JPH06339845A - 平面研削装置 - Google Patents

平面研削装置

Info

Publication number
JPH06339845A
JPH06339845A JP5152811A JP15281193A JPH06339845A JP H06339845 A JPH06339845 A JP H06339845A JP 5152811 A JP5152811 A JP 5152811A JP 15281193 A JP15281193 A JP 15281193A JP H06339845 A JPH06339845 A JP H06339845A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holding
holding body
grinding
workpiece
switching
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP5152811A
Other languages
English (en)
Inventor
Hatsuyuki Arai
井 初 雪 新
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SpeedFam Co Ltd
Original Assignee
SpeedFam Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SpeedFam Co Ltd filed Critical SpeedFam Co Ltd
Priority to JP5152811A priority Critical patent/JPH06339845A/ja
Publication of JPH06339845A publication Critical patent/JPH06339845A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【目的】 コンベアベルトとは異なる搬送手段を用いる
ことにより、ベルトの厚さのバラツキが研削加工に及ぼ
す影響を排除すると共に、被加工物の搬送を確実且つ安
定的に行い得るようにする。 【構成】 所定の速度で連続的に駆動される無端の搬送
チェーン12に、磁力又は真空圧により被加工物14を
吸着可能となった複数の保持体13を所定の間隔で取り
付け、該保持体に保持されて搬送される被加工物を研削
ホイール15で研削加工するようにし、この研削加工時
に被加工物14を一定の高さに保持するため、保持体1
3に設けた車輪25と機体10に設けた支持レール26
とからなる支持手段によって該保持体13を支持させ
た。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被加工物を搬送手段で
連続的に搬送しながら研削ホイールで研削加工するよう
にした平面研削装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】この種の平面研削装置として、従来、図
9に示すように、無端のコンベアベルト1上に被加工物
2を載せて連続的に搬送しながら、該コンベアベルト1
の上方に配設した鉛直軸の回りに駆動回転自在の研削ホ
イール3で、該被加工物2の上面を研削加工するように
したものが知られている。4は加工時に被加工物2を一
定の高さに支持する支持テーブルである。
【0003】ところが、上記従来の研削装置は、コンベ
アベルト1上に被加工物2を載せて加工するようにして
いたため、該コンベアベルト1の厚さによって加工精度
が左右され、厚さのバラツキのために一定の加工精度を
得ることが難しいという欠点があった。
【0004】また、上記支持テーブル4に磁石からなる
保持手段を設けることにより、磁性体である被加工物2
をコンベアベルト1上で動かないように保持させている
が、コンベアベルト1が支持テーブル4に対して相対的
に移動しているため、該コンベアベルト1上での被加工
物2の保持は不安定になり易く、該被加工物2が非磁性
体である場合には、磁石による吸着が不可能であるた
め、該被加工物の保持は一層不安定になり易い。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、コン
ベアベルトとは異なる搬送手段を用いることにより、ベ
ルトの厚さのバラツキが研削加工に及ぼす影響を排除す
ると共に、被加工物の保持及び搬送を確実且つ安定的に
行い得るようにすることにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明においては、所定の速度で連続的に駆動され
る無端の搬送帯と;磁力又は真空圧により被加工物を保
持するオン・オフに切り換え可能な保持手段を備え、上
記搬送帯に所定の間隔で取り付けられた複数の保持体
と;該保持体に保持された被加工物を研削加工する駆動
回転自在の研削ホイールと;少なくとも研削ホイールに
よる加工領域内に配設され、上記保持体を一定の高さに
支持する支持手段と;上記保持体がローディング位置に
周回して来たときに保持手段をオンに切り換え、保持体
がアンローディング位置に周回して来たときに保持手段
をオフに切り換える切換手段と;を有する平面研削装置
が提供される。
【0007】保持体を一定の高さに支持する支持手段
は、該保持体に設けた車輪と、機体に設けた支持レール
とで構成される。研削加工時の保持体の横移動を防止す
るためのガイド部材を配設しておくことが望ましい。
【0008】
【作用】被加工物を研削加工するに当り、研削装置は、
搬送帯の駆動により保持体が所定の速度で連続的に移動
し、且つ、研削ホイールが一定の速度で回転している状
態に保たれる。このとき、各保持体は、それがローディ
ング位置に周回して来たとき切換手段の作用で保持手段
がオン状態に切り換えられ、アンローディング位置に周
回して来たときオフ状態に切り換えられる。
【0009】いま、ローディング位置に周回して来た保
持体に被加工物が供給されると、該被加工物は、オンと
なった保持手段に吸着保持されて搬送され、研削ホイー
ルを通過するときに研削加工される。このとき、被加工
物が各保持体毎に保持手段により独立に保持されてお
り、且つ、保持体が支持手段により支持されて一定の高
さを保持するため、該被加工物の保持状態及び高さは安
定し、精度の良い加工が行われる。研削ホイールを通過
した保持体がアンローディング位置に来ると、保持手段
