WO2008119340A2 - Vorrichtung und verfahren zur laserbearbeitung von bauteilen mit einer faser-oder scheibenlaserlichtquelle - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur laserbearbeitung von bauteilen mit einer faser-oder scheibenlaserlichtquelle Download PDF

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    • B23K26/702—Auxiliary equipment
    • B23K26/704—Beam dispersers, e.g. beam wells

Definitions

  • the invention relates to a device and a method for processing components with radiation of a fiber, disc or bar laser.
  • the processing may be performed in the various known technologies, e.g. Cutting, welding or for a modification of materials (such as hardening) and drilling, Abtragen, coating and remelting can be used.
  • the radiation In the processing of metals, the radiation usually has a fairly high reflection on the workpiece, whereby a significant proportion (10 - 90%) can be reflected back into the laser. The resulting high power densities can lead to the destruction of the laser or a transmission fiber. For this reason, a retroactive lock appears mandatory.
  • JP 60158993 A and JP 61232077 A for general laser sources to direct radiation reflected back from a component onto a absorber by means of a beam splitter.
  • the reflected back radiation is thereby decoupled and made harmless. But it represents a lost share of usable laser power.
  • an optical element is arranged in the beam path of the laser radiation directed onto a processing region, which is transparent in one direction for the radiation direction emitted by the disk or fiber laser and reflective for radiation reflected back from the component.
  • the radiation transmitted through the beam splitter strikes a polarization rotator and is thus rotated with its polarization direction by a predetermined angle.
  • This radiation is directed at the respective processing area of a component. tet. It can be focused in advance by means of a suitable optical element.
  • Radiation reflected back from the processing area of a component is likewise influenced by the polarization rotator and then has a polarization direction, so that it is deflected by the beam splitter out of the beam path or the optical axis and directed onto a reflecting element.
  • a polarization rotator with which the polarization direction is rotated by 45 °. It should be arranged in the beam path of the transmitted radiation.
  • Suitable polarization rotators are, for example, Faraday rotators or ⁇ / 4 plates.
  • polarized radiation can be used in different forms.
  • this can be measured with a polar risationsfilter ( ⁇ / 4 plate) linearly polarized, then be directed by a beam splitter and another polarization rotator again as circularly polarized radiation to the processing area of a component.
  • the radiation reflected back from there is linearly polarized again with the same polarization rotator before it reaches the beam splitter. It is then polarized so that it blocks the reflected radiation back in the transmission direction, decoupled from the beam path and reflected in the direction of the reflective element.
  • the proportion of radiation which is reflected by the workpiece for the second time is rotated by 90 ° in the polarization direction, so that it can no longer be masked out of the beam path by the beam splitter. This fraction, which is significantly weakened by the double absorption, is reflected back into the laser.
  • the invention can be extended by using a second beam splitter.
  • This can be arranged in the beam path, starting from the laser light source in front of the first beam splitter. With it it is possible to deflect the mentioned portion of the processing area back reflected radiation from the beam path.
  • between the two beam splitters is still a polarization direction by 45 ° rotating element, z. B. a Faraday rotator, to order.
  • This part of the reflected radiation can be directed to an absorbent element. However, it is also possible to direct this part of the reflected radiation alone or in addition to an optical detector.
  • the intensity of this radiation component can be determined and used for a control or regulation of the processing.
  • it can be connected to an electronic control.
  • the power of the laser light source can be adjusted.
  • Figure 1 shows a schematic representation of a first example of a device according to the invention
  • Figure 2 is an example of circularly polarized radiation
  • Figure 3 shows another example of a treatment with circularly polarized radiation
  • FIG. 4 shows an example with two beam splitters.
  • FIG. 1 shows an example of a device according to the invention in which radiation emitted by a laser light source (not shown), that is to say a fiber or disk laser, is emitted through a laser Beam splitter 1 is directed and the polarization direction is rotated by 45 ° with the polarization rotator 2. In this form, it focuses on the processing region of a component 7 through the optical element 3.
  • a laser light source that is to say a fiber or disk laser
  • Radiation reflected back from the surface of the processing area sets the path back to the beam splitter 1, the polarization direction again being rotated by 45 ° with the polarization rotator 2.
  • This can no longer pass through the beam splitter 1 and instead is reflected by the beam splitter 1 by 90 ° and thus impinges on the reflecting element 4.
