WO2005103541A1

WO2005103541A1 - 電磁比例弁の流量特性調整機構及びそれを用いた流量特性調整方法

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Publication number: WO2005103541A1
Application number: PCT/JP2005/007399
Authority: WO
Inventors: Kazutoshi Itoh; Masayuki Watanabe; Yasunori Nishimura; Akiko Kosaka; Tsuneo Niwa; Shigenobu Nishida
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 2004-04-23
Filing date: 2005-04-18
Publication date: 2005-11-03
Anticipated expiration: 2006-10-23
Also published as: JP4414269B2; CN1946960A; CN100427818C; JP2005308159A

Abstract

　製品組立後でも電磁比例弁の流量特性を容易に調整することができる電磁比例弁の流量特性調整機構及びそれを用いた流量特性調整方法を提供するために、コイル１７が巻回するコイルボビン１６と、コイルボビン１６に固設される第３コア１５と、入口流路３と出口流路４とを備えるボディ２と、入口流路３と出口流路４とを連通させる弁座６と、弁座６を開閉する弁シート１２と、弁シート１２と一体化されるプランジャ１０と、プランジャ１０を弁座６方向に付勢する板バネ８と、コイルボビン１６とボディ２との間に介在する第１コア９と、コイルボビン１６に着脱可能に被せられるボンネット１９と、を有し、第３コア１５と第１コア９とボンネット１９とがコイル１７の周りを囲んで磁気回路を形成する電磁比例弁１Ａにおいて、固定ネジ２２を回転させてボンネット１９を軸方向に移動させ、磁気回路を変化させる。

Description

明細書

電磁比例弁の流量特性調整機構及びそれを用いた流量特性調整方法技術分野

[0001] 本発明は、コイルに与える印加電流により発生する吸引力に比例して、制御流体の流量を制御する電磁比例弁の流量特性調整機構及びそれを用いた流量特性調整方法に関する。

背景技術

[0002] 従来、例えば、半導体製造工程では、微細加工が進み、プロセスガスなどの制御流体を電磁比例弁で精密に制御している。半導体製造工程では、例えば、パーティクルの発生を防止するために、フラッパ式の電磁比例弁が使用されて、る。

[0003] 図 8は、フラッパ方式を採用する電磁比例弁 100の断面図である。

電磁比例弁 100は、ボディ 101に入口流路 102と出口流路 103とが形成されており、その連通部分に弁室 104が設けられている。弁室 104には、弁座 105が設けられ、入口流路 102と出口流路 103とが弁座 105を介して連通している。また、ボディ 101 には、磁性材体からなる保持部材 106が嵌め込まれ、ボディ 101と保持部材 106との間に板パネ 107が狭持されている。板パネ 107の中心部には、弁シート 109が取り付けられ、板パネ 107の取付荷重によって弁シート 109を弁座 105に押しつけている。板パネ 107は、プランジャ 110に溶接接合され、一体構造とされている。板パネ 107 の外縁部は上スぺーサ 117と下スぺーサ 118に挟み込まれ、板パネ 107をプランジャ 110や弁座 105などに対して位置調整している。

一方、固定鉄心 112は、非磁性体からなる環状の嵌装部材 111を介して保持部材 106に支持され、プランジャ 110と同軸上に配設されている。固定鉄心 112は、コィル 113が卷回されたコイルボビン 114に装填され、コイル 113に電流を供給すると、固定鉄心 112や保持部材 106が励磁されて、板パネ 107の復元力に抗してプランジャ 110を吸引するようになっている。ボンネット 115は、コイルボビン 114に被せられて下端開口部が保持部材 106に接触し、固定ネジ 116を介して固定鉄心 112に固定されている。 [0004] こうした電磁比例弁 100は、コイル 113が固定鉄心 112と保持部材 106とボンネット 115に周りを囲まれて磁気回路が形成されており、プランジャ 110の自重と板パネ 10 7による押圧力の合成力（シール荷重）に対して、固定鉄心 112に発生する吸引力がノランスする点で、作動を行う。つまり、電磁比例弁 100は、コイル 113に与える印加電流により発生する吸引力に比例して、制御流体の流量を制御する。プランジャ 110 に作用する固定鉄心 112の吸引力は、プランジャ 110と固定鉄心 112との間で決定されるため、電磁比例弁 100では、プランジャ 110と固定鉄心 112との間の距離を上スぺーサ 117の厚さを変えることにより流量特性を調整している。

[0005] 図 9は、流量特性を示す図である。図 10は、従来の電磁比例弁 100の吸引力特性を示す図である。

電磁比例弁 100は、板パネ 107が所定のパネ定数を有することを前提として、ブランジャ 110の動作ストローク Stを 0. 15mmに設定すると、図 9に示す流量特性 Aが得られ、動作ストローク Stを 0. 10mmに設定すると、図 9に示す流量特性 Bが得られ、動作ストローク Stを 0. 20mmに設定すると、図 9に示す流量特性 Cが得られるものとする。この条件の下、電磁比例弁 100の流量特性の調整について説明する。

[0006] 電磁比例弁 100は、板パネ 107を基準面に合わせて所定のシール荷重を確保し、プランジャ 110と固定鉄心 112との間の距離が所定値 Sになるように上スぺーサ 117 の厚さを調整して組み立てられる。この場合、板パネ 107は、図 10のパネ線図 Kに示すように所定のパネ定数を有し、コイル 113に印加磁力を 400AT与えると、固定鉄心 112は図示するような吸引力カーブを描く。電磁比例弁 100は、コイル 112に与える印加電流により発生する吸引力が板パネ 107の取付荷重より大きくなると (L1点）、プランジャ 110が動き出し、流体が流れ始める。この L1を弁が開き始める開弁開始位置とする。その後、電磁比例弁 100は、吸引力がプランジャ 110にかかる力と F1点でバランスし、プランジャ 110が L2まで移動する。そのため、プランジャ 110の動作ストローク Stは、 L1から L2までの距離 0. 15mmとなり、電磁比例弁 100は流量特性 A に調整される。なお、流量特性 Aに調整された電磁比例弁 100を基本状態とする。

[0007] また、電磁比例弁 100を流量特性 Bに調整する場合、基本状態より上スぺーサ 117 を厚くして、プランジャ 110と固定鉄心 112との間の距離を所定値 Sより大きくする。この場合、コイル 112に印加磁力 400ATを与えたときの吸引力カーブは、図 10に示すように変わらないものの、板パネ 107のセット位置が変化するため、パネ線図が図中右方向に平行移動してパネ線図 K1に設定される。そのため、開弁開始位置 L1 が開弁開始位置 L3に変更され、プランジャ 110の動作ストローク Stが 0. 10mmとなり、電磁比例弁 100は流量特性 Bに調整される。

