WO2007148397A1 - 磁気ヘッドの試験装置および試験方法 - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to a magnetic head test apparatus and a test method that make it possible to test radio wave resistance of a magnetic head by inspecting the characteristics of the magnetic head by applying a radio wave to the magnetic head.
- FIG. 3 shows a conventional apparatus configuration for testing electromagnetic conversion characteristics (read / write characteristics) of a magnetic head in a state where the slider 10 on which the magnetic head is formed is mounted on the head suspension 12.
- the head suspension 12 having the slider 10 mounted thereon is set on the set portion 14, the recording medium 16 is rotated by the driving device 18, and the slider 10 is in a state where the surface force of the recording medium 16 is also levitated.
- a signal is recorded on the recording medium 16 by the head (write element), and the output and noise as a result of converting the signal recorded on the recording medium 16 as a current (voltage) change by the read element are detected by the detector 20. Test the characteristics of the magnetic head.
- This conventional test apparatus performs tests under substantially the same conditions as when the magnetic disk apparatus was assembled with the magnetic head mounted on the head suspension.
- an external electric field radio wave
- TMR elements tunnel magnetoresistive elements
- read elements are structurally susceptible to external radio waves, so it is necessary to test for radio wave resistance in addition to electromagnetic conversion characteristics. I came.
- Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 9-16921
- Patent Document 2 JP-A-11 352171
- a magnetic disk device 30 is arranged in an anechoic chamber 32 as shown in FIG. 4, and the magnetic disk device 30 and the detector 34 are connected to a flat cable.
- a device is used which is connected by 34a and tests the characteristics of the magnetic disk device 30 by applying a radio wave in the anechoic chamber 32!
- This test equipment is used as a dedicated machine for testing radio wave immunity, and is tested with the magnetic disk unit assembled. Therefore, this method can only be tested in the assembled state as a magnetic disk device, and cannot be tested as a single magnetic head, and the radio wave resistance test is separate from the process of testing the characteristics of the magnetic head. Since this is a process, there is a problem that the inspection becomes complicated.
- the present invention inspects the electromagnetic conversion characteristics (read / write characteristics) and noise characteristics of a head assembly in a state where the magnetic head is mounted on a head suspension, and also allows the magnetic head to be tested for the electromagnetic wave resistance.
- An object is to provide a test apparatus and a test method of a magnetic head.
- the present invention has the following configuration in order to achieve the above object.
- a test apparatus that floats a magnetic head from the medium surface of a recording medium and inspects the recording and reproducing characteristics of the magnetic head with respect to the recording medium to test the electromagnetic conversion characteristics of the magnetic head, the magnetic head being the recording medium
- a load position a set portion that is moved to and supported by a position where the load position force is retracted, a radio wave transmitter that transmits radio waves toward the magnetic head, and the magnetic head, And a detector for detecting an output signal of the magnetic head.
- the magnetic head's radio wave resistance can be tested together with the electromagnetic conversion characteristics (read / write characteristics) of the magnetic head, and the magnetic head equipped with a TMR element with low radio wave resistance is tested. Can be suitably used.
- the antenna for focusing the radio wave of the radio wave transmission device on the magnetic head is provided, it is possible to test the magnetic head for radio wave resistance by efficiently applying the radio wave to the magnetic head.
- test area including the radio wave transmission device is shielded by a shield body so as to block external radio waves, tests without variations can be performed.
- the magnetic head is supported by the set unit and moved to a position retracted from the load position of the recording medium. A radio wave is transmitted from the radio wave transmission device to the magnetic head at a moving position, and the output noise of the magnetic head at the time of the radio wave transmission is detected by the detector to test the radio wave resistance of the magnetic head.
- the magnetic head when testing the magnetic head by the magnetic head test apparatus, the magnetic head is supported by the set unit, and the magnetic head is moved to the loading position of the recording medium, and the radio wave transmission is performed at the moving position. A radio wave is transmitted from the apparatus toward the magnetic head, and the output noise of the magnetic head at the time of the radio wave transmission is detected by the detector to test the radio wave resistance of the magnetic head.
- the set unit supports the magnetic head by changing the flying height between the medium surface of the recording medium and the magnetic head, and detects the radio wave resistance of the magnetic head due to the flying height, whereby the magnetic head is used as the recording medium.