  • This is aligned here with its flat surface orthogonal to the angle of incidence of the reflected radiation and is thereby reflected back to the beam splitter 1 and from this back to the processing area of the component 7 and can be reused for processing, resulting in an additionally reusable share of up to about 95%, which is actually lost in conventional solutions.
  • the polarization rotator 2 is a Farraday rotator.
  • FIG. 2 is intended to make clear that circular polarized radiation from a laser light source can also be used.
  • a further polarization rotator 2 ' here a ⁇ / 4 plate is arranged in front of the beam splitter 1.
  • the resulting linearly polarized radiation is with their Polarization direction aligned so that the beam splitter 1 is transparent to them.
  • a further polarization rotator 2 is arranged, with which the polarization direction is again rotated by 45 °.
  • the polarization rotator 2 and the beam splitter 1 again perform the functions as already explained in the example according to FIG. 1 and are therefore arranged and designed accordingly.
  • radiation that is emitted and circularly polarized by a laser light source can be directed onto a component 7 as a circularly polarized radiation for processing.
  • a component 7 for processing, on both sides of the beam splitter 1 polarization rotator 2 ', here formed as ⁇ / 4 plates arranged.
  • the circularly polarized radiation is linearly polarized, so that the radiation has a polarization direction for which the beam splitter 1 is transparent.
  • the transmitted radiation is again circularly polarized and directed to the processing area.
  • Radiation reflected back from there is linearly polarized again with the ⁇ / 4 plate 2 'arranged here below in such a way that it is emitted from the beam splitter 1 in the direction of the reflective element 4 can be reflected.
  • the reflective element 4 is oriented in this way in the form not shown here and possibly also embodied as a focusing mirror, the back-reflected radiation can be directed from the side as a second additional beam onto the processing area.
  • the reflective element 4 can also be pivotable about at least one axis so that it can represent a scanner mirror.
  • the example shown in FIG. 4 is formed with two beam splitters 1 and 1 '.
  • the radiation reflected for the second time by the workpiece is rotated by 90 ° with respect to the radiation reflected for the first time, so that it can pass through the beam splitter 1.
  • a second beam splitter (2) is arranged, which reflects this radiation from the beam path.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bearbeitung von Bauteilen (7) mit Strahlung eines Faser-, Scheiben- oder Stablasers. Aufgabe der Erfindung ist es, Verbesserungen beim Einsatz von Vorrichtungen mit Fase-roder Scheibenlasern bei der Bearbeitung von Bauteilen zu erreichen, bei denen die jeweilige Laserlichtguelle vor zurück reflektierter Strahlung geschützt und die Effektivität beim Einsatz erhöht werden soll. Eine erfindungsgemäße Vorrichtung ist dabei so ausgebildet, dass von einer Faser- oder Scheibenlaserlichtquelle emittierte Strahlung auf einen Strahlteiler (1) gerichtet ist, der für auf einen Bearbeitungsbereich eines Bauteils (7) gerichtete Strahlung transparent und für vom Bearbeitungsbereich zurück reflektierte Strahlung reflektierend ist. Dabei die durch den Strahlteiler (1) transmittierte Strahlung durch einen Polarisationsdreher (2) in ihrer Polarisationsrichtung um einen vorgebbaren Winkelbetrag drehbar und so auf den Bearbeitungsbereich des Bauteils (7) gerichtet ist und die vom Bearbeitungsbereich reflektierte Strahlung in ihrer. Polarisationsrichtung mit dem Polarisationsdreher (2) so gedreht ist, dass sie mittels des Strahlteilers (1) aus dem Strahlengang ausgekoppelt wird und auf mindestens ein reflektierendes optisches Element (4) auftrifft.

Description

Vorrichtung und Verfahren zur Bearbeitung von Bauteilen
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bearbeitung von Bauteilen mit Strahlung eines Faser-, Scheiben- oder Stablasers. Die Bearbeitung kann bei den verschiedenen bekannten Technologien, wie z.B. Schneiden, Schweißen oder auch für eine Modifizierung von Werkstoffen (z.B. Härten) sowie dem Bohren, Abtragen, Beschichten und Umschmelzen eingesetzt werden.
