WO2008104516A1 - Abbildungsvorrichtung mit auswechselbaren blenden sowie verfahren hierzu - Google Patents

Abbildungsvorrichtung mit auswechselbaren blenden sowie verfahren hierzu Download PDF

Info

Publication number
WO2008104516A1
WO2008104516A1 PCT/EP2008/052210 EP2008052210W WO2008104516A1 WO 2008104516 A1 WO2008104516 A1 WO 2008104516A1 EP 2008052210 W EP2008052210 W EP 2008052210W WO 2008104516 A1 WO2008104516 A1 WO 2008104516A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
housing
transfer device
imaging device
receptacle
aperture
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/EP2008/052210
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Hermann Bieg
Yim-Bun Patrick Kwan
Uy-Liem Nguyen
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to JP2009551180A priority Critical patent/JP5291002B2/ja
Priority to KR1020097019100A priority patent/KR101517253B1/ko
Publication of WO2008104516A1 publication Critical patent/WO2008104516A1/de
Priority to US12/549,541 priority patent/US20100066990A1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
    • G03F7/70825—Mounting of individual elements, e.g. mounts, holders or supports
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70058—Mask illumination systems
    • G03F7/70091—Illumination settings, i.e. intensity distribution in the pupil plane or angular distribution in the field plane; On-axis or off-axis settings, e.g. annular, dipole or quadrupole settings; Partial coherence control, i.e. sigma or numerical aperture [NA]
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70216—Mask projection systems
    • G03F7/7025—Size or form of projection system aperture, e.g. aperture stops, diaphragms or pupil obscuration; Control thereof
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70216—Mask projection systems
    • G03F7/70275—Multiple projection paths, e.g. array of projection systems, microlens projection systems or tandem projection systems
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus

