * re corresponding to the position command ⁇ * rm. In this way, the driver 3 performs the open loop control described in the section 1.2. In this way, the control switch 41 repeats the control loop.
  • the switching control unit 41 controls each unit to perform sensorless vector control, and the armature 6a.
  • the phase detector 36 When the moving speed is less than the speed ⁇ , the phase detector 36 generates the d-axis electrical angle corresponding to the position command, and the q-axis armature current controller 34 and the d-axis armature current controller 35.
  • the armature 6a In the constant velocity range where the moving speed of the armature 6a is equal to or higher than the speed ⁇ , the movement of the armature 6a can be smoothly moved by the sensorless vector control, and the moving speed of the armature 6a is less than the speed ⁇ , Can also be controlled. Further, the return from the armature 6a stop state can be controlled.
  • the N pole of the magnet plate 6b is relatively attracted to the magnetic pole generated by the d-axis armature current corresponding to the electrical angle generated by the phase detector 36. Since the child 6a moves, the rotation control of the electrical angle is controlled by the position command, so that the stop control, the control in the low speed region, and the control at the time of return are also possible. Since stop control corresponding to the position command is performed, it is possible to stop at a desired position.
  • FIG. 8 is a diagram showing a schematic configuration of the linear motor system 10 according to the second embodiment.
  • the same elements as those in FIG. 8 are identical elements as those in FIG. 8.
  • the linear motor system 10 includes an actuator 2, a position information switching device 9, and a driver 30 as a control device.
  • the actuator 2 includes a slider 4, a base 5 that slidably supports the slider 4, a linear scale 7 attached to the slider 4, and a position of the slider 4 (an armature attached to the slider 4) that reads the linear scale 7. And a plurality of position sensors 8 for detecting.
  • a linear scale 7, a position sensor 8, and a position information switching device 9 are added.
  • the linear scale 7 is attached to the side surface of the slider 4, and slits, magnetic poles, and the like are arranged at regular intervals along the longitudinal direction of the base 5.
  • Each position sensor 8 reads the linear scale 7 optically or magnetically, and outputs position information indicating the position of the armature 6a to the position information switch 9 via the encoder cable 52.
  • the linear scale 7 is provided only in an area for positioning before and after the stop position (hereinafter referred to as “stop area”) including the stop position planned in advance in the movable range of the slider 4.
  • stop area an area for positioning before and after the stop position
  • a position sensor 8 is attached so that it can be read.
  • position sensors 8 are attached to both ends of the movable range of the slider 4, and a single position sensor 8 is attached slightly from the center. That is, the actuator 2 has three stop areas.
  • the area other than the stop area is an area where the slider 4 basically passes (hereinafter referred to as “passing area”). However, it is possible to stop the slider 4 as necessary even in the passage region.
  • the slider 4 may stop or pass depending on the moving procedure.
  • the current supplied to the armature 6a is controlled by sensorless vector control or open loop control.
  • Sensorless vector control or open loop control when the slider 4 is located in the stop region, Vector control is performed based on position information from the sensor 8. Then, when the slider 4 is positioned within the passage region, sensorless vector control or open loop control is performed.
  • the position information switcher 9 sends the position information output from the position sensor 8 attached to the stop area to the encoder cable 53 by a control signal output from the driver 30. To the driver 30.
  • FIG. 9 is a block diagram illustrating an example of a schematic configuration of the driver 30 according to the second embodiment.
  • elements similar to those in FIG. 5 are denoted by the same reference numerals.
  • the driver 30 includes a position controller 31, a speed controller 32, a position speed estimator 33, a q-axis armature current controller 34 as current control means, and a d-axis armature current control.
  • a phase detector 36 as a phase generation means
  • a power converter 37 as a current detection means
  • a vector rotator / three-phase as a three-phase AC / dq coordinate conversion means
  • a position detector 42 and a speed detector 43 as a selection means for switching control between sensorless vector control, open loop control and vector control.
  • the three-phase AC / dq coordinate converter 39, the vector rotator / dq coordinate / three-phase AC converter 40, the position detector 42, and the speed detector 43 constitute feedback control means.
  • the difference from the first embodiment is that a position detector 42 and a speed detector 43 are added.
  • the position information output from the position information switcher 9 is supplied to the position detector 42 and the speed detector 43 and also to the phase detector 36.
  • the position detector 42 calculates a position feedback value ⁇ rm indicating the position of the armature 6 a based on the position information, and outputs the position feedback value ⁇ rm to the position controller 31 and the control switch 41.
  • the position detector 42 calculates a speed feedback value ⁇ rm indicating the moving speed of the armature 6 a based on the position information, and outputs the position feedback value ⁇ rm to the speed controller 32 and the control switch 41.
  • the position controller 31 receives the position command ⁇ * rm output from the host controller and the position feedback output from the speed detector 43.
  • the speed command ⁇ * rm is calculated based on the deviation from the value ⁇ rm, and this speed command ⁇ * rm is output to the speed controller 32.
  • the speed controller 32 When a vector control command is supplied as a control command from the control switch 41, the speed controller 32 outputs a speed command ⁇ * rm output from the position controller 31 and a speed output from the position detector 42.
  • a thrust command is calculated based on a deviation between the feedback value ⁇ rm and a q-axis current command i * qa.
  • the control switch 41 determines whether to perform sensorless vector control, open loop control or vector control based on the current position and moving speed of the armature 6a of the linear synchronous motor 6, and a control command as a result thereof. Is output to the position controller 31, the speed controller 32, and the position / speed estimator 33.
  • This control command includes a sensorless vector control command, an open loop control command, and vector control.
  • the relationship between the range of the stop area and the position of the armature 6a (for example, coordinates x1 to x2) is stored in a memory (not shown). Is stored in the first stop area, the coordinates x3 to x4 are the second stop area, etc.).
  • the control switch 41 determines whether the armature 6a is located in the stop area by comparing the current position of the armature 6a with the stop area coordinate data.
  • the control switching device 41 performs vector control based on the current position of the armature 6a from the estimated position ⁇ ⁇ rm when performing sensorless vector control and from the position command ⁇ * rm when performing open loop control. When performing, it is obtained from the position feedback value ⁇ rm. Further, the control switch 41 obtains the moving speed of the armature 6a from the speed feedback value ⁇ rm when performing vector control.
  • the control switching unit 41 determines that the current position of the armature 6a is in any stop area based on the stop area coordinate data, the armature 6a among the plurality of position sensors 8 is positioned.
  • the position information switcher 9 is controlled so as to output the position information from the position sensor 8 attached to the stopping area.
  • FIG. 10 is a flowchart showing a processing example of the control switch 41 of the driver 30 according to the second embodiment.
  • the same elements as those in FIG. 10 are identical elements as those in FIG. 10
  • the control switch 41 determines whether or not the current position of the armature 6a is in the stop region (step S4). At this time, if the current position of the armature 6a is in the stop region (step S4: YES), the control switch 41 determines that vector control is to be performed (step S5), and proceeds to step S1.
  • the control switch 41 outputs a vector control command to the position controller 31, the speed controller 32, and the position / speed estimator 33. Then, the position / speed estimator 33 stops the operation.
  • the position controller 31 outputs the speed command ⁇ * rm to the speed controller 32 based on the position command ⁇ * rm and the position feedback value ⁇ rm, while the output of the position command ⁇ * rm to the phase detector 36 is stopped. Let it be in a state.
