WO2007129749A1 - 放電加工用多孔質銅電極並びに放電加工用多孔質銅電極の製造方法 - Google Patents

放電加工用多孔質銅電極並びに放電加工用多孔質銅電極の製造方法 Download PDF

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Yasushi Fukuzawa
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H1/00—Electrical discharge machining, i.e. removing metal with a series of rapidly recurring electrical discharges between an electrode and a workpiece in the presence of a fluid dielectric
    • B23H1/04—Electrodes specially adapted therefor or their manufacture
    • B23H1/06—Electrode material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B23H1/00—Electrical discharge machining, i.e. removing metal with a series of rapidly recurring electrical discharges between an electrode and a workpiece in the presence of a fluid dielectric
    • B23H1/04—Electrodes specially adapted therefor or their manufacture

Definitions

  • the present invention provides a high-performance electrode material used for electric discharge machining of metals, ceramic materials, and semiconductor materials.
  • the material composition of an electrode for electric discharge machining has conventionally used metal materials or alloys such as copper and brass, mixed and sintered such as silver tungsten and copper tungsten, and graphite Thus, it can be divided into those obtained by firing carbon.
  • Copper is widely used for processing steel materials because it is easy to manufacture the shape as an inexpensive electrode.
  • the caulking speed is inferior to copper tungsten, silver tungsten and graphite, which will be described later.
  • Electrode consumption can be reduced with respect to steel materials under limited conditions. However, electrode consumption is large in a wide processing range (under rough surface roughness).
  • This material has been used as an electrical contact material before the beginning of the history of discharge power.
  • the contact resistance is smaller than that of a contact of tungsten alone.
  • Electrode wear processing which has a higher processing speed than copper electrodes, is also possible.
  • cemented carbide is extremely inferior to the copper electrode, silver tungsten, and copper tanta- sten electrode, particularly in finishing.
  • the electrode materials of the prior art have their merits and demerits as described above, they are widely used in electric discharge machining and put into practical use.
  • the additive material is removed from the porous electrode.
  • Non-Patent Document 1 September 17, 2004 at Shimane University Precision Engineering Society Autumn Meeting Lecture Number G
  • Non-Patent Document 2 September 16, 2005 At Kyoto University, Japan Society for Precision Engineering Autumn Conference Lecture Number M
  • Non-patent document 3 November 17, 2005 at: Nagaoka Grand Hotel Electrical Processing Society of Japan Annual Conference Lecture number 22 Title Electrical discharge machining of super hard materials using copper porous electrode material
  • Non-Patent Document 4 Banyu Encyclopedia of Shogakukan, published by Shogakukan, Showa 53 16th (Physics / Mathematics) P.430
  • Non-Patent Document 5 Mitsubishi Electric Discharge Machine EP Power Supply Series Machining Characteristic Data Material NO.IB Name F (7903) _ (name) Difference in machining speed due to polarity of REC graph eye electrode Disclosure of the Invention Problems to be Solved by the Invention
  • porous copper electrode has been researched by the inventor of the present patent and has been presented at academic conferences over the past several years, and the porous copper electrode has been publicly known.
  • an electrode with a different relative density was made using the same electrode material and processed under the same electrical conditions with the electrode polarity set to (+).
  • the machining speed was improved, especially at a relative density of 80%, which was about 1.5 times faster than the copper electrode (Fig. 1).
  • the cemented carbide alloy is G5 (WC: grain size 1.2-2 / i M, CO: 12Wt%).
  • copper electrode (100% electrolytic copper) is used when the relative density is 77% or more.
  • the machining speed is improved, and at the maximum 77%, the discharge current is 55A (3 times) (Fig. 3).
  • the electrode wear ratio is as low as about 1/2 that of the copper electrode when the relative density is 80 to 95% and the discharge current value is higher (55A). As the discharge current decreases, the difference is smaller than the wear ratio of the copper electrode that approaches.
  • Electrode wear is the largest for copper electrodes, with the 88% copper porous electrode being about half that, and the Cu-W electrode being about half that, with the electrode consumption being the smallest (Fig. 6).
  • the reason for improving the processing characteristics of the porous material is that the electrode inertia (-) tungsten and carbon are uniformly deposited on the surface, and it is working to improve the processing speed and suppress electrode consumption. I wonder if it is.
  • the porous electrode described above is an important invention that innovates the electric discharge machining electrode in the future, and has already been publicly known from the above-mentioned announcement.
  • High melting point materials such as W'MO, Metal oxides such as CuO 'CuO' BaO 'SrO, borides such as CaB' NdB, or WC 'Ta
  • C 'TiC' ZrC 'It relates to a porous copper electrode for electrical discharge machining, which is composed of a porous copper electrode material having one or more kinds of additive materials of carbide powder such as MoC. is there.
  • the porosity of the porous copper electrode material produced by mixing the additive substance with the copper powder, press-molding and sintering the metal copper is 100, 2.
  • a method for producing an electrode used for discharging power of a metal material, a conductive ceramic material, a non-conductive ceramic material or a semiconductor material, wherein the powdery carbon is added to the copper powder high melting point materials such as Cu O 'CuO' BaO 'SrO, oxides of metals, borides such as CaB-NdB or carbide powders such as WC ⁇ TaC ⁇ TiC ⁇ ZrC ⁇ MoC
  • the additive is dispersed in the composition, and pressure-molded with a mold such as a powder alloy mold and then sintered to produce a porous copper electrode material.
  • the present invention relates to a method for producing a porous copper electrode.
  • the release degree according to claim 4, wherein the porosity of the porous copper electrode material is such that the relative density of the porous copper electrode material is 70 or more and 98 or less when copper in a metallic state is 100.
  • the present invention relates to a method for producing a porous copper electrode for electric power.
  • a mixing ratio of the additive substance to the copper powder is within a range of a mass ratio of 20% or less and 0.1% or more.
  • the present invention relates to an electrode material used for electric discharge machining of metal and ceramic materials and semiconductor materials. It relates to the structure of the electrode made of copper as a main component, the additive components, and the method of manufacturing the electrode, and realized a significant increase in processing speed and a decrease in electrode consumption.
  • the ceramic includes non-conductive ceramics such as nitride nitride alumina, and conductive ceramics such as tungsten carbide sintered alloy, TiC, TaC, and the like.
  • SiC or the like as a semiconductor material is included as a processing symmetry.