[0008] また、電磁比例弁 100を流量特性 Cに調整する場合、基本状態より上スぺーサ 11 7を薄くして、プランジャ 110と固定鉄心 112との間の距離を所定値 Sより小さくする。この場合、コイル 112に印加磁力 400ATを与えたときの吸引力カーブは、変わらないものの、板パネ 107のセット位置が変化するため、パネ線図 Kが図中左方向に移動してパネ線図 K2に設定される。そのため、開弁開始位置 L1が開弁開始位置 L4 に変更され、プランジャ 110の動作ストローク Stが 0. 20mmとなり、電磁比例弁 100 は流量特性 Cに調整される (例えば、特許文献 1参照)。

[0009] 特許文献 1：特開 2002— 357280号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0010] し力しながら、従来の電磁比例弁 100は、例えば、プランジャ 110を数/ z mの精度で作動調整して流量制御を行う場合、プランジャ 110と固定鉄心 112との間の距離を数十/ z mのオーダで調整しなければならず、流量特性の調整が困難であった。すなわち、電磁比例弁 100は、ボディ 101に対して下スぺーサ 118、板パネ 107、上スぺーサ 117を積み重ね、さらにボディ 101に保持部材 106を嵌め込むことにより、プランジャ 110と固定鉄心 112との間の距離の精度を絶対的に出しており、プランジャ 110と固定鉄心 112との間の距離が、部品公差や組立公差の影響を受けて製品毎にばらつきやす力つた。ノツキ解消策の 1つとして、部品の寸法精度を向上させることが考えられる力プランジャ 110と固定鉄心 112との間の距離を数十/ z mのォーダで調整する必要性から限界があった。そのため、電磁比例弁 100は、各部品の部品公差を計って上スぺーサ 117の厚さを決定し、プランジャ 110と固定鉄心 112との間の距離を調整しており、部品の組立工数が多かった。また、製品を組み立てた後に希望の流量特性が得られないことが判明すると、部品を分解して上スぺーサ 11 7の厚さを再調整しなければならず、流量特性の調整に手間が力かって、た。

[0011] これに対して、出願人らは、特願 2002— 355121号〖こおいて、板パネの外縁部に折曲部を設け、ボディに保持部材をねじ込む量に応じて折曲部を弾性変形させて、板パネのセット位置を調整する技術を提案した。この技術によれば、プランジャと固定鉄心との間の距離の精度を絶対的に出す必要がないため、組立工数を減らすことができた。ところが、特願 2002— 355121号の電磁比例弁は、ボディと保持部材とを溶接して組み立てた後に流量特性を調整できなヽ不都合があった。

[0012] そこで、本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、製品組立後でも電磁比例弁の流量特性を容易に調整することができる電磁比例弁の流量特性調整機構及びそれを用いた流量特性調整方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0013] 本発明に係る電磁比例弁の流量特性調整機構及びそれを用いた流量特性調整方法は、次のような構成を有している。

(1)コイルが巻き付けられる円筒中空形状のコイルボビンと、コイルボビンの中空孔に固設される固定鉄心と、第 1流路と第 2流路とが形成されたボディと、第 1流路と第 2 流路とを連通させる弁座と、弁座に当接又は離間する弁体と、弁体と一体化されて固定鉄心と同軸上に配設される可動鉄心と、可動鉄心を弁座方向に常時付勢する付勢部材と、コイルボビンとボディとの間に介在する中間連結体と、中間連結体に接触するようにコイルボビンに着脱可能に被せられる被覆部材と、を有し、固定鉄心と中間連結体と被覆部材とがコイルの周りを囲んで磁気回路を形成し、コイルに供給する印加電流に応じて固定鉄心が可動鉄心を付勢部材に抗して吸引することにより、流量調整を行う電磁比例弁に用いられ、被覆部材を軸方向に移動させ、磁気回路を変化させる移動手段を有すること、を特徴とする。

[0014] (2) (1)に記載の発明において、移動手段は、被覆部材をネジ送り機構により軸方向に移動させるものであること、を特徴とする。

[0015] (3) (1)又は（2)に記載の発明において、移動手段は、被覆部材と固定鉄心との間に配設される弾性部材と、被覆部材を貫いて固定鉄心に螺合する固定ネジとを有することを特徴とする。 [0016] (4) (1)又は（2)に記載の発明において、移動手段は、固定鉄心を、ボディ側からコィルボビンの中空孔に固定される第 1固定鉄心と、ボディと反対側カゝらコイルボビンの中空孔に回転可能に装填される第 2固定鉄心とに分割し、第 1固定鉄心に第 2固定鉄心を螺合することと、被覆部材を第 2固定鉄心に面接触させて固定する固定部材と、を有することを特徴とする。

[0017] (5) (1)に記載の発明にお、て、移動手段は、被覆部材側に設けられた雌ネジ部と、コイルボビン側に設けられた雄ネジ部とからなることを特徴とする。

[0018] (6) (1)乃至（5)の何れか 1つに記載の電磁比例弁の流量特性調整機構を用いて、コイルに印加電流を供給しな、状態で第 1流路に流体を供給し、コイルに所定の印加電流を供給して、第 2流路から出力される流体の流量を流量測定手段で測定し、流量測定手段が所定値を測定するまで、移動手段により被覆部材を軸方向に移動させて磁路を変化させ、流量調整を行うことを特徴とする。

発明の効果

[0019] 上記構成を有する電磁比例弁の流量特性調整機構及びそれを用いた流量特性調整方法は、以下の作用効果を奏する。

電磁比例弁は、コイルに通電しない状態では、可動鉄心が付勢部材により弁座側に付勢され、弁体を所定のシール荷重で弁座に押し付けている。コイルに所定の印加電流を供給すると、コイルの周りに磁路が形成され、固定鉄心が励磁される。可動鉄心は、固定鉄心に吸引されて、固定鉄心の吸引力と付勢部材の付勢力とがバランスする位置まで移動し、弁体を弁座力離間させる。これにより、流体は、第 1流路から弁座を通過するときに弁開度に応じて流量調整された後、第 2流路から出力される

[0020] 力かる電磁比例弁は、コイルが固定鉄心と中間連結体と被覆部材とに周りを囲まれて磁気回路が形成され、コイルに通電すると、コイルの周りに磁路が形成される。電磁比例弁の流量特性調整機構及びそれを用いた流量特性調整方法は、磁路が変化すると、固定鉄心の吸引力が変化することに着目し、コイルの周りに形成される磁路を変化させて、印加電流に対する流量を調整する。

