WO2007114385A1

WO2007114385A1 - 振動子の製造方法、振動子、振動アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラシステム

Info

Publication number: WO2007114385A1
Application number: PCT/JP2007/057263
Authority: WO
Inventors: Takahiro Sato
Original assignee: Nikon Corporation
Priority date: 2006-04-04
Filing date: 2007-03-30
Publication date: 2007-10-11
Also published as: JP5187190B2; US20090237818A1; US8555483B2; JPWO2007114385A1

Abstract

　接着性を安定させることができ、歩留まりも向上させることができる振動子の製造方法、振動子、振動アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラシステムを提供する。　振動子の製造方法は、弾性体（１２）を保持部材（１２Ａ）に配置する第１工程（Ｓ２０１）と、弾性体（１２）の表面に、射出成形により電気機械変換素子（１３）を形成する第２工程（Ｓ２０３）と、電気機械変換素子（１３）を加熱して焼結し、弾性体（１２）と電気機械変換素子（１３）とを接合する第３工程（Ｓ２０５）とを備える。

Description

明細書

振動子の製造方法、振動子、振動ァクチユエータ、レンズ鏡筒及びカメラシステム

技術分野

[0001] 本発明は、振動子の製造方法、振動子、振動ァクチユエータ、レンズ鏡筒及びカメラシステムに関するものである。

背景技術

[0002] 特許文献 1は、移動子の母材を焼結合金により作製し、高温や高湿の悪環境下での使用や長時間駆動に耐えられる超音波ァクチユエータを開示している。

[0003] しかし、このような超音波ァクチユエータであっても、一般的な超音波モータであつても、弾性体と圧電素子とは、接着により固定されている。弾性体と圧電素子との接着は、モータの性能において非常に重要な工程であり、接着状態が安定しないとモータの性能も安定しないし、長期の信頼性も確保できない。また、接着状態を安定させるためには、接着剤の量の管理や硬化条件の管理等、管理項目が多岐にわたる。その中の一つでも安定しないと、モータの性能に影響が出てしまう。

[0004] 一方、超音波モータに使用する圧電素子は、加工の工程が非常に多岐にわたり、焼結工程や機械加工の難しさから、歩留まりがあまりよくない。また、上述したように、弾性体と圧電素子とは、接着により固定されているが、圧電素子の機械加工のばらつきから、弾性体と圧電素子とを接着したときには、弾性体の中心と圧電素子の中心とがずれてしまう可能性があった。さら〖こ、圧電素子の外径が弾性体の外径よりも外側にはみ出していると、その部分を研磨する必要があるので、後工程にて割れが発生する場合があり、部組時にも歩留まりが低下する恐れがあった。

特許文献 1：特開平 8 - 196091号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] 本発明の課題は、接着性を安定させることができ、歩留まりも向上させることができる振動子の製造方法、振動子、振動ァクチユエータ、レンズ鏡筒及びカメラシステムを提供することである。

課題を解決するための手段

本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の一実施例を示す図面に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではな、。

請求項 1の発明は、弾性体（12)を保持部材（12A)に配置する第 1工程 (S201)と、前記弾性体（12)の表面に、射出成形により電気機械変換素子（13)を形成する第 2工程 (S203)と、前記電気機械変換素子（13)を加熱して焼結し、前記弾性体（12 )と前記電気機械変換素子（13)とを接合する第 3工程 (S205)と、を備える振動子の製造方法である。

請求項 2の発明は、電気機械変換素子（13)を保持部材 (13A)に配置する第 1ェ程 (S101)と、前記電気機械変換素子（13)の表面に、射出成形により弾性体（12) を形成する第 2工程 (S103)と、前記弾性体 (12)を加熱して焼結し、前記弾性体 (1 2)と前記電気機械変換素子（13)とを接合する第 3工程 (S 105)と、を備える振動子の製造方法である。

請求項 3の発明は、請求項 1又は請求項 2に記載の振動子の製造方法において、前記第 2工程 (S103, S203)と前記第 3工程 (S105, S205)との間に、前記弾性体 (12)と前記電気機械変換素子（13)とを加圧する工程 (S104, S204)を備えること、を特徴とする振動子の製造方法である。

請求項 4の発明は、第 1の金型（12A)に弾性体（12)を配置する第 1工程 (S201) と、前記第 1の金型（12A)に第 2の金型（13A)を設置する第 2工程 (S202)と、前記第 2の金型（ 13 A)に粉末材料 ( 131 )を射出して、前記弾性体 ( 12)の表面に電気機械変換素子（13)を形成する第 3工程 (S203)と、前記第 1の金型（12A)と前記第 2 の金型（ 13 A)とから前記弾性体 ( 12)と前記電気機械変換素子（ 13)とをはずし、前記電気機械変換素子（13)を加熱して焼結し、前記弾性体（ 12)と前記電気機械変換素子（13)とを接合する第 4工程 (S205)と、を備える振動子の製造方法である。請求項 5の発明は、第 1の金型（13A)に電気機械変換素子（13)を配置する第 1ェ程 (S101)と、前記第 1の金型（13A)に第 2の金型（12A)を設置する第 2工程 (S 10 2)と、前記第 2の金型（12A)に粉末材料 (121)を射出して、前記電気機械変換素子（13)の表面に弾性体（12)を形成する第 3工程と、前記第 1の金型（13A)と前記第 2の金型（ 12A)とから前記弾性体 ( 12)と前記電気機械変換素子（ 13)とをはずし、前記弾性体 (12)を加熱して焼結し、前記弾性体 (12)と前記電気機械変換素子（1

3)とを接合する第 4工程 (S 105)と、を備える振動子の製造方法である。

請求項 6の発明は、請求項 4又は請求項 5に記載の振動子の製造方法において、前記第 3工程 (S103, S203)と前記第 4工程 (S105, S205)との間に、前記弾性体 (12)と前記電気機械変換素子（13)とを加圧するように前記第 1の金型（12A)と前記第 2の金型（13A)との間に加圧力を加える工程 (S104, S204)を備えること、を特徴とする振動子の製造方法である。

請求項 7の発明は、射出成形により弾性体（12)を保持部材（12A)に形成する第 1 工程 (S501)と、前記弾性体 (12)の表面に電気機械変換素子（13)を配置する第 2 工程 (S 502)と、前記弾性体 (12)と前記電気機械変換素子（13)とを加圧する第 3 工程 (S503)と、前記弾性体（12)を加熱して焼結し、前記弾性体（12)と前記電気機械変換素子（13)とを接合する第 4工程 (S504)と、を備える振動子の製造方法である。

