WO2009048018A1 - Détecteur magnétique - Google Patents

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Kazushige Seshimo
Tokuo Nakamura
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Abstract

L'invention vise à proposer un détecteur magnétique qui peut en particulier élargir la plage de détection d'un aimant situé sur le plan X-Y tel que comparé à l'état antérieur. À cet effet, un capteur magnétique (12), un premier corps magnétique (13) et un second corps magnétique (14) sont montés sur un substrat (11). Un élément à effet magnétorésistif incorporé dans le capteur magnétique (12) a une structure à stratification d'une couche magnétique fixe, d'une couche magnétique libre et d'une couche non magnétique interposée entre la couche magnétique fixée et la couche magnétique libre au moins dans la direction de la hauteur (direction Z). La direction de magnétisation de la couche magnétique fixe est fixée dans une direction de la direction X coupant perpendiculairement la direction Z, et le premier corps magnétique (13) et le second corps magnétique (14) sont agencés sur les faces opposées de l'élément à effet magnétorésistif dans la direction X tout en étant espacés l'un de l'autre. Les surfaces (13a1, 14a1) du premier corps magnétique (13) et du second corps magnétique (14) opposés dans la direction X sont agencées tout en étant décalées l'une de l'autre dans les directions Y et Z.
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Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011101716A (ja) * 2009-11-11 2011-05-26 Sensatec Co Ltd 磁気検出器及びその製造方法
WO2011089978A1 (fr) * 2010-01-20 2011-07-28 アルプス電気株式会社 Capteur magnétique
CN102292773A (zh) * 2009-09-25 2011-12-21 艾沃思宾技术公司 三轴磁场传感器
JP2012037463A (ja) * 2010-08-11 2012-02-23 Alps Electric Co Ltd 磁気センサ
JP2012112689A (ja) * 2010-11-22 2012-06-14 Alps Electric Co Ltd 磁気センサ
WO2012096132A1 (fr) * 2011-01-13 2012-07-19 アルプス電気株式会社 Capteur magnétique
JP2013076698A (ja) * 2011-09-29 2013-04-25 Volta Field Technology Corp 磁気抵抗センシング部材及び磁気抵抗センシング装置
JP2013148406A (ja) * 2012-01-18 2013-08-01 Alps Electric Co Ltd 磁気センサ
WO2013118498A1 (fr) * 2012-02-07 2013-08-15 旭化成エレクトロニクス株式会社 Capteur magnétique et procédé de détection magnétique associé
JP2013178226A (ja) * 2012-02-07 2013-09-09 Asahi Kasei Electronics Co Ltd 磁気センサ及びその磁気検出方法
GB2508375A (en) * 2012-11-29 2014-06-04 Ibm A position sensor comprising a magnetoresistive element
CN105022007A (zh) * 2014-04-28 2015-11-04 宇能电科技股份有限公司 磁阻组件及磁阻装置
US9269891B2 (en) 2010-03-31 2016-02-23 Everspin Technologies, Inc. Process integration of a single chip three axis magnetic field sensor
JP2016170028A (ja) * 2015-03-12 2016-09-23 Tdk株式会社 磁気センサ
US9453890B2 (en) 2013-03-26 2016-09-27 Asahi Kasei Microdevices Corporation Magnetic sensor and magnetic detecting method of the same
CN106461739A (zh) * 2014-05-09 2017-02-22 爱知制钢株式会社 磁检测装置及其制造方法
WO2017149831A1 (fr) * 2016-03-03 2017-09-08 Tdk株式会社 Capteur magnétique
JP2018072026A (ja) * 2016-10-25 2018-05-10 Tdk株式会社 磁場検出装置
JP2018091784A (ja) * 2016-12-06 2018-06-14 Tdk株式会社 磁場検出装置
WO2020148915A1 (fr) * 2019-01-18 2020-07-23 艾礼富▲電▼子（深▲セン▼）有限公司 Dispositif de détection de champ magnétique comprenant un élément à effet hall ou un circuit intégré à effet hall et capteur de proximité comprenant un dispositif de détection de champ magnétique
JP2020177024A (ja) * 2020-06-30 2020-10-29 Tdk株式会社 磁場検出装置
WO2021224621A1 (fr) * 2020-03-25 2021-11-11 Direct Thrust Designs Limited Détecteur de champ magnétique