[0021] 電磁比例弁は、被覆部材がコイルボビンに着脱可能に装着され、製品組立後でも移動手段を操作することにより軸方向に移動する。被覆部材が軸方向に移動すると、被覆部材と中間連結体との接触面積が変動して磁気回路が変化し、磁路が広げられたり狭められたりする。磁路が広げられると、磁気回路上の磁気抵抗が低下するため、固定鉄心の吸引力が大きくなる一方、磁路が狭められると、磁気回路上の磁気抵抗が増加するため、固定鉄心の吸引力が小さくなる。可動鉄心は、固定鉄心に吸引されて移動するため、固定鉄心の吸引力の変化に応じて移動量が変化し、弁体が弁座力も離間する弁開度が変化する。よって、電磁比例弁は、被覆部材を軸方向に移動させて固定鉄心の吸引力を調整し、最終的に、印加電流と流量の比例特性である流量特性を調整することが可能である。

[0022] 具体的には、電磁比例弁の流量特性を調整する場合、各部品の部品交差を測らずに電磁比例弁を組み立て、コイルに通電しな、状態で第 1流路に流体を供給する。流体は、第 1流路から弁座まで流れて遮断される。

次に、コイルに所定の印加電流を供給し、コイルの周りに磁界を発生させ、固定鉄心を励磁する。可動鉄心は、固定鉄心の吸引力に応じて移動し、弁体を弁座力ゝら離間させる。流体は、第 1流路から弁座を通過するときに、弁体が弁座カゝら離間する弁開度によって流量調整され、第 2流路から出力される。そこで、第 2流路から出力される流体の流量を流量測定手段で測定する。

次に、流量測定手段の測定結果を見ながら移動手段を操作し、被覆部材を軸方向に移動させて被覆部材と中間連結体との接触面積を変動させることにより、固定鉄心の吸引力を変化させ、流量測定手段の測定結果を所定値に合わせる。ここで、所定値とは、コイルへの印加電流に対する目標流量をいう。これにより、電磁比例弁を希望の流量特性に調整することが可能である。

[0023] 従って、本発明の電磁比例弁の流量特性調整機構及び電磁比例弁の流量特性調整方法によれば、製品組立後でも電磁比例弁の流量特性を容易に調整することができる。

[0024] この場合に、被覆部材をネジ送り機構によって軸方向に移動させれば、ネジ送りの送り量によって被覆部材の位置を微調整することができる。

[0025] 被覆部材と固定鉄心との間に弾性部材を配設し、被覆部材に貫き通した固定ネジを弾性部材の弹圧力に抗して固定鉄心にねじ込み、被覆部材を位置調整すると、被覆部材と中間連結体の接触面積が変化する他、被覆部材と固定鉄心との間のギヤップも変化し、磁路が変化する。よって、本発明によれば、被覆部材と中間連結体の接触面積、及び、被覆部材と固定鉄心との間のギャップが相対的に変動して磁路が変化するので、固定鉄心の吸引力の変化率が大きくなり、流量特性の調整をより精密に行うことができる。

[0026] また、固定鉄心が第 1固定鉄心と第 2固定鉄心とに分割し、第 2固定鉄心を第 1固定鉄心に螺合する場合、第 1固定鉄心と第 2固定鉄心との間にギャップが設けられる。そのギャップは、第 2固定鉄心をつまんで回転させ、第 1固定鉄心に対するねじ込み量を調整することにより変化する。被覆部材は、第 2固定鉄心に面接触するよう〖こコイルボビンに被せられて、中間連結体と接触する。そのため、被覆部材は、第 2固定鉄心の位置によって位置調節され、被覆部材と中間連結体との接触面積が変化する。よって、本発明によれば、被覆部材と中間連結体の接触面積、及び、第 1固定鉄心と第 2固定鉄心との間のギャップが相対的に変動して磁路が変化するので、固定鉄心の吸引力の変化率が大きくなり、流量特性の調整をより精密に行うことができる。

[0027] また、被覆部材をコイルボビンに被せた後、被覆部材をつまんで回転させることにより、被覆部材側の雌ネジ部をコイルボビン側の雄ネジ部にねじ込むと、被覆部材が軸方向に移動する。

よって、本発明によれば、工具を用いずに被覆部材を軸方向に移動させることができ、利便性がよい。

図面の簡単な説明

[0028] [図 1]本発明の第 1実施の形態に係り、電磁比例弁の断面図であって、流量特性調整後の状態を示す。

[図 2]同じぐ電磁比例弁の断面図であって、流量特性調整前の状態を示す。

[図 3]同じぐ電磁比例弁に所定の印加磁力を与えたときの吸引力特性を示す図であつて、基本状態、第 1の状態、第 2の状態の吸引力特性を示す。

[図 4]本発明の第 2実施の形態に係り、電磁比例弁の断面図である。 [図 5]本発明の第 3実施の形態に係り、電磁比例弁の断面図である。

[図 6]本発明の第 4実施の形態に係り、電磁比例弁の断面図である。

[図 7]本発明の電磁比例弁の変更例である。

[図 8]従来の電磁比例弁の断面図である。

[図 9]流量特性を示す図である。

[図 10]従来の電磁比例弁の吸引力特性を示す図である。

符号の説明

1A 電磁比例弁

1B 電磁比例弁

1C 電磁比例弁

1D 電磁比例弁

1E 電磁比例弁

2 ボディ

3 入口流路

4 出口流路

6 弁座

8 板パネ

9 第 1コア

10 プランジャ

12 弁シート

14 第 2コア

15 第 3コア

16 コイルボビン

17 コィノレ

18 座金

19 ボンネット

22 固定ネジ

40 第 3コア 41 第 1固定鉄心

45 第 2固定鉄心

51 ボンネット

52 固定部材

61 第 3コア

62 第 1コア

63 ボンネット

71 コイルスプリング

M1〜M6 接触面積

G1〜G3 ギャップ

発明を実施するための最良の形態

[0030] 次に、本発明に係る電磁比例弁の流量特性調整機構及びそれを用いた流量特性調整方法の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

[0031] (第 1実施の形態）

まず、第 1実施の形態について説明する。図 1は、電磁比例弁 1Aの断面図であつて、流量特性調整後の状態を示す。図 2は、電磁比例弁 1Aの断面図であって、流量特性調整前の状態を示す。

電磁比例弁 1Aは、例えば、半導体製造工程のプロセスガスを制御するために用いられ、コイル 17の電磁吸引力に比例してプランジャ（「可動鉄心」に相当するもの。） 1

0を吸引移動させ、弁シート（「弁体」に相当するもの。 ) 12を弁座 6から分離させることにより、制御流体の流量制御を行うものである。

[0032] 電磁比例弁 1Aは、ボディ 2とコイルボビン 16とを第 1コア（「中間連結体」に相当するもの。） 9を介して連結し、ボンネット（「被覆部材」に相当するもの。） 19を第 1コア 9 に接触させるようにコイルボビン 14に被せることにより、外観が略円柱形状に構成されている。