Seit ca. zwei Jahren sind Hochleistungs- Faserlasersysteme und Scheibenlaser auf dem Markt erhältlich, welche eine bisher nicht gekannte hohe Strahlqualität besitzen. Damit sind Faserlaser außerordentlich gut zur Laser-Materialbearbeitung geeignet. Beim Einsatz eines Faserlasers hat sich jedoch herausgestellt, dass dieser besonders gegen rückreflektierte Strahlung empfindlich ist. Dies ist darauf zurückzuführen, dass der „Auskoppelspiegel" des Laserresonators nur eine sehr geringe Reflexion, dafür aber eine sehr hohe Transmission besitzt. Hierdurch unterscheidet sich der Faserlaser nennenswert von anderen Festkörperlasern wie dem Scheibenlaser oder Nd:YAG-Stablaser.
Bei der Bearbeitung von Metallen hat die Strahlung in der Regel eine recht hohe Reflexion am Werkstück, wodurch ein nennenswerter Anteil (10 - 90 %) in den Laser zurückreflektiert werden kann. Die damit auftretenden hohen Leistungsdichten können zur Zerstörung des Lasers oder einer Übertragungsfaser führen. Aus diesem Grund erscheint eine Rückwirkungssperre zwingend erforderlich.
So ist es aus JP 60158993 A und JP 61232077 A für allgemeine Laserquellen bekannt, von einem Bauteil zurück reflektierte Strahlung mittels eines Strahlteilers auf einen Absorber zu richten. Die zurück reflektierte Strahlung wird dadurch ausgekoppelt und unschädlich gemacht. Sie stellt aber einen verlorenen Anteil an nutzbarer Laserleistung dar.
Bei der Bearbeitung ist es aber auch häufig gewünscht gezielt polarisierte Strahlung einzusetzen. Die hierfür eingesetzten optischen Elemente (Polarisationsdreher) führen aber zu Verlusten, die bei der Bearbeitung nicht genutzt werden können und dadurch der Wirkungsgrad und die Effizienz negativ beeinflusst wird .
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, Verbesserungen beim Einsatz von Vorrichtungen mit Faser- oder Scheibenlasern bei der Bearbeitung von Bauteilen zu erreichen, bei denen die jeweilige Laserlichtquelle vor zurück reflektierter Strahlung geschützt und die Effektivität beim Einsatz erhöht werden soll.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einer Vorrichtung, die die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist und einem Verfahren nach Anspruch , gelöst.
Dabei soll für die Bearbeitung von Bauteilen oder Werkstücken die Strahlung von Faser- oder Scheibenlasern auf einen Bearbeitungsbereich gerichtet werden. Dies kann mit aus einer Faser- oder Scheibenlaser- lichtquelle emittierter beliebig bzw. unpolarisierter Strahlung erfolgen.
Bei der Erfindung ist im Strahlengang der auf einen Bearbeitungsbereich gerichteten Laserstrahlung ein optisches Element angeordnet, das für vom Scheibenoder Faserlaser emittierte Strahlungsrichtung in einer Richtung transparent und für vom Bauteil zurück reflektierte Strahlung reflektierend ist.
Die durch den Strahlteiler transmittierte Strahlung trifft auf einen Polarisationsdreher und wird so mit ihrer Polarisationsrichtung um einen vorgegebenen Winkelbetrag gedreht. Diese Strahlung wird auf den jeweiligen Bearbeitungsbereich eines Bauteils gerich- tet. Sie kann vorab mittels eines geeigneten optischen Elements fokussiert werden.
Vom Bearbeitungsbereich eines Bauteils zurück reflektierte Strahlung wird ebenfalls mit dem Polarisationsdreher beeinflusst und weist dann eine Polarisationsrichtung auf, so dass sie vom Strahlteiler aus dem Strahlengang bzw. der optischen Achse ausgelenkt und auf ein reflektierendes Element gerichtet wird.
Mit dem reflektierenden Element ist es möglich, die zurück reflektierte Strahlung einer weiteren Nutzung zuzuführen.
Günstig ist es, das reflektierende Element so anzuordnen und auszurichten, dass diese Strahlung den gleichen Weg wieder zurücklegt, also vom reflektierenden Element über den Strahlteiler durch den Polarisationsdreher wieder auf den Bearbeitungsbereich, gemeinsam mit einem „Hauptstrahl" auftrifft.