  • the outline of the invention is to obtain a desired porosity by a sintering method or the like by adding the following additive substance mainly composed of copper powder.
  • Substances to be added include carbon with the characteristic of actively emitting electrons, oxides such as BaO and SrO, borides such as soot, carbides such as TiC and SiC, and tungsten.
  • a high melting point metal such as ten or molybdenum is used and added as a single substance or as a mixture of two or more substances.
  • the porous electrode has an appropriate porosity that improves the processing speed, contrary to the conventional expectation, and the melting point described in (2) above.
  • the porous electrode By distributing high thermionic emission materials, etc., in the porous electrode, not only thermionic emission but also electric field emission is likely to occur, the rate of discharge electron current increases, and the processing speed on the anode side increases. The combination of these two has created a synergistic effect.
  • the present invention is configured as described above, it is an epoch-making porous copper electrode for electric discharge force and a method for producing the same that can realize a significant increase in processing speed and reduction in electrode consumption.
  • the inventions according to claims 2, 3, 5, and 6 provide an excellent porous copper electrode for electric discharge machining that exhibits a better effect and an improved manufacturing method.
  • the adhering tungsten and carbon are the starting points of discharge and generate thermionic emission. Since tungsten and carbon are both high melting point materials, field emission is also active. become.
  • the discharge current becomes an electron current with a high current density, which strongly heats the anode (workpiece), improves the processing speed, and if the absolute amount of electrode wear does not change, the wear ratio is relatively small. Become.
  • thermoelectric current will be emitted.
  • thermoelectrons The current density i3 ⁇ 4 of thermoelectrons is known as the Richardson equation and can be calculated.
  • Tungsten and carbon do not necessarily have a small work function, but they have the advantage of increasing the thermionic current density due to discharge at high temperatures. Also, because of the high temperature, field emission becomes active.
  • the cathode is less damaged.
  • thermoelectron emission temperature is calculated as the melting point of the material, the high melting point and the tandastene are straightened.
  • thermoelectron emission temperature is assumed to be the boiling point, the difference between the above numerical values becomes larger.
  • tungsten is an effective additive material for performing thermionic emission.
  • thermoelectrons The electron gun of an electron beam welder that emits thermoelectrons can also be understood by the fact that tungsten has been used for a long time.
  • Carbon electrodes exhibit excellent electrode properties when processing steel materials and are widely used in practice. However, it is rarely used for processing cemented carbide.
  • the specific gravity of WC or W that melts and scatters from the anode surface of the workpiece is twice or 2.5 times greater than that of steel, so the impact energy is large. If the bond strength is weak, it tends to collapse. In the case of steel processing, wear is reduced because the specific gravity of iron is smaller than WC and W.
  • electrode (1) has a higher processing speed
  • the means is as follows.
  • a mixture of a copper powder added with a thermionic emission material is sintered to obtain a desired porosity by compression molding.
  • thermoelectron emitting material is uniformly dispersed in the porous copper sintered structure. That is, the pores and thermionic emission material are each uniformly distributed in the tissue.
  • thermoelectron emitting material is uniformly dispersed in the porous copper sintered structure. That is, the pores and thermionic emission material are each uniformly distributed in the tissue.
  • 3 The following materials are useful as thermionic emission materials, and all are powders.
  • Carbides WC, TaC, TiC, ZrC, MoC, VC, etc.
  • the non-hole part is simply the surface of the sintered copper, and there is no action of thermionic emission material there.
  • the density of the sintered product is also close to 100%.
  • a porous electrode for example, has a porosity of about 80% to 90%, and positively forms holes so that there is an example in which the best processing speed and electrode consumption ratio can be obtained. There is clearly a difference.
  • the sintering conditions are the same, and the amount of powder to be inserted is changed.
  • a sintered body having a relative density of 60 to 95% is obtained.
  • Example 1 As described above, even when tungsten is added to the porous electrode, the structure is fundamentally different from that of the conventional copper tungsten electrode.
  • Example 1 As described above, even when tungsten is added to the porous electrode, the structure is fundamentally different from that of the conventional copper tungsten electrode.
  • a tool electrode material was produced using a discharge sintering machine used for producing a sintered body of a hardly sintered material or a porous material.
  • Figure 9 shows an overview of PECS (discharge sintering method).
  • Table 3 shows the sintering conditions.
  • the tool electrode fabricated in this experiment was prepared by inserting pure copper powder (average particle size, 15 ⁇ ) into a ⁇ 10 cylinder, making it compact by pressing 125 MPa, and sintering under the conditions shown in Table 3. .
  • all the sintering conditions were the same, and the amount of powder to be inserted was changed.
  • the relative density was obtained by measuring the density by the Archimedes method.
  • auxiliary electrode In non-conductive electrical discharge machining, the surface is made into a conductor, and an electric discharge force is applied thereon. This conductive film is called the auxiliary electrode
  • Table 4 shows the types of electrodes used in the experiment.
  • the discharge time (pulse width) is 4 ⁇ s, the current value is 4 A, and the thermionic current is likely to be emitted.
  • FIG. 8 shows the processing speed in a bar graph.
  • the processing speed of Cu_C in [3] is the first and as expected.
  • the second place is Cu_Ba ⁇ .
  • BaO has a small work function The flow is easy to get out of force S, not higher than the carbon addition of higher temperature melting point boiling point.
  • the third and fourth are Cu porous electrodes, which in this case are also faster than copper solids.
  • the lowest order is a graphite electrode.
  • the graphite electrode shows a high processing speed for the processing of steel materials.
  • the bonding force which is the disadvantage of the graphite electrode, is weak.
  • non-conformity like Si N
  • the processing speed is highest at Cu-C10% 85%.
  • this effect is presumed to be caused by the presence of discontinuous number of closed pores / m of fine pores and other elements that are not alloyed with the base material copper. .
  • the element to be added it is presumed that there are one or more kinds of elements such as a material having a low work function that is likely to generate discharge and a material having a high melting point from the viewpoint of thermionic emission.
  • An example of carbon was shown as one kind of additive element. From the phenomenon of thermionic emission and field emission, high melting point materials such as W'MO and metals such as CuO'CuO'BaO'SrO described in the present invention.
  • oxides such as borides such as CaB-NdB or carbides such as WC ⁇ TaC ⁇ TiC ⁇ ZrC ⁇ MoC are expected to show the same effect.