[0033] ボディ 2は、入口流路（「第 1流路」に相当するもの。） 3と出口流路（「第 2流路」に相当するもの。）4とが形成されたブロック状をなす。弁室 5は、第 1流路 3と同軸上に設けられて、第 1流路 3と第 2流路 4とを連通させており、入口流路 3が開口する開口部の周りに弁座 6が環状に突設されている。ボディ 2は、弁座 6の周りに段差 7が設けられ、板パネ 8の基準面を設定している。板パネ 8は、外径がボディ 2の開口部と略同径に設定され、ボディ 2の段差 7に載置した後に第 1コア 9をボディ 2に嵌め込むことにより、外縁部がボディ 2と第 1コア 9との間で狭持される。板パネ 8の中央部には、プランジャ 10が溶接接合されている。プランジャ 10は、弁体収納部 11に弁シート 12を装着した状態で板パネ 8に重ね合わされ、板パネ 8をプランジャ 10に対してスポット溶接することにより、板パネ 8とプランジャ 10と弁シート 12を一体構造にしている。弁シート 12は、ゴム、 PTFE (ポリテトラフルォロエチレン）、 PTEE (四フッ化工チレン榭脂)などの熱可塑性を有する弾性体で形成され、弁座 6に当接するシール面に鏡面加工を施してシール性能を向上させて、る。

[0034] 第 3コア（「固定鉄心」に相当するもの。） 15は、強磁性材料を円柱形状に成形したものであり、第 2コア 14を介して第 1コア 9に圧入して溶接又はろう付けすることにより保持されている。コイルボビン 16は、磁性材料を中空円筒形状に形成したものであり、胴部にコイル 17が巻き付けられている。コイルボビン 16は、第 1コア 9と第 2コア 14 に突き当たるように第 3コア 16に嵌め合わされている。第 3コア 15は、座金（「弾性部材」に相当するもの。） 18を収納する分だけ、コイルボビン 16の中空孔内に入り込んでいる。ボンネット 19は、磁性材料を一方に開口する円筒形状に成形したものである。ボンネット 19は、貫通孔 20から座金 18を貫通して第 3コア 15のネジ孔 21にねじ込まれる固定ネジ 22により、第 3コア 15に固定されている。

[0035] ところで、第 3コア 15の下端部分は、第 2コア 14から突出し、第 1コア 9の内周面と対向して弁室 5内に存在している。第 2コア 14は、非磁性体であるのに対し、第 1コア 9と第 3コア 15は磁性体であるため、第 1コア 9と第 3コア 15との間には、磁気漏洩空間 25が環状に形成されている。また、第 1コア 9においては、ボディ 2に挿入された部分が弁室 5との側壁 (の断面）として段差状に形成されている。さらに、第 3コア 15の下端部分とプランジャ 10の中空部の位置関係は、第 3コア 15の下端部分がプランジャ 10の中空部に接触することなく挿入される関係にある。また、第 1コア 9の段差状の部分 (弁室 5の側壁）とリング状のプランジャ 10の突縁部 26との位置関係は、プランジャ 10が垂直上方向、垂直下方向の何れに移動しても、プランジャ 10の突縁部 26 が第 1コア 9の段差上の部分 (弁室 5の側壁）に接触することはない。

[0036] なお、本実施の形態では、固定ネジ 22、ボンネット 19の貫通孔 20、第 3コア 15のネジ孔 21、座金 18により「移動手段」が構成されている。また、固定ネジ 22、第 3コア 15のネジ孔 21により「ネジ送り機構」が構成されて！、る。

[0037] このような構成を有する電磁比例弁 1Aは、コイル 17に印加電流を供給していないときには、弁シート 12がプランジャ 10の自重と板パネ 8のパネ力との合成力（シール荷重）によって弁座 6に押し付けられ、弁座 6を閉じている。そのため、制御流体を入口流路 3に供給しても、制御流体は弁座 6で遮断される。

その後、コイル 17に所定の印加電流を与えると、コイル 17の周りに磁界が発生し、第 1コア 9や第 3コア 15が励磁されてプランジャ 10を板パネ 8に抗して吸引する。ブランジャ 10は、第 3コア 15や第 1コア 9との間にある磁気漏洩空間 25を埋めるように垂直上方向に無摺動で移動すると、第 3コア 15の吸引力とシール荷重がバランスする全開位置で停止し、弁シート 12が弁座 6から分離して弁座 6を開く。つまり、電磁比例弁は、コイル 17に与える印加電流による磁力に比例した開度だけ作動する。弁座 6が開くと、制御流体は、第 1流路 3から弁座 6を通過するときに、弁シート 12と弁座 6 の距離に応じた流量に制御された後、出口流路 4から出力される。

[0038] 次に、電磁比例弁 1Aの流量特性調整機構及びそれを用いた流量特性調整方法の作用について説明する。

電磁比例弁 1Aの流量特性調整機構及びそれを用いた流量特性調整方法は、磁路が変化すると、第 3コア 15の吸引力が変化することに着目し、コイル 17の周りに形成される磁路を変化させて、印加電流に対する流量を調整する。

[0039] 電磁比例弁 1Aのボンネット 19は、コイルボビン 16に着脱可能に装着され、製品組立後でも固定ネジ 22を回転させることにより軸方向に移動する（図 1及び図 2参照)。このとき、ボンネット 19と第 1コア 9とが円周方向に接触する接触面積（図 1の Ml,図 2の M2参照）が変動して、磁気回路が変化し、磁路が広げられたり狭められたりする。磁路が広げられると、磁気回路上の磁気抵抗が小さくなるため、第 3コア 15の吸引力が大きくなる。一方、磁路が狭められると、磁気回路上の磁気抵抗が大きくなり、第 3コア 15の吸引力が小さくなる。また、ボンネット 19と第 3コア 15との間には、座金 18を介してギャップ（図 1の G1, 図 2の G2参照）が設けられ、ボンネット 19が軸方向に移動したときに、ギャップが変動する。磁気は空間を流れるため、ギャップも磁気回路の一部を構成し、ギャップが変動することにより磁気抵抗が変化する。ギャップが大きくなると、磁気回路上の磁気抵抗が大きくなるため、第 3コア 15の吸引力が小さくなる。一方、ギャップが小さくなると、磁気回路上の磁気抵抗が小さくなるため、第 3コアの吸引力が大きくなる。

[0040] プランジャ 10は、第 3コア 15の吸引力に比例して移動するため、第 3コア 15の吸引力の変化に応じて動作ストローク Stが変化し、弁開度が変化する。よって、電磁比例弁 1Aは、ボンネット 19を軸方向に移動させて磁気回路 (抵抗)を変化させることにより、第 3コア 15の吸引力を調整し、最終的に、印加電流と流量の比例特性である流量特性を調整することが可能である。