- the radio wave resistance of the magnetic head at the loaded position can be detected more accurately.
- the radio wave is transmitted from the radio wave transmission device to the magnetic head while continuously changing the frequency, and the output noise of the magnetic head is detected by the detection unit to test the radio wave resistance of the magnetic head. Can be tested.
- a head assembly in which a slider is mounted on the head suspension can be set in the set portion to test the radio wave resistance of the magnetic head.
- FIG. 1 is an explanatory diagram showing a configuration of a first embodiment of a magnetic head testing apparatus.
- FIG. 2 is an explanatory diagram showing a configuration of a second embodiment of a magnetic head testing apparatus.
- FIG. 3 is an explanatory diagram showing the configuration of a conventional test apparatus for testing the characteristics of a magnetic head.
- FIG. 4 is an explanatory diagram showing a configuration of a device for testing radio wave resistance of a magnetic disk device.
- FIG. 1 shows a configuration of a first embodiment of a magnetic head testing apparatus according to the present invention.
- the test apparatus of the present embodiment has a magnetic head mounted on the head suspension and is electrically It is characterized by the ability to perform tests on magnetic conversion characteristics (read / write characteristics) and radio wave resistance of magnetic heads.
- the configuration for testing the electromagnetic conversion characteristics of the magnetic head is the same as the conventional configuration shown in Fig. 3. In other words, it is electrically connected to the set part 14 for setting the head assembly 13 on which the slider 10 is mounted on the head suspension 12 and the magnetic head formed on the slider 10, and detects signals such as output and noise of the magnetic head.
- the characteristic configuration of the magnetic head test apparatus of this embodiment is that, in addition to these structures, a radio wave transmission device 30 that transmits radio waves toward the magnetic head is provided.
- the radio wave transmission device 30 is capable of transmitting radio waves in a required frequency band such as 10 MHz to 100 MHz, for example.
- the magnetic head has some effect on radio waves.
- the magnetic head circuit has a capacitance component, and that external magnetic waves (electric and magnetic fields) ) Is considered one reason.
- the head assembly 13 is attached to the set unit 14, the signal is recorded on the recording medium 16, and the recorded signal is read. Light characteristics) can be tested.
- the method of testing the electromagnetic conversion characteristics of this magnetic head is the same as that of the conventional test equipment.
- the magnetic head test apparatus of the present embodiment can perform a radio wave resistance test of the magnetic head.
- One method for testing the radio wave resistance of a magnetic head is to test the characteristics of the magnetic head by transmitting radio waves from the radio wave transmission device 30 toward the slider 10 with the slider 10 sufficiently separated from the recording medium 16. Is the method.
- the magnetic head Since the magnetic head has a capacitive component, it behaves as noise increases for radio waves of a specific frequency. Therefore, when performing a radio wave immunity test, the power to continuously change the frequency of radio waves transmitted from the radio wave transmitter 30 or a predetermined frequency While changing the frequency at intervals, the detector 20 can detect the output of the read element or noise.
- the radio wave resistance of the magnetic head in the loaded state can be tested by transmitting radio waves from the radio wave transmitting device 30 to the magnetic head while the slider 10 is loaded on the recording medium 16. Also in this case, by detecting the noise output by the detector 20 while continuously changing the frequency of the radio wave transmitted from the radio wave transmission device 30, the phenomenon that the noise output becomes large at a specific frequency is detected, and the magnetic head Can be tested and evaluated.
- the set unit 14 when loading the magnetic head onto the recording medium 16, the set unit 14 is controlled so as to change the distance (flying height) between the medium surface of the recording medium 16 and the magnetic head (slider 10). It is possible to inspect how the radio wave resistance of the magnetic head varies depending on the amount. This inspection result can be used to design the slider 10 and flying height as well as the magnetic head design.
- the recording medium 16 It is effective to test the radio wave resistance of the magnetic head with the magnetic head loaded. It should be noted that when testing the electromagnetic conversion characteristics for recording and reproducing signals from the magnetic head on the recording medium 16, it is also possible to inspect by applying radio waves to the magnetic head at the same time. That is, according to this test method, it is possible to perform a test on whether or not the magnetic head has a reading error depending on whether or not a radio wave is transmitted to the magnetic head. Since radio waves acting on the magnetic head may affect the reading error of the magnetic head, such a test is also effective in some cases.