  • the electrode material for electric discharge machining manufactured according to the present invention can be used even under high energy (high current) machining conditions, and has lower machining characteristics than solid electric materials even in low energy machining such as finishing cabinets ( (Processing speed and electrode consumption) are improved, so it is expected to be used in a wide range of machining conditions, from rough machining to finishing calorie. Since the wear rate is also smaller than that of solid materials, it can be used as an electrode material for shape check of corners and corners with high accuracy. In particular, it is also effective for processing WC-CO based carbide materials and insulating materials.
  • FIG. 1 A graph showing the processing speed when SKD-11 is processed with copper powder sintered electrodes having different relative densities.
  • FIG. 2 A graph showing the electrode wear ratio when SKD-11 is processed with copper powder sintered electrodes with different relative densities.
  • FIG. 3 is a graph showing the processing speed when cemented carbide G5 is processed with sintered copper powder electrodes with different relative densities.
  • FIG. 4 is a graph showing the electrode wear ratio when cemented carbide G5 is covered with sintered copper powder electrodes having different relative densities.
  • FIG.5 Copper electrode with cemented carbide G5 covered with sintered copper powder electrode with different relative density It is a graph which shows surface roughness comparison with what is based on (100% electrolytic copper).
  • This graph shows the processing speed and electrode wear rate when cemented carbide G5 is processed with a porous electrode in which carbon is added to copper.
  • FIG. 8 The electric discharge machining conditions in FIG. 7 are shown.
  • FIG. 9 An explanatory diagram showing the configuration of the porous electrode sintering system.

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Abstract

　多孔質電極の発明によって得られた極めて特長ある加工上の成果を基に、更に飛躍した性能を多孔質電極に付加するために、多孔質電極に添加物質を加えて、熱電子放射と電界放射を活発ならしめることにより、大きな加工速度と小さな電極消耗を実現すること。 　銅粉に粉体状の炭素・W・MOなどの高融点材料，Cu2O・CuO・BaO・SrOなどの金属の酸化物，CaB6・NdB6などの硼化物若しくはWC・TaC・TiC・ZrC・MoCなどの炭化物の粉末の一種類または複数種類を混合添加し、この添加物質を組成中に分散させて粉末合金金型等の金型によって加圧成型した後、焼結して多孔質銅電極材料を製造することを特徴とする放電加工用多孔質銅電極の製造方法。

Description

明 細 書
放電加工用多孔質銅電極並びに放電加工用多孔質銅電極の製造方法 技術分野
[0001] 本発明は、金属，セラミックス材料，半導体材料の放電加工に使用する高性能の電 極材料を提供するものである。
背景技術
[0002] 放電加工用電極の材料構成には、従来から銅や黄銅のように金属材料又は合金 を使用するもの、銀タングステンや銅タングステンのように、混合して焼結したもの、グ ラフアイトのように炭素を焼成したものに分けられる。
[0003] これらについて、放電加工技術上の特性を述べると、次のようになる。
[0004] 1 銅や黄銅に代表される金属材料又は合金
(1) 銅は価格が安ぐ電極としての形状製作が容易なため、広く鉄鋼材料の加工に 使用される。但しカ卩ェ速度は後述の銅タングステンや銀タングステン，グラフアイトに 劣る。
[0005] 電極消耗は鉄鋼材料に対し、限られた条件下で低消耗力卩ェが可能であるが、（仕 上面あらさの荒い条件下）広い加工範囲に関しては、電極消耗は大きい。
[0006] (2) 黄銅は、含有成分の亜鉛が蒸発しやすいので、加工は短絡が少なく安定であ るが、電極消耗は広い範囲で銅よりも大きい。又、銅のように特定条件下に於ける低 消耗加工は不可能である。