  • the speed controller 32 calculates the q-axis current command i * qa based on the speed command ⁇ * rm and the speed feedback value ⁇ rm. Moreover, the speed controller 32 sets the d-axis current command i * qa to 0.
  • the phase detector 36 calculates the electrical angle ⁇ * re corresponding to the position information from the position information switch 9. In this way, the driver 30 performs vector control.
  • control switch 41 moves the armature 6a when the current position of the armature 6a is not in the stop region, that is, when the armature 6a is in the passage region (step S4: NO). It is determined whether or not the speed is equal to or higher than speed ⁇ (step S1). At this time, if the moving speed is equal to or higher than the speed ⁇ (step S1: YES), the control switch 41 determines to perform sensorless vector control (step S2), and proceeds to step S1. The operation of each part at this time is the same as that in the first embodiment.
  • step S3 determines to perform the open loop control (step S3), and proceeds to step S1.
  • the operation of each part at this time is the same as that in the first embodiment. In this way, the control switch 41 repeats the control loop.
  • the control switch 41 detects by the position sensor 8 instead of the sensorless vector control and the open loop control. Since the vector control is performed based on the position of the armature 6a, the stop accuracy of the armature 6a in the stop region can be increased. On the other hand, the armature 6a can be smoothly moved by sensorless vector control when only passing through the passage area, while the armature 6a is stopped at a desired position even when the armature 6a is stopped in the passage area. Control can be performed. Moreover, even if the armature 6a stops once in the passage region due to an emergency stop or the like, it can be returned.
  • the vector control is always performed when the current position of the armature 6a is in the stop region.
  • the vector control is performed only when the armature 6a is stopped in the stop region. May be performed.
  • sensorless vector control or open loop control may be performed according to the moving speed of the armature 6a.
  • the linear scale 7 is attached to the slider 4 and the position sensor 8 is attached to the base 5.
  • the linear scale 7 is attached to the stop region of the base 5 and the position sensor 8 is attached to the slider 4. It may be attached. In this case, only one position sensor 8 can be used, and the cost can be reduced because it is not necessary to attach the linear scale 7 to the passage region.
  • the armature 6a is attached to the slider 4 and the magnet plate 6b is attached to the base 5.
  • the armature 6a is attached to the base 5 and the magnet plate 6b is attached to the slider 4. Also good.
  • the present invention is applied to a flat type linear synchronous motor, but may be applied to a rod type linear synchronous motor.

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Abstract

　位置センサを用いることなく、等速域ではセンサレスベクトル制御で滑らかに可動子を移動させ、且つ、停止制御及び低速域での制御も可能とする。 　可動子の移動速度が、所定のセンサレスベクトル制御によって可動子を電機子から発生する磁界の移動に同期して移動させることができる範囲内の予め定められた所定速度より速い場合には、当該センサレスベクトル制御を用いて電機子に流れる電流を制御し、可動子の移動速度が所定速度よりも遅い場合には、界磁の作る磁束の方向をｄ軸とし、ｄ軸に対してπ／２進んだ位相をｑ軸とするｄ－ｑ座標において、位置指令に対応したｄ軸の電気角を生成し、ｄ軸電機子に電流が流れ、且つｑ軸電機子に電流が流れないように、ｄ軸電機子電流及びｑ軸電機子電流を制御する。