Definitions

  • the present invention relates to an imaging device, in particular an EUV (extreme ultraviolet) Sepjustichtungstrom for microlithography with at least one housing and at least one aperture, which is interchangeably accommodated in the housing and at least one transfer device with at least one receptacle on or where the shutter can be releasably arranged to be moved into or out of the lens compartment.
  • EUV extreme ultraviolet
  • the present invention relates to a method for operating a corresponding imaging device or for exchangeable insertion and / or replacement of diaphragms in an imaging device.
  • a Blcndcn functionalvortechnische for an EUVL objective for microlithography in which a feed device from a diaphragm magazine a correspondingly selected aperture can be inserted into the lens.
  • the feeder may consist of a single or double gripper, which can accommodate and move one or two diaphragms simultaneously.
  • the feeder passes in the lens space the corresponding aperture to a holding and lifting device, which holds the aperture during operation of the lens in the desired position, while the feeder is removed from the lens again.
  • the change speed can be increased by the Doppelgreifer in the feeder with two shots for corresponding apertures
  • the corresponding aperture changing device or a suitably equipped lens in terms of achievable change speed and efficiency is still capable of improvement.
  • the transfer device feeding device must first retract into the objective in order to take over the aperture located there from the holding and lifting device and to remove it from the objective. After placing the previously used aperture in a magazine, the
  • Transfer device record a new aperture and retract again into the lens. There, the aperture is transferred to the holding and lifting device, so that then the insertion device with the empty gripper is removed from the lens again.
  • the movements can be reduced to two movements, namely an insertion movement and an export movement, since the new diaphragm can be deposited by the two diaphragm holders on the gripper in a receptacle, while the second receptacle for the recording of the previously used aperture is kept free.
  • the gripper only has to retract once into the objective, where it takes over the previously used diaphragm from the holding and lifting device and subsequently transfers the new diaphragm from the second receptacle to the holding and lifting device. Only after the completed change the corresponding double gripper moves out of the lens, so that two movements can be saved.
  • the corresponding transfer operations from the feeder to the holding and lifting device are required.
  • EP 0 969 327 A2 an illumination system for a microlithography system is known in which different diaphragms can be introduced into the beam path.
  • a rotatable or displaceable disc is used, on which different diaphragm arrangements are provided. By moving or rotating the corresponding disc, the different diaphragms can be introduced into the beam path.
  • the device should be designed in such a way that as few impurities are introduced through the device and its operation in the housing of the imaging device, which is particularly important for operated under vacuum EUV projection exposure systems of importance.
  • a corresponding method for exchanging and changing diaphragms should be specified. Both the device and its operation or the corresponding method should be easy to carry out and the device should also be easy to manufacture in particular.
  • the invention is based on the recognition that by integrating the functions holding and / or positioning in the housing of an imaging device in the feed or transfer device a significant efficiency gain can be achieved by, on the one hand to an additional holding and lifting device as in the device according to WO2005 / 050 322 Al can be dispensed with and beyond the transfer operations from the supply or transfer device can be saved on the holding and lifting device.
  • an additional holding and lifting device as in the device according to WO2005 / 050 322 Al can be dispensed with and beyond the transfer operations from the supply or transfer device can be saved on the holding and lifting device.
  • even with a single-gripper or with a single receptacle for a diaphragm equipped transfer device greatly restrict the transport operations.
  • a transfer device with a single recording for a panel only two transport operations for the replacement of the panel are required.
  • imaging device is understood to mean both the illumination system and the projection objective of a projection exposure apparatus, and the imaging device may concern only a part of an illumination system or a projection objective in the form of an assembly of optical elements.
  • object is used to be non-limiting to a particular type of imaging device, but rather synonymous with any type of optical element assembly.
  • lens space and “housing an imaging device” are used synonymous, wherein the lens space means the closed area in which a group of optical elements is arranged or the housing encloses a corresponding space in whole or in part.
  • any transport or movement means to understand which makes it possible to move a releasably arranged aperture in the lens space of a lens or in a housing of an imaging device and to remove it again.
  • Under recording is thus any device or device to understand that allows a detachable recording or holding a panel.
  • the Aperture may be formed as a one-piece or multi-part aperture and in particular as a diaphragm unit, for example with a socket of the like.
  • different aperture such as pinhole, ring diaphragms, etc. can be used.
  • the diaphragm change device is designed in such a way that the function of holding and / or positioning the diaphragm in the imaging device is integrated into the transfer device for transporting the diaphragm into and out of the imaging device another aspect of the present invention, for which protection is sought independently and in combination with the other aspects of the invention, the transfer device is designed so stiff that precise positioning of the diaphragm in the imaging device is possible.
  • the transfer devices have a low rigidity, which is sufficiently dimensioned only for transport.
  • a transfer device is proposed which has sufficient rigidity for holding and positioning the shutter in the imaging device. This rigidity is given if the transfer device and / or at least the recording has a natural frequency of> 100 Hz, preferably> 300 Hz.
  • Corresponding imaging devices allow aperture change times ⁇ 15 s, in particular ⁇ 10 s and preferably ⁇ 5 s.
  • aperture change times ⁇ 15 s in particular ⁇ 10 s and preferably ⁇ 5 s.
  • the transfer device can not only a recording, but several shots, in particular two shots, thereby saving further transport operations and shorten the aperture change times on.
  • the transfer device may be designed so that a recording with the currently used aperture is arranged in the housing, while the other or the other recordings are outside the housing, so that there is already a change of aperture or an arrangement the aperture in the recording can be made.
  • the imaging device and the diaphragm changing device such that two or more receptacles are provided in the housing, wherein a receptacle with the currently used diaphragm is located in the beam path, while the second or further recording is out of the beam path with another, possibly often used aperture waiting to be introduced by a brief movement in the beam path.
  • the transfer device can accomplish the transport of the panels in and out of the housing by a variety of types of movement.
  • the transfer device and / or the images associated therewith can perform rotational or pivotal movements and / or linear translational movements.
  • a combination of different types of movement for example, a combination of a linear movement with a rotary or pivoting movement offers a particularly large variability.
  • the transfer device and / or the images associated with it can perform any movements in space, in particular linear movements along the orthogonal spatial axes or in a plane and a direction perpendicular to this.
  • the movement can be used in an x-y plane for extending and retracting from the imaging device, while a vertical movement in the z direction for exact positioning and / or fixation of the diaphragm can serve in the imaging device.
  • the one or more recordings may be fixed or detachably connected to the rest of the transfer device.
  • a coupling point with the remainder of the transfer device can be provided, for example, in such a way that the receptacle with the aperture arranged thereon can be separated from the rest of the transfer device in the region of the housing, so that during use of the imaging device no Vibrations or vibrations from the rest of the transfer device can be transferred to the imaging device.
  • an actuating element may be provided which can be coupled to the receptacle and moved in the rail. After the positioning of the recording with the aperture, the actuator can be decoupled from the recording, but remain in the housing.
  • the transfer means may comprise any suitable mechanism by which movement of the shutter in the housing and out of the housing of the imaging device is possible.
  • actuating mechanisms or transmissions may in particular comprise parallelogram guides, telescopic guides, rail guides, roller guides and / or magnet holders which are suitable for use in the transfer device according to the invention due to the achievable rigidity (eg parallelogram guidance) or due to the favorable influenceability for the compensation of positioning errors (eg B. magnetic holder) are particularly favorable.
  • one or more, acting in particular spatial directions, stop elements for cooperation with the or the recordings or the transfer device may be provided so that by a corresponding approach to the stops or pinching the recordings and / or transfer device against the stops an exact, defined positioning and / or fixation of the aperture in the imaging device is possible.
  • the attacks can be designed in a variety of ways, preferably a kinematic overdetermination, d. H. a determination beyond the degrees of freedom of movement is avoided. This ensures that malpositions and / or deformations of the diaphragms are avoided by force effects on the diaphragms, which can result from a kinematically overdetermined storage.
  • the diaphragm can be arranged with an accuracy so that the deviation from the desired position, so for example the distance of the center or other reference point of a diaphragm from the intended position ⁇ 1 mm, preferably ⁇ 500 ⁇ m, in particular ⁇ 250 ⁇ m and most preferably ⁇ 100 ⁇ m.
  • the illumination system and / or the projection lens is designed such that a deviation of a diaphragm from the desired position in the range ⁇ 1 mm, preferably ⁇ 500 .mu.m, in particular ⁇ 250 .mu.m and most preferably ⁇ 100 .mu.m is compensated or is tolerated.
  • the tolerance can be achieved that the design of the projection exposure system or the components is already set so that such minor deviations are automatically tolerated by the beam path.
  • a plurality of, in particular two and preferably mirror-symmetrically arranged to the housing transfer means may be provided. This allows, for example, a loading and unloading of the recording of a transfer device, while the recording of the other transfer device is arranged in the housing with the currently used aperture.
  • vibrations or vibrations caused by the loading and unloading of one transfer device are not transferred to the other transfer device, which is provided separately, or a decoupling is simpler and better possible.
  • the diaphragm changing device according to the invention or a corresponding imaging device can provide at least one, two or more magazines for keeping a large number of diaphragms, wherein the diaphragms or diaphragm arrangements can be stored individually in the magazine or magazines or already on a plurality of exposures in the case of detachable recordings.
  • the receptacles of the transfer device can be designed so that they can receive the panels directly from the magazine and / or store there.
  • the magazines are movable, in particular linear in the different, in particular orthogonal spatial directions are designed to be movable.
  • the magazines can be arranged, for example on the recordings so that by lowering the magazines arranged in the subjects screens come to rest on the recordings, where they are stored for example by appropriate centering or the like in an exact position.
  • separate transfer devices such as, for example, robot arms or the like, can be provided which make positioning of the blanks from the magazines on or at the receptacles of the transfer device and vice versa.
  • the diaphragm changing device is preferably used in EUV
  • Projection exposure systems can be used, the arranged outside the housing components, such as transfer device and / or magazines and / or transfer devices and the like may be provided in a housing disposed on the vacuum chamber, so that the prevailing vacuum in the housing is not affected by a change process becomes.
  • closure elements and / or lock devices can be provided on the imaging device or on the housing, which can close or seal the required opening for insertion and removal of the diaphragms into the housing.
  • the atmosphere in the housing can be largely maintained and
  • these devices provide protection against the ingress of contaminants such as particles and the like.
  • An imaging device according to the invention or a diaphragm changing device provided thereon can now be operated in such a way that a diaphragm is mounted on or on the receptacle of a transfer device in a first step, in a second step by means of the transfer device the housing of the imaging device is moved and the recording is fixed with the diaphragm in a third step in the housing. In this state, the imaging device can be operated with the shutter provided there.
  • the fixation of the aperture solved the aperture by means of the transfer device, which can also already be used to solve the fixation , removed in a fifth step from the housing and in a sixth step, then the panel can be removed again from the recording. Immediately the recording is again ready for the arrangement of a new aperture, so that the corresponding process steps can be run through again.
  • the transfer device for carrying out the method has multiple recordings, in particular two recordings, different steps of the method can be performed on the two recordings simultaneously.
  • the execution of the other diaphragm can be effected.
  • This can be achieved, for example, by means of a rotatable transfer device in the form of a carousel, in which the other diaphragm is automatically rotated into the image projection in a second image when the one diaphragm is unscrewed from the imaging device.
  • Figure 1 is a side view of a part of a first embodiment of an objective according to the invention
  • Figure 2 is a plan view of a second embodiment of an inventive
  • Figure 3 is a plan view of a third embodiment of an objective according to the invention.
  • Figure 4 is a plan view of a fourth embodiment of an objective according to the invention.
  • Figure 5 is a plan view of a fifth embodiment of an inventive
  • Figure 6 is a plan view of a portion of the transfer device of Figure 1;
  • FIG. 9 shows in a side view an embodiment of a transfer device with a telescopic guide;
  • Figure 10 in the diagrams a) and b) a side view b) and sectional view a) a transfer device with a roller guide; and in
  • FIG. 11 shows in the partial images a) and b) a side view b) and a sectional view a) of a transfer device with a magnetic bearing.
  • the objective space 1 shows a purely schematic representation of part of an objective space 1 of an objective according to the invention with a replaceable aperture 2.
  • the objective space 1 is surrounded by unspecified walls, for example a cylindrical tube-like sleeve, which has a slot-shaped opening 13, through which a diaphragm 2 can be inserted into the lens space 1 and removed therefrom.
  • the aperture 2 is in one Mounted 31 receiving a rotatable carousel 3, which serves as a transfer device for insertion and removal of the aperture 2 in the objective space 1 and out of this.
  • stops 7 are provided which can fix the diaphragm 2 in the objective space 1.
  • the stops 7 are for this purpose, as shown by the double arrows 71, designed to be movable, so that they can be moved by a movement along the optical axis (corresponding to the z-axis) of the lens to get into abutment with the diaphragm 2.
  • the panel 2 can be clearly fixed in position.
  • the diaphragm 2 alone by their gravity on the receptacle 31 and provided there centering devices (not shown) of the carousel 3 to rest and thus provide no additional fixing device in the z-direction.
  • stops can be provided for positioning or fixing in the x and y direction, which interact directly with the panel 2 and / or the carousel 3.
  • Such attacks or fixation devices can also be realized by the drive of the carousel 3, z. B. by appropriate brakes. It is essential that, according to the basic idea of the present invention, the diaphragm 2 is fixed on the receptacle 31 of the carousel 3 in the objective space 1 and the receptacle 31 of the carousel 3 remains in the objective space 1, as long as the diaphragm 2 is inserted in the objective ,
  • the carousel 3 has a vertical axis of rotation 33, which allows a pivoting or rotation of the receptacle 31 according to the arrow 38.
  • the rotation axis 33 of the receptacle 31 is a second receptacle 32 opposite, as can be seen also from the figure 6, which shows a plan view of the carousel 3.
  • a further aperture can be arranged in the receptacle 32.
  • the carousel 3 By pivoting or rotating the carousel 3 about the axis of rotation 33 according to the arrow 38, the same be timed with the pivoting of the receptacle 31 in the lens space 1, the receptacle 32 are swung out or vice versa. Accordingly, one of the two receptacles 31 is arranged outside the objective space 1, provided that the other receptacle is arranged in the objective space 1. This makes it possible to equip the recording, which is arranged outside of the objective space 1, during use of the lens using a first aperture in the first recording with a second aperture or to remove them, so replace.
  • the receivers 31 and 32 are connected to the rotational axis 33 via vibration dampers 34 and 35 on the carousel 3.
  • vibration damper 34 and 35 causes vibrations that, for example, by the loading of the receptacle 32 with a diaphragm 2 is not transmitted to the opposite receptacle 31, which is located in the lens interior.
  • vibration damper 34 35 and coupling elements (not shown) could be provided for separating the receptacles 31, 32 from the rest of the carousel 3.
  • the placement of the receptacles 31 and 32 can be effected by a separate transfer device 6, which can be designed, for example, as a gripping or robotic arm with corresponding gripping tools.
  • the transfer device 6 can aperture 2, which are stored in a magazine 4, grab, remove from this and put in or on the receptacle 32 or 31 and vice versa.
  • the magazine 4 can preferably be displaced in each of the orthogonal spatial directions x, y and z, so that it is moved in the direction of the carousel 3, for example, such that the receptacle 32 comes to lie below a diaphragm 2 .
  • the corresponding panel 2 can be transferred by simply placing them in the receptacle 32 on this.
  • the magazine 4 in the vicinity of the carousel 3, that by the pivoting or rotary movement of the carousel 3 about the axis 33, the recording comes directly into the magazine below a panel 2 to lie.
  • a vacuum chamber 5 is provided adjacent to the lens space 1, which receives the magazine 4 and the transfer device in the form of the carousel 3 and the transfer device 6. This avoids that by changing the aperture with the opening of the exchange gap 13, the vacuum conditions in the lens chamber 1 are destroyed.
  • the gap 13 for exchanging the diaphragms 2 can be provided with a closure device which comprises two displaceable sleeves 11 and 12 which are displaceable along the objective axis in accordance with the double arrows 15 and 14 are designed. Accordingly, the slot 13 can be sealed to replace the panels in any height position of the receptacle 31 by the closure elements 11 and 12.
  • the mode of operation of the objective according to FIG. 1 is such that, depending on the desired imaging conditions of the objective 1, a corresponding aperture 2 can be introduced from the magazine 4 into the beam path of the objective or into the objective space 1.
  • an aperture 2 is transferred from the magazine 4 to the carousel 3 (transfer device) by means of the transfer device 6 or by direct transfer from the magazine 4 to the transfer device 3, wherein the aperture 2, for example, comes to rest on the receptacle 32.
  • the carousel 3 is rotated about the axis of rotation 33, at the same time the aperture 2 in the recording 31, which was previously arranged in the lens, is removed from the lens. If the aperture 2 was pressed in the receptacle 31 against the stops 7, before the rotary movement of the carousel 3, the fixation of the panel 2 must be solved by either the stops 7 corresponding to the double arrows 71, or the carousel 3 corresponding to the double arrow 37 is moved in the z-direction.
  • the assembly of the opposite receptacle 32 can take place simultaneously during the dissolution process of the fixation, without any impairment of the imaging quality of the objective due to vibrations or vibrations.
  • the new panel 2 is disposed on the receptacle 32 in the lens room 1, while the previously used aperture 2 is arranged outside of the lens space.
  • the newly introduced aperture 2 can be fixed again by appropriate approach against stops 7 in the lens space 1. At the same time a removal or replacement of the aperture can be made on the opposite receptacle.
  • FIG. 2 shows a further embodiment of an objective according to the invention with interchangeable diaphragms, wherein the figure 2 shows a plan view of an embodiment in which instead of a rotatable carousel, a transfer device 300 is realized in the form of a linearly movable sliding arrangement.
  • the transfer device 300 of the embodiment of FIG. 2 has a linear movement unit 330 in the form of a rail arrangement with a chain drive or a contactless linear motor, along which a receptacle 331 of the sliding arrangement can move linearly back and forth, as indicated by the arrow 336 is indicated.
  • the receptacle 331 may move between an objective space 100 and a magazine 400 in which a plurality of apertures are stacked.
  • the magazine 400 may, according to the illustrated arrow assemblies 442 and 443 transversely, in particular perpendicular to the rail assembly 330 and / or perpendicular to the image plane so that the apertures received in the magazine 400 can be placed by corresponding movements in the receptacle 331 of the transfer device 300.
  • stops 700 are provided in the objective space 100, which allow an exact positioning of the receptacle 331 and / or the apertures arranged thereon.
  • the stops 700 may, similar to the embodiment of Figure 1, the stops 7, be installed according to movable or fixed.
  • the stops 700 of the embodiment of Figures 2 and 7 of the embodiment of Figure 1 are preferably designed so that an exact positioning without a kinematic over-determination is possible. This means that the aperture or the corresponding recording is indeed positioned exactly and no
  • the operation of the embodiment of Figure 2 is as follows: First, the receptacle 331 is arranged via the transfer device 300 on the left side of the rail assembly 330 in the region of the magazine 400, so that by appropriate method and lowering of the magazine 400, a diaphragm. 2 in the recording 331 comes to rest. Subsequently, the receptacle 331 along the rail assembly 330 of the transfer device 300 is retracted into the objective space 100 by a linear translational movement until the receptacle 331 and / or the aperture 2 arranged thereon rest against the stops 700, which define their exact position. As a result, the aperture for the operation of the lens is fixed.
  • FIG. 3 shows an objective space 1000 and two magazines 4000 and 4001 arranged mirror-symmetrically with respect to the objective space 1000.
  • a transfer device 3000 with a rail arrangement 3030 along which a double receptacle with the receptacles 3031 and 3032 can move.
  • the double receptacles 3031, 3032 are connected to one another by a coupling element 3039, so that a synchronous movement of the receptacles 3031 and 3032 takes place.
  • a damping element 3040 is provided, which causes a vibration decoupling.
  • the receptacle 3032 in the region of the magazine 4001 can be fitted or unloaded by a corresponding movement of the magazine 4001 along the arrow arrangements 4042 and 4043 with an aperture, while at the same time the receptacle 3031 with a correspondingly arranged aperture in the objective space 1000 is provided.
  • the arrangement of the two receptacles 3031 and 3032 is moved with the coupling piece 3039 along the rail assembly 3030 according to the double arrow 3036, so that z. B. the receptacle 3031 in the region of the magazine 4000 and the receptacle 3032 in the region of the lens space 1000 is moved.
  • the aperture of the receptacle 3031 can then be removed in the area of the magazine 4000 or exchanged for a new one, while the aperture of the receptacle 3032 is available in the objective space 1000 for imaging with the objective.
  • stops 7000 are provided, which enable exact positioning of the diaphragm and / or the corresponding receptacles 3031 and 3032, respectively.
  • one of the receptacles 3031 and 3032 in the magazines 4000 and 4001 can be loaded and unloaded without the thus generated vibrations or vibrations to the corresponding other recording in the lens room 1000 is transmitted. This avoids that the imaging properties of the lens are affected.
  • loading and unloading of the receptacle arranged outside the objective space 1000 can also always take place at those times at which vibrations or vibrations are uncritical, for example when the fixation of the aperture in the objective space 1000 is released.
  • the embodiment of Figure 4 is similar to the embodiment of Figure 3, again with two magazines 4000 and 4001 are mirror-symmetrical next to the lens space 1000 are provided. Only the transfer device 3000 is replaced by two transfer devices 3300 and 3301 each having a receptacle 3331 or 3332, which can move along the double arrows 3336. Due to the separate arrangement of two transfer devices 3300 and 3301 can be dispensed with the damping elements, since the separation of a transmission of vibrations or vibrations can be largely avoided. In addition, the recordings 3331 and 3332 can be moved independently of one another, so that non-synchronous movements of the two recordings are also possible. However, this can also be achieved with the embodiment of FIG. 3, provided that the coupling of the receptacles is dispensed with.
  • FIG. 5 shows a fifth embodiment of an objective according to the invention, in which again a transfer device 30000 with two receptacles 30031 and 30032 is provided which are coupled together and can be moved along a rail assembly 30030 according to the double arrow 30036.
  • the two magazines are not arranged on both sides of the objective space 10000, but next to each other on one side of the objective space. Accordingly, the lens space 10,000 times larger, so that both recordings 30031 and 30032 can be arranged in the objective space 10000.
  • the receptacle 30032 only one of the two receptacles, in the embodiment shown, the receptacle 30032, arranged in the beam path 10001.
  • the objective space 10000 does not have to be left initially for a diaphragm change, since the second receptacle can be pushed into the beam path 10001 by moving the two coupled receptacles 30031 and 30032.
  • the receptacles 30031 and 30032 can be moved within the objective space 10000.
  • the coupled receptacles 30031 and 30032 are moved out of the lens space 10000, where they can be equipped in the magazine 40000 and 40001 simultaneously with new screens. Again, the magazines 40000 and 40001 can be moved in accordance with the arrow arrangements 40042 and 40043. This reduces the assembly time, due to the simultaneous placement of two receptacles 30031 and 30032 respectively.
  • FIG. 7 shows a projection exposure apparatus which can be operated with electromagnetic radiation from the extreme ultraviolet range (EUV) and in which the present invention can be used.
  • EUV extreme ultraviolet range
  • the projection exposure apparatus 200 of FIG. 7 has a light source 201 whose light is directed by means of an illumination system 202 onto a reticle 203 and impinges there in a homogeneous distribution at defined angles.
  • the reticle 203 has a structure to be imaged on a substrate 204.
  • the reticle 203 is arranged in the object plane of a projection objective 205, by means of which the imaging of the reticle 203 on the surface of the substrate 204 takes place.
  • the projection exposure apparatus of FIG. 7 is described in detail in DE 103 43 333 A1, which is hereby incorporated by reference in its entirety into the present application.
  • the present invention can now be realized both in the projection objective 205 and in the illumination system 202 and in particular in the pupil intermediate plane 207 of the partial objective 206.
  • Figures 8 to 11 show examples of movement mechanisms or gear, as they can be realized in transfer devices for the aperture change.
  • FIG. 8 shows a top view of the cross section of a housing 1 of a projection lens, in which a diaphragm 2 is exchangeably accommodated.
  • a parallelogram guide 50 is shown as part of a transfer device with the receptacle 51, as it is arranged with the receptacle 51 and the diaphragm 2 outside the housing 1 of the projection lens (partial image a) and as the parallelogram 50 the Recording 51 moves into the housing 1 of the projection lens.
  • a part of a vacuum wall 60 is shown, which is provided in addition to the housing 1 of the projection lens around the projection exposure apparatus or parts thereof in which the projection objective 1 is accommodated.
  • a closable opening 61 is provided there.
  • the parallelogram guide 50 has a total of four parallelogram rods which are connected to one another in such a manner that they can perform a shearing movement, so that the holding rod 52 on which the receptacle 51 is provided for the panel 2, can perform a linear movement.
  • FIG. 9 shows in a side view a further possibility of realizing an actuating mechanism for the transfer device.
  • a telescopic guide 150 is provided at one end of the receptacle 151 is provided for receiving the panel 2.
  • the telescopic guide comprises in the embodiment shown three telescopic arms 152 to 154, which are fastened to the receiving 151 opposite end with a mounting plate 155.
  • By telescoping the telescopic arms 152 to 154 and extending the telescopic arms 152 to 154 is also a linear movement of the receptacle 151 with the panel 2 for retraction and extension into the housing 1 of the projection lens possible.
  • an additional vacuum chamber wall 60 is provided with a corresponding closable and sealable opening for the transfer device 150 again.
  • a roller guide 250 having a roller holder 253, which may be fixedly disposed in the vacuum chamber wall 60.
  • a guide rod 252 is provided through a corresponding opening in the vacuum chamber wall.
  • a plurality of rolling or rolling elements between the roller holder 253 and the guide rod 252 may be provided to a low-friction and exact linear movement of the guide rod
  • a further embodiment of a movement or actuation mechanism for the transfer device is shown in the partial images a) and b) of FIG. 11.
  • a magnetic bearing or a linear motor is realized, with which the guide rod 352 is received in a magnet holder 353, which in turn may be disposed in the vacuum chamber wall 60, linearly displaceable.
  • the receptacle 351 is provided for the panel 2 to remove them into the housing 1 and from the housing 1 of the projection lens, as shown in the side view of the partial image b).
  • the partial image a) of FIG. 11 shows, in a cross section, the magnetic bearing or the linear motor 350 with the magnet holder 353, in which the guide rod 352 is accommodated.
  • a gleichpolige arrangement of magnets on the magnet holder 353 and the guide rod 352 these can be kept in contact with each other at a distance, so that in turn a linear movement is possible.
  • a driving force can additionally arise in the longitudinal direction of the guide rod 352.
  • the magnetic bearing or the drive with linear motor offers the possibility to make appropriate adjustment of the storage position of the diaphragm 2 by appropriate control of the magnets as actuators.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum wechselbaren Einbringen und/oder Austausch von Blenden in einer Abbildungsvorrichtung, insbesondere einer EUV-Abbildungsvorrichtung für die Mikrolithographie bzw. eine entsprechende Abbildungsvorrichtung mit einem Gehäuse (1) und mindestens einer Blende (2), welche austauschbar in dem Gehäuse aufgenommen ist, sowie mindestens einer Transfereinrichtung (3) mit mindestens einer Aufnahme (31, 32), auf oder an welcher die Blende lösbar angeordnet werden kann, um in das oder aus dem Gehäuse bewegt zu werden, wobei mindestens eine Aufnahme der Transfereinrichtung, auf oder an welcher die Blende lösbar angeordnet werden kann, als Element der Blendenhalterung zur Positionierung der Blende im Gehäuse ausgebildet ist.

