WO2006069945A1 - Procédé de traitement d'une surface de plaquette - Google Patents

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WO2006069945A1
WO2006069945A1 PCT/EP2005/057003 EP2005057003W WO2006069945A1 WO 2006069945 A1 WO2006069945 A1 WO 2006069945A1 EP 2005057003 W EP2005057003 W EP 2005057003W WO 2006069945 A1 WO2006069945 A1 WO 2006069945A1
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bonding
wafer
donor
cleaning
solution
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Application number
PCT/EP2005/057003
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Christophe Maleville
Daniel Delprat
Cécile DELATTRE
Frédéric Metral
Original Assignee
S.O.I.Tec Silicon On Insulator Technologies
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Priority to EP05823924A priority patent/EP1829099A1/fr
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    • H01L21/20—Deposition of semiconductor materials on a substrate, e.g. epitaxial growth solid phase epitaxy

Definitions

  • the present invention relates to the bonding of two wafers comprising semiconductor materials, in order to produce structures that can be used in the fields of microelectronics, optics or optoelectronics.
  • the invention relates more specifically to the activation of the bonding surface of at least one of the two wafers to be bonded, and this, while this latter has optionally been oxidized and / or has undergone implantation of atomic species. .
  • Such an implantation of atomic species makes it possible to form an embrittlement zone, within a so-called "donor" wafer, at a determined depth.
  • the quality of the bonding is essential to achieve a good layer transfer, the quality of this bonding being mainly measured by the bonding energy bonding the two wafers.
  • the implantation step generally brings hydrocarbon-type contaminants to the platelet surface. In the presence of isolated particles or localized surface defects, this contamination can lead to the formation of superficial blisters, after detachment of the thin film and its transfer to the receptor plate, or even to the formation of non-transferred zones.
  • substrates of the SOI type in which the buried oxide layer is very thin, that is to say less than 50 nm (50 nanometers) are more difficult to produce because much more sensitive to the appearance of defects of the "blistering" type. It is therefore also important to reinforce the bonding energy to extend the conditions of use and the application possibilities of the aforementioned "Smart Cut TM” method.
  • the bonding energy must also be reinforced, in order to favor a detachment and a correct layer transfer. Indeed, the existence of contaminants at the bonding interface can lead to a detachment of the layer, at this interface, and not at the weakening zone, thereby creating defects (areas not transferred) on the receptor plate, which correspond to residues on the donor wafer. The lower the bonding energy, the greater the amount of non-transferred areas.
  • the bonding wave has more difficulties to reach the edge of the wafer diametrically opposite to that where the bonding was initiated and there is a greater number defects in this region.
  • several surface treatment processes are known beforehand in the state of the art, before bonding.
  • cleaning before bonding a second cleaning step, carried out immediately before bonding and hereinafter referred to as "cleaning before bonding".
  • the cleaning step a) surfaces to be bonded aims to: - make these surfaces hydrophilic
  • RCA cleaning and activation process
  • SCl a first bath of a solution known by the acronym "SCl” (according to the English terminology of "Standard Clean 1” which means “standard cleaning solution 1”), and which comprises a mixture of hydroxide ammonium (NH 4 OH), hydrogen peroxide (H2O2) and deionized water, - a second bath of a solution known by the acronym "SC2"
  • Standard Clean 2 which means “standard cleaning solution 2”
  • standard cleaning solution 2 which comprises a mixture of hydrochloric acid (HCl), hydrogen peroxide (H2O2) and deionized water.
  • the first bath is intended primarily to remove the isolated particles present on the surface of the wafer and make the surfaces hydrophilic, while the second bath is rather intended to remove metal contamination.
  • WO-2005/096369 a method of cleaning the oxidized surface of a wafer, for its bonding to another wafer.
  • Such a process uses a mixture of ammonia (NH 4 OH) and hydrogen peroxide (H2O2) and allows to remove the isolated particles, while avoiding creating a surface roughness.
  • step b) cleaning before bonding is very specific, since it conditions the quality of the substrates obtained after the layer transfer step (s).
  • This step is intended to remove the particles that may have settled during the waiting time between the cleaning step a) and the bonding. It also aims to enhance the hydrophilicity of the pads, the latter having a tendency to significantly decrease the waiting time between the cleaning step a) and the bonding is long.
  • This cleaning step b) is generally carried out by brushing the surfaces to be bonded with a deionized water solution, see for example on this subject the patent application FR 2 854 493.
  • the present invention aims to overcome the aforementioned drawbacks and to introduce a chemical activation of the surfaces, during the cleaning step before bonding, preferably carried out at room temperature, in order to simplify the preliminary step a) cleaning, or even to remove it.
  • the invention also aims, if the preliminary cleaning step a) is maintained, to increase the duration of the storage and activation time platelets between this cleaning step a) and the cleaning step before bonding according to the invention, while maintaining a high bonding energy, after the bonding of the two wafers.
  • the activation step according to the invention must also be integrated in the best industrial process for manufacturing SOI type substrates, already existing.
  • the invention relates to a method of treating one or the other or both surfaces, called “gluing” a first wafer, called “donor” and a second wafer, called “ receiver “, intended to be glued against each other, for the purpose of manufacturing a structure used in the field of optics, electronics or optoelectronics.
  • this process comprises a cleaning and activation step, carried out immediately before the gluing of said donor and receiver platelets, by application to said one or more bonding surfaces of a so-called "surface treatment” solution.
  • a so-called "surface treatment” solution comprising at least about 97% of a solution of ammonia (NH 4 OH) in water, preferably deionized, in a mass concentration of between about 0.05% and 2%.
  • the treatment solution consists of a solution of ammonia (NH 4 OH) in water, preferably deionized, in a mass concentration of between about 0.05% and 2%;
  • the treatment solution consists of approximately 97% of a solution (NH 4 OH) in water, preferably deionized, in a mass concentration of between approximately 0.05% and 2% and approximately 3% by weight.
  • a solution NH 4 OH
  • chelating agents and / or surfactants e.g., sodium EDTA, sodium EDTA, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisulfite, sodium metabisul
  • the ammonia solution (NH 4 OH) has a mass concentration in water of between approximately 0.5% and 1.6%, more preferably around 0.8%;
  • the cleaning and activation step is carried out by applying said surface treatment solution at a temperature less than or equal to
  • the surface treatment solution is applied directly to the gluing machine, preferably for a period of between 10 seconds and 2 minutes;
  • Said cleaning and activation step is performed by performing simultaneously the application of said surface treatment solution and the brushing of the bonding surface to be treated;
  • At least one of the two bonding surfaces is covered with an oxide layer
  • the donor wafer has undergone implantation of atomic species before bonding, so as to form a weakening zone, delimiting a thin layer to be transferred.