このとき、第 1コア 9と第 3コア 15との接触面積の変動、及び、第 3コア 15とボンネット 19との間のギャップの変動による磁気抵抗の変化は、相乗的に作用するため、固定ネジ 22の回転量に対する吸引力の変化率が大きぐ流量特性を微少調整することができる。

[0041] 具体的には、電磁比例弁 1Aは次のようにして流量特性を調整される。図 3は、電磁比例弁 1Aに所定の印加磁力を与えたときの吸引力特性を示す図であって、基本状態、第 1の状態、第 2の状態の吸引力特性を示す。

本実施の形態の電磁比例弁 1Aは、板パネ 8が所定のパネ定数を有することを前提として、従来技術と同様、プランジャ 10の動作ストローク Stを 0. 15mmに設定すると、図 9の流量特性 Aが得られ (これを「基本状態」とする。）、プランジャ 110の動作ストローク Stを 0. 10mmに設定すると、図 9の流量特性 Bが得られ (これを「第 1の状態」とする。）、プランジャ 110の動作ストローク Stを 0. 20mmに設定すると、図 9の流量特性 Cが得られるものとする (これを「第 2の状態」とする。 )₀この条件の下、電磁比例弁 1Aの流量特性の調整について具体的に説明する。

[0042] 電磁比例弁 1Aは、図 2に示すように、板パネ 8を基準面に合わせて所定のシール荷重を確保するように組み立てられ、ボディ 2と第 1コア 9との間、第 1コア 9と第 2コア 14との間、第 2コア 14と第 3コア 15との間をそれぞれ溶接して流体漏れを防止する。このとき、電磁比例弁 1Aは、従来の電磁比例弁 100と異なり、各部品の部品公差を測って上スぺーサの厚さなどを調整せずに組み立てられる。従って、製品組立時点では、電磁比例弁 1Aは、プランジャ 10と第 3コア 15との間の距離がばらついており、必ずしも流量特性 Aに調整されてるとは限らない。ただし、電磁比例弁 1Aは、板パネ 8が基準面に合わせられ、図 3のパネ線図 Kに示すように所定のパネ定数を有するものとする。

[0043] それから、電磁比例弁 1Aの出口流路 4に図示しない流量計（「流量測定手段」に相当するもの。）を接続し、コイル 17に通電しない状態で電磁比例弁 1Aの入口流路 3に流体 (例えば、空気など）を供給する。この時点では、弁座 6が閉じているため、流体は入口流路 3から弁座 6まで流れて遮断される。

[0044] 次に、コイル 17に所定の印加電流を供給して所定の印加磁力（ここでは、 400AT) を与えると、プランジャ 10が第 1コア 9と第 3コア 15の吸引力に応じて移動し、弁シート 12を弁座 6から分離させて弁座 6を開く。流体は、入口流路 3から弁座 6を通過するときに流量調整されて出口流路 4から出力される。

[0045] 次に、出口流路 4から出力される流体の流量を図示しない流量計で測定し、その測定結果が所定値である力否かを確認する。ここで、所定値とは、コイル 17に所定の印加電流を供給したときの目標流量をいう。本実施の形態では、流量特性 Aの最大流量をいうものとする。測定された流量が流量特性 Aの最大流量である場合には、電磁比例弁 1Aはプランジャ 10の動作ストローク Stが 0. 15mm確保され、希望の流量特性 Aを確保していることを意味する。そこで、電磁比例弁 1 Aは、ボンネット 19を軸方向に移動させずに、そのままコイル 17への通電と流体の供給を停止し、図示しない流量計を出口流路 4から取り外し、流量特性の調整を終了する。

[0046] 一方、測定した流量が所定値と異なる場合には、プランジャ 10の動作ストローク St が 0. 15mm確保されておらず、電磁比例弁 1 Aが流量特性 Aに調整されていないことを意味する。この場合には、図示しない流量計が流量特性 Aの最大流量を示すように、ボンネット 19を軸方向に移動させる。ボンネット 19が第 1コア 9に対して相対的に移動すると、ボンネット 19と第 1コア 9と接触面積 Mlと、ボンネット 19と第 3コア 15との間のギャップ G1とが増減して磁路が変化し、吸引力が変化する。そのため、流量計が流量特性 Aの最大流量を示すときには、吸引力が図 3に示す吸引力カーブ XIを描く。この場合、電磁比例弁 1Aは、コイル 17に与える印加電流により発生する吸引力が板パネ 8の取付荷重より大きくなると (L1点）、プランジャ 10が動き出し、流体が流れ始める。この L1を開弁開始位置 L1に設定する。その後、電磁比例弁 1Aは、シール荷重が吸引力と F1点でバランスし、プランジャ 10が L2までする。そのため、プランジャ 10の動作ストローク Stは、 L1から L2までの距離 0. 15mmとなり、電磁比例弁 1Aは流量特性 Aに調整される。

[0047] 電磁比例弁 1Aを基本状態に組み立てた後に第 1の状態に変更する場合、電磁比例弁 1Aに流体を流し、流量計の測定結果が所定値 (ここでは、流量特性 Bの最大流量）になるように、固定ネジ 22を所定方向と反対方向に回転させ、そのネジ送りと座金 18の弹圧力とによりボンネット 19をボディ 2と反対側に向力つて軸方向に移動させる。すると、ボンネット 19と第 1コア 9との接触面積 Mlが基本状態より減少するとともに、ボンネット 19と第 3コア 15との間のギャップ G1が基本状態より大きくなり、第 3コア 15の吸引力が基本状態より小さくなる。流量計の測定結果が流量特性 Bの最大流量になった時点では、電磁比例弁 1Aは、図 3に示すように基本状態の吸引力カーブ X 1が吸引力カーブ X2に小さくなる。電磁比例弁 1Aは、ボディ 2などが溶接されて板パネ 8のセット位置を調整できないため、パネ線図 Kをずらして、開弁開始位置 L1を変更することができない。しかし、吸引力カーブ XIが全体的に吸引力カーブ X2に小さくなる分だけ、プランジャ 10の全開位置が低くなり、プランジャ 10の動作ストローク S tが 0. 10mmに小さくなる。よって、電磁比例弁 1Aは、製品組立後に部品を分解することなく、固定ネジ 22を回転させるだけで図 9に示す流量特性 Aを流量特性 Bに変更することが可能である。