請求項 8の発明は、射出成形により電気機械変換素子（13)を保持部材（13A)に形成する第 1工程 (S601)と、前記電気機械変換素子（13)の表面に弾性体（12)を配置する第 2工程 (S602)と、前記弾性体 (12)と前記電気機械変換素子（13)とを加圧する第 3工程 (S603)と、前記電気機械変換素子（13)を加熱して焼結し、前記弾性体 (12)と前記電気機械変換素子（13)とを接合する第 4工程 (S604)と、を備える振動子の製造方法である。

請求項 9の発明は、第 1の金型（12A)に粉末材料（121)を射出して、弾性体（12) を形成する第 1工程 (S501)と、前記第 1の金型（12A)の一部（12A— 1)をはずし、前記第 1の金型（12A)の弾性体 (12)の表面に、電気機械変換素子（13)が配置された第 2の金型（13A)を設置する第 2工程 (S502)と、前記弾性体（12)と前記電気機械変換素子（13)とを加圧するように前記第 1の金型（ 12A)と前記第 2の金型（ 13 A)との間に加圧力を加える第 3工程 (S503)と、前記第 1の金型（12A)と前記第 2の金型（ 13 A)とから前記弾性体 ( 12)と前記電気機械変換素子（13)とをはずし、前記弾性体 (12)を加熱して焼結し、前記弾性体 ( 12)と前記電気機械変換素子（ 13)とを接合する第 4工程 (S504)と、を備える振動子の製造方法である。

請求項 10の発明は、第 1の金型（13A)に粉末材料（131)を射出して、電気機械変換素子（13)を形成する第 1工程 (S601)と、前記第 1の金型（13A)の一部（13A 1)をはずし、前記第 1の金型（13A)の電気機械変換素子（13)の表面に、弾性体 (12)が配置された第2の金型（12八)を設置する第2ェ程 602)と、前記弾性体（1

2)と前記電気機械変換素子（13)とを加圧するように前記第 1の金型（13A)と前記第 2の金型（12A)との間に加圧力を加える第 3工程 (S603)と、前記第 1の金型（13 A)と前記第 2の金型（12A)とから前記弾性体 (12)と前記電気機械変換素子（13)とをはずし、前記電気機械変換素子（13)を加熱して焼結し、前記弾性体（12)と前記電気機械変換素子（13)とを接合する第 4工程 (S604)と、を備える振動子の製造方法である。

請求項 11の発明は、射出成形により弾性体（12)を保持部材（12A)に形成する第 1工程 (S301)と、前記弾性体（12)の表面に、射出成形により電気機械変換素子（1

3)を形成する第 2工程 (S303)と、前記弾性体（12)と前記電気機械変換素子（13) とを加熱して焼結し、前記弾性体 (12)と前記電気機械変換素子（13)とを接合する第 3工程 (S305)と、を備える振動子の製造方法である。

請求項 12の発明は、射出成形により電気機械変換素子（13)を保持部材（13A)に形成する第 1工程 (S401)と、前記電気機械変換素子（13)の表面に、射出成形により弾性体 (12)を形成する第 2工程 (S403)と、前記弾性体 (12)と前記電気機械変換素子（ 13)とを加熱して焼結し、前記弾性体 ( 12)と前記電気機械変換素子（ 13)とを接合する第 3工程 (S405)と、を備える振動子の製造方法である。

請求項 13の発明は、請求項 11又は請求項 12に記載の振動子の製造方法において、前記第 2工程 (S303, S403)と前記第 3工程 (S305, S405)との間に、前記弹性体（12)と前記電気機械変換素子（13)とを加圧する工程 (S304, S404)を備えること、を特徴とする振動子の製造方法である。

請求項 14の発明は、第 1の金型（12A)に粉末材料（121)を射出して、弾性体（12 )を形成する第 1工程 (S301)と、前記第 1の金型（12A)の一部（12A— 1)をはずし、前記第 1の金型（12A)に第 2の金型（13A)を設置する第 2工程 (S302)と、前記第 2の金型（ 13 A)に粉末材料 ( 131 )を射出して、前記弾性体 ( 12)の表面に電気機械変換素子（13)を形成する第 3工程 (S303)と、前記第 1の金型（12A)と前記第 2 の金型（ 13 A)とから前記弾性体 ( 12)と前記電気機械変換素子（ 13)とをはずし、前記弾性体 (12)と前記電気機械変換素子（13)とを加熱して焼結し、前記弾性体 ( 12 )と前記電気機械変換素子（13)とを接合する第 4工程 (S 305)と、を備える振動子の製造方法である。

請求項 15の発明は、第 1の金型（13A)に粉末材料（131)を射出して、電気機械変換素子（13)を形成する第 1工程 (S401)と、前記第 1の金型（13A)の一部（13A 1)をはずし、前記第 1の金型（13A)に第 2の金型（12A)を設置する第 2工程 (S4 02)と、前記第 2の金型（12A)に粉末材料（121)を射出して、前記電気機械変換素子（13)の表面に弾性体（12)を形成する第 3工程 (S403)と、前記第 1の金型（13A )と前記第 2の金型（12A)とから前記弾性体 (12)と前記電気機械変換素子（13)とをはずし、前記弾性体 (12)と前記電気機械変換素子（13)とを加熱して焼結し、前記弾性体 (12)と前記電気機械変換素子（13)とを接合する第 4工程 (S405)と、を備える振動子の製造方法である。

請求項 16の発明は、請求項 14又は請求項 15に記載の振動子の製造方法において、前記第 3工程 (S303, S403)と前記第 4工程 (S305, S405)との間に、前記弹性体（12)と前記電気機械変換素子（13)とを加圧するように前記第 1の金型（ 12A) と前記第 2の金型（13A)との間に加圧力を加える工程 (S304, S404)を備えること、を特徴とする振動子の製造方法である。

請求項 17の発明は、弾性体（12)と電気機械変換素子（13)とを備える振動子（11 )を製造する振動子の製造方法であって、前記弾性体 (12)と前記電気機械変換素子（ 13)とを一体にして保持する保持工程 ( # 300)と、前記保持工程 ( # 300)によつて保持した前記弾性体 ( 12)と前記電気機械変換素子（13)とを加熱して焼結する加熱焼結工程（# 401)と、を備える振動子の製造方法である。

請求項 18の発明は、請求項 17に記載の振動子の製造方法において、前記弾性体 (12)と前記電気機械変換素子（13)との少なくとも一方を成形する成形工程 ( # 2 04、 # 504、 # 704、 # 804)を備えること、を特徴とする振動子の製造方法である。請求項 19の発明は、請求項 17に記載の振動子の製造方法において、前記弾性体 (12)に櫛歯を形成する櫛歯形成工程を備えること、を特徴とする振動子の製造方法である。

