WO2007102436A1

WO2007102436A1 - 排ガス浄化装置およびフィルタ再生装置

Info

Publication number: WO2007102436A1
Application number: PCT/JP2007/054078
Authority: WO
Inventors: Yoshihiro Hatanaka
Original assignee: National University Corporation, Tokyo University of Marine Science and Technology
Priority date: 2006-03-06
Filing date: 2007-03-02
Publication date: 2007-09-13
Also published as: US20090084077A1; JP4982876B2; JPWO2007102436A1; US7905933B2

Abstract

　誘導加熱用のワーキングコイルを巻回する非磁性部材を大型化することなく、大量の排ガスを浄化処理可能な排ガス浄化装置およびフィルタ再生装置を提供する。この排ガス浄化装置（１０）は、微粒子捕捉部（１６）とフィルタ再生部（２２）とを排ガスの流れ方向に沿って併置し、微粒子捕捉部（１６）のケーシング（１２）からフィルタ再生装置（２２）の支持枠（１８）を超えて延設されるフィルタ装置（１４）の延長部（２６）を保持し、ケーシング（１２）の軸方向に沿ってこのフィルタ装置（１４）を移動可能な可動フレーム（３０）とを備え、この可動フレームで移動されるフィルタ装置（１４）が、フィルタ再生部（２２）を通過するときに、このフィルタ装置（１４）に配置した保持枠（２４ａ）の対応する部位を連続的に誘導加熱することにより、捕捉した微粒子を燃焼させ、このフィルタ装置（１４）を再生可能とした。

Description

明細書

排ガス浄化装置およびフィルタ再生装置

技術分野

[0001] 本発明は、ディーゼル機関、ボイラあるいは焼却炉等の排ガス中の微粒子を除去する排ガス浄ィ匕装置およびフィルタ再生装置に関する。

背景技術

[0002] ディーゼル機関力排出される粒子状物質（Particulate Matter)は、肺がん、喘息あるいはアレルギーを引き起こす原因として、自動車用の種々の形式のディーゼル排気微粒子フィルタ (DPF)が開発されている。一方、船舶用のディーゼル機関では、硫黄分の多い燃料油が使用されるため、自動車に用いられている酸ィ匕触媒とセラミックフィルタとの組合せによる、粒子状物質すなわち微粒子の捕捉、低温燃焼'除去という技術の適用が困難である。

[0003] このため、本願発明者は、 WO2004Z059135〖こ記載されているよう〖こ、排ガス中の微粒子を捕捉するフィルタユニットをセラミック製の円筒状ハウジング内に収納し、このハウジングの外周部に卷回したワーキングコイルに高周波インバータから高周波交流を通電することにより、交番磁束を発生し、この磁束の変化によってハウジング内に収納されたフィルタユニットの金属製加熱部材に渦電流を誘起して、フィルタュニット自体を高温に発熱させて、捕捉した微粒子を燃焼させる排ガス中の微粒子除去装置を開発した。

発明の開示

[0004] このような微粒子除去装置にあっては、燃料性状に左右されることなぐ長期間にわたって微粒子を効率よく捕集および再生可能で、その長ヽ使用寿命を有する点で極めて有益なものではあるが、フィルタユニットを収納するハウジングの外周部には、フィルタユニットの全長にわたってワーキングコイルを卷回する必要がある。このような誘導加熱用のワーキングコイルを卷回するハウジングは、交番磁束の変化によって発熱しないようにするため、セラミック等の非磁性材料で形成する必要がある。このようなセラミック材料は、その性質上、脆ぐ特に、長手方向に長い円筒状形状に形成する場合等のように大型化すると、振動等によるひび割れを発生する可能性が高まる。

[0005] 本発明は、このような事情に基づいてなされたもので、誘導加熱用のワーキングコィルを卷回する非磁性部材を大型化することなく、大量の排ガスを浄化処理可能な排ガス浄ィヒ装置およびフィルタ再生装置を提供することを目的とする。

