WO2006073003A1 - ワーク搬送装置 - Google Patents

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WO2006073003A1
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vacuum
work
suction table
head
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Yasuhito Kawaman
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Hitachi Zosen Corp
Hitachi Shipbuilding and Engineering Co Ltd
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    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
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    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
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    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups

Definitions

  • Patent Document 1 JP-A-6-339845
  • a workpiece transfer device vacuum-sucks a workpiece that is continuously transferred and stopped at a workpiece supply position, a plurality of workpiece machining positions, and a workpiece discharge position, and placed on a table at a required position.
  • the vacuum supply mechanism that is moved forward to supply the vacuum to the same table and retracted when the workpiece suction table is transported and separated from the same table, and the workpiece suction table provided in each workpiece suction table when the vacuum supply mechanism is retracted It is characterized by having a vacuum maintaining mechanism for maintaining a vacuum state.
  • a handling robot may be arranged at the workpiece supply position and the workpiece discharge position.
  • a workpiece is supplied by a robot or an operator.
  • the workpiece is discharged.
  • a grindstone head for polishing is disposed at each of the plurality of grinding positions.
  • chamfering of one surface of the workpiece peripheral part and chamfering of the other surface are performed separately, and rough finishing and fine finishing after chamfering are sequentially performed. It is supposed to be done.
  • the number of work carcass positions can be increased or decreased freely according to the required car, not limited.
  • FIG. 2 is a front view of the same.
  • FIG. 3 is a vertical sectional view taken along the center line of the vacuum supply head.
  • FIG. 5 is an enlarged side view of the workpiece suction table.
  • FIG. 6 is a vertical sectional view taken along the center line of the vacuum release head.
  • Vacuum supply head vacuum supply mechanism
  • the endless chain device (2) includes a drive sprocket (12) provided on the workpiece discharge side and driven by a drive motor (11), and a follower provided on the workpiece supply side and in the vicinity of the drive sprocket (12).
  • a sprocket (13) and an endless chain (2a) wound around these sprockets (12X13) are provided.
  • the endless chain device (2) can be replaced with an endless belt device including a driving pulley, a driven pulley, and an endless belt.
  • Head connection port (3 4a) and the rear opening of the base of the vacuum release passage (36) serves as a vacuum release mechanism attachment port (36a) that is closed or released by the vacuum release mechanism (5).
  • the adsorption surface (3a) of the workpiece adsorption platform (3) is made of a material that does not damage the workpiece (W) such as SUS or grease.
  • Each vacuum suction stand (3) is attached to the endless chain device (2) at equal intervals.
  • the vacuum maintaining mechanism (17) is a check valve that is closed when the vacuum introduction passage (33) of the work adsorption platform (3) is at a lower pressure than the outside, and is opened when the outside is at a lower pressure. It is said that. As a result, the vacuum state of the work suction platform (3) is maintained even when the vacuum supply mechanism is retracted.
  • the vacuum release mechanism (5) includes a rotating shaft (43) supported on the rear surface of the work suction platform (3) via a bearing (42). ), A lever (44) rotatably supported by the rotation shaft (43), and a seal member (45) provided at the lower end of the lever (44) to close the vacuum release passage (36).
  • the lever (44) has its upper part (44a) slightly bent with respect to the lower part (44b) and is supported by the rotating shaft (43) in the bent position. ing. Normally, the sealing material (45) is sucked into the vacuum release passage (36) and is brought into close contact with the rear surface of the work suction table (3) because the inside of the work suction table (3) is evacuated.
  • the vacuum release head (6) is supported by the head support (7) in the same manner as the vacuum supply head (4). As a result, the vacuum release mechanism (5) is moved to the vacuum release side at the same timing as the vacuum supply head (4) supplies the workpiece suction table (3) with vacuum.
  • the head support (7) is disposed so as to be parallel to the linear portion of the endless chain device (2) on the workpiece conveyance side, and is advanced and retracted while maintaining this parallel state.
  • the vacuum supply head (4) and the vacuum release head (6) are supported by the head support base (7) at the same interval as the workpiece suction base (3).
  • the endless chain device (2) is rotationally driven to move the workpiece suction table (3) by an interval of the workpiece suction table (3).
  • the workpiece suction stand (3) that was at the workpiece supply position (A) moves to the first machining position (B).