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006156661A (ja) * 2004-11-29 2006-06-15 Alps Electric Co Ltd 薄膜磁気抵抗素子及びその製造方法並びに薄膜磁気抵抗素子を用いた磁気センサ
JP2006276983A (ja) * 2005-03-28 2006-10-12 Yamaha Corp ポインティングデバイス用の磁気センサ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006156661A (ja) * 2004-11-29 2006-06-15 Alps Electric Co Ltd 薄膜磁気抵抗素子及びその製造方法並びに薄膜磁気抵抗素子を用いた磁気センサ
JP2006276983A (ja) * 2005-03-28 2006-10-12 Yamaha Corp ポインティングデバイス用の磁気センサ

Cited By (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102292773A (zh) * 2009-09-25 2011-12-21 艾沃思宾技术公司 三轴磁场传感器
USRE46428E1 (en) 2009-09-25 2017-06-06 Everspin Technologies, Inc. Three axis magnetic field sensor
KR101849516B1 (ko) * 2009-09-25 2018-04-17 에버스핀 테크놀러지스, 인크. ３ 축선 자기장 센서
USRE46180E1 (en) 2009-09-25 2016-10-18 Everspin Technologies, Inc. Three axis magnetic field sensor
JP2013506141A (ja) * 2009-09-25 2013-02-21 エバースピン テクノロジーズ インコーポレイテッド ３軸磁場センサー
USRE49404E1 (en) 2009-09-25 2023-01-31 Everspin Technologies, Inc. Three axis magnetic field sensor
DE112010003775B4 (de) 2009-09-25 2021-11-25 EverSpin Technologies,Inc. Dreiachsen-Magnetfeldsensor
JP2011101716A (ja) * 2009-11-11 2011-05-26 Sensatec Co Ltd 磁気検出器及びその製造方法
WO2011089978A1 (fr) * 2010-01-20 2011-07-28 アルプス電気株式会社 Capteur magnétique
JP5297539B2 (ja) * 2010-01-20 2013-09-25 アルプス電気株式会社 磁気センサ
US11678584B2 (en) 2010-03-31 2023-06-13 Everspin Technologies, Inc. Methods of manufacturing a magnetic field sensor
US10276789B2 (en) 2010-03-31 2019-04-30 Everspin Technologies, Inc. Methods of manufacturing a magnetic field sensor
US11024799B2 (en) 2010-03-31 2021-06-01 Everspin Technologies, Inc. Methods of manufacturing a magnetic field sensor
US9893274B2 (en) 2010-03-31 2018-02-13 Everspin Technologies, Inc. Methods of manufacturing a magnetic field sensor
US9553261B2 (en) 2010-03-31 2017-01-24 Everspin Technologies, Inc. Methods of manufacturing a magnetic field sensor
US9269891B2 (en) 2010-03-31 2016-02-23 Everspin Technologies, Inc. Process integration of a single chip three axis magnetic field sensor
US9362491B2 (en) 2010-03-31 2016-06-07 Everspin Technologies, Inc. Methods of manufacturing a magnetic field sensor
US9525129B2 (en) 2010-03-31 2016-12-20 Everspin Technologies, Inc. Methods of manufacturing a magnetic field sensor
JP2012037463A (ja) * 2010-08-11 2012-02-23 Alps Electric Co Ltd 磁気センサ
JP2012112689A (ja) * 2010-11-22 2012-06-14 Alps Electric Co Ltd 磁気センサ
CN103299202A (zh) * 2011-01-13 2013-09-11 阿尔卑斯电气株式会社 磁传感器
JP5518215B2 (ja) * 2011-01-13 2014-06-11 アルプス電気株式会社 磁気センサ
WO2012096132A1 (fr) * 2011-01-13 2012-07-19 アルプス電気株式会社 Capteur magnétique
