WO2009013797A1 - Procédé de traitement de pièce de travail et système pour le traitement d'une pièce de travail - Google Patents

Procédé de traitement de pièce de travail et système pour le traitement d'une pièce de travail Download PDF

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Yoshihisa Morita
Masao Yamase
Masao Watanabe
Toshiyuki Sanada
Minori Shirota
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Aqua Science Corporation
Kyushu University, National University Corporation
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Abstract

L'invention porte sur un procédé dans lequel une pièce de travail est traitée par application à celle-ci d'un fluide en phase mixte comprenant un gaz inerte et/ou de l'air, de la vapeur d'eau, et des gouttelettes, caractérisé par le fait que le gaz inerte et/ou l'air est mélangé à de la vapeur d'eau de façon à former un mélange gazeux, après quoi le mélange gazeux est mélangé à un liquide afin de former les gouttelettes. Dans le procédé, des propriétés du mélange gazeux peuvent être régulées.
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