WO2006003779A1 - フィルム保持装置 - Google Patents

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WO2006003779A1
WO2006003779A1 PCT/JP2005/010502 JP2005010502W WO2006003779A1 WO 2006003779 A1 WO2006003779 A1 WO 2006003779A1 JP 2005010502 W JP2005010502 W JP 2005010502W WO 2006003779 A1 WO2006003779 A1 WO 2006003779A1
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WO
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Prior art keywords
holding
film
holding part
opposite side
unit
Prior art date
Application number
PCT/JP2005/010502
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Hideo Yamada
Takeshi Ishida
Tsutomu Ichikawa
Original Assignee
Pioneer Corporation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pioneer Corporation filed Critical Pioneer Corporation
Priority to JP2006528452A priority Critical patent/JP4382093B2/ja
Publication of WO2006003779A1 publication Critical patent/WO2006003779A1/ja

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Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50—Substrate holders

Definitions

  • the present application belongs to the technical field of a film holding apparatus for holding a flexible film.
  • Patent Document 1 a film holding apparatus applied to a vacuum deposition apparatus for manufacturing a phosphor sheet is known (for example, see Patent Document 1).
  • the conventional film holding device adsorbs a sheet (corresponding to the film in the present application) by an electrostatic holding mechanism (corresponding to the electrostatic chuck in the present application), and the adsorbed The edge of the sheet is held.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-344592 (Page 4, Figure 2)
  • the flatness of the film held at the vapor deposition position of the vacuum vapor deposition apparatus is directly related to the quality of the vapor deposition film formed on the film. And in order to monitor the flatness of the film not only before and after the deposition but also during the deposition where the temperature rise of the film is a concern, a film holding device that exposes both the front and back sides of the film in the entire deposition area is essential. There was also a situation.
  • An object of the present invention is to provide a film holding device capable of improving the flatness of the film and improving the processing accuracy of the film.
  • the film holding device is a film holding device that holds a film having one opposite side and another opposite side, and the film exposes both front and back surfaces.
  • the second holding part movably supporting the first holding part in a direction perpendicular to the one opposite side, at least one of the first holding part and the second holding part
  • a second support means for movably supporting one of them in a direction parallel to the one opposite side, and at least one of the first holding section and the second holding section orthogonal to the film 3rd, supported so that it can rotate around the axis
  • a supporting means and a first urging means for urging at least one of the first holding part and the second holding part in a direction away from the other.
  • the film holding method according to claim 3 is different from the film holding method for holding a film having one opposite side and another opposite side so that the film exposes both front and back surfaces.
  • a film holding method for holding the film by a film holding device comprising: a first urging unit that urges at least one of the holding unit and the second holding unit in the direction of separating the other
  • a holding step in which the first holding unit and the second holding unit hold the film; and the first urging means is at least one of the first holding unit and the second holding unit.
  • the configuration is as follows. [0009]
  • a film holding device according to claim 5 is a film holding device that holds a film having one opposite side and another opposite side, and is a flat surface that is bonded to one side of the film.
  • An adsorbing part for adsorbing the film a first holding part for holding one of the opposite sides of the adsorbed film, and holding the other of the opposite side of the adsorbed film.
  • a first support unit that supports at least one of the second holding unit, the first holding unit, and the second holding unit so as to be movable in a direction orthogonal to the one opposite side; and A second supporting means for movably supporting at least one of the holding section and the second holding section in a direction parallel to the one opposite side; the first holding section and the second holding section; At least one of the parts is the film
  • the film holding method according to claim 7 is a film holding method for holding a film having one opposite side and another opposite side, and has a flat surface bonded to one side of the film.
  • Third support means for supporting the first support section, and first biasing means for biasing at least one of the first holding section and the second holding section in a direction away from the other.
  • a film holding method for holding the film by a film holding device wherein the suction part sucks the film, and the first holding part and the second holding part hold the film.
  • FIG. 1 is a side view of a vacuum evaporation apparatus according to a first embodiment of the present application.
  • FIG. 2 is a top view of the film holding device according to the first embodiment of the present application.
  • FIG. 3 is a flowchart showing the operation of the vacuum evaporation apparatus in the first embodiment of the present application.
  • FIG. 4 is a side view of the vacuum evaporation apparatus in the first embodiment of the present application.
  • FIG. 5 is a side view of a vacuum vapor deposition apparatus in a second embodiment of the present application.
  • FIG. 6 is a top view of a film holding device according to a second embodiment of the present application.
  • FIG. 7 is a flowchart showing the operation of the vacuum evaporation apparatus in the second embodiment of the present application.
  • FIG. 8 is a side view of a vacuum evaporation apparatus according to a second embodiment of the present application.
  • the first embodiment described below shows an embodiment in which the film holding device according to the present application is applied to, for example, a vacuum vapor deposition device for manufacturing a film organic EUElectrokiminescence (LCD) display.
  • LCD film organic EUElectrokiminescence
  • a film organic EL display (hereinafter referred to as a film OLED) is a so-called film-like display manufactured by a vacuum deposition method, and is transparent on the surface of a flexible film.
  • An electrode, an organic material, and a back electrode are vapor-deposited.
  • a vacuum vapor deposition apparatus used in the process of separately depositing an organic material is shown in the film OLED manufacturing process.
  • FIG. 1 is a side view of the vacuum deposition apparatus in the first embodiment
  • FIG. 2 is a top view of the film holding apparatus in the first embodiment.
  • the vacuum vapor deposition apparatus 100 includes a casing 110 in which a chamber 111 that holds a vacuum atmosphere is formed, and a fin provided on the upper portion of the chamber 111.
  • a casing 110 in which a chamber 111 that holds a vacuum atmosphere is formed, and a fin provided on the upper portion of the chamber 111.
  • the heating device 120 provided in the lower part of the chamber 111, the metal mask 130 disposed between the film holding device 150 and the caloric heat device 120, and the film holding device 150.
  • the inspection device 140 is provided.
  • the housing 110 includes a housing 112 formed in a box shape, gate valves 113 and 114 provided on a side wall of the housing 112, and a glass window 115 provided on the ceiling of the housing 112. Yes.
  • the gate valves 113 and 114 are opened and closed when the electrostatic chuck 151 described below conveys the film 101.
  • the film holding device 150 is adapted to hold the film 101 having a predetermined thickness (for example, about 0.2 mm).
  • the Finolem 101 is a rectangular member having one opposite side 102, 103 and the other opposite side 104, 105, and is formed in a predetermined size (for example, about A5 size to A3 size).
  • the heating device 120 is vaporized by heating a predetermined organic material, and the vaporized organic material 121 is deposited on the film 101 via the metal mask 130.
  • the metal mask 130 is a plate material on which an opening pattern for separately coating the vaporized organic material 121 is formed, and is positioned in parallel to the held film 101.
  • the inspection device 140 captures the film 101 through the glass window 115, and inspects the flatness of the film 101 based on the captured image of the film 101.
  • the film holding device 150 includes an electrostatic chuck 151 as an example of an attracting portion, a clamp portion 152 as an example of a first holding portion, and a second holding portion.
  • a clamp part 153 as an example, a clamp part 154 as an example of a third holding part, and a clamp holder 55 as a row of fourth holding parts are provided.
  • the clamps 5252, 153, 154, and 155 have a reference surface 156 located on the same plane.
  • the electrostatic chuck 151 has a flat surface 157 that is joined to one surface of the film 101, and attracts the film 101 by Coulomb force. Specifically, the electrostatic chuck 151 is driven by a drive unit (not shown) and is in a proximity position close to the metal mask 130 (FIG. 4B). (See Fig. 4 (a)) and the separated position separated from the metal mask 130. When the electrostatic chuck 151 moves to the proximity position, the plane 157 is positioned in parallel to the metal mask 130 and the film 101 against the reference surface 156 of the clamp portions 152, 153, 154, 155. The other surface is located on the same plane.
  • the clamp 152 has a fixed plate 152a and a movable plate 152b, and holds one of the opposite sides 102, 103 (hereinafter referred to as the side 102) so that the film 101 exposes both the front and back surfaces. It has become.
  • the movable plate 152b is driven by a drive unit (not shown) to hold the side 102 (see FIG. 4 (c)) and the release position to release the side 102 (see FIG. 4 (f)). And to move to.
  • the finolem 101 is sandwiched between the fixed plate 152a and the movable plate 152b at a side 102 (for example, about 5 mm) by a predetermined pressure (for example, about 150N), and comes into close contact with the reference surface 156 of the clamp portion 152. It is like that.
  • the clamp part 153 includes a fixed plate 153a and a movable plate 153b, and holds the other of the opposite sides 102 and 103 (hereinafter referred to as the side 103) so that the film 101 exposes both the front and back surfaces. It has become.
  • the movable plate 153b is driven by a drive unit (not shown) to hold the side 103 (see FIG. 4C) and the release position to release the side 103 (see FIG. 4F). And to move to.
  • the finolem 101 is sandwiched between the fixed plate 153a and the movable plate 153b at a side 103 (for example, about 5 mm) by a predetermined pressure (for example, about 150 N), and closely contacts the reference surface 156 of the clamp portion 153. It is like that.
  • the clamp part 154 includes a fixed plate 154a and a movable plate 154b, and holds one of the other opposite sides 104 and 105 (hereinafter referred to as the side 104) so that the film 101 exposes both the front and back surfaces. It has become.
  • the movable plate 154b is driven by a drive unit (not shown) to hold the side 104 (see FIG. 4 (c)) and the release position to release the side 104 (see FIG. 4 (f)). And to move to.