請求項 20の発明は、請求項 17から請求項 19までのいずれか 1項に記載の振動子の製造方法にぉ、て、前記弾性体（ 12)と前記電気機械変換素子（13)との結合力を強化させる強化剤（19)を付加する強化剤付加工程を備えること、を特徴とする振動子の製造方法である。

請求項 21の発明は、請求項 17から請求項 20までのいずれか 1項に記載の振動子の製造方法において、前記加熱焼結工程（# 401)の焼結温度は、 1000-1200° Cであること、を特徴とする振動子の製造方法である。

請求項 22の発明は、請求項 17から請求項 21までのいずれか 1項に記載の振動子の製造方法において、前記電気機械変換素子（13)に電極を形成する電極形成ェ程（ # 402)を備えること、を特徴とする振動子の製造方法である。

請求項 23の発明は、請求項 17から請求項 22までのいずれか 1項に記載の振動子の製造方法にぉヽて、前記電気機械変換素子（ 13)を分極する分極工程 ( # 403) を備えること、を特徴とする振動子の製造方法である。

請求項 24の発明は、請求項 1から請求項 23までのいずれか 1項に記載の振動子の製造方法によって製造された振動子（11)と、前記振動子（11)によって駆動される相対移動部材（14)と、を備える振動ァクチユエータ（10)である。

請求項 25の発明は、請求項 24に記載の振動ァクチユエータ（10)を備えるレンズ鏡筒（3)である。

請求項 26の発明は、請求項 24に記載の振動ァクチユエータ（10)を備えるカメラシステム（1)である。

なお、符号を付して説明した構成は適宜改良してもよぐまた、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。発明の効果 [0010] 本発明によれば、接着性を安定させることができ、歩留まりも向上させることができる振動子の製造方法、振動子、振動ァクチユエータ、レンズ鏡筒及びカメラシステムを提供することができる。

図面の簡単な説明

[0011] [図 1]実施例 1による振動子の製造方法を示す工程図である。

[図 2]実施例 1による振動子の製造方法で製造される振動子を示す図である。

[図 3]実施例 1の超音波モータを示す図である。

[図 4]実施例 1のカメラシステムを示す図である。

[図 5]実施例 2による振動子の製造方法を示す工程図である。

[図 6]実施例 3による振動子の製造方法を示す工程図である。

[図 7]振動子の変形例を示す図である。

[図 8]実施例 1による振動子の製造方法を示す模式図である。

[図 9]実施例 2による振動子の製造方法を示す模式図である。

[図 10]実施例 3による振動子の製造方法を示す模式図である。

[図 11]実施例 4による振動子の製造方法を示す工程図である。

[図 12]実施例 4による振動子の製造方法を示す模式図である。

[図 13]実施例 5による振動子の製造方法を示す工程図である。

[図 14]実施例 5による振動子の製造方法を示す模式図である。

[図 15]実施例 6による振動子の製造方法を示す工程図である。

[図 16]実施例 6による振動子の製造方法を示す模式図である。

符号の説明

[0012] 1 :カメラシステム、 3 :レンズ鏡筒、 10 :振動ァクチユエータ、 11 :振動子、 12 :弾性体、 13 :圧電素子、 14 :移動体

発明を実施するための形態

[0013] 以下、図面等を参照して、本発明の実施例について、さらに詳しく説明する。なお、以下の実施例では、 6つの実施例について説明する。各実施例の相違点は、どの材料 (弾性体，圧電素子）をどのタイミングで射出するかという点にあり、実施例 1, 2は、既存のものに射出するパターンであり、実施例 3, 4は、射出したものにさらに射出するパターンであり、実施例 5, 6は、射出したものに既存のもの設置するパターンである。

実施例 1

[0014] 図 1は、実施例 1による振動子の製造方法を示す工程図であり、図 2は、実施例 1による振動子の製造方法で製造される振動子を示す図であり、図 8は、実施例 1による振動子の製造方法を示す模式図である。

実施例 1の製造方法は、弾性体 12と圧電素子 13とを備える振動子 11を製造する振動子の製造方法であって、圧電素子の製造工程 # 100と、弾性体の製造工程 # 2

00と、保持工程 # 300と、保持後の工程 # 400とを備える。

[0015] まず、図 2を参照して、実施例 1の製造方法で製造される振動子 11について説明する。

振動子 11は、弾性体 12と、圧電素子 13とを備える。

弾性体 12は、弾性変形可能な金属材料であり、その形状は、円環形状となっている。弾性体 12の圧電素子 13が接合される反対側の面には、櫛歯形状の溝 12aが形成されており、突起部 12b (溝 12aがない箇所)の先端面が駆動面 12cとなる。この振動子 11が振動ァクチユエータに組み込まれた場合には、この駆動面 12cが移動子に加圧接触される。溝 12aを形成する理由は、駆動面 12cに発生する進行波の振幅を増幅させるためである。弾性体 12は、例えば、 SUS、真鍮等である。

[0016] 圧電素子 13は、弾性体 12の溝 12aと反対側の面に接合され、電気エネルギーを機械工ネルギ一に変換する電気機械変換素子であり、交流電圧等の駆動信号によつて励振し、弾性体 12に振動を生じさせて、駆動面 12cに進行波を生じさせる。圧電素子 13は、例えば、 PZT (チタン酸ジルコン酸鉛），セラミックス等である。なお、圧電素子 13は、電歪素子ゃ磁歪素子であってもよい。

[0017] 次に、実施例 1による振動子の製造方法を説明する。

図 1に示すように、圧電素子の製造工程 # 100は、材料確認工程 # 101と、材料秤量工程 # 102と、材料混合工程 # 103と、仮焼結工程 # 104と、粉砕工程 # 105と、造粒工程 # 106と、成形工程 # 107とを備える。なお、本実施例では、圧電素子 13 の材料として、 PZTを用いている。材料確認工程 # 101は、 PZTの材質を確認する工程であり、例えば、蛍光 X線装置を用いて、 PZTの純度が 99. 90%以上であるかを確認する。

材料秤量工程 # 102は、 PZTの原料の重量を測定する工程であり、例えば、精密天秤を用いて、 PZTの原料の重量が所定の目標値力誤差 0. lg以下であるかを確認する。

材料混合工程 # 103は、 PZTの原料と焼結に必要な所定の材料とを混合するェ程であり、例えば、ボールミルを用いて、所定の時間混合する。そして、粒度分布計を用いて、混合物の粒径が 1〜2 μ mであるかを確認する。