[0007] 但し、黄銅ワイヤの状態にしてワイヤ放電力卩ェのワイヤ電極としては広く使用されて いる。その理由は、銅ワイヤよりも抗張力を高めることが容易であり、上述の加工が安 定であると云うことに基づく。
[0008] 2 銀タングステン，銅タングステン焼結電極
この材料は放電力卩ェの歴史がはじまる以前から、電気接点材料として用いられてい たものである。タングステン単体の接点よりは、接触抵抗が小さい特長がある。
[0009] 放電加工が普及し出し、特に超硬合金 (タングステンカーバイド焼結合金）の加工 に於いて、銅電極よりも加工速度が高ぐ電極消耗が小さいので、加工精度を必要と する形状加工に使用されている。
[0010] 3 グラフアイト電極
グラフアイトの密度の高いものが放電加工用電極として、鋼材の加工に使われてい る。特長は加工速度が銅電極よりも高ぐ電極低耗加工も可能である。
[0011] 熱膨張係数が銅よりも格段に低いので、金型等の寸法形状が得やすいと云う特長 力 Sある。然し加工が不安定になりやすぐ特に仕上加工は不安定度が増加する。そ のため仕上加工に向かないと云う欠点がある。
[0012] 又、超硬合金の加工は、特に仕上加工に於いて銅電極や銀タングステン，銅タン ダステン電極に著しく劣る。
[0013] ぐ従来技術の評価 >
従来技術の電極材料は前述の通り一長一短はあるものの、広く放電加工に定着し て、使い分けながら実用されている。
[0014] し力 ながら、同一放電エネルギーでより大きな加工速度を得ること、より少ない電 極消耗率を得ることが、放電力卩ェを利用する立場から求められて居り、それが実現で きれば、産業上大きな成果を生み出すことになる。
[0015] 本発明は、多孔質電極の発明によって得られた極めて特長ある加工上の成果を基 に、更に飛躍した性能を多孔質電極に付加するために、多孔質電極に添加物質を カロえて、熱電子放射と電界放射を活発ならしめることにより、大きな加工速度と小さな 電極消耗を実現したものである。
[0016] 非特許文献 1 : 2004年 9月 17日 於：島根大学 精密工学会秋季大会 講演番号 G
63 題名 放電加工電極の材料機能性制御
非特許文献 2 : 2005年 9月 16日 於:京都大学 精密工学会秋季大会 講演番号 M
34 題名 多孔質電極材料を用いた機能性材料の放電加工
非特許文献 3 : 2005年 11月 17日 於：長岡グランドホテル 電気加工学会全国大会 講演番号 22 題名 銅多孔質電極材料を用いた超硬材料の放電加工
非特許文献 4 :万有百科大辞典 小学館発行 昭和 53年 16卷 (物理 ·数学) P.430 非特許文献 5 :三菱放電加工機 EP電源シリーズ加工特性データ 資料 NO.IB (名 )_6 4513-F(7903)_ (名) RECグラフアイト電極の極性による加工速度の差異表 2に示す 発明の開示 発明が解決しょうとする課題
[0017] く多孔質銅電極の発明 >
多孔質銅電極は、本特許発明者が研究を行ない、過去数年にわたり、学会で発表 したものであり、多孔質銅電極に関しては公知となっている。
[0018] 1 発表論文は下記の通りである。
[0019] (1) 2004年 9月 17日 於：島根大学
精密工学会秋季大会 講演番号 G63
題名 放電加工電極の材料機能性制御
(2) 2005年 9月 16日 於：京都大学
精密工学会秋季大会 講演番号 M34
題名 多孔質電極材料を用いた機能性材料の放電加工
(3) 2005年 11月 17日 於：長岡グランドホテル
電気加工学会全国大会 講演番号 22
題名 銅多孔質電極材料を用いた超硬材料の放電加工特性
[0020] 2 発表論文の内容概略
(1) 2004年 9月 17日 於：島根大学 講演番号 G63
放電加ェ電極の材料機能性制御
〔目的〕
電極材料の機能性を制御する目的で、同一電極材料を用いて相対密度を変えた 電極を作り、電極極性を (+ )として同一電気条件で加工した結果、相対密度 70%以 上に於いて、銅電極（100%電気銅）を用いた加工に比べ、加工速度が向上し、特に 相対密度 80%近傍では、銅電極にくらべ約 1.5倍の加工速度となった（図 1)。
然し電極消耗は銅の固体電極と余り変わらなかった（図 2)。
又、相対密度が 70%以下になると、加工速度も低下し電極消耗量も増加した。
[0021] (2) 2005年 9月 16日 於:京都大学 講演番号 M34
多孔質電極材料を用いた機能性材料の放電加工
〔目的〕 超硬合金の加工に多孔質電極材料が、如何なる加工結果を示すかを実験的に確 かめたものである。
超硬合金は G5 (WC :粒径 1.2〜2 /i M, CO : 12Wt%)をカ卩ェした結果は、相対密度 が 77%以上に於いて、銅電極（100%電気銅）を用いた加工にくらべ、加工速度が向 上し、最高の 77%に於いて放電電流 55Aでは 3倍となっている（図 3)。
又、電極消耗比は相対密度が 80〜95%では放電電流値の高い方（55A)が銅電極 の 1/2程度と小さくなつている。放電電流が小さくなるにつれてその差異は接近するも のの銅電極の消耗比よりは小さい。
[0022] (3) 2005年 11月 17日 於：長岡グランドホテル 講演番号 22
銅多孔質電極材料を用いた超硬材料の放電加工特性
〔目的〕
a 加工後の表面粗さは銅電極よりも、相対密度 88%程度の多孔質電極で加工した ものが最良である（図 5)。
b Cu-W電極と加工速度、電極消耗比を比較した
加工速度は銅電極よりも Cu-W電極が大きぐ 88%の銅多孔質電極が Cu-W電極よ りも大きい（図 6)。
c 電極消耗は銅電極が最も多ぐ 88%銅多孔質電極がその 1/2程度となり、 Cu-W 電極が更にその 1/2程度となって、最も電極消耗率が小さい（図 6)。
d 多孔質材料の加工特性が向上する原因は、電極 亟性 (―》表面にタングステン とカーボンが均一に析出していて、加工速度の向上と、電極消耗を抑制するように作 用しているのではなかろうかと推論している。
[0023] ぐ多孔質電極の発明と本発明との関連 >
以上に述べた多孔質電極は、これからの放電加工電極に革新を与える重要な発明 であるが、前記の発表により既に公知となっている。
[0024] 又、加工速度や仕上面粗さが Cu_Wよりも良好ではあっても、消耗比が、 Cu-Wに及 ばないと云う問題点もある。
[0025] 本発明は多孔質電極を更に発展させてカ卩ェ速度の一層の向上と電極消耗比の改 善を目ざすために、多孔質電極が銅電極より優れた特性をもつのは、如何なる原理 に基づくかを考察することにより、新しい電極構成を発想するに至ったものである。 課題を解決するための手段
[0026] 添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
