KR200389384Y1 - 진공척 - Google Patents

진공척 Download PDF

Info

Publication number
KR200389384Y1
KR200389384Y1 KR20-2005-0009691U KR20050009691U KR200389384Y1 KR 200389384 Y1 KR200389384 Y1 KR 200389384Y1 KR 20050009691 U KR20050009691 U KR 20050009691U KR 200389384 Y1 KR200389384 Y1 KR 200389384Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
vacuum chuck
vacuum
unit
film
chuck body
Prior art date
Application number
KR20-2005-0009691U
Other languages
English (en)
Inventor
이춘무
Original Assignee
(주)트리엔
이춘무
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)트리엔, 이춘무 filed Critical (주)트리엔
Priority to KR20-2005-0009691U priority Critical patent/KR200389384Y1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR200389384Y1 publication Critical patent/KR200389384Y1/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2301/00Handling processes for sheets or webs
    • B65H2301/40Type of handling process
    • B65H2301/41Winding, unwinding
    • B65H2301/414Winding
    • B65H2301/41419Starting winding process
    • B65H2301/41426Starting winding process involving suction means, e.g. core with vacuum supply
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2404/00Parts for transporting or guiding the handled material
    • B65H2404/10Rollers
    • B65H2404/13Details of longitudinal profile
    • B65H2404/136Details of longitudinal profile with canals
    • B65H2404/1362Details of longitudinal profile with canals vacuum
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2701/00Handled material; Storage means
    • B65H2701/10Handled articles or webs
    • B65H2701/19Specific article or web

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 고안은 진공척에 관한 것으로, PDP 또는 LCD 등의 제조에 있어서 그에 사용되는 필름을 진공 흡입력을 통해 원통형태의 진공척에 흡착 권취하거나 필요에 따라 순차적으로 풀수 있도록 하여 필름에 손상을 주지 않고 회전제어 장치를 통해 필요한 길이 만큼 풀 수 있는 특징이 있다.
본 고안은 크게 진공척 본체(10)와 단위 흡착부(20), 엔코더(30) 및 진공 발생장치(40) 등으로 구성되는 바, 원통의 형태로 형성되되, 그 외주면으로는 직사각 홈형태의 셀(11)이 형성된 진공척 본체(10)와, 상기 셀(11)에 삽착될 수 있는 직육면체 형태로 제작되되, 미세 기공(21)이 형성된 단위 흡착부(20)와, 상기 진공척 본체(10)의 일측에 설치되어 진공척(1)의 회전각을 제어할 수 있도록 구성된 엔코더(30)와, 진공척 본체(10)에 연결되어 진공 흡입력이 단위 흡착부(20)의 미세 기공(21)에 까지 미치도록 하는 진공 발생장치(40)로 구성되어, 진공 흡착력에 의해 박막 필름(50)이 진공척 본체(10)의 표면에 흡착되어 엔코더(30)의 회전에 따라 감기거나 풀릴 수 있도록 하는 대략적인 구성을 갖는다.
상기와 같은 구성을 갖는 본 고안은, PDP 또는 LCD 등의 제조에 있어서 그에 사용되는 필름을 원통형태의 진공척에 흡착시켜 권취하거나 필요에 따라 순차적으로 풀어줄 수 있도록 하여 필름에 손상을 주지 않고 필요한 길이 만큼 순차적으로 풀어 낼 수 있는 효과가 있다.
또한, 원통형태의 진공척 본체부의 외주면에는 직사각 홈형태의 셀이 무수히 형성되되, 그 내부에는 직육면체 형태의 다공성 세라믹 소재 또는 다공성 카본 그라파이트 소재로 제작된 단위 흡착부가 삽착되며, 진공척 본체부의 일측으로는 엔코더 등의 회전제어 장치가 구비되어 진공척을 필요한 회전각도 만큼 제어하여 진공척에 흡착된 필름을 용이하게 풀어 줄 수 있는 효과가 있다.