[0018] 仮焼結工程 # 104は、混合物を仮焼結する工程であり、例えば、温度記録計や温度履歴センサーを用いて、温度のプロファイル (設定）が 850° Cから ± 5° Cの範囲にあるかを確認しながら仮焼結する。

粉砕工程 # 105は、仮焼結物を粉砕する工程であり、例えば、ボールミルを用いて、所定の時間で粉砕させる。そして、粒度分布計を用いて、粉砕物の粒径が 1〜2 mとなっているかを確認する。また、 X線解析装置を用いて、 PZTの結晶相から PZT の割合を確認したり、比表面積が所定の値であるかを確認したりする。

造粒工程 # 106は、粉砕物の粉末を固めて粒状にする工程であり、例えば、スプレ一ドライヤーを用いて、粉砕物を乾燥させ、バインダーとしての PVA (ポリビュルアルコール）をカ卩えて造粒を行う。このときは、 SEM (電子顕微鏡）を用いて、造粒された造粒子径が所定の値であるかを確認し、また、スプレードライヤーの温度が所定の値であるか、 PVAが所定の割合となって、るかを確認する。

成形工程 # 107は、粒状化された造粒物を成形する工程であり、例えば、プレス機を用いて、加圧値が lt/cm²であるかを確認しながらプレス成形する。

なお、圧電素子 13は、既存のものを使用してもよい。

そして、このようにして製造された圧電素子 13を、圧電素子用の金型 13Aに配置する（図 8、 S101参照）。

ついで、圧電素子用の金型 13Aに弾性体用の金型 12Aを設置する（図 8、 S102 参照)。

[0019] 図 1に示すように、弾性体の製造工程 # 200は、金属粉末を射出成形して焼結させるメタルインジェクションモ—ルド製法により弾性体 12を製造する工程であり、材料確認工程 # 201と、バインダー混合工程 # 202と、ペレツトイ匕工程 # 203と、射出成形工程 # 204とを備える。なお、本実施例では、弾性体 12の材料として、 SUS304 を用いている。

材料確認工程 # 201は、 SUSの材質を確認する工程であり、例えば、粒度分布計を用いて、 SUSの粒径が平均粒径 5 μ m程度であるかを確認する。

ノインダー混合工程 # 202は、 SUSの材料粉と榭脂バインダーとを混合する工程であり、例えば、精密天秤を用いて、混合物の総重量が目標値力誤差 lg以下であるかを確認する。

[0020] ペレツトイ匕工程 # 203は、混合物をペレット化 (粒状に固めること）させる工程であり、例えば、ペレット成形機を用いて行う。

射出成形工程 # 204は、ペレット化された混合物を射出成形する工程であり、例えば、射出成形機を用いて、温度が 160〜170° Cである力、保圧圧力が所定の値であるか、保圧時間が所定の値であるか等を確認しながら行う。ここで、射出成形には、金型を使用するが、その金型の中に上述した方法で製造した圧電素子 13をあらかじめ配置しておき（図 8、 S101, S102参照）、その上にペレツトイ匕された混合物（粉末材料） 121 (12)を射出成形して、弾性体 12と圧電素子 13とを一体化させる（図 8、 S103参照)。また、使用する弾性体用の金型 12Aには、櫛歯に応じた形状 12Bが設けられていて、射出成形することにより、櫛歯の形状が形成されるようになっている。なお、射出成形工程 # 204の後には、不要となった榭脂バインダーを取り除く脱脂工程があり、例えば、熱分解法等によって脱脂を行う。

[0021] 図 1に示すように、保持工程 # 300は、弾性体 12と圧電素子 13とを一体にして保持する工程である。この工程では、弾性体 12と圧電素子 13とを加圧するように弾性体用の金型 12Aと圧電素子用の金型 13 Aとの間に加圧力を加える（図 8、 S104参照)。加圧値は、 0. 5tZcm²程度が好ましい。なお、射出時に、弾性体 12と圧電素子 13とが十分に加圧されていれば (加圧値力 0. 5tZcm²程度であれば）、射出成形工程 # 104がこの工程を兼ねるようになるので、この工程を省略してもよい。

保持後の工程 # 400は、加熱焼結工程 # 401と、電極印刷工程 # 402と、分極ェ程 # 403とを備える。

加熱焼結工程 # 401は、保持工程 # 300によって保持した弾性体 12と圧電素子 1 3とを加熱して焼結する工程であり、加熱焼結工程の焼結温度は、 1000-1200° Cであることが好ましい。具体的には、弾性体用の金型 12Aと圧電素子用の金型 13 Aとから弾性体 12と圧電素子 13とをはずし、弾性体 12を加熱して焼結し、弾性体 12 と圧電素子 13とを接合する（図 8、 S105参照)。加熱焼結工程 # 401は、例えば、温度記録計や温度履歴センサーを用いて、温度のプロファイルが 1100° Cから ± 10 ° Cの範囲にあるかを確認しながら行う。また、精密天秤を用いて、焼結密度が所定の値であるかを確認し、 SEMを用いて、結晶粒子径が所定の値（2 m程度)であるかを確認する。この加熱焼結工程 # 401によって、混合物となっていた弾性体が、焼結体としての弾性体 12となり、圧電素子 13と完全に接合される。

電極印刷工程 # 402は、圧電素子 13に電極を印刷する工程であり、例えば、スクリーン印刷機を用いて電極を印刷する。そして、 SEMを用いて電極の膜厚が 2〜5 mであるかを確認する。

分極工程 # 403は、圧電素子 13を分極する工程であり、例えば、所定の電源を用いて、電圧が 25KVZcm²となるようにする。また、温度計を用いて温度が 100° C となるよう〖こし、タイマーを用いて 30分間電圧をかける。なお、分極は、 +の電極と一の電極とで圧電素子 13を挟み込んで行う必要がある力一方の電極には、印刷した電極を用い、他方の電極には、弾性体 12を用いる。

このように、実施例 1の製造方法によれば、メタルインジェクションモールド製法により弾性体 12を製作し、射出成形時に圧電素子 13と一体化させ、加熱焼結時に圧電素子 13と完全に接合させるので、従来の接着工程を廃止することができ、組立時間の大幅な短縮と品質の安定ィ匕を図ることができる。

また、弾性体 12の櫛歯は、金型を用いて形成するので、機械加工は不要となり、歩留まりが向上する。しカゝも、櫛歯は、接合工程内 (射出成形工程 # 204内）で形成することができるので、製造工数の大幅な削減が可能となる。