- the output of the detector 20 is detected while continuously or discretely changing the frequency of the radio wave transmitted from the radio wave transmitter 30. It is also possible to test the electromagnetic wave resistance of the magnetic head by transmitting the radio wave to be covered (so-called white radio wave) and detecting the output of the magnetic head by the detector 20. If the impedance of the magnetic head circuit is too strong, the output of the detector 20 is Fourier-transformed, and any frequency of the radio wave transmitted from the radio wave transmitter 30 is caused by the generation of noise. It is possible to know.
- the electromagnetic conversion characteristic (read / write characteristic) test of the magnetic head and the radio wave resistance test of the magnetic head can be performed.
- the test becomes possible.
- this test device can be used whenever the magnetic head's resistance to radio waves is examined and fed back to the design of the magnetic head at the magnetic head design stage.
- FIG. 2 shows the configuration of the second embodiment of the magnetic head testing apparatus according to the present invention.
- the test apparatus of the present embodiment is different from the first embodiment in that a parabolic antenna 40 for focusing the radio wave transmitted from the radio wave transmitter 30 on the magnetic head is arranged.
- the parabolic antenna 40 by using the parabolic antenna 40 to focus the radio wave on the magnetic head, the radio wave can be efficiently applied to the magnetic head, and the radio head radio wave resistance test is accurately performed. be able to.
- test apparatus Even when a radio wave is transmitted to the magnetic head using the norolabola antenna 40 and the radio wave resistance of the magnetic head is inspected, the test apparatus is used in the same manner as in the first embodiment.
- the method of bundling the radio wave from the radio wave transmission device 30 to the magnetic head is not limited to the method using the parabolic antenna 40, and the radio wave can be appropriately focused using an antenna.