  • the vacuum suction state of the workpiece suction stand (3) is maintained by the action of the check valve (17), and the workpiece (W) is transported while being in close contact with the workpiece suction stand (3).
  • the workpiece (W) is placed and the cylinder rod (22) is extended in the same manner as described above, whereby a new workpiece (W) is placed on the workpiece suction stand (3) at the workpiece supply position (A).
  • the work (W) on the work-suction table (3) moved to the first machining position (B) is vacuum-sucked again.
  • the workpiece (W) on the workpiece adsorption platform (3) at the first workpiece machining position (B) is sufficient for the force that is applied when the turret head (9) with a polishing force is applied by vacuum adsorption. Supported to withstand.
  • the first machining position Predetermined machining is performed on the workpiece (W) in (B).
  • the cylinder rod (22) is contracted and the workpiece suction platform (3) is moved in the same manner as described above, whereby the workpiece (W) at the workpiece supply position (A) is moved to the first position.
  • the workpiece (W) at the first machining position (B) is moved to the first machining position (B) by the second machining position (C). Then, by repeatedly placing the workpiece (W), extending the cylinder rod (22), machining the workpiece (W), contracting the cylinder rod (22) and moving the workpiece adsorption platform (3), the workpiece (W ) Can be processed continuously.
  • the workpiece (W) that has been subjected to the caulking process at the final (second illustration) machining position (C) is the workpiece (W) at the first calorific position (B).
  • position (C) By moving to position (C), it is moved to workpiece discharge position (D).
  • the vacuum release head (6) in the workpiece discharge position (D) is moved integrally with the vacuum supply head (4) by the extension of the cylinder rod (22). Since the vacuum release head (6) is configured as described above, it engages with the vacuum release mechanism (5) and moves it to the vacuum release side (see the two-dot chain line in FIG. 6).

