WO2005092800A1 - 接着剤含有排水の処理方法 - Google Patents

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adhesive
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Masatake Okumura
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Kurita Water Industries Ltd.
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    • C02F1/72—Treatment of water, waste water, or sewage by oxidation

Definitions

  • the present invention relates to a method for treating wastewater containing an adhesive such as washing wastewater discharged in the process of manufacturing semiconductor devices.
  • an ultraviolet-curable adhesive in the form of a double-sided tape is usually used to fix the semiconductor wafer to a cutting device.
  • the cutting of the semiconductor wafer generates wafer fine powder to which the adhesive has adhered and excess adhesive, which are removed by washing with ultrapure water.
  • the wafer cleaning wastewater contains the adhesive component dissolved or the adhesive adhered to the wafer fine powder.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and it is possible to effectively remove an adhesive component contained in wastewater and suppress a decrease in flux in a membrane separation treatment. It is an object of the present invention to provide a method for treating adhesive-containing wastewater that can be performed. Means for solving the problem
  • the present invention provides an adhesive-containing liquid, which comprises oxidizing wastewater containing an adhesive component that solidifies by oxidation, and thereafter separating the adhesive component by a membrane separation process.
  • an adhesive-containing liquid which comprises oxidizing wastewater containing an adhesive component that solidifies by oxidation, and thereafter separating the adhesive component by a membrane separation process.
  • the adhesive component contained in the waste water can be solidified, and the solidified adhesive component is subjected to membrane separation treatment. It can be effectively removed.
  • the solidified adhesive component is less likely to block the membrane than the non-solidified adhesive component, so that a decrease in flux in the membrane separation treatment can be suppressed.
  • the oxidation treatment is performed by irradiation with ultraviolet rays
  • this oxidation treatment is not performed until the adhesive component is oxidized and decomposed, but only to the extent that the adhesive component is solidified. That is, the “acid treatment” in the present specification is different from the “oxidative decomposition treatment”.
  • the oxidizing agent is hydrogen peroxide (Invention 4). This is because hydrogen peroxide reacts with the adhesive component and decomposes, so that the ion component does not remain in the treated water.
  • the membrane separation treatment uses at least one kind of separation membrane selected from the group consisting of a microfiltration membrane, an ultrafiltration membrane, and a reverse osmosis membrane. (Invention 5).
  • the adhesive component contained in the wastewater can be effectively removed by solidification by oxidation of the adhesive component, and at the same time, in the membrane separation treatment. A decrease in flux can be suppressed.
  • the treated water from which the adhesive component has been removed in this manner can be reused as pure water, intermediate water, or the like.
  • FIG. 1 is a flow chart showing a method for treating adhesive-containing wastewater according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a flow diagram showing a method for treating adhesive-containing wastewater according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a flow chart showing a method for treating adhesive-containing wastewater according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a flowchart showing a method for treating adhesive-containing wastewater according to the first embodiment of the present invention.
  • wastewater containing an adhesive component solidified by oxidation and having a TOC (total organic carbon) concentration of about 100 to 5000 ppb such as cleaning wastewater discharged in the process of manufacturing semiconductor devices.
  • TOC total organic carbon
  • turbid substances contained in raw water are removed.
  • a sand filtration device, a pressure flotation device, a coagulation sedimentation device, etc. can be used. It is preferable not to use a membrane separation device to cause a decrease.
  • the turbid water from which the turbid matter has been removed as described above is irradiated with ultraviolet rays.
  • the adhesive component contained in the water to be treated can be oxidized and solidified.
  • the adhesive component contained in the water to be treated is an ultraviolet curable resin such as an acrylate copolymer
  • the adhesive component is polymerized and solidified by irradiating the adhesive component with ultraviolet light. .
  • the light source of the ultraviolet light to be irradiated is not particularly limited, and for example, a high-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, or an electrodeless discharge tube can be used.
  • This ultraviolet irradiation treatment is performed to promote solidification, which is an intrinsic property of the adhesive component contained in the water to be treated, and is performed to oxidize and decompose the adhesive component. Therefore, the process can be performed with a small amount of ultraviolet irradiation, and therefore, the power cost can be reduced.
  • a FI (fouling index) value which is an index for determining the quality of water supplied to a reverse osmosis membrane, can be used.