がオフになって被加工物が解放され、シュート等によっ
て取り出される。
【0010】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
詳細に説明するに、図1は本発明の第1実施例として、
磁性体からなる被加工物を加工するのに適した平面研削
装置を示すもので、この平面研削装置は、機体10上の
複数のスプロケット11a〜11dに巻き掛けられて所
望の同期速度で同一方向に連続的に駆動される左右一対
の無端搬送チェーン12,12と、該搬送チェーン1
2,12に所定の間隔で取り付けられた複数の被加工物
用保持体13と、該保持体13上の被加工物14を研削
加工する鉛直軸線の回りで駆動回転自在の研削ホイール
15とを備えている。
【0011】上記搬送チェーン12,12は、上方の往
路部分12aが、進行方向前方側が低くなるようにやや
傾斜した直線路として構成され、この直線路のほぼ中央
部上方に上記研削ホイール15が配設されており、該搬
送チェーン12,12を巻き掛けた複数のスプロケット
11a〜11dのうちの何れかが、図示しない可変速の
駆動源に連結されている。
【0012】一方、上記保持体13は、図2及び図3か
らも明らかなように、上面に被加工物14を載置するた
めの平らな載置面13aを備え、その内部には、磁性体
からなる被加工物14の保持手段として、該被加工物1
4を吸着する永久磁石18が内蔵されている。該永久磁
石18は、載置面13aに近接して被加工物14を吸着
するオン位置と、載置面13aから離間して被加工物1
4を解放するオフ位置との間を変移可能であって、保持
体13の側面に突出するスイッチ19の回転切り換え操
作によって両位置に切り換えられるようになっている。
【0013】上記スイッチ19を自動的にオン・オフに
切り換えるようにするため、上記機体10には、搬送チ
ェーン12に添って、被加工物14を保持体13に供給
するローディング側Aと被加工物14を保持体13から
取り出すアンローディング側Bとに、それぞれ切換フッ
ク20,21が設けられ、保持体13がローディング位
置に周回して来て切換フック20の前を通過するとき、
該切換フック20がスイッチ19に係合して該スイッチ
19をオン位置に切り換え、保持体13がアンローディ
ング位置に周回して来て切換フック21の前を通過する
とき、該切換フック21がスイッチ19に係合して該ス
イッチ19をオフ位置に切り換えるようになっており、
これらのスイッチ19と切換フック20,21とによっ
て、保持手段をオン・オフに切り換える切換手段が構成
されている。
【0014】被加工物14を保持している時や該被加工
物14を研削加工する時等に保持体13が下方に沈み込
むのを防止して該保持体13を一定の高さに保持するた
め、支持手段が設けられている。この支持手段は、保持
体13の下部に取付部材24を介して取り付けられた左
右複数対の車輪25,25と、機体10に設けた左右一
対の支持レール26,26とで構成されたもので、上記
取付部材24は、外壁24aと内壁24bとが下端部で
一体化した形の二重構造をなしていて、その内壁24b
の上端部に上記車輪25が取り付けられている。
【0015】また、上記機体10には、支持レール26
上を転動する車輪25を覆って水や砥粒等がかかるのを
防止するための保護カバー27が取り付けられている。
この保護カバー27は、支持レール26の内側において
機体10から立ち上がったあと外側に向けて折れ曲が
り、更に下方に向けて折れ曲がった形をしており、車輪
25が支持レール26上を移動するとき、取付部材24
の内壁24bと車輪25とが該保護カバー27で覆われ
るようになっている。
【0016】更に、上記機体10には、保持体13の横
移動を防止して車輪25が支持レール26から外れるの
を防ぐため、保持体13の側面に摺接するガイド部材2
9が取り付けられている。このガイド部材29は、保持
体13の両側に設ける必要はなく、被加工物14の研削
加工時に研削ホイール15によって保持体13が押され
る方向の側部のみに設ければ良い。
【0017】上記支持レール26と保護カバー27及び
ガイド部材29は、搬送チェーン12の全周に添って設
ける必要はなく、図示した実施例のように、ローディン
グ側Aの被加工物供給位置よりもやや手前(スプロケッ
ト11dの位置)から、アンローディング側Bの被加工
物解放位置よりもやや後方(スプロケット11cの位
置)までの間に設けても、或は研削ホイール15による
加工領域のみに設けても良い。
【0018】上記第1実施例の平面研削装置において、
被加工物14を研削加工する時は、スプロケット11a
〜11dにより搬送チェーン12,12が所定の速度で
一方向に連続的に駆動され、それに伴って保持体13も
周回し、更に、研削ホイール15が一定の速度で回転し
ている。また、各保持体13に設けた保持手段(永久磁
石18)は、該保持体13がローディング位置に周回し
て来たとき切換フック20によりスイッチ19が切り換
えられてオンとなり、アンローディング位置に周回して
来たとき切換フック21によりスイッチ19が切り換え
られてオフになる。
【0019】いま、ローディング位置に周回して来た保
持体13の載置面13a上に被加工物14が供給される
と、該被加工物14は、オンとなった保持手段に吸着保
持された状態で搬送され、研削ホイール15の下を通過
するときに研削加工される。このとき、搬送チェーン1
2,12が進行方向前方側が低くなるように傾斜し、研
削ホイール15が鉛直軸線の回りで回転しているため、
研削加工は研削ホイール15の前半部で行われる。
【0020】上記研削加工時に、被加工物14が各保持
体13毎に保持手段により独立に保持されていて、しか
も保持体13が、支持レール26上を転動する車輪25
によって一定の高さを保つように支持されると共に、ガ
イド部材29によってその横移動が防止されるため、一
定の研削精度が維持され、各保持体13の間で寸法のバ
ラツキが生じるようなことがない。
【0021】なお、複数の保持体13の載置面13aを
常に同一高さに仕上げておくため、被加工物14を載置
しない状態で各保持体13に研削ホイール15による研
削加工を施すことが望ましい。この研削加工は、装置を
備え付けたときや初めて使用するとき等に行うだけでな
く、その後も定期的に或は必要に応じて行うことが好ま
しい。
【0022】研削加工の終了した被加工物14aがアン
ローディング位置まで搬送されて来ると、切換フック2
1によりスイッチ19が切り換えられて保持手段がオフ