[0027] 金属材料，導電性セラミック材料，非導電性セラミック材料若しくは半導体材料の放 電力卩ェに用いる電極であって、銅粉と、粉体状の炭素. W'MOなどの高融点材料， C u O ' CuO ' BaO ' SrOなどの金属の酸化物， CaB 'NdBなどの硼化物若しくは WC 'Ta
C 'TiC 'ZrC 'MoCなどの炭化物の粉末の一種類または複数種類の添加物質とを有 する多孔質銅電極材料で構成したことを特徴とする放電加工用多孔質銅電極に係 るものである。
[0028] また、前記銅粉に前記添加物質を混合して加圧成型して焼結することで製造する 前記多孔質銅電極材料の多孔質度は、金属状態の銅を 100とした場合、相対密度 を 70以上 98以下の範囲に設定したことを特徴とする請求項 1記載の放電力卩ェ用多 孔質銅電極に係るものである。
[0029] また、前記銅粉に対する前記添加物質の混合割合は、質量比 20%以下 0.1 %以 上の範囲に設定したことを特徴とする請求項 1 , 2のいずれ力 1項に記載の放電カロェ 用多孔質銅電極に係るものである。
[0030] また、金属材料，導電性セラミック材料，非導電性セラミック材料若しくは半導体材 料の放電力卩ェに用いる電極の製造方法であって、銅粉に粉体状の炭素 ·\Υ·ΜΟなど の高融点材料， Cu O ' CuO 'BaO ' SrOなどの金属の酸化物， CaB -NdBなどの硼化 物若しくは WC · TaC · TiC · ZrC · MoCなどの炭化物の粉末の一種類または複数種類 を混合添加し、この添加物質を組成中に分散させて粉末合金金型等の金型によって 加圧成型した後、焼結して多孔質銅電極材料を製造することを特徴とする放電加工 用多孔質銅電極の製造方法に係るものである。
[0031] また、前記多孔質銅電極材料の多孔質度は、金属状態の銅を 100とした場合、相 対密度を 70以上 98以下の範囲とすることを特徴とする請求項 4記載の放電力卩ェ用 多孔質銅電極の製造方法に係るものである。
[0032] また、前記銅粉に対する前記添加物質の混合割合を、質量比 20%以下 0.1%以 上の範囲とすることを特徴とする請求項 4, 5のいずれ力 1項に記載の放電力卩ェ用多 孔質銅電極の製造方法に係るものである。
[0033] (1)即ち、この発明は、金属及びセラミックス材料ならびに半導体材料の放電加工 に使用する電極材料に関するものである。銅を主体として多孔質に形成された電極 の構成、添加成分，電極の製作法に関するものであり、著しい加工速度の増大及び 電極消耗の減少を実現したものである。
[0034] 尚、セラミックスは、窒化ケィ素ゃアルミナのような非導電性のものの他、導電性をも つセラミックス、例えばタングステンカーバイド焼結合金や TiC, TaCなどを含む。
[0035] また半導体物質として SiC等も加工の対称として含まれる。
[0036] (2)発明の概要は、銅粉末を主体として下記の添加物質を加え焼結法等によって 所望の多孔質度を得る。添加する物質は、電子放射を活発に行なう特性のある炭素 の他、 Ba〇， Sr〇などの酸化物、 ΉΒなどの硼化物， TiC, SiCなどの炭化物，タングス
2
テン，モリブデンなどの高融点の金属を用い、単体で添加するか 2種類以上の物質 を混合して添カ卩するものである。
[0037] 殊に融点，沸点，昇華温度の高い上記の炭素，タングステン，炭化物，硼化物等を 電極材料中に加えておけば、放電点が高温になるために熱電子放出が活発に行な われる力 それだけではなく温度が高くなれば、電子のエネルギーが増加して表面 障壁を通り抜ける確率が上るので電界放出も生じやすくなる。
[0038] そのため加工速度の画期的向上を見ることができたものである。
[0039] (3)この発明は、多孔質電極が従来の予想に反して、加工速度が向上する適当な 多孔質度が存在すると云うことを発見したことと、上記 (2)に述べた融点等の高い熱 電子放射物質を多孔質電極中に分布させることによって、熱電子放出のみならず電 界放射も生じやすくなり、放電の電子電流割合が多くなり、陽極側の加工速度を向上 させることを組合せ、相乗効果を生み出したことにある。
発明の効果
[0040] 本発明は上述のように構成したから、著しい加工速度の増大及び電極消耗の減少 が実現できる画期的な放電力卩ェ用多孔質銅電極並びにその製造方法となる。特に 請求項 2, 3, 5， 6記載の発明においては、一層良好な作用'効果を発揮し一層秀れ た画期的な放電加工用多孔質銅電極並びにその製造方法となる。 発明を実施するための最良の形態
[0041] 好適と考える本発明の実施形態（発明をどのように実施するか）を、本発明の作用 等を示して簡単に説明する。
[0042] 1 なぜ銅の多孔質電極の加工速度が向上し、電極消耗が減少するのか
前述した「銅多孔質電極材料を用いた超硬材料の放電加工特性」に関連して、次 の観察結果が得られている。
[0043] (1)加工後の多孔質電極表面 耐生 (一)）を観察すると、加工速度'電極消耗比共 に良好であった相対密度 88%の場合では、 WCと加工油が放電によって分解し、そ のタングステンとカーボンが均一に電極表面に分散されて付着している力 銅電極の 方は殆ど付着していない。
[0044] 又、消耗の多い相対密度 77%では、銅が電極表面に溶け出している。
[0045] (2)このことを考察すると次のようになる。
[0046] a)最も状態の好ましい相対密度 88%の場合では、付着したタングステンとカーボン が放電の起点となって熱電子放射を生起する力 タングステンもカーボンも高融点材 料なので、電界放射も活発になる。放電電流は高い電流密度の電子電流となり、陽 極 (被加工物）を強く加熱することになり、加工速度も向上し、電極消耗の絶対量は 変化がなければ、消耗比は相対的に小さくなる。
[0047] 付着したタングステンやカーボンが多ければ、消耗の絶対量も減少し、著しく小さな 消耗比となりうる可能性がある。
[0048] b)一方、銅電極は、タングステンとカーボンとの付着がないのでタングステンとカー ボンによる加工増大作用は発生しなレ、。したがって消耗比は劣ることになる。
[0049] c)消耗の多い相対密度 77%では、多孔質度が大きすぎるために、熱伝導率が低く なり、放電発生部分の発熱が冷却されにくいので、熱が蓄積され溶け出すことになり 、消耗比が増大する。
[0050] (3)なぜ多孔質表面であれば、タングステンとカーボンが均一に分散して電極表面 に付着されるのか。