  • the adhesive component is separated from the treated water irradiated with the ultraviolet rays as described above by a membrane separation treatment. Since the adhesive component has been solidified by irradiation with ultraviolet rays, it can be effectively removed by this membrane separation treatment. The flux is maintained high because the solidified adhesive component is unlikely to block the separation membrane.
  • the type of the separation membrane is not particularly limited, and for example, one or more of a microfiltration membrane, an ultrafiltration membrane, and a reverse osmosis membrane can be appropriately used.
  • treated water from which the adhesive component has been removed as described above can be obtained.
  • the TOC concentration of this treated water can be as low as 10 ⁇ : LOOOppb. Can be reused.
  • FIG. 2 is a flowchart showing a method for treating adhesive-containing wastewater according to a second embodiment of the present invention.
  • an oxidizing agent is added to raw water to oxidize and solidify an adhesive component contained in the raw water.
  • Oxidizing agents that can be used here include, for example, hydrogen peroxide (H 2 O), chlorine (C1), etc., which decomposed by reaction with the adhesive component.
  • Hydrogen peroxide is particularly preferred, since the ionic components will not remain in the treated water even afterwards.
  • the amount of the oxidizing agent added in the present embodiment is preferably 300 to 30,000 g-oxidizing agent Zg-TOC.
  • suspended matter contained in the treated water oxidized as described above is removed.
  • This turbidity removal may be performed in the same manner as the method for treating the adhesive-containing wastewater according to the first embodiment.
  • the excess oxidizing agent is removed from the turbid water from which the turbid matter has been removed. If a large amount of oxidizing agent is used to solidify the adhesive component, unreacted oxidizing agent may remain in the treated water. When water in which the oxidizing agent remains is passed through the separation membrane in this manner, the action of the oxidizing agent may deteriorate the membrane surface of the separation membrane, and may deteriorate the performance of the separation membrane. Therefore, it is preferable to remove the excess oxidizing agent contained in the water to be treated before performing the membrane separation treatment.
  • the method of removing the oxidizing agent is not particularly limited, and for example, activated carbon treatment, addition of a reducing agent, and the like can be performed.
  • activated carbon treatment hydrogen peroxide or chlorine as an oxidizing agent can be decomposed by contact with activated carbon.
  • An activated carbon packed tower or the like can be used for the activated carbon treatment.
  • the solidified adhesive component can be adsorbed and removed to some extent by the activated carbon treatment.
  • the oxidizing agent can be converted into a material that does not adversely affect the separation membrane.
  • the reducing agent for example, Na SO, NaHSO, etc. can be used.
  • the adhesive component is separated from the treated water from which the oxidizing agent has been removed as described above, by a membrane separation treatment. Since the adhesive component has been solidified by the addition of the oxidizing agent, it can be effectively removed by this film separation treatment. The flux is maintained high because the solidified adhesive component is unlikely to block the separation membrane.
  • the membrane separation treatment can be performed in the same manner as in the method for treating the adhesive-containing wastewater according to the first embodiment.
  • treated water from which the adhesive component has been removed as described above can be obtained.
  • the TOC concentration of this treated water can be around 10 ⁇ : LOOOppb, and it can be reused as pure water, middle water, etc.
  • FIG. 3 is a flowchart showing a method for treating adhesive-containing wastewater according to a third embodiment of the present invention.
  • an oxidizing agent is added to raw water to oxidize and solidify an adhesive component contained in raw water.
  • This oxidation treatment can be performed in the same manner as in the method for treating the adhesive-containing wastewater according to the second embodiment.
  • the oxidation treatment by ultraviolet irradiation is performed at a later stage, The amount can be reduced, and it is possible to prevent the oxidizing agent from remaining in the treated water.
  • the amount of the oxidizing agent added in the present embodiment is preferably 10 to: LOOOg-oxidizing agent / g-TOC.
  • suspended matter contained in the treated water oxidized as described above is removed.
  • This turbidity removal may be performed in the same manner as the method for treating the adhesive-containing wastewater according to the first embodiment.
  • the turbid water from which the turbid matter has been removed is irradiated with ultraviolet rays.
  • This ultraviolet irradiation treatment can be performed in the same manner as the method for treating the adhesive-containing wastewater according to the first embodiment.
  • the oxidizing treatment by adding an oxidizing agent is performed in the former stage. , Some degree of contact Since the adhesive component has already been solidified, the irradiation amount of ultraviolet rays can be reduced, and the power cost can be further reduced.