になるため、被加工物14aは保持体13から解放され
てシュート30内に落下し、次工程に送られる。このと
き、被加工物14が保持体13から確実に落下し得るよ
うにするため、該保持体13が下向きに姿勢を変えた時
に保持手段がオフになるような位置に切換フック21を
設けておくのが良い。
【0023】図4は本発明の第2実施例を示すもので、
この第2実施例は、非磁性体からなる被加工物34を研
削加工するのに適するように構成したものである。この
第2実施例と上記第1実施例との主たる相違点は、被加
工物の保持手段として真空圧を用いた点のみであって、
その他の基本的な構成は実質的に同じであるから、保持
手段に関連する構成について以下に説明し、その他の構
成については同一部分に同一符合を付して説明を省略す
る。
【0024】即ち、図5乃至図8に詳細に示すように、
各保持体40の上面の載置面40aには、被加工物34
を吸着するための少なくとも1つの吸着孔41が設けら
れ、保持体40の内部には、上記吸着孔41を真空源4
2と大気とに切り換え接続するための切換軸43が設け
られている。この切換軸43は、真空源42に連通する
真空通孔45と、大気に連通する排気通孔46とを内部
に備え、これらの通孔45,46を切換軸43の外周面
における円周方向の異なる位置に開口させたもので、該
切換軸43を一定角度だけ正逆方向に回転させることに
より、真空通孔45が吸着孔41に連通するオン位置
と、排気通孔46が吸着孔41に連通するオフ位置とに
切り換えられるものである。上記排気通孔46は、オフ
位置において一方の開口が吸着孔41に連通していると
き、即ち、図7の位置から切換軸43が時計回りに90
度回転したとき、他方の開口が保持体40の連通孔44
を通じて大気に連通するようになっている。
【0025】上記切換軸43の切り換えは、第1実施例
の場合と同様に、保持体40の外側面に突出するスイッ
チ47の回転操作によって行われるようになっており、
該スイッチ47を切り換えるための切換フック48,4
9が、機体10のローディング側とアンローディング側
とに設けられている。
【0026】保持体40における切換軸43の真空通孔
45は、スイッチ47の先端のポート45aに接続され
たチューブ50により、機体10に設けたロータリジョ
イント51を介して真空源42に接続されている。この
ロータリジョイント51は、図8に示すように、機体1
0に固定されてチューブ54により上記真空源42に接
続された本体52と、該本体52に対して回転自在のチ
ューブ接続部53とからなるもので、該接続部53に
は、保持体40と同数の常時真空源42に連通する接続
口53aが設けられ、各接続口53aに保持体40から
の上記チューブ50が個別に接続されている。該接続部
53は、ベルト56を介して可変速モータ55に接続さ
れ、保持体40の周回と同期した速度で駆動回転される
ようになっている。このとき、保持体40の周回路は真
円形ではないため、その周回位置によって該保持体40
と接続部53との間の距離が変化する。このため各チュ
ーブ50は、保持体40と接続部53との間の最長距離
に応じた長さに形成されている。
【0027】上記第2実施例における保持手段は次のよ
うに作用する。即ち、保持体40がローディング位置に
周回して来て切換フック48によりスイッチ47がオン
位置に切り換えられると、切換軸43中の真空通孔45
が吸着孔41に連通して、被加工物34を吸着可能な状
態になり、保持体40がアンローディング位置に周回し
て切換フック49によりスイッチ47がオフ位置に切り
換えられると、切換軸43中の排気通孔46が吸着孔4
1に連通し、加工済みの被加工物34aが吸着状態から
解放される。
【0028】なお、上記各実施例に示した搬送チェーン
12に代えて、タイミングベルトやその他のチェーンと
同機能を持つ各種構成の搬送帯を用いることができる。
この場合、スプロケット等の関連部材もその搬送帯に適
合するものが使用されることはいうまでもないことであ
る。
【0029】
【発明の効果】このように本発明によれば、被加工物を
独立する保持体によりそれらに設けた保持手段で個別に
保持させると共に、研削加工時に該保持体を支持手段で
一定の高さに保つようにしたので、被加工物を安定した
保持状態及び高さに確実に保持することができ、これに
より精度の高い研削加工を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る平面研削置の第1実施例を概略的
に示す側面図である。
【図2】図1における要部拡大図である。
【図3】図1における要部拡大断面図である。
【図4】本発明に係る平面研削装置の第2実施例を概略
的に示す側面図である。
【図5】図4における要部拡大図である。
【図6】図4における要部拡大断面図である。
【図7】図7における要部縦断面図である。
【図8】ロータリジョイントについて説明する平面図で
ある。
【図9】従来の平面研削装置を概略的に示す側面図であ
る。
【符号の説明】
10 機体 12 搬送帯 13,40 保持体 14,34 被加工
物 15 研削ホイール 18 永久磁石 19,47 スイッチ 20,21,48,
49 切換フック 25 車輪 26 支持レール 29 ガイド部材 22 弾性リング 40 吸着孔 A ローディング
位置 B アンローディング位置
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成5年10月1日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る平面研削置の第1実施例を概略
的に示す側面図である。
【図2】 図1における要部拡大図である。
【図3】 図1における要部拡大断面図である。
【図4】 本発明に係る平面研削装置の第2実施例を概
略的に示す側面図である。
【図5】 図4における要部拡大図である。
【図6】 図4における要部拡大断面図である。
【図7】 図6における要部縦断面図である。
【図8】 ロータリジョイントについて説明する平面図
である。
【図9】 従来の平面研削装置を概略的に示す側面図で
ある。
【符号の説明】 10 機体 12 搬送帯 13,40 保持体 14,34 被加工物 15 研削ホイール 18 永久磁石 19,47 スイッチ 20,21,48,49 切
換フック 25 車輪 26 支持レール 29 ガイド部材 41 吸着孔 A ローディング位置 B アンローディング位置