[0051] b)に述べたように電極極性が（一）の場合は、タングステンやカーボンは（一）極には 付着しないものである。しかし多孔質電極では、電極たる（一）極に付着する。その理 由は次のように考えられる。
[0052] 放電が極間で発生した時に生成される高温の微小粒子は、電極表面に孔があると 孔につまるようになると考えられる。
[0053] それは粒度の小さい砂を水にまぜて流せば、孔があれば、砂が孔にたまってゆくよ うなものであろう。
[0054] 孔がなければ、流速が早ければ流されてしまう。放電発生による高い値の爆圧は加 ェ液と放電生成物を高速度で流し去るので、孔があれば、生成物は孔にたまるが、 孔がなければ、電極表面に蓄積しに《なる。
[0055] 2 タングステンやカーボンの放電発生に於ける作用はどのようなことが起るのかを 推論する。
[0056] (1)放電カ卩ェのような短間隙（1 μ Μ〜100 μ M程度）では次のようにして放電が発生 する。
[0057] a)放電の最初は、油中で極間距離が狭くなり 108ν/Μ (102ν/μ M)程度の電界強度 に達すると、電界放射 (別名冷陰極放射）によって温度が低くとも放射する。然し電子 電流密度は低い。
[0058] 電極の表面に突起や不純物のようなものや塵埃があれば、その点の電界強度が高 くなり、極間の平均距離は 102V/ /i Μに達しなくとも放電が発生しうる。
[0059] 上記のタングステンやカーボンなどが電極表面に付着していると突起の作用をする と考えられる。
[0060] (2)熱電子放射
熱電子放射物質が陰極に存在していて、それが放電点圏内に存在すれば、熱電 子電流を放出することになる。
[0061] 熱電子の電流密 i¾はリチャードソンの式として知られて居り、計算できる。
J=A (l - ) T2- exp (- φ / κ: ·Τ) · ' · (1)
Α:熱電子放出定数:材料によって異なる値を示すとのデータもある（表 1)
[注]金属データブック 日本金属学会 丸善 平成 9年改訂 3版
P.213
例 Aの値, W70, Th70, C041, Ni30 γ：電子の表面障壁の透過係数
κ：ボノレツマン常数
Φ：仕事関数
Τ :絶対温度
[0062] (1)の式によれば、放電点の温度 Τが高い方が、又熱電子放出定数 Αの大きい方が
、熱電子電流密度が高くなることを示している。
[0063] 即ち温度上昇と共に Jは指数関数的に増加する。
[0064] (3)高温に於ける電界放射
タングステンもカーボンも高融点材料なので、高温で電子エネルギーが増加し表面 障壁を通り抜ける確率が上るので電界放射も活発となる。
[0065] (4)仕事関数との関係
タングステンやカーボンは、仕事関数は必ずしも小さいわけではなレ、が、高温に於 ける放電により、熱電子電流密度が高まる利点がある。また高温になるために電界放 射も活発になる。
[0066] (5)熱電子電流密度の高いことの利点
熱電子電流密度が高ければ陽極物質の加工速度が高まり、パルス幅があまり長く なければ、陽イオン電流の発生は少ないので、陰極の損傷は少なぐ結局、電極（一
)の消耗比は小さくなる。
[0067] [表 1]
電子放出材料の電子放出常数 Aeと仕事閿数 ψ及び融点
Figure imgf000012_0001
[注〕 金属データブック 日本金属学会編 平成 9年改訂 3版
P. 213 1. 3 電子放出材料 より抽出
[0068] (6)熱電子電流密度をタングステンを中心にトリウム (Th) ,鉄と比較して、（1)式を 用いて概算を行った比較値を示すと、次のようになる。
[0069] W ： 910 X 106
Th : 280 X 106
Fe : 84 X 106
[0070] これは熱電子放射温度をその材料の融点として計算したため融点の高レ、タンダス テンが大きなィ直になつたものである。
[0071] 放電加工の放電点表面はその材料の沸点にあると考えて、融点に達している範囲 が除去されると仮定して計算した値が、実験事実によく合致することから妥当であると 考えられる。
[0072] 熱電子放射温度を沸点と仮定すれば、上記の数値の差はより大きくなる。
[0073] このことからタングステンは熱電子放射を行なうのに有力な添加材料であることが理 解される。
[0074] 熱電子を放射する電子ビーム溶接機の電子銃なども、タングステンが古くから用い られてレ、ること力らも納得できる。
[0075] (7)熱電子放射材料として、炭素を考えた場合はどうなるか。
[0076] 1)鋼材の放電カ卩ェに関しては、炭素が古くから放電加工の電極として使用され て居り、銅電極よりも加工速度が高い。特に炭素電極を（一）極として加工すると（+ ) 極の場合よりも加工速度が著しく高まる。又、パルス幅が短ぐ放電電流が小さい程（ 極間距離が短い程）、（一）極と（+ )極による加工速度比 (w(-) /w(+))が大きくなる
。これを表 2に示す。
[0077] 放電電流が小さい場合は、放電開始極間距離が短くなり電子電流が金属蒸気など と衝突する確率が小さぐ陽極加工表面に衝突する。電流が大きいと、放電開始極 間距離が長くなり、電子電流が金属蒸気などに衝突する確率が高くなり、陽イオン電 流が増加して（一）極に衝突し、陽極に衝突する電子電流が減少し、結局（―）極の 消耗が増加し、陽極加工物の加工量は減少する。
[0078] 2)炭素の融点が 3550°C 沸点が 4827°Cと高融点材料なので、タングステンと同 様に高温で電子エネルギーが増加し、表面障壁を電子が通り抜ける確率が上る。
[0079] 熱電子放射はもとより、電界放射も活発となるのでパルス幅の短い間は電子電流密 度が高くなり（一）極の場合は加工速度が高まる。
[0080] 3)炭素電極を（+ )極として使用した場合は、加工油の熱分解による炭素力 多 孔質電極表面によく付着するので、通常の銅電極よりも消耗特性が向上する。
[0081] 4)炭素電極の欠点
炭素電極は鋼材の加工に関しては、優れた電極特性を示し、実際にも広く使用さ れている。然しながら超硬合金の加工に関しては、ほとんど使用されていない。
[0082] その理由は、超硬合金の加工においては、電極の消耗が著しいために、加工形状 が崩れるためである。電極消耗が崩れるように大きくなる理由は、炭素の結合強度が 弱いことに起因する。
[0083] 超硬合金の加工では、被カ卩ェ物の陽極面から溶融して飛散する WCもしくは Wの比 重が鋼材に比べ 2倍もしくは 2.5倍大きぐ衝突エネルギーが大きいために、炭素の結 合強度が弱ければ崩壊しやすい。鋼材の加工の場合は、鉄の比重が WC， Wより小さ いので消耗は小さくなる。