Description

リニア同期モータ制御方法及び制御装置
　本発明は、界磁に永久磁石を用いるリニア同期モータの制御方法及び制御装置の技術分野に関する。
　従来より、永久磁石による界磁と電機子から発生する移動磁界によって可動子が直進運動するリニア同期モータにおいては、位置センサ、速度センサ、磁極センサ等を使用して可動子の位置や移動速度を制御している。
　一方で、こうしたセンサを使用することなくリニア同期モータを駆動させる制御方法としては、センサレスベクトル制御が一般的に用いられている（例えば、特許文献１）。センサレスベクトル制御においては、可動子の位置や移動速度を、リニア同期モータの回転によって電機子に生じる誘導起電力を用いて推定する方法が一般的である。
特開２００２－２２３５８７号公報
　しかしながら、誘導起電力が小さくなる低速走行時や減速停止時においては、可動子の位置や移動速度を正確に推定することができないため、可動子の位置や移動速度を制御することが困難であった。従って、センサレスベクトル制御は、可動子の位置決めを必要とする用途では使用されていなかった。
　本発明は、以上の点に鑑みてなされたものであり、位置センサを用いることなく、等速域ではセンサレスベクトル制御で滑らかに可動子を移動させ、且つ、停止制御及び低速域での制御も可能とするリニア同期モータ制御方法及び制御装置を提供することを目的とする。
　上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、電機子から発生する磁界の移動によって可動子が移動するリニア同期モータの当該電機子に流れる電流を制御するリニア同期モータ制御方法において、前記可動子の移動速度が、所定のセンサレスベクトル制御によって前記可動子を前記電機子から発生する磁界の移動に同期して移動させることができる範囲内の予め定められた所定速度より速い場合には、当該センサレスベクトル制御を用いて前記電機子に流れる電流を制御し、前記可動子の移動速度が前記所定速度よりも遅い場合には、界磁の作る磁束の方向をｄ軸とし、ｄ軸に対してπ／２進んだ位相をｑ軸とするｄ－ｑ座標において、位置指令に対応したｄ軸の電気角を生成し、ｄ軸電機子に電流が流れ、且つｑ軸電機子に電流が流れないように、ｄ軸電機子電流及びｑ軸電機子電流を制御することを特徴とする。
　請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のリニア同期モータ制御方法において、前記可動子の移動可能範囲のうち、リニアスケールを読み取り前記可動子の位置を検出する位置センサによって当該位置を検出することができる範囲を前記可動子が移動しているときに当該可動子を停止させる場合には、当該位置センサによって検出された前記可動子の位置に基づいて前記電機子に流れる電流を制御することを特徴とする。
　請求項３に記載の発明は、電機子から発生する磁界の移動によって可動子が移動するリニア同期モータの当該電機子に流れる電流を制御する制御装置において、所定のセンサレスベクトル制御を用いて前記電機子に流れる電流を制御するセンサレスベクトル制御手段と、オープンループ制御を用いて前記電機子に流れる電流を制御するオープンループ制御手段と、前記電機子に流れる電流を制御させる制御手段を選択する選択手段と、を備え、前記オープンループ制御手段は、界磁の作る磁束の方向をｄ軸とし、ｄ軸に対してπ／２進んだ位相をｑ軸とするｄ－ｑ座標において、位置指令に対応したｄ軸の電気角を生成する位相生成手段と、位置指令に対応したｄ軸の電気角を生成する位相生成手段と、前記電機子に流れる３相交流電流を検出する電流検出手段と、前記位相生成手段が生成した前記電気角に基づいて、前記電流検出手段が検出した３相交流電流を、ｄ軸電機子電流及びｑ軸電機子電流に座標変換する３相交流／ｄ－ｑ座標変換手段と、ｄ軸電機子に電流が流れ、且つｑ軸電機子に電流が流れないように、ｄ軸電機子電流及びｑ軸電機子電流を制御する電流制御手段と、を有し、前記選択手段は、前記可動子の移動速度が、前記センサレスベクトル制御によって前記可動子を前記電機子から発生する磁界の移動に同期して移動させることができる範囲内の予め定められた所定速度より速い場合には、前記センサレスベクトル制御手段を選択し、前記可動子の移動速度が前記所定速度よりも遅い場合には、前記オープンループ制御手段を選択することを特徴とする。
　請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の制御装置において、リニアスケールを読み取り前記可動子の位置を検出する位置センサによって検出された当該位置に基づいて、フィードバック制御を用いて前記電機子に流れる電流の制御を行うフィードバック制御手段を更に備え、前記選択手段は、前記可動子の移動可能範囲のうち、前記位置センサによって当該位置を検出することができる範囲を前記可動子が移動しているときに当該可動子を停止させる場合には、前記フィードバック制御手段を選択することを特徴とする。
　本発明によれば、可動子の移動速度が所定速度よりも速いときにはセンサレスベクトル制御による可動子の移動の制御が可能であるので、この場合には、当該センサレスベクトル制御によって可動子を滑らかに移動させることができ、且つ、可動子の移動速度が所定速度よりも遅い場合には、位置指令に対応した電子角を生成し、ｄ軸電機子に電流が流れ且つｑ軸電機子に電流が流れないように制御することによって、可動子の停止制御や低速域での制御も行うことができる。
第１実施形態に係るリニアモータシステム１の概要構成を示す図である。 第１実施形態に係るオープンループ制御を説明するための同期モータを示す概略図である。 第１実施形態に係るオープンループ制御を説明するための制御装置の一例のブロック図である。 ｄ－ｑ座標で表された同期モータの動作図であり、（ａ）は、位置検出器を用いた従来のフィードバック制御の動作図であり、（ｂ）は、位置検出器を使用しない本実施形態のオープンループ制御の動作図である。 第１実施形態に係るドライバ３の概要構成の一例を示すブロック図である。 第１実施形態において、電機子６ａを、マグネットプレート６ｂの長手方向一端から他端まで移動させた場合における移動時間と移動速度との関係を示すグラフである。 第１実施形態に係るドライバ３の制御切替器４１の処理例を示すフローチャートである。 第２実施形態に係るリニアモータシステム１０の概要構成を示す図である。 図９は、第２実施形態に係るドライバ３０の概要構成の一例を示すブロック図である。 第２実施形態に係るドライバ３０の制御切替器４１の処理例を示すフローチャートである。
　以下、本発明を実施するための好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下の各実施形態は、各請求項に係る発明を限定するものではなく、また、各実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
　［１．第１実施形態］
　以下、リニア同期モータとして、フラットタイプのリニア同期モータに本発明を適用した場合における実施形態について説明する。
　［１．１　リニアモータシステムの構成］
　まず、第１実施形態に係るリニアモータシステム１の構成を、図１を用いて説明する。ここで、図１は、第１実施形態に係るリニアモータシステム１の概要構成を示す図である。
　図１に示すように、リニアモータシステム１は、アクチュエータ２と、制御装置としてのドライバ３と、を備えている。そして、アクチュエータ２は、スライダ（移動体）４と、スライダ４をスライド自在に支持するベース５と、を備えている。