- the inspection accuracy will vary if an external force radio wave enters. Therefore, the radio wave transmitter 30 and the DUT By arranging the test area including the magnetic head in this test apparatus to be shielded by a metal shield, the influence of disturbance can be eliminated. In addition, there is an advantage that it is possible to prevent the radio wave from the radio wave transmission device 30 from leaking outside by shielding the test area of the test apparatus with a shield body.
- the head assembly 13 in which the slider 10 is mounted on the head suspension 12 is supported by the set unit 14 to inspect the electromagnetic conversion characteristics and the radio wave resistance of the magnetic head.
- the magnetic head test apparatus and test method according to the present invention is an apparatus for testing such a slider alone! It can be applied even if it is long before.
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Abstract
記録媒体１６の媒体面から磁気ヘッド１０を浮上させ、記録媒体に対する磁気ヘッドの記録、再生特性を検査して磁気ヘッドの電磁変換特性を試験する試験装置であって、前記磁気ヘッド１０を前記記録媒体１６にロードさせる位置と、ロード位置から退避した位置に移動させて支持するセット部１４と、前記磁気ヘッドに向けて電波を発信する電波発信装置３０と、前記磁気ヘッドに電気的に接続され、該磁気ヘッドの出力信号を検知する検出器２０とを備え、電波発信装置３０から磁気ヘッドに電波を印加して磁気ヘッド１０の電波耐性を検知可能とした。
Description
磁気ヘッドの試験装置および試験方法
技術分野
[0001] 本発明は、磁気ヘッドに電波を作用させて磁気ヘッドの特性を検査することによつ て磁気ヘッドの電波耐性を試験することを可能にする磁気ヘッドの試験装置および 試験方法に関する。
背景技術
[0002] 磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドは、きわめて高精度の加工精度が求めら れる。したがって、製造工程中か磁気ディスク装置の組み立て前、出荷前等におい て、随時、評価試験を行っている。図 3は、磁気ヘッドが形成されたスライダー 10をへ ッドサスペンション 12に搭載した状態で磁気ヘッドの電磁変換特性 (リード'ライト特 性)を試験する従来の装置構成を示す。
この試験装置では、スライダー 10を搭載したヘッドサスペンション 12をセット部 14 にセットし、駆動装置 18によって記録媒体 16を回転駆動し、スライダー 10を記録媒 体 16の表面力も浮上させた状態で、磁気ヘッド (ライト素子）により記録媒体 16に信 号を記録し、記録媒体 16に記録された信号をリード素子により電流 (電圧)変化とし て変換した結果の出力やノイズを検出器 20により検出して、磁気ヘッドの特性を試 験する。
この従来の試験装置は、ヘッドサスペンションに磁気ヘッドを搭載した状態で、磁気 ディスク装置を組み立てたと略同じ条件で試験をするものである。ところで、最近の磁 気ヘッドにおいては、外的な電界 (電波）の影響によって動作が不安定になるという 現象が生じてきた。たとえば、リード素子に用いられる TMR素子（トンネル磁気抵抗 効果素子)などでは、構造的に外的な電波の影響を受けやすいために、電磁変換特 性の他に電波耐性についても試験する必要が生じてきた。
特許文献 1 :特開平 9— 16921号公報
特許文献 2 :特開平 11 352171号公報
発明の開示