[0084] 5)したがって超硬材料の加工を可能とするためには、炭素電極の結合強度を強 くする必要がある（銅粉と混合して焼結すれば結合強度を高めることが可能となる。 ) [0085] [表 2] グラフアイト電極極性と加工速度 （鋼材 S 5)
Figure imgf000014_0001
[0086] (1)上記のパルス幅と電流の範囲内では
a)全体的に電極 (一)の方が加工速度は高い
b)パルス幅が短い程、電極 (―)の方が、加工速度比 (W (-) Zw(+))が高い 放電電流が大きい程 (極間距離が長い程)カ卩ェ速度比は小さくなる
[0087] (2)パルス幅が短ぐ極間距離が短い程、電子電流の割合が多ぐパルス幅が長ぐ 極間距離が長くなると電子が金属蒸気に衝突して陽イオン電流の割合が多くなると 考えられる。
[0088] 〔手段〕
以上前述に述べた多孔質電極の効果と前述した高融点材料の高い電子電流密度 を得る効果を複合すれば、従来の銅タングステン電極や高密度焼結グラフアイト電極 を凌駕する加工性能が得られると考察した。
[0089] その手段は次のような方法である。
[0090] 1 銅の粉末に熱電子放射材料を添加混合したものを、圧縮成形して所望の多孔 質度が得られるように焼結する。
[0091] 2 組成は多孔質銅焼結組織の中に熱電子放射材料が均一に分散するようによく 混合する。すなわち孔と熱電子放射材料がそれぞれ組織内に均一に分布させる。 [0092] 3 熱電子放射材料としては、次の物質が有用であり、すべて粉体である。
[0093] 4 添加物質は下記に示す。
[0094] (1)炭素
(2)高融金属材料; W， Th， Ta， MOなど
(3)金属の酸化物； Cu〇， Cu〇， BaO, SrOなど
(4)硼化物 ； CaB NdBなど
(5)炭化物 ； WC， TaC, TiC, ZrC, MoC, VCなど
[0095] 〔作用〕
1 多孔質電極で放電加工を行なう場合と多孔質電極に熱電子放射物質を添加さ せた電極で加工する場合とを、超硬合金の加工についてその加工作用の差異につ いて説明する。
[0096] (1)単なる多孔質電極で加工する場合は、超硬合金成分の WCが放電熱で分解生 成したタングステンと、加工油が分解して生成したカーボンが多孔質電極面に付着 することによって熱電子放射物質としての役割をなすのである。
[0097] 特に孔の中にたまりやすいので、孔でない部分は、単なる焼結された銅の表面であ り、そこには熱電子放射物質による作用は存在しない。
[0098] (2)多孔質電極に熱電子放射性物質を添加させた電極で加工する場合は、熱電子 放射物質が孔のない部分にも存在するので、電極全表面で熱電子放射物質の作用 が行なわれる。そのため単なる多孔質電極に比較して加工速度が著しく向上する。
[0099] (3)多孔質電極に炭素を添加物として混合し焼結した場合は、炭素が圧縮成形さ れた銅粉の焼結の収縮過程に於いて高温下で高圧力で圧縮されるために、炭素が 一層緻密なカーボンに変質する可能性があり、熱伝導率を向上させるなど、結晶系 カーボンの上質の性質をもつ可能性がある。
[0100] <銅タングステン電極との相異>
従来からの銅タングステン焼結電極と多孔質電極に熱電子放射物質を添加させた 電極の、構造上の相異点を説明する。
[0101] 以上のどちらも、銅粉とタングステン粉の焼結合金であるから、その差はないと云う 疑問に対して、差異を説明する。 [0102] 銅タングステン焼結合金は微細に見れば、孔が存在する力も知れないが、孔は存 在しない方が良いと云う考えのもとで製造しているので、孔があれば不良品である。
[0103] 焼結した製品の密度も 100%に近いものである。
[0104] それに対して多孔質電極はたとえば 80%〜90%程度の多孔質度が最も良い加工 速度、電極消耗比が得られる例があるように、積極的に孔を形成するものであるから 、明らかに差異がある。所望の多孔質度を求めるために、たとえば焼結条件は同一と して、揷入する粉末量を変化させるなどを行っている。
[0105] そして、相対密度 60〜95%の焼結体が得られている。
[0106] 通常の銅電極を用いて加工した場合にくらべ、単なる多孔質銅電極では 70〜95% の多孔質度で、この全領域でカ卩ェ速度が向上し、最大は 1.5倍であつたと云う結果を 得ている。
[0107] (既発表論文（1) )
以上の如くであるから、多孔質電極にタングステンを添加した場合でも、従来の銅タ ングステン電極とは、構造が根本的に異なるものである。 実施例 1
[0108] ぐ多孔質電極の製造方法 >
本実施例に於ける多孔質電極の製作方法を述べる。
[0109] 難焼結材ゃ多孔質材料の焼結体作製に用いられている放電焼結機を用いて工具 電極材料を作製した。図 9に PECS (放電焼結法）の概要を示す。
[0110] 焼結条件を表 3に示す。本実験で製作した工具電極は純銅粉末 (平均粒径， 15 μ Μ)を φ 10の円筒型に挿入し， 125MPaの加圧によって圧粉体とした後表 3の条件によ り焼結した。焼結体の相対密度を変化させるため、焼結条件は全て同一として揷入 する粉末量を変化させた。この結果、相対密度 60〜95%の焼結体が得られた。なお 、相対密度は、アルキメデス法で密度を測定して求めた。
[0111] [表 3] 表 3 . Sintering Conditions (焼結条件)
Figure imgf000017_0001
実施例 2
[0112] 非導電性窒化ケィ素（Si N )の放電加工に、熱電子放射物質を添加した多孔質電
3 4
極を用いた加工速度の実施例を述べる。非導電性の放電加工は、その表面を導体 化して、その上に放電力卩ェを行うものである。この導体化膜を補助電極と称している
[0113] 前述したように Cuの多孔質電極中に高温度融点のカーボンを添加したものが期待 される。そこで、仕事関数の小さな BaO、蒸発しやすく加工状態が安定しやすい Znを 用意し、今まで述べた公知の Cuの多孔質電極と，グラフアイト単体，通常の銅電極と ,カーボンを添加した電極と加工速度の比較試験を行った。 （表 4)
[0114] [表 4]
表 4 . 使用した電極の種類
Figure imgf000018_0001
[0115] (1)電極の種類
表 4には、実験に使用した電極の種類を示す。
[0116] (2)加工条件を表 5に示す。
[0117] [表 5] 表 5 . 絶縁性 S i 3N4に対する加工条件
Figure imgf000018_0002
TP : トランジスタ一パルス回路
[0118] 放電時間（パルス幅）は 4 μ s，電流値が 4Aであり、熱電子電流が放出され易い条 件である。