  • the FINEREM 101 is sandwiched between the fixed plate 154a and the movable plate 154b by a predetermined pressure (for example, about 150N) and is in close contact with the reference surface 156 of the clamp portion 154. It is like that.
  • a predetermined pressure for example, about 150N
  • the clamp part 155 has a fixed plate 155a and a movable plate 155b, and holds the other of the opposite sides 104, 105 (hereinafter referred to as the side 105) so that the film 101 exposes both the front and back sides. It has become.
  • the movable plate 155b is driven by a drive unit (not shown), and the side 1 It moves to the holding position for holding 05 (see Fig. 4 (c)) and the release position for releasing edge 105 (see Fig. 4 (f)).
  • the FINOREM 101 is sandwiched between the fixed plate 155a and the movable plate 155b with a side 105 (for example, about 5 mm) by a predetermined pressure (for example, about 150 N), and is closely attached to the reference surface 156 of the clamp portion 155 It is like that.
  • the film holding device 150 includes a linear motion part 161 as an example of a first support means, a linear motion part 162 as an example of a second support means, and an example of a third support means.
  • Rotating parts 16 3 and 164, linear motion parts 165 and 166 as an example of fourth support means, biasing part 171 as an example of first biasing means, and second biasing means As an example, urging units 172, 173 and braking units 174, 175, 176, 177 for braking (initializing) the clamping units 152, 153, 154, 155 to their initial positions are provided.
  • This initial position is a holding position set in advance according to the size of the film 101 described above.
  • the linear motion part 161 is movable in at least one of the clamp parts 152, 153, for example, the clamp part 153 in a direction perpendicular to one opposite side 102, 103 (hereinafter referred to as the X direction 106). It comes to support.
  • the clamp part 153 is released from the brake part 175, the clamp part 153 moves in the X direction 106 via the linear motion part 161.
  • the linear motion part 162 is capable of moving at least one of the clamp parts 152, 153, for example, the clamp part 153 in a direction parallel to one opposite side 102, 103 (hereinafter referred to as Y direction 107). It comes to support.
  • Y direction 107 a direction parallel to one opposite side 102, 103
  • the clamp unit 153 moves in the Y direction 107 via the linear motion unit 162.
  • the rotating parts 163 and 164 are at least one of the force of the clamp parts 152 and 153, for example, the clamp rods 152 and 153 are rotated around the vehicle orthogonal to the Finolem 101 (hereinafter referred to as the ⁇ direction 108). It is designed to be rotatively supported.
  • the clamp parts 152 and 153 rotate in the ⁇ direction 108 via the rotation parts 163 and 164 when released from the braking parts 174 and 175.
  • the linear motion parts 165 and 166 are at least one of the force of the clamp parts 154 and 155, for example, the direction in which the clamp parts 154 and 155 are orthogonal to the other opposite sides 104 and 105 (hereinafter referred to as Y direction 107). It is designed to be movably supported. When the clamp parts 154 and 155 are released from the brake parts 176 and 177, the clamp parts 154 and 155 move in the Y direction 107 via the linear motion parts 165 and 166. It has become.
  • the urging unit 171 is configured by an elastic member such as a spring, and urges at least one of the clamp units 152 and 153, for example, in a direction in which the clamp unit 153 is separated from the clamp unit 152. Yes.
  • the clamp portion 153 is urged by the urging portion 171 and moves and rotates from the initial position, thereby extending the film 101 in the X direction 106.
  • the urging portions 172 and 173 are configured by an elastic member such as a spring, and urge the at least one force of the clamp portions 154 and 155, for example, in the direction of separating the clamp portions 154 and 155 from each other. It has become.
  • the clamp parts 154 and 155 are urged by the urging parts 172 and 173, and move from the initial position so that the film 101 is stretched in the Y direction 107.
  • FIG. 3 is a flowchart showing the operation of the vacuum vapor deposition apparatus in the first embodiment
  • FIG. 4 is a side view of the vacuum vapor deposition apparatus in the first embodiment.
  • the vacuum vapor deposition apparatus 100 in the first embodiment executes an organic material separate vapor deposition process (steps S101 to S110). Details of this process will be described below.
  • the electrostatic chuck 151 adsorbs the film 101 placed on a placing table (not shown) and conveys it into the chamber 111 via the gate vano rev 113. Then, as shown in FIG. 4 (a), the electrostatic chuck 151 moves to the above-described separation position (step S101).
  • the electrostatic chuck 151 moves to the proximity position described above.
  • Step S102 the clamp parts 152, 153, 154, 155 are held at the initial positions by the brake parts 174, 175, 176, 177.
  • the clamp portions 152 and 153 hold the film 101 by moving the movable plates 152b and 153b to the holding position (step S103). Thereafter, the electrostatic chuck 151 retreats from the above-mentioned proximity position and is separated from the held Finolem 101 force.
  • step S104 the clamp parts 152, 153 are released from the brake parts 174, 175 as shown in FIG.
  • the urging unit 171 it is urged by the urging unit 171 to move and rotate from the initial position (step S104).
  • the film 101 is stretched in the X direction 106, and the distortion is removed. Note that the distortion can be more reliably removed by appropriately repeating step S104 based on the inspection result of the inspection apparatus 140 described above.
  • the clamp portions 154 and 155 hold the film 101 by moving the movable plates 154b and 155b to the holding position (step S105).
  • step S106 when the clamp parts 154 and 155 are released from the brake parts 176 and 177, the clamp parts 154 and 155 are urged by the urging parts 172 and 173 and move from the initial position (step S106). As a result, the Finolem 101 is stretched in the Y direction 107 and the distortion is removed. Note that the distortion is further reliably removed by appropriately repeating step S106 based on the above-described inspection result of the inspection device 140.
  • the heating device 120 is vaporized by heating a predetermined organic material, and the vaporized organic material 121 is applied to the film 101 via the metal mask 130. Evaporation is performed (step S107). Thereafter, the electrostatic chuck 151 moves to the above-mentioned proximity position and sucks the held film 101.
  • the clamp parts 154 and 155 release the film 101 by moving to the movable plate 154b and 155b force S release position (step S108).
  • clamp parts 152 and 153 release the film 101 as the movable plates 152b and 153b move to the release position, similarly to FIG. 4 (f) (step S109).
  • the electrostatic chuck 151 moves to the separation position described above.
  • Step S110 the electrostatic chuck 151 conveys the film 101 to the outside of the chamber 111 through the gate valve 114, and places it on a mounting table (not shown), thus completing this process.
  • the film holding device 150 includes the film holding device 150 that holds the film 101 having one opposite side 102, 103 and the other opposite side 104, 105.
  • Clamp part 152 that holds one of the opposite sides 102 and 103 so that film 101 exposes both front and back sides
  • a clamp that holds the other of one opposite side 102 and 103 so that film 101 exposes both sides 153
  • a linear motion part 161 that supports at least one of the clamps 52 ⁇ 52, 153, one of which is movable in a direction perpendicular to the opposite side 102, 103
  • a clamp A linear motion portion 162 that supports at least one of the ramp portions 152, 153 so as to be movable in a direction parallel to one opposite side 102, 103, and an axis at least one of the clamp portions 152, 153 orthogonal to the film 101
  • Rotating portions 163 and 164 that are rotatably supported around and urging portions 171 that urge at least one of the clamp
  • the clamp portions 152 and 153 holding the film 101 are urged by the urging portion 171 to move and rotate from the initial position, so that the film 101 is moved in the X direction.
  • the film 101 can be stretched to remove the distortion of the film 101, the flatness of the film 101 can be improved, for example, 100 zm or less, and the processing accuracy of the film 101 can be improved.
  • the film holding device 150 includes the clamp unit 154 that holds one of the other opposite sides 104 and 105 so that the film 101 exposes both front and back surfaces, and the Finolem 101 covers both front and back surfaces.
  • Clamp part 155 that holds the other of the other opposite sides 104 and 105 so as to be exposed, and linear motion that supports at least one of the clamp parts 154 and 155 so as to be movable in a direction perpendicular to the other opposite sides 104 and 105 It has a structure characterized by comprising biasing parts 172, 173 that bias parts 165, 166 and at least one of clamp parts 154, 155 away from the other.
  • the clamp portions 154 and 155 holding the film 101 are urged by the urging portions 172 and 173 and moved from the initial position, so that the film 101 is moved in the Y direction.
  • the film 101 can be stretched to 107 and distortion of the film 101 can be removed, the flatness of the film 101 can be improved, for example, 100 / im or less, and the processing accuracy of the film 101 can be improved.
  • the film holding device according to the present application is applied to a vacuum deposition apparatus.
  • the present invention is not limited to this, and the processing accuracy of the film can be improved by applying it to various manufacturing apparatuses. Can be improved.
  • the second embodiment described below is a film holding device according to the present application.
  • a film organic EL display (hereinafter referred to as film OLED) is a so-called film-like display manufactured by a vacuum deposition method, and is transparent on the surface of a flexible film.
  • An electrode, an organic material, and a back electrode are vapor-deposited.
  • a vacuum vapor deposition apparatus used in an organic material coating / deposition process, in particular, of the film OLED manufacturing process is shown.
  • FIG. 5 is a side view of the vacuum evaporation apparatus in the second embodiment
  • FIG. 6 is a top view of the film holding apparatus in the second embodiment.
  • the vacuum vapor deposition apparatus 200 includes a casing 210 in which a chamber 211 that holds a vacuum atmosphere is formed, and a film holder that is provided above the chamber 211.