JP2013076698A (ja) * 2011-09-29 2013-04-25 Volta Field Technology Corp 磁気抵抗センシング部材及び磁気抵抗センシング装置
JP2013148406A (ja) * 2012-01-18 2013-08-01 Alps Electric Co Ltd 磁気センサ
CN104105978B (zh) * 2012-02-07 2016-07-06 旭化成微电子株式会社 磁传感器及其磁检测方法
US9599681B2 (en) 2012-02-07 2017-03-21 Asahi Kasei Microdevices Corporation Magnetic sensor and magnetic detecting method of the same
CN104105978A (zh) * 2012-02-07 2014-10-15 旭化成微电子株式会社 磁传感器及其磁检测方法
WO2013118498A1 (fr) * 2012-02-07 2013-08-15 旭化成エレクトロニクス株式会社 Capteur magnétique et procédé de détection magnétique associé
JP2013178226A (ja) * 2012-02-07 2013-09-09 Asahi Kasei Electronics Co Ltd 磁気センサ及びその磁気検出方法
US9719804B2 (en) 2012-11-29 2017-08-01 International Business Machines Corporation Position sensor
GB2508375A (en) * 2012-11-29 2014-06-04 Ibm A position sensor comprising a magnetoresistive element
US9453890B2 (en) 2013-03-26 2016-09-27 Asahi Kasei Microdevices Corporation Magnetic sensor and magnetic detecting method of the same
CN105022007A (zh) * 2014-04-28 2015-11-04 宇能电科技股份有限公司 磁阻组件及磁阻装置
US10048329B2 (en) 2014-05-09 2018-08-14 Aichi Steel Corporation Magnetic detection device and method of manufacturing same
CN106461739B (zh) * 2014-05-09 2019-06-07 爱知制钢株式会社 磁检测装置及其制造方法
EP3141920A4 (fr) * 2014-05-09 2018-01-03 Aichi Steel Corporation Dispositif de détection magnétique et son procédé de fabrication
CN106461739A (zh) * 2014-05-09 2017-02-22 爱知制钢株式会社 磁检测装置及其制造方法
JP2016170028A (ja) * 2015-03-12 2016-09-23 Tdk株式会社 磁気センサ
CN108700637A (zh) * 2016-03-03 2018-10-23 Tdk株式会社 磁传感器
WO2017149831A1 (fr) * 2016-03-03 2017-09-08 Tdk株式会社 Capteur magnétique
CN108700637B (zh) * 2016-03-03 2020-09-25 Tdk株式会社 磁传感器
US20220244321A1 (en) * 2016-10-25 2022-08-04 Tdk Corporation Magnetic field detection device
JP2018072026A (ja) * 2016-10-25 2018-05-10 Tdk株式会社 磁場検出装置
US11808825B2 (en) * 2016-10-25 2023-11-07 Tdk Corporation Magnetic field detection device
US11353518B2 (en) 2016-12-06 2022-06-07 Tdk Corporation Magnetic field detection device
JP2018091784A (ja) * 2016-12-06 2018-06-14 Tdk株式会社 磁場検出装置
US11703551B2 (en) 2016-12-06 2023-07-18 Tdk Corporation Magnetic field detection device
WO2020148915A1 (fr) * 2019-01-18 2020-07-23 艾礼富▲電▼子（深▲セン▼）有限公司 Dispositif de détection de champ magnétique comprenant un élément à effet hall ou un circuit intégré à effet hall et capteur de proximité comprenant un dispositif de détection de champ magnétique
WO2021224621A1 (fr) * 2020-03-25 2021-11-11 Direct Thrust Designs Limited Détecteur de champ magnétique
JP2020177024A (ja) * 2020-06-30 2020-10-29 Tdk株式会社 磁場検出装置

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