従来、磁気ディスク装置について外的な電波の影響を試験する装置として、図 4に 示すような、電波暗室 32内に磁気ディスク装置 30を配置し、磁気ディスク装置 30と 検出器 34とをフラットケーブル 34aにより接続し、電波暗室 32内で磁気ディスク装置 30に電波を当てて特性を試験する装置が使用されて!、る。この試験装置は電波耐 性を試験する専用機として使用されるもので、磁気ディスク装置を組み立てた状態で 試験する。したがって、この方法による場合は磁気ディスク装置として組み立てた状 態でしか試験できず、磁気ヘッド単体としての試験ができないという問題と、電波耐 性の試験は磁気ヘッドの特性を試験する工程とは別工程になるため、検査が煩雑に なるという問題がある。
本発明は、磁気ヘッドをヘッドサスペンションに搭載した状態でヘッドアセンブリの 電磁変換特性 (リード'ライト特性)やノイズ特性を検査するとともに、磁気ヘッドの電 波耐性についても試験することができる磁気ヘッドの試験装置および磁気ヘッドの試 験方法を提供することを目的とする。
本発明は、上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、記録媒体の媒体面から磁気ヘッドを浮上させ、記録媒体に対する磁気 ヘッドの記録、再生特性を検査して磁気ヘッドの電磁変換特性を試験する試験装置 であって、前記磁気ヘッドを前記記録媒体にロードさせる位置と、ロード位置力 退 避した位置に移動させて支持するセット部と、前記磁気ヘッドに向けて電波を発信す る電波発信装置と、前記磁気ヘッドに電気的に接続され、該磁気ヘッドの出力信号 を検知する検出器とを備えて 、ることを特徴とする。
この磁気ヘッドの試験装置によれば、磁気ヘッドの電磁変換特性 (リード'ライト特 性）とともに磁気ヘッドの電波耐性を試験することができ、電波耐性の低い TMR素子 等を搭載した磁気ヘッドの試験に好適に使用できる。
また、前記電波発信装置の電波を前記磁気ヘッドに集束させるアンテナが設けら れていることにより、磁気ヘッドに効率的に電波を印カロさせて磁気ヘッドの電波耐性 を試験することができる。
また、前記電波発信装置を含む試験領域が、外部からの電波を遮断するようにシ 一ルド体により遮蔽されていることにより、ばらつきのない試験が可能になる。
また、前記磁気ヘッドの試験装置により磁気ヘッドを試験する際に、前記セット部に より前記磁気ヘッドを支持して、前記記録媒体のロード位置カゝら退避した位置に磁気 ヘッドを移動させ、その移動位置で前記電波発信装置から磁気ヘッドに向けて電波 を発信し、該電波発信時の磁気ヘッドの出力ノイズを前記検出器により検知して磁気 ヘッドの電波耐性を試験することを特徴とする。
また、前記磁気ヘッドの試験装置により磁気ヘッドを試験する際に、前記セット部に より前記磁気ヘッドを支持して、前記記録媒体のロード位置に磁気ヘッドを移動させ 、その移動位置で前記電波発信装置から磁気ヘッドに向けて電波を発信し、該電波 発信時の磁気ヘッドの出力ノイズを前記検出器により検知して磁気ヘッドの電波耐 性を試験することを特徴とする。
また、前記セット部により、前記記録媒体の媒体面と磁気ヘッドとの浮上量を変えて 磁気ヘッドを支持し、前記浮上量による磁気ヘッドの電波耐性を検知することにより、 磁気ヘッドを記録媒体にロードした位置での磁気ヘッドの電波耐性をさらに的確に 検知することができる。
また、前記電波発信装置から磁気ヘッドに向けて、周波数を連続的に変えながら電 波を発信し、前記検出部により磁気ヘッドの出力ノイズを検知して磁気ヘッドの電波 耐性を試験することにより好適な試験が行える。
また、前記セット部に、ヘッドサスペンションにスライダーを搭載したヘッドアセンブリ をセットして、磁気ヘッドの電波耐性を試験することができる。
図面の簡単な説明
[0004] [図 1]磁気ヘッドの試験装置の第 1の実施の形態の構成を示す説明図である。
[図 2]磁気ヘッドの試験装置の第 2の実施の形態の構成を示す説明図である。
[図 3]磁気ヘッドの特性を試験する従来の試験装置の構成を示す説明図である。
[図 4]磁気ディスク装置の電波耐性を試験する装置の構成を示す説明図である。 発明を実施するための最良の形態
[0005] (第 1の実施の形態）
図 1は、本発明に係る磁気ヘッドの試験装置の第 1の実施の形態の構成を示す。 本実施形態の試験装置は、磁気ヘッドをヘッドサスペンションに搭載した状態で電
磁変換特性 (リード'ライト特性)の試験と、磁気ヘッドの電波耐性の試験を可能とした ことを特徴とする。
図 1において、磁気ヘッドの電磁変換特性について試験する装置構成は、図 3に示 す従来の構成と同一である。すなわち、スライダー 10をヘッドサスペンション 12に搭 載したヘッドアセンブリ 13をセットするセット部 14と、スライダー 10に形成されている 磁気ヘッドと電気的に接続され、磁気ヘッドの出力、ノイズ等の信号を検出する検出 器 20と、リード'ライト試験で使用する試験用の記録媒体 16と記録媒体 16の駆動装 置 18とを備える。
本実施形態の磁気ヘッドの試験装置にぉ 、て特徴とする構成は、これらの構成に 加えて磁気ヘッドに向けて電波を発信する電波発信装置 30を備えたことにある。こ の電波発信装置 30はたとえば、 10MHz〜100MHzといった所要の周波数帯域の電 波を発信することができるものである。