Landscapes

  • Feeding Of Workpieces (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

　ワークとワーク吸着台との間に異物が噛み合うことがないという利点を有し、しかも、チューブが絡まるという問題が防止され、これにより、複数の加工を連続的に行うことが容易なワーク搬送装置を提供する。 　連続的に搬送されて所要位置において台上に載置されたワークWを真空吸着する複数のワーク吸着台3と、ワーク加工位置B,Cの近傍に各ワーク吸着台3に対して進退可能に設けられ、ワーク吸着台停止時に前進させられて同台3に真空を供給しかつワーク吸着台搬送時に後退させられて同台3から離脱させられる複数の真空供給機構としての真空供給ヘッド4と、各ワーク吸着台3に設けられ真空供給機構後退時にワーク吸着台真空状態を維持するための真空維持機構としての逆止弁17とを備えている。

Description

明 細 書
ワーク搬送装置
技術分野
[0001] この発明は、ガラス板やウェハなどのワークを研磨する研磨装置に好適なワーク搬 送装置に関する。
背景技術
[0002] 研磨装置のワーク搬送装置として、台上に載置されたワークを真空吸着する複数の ワーク吸着台を連続的に搬送し、ワーク加工位置において、ワーク吸着状態での研 磨加工を可能とするものが知られて 、る（特許文献 1)。
特許文献 1：特開平 6— 339845号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0003] この特許文献 1のものでは、各ワーク吸着台にそれぞれ接続された伸縮可能なチュ ーブがロータリジョイントを介して真空源に接続されることにより、ワーク吸着台に常時 真空が供給されるので、ワークとワーク吸着台との間に異物が嚙み合うことがないとい う利点を有している。しかしながら、チューブの伸縮が大きくなると、チューブが絡まる 恐れがあるため、ワーク供給位置力 ワーク排出位置までの距離を大きくすることが 難しく、複数の研磨加工を連続的に行う研磨装置などへの適用が難 U、という問題 かあつた。
[0004] この発明は、ワークとワーク吸着台との間に異物が嚙み合うことがないという利点を 有し、しかも、チューブが絡まるという問題が防止され、これにより、複数の加工を連 続的に行うことが容易なワーク搬送装置を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
[0005] この発明によるワーク搬送装置は、連続的に搬送されかつワーク供給位置、複数の ワーク加工位置およびワーク排出位置に順次停止させられて所要位置において台 上に載置されたワークを真空吸着する複数のワーク吸着台と、少なくとも各ワークカロ ェ位置の近傍に各ワーク吸着台に対して進退可能に設けられ、ワーク吸着台停止時 に前進させられて同台に真空を供給しかつワーク吸着台搬送時に後退させられて同 台から離脱させられる複数の真空供給機構と、各ワーク吸着台に設けられ真空供給 機構後退時にワーク吸着台真空状態を維持するための真空維持機構とを備えてい ることを特徴とするちのである。
[0006] ワーク吸着台を連続的に搬送するには、通常、回転駆動可能な無端チェーンまた は無端ベルトなど (無端連続体)の卷掛け伝動機構が使用される。
[0007] ワーク供給位置およびワーク排出位置には、例えば、ハンドリングロボットが配され ることがあり、ワーク供給位置では、ロボットまたは作業者によってワークが供給され、 ワーク排出位置では、ロボットまたは作業者によってワークが排出される。複数のヮー ク加工位置には、例えば、研磨用の砥石ヘッドがそれぞれ配置される。複数のワーク 加工位置は、例えば、ワーク周縁部の一方の面の面取り加工と他方の面の面取り加 ェとを別々に行うものとされ、また、面取り加工後の粗仕上げと微細仕上げとを順次 行うものとされる。ワークカ卩工位置の数は、限定されるものではなぐ必要なカ卩ェに応 じて自由に増減することができる。
[0008] ワーク吸着台は、吸着面に開口している吸着溝を有しているものとされ、この溝に通 じる通路に真空が供給 (吸引）されることにより、ワークを吸着保持することができる。
[0009] 真空供給機構は、真空源に接続された真空配管をワーク吸着台に接続するもので 、真空供給機構には、真空配管の先端部を保持する接続ヘッドが設けられる。そして 、ワーク吸着台の接続ヘッド対応位置にヘッド接続口が設けられ、真空供給機構前 進時に接続ヘッドがヘッド接続口に突き合わされることにより、真空の供給が可能とさ れる。各真空配管への真空供給は、各真空配管と真空源との間に介在された電磁 弁を開閉することにより制御される。真空供給機構は、複数のワーク加工位置だけで なぐワーク供給位置にも設けられることがあり、ワーク供給位置の構成は、ワーク加 工位置の構成と同様にしてもよぐまた、ワークカ卩工位置の構成とは異なるものとして ちょい。