　スライダ４の駆動手段としては、リニア同期モータ６が採用されている。リニア同期モータ６は、スライダ４の下部に取り付けられた可動子としての電機子６ａと、ベース５の底面に取り付けられた固定子としてのマグネットプレート６ｂと、から構成される。電機子６ａは、磁性素材からなるコアと、コアの突極に巻かれた３相コイルと、から構成される。３相コイルのそれぞれには、３相交流電流が供給される。マグネットプレート６ｂは、複数の永久磁石がその表面にＮ極とＳ極との磁極が交互に現れるようにベース５の長手方向に並べられて構成されている。３相コイルに３相電流が流れると、紙面左右方向に移動する移動磁界が発生する。電機子６ａ及びスライダ４は、移動磁界により推力を得て、移動磁界の速さに同期して直進運動する。
　電機子６ａの３相コイルに流れる３相電流は、ドライバ３によって制御される。ドライバ３から出力された３相電流は、動力ケーブル５１を介して電機子６ａに供給される。直動装置には、リニアスケール及び位置センサは取り付けられてはいない。従って、ドライバ３は、フィードバック制御は行わない。その代わり、ドライバ３は、スライダ４（電機子６ａ）の移動速度に応じて、センサレスベクトル制御と、ｄ軸電機子に電流が流れ且つｑ軸電機子に電流が流れないように制御するオープンループ制御と、選択的に切り替えながら行う。
　［１．２　本実施形態に係るオープンループ制御の原理］
　次に、本実施形態においてドライバ４が行うオープンループ制御の原理について、図２を用いて説明する。ここで、図２は、第１実施形態に係るオープンループ制御を説明するための同期モータを示す概略図である。図３は、第１実施形態に係るオープンループ制御を説明するための制御装置の一例を示すブロック図である。
　界磁が直線的に移動するリニア同期モータにおいても、回転座標のｄ－ｑ座標系を用いてｄ，ｑ軸電機子電流を制御することができる。同期モータの固定された部分と可動する部分をともに、回転する直交座標へ変換するのがｄ－ｑ変換であり、その座標系がｄ－ｑ座標系である。ｑ軸はｄ軸に対してπ／２進んだ位相にある。ｄ軸は界磁の作る磁束の方向にとるのが一般的である。
　図２において、Ｖｄａ，ｖｑａはｄ，ｑ軸電機子電圧、ｉｄａ，ｉｑａはｄ，ｑ軸電機子電流，φｆａは電機子巻線鎖交磁束数，Ｒａは電機子巻線抵抗，Ｌａは電機子巻線の自己インダクタンスである。この等価回路から電圧、電流、インピーダンスの関係式、すなわち回路方程式を求めると、
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
　となる。この式の右辺第２項は、永久磁石の界磁によってｄ，ｑ軸電機子巻線に誘起する速度起電力ｅｄａ，ｅｑａを表しており、ｅｄａ＝０，ｅｑａ・＝ωｒｅφｆａである。図２は、電機子巻線がＤＣモータのように整流子に接続されて半径方向に無数にあり、それらに界磁と同じ速度で回転するｄ，ｑ軸上に配置されたブラシを通してＶｄａ，Ｖｑａが印加され、ｉｄａ，ｉｑａが流れるということを示している。Ｖｄａ，Ｖｑａを直流電圧にすれば、ｉｄａ，ｉｑａも直流電圧になり、２軸直流で扱える。
　数１式を状態方程式（微分方程式）に変形すると、
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
　が得られる。この式は、ｄ，ｑ軸電機子電圧であるＶｄａとＶｑａで、ｄ，ｑ軸電機子電流であるｉｄａ，ｉｑａを制御できることを意味している。
　図３は、第１実施形態に係るオープンループ制御を説明するための制御装置の一例のブロック図である。この制御装置は、同期モータを駆動するにあたり、位置検出器を使用せず、同期モータのｄ軸（永久磁石の磁束の方向）に一定の電流を常時流し、オープンループで同期モータを駆動する。
　制御装置は、位置指令を受ける位置制御器１１と、ｑ軸，ｄ軸電機子電流を制御するｑ軸電機子電流制御器１２及びｄ軸電機子電流制御器１３と、位置指令に応じた電気角を生成する位相検出器１４と、ｑ軸，ｄ軸電機子電圧指令に応じて、同期モータに電力を供給する電圧形ＰＷＭ（Pulse Width Modulation）インバータなどの電力変換器１５と、３相交流／ｄ－ｑ座標変換手段としてのベクトル回転器・３相交流／ｄ－ｑ座標変換器１６と、同期モータ２０からの帰還電流を検出する電流検出器１７と、ベクトル回転器・ｄ－ｑ座標／３相交流変換器１９と、を備えている。
　コンピュータなどの上位制御装置から、位置指令θ＊ｒｍが位置制御器１１に与えられる。位置制御器１１は、位置指令θ＊ｒｍを位相検出器１４に出力する。位相検出器１４は、位置指令に対応した電気角θ＊ｒｅを算出し、電気角θ＊ｒｅを３相交流／ｄ－ｑ座標変換手段であるベクトル回転器・３相交流／ｄ－ｑ座標変換器１６に出力する。ベクトル回転器・３相交流／ｄ－ｑ座標変換器１６は、電気角θ＊ｒｅに基づいて、電流検出器１７からの３相帰還電流値ｉｕ，ｉｖ，ｉｗを、ｑ軸電機子電流ｉｑａとｄ軸電機子電流ｉｄａに変換する。
　ｑ軸電機子電流制御器１２は、ｑ軸電機子電流指令とｑ軸電機子電流ｉｑａとの偏差を取り、ｑ軸電機子電圧の指令値ｖ＊ｑａを演算する。ここで、ｑ軸電機子電流指令は、０に設定される。ｑ軸電機子電流制御器１２は、ｑ軸電機子電流ｉｑａが０になるように、ｑ軸電機子電流ｉｑａを制御する。従来のサーボモータにおいては、必要とするトルクに応じてｑ軸電機子電流指令が可変していたが、本実施形態に係るオープンループ制御においては、ｑ軸電機子電流指令が常に０に設定されることに特徴がある。
　ｄ軸電機子電流制御器１３は、ｄ軸電機子電流指令とｄ軸電機子電流ｉｄａとの偏差を取り、ｄ軸電機子電圧の指令値ｖ＊ｄａを演算する。ここで、ｄ軸電機子電流指令は一定の電流値、例えば同期モータの定格電流に設定される。定格電流とは、同期モータに長時間電流を流しても同期モータが焼けない電流値である。従来のサーボモータにおいては、ｄ軸電流指令ｉ＊ｄａは通常０に設定されるが、本実施形態では、一定の電流値に設定されることに特徴がある。
　ベクトル回転器・ｄ－ｑ座標／３相交流変換器１９は、これらの電圧指令ｖ＊ｄａ，ｖ＊ｑａ及び電気角θ＊ｒｅに基づいて、３相電圧指令ｖ＊ｕ，ｖ＊ｖ，ｖ＊ｗを出力する。電力変換器１５は、これらの電圧指令に基づいて、出力電圧をＰＷＭ制御し、同期モータ２０に流れる電流を制御する。
　図４は、ｄ－ｑ座標で表された同期モータの動作図である。図４（ａ）が位置検出器を用いた従来のフィードバック制御の動作図を示し、図４（ｂ）が位置検出器を使用しない本実施形態のオープンループ制御の動作図を示す。従来のフィードバック制御においては、ｄ軸電機子電流を０にし、ｑ軸電機子電流を必要なトルクに合わせた値になるように制御していた。ｑ軸電機子に電流を流すことで、トルクが発生し、同期モータ２０の永久磁石２３が回転していた（（ａ１）→（ａ２）→（ａ３））。ｄ軸の位置（磁極位置）は、位置検出器が検出した位置情報から算出されていた。
　これに対して、本実施形態のオープンループ制御においては、まず、位置指令から駆動させる永久磁石２３の磁極位置指令２２（ｄ軸指令）を算出する。そして、ｄ軸電機子に一定の電流を流し、ｑ軸電機子に電流が流れないように、ｄ軸電機子電流及びｑ軸電機子電流を制御する。そうすると、永久磁石２３の磁極位置（ｄ軸の位置）は、磁極位置指令２２に引き付けられて磁極位置指令２２の位置で止まる。図４（ｂ）中（ｂ１）→（ｂ２）→（ｂ３）と順番に磁極位置指令２２を変化させると、永久磁石２３が回転することになる。停止時には、同期モータ２０に定格電流を流したときの保持力が発生する。