Description

ABBILDUNGSVORRICHTUNG MIT AUSWECHSELBAREN BLENDEN SOWIE VERFAHREN HIERZU
[0001 ] HINTERGRUND DER ERFINDUNG
[0002] GEBIET DER ERFINDUNG
[0003] Die vorliegende Erfindung betrifft eine Abbildungsvorrichtung, insbesondere eine EUV (extreme ultra violett)-Projcktionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie mit mindestens einem Gehäuse und mindestens einer Blende, welche austauschbar in dem Gehäuse aufgenommen ist sowie mindestens eine Transfereinrichtung mit mindestes einer Aufnahme, auf oder an welcher die Blende lösbar angeordnet werden kann, um in den oder aus dem Objektivraum bewegt zu werden. Darüber hinaus betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfah- ren zum Betrieb einer entsprechenden Abbildungsvorrichtung bzw. zum wechselbaren Einbringen und/oder zum Austausch von Blenden in einer Abbildungsvorrichtung.
[0004] STAND DER TECHNIK
[0005] Aus der WO 2005/050 322 Al ist eine Blcndcnwechselvorrichtung für ein EUVL- Objektiv für die Mikrolithographie bekannt, bei welcher über eine Zuführeinrichtung aus einem Blendenmagazin eine entsprechend ausgewählte Blende in das Objektiv eingeführt werden kann. Die Zuführvorrichtung kann aus einem einfachen oder doppelt ausgeführten Greifer bestehen, welcher entsprechend eine oder gleichzeitig zwei Blenden aufnehmen und bewegen kann. Die Zuführeinrichtung übergibt im Objektivraum die entsprechende Blende an eine Halte- und Hebevorrichtung, welche die Blende während des Betriebs des Objektivs in der gewünschten Position hält, während die Zuführeinrichtung wieder aus dem Objektiv entfernt wird.
[0006] Obwohl durch die Doppelgreiferausbildung der Zuführeinrichtung mit zwei Aufnahmen für entsprechende Blenden die Wechselgeschwindigkeit erhöht werden kann, ist die entsprechende Blendenwechselvorrichtung bzw. ein entsprechend ausgestattetes Objektiv hinsichtlich der erzielbaren Wechselgeschwindigkeit und der Effizienz noch verbesserungsfähig. [0007] Bei der Ausführungsform der WO2005/050 322 Al mit lediglich einem Greifer muss die Transfereinrichtung (Zuführeinrichtung) zunächst in das Objektiv einfahren, um die dort befindliche Blende von der Halte- und Hebeeinrichtung zu übernehmen und aus dem Objektiv zu entfernen. Nach Ablegen der vorher verwendeten Blende in einem Magazin kann die
Transfereinrichtung eine neue Blende aufnehmen und wieder in das Objektiv einfahren. Dort wird die Blende an die Halte- und Hebeeinrichtung übergeben, so dass dann die Einführeinrichtung mit dem leeren Greifer wieder aus dem Objektiv entfernt wird. Damit ist bei einem Einfachgreifer viermal der Weg in und aus dem Objektiv für die Zuführeinrichtung zurückzu- legen. Dies erfordert nicht nur einen erheblichen Zeitaufwand, sondern birgt auch das Risiko, dass durch die bewegten Teile Partikel in das Objektiv eingeschleppt werden, was zu Kontaminationen führen kann.
[0008] Bei dem bereits angesprochenen Doppelgreifer können die Bewegungen auf zwei Be- wegungen, nämlich eine Einführbewegung und eine Ausfuhrbewegung, reduziert werden, da durch die zwei Blendenaufnahmen an dem Greifer in einer Aufnahme die neue Blende abgelegt sein kann, während die zweite Aufnahme für die Aufnahme der vorher verwendeten Blende freigehalten ist. Damit muss der Greifer lediglich einmal in das Objektiv einfahren, dort die bisher verwendete Blende von der Halte- und Hebevorrichtung übernehmen und an- schließend die neue Blende aus der zweiten Aufnahme an die Halte- und Hebevorrichtung übergeben. Erst nach dem vollzogenen Wechsel fährt der entsprechende Doppelgreifer aus dem Objektiv aus, so dass zwei Bewegungen eingespart werden können. Allerdings sind auch bei diesem Verfahren die entsprechenden Übergabevorgängen von der Zuführeinrichtung auf die Halte- und Hebeeinrichtung erforderlich.
[0009] Aus der EP 0 969 327 A2 ist ein Beleuchtungssystem für eine Mikrolithographie- Anlage bekannt, bei welchem verschiedene Blenden in den Strahlengang eingeführt werden können. Bei der entsprechenden Vorrichtung der EP 0 969 327 A2 wird eine drehbare oder verschiebbare Scheibe verwendet, aufweicher verschiedene Blendenanordnungen vorgesehen sind. Durch Verschieben oder Drehen der entsprechenden Scheibe können die unterschiedlichen Blenden in den Strahlengang eingebracht werden.
[0010] Diese Lösung erfordert zwar keinen Transfer einer Blende aus einem externen Magazin in den Objektivraum, allerdings ist dadurch auch die Variabilität stark eingeschränkt, da nur eine begrenzte Anzahl unterschiedlicher Blenden auf den entsprechenden Schreiben vorgesehen werden können. Außerdem erfordert eine derartige Anordnung einen sehr hohen Platzbedarf. Darüber hinaus ist die Wechselbarkeit der Blenden unbefriedigend.
[0011] OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
[0012] AUFGABE DER ERFINDUNG
[0013] Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Blendenwechseleinrichtung für eine Abbildungsvorrichtung bzw. eine entsprechend ausgestattete Abbildungsvorrichtung für die Mikrolithographie und insbesondere eine Abbildungsvorrichtung für die Verwendung von extrem ultra violettem Licht bereitzustellen, bei welcher ein schneller und effektiver Blendenwechsel mit einer Vielzahl von Blenden bei höchstmöglicher Variabilität der einzu- setzenden Blenden möglich ist. Zusätzlich soll die Vorrichtung in der Art gestaltet sein, dass durch die Vorrichtung und deren Betrieb möglichst wenige Verunreinigungen in das Gehäuse der Abbildungsvorrichtung eingebracht werden, was insbesondere für die unter Vakuum betriebenen EUV-Projektionsbelichtungsanlagen von Bedeutung ist. Darüber hinaus soll ein entsprechendes Verfahren zum Austausch und Wechsel von Blenden angegeben werden. So- wohl die Vorrichtung als auch deren Betrieb bzw. das entsprechende Verfahren sollen leicht durchführbar sowie die Vorrichtung insbesondere auch leicht herstellbar sein.
[0014] TECHNISCHE LÖSUNG
[0015] Diese Aufgabe wird gelöst mit einer Abbildungsvorrichtung mit den Merkmalen der Ansprüche 1, 3 oder 6, einer Projektionsbelichtungsanlage mit den Merkmalen der Ansprüche 31 oder 34 sowie einem Verfahren mit den Merkmalen der Ansprüche 37, 43 oder 44. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
[0016] Die Erfindung geht aus von der Erkenntnis, dass durch eine Integration der Funktionen Halten und/oder Positionieren im Gehäuse einer Abbildungsvorrichtung in die Zuführ- bzw. Transfereinrichtung ein deutlicher Effizienzgewinn erzielt werden kann, indem zum Einen auf eine zusätzliche Halte- und Hubeinrichtung, wie bei der Vorrichtung gemäß der WO2005/050 322 Al verzichtet werden kann und darüber hinaus auch die Übergabevorgänge von der Zufuhr- bzw. Transfereinrichtung auf die Halte- und Hebeeinrichtung eingespart werden können. Außerdem lassen sich bei einer derartigen Ausführungsform auch bei einer als Einfachgreifer bzw. mit einer einzigen Aufnahme für eine Blende ausgestattete Transfereinrichtung die Transportvorgänge stark einschränken. So sind auch bei einer Transfereinrichtung mit einer einzigen Aufnahme für eine Blende lediglich zwei Transportvorgänge für den Austausch der Blende erforderlich. Da die Transfereinrichtung während des Betriebs zumindest mit Ihrer Aufnahme im Gehäuse der Abbildungsvorrichtung verbleibt, ist für einen Wechsel der Blende zunächst lediglich die bisher verwendete Blende aus dem Gehäuse herauszufahren und nach dem Austausch der Blende außerhalb des Gehäuses am entsprechenden Blendenmagazin die neue Blende wieder in das Gehäuse einzufahren. Sog. Leertransportwege, wie sie beispielsweise bei der Vorrichtung gemäß der WO2005/050 322 Al erforderlich waren, entfallen damit.
[0017] Bei der vorliegenden Erfindung wird unter „Abbildungsvorrichtung" sowohl das Beleuchtungssystem als auch das Projektionsobjektiv einer Projektionsbelichtungsanlage verstanden. Zudem kann die Abbildungsvorrichtung lediglich einen Teil eines Beleuchtungssystems oder eines Projektionsobjektivs in Form einer Baugruppe von optischen Elementen betreffen.
[0018] In der vorliegenden Anmeldung wird ferner der Begriff „Objektiv" nicht einschränkend auf eine bestimmte Art von Abbildungsvorrichtung verwendet, sondern vielmehr synonym für jede Art einer Baugruppe aus optischen Elementen.
[0019] Entsprechend werden auch die Begriffe „Objektivraum" und „Gehäuse einer Abbildungsvorrichtung" gleichbedeutend verwendet, wobei der Objektivraum den abgeschlossenen Bereich meint, in dem eine Gruppe von optischen Elementen angeordnet ist bzw. das Gehäuse einen entsprechenden Raum ganz oder teilweise umschließt.
[0020] Unter Transfereinrichtung ist für die vorliegende Erfindung jede Transport- oder Bewegungseinrichtung zu verstehen, die es ermöglicht, eine lösbar angeordnete Blende in den Objektivraum eines Objektivs bzw. in ein Gehäuse einer Abbildungsvorrichtung zu bewegen und aus diesem wieder zu entfernen. Unter Aufnahme ist somit jede Vorrichtung oder Einrichtung zu verstehen, die eine lösbare Aufnahme oder Halterung einer Blende erlaubt. Die Blende kann als einstückige oder mehrteilige Blende und insbesondere auch als Blendeneinheit, beispielsweise mit einer Fassung der dergleichen, ausgebildet sein. Darüber hinaus können unterschiedliche Blenden wie Lochblenden, Ringblenden usw. Verwendung finden.
[0021] Da nach einer Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung die Blendenwechseleinrich- tung so ausgestaltet ist, dass in die Transfereinrichtung zum Transport der Blende in und aus der Abbildungsvorrichtung die Funktion des Haltens und/oder Positionierens der Blende in der Abbildungsvorrichtung integriert ist, wird nach einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung, für den unabhängig und in Kombination mit den anderen Aspekten der Erfindung Schutz begehrt wird, die Transfereinrichtung so steif ausgebildet, dass eine exakte Positionierung der Blende in der Abbildungsvorrichtung möglich ist. Nach dem Stand der Technik weisen die Transfereinrichtungen eine geringe Steifigkeit auf, die lediglich für den Transport ausreichend dimensioniert ist. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Transfereinrichtung vorgeschlagen, die eine ausreichende Steifigkeit für das Halten und Positionieren der Blende in der Abbildungsvorrichtung aufweist. Diese Steifigkeit ist gegeben, wenn die Transfereinrichtung und/oder zumindest die Aufnahme eine Eigenfrequenz von > 100 Hz, vorzugsweise > 300 Hz aufweist.
[0022] Entsprechenden Abbildungsvorrichtungen ermöglichen Blendenwechselzeiten < 15 s, insbesondere < 10 s und vorzugsweise < 5 s. Damit sind insbesondere für Projektionsbelich- tungsanlagen sowohl im Beleuchtungssystem als auch im Projektionsobjektiv schnelle Blendenwechsel und damit insgesamt schnelle Einstellungswechsel möglich.
[0023] Die Transfereinrichtung kann nicht nur eine Aufnahme, sondern mehrere Aufnahmen, insbesondere zwei Aufnahmen aufweisen, um dadurch weitere Transportvorgänge einzusparen und die Blendenwechselzeiten weiter zu verkürzen. Insbesondere kann durch zwei oder mehr Aufnahmen die Transfereinrichtung so ausgebildet sein, dass eine Aufnahme mit der aktuell verwendeten Blende im Gehäuse angeordnet ist, während die andere oder die anderen Aufnahmen außerhalb des Gehäuses vorliegen, so dass dort bereits ein Wechsel der Blenden bzw. eine Anordnung der Blenden in der Aufnahme vorgenommen werden kann.
[0024] Allerdings ist es auch möglich, die Abbildungsvorrichtung und die Blendenwechsel- vorrichtung so auszubilden, dass zwei oder mehr Aufnahmen im Gehäuse vorgesehen sind, wobei eine Aufnahme mit der aktuell verwendeten Blende sich im Strahlengang befindet, während die zweite oder weitere Aufnahme außerhalb des Strahlengangs mit einer anderen, möglicherweise oft verwendeten Blende in Wartestellung ist, um durch ein kurzes Bewegen in den Strahlengang eingeführt zu werden.
[0025] Die Transfereinrichtung kann durch unterschiedlichste Bewegungsarten den Transport der Blenden in und aus dem Gehäuse bewerkstelligen. Insbesondere können die Transfereinrichtung und/oder die dieser zugeordneten Aufnahmen Dreh- oder Schwenkbewegungen und/oder lineare Translationsbewegungen durchführen. Eine Kombination unterschiedlicher Bewegungsarten, beispielsweise eine Kombination einer linearen Bewegung mit einer Dreh- oder Schwenkbewegung bietet eine besonders große Variabilität.