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定の速度で連続的に駆動される無端の
    搬送帯と;磁力又は真空圧により被加工物を保持するオ
    ン・オフに切り換え可能な保持手段を備え、上記搬送帯
    に所定の間隔で取り付けられた複数の保持体と;上記保
    持体に保持された被加工物を研削加工する駆動回転自在
    の研削ホイールと;少なくとも研削ホイールによる加工
    領域内に配設され、上記保持体を一定の高さに支持する
    支持手段と;上記保持体がローディング位置に周回して
    来たときに保持手段をオンに切り換え、保持体がアンロ
    ーディング位置に周回して来たときに保持手段をオフに
    切り換える切換手段と;を有することを特徴とする平面
    研削装置。
  2. 【請求項2】 保持体を一定の高さに支持する支持手段
    が、該保持体に設けた車輪と、機体に設けた支持レール
    とからなることを特徴とする請求項1に記載の平面研削
    装置。
  3. 【請求項3】 保持体の横移動を防止するためのガイド
    部材を備えていることを特徴とする請求項1又は2に記
    載の平面研削装置。
JP5152811A 1993-05-31 1993-05-31 平面研削装置 Withdrawn JPH06339845A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5152811A JPH06339845A (ja) 1993-05-31 1993-05-31 平面研削装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5152811A JPH06339845A (ja) 1993-05-31 1993-05-31 平面研削装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06339845A true JPH06339845A (ja) 1994-12-13