  • the adhesive component is separated from the treated water irradiated with ultraviolet rays as described above by a membrane separation treatment. Since the adhesive component is solidified by the addition of the oxidizing agent and the irradiation of ultraviolet rays, it can be effectively removed by this membrane separation treatment. The flux is maintained high because the solidified adhesive component is unlikely to block the separation membrane.
  • the membrane separation treatment can be performed in the same manner as the method for treating the adhesive-containing wastewater according to the first embodiment.
  • treated water from which the adhesive component has been removed as described above can be obtained.
  • the TOC concentration of this treated water can be around 10 ⁇ : LOOOppb, and it can be reused as pure water, middle water, etc.
  • the oxidizing agent is removed by performing the oxidizing agent removing process in the same manner as in the method for treating the adhesive-containing wastewater according to the second embodiment. Is also good. Further, the order of addition of the oxidizing agent as the oxidizing treatment and the treatment order of the irradiation with the ultraviolet ray are not particularly limited, and the oxidizing agent may be added after the irradiation with the ultraviolet ray.
  • the turbidity treatment is almost completely contained in the wastewater! , May be replaced with other processing. Further, other processes such as an ion exchange process may be added as necessary.
  • the method for treating adhesive-containing wastewater of the present invention is useful, for example, for the treatment of cleaning wastewater discharged in the process of manufacturing semiconductor devices, and also for reuse.

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Abstract

　酸化によって固化する接着剤成分を含有する排水に酸化剤を添加し又は紫外線を照射して、接着剤成分を酸化し固化させ、その後、逆浸透膜、精密濾過膜又は限外濾過膜による膜分離処理によって接着剤成分を分離する。これにより、排水中に含まれる接着剤成分を効果的に除去することができるとともに、膜分離処理におけるフラックスの低下を抑制することができる。

Description

明 細 書
接着剤含有排水の処理方法
技術分野
[0001] 本発明は、半導体デバイスの製造過程で排出される洗浄排水などの接着剤を含有 する排水の処理方法に関する。
背景技術
[0002] 半導体デバイスの製造過程における半導体ウェハの切断工程においては、半導体 ウェハを切断用機器に固定するために、通常、両面テープ状になった紫外線硬化性 の接着剤が用いられる。半導体ウェハの切断により、接着剤が付着したウェハ微粉ゃ 余剰接着剤が発生するが、これらは超純水により洗浄除去される。その結果、ウェハ 洗浄排水には、接着剤成分が溶存したり、接着剤がウェハ微粉に付着した状態で存 在する。