さらに、メタルインジェクションモールド製法の管理項目には、（1)材料と榭脂バインダ一の混合の割合、（2)混合時間、（3)射出圧、（4)保圧時間、（5)脱脂温度'時間、（6)焼結温度 ·時間等といった管理が必要となるが、これらの条件については、一般のプラスチックモールド製法にて確立されており、同等の管理で対応可能であるため、従来の接着工程と比較して、管理項目を簡略化させることができる。

[0023] 一方、従来の振動子における、弾性体と圧電素子とを接着する工程は、（1)部品洗浄 '乾燥、（2)接着剤塗布、（3)固定治具にセット、（4)加熱硬化、（5)固定治具より取り外し等と、つた工程がある。

また、上記工程では、（1)接着剤の塗布量、（2)接着剤の温度、（3)加圧力、（4) 加圧時間、（5)硬化温度、（6)硬化時間等といった管理項目が必要となる。

さらに、工程内の管理項目は、以上のような内容になる力これらの管理項目以外にも、（1)接着剤の保管温度、（2)接着剤の保管期間、（3)治工具メンテナンス等といった、多岐にわたる管理が必要となる。

しかし、実施例 1の製造方法であれば、メタルインジェクションモールド製法にて一体ィ匕した弾性体と圧電素子とを加熱焼結することで完全に接合させることができるので、このような多岐にわたる管理項目をなくすことができる。

[0024] 図 3は、実施例 1の超音波モータを示す図である。なお、以下の実施例では、振動ァクチユエータとして超音波の振動域を利用する超音波モータを一例に挙げて説明する。

超音波モータ 10は、振動子 11と、移動体 14と、緩衝部材 15と、支持体 16A, 16B と、緩衝部材 17と、加圧部 18等とを備える。

[0025] 振動子 11は、上述した製造方法で製造されたものであり、弾性体 12と、圧電素子 1 3とを備える。

移動体 14は、略円環形状をしており、後述する加圧部 18により弾性体 12に圧接され、振動子 11の弾性体 12の駆動面に発生する進行波により摩擦駆動される部材である。

[0026] 緩衝部材 15は、ゴム等により略円環形状に形成されており、移動体 14の振動を支持体 16A側に伝えないようにする部材であり、移動体 14と支持体 16Aとの間に設けられている。

支持体 16Aは、移動体 14を支持する部材である。この支持体 16Aと移動体 14とは、不図示の係合部によって、一体となって回転するように係合しており、移動体 14の回転運動を不図示の被駆動部材に伝達する部材である。

[0027] 加圧部 18は、振動子 11と移動体 14とを加圧接触させる部分であり、加圧板 18a、皿パネ 18b等を備える。加圧板 18aは、皿パネ 18bが発生させた加圧力を受ける板である。

緩衝部材 17は、不織布やフェルトにより形成され、振動子 11の振動を加圧部 18〖こ伝えないようにする部材であり、圧電素子 13と加圧板 18aとの間に設けられている。支持体 16Bは、この超音波モータ 10を、例えば、カメラのレンズ鏡筒等に固定する部材である。

[0028] このように、実施例 1の超音波モータ 10によれば、品質の安定した振動子 11を備えているので、モータ性能も安定し、長期の信頼性も確保することができる。

[0029] 図 4は、実施例 1のカメラシステムを示す図である。

実施例 1のカメラシステム 1は、撮像素子 6を有するカメラボディ 2と、レンズ鏡筒 3とを備える。レンズ鏡筒 3は、カメラボディ 2に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施例のカメラシステム 1では、レンズ鏡筒 3が交換レンズである例を示した力これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒であってもよい。

[0030] レンズ鏡筒 3は、レンズ 4、カム筒 5、上述した超音波モータ 10等を備える。本実施例では、超音波モータ 10は、カメラシステム 1のフォーカス動作時にレンズ 4を駆動する駆動源として用いられており、超音波モータ 10から得られた駆動力は、カム筒 5に伝えられる。レンズ 4は、カム筒 5とカム係合しており、超音波モータ 10の駆動力によつてカム筒 5が回転すると、レンズ 4は、カム筒 5とのカム係合によって光軸方向へ移動して、焦点調節が行われる。

[0031] このように、実施例 1のカメラシステム 1によれば、モータ性能も安定し、長期の信頼性も確保できる超音波モータ 10を備えて、るので、機能性や耐久性に優れたカメラシステムを提供することができる。

実施例 2

[0032] 図 5は、実施例 2による振動子の製造方法を示す工程図であり、図 9は、実施例 2による振動子の製造方法を示す模式図である。なお、前述した実施例 1と同様な機能を果たす部分は、重複する説明を適宜省略する。

実施例 2の製造方法は、実施例 1の製造方法のようにメタルインジェクションモールド製法によって弾性体 12を成形するものではなぐ圧電素子 13を成形するものである。また、弾性体 12は、既存のものを使用する。

実施例 2の製造方法は、弾性体の製造工程 # 600と、圧電素子の製造工程 # 500 と、保持工程 # 300と、保持後の工程 # 400とを備える。

弾性体の製造工程 # 600は、既存の弾性体を準備する準備工程 # 601を備える。準備工程 # 601では、弾性体用の金型 12Aに弾性体 12を配置し（図 9、 S201参照 )、弾性体用の金型 12Aに圧電素子用の金型 13Aを設置する（図 9、 S202参照)。図 5に示すように、圧電素子の製造工程 # 500は、材料確認工程 # 501と、バインダー混合工程 # 502と、ペレツトイ匕工程 # 503と、射出成形工程 # 504とを備える。各工程の具体的な内容は、実施例 1の弾性体の製造工程 # 200 ( # 201〜 # 204；図 1参照）と同様であり、使用材料が SUS304から PZTに変更されている。射出成形工程 # 504では、圧電素子用の金型 13Aに粉末材料 131 (13)を射出して、弾性体 12の表面に圧電素子 13を形成する（図 9、 S203参照)。

保持工程 # 300及び保持後の工程 # 400 ( # 401〜 # 403)は、実施例 1と同様の工程である。保持工程 # 300では、弾性体 12と圧電素子 13とを加圧するように弹性体用の金型 12Aと圧電素子用の金型 13 Aとの間に加圧力を加える（図 9、 S204 参照)。なお、射出時に、弾性体 12と圧電素子 13とが十分に加圧されていれば、射出成形工程 # 504がこの工程を兼ねるようになるので、この工程を省略してもよい。加熱焼結工程 # 401では、弾性体用の金型 12Aと圧電素子用の金型 13Aとから弹性体 12と圧電素子 13とをはずし、圧電素子 13を加熱して焼結し、弾性体 12と圧電素子 13とを接合する（図 9、 S205参照)。