  • the invention also relates to a method of manufacturing a structure intended to be used in the field of optics, electronics or optoelectronics.
  • this method comprises the following steps:
  • This method comprises a consolidation annealing step between the bonding step and the detaching step;
  • the donor wafer is made of a semiconductor material, silicon or constrained silicon. This method makes it possible in particular to manufacture a structure of the semiconductor on insulator or silicon on insulator (SOI) type.
  • FIGS. 1a to 1d represent the main steps of a method for sampling and transfer of layers, applied to the production of an SOI type substrate;
  • FIG. 2 is a diagram representing a technique for measuring energy gluing between two platelets,
  • FIG. 3 is a graph representing the bonding energy ⁇ between two wafers, as a function of the temperature of the annealing treatment, for platelet series having respectively undergone either a "control" cleaning and activation method, or the cleaning and activation process before bonding according to the invention,
  • FIG. 4 is a graph illustrating the results of the measurement of the number of transfer defects in a reported layer, from series of platelets having respectively undergone either a "control" cleaning and activation method, or the method of cleaning and activation before bonding according to the invention
  • FIG. 5 shows the evolution of the value of the bonding energy ⁇ between two platelets, for batches of platelets having undergone a first cleaning treatment, then a second cleaning and activation treatment immediately before bonding, but shifted in time compared with the first cleaning, this second treatment being either a "control" cleaning or a treatment according to the invention.
  • a main objective of the present invention is to reduce the importance of defects and surface roughness, of at least one of two plates to be glued against each other, in order to increase the energy bonding between these pads.
  • the invention applies more particularly to platelets covered with an oxide layer, this oxide being either "native", that is to say resulting from the oxidation in the open air of the wafer, or additional and resulting from a thermal treatment of this wafer or deposition of an oxide layer, for example.
  • the invention finds particular application in the implementation of a method of manufacturing an SOI type substrate.
  • a first step consists in oxidizing a wafer made of semiconductor material 13, so as to form a donor wafer 10 having on the surface an oxide layer 11.
  • this oxidation results from a heat treatment or the deposition of an oxide layer, for example an SiO 2 layer when the wafer 13 is made of silicon.
  • the donor wafer 10 is subjected, through one of its oxidized surfaces, to an implantation of atomic species (s), such as an implantation of hydrogen and / or helium, for example.
  • atomic species such as an implantation of hydrogen and / or helium, for example.
  • the energy and the doses of this implantation are chosen so as to form an embrittlement zone 15, at a determined depth below the surface of the donor wafer 10, more precisely inside the wafer 13. thin 16, delimited on the one hand by the weakening zone 15 and on the other hand by the oxide layer 11.
  • the oxidized surface of the donor wafer 10, which has been implanted, is designated by the reference numeral 12.
  • the surfaces 12 and 22, which are bonded by molecular adhesion, are then brought into contact with each other.
  • an annealing step is optionally implemented to reinforce the bonding interface 17 between the donor and recipient platelets 20.
  • an energy of thermal, mechanical and / or chemical origin sufficient to carry out the detachment along the embrittlement zone 15 and thereby detach the thin layer 16, from the rest 18 of the donor plaque.
  • the semiconductor-on-insulator structure shown in FIG. 1D is thus obtained, the thin layer 16 taken from the donor wafer 10 forming the semiconductor portion and the underlying oxide layer 11 forming the electrically insulating portion.
  • This structure is referenced 30.
  • a finishing step, using, for example, a chemical-mechanical polishing, is then optionally implemented to make up for any defects or roughness occurring during the detachment of the thin layer 16.
  • the final structure 30 thus obtained is intended for applications in the field of microelectronics, optics or optoelectronics.
  • the receptor plate 20 could possibly be covered with a layer of oxide, in particular native oxide.
  • the object of the invention is to provide a method of cleaning and activation, surfaces to be bonded, that is to say in the above example, surfaces 12 and / or 22. This method not only allows to remove contaminants or isolated particles, but also to activate surfaces to stick.
  • the applicant has observed that the treatment of the bonding surfaces of two wafers to be bonded, or at least one of these surfaces, with the aid of a specific solution made it possible to increase the bonding energy between these two wafers.
  • this solution is called "surface treatment”.
  • This surface treatment solution comprises at least about 97% of a solution of ammonia (NH 4 OH) in water, preferably deionized, in a mass concentration of between about 0.05% and 2%.
  • the surface treatment solution consists of a solution of ammonia (NH 4 OH) in water, preferably deionized, in a mass concentration of between about 0, 05% and 2%,
  • This solution of ammonia is a pure solution, that is to say a solution whose concentration of pollutant type metallic contaminants (copper, iron, chromium, titanium, nickel, aluminum) and / or alkaline contaminants, (lithium, sodium, calcium, potassium, etc.) do not exceed a concentration of 10 ppt (part per trillion) for each element.
  • a surface treatment solution consisting of approximately 97% of the abovementioned ammonia solution and approximately 3% of chelating agents and / or surfactants is used.
  • chelating agents indeed make it possible to fix the contaminants, such as metals or ions in solution, which are often present in the commercially available ammonia and which might remain trapped at the bonding interface, thereby modifying the electrical characteristics of the final substrate obtained.
  • the surfactant makes it possible to increase the efficiency of removal of particles that can lead to the formation of superficial blisters.
  • the mass concentration of the ammonia solution is between 0.5% and 1.6%, or better still close to 0.8%.
  • the ammonia solution mentioned above is used at room temperature. It can, however, be applied at higher temperatures but preferably not exceeding 70 ° C. Indeed, at higher temperatures, the roughness of the surfaces increases sharply, which leads to an increase in the number of defects of the "blister" type.
  • the aforementioned cleaning and activation treatment is carried out immediately before gluing, preferably directly on the gluing machine, in order to reactivate the hydrophilicity of the wafers put in contact, even if they have been waiting for several hours after the cleaning step, as will be detailed later.
  • the activating solution can be distributed, either directly on the wafers to be treated without brushing, or directly on the brushes used for activation or on the wafers, before a subsequent brushing.
  • the ammonia solution is preferably delivered for a period of 10 seconds to 2 minutes, preferably 30 seconds to 1 minute, at a flow rate of the order of 1.5 1 / min and directly at the gluing equipment, for example using a distributor arm.