Family

ID=15548675

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5152811A Withdrawn JPH06339845A (ja) 1993-05-31 1993-05-31 平面研削装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06339845A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006073003A1 (ja) * 2005-01-06 2006-07-13 Hitachi Zosen Corporation ワーク搬送装置
KR100989541B1 (ko) * 2002-07-03 2010-10-25 닛신보 홀딩스 가부시키 가이샤 워크의 고정장치
JP4604319B2 (ja) * 2000-08-07 2011-01-05 坂東機工株式会社 ガラス板の加工方法及びその装置
TWI721647B (zh) * 2018-11-27 2021-03-11 大陸商東旭科技集團有限公司 直線式拋光機

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4604319B2 (ja) * 2000-08-07 2011-01-05 坂東機工株式会社 ガラス板の加工方法及びその装置
KR100989541B1 (ko) * 2002-07-03 2010-10-25 닛신보 홀딩스 가부시키 가이샤 워크의 고정장치
WO2006073003A1 (ja) * 2005-01-06 2006-07-13 Hitachi Zosen Corporation ワーク搬送装置
JP2006187832A (ja) * 2005-01-06 2006-07-20 Hitachi Zosen Corp ワーク搬送装置
TWI721647B (zh) * 2018-11-27 2021-03-11 大陸商東旭科技集團有限公司 直線式拋光機

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0150074B1 (en) Method and apparatus for grinding the surface of a semiconductor wafer
JPH0647655A (ja) ウエーハ面取部研磨方法及び装置
JP2649233B2 (ja) 容器搬送装置
JP2003519058A (ja) 缶搬送回転プレートシステム
JP2006247768A (ja) ガラス基板の製造方法及びその装置
CN111168494A (zh) 一种张紧轮加工生产线
JPH06339845A (ja) 平面研削装置
JPH08126946A (ja) ロボットアーム
JPS59156666A (ja) 平面研削装置におけるワ−クの自動装填機構
JP2000117640A (ja) ブラスト加工における被加工物の搬送方法及び搬送装置
JP4716628B2 (ja) キャップ供給装置
KR950012892B1 (ko) 용기연마장치
JPS63288642A (ja) ダイシング装置におけるワ−ク搬送方法及び装置
CA2151400A1 (en) Workpiece grinding method and apparatus
CN211163555U (zh) 一种抛丸机配件加工转动装置
KR200248640Y1 (ko) 장식구 부착기
JPH03294161A (ja) 研削装置
JPH09315613A (ja) ブランクス搬送装置
JPS6048824A (ja) 部品の供給装置
JPS58160049A (ja) 自動バリ取り装置
JP2000117601A (ja) 連続研削装置
JPH11254306A (ja) 研磨装置
JPS59156665A (ja) 平面研削装置
JPS6085862A (ja) 研磨方法およびその装置
JPS5937039A (ja) バリ取り装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20000801