  • An apparatus 250, a calorie heat apparatus 220 provided in the lower part of the channel 211, and a metal mask 230 disposed between the film holding apparatus 250 and the heating apparatus 220 are provided.
  • the casing 210 includes a housing 212 formed in a box shape and gate valves 213 and 214 provided on a side wall of the housing 212.
  • the gate valves 213 and 214 are opened and closed when an electrostatic chuck 251 described below conveys the film 201.
  • the film holding device 250 is adapted to hold the film 201 having a predetermined thickness (for example, about 0.2 mm).
  • the Finolem 201 is a square member having one opposite side 202, 203 and the other opposite side 204, 205, and is formed in a predetermined size (for example, about A5 size to A3 size). The configuration of the film holding device 250 will be described below.
  • the heating device 220 is vaporized by heating a predetermined organic material, and the vaporized organic material 221 is deposited on the film 201 through the metal mask 230.
  • the metal mask 230 is a plate material on which an opening pattern for separately applying the vaporized organic material 221 is formed, and is positioned parallel to the held film 201.
  • the film holding device 250 includes an electrostatic chuck 251 as an example of an attracting part, a clamp part 252 as an example of a first holding part, and a second holding part.
  • a clamp part 253 as an example, a clamp part 254 as an example of a third holding part, and a clamp 255 as a row of fourth holding parts are provided.
  • the clamp rods 252, 253, 254, and 255 have a reference surface 256 located on the same plane.
  • the electrostatic chuck 251 has a flat surface 257 that is bonded to one surface of the film 201, and attracts the film 201 by a Coulomb force. Specifically, the electrostatic chuck 251 is driven by a drive unit (not shown), and a proximity position close to the metal mask 230 (see FIG. 8B) and a separation position spaced apart from the metal mask 230 (FIG. 8A). See) and move to. When the electrostatic chuck 251 moves to the proximity position, the electrostatic chuck 251 is positioned in parallel with the plane 257 force S with respect to the methanol mask 230, and with respect to the reference plane 256 of the clamps 252, 253, 254, and 255. The other surface of the film 201 is positioned on the same plane.
  • the clamp part 252 has a fixed plate 252a and a movable plate 252b, and holds one of the opposite sides 202 and 203 of the attracted film 201 (hereinafter referred to as the side 202). .
  • the movable plate 252b is driven by a drive unit (not shown) to hold the side 202 (see FIG. 8 (c)) and the release position to release the side 202 (see FIG. 8 (f)). And move to.
  • the FINEREM 201 is moved by a predetermined pressure (for example, about 150 N).
  • the clamp unit 253 includes a fixed plate 253a and a movable plate 253b, and holds the other of the opposite sides 202 and 203 of the attracted film 201 (hereinafter referred to as the side 203). It has become. Specifically, the movable plate 253b is driven by a drive unit (not shown) to hold the side 203 (see FIG. 8 (c)) and the release position to release the side 203 (see FIG. 8 (f)). And move to. As a result, the FINEREM 201 is moved by a predetermined pressure (for example, about 150 N).
  • a predetermined pressure for example, about 150 N.
  • the clamp unit 254 includes a fixed plate 254a and a movable plate 254b.
  • One of the other opposite sides 204 and 205 (hereinafter referred to as side 204) is held.
  • the movable plate 254b is driven by a drive unit (not shown) to hold the side 204 (see FIG. 8 (c)) and the release position to release the side 204 (see FIG. 8 (f)). And move to.
  • the FINEREM 201 is moved by a predetermined pressure (for example, about 150 N).
  • the clamp portion 255 has a fixed plate 255a and a movable plate 255b, and holds the other opposite side 204, 205 (hereinafter referred to as side 205) of the attracted film 201. It has become. Specifically, the movable plate 255b is driven by a drive unit (not shown) to hold the side 205 (see FIG. 8 (c)) and the release position to release the side 205 (see FIG. 8 (f)). And move to. As a result, the FINEREM 201 is moved by a predetermined pressure (for example, about 150 N).
  • a predetermined pressure for example, about 150 N.
  • the film holding device 250 includes a linear motion part 261 as an example of a first support means, a linear motion part 262 as an example of a second support means, and an example of a third support means.
  • Rotating parts 263, 264, linear motion parts 265, 266 as an example of fourth support means, urging part 271 as an example of first urging means, and second urging means As an example, there are provided urging units 272, 273 and braking units 274, 275, 276, 277 for braking (initializing) the clamping units 252, 253, 254, 255 to their initial positions.
  • This initial position is a holding position set in advance according to the size of the film 201 described above.
  • the linear motion part 261 can move at least one of the clamp parts 252 and 253, for example, the clamp part 253 in a direction perpendicular to one opposite side 202 and 203 (hereinafter referred to as X direction 206). It comes to support.
  • X direction 206 a direction perpendicular to one opposite side 202 and 203
  • the clamp unit 253 moves in the X direction 206 via the linear motion unit 261.
  • the linear motion part 262 can move at least one of the forces of the clamp parts 252 and 253, and on the other hand, for example, the clamp part 253 can move in a direction parallel to one opposite side 202 and 203 (hereinafter referred to as Y direction 207). It comes to support.
  • the clamp unit 253 is released from the braking unit 275, the clamp unit 253 moves in the Y direction 207 via the linear motion unit 262.
  • the rotating parts 263 and 264 are at least one of the force of the clamp parts 252 and 253, for example, the clamp rods 252 and 253 are rotated around the vehicle orthogonal to the Finolem 201 (hereinafter referred to as the ⁇ direction 208). It is designed to be rotatively supported.
  • the clamp portions 252 and 253 are rotated in the ⁇ direction 208 via the rotation portions 263 and 264 when released by the braking portions 274 and 275 forces.
  • the linear motion parts 265 and 266 have at least one of the force of the clamp parts 254 and 255, for example, the direction in which the clamp parts 254 and 255 are orthogonal to the other opposite sides 204 and 205 (hereinafter referred to as Y direction 207). It is designed to be movably supported. The clamp parts 254 and 255 are moved in the Y direction 207 via the linear motion parts 265 and 266 when released from the brake parts 276 and 277.
  • the urging portion 271 is configured by an elastic member such as a spring and urges at least one of the clamp portions 252 and 253, for example, in a direction separating the clamp portion 253 from the clamp portion 252. Yes.
  • the clamp unit 253 is urged by the urging unit 271 and moves and rotates from the initial position to extend the film 201 in the X direction 206.
  • the urging portions 272 and 273 are constituted by an elastic member such as a spring, and are adapted to urge the at least one of the clamp portions 254 and 255, for example, the direction in which the clamp portions 254 and 255 are separated from each other. Let's go. Then, the clamps 254, 255 ⁇ , urging forces 272, 273 are biased, and the film 201 is stretched in the heel direction 207 by moving from the initial position.
  • FIG. 7 is a flowchart showing the operation of the vacuum vapor deposition apparatus in the second embodiment
  • FIG. 8 is a side view of the vacuum vapor deposition apparatus in the second embodiment.
  • the vacuum vapor deposition apparatus 200 in the second embodiment executes an organic material separate vapor deposition process (step S201 to step S210). Details of this process will be described below.
  • the electrostatic chuck 251 sucks the film 201 mounted on a mounting table (not shown) and conveys the film 201 into the chamber 211 via the gate vano rev 213. And the electrostatic chuck 251 As shown in FIG. 8 (a), it moves to the above-mentioned separation position (step S201).
  • the electrostatic chuck 251 moves to the proximity position described above.
  • Step S202 the clamp parts 252, 253, 254, 255 are connected to the brake parts 274, 27.
  • the clamp units 252 and 253 hold the film 201 by moving the movable plates 252b and 253b to the holding position (step S203).
  • Step S2 the clamp parts 252 and 253 are urged by the urging part 271 when released from the braking parts 274 and 275, and move and rotate from the initial position.
  • the Finolem 201 is expanded in the X direction 206, and distortion is removed. Note that the distortion can be more reliably removed by appropriately repeating step S204.
  • the clamp portions 254 and 255 hold the film 201 by moving the movable plates 254b and 255b to the holding position (step S205).
  • the heating device 220 is vaporized by heating a predetermined organic material, and the vaporized organic material 221 is applied to the film 201 through the metal mask 230. Evaporate (Step S207).
  • the clamp parts 254, 255 release the film 201 by moving to the movable plate 254b, 255b force S release position (step S208).
  • the clamp portions 252 and 253 release the film 201 by moving the movable plates 252b and 253b to the release position (step S209).
  • the electrostatic chuck 251 moves to the separation position described above.
  • Step S210 the electrostatic chuck 251 passes the film 2 through the gate vanolev 214.
  • the film holding device 250 has one opposite side 20
  • a finolem holding device 2 for holding a finolem 201 having 203 and other opposite sides 204, 205 50, an electrostatic chuck 251 having a flat surface 257 bonded to one surface of the film 201 and attracting the film 201, a clamp portion 252 holding one of the opposite sides 202 and 203 of the attracted film 201, and an adsorption A clamp ⁇ B253 for holding the other of the opposite sides 202 and 203 of the formed film 201 and at least one of the clamps ⁇ 252 and 253 is supported so as to be movable in a direction perpendicular to the opposite sides 202 and 203.
  • At least one of the moving part 261 and the clamp parts 252 and 253 is supported so as to be movable in a direction parallel to one opposite side 202 and 203.