Es kann bei der Erfindung ein Polarisationsdreher eingesetzt werden, mit dem die Polarisationsrichtung um 45° gedreht wird. Er soll im Strahlengang der transmittierten Strahlung angeordnet sein.
Geeignete Polarisationsdreher sind beispielsweise Fa- raday-Rotatoren oder λ/4-Platten.
Wie bereits angedeutet kann in unterschiedlicher Form polarisierte Strahlung eingesetzt werden. Für zirkulär polarisierte Strahlung kann diese mit einem PoIa- risationsdreher (λ/4-Platte) linear polarisiert, dann durch einen Strahlteiler und einen weiteren Polarisationsdreher wieder als zirkulär polarisierte Strahlung auf den Bearbeitungsbereich eines Bauteils gerichtet werden.
Die von dort zurück reflektierte Strahlung wird mit dem selben Polarisationsdreher wieder linear polarisiert, bevor sie den Strahlteiler erreicht. Sie ist dann so polarisiert, dass dieser die zurück reflektierte Strahlung in Transmissionsrichtung sperrt, aus dem Strahlengang auskoppelt und in Richtung auf das reflektierende Element reflektiert.
Der Strahlungsanteil, der vom Werkstück zum zweiten Mal reflektiert wird, ist um 90° in der Polarisationsrichtung gedreht, so dass er durch den Strahlteiler nicht mehr aus dem Strahlengang ausgeblendet werden kann. Dieser durch die zweifache Absorption deutlich geschwächte Anteil wird in den Laser zurückreflektiert.
Die Erfindung kann dadurch erweitert werden, dass ein zweiter Strahlteiler eingesetzt wird. Dieser kann im Strahlengang, ausgehend von der Laserlichtquelle vor dem ersten Strahlteiler angeordnet sein. Mit ihm ist es möglich, den erwähnten Anteil vom Bearbeitungsbereich zurück reflektierter Strahlung aus dem Strahlengang auszulenken. Allerdings ist zwischen beide Strahlteiler noch ein die Polarisationsrichtung um 45° drehendes Element, z. B. ein Faraday-Rotator, anzuordnen. Dieser Teil der reflektierten Strahlung kann auf ein absorbierendes Element gerichtet werden. Es besteht aber auch die Möglichkeit diesen Teil der reflektierten Strahlung allein oder zusätzlich auf einen optischen Detektor zu richten.
Mit einem optischen Detektor kann die Intensität dieses Strahlungsanteils bestimmt und für eine Steuerung oder Regelung der Bearbeitung genutzt werden. Hierzu kann er an eine elektronische Steuerung angeschlossen sein. So lässt sich beispielsweise die Leistung der Laserlichtquelle anpassen.
Nachfolgend soll die Erfindung beispielhaft näher erläutert werden.
Dabei zeigen:
Figur 1 in schematischer Darstellung ein erstes Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung;
Figur 2 ein Beispiel für zirkulär polarisierte Strahlung;
Figur 3 ein weiteres Beispiel für eine Bearbeitung mit zirkulär polarisierter Strahlung und
Figur 4 ein Beispiel mit zwei Strahlteilern.
In Figur 1 ist ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung gezeigt, bei der von einer nicht dargestellten Laserlichtquelle, also einem Faser- oder Scheibenlaser emittierte Strahlung durch einen Strahlteiler 1 gerichtet und die Polarisationsrichtung um 45° mit dem Polarisationsdreher 2 gedreht wird. In dieser Form trifft sie fokussiert durch das optische Element 3 auf den Bearbeitungsbereich eines Bauteils 7 auf.
Von der Oberfläche des Bearbeitungsbereichs zurück reflektierte Strahlung legt den Weg bis zum Strahlteiler 1 wieder zurück, wobei die Polarisationsrichtung mit dem Polarisationsdreher 2 wiederum um 45° gedreht wird. Dadurch kann sie den Strahlteiler 1 nicht mehr passieren und wird stattdessen vom Strahlteiler 1 hier um 90° reflektiert und trifft so auf das reflektierende Element 4 auf. Dieses ist hier mit seiner ebenen Fläche orthogonal zum Einfallswinkel der reflektierten Strahlung ausgerichtet und wird dadurch wieder zurück zum Strahlteiler 1 und von diesem zurück auf den Bearbeitungsbereich des Bauteils 7 reflektiert und kann dadurch für eine Bearbeitung wieder genutzt werden, was zu einem zusätzlich wieder nutzbarem Anteil von bis zu ca. 95 % führt, der bei herkömmlichen Lösungen eigentlich verloren ist.