  • the ammoniacal solution may be dispensed from specific cleaning equipment, for example by spraying (equipment of the "single wafer” type) or of the bath type (equipment of the "wet bench” type).
  • the Applicant has carried out a comparative study of the bonding energy at the interface between two wafers, with series of wafers having respectively undergone either a so-called "control" cleaning and activation process, or the method according to US Pat. the invention.
  • the Applicant has inserted a blade 40 on one or more edges of the set of plates 10 and 20 in contact with each other, at the interface of FIG. collage 17.
  • the length L between the outer edge of the plates 10, 20 and the stopping point of the detachment, which corresponds to the sum of the length of the area locally peeled off by the blade 40 and the length of the propagation of the separation zone gives an indication of the bonding energy that exists between the two wafers 10 and 20.
  • the end of the separation corresponds to a balance between the bonding energy and the elastic deformation characterizing the detachment.
  • FIG. 3 represents the bonding energy ⁇ , as a function of the temperature of a possible annealing treatment (called “consolidation treatment”), carried out for 2 hours. Some of the structures did not undergo this subsequent consolidation treatment (results obtained when the temperature is close to 20 ° C), and others have undergone this treatment for 2 hours, at various temperatures.
  • control treatment The dotted line curve represents the results obtained with the batches, in which the platelet bonding surfaces have undergone a water rinsing treatment and simultaneous brushing activation, this treatment being carried out immediately before bonding. This treatment is hereinafter referred to as "control" treatment.
  • the solid line represents the results obtained with the batches, in which the platelet bonding surfaces have undergone the cleaning and activation treatment in accordance with the invention.
  • the ordinate axis represents the number of transfer defects N measured, per plate.
  • the abscissa axis represents the results obtained, on the one hand with the control batches Te, for which the surface treatment step was carried out according to the "control" method mentioned above, and on the other hand, with the batches I , in which the cleaning and activation step has been carried out in accordance with the invention, as described with reference to FIG.
  • the average number of transfer defects N in the first case is 4.09, while it is close to 0.83 in the second case.
  • Both wafers were silicon and measured eight inches in diameter (200 mm).
  • the first cleaning treatment was of the aforementioned RCA type.
  • the cleaning and activation treatment according to the invention was carried out by brushing, under a dilute ammonia solution, at a mass concentration of less than 0.5%, in deionized water.
  • the solid line represents the results obtained with platelets having undergone the "control" surface treatment described in conjunction with FIGS. 3 and 4.
  • the dotted line represents the results obtained with platelets having undergone the cleaning and activation treatment according to the invention.
  • the applicant has highlighted the interest of implementing the cleaning and activation method according to the invention, in a method of sampling and transfer of layer, and more specifically in the manufacture of an SOI type substrate.
  • the method according to the invention makes it possible to increase the bonding energy, which makes it possible to be less demanding concerning the criteria for carrying out a first cleaning carried out a certain time before bonding, or even to completely eliminate it. this.
  • the activation method according to the invention makes it possible to reduce the number of edge plate transfer defects to less than one per plate on average, thereby considerably increasing the quality of the thin layer. in which the future electronic components will be made.
  • the present invention is not limited to an activation method for bonding two silicon wafers, at least one of which is coated with a silicon oxide layer, but can be extended to any type of material, such as constrained silicon or other semiconductor material that can be used in Smart Cut TM technology.

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Abstract

L'invention concerne un procédé de traitement de l'une ou l'autre ou les deux surfaces (12, 22), dites « de collage » d'une première plaquette (10), dite 'donneuse' et d'une seconde plaquette (20), dite 'réceptrice', destinées à être collées l'une contre l'autre. Ce procédé est remarquable en ce qu'il comprend une étape de nettoyage et d'activation, effectuée immédiatement avant le collage desdites plaquettes donneuse (10) et réceptrice (20), par application sur ladite ou lesdites surface(s) de collage (12, 22), d'une solution dite 'de traitement', comprenant au moins environ 97 % d'une solution d'ammoniaque (NH4OH) dans de l'eau, de préférence déionisée, selon une concentration massique comprise entre environ 0,05 % et 2 %. Application à la fabrication de structures utilisées dans le domaine de l'optique, l'électronique ou optoélectronique.

Description

Procédé de traitement d'une surface de plaquette.
La présente invention concerne le collage de deux plaquettes comprenant des matériaux semi-conducteurs, afin de réaliser des structures utilisables dans les domaines de la microélectronique, l'optique ou l'optoélectronique. L'invention concerne plus précisément l'activation de la surface de collage d'au moins l'une des deux plaquettes à coller, et ce, alors que celle-ci a éventuellement été oxydée et/ou a subi une implantation d'espèces atomiques.
Une telle implantation d'espèces atomiques permet de former une zone de fragilisation, à l'intérieur d'une plaquette, dite "donneuse", à une profondeur déterminée.
Ce procédé connu sous la dénomination « Smart Cut ™ » (marque déposée) est connu de l'homme du métier. On pourra par exemple se référer à l'ouvrage "Silicon-on-Insulator Technology, Materials to VLSI, 2èroe édition, de
Jean-Pierre Colinge, édité par Kluwer Académie Publishers, pages 50 et 51). On peut ainsi réaliser une structure connue sous l'acronyme "SOI",
(d'après la terminologie anglo-saxonne "Silicon On Insulator"), en réalisant une implantation à travers la surface oxydée d'une plaquette donneuse en silicium et en reportant par collage, sur une plaquette de silicium, dite "réceptrice", un film mince incluant la couche d'oxyde superficielle et la couche mince supérieure de silicium, issues de ladite plaquette donneuse.
La miniaturisation de plus en plus importante des composants électroniques, qui sont formés sur les couches minces ainsi reportées, impose aux fabricants de substrats, de réaliser des substrats de type SOI, dans lesquels la couche supérieure de silicium est de plus en plus mince, tout en étant d'excellente qualité. En conséquence, il est impératif d'améliorer la qualité des couches reportées et donc d'améliorer les techniques de prélèvement et de report de telles couches.
La qualité du collage est essentielle pour réaliser un bon report de couche, la qualité de ce collage étant principalement mesurée par l'énergie de collage liant les deux plaquettes.