[0026] Die Transfereinrichtung und/oder die ihnen zugeordneten Aufnahmen können beliebige Bewegungen im Raum durchführen, insbesondere lineare Bewegungen entlang der orthogonalen Raumachsen bzw. in einer Ebene und einer senkrecht zu dieser angeordneten Rich- tung. Beispielsweise kann die Bewegung in einer x-y-Ebene zum Ein- und Ausfahren aus der Abbildungsvorrichtung genutzt werden, während eine senkrechte Bewegung hierzu in z- Richtung zur exakten Positionierung und/oder Fixierung der Blende in der Abbildungsvorrichtung dienen kann.
[0027] Die eine oder die Vielzahl von Aufnahmen können fest oder lösbar mit dem Rest der Transfereinrichtung verbunden sein. Bei einer lösbaren Anordnung kann beispielsweise eine Kopplungsstelle mit dem Rest der Transfereinrichtung in der Weise vorgesehen sein, dass die Aufnahme mit der darauf angeordneten Blende von dem Rest der Transfereinrichtung im Bereich des Gehäuses getrennt werden kann, so dass während der Nutzung der Abbildungsvor- richtung keine Vibrationen oder Erschütterungen von dem Rest der Transfereinrichtung auf die Abbildungsvorrichtung übertragen werden können. Beispielsweise kann bei einer Schienenführung für die Aufnahme ein Betätigungselement vorgesehen sein, welches mit der Aufnahme koppelbar und in der Schiene verfahrbar ist. Nach der Positionierung der Aufnahme mit der Blende kann das Betätigungselement von der Aufnahme entkoppelt werden, aber im Gehäuse verbleiben. Durch das Vorsehen der Kopplungsstelle außerhalb bzw. am Gehäuse kann weiter vermieden werden, dass durch die Kopplungsvorgänge Partikel im Innenraum der Abbildungsvorrichtung erzeugt werden. [0028] Durch eine feste Verbindung der Aufnahme mit der Transfereinrichtung kann auf zeit- aufwändige Kopplungs- und Entkopplungsvorgänge verzichtet werden.
[0029] Die Transfereinrichtung kann jeden geeigneten Mechanismus umfassen, mit dem eine Bewegung der Blende in das Gehäuse und aus dem Gehäuse der Abbildungsvorrichtung heraus möglich ist. Derartige Betätigungsmechanismen oder Getriebe können insbesondere Parallelogrammführungen, Teleskopführungen, Schienenführungen, Rollenführungen und/oder Magnethalterungen umfassen, die für die Anwendung bei der erfindungsgemäßen Transfereinrichtung aufgrund der erzielbaren Steifigkeit (z. B. Parallelogrammführung) oder aufgrund der günstigen Beeinflussbarkeit für die Kompensation von Positionierungsfehlern (z. B. Mag- nethalterung) besonders günstig sind.
[0030] Bei einer weiteren Ausgestaltung ist es auch möglich, mehrere Aufnahmen, welche mit dem Rest der Transfereinrichtung koppelbar sind, mit ein und derselben Transfereinrich- tung zu bewegen, so dass auf möglicherweise zeitaufwändige Blendenwechselvorgänge auf oder an den Aufnahmen verzichtet werden kann oder diese separat und/oder entfernt von der Abbildungsvorrichtung durchgeführt werden können.
[0031] In der Abbildungsvorrichtung können ein oder mehrere, insbesondere in verschiedene Raumrichtungen wirkende, Anschlagelemente zum Zusammenwirken mit der oder den Aufnahmen bzw. der Transfereinrichtung vorgesehen sein, so dass durch ein entsprechendes Anfahren an die Anschläge oder Einklemmen der Aufnahmen und/oder Transfereinrichtung gegen die Anschläge eine exakte, definierte Positionierung und/oder Fixierung der Blenden in der Abbildungsvorrichtung möglich ist. Die Anschläge können in unterschiedlichster Art und Weise gestaltet sein, wobei vorzugsweise eine kinematische Überbestimmung, d. h. eine Festlegung über die Bewegungsfreiheitsgrade hinaus, vermieden wird. Dadurch wird gewährleistet, dass durch Krafteinwirkungen auf die Blenden, die durch eine kinematisch überbestimmte Lagerung entstehen können, Fehlpositionierungen und/oder Deformierungen der Blenden vermieden werden.
[0032] Anstelle der Anschlagelemente im Gehäuse können auch Anschlagelement oder Arretiervorrichtungen im Bezug auf die Transfereinrichtung vorgesehen sein, insbesondere dann, wenn die Aufnahme starr mit dem Rest der Transfereinrichtung verbunden ist. [0033] Durch die steife Ausgestaltung der Transfereinrichtung und/oder das Vorsehen entsprechender Anschlagelemente kann die Blende mit einer Genauigkeit angeordnet werden, so dass die Abweichung von der Sollposition, also beispielsweise der Abstand des Zentrums oder eines sonstigen Bezugspunkts einer Blende von der vorgesehenen Position < 1 mm, vor- zugsweise < 500 μm, insbesondere < 250 μm und höchst vorzugsweise < 100 μm ist. Entsprechend wird bei einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie das Beleuchtungssystem und/oder das Projektionsobjektiv so ausgelegt, dass eine Abweichung einer Blende von der Sollposition im Bereich < 1 mm, vorzugsweise < 500 μm, insbesondere < 250 μm und höchst vorzugsweise < 100 μm kompensierbar ist oder toleriert wird.
[0034] Die Toleranz kann dadurch erreicht werden, dass das Design der Projektionsbelichtungsanlage bzw. der Komponenten bereits so eingestellt ist, dass derartige geringfügige Abweichungen durch den Strahlengang automatisch toleriert werden. Darüber hinaus ist es auch möglich, eine aktive Kompensation vorzusehen, wobei entsprechende Sensoreinrichtungen und Regelungseinheiten vorgesehen werden können, welche die Abweichungen und/oder daraus entstehende Abbildungsfehler erfassen und über entsprechende Aktoren, die von den Regelungseinheiten angesteuert werden, kompensieren.
[0035] Zusätzlich oder alternativ ist es auch möglich, nicht nur eine optische Kompensation, beispielsweise durch eine Bewegung oder Verspannung von optischen Elementen zu bewirken, sondern der Abweichung der Blendenposition direkt gegen zu wirken, indem die Abweichung der Blendenposition bzw. eine Bewegung der Blende erfasst und durch einen Aktor, der von einer Regelungseinheit gesteuert wird, kompensiert werden kann. Durch eine Echtzeitregelung können auf diese Weise auch entsprechende Schwingungen der Blende bzw. der Transfereinrichtung kompensiert werden.
[0036] Neben einer einzigen Transfereinrichtung können auch mehrere, insbesondere zwei und vorzugsweise spiegelsymmetrisch zum Gehäuse angeordnete Transfereinrichtungen vorgesehen sein. Dies ermöglicht beispielsweise eine Be- und Entladung der Aufnahme der einen Transfereinrichtung, während die Aufnahme der anderen Transfereinrichtung im Gehäuse mit der gerade verwendeten Blende angeordnet ist. Durch zwei Transfereinrichtungen werden Vibrationen oder Erschütterungen durch das Be- und Entladen der einen Transfereinrichtung nicht auf die andere Transfereinrichtung, die separat vorgesehen ist, übertragen bzw. eine Entkopplung ist einfacher und besser möglich. [0037] Die erfindungsgemäße Blendenwechseleinrichtung bzw. eine entsprechende Abbildungsvorrichtung kann mindestens ein, zwei oder mehr Magazine zur Bereithaltung einer Vielzahl von Blenden vorsehen, wobei in dem oder den Magazinen die Blenden oder Blen- denanordnungen einzeln aufbewahrt werden können oder bereits auf einer Vielzahl von Aufnahmen im Falle von lösbaren Aufnahmen.
[0038] Vorzugsweise können die Aufnahmen der Transfereinrichtung so ausgebildet sein, dass sie die Blenden direkt aus dem Magazin aufnehmen und/oder dort ablegen können.
[0039] Dies kann beispielsweise dadurch möglich sein, dass die Magazine bewegbar, insbesondere linear in die verschiedenen, insbesondere orthogonalen Raumrichtungen bewegbar ausgebildet sind. Damit können die Magazine beispielsweise über den Aufnahmen so angeordnet werden, dass durch ein Absenken der Magazine die in den Fächern angeordneten Blenden auf den Aufnahmen zum Liegen kommen, wo sie beispielsweise durch entsprechende Zentriervorrichtungen oder dergleichen in einer exakten Position abgelegt werden.
[0040] Alternativ oder zusätzlich können auch separate Übergabeeinrichtungen, wie beispielsweise Roboterarme oder dergleichen vorgesehen sein, die eine Positionierung der Blen- den aus den Magazinen auf oder an den Aufnahmen der Transfereinrichtung und umgekehrt vornehmen.
[0041] Da die Blendenwechselvorrichtung vorzugsweise bei EUV-
Projektionsbelichtungsanlagen zum Einsatz kommen kann, können die außerhalb des Gehäu- ses angeordneten Komponenten, wie Transfereinrichtung und/oder Magazine und/oder Übergabeeinrichtungen und dergleichen in einer an dem Gehäuse angeordneten Vakuumkammer vorgesehen sein, so dass das im Gehäuse herrschende Vakuum nicht durch einen Wechselvorgang beeinträchtigt wird.
[0042] Des Weiteren können an der Abbildungsvorrichtung bzw. am Gehäuse Verschlusselemente und/oder Schleuseneinrichtungen vorgesehen sein, die die erforderliche Öffnung zum Ein- und Ausführen der Blenden in das Gehäuse verschließen bzw. abdichten können. Dadurch kann einerseits die Atmosphäre im Gehäuse weitgehend beibehalten werden und zudem bieten diese Einrichtungen Schutz vor einem Eindringen von Kontaminationen wie Partikeln und dergleichen.
[0043] Eine erfindungsgemäße Abbildungsvorrichtung bzw. eine entsprechend dort vorgese- hene Blendenwechseleinrichtung können nun in der Weise betrieben werden, dass in einem ersten Schritt eine Blende auf oder an der Aufnahme einer Transfereinrichtung angebracht wird, diese Blende in einem zweiten Schritt mittels der Transfereinrichtung in das Gehäuse der Abbildungsvorrichtung bewegt wird und die Aufnahme mit der Blende in einem dritten Schritt im Gehäuse fixiert wird. In diesem Zustand kann die Abbildungsvorrichtung mit der dort vorgesehenen Blende betrieben werden. Für einen entsprechenden Wechsel von Blenden bzw. eine Entfernung der bisher verwendeten Blende wird in einem vierten Schritt die Fixierung der Blende, beispielsweise durch Lösen der Verklemmung gegenüber Anschlagelementen, gelöst, die Blende mittels der Transfereinrichtung, die auch bereits zur Lösung der Fixierung eingesetzt werden kann, in einem fünften Schritt aus dem Gehäuse entfernt und in einem sechsten Schritt kann dann die Blende wieder aus der Aufnahme entfernt werden. Sogleich steht die Aufnahme wieder zur Anordnung einer neuen Blende bereit, so dass die entsprechenden Verfahrensschritte von neuem durchlaufen werden können.
[0044] Sofern die Transfereinrichtung zur Durchführung des Verfahrens mehrere Aufnahmen, insbesondere zwei Aufnahmen aufweist, können verschiedene Schritte des Verfahrens an den beiden Aufnahmen gleichzeitig durchgeführt werden. So kann beispielsweise gleichzeitig mit dem Einführen der einen Blende das Ausführen der anderen Blende bewirkt werden. Dies kann beispielsweise durch eine drehbare Transfereinrichtung in Form eines Karussells verwirklicht werden, bei welchem beim Herausdrehen der einen Blende aus der Abbildungsvor- richtung automatisch die andere Blende in einer zweiten Aufnahme in die Abbildungsvor- richchtung hinein gedreht wird.
[0045] Ferner kann während der Fixierung oder Lösung der Fixierung einer ersten Aufnahme im Gehäuse gleichzeitig bei einer zweiten Aufnahme außerhalb des Gehäuses die Be- und/oder Entladung der Aufnahme erfolgen. Dies ist insbesondere deshalb vorteilhaft, weil während der entsprechenden Fixierschritte Erschütterungen oder Vibrationen durch das Be- oder Entladen der zweiten Aufnahme unkritisch sind im Vergleich zu entsprechenden Vibrationen oder Erschütterungen während des Betriebs der Abbildungsvorrichtung. [0046] KURZBESCHREIBUNG DER FIGUREN
[0047] Weitere Vorteile, Kennzeichen und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden bei der nachfolgenden detaillierten Beschreibung der Ausführungsbeispiele anhand der beigefügten Zeichnungen deutlich. Die Zeichnungen zeigen hierbei in rein schematischer Weise in
Figur 1 eine Seiteansicht eines Teils einer ersten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Objektivs; Figur 2 eine Draufsicht auf eine zweite Ausführungsform eines erfindungsgemäßen
Objektivs;
Figur 3 eine Draufsicht auf eine dritte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Objektivs;
Figur 4 eine Draufsicht auf eine vierte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Objektivs;
Figur 5 eine Draufsicht auf eine fünfte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen
Objektivs;
Figur 6 eine Draufsicht auf einen Teil der Transfereinrichtung der Figur 1 ;
Figur 7 eine Darstellung einer Projektionsbelichtungsanlage; Figur 8 in den Teilbildern a) und b) eine Draufsicht auf eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Abbildungsvorrichtung mit einer Transfereinrichtung, die eine Parallelogrammführung enthält;
