JP5405911B2 - 搬送装置 - Google Patents
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Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、特に、ウエハ等の脆弱性を帯びた板状部材を搬送対象とした場合の当該板状部材にストレスを与え難くするとともに、板状部材の割れ原因等を効果的に回避可能な搬送装置を提供することにある。
更に、アーム形成部材の先端側に開放促進手段を備えた場合、閉ループ内に位置する受け渡し部材からアーム形成部材を退避させる際、アーム形成部材が受け渡し部材に引っ掛かって退避できなくなったり、引っ掛かった状態から無理矢理退避させようとしてアーム形成部材や受け渡し部材を破損させたりしてしまうことを防止し、アーム形成部材の相互離間動作を円滑に行うことができる。
そして、図3に示されるように、支持アーム20の閉ループ内にリフタ61を介在させるように、支持手段11を下降させ、ウエハWの下面側をリフタ61の上面に当接させると、当該リフタ61が図示しない吸引手段でウエハWの吸着を開始する一方、スリット32Aからの空気噴出が停止される。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
また、第1及び第2アーム形成部材24、25の連結部分に、図示しないばね等の付勢手段及びモータ等の駆動手段を介して1又は2つの第2アーム形成部材25を設け、付勢手段のみの付勢力によって、第2アーム形成部材24が接触して閉ループを形成する一方、モータの駆動力のみによって、第2アーム形成部材24が離間して閉ループを開放するように構成してもよい。
11 支持手段
12 移動手段
20 支持アーム
21 吸引手段
24 第1アーム形成部材
25 第2アーム形成部材
25B 先端
25C 開放促進縁(開放促進手段)
A 負圧領域
G 気体(流体)
W 半導体ウエハ(板状部材)
Claims (1)
- 板状部材の一方の面側に位置して当該板状部材を支持する支持手段と、この支持手段を移動可能に支持する移動手段とを備えた搬送装置において、
前記支持手段は、支持アームと、当該支持アームに設けられた吸引手段とを含み、
前記支持アームは一部開放可能な閉ループを形成可能な複数のアーム形成部材を備え、当該アーム形成部材の先端側にアーム形成部材の開放を促進する開放促進手段を備えていることを特徴とする搬送装置。
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JP2009141321A Expired - Fee Related JP5405911B2 (ja) | 2009-06-12 | 2009-06-12 | 搬送装置 |
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