Description

진공척 { the vaccum chuck }
본 고안은 진공척에 관한 것으로, 더욱 상세하게 살펴보면, PDP 또는 LCD 등의 제조에 있어서 그에 사용되는 필름을 원통형태의 진공척에 권취하거나 필요에 따라 순차적으로 풀어줄 수 있도록 한 것으로써, 필름에 손상을 주지 않고 필요한 길이 만큼 용이하게 풀어 낼 수 있는 진공척에 관한 것이다.
일반적으로 진공척이라 함은, 진공의 흡입력을 이용하여 어떠한 물체를 흡착하여 잡아주는 역할을 하는 것으로, 주로 반도체 웨이퍼나 LCD 등의 유리기판 및 전자부품의 기판을 진공 흡입력을 통해 흡착 고정하거나 이동 시에 흡착된 물품이 요동되지 않도록 하는 기능을 지닌 것을 말한다.
통상적으로 사용되는 진공척은 그 형태가 대부분 평면의 형태로 제작된 것으로, 무거운 가공물 및 표면이 거친 가공물을 가공할 때에는 주로 GRID TYPE의 진공척을 사용하며, 제품을 고정시킨 후 드릴작업 등을 행할 때에는 진공척 윗면에 얇은 매트를 올려 놓고 그 위에 제품이나 부품을 장착하여 가공하는 MAT TYPE의 진공척을 주로 사용한다.
또한, 얇은 박판이나 연질의 제품을 장착 하여 가공 및 이송할 때에는 SINTER TYPE의 진공척을 주로 사용하는 바, 상기 모든 타입의 진공척은 평면의 형태로 제작되어 가공 대상물을 이송하거나 가공하는 구성을 갖는다.
상기와 같이 평면 형태의 진공척은 흡착된 가공 대상물을 해제할 때에는 표면 전체에 형성된 진공 흡입력을 해제하여 진공척으로부터 가공 대상물을 분리해야 함으로써, 흡착된 가공 대상물의 일부분만을 분리해내거나 순차적으로 분리해 낼 수 있는 방법은 존재하지 않아 사용에 대단히 불편함이 따랐다.
특히, 그 가공 대상물이 얇은 박판이나 연질의 필름일 경우에는, 상기와 같이 평면 형태의 진공척을 사용할 때에는 제작 공간을 많이 차지하게 되어 사용에 불편함이 있었고, 특히 진공척에서 필름 형태의 가공 대상물을 일부 분리할 시 찢어지거나 흠집 등이 발생할 수 있는 문제점을 내포하고 있었다.
이에 본 고안은 상기와 같이 문제점을 감안하여 안출한 것으로, PDP 또는 LCD 등의 제조에 있어서 그에 사용되는 필름을 원통형태의 진공척에 흡착시켜 권취하거나 필요에 따라 순차적으로 풀어줄 수 있도록 하여 필름에 손상을 주지 않고 필요한 길이 만큼 순차적으로 풀어 낼 수 있도록 함을 목적으로 한다.
또한, 원통형태의 진공척 본체부의 외주면에는 직사각 홈형태의 셀이 무수히 형성되되, 그 내부에는 직육면체 형태의 다공성 세라믹 소재 또는 다공성 카본 그라파이트 소재로 제작된 단위 흡착부가 삽착되며, 진공척 본체부의 일측으로는 엔코더 등의 회전제어 장치가 구비되어 진공척을 필요한 회전각도 만큼 제어하여 진공척에 흡착된 필름을 용이하게 풀어 줄 수 있도록 함을 또 다른 목적으로 한다.
본 고안은 진공척에 관한 것으로, PDP 또는 LCD 등의 제조에 있어서 그에 사용되는 필름을 진공 흡입력을 통해 원통형태의 진공척에 흡착 권취하거나 필요에 따라 순차적으로 풀수 있도록 하여 필름에 손상을 주지 않고 회전제어 장치를 통해 필요한 길이 만큼 풀 수 있는 특징이 있다.
본 고안은 크게 진공척 본체(10)와 단위 흡착부(20), 엔코더(30) 및 진공 발생장치(40) 등으로 구성되는 바, 원통의 형태로 형성되되, 그 외주면으로는 직사각 홈형태의 셀(11)이 형성된 진공척 본체(10)와, 상기 셀(11)에 삽착될 수 있는 직육면체 형태로 제작되되, 미세 기공(21)이 형성된 단위 흡착부(20)와, 상기 진공척 본체(10)의 일측에 설치되어 진공척(1)의 회전각을 제어할 수 있도록 구성된 엔코더(30)와, 진공척 본체(10)에 연결되어 진공 흡입력이 단위 흡착부(20)의 미세 기공(21)에 까지 미치도록 하는 진공 발생장치(40)로 구성되어, 진공 흡착력에 의해 박막 필름(50)이 진공척 본체(10)의 표면에 흡착되어 엔코더(30)의 회전에 따라 감기거나 풀릴 수 있도록 하는 대략적인 구성을 갖는다.
이하 본 고안의 실시 예를 도면을 통해 살펴보면 다음과 같다.
도 1은 본 고안의 전체 사시도를 나타낸 것이고, 도 2는 본 고안의 측단면도를 나타낸 것으로, 우선 진공척 본체(10)의 구성을 살펴보면, 도시한 바와 같이, 원통관의 형태로 구성되되, 그 외주면으로는 직사각 홈형태의 셀(11)이 일정 간격으로 배열 · 형성되어 후술하는 단위 흡착부(20)가 삽착될 수 있도록 구성되며, 진공척 본체(10)와 그에 형성된 각 셀(11)들은 흡착 대상물인 필름(50)의 크기와 두께에 따라 제작될 수 있는 구성을 갖는다.