[0119] (3)加工速度を棒グラフで示したものが図 8である。 [3]の Cu_Cの加工速度が第 1位 であり、期待通りである。第 2位が Cu_Ba〇である。 BaOの仕事関数は小さぐ電子電 流は出やすいのである力 S、より高温度融点沸点のカーボン添加には及ばない。第 3 位，第 4位は Cuの多孔質電極であり、この場合も銅の Solid (中実）よりは加工速度が 高レ、。
[0120] 最下位は、グラフアイト電極である。前述したようにグラフアイト電極は鋼材の加工に 対しては大きな加工速度を示すが、前述の 4)に述べたようにその欠点である結合力 が弱いために、超硬合金に対して加工が不適合であったのと同様に、 Si Nのような
3 4 硬質高融点の被カ卩ェ材料に対しては、同様の結果を示したものと考えられる。
実施例 3
[0121] <WCの加工 >
超硬合金 (Weで表示）の放電カ卩ェに、銅電極（Cu Solidと表示）， Cu85%多孔質電 極（Cu85%と表示），カーボンを重量比 10%を含む多孔質電極（Cu-C10% 85%と表示
)の 3種類の電極で加工を行った。
[0122] 加工条件は表 6に示すように放電パルス幅時間が 8 μ s,電流値が 55Αであるから、 超硬合金加工としては、高速加工に属する。
[0123] [表 6]
表 6 . WCの加工条件
Figure imgf000019_0001
TP : トランジスタ一パルス回路
[0124] 加工速度は図 9に示すように、 Cu-C10% 85%が最高である。
[0125] この結果から多孔質電極中にカーボンのような高融点沸点の物質を添加することは 明らかに超硬合金の加工速度を向上させることが判った。 [0126] 上記実施例では、放電カ卩ェにおいて、多孔質銅電極材に炭素粉末を添加した効 果の例を示した。
[0127] この効果は、前述したように、閉気孔の不連続な数/ mの微細な孔の存在と母材で ある銅とは合金化しない他元素を混在することにより発生すると推定される。添加する 元素としては、放電発生が生じやすい仕事関数の小さい材料、熱電子放出の点から 高融点である材料等の 1種類または複数種類があると推定される。 1種類の添加元 素として炭素の例を示したが、熱電子放出、電界放出の現象から本発明で記述した 、 W'MOなどの高融点材料， Cu O ' CuO 'BaO ' SrOなどの金属の酸化物， CaB -NdB などの硼化物若しくは WC · TaC · TiC · ZrC · MoCなどの炭化物も、当然同じ効果を示 すと想定される。
[0128] 本発明に従い製造された、放電加工用電極材料は、高エネルギー（高電流での） 加工条件でも使用できること、仕上げカ卩ェのような低エネルギー加工でも固体電材 料よりも加工特性 (加工速度、電極消耗）が向上しているので、粗加工から仕上げカロ ェまでの広い加工状態での使用が想定される。消耗率も固体材料に比較して小さい ことから、高精度の角部、隅部の形状カ卩ェ用の電極材料として使用できる。特に、 W C-CO系の超硬材料や絶縁性材料の加工にも有効である。
[0129] 尚、本発明は、実施例 1 , 2, 3に限られるものではなぐ各構成要件の具体的構成 は適宜設計し得るものである。
図面の簡単な説明
[0130] [図 1]相対密度の異なる銅粉焼結電極で SKD— 11を加工した時の加工速度を示す グラフである。
[図 2]相対密度の異なる銅粉焼結電極で SKD— 11を加工した時の電極消耗比を示 すグラフである。
[図 3]相対密度の異なる銅粉焼結電極で超硬合金 G5を加工した場合の加工速度を 示すグラフである。
[図 4]相対密度の異なる銅粉焼結電極で超硬合金 G5をカ卩ェした場合の電極消耗比 を示すグラフである。
[図 5]相対密度の異なる銅粉焼結多孔質電極で超硬合金 G5をカ卩ェした時の銅電極 (100%電気銅）によるものとの表面粗さ比較を示すグラフである。
園 6]加工速度と電極消耗比に関し，銅タングステン電極と銅粉焼結多孔質電極によ るものとの比較を示すグラフである。
園 7]銅に炭素を添加した多孔質電極で，超硬合金 G5を加工したときの加工速度， 電極消耗率を示すグラフである。
[図 8]図 7での放電加工条件を示す。
園 9]多孔質電極焼結システムの構成を示す説明図である。
園 10]第 2実施例の各電極における絶縁性 Si3N4セラミックに対する加工速度を示す グラフである。
園 11]第 3実施例の各電極における絶縁性 Si3N4セラミックに対しての加工速度を示 すグラフである。

Claims

請求の範囲
[1] 金属材料，導電性セラミック材料，非導電性セラミック材料若しくは半導体材料の放 電力卩ェに用いる電極であって、銅粉と、粉体状の炭素. W'MOなどの高融点材料， C u O ' CuO ' BaO ' SrOなどの金属の酸化物， CaB 'NdBなどの硼化物若しくは WC 'Ta
C 'TiC 'ZrC 'MoCなどの炭化物の粉末の一種類または複数種類の添加物質とを有 する多孔質銅電極材料で構成したことを特徴とする放電加工用多孔質銅電極。
[2] 前記銅粉に前記添加物質を混合して加圧成型して焼結することで製造する前記多 孔質銅電極材料の多孔質度は、金属状態の銅を 100とした場合、相対密度を 70以 上 98以下の範囲に設定したことを特徴とする請求項 1記載の放電加工用多孔質銅 電極。
[3] 前記銅粉に対する前記添加物質の混合割合は、質量比 20%以下 0.1%以上の範 囲に設定したことを特徴とする請求項 1 , 2のいずれか 1項に記載の放電加工用多孔 質銅電極。
[4] 金属材料，導電性セラミック材料，非導電性セラミック材料若しくは半導体材料の放 電力ロェに用いる電極の製造方法であって、銅粉に粉体状の炭素 ·\Υ·ΜΟなどの高融 点材料， 01 0 ' 01〇' 8&0 1"0などの金属の酸化物， CaB 'NdBなどの硼化物若しく は WC · TaC · TiC · ZrC · MoCなどの炭化物の粉末の一種類または複数種類を混合添 加し、この添加物質を組成中に分散させて粉末合金金型等の金型によって加圧成 型した後、焼結して多孔質銅電極材料を製造することを特徴とする放電加工用多孔 質銅電極の製造方法。
[5] 前記多孔質銅電極材料の多孔質度は、金属状態の銅を 100とした場合、相対密 度を 70以上 98以下の範囲とすることを特徴とする請求項 4記載の放電加工用多孔 質銅電極の製造方法。
[6] 前記銅粉に対する前記添加物質の混合割合を、質量比 20%以下 0.1。 /。以上の範 囲とすることを特徴とする請求項 4, 5のいずれか 1項に記載の放電加工用多孔質銅 電極の製造方法。
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