Bei diesem Beispiel ist der Polarisationsdreher 2 ein Farraday-Rotator .
Mit dem Beispiel gemäß Figur 2 soll verdeutlicht werden, dass auch zirkuläre polarisierte Strahlung von einer Laserlichtquelle eingesetzt werden kann. Dabei ist vor dem Strahlteiler 1 ein weiterer Polarisationsdreher 2', hier eine λ/4-Platte angeordnet. Die dadurch linear polarisierte Strahlung ist mit ihrer Polarisationsrichtung so ausgerichtet, dass der Strahlteiler 1 für sie durchlässig ist.
Im Anschluss an den Strahlteiler 1 ist ein weiterer Polarisationsdreher 2 angeordnet, mit dem die Polarisationsrichtung wieder um 45° gedreht wird. Für vom Bearbeitungsbereich des Bauteils 7 zurück reflektierte Strahlung erfüllen der Polarisationsdreher 2 und der Strahlteiler 1 wieder die Funktionen, wie beim Beispiel nach Figur 1 bereits erläutert und sind daher entsprechend angeordnet und ausgebildet.
Bei dem in Figur 3 gezeigten Beispiel kann von einer Laserlichtquelle emittierte und zirkulär polarisierte Strahlung als wieder zirkulär polarisierte Strahlung für die Bearbeitung auf ein Bauteil 7 gerichtet werden. Hierzu sind beidseitig zum Strahlteiler 1 Polarisationsdreher 2' , hier als λ/4-Platten ausgebildet, angeordnet .
Mit der hier oben dargestellten λ/4-Platte 2' wird die zirkulär polarisierte Strahlung linear polarisiert, so dass die Strahlung eine Polarisationsrichtung aufweist für die der Strahlteiler 1 transparent ist. Mit dem unterhalb des Strahlteilers 1 angeordnete λ/4-Platte 2' wird die transmittierte Strahlung wieder zirkulär polarisiert und so auf den Bearbeitungsbereich gerichtet.
Von dort zurück reflektierte Strahlung wird mit der hier unten angeordneten λ/4-Platte 2' wieder linear polarisiert und zwar so, dass sie vom Strahlteiler 1 in Richtung auf das reflektierende Element 4 reflektiert werden kann.
Es besteht dabei auch die Möglichkeit diese Strahlung auf dem gleichen Weg zurück wieder auf den Bearbeitungsbereich zu richten.
Ist das reflektierende Element 4 in hier nicht dargestellter Form so ausgerichtet und ggf. auch als Fo- kussierspiegel ausgebildet, kann die zurück reflektierte Strahlung von der Seite als zweiter zusätzlicher Strahl auf den Bearbeitungsbereich gerichtet werden. In diesem Fall kann das reflektierende Element 4 auch um mindestens eine Achse verschwenkbar sein, so dass es einen Scanner-Spiegel darstellen kann.
Das in Figur 4 gezeigte Beispiel ist mit zwei Strahlteilern 1 und 1' ausgebildet. Die zum zweiten Mal vom Werkstück reflektierte Strahlung ist gegenüber der zum ersten Mal reflektierten Strahlung um 90° gedreht, so dass sie den Strahlteiler 1 passieren kann. Aus diesem Grund ist ein zweiter Strahlteiler (2) angeordnet, der diese Strahlung aus dem Strahlengang reflektiert. Allerdings ist es erforderlich, zwischen beide Strahlteiler einen Phasendreher (45°) anzuordnen und den Strahlteiler 1 ebenfalls um 45° zu drehen.