Or, on a pu constater, comme expliqué ci -après, que l'existence de certains contaminants, à la surface des plaquettes, avait pour effet de diminuer l'énergie de collage. L'étape d'implantation amène généralement des contaminants de type hydrocarbures à la surface des plaquettes. En présence de particules isolées ou de défauts de surface localisés, cette contamination peut conduire à la formation de cloques superficielles, après le détachement du film mince et son report sur la plaquette réceptrice, voire même à la formation de zones non transférées.
Le retrait de ces contaminants est donc indispensable pour garantir une bonne qualité de mise en contact et de collage.
De plus, on sait également d'après l'article de Aditya Agarwal, T. E. Haynes, V. C. Venezia, O. W. Holland, and D. J. Eaglesham, "Efficient production of silicon-on-insulator films by co-implantation of He+ with H+", Applied Physics Letters, vol. 72 (1998), pp. 1086-1088, que si les procédés utilisant la co- implantation d'hydrogène et d'hélium permettent d'utiliser une dose totale d'implantation bien inférieure à celle d'une implantation simple, les défauts de type cloques ("blister" en anglais) sont plus nombreux au niveau de l'interface de collage.
Par ailleurs, il a été constaté que des substrats de type SOI, dans lesquels la couche d'oxyde enterré est très fine, c'est-à-dire inférieure à 50 nm (50 nanomètres) sont plus difficiles à réaliser, car beaucoup plus sensibles à l'apparition des défauts de type "cloques". II est donc également important de renforcer l'énergie de collage pour élargir les conditions d'utilisation et les possibilités d'application du procédé "Smart Cut ™" précité.
Enfin, l'énergie de collage doit également être renforcée, afin de favoriser un détachement et un transfert de couche corrects. En effet, l'existence de contaminants à l'interface de collage peut conduire à un détachement de la couche, au niveau de cette interface, et non au niveau de la zone de fragilisation, en créant ainsi des défauts (zones non transférées) sur la plaquette réceptrice, qui correspondent à des résidus sur la plaquette donneuse. Plus l'énergie de collage sera faible et plus la quantité de zones non transférées sera importante.
D'autre part, dans le cas où l'énergie de collage est faible, l'onde de collage a plus de difficultés à atteindre le bord de la plaquette diamétralement opposé à celui où le collage a été initié et on observe un plus grand nombre de défauts dans cette région. Afin d'améliorer le collage et d'éliminer toutes les particules présentes à la surface des plaquettes à coller, on connaît déjà dans l'état de la technique, plusieurs procédés de traitement de surface, avant collage.
Ces traitements comprennent généralement deux étapes successives, à savoir :
-a) une première étape de nettoyage et d'activation chimique,
-b) une seconde étape de nettoyage, effectuée immédiatement avant le collage et dénommée ci-après « nettoyage avant collage ».
L'étape de nettoyage a) des surfaces à coller a pour but de : - rendre ces surfaces hydrophiles,
- retirer les contaminants, notamment de type hydrocarbure, apparus sur les surfaces des plaquettes suite à l'implantation,
- enlever les particules isolées,
- limiter la rugosité, (à l'échelle atomique) afin de favoriser un rapprochement intime de plaquettes,
L'hydrophilie de surface favorise le collage et permet d'augmenter la valeur de l'énergie de collage en limitant l'apparition de défauts en bord de plaque.
On connaît d'après l'état de la technique un tel procédé de nettoyage et d'activation, dénommé "RCA", qui consiste à traiter les surfaces à coller, successivement avec :
- un premier bain d'une solution connue sous l'acronyme "SCl" (d'après la terminologie anglo-saxonne de "Standard Clean 1" qui signifie "solution de nettoyage standard 1 "), et qui comprend un mélange d'hydroxyde d'ammonium (NH4OH), de peroxyde d'hydrogène (H2O2) et d'eau déionisée, - un second bain d'une solution connue sous l'acronyme "SC2"
(d'après la terminologie anglo-saxonne de "Standard Clean 2" qui signifie "solution de nettoyage standard 2"), et qui comprend un mélange d'acide chlorhydrique (HCl), de peroxyde d'hydrogène (H2O2) et d'eau déionisée.
Le premier bain est destiné principalement à retirer les particules isolées présentes à la surface de la plaquette et à rendre les surfaces hydrophiles, tandis que le second bain est plutôt destiné à retirer les contaminations métalliques.
Toutefois, on a pu constater qu'après la mise en œuvre d'un tel traitement, les surfaces des plaquettes présentent une rugosité, qui peut, dans certains cas, être même plus importante qu'avant le traitement, ce qui altère considérablement leur énergie de collage. On connaît également d'après la demande de brevet
WO-2005/096369, un procédé de nettoyage de la surface oxydée d'une plaquette, en vue de son collage sur une autre plaquette. Un tel procédé utilise un mélange d'ammoniaque (NH4OH) et de peroxyde d'hydrogène (H2O2) et permet d'enlever les particules isolées, tout en évitant de créer une rugosité de surface.
Par ailleurs, on notera que si le procédé Smart Cut ™ précité comprend de multiples étapes de nettoyage, l'étape b) de nettoyage avant collage est très spécifique, puisqu'elle conditionne la qualité des substrats obtenus après l'étape de report de couche(s). Cette étape a pour but de retirer les particules ayant pu se déposer, lors du temps d'attente entre l'étape de nettoyage a) et le collage. Elle a également pour but de renforcer l'hydrophilie des plaquettes, celle-ci ayant tendance à diminuer de façon importante plus le temps d'attente entre l'étape de nettoyage a) et le collage est long. Cette étape b) de nettoyage est généralement effectuée par brossage des surfaces à coller avec une solution d'eau déionisée, voir par exemple à ce sujet la demande de brevet FR 2 854 493.
Avec le procédé en deux étapes précité, il apparaît malheureusement que plus la surface à coller est rendue hydrophile pour limiter le nombre de défauts de transfert, plus la rugosité de surface augmente, en accroissant ainsi la probabilité d'apparition de défauts du type « cloques ».
En effet, dans le traitement précité de type RCA, on obtient un plus fort caractère hydrophile par l'emploi d'une solution SCl à température élevée (>70°C). Mais en contrepartie, la surface ainsi traité sera gravée, ce qui augmentera sa rugosité, cette augmentation de la rugosité de surface étant d'autant plus élevée que la température du bain de SCl est élevée.
Enfin, une contrainte supplémentaire apparaît également lors de l'utilisation du procédé précité, car il est nécessaire de minimiser le temps d'attente entre les deux étapes a) et b), pour préserver l'hydrophilie des plaquettes traitées et maximiser l'énergie de collage. Lors de la mise en œuvre à l'échelle industrielle du procédé de fabrication, ceci induit des contraintes supplémentaires dans la gestion des lots de plaquettes à traiter.