Figur 9 in einer Seitenansicht eine Ausführungsform einer Transfereinrichtung mit einer Teleskopführung; Figur 10 in den Teilbildern a) und b) eine Seitenansicht b) und Schnittansicht a) eine Transfereinrichtung mit einer Rollenführung; und in
Figur 11 in den Teilbildern a) und b) eine Seitenansicht b) und eine Schnittansicht a) einer Transfereinrichtung mit einer Magnetlagerung.
[0048] Die Figur 1 zeigt in einer rein schematischen Darstellung einen Teil eines Objektivraums 1 eines erfindungsgemäßen Objektivs mit einer wechselbaren Blende 2. Der Objektivraum 1 ist von nicht näher bezeichneten Wänden, beispielsweise einer zylinderrohrartigen Hülse, umgeben, die eine schlitzförmige Öffnung 13 aufweist, durch welche eine Blende 2 in den Objektivraum 1 eingeführt und aus diesem entfernt werden kann. Die Blende 2 ist in einer Aufnahme 31 eines drehbaren Karussells 3 gelagert, welche als Transfereinrichtung zum Ein- und Ausführen der Blende 2 in den Objektivraum 1 und aus diesem heraus dient.
[0049] In dem Objektivraum 1 sind Anschläge 7 vorgesehen, die die Blende 2 in den Objek- tivraum 1 fixieren können. Die Anschläge 7 sind hierzu, wie mit den Doppelpfeilen 71 dargestellt, beweglich ausgestaltet, so dass sie durch eine Bewegung entlang der optischen Achse (entspricht der z- Achse) des Objektivs verfahren werden können, um in Anschlag mit der Blende 2 zu gelangen. Dadurch kann die Blende 2 in ihrer Position eindeutig fixiert werden.
[0050] Alternativ ist es auch möglich, die Blende 2 in Richtung feststehender Anschläge 7 zu bewegen, beispielsweise durch eine entsprechende Bewegung des Karussells 3 in z-Richtung, welche mit dem Doppelpfeil 37 angedeutet ist.
[0051] Darüber hinaus ist es auch denkbar, die Blende 2 alleine durch ihre Schwerkraft auf der Aufnahme 31 und dort vorgesehenen Zentriereinrichtungen (nicht gezeigt) des Karussells 3 ruhen zu lassen und somit keine zusätzliche Fixiereinrichtung in z-Richtung vorzusehen.
[0052] Darüber hinaus können nicht gezeigte Anschläge für eine Positionierung bzw. Fixierung in x- und y-Richtung vorgesehen sein, welche unmittelbar mit der Blende 2 und/oder dem Karussell 3 zusammenwirken. Derartige Anschläge bzw. Fixiereinrichtungen können auch durch den Antrieb des Karussells 3 verwirklicht sein, z. B. durch entsprechende Bremsen. Wesentlich ist, dass gemäß der Grundidee der vorliegenden Erfindung die Blende 2 auf der Aufnahme 31 des Karussells 3 in dem Objektivraum 1 fixiert wird und die Aufnahme 31 des Karussells 3 in dem Objektivraum 1 verbleibt, solange die Blende 2 in dem Objektiv ein- gesetzt wird.
[0053] Das Karussell 3 weist eine vertikale Drehachse 33 auf, die ein Verschwenken bzw. Verdrehen der Aufnahme 31 gemäß dem Pfeil 38 ermöglicht.
[0054] Bzgl. der Drehachse 33 liegt der Aufnahme 31 eine zweite Aufnahme 32 gegenüber, wie auch aus der Figur 6 ersichtlich ist, welche eine Draufsicht auf das Karussell 3 zeigt.
[0055] In der Aufnahme 32 kann eine weitere Blende angeordnet werden. Durch Verschwenken bzw. Verdrehen des Karussells 3 um die Drehachse 33 gemäß dem Pfeil 38 kann gleich- zeitig mit dem Einschwenken der Aufnahme 31 in den Objektivraum 1 die Aufnahme 32 herausgeschwenkt werden oder umgekehrt. Entsprechend ist eine der beiden Aufnahmen 31 außerhalb des Objektivraums 1 angeordnet, sofern die andere Aufnahme im Objektivraum 1 angeordnet ist. Damit ist es möglich, die Aufnahme, welche außerhalb des Objektivraums 1 angeordnet ist, während der Nutzung des Objektivs unter Einsatz einer ersten Blende in der ersten Aufnahme mit einer zweiten Blende zu bestücken bzw. diese zu entfernen, also auszutauschen.
[0056] Um in diesem Fall Erschütterungen des Objektivs zu vermeiden, sind an dem Karus- seil 3 die Aufnahmen 31 und 32 über Schwingungsdämpfer 34 und 35 mit der Drehachse 33 verbunden. Durch die Schwingungsdämpfer 34 und 35 wird bewirkt, dass Erschütterungen, die beispielsweise durch das Bestücken der Aufnahme 32 mit einer Blende 2 nicht auf die gegenüberliegende Aufnahme 31, welche sich im Objektivinnenraum befindet, übertragen wird.
[0057] Anstelle der Schwingungsdämpfer 34, 35 könnten auch Kopplungselemente (nicht gezeigt) zum Trennen der Aufnahmen 31, 32 vom Rest des Karussells 3 vorgesehen sein.
[0058] Die Bestückung der Aufnahmen 31 bzw. 32 kann durch eine separate Übergabeein- richtung 6 erfolgen, welche beispielsweise als Greif- bzw. Roboterarm mit entsprechenden Greifwerkzeugen ausgebildet sein kann. Die Übergabeeinrichtung 6 kann Blenden 2, die in einem Magazin 4 abgelegt sind, greifen, aus diesem entnehmen und in oder auf der Aufnahme 32 bzw. 31 ablegen und umgekehrt.
[0059] Alternativ ist es auch möglich, auf eine separate Übergabeeinrichtung 6 zu verzichten und entweder das Karussell 3 gemäß dem Doppelpfeil 36 verfahrbar auszugestalten oder das Magazin 4 entsprechend beweglich vorzusehen. Gemäß den Doppelpfeilen 41, 42 und 43 kann das Magazin 4 vorzugsweise in jede der orthogonalen Raumrichtungen x, y und z verschoben werden, so dass es beispielsweise in Richtung des Karussells 3 derart verfahren wird, dass die Aufnahme 32 unterhalb einer Blende 2 zum Liegen kommt. Durch ein entsprechendes Absenken des Magazins oder Anheben des Karussells 3 gemäß dem Doppelpfeil 37 kann die entsprechende Blende 2 durch einfaches Ablegen in der Aufnahme 32 auf diese übertragen werden. [0060] Denkbar ist auch, das Magazin 4 so in der Nähe des Karussells 3 anzuordnen, dass durch die Verschwenk- oder Drehbewegung des Karussells 3 um die Achse 33 die Aufnahme direkt in das Magazin unterhalb einer Blende 2 zum Liegen kommt.
[0061] Da derartige austauschbare Blenden insbesondere für Objektive vorgesehen sind, die mit EUV-Licht (extrem ultraviolettem Licht) betrieben werden, liegt im Objektivraum 1 Vakuum bzw. nahezu Vakuum vor. Entsprechend ist benachbart zum Objektivraum 1 eine Vakuumkammer 5 vorgesehen, welche das Magazin 4 sowie die Transfereinrichtung in Form des Karussells 3 als auch die Übergabeeinrichtung 6 aufnimmt. Dadurch wird vermieden, dass durch einen Wechsel der Blende mit der Öffnung des Austauschspaltes 13 die Vakuumbedingungen im Objektivraum 1 zerstört werden.
[0062] Um zu vermeiden, dass Kontaminationen in den Objektivinnenraum 1 gelangen, kann der Spalt 13 zum Austausch der Blenden 2 mit einer Verschlusseinrichtung versehen sein, welche zwei verschiebbare Hülsen 11 und 12 umfasst, welche gemäß den Doppelpfeilen 15 und 14 entlang der Objektivachse verschiebbar ausgestaltet sind. Entsprechend kann der Schlitz 13 zum Austausch der Blenden in jeder beliebigen Höhenlage der Aufnahme 31 durch die Verschlusselemente 11 und 12 abgedichtet werden.
[0063] Die Funktionsweise des Objektivs gemäß der Figur 1 ist derart, dass je nach den gewünschten Abbildungsbedingungen des Objektivs 1 eine entsprechende Blende 2 aus dem Magazin 4 in den Strahlengang des Objektivs bzw. in den Objektivraum 1 eingebracht werden kann.
[0064] Dazu wird mittels der Übergabeeinrichtung 6 oder durch direkte Übergabe vom Magazin 4 zur Transfereinrichtung 3 eine Blende 2 aus dem Magazin 4 auf das Karussell 3 (Transfereinrichtung) übergeben, wobei die Blende 2 beispielsweise auf der Aufnahme 32 zum Liegen kommt.
[0065] Soll nun die Blende 2, welche auf oder an der Aufnahme 32 angeordnet worden ist, in das Objektiv und somit den Objektivraum 1 eingebracht werden, so wird das Karussell 3 um die Drehachse 33 gedreht, wobei gleichzeitig die Blende 2 in der Aufnahme 31, die vorher in dem Objektiv angeordnet war, aus dem Objektiv entfernt wird. [0066] Sofern die Blende 2 in der Aufnahme 31 gegen die Anschläge 7 gedrückt war, muss vor der Drehbewegung des Karussells 3 die Fixierung der Blende 2 gelöst werden, indem entweder die Anschläge 7 entsprechend den Doppelpfeilen 71, oder das Karussell 3 entsprechend dem Doppelpfeil 37 in z-Richtung verfahren wird.
[0067] Bei einer bevorzugten Ausgestaltung kann während des Lösevorgangs der Fixierung gleichzeitig die Bestückung der gegenüberliegenden Aufnahme 32 erfolgen, ohne dass es durch Erschütterungen oder Vibrationen zu einer Beeinträchtigung der Abbildungsqualität des Objektivs kommt.
[0068] Sobald die Drehbewegung des Karussells 3 um die Drehachse 33 abgeschlossen ist, ist die neue Blende 2 auf der Aufnahme 32 im Objektivraum 1 angeordnet, während die vorher verwendete Blende 2 außerhalb des Objektivraums angeordnet ist.
[0069] Nunmehr kann die neu eingeführte Blende 2 wiederum durch entsprechendes Anfahren gegen Anschläge 7 im Objektivraum 1 fixiert werden. Gleichzeitig kann eine Entnahme oder ein Austausch der Blende auf der gegenüberliegenden Aufnahme vorgenommen werden.
[0070] Die Figur 2 zeigt eine weitere Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Objektivs mit austauschbaren Blenden, wobei die Figur 2 eine Draufsicht auf eine Ausführungsform zeigt, bei welcher anstelle eines drehbaren Karussells eine Transfereinrichtung 300 in der Form einer linear beweglichen Schiebeanordnung verwirklicht ist.
[0071] Die Transfereinrichtung 300 der Ausführungsform der Figur 2 weist eine Linearbewe- gungseinheit 330 in Form einer Schienenanordnung mit einem Kettentrieb oder einem berührungslosen Linearmotor auf, entlang welcher sich eine Aufnahme 331 der Schiebeanordnung linear hin und her bewegen kann, wie dies durch den Pfeil 336 angedeutet ist.
[0072] Die Aufnahme 331 kann sich zwischen einem Objektivraum 100 und einem Magazin 400 bewegen, in welchem eine Vielzahl von Blenden gestapelt bzw. gelagert ist.
[0073] Das Magazin 400 kann sich gemäß der dargestellten Pfeilanordnungen 442 und 443 quer, insbesondere senkrecht zur Schienenanordnung 330 und/oder senkrecht zur Bildebene bewegen, so dass die in dem Magazin 400 aufgenommenen Blenden durch entsprechende Bewegungen in der Aufnahme 331 der Transfereinrichtung 300 platziert werden können.
[0074] In dem Objektivraum 100 sind wiederum Anschläge 700 vorgesehen, die eine exakte Positionierung der Aufnahme 331 und/oder der darauf angeordneten Blenden ermöglichen. Die Anschläge 700 können, ähnlich wie bei der Ausführungsform der Figur 1 die Anschläge 7, entsprechend verfahrbar oder fest installiert sein. Die Anschläge 700 der Ausführungsform der Figur 2 bzw. 7 der Ausführungsform der Figur 1 sind vorzugsweise so gestaltet, dass eine exakte Positionierung ohne eine kinematische Überbestimmung möglich ist. Dies bedeutet, dass die Blende bzw. die entsprechende Aufnahme zwar exakt positioniert ist und keinen
Freiheitsgrad mehr aufweist, aber durch Vermeidung einer Überbestimmung eine Fehlpositionierung und/oder Verformung durch Krafteinwirkung vermieden wird.
[0075] Die Funktionsweise der Ausführungsform der Figur 2 ist wie folgt: Zunächst wird die Aufnahme 331 über die Transfereinrichtung 300 auf der linken Seite der Schienenanordnung 330 im Bereich des Magazins 400 angeordnet, so dass durch entsprechendes Verfahren und Absenken des Magazins 400 eine Blende 2 in der Aufnahme 331 zum Liegen kommt. Anschließend wird die Aufnahme 331 entlang der Schienenanordnung 330 der Transfereinrichtung 300 in den Objektivraum 100 durch eine lineare Translationsbewegung eingefahren, bis die Aufnahme 331 und/oder die darauf angeordnete Blende 2 an den Anschlägen 700 anliegen, die ihre exakte Position definieren. Dadurch ist die Blende für den Betrieb des Objektivs fixiert. Nach Beendigung des Objektivbetriebs mit der gewählten Blende wird diese aus dem Objektivraum 100 mit der Transfereinrichtung 300 herausgefahren und es findet ein Austausch der Blende im Bereich des Magazins 400 statt, indem zuerst die früher verwendete Blende abgelegt wird und eine neue Blende in der Aufnahme 331 aufgenommen wird. Anschließend fährt die Aufnahme 331 wieder in den Objektivraum 100.