　本実施形態のオープンループ制御においては、ｑ軸電機子に電流を流していないので、同期モータ２０に発生するトルクが小さい。このため、同期モータ２０に負荷がかかっているときは、電気角の変化に同期モータ２０が追従しない恐れがある。しかし、同期モータ２０に定格電流を流すことで、同期モータ２０のトルクを大きくすることができる。また、電気角を＋５度、＋１０度、＋１５度等徐々に大きくするにつれて、同期モータ２０には徐々に大きなトルクが働くので（電気角を＋９０度にするときに、最も大きなトルクが働く）、電気角を大きくすることで同期モータを動作させることができる。同期モータが一旦動作したときは、後はその慣性によって同期モータが動作し続けるので、最終的に電気角に近づくことができる。
　［１．３　ドライバの構成］
　次に、本実施形態に係るドライバ３の構成について、図５を用いて説明する。ここで、図５は、第１実施形態に係るドライバ３の概要構成の一例を示すブロック図である。
　図５に示すように、ドライバ３は、位置指令を受ける位置制御器３１と、リニア同期モータ６の電機子６ａの移動速度を制御する速度制御器３２と、電機子６ａの位置及び移動速度を推定する位置速度推定器３３と、ｑ軸，ｄ軸電機子電流を制御する電流制御手段としてのｑ軸電機子電流制御器３４及びｄ軸電機子電流制御器３５と、位置指令に応じた電気角を生成する位相生成手段としての位相検出器３６と、ｑ軸，ｄ軸電機子電圧指令に応じて、同期モータに電力を供給する電圧形ＰＷＭインバータなどの電力変換器３７と、３相交流／ｄ－ｑ座標変換手段としてのベクトル回転器・３相交流／ｄ－ｑ座標変換器３９と、同期モータ２０からの帰還電流を検出する電流検出手段としての電流検出器３８と、ベクトル回転器・ｄ－ｑ座標／３相交流変換器４０と、センサレスベクトル制御とオープンループ制御とを切替制御する選択手段としての制御切替器４１と、を備えている。
　ここで、位置制御器３１、速度制御器３２、位置速度推定器３３、ｑ軸電機子電流制御器３４、ｄ軸電機子電流制御器３５、位相検出器３６、電力変換器３７、電流検出器３８、ベクトル回転器・３相交流／ｄ－ｑ座標変換器３９及びベクトル回転器・ｄ－ｑ座標／３相交流変換器４０は、センサレスベクトル制御手段を構成する。また、位置制御器３１、ｑ軸電機子電流制御器３４、ｄ軸電機子電流制御器３５、位相検出器３６、電力変換器３７、電流検出器３８、ベクトル回転器・３相交流／ｄ－ｑ座標変換器３９及びベクトル回転器・ｄ－ｑ座標／３相交流変換器４０は、オープンループ制御手段を構成する。
　位置制御器３１は、制御切替器４１からの制御指令に応じて、２通りの制御を行う。この制御指令には、センサレスベクトル制御指令とオープンループ制御指令とがある。位置制御器３１は、制御指令がセンサレスベクトル制御指令である場合には、コンピュータなどの上位制御装置から出力された位置指令θ＊ｒｍと、位置速度推定器３３から出力された推定位置θ＾ｒｍと、の偏差に基づいて速度指令ω＊ｒｍを演算し、この速度指令ω＊ｒｍを速度制御器３２に出力する。一方、位置制御器３１は、制御指令がオープンループ制御指令である場合には、上位制御装置から出力された位置指令θ＊ｒｍを位相検出器１４に出力する。
　速度制御器３２は、制御切替器４１からの制御指令に応じて、２通りの制御を行う。位置制御器３１は、制御指令がセンサレスベクトル制御指令である場合には、位置制御器３１から出力された速度指令ω＊ｒｍと、位置速度推定器３３から出力された推定速度ω＾ｒｍと、の偏差に基づいて推力指令を演算し、更にｑ軸電流指令ｉ＊ｑａを演算する。また、速度制御器３２は、このｑ軸電流指令ｉ＊ｑａをｑ軸電機子電流制御器３４に出力するとともに、ｄ軸電流指令ｉ＊ｄａを通常０に設定してｄ軸電機子電流制御器３５に出力する。一方、速度制御器３２は、制御指令がオープンループ制御指令である場合には、ｄ軸電流指令ｉ＊ｄａを、例えば定格電流に設定してｄ軸電機子電流制御器３５に出力するとともに、ｑ軸電流指令ｉ＊ｑａを０に設定してｑ軸電機子電流制御器３４に出力する。
　位置速度推定器３３は、制御切替器４１からセンサレスベクトル制御指令が出力されたときに動作する。具体的に、位置速度推定器３３は、ベクトル回転器・３相交流／ｄ－ｑ座標変換器３９から出力されたｄ軸電機子電流ｉｄａ及びｑ軸電機子電流ｉｑａと、ｄ軸電流制御器から出力されたｄ軸電機子電圧指令と、ｑ軸電流制御器から出力されたｑ軸電機子電圧指令と、に基づいて、推定位置θ＾ｒｍ及び推定速度ω＾ｒｍを演算する。推定位置及び推定速度の推定方法は、一般的なセンサレスベクトル制御に用いられる方法を適用することができる。また、電圧指令及び電機子電流の何れか一方のみに基づいて推定位置及び推定速度を演算してもよい。位置速度推定器３３は、推定位置θ＾ｒｍを位置制御器３１と位相検出器３６とに出力するとともに、推定速度ω＾ｒｍを速度制御器と制御切替器４１とに出力する。
　位相検出器３６には、制御切替器４１から位置制御器３１及び位置速度推定器３３に出力される制御指令に応じて、位置指令θ＊ｒｍ又は推定位置θ＾ｒｍが供給される。制御指令がセンサレスベクトル制御指令である場合には、位相検出器３６には、位置速度推定器３３から推定位置θ＾ｒｍが供給される。一方、制御指令がオープンループ制御指令である場合には、位相検出器３６には、位置指令θ＊ｒｍが供給される。そして、位相検出器３６は、位置指令θ＊ｒｍ又は推定位置θ＾ｒｍに対応した電気角θ＊ｒｅを算出し、電気角θ＊ｒｅをベクトル回転器・３相交流／ｄ－ｑ座標変換器３９とベクトル回転器・ｄ－ｑ座標／３相交流変換器４０に出力する。
　ベクトル回転器・３相交流／ｄ－ｑ座標変換器３９は、電気角θ＊ｒｅに基づいて、電流検出器３８からの３相帰還電流値ｉｕ，ｉｖ，ｉｗを、ｑ軸電機子電流ｉｑａとｄ軸電機子電流ｉｄａに変換する。
　ｑ軸電機子電流制御器３４は、ｑ軸電機子電流指令とｑ軸電機子電流ｉｑａとの偏差を取り、ｑ軸電機子電圧の指令値ｖ＊ｑａを演算し、この指令値ｖ＊ｑａを位置速度推定器３３とベクトル回転器・ｄ－ｑ座標／３相交流変換器４０とに出力する。
　ｄ軸電機子電流制御器３５は、ｄ軸電機子電流指令とｄ軸電機子電流ｉｄａとの偏差を取り、ｄ軸電機子電圧の指令値ｖ＊ｄａを演算し、この指令値ｖ＊ｄａを位置速度推定器３３とベクトル回転器・ｄ－ｑ座標／３相交流変換器４０とに出力する。
　ベクトル回転器・ｄ－ｑ座標／３相交流変換器４０は、ｑ軸電機子電流制御器３４及びｄ軸電機子電流制御器３５からの電圧指令ｖ＊ｄａ，ｖ＊ｑａ及び位相検出器３６からの電気角θ＊ｒｅに基づいて、３相電圧指令ｖ＊ｕ，ｖ＊ｖ，ｖ＊ｗを出力する。電力変換器１５は、これらの電圧指令に基づいて、出力電圧をＰＷＭ制御し、リニア同期モータ６の電機子６ａに流れる電流を制御する。
　制御切替器４１は、リニア同期モータ６の電機子６ａの移動速度に基づいて、センサレスベクトル制御又はオープンループ制御の何れを行うかを決定し、その結果としての制御指令を位置制御器３１、速度制御器３２及び位置速度推定器３３に出力する。
　基本的に、センサレスベクトル制御で電機子６ａの移動を制御した方が、本実施形態に係るオープンループ制御で制御するよりも、電機子６ａはスムーズに移動する。しかし、電機子６ａに移動速度が低速になるとセンサレスベクトル制御による制御が効かなくなる。つまり、センサレスベクトル制御による位置の推定及び速度の推定は、例えば、電機子６ａの移動速度に応じて電機子６ａに発生する誘導起電力を、電機子６ａへの印可電圧又は帰還電流に基づいて求めることにより行うのであるが、電機子６ａが停止していたり、移動速度があまりにも低いと、誘導起電力を検知することができない。そうすると、電機子６ａから発生する磁界を電機子６ａの移動に同期させて移動させることができない。