  • Rotating portions 263 and 264 that rotatably support the shaft orthogonal to the Finolem 201, and a biasing portion 271 that biases at least one of the clamp portions 252 and 253 away from the other.
  • the clamp portions 252 and 253 holding the film 201 are urged by the urging portion 271 to move and rotate from the initial position.
  • the film 201 can be stretched to remove distortion of the film 201, the flatness of the film 201 can be improved, for example, 10 / im or less, and the processing accuracy of the film 201 can be improved.
  • the film holding device 250 includes the clamp portion 254 that holds one of the other opposite sides 204 and 205 of the attracted film 201 and the other opposite side 204 of the attracted film 201. , 205 which holds the other of 205, linear motion parts 265 and 266 which support at least one of the clamp parts 254 and 255 movably in the direction perpendicular to the other opposite side 204 and 205, and the clamp part And urging portions 272 and 273 for urging at least one of 254 and 255 in a direction away from the other.
  • the clamp portions 254 and 255 holding the film 201 are urged by the urging portions 272 and 273 and moved from the initial position, so that the film 201 is moved in the Y direction.
  • the film 201 can be stretched to remove distortion of the film 201, the flatness of the film 201 can be improved, for example, 10 zm or less, and the processing accuracy of the film 201 can be improved.
  • the film holding apparatus according to the present application is applied to a vacuum deposition apparatus.
  • the present invention is not limited to this, and by applying it to various manufacturing apparatuses, the film processing accuracy is improved. The degree can be improved.

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Abstract

　フィルムの平面度を向上させることができ、フィルムの加工精度を向上させることができるフィルム保持装置を提供すること。 　フィルム１０１が表裏両面を露出するように辺１０２を保持するクランプ部１５２と、フィルム１０１が表裏両面を露出するように辺１０３を保持するクランプ部１５３と、クランプ部１５３をＸ方向１０６に移動可能に支持する直動部１６１と、クランプ部１５３をＹ方向１０７に移動可能に支持する直動部１６２と、クランプ部１５２、１５３をΘ方向１０８に回動可能に支持する回動部１６３、１６４と、クランプ部１５３をクランプ部１５２から離隔する方向に付勢する付勢部１７１とを備えるようにフィルム保持装置１５０を構成する。

Description

明 細 書
フィルム保持装置
技術分野
[0001] 本願は、可撓性を有するフィルムを保持するフィルム保持装置の技術分野に属す る。
背景技術
[0002] 従来、この種のフィルム保持装置の一例として、蛍光体シートを製造するための真 空蒸着装置に適用されたフィルム保持装置が知られている（例えば、特許文献 1参 照）。
[0003] 具体的には、従来のフィルム保持装置は、静電保持機構 (本願における静電チヤッ クに相当するもの）によってシート（本願におけるフィルムに相当するもの）を吸着し、 当該吸着されたシートの縁部を保持するようになっている。
特許文献 1 :特開 2003— 344592号公報 (第 4頁、第 2図）
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0004] し力しながら、上述した従来のフィルム保持装置は、可撓性を有するフィルムを保持 する際に、フィルムの歪み（局所的凹凸）を除去することができないため、フィルムの 加工精度を向上させることが困難であるという事情があった。
[0005] また、真空蒸着装置の蒸着ポジションに保持されたフィルムの平面度は、フィルム に成膜される蒸着膜のパターン精度の良し悪しに直結している。そして、蒸着前後の みならず、フィルムの温度上昇が懸念される蒸着中もフィルムの平面度をモニタリン グするためには、蒸着エリア全てにおいてフィルムの表裏両面を露出させたフィルム 保持装置が必須になるとレ、う事情もあった。
[0006] そこで、本願は、上述した事情を鑑みてなされたものであり、その課題の一例として
、フィルムの平面度を向上させることができ、フィルムの加工精度を向上させることが できるフィルム保持装置を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段 [0007] 上述した課題を解決するために、請求項 1に記載のフィルム保持装置は、一の対辺 と他の対辺とを有するフィルムを保持するフィルム保持装置において、前記フィルム が表裏両面を露出するように前記一の対辺の一方を保持する第 1の保持部と、前記 フィルムが表裏両面を露出するように前記一の対辺の他方を保持する第 2の保持部 と、前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を前記一の対 辺に直交する方向に移動可能に支持する第 1の支持手段と、前記第 1の保持部及び 前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を前記一の対辺に平行する方向に移動可 能に支持する第 2の支持手段と、前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なく とも何れか一方を前記フィルムに直交する軸まわりに回動可能に支持する第 3の支 持手段と、前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を他方 から離隔する方向に付勢する第 1の付勢手段とを備えることを特徴とする構成を有し ている。
[0008] また、請求項 3に記載のフィルム保持方法は、一の対辺と他の対辺とを有するフィ ルムを保持するフィルム保持方法にぉレ、て、前記フィルムが表裏両面を露出するよう に前記一の対辺の一方を保持する第 1の保持部と、前記フィルムが表裏両面を露出 するように前記一の対辺の他方を保持する第 2の保持部と、前記第 1の保持部及び 前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を前記一の対辺に直交する方向に移動可 能に支持する第 1の支持手段と、前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なく とも何れか一方を前記一の対辺に平行する方向に移動可能に支持する第 2の支持 手段と、前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を前記フィ ルムに直交する軸まわりに回動可能に支持する第 3の支持手段と、前記第 1の保持 部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を他方力 離隔する方向に付勢す る第 1の付勢手段とを備えるフィルム保持装置によって前記フィルムを保持するフィル ム保持方法であって、前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部が前記フィルムを保 持する保持工程と、前記第 1の付勢手段が前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部 の少なくとも何れか一方を付勢する付勢工程と、前記第 1の保持部及び前記第 2の 保持部の少なくとも何れか一方が移動及び回動することにより前記フィルムを伸張す る伸張工程とを含むことを特徴とする構成を有している。 [0009] 上述した課題を解決するために、請求項 5に記載のフィルム保持装置は、一の対辺 と他の対辺とを有するフィルムを保持するフィルム保持装置において、前記フィルム の一面に接合する平面を有し前記フィルムを吸着する吸着部と、前記吸着されたフィ ルムの前記一の対辺の一方を保持する第 1の保持部と、前記吸着されたフィルムの 前記一の対辺の他方を保持する第 2の保持部と、前記第 1の保持部及び前記第 2の 保持部の少なくとも何れか一方を前記一の対辺に直交する方向に移動可能に支持 する第 1の支持手段と、前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか 一方を前記一の対辺に平行する方向に移動可能に支持する第 2の支持手段と、前 記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を前記フィルムに直 交する軸まわりに回動可能に支持する第 3の支持手段と、前記第 1の保持部及び前 記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を他方力 離隔する方向に付勢する第 1の 付勢手段とを備えることを特徴とする構成を有してレ、る。