[0006] 上記目的を達成するため、本発明によると、排ガスを一端力流入させるケーシング内に排ガス中の微粒子を捕捉するフィルタ装置を配置して形成した微粒子捕捉部と、このケーシングの一方の端部に取付けられた非磁性耐熱材料製支持枠に誘導加熱用ワーキングコイルを卷回して形成したフィルタ再生部と、前記ケーシングから支持枠を超えてフィルタ再生部の外側に延設される前記フィルタ装置の延長部を保持し、前記ケーシングの一端と他端とを通る軸方向に沿ってこのフィルタ装置を移動可能な可動フレームとを備え、この可動フレームで移動される前記フィルタ装置は、前記フィルタ再生部を通過するときに、このフィルタ装置に配置した加熱部材の対応する部位を連続的に誘導加熱されることにより、捕捉した微粒子を燃焼させ、このフィルタ装置を再生可能とした排ガス浄ィ匕装置が提供される。

[0007] 前記可動フレームは、前記支持枠および排気管に対してそれぞれ伸縮継手で接続されることが好ましい。

[0008] 前記支持枠は、セラミック材料により、前記ケーシングよりも小径でかつフィルタ装置よりも軸方向長さの短い円筒状形状に形成されること好ましい。

[0009] 前記フィルタ装置は、金属繊維を焼結させて形成した焼結不織布製フィルタを有することにより、この焼結不織布製フィルタで前記加熱部材を兼用することも可能である

[0010] 更に、本発明によると、一端力も流入した流体中の微粒子を内部のフィルタ装置で除去して他端力排出するケーシングの一方の端部配置され、非磁性の耐熱材料で形成された支持枠と、この支持枠に卷回された誘導加熱用ワーキングコイルと、前記ケーシンダカ支持枠を超えてこの支持枠の外側に延設される前記フィルタ装置の延長部を保持し、前記ケーシングの一端と他端とを通る軸方向に沿ってこのフィルタ装置を移動可能な可動フレームとを備え、この可動フレームで移動される前記フィルタ装置が、前記ワーキングコイルを通過するときに、このフィルタ装置に配置した加熱部材の対応する部位を連続的に誘導加熱することにより、捕捉した微粒子を燃焼させるフィルタ再生装置が提供される。

[0011] 本発明の排ガス浄ィ匕装置によると、微粒子を捕捉する微粒子捕捉部と、捕捉した微粒子を誘導加熱により燃焼させてフィルタ装置を再生するフィルタ再生部とを排ガスの流れ方向に沿って併置し、フィルタ再生部を通過するときにフィルタ装置を誘導カロ熱して再生することができるため、フィルタ装置の大型化と、ワーキングコイルおよびこのワーキングコイルを支える支持枠の小型化とが同時に実現される。

[0012] 伸縮継手により、可動フレームを支持枠および排気管に対して接続する場合には、配管中に接続した状態でフィルタ装置を効率よく再生することができる。

[0013] また、ワーキングコイルを卷回する支持枠をケーシングよりも小径でかつフィルタ装置よりも軸方向長さの短い円筒状形状に形成することにより、支持枠を更に小型化しつつ誘導加熱時の磁束漏れを少なくして、効率よく誘導加熱することができ、ヮーキングコイルは、支持枠を形成するセラミック材料の耐熱性により、このときに発生する熱カゝら確実に保護される。

[0014] 更に、本発明のフィルタ再生装置によると、フィルタ装置を内部に配置したケーシングの一端に、誘導加熱用ワーキングコイルを卷回した支持枠を配置し、このヮーキングコイルを通過するときにフィルタ装置を誘導加熱して再生することができるため、大型のフィルタ装置を用いる場合であっても、ワーキングコイルおよびこのワーキングコィルを支える支持枠を大型化する必要がなぐコンパクトかつ耐久性のあるフィルタ再生装置を形成することができる。

図面の簡単な説明

[0015] [図 1]本発明の好ましい実施形態による排ガス浄ィ匕装置の説明図である。

[図 2]図 1の排ガス浄ィ匕装置を再生するときの説明図である。

[図 3]排ガス浄ィ匕装置に用いるフィルタ装置を示し、 (A)は内部構造を示す部分断面図、（B)は (A)の B—B線に沿う断面図である。

発明を実施するための最良の形態

[0016] 図 1から図 3は、本発明の好ましい実施形態による排ガス浄ィ匕装置 10を示す。この排ガス浄ィ匕装置 10は、例えば船舶の主機あるいは補機用のディーゼル機関、ボイラ

、あるいは廃棄物焼却炉等の図示しない排ガス発生源力排出される排気ガス中から粒子状物質すなわち微粒子を除去するために用いられる。

[0017] この排ガス浄化装置 10は、排ガス発生源の排気口に図示しないフレキシブルホースを介して接続される機側排気管 8と、外気に連通する外気側排気管 6との間に配置され、流入した排ガス G1から微粒子を除去した後、クリーンな排ガス G2として、外気側排気管 6に排出する。