En conséquence, la présente invention a pour but de remédier aux inconvénients précités et d'introduire une activation chimique des surfaces, lors de l'étape de nettoyage avant collage, réalisée de préférence à température ambiante, de manière à simplifier l'étape préalable a) de nettoyage, voire même à la supprimer.
L'invention a également pour but, si l'étape préalable de nettoyage a) est maintenue, de permettre d'augmenter la durée du temps de stockage et d'activation des plaquettes entre cette étape de nettoyage a) et l'étape de nettoyage avant collage conforme à l'invention, tout en conservant une énergie de collage élevée, à l'issue du collage des deux plaquettes.
Enfin, l'étape d'activation conforme à l'invention doit également s'intégrer au mieux dans le procédé industriel de fabrication des substrats de type SOI, déjà existant.
A cet effet, l'invention concerne un procédé de traitement de l'une ou de l'autre ou des deux surfaces, dites « de collage » d'une première plaquette, dite "donneuse" et d'une seconde plaquette, dite "réceptrice", destinées à être collées l'une contre l'autre, dans le but de fabriquer une structure utilisée dans le domaine de l'optique, l'électronique ou l'opto-électronique.
Conformément à l'invention, ce procédé comprend une étape de nettoyage et d'activation, effectuée immédiatement avant le collage desdites plaquettes donneuse et réceptrice, par application sur ladite ou lesdites surfaces de collage, d'une solution dite "de traitement de surface", comprenant au moins environ 97 % d'une solution d'ammoniaque (NH4OH) dans de l'eau, de préférence déionisée, selon une concentration massique comprise entre environ 0,05 % et 2 %.
Selon d'autres caractéristiques avantageuses et non limitatives de l'invention, prises seules ou en combinaison :
• la solution de traitement est constituée d'une solution d'ammoniaque (NH4OH) dans de l'eau, de préférence déionisée, selon une concentration massique comprise entre environ 0,05 % et 2 % ;
• la solution de traitement est constituée de 97% environ d'une solution (NH4OH) dans de l'eau, de préférence déionisée, selon une concentration massique comprise entre environ 0,05 % et 2 % et de 3% environ d'agents chélatants et/ou surfactants ;
• la solution d'ammoniaque (NH4OH) présente une concentration massique dans l'eau comprise entre environ 0,5 % et 1,6 %, de préférence encore, voisine de 0,8 % ;
• l'étape de nettoyage et d'activation est effectuée par application de ladite solution de traitement de surface à une température inférieure ou égale à
70°C ; • la solution de traitement de surface est appliquée lorsque les plaquettes donneuse et réceptrice sont sur la machine de collage ;
• la solution de traitement de surface est appliquée directement sur la machine de collage, de préférence pendant une durée comprise entre 10 secondes et 2 minutes ;
• ladite étape de nettoyage et d'activation est réalisée en effectuant simultanément l'application de ladite solution traitement de surface et le brossage de la surface de collage à traiter ;
• au moins l'une des deux surfaces de collage est recouverte d'une couche d'oxyde ;
• la plaquette donneuse a subi une implantation d'espèces atomiques avant le collage, de façon à former une zone de fragilisation, délimitant une couche mince à reporter.
L'invention concerne également un procédé de fabrication d'une structure destinée à être utilisée dans le domaine de l'optique, l'électronique ou l'opto-électronique.
Conformément à l'invention, ce procédé comprend les étapes suivantes :
- implantation d'espèces atomiques dans une plaquette dite "donneuse", présentant en surface une couche d'oxyde, de façon à y former une zone de fragilisation, délimitant une couche mince,
- nettoyage et activation de la surface oxydée de ladite plaquette donneuse, immédiatement avant le collage, conformément au procédé précité,
- collage de ladite surface activée de la plaquette donneuse, sur la surface d'une autre plaquette, dite "réceptrice", éventuellement oxydée, cette surface ayant éventuellement été nettoyée et activée conformément au procédé précité,
- détachement, au niveau de ladite zone de fragilisation, de façon à prélever et à reporter ladite couche mince et ladite couche d'oxyde, sur ladite plaquette réceptrice. Selon d'autres caractéristiques de l'invention, prises seules ou en combinaison :
• ce procédé comprend une étape de recuit de consolidation entre l'étape de collage et celle de détachement ;
• la plaquette donneuse est réalisée en un matériau semi-conducteur, en silicium ou en silicium contraint. Ce procédé permet notamment de fabriquer une structure de type semi-conducteur sur isolant ou silicium sur isolant (SOI).
D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront de la description qui va maintenant en être faite, en référence aux dessins annexés, qui en représentent, à titre indicatif mais non limitatif, un mode de réalisation possible.
Sur ces dessins :
- les figures la à Id représente les principales étapes d'un procédé de prélèvement et de report de couches, appliqué à la réalisation d'un substrat de type SOI, - la figure 2 est un schéma représentant une technique de mesure de l'énergie de collage entre deux plaquettes,
- la figure 3 est un graphique représentant l'énergie de collage τ entre deux plaquettes, en fonction de la température du traitement de recuit, pour des séries de plaquettes ayant subi respectivement soit un procédé de nettoyage et d'activation « témoin », soit le procédé de nettoyage et d'activation avant collage conforme à l'invention,
- la figure 4 est un graphique illustrant les résultats de la mesure du nombre de défauts de transfert dans une couche reportée, à partir de séries de plaquettes ayant subi respectivement soit un procédé de nettoyage et d'activation « témoin », soit le procédé de nettoyage et d'activation avant collage conforme à l'invention,
- la figure 5 représente l'évolution de la valeur de l'énergie de collage τ entre deux plaquettes, pour des lots de plaquettes ayant subi un premier traitement de nettoyage, puis un second traitement de nettoyage et d'activation immédiatement avant collage, mais décalé dans le temps par rapport au premier nettoyage, ce second traitement étant soit un nettoyage « témoin », soit un traitement conforme à l'invention.
Un objectif principal de la présente invention est de diminuer l'importance des défauts et des rugosités de surface, d'au moins l'une de deux plaquettes destinées à être collées l'une contre l'autre, afin d'augmenter l'énergie de collage entre ces plaquettes.