[0010] また、請求項 7に記載のフィルム保持方法は、一の対辺と他の対辺とを有するフィ ルムを保持するフィルム保持方法において、前記フィルムの一面に接合する平面を 有し前記フィルムを吸着する吸着部と、前記吸着されたフィルムの前記一の対辺の 一方を保持する第 1の保持部と、前記吸着されたフィルムの前記一の対辺の他方を 保持する第 2の保持部と、前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れ か一方を前記一の対辺に直交する方向に移動可能に支持する第 1の支持手段と、 前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を前記一の対辺に 平行する方向に移動可能に支持する第 2の支持手段と、前記第 1の保持部及び前 記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を前記フィルムに直交する軸まわりに回動可 能に支持する第 3の支持手段と、前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なく とも何れか一方を他方から離隔する方向に付勢する第 1の付勢手段とを備えるフィル ム保持装置によって前記フィルムを保持するフィルム保持方法であって、前記吸着部 が前記フィルムを吸着する吸着工程と、前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部が 前記フィルムを保持する保持工程と、前記第 1の付勢手段が前記第 1の保持部及び 前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を付勢する付勢工程と、前記第 1の保持 部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方が移動及び回動することにより前 記フィルムを伸張する伸張工程とを含むことを特徴とする構成を有している。
図面の簡単な説明
〇
〇
[図 1]本願の第 1実施形態における真空蒸着装置の側面図である。
[図 2]本願の第 1実施形態におけるフィルム保持装置の上面図である。
[図 3]本願の第 1実施形態における真空蒸着装置の動作を示すフローチャートである
[図 4]本願の第 1実施形態における真空蒸着装置の側面図である。
[図 5]本願の第 2実施形態における真空蒸着装置の側面図である。
[図 6]本願の第 2実施形態におけるフィルム保持装置の上面図である。
[図 7]本願の第 2実施形態における真空蒸着装置の動作を示すフローチャートである
[図 8]本願の第 2実施形態における真空蒸着装置の側面図である。
符号の説明
200 真空蒸着装置
101、 201 フィルム
102、 103、 202、 203 一の対辺
104、 105、 204、 205 他の対辺
106、 206 X方向
107、 207 Y方向
108、 208 Θ方向
110、 210 筐体
111、 211 チャンバ
112、 212 ハウジング
113、 114、 213、 214 ゲートバ/レブ
115 ガラス窓
120、 220 加熱装置
121、 221 有機材料
130、 230 メタノレマス 140 検査装置
150、 250 フィルム保持装置
151、 251 静電チャック
152、 153、 154、 155、 252、 253、 254、 255 クランプ部
152a, 153a, 154a, 155a, 252a, 253a, 254a, 255a 固定板
152b, 153b, 154b, 155b, 252b, 253b, 254b, 255b 可動板
156、 256 基準面
157, 257 平面
161、 162、 165、 166、 261、 262, 265、 266 直動部
163、 164、 263、 264 回動部
171、 172、 173、 271、 272、 273 付勢部
174、 175、 176、 177、 274、 275、 276、 277 制動部
発明を実施するための最良の形態
tools] (D i Mm
以下、本願を実施するための最良の形態について、図面を用いて説明する。なお、 以下説明する第 1実施形態は、本願に係るフィルム保持装置を、例えば、フィルム有 機 EUElectrokiminescence)ディスプレイを製造するための真空蒸着装置に適用した 場合の実施形態を示してレ、る。
[0014] 具体的には、フィルム有機 ELディスプレイ（以下、フィルム OLEDという。 )は、所謂 、真空蒸着法によって製造されるフィルム状のディスプレイであり、可撓性を有するフ イルムの表面に、透明電極、有機材料及び背面電極を蒸着したものである。なお、本 第 1実施形態では、フィルム OLEDの製造工程のうち、特に、有機材料の塗り分け蒸 着工程に用いられる真空蒸着装置を示す。
[0015] まず、本第 1実施形態における真空蒸着装置の構成について、図 1及び図 2を用い て説明する。なお、図 1は、本第 1実施形態における真空蒸着装置の側面図であり、 図 2は、本第 1実施形態におけるフィルム保持装置の上面図である。
[0016] 本第 1実施形態における真空蒸着装置 100は、図 1に示すように、真空雰囲気を保 持するチャンバ 111が形成された筐体 110と、チャンバ 111の上部に設けられたフィ ルム保持装置 150と、チャンバ 111の下部に設けられた加熱装置 120と、フィルム保 持装置 150とカロ熱装置 120との間に配置されたメタルマスク 130と、フィルム保持装 置 150の上方に設けられた検査装置 140とを備えている。
[0017] 筐体 110は、箱状に形成されたハウジング 112と、ハウジング 112の側壁に設けら れたゲートバルブ 113、 114と、ハウジング 112の天井に設けられたガラス窓 115とを 有している。ゲートバルブ 113、 114は、下述する静電チャック 151がフィルム 101を 搬送するときに開閉するようになっている。
[0018] フィルム保持装置 150は、所定厚さ（例えば 0. 2mm程度）のフィルム 101を保持す るようになってレヽる。フイノレム 101は、一の対辺 102、 103と他の対辺 104、 105とを 有する方形部材であり、所定サイズ (例えば A5判から A3判程度）に形成されている
。なお、フィルム保持装置 150の構成については下述する。
[0019] 加熱装置 120は、所定の有機材料を加熱することにより気化し、当該気化された有 機材料 121をメタルマスク 130を介してフィルム 101に蒸着するようになっている。
[0020] メタルマスク 130は、気化された有機材料 121を塗り分けるための開口パターンが 形成された板材であり、保持されたフィルム 101に対して平行に位置するようになつ ている。
[0021] 検査装置 140は、ガラス窓 115を介してフィルム 101を撮影し、当該撮影されたフィ ルム 101の画像に基づいてフィルム 101の平面度を検査するようになっている。
[0022] 次に、本第 1実施形態におけるフィルム保持装置の構成について、図 1及び図 2を 用いて説明する。
[0023] フィルム保持装置 150は、図 1及び図 2に示すように、吸着部の一例としての静電 チャック 151と、第 1の保持部の一例としてのクランプ部 152と、第 2の保持部の一例 としてのクランプ部 153と、第 3の保持部の一例としてのクランプ部 154と、第 4の保持 きの一 ί列としてのクランプき 55とを備えてレヽる。このクランプ咅^ 52、 153、 154、 1 55は、同一平面上に位置する基準面 156を有している。
[0024] 静電チャック 151は、フィルム 101の一面に接合する平面 157を有し、クーロン力に よってフィルム 101を吸着するようになっている。具体的には、静電チャック 151は、 図示しない駆動部によって駆動され、メタルマスク 130に近接する近接位置（図 4 (b) 参照）とメタルマスク 130から離隔する離隔位置（図 4 (a)参照）とに移動するようにな つている。そして、静電チャック 151は、近接位置に移動したときに、メタルマスク 130 に対して平面 157が平行に位置するとともに、クランプ部 152、 153、 154、 155の基 準面 156に対してフィルム 101の他面が同一平面上に位置するようになっている。
[0025] クランプ部 152は、固定板 152aと可動板 152bとを有し、フィルム 101が表裏両面 を露出するように一の対辺 102、 103の一方（以下、辺 102という。）を保持するように なっている。具体的には、可動板 152bは、図示しない駆動部によって駆動され、辺 1 02を保持する保持位置（図 4 (c)参照）と辺 102を解放する解放位置（図 4 (f)参照） とに移動するようになっている。これにより、フイノレム 101は、所定圧力（例えば 150N 程度）によつて辺 102 (例えば 5mm程度）が固定板 152aと可動板 152bとの間に挟 持され、クランプ部 152の基準面 156に密着するようになっている。
[0026] クランプ部 153は、固定板 153aと可動板 153bとを有し、フィルム 101が表裏両面 を露出するように一の対辺 102、 103の他方（以下、辺 103という。）を保持するように なっている。具体的には、可動板 153bは、図示しない駆動部によって駆動され、辺 1 03を保持する保持位置（図 4 (c)参照）と辺 103を解放する解放位置（図 4 (f)参照） とに移動するようになっている。これにより、フイノレム 101は、所定圧力（例えば 150N 程度）によつて辺 103 (例えば 5mm程度）が固定板 153aと可動板 153bとの間に挟 持され、クランプ部 153の基準面 156に密着するようになっている。
[0027] クランプ部 154は、固定板 154aと可動板 154bとを有し、フィルム 101が表裏両面 を露出するように他の対辺 104、 105の一方（以下、辺 104という。）を保持するように なっている。具体的には、可動板 154bは、図示しない駆動部によって駆動され、辺 1 04を保持する保持位置（図 4 (c)参照）と辺 104を解放する解放位置（図 4 (f)参照） とに移動するようになっている。これにより、フイノレム 101は、所定圧力（例えば 150N 程度）によつて辺 104 (例えば 5mm程度）が固定板 154aと可動板 154bとの間に挟 持され、クランプ部 154の基準面 156に密着するようになっている。
[0028] クランプ部 155は、固定板 155aと可動板 155bとを有し、フィルム 101が表裏両面 を露出するように他の対辺 104、 105の他方（以下、辺 105という。）を保持するように なっている。具体的には、可動板 155bは、図示しない駆動部によって駆動され、辺 1 05を保持する保持位置（図 4 (c)参照）と辺 105を解放する解放位置（図 4 (f)参照） とに移動するようになっている。これにより、フイノレム 101は、所定圧力（例えば 150N 程度）によつて辺 105 (例えば 5mm程度）が固定板 155aと可動板 155bとの間に挟 持され、クランプ部 155の基準面 156に密着するようになっている。
[0029] また、フィルム保持装置 150は、第 1の支持手段の一例としての直動部 161と、第 2 の支持手段の一例としての直動部 162と、第 3の支持手段の一例としての回動部 16 3、 164と、第 4の支持手段の一例としての直動部 165、 166と、第 1の付勢手段の一 例としての付勢部 171と、第 2の付勢手段の一例としての付勢部 172、 173と、クラン プ部 152、 153、 154、 155を初期位置に制動（イニシャライズ)する制動部 174、 17 5、 176、 177とを備えている。この初期位置は、上述したフィルム 101のサイズに応 じて予め設定された保持位置である。
[0030] 直動部 161は、クランプ部 152、 153の少なくとも何れか一方、例えば、クランプ部 1 53を一の対辺 102、 103に直交する方向（以下、 X方向 106という。）に移動可能に 支持するようになっている。そして、クランプ部 153は、制動部 175から解放されたと きに、直動部 161を介して X方向 106に移動するようになっている。