[0018] この排ガス浄ィ匕装置 10は、円筒状の鋼製ケーシング 12内に排ガス中の微粒子を捕捉するフィルタ装置 14を配置して形成した微粒子捕捉部 16と、このケーシング 12 の出口側端部に取付けられた非磁性耐熱材料製支持枠 18に誘導加熱用ヮーキングコイル 20を卷回して形成したフィルタ再生部 22とで形成されている。

[0019] 微粒子捕捉部 16のケーシング 12は、小径側の入口側端部が、機側排気管 8にフランジ結合されたホーン 4の大径側端部にフランジ結合されており、機側排気管 8から送られる排ガス G1は、ホーン 4で減速されてこのケーシング 12内に送込まれる。このケーシング 12内に送込まれた排ガス G 1は、フィルタ装置 14を通過する間に微粒子を除去される。

[0020] 図 3に示すように、ケーシング 12の内部に配置されたフィルタ装置 14は、多数のパンチ孔を形成した円筒状の保持枠 24aの外周に沿って、金属繊維を焼結させて形成した焼結不織布製フィルタ 24bを装着した全体的に円筒状構造のフィルタ部 24を有する。このフィルタ部 24の保持枠 24aはホーン 4側の端部が閉じられ、他端側が開口している。フィルタ装置 14は、この開口した他端側から円筒状の延長部 26を軸方向に延設し、この延長部 26の先端に形成した半径方向外方フランジ 28の取付孔 28a を介して、後述する可動フレーム 30に取付けられる。これらの保持枠 24a、延長部 2 6およびフランジ 28は、後述する可動フレーム 30に連結される連結部として機能し、例えばステンレス鋼等の非磁性金属で形成するのが好ま U、。

[0021] 通常、このフィルタ装置 14は、フィルタ部 24をケーシング 12内に収納した状態に配置される（図 1参照)。機側排気管 8から送られる排ガス G1は、フィルタ部 24の外周側力も半径方向内方に向けて流入する。焼結不織布製フィルタ 24bに作用する排ガス Glの圧力は、保持枠 24aで支えられ、この焼結不織布製フィルタ 24bを排ガスの圧力から保護する。

[0022] 本実施形態では、この焼結不織布製フィルタ 24bは、ベカルトアジア東京支店から「ベクラリ」の商品名で入手可能な金属繊維で形成してある。この金属繊維は、平均値として Crを 19. 50重量⁰ /₀、A1を 4. 55重量⁰ /₀、 Yを 0. 25重量⁰ /₀、残部の Feを主要成分として含む磁性体であり、最高使用温度が 1000°Cである。このような金属繊維を焼結させた焼結不織布製フィルタ 24bは、通常、 60〜85%の高い空隙率を持ち、低圧力損失でありながら高い透過流量が得られる。この金属繊維の焼結品を、ステンレス粉末の焼結品と比較した場合、ろ過粒度 4 mのとき、約 14倍の水の透過流量が得られる。

[0023] このような金属繊維の焼結不織布製フィルタ 24bは、排ガス中から三次元的に異物を取り込むことができ、排ガス中力もの優れた異物捕集能力を持つ。更に、セラミックに比して耐熱性、機械的強度に優れ、硫ィ匕物に対する耐腐食性も有している。したがって、大きな振動を受ける舶用 DPFのフィルタとして好適に用いることができる。

[0024] 図 1に示すように、このようなフィルタ装置 14は、フィルタ部 24がケーシング 12内に配置されたときに、延長部 26がワーキングコイル 20の支持枠 18を超えてフィルタ再生部 22の外方に延設され、フランジ 28を介して可動フレーム 30で保持されて!、る。

[0025] この可動フレーム 30は、フィルタ装置 14の連結部を形成するフランジ 28の外周部に、例えば取付孔 28aを介して所定の間隔で配置された複数のガイドレール 32を有する。これらのガイドレール 32は、一端をフランジ 28に固定され、ケーシング 12に一体に固定されたガイド部 34で移動可能に支えられている。これらのガイドレール 32 は、フランジ 28を介してフィルタ装置 14を片持ち状に保持すると共に、ケーシング 12 の入口側および出口側の端部を結ぶ軸方向に沿って、前後方向に移動することができる。