[0003] このような接着剤成分を含有する排水から接着剤成分を除去するために、従来は、 活性炭による接着剤成分の吸着処理、紫外線照射による接着剤成分の酸化分解処 理、又は逆浸透膜、限外濾過膜若しくは精密濾過膜による接着剤成分の膜分離処 理を行っていた。
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0004] し力しながら、活性炭による接着剤成分の吸着処理においては、活性炭への接着 剤成分の吸着量が少ないため、排水から接着剤成分を完全に除去するためには大 量の活性炭、そして大きな吸着処理装置が必要になり、処理コストが高くなるという問 題があった。
[0005] また、紫外線によって接着剤成分を酸化分解するためには、非常に大きな紫外線 照射量を必要とするため、電力コストが著しく高くなるとともに紫外線照射装置が大き くなるという問題があった。
[0006] さらに、逆浸透膜、限外濾過膜又は精密濾過膜による膜分離処理においては、接 着剤成分が膜面に付着することにより透過流束 (フラックス)が低下するという問題が あった。また、特に精密濾過膜では、排水中に溶存する接着剤成分を除去すること ができな!/、と!/、う問題もあった。
[0007] 本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、排水中に含まれる接着剤 成分を効果的に除去することができるとともに、膜分離処理におけるフラックスの低下 を抑制することのできる接着剤含有排水の処理方法を提供することを目的とする。 課題を解決するための手段
[0008] 上記課題を解決するために、本発明は、酸化によって固化する接着剤成分を含有 する排水を酸化処理し、その後膜分離処理により接着剤成分を分離することを特徴 とする接着剤含有排水の処理方法を提供する (発明 1)。
[0009] 上記発明（発明 1)によれば、排水に酸ィ匕処理を行うことで、排水中に含まれる接着 剤成分を固化させることができ、その固化した接着剤成分を膜分離処理によって効 果的に除去することができる。固化した接着剤成分は、固化していない接着剤成分と 比較して膜を閉塞し難いため、膜分離処理においてフラックスの低下を抑制すること ができる。
[0010] 上記発明（発明 1)にお ヽては、前記酸化処理として、酸化剤の添加又は紫外線の 照射を行うこと (発明 2)、あるいは酸化剤の添加及び紫外線の照射を行うこと (発明 3 )が好ましい。なお、酸化剤の添加及び紫外線の照射を行う場合には、両処理を別 工程で行ってもよぐその場合、両処理の順序は限定されないものとする。
[0011] ここで、酸化処理を紫外線の照射によって行う場合、この酸化処理は、接着剤成分 を酸化分解するまでには至らない、接着剤成分を固化する程度に留まるものとする。 すなわち、本明細書における「酸ィ匕処理」は、「酸化分解処理」とは異なるものとする。
[0012] 酸化処理として酸化剤の添加のみを行う場合には、紫外線照射装置を使用する必 要がなぐまた電力コストがかからないという利点があるが、接着剤成分を確実に固化 させるために酸化剤を多く使用した結果、余った酸化剤を除去する必要が生じる場 合がある。一方、酸化処理として紫外線の照射のみを行う場合には、所定の電力コス トが力かるものの、酸化剤除去処理は不要である。
[0013] 上記発明（発明 3)のように、酸化剤添加及び紫外線照射の両者を併用した場合に は、酸化剤を過剰に添加しなくても済むため、酸化剤除去処理が不要となり、また、 紫外線の照射に力かる電力コストも低く抑えることができ、結果的に接着剤含有排水 の処理に力かるコストを低減することができる。
[0014] 上記発明（発明 2, 3)においては、前記酸化剤が、過酸ィ匕水素であることが好まし い (発明 4)。過酸化水素は、接着剤成分と反応して分解した後に、処理水中にィォ ン成分を残留させな ヽからである。
[0015] 上記発明 (発明 1〜4)にお 、ては、前記膜分離処理を、精密濾過膜、限外濾過膜 及び逆浸透膜からなる群力 選ばれる少なくとも 1種の分離膜を使用して行うことが 好ましい (発明 5)。
発明の効果
[0016] 本発明の接着剤含有排水の処理方法によれば、接着剤成分の酸化による固化に よって、排水中に含まれる接着剤成分を効果的に除去することができるとともに、膜 分離処理におけるフラックスの低下を抑制することができる。このようにして接着剤成 分が除去された処理水は、純水原水、中水などに再利用することができる。
図面の簡単な説明
[0017] [図 1]図 1は、本発明の第 1の実施形態に係る接着剤含有排水の処理方法を示すフ ロー図である。
[図 2]図 2は、本発明の第 2の実施形態に係る接着剤含有排水の処理方法を示すフ ロー図である。
[図 3]図 3は、本発明の第 3の実施形態に係る接着剤含有排水の処理方法を示すフ ロー図である。
発明を実施するための最良の形態
[0018] 〔第 1の実施形態〕