[0031] 直動部 162は、クランプ部 152、 153の少なくとも何れか一方、例えば、クランプ部 1 53を一の対辺 102、 103に平行する方向（以下、 Y方向 107という。）に移動可能に 支持するようになっている。そして、クランプ部 153は、制動部 175から解放されたと きに、直動部 162を介して Y方向 107に移動するようになっている。
[0032] 回動部 163、 164は、クランプ部 152、 153の少なくとも何れ力一方、例えば、クラン プ咅 152、 153をフイノレム 101に直交する車由まわり（以下、 Θ方向 108とレヽう。）に回 動可能に支持するようになっている。そして、クランプ部 152、 153は、制動部 174、 1 75から解放されたときに、回動部 163、 164を介して Θ方向 108に回動するようにな つている。
[0033] 直動部 165、 166は、クランプ部 154、 155の少なくとも何れ力一方、例えば、クラン プ部 154、 155を他の対辺 104、 105に直交する方向（以下、 Y方向 107という。）に 移動可能に支持するようになっている。そして、クランプ部 154、 155は、制動部 176 、 177から解放されたときに、直動部 165、 166を介して Y方向 107に移動するように なっている。
[0034] 付勢部 171は、スプリングなどの弾性部材によって構成され、クランプ部 152、 153 の少なくとも何れか一方、例えば、クランプ部 153をクランプ部 152から離隔する方向 に付勢するようになっている。そして、クランプ部 153は、付勢部 171に付勢され、初 期位置から移動及び回動することにより、フィルム 101を X方向 106に伸張するように なっている。
[0035] 付勢部 172、 173は、スプリングなどの弾性部材によって構成され、クランプ部 154 、 155の少なくとも何れ力、一方、例えば、クランプ部 154、 155を互いに離隔する方向 に付勢するようになっている。そして、クランプ部 154、 155は、付勢部 172、 173に 付勢され、初期位置から移動することにより、フィルム 101を Y方向 107に伸張するよ うになつている。
[0036] 次に、本第 1実施形態における真空蒸着装置の動作について、図 1から図 4を用い て説明する。なお、図 3は、本第 1実施形態における真空蒸着装置の動作を示すフロ 一チャートであり、図 4は、本第 1実施形態における真空蒸着装置の側面図である。
[0037] 本第 1実施形態における真空蒸着装置 100は、図 3に示すように、有機材料の塗り 分け蒸着工程 (ステップ S101からステップ S110)を実行する。以下、本工程の詳細 を説明する。
[0038] まず、静電チャック 151は、図示しない載置台に載置されたフィルム 101を吸着し、 ゲートバノレブ 113を介してチャンバ 111内に搬送する。そして、静電チャック 151は、 図 4 (a)に示すように、上述した離隔位置に移動する（ステップ S101)。
[0039] 次いで、静電チャック 151は、図 4 (b)に示すように、上述した近接位置に移動する
(ステップ S102)。このときに、クランプ部 152、 153、 154、 155は、制動部 174、 17 5、 176、 177によって初期位置に保持されている。
[0040] 次いで、クランプ部 152、 153は、図 4 (c)に示すように、可動板 152b、 153bが保 持位置に移動することによりフィルム 101を保持する（ステップ S103)。この後に、静 電チャック 151は、上述した近接位置から退避するとともに、保持されたフイノレム 101 力 離隔する。
[0041] 次いで、クランプ部 152、 153は、図 4 (d)に示すように、制動部 174、 175から解放 されたときに、付勢部 171に付勢され、初期位置から移動及び回動する (ステップ S1 04)。これにより、フィルム 101は、 X方向 106に伸張され、歪みが除去される。なお、 上述した検査装置 140の検査結果に基づいてステップ S104を適宜繰り返すことによ り、さらに確実に、歪みが除去される。
[0042] 次いで、クランプ部 154、 155は、図 4 (c)同様に、可動板 154b、 155bが保持位置 に移動することによりフィルム 101を保持する（ステップ S105)。
[0043] 次いで、クランプ部 154、 155は、図 4 (d)同様に、制動部 176、 177から解放され たときに、付勢部 172、 173に付勢され、初期位置から移動する (ステップ S106)。こ れにより、フイノレム 101は、 Y方向 107に伸張され、歪みが除去される。なお、上述し た検查装置 140の検查結果に基づいてステップ S106を適宜繰り返すことにより、さ らに確実に、歪みが除去される。
[0044] 次いで、加熱装置 120は、図 4 (e)に示すように、所定の有機材料を加熱することに より気化し、当該気化された有機材料 121をメタルマスク 130を介してフィルム 101に 蒸着する（ステップ S107)。この後に、静電チャック 151は、上述した近接位置に移 動するとともに、保持されたフィルム 101を吸着する。
[0045] 次いで、クランプ部 154、 155は、図 4 (f)に示すように、可動板 154b、 155b力 S解 放位置に移動することによりフィルム 101を解放する（ステップ S108)。
[0046] 次いで、クランプ部 152、 153は、図 4 (f)同様に、可動板 152b、 153bが解放位置 に移動することによりフィルム 101を解放する（ステップ S109)。
[0047] 次いで、静電チャック 151は、図 4 (g)に示すように、上述した離隔位置に移動する
(ステップ S110)。そして、静電チャック 151は、ゲートバルブ 114を介してフィルム 1 01をチャンバ 111外に搬送し、図示しない載置台に載置して、本工程を終了する。
[0048] 以上説明したように、本第 1実施形態では、フィルム保持装置 150は、一の対辺 10 2、 103と他の対辺 104、 105とを有するフィルム 101を保持するフィルム保持装置 1 50において、フィルム 101が表裏両面を露出するように一の対辺 102、 103の一方 を保持するクランプ部 152と、フィルム 101が表裏両面を露出するように一の対辺 10 2、 103の他方を保持するクランプき ^153と、クランプ咅^ 52、 153の少なくとも何れ力、 一方を一の対辺 102、 103に直交する方向に移動可能に支持する直動部 161と、ク ランプ部 152、 153の少なくとも何れか一方を一の対辺 102、 103に平行する方向に 移動可能に支持する直動部 162と、クランプ部 152、 153の少なくとも何れか一方を フィルム 101に直交する軸まわりに回動可能に支持する回動部 163、 164と、クラン プ部 152、 153の少なくとも何れか一方を他方から離隔する方向に付勢する付勢部 1 71とを備えることを特徴とする構成を有している。
[0049] この構成により、本第 1実施形態では、フィルム 101を保持したクランプ部 152、 15 3が付勢部 171に付勢されて初期位置から移動及び回動するので、フィルム 101を X 方向 106に伸張してフィルム 101の歪みを除去することができ、フィルム 101の平面 度を向上させること、例えば、 100 z m以下にすることができ、フィルム 101の加工精 度を向上させることができる。
[0050] また、本第 1実施形態では、フィルム保持装置 150は、フィルム 101が表裏両面を 露出するように他の対辺 104、 105の一方を保持するクランプ部 154と、フイノレム 101 が表裏両面を露出するように他の対辺 104、 105の他方を保持するクランプ部 155と 、クランプ部 154、 155の少なくとも何れか一方を他の対辺 104、 105に直交する方 向に移動可能に支持する直動部 165、 166と、クランプ部 154、 155の少なくとも何 れか一方を他方から離隔する方向に付勢する付勢部 172、 173とを備えることを特 徴とする構成を有している。
[0051] この構成により、本第 1実施形態では、フィルム 101を保持したクランプ部 154、 15 5が付勢部 172、 173に付勢されて初期位置から移動するので、フィルム 101を Y方 向 107に伸張してフィルム 101の歪みを除去することができ、フィルム 101の平面度 を向上させること、例えば、 100 /i m以下にすることができ、フィルム 101の加工精度 を向上させることができる。
[0052] なお、本第 1実施形態では、本願に係るフィルム保持装置を真空蒸着装置に適用 しているが、これに限らず、各種の製造装置に適用することにより、フィルムの加工精 度を向上させることができる。
[0053] m z m
以下、本願を実施するための他の実施形態である第 2実施形態について、図面を 用いて説明する。なお、以下説明する第 2実施形態は、本願に係るフィルム保持装 置を、例えば、フィルム有機 EL (Electroluminescence)ディスプレイを製造するための 真空蒸着装置に適用した場合の実施形
態を示している。
[0054] 具体的には、フィルム有機 ELディスプレイ（以下、フィルム OLEDという。 )は、所謂 、真空蒸着法によって製造されるフィルム状のディスプレイであり、可撓性を有するフ イルムの表面に、透明電極、有機材料及び背面電極を蒸着したものである。なお、本 第 2実施形態では、フィルム OLEDの製造工程のうち、特に、有機材料の塗り分け蒸 着工程に用いられる真空蒸着装置を示す。
[0055] まず、本第 2実施形態における真空蒸着装置の構成について、図 5及び図 6を用い て説明する。なお、図 5は、本第 2実施形態における真空蒸着装置の側面図であり、 図 6は、本第 2実施形態におけるフィルム保持装置の上面図である。
[0056] 本第 2実施形態における真空蒸着装置 200は、図 5に示すように、真空雰囲気を保 持するチャンバ 211が形成された筐体 210と、チャンバ 211の上部に設けられたフィ ルム保持装置 250と、チャンノく 211の下部に設けられたカロ熱装置 220と、フィルム保 持装置 250と加熱装置 220との間に配置されたメタルマスク 230とを備えている。
[0057] 筐体 210は、箱状に形成されたハウジング 212と、ハウジング 212の側壁に設けら れたゲートバルブ 213、 214とを有してレヽる。ゲートバルブ 213、 214は、下述する静 電チャック 251がフィルム 201を搬送するときに開閉するようになつてレ、る。
[0058] フィルム保持装置 250は、所定厚さ（例えば 0· 2mm程度）のフィルム 201を保持す るようになってレヽる。フイノレム 201は、一の対辺 202、 203と他の対辺 204、 205とを 有する方形部材であり、所定サイズ (例えば A5判から A3判程度）に形成されている 。なお、フィルム保持装置 250の構成については下述する。
[0059] 加熱装置 220は、所定の有機材料を加熱することにより気化し、当該気化された有 機材料 221をメタルマスク 230を介してフィルム 201に蒸着するようになっている。