L'invention s'applique plus particulièrement à des plaquettes recouvertes d'une couche d'oxyde, cet oxyde étant soit "natif, c'est-à-dire résultant de l'oxydation à l'air libre de la plaquette, soit additionnel et résultant d'un traitement thermique de cette plaquette ou d'un dépôt d'une couche d'oxyde, par exemple. L'invention trouve une application particulière lors de la mise en œuvre d'un procédé de fabrication d'un substrat de type SOI.
Pour mémoire, les différentes étapes de ce procédé de fabrication sont rappelées ci-après. En faisant référence à la figure la, une première étape consiste à oxyder une plaquette en matériau semi-conducteur 13, de façon à former une plaquette donneuse 10 présentant en surface, une couche d'oxyde 11.
Généralement, cette oxydation résulte d'un traitement thermique ou du dépôt d'une couche d'oxyde, par exemple une couche de SiO2 lorsque la plaquette 13 est réalisée en silicium.
En référence à la figure Ib, la plaquette donneuse 10 est soumise, à travers l'une de ses surface oxydées, à une implantation d'espèce(s) atomique(s), telle qu'une implantation d'hydrogène et/ou d'hélium, par exemple.
L'énergie et les doses de cette implantation sont choisies de façon à former une zone de fragilisation 15, à une profondeur déterminée sous la surface de la plaquette donneuse 10, plus précisément à l'intérieur de la plaquette 13. On forme ainsi une couche mince 16, délimitée d'une part, par la zone de fragilisation 15 et d'autre part, par la couche d'oxyde 11.
La surface oxydée de la plaquette donneuse 10, ayant subi l'implantation, porte la référence numérique 12. Cette surface 12 et/ou la surface 22 d'une plaquette 20, dite "réceptrice", subissent alors un traitement de nettoyage avant collage, qui sera détaillé ultérieurement.
En référence à la figure Ic, on met alors en contact les surfaces 12 et 22, que l'on colle par adhésion moléculaire. A ce stade, une étape de recuit est éventuellement mise en œuvre pour renforcer l'interface de collage 17 entre les plaquettes donneuse 10 et réceptrice 20.
Enfin, en référence à la figure Id, on apporte une énergie d'origine thermique, mécanique et/ou chimique, suffisante pour effectuer le détachement le long de la zone de fragilisation 15 et détacher ainsi la couche mince 16, du reste 18 de la plaquette donneuse.
On obtient ainsi la structure semi-conductrice sur isolant représentée sur la figure Id, la couche mince 16 prélevée depuis la plaquette donneuse 10 formant la partie semi-conductrice et la couche d'oxyde 11 sous-jacente formant la partie électriquement isolante. Cette structure est référencée 30. Une étape de finition, utilisant, par exemple, un polissage mécano- chimique, est alors éventuellement mise en œuvre pour rattraper d'éventuels défauts ou rugosités apparus lors du détachement de la couche mince 16.
La structure finale 30 ainsi obtenue est destinée à des applications dans le domaine de la microélectronique, l'optique ou l'optoélectronique.
Bien que cela ne soit pas représenté sur les figures, la plaquette réceptrice 20 pourrait éventuellement être recouverte d'une couche d'oxyde, notamment d'oxyde natif.
L'objectif de l'invention est de fournir un procédé de nettoyage et d'activation, des surfaces à coller, c'est-à-dire dans l'exemple précité, des surfaces 12 et/ou 22. Ce procédé permet non seulement d'éliminer les contaminants ou les particules isolées, mais également d'activer les surfaces à coller.
Ainsi, lors de la mise en contact de deux plaquettes, leur adhésion se trouve renforcée, lorsque leurs surfaces de collage respectives (ou au moins l'une d'entre elles) ont été activées. Cette adhésion est facilitée grâce au caractère hydrophile des surfaces à coller et correspond la plupart du temps à une interaction moléculaire entre les atomes d'hydrogène présents à la surface des plaquettes à coller.
On pourra se référer par exemple à l'article de R.Stengl et al., «A modelfor the silicon wafer bonding process », Japanese Journal of Applied Physics, vol.28, n°10, October, 1989, pp 1735-1741 pour la description des phénomènes d'activation de surface et de collage hydrophile.
Conformément à l'invention, la demanderesse a observé que le traitement des surfaces de collage de deux plaquettes à coller, ou d'au moins l'une de ces surfaces, à l'aide d'une solution spécifique permettait d'accroître l'énergie de collage entre ces deux plaquettes. Dans la suite de la description et des revendications, cette solution est dite "de traitement de surface".
Cette solution de traitement de surface comprend au moins environ 97% d'une solution d'ammoniaque (NH4OH) dans de l'eau, de préférence déionisée, selon une concentration massique comprise entre environ 0,05 % et 2 %.
Selon un premier mode de réalisation de l'invention, la solution de traitement de surface est constituée d'une solution d'ammoniaque (NH4OH) dans de l'eau, de préférence déionisée, selon une concentration massique comprise entre environ 0,05 % et 2 %, Cette solution d'ammoniaque est une solution pure, c'est-à-dire une solution dont la concentration en polluant du type contaminants métalliques (cuivre, fer, chrome, titane, nickel, aluminium) et/ou contaminants alcalins, (lithium, sodium, calcium, potassium, etc..) ne dépasse pas une concentration de 10 ppt (partie par trillion) pour chaque élément.
Selon un second mode de réalisation de l'invention, on utilise une solution de traitement de surface constituée de 97 % environ de la solution d'ammoniaque précitée et de 3 % environ d'agents chélatants et/ou surfactants.
Ces agents chélatants permettent en effet de fixer les contaminants, tels que les métaux ou les ions en solution, qui sont souvent présents dans l'ammoniaque disponible industriellement et qui risqueraient de rester piégés au niveau de l'interface de collage, en venant ainsi modifier les caractéristiques électriques du substrat final obtenu. Le surfactant permet d'augmenter l'efficacité d'enlèvement des particules susceptibles de conduire à la formation de cloques superficielles.
De préférence, la concentration massique de la solution d'ammoniaque est comprise entre 0,5 % et 1,6 %, ou mieux encore voisine de 0,8 %.
De façon avantageuse, car plus simple à mettre en œuvre industriellement, la solution d'ammoniaque précitée est utilisée à température ambiante. Elle peut toutefois être appliquée à des températures supérieures mais ne dépassant pas de préférence 70°C. En effet, à des températures supérieures, la rugosité des surfaces augmente fortement, ce qui conduit à une augmentation du nombre de défauts du type « cloque ».