[0076] Gegenüber dem Stand der Technik, wie er in der WO 2005/050 322 Al beschrieben ist, wird durch die Anordnung der Blende im Objektiv auf der Aufnahme 331 eine Ein- und Ausfahrbewegung der Aufnahme 331 sowie die entsprechende Übernahme- bzw. Halteeinrichtung im Objektiv gespart. Im Stand der Technik wäre zunächst die Blende im Objektiv an die eingefahrene Transfereinrichtung bzw. Aufnahme übergeben worden, dann wäre die zuletzt verwendete Blende mit der Transfereinrichtung ausgefahren worden. Damit hätten sich bereits zwei Einfahr- und Ausfahrvorgänge ergeben. Anschließend wäre ein Austausch am Magazin 400 vorgenommen worden, wobei dann die Transfereinrichtung die Blende wiederum in das Objektiv eingebracht und dort an die Übernahme- bzw. Halteeinrichtung übergeben hätte, um anschließend wieder aus dem Objektiv auszufahren. Damit wären zusätzliche Ein- und Ausfahrbewegung gegeben gewesen, die gemäß der vorliegenden Erfindung nunmehr eingespart werden. Da jede Bewegung von einer Komponente im Objektivraum Kontaminationen durch Partikel und dergleichen herbeiführen kann, wird durch die eingesparten Bewegungen ein großer Effekt im Bezug auf die Reinheit erzielt. Außerdem kann auf die zusätzliche Komponente der Übernahme- bzw. Halteeinrichtung im Objektiv verzichtet werden, was einerseits den Aufwand reduziert und andererseits ebenfalls zur Verringerung von Kontami- nationen beitragen kann.
[0077] Eine dritte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Objektivs ist in der Figur 3 gezeigt. Die Figur 3 zeigt einen Objektivraum 1000 sowie zwei spiegelsymmetrisch zum Objektivraum 1000 angeordnete Magazine 4000 und 4001.
[0078] Diesen zugeordnet ist eine Transfereinrichtung 3000 mit einer Schienenanordnung 3030 entlang der sich eine Doppel- Aufnahme mit den Aufnahmen 3031 und 3032 bewegen kann. Die Doppelaufnahmen 3031, 3032 sind durch ein Kopplungselement 3039 miteinander verbunden, so dass eine synchrone Bewegung der Aufnahmen 3031 und 3032 erfolgt. Im Kopplungselement 3039 ist ein Dämpfungselement 3040 vorgesehen, welches eine Vibrationsentkopplung bewirkt. Entsprechend kann die Aufnahme 3032 im Bereich des Magazins 4001 durch eine entsprechende Bewegung des Magazins 4001 entlang der Pfeilanordnungen 4042 und 4043 mit einer Blende bestückt oder von dieser entladen werden, während gleichzeitig die Aufnahme 3031 mit einer entsprechend angeordneten Blende im Objektivraum 1000 vorgesehen ist.
[0079] Sobald die Blende im Objektivraum 1000 gewechselt werden muss, wird die Anordnung aus den beiden Aufnahmen 3031 und 3032 mit dem Kopplungsstück 3039 entlang der Schienenanordnung 3030 gemäß dem Doppelpfeil 3036 bewegt, so dass z. B. die Aufnahme 3031 in den Bereich des Magazins 4000 und die Aufnahme 3032 in den Bereich des Objektivraums 1000 bewegt wird. Die Blende der Aufnahme 3031 kann dann im Bereich des Magazins 4000 entnommen bzw. gegen eine neue getauscht werden, während die Blende der Aufnahme 3032 im Objektivraum 1000 für die Abbildung mit dem Objektiv zur Verfügung steht. [0080] Im Objektivraum 1000 sind wiederum Anschläge 7000 vorgesehen, welche eine exakte Positionierung der Blende und/oder der entsprechenden Aufnahmen 3031 bzw. 3032 ermöglichen.
[0081] Durch das Dämpfungselement 3040 im Kopplungsstück 3039 sowie die Dämpfungselemente 3034 und 3035, die in der Schienenanordnung 3030 vorgesehen sind, kann eine der Aufnahmen 3031 bzw. 3032 im Bereich der Magazine 4000 bzw. 4001 be- und entladen werden, ohne dass die dadurch erzeugten Vibrationen oder Erschütterungen auf die entsprechend andere Aufnahme im Objektivraum 1000 übertragen wird. Dadurch wird vermieden, dass die Abbildungseigenschaften des Objektivs beeinträchtigt werden.
[0082] Zusätzlich oder alternativ kann eine Be- und Entladung der außerhalb des Objektivraums 1000 angeordneten Aufnahme auch immer zu den Zeitpunkten erfolgen, zu denen Erschütterungen oder Vibrationen unkritisch sind, beispielsweise wenn die Fixierung der Blende in dem Objektivraum 1000 gelöst wird.
[0083] Die Ausführungsform der Figur 4 ist ähnlich aufgebaut wie die Ausführungsform der Figur 3, wobei wiederum zwei Magazine 4000 und 4001 spiegelsymmetrisch neben dem Objektivraum 1000 vorgesehen sind. Lediglich die Transfereinrichtung 3000 ist durch zwei Transfereinrichtungen 3300 und 3301 mit jeweils einer Aufnahme 3331 bzw. 3332 ersetzt, welche sich entlang der Doppelpfeile 3336 bewegen können. Durch die getrennte Anordnung von zwei Transfereinrichtungen 3300 und 3301 kann auf die Dämpfungselemente verzichtet werden, da durch die Trennung eine Übertragung von Schwingungen oder Vibrationen weitgehend vermieden werden kann. Darüber hinaus können die Aufnahmen 3331 und 3332 un- abhängig voneinander bewegt werden, so dass auch nicht synchrone Bewegungen der beiden Aufnahmen möglich sind. Dies ist allerdings auch mit der Ausführungsform der Figur 3 realisierbar, sofern auf die Kopplung der Aufnahmen verzichtet wird.
[0084] Die Figur 5 zeigt eine fünfte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Objektivs, bei welchem wiederum eine Transfereinrichtung 30000 mit zwei Aufnahmen 30031 und 30032 vorgesehen ist, welche miteinander gekoppelt sind und entlang einer Schienenanordnung 30030 gemäß dem Doppelpfeil 30036 bewegt werden können. Allerdings sind bei dieser Ausführungsform die beiden Magazine nicht beidseits des Objektivraums 10000 angeordnet, sondern nebeneinander auf einer Seite des Objektivraums. Entsprechend ist der Objektivraum 10000 größer gewählt, so dass beide Aufnahmen 30031 und 30032 in dem Objektivraum 10000 angeordnet werden können. Allerdings ist lediglich eine der beiden Aufnahmen, im gezeigten Ausführungsbeispiel die Aufnahme 30032, im Strahlengang 10001 angeordnet.
[0085] Bei dieser Ausführungsform muss für einen Blendenwechsel der Objektivraum 10000 zunächst nicht verlassen werden, da durch ein Verschieben der beiden gekoppelten Aufnahmen 30031 und 30032 die zweite Aufnahme in den Strahlengang 10001 geschoben werden kann. Sofern also zwei Blenden sehr häufig Verwendung finden, führt dies zu einem erheblichen Einsparungspotential an Bewegungen bzw. Ein- und Ausschleusvorgängen, da die Auf- nahmen 30031 und 30032 innerhalb des Objektivraums 10000 bewegt werden können.
[0086] Lediglich für den Fall, dass eine dritte oder weitere Blende eingesetzt werden soll, werden die gekoppelten Aufnahmen 30031 und 30032 aus dem Objektivraum 10000 bewegt, wobei sie im Bereich der Magazine 40000 und 40001 gleichzeitig mit neuen Blenden bestückt werden können. Auch hierzu können die Magazine 40000 und 40001 gemäß der Pfeilanordnungen 40042 und 40043 bewegt werden. Damit reduziert sich die Bestückungszeit, durch die gleichzeitige Bestückung von zwei Aufnahmen 30031 bzw. 30032 entsprechend.
[0087] Die Figur 7 zeigt eine Projektionsbelichtungsanlage, die mit elektromagnetischer Strahlung aus dem extremen ultraviolett-Bereich (EUV) betrieben werden kann und bei welcher die vorliegende Erfindung Verwendung finden kann.
[0088] Die Projektionsbelichtungsanlage 200 der Figur 7 weist eine Lichtquelle 201 auf, deren Licht mittels eines Beleuchtungssystems 202 auf ein Retikel 203 gerichtet wird und dort in einer homogenen Verteilung unter definierten Winkeln auftrifft.
[0089] Das Retikel 203 weist eine Struktur auf, die auf einem Substrat 204 abgebildet werden soll. Dazu ist das Retikel 203 in der Objektebene eines Projektionsobjektivs 205 angeordnet, mittels dem die Abbildung des Retikels 203 auf die Oberfläche des Substrats 204 erfolgt.
[0090] Die Projektionsbelichtungsanlage der Figur 7 ist im Detail in der DE 103 43 333 Al beschrieben, welcher hiermit durch Verweis vollständig in die vorliegende Anmeldung mit aufgenommen wird. [0091] Die vorliegende Erfindung kann nun sowohl in dem Projektionsobjektiv 205 als auch in dem Beleuchtungssystem 202 und insbesondere in der Pupillenzwischenebene 207 des Teilobjektivs 206 verwirklicht werden.
[0092] Die Figuren 8 bis 11 zeigen Beispiele für Bewegungsmechanismen bzw. Getriebe, wie sie in Transfereinrichtungen für den Blendenwechsel verwirklicht werden können.
[0093] Die Figur 8 zeigt in einer Draufsicht den Querschnitt eines Gehäuses 1 eines Projektionsobjektivs, in welchem eine Blende 2 wechselbar aufgenommen ist. In den Teilbildern a) und b) ist eine Parallelogrammführung 50 als Teil einer Transfereinrichtung mit der Aufnahme 51 gezeigt, wie sie mit der Aufnahme 51 und der Blende 2 außerhalb des Gehäuses 1 des Projektionsobjektivs angeordnet ist (Teilbild a) und wie die Parallelogrammführung 50 die Aufnahme 51 in das Gehäuse 1 des Projektionsobjektivs bewegt. In den Teilbildern a) und b) der Figur 8 ist jeweils ein Teil einer Vakuumwand 60 gezeigt, die zusätzlich zu dem Gehäuse 1 des Projektionsobjektivs um die Projektionsbelichtungsanlage bzw. Teile davon, in der das Projektionsobjektiv 1 aufgenommen ist, vorgesehen ist. Zur Durchführung der Blende durch die Vakuumkammerwand 60 ist dort eine verschließbare Öffnung 61 vorgesehen.
[0093] Wie sich insbesondere aus Teilbild b) der Figur 8 ergibt, weist die Parallelogrammfüh- rung 50 insgesamt vier Parallelogrammstäbe auf, die derart gelenkig miteinander verbunden sind, dass sie eine Scherbewegung ausführen können, so dass der Haltestab 52, an dem die Aufnahme 51 für die Blende 2 vorgesehen ist, eine Linearbewegung durchführen kann.
[0094] Die Figur 9 zeigt in einer Seitenansicht eine weitere Möglichkeit, einen Betätigungs- mechanismus für die Transfereinrichtung zu realisieren. Gemäß dem Ausführungsbeispiel der Figur 9 ist eine Teleskopführung 150 vorgesehen, an deren einen Ende die Aufnahme 151 zur Aufnahme der Blende 2 vorgesehen ist. Die Teleskopführung umfasst in dem gezeigten Ausführungsbeispiel drei Teleskoparme 152 bis 154, die an dem der Aufnahme 151 gegenüberliegenden Ende mit einer Montageplatte 155 befestigbar sind. Durch das Ineinanderschieben der Teleskoparme 152 bis 154 sowie Ausfahren der Teleskoparme 152 bis 154 ist ebenfalls eine Linearbewegung der Aufnahme 151 mit der Blende 2 zum Ein- und Ausfahren in das Gehäuse 1 des Projektionsobjektivs möglich. Auch hier ist wieder eine zusätzliche Vakuumkammerwand 60 mit einer entsprechend verschließbaren und abdichtbaren Öffnung für die Transfereinrichtung 150 vorgesehen. [0095] Gleiches gilt für das Ausführungsbeispiel der Figur 10. Dort ist als Teil der Transfereinrichtung eine Rollenführung 250 realisiert, die eine Rollenhalterung 253 aufweist, die fest in der Vakuumkammerwand 60 angeordnet sein kann. Durch eine entsprechende Öffnung in der Vakuumkammerwand kann ein Führungsstab 252, an dessen einem Ende die Aufnahme
251 für die Blende 2 vorgesehen ist, verschoben werden, wobei der Führungsstab 252 über die Rollenhalterung 253 geführt und gehalten wird. Wie sich insbesondere aus dem Teilbild a) mit einer Querschnittsansicht der Rollenhalterung und des Führungsstabs 252 ergibt, können mehrere Roll-, oder Wälzkörper zwischen der Rollenhalterung 253 und dem Führungsstab 252 vorgesehen sein, um eine reibungsarme und exakte Linearbewegung des Führungsstabs
252 zu ermöglichen, wie die gestrichelte Darstellung zeigt.
[0096] Eine weitere Ausführungsform eines Bewegungs- bzw. Betätigungsmechanismus für die Transfereinrichtung ist in den Teilbildern a) und b) der Figur 11 gezeigt. Hier ist eine Magnetlagerung bzw. ein Linearmotor realisiert, mit dem der Führungsstab 352 in einem Magnethalter 353, welcher wiederum in der Vakuumkammerwand 60 angeordnet sein kann, linear verschieblich aufgenommen ist. An dem Führungsstab 352 ist wiederum die Aufnahme 351 für die Blende 2 vorgesehen, um diese in das Gehäuse 1 und aus dem Gehäuse 1 des Projektionsobjektivs zu entfernen, wie in der Seitenansicht des Teilbilds b) dargestellt ist.
[0097] Das Teilbild a) der Figur 11 zeigt in einem Querschnitt die Magnetlagerung bzw. den Linearmotor 350 mit der Magnethalterung 353, in welcher der Führungsstab 352 aufgenommen ist. Durch eine gleichpolige Anordnung von Magneten an der Magnethalterung 353 und am Führungsstab 352 können diese berührungslos auf Abstand zueinander gehalten werden, so dass wiederum eine lineare Bewegung möglich ist. Durch entsprechendes Ansteuern der als Elektromagnete ausgeführten Magnete kann zudem eine Antriebskraft in Längsrichtung des Führungsstabs 352 entstehen. Die Magnetlagerung bzw. der Antrieb mit Linearmotor bietet die Möglichkeit, durch entsprechende Steuerung der Magnete als Aktoren eine entsprechende Anpassung der Lagerposition der Blende 2 vorzunehmen.
[0098] Obwohl die vorliegende Erfindung anhand der beigefügten Zeichnungen detailliert beschrieben worden ist, ist für den Fachmann klar ersichtlich, dass Abwandlungen oder Ergänzungen durch Weglassen oder andersartige Kombination der beschriebenen Merkmale möglich sind, ohne den Schutzbereich der beigefügten Ansprüche zu verlassen.