[0010] 真空維持機構は、例えば、ワーク吸着台の内部通路 (真空導入通路）が外部よりも 低圧である場合に閉鎖され、外部がより低圧である場合に開放される逆止弁とされる 。このような逆止弁によると、真空供給機構後退時にワーク吸着台真空状態が維持さ れるとともに、真空供給機構による真空供給時には、ワーク吸着台の真空状態をより 低圧にすることができる。真空維持機構としては、一方向だけに流体の流れを許しか つ反対方向には流れを阻止することができる公知の種々の構造の逆止弁およびこれ に類似のものを使用することができる。逆止弁は、ワーク吸着台内の真空導入通路と ワーク吸着台内の真空接続通路とを連通させる外部通路を形成して、その外部通路 途中に設けられてもよぐまた、外部通路を設けることなぐワーク吸着台のヘッド接続 口に内蔵されるようにしてもよい。なお、真空維持機構 (例えば逆止弁)を閉じるため の力は、流体の背圧によってもよぐバルブに内装されたばねの弾性力によってもよ い。
[0011] 複数の真空供給機構は、それぞれに例えば流体圧シリンダが取り付けられて、個 々に移動可能とされていることがあり、また、複数の真空供給機構は、ワーク吸着台 に対して進退可能な支持台上に、真空吸着されるワーク吸着台と同一間隔で固定さ れていることがある。後者のものでは、 1つの駆動装置 (例えば流体圧シリンダ）により 支持台を移動させることで、すべての真空供給機構が移動させられるので、装置を 簡素化することができる。
[0012] ワーク搬送装置は、各ワーク吸着台に設けられて外部からの操作により同台の真空 を解除する真空解除機構と、ワーク排出位置近傍にワーク吸着台に対して進退可能 に設けられ前進時に同台の真空解除機構を真空解除させる真空解除ヘッドとをさら に備えていることが好ましい。真空解除機構は、例えば、ワーク吸着台内部に設けら れた真空解除通路と、ワーク吸着台外部に設けられた回動軸と、回動軸に回動可能 に支持されたレバーと、レバ一一端部に設けられて真空解除通路を閉鎖するシール 材とを有しており、レバー他端部が真空解除用ヘッドに押圧されることにより、レバー が真空解除通路を開放する方向に回動させられるものとされる。このようにすると、真 空供給機構による真空供給操作と同様の操作により、ワーク排出位置における真空 の解除が可能となり、ワークの排出を容易に行うことができる。真空解除機構は、バル ブ本体、バルブコアおよびコイルばねからなり、通常は、バルブコアがコイルばねに 付勢されることにより閉じられており、このバルブコアを真空解除ヘッドによって押圧 することにより、真空を解除する構成としてもよい。 発明の効果
[0013] この発明のワーク搬送装置によると、複数のワーク加工位置においては、真空供給 機構が前進してワーク吸着台に真空が供給されることにより、ワーク吸着台の停止位 置において研磨等の加工が施されるワークが加工に耐え得る吸着力でワーク吸着台 に保持され、また、各加工位置間においては、真空維持機構によってワーク吸着台 の真空状態が維持されることにより、加工が施されずに搬送だけが行われるワークが 搬送に耐え得る吸着力でワーク吸着台に保持される。こうして、ワークを移し替えるこ となく加工を施すことができるので、ワークとワーク吸着台との間への加工屑等の異物 の嚙み合いが防止される。し力も、真空供給機構は、ワーク吸着台搬送時に後退さ せられてワーク吸着台から離脱させられるので、ワーク吸着台搬送の妨げになること がなぐチューブを常時接続して真空を供給するものに比べて、装置レイアウトの自 由度が大きぐ複数の加工を容易に行うことができる。
図面の簡単な説明
[0014] [図 1]図 1は、この発明によるワーク搬送装置の実施形態を示す平面図である。
[図 2]図 2は、同正面図である。
[図 3]図 3は、真空供給ヘッドの中心線に沿う垂直断面図である。
[図 4]図 4は、ワーク吸着台の拡大平面図である。
[図 5]図 5は、ワーク吸着台の拡大側面図である。
[図 6]図 6は、真空解除ヘッドの中心線に沿う垂直断面図である。
符号の説明
[0015] (1) ワーク搬送装置
(2) 無端チェ-ン装置 無端チェーン (2a)
(3) ワーク吸着台
(4) 真空供給ヘッド (真空供給機構）
(5) 真空解除機構
(6) 真空解除ヘッド
(7) ヘッド支持台 (支持台）
(17) 逆止弁 (真空維持機構） (A) ワーク供給位置
(B) 第 1ワーク加工位置
(C) 第 2ワーク加工位置
(D) ワーク排出位置