磁気ヘッドが電波に対して何らかの作用を生じる理由としては 、ろ 、ろな原因が考 えられるが、磁気ヘッド回路が容量 (キャパシタンス)成分を備えて 、ることが外的な 電波（電界、磁界）の影響を受ける一つの理由と考えられる。
(試験装置の使用方法）
図 1に示す磁気ヘッドの試験装置によれば、セット部 14にヘッドアセンブリ 13を取り 付け、記録媒体 16に信号を記録し、記録した信号を読み取ることにより、磁気ヘッド の電磁変換特性 (リード ·ライト特性)を試験することができる。この磁気ヘッドの電磁 変換特性を試験する方法は従来の試験装置の場合と同様である。
本実施形態の磁気ヘッドの試験装置では、これに加えて、磁気ヘッドの電波耐性 試験を行うことができる。
磁気ヘッドの電波耐性を試験する一つの方法は、スライダー 10を記録媒体 16から 十分に離間させた状態で、電波発信装置 30からスライダー 10に向けて電波を発信 して磁気ヘッドの特性を試験する方法である。
磁気ヘッドは容量成分を有しているから、特定の周波数の電波に対して、ノイズが 大きくなるといった振る舞いをする。したがって、電波耐性試験を行う際には、電波発 信装置 30から発信する電波の周波数を連続的に変える力、あるいは所定周波数の
間隔で周波数を変えながら、検出器 20によりリード素子の出力あるいはノイズを検知 して行うことができる。
磁気ヘッドに電波を印加した際に、特定の周波数でノイズが増大するということは、 特性的に好ましくない。磁気ヘッドを設計する際には、特定の周波数でノイズが増大 すると!/、つたことがな 、ように、所定の周波数領域ではキャパシタンスを打ち消すよう な構成に設計する。し力しながら、製造ばらつき等によって、ある周波数でノイズが増 大するといつたことが生じ得る。本実施形態の試験装置を用いれば、電波耐性試験 によって、このような磁気ヘッドの電波耐性についての不良を検知することができる。 磁気ヘッドの電波耐性を試験する他の方法は、スライダー 10を記録媒体 16上に口 ードした状態で試験する方法である。すなわち、スライダー 10は記録媒体 16の表面 からわずかに離間する浮上位置で記録媒体 16との間でデータの記録および再生を 行う。スライダー 10が記録媒体 16から浮上する量はほんのわずかであり、記録媒体 1 6にスライダー 10をロードした状態で、記録媒体 16と磁気ヘッドとの間に容量成分（ キャパシタンス）が生じる。
したがって、記録媒体 16上にスライダー 10をロードした状態で、電波発信装置 30 から磁気ヘッドに向けて電波を発信することにより、ロード状態における磁気ヘッドの 電波耐性を試験することができる。この場合も、電波発信装置 30から発信する電波 の周波数を連続的に変えながら、検出器 20によりノイズ出力を検知することによって 、特定の周波数でノイズの出力が大きくなるといった現象をとらえ、磁気ヘッドの電波 耐性を試験、評価することができる。
また、記録媒体 16に磁気ヘッドをロードする際に、記録媒体 16の媒体表面と磁気 ヘッド (スライダー 10)との間隔 (浮上量)を変えるようにセット部 14を制御することによ り、浮上量によって磁気ヘッドの電波耐性がどのように変動するかを検査することが できる。この検査結果は、磁気ヘッドの設計とともに、スライダー 10や浮上量の設計 に生かすことができる。
製品によっては、記録媒体 16に磁気ヘッドをロードしない場合 (記録媒体 16から十 分に離間した状態)での試験では電波耐性に問題がなくても、記録媒体にロードした 際に電波耐性に問題が生じるといったことが起こり得る。したがって、記録媒体 16に
磁気ヘッドをロードした状態で磁気ヘッドの電波耐性を試験することは有効である。 なお、記録媒体 16に磁気ヘッドから信号を記録、再生する電磁変換特性の試験の 際に、同時に磁気ヘッドに電波を印加して検査することも可能である。すなわち、この 試験方法によれば、磁気ヘッドに電波を発信した場合と、電波を発信しなかった場合 とで、磁気ヘッドの読み取りエラーが発生する力否かと!、つた試験を行うことができる 。磁気ヘッドに作用する電波が磁気ヘッドの読み取りエラーに影響を与える場合もあ り得るから、このような試験も場合によっては有効である。
なお、上述した試験方法では、電波発信装置 30から発信する電波の周波数を連 続的、あるいは離散的に変えながら、検出器 20の出力を検知したが、電波発信装置 30から所定の周波数領域をカバーする電波（いわば、白色の電波）を発信して、磁 気ヘッドの出力を検出器 20によって検知することにより磁気ヘッドの電波耐性を試験 することも可能である。磁気ヘッド回路のインピーダンスがあら力じめわ力つていれば 、検出器 20の出力をフーリエ変換して、電波発信装置 30から発信されたいずれの周 波数の電波がノイズの発生に原因しているかを知ることが可能である。