Claims

Patentansprüche
1. Abbildungsvorrichtung mit einem Gehäuse (1) und mindestens einer Blende (2), welche austauschbar in dem Gehäuse aufgenommen ist, und mindestens einer Transfereinrichtung (3; 300; 3000; 3300; 3301; 30000) mit mindestens einer Aufnahme (31; 32; 331; 3031;
3032; 3331; 3332; 30032), auf oder an welcher die Blende lösbar angeordnet werden kann, um in das oder aus dem Gehäuse bewegt zu werden, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Aufnahme der Transfereinrichtung, auf oder an welcher die Blende lösbar angeordnet werden kann, als Element der Blendenhalterung zur Positionierung der Blende im Gehäuse ausgebildet ist.
2. Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinrichtung so ausgebildet ist, dass während des Blendenwechsels keine Be- wegungen der Transfereinrichtung in das Gehäuse oder aus dem Gehäuse heraus, ohne dass eine Blende auf oder an der Aufnahme angeordnet ist, erforderlich sind, so dass schnelle Blendenwechsel möglich sind.
3. Abbildungsvorrichtung mit einem Gehäuse (1) und mindestens einer Blende (2), welche austauschbar in dem Gehäuse aufgenommen ist, und mindestens einer Transfereinrichtung (3; 300; 3000; 3300; 3301; 30000) mit mindestens einer Aufnahme (31; 32; 331; 3031;
3032; 3331 ; 3332; 30032), auf oder an welcher die Blende lösbar angeordnet werden kann, um in das oder aus dem Gehäuse bewegt zu werden, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinrichtung so ausgebildet ist, dass während des Blendenwechsels keine Be- wegungen der Transfereinrichtung in das Gehäuse oder aus dem Gehäuse heraus, ohne dass eine Blende auf oder an der Aufnahme angeordnet ist, erforderlich sind, so dass schnelle Blendenwechsel möglich sind.
4. Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Aufnahme der Transfereinrichtung, auf oder an welcher die Blende lösbar angeordnet werden kann, als Element der Blendenhalterung zur Positionierung der Blende im Gehäuse ausgebildet ist.
5. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinrichtung eine Eigenfrequenz >= 100 Hz, insbesondere >= 300 Hz aufweist.
6. Abbildungsvorrichtung mit einem Gehäuse (1 ) und mindestens einer Blende (2), welche austauschbar in dem Gehäuse aufgenommen ist, und mindestens einer Transfereinrichtung
(3; 300; 3000; 3300; 3301; 30000) mit mindestens einer Aufnahme (31; 32; 331; 3031; 3032; 3331 ; 3332; 30032), auf oder an welcher die Blende lösbar angeordnet werden kann, um in das oder aus dem Gehäuse bewegt zu werden, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinrichtung eine Eigenfrequenz >= 100 Hz aufweist.
7. Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinrichtung eine Eigenfrequenz >= 300 Hz aufweist.
8. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinrichtung so ausgebildet ist, dass die Blendenwechselzeit <= 15 s, insbesondere <= 10 s, vorzugsweise <= 5 s beträgt.
9. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinrichtung mindestens zwei Aufnahmen aufweist.
10. Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinrichtung so ausgebildet ist, dass mindestens eine Aufnahme außerhalb des Gehäuses und mindestens eine Aufnahme innerhalb des Gehäuses anordenbar ist.
11. Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinrichtung so ausgebildet ist, dass zwei oder alle Aufnahmen in dem Gehäuse anordenbar sind.
12. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinrichtung und/oder die Aufnahme linear und/oder mittels einer Dreh- oder Schwenkbewegung bewegbar sind.
13. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinrichtung und/oder die Aufnahme in einer Ebene und senkrecht zu dieser Ebene bewegbar sind.
14. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahme fest in der Transfereinrichtung aufgenommen ist.
15. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahme lösbar in der Transfereinrichtung aufgenommen ist und ein Betätigungselement der Transfereinrichtung im Gehäuse lagerbar ist.
16. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinrichtung eine Parallelogrammführung, eine Teleskopführung, eine Schie- nenführung, eine Rollenführung und/oder eine Magnethalterung umfasst.
17. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein, vorzugsweise mehrere, insbesondere in verschiedene Raumrichtungen wirkende Anschlagelemente (7; 700; 7000; 70000) im Gehäuse zum Zusammenwirken mit der Aufnahme und/oder Transfereinrichtung vorgesehen sind.
18. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Blende mit einer Genauigkeit anordenbar ist, so dass die Abweichung von der Sollposition <= 1 mm, vorzugsweise <= 500 μm, insbesondere <= 250 μm, höchst vorzugsweise <= 100 μm ist.
19. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinrichtung mindestens einen Sensor und mindestens einen Aktor sowie eine Regeleinrichtung umfasst, wobei die Abweichungen von der Sollposition und/oder Bewe- gungen der Blende erfasst und durch Korrekturbetätigung des Aktors kompensiert werden.
20. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei, vorzugsweise spiegelsymmetrisch zum Gehäuse angeordnete Transfereinrichtungen vorgesehen sind.
21. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Magazin (4, 400, 4000, 4001, 40000, 40001) zur Bereithaltung einer Vielzahl von Blenden vorgesehen ist.
22. Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahme so ausgebildet ist, dass die Blenden direkt aus dem Magazin aufgenommen und/oder dort abgelegt werden können.
23. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwei spiegelsymmetrisch zum Gehäuse angeordnete Magazine vorgesehen sind.
24. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das oder die Magazine bewegbar, insbesondere linear in mindestens eine, vorzugsweise alle drei Raumrichtungen bewegbar sind.
25. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Übergabeeinrichtung (6) zur Übergabe der Blenden aus dem Magazin an die Aufnahme und umgekehrt vorgesehen ist.
26. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Verschlusselement (14, 15) und/oder eine Schleuseneinrichtung an dem Gehäuse vorgesehen sind.
27. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transfereinrichtung und/oder die Magazine in einer Vakuumkammer (5) angeordnet sind, die insbesondere benachbart zum Gehäuse vorgesehen ist.
28. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Antrieb der Transfereinrichtung außerhalb des Gehäuses oder eines Vakuumraumes angeordnet ist.
29. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie ein Beleuchtungssystem oder ein Projektionsobjektiv oder ein Teil davon einer Projek- tionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie ist.
30. Abbildungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie ist.
31. Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie mit einem Beleuchtungssystem und einem Projektionsobjektiv, wobei für das Beleuchtungssystem und/oder das Projektionsobjektiv mindestens eine Blendenwechseleinrichtung vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Blendenwechselzeit <= 15 s ist.
32. Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, dass die Blendenwechselzeit <= 10 s ist.
33. Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 31 , dadurch gekennzeichnet, dass die Blendenwechselzeit <= 5 s ist.
34. Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie mit einem Beleuchtungssystem und einem Projektionsobjektiv, wobei für das Beleuchtungssystem und/oder das Projekti- onsobjektiv mindestens eine Blendenwechseleinrichtung vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Projektionsobjektiv und/oder das Beleuchtungssystem so ausgelegt sind, dass eine Abweichung einer Blende <= 1 mm kompensierbar ist oder toleriert wird.
35. Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, dass das Projektionsobjektiv und/oder das Beleuchtungssystem so ausgelegt sind, dass eine Abweichung einer Blende <= 500 μm kompensierbar ist oder toleriert wird.
36. Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 35, dadurch gekennzeichnet, dass das Projektionsobjektiv und/oder das Beleuchtungssystem passiv zur Toleranz gegenüber Positionsungenauigkeiten der Blende ausgelegt sind oder aktive Kompensationselemente mit Sensorik und Regelungseinheit umfassen.
37. Verfahren zum wechselbaren Einbringen und/oder Austausch von Blenden in einer Abbildungsvorrichtung, vorzugsweise nach einem der Ansprüche 1 bis 30, bei welchem eine Blende in einem ersten Schritt lösbar auf oder an der Aufnahme einer Transfereinrichtung angebracht wird, mittels der Transfereinrichtung in einem zweiten Schritt in das Gehäuse der Abbildungsvorrichtung bewegt und in einem dritten Schritt mit der Aufnahme im Gehäuse fixiert wird.
38. Verfahren nach Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet, dass in einem vierten Schritt die Fixierung der Blende im Gehäuse gelöst, die Blende in einem fünften Schritt mittels der Transfereinrichtung aus dem Gehäuse entfernt und in einem sechsten Schritt die Blende auf oder an der Aufnahme entfernt wird.
39. Verfahren nach Anspruch 37 oder 38, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem sechsten Schritt erneut die Schritte 1 bis 5 durchgeführt werden.
40. Verfahren nach einem der Ansprüche 37 bis 39, dadurch gekennzeichnet, dass gleichzeitig mit dem fünften Schritt bzgl. einer ersten Aufnahme der zweite Schritt bzgl. einer zweiten Aufnahme der Transfereinrichtung durchgeführt wird.
41. Verfahren nach einem der Ansprüche 37 bis 40, dadurch gekennzeichnet, dass gleichzeitig mit dem dritten und/oder vierten Schritt bzgl. einer ersten Aufnahme der Transfereinrichtung der erste und/oder sechste Schritt bzgl. einer zweiten Aufnahme der Transfereinrichtung durchgeführt wird.
42. Verfahren nach einem der Ansprüche 37 bis 41, dadurch gekennzeichnet, dass es bei einer EUV-Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie eingesetzt wird.
43. Verfahren zum wechselbaren Einbringen und/oder Austausch von Blenden in einer Abbildungsvorrichtung, vorzugsweise nach einem der Ansprüche 1 bis 30, bei welchem eine Blende auf oder an einer Aufnahme einer Transfereinrichtung zum Zwecke des Transports vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass für das Blendenwechseln keine Bewegungen der Transfereinrichtung in das Gehäuse oder aus dem Gehäuse heraus, ohne dass eine Blende auf oder an der Aufnahme angeordnet ist, durchgeführt werden, so dass schnelle Blendenwechsel möglich sind.
44. Verfahren zum Betrieb einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie mit einem Beleuchtungssystem und einem Projektionsobjektiv, wobei für das Beleuchtungssystem und/oder das Projektionsobjektiv mindestens eine Blendenwechseleinrichtung vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Entfernen einer Blende aus dem Projektionsobjektiv und/oder dem Beleuchtungssys- tem und Einbringen einer neuen Blende in einer Zeit <= 15 s erfolgt.
45. Verfahren nach Anspruch 44, dadurch gekennzeichnet, dass die Blendenwechselzeit <= 10 s ist.
46. Verfahren nach Anspruch 45, dadurch gekennzeichnet, dass die Blendenwechselzeit <= 5 s ist.
PCT/EP2008/052210 2007-02-28 2008-02-22 Abbildungsvorrichtung mit auswechselbaren blenden sowie verfahren hierzu Ceased WO2008104516A1 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009551180A JP5291002B2 (ja) 2007-02-28 2008-02-22 取替可能なダイアフラムを備える結像装置および方法
KR1020097019100A KR101517253B1 (ko) 2007-02-28 2008-02-22 교체 가능한 조리개를 갖는 결상 장치 및 이를 위한 방법
US12/549,541 US20100066990A1 (en) 2007-02-28 2009-08-28 Imaging device with exchangeable diaphragms and method therefor