　従って、制御切替器４１は、予め設定された速度αで制御の切り替えを行う。この速度αは、電機子６ａの移動をセンサレスベクトル制御によって電機子６ａから発生する磁界の移動に同期して移動させることができる速度範囲内において、予め設定された速度であり、テストやシミュレーション等の結果に基づいて設定される。センサレスベクトル制御による制御域を増やしたい場合には、電機子６ａの移動が制御可能な範囲で速度αを低めに設定する。
　図６は、電機子６ａを、マグネットプレート６ｂの長手方向一端から他端まで移動させた場合における移動時間と移動速度との関係を示すグラフであり、同図において、横軸が移動時間であり、縦軸が移動速度である。
　図６に示すように、電機子６ａは、移動時間＝０の時点の停止した状態から移動を開始し、時間ｔ２の時点まで加速していき、時間ｔ２～ｔ３の間は等速度で移動する。その後、電機子６ａは減速し、時間ｔｅの時点で停止する。ここで、電機子６ａが移動を開始してから移動速度が速度αに達する時間ｔ１までの間は、オープンループ制御を行う。次いで、時間ｔ１からｔ２及びｔ２からｔ３までの間は、センサレスベクトル制御を行う。そして、時間ｔ３から移動速度が速度αに落ちる時間ｔ４までの間は、引き続きセンサレスベクトル制御を行い。時間ｔ４からｔｅまでの間は、オープンループ制御を行う。
　つまり、制御切替器４１は、電機子６ａの移動速度が速度α以上である場合には、センサレスベクトル制御指令を出力し、電機子６ａの移動速度が速度α未満である場合には、オープンループ制御指令を出力する。
　ここで、移動速度が速度α以上である場合には、位置速度推定器３３により電機子６ａの位置及び移動速度が推定することができるので、制御切替器４１は、位置速度推定器３３から出力された推定位置ω＾ｒｍに基づいて、どちらの制御を行うかを決定する。なお、推定位置ω＾ｒｍは、電機子６ａの移動速度と等価である。
　一方、移動速度が速度α未満である場合には、位置速度推定器３３により電機子６ａの位置及び移動速度を正確に推定することができない可能性があるので、制御切替器４１は、上位制御器からの位置指令θ＊ｒｍに基づいて、電機子６ａの移動速度を算出する。本実施形態に係るオープンループ制御は、位置指令θ＊ｒｍに対応した電気角θ＊ｒｅを生成し、連続的に供給される位置指令θ＊ｒｍに従って電気角θ＊ｒｅが連続的に変化することによって、この電気角θ＊ｒｅの変化と同期して電機子６ａが移動するので、位置指令θ＊ｒｍから電機子６ａの移動速度が求められる。
　なお、電機子６ａの初期位置をドライバ３に認識させる方法としては、磁極センサを用いる方法がある。また、磁極センサを用いることなく、設定された位置に電機子６ａを強制的に移動させ、これによって電機子６ａの初期位置の認識に代えることもできる。これは、例えば、電機子６ａのＵ相のコイルの中心を基準として、所定の電気角でドライバ３から電機子６ａに直流電流を供給することによって行われる。このときの電気角は任意に設定可能である。直流電流によって電機子６ａは励磁され、Ｕ相のコイルの中心から前記の電気角だけ離れた位置のマグネットプレート６ｂに対向する面にＳ極の磁極が現れる。このＳ極とマグネットプレート６ｂのＮ極とが引き合うことにより電機子６ａが移動し、電機子６ａに現れたＳ極の位置がマグネットプレート６ｂのＮ極の位置に一致したところで電機子６ａは停止する。これによって電機子６ａを大本の初期位置から設定された位置へ移動させるのである。このとき、電機子６ａとマグネットプレート６ｂとの磁極の位相ずれは最大で±１８０°であるので、電機子６ａは、最大でマグネットプレート６ｂの磁極ピッチの半分の距離を移動することになる。
　［１．４　ドライバの動作］
　次に、本実施形態に係るドライバ３の動作について、図７を用いて説明する。ここで、図７は、第１実施形態に係るドライバ３の制御切替器４１の処理例を示すフローチャートである。
　図７に示すように、制御切替器４１は、電機子６ａの移動速度が速度α以上であるか否かを判定する（ステップＳ１）。このとき、制御切替器４１は、移動速度が速度α以上である場合には（ステップＳ１：ＹＥＳ）、センサレスベクトル制御を行うと決定し（ステップＳ２）、ステップＳ１に移行する。
　ここで、制御切替器４１は、センサレスベクトル制御指令を位置制御器３１、速度制御器３２及び位置速度推定器３３に出力する。すると、位置速度推定器３３は、推定位置θ＾ｒｍ及び推定速度ω＾ｒｍを演算し、推定位置θ＾ｒｍを位置制御器３１及び位相検出器３６に出力するとともに、推定速度ω＾ｒｍを制御切替器４１及び速度制御器３２に出力する。位置制御器３１は、位置指令θ＊ｒｍと推定位置θ＾ｒｍとに基づいて速度指令ω＊ｒｍを速度制御器３２に出力する一方、位相検出器３６への位置指令θ＊ｒｍの出力は停止状態とさせる。速度制御器３２は、速度指令ω＊ｒｍと推定速度ω＾ｒｍとに基づいてｑ軸電流指令ｉ＊ｑａを演算する。また、速度制御器３２は、ｄ軸電流指令ｉ＊ｑａを０に設定する。位相検出器３６は、推定位置θ＾ｒｍに対応した電気角θ＊ｒｅを算出する。このように、ドライバ３は、センサレスベクトル制御を行うのである。
　一方、制御切替器４１は、移動速度が速度α未満である場合には（ステップＳ１：ＮＯ）、オープンループ制御を行うと決定し（ステップＳ３）、ステップＳ１に移行する。
　ここで、制御切替器４１は、オープンループ制御指令を位置制御器３１、速度制御器３２及び位置速度推定器３３に出力する。すると、位置速度推定器３３は、動作を停止させる。位置制御器３１は、位置指令θ＊ｒｍを位相検出器３６に出力する一方、速度指令ω＊ｒｍの演算を停止させる。速度制御器３２は、ｑ軸電流指令ｉ＊ｑａを０に設定するとともに、ｄ軸電流指令ｉ＊ｑａを定格電流に設定する。位相検出器３６は、位置指令θ＊ｒｍに対応した電気角θ＊ｒｅを算出する。このように、ドライバ３は、１．２項で説明したオープンループ制御を行うのである。このようにして、制御切替器４１は、制御ループを繰り返す。
　以上説明したように、本実施形態によれば、切替制御部４１が、電機子６ａの移動速度が速度α以上である場合には、センサレスベクトル制御を行うように各部を制御し、電機子６ａの移動速度が速度α未満である場合には、位相検出器３６が、位置指令に対応したｄ軸の電気角を生成し、ｑ軸電機子電流制御器３４及びｄ軸電機子電流制御器３５が、ｄ軸電機子に電流が流れ、且つｑ軸電機子に電流が流れないように、ｄ軸電機子電流及びｑ軸電機子電流を制御するように、各部を制御するので、電機子６ａの移動速度が速度α以上における等速域ではセンサレスベクトル制御で電機子６ａの移動を滑らかに移動させることができ、且つ、電機子６ａの移動速度が速度α未満となる停止制御や低速域での制御も行うことができる。また、電機子６ａ停止状態からの復帰の制御も可能となる。
　これは、本実施形態に係るオープンループ制御では、マグネットプレート６ｂのＮ極が、位相検出器３６が生成した電気角に対応したｄ軸電機子電流によって生じる磁極に相対的に引き付けられることによって電機子６ａが移動するので、位置指令により電気角の回転速度が制御されることによって、停止制御、低速域での制御及び復帰時の制御も可能となるのである。そして、位置指令に対応した停止制御が行われるので、所望の位置に停止させることもできる。
　［２．第２実施形態］
　次に、第２実施形態について用いて説明する。
　［２．１　リニアモータシステムの構成］
　まず、第２実施形態に係るリニアモータシステム１０の構成を、図８を用いて説明する。ここで、図８は、第２実施形態に係るリニアモータシステム１０の概要構成を示す図であり、同図において、図１と同様の要素については同様の符号を付してある。