[0026] このようにフィルタ装置 14を保持する可動フレーム 30は、フィルタ再生部 22の支持枠 18および外気側排気管 6に対して、それぞれ伸縮継手 36を介して接続されている。本実施形態の伸縮継手 36は、ベロー状の伸縮管で形成してあり、フィルタ装置 14 のフランジ 28と支持枠 18との間、およびフランジ 28と外気側排気管 6との間にフランジ止めされている。これらの伸縮継手 36は互いに対向する側のフランジ部 37をフィルタ装置 14のフランジ 28とほぼ等しい大きさに形成してあり、フランジ 28と共に可動フレーム 30のガイドレール 32に固定されている。

[0027] 通常、このような可動フレーム 30は、図 1に示すように、ガイドレール 32を機側排気管 8の方向に移動し、ハウジング 12に近接させて配置し、フィルタ装置 14のフィルタ部 24を微粒子捕捉部 16すなわちケーシング 12内に配置した排ガス浄化位置に保持する。機側排気管 8から流入した排ガス G1は、焼結不織布製フィルタ 24bで微粒子を捕捉され、微粒子を除去された後に、クリーンな排ガス G2としてフィルタ装置 14 の延長部 26内から伸縮継手 36を介して外気側排気管 6に送られる。

[0028] フィルタ装置 14に多量の微粒子がトラップされ、入口側と出口側との圧力差力例えば 4kPaである予め設定した値以上となると、図示しない高周波電源力ヮーキングコイル 20に高周波電流を通電し、フィルタ装置 14の再生を行う。この圧力差の値は、ディーゼル機関、ボイラあるいは焼却路等の通常運転の効率を低下させない程度の大きさに設定するのが好ましい。

[0029] 図 2は、このようにフィルタ装置 14の入口側と出口側との圧力差が設定値を超え、このフィルタ装置 14の再生が必要となったときに、このフィルタ装置 14を再生する再生工程を示す。このようなフィルタ装置 14を再生するときは、排ガス G1の供給を止め、あるいは、並列に配置した他の排ガス浄ィ匕装置（図示しない）に切換える。そして、図 2に示すように、上述の可動フレーム 30により、フィルタ装置 14を外気側排気管 6側に移動し、このフィルタ部 24を、ワーキングコイル 20に通電した状態のフィルタ再生部 22内を通過させる間に、捕捉された微粒子を誘導加熱により燃焼させ、フィルタ装置 14を再生する。このフィルタ装置 14の再生工程は、 1回の往復移動で微粒子を燃焼除去することが好ましいが、複数回にわたって行ってもよい。いずれの場合も、微粒子を燃焼させてフィルタ部 24を再生した後、可動フレーム 30は、フィルタ装置 14 を図 1に示す排ガス浄化位置に復帰させる。この可動フレーム 30の移動は、手動とすることも可能である力電動式、空圧式、液圧式あるいはこれらを組合わせによる種々のァクチユエータを用いることが好まし!/、。

[0030] 本実施形態のフィルタ再生部 22は、誘導加熱用ワーキングコイル 20を支える支持枠 18を、例えば窒化ケィ素等のセラミック材料で円筒状形状に形成してあり、その内径はフィルタ装置 14のフィルタ部 24および延長部 26との間に僅かな間隙を形成する大きさで、外径はケーシング 12よりも小さくすることが好ましい。このように内外径の小さな円筒状形状とすることにより、ワーキングコイル 20をフィルタ装置 14の外周側で近接した位置に配置することができ、誘導加熱時の磁束漏れを少なくすることができる。また、この支持枠 18の軸方向寸法は、誘導加熱に必要なワーキングコイル 20 を卷回できるものであれば適宜の大きさに設定することが可能である力いずれの場合も、フィルタ装置 14よりも軸方向長さの短い小型でかつ軽量構造とすることができる。特に、このように支持枠 18の軸方向長さが短くなることにより、脆い材質のセラミツク材料であっても、ひび割れ等の損傷の発生を抑制することができ、コンパクトで耐久性のある構造とすることができる。

[0031] この非磁性耐熱材料製支持枠 18の外周部に卷回するワーキングコイル 20は、例えばリッツ線あるいは中空構造の細径金属管で形成してある。このワーキングコイル 2 0に、高周波インバータを備えた高周波電源（図示しない）から例えば約 15〜： LOOK Hzの範囲が好ま U、高周波電流を供給する。ワーキングコイル 20に供給する高周波電流の周波数は、 15KHzよりも低すぎると可聴音が発生し、逆に ΙΟΟΚΗζよりも高すぎると表皮効果により、ワーキングコイル自体の抵抗が増大し効率よく誘導加熱することが難くなる。