Claims

Patentansprüche
1. Vorrichtung zur Bearbeitung von Bauteilen, bei der von einer Faser- oder Scheibenlaserlicht- quelle emittierte Strahlung auf einen Strahlteiler (1) gerichtet ist, der für auf einen Bearbeitungsbereich eines Bauteils (7) gerichtete Strahlung transparent und für vom Bearbeitungsbereich zurück reflektierte Strahlung reflektierend ist, die durch den Strahlteiler (1) trans- mittierte Strahlung durch einen Polarisationsdreher (2) in ihrer Polarisationsrichtung um einen vorgebbaren Winkelbetrag drehbar und so auf den Bearbeitungsbereich des Bauteils (7) gerichtet ist; und die vom Bearbeitungsbereich reflektierte Strahlung in ihrer Polarisationsrichtung mit dem Polarisationsdreher (2) so gedreht ist, dass sie mittels des Strahlteilers (1) aus dem Strahlengang ausgekoppelt wird und auf mindestens ein reflektierendes optisches Element (4) auftrifft.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das reflektierende optische Element (4) so angeordnet und ausgerichtet ist, dass die Strahlung vom Strahlteiler (1) auf den Bearbeitungsbereich zurück reflektiert wird.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein Polarisationsdreher (2) , der die Polarisationsrichtung um 45° dreht, im Strahlengang der transmittierten Strahlung angeordnet ist.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mit einem Polarisationsdreher (2' ) oder einer λ/4- Phasenverschiebung zirkulär polarisierte Strahlung der Laserlichtquelle linear polarisiert durch den Strahlteiler (1) geführt und mit einem zweiten Polarisationsdreher (2) die Polarisationsrichtung der Strahlung um 45° gedreht und auf den Bearbeitungsbereich gerichtet ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der/die Polarisationsdreher (2, 2') ein oder mehrere Fa- raday-Rotator (en) ist/sind.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein zweiter Strahlteiler (1') im Strahlengang der von der Laserlichtquelle emittierten Strahlung angeordnet ist, mit dem die zum zweiten Mal vom Bearbeitungsbereich zurück reflektierte Strahlung aus dem Strahlengang herausreflektiert und auf ein absorbierendes Element (8) und/oder einen optischen Detektor gerichtet wird.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der optische Detektor an eine Steuerung der Laserlichtquelle angeschlossen ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den beiden Strahlteilern (1, 1') ein weiterer Polarisationsdreher (3) angeordnet ist.
9. Verfahren zur Bearbeitung von Bauteilen mit einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, bei dem Strahlung eines Faser- oder Scheiben- lasers auf einen Strahlteiler (1) gerichtet wird, durch den Strahlteiler (1) transmittiert und die transmittierte Strahlung mit einem Polarisationsdreher (2) gedreht und auf einen Bearbeitungsbereich eines Bauteils (7) gerichtet wird; außerdem vom Bearbeitungsbereich zurück reflektierte Strahlung mit dem Polarisationsdreher (2) in ihrer Polarisationsrichtung so gedreht wird, dass sie vom Strahlteiler (1) aus dem Strahlengang der transmittierten Strahlung ausgekoppelt und auf ein reflektierendes Element (4) reflektiert wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass vom Bearbeitungsbereich rückreflektierte Strahlung vom Strahlteiler (1) auf ein die Strahlung reflektierendes Element (4) gerichtet wird, dass vom reflektierenden Element (4) die Strahlung auf den Strahlteiler (1) und von dort wieder auf den Bearbeitungsbereich gerichtet wird.
11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlung mittels eines Polarisationsdrehers (2' ) als zirkulär polarisierte Strahlung auf den Bearbeitungsbereich gerichtet wird.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass emittierte zirkulär polarisierte Strahlung mit einem Polarisationsdreher (2' ) linear polarisiert und durch einen Strahlteiler (1) und einen weiteren Polarisationsdreher (2' ) als zirkulär polarisierte Strahlung auf den Bearbeitungsbereich gerichtet wird.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass ein zweiter Strahlteiler (1') im Strahlengang der von der Laserlichtquelle emittierten Strahlung angeordnet ist, mit dem die zum zweiten Mal vom Bearbeitungsbereich zurück reflektierte Strahlung aus dem Strahlengang herausreflektiert und auf ein absorbierendes Element (8) und/oder einen optischen Detektor gerichtet wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass mittels eines optischen Detektors anstelle eines Absorbers die Laserlichtquelle gesteuert und/oder der Bearbeitungsprozess (Schweißen, Schneiden, Bohren, etc.) geregelt wird.
PCT/DE2008/000581 2007-04-03 2008-04-01 Vorrichtung und verfahren zur laserbearbeitung von bauteilen mit einer faser-oder scheibenlaserlichtquelle WO2008119340A2 (de)

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