圧電素子 13は、割れやすいという材料の特性から、機械加工時の歩留まりが悪いしかし、実施例 2の製造方法によれば、メタルインジェクションモールド製法により圧電素子 13を作製し、射出成形時に弾性体 12と一体化させ、加熱焼結時に弾性体 1 2と完全に接合させることができるので、圧電素子 13の機械加工は不要となり、歩留まりを向上させることができる。

実施例 3

[0034] 図 6は、実施例 3による振動子の製造方法を示す工程図であり、図 10は、実施例 3 による振動子の製造方法を示す模式図である。

実施例 3の製造方法は、弾性体 12と圧電素子 13との双方をメタルインジェクションモールド製法で製造する方法であり、弾性体 12を先に射出するタイプである。

実施例 3の製造方法は、弾性体の製造工程 # 700と、圧電素子の製造工程 # 800 と、保持工程 # 300と、保持後の工程 # 400とを備える。

各工程の具体的な内容は、実施例 1や実施例 2のものと同様である（# 700は、図 1の # 200と同様であり、 # 800は、図 5の # 500と同様である）。

また、弾性体の製造工程 # 700及び圧電素子の製造工程 # 800では、金型を使用して、弾性体 12と圧電素子 13とを成形する。

まず、弾性体の材料を金型に射出し、弾性体を成形する。ついで、成形した弾性体を金型の中に入れたまま、さらに圧電素子の材料を金型に射出し、圧電素子を成形する。そして、保持工程 # 300及び保持後の工程 # 400を行うことによって、両材料力焼結体としての弾性体 12と圧電素子 13とになり、完全に接合される。

[0035] 具体的には、まず、弾性体用の金型 12Aに粉末材料 121 (12)を射出して、弾性体 12を形成する（図 10、 S301参照)。

ついで、弾性体用の金型 12Aの一部 12A— 1をはずし、弾性体用の金型 12Aに圧電素子用の金型 13Aを設置する（図 10、 S302参照)。

さらに、圧電素子用の金型 13Aに粉末材料 131 (13)を射出して、弾性体 12の表面に圧電素子 13を形成する（図 10、 S303参照)。

そして、保持工程 # 300において、弾性体 12と圧電素子 13とを加圧するように弹性体用の金型 12Aと圧電素子用の金型 13Aとの間に加圧力を加える（図 10、 S304 参照)。なお、射出時に、弾性体 12と圧電素子 13とが十分に加圧されていれば、射出成形工程 # 804がこの工程を兼ねるようになるので、この工程を省略してもよ、。最後に、弾性体用の金型 12Aと圧電素子用の金型 13 Aとから弾性体 12と圧電素子 13とをはずし、弾性体 12と圧電素子 13とを加熱して焼結し、弾性体 12と圧電素子 13とを接合する（図 10、 S305参照)。

[0036] このように、実施例 3の製造方法によれば、メタルインジェクションモールド製法によつて、弾性体 12と圧電素子 13とを金型内にて一体で成形するので、弾性体 12の中心と圧電素子 13の中心とがずれてしまうことがなぐ完全に同心の振動子 11を製造することができる。

また、金型内で弾性体 12と圧電素子 13とを一体に成形するので、圧電素子 13の外径が弾性体 12の外径よりも外側にはみ出すようなことがなぐ後工程にて割れが発生する等の不具合が発生せず、歩留まりを向上させることができる。

さらに、実施例 3の製造方法によって製造した振動子を超音波モータに組み込めば、モータ性能をより安定させることができ、その超音波モータをレンズ鏡筒やカメラシステムに組み込めば、機能性や耐久性をより向上させることができる。

実施例 4

[0037] 図 11は、実施例 4による振動子の製造方法を示す工程図であり、図 12は、実施例 4による振動子の製造方法を示す模式図である。

実施例 4の製造方法は、弾性体 12と圧電素子 13との双方をメタルインジェクションモールド製法で製造する方法であり、圧電素子 13を先に射出するタイプである。実施例 4の製造方法は、圧電素子の製造工程 # 900と、弾性体の製造工程 # 100 0と、保持工程 # 300と、保持後の工程 # 400とを備える。

各工程の具体的な内容は、実施例 1や実施例 2のものと同様である（# 900は、図 5の # 500と同様であり、 # 1000は、図 1の # 200と同様である）。

また、圧電素子の製造工程 # 900及び弾性体の製造工程 # 1000では、金型を使用して、弾性体 12と圧電素子 13とを成形する。

まず、圧電素子の材料を金型に射出し、圧電素子を成形する。ついで、成形した圧電素子を金型の中に入れたまま、さらに弾性体の材料を金型に射出し、弾性体を成形する。そして、弾性体と圧電素子とが一体化されたものを取り出し、保持工程 # 30 0及び保持後の工程 # 400を行うことによって、両材料が、焼結体としての弾性体 12 と圧電素子 13とになり、完全に接合される。 [0038] 具体的には、まず、圧電素子用の金型 13Aに粉末材料 131 (13)を射出して、圧電素子 13を形成する（図 12、 S401参照)。

ついで、圧電素子用の金型 13Aの一部 13A— 1をはずし、圧電素子用の金型 13 Aに弾性体用の金型 12Aを設置する（図 10、 S402参照)。

さら〖こ、弾性体用の金型 12Aに粉末材料 121 (12)を射出して、圧電素子 13の表面に弾性体 12を形成する（図 12、 S403参照)。

そして、保持工程 # 300において、弾性体 12と圧電素子 13とを加圧するように弹性体用の金型 12Aと圧電素子用の金型 13Aとの間に加圧力を加える（図 12、 S404 参照)。なお、射出時に、弾性体 12と圧電素子 13とが十分に加圧されていれば、射出成形工程 # 1004がこの工程を兼ねるようになるので、この工程を省略してもよい。最後に、弾性体用の金型 12Aと圧電素子用の金型 13 Aとから弾性体 12と圧電素子 13とをはずし、弾性体 12と圧電素子 13とを加熱して焼結し、弾性体 12と圧電素子 13とを接合する（図 12、 S405参照)。

[0039] このように、実施例 4の製造方法によれば、メタルインジェクションモールド製法によつて、弾性体 12と圧電素子 13とを金型内にて一体で成形するので、弾性体 12の中心と圧電素子 13の中心とがずれてしまうことがなぐ完全に同心の振動子 11を製造することができる。

実施例 5

[0040] 図 13は、実施例 5による振動子の製造方法を示す工程図であり、図 14は、実施例 5による振動子の製造方法を示す模式図である。

実施例 5の製造方法は、弾性体 12をメタルインジェクションモールド製法で製造する方法である。実施例 5の製造方法は、弾性体の製造工程 # 1100と、圧電素子の製造工程 # 12 00と、保持工程 # 300と、保持後の工程 # 400とを備える。