[0032] フィルタ装置 14は、フィルタ部 24の焼結不織布性フィルタ 24bが金属繊維で形成されているため、フィルタ再生部 22の高周波電流で励磁されたワーキングコイル 20 内を通過する際、このワーキングコイル 20による磁束が透過する部位では、加熱部材としての保持枠 24aにカ卩え、金属繊維の焼結不織布性フィルタ 24bにも渦電流が流れて加熱部材として作用し、このときの抵抗成分によるジュール熱によって、短時間で高温 (約 600°C以上）に加熱される。このようにフィルタ部 24力フィルタ再生部 22を通過する際に、ワーキングコイル 20の磁束が通過する部分が連続的に誘導カロ熱されることにより、フィルタ装置 14内にトラップされた排出微粒子 (大部分を可燃性粒子が占める）は短時間で燃焼し、これにより、フィルタ装置 14が再生される。ヮーキングコイル 20は、高温に誘導加熱されたフィルタ部 24の外周部に近接した状態で配置されているが、支持枠 18を形成するセラミック材料の耐熱性により保護される。

[0033] このように形成された排ガス浄ィ匕装置 10は、微粒子を捕捉する微粒子捕捉部 16と、捕捉した微粒子を誘導加熱により燃焼させてフィルタ装置 14を再生するフィルタ再生部 22とを排ガス Gl, G2の流れ方向に沿って併置し、フィルタ再生部 22を通過するときにフィルタ装置 14を誘導加熱して再生することができるため、フィルタ装置 14 の大型化しても、フィルタ再生部 22の軸方向長さを長くする必要はなぐワーキングコイル 20およびこのワーキングコイル 20を支える支持枠 18の小型化を実現することができる。

[0034] また、フィルタ再生部 22に対してフィルタ装置 14を移動する可動フレーム 30力伸縮継手 36を介して支持枠 18および外気側排気管 6に接続されることにより、排気系の配管に接続した状態のまま、温度が低下する前に効率よく誘導加熱し、再生することができる。特に、支持枠 18およびワーキングコイル 20をフィルタ装置 14の外周部に近接配置することにより、誘導加熱時の漏れ磁束を少なくして、効率よく誘導加熱することができる。ワーキングコイル 20は、支持枠 18を形成するセラミック材料の耐熱性により、このときに発生する熱力確実に保護される。

[0035] この排ガス浄ィ匕装置 10の微粒子捕捉部 16に対し、支持枠 18と、この支持枠 18に卷回された誘導加熱用ワーキングコイル 20と、フィルタ装置 14の延長部 26を保持すると共にケーシング 12の軸方向に沿ってこのフィルタ装置 14を移動する可動フレーム 30とは、捕捉した微粒子を燃焼させるためのフィルタ再生装置を形成する。このフィルタ再生装置は、このワーキングコイル 20を通過するときにフィルタ装置 14を誘導加熱して再生することができるため、特に軸方向に長い大型のフィルタ装置 14を用いる場合であっても、ワーキングコイル 20および支持枠 18を大型化する必要がなぐコンパクトかつ耐久性のあるフィルタ再生装置を形成することができる。

[0036] なお、上述の実施形態では、可動フレーム 30のガイドレール 32をガイド部 34に対して移動させている力これとは逆に、ガイドレール 32をケーシング 12に対して固定し、このガイドレール 32上をフランジ 28およびこれに連結される伸縮継手 36のフランジ部 37とを移動できるようにしてもよい。この場合には、ガイドレール 32を外気側排気管 6の近部まで延設する。ガスの漏洩を防止することができるものであれば、伸縮継手 36は、上述のようなベロー管状構造に限らず、例えば入れ子状に形成したものであってもよい。

[0037] また、フィルタ装置 14のフィルタ部 24は、上述のように金属繊維力もなる焼結不織布製フィルタ 24bを用いる場合には、この焼結不織布製フィルタ 24bが加熱部材としても機能するため、保持枠 24aを省略し、あるいは、ロッド状構造等のより軽量構造に形成することも可能である。一方、このような焼結不織布製フィルタ 24bに代えて、例えばセラミック連続繊維の短繊維層とブランケット状繊維層とを積層したセラミック繊維フィルタ等の種々のフィルタを用いることも可能である。このようなセラミック繊維のフィルタを用いた場合には、上述のような保持枠 24aを加熱部材として用いることが好ましい。