[0048] 電磁比例弁 1Aを基本状態に組み立てた後に第 3の状態に変更する場合、電磁比例弁 1Aに流体を流し、流量計の測定結果が所定値 (ここでは、流量特性 Cの最大流量）になるように、固定ネジ 22を所定方向に回転させ、そのネジ送りによって座金 18 に抗してボンネット 19をボディ 2側に向かって軸方向に移動させる。すると、ボンネット 19と第 1コア 9との接触面積 Mlが基本状態より増加し、また、ボンネット 19と第 3コア 15との間のギャップ G1が基本状態より小さくなり、第 3コア 15の吸引力が大きくなる。流量計の測定結果が流量特性 Cの最大流量になった時点では、電磁比例弁 1Aは、図 3に示すように基本状態の吸引力カーブ XIが吸引力カーブ X3に大きくなる。電磁比例弁 1Aは、パネ線図 Kをずらして開弁開始位置 L1を変更することができない。しかし、吸引力カーブ XIが全体的に吸引力カーブ X3に大きくなる分だけ、プランジャ 10の全開位置が高くなり、プランジャ 10の動作ストローク Stが 0. 20mmに大きくなる。よって、電磁比例弁 1Aは、製品組立後に部品を分解することなぐ固定ネジ 22を回転させるだけで図 9に示す流量特性 Aを流量特性 Cに変更することが可能である。

[0049] なお、電磁比例弁 1Aは、固定ネジ 22のネジ送りによってボンネット 22を移動させる力座金 18がボンネット 19を常時第 3コア 15と反対方向に押し上げている。そのため、ボンネット 19はがたつくことなく保持され、電磁比例弁 1Aは安定して流量調整を行

[0050] 従って、本実施の形態の電磁比例弁 1Aの流量特性調整機構によれば、コイル 17 が巻き付けられる円筒中空形状のコイルボビン 16と、コイルボビン 16の中空孔に固設される第 3コア 15と、入口流路 3と出口流路 4とが形成されたボディ 2と、入口流路 3 と出口流路 4とを連通させる弁座 6と、弁座 6に当接又は離間する弁シート 12と、弁シート 12と一体ィ匕されて第 3コア 15と同軸上に配設されるプランジャ 10と、プランジャ 1 0を弁座 6方向に常時付勢する板パネ 8と、コイルボビン 16とボディ 2との間に介在する第 1コア 9と、第 1コア 9に接触するようにコイルボビン 16に着脱可能に被せられるボンネット 19と、を有し、第 3コア 15と第 1コア 9とボンネット 19とがコイル 17の周りを囲んで磁気回路を形成し、コイル 17に供給する印加電流に応じて第 3コア 15がプランジャ 10を板パネ 8に抗して吸引することにより、流量調整を行うものに用いられ、ボンネット 19を軸方向に移動させ、磁気回路を変化させる「移動手段」を有して!/、るので、製品組立後でも電磁比例弁 1Aの流量特性を容易に調整することができる。

[0051] 特に、部品公差を測って電磁比例弁 1Aを組み立てる必要がな、ので、組立工数を大幅に削減することができる。また、部品組立後に希望の流量特性が得られていな V、ことが判明しても、部品を分解しなくてもボンネット 19の外側から固定ネジ 22を回転させるだけで流量調整できるので、流量調整を簡単かつ短時間に行うことができる [0052] また、本実施の形態の電磁比例弁 1Aの流量特性調整機構によれば、「移動手段」は、ボンネット 19を「ネジ送り機構」により軸方向に移動させるので、ネジ送りの送り量によってボンネット 19の位置を微調整することができる。

[0053] また、本実施の形態の電磁比例弁 1Aの流量特性調整機構によれば、「移動手段」は、ボンネット 19と第 3コア 15との間に配設される座金 18と、ボンネット 19を貫いて第 3コア 15に螺合する固定ネジ 22とを有しており、ボンネット 19と第 1コア 9の接触面積 Ml、及び、ボンネット 19と第 3コア 15との間のギャップ G1が相対的に変動して磁路が変化するので、第 3コア 15の吸引力の変化率が大きくなり、流量特性の調整をより精密に行うことができる。

[0054] さらに、本実施の形態の電磁比例弁 1Aの流量特性調整機構を用いた流量特性調整方法によれば、コイル 17に印加電流を供給しない状態で入口流路 3に流体を供給し、コイル 17に所定の印加電流を供給して、出口流路 4から出力される流体の流量を図示しない流量計で測定し、図示しない流量計が所定値を測定するまで、「移動手段」によりボンネット 19を軸方向に移動させて磁路を変化させ、流量調整を行うので、製品組立後でも電磁比例弁 1Aの流量特性を容易に調整することができる。

[0055] (第 2実施の形態）

続、て、本発明の電磁比例弁の流量特性調整機構及びそれを用いた流量特性調整方法について第 2実施の形態を説明する。図 4は、電磁比例弁 1Bの断面図である本実施の形態の電磁比例弁 1Bは、第 2固定鉄心 45を第 1固定鉄心 41にねじ込む量によって磁路を変化させる点で、固定ネジ 22を第 3コア 15にねじ込む量を調整して、磁路を変化させる第 1実施の形態と相違している。よって、ここでは、第 1実施の形態と相違する点について詳細に説明し、共通する点については構成部品に第 1実施の形態と同一符号を付し、適宜説明を省略する。

[0056] 電磁比例弁 1Bは、コイルボビン 16内で第 1固定鉄心 41と第 2固定鉄心 45が螺合し、第 3コア 40を構成している。

第 1固定鉄心 41は、強磁性材料を円柱形状に成形したものであり、コイルボビン 16 の中空孔にボディ 2側力も装填されて固設されている。第 1固定鉄心 41の下端部分は、第 2コア 14力も突出して、第 1コア 9の内周面と対向しており、第 1固定鉄心 41と第 1コア 9との間に磁気漏洩空間 25が設けられている。第 1固定鉄心 41の上端面には、円筒状の突起 42が同軸上に突設され、コイルボビン 16の中空孔内に存在している。突起 42は、外周面に雄ネジが形成されている。第 1固定鉄心 41は、突起 42の端面から同軸上に固定ネジ 22を締結するためのネジ孔 43が形成されている。

[0057] 第 2固定鉄心 45は、強磁性材料を円柱形状に成形したものであり、コイルボビン 16 の中空孔にボディ 2と反対側から回転可能に挿入されている。第 2固定鉄心 45は、ボディ 2側の端面に凹部 46が穿設され、凹部 46の内周面に雌ネジが形成されている。第 2固定鉄心 45は、凹部 46の雌ネジを第 1固定鉄心 41の雄ネジに最後までねじ込んだときに、上端面がコイルボビン 16の端面とほぼ同じ高さとなるように全長が設定されている。第 2固定鉄心 45は、軸心に沿って固定ネジ 22が揷通される揷通孔 47が形成されている。