弾性体の製造工程 # 1100は、材料確認工程 # 1101と、ノインダー混合工程 # 1 102と、ペレツトイ匕工程 # 1103と、射出成形工程 # 1104とを備える。各工程の具体的な内容は、実施例 1の弾性体の製造工程 # 200 ( # 201〜 # 204；図 1参照）と同様である。射出成形工程 # 1104では、弾性体用の金型 12Aに粉末材料 121 (12) を射出して、弾性体 12を形成する（図 14、 S501参照)。

圧電素子の製造工程 # 1200は、既存の圧電素子を設置する設置工程 # 1201を備える。設置工程 # 1201では、弾性体用の金型 12Aの一部 12A— 1をはずし、弹性体用の金型 12Aの弾性体 12の表面に、圧電素子 13が配置された圧電素子用の金型 13 Aを設置する（図 14、 S502参照）。

保持工程 # 300及び保持後の工程 # 400 ( # 401〜 # 403)は、実施例 1と同様の工程である。保持工程 # 300では、弾性体 12と圧電素子 13とを加圧するように弹性体用の金型 12Aと圧電素子用の金型 13Aとの間に加圧力を加える（図 14、 S503 参照)。加熱焼結工程 # 401では、弾性体用の金型 12Aと圧電素子用の金型 13A とから弾性体 12と圧電素子 13とをはずし、弾性体 12を加熱して焼結し、弾性体 12と圧電素子 13とを接合する（図 14、 S504参照)。

[0041] このように、実施例 5の製造方法によれば、メタルインジェクションモールド製法により弾性体 12を製作し、加熱焼結時に圧電素子 13と接合させるので、従来の接着工程を廃止することができ、組立時間の大幅な短縮と品質の安定ィ匕を図ることができる実施例 6

[0042] 図 15は、実施例 6による振動子の製造方法を示す工程図であり、図 16は、実施例 6による振動子の製造方法を示す模式図である。

実施例 6の製造方法は、最初に圧電素子 13をメタルインジェクションモールド製法で製造し、その後、既存の弾性体 12と接合する方法である。

実施例 6の製造方法は、圧電素子の製造工程 # 1300と、弾性体の製造工程 # 14 00と、保持工程 # 300と、保持後の工程 # 400とを備える。圧電素子の製造工程 # 1300は、材料確認工程 # 1301と、ノインダー混合工程 # 1302と、ペレット化工程 # 1303と、射出成形工程 # 1304とを備える。各工程の具体的な内容は、実施例 2の弾性体の製造工程 # 500 ( # 501〜 # 504；図 5参照）と同様である。射出成形工程 # 1304では、圧電素子用の金型 13Aに粉末材料 131 (13)を射出して、圧電素子 13を形成する（図 16、 S601参照)。

弾性体の製造工程 # 1400は、既存の弾性体を設置する設置工程 # 1401を備える。設置工程 # 1401では、圧電素子用の金型 13Aの一部 13A—1をはずし、圧電素子用の金型 13Aの圧電素子 13の表面に、弾性体 12が配置された弾性体用の金型 12Aを設置する（図 16、 S602参照）。

保持工程 # 300及び保持後の工程 # 400 ( # 401〜 # 403)は、実施例 1と同様の工程である。保持工程 # 300では、弾性体 12と圧電素子 13とを加圧するように弹性体用の金型 12Aと圧電素子用の金型 13Aとの間に加圧力を加える（図 16、 S603 参照)。加熱焼結工程 # 401では、弾性体用の金型 12Aと圧電素子用の金型 13A と力弾性体 12と圧電素子 13とをはずし、圧電素子 13を加熱して焼結し、弾性体 1 2と圧電素子 13とを接合する（図 16、 S604参照)。

[0043] このように、実施例 6の製造方法によれば、メタルインジェクションモールド製法により圧電素子 13を製作し、加熱焼結時に弾性体 12と接合させるので、従来の接着工程を廃止することができ、組立時間の大幅な短縮と品質の安定ィ匕を図ることができる

[0044] (変形例）

上述した各実施例は、以下の変形も可能である。

(1)図 7は、振動子の変形例を示す図である。振動子 11の製造方法の工程中に、弾性体 12と圧電素子 13との結合力を強化させる強化剤を付加する強化剤付加工程を備えさせてもよい。上述した各実施例では、弾性体 12と圧電素子 13との接合は、ァンカー効果のみでの接合となる力結合力をより強化させたい場合には、弾性体 12 ゃ圧電素子 13に強化剤としての熱硬化型の接着剤シート 19を貼り付けておき、焼結時に同時に硬化させることもできる。また、接着剤シート 19に換えて、酸化ホウ素（ B O )やアルミナ (Al O )等の焼結補助材を含むシートを貼り付けてもよい。 (2)弾性体ゃ圧電素子は、メタルインジヱクシヨンモールド製法によって成形する例で説明したが、弾性体ゃ圧電素子用の材料とバインダーとを混合したものに圧力をかけて成形してもよい。

(3)振動ァクチユエータは、オートフォーカスの駆動源として使用する例で説明したが、カメラシステムの撮像系の一部を駆動して手振れを補正する手振れ補正機構の駆動源や、複写機の駆動部、自動車のハンドルチルト装置、時計の駆動装置等に適用することができる。

(4)振動ァクチユエータは、円環型のァクチユエータの例で説明した力例えば、ロッド型のァクチユエータ、ペンシル型のァクチユエータ、円盤型のァクチユエータ等であつてもよい。

なお、上述した実施例及び変形例は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は、以上説明した実施例によって限定されることはない。

Claims

請求の範囲

[1] 弾性体を保持部材に配置する第 1工程と、

前記弾性体の表面に、射出成形により電気機械変換素子を形成する第 2工程と、前記電気機械変換素子を加熱して焼結し、前記弾性体と前記電気機械変換素子とを接合する第 3工程と、

を備える振動子の製造方法。

[2] 電気機械変換素子を保持部材に配置する第 1工程と、

前記電気機械変換素子の表面に、射出成形により弾性体を形成する第 2工程と、前記弾性体を加熱して焼結し、前記弾性体と前記電気機械変換素子とを接合する第 3工程と、

を備える振動子の製造方法。

[3] 請求項 1又は請求項 2に記載の振動子の製造方法において、

前記第 2工程と前記第 3工程との間に、前記弾性体と前記電気機械変換素子とを加圧する工程を備えること、

を特徴とする振動子の製造方法。

[4] 第 1の金型に弾性体を配置する第 1工程と、

前記第 1の金型に第 2の金型を設置する第 2工程と、

前記第 2の金型に粉末材料を射出して、前記弾性体の表面に電気機械変換素子を形成する第 3工程と、

前記第 1の金型と前記第 2の金型とから前記弾性体と前記電気機械変換素子とをはずし、前記電気機械変換素子を加熱して焼結し、前記弾性体と前記電気機械変換素子とを接合する第 4工程と、