(W) ワーク
発明を実施するための最良の形態
[0016] 以下、図面を参照してこの発明の実施形態を説明する。なお、以下の説明におい て、図 1の上を前、下を後、左右を左右というものとする。
[0017] 図 1から図 6までは、この発明のワーク搬送装置の 1実施形態を示しており、ワーク 搬送装置 (1)は、無端チェ-ン装置 (2)と、無端チェ-ン装置 (2)によって連続的に搬送 されかつワーク供給位置 (A)、第 1ワーク加工位置 (B)、第 2ワーク加工位置 (C)および ワーク排出位置 (D)に順次停止させられて台上に載置されたワーク (W)を真空吸着す る複数のワーク吸着台 (3)と、ワーク供給位置 (A)および第 1ワーク加工位置 (B)、第 2ヮ ーク加工位置 (C)近傍に同位置 (A)(B)(C)にある各ワーク吸着台 (3)に対して進退可能 に設けられかつワーク吸着台停止時に前進させられて同台 (3)に真空を供給しワーク 吸着台搬送時に後退させられて同台 (3)から離脱させられる複数の真空供給ヘッド（ 真空供給機構) (4)と、各ワーク吸着台 (3)に設けられかつ同台 (3)の真空を外部力 の 操作により解除するための真空解除機構 (5)と、ワーク排出位置 (D)近傍に同位置に あるワーク吸着台 (3)に対して進退可能に設けられかつワーク吸着台停止時に前進さ せられて同台 (3)の真空解除機構 (5)を真空解除側に移動させワーク吸着台搬送時に 後退させられて同台 (3)から離脱させられる真空解除ヘッド (6)と、真空供給ヘッド (4) および真空解除ヘッド (6)を支持してワーク吸着台 (3)に対して進退するヘッド支持台 (7)と、ヘッド支持台 (7)を進退させるヘッド移動手段 (8)とを備えて 、る。
[0018] 第 1ワーク加工位置 (B)には、ワーク (W)の周縁部の一方の面の面取り加工を行う下 面角部を研磨する第 1の砲石ヘッド (9)が配置され、第 2ワークカ卩工位置 (C)には、ヮ ーク (W)の周縁部の他方の面の面取り加工を行う上面角部を研磨する第 2の砲石へ ッド (10)が配置されている。加工位置 (B)(C)における加工は、種々のものが可能であり 、加工位置 (B)(C)が 2つに限られないことはもちろんである。 [0019] 無端チェーン装置 (2)は、ワーク排出側に設けられかつ駆動モータ (11)によって駆動 される駆動スプロケット (12)と、ワーク供給側および駆動スプロケット (12)近傍に設けら れた従動スプロケット (13)と、これらのスプロケット (12X13)に巻き掛けられて 、る無端 チェーン (2a)とを備えている。なお、無端チェーン装置 (2)は、駆動プーリ、従動プーリ および無端ベルトを備えた無端ベルト装置に置き換えることができる。
[0020] 図 3および図 5に示すように、無端チ ーン装置 (2)のワーク搬送側の直線部分に平 行に、各ワーク吸着台 (3)の前面を案内するガイドレール (14)が設けられており、各ヮ ーク吸着台 (3)には、ガイドレール (14)に案内されて回転するガイドローラ (15)が設けら れている。無端チェーン装置 (2)のワーク搬送側と反対の直線部分には、ワーク (W)を 排出した後のワーク吸着台 (3)の吸着面 (3a)を清浄にする吸着面クリーニング用ブラ シ (16)が設けられている。
[0021] ワーク吸着台 (3)は、図 4から図 6までに詳しく示すように、左右および前後に並列状 に配置されかつワーク載置面となる吸着面 (3a)に開口している複数本の吸着溝 (31)と 、上端が吸着溝 (31)に連通して下方にのびる垂直通路 (32)と、一端が垂直通路 (32) に連通し他端が台右面に開口している真空導入通路 (33)と、一端が台左面に開口し 他端が台後面に開口している L字状真空接続通路 (34)と、ワーク吸着台 (3)の外部に 配置され真空導入通路 (33)の台右面開口と真空接続通路 (34)の台左面開口とを連 通している外部通路 (35)と、外部通路 (35)途中に設けられた真空維持機構 (17)と、真 空導入通路 (33)から分岐して台後面に開口している真空解除通路 (36)とを有し、真 空接続通路 (34)の台後面開口力 真空供給ヘッド (4)に接続されるヘッド接続口 (34a) とされるとともに、真空解除通路 (36)の台後面開口が、真空解除機構 (5)によって閉鎖 または真空解除される真空解除機構取付口 (36a)とされて 、る。ワーク吸着台 (3)の吸 着面 (3a)は、 SUS、榭脂等のワーク (W)を傷つけない材料で形成されている。各ヮー ク吸着台 (3)は、無端チェーン装置 (2)に等間隔で取り付けられている。