なお、本実施の形態では、「移動手段」は、第 1固定鉄心 41の凸部 42、ネジ孔 43、第 2固定鉄心 45の凹部 46、揷通孔 47、ボンネット 19の貫通孔 20、固定ネジ 20によつて構成されている。また、「ネジ送り機構」は、固定ネジ 20と第 1固定鉄心 41のネジ孔 43によって構成されて!、る。

[0058] 力かる電磁比例弁 1Bは、ボンネット 19をコイルボビン 16に被せ、固定ネジ 22をボンネット 19の貫通孔 20と第 2固定鉄心 45の揷通孔 47を貫き通し、固定ネジ 22の先端部を第 1固定鉄心 41のネジ孔 43にねじ込むことにより、ボンネット 19が着脱可能に取り付けられる。ボンネット 19は、第 2固定鉄心 45に当接して位置決めされるため、第 2固定鉄心 45がコイルボビン 19から突き出す量に応じて、第 1コア 9と円周方向に接触する接触面積 M3が変化する。

また、第 2固定鉄心 45は、第 1固定鉄心 41にねじ込まれるため、そのねじ込み量によって第 1固定鉄心 41と第 2固定鉄心 45との間に形成されるギャップ G3が変化するこのように、第 1コア 9とボンネット 19との接触面積 M3、及び、第 1固定鉄心 41と第 2固定鉄心 45との間に形成されるギャップ G3が変化することにより、コイル 17の周りに形成される磁気回路の構成が変化し、磁気抵抗が変化する。 [0059] そして、電磁比例弁 IBの流量特性を調整する場合には、出口流路 4に流量計を接続し、コイルに通電していない状態で流体を入口流路 3に供給した後、コイル 17に所定の印加電流を供給し、流量計の測定結果が所定値である力否かを確認する。希望の流量特性でない場合には、コイル 17への通電と流体の供給を停止する。固定ネジ 22を取り外してボンネット 19をコイルボビン 16から取り除くと、第 2固定鉄心 4 5が露出するので、第 2固定鉄心 45を回転させることにより、第 2固定鉄心 45の雌ネジを第 1固定鉄心 41の雄ネジにねじ込む量を調整し、ギャップ G3を調整する。それから、ボンネット 19をコイルボビン 16に被せて第 2固定鉄心 45に当接させ、固定ネジ 22をボンネット 19の貫通孔 20と第 2固定鉄心 45の揷通孔 47に貫き通し、第 1固定鉄心 41のネジ孔 43にねじ込み、ボンネット 19を第 1固定鉄心 41に固定する。ボンネット 19は、第 2固定鉄心 45がコイルボビン 16力も突出する量に応じて、第 1コア 9との接触面積 M3が調整される。そして、電磁比例弁 1Bの入口流路 3に流体を供給してから、コイル 17に所定の印加電流を再び供給し、出口流路 4から出力される流体の流量を流量計で測定する。測定結果が所定値である場合には、流量特性調整を終了し、所定値でない場合には、上述した流量特性調整を繰り返し行う。

[0060] 従って、本実施の形態の電磁比例弁 1Bの流量特性調整機構によれば、「移動手段」は、第 3コア 40を、ボディ 2側力もコイルボビン 16の中空孔に固定される第 1固定鉄心 41と、ボディ 2と反対側力もコイルボビン 16の中空孔に回転可能に装填される第 2固定鉄心 45とに分割し、第 1固定鉄心 41に第 2固定鉄心 45を螺合することと、ボンネット 19を第 2固定鉄心 45に面接触させて固定する固定ネジ 22と、を有しており、ボンネット 19と第 1コア 9の接触面積 M3、及び、第 1固定鉄心 41と第 2固定鉄心 4 5との間のギャップ G3が相対的に変動して磁路が変化するので、第 3コア 40の吸引力の変化率が大きくなり、流量特性の調整をより精密に行うことができる。

[0061] (第 3実施の形態）

続ヽて、本発明の電磁比例弁の流量特性機構及びそれを用いた流量特性調整方法の第 3実施の形態について説明する。図 5は、電磁比例弁 1Cの断面図である。本実施の形態の電磁比例弁 1Cは、ボンネット 51を回転させて軸方向に移動させる点で、固定ネジ 22を回転させてボンネット 51を軸方向に移動させる第 1実施の形態の電磁比例弁 1Aと相違している。よって、ここでは、第 1実施の形態と相違する点について詳細に説明し、共通する点については、図面に第 1実施の形態と同一符号を付し、適宜説明を省略する。

[0062] 電磁比例弁 1Cは、強磁性材料を円柱形状に形成した固定部材 52を備え、固定部材 52の貫通孔 53に揷通した固定ネジ 22を第 3コア 15のネジ孔 21に締結することにより、固定部材 52を第 3コア 15に固定している。固定部材 52は、外径力コイルボビン 16の外径と略同径を有し、外周面に雄ネジが形成されて！、る。

ボンネット 51は、強磁性材料を円筒形状に形成したものであり、一端開口内周面に雌ネジが形成されている。ボンネット 51は、雌ネジが固定部材 52の雄ネジに螺合して保持されている。

なお、本実施の形態では、「移動手段」と「ネジ送り機構」は、ボンネット 51の雌ネジと固定部材 52の雄ネジによって構成されている。

[0063] 電磁比例弁 1Cの流量特性を調整する場合、出口流路 4に流量計を接続した後、コィル 17に通電しない状態で入口流路 3に流体を供給し、その後、コイル 17に所定の印加電流を供給して流量計で流量を測定する。

流量が所定値でない場合には、ボンネット 51をつまんで回転方向に力をカ卩える。すると、固定部材 52は固定ネジ 22で固定されて回転しないものの、ボンネット 51が固定部材 52に対して回転し、ネジ送りによって軸方向に移動する。そのため、ボンネット 51と第 1コア 9の接触面積 M4が変動して、磁路が変化し、流量が変化する。流量計が所定値を測定したら、ボンネット 51の回転を止めて、流量特性の調整を終了する。

[0064] 従って、本実施の形態の電磁比例弁 1Cの流量特性調整機構及びそれを用いた流量特性調整方法によれば、「移動手段」は、ボンネット 51側に設けられた雌ネジと、コィルボビン 2側の固定部材 52に設けられた雄ネジと力もなるので、工具を用いずにボンネット 51を直接回転させて軸方向に移動させることができ、利便性がよい。

[0065] (第 4実施の形態）

続ヽて、本実施の形態の電磁比例弁 1Dの流量特性調整機構及びそれを用いた流量特性調整方法の第 4実施の形態について説明する。図 6は、電磁比例弁 1Dの断面図である。

本実施の形態の電磁比例弁 IDは、ボンネット 63を回転させて軸方向に移動させる点で、固定ネジ 22を回転させてボンネット 19を軸方向に移動させる第 1実施の形態の電磁比例弁 1Aと相違している。よって、ここでは、第 1実施の形態と相違する点につい詳細に説明し、共通する点については、第 1実施の形態と同一符号を付し、説明を適宜省略する。