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007009867.9 2007-02-28
DE102007009867A DE102007009867A1 (de) 2007-02-28 2007-02-28 Abbildungsvorrichtung mit auswechselbaren Blenden sowie Verfahren hierzu

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US12/549,541 Continuation US20100066990A1 (en) 2007-02-28 2009-08-28 Imaging device with exchangeable diaphragms and method therefor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2008104516A1 true WO2008104516A1 (de) 2008-09-04

Family

ID=39469420

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2008/052210 Ceased WO2008104516A1 (de) 2007-02-28 2008-02-22 Abbildungsvorrichtung mit auswechselbaren blenden sowie verfahren hierzu

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20100066990A1 (de)
JP (1) JP5291002B2 (de)
KR (1) KR101517253B1 (de)
DE (1) DE102007009867A1 (de)
TW (1) TWI446099B (de)
WO (1) WO2008104516A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018046350A1 (de) * 2016-09-07 2018-03-15 Carl Zeiss Smt Gmbh Optisches system, insbesondere lithographieanlage, sowie verfahren

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101235492B1 (ko) 2006-07-03 2013-02-20 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하 리소그래피 투사 대물렌즈 교정/수리 방법
JP5154564B2 (ja) 2006-12-01 2013-02-27 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー 像収差を低減するための交換可能で操作可能な補正構成を有する光学システム
KR102193973B1 (ko) * 2019-07-16 2020-12-22 엘아이지넥스원 주식회사 표적 탐지를 위한 비행체

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06177008A (ja) * 1992-12-01 1994-06-24 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 投影露光装置
EP0969327A2 (de) 1998-06-30 2000-01-05 Canon Kabushiki Kaisha Verfahren zur Mehrfachbelichtung
DE10343333A1 (de) 2003-09-12 2005-04-14 Carl Zeiss Smt Ag Beleuchtungssystem für eine Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage
WO2005050322A1 (en) 2003-10-29 2005-06-02 Carl Zeiss Smt Ag Diaphragm changing device
WO2007022922A2 (de) * 2005-08-23 2007-03-01 Carl Zeiss Smt Ag Austauschvorrichtung für ein optisches element

Family Cites Families (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3305294A (en) * 1964-12-03 1967-02-21 Optical Res & Dev Corp Two-element variable-power spherical lens
JPS62105440A (ja) * 1985-11-01 1987-05-15 Olympus Optical Co Ltd 振動型ステ−ジ装置
JP2880673B2 (ja) * 1988-02-12 1999-04-12 東京エレクトロン株式会社 被処理基板処理装置
JP3303436B2 (ja) * 1993-05-14 2002-07-22 キヤノン株式会社 投影露光装置及び半導体素子の製造方法
US5392119A (en) * 1993-07-13 1995-02-21 Litel Instruments Plate correction of imaging systems
US6304317B1 (en) * 1993-07-15 2001-10-16 Nikon Corporation Projection apparatus and method
US5677757A (en) * 1994-03-29 1997-10-14 Nikon Corporation Projection exposure apparatus
JPH0786152A (ja) * 1993-09-14 1995-03-31 Nikon Corp 投影露光装置
US6333776B1 (en) * 1994-03-29 2001-12-25 Nikon Corporation Projection exposure apparatus
WO1997033203A1 (en) * 1996-03-07 1997-09-12 Philips Electronics N.V. Imaging system and apparatus for ultraviolet lithography
JPH1054932A (ja) * 1996-08-08 1998-02-24 Nikon Corp 投影光学装置及びそれを装着した投影露光装置
DE19653983A1 (de) * 1996-12-21 1998-06-25 Zeiss Carl Fa REMA-Objektiv für Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlagen
DE69728126T2 (de) * 1996-12-28 2005-01-20 Canon K.K. Projektionsbelichtungsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
US6235438B1 (en) * 1997-10-07 2001-05-22 Nikon Corporation Projection exposure method and apparatus
JP2948216B1 (ja) * 1998-02-26 1999-09-13 有限会社ビーケーエスラボ 複数軸動力伝達装置およびウエハ搬送用アームリンク
JP2000091209A (ja) * 1998-09-14 2000-03-31 Nikon Corp 露光装置の製造方法、露光装置、及びデバイス製造方法
EP1125314A1 (de) * 1998-07-10 2001-08-22 Applied Materials, Inc. Verbesserte endpunktbestimmung für einen substratfabrikationsprozess
US6727980B2 (en) * 1998-09-17 2004-04-27 Nikon Corporation Apparatus and method for pattern exposure and method for adjusting the apparatus
US6312373B1 (en) * 1998-09-22 2001-11-06 Nikon Corporation Method of manufacturing an optical system
US6247818B1 (en) * 1998-10-20 2001-06-19 3M Innovative Properties Company Method for making retroreflective elements having enhanced retroreflectivity under dry and/or wet conditions
EP1772775B1 (de) * 1999-02-15 2008-11-05 Carl Zeiss SMT AG Mikrolithographie-Reduktionsobjektiveinrichtung sowie Projektionsbelichtungsanlage
US6995930B2 (en) * 1999-12-29 2006-02-07 Carl Zeiss Smt Ag Catadioptric projection objective with geometric beam splitting
DE10000191B8 (de) * 2000-01-05 2005-10-06 Carl Zeiss Smt Ag Projektbelichtungsanlage der Mikrolithographie
KR20030045817A (ko) * 2000-10-20 2003-06-11 칼-짜이스-스티프퉁 트레이딩 에즈 칼 짜이스 8-거울 마이크로리소그래피 투사 대물렌즈
TW519574B (en) * 2000-10-20 2003-02-01 Nikon Corp Multilayer mirror and method for making the same, and EUV optical system comprising the same, and EUV microlithography system comprising the same
JP2002184667A (ja) * 2000-12-14 2002-06-28 Nikon Corp 補正部材の製造方法、投影光学系の製造方法および露光装置の調整方法
JP2002203767A (ja) * 2000-12-27 2002-07-19 Nikon Corp 露光装置
US20040042094A1 (en) * 2000-12-28 2004-03-04 Tomoyuki Matsuyama Projection optical system and production method therefor, exposure system and production method therefor, and production method for microdevice
US20030081722A1 (en) * 2001-08-27 2003-05-01 Nikon Corporation Multilayer-film mirrors for use in extreme UV optical systems, and methods for manufacturing such mirrors exhibiting improved wave aberrations
JP2003068622A (ja) * 2001-08-28 2003-03-07 Canon Inc 露光装置及びその制御方法並びにデバイスの製造方法
JP2005513517A (ja) * 2001-12-07 2005-05-12 スマートレンズ・コーポレイション 写真技術に使用するための選択的合焦システム
EP1321822A1 (de) * 2001-12-21 2003-06-25 ASML Netherlands B.V. Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
DE10225265A1 (de) * 2002-06-07 2003-12-18 Zeiss Carl Smt Ag Objektiv, insbesondere Projektionsobjektiv für die Mikrolithographie
JP2004063988A (ja) * 2002-07-31 2004-02-26 Canon Inc 照明光学系、当該照明光学系を有する露光装置及びデバイス製造方法
TWI233154B (en) * 2002-12-06 2005-05-21 Soitec Silicon On Insulator Method for recycling a substrate
DE10258715B4 (de) * 2002-12-10 2006-12-21 Carl Zeiss Smt Ag Verfahren zur Herstellung eines optischen Abbildungssystems
JP2004319543A (ja) * 2003-04-11 2004-11-11 New Japan Radio Co Ltd 受光素子及びその製造方法
DE10360414A1 (de) * 2003-12-19 2005-07-21 Carl Zeiss Smt Ag EUV-Projektionsobjektiv sowie Verfahren zu dessen Herstellung
US7265917B2 (en) * 2003-12-23 2007-09-04 Carl Zeiss Smt Ag Replacement apparatus for an optical element
WO2005064382A1 (ja) * 2003-12-25 2005-07-14 Nikon Corporation 光学素子の保持装置、鏡筒、露光装置、及びデバイスの製造方法
DE102005030543A1 (de) * 2004-07-08 2006-02-02 Carl Zeiss Smt Ag Polarisatoreinrichtung zur Erzeugung einer definierten Ortsverteilung von Polarisationszuständen
EP1621930A3 (de) * 2004-07-29 2011-07-06 Carl Zeiss SMT GmbH Beleuchtungssystem für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
US7253880B2 (en) * 2004-11-24 2007-08-07 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
US7307262B2 (en) * 2004-12-23 2007-12-11 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
US7436484B2 (en) * 2004-12-28 2008-10-14 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
DE102005015627A1 (de) * 2005-04-06 2006-10-12 Carl Zeiss Smt Ag Optische Abbildungsvorrichtung
US7724351B2 (en) * 2006-01-30 2010-05-25 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus, device manufacturing method and exchangeable optical element
KR101235492B1 (ko) * 2006-07-03 2013-02-20 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하 리소그래피 투사 대물렌즈 교정/수리 방법
JP5154564B2 (ja) * 2006-12-01 2013-02-27 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー 像収差を低減するための交換可能で操作可能な補正構成を有する光学システム
WO2008113605A2 (de) * 2007-03-20 2008-09-25 Carl Zeiss Smt Ag Verfahren zum verbessern von abbildungseigenschaften eines optischen systems sowie derartiges optisches system
RU2566919C2 (ru) * 2010-02-12 2015-10-27 Джонсон Энд Джонсон Вижн Кэа, Инк. Устройство и способ получения клинических офтальмологических оптических аберраций высшего порядка

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06177008A (ja) * 1992-12-01 1994-06-24 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 投影露光装置
EP0969327A2 (de) 1998-06-30 2000-01-05 Canon Kabushiki Kaisha Verfahren zur Mehrfachbelichtung
DE10343333A1 (de) 2003-09-12 2005-04-14 Carl Zeiss Smt Ag Beleuchtungssystem für eine Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage
WO2005050322A1 (en) 2003-10-29 2005-06-02 Carl Zeiss Smt Ag Diaphragm changing device
WO2007022922A2 (de) * 2005-08-23 2007-03-01 Carl Zeiss Smt Ag Austauschvorrichtung für ein optisches element

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018046350A1 (de) * 2016-09-07 2018-03-15 Carl Zeiss Smt Gmbh Optisches system, insbesondere lithographieanlage, sowie verfahren

Also Published As

Publication number Publication date
KR101517253B1 (ko) 2015-05-04
TWI446099B (zh) 2014-07-21
US20100066990A1 (en) 2010-03-18
DE102007009867A1 (de) 2008-09-11
JP5291002B2 (ja) 2013-09-18
JP2010519778A (ja) 2010-06-03
KR20090125096A (ko) 2009-12-03
TW200844640A (en) 2008-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69735016T2 (de) Lithographisches Gerät mit zwei Objekthaltern
EP3177114B1 (de) Verfahren zur justage der primärseite eines röntgendiffraktometers
DE102010062341B4 (de) Vorrichtung zur Erhöhung der Tiefendiskriminierung optisch abbildender Systeme
DE4245060B4 (de) Modulares Mikroskopsystem
WO2007085290A2 (de) Verfahren und vorrichtung zur korrektur von abbildungsfehlern
DE102012209077B4 (de) Spanneinrichtung zum Einspannen eines stabartigen Werkstücks und Werkzeugmaschine damit
DE102018205894A1 (de) Objektivwechselvorrichtung für ein Mikroskopsystem, Adapter für ein Objektiv und Verfahren zum Zustellen eines Objektivs
DE102007026847A1 (de) Teilchenstrahlgerät und Verfahren zur Anwendung bei einem Teilchenstrahlgerät
WO2008104516A1 (de) Abbildungsvorrichtung mit auswechselbaren blenden sowie verfahren hierzu
EP3368934B1 (de) Mikroskop mit objektivwechselvorrichtung
WO2008135370A2 (de) Bestückautomat zum bestücken von elektrischen und/oder optischen bauteilen auf substrate.
EP2389059B1 (de) Bestückkopf für einen Bestückautomaten, Bestückautomat sowie Bestückverfahren
EP1922586B1 (de) Austauschvorrichtung für ein optisches element
EP1018054B1 (de) Mikroskopstativ für ein waferinspektionsmikroskop
EP3424731B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur positionierung eines dokumentenkörpers sowie vorrichtung und verfahren zur herstellung eines dokumentenkörpers
DE102008047575B4 (de) Gerät zur Handhabung mindestens eines Objektträgers
DE69900708T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen einer Belastungskraft für die Druckkopfeinstellung mittels Magneten
EP1573380A1 (de) Mikroskop
DE102019207873B4 (de) Optischer Aufbau für ein Mikroskop und Mikroskop
EP1874106B1 (de) Zuführeinrichtung zur Zufuhr von Bauelementen zu einem Bestückautomaten
EP1250978A2 (de) Werkstückträger-Wechseleinrichtung und Wechselverfahren für Werkstückträger
DE102010007890A1 (de) Werkzeugmaschine zum Bearbeiten von schlanken Werkstücken
DE102018210556A1 (de) Adapter zur Verwendung mit einem Probenhalter sowie Verfahren zum Anordnen einer Probe in einem Detektionsstrahlengang eines Mikroskops
DE29824597U1 (de) Mikroskopanordnung
DE102024103659A1 (de) Lademagazin und Bearbeitungszentrum

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 08709188

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2008709188

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2009551180

Country of ref document: JP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1020097019100

Country of ref document: KR

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 08709188

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1