[0022] 真空維持機構 (17)は、ワーク吸着台 (3)の真空導入通路 (33)が外部よりも低圧である 場合に閉鎖され、外部がより低圧である場合に開放される逆止弁とされている。これ により、真空供給機構後退時においてもワーク吸着台 (3)の真空状態が維持される。
[0023] 真空供給ヘッド (4)は、図 3に詳しく示すように、前後にのびる軸線を有しかつ前端 側が開口した有底円筒状ケース (37)と、真空配管 (18)の先端部に取り付けられるとと もにケース (37)内に移動可能に配置されてワーク吸着台 (3)のヘッド接続口 (34a)に突 き合わされる接続ヘッド (38)と、ケース (37)と接続ヘッド (38)との間に配されて接続へッ ド (38)を前方に付勢するコイルばね (39)と、ケース (37)の開口の周縁部に設けられて 接続ヘッド (38)の抜けを防止するストツバ (40)と、接続ヘッド (38)の先端面に真空配管 (18)開口を囲むように設けられた環状のシール材 (41)とを有している。各真空供給へ ッド (4)の真空配管 (18)は、電磁弁 (19)を介して真空源 (20)に接続されている。ケース (37)の底壁 (37a)の中央部には、真空配管 (18)を挿通するための貫通孔 (37b)が設けら れている。接続ヘッド (38)は、ケース (37)内周に案内される大径部 (38a)と、ケース (37) 開口力 前方に突出している小径部 (38b)とを有しており、ストツバ (40)は、大径部 (38a)と小径部 (38b)との間の段部に当接するようになされている。コイルばね (39)は、 一端側がケース (37)の底壁 (37a)外周縁部に受け止められ、他端側が接続ヘッド (38) の大径部 (38a)後面に受け止められており、これにより、接続ヘッド (38)がコイルばね (39)によって前方に付勢され、接続ヘッド (38)をワーク吸着台 (3)のヘッド接続口 (34a) に流体密に接続することができる。
[0024] 真空解除機構 (5)は、図 4から図 6までに詳しく示すように、ワーク吸着台 (3)の後面 に軸受 (42)を介して支持された左右にのびる回動軸 (43)と、回動軸 (43)に回動可能に 支持されたレバー (44)と、レバー (44)の下端部に設けられて真空解除通路 (36)を閉鎖 するシール材 (45)とを有している。レバー (44)は、その上方の部分 (44a)がそれより下 方の部分 (44b)に対して若干屈曲させられており、屈曲位置において回動軸 (43)に支 持されるようになされている。シール材 (45)は、通常は、ワーク吸着台 (3)内部が真空と されていることで、真空解除通路 (36)に吸引されて、ワーク吸着台 (3)の後面に密着さ せられており、これにより、真空解除通路 (36)が閉鎖されている。そして、真空解除用 ヘッド (6)が前進させられて、回動軸 (43)よりも上方の部分 (44a)が真空解除用ヘッド (6) に押圧されると、レバー (44)がてこの原理により真空吸引力に杭して回動させられ、 真空解除機構 (5)が真空解除する側に移動させられる。図 6には、真空解除用ヘッド (6)が後退位置にある時を実線で、前進位置にある時を 2点鎖線で示して 、る。
[0025] 真空解除ヘッド (6)は、真空供給ヘッド (4)と同様に、ヘッド支持台 (7)に支持されてお り、真空供給ヘッド (4)がワーク吸着台 (3)に真空を供給するのと同じタイミングで真空 解除機構 (5)を真空解除側に移動させる。
[0026] ヘッド支持台 (7)は、無端チェーン装置 (2)のワーク搬送側の直線部分に平行となるよ うに配置され、この平行状態を保持したまま進退させられる。真空供給ヘッド (4)およ び真空解除ヘッド (6)は、ワーク吸着台 (3)の間隔と同じ間隔でヘッド支持台 (7)に支持 されている。
[0027] ヘッド移動手段 (8)は、ヘッド支持台 (7)の中央部の後面にロッド (22)先端部 (22a)が 当接させられた流体圧シリンダ (21)と、ヘッド支持台 (7)の下面 2力所に設けられたスラ イドガイド (23)と、各スライドガイド (23)を案内する 1対のスライドレール (24)とを有してお り、ヘッド支持台 (7)は、シリンダ (21)のロッド (22)の伸長 '縮長に応じて移動させられる
[0028] 上記のワーク搬送装置 (1)を使用した研磨処理は次のように行われる。