[0066] 電磁比例弁 1Dは、第 3コア 61が強磁性材料を円柱形状に成形したものであり、第 2コア 14を介して第 1コア 62に圧入され、溶接又はろう付けで保持されている。第 3コァ 61は、下端部分が第 2コア 14力も突き出し、第 1コア 62の内周面に対向している。また、第 3コア 61の上端部分は、コイルボビン 16力突き出している。ボンネット 63は、磁性材料を一方に開口する円筒形状に成形したものであり、閉端面に貫通孔 64が形成されている。ボンネット 63は、開口部内周面に雌ネジが形成され、第 1コア 62の外周面に形成された雄ネジに螺合している。このとき、ボンネット 63は、貫通孔 64の内周面が第 3コア 61に摺接し、第 3コア 61に案内されて移動する。

なお、本実施の形態では、「移動手段」と「ネジ送り機構」は、ボンネット 63の雌ネジと第 1コア 62の雄ネジによって構成されている。

[0067] 電磁比例弁 1Dの流量特性を調整する場合、出口流路 4に流量計を接続した後、コィル 17に印加電流を供給しない状態で入口流路 3に流体を供給し、その後、コイル 1 7に所定の印加電流を供給して流量を測定する。

流量計の測定結果が所定値でな、場合には、ボンネット 63をつまんで回転させる。ボンネット 63を回転させると、ボンネット 63の雌ネジと第 1コア 62の雄ネジとのねじ送りにより、ボンネット 63がー定量ずつ軸方向に移動する。そのため、ボンネット 63と第 1コア 62との接触面積 M5、及び、ボンネット 63と第 3コア 61との接触面積 M6が相対的に変化して、磁気抵抗が変化し、流量が変化する。流量が所定値になったら、ボンネット 63の回転を止めて、流量特性の調整を終了する。

[0068] 従って、本実施の形態の電磁比例弁 1Dの流量特性調整機構及びそれを用いた流量特性調整方法によれば、「移動手段」は、ボンネット 63に設けられた雌ネジと、コィルボビン 16側の第 1コア 62に設けられた雄ネジとからなるので、工具を用いずにボンネット 63を軸方向に移動させることができ、利便性がょ、。

尚、本発明の実施の形態について説明した力本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。

(1)例えば、上記第 1実施の形態では、弾性部材として座金 18を用いたが、図 7に示す電磁比例弁 1Eのように、第 3コア 15とボンネット 19との間にコイルスプリング 71を縮設してちよい。

(2)例えば、上記第 1実施の形態では、固定ネジ 22が露出しているが、固定ネジ 22 を隠す栓をボンネット 19に取り付けるようにしてもよい。

(3)例えば、上記実施の形態の他、ボンネット 19の厚みを変えたり、固定ネジ 22の長さや材質を変えて、磁気回路の磁気抵抗を変化させ、流量調整するようにしてもよい

(4)例えば、上記実施の形態では、フラッパ方式の電磁比例弁 1A, IB, 1C, ID, 1 Eについて説明したが、プランジャ方式の電磁比例弁などに流量特性調整機構を設けてもよい。

(5)例えば、上記実施の形態では、電磁比例弁を半導体製造装置に用いたが、使用用途はこれに限定されない。

(6)例えば、上記実施の形態の電磁比例弁 1A〜： LEでは、 3を入口流路、 4を出口流路としたが、 3を出口流路、 4を入口流路としてもよい。

Claims

請求の範囲

[1] コイルが巻き付けられる円筒中空形状のコイルボビンと、前記コイルボビンの中空孔に固設される固定鉄心と、第 1流路と第 2流路とが形成されたボディと、前記第 1流路と前記第 2流路とを連通させる弁座と、前記弁座に当接又は離間する弁体と、前記弁体と一体化されて前記固定鉄心と同軸上に配設される可動鉄心と、前記可動鉄心を前記弁座方向に常時付勢する付勢部材と、前記コイルボビンと前記ボディとの間に介在する中間連結体と、前記中間連結体に接触するように前記コイルボビンに着脱可能に被せられる被覆部材と、を有し、前記固定鉄心と前記中間連結体と前記被覆部材とが前記コイルの周りを囲んで磁気回路を形成し、前記コイルに供給する印加電流に応じて前記固定鉄心が前記可動鉄心を前記付勢部材に抗して吸引することにより、流量調整を行う電磁比例弁に用いられ、

前記被覆部材を軸方向に移動させ、前記磁気回路を変化させる移動手段を有すること、を特徴とする電磁比例弁の流量特性調整機構。

[2] 請求項 1に記載する電磁比例弁の流量特性調整機構にお！ヽて、

前記移動手段は、

前記被覆部材をネジ送り機構により軸方向に移動させるものであること、を特徴とする電磁比例弁の流量特性調整機構。

[3] 請求項 1又は請求項 2に記載する電磁比例弁の流量特性調整機構にお、て、前記移動手段は、

前記被覆部材と前記固定鉄心との間に配設される弾性部材と、

前記被覆部材を貫いて前記固定鉄心に螺合する固定ネジとを有することを特徴とする電磁比例弁の流量特性調整機構。

[4] 請求項 1又は請求項 2に記載する電磁比例弁の流量特性調整機構におヽて、前記移動手段は、

前記固定鉄心を、前記ボディ側から前記コイルボビンの中空孔に固定される第 1固定鉄心と、前記ボディと反対側から前記コイルボビンの中空孔に回転可能に装填される第 2固定鉄心とに分割し、前記第 1固定鉄心に前記第 2固定鉄心を螺合することと、前記被覆部材を前記第 2固定鉄心に面接触させて固定する固定部材と、を有することを特徴とする電磁比例弁の流量特性調整機構。

[5] 請求項 1に記載する電磁比例弁の流量特性調整機構にお！ヽて、

前記移動手段は、

前記被覆部材側に設けられた雌ネジ部と、

前記コイルボビン側に設けられた雄ネジ部とからなることを特徴とする電磁比例弁の流量特性調整機構。

[6] 請求項 1乃至請求項 5の何れか 1つに記載の電磁比例弁の流量特性調整機構を用いて、

前記コイルに印加電流を供給しない状態で前記第 1流路に流体を供給し、前記コイルに所定の印加電流を供給して、前記第 2流路から出力される流体の流量を流量測定手段で測定し、

前記流量測定手段が所定値を測定するまで、前記移動手段により前記被覆部材を軸方向に移動させて磁路を変化させ、流量調整を行うことを特徴とする電磁比例弁の流量特性調整機構を用いた流量特性調整方法。