Le traitement de nettoyage et d'activation précité est réalisé immédiatement avant le collage, de préférence directement sur la machine de collage, afin de réactiver l'hydrophilie des plaquettes mises en contact, même si celles-ci ont été en attente pendant plusieurs heures après l'étape de nettoyage, comme cela sera détaillé ultérieurement.
La solution d'activation peut être distribuée, soit directement sur les plaquettes à traiter sans brossage, soit directement sur les brosses utilisées pour l'activation, soit sur les plaquettes, avant un brossage ultérieur.
Cette technique de brossage est décrite, par exemple, dans le document FR 2 854 493 précité.
La solution ammoniacale est de préférence délivrée pendant une durée de 10 secondes à 2 minutes, de préférence de 30 secondes à 1 minute, à un débit de l'ordre de 1,5 1/mn et ce, directement au niveau de l'équipement de collage, par exemple à l'aide d'un bras distributeur.
Selon une variante, la solution ammoniacale peut être distribuée à partir d'un équipement spécifique de nettoyage, par exemple par pulvérisation (équipement du type "single wafer") ou du type bain (équipement du type "wet bench").
La demanderesse a effectué une étude comparative de l'énergie de collage au niveau de l'interface entre deux plaquettes, avec des séries de plaquettes ayant subi respectivement soit un procédé de nettoyage et d'activation dit « témoin », soit le procédé conforme à l'invention.
La demanderesse a utilisé une technique précise de mesure de l'énergie de collage, proposée par Maszara dans le document intitulé "Silicon on insulator by wafer bonding" (J.Electochem.Soc ; volume 138, page 341 (1991)).
Conformément à cette technique, représentée schématiquement sur la figure 2, la demanderesse a inséré une lame 40 sur un ou plusieurs bords de l'ensemble des plaquettes 10 et 20 en contact l'une avec l'autre, au niveau de l'interface de collage 17.
L'application d'une force mécanique par l'intermédiaire de la lame 40, dans une direction parallèle au plan de l'interface 17, provoque localement le décollement des deux plaquettes 10 et 20 et une propagation de la zone décollée sur une certaine distance.
La longueur L entre le bord extérieur des plaquettes 10, 20 et le point d'arrêt du décollement, qui correspond à la somme de la longueur de la zone localement décollée par la lame 40 et de la longueur de la propagation de la zone de décollement, donne une indication de l'énergie de collage qui existe entre les deux plaquette 10 et 20.
En effet, la fin du décollement correspond à un équilibre entre l'énergie de collage et la déformation élastique caractérisant le décollement.
On calcule ainsi à partir d'une relation entre la longueur de la zone décollée L et l'énergie de surface, une énergie de collage moyenne τ.
On pourra par exemple se référer à la formule suivante tirée du document de Maszara :
3.RtIy2 τ = —
32.L4 E étant le module d'Young du matériau présent à l'interface entre les deux plaquettes 10 et 20 ; y étant la demi-épaisseur de la lame ; t étant l'épaisseur de chaque plaquette. L'étude comparative précitée a été réalisée à partir de plusieurs lots de structures comprenant deux plaquettes de silicium de huit pouces (200 mm), dont l'une a été oxydée et a subi une étape d'implantation d'atomes d'hydrogène, ces deux plaquettes étant assemblées par collage par adhésion moléculaire.
Les résultats obtenus sont représentés sur le graphique de la figure 3. L'énergie de collage τ entre les deux plaquettes a été mesurée par la méthode décrite précédemment.
La figure 3 représente l'énergie de collage τ, en fonction de la température d'un éventuel traitement de recuit (dit "traitement de consolidation"), effectué pendant 2 heures. Certaines des structures n'ont pas subi ce traitement ultérieur de consolidation (résultats obtenus lorsque la température est voisine de 20°C), et d'autres ont subi ce traitement pendant 2 heures, à diverses températures.
La courbe en traits pointillés représente les résultats obtenus avec les lots, dans lesquels les surfaces de collage des plaquettes ont subi un traitement de rinçage à l'eau et d'activation simultanée par brossage, ce traitement étant réalisé immédiatement avant collage. Ce traitement est dénommé dans la suite de la description traitement « témoin ».
La courbe en trait plein représente les résultats obtenus avec les lots, dans lesquels les surfaces de collage des plaquettes ont subi le traitement de nettoyage et d'activation conforme à l'invention.
Ce traitement, effectué immédiatement avant le collage, a consisté à appliquer une solution d'ammoniaque (NH4OH) dans de l'eau déionisée, selon une concentration massique de 0.5 %, à température ambiante, cette solution étant distribuée sur les brosses, lors du brossage des plaquettes. A la vue de ces résultats, on constate donc que, quelle que soit la température à laquelle est effectué le traitement de consolidation ultérieur, la valeur de l'énergie de collage τ obtenue est supérieure avec le procédé d'activation conforme à l'invention. Cette augmentation est encore renforcée lorsque le traitement de consolidation est supérieur à 300°C. Une seconde étude comparative a été effectuée, afin de mesurer le nombre de défauts de transfert apparaissant dans le film mince 16 et la couche d'oxyde 11, après détachement le long de la zone de fragilisation 15.
Des lots de plaquettes similaires à celles décrites pour l'essai précité ont été utilisés.
La figure 4 représente les résultats de cette étude.
L'axe des ordonnées représente le nombre de défauts de transfert N mesurés, par plaquette.
L'axe des abscisses représente les résultats obtenus, d'une part avec les lots témoins Te, pour lesquels l'étape de traitement de surface a été effectuée selon le procédé « témoin » précité, et d'autre part, avec les lots I, dans lesquels l'étape de nettoyage et d'activation a été effectuée conformément à l'invention, comme décrit en liaison avec la figure 3.
Le nombre moyen de défauts de transfert N dans le premier cas est de 4,09, alors qu'il est voisin de 0.83 dans le second.
Une couche mince, reportée sur une plaquette réceptrice, après que les surfaces de collage des plaquettes donneuse et réceptrice aient subi le traitement d'activation conforme à l'invention, présente donc en moyenne presque cinq fois moins de défauts de transfert, qu'une couche mince obtenue après le traitement « témoin ».
Enfin, une troisième série d'essais comparatifs a été effectuée, afin de mesurer la valeur de l'énergie de collage τ, entre une plaquette donneuse, oxydée et implantée, et une plaquette réceptrice, en fonction du temps d'attente entre une première étape de nettoyage classique des surfaces à coller et le collage proprement dit, ces plaquettes ayant en outre subit un traitement de nettoyage et d'activation immédiatement avant le collage.