　図１に示すように、リニアモータシステム１０は、アクチュエータ２と、位置情報切替装置９と、制御装置としてのドライバ３０と、を備えている。そして、アクチュエータ２は、スライダ４と、スライダ４をスライド自在に支持するベース５と、スライダ４に取り付けられたリニアスケール７と、リニアスケール７を読み取りスライダ４（に取り付けられた電機子）の位置を検出する複数の位置センサ８と、を備えている。
　ここで、第１実施形態と異なる点は、リニアスケール７、位置センサ８及び位置情報切替装置９が追加されている点である。リニアスケール７はスライダ４の側面に取り付けられ、スリットや磁極などがベース５の長手方向に沿って一定間隔で配列されている。
　各位置センサ８は、光学的又は磁気的にリニアスケール７を読み取り、電機子６ａの位置を示す位置情報をそれぞれエンコーダケーブル５２を介して位置情報切替器９に出力する。本実施形態においては、スライダ４の移動可能な範囲のうち、事前に計画されている停止位置を含むその停止位置前後の位置決めするための領域（以下、「停止領域」という）のみリニアスケール７を読み取ることができるように位置センサ８が取り付けられる。図８に示す例では、スライダ４の移動可能な範囲の両端にそれぞれ位置センサ８が取り付けられているとともに、やや中央よりに１箇所位置センサ８が取り付けられている。つまり、アクチュエータ２においては、３箇所の停止領域が設けられている。
　停止領域以外の領域は、スライダ４が基本的に通過するだけの領域である（以下、「通過領域」という）。ただし、通過領域であっても、必要に応じてスライダ４を停止させることは可能である。ここで、やや中央よりに設けられた停止領域においては、スライダ４がその移動手順により、停止する場合と通過する場合とがある。
　第１実施形態においては、センサレスベクトル制御又はオープンループ制御により電機子６ａに供給される電流が制御されていたが、本実施形態においては、スライダ４が停止領域内に位置しているときには、位置センサ８からの位置情報に基づいてベクトル制御を行う。そして、スライダ４が通過領域内に位置しているときに、センサレスベクトル制御又はオープンループ制御を行う。
　位置情報切替器９は、スライダ４が何れかの停止領域に入ると、ドライバ３０から出力される制御信号により、その停止領域に取り付けられた位置センサ８から出力される位置情報をエンコーダケーブル５３を介してドライバ３０に出力する。
　［２．２　ドライバの構成］
　次に、本実施形態に係るドライバ３０のについて、図９を用いて説明する。ここで、図９は、第２実施形態に係るドライバ３０の概要構成の一例を示すブロック図であり、同図において、図５と同様の要素については同様の符号を付してある。
　図９に示すように、ドライバ３０は、位置制御器３１と、速度制御器３２と、位置速度推定器３３と、電流制御手段としてのｑ軸電機子電流制御器３４及びｄ軸電機子電流制御器３５と、位相生成手段としての位相検出器３６と、電力変換器３７と、電流検出手段としての電流検出器３８と、３相交流／ｄ－ｑ座標変換手段としてのベクトル回転器・３相交流／ｄ－ｑ座標変換器３９と、ベクトル回転器・ｄ－ｑ座標／３相交流変換器４０と、センサレスベクトル制御、オープンループ制御及びベクトル制御を切替制御する選択手段としての制御切替器４１と、位置検出器４２と、速度検出器４３と、を備えている。
　ここで、位置制御器３１、速度制御器３２、ｑ軸電機子電流制御器３４、ｄ軸電機子電流制御器３５、位相検出器３６、電力変換器３７、電流検出器３８、ベクトル回転器・３相交流／ｄ－ｑ座標変換器３９、ベクトル回転器・ｄ－ｑ座標／３相交流変換器４０、位置検出器４２及び速度検出器４３は、フィードバック制御手段を構成する。
　第１実施形態と異なる点は、位置検出器４２及び速度検出器４３が追加されている点である。位置情報切替器９から出力された位置情報は位置検出器４２及び速度検出器４３に供給されるとともに、位相検出器３６にも供給される。位置検出器４２は、位置情報に基づいて電機子６ａの位置を示す位置帰還値θｒｍを演算し、この位置帰還値θｒｍを、位置制御器３１と制御切替器４１とに出力する。位置検出器４２は、位置情報に基づいて電機子６ａの移動速度を示す速度帰還値ωｒｍを演算し、この位置帰還値ωｒｍを、速度制御器３２と制御切替器４１とに出力する。
　位置制御器３１は、制御切替器４１からの制御指令としてベクトル制御指令が供給された場合には、上位制御装置から出力された位置指令θ＊ｒｍと、速度検出器４３から出力された位置帰還値θｒｍと、の偏差に基づいて速度指令ω＊ｒｍを演算し、この速度指令ω＊ｒｍを速度制御器３２に出力する。
　速度制御器３２は、制御切替器４１からの制御指令としてベクトル制御指令が供給された場合には、位置制御器３１から出力された速度指令ω＊ｒｍと、位置検出器４２から出力された速度帰還値ωｒｍと、の偏差に基づいて推力指令を演算し、更にｑ軸電流指令ｉ＊ｑａを演算する。
　制御切替器４１は、リニア同期モータ６の電機子６ａの現在位置及び移動速度とに基づいて、センサレスベクトル制御、オープンループ制御又はベクトル制御の何れを行うかを決定し、その結果としての制御指令を位置制御器３１、速度制御器３２及び位置速度推定器３３に出力する。この制御指令には、センサレスベクトル制御指令、オープンループ制御指令及びベクトル制御がある。
　本実施形態においては、電機子６ａが停止領域に位置しているときにはベクトル制御を行うために、図示しないメモリに、停止領域の範囲と電機子６ａの位置との関係（例えば、座標ｘ１～ｘ２が第１の停止領域、座標ｘ３～ｘ４が第２の停止領域等）を示す停止領域座標データが記憶されている。制御切替器４１は、電機子６ａの現在位置を停止領域座標データと比較することにより、電機子６ａが停止領域に位置しているか否かを判定する。ここで、制御切替器４１は、電機子６ａの現在位置を、センサレスベクトル制御を行っているときには推定位置θ＾ｒｍから、オープンループ制御を行っているときには位置指令θ＊ｒｍから、ベクトル制御を行っているときには位置帰還値θｒｍから得るようになっている。また、制御切替器４１は、ベクトル制御を行っているときには、電機子６ａの移動速度を速度帰還値ωｒｍから得る。
　また、制御切替部４１は、停止領域座標データに基づいて電機子６ａの現在位置が何れかの停止領域に入っていると判断した場合には、複数の位置センサ８のうち電機子６ａが位置している停止領域に取り付けられた位置センサ８からの位置情報を出力させるよう、位置情報切替器９を制御する。
　上記以外の各部の構成及び機能は、第１実施形態の場合と同様であるので、詳細な説明は省略する。
　［２．３　ドライバの動作］
　次に、本実施形態に係るドライバ３０の動作について、図１０を用いて説明する。図１０は、第２実施形態に係るドライバ３０の制御切替器４１の処理例を示すフローチャートであり、同図において、図７と同様の要素については同様の符号を付してある。
　図１０に示すように、制御切替器４１は、電機子６ａの現在位置が停止領域に入っているか否かを判定する（ステップＳ４）。このとき、制御切替器４１は、電機子６ａの現在位置が停止領域に入っている場合には（ステップＳ４：ＹＥＳ）、ベクトル制御を行うと決定し（ステップＳ５）、ステップＳ１に移行する。