상기 직사각 홈형태의 셀(11)을 상세히 살펴보면, 각 테두리부에 미세한 단턱(12)이 형성되어 있어서 후술하는 단위 흡착부(20)의 걸림턱(22)이 결착될 수 있도록 구성되며, 각 셀(11)의 중앙부에는 관통공(13)이 형성되어 진공 발생장치(40)에 의해 발생된 진공 흡입력이 단위 흡착부(20)로 연통되도록 구성된다.
한편, 상기 진공척 본체(10)의 각 셀(11)에 삽착되는 단위 흡착부(20)의 구성을 도 3을 통해 살펴보면, 대략적인 형태가 두께가 얇은 직육면체 형태로 제작되되, 저면 테두리부에는 걸림턱(22)이 형성되어 있어서 상기 셀(11)의 단턱에 삽착될 수 있도록 구성된다.
상기 단위 흡착부(20)는 다공질 세라믹 소재를 이용하여 제작되거나 다공질 카본 그라파이트 소재를 이용하여 제작되는 것으로, 이는 공히 미세 기공(21)이 무수히 형성된 형태로 구성되어 상기 관통공(13)을 통해 흡입되는 진공상태가 미세 기공(21)으로 이어져 단위 흡착부(20) 표면에 흡착현상이 발생하도록 구성된다.
한편, 상기 진공척 본체(10)를 회전시키는 엔코더(30)는 통상 일반적으로 사용되는 엔코더(30)를 이용하여, 제어신호를 통해 진공척 본체(10)를 일정한 각도만큼 정회전 또는 역회전 시켜 흡착 대상물인 필름(50)이 진공척 본체(10)에 감기거나 풀릴 수 있도록 구성된다.
마지막으로 상기 진공척 본체(10)에 연결되어 공기를 흡입함에 따라 진공상태를 발생시키는 진공 발생장치(40)는, 통상적으로 사용되는 것들로 구성되는바, 구동 모터(41)와 진공 펌프(42) 등으로 구성되되, 상호 구동 벨트(43)에 의해 결합되어 구동 모터(41)의 회전에 의해 진공 펌프(42)가 지속적으로 진공 상태를 형성하도록 하는 등의 진공 발생장치(40)로 구성된다.
상기 엔코더(30)와 진공 발생장치(40)의 경우에는 공지의 어떠한 것을 사용하여도 무방하다 할 것이다.
상기와 같은 구성을 갖는 본 고안의 조립 및 설치과정을 도 4를 통해 살펴보면, 우선, 진공척 본체(10)에 형성된 각 셀(11)에 단위 흡착부(20)를 삽착하여 원통형태의 진공척(1)의 조립을 완료하며, 진공척(1)의 일측으로는 엔코더(30)가 연결 설치되고, 진공척(1)의 타측으로는 진공 발생장치(40)가 설치됨으로써 본 고안의 조립 및 설치를 완료한다.
상기와 같이 구성된 본 고안의 작동과정을 도 5를 통해 살펴보면, 진공 발생장치(40)를 가동하여 진공척 본체(10)의 외주면에 진공 흡착력을 발생시킨 다음, 필름(50)을 진공척 본체(10)의 외주면에 맞접시키고 엔코더(30)를 통해 진공척 본체(10)를 회전시키면, 진공척 본체(10)에 필름(50)이 권취될 수 있도록 구성되며, 권취된 필름(50)을 풀어 줄때에는 엔코더(30)를 반대방향으로 회전시키되, 진공 흡착력을 제거하고 압축공기를 뿜어 줌으로써 필름(50)이 풀어짐과 동시에 필요한 공정에 포설될 수 있는 구성을 갖는다.
상기와 같은 구성을 갖는 본 고안은, PDP 또는 LCD 등의 제조에 있어서 그에 사용되는 필름을 원통형태의 진공척에 흡착시켜 권취하거나 필요에 따라 순차적으로 풀어줄 수 있도록 하여 필름에 손상을 주지 않고 필요한 길이 만큼 순차적으로 풀어 낼 수 있는 효과가 있다.
또한, 원통형태의 진공척 본체부의 외주면에는 직사각 홈형태의 셀이 무수히 형성되되, 그 내부에는 직육면체 형태의 다공성 세라믹 소재 또는 다공성 카본 그라파이트 소재로 제작된 단위 흡착부가 삽착되며, 진공척 본체부의 일측으로는 엔코더 등의 회전제어 장치가 구비되어 진공척을 필요한 회전각도 만큼 제어하여 진공척에 흡착된 필름을 용이하게 풀어 줄 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 고안의 전체 사시도
도 2는 본 고안의 측면도
도 3은 본 고안 단위 흡착부의 사시도
도 4는 본 고안의 조립상태 사시도
도 5는 본 고안의 작동상태 사시도
[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명]
1 : 진공척 10 : 진공척 본체
11 : 셀 12 : 단턱
13 : 관통공 20 : 단위 흡착부
21 : 미세 기공 22 : 걸림턱
30 : 엔코더 40 : 진공발생 장치
41 : 구동모터 42 : 진공 펌프
43 : 구동 벨트 50 : 필름