Les deux plaquettes étaient en silicium et mesuraient huit pouces de diamètre (200 mm).
Le premier traitement de nettoyage était du type RCA précité. Le traitement de nettoyage et d'activation conforme à l'invention a été réalisé par brossage, sous une solution d'ammoniaque diluée, à une concentration massique inférieure à 0,5 %, dans de l'eau déionisée.
Sur la figure 5, la courbe en trait plein représente les résultats obtenus, avec des plaquettes ayant subi le traitement de surface « témoin » décrit conjointement avec les figures 3 et 4. La courbe en pointillés représente les résultats obtenus avec des plaquettes ayant subi le traitement de nettoyage et d'activation conforme à l'invention.
Ces résultats montrent que, non seulement l'énergie de collage τ est accrue, lorsque l'on utilise le traitement conforme à l'invention, mais également que cette énergie de collage diminue seulement très légèrement entre 0 et 14 heures 30 d'attente entre le premier nettoyage et le collage final, et qu'elle se stabilise ensuite dans le temps.
De façon générale, la demanderesse a mis en évidence l'intérêt de mettre en œuvre le procédé de nettoyage et d'activation conforme à l'invention, dans un procédé de prélèvement et de report de couche, et plus précisément dans la fabrication d'un substrat de type SOI.
Le procédé conforme à l'invention permet d'augmenter l'énergie de collage, ce qui permet d'être moins exigeant concernant les critères de réalisation d'un premier nettoyage effectué un certain temps avant le collage, voire même de supprimer complètement celui-ci.
Ceci permet de simplifier et d'homogénéiser les étapes de préparation des surfaces, effectuées dans une ligne de production avant le collage proprement dit. De plus, le procédé d'activation conforme à l'invention permet de diminuer le nombre de défauts de transfert en bord de plaquette jusqu'à moins de un par plaque en moyenne, ce qui permet d'augmenter considérablement la qualité de la couche mince dans laquelle les futurs composants électroniques seront réalisés.
Enfin, la présente invention ne se limite pas à un procédé d'activation destiné au collage de deux plaquettes de silicium, dont au moins l'une est recouverte d'une couche d'oxyde de silicium, mais peut s'étendre à tout type de matériau, tel que du silicium contraint ou autre matériau semi-conducteur pouvant être employés dans la technologie Smart Cut ™.

Claims

REVENDICATIONS
1. Procédé de traitement de l'une ou de l'autre ou des deux surfaces (12, 22), dites « de collage » d'une première plaquette (10), dite "donneuse" et d'une seconde plaquette (20), dite "réceptrice", destinées à être collées l'une contre l'autre, dans le but de fabriquer une structure utilisée dans le domaine de l'optique, l'électronique ou l'optoélectronique, caractérisé en ce qu'il comprend une étape de nettoyage et d'activation, effectuée immédiatement avant le collage desdites plaquettes donneuse (10) et réceptrice (20), par application sur ladite ou lesdites surfaces de collage (12, 22), d'une solution dite "de traitement de surface", comprenant au moins environ 97 % d'une solution d'ammoniaque (NH4OH) dans de l'eau, de préférence déionisée, selon une concentration massique comprise entre environ 0,05 % et 2 %.
2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la solution de traitement est constituée d'une solution d'ammoniaque (NH4OH) dans de l'eau, de préférence déionisée, selon une concentration massique comprise entre environ 0,05 % et 2 %.
3. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la solution de traitement est constituée de 97 % environ d'une solution d'ammoniaque (NH4OH) dans de l'eau, de préférence déionisée, selon une concentration massique comprise entre environ 0,05 % et 2 % et de 3% environ d'agents chélatants et/ou surfactants.
4. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la solution d'ammoniaque (NH4OH) présente une concentration massique dans l'eau comprise entre environ 0,5 % et 1,6 %.
5. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que la solution d'ammoniaque (NH4OH) présente une concentration massique dans l'eau voisine de
0,8 %.
6. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'étape de nettoyage et d'activation est effectuée par application de ladite solution de traitement de surface à une température inférieure ou égale à 70°C.
7. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la solution de traitement de surface est appliquée lorsque les plaquettes donneuse (10) et réceptrice (20) sont sur la machine de collage.
8. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la solution de traitement de surface est appliquée pendant une durée comprise entre 10 secondes et 2 minutes.
9. Procédé d'activation selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ladite étape de nettoyage et d'activation est réalisée en effectuant simultanément l'application de ladite solution de traitement de surface et le brossage de la surface de collage (12, 22) à traiter.
10. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'au moins l'une des deux surfaces de collage (12, 22) est recouverte d'une couche d'oxyde.
11. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la plaquette donneuse (10) a subi une implantation d'espèces atomiques avant le collage, de façon à former une zone de fragilisation (15), délimitant une couche mince (16) à reporter.
12. Procédé de fabrication d'une structure (30) destinée à être utilisée dans le domaine de l'optique, l'électronique ou l'optoélectronique, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes : implantation d'espèces atomiques dans une plaquette dite "donneuse" (10), présentant en surface une couche d'oxyde (18), de façon à y former une zone de fragilisation (15), délimitant une couche mince (16), nettoyage et activation de la surface oxydée (12) de ladite plaquette donneuse (10), immédiatement avant le collage, conformément au procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, collage de ladite surface (12) activée de la plaquette donneuse (10), sur la surface (22) d'une autre plaquette (20), dite "réceptrice", éventuellement oxydée, cette surface (22) ayant éventuellement été nettoyée et activée conformément au procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, détachement, au niveau de ladite zone de fragilisation (15), de façon à prélever et à reporter ladite couche mince (16) et ladite couche d'oxyde (18), sur ladite plaquette réceptrice (20).
13. Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce qu'il comprend une étape de recuit de consolidation entre l'étape de collage et celle de détachement.
14. Procédé de fabrication d'une structure semi-conductrice sur isolant (30) selon la revendication 12 ou 13, caractérisé en ce que la plaquette donneuse (10) est réalisée en un matériau semi-conducteur.
15. Procédé selon l'une des revendications 12 à 14, caractérisé en ce que la plaquette donneuse (10) est réalisée en silicium contraint.
16. Procédé de fabrication d'une structure (30) de type silicium sur isolant (SOI), selon la revendication 14, caractérisé en ce que la plaquette donneuse (10) est réalisée en silicium.
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