　ここで、制御切替器４１は、ベクトル制御指令を位置制御器３１、速度制御器３２及び位置速度推定器３３に出力する。すると、位置速度推定器３３は、動作を停止させる。位置制御器３１は、位置指令θ＊ｒｍと位置帰還値θｒｍとに基づいて速度指令ω＊ｒｍを速度制御器３２に出力する一方、位相検出器３６への位置指令θ＊ｒｍの出力は停止状態とさせる。速度制御器３２は、速度指令ω＊ｒｍと速度帰還値ωｒｍとに基づいてｑ軸電流指令ｉ＊ｑａを演算する。また、速度制御器３２は、ｄ軸電流指令ｉ＊ｑａを０に設定する。位相検出器３６は、位置情報切替器９からの位置情報に対応した電気角θ＊ｒｅを算出する。このように、ドライバ３０は、ベクトル制御を行うのである。
　一方、制御切替器４１は、電機子６ａの現在位置が停止領域に入っていない場合、すなわち、電機子６ａが通過領域に入っている場合には（ステップＳ４：ＮＯ）、電機子６ａの移動速度が速度α以上であるか否かを判定する（ステップＳ１）。このとき、制御切替器４１は、移動速度が速度α以上である場合には（ステップＳ１：ＹＥＳ）、センサレスベクトル制御を行うと決定し（ステップＳ２）、ステップＳ１に移行する。このときの各部の動作は、第１実施形態の場合と同様である。
　一方、制御切替器４１は、移動速度が速度α未満である場合には（ステップＳ１：ＮＯ）、オープンループ制御を行うと決定し（ステップＳ３）、ステップＳ１に移行する。このときの各部の動作も、第１実施形態の場合と同様である。このようにして、制御切替器４１は、制御ループを繰り返す。
　以上説明したように、本実施形態によれば、制御切替器４１が、電機子６ａの現在位置が停止領域に入っているときには、センサレスベクトル制御及びオープンループ制御に代えて、位置センサ８により検出された電機子６ａの位置に基づいてベクトル制御を行うので、停止領域での電機子６ａの停止精度を高めることができる。その一方で、通過領域を通過させるだけの場合にはセンサレスベクトル制御によって電機子６ａを滑らかに移動させることができる一方で、通過領域で電機子６ａを非常停止等させる場合でも所望の位置へ停止制御を行うことができる。また、非常停止等により電機子６ａが通過領域内で一度停止しても、復帰させることができる。
　なお、本実施形態においては、電機子６ａの現在位置が停止領域に入っているときには必ずベクトル制御を行うようにしていたが、例えば、電機子６ａを停止領域内で停止させるときにのみベクトル制御を行うようにしてもよい。このとき、電機子６ａを停止領域内で停止させない場合には、例えば電機子６ａの移動速度に応じて、センサレスベクトル制御又はオープンループ制御を行えばよい。
　また、本実施形態においては、リニアスケール７をスライダ４に取り付けるとともに、位置センサ８をベース５に取り付けていたが、リニアスケール７をベース５の停止領域に取り付けるとともに、位置センサ８をスライダ４に取り付けてもよい。この場合であれば、位置センサ８は１個で済ますことができ、また、リニアスケール７を通過領域に取り付ける必要がない分、コストを削減することができる。
　また、上記各実施形態においては、電機子６ａをスライダ４に取り付けるとともに、マグネットプレート６ｂをベース５に取り付けていたが、電機子６ａをベース５に取り付けるとともに、マグネットプレート６ｂをスライダ４に取り付けてもよい。
　また、上記各実施形態においては、フラットタイプのリニア同期モータに本発明を適用していたが、ロッドタイプのリニア同期モータに適用してもよい。
　１、１０　リニアモータシステム、　２　　アクチュエータ、　３、３０　　ドライバ、　４　　スライダ、　５　　ベース、　６　　リニア同期モータ、　６ａ　　電機子、
　６ｂ　　マグネットプレート、　７　　リニアスケール、　８　　位置センサ、　９　位置情報切替器、　３１　　位置制御器、　３２　　速度制御器、　３３　　位置速度推定器、　　３４　　ｑ軸電流制御器、　３５　　ｄ軸電流制御器、　　３６　位相検出器、　３７　　電力変換器、　３８　　電流検出器、　３９　ベクトル回転器・３相交流／ｄ－ｑ座標変換器、　４０　　ベクトル回転器・ｄ－ｑ座標／３相交流変換器、　４１　制御切替器、　４２　　位置検出器、　４３　　速度検出器

Claims (4)

  1. 　電機子から発生する磁界の移動によって可動子が移動するリニア同期モータの当該電機子に流れる電流を制御するリニア同期モータ制御方法において、
    　前記可動子の移動速度が、所定のセンサレスベクトル制御によって前記可動子を前記電機子から発生する磁界の移動に同期して移動させることができる範囲内の予め定められた所定速度より速い場合には、当該センサレスベクトル制御を用いて前記電機子に流れる電流を制御し、
    　前記可動子の移動速度が前記所定速度よりも遅い場合には、界磁の作る磁束の方向をｄ軸とし、ｄ軸に対してπ／２進んだ位相をｑ軸とするｄ－ｑ座標において、位置指令に対応したｄ軸の電気角を生成し、ｄ軸電機子に電流が流れ、且つｑ軸電機子に電流が流れないように、ｄ軸電機子電流及びｑ軸電機子電流を制御することを特徴とするリニア同期モータ制御方法。
  2. 　請求項１に記載のリニア同期モータ制御方法において、
    　前記可動子の移動可能範囲のうち、リニアスケールを読み取り前記可動子の位置を検出する位置センサによって当該位置を検出することができる範囲を前記可動子が移動しているときに当該可動子を停止させる場合には、当該位置センサによって検出された前記可動子の位置に基づいて前記電機子に流れる電流を制御することを特徴とするリニア同期モータ制御方法。
  3. 　電機子から発生する磁界の移動によって可動子が移動するリニア同期モータの当該電機子に流れる電流を制御する制御装置において、
    　所定のセンサレスベクトル制御を用いて前記電機子に流れる電流を制御するセンサレスベクトル制御手段と、
    　オープンループ制御を用いて前記電機子に流れる電流を制御するオープンループ制御手段と、
    　前記電機子に流れる電流を制御させる制御手段を選択する選択手段と、
    　を備え、
    　前記オープンループ制御手段は、
    　界磁の作る磁束の方向をｄ軸とし、ｄ軸に対してπ／２進んだ位相をｑ軸とするｄ－ｑ座標において、位置指令に対応したｄ軸の電気角を生成する位相生成手段と、
    　位置指令に対応したｄ軸の電気角を生成する位相生成手段と、
    　前記電機子に流れる３相交流電流を検出する電流検出手段と、
    　前記位相生成手段が生成した前記電気角に基づいて、前記電流検出手段が検出した３相交流電流を、ｄ軸電機子電流及びｑ軸電機子電流に座標変換する３相交流／ｄ－ｑ座標変換手段と、
    　ｄ軸電機子に電流が流れ、且つｑ軸電機子に電流が流れないように、ｄ軸電機子電流及びｑ軸電機子電流を制御する電流制御手段と、
    　を有し、
    　前記選択手段は、
    　前記可動子の移動速度が、前記センサレスベクトル制御によって前記可動子を前記電機子から発生する磁界の移動に同期して移動させることができる範囲内の予め定められた所定速度より速い場合には、前記センサレスベクトル制御手段を選択し、前記可動子の移動速度が前記所定速度よりも遅い場合には、前記オープンループ制御手段を選択することを特徴とする制御装置。
  4. 　請求項３に記載の制御装置において、
    　リニアスケールを読み取り前記可動子の位置を検出する位置センサによって検出された当該位置に基づいて、フィードバック制御を用いて前記電機子に流れる電流の制御を行うフィードバック制御手段を更に備え、
    　前記選択手段は、
    　前記可動子の移動可能範囲のうち、前記位置センサによって当該位置を検出することができる範囲を前記可動子が移動しているときに当該可動子を停止させる場合には、前記フィードバック制御手段を選択することを特徴とする制御装置。
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