WO2008092740A3 - Piezokeramischer vielschichtaktor und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

Piezokeramischer vielschichtaktor und verfahren zu seiner herstellung Download PDF

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Abstract

Die vorliegende Erfindung offenbart verschiedene Herstellungsverfahren zur Herstellung eines piezokeramischen Vielschichtaktors. Im Rahmen der Herstellungsverfahren werden Vielschicht-Riegel (10) elektrochemisch oder mechanisch derart bearbeitet, dass sich eine Senken-Struktur ergibt. Die Seitenflächen (22; 24) der Elektroden (20) innerhalb dieser Senken (40) werden elektrisch mit Hilfe von Schlickerguss isoliert, um durch Aufdrucken einer Außenmetallisierung die übrigen Elektroden kontaktieren zu können.
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