[0060] メタルマスク 230は、気化された有機材料 221を塗り分けるための開口パターンが 形成された板材であり、保持されたフィルム 201に対して平行に位置するようになつ ている。
[0061] 次に、本第 2実施形態におけるフィルム保持装置の構成について、図 5及び図 6を 用いて説明する。
[0062] フィルム保持装置 250は、図 5及び図 6に示すように、吸着部の一例としての静電 チャック 251と、第 1の保持部の一例としてのクランプ部 252と、第 2の保持部の一例 としてのクランプ部 253と、第 3の保持部の一例としてのクランプ部 254と、第 4の保持 きの一 ί列としてのクランプき 255とを備えてレヽる。このクランプ咅 252、 253、 254、 2 55は、同一平面上に位置する基準面 256を有している。
[0063] 静電チャック 251は、フィルム 201の一面に接合する平面 257を有し、クーロン力に よってフィルム 201を吸着するようになっている。具体的には、静電チャック 251は、 図示しない駆動部によって駆動され、メタルマスク 230に近接する近接位置（図 8 (b) 参照）とメタルマスク 230から離隔する離隔位置（図 8 (a)参照）とに移動するようにな つている。そして、静電チャック 251は、近接位置に移動したときに、メタノレマスク 230 に対して平面 257力 S平行に位置するととちに、クランプ咅 252、 253、 254、 255の基 準面 256に対してフィルム 201の他面が同一平面上に位置するようになっている。
[0064] クランプ部 252は、固定板 252aと可動板 252bとを有し、吸着されたフィルム 201の 一の対辺 202、 203の一方（以下、辺 202という。）を保持するようになっている。具体 的には、可動板 252bは、図示しない駆動部によって駆動され、辺 202を保持する保 持位置（図 8 (c)参照）と辺 202を解放する解放位置（図 8 (f)参照）とに移動するよう になっている。これにより、フイノレム 201は、所定圧力（例えば 150N程度）によって辺
202 (例えば 5mm程度）が固定板 252aと可動板 252bとの間に挟持され、クランプ部 252の基準面 256に密着するようになっている。
[0065] クランプ部 253は、固定板 253aと可動板 253bとを有し、吸着されたフィルム 201の 一の対辺 202、 203の他方（以下、辺 203とレ、う。）を保持するようになっている。具体 的には、可動板 253bは、図示しない駆動部によって駆動され、辺 203を保持する保 持位置（図 8 (c)参照）と辺 203を解放する解放位置（図 8 (f)参照）とに移動するよう になっている。これにより、フイノレム 201は、所定圧力（例えば 150N程度）によって辺
203 (例えば 5mm程度）が固定板 253aと可動板 253bとの間に挟持され、クランプ部 253の基準面 256に密着するようになっている。
[0066] クランプ部 254は、固定板 254aと可動板 254bとを有し、吸着されたフィルム 201の 他の対辺 204、 205の一方（以下、辺 204という。）を保持するようになっている。具体 的には、可動板 254bは、図示しない駆動部によって駆動され、辺 204を保持する保 持位置（図 8 (c)参照）と辺 204を解放する解放位置（図 8 (f)参照）とに移動するよう になっている。これにより、フイノレム 201は、所定圧力（例えば 150N程度）によって辺
204 (例えば 5mm程度）が固定板 254aと可動板 254bとの間に挟持され、クランプ部 254の基準面 256に密着するようになっている。
[0067] クランプ部 255は、固定板 255aと可動板 255bとを有し、吸着されたフィルム 201の 他の対辺 204、 205の他方（以下、辺 205とレ、う。）を保持するようになっている。具体 的には、可動板 255bは、図示しない駆動部によって駆動され、辺 205を保持する保 持位置（図 8 (c)参照）と辺 205を解放する解放位置（図 8 (f)参照）とに移動するよう になっている。これにより、フイノレム 201は、所定圧力（例えば 150N程度）によって辺
205 (例えば 5mm程度）が固定板 255aと可動板 255bとの間に挟持され、クランプ部 255の基準面 256に密着するようになっている。
[0068] また、フィルム保持装置 250は、第 1の支持手段の一例としての直動部 261と、第 2 の支持手段の一例としての直動部 262と、第 3の支持手段の一例としての回動部 26 3、 264と、第 4の支持手段の一例としての直動部 265、 266と、第 1の付勢手段の一 例としての付勢部 271と、第 2の付勢手段の一例としての付勢部 272、 273と、クラン プ部 252、 253、 254、 255を初期位置に制動（イニシャライズ)する制動部 274、 27 5、 276、 277とを備えている。この初期位置は、上述したフィルム 201のサイズに応 じて予め設定された保持位置である。
[0069] 直動部 261は、クランプ部 252、 253の少なくとも何れ力一方、例えば、クランプ部 2 53を一の対辺 202、 203に直交する方向（以下、 X方向 206という。）に移動可能に 支持するようになっている。そして、クランプ部 253は、制動部 275から解放されたと きに、直動部 261を介して X方向 206に移動するようになっている。
[0070] 直動部 262は、クランプ部 252、 253の少なくとも何れ力、一方、例えば、クランプ部 2 53を一の対辺 202、 203に平行する方向（以下、 Y方向 207という。）に移動可能に 支持するようになっている。そして、クランプ部 253は、制動部 275から解放されたと きに、直動部 262を介して Y方向 207に移動するようになっている。 [0071] 回動部 263、 264は、クランプ部 252、 253の少なくとも何れ力一方、例えば、クラン プ咅 252、 253をフイノレム 201に直交する車由まわり（以下、 Θ方向 208とレヽう。）に回 動可能に支持するようになっている。そして、クランプ部 252、 253は、制動部 274、 2 75力、ら解放されたときに、回動部 263、 264を介して Θ方向 208に回動するようにな つている。
[0072] 直動部 265、 266は、クランプ部 254、 255の少なくとも何れ力一方、例えば、クラン プ部 254、 255を他の対辺 204、 205に直交する方向（以下、 Y方向 207という。）に 移動可能に支持するようになっている。そして、クランプ部 254、 255は、制動部 276 、 277から解放されたときに、直動部 265、 266を介して Y方向 207に移動するように なっている。
[0073] 付勢部 271は、スプリングなどの弾性部材によって構成され、クランプ部 252、 253 の少なくとも何れか一方、例えば、クランプ部 253をクランプ部 252から離隔する方向 に付勢するようになっている。そして、クランプ部 253は、付勢部 271に付勢され、初 期位置から移動及び回動することにより、フィルム 201を X方向 206に伸張するように なっている。
[0074] 付勢部 272、 273は、スプリングなどの弾性部材によって構成され、クランプ部 254 、 255の少なくとも何れ力一方、例えば、クランプ部 254、 255を互いに離隔する方向 こ付勢するようこなってレヽる。そして、クランプ咅 254、 255ίま、付勢咅 272、 273【こ 付勢され、初期位置から移動することにより、フィルム 201を Υ方向 207に伸張するよ うになつている。
[0075] 次に、本第 2実施形態における真空蒸着装置の動作について、図 5から図 8を用い て説明する。なお、図 7は、本第 2実施形態における真空蒸着装置の動作を示すフロ 一チャートであり、図 8は、本第 2実施形態における真空蒸着装置の側面図である。
[0076] 本第 2実施形態における真空蒸着装置 200は、図 7に示すように、有機材料の塗り 分け蒸着工程 (ステップ S201からステップ S210)を実行する。以下、本工程の詳細 を説明する。
[0077] まず、静電チャック 251は、図示しない載置台に載置されたフィルム 201を吸着し、 ゲートバノレブ 213を介してチャンバ 211内に搬送する。そして、静電チャック 251は、 図 8 (a)に示すように、上述した離隔位置に移動する（ステップ S201)。
[0078] 次いで、静電チャック 251は、図 8 (b)に示すように、上述した近接位置に移動する
(ステップ S202)。このときに、クランプ部 252、 253、 254、 255は、制動部 274、 27
5、 276、 277によって初期位置に保持されている。
[0079] 次いで、クランプ部 252、 253は、図 8 (c)に示すように、可動板 252b、 253bが保 持位置に移動することによりフィルム 201を保持する（ステップ S203)。
[0080] 次いで、クランプ部 252、 253は、図 8 (d)に示すように、制動部 274、 275から解放 されたときに、付勢部 271に付勢され、初期位置から移動及び回動する (ステップ S2
04)。これにより、フイノレム 201は、 X方向 206に伸張され、歪みが除去される。なお、 ステップ S204を適宜繰り返すことにより、さらに確実に、歪みが除去される。
[0081] 次いで、クランプ部 254、 255は、図 8 (c)同様に、可動板 254b、 255bが保持位置 に移動することによりフィルム 201を保持する（ステップ S205)。
[0082] 次いで、クランプ部 254、 255は、図 8 (d)同様に、制動部 276、 277から解放され たときに、付勢部 272、 273に付勢され、初期位置から移動する（ステップ S206)。こ れにより、フィルム 201は、 Y方向 207に伸張され、歪みが除去される。なお、ステツ プ S206を適宜繰り返すことにより、さらに確実に、歪みが除去される。
[0083] 次いで、加熱装置 220は、図 8 (e)に示すように、所定の有機材料を加熱することに より気化し、当該気化された有機材料 221をメタルマスク 230を介してフィルム 201に 蒸着する (ステップ S207)。
[0084] 次いで、クランプ部 254、 255は、図 8 (f)に示すように、可動板 254b、 255b力 S解 放位置に移動することによりフィルム 201を解放する（ステップ S208)。
[0085] 次いで、クランプ部 252、 253は、図 8 (f)同様に、可動板 252b、 253bが解放位置 に移動することによりフィルム 201を解放する（ステップ S209)。
[0086] 次いで、静電チャック 251は、図 8 (g)に示すように、上述した離隔位置に移動する
(ステップ S210)。そして、静電チャック 251は、ゲートバノレブ 214を介してフィルム 2
01をチャンバ 211外に搬送し、図示しない載置台に載置して、本工程を終了する。
[0087] 以上説明したように、本第 2実施形態では、フィルム保持装置 250は、一の対辺 20