[0029] ワーク (W)は、まず、ワーク供給位置 (A)にあるワーク吸着台 (3)上にハンドリングロボ ットまたは作業者により載置される。次いで、ヘッド移動手段 (8)のシリンダロッド (22)を 伸長させてヘッド支持台 (7)を前進させることにより、真空供給ヘッド (4)がワーク (W)が 載置されたワーク吸着台 (3)に接続され、ワーク吸着台 (3)に真空が供給される。これ により、ワーク供給位置 (A)にあるワーク吸着台 (3)上のワーク (W)が真空吸着される。 次いで、シリンダロッド (22)を縮長させてヘッド支持台 (7)を後退させ、ワーク吸着台 (3) 力 真空供給ヘッド (4)を離脱させる。次いで、無端チェーン装置 (2)を回転駆動してヮ ーク吸着台 (3)をワーク吸着台 (3)の間隔分移動させる。これにより、ワーク供給位置 (A)にあったワーク吸着台 (3)は、第 1加工位置 (B)に移動する。この移動の間は、逆止 弁 (17)の作用により、ワーク吸着台 (3)の真空吸着状態は保持され、ワーク (W)はヮー ク吸着台 (3)に密着した状態のまま搬送される。次いで、上記と同様に、ワーク (W)の 載置およびシリンダロッド (22)の伸長が行われ、これにより、ワーク供給位置 (A)にある ワーク吸着台 (3)上に新たなワーク (W)が真空吸着され、第 1加工位置 (B)に移動した ワーク吸着台 (3)上のワーク (W)が再び真空吸着される。第 1ワーク加工位置 (B)にある ワーク吸着台 (3)上のワーク (W)は、真空吸着により、研磨力卩ェの砲石ヘッド (9)が当て られた際に作用する力に十分耐え得るように支持される。この状態で、第 1加工位置 (B)にあるワーク (W)に所定の加工が施される。この加工が完了すると、上記と同様に 、シリンダロッド (22)の縮長およびワーク吸着台 (3)の移動が行われ、これにより、ヮー ク供給位置 (A)にあるワーク (W)が第 1加工位置 (B)に、第 1加工位置 (B)にあるワーク (W)が第 2加工位置 (C)〖こそれぞれ移動させられる。そして、ワーク (W)の載置、シリン ダロッド (22)の伸長、ワーク (W)の加工、シリンダロッド (22)の縮長およびワーク吸着台 (3)の移動を繰り返すことにより、ワーク (W)に連続的に加工処理を施すことができる。
[0030] 最終（図示は第 2)加工位置 (C)においてカ卩ェ処理が施されたワーク (W)は、第 1カロ 工位置 (B)にあるワーク (W)を第 2カ卩工位置 (C)に移動させる操作により、ワーク排出位 置 (D)に移動させられる。ワーク排出位置 (D)にある真空解除ヘッド (6)は、シリンダロッ ド (22)の伸長により、真空供給ヘッド (4)と一体的に移動させられる。真空解除ヘッド (6)は、上記構成とされているので、真空解除機構 (5)に係合し、これを真空解除側に 移動させる（図 6の 2点鎖線参照)。
[0031] なお、上記構成では、ワーク供給位置 (A)およびワーク排出位置 (D)の構成を第 1ヮ ーク加工位置 (B)および第 2ワークカ卩工位置 (C)の構成と同様にし、各位置
(A)(B)(C)(D)の真空供給ヘッド (4)または真空解除ヘッド (6)を 1つのヘッド支持台 (7)に よって移動させるようにしたが、ワーク供給位置および Zまたはワーク排出位置の真 空供給ヘッドまたは真空解除ヘッドは、ワーク加工位置 (B)(C)の構成とは切り離し、ヮ ーク加工位置 (B)(C)の真空供給ヘッド (4)を 1つのヘッド支持台 (7)によって移動させ、 ワーク供給位置および Zまたはワーク排出位置の真空供給ヘッドまたは真空解除へ ッドは、個另 Uに移動させるようにしてもよい。
産業上の利用可能性
[0032] 複数の加工を連続的にかつ容易に行うことができるので、ガラス板やウェハなどの ワークを研磨する研磨装置において使用された場合に、その研磨効率および研磨精 度の向上に寄与することができる。

Claims

請求の範囲
[1] 連続的に搬送されかつワーク供給位置、複数のワーク加工位置およびワーク排出 位置に順次停止させられて所要位置において台上に載置されたワークを真空吸着 する複数のワーク吸着台と、少なくとも各ワーク加工位置の近傍に各ワーク吸着台に 対して進退可能に設けられ、ワーク吸着台停止時に前進させられて同台に真空を供 給しかつワーク吸着台搬送時に後退させられて同台から離脱させられる複数の真空 供給機構と、各ワーク吸着台に設けられ真空供給機構後退時にワーク吸着台真空 状態を維持するための真空維持機構とを備えていることを特徴とするワーク搬送装置
[2] 複数の真空供給機構は、ワーク吸着台に対して進退可能な支持台上に、真空吸着 されるワーク吸着台と同一間隔で固定されていることを特徴とする請求項 1に記載の ワーク搬送装置。
[3] 各ワーク吸着台に設けられて外部力 の操作により同台の真空を解除する真空解 除機構と、ワーク排出位置近傍にワーク吸着台に対して進退可能に設けられ前進時 に同台の真空解除機構を真空解除させる真空解除ヘッドとをさらに備えていることを 特徴とする請求項 1または 2に記載のワーク搬送装置。
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