このように、本実施形態の磁気ヘッドの試験装置によれば、磁気ヘッドの電磁変換 特性 (リード'ライト特性)試験と、磁気ヘッドの電波耐性試験を行うことができるから、 効率的で的確な試験が可能になる。また、本試験装置は、製品の良不良を検査する 他に、磁気ヘッドの設計段階で、磁気ヘッドの電波耐性を調べて、磁気ヘッドの設計 にフィードバックするといつた場合にも利用できる。
(第 2の実施の形態）
図 2は、本発明に係る磁気ヘッドの試験装置についての第 2の実施の形態の構成 を示す。本実施形態の試験装置は、第 1の実施の形態に対して、電波発信装置 30 から発信される電波を磁気ヘッドに集束させるためのパラボラアンテナ 40を配置した 点が異なる。本実施形態によれば、パラボラアンテナ 40を使用して磁気ヘッドに電波 を集束させることにより、電波を効率的に磁気ヘッドに作用させることができ、磁気へ ッドの電波耐性試験を的確に行うことができる。
ノラボラアンテナ 40を用いて磁気ヘッドに電波を発信して磁気ヘッドの電波耐性を 検査する場合も、試験装置の使用方法は第 1の実施の形態における場合と同様であ
る。
なお、磁気ヘッドに電波発信装置 30からの電波^^束させる方法はパラボラアン テナ 40を使用する方法に限るものではなぐ適宜アンテナを用いて電波を集束させ ることがでさる。
また、電波発信装置 30から磁気ヘッドに電波を発信して磁気ヘッドの電波耐性を 試験する場合に、外部力 電波が侵入すると検査精度がばらつくことになるから、電 波発信装置 30および被試験体である磁気ヘッドを含む本試験装置による試験領域 を金属のシールド体によって遮蔽する配置とすることにより、外乱の影響を排除する ことができる。また、本試験装置の試験領域をシールド体によって遮蔽することにより 、電波発信装置 30からの電波を外部に漏洩させな 、ようにできると 、う利点がある。 なお、上記実施形態においては、ヘッドサスペンション 12にスライダー 10を搭載し たヘッドアセンブリ 13をセット部 14に支持して磁気ヘッドの電磁変換特性と電波耐性 を検査した。スライダーをこのようにヘッドサスペンションに搭載せず、スライダーの単 体を、浮上構造を備えた試験装置にセットし、記録媒体を用いて信号を記録 '再生し て磁気ヘッドの電磁変換特性を検査する方法もある。本発明に係る磁気ヘッドの試 験装置および試験方法はこのような、スライダー単体で試験する装置につ！ヽても適 用することができる。
Claims
[1] 記録媒体の媒体面から磁気ヘッドを浮上させ、記録媒体に対する磁気ヘッドの記 録、再生特性を検査して磁気ヘッドの電磁変換特性を試験する試験装置であって、 前記磁気ヘッドを前記記録媒体にロードさせる位置と、ロード位置力 退避した位 置に移動させて支持するセット部と、
前記磁気ヘッドに向けて電波を発信する電波発信装置と、
前記磁気ヘッドに電気的に接続され、該磁気ヘッドの出力信号を検知する検出器 とを備えて ヽることを特徴とする磁気ヘッドの試験装置。
[2] 前記電波発信装置の電波を前記磁気ヘッドに集束させるアンテナが設けられて 、 ることを特徴とする請求項 1記載の磁気ヘッドの試験装置。
[3] 前記電波発信装置を含む試験領域が、外部力 の電波を遮断するようにシールド 体により遮蔽されていることを特徴とする請求項 1記載の磁気ヘッドの試験装置。
[4] 前記請求項 1記載の磁気ヘッドの試験装置により磁気ヘッドを試験する際に、 前記セット部により前記磁気ヘッドを支持して、前記記録媒体のロード位置から退 避した位置に磁気ヘッドを移動させ、その移動位置で前記電波発信装置から磁気へ ッドに向けて電波を発信し、
該電波発信時の磁気ヘッドの出力ノイズを前記検出器により検知して磁気ヘッドの 電波耐性を試験することを特徴とする磁気ヘッドの試験方法。
[5] 前記請求項 1記載の磁気ヘッドの試験装置により磁気ヘッドを試験する際に、 前記セット部により前記磁気ヘッドを支持して、前記記録媒体のロード位置に磁気 ヘッドを移動させ、その移動位置で前記電波発信装置から磁気ヘッドに向けて電波 を発信し、 該電波発信時の磁気ヘッドの出力ノイズを前記検出器により検知して磁 気ヘッドの電波耐性を試験することを特徴とする磁気ヘッドの試験方法。
[6] 前記セット部により、前記記録媒体の媒体面と磁気ヘッドとの浮上量を変えて磁気 ヘッドを支持し、前記浮上量による磁気ヘッドの電波耐性を検知することを特徴とす る請求項 5記載の磁気ヘッドの試験方法。
[7] 前記電波発信装置力 磁気ヘッドに向けて、周波数を連続的に変えながら電波を 発信し、前記検出部により磁気ヘッドの出力ノイズを検知して磁気ヘッドの電波耐性
を試験することを特徴とする請求項 4または 5記載の磁気ヘッドの試験方法。
前記セット部に、ヘッドサスペンションにスライダーを搭載したヘッドアセンブリをセッ トして、磁気ヘッドの電波耐性を試験することを特徴とする請求項 4または 5記載の磁 気ヘッドの試験方法。
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