2、 203と他の対辺 204、 205とを有するフイノレム 201を保持するフイノレム保持装置 2 50において、フィルム 201の一面に接合する平面 257を有しフィルム 201を吸着す る静電チャック 251と、吸着されたフィルム 201の一の対辺 202、 203の一方を保持 するクランプ部 252と、吸着されたフィルム 201の一の対辺 202、 203の他方を保持 するクランプ咅 B253と、クランプき ^252、 253の少なくとも何れ力一方を一の対辺 202 、 203に直交する方向に移動可能に支持する直動部 261と、クランプ部 252、 253の 少なくとも何れか一方を一の対辺 202、 203に平行する方向に移動可能に支持する 直動咅 262と、クランプ咅 252、 253の少なくとち何れ力一方をフイノレム 201に直交す る軸まわりに回動可能に支持する回動部 263、 264と、クランプ部 252、 253の少なく とも何れか一方を他方から離隔する方向に付勢する付勢部 271とを備えることを特徴 とする構成を有している。
[0088] この構成により、本第 2実施形態では、フィルム 201を保持したクランプ部 252、 25 3が付勢部 271に付勢されて初期位置から移動及び回動するので、フイノレム 201を X 方向 206に伸張してフィルム 201の歪みを除去することができ、フィルム 201の平面 度を向上させること、例えば、 10 /i m以下にすることができ、フィルム 201の加工精度 を向上させることができる。
[0089] また、本第 2実施形態では、フィルム保持装置 250は、吸着されたフィルム 201の他 の対辺 204、 205の一方を保持するクランプ部 254と、吸着されたフィルム 201の他 の対辺 204、 205の他方を保持するクランプ部 255と、クランプ部 254、 255の少なく とも何れか一方を他の対辺 204、 205に直交する方向に移動可能に支持する直動 部 265、 266と、クランプ部 254、 255の少なくとも何れか一方を他方から離隔する方 向に付勢する付勢部 272、 273とを備えることを特徴とする構成を有している。
[0090] この構成により、本第 2実施形態では、フィルム 201を保持したクランプ部 254、 25 5が付勢部 272、 273に付勢されて初期位置から移動するので、フィルム 201を Y方 向 207に伸張してフィルム 201の歪みを除去することができ、フィルム 201の平面度 を向上させること、例えば、 10 z m以下にすることができ、フィルム 201の加工精度を 向上させることができる。
[0091] なお、本第 2実施形態では、本願に係るフィルム保持装置を真空蒸着装置に適用 しているが、これに限らず、各種の製造装置に適用することにより、フィルムの加工精 度を向上させることができる。

Claims

請求の範囲
[1] 一の対辺と他の対辺とを有するフィルムを保持するフィルム保持装置において、 前記フィルムが表裏両面を露出するように前記一の対辺の一方を保持する第 1の 保持部と、
前記フィルムが表裏両面を露出するように前記一の対辺の他方を保持する第 2の 保持部と、
前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を前記一の対辺 に直交する方向に移動可能に支持する第 1の支持手段と、
前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を前記一の対辺 に平行する方向に移動可能に支持する第 2の支持手段と、
前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を前記フィルムに 直交する軸まわりに回動可能に支持する第 3の支持手段と、
前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を他方から離隔 する方向に付勢する第 1の付勢手段とを備えることを特徴とするフィルム保持装置。
[2] 請求項 1に記載のフィルム保持装置において、
前記フィルムが表裏両面を露出するように前記他の対辺の一方を保持する第 3の 保持部と、
前記フィルムが表裏両面を露出するように前記他の対辺の他方を保持する第 4の 保持部と、
前記第 3の保持部及び前記第 4の保持部の少なくとも何れか一方を前記他の対辺 に直交する方向に移動可能に支持する第 4の支持手段と、
前記第 3の保持部及び前記第 4の保持部の少なくとも何れか一方を他方から離隔 する方向に付勢する第 2の付勢手段とを備えることを特徴とするフィルム保持装置。
[3] 一の対辺と他の対辺とを有するフィルムを保持するフィルム保持方法において、 前記フィルムが表裏両面を露出するように前記一の対辺の一方を保持する第 1の 保持部と、前記フィルムが表裏両面を露出するように前記一の対辺の他方を保持す る第 2の保持部と、前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方 を前記一の対辺に直交する方向に移動可能に支持する第 1の支持手段と、前記第 1 の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を前記一の対辺に平行する 方向に移動可能に支持する第 2の支持手段と、前記第 1の保持部及び前記第 2の保 持部の少なくとも何れか一方を前記フィルムに直交する軸まわりに回動可能に支持 する第 3の支持手段と、前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか 一方を他方から離隔する方向に付勢する第 1の付勢手段とを備えるフィルム保持装 置によって前記フィルムを保持するフィルム保持方法であって、
前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部が前記フィルムを保持する保持工程と、 前記第 1の付勢手段が前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れ か一方を付勢する付勢工程と、
前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方が移動及び回動 することにより前記フィルムを伸張する伸張工程とを含むことを特徴とするフィルム保 持方法。
[4] 請求項 3に記載のフィルム保持方法において、
前記フィルムが表裏両面を露出するように前記他の対辺の一方を保持する第 3の 保持部と、前記フィルムが表裏両面を露出するように前記他の対辺の他方を保持す る第 4の保持部と、前記第 3の保持部及び前記第 4の保持部の少なくとも何れか一方 を前記他の対辺に直交する方向に移動可能に支持する第 4の支持手段と、前記第 3 の保持部及び前記第 4の保持部の少なくとも何れか一方を他方から離隔する方向に 付勢する第 2の付勢手段とを備えるフィルム保持装置によって前記フィルムを保持す るフィルム保持方法であって、
前記第 3の保持部及び前記第 4の保持部が前記フィルムを保持する保持工程と、 前記第 2の付勢手段が前記第 3の保持部及び前記第 4の保持部の少なくとも何れ か一方を付勢する付勢工程と、
前記第 3の保持部及び前記第 4の保持部の少なくとも何れか一方が移動することに より前記フィルムを伸張する伸張工程とを含むことを特徴とするフィルム保持方法。
[5] 一の対辺と他の対辺とを有するフィルムを保持するフィルム保持装置において、 前記フィルムの一面に接合する平面を有し前記フィルムを吸着する吸着部と、 前記吸着されたフィルムの前記一の対辺の一方を保持する第 1の保持部と、 前記吸着されたフィルムの前記一の対辺の他方を保持する第 2の保持部と、 前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を前記一の対辺 に直交する方向に移動可能に支持する第 1の支持手段と、
前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を前記一の対辺 に平行する方向に移動可能に支持する第 2の支持手段と、
前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を前記フィルムに 直交する軸まわりに回動可能に支持する第 3の支持手段と、
前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を他方から離隔 する方向に付勢する第 1の付勢手段とを備えることを特徴とするフィルム保持装置。
[6] 請求項 5に記載のフィルム保持装置において、
前記吸着されたフィルムの前記他の対辺の一方を保持する第 3の保持部と、 前記吸着されたフィルムの前記他の対辺の他方を保持する第 4の保持部と、 前記第 3の保持部及び前記第 4の保持部の少なくとも何れか一方を前記他の対辺 に直交する方向に移動可能に支持する第 4の支持手段と、
前記第 3の保持部及び前記第 4の保持部の少なくとも何れか一方を他方から離隔 する方向に付勢する第 2の付勢手段とを備えることを特徴とするフィルム保持装置。
[7] 一の対辺と他の対辺とを有するフィルムを保持するフィルム保持方法において、 前記フィルムの一面に接合する平面を有し前記フィルムを吸着する吸着部と、前記 吸着されたフィルムの前記一の対辺の一方を保持する第 1の保持部と、前記吸着さ れたフィルムの前記一の対辺の他方を保持する第 2の保持部と、前記第 1の保持部 及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を前記一の対辺に直交する方向に移 動可能に支持する第 1の支持手段と、前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少 なくとも何れか一方を前記一の対辺に平行する方向に移動可能に支持する第 2の支 持手段と、前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を前記 フィルムに直交する軸まわりに回動可能に支持する第 3の支持手段と、前記第 1の保 持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方を他方力 離隔する方向に付勢 する第 1の付勢手段とを備えるフィルム保持装置によって前記フィルムを保持するフ イルム保持方法であって、 前記吸着部が前記フィルムを吸着する吸着工程と、
前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部が前記フィルムを保持する保持工程と、 前記第 1の付勢手段が前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れ か一方を付勢する付勢工程と、
前記第 1の保持部及び前記第 2の保持部の少なくとも何れか一方が移動及び回動 することにより前記フィルムを伸張する伸張工程とを含むことを特徴とするフィルム保 持方法。
請求項 7に記載のフィルム保持方法において、
前記吸着されたフィルムの前記他の対辺の一方を保持する第 3の保持部と、前記 吸着されたフィルムの前記他の対辺の他方を保持する第 4の保持部と、前記第 3の 保持部及び前記第 4の保持部の少なくとも何れか一方を前記他の対辺に直交する 方向に移動可能に支持する第 4の支持手段と、前記第 3の保持部及び前記第 4の保 持部の少なくとも何れか一方を他方から離隔する方向に付勢する第 2の付勢手段と を備えるフィルム保持装置によって前記フィルムを保持するフィルム保持方法であつ て、
前記第 3の保持部及び前記第 4の保持部が前記フィルムを保持する保持工程と、 前記第 2の付勢手段が前記第 3の保持部及び前記第 4の保持部の少なくとも何れ か一方を付勢する付勢工程と、
前記第 3の保持部及び前記第 4の保持部の少なくとも何れか一方が移動することに より前記フィルムを伸張する伸張工程とを含むことを特徴とするフィルム保持方法。
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