を備える振動子の製造方法。

[5] 第 1の金型に電気機械変換素子を配置する第 1工程と、

前記第 1の金型に第 2の金型を設置する第 2工程と、

前記第 2の金型に粉末材料を射出して、前記電気機械変換素子の表面に弾性体を形成する第 3工程と、

前記第 1の金型と前記第 2の金型とから前記弾性体と前記電気機械変換素子とをはずし、前記弾性体を加熱して焼結し、前記弾性体と前記電気機械変換素子とを接合する第 4工程と、

を備える振動子の製造方法。

[6] 請求項 4又は請求項 5に記載の振動子の製造方法にぉ、て、

前記第 3工程と前記第 4工程との間に、前記弾性体と前記電気機械変換素子とを加圧するように前記第 1の金型と前記第 2の金型との間に加圧力を加える工程を備えること、

を特徴とする振動子の製造方法。

[7] 射出成形により弾性体を保持部材に形成する第 1工程と、

前記弾性体の表面に電気機械変換素子を配置する第 2工程と、

前記弾性体と前記電気機械変換素子とを加圧する第 3工程と、

前記弾性体を加熱して焼結し、前記弾性体と前記電気機械変換素子とを接合する第 4工程と、

を備える振動子の製造方法。

[8] 射出成形により電気機械変換素子を保持部材に形成する第 1工程と、

前記電気機械変換素子の表面に弾性体を配置する第 2工程と、

前記電気機械変換素子を加熱して焼結し、前記弾性体と前記電気機械変換素子とを接合する第 4工程と、

を備える振動子の製造方法。

[9] 第 1の金型に粉末材料を射出して、弾性体を形成する第 1工程と、

前記第 1の金型の一部をはずし、前記第 1の金型の弾性体の表面に、電気機械変換素子が配置された第 2の金型を設置する第 2工程と、

前記弾性体と前記電気機械変換素子とを加圧するように前記第 1の金型と前記第

2の金型との間に加圧力を加える第 3工程と、

前記第 1の金型と前記第 2の金型とから前記弾性体と前記電気機械変換素子とをはずし、前記弾性体を加熱して焼結し、前記弾性体と前記電気機械変換素子とを接合する第 4工程と、を備える振動子の製造方法。

[10] 第 1の金型に粉末材料を射出して、電気機械変換素子を形成する第 1工程と、前記第 1の金型の一部をはずし、前記第 1の金型の電気機械変換素子の表面に、弾性体が配置された第 2の金型を設置する第 2工程と、

前記弾性体と前記電気機械変換素子とを加圧するように前記第 1の金型と前記第 2の金型との間に加圧力を加える第 3工程と、

を備える振動子の製造方法。

[11] 射出成形により弾性体を保持部材に形成する第 1工程と、

前記弾性体の表面に、射出成形により電気機械変換素子を形成する第 2工程と、前記弾性体と前記電気機械変換素子とを加熱して焼結し、前記弾性体と前記電気機械変換素子とを接合する第 3工程と、

を備える振動子の製造方法。

[12] 射出成形により電気機械変換素子を保持部材に形成する第 1工程と、

前記電気機械変換素子の表面に、射出成形により弾性体を形成する第 2工程と、前記弾性体と前記電気機械変換素子とを加熱して焼結し、前記弾性体と前記電気機械変換素子とを接合する第 3工程と、

を備える振動子の製造方法。

[13] 請求項 11又は請求項 12に記載の振動子の製造方法において、

を特徴とする振動子の製造方法。

[14] 第 1の金型に粉末材料を射出して、弾性体を形成する第 1工程と、

前記第 1の金型の一部をはずし、前記第 1の金型に第 2の金型を設置する第 2工程と、

前記第 1の金型と前記第 2の金型とから前記弾性体と前記電気機械変換素子とをはずし、前記弾性体と前記電気機械変換素子とを加熱して焼結し、前記弾性体と前記電気機械変換素子とを接合する第 4工程と、

を備える振動子の製造方法。

[15] 第 1の金型に粉末材料を射出して、電気機械変換素子を形成する第 1工程と、前記第 1の金型の一部をはずし、前記第 1の金型に第 2の金型を設置する第 2工程と、

を備える振動子の製造方法。

[16] 請求項 14又は請求項 15に記載の振動子の製造方法において、

を特徴とする振動子の製造方法。

[17] 弾性体と電気機械変換素子とを備える振動子を製造する振動子の製造方法であつて、

前記弾性体と前記電気機械変換素子とを一体にして保持する保持工程と、前記保持工程によって保持した前記弾性体と前記電気機械変換素子とを加熱して焼結する加熱焼結工程と、

を備える振動子の製造方法。

[18] 請求項 17に記載の振動子の製造方法において、

前記弾性体と前記電気機械変換素子との少なくとも一方を成形する成形工程を備えること、を特徴とする振動子の製造方法。

[19] 請求項 17に記載の振動子の製造方法において、

前記弾性体に櫛歯を形成する櫛歯形成工程を備えること、

を特徴とする振動子の製造方法。

[20] 請求項 17から請求項 19までのいずれか 1項に記載の振動子の製造方法において前記弾性体と前記電気機械変換素子との結合力を強化させる強化剤を付加する強化剤付加工程を備えること、

を特徴とする振動子の製造方法。

[21] 請求項 17から請求項 20までのいずれか 1項に記載の振動子の製造方法において前記加熱焼結工程の焼結温度は、 1000〜1200° Cであること、

を特徴とする振動子の製造方法。

[22] 請求項 17から請求項 21までのいずれか 1項に記載の振動子の製造方法において前記電気機械変換素子に電極を形成する電極形成工程を備えること、を特徴とする振動子の製造方法。

[23] 請求項 17から請求項 22までのいずれか 1項に記載の振動子の製造方法において前記電気機械変換素子を分極する分極工程を備えること、

を特徴とする振動子の製造方法。

[24] 請求項 1から請求項 23までの、ずれか 1項に記載の振動子の製造方法によって製造された振動子と、

前記振動子によって駆動される相対移動部材と、

を備える振動ァクチユエータ。

[25] 請求項 24に記載の振動ァクチユエータを備えるレンズ鏡筒。

[26] 請求項 24に記載の振動ァクチユエータを備えるカメラシステム。