以下、本発明の第 1の実施形態について説明する。
図 1は、本発明の第 1の実施形態に係る接着剤含有排水の処理方法を示すフロー 図である。
[0019] 本実施形態においては、半導体デバイスの製造過程で排出される洗浄排水等、酸 化によって固化する接着剤成分を含有し、 TOC (全有機炭素)濃度が 100〜5000p pb程度である排水が処理対象水 (原水）となる（以下の実施形態においても同じ)。 [0020] 本実施形態では、最初に、原水中に含まれる濁質を除去する。原水中の濁質の除 去手段としては、例えば、砂濾過装置、加圧浮上装置、凝集沈殿装置などを使用す ることができるが、ここで膜分離装置を使用すると接着剤成分によりフラックスの低下 を招くため、膜分離装置は使用しないことが好ましい。
[0021] 次いで、上記のようにして濁質を除去した除濁水に対し、紫外線を照射する。紫外 線を照射することにより、被処理水中に含まれる接着剤成分を酸化し固化させること ができる。例えば、被処理水中に含まれる接着剤成分がアクリル酸エステル共重合 体などの紫外線硬化性榭脂である場合、この接着剤成分に紫外線が照射されること により、接着剤成分は重合し固化する。
[0022] 照射する紫外線の光源としては特に限定されるものではなぐ例えば、高圧水銀灯 、メタルノヽライドランプ又は無電極放電管などを使用することができる。
[0023] この紫外線照射処理は、被処理水中に含まれる接着剤成分が有する本来の性質 である固化を促進させるために行うものであり、接着剤成分を酸ィ匕分解するために行 うものではないため、少ない紫外線照射量で処理を行うことができ、したがって、電力 コストを低く抑えることができる。
[0024] 本実施形態における紫外線の照射量は、 0. 02-0. 2kWhZm3であることが好ま しい。
[0025] なお、接着剤成分の固化変性の判断指標としては、逆浸透膜給水の水質判断指 標である FI (fouling index)値を用いることができ、 JIS K3802に準拠して測定し、 FI
=4以下であることが好ましい。
[0026] 最後に、上記のようにして紫外線を照射した処理水から、接着剤成分を膜分離処 理により分離する。接着剤成分は紫外線照射によって固化しているため、この膜分離 処理によって効果的に除去することができる。また、固化した接着剤成分は分離膜を 閉塞し難いため、フラックスは高く維持される。
[0027] 分離膜の種類としては特に限定されるものではなぐ例えば、精密濾過膜、限外濾 過膜、逆浸透膜などの 1種又は 2種以上を適宜使用することができる。
[0028] 本実施形態では、以上のようにして接着剤成分を除去した処理水を得ることができ る。この処理水の TOC濃度は、 10〜： LOOOppb程度となり得、純水原水、中水などに 再利用することができる。
[0029] 〔第 2の実施形態〕
次に、本発明の第 2の実施形態について説明する。
図 2は、本発明の第 2の実施形態に係る接着剤含有排水の処理方法を示すフロー 図である。
[0030] 本実施形態では、最初に、原水に対して酸化剤を添加し、原水中に含まれる接着 剤成分を酸化し固化させる。ここで使用することのできる酸化剤としては、例えば、過 酸化水素 (H O )、塩素 (C1 )などが挙げられるが、接着剤成分との反応で分解した
2 2 2
後にも、イオン成分を処理水中に残留させな 、過酸化水素が特に好まし 、。
[0031] 本実施形態における酸化剤の添加量は、 300〜30000g—酸化剤 Zg— TOCで あることが好ましい。
[0032] なお、酸化剤として過酸化水素を使用するときは、過酸ィ匕水素を添加する前にあら 力じめ原水の pHを 8〜10程度に調整しておくことが好ましい。原水の pHをこの範囲 内に調整することにより、過酸ィ匕水素の添加量を低減することができる。
[0033] 次に、上記のようにして酸化処理した処理水に含まれる濁質を除去する。この濁質 除去は、上記第 1の実施形態に係る接着剤含有排水の処理方法と同様にして行え ばよい。
[0034] 続ヽて、濁質を除去した除濁水から、余剰の酸化剤を除去する。接着剤成分を確 実に固化させるために酸化剤を多く使用すると、処理水中に未反応の酸化剤が残存 する場合がある。このように酸化剤が残存する水を分離膜に通すと、その酸化剤の作 用により分離膜の膜面が劣化し、分離膜の性能が低下するおそれがある。そのため 、膜分離処理を行う前に、被処理水中に含まれる余剰の酸化剤を除去することが好 ましい。
[0035] 酸化剤の除去方法としては特に限定されるものではないが、例えば、活性炭処理 や、還元剤の添加などを行うことができる。活性炭処理によれば、酸化剤としての過 酸ィ匕水素や塩素を活性炭と接触させて分解することができる。活性炭処理には、活 性炭充填塔などを使用することができる。なお、この活性炭処理により、固化した接 着剤成分をある程度吸着除去することもできる。 [0036] また、還元剤を使用すれば、酸化剤を、分離膜に悪影響を与えないものに変換す ることができる。還元剤としては、例えば、 Na SO、 NaHSO等を使用することがで
2 3 3
きる。