産業上の利用可能性

[0038] 本発明について、特定の実施形態について記載し、説明してきたが、当該分野における技術者であれば、上述の本発明の原理の範囲内で種々の変形あるいは変更が可能なことは明らかである。例えば、上述の排ガス浄ィ匕装置は、フィルタ装置 14の大型化と、ワーキングコイル 20およびこのワーキングコイルを支える支持枠 18の小型ィ匕とが同時に実現されるため、特に船舶に搭載するのに好適であるが、船舶以外にも、陸上の工場、車両 (特に大型車両)等にも適用可能である。

Claims

請求の範囲

[1] 排ガスを一端力流入させかつ他端力流出させるケーシング（12)内に配置される微粒子捕捉用フィルタ装置（14)を有する微粒子捕捉部（16)と、前記フィルタ装置に配置した加熱部材（24a, 24b)を誘導加熱することにより、このフィルタ装置に補足された微粒子を燃焼させてこのフィルタ装置を再生するフィルタ再生部 (22)とを有する排ガス浄ィ匕装置であって、

前記ケーシング（ 12)の一方の端部に隣接して配置された誘導加熱用ワーキングコィル（20)と、

前記ケーシンダカもワーキングコイルを超えて延設され、前記ケーシングの一端と他端とを通る軸方向に沿って移動可能な可動フレーム（30)とを備え、

前記フィルタ装置（14)は、この可動フレームに連結される連結部（26, 28)と、この連結部に保持されるフィルタ部材（24)とを有し、前記ワーキングコイル内を通過するときに、前記加熱部材（24a, 24b)が連続的に誘導加熱され、フィルタ部材（24)が捕捉した微粒子を燃焼させることを特徴とする排ガス浄ィ匕装置。

[2] 更に、前記ワーキングコイルが外周部に卷回される支持枠（18)を備え、この支持枠は、セラミック材料により、前記ケーシング（12)よりも小径でかつフィルタ部材（24) よりも軸方向長さの短い円筒状形状に形成されることを特徴とする請求項 1に記載の排ガス浄化装置。

[3] 前記可動フレーム（30)は、前記支持枠（18)および排気管（6)に対してそれぞれ伸縮継手（36)を介して接続されることを特徴とする請求項 1又は 2に記載の排ガス浄化装置。

[4] 前記フィルタ装置（ 14)は、金属繊維を焼結させて形成した焼結不織布製フィルタ（ 24a)を有し、この焼結不織布製フィルタが前記加熱部材を兼用することを特徴とする請求項 1から 3のいずれか 1つに記載の排ガス浄ィ匕装置。

[5] 排ガスを一端力流入させかつ他端力流出させるケーシング（12)内に配置され、微粒子捕捉用フィルタ部材 (24)を有するフィルタ装置（14)を再生するため、このフィルタ装置に設けられた加熱部材（24a, 24b)を誘導加熱することにより、前記フィルタ装置のフィルタ部材 (24)が捕捉した微粒子を燃焼させるフィルタ再生装置であつて、

前記ケーシング（ 12)の一方の端部に配置された誘導加熱用ワーキングコイル (20 )と、

前記ケーシング（ 12)力もワーキングコイル（20)を超えて延設され、前記ケーシング (12)の一端と他端とを通る軸方向に沿って移動可能な可動フレーム（30)とを備え、この可動フレーム (30)は、前記ワーキングコイル（20)を超えてこのワーキングコィルの外側に延設される前記フィルタ装置の延長部（26)を保持し、前記ワーキングコィル（20)を通過するときに、このフィルタ装置（14)に配置した加熱部材（24a, 24b) の対応する部位を連続的に誘導加熱することにより、フィルタ部材 (24)が捕捉した微粒子を燃焼させることを特徴とするフィルタ再生装置。

更に、前記ワーキングコイル（20)が外周部に卷回される支持枠（18)を備え、この支持枠は、セラミック材料により、前記ケーシング（12)よりも小径でかつフィルタ部材 (24)よりも軸方向長さの短い円筒状形状に形成されることを特徴とする請求項 5に記載のフィルタ再生装置。