Claims (4)

  1. 진공척에 있어서,
    원통의 형태로 형성되되, 그 외주면으로는 홈형태의 셀(11)이 형성된 진공척 본체(10)와,
    상기 셀(11)에 삽착될 수 있는 형태로 제작되되, 미세 기공(21)이 형성된 단위 흡착부(20)로 구성되어, 진공 흡착력에 의해 박막 필름(50)이 진공척 본체(10)의 표면에 흡착되어 감기거나 압축공기에 의해 풀릴 수 있도록 함을 특징으로 하는 진공척.
  2. 제 1항에 있어서,
    본체(10)에 형성된 셀(11)의 형태가 직사각 홈형태로 구성되고, 그에 부합되도록 삽착되는 단위 흡착부(20)의 형태가 직육면체 형태로 형성됨을 특징으로 하는 진공척.
  3. 제 1항에 있어서,
    단위 흡착부(20)는, 미세 기공(21)이 형성된 다공성 세라믹 소재로 제작됨을 특징으로 하는 진공척.
  4. 제 1항에 있어서,
    단위 흡착부(20)는, 미세 기공(21)이 형성된 다공성 카본 그라파이트 소재로 제작됨을 특징으로 하는 진공척.
KR20-2005-0009691U 2005-04-08 2005-04-08 진공척 KR200389384Y1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20-2005-0009691U KR200389384Y1 (ko) 2005-04-08 2005-04-08 진공척

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20-2005-0009691U KR200389384Y1 (ko) 2005-04-08 2005-04-08 진공척

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050029446A Division KR20050047511A (ko) 2005-04-08 2005-04-08 진공척

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR200389384Y1 true KR200389384Y1 (ko) 2005-07-14

Family

ID=43690652

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20-2005-0009691U KR200389384Y1 (ko) 2005-04-08 2005-04-08 진공척

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200389384Y1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8324013B2 (en) 2009-12-07 2012-12-04 Samsung Display Co., Ltd. Method of fabricating organic light emitting diode display device
CN110209009A (zh) * 2019-07-01 2019-09-06 深圳市深立精机科技有限公司 摄像头自动调焦机夹具

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8324013B2 (en) 2009-12-07 2012-12-04 Samsung Display Co., Ltd. Method of fabricating organic light emitting diode display device
CN110209009A (zh) * 2019-07-01 2019-09-06 深圳市深立精机科技有限公司 摄像头自动调焦机夹具

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3351496B1 (en) Double-sided adhesive tape attaching apparatus and method for attaching double-sided adhesive tape
JP6010811B2 (ja) 吸着盤
JP2015228488A (ja) フィルム状部材の支持装置
US20160159069A1 (en) Laminated substrate separating device and method for separating laminated substrate
KR101801994B1 (ko) 흡착 유닛에의 작업 대상물의 흡착 방법 및 세라믹 콘덴서의 제조 방법
JP2010169308A (ja) 乾燥装置
US8297568B2 (en) Sucking and holding device
KR200389384Y1 (ko) 진공척
JP6924968B2 (ja) ガラスパネルユニット製造用のピラー実装装置、ガラスパネルユニットの製造方法、およびガラス窓の製造方法
JP2008300426A (ja) 真空チャック
CN111037596A (zh) 取纸机器臂、取纸机器人及其运纸方法
JP2004055833A (ja) 薄板状部材の吸着装置
KR20050047511A (ko) 진공척
KR20190002304A (ko) 산업용 로봇의 핸드 및 산업용 로봇
KR200407743Y1 (ko) 진공척
JP6442459B2 (ja) フィルム剥離装置及びフィルム剥離方法
CN108231655A (zh) 静电吸附基底的方法
TWI454197B (zh) 非接觸式基板載具及其基板垂直承載裝置
KR20050111563A (ko) 진공척
KR101418301B1 (ko) 다공질 세라믹 테이블
KR101815415B1 (ko) 대상물 처리 장치
EP4031485A1 (en) A process and apparatus for the preparation of a bonded substrate
JPH0516088A (ja) 吸着保持具
WO2013057815A1 (ja) 取出装置
CN217102064U (zh) 运输装置

Legal Events

Date Code Title Description
U107 Dual application of utility model
REGI Registration of establishment
LAPS Lapse due to unpaid annual fee
R401 Registration of restoration
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130701

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140701

Year of fee payment: 10