[0037] 最後に、上記のようにして酸化剤を除去した処理水から、接着剤成分を膜分離処 理により分離する。接着剤成分は酸化剤の添加によって固化しているため、この膜分 離処理によって効果的に除去することができる。また、固化した接着剤成分は分離膜 を閉塞し難いため、フラックスは高く維持される。なお、膜分離処理は、上記第 1の実 施形態に係る接着剤含有排水の処理方法と同様にして行うことができる。
[0038] 本実施形態では、以上のようにして接着剤成分を除去した処理水を得ることができ る。この処理水の TOC濃度は、 10〜： LOOOppb程度となり得、純水原水、中水などに 再利用することができる。
[0039] 〔第 3の実施形態〕
続いて、本発明の第 3の実施形態について説明する。
図 3は、本発明の第 3の実施形態に係る接着剤含有排水の処理方法を示すフロー 図である。
[0040] 本実施形態では、最初に、原水に対して酸化剤を添加し、原水中に含まれる接着 剤成分を酸化し固化させる。この酸化処理は上記第 2の実施形態に係る接着剤含有 排水の処理方法と同様にして行うことができるが、本実施形態では、後段で紫外線照 射による酸化処理を行うため、酸化剤の添加量を低減することができ、したがって処 理水中に酸化剤が残存することを防止することが可能である。
[0041] 本実施形態における酸化剤の添加量は、 10〜： LOOOg—酸化剤/ g— TOCである ことが好ましい。
[0042] 次に、上記のようにして酸化処理した処理水に含まれる濁質を除去する。この濁質 除去は、上記第 1の実施形態に係る接着剤含有排水の処理方法と同様にして行え ばよい。
[0043] 続いて、濁質を除去した除濁水に紫外線を照射する。この紫外線照射処理は上記 第 1の実施形態に係る接着剤含有排水の処理方法と同様にして行うことができるが、 本実施形態では、前段で酸化剤の添加による酸ィ匕処理を行っており、ある程度の接 着剤成分は既に固化しているため、紫外線の照射量を低減することができ、電力コス トをより低く抑えることができる。
[0044] 本実施形態における紫外線の照射量は、 0. 01-0. lkWhZm3であることが好ま しい。
[0045] 最後に、上記のようにして紫外線を照射した処理水から、接着剤成分を膜分離処 理により分離する。接着剤成分は酸化剤の添加及び紫外線の照射によって固化して いるため、この膜分離処理によって効果的に除去することができる。また、固化した接 着剤成分は分離膜を閉塞し難いため、フラックスは高く維持される。なお、膜分離処 理は、上記第 1の実施形態に係る接着剤含有排水の処理方法と同様にして行うこと ができる。
[0046] 本実施形態では、以上のようにして接着剤成分を除去した処理水を得ることができ る。この処理水の TOC濃度は、 10〜： LOOOppb程度となり得、純水原水、中水などに 再利用することができる。
[0047] なお、本実施形態にぉ 、ても、余剰の酸化剤が存在する場合には、第 2の実施形 態に係る接着剤含有排水の処理方法と同様に酸化剤除去処理を行ってもよい。また 、酸化処理としての酸化剤の添加及び紫外線の照射の処理順序は、特に限定される ものではなく、紫外線を照射した後に酸化剤を添加してもよ 、。
[0048] 〔その他の実施形態〕
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであ つて、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態 に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物を も含む趣旨である。
[0049] 例えば、上記第 1、第 2及び第 3の実施形態における除濁処理は、排水中に濁質が ほとんど含まれて!/、な 、場合には省略してもよ 、し、ある 、は他の処理に置換しても よい。また、必要に応じて、イオン交換処理などの他の処理を追加してもよい。
産業上の利用可能性
[0050] 本発明の接着剤含有排水の処理方法は、例えば、半導体デバイスの製造過程で 排出される洗浄排水の処理、さらには再利用に有用である。

Claims

請求の範囲
[1] 酸化によって固化する接着剤成分を含有する排水を酸化処理し、その後膜分離処 理により接着剤成分を分離することを特徴とする接着剤含有排水の処理方法。
[2] 前記酸化処理として、酸化剤の添加又は紫外線の照射を行うことを特徴とする請求 項 1に記載の接着剤含有排水の処理方法。
[3] 前記酸化処理として、酸化剤の添加及び紫外線の照射を行うことを特徴とする請求 項 1に記載の接着剤含有排水の処理方法。
[4] 前記酸化剤が、過酸ィ匕水素であることを特徴とする請求項 2又は 3に記載の接着剤 含有排水の処理方法。
[5] 前記膜分離処理を、精密濾過膜、限外濾過膜及び逆浸透膜からなる群カゝら選ばれ る少なくとも 1種の分離膜を使用して行うことを特徴とする請求項 1〜4のいずれかに 記載の接着剤含有排水の処理方法。
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