WO2005023474A1 - 硬脆性材のエンドミル切削加工方法 - Google Patents

硬脆性材のエンドミル切削加工方法 Download PDF

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cutting
ball end
ball
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Takashi Matsumura
Takenori Ono
Naoki Yajima
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Tokyo Denki University
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Definitions

  • the present invention relates to an end mill cutting method for a hard and brittle material using a ball end mill or a square end mill, and particularly to a method for cutting a vitreous inorganic material such as glass and a hard brittle inorganic material such as single crystal silicon.
  • the present invention relates to an end mill cutting method for a hard and brittle material that performs fine grooving on a material.
  • micro TAS which is known as Lab on a chip
  • Lab on a chip is frequently used in the fields of chemistry, pharmaceuticals, medical treatment, etc., and performs cutting of fine grooves etc. on substrate materials such as vitreous inorganic materials.
  • Technology is important.
  • End milling includes ball end milling and square end milling.
  • the ball end mill 101 has a shape as shown in FIG. 1, and the square end mill 113 has a shape as shown in FIG.
  • the ball end mill 101 is cut so that the rotation axis 103 of the ball end mill 101 is substantially perpendicular to the processing side surface 107 of the work material 105. And moved in the direction of the arrow.
  • the bite A of the cutting edge 109 with a small cutting thickness shown by the solid line in Fig. 2 is a detached portion B of the cutting blade 109 shown by a two-dot chain line in FIG. Others will be removed in subsequent cuttings as chips.
  • FIG. 2 shows that the cutting edge 109 of the biting portion A rotates and moves to the separating portion B, during which the ball end mill 101 moves from the position indicated by the solid line to the position indicated by the two-dot chain line.
  • the rotating shaft 115 of the square end mill 113 is set so as to be substantially perpendicular to the processing side surface 107 of the work material 105. 117 is cut. Next, as in the case shown in FIG. 2, it is moved in the direction of the arrow substantially parallel to the processing-side surface 107.
  • the cutting mechanism is performed in the same relationship between the biting part A and the detached part B as in the ball end milling described above.
  • a diamond is used as a tool material.
  • the depth of cut is less than 1 ⁇ ⁇ ⁇ , as described in JP-A-9-155617, it is ductilely deformed as in the case of metal cutting, so that brittle damage is not caused. The surface is obtained.
  • a diamond ball end mill is, for example, a cemented carbide ball end mill. It is very expensive at about 10 times the price of the Square End Mill 113, and the cost is high.
  • a ball end mill 101 having a radius of curvature R cuts the vicinity of a processed surface of a work material 105, the cut ends.
  • the cutting radius of the cutting edge 109 at the center of the rotating shaft 103 of the ball end mill 101 is zero (0), and the turning radius r2 of the cutting edge 109 is near the center of the rotating shaft 103. Because of the small size, the cutting speed is also low, so there is a problem that the machinability is reduced.
  • the present invention has been made to solve the above problems.
  • a carbide ball end mill whose cutting edge has a roundness and a torsion angle is rotated to produce a work material made of a vitreous inorganic material or a hard brittle inorganic material.
  • a rotation axis of the ball end mill has an inclination angle relative to a processing side surface of the workpiece in a feed direction of the ball end mill.
  • the cutting is performed in water.
  • the inclination angle of the ball end mill is set such that when the outer peripheral surface of the cutting edge of the ball end mill is located at a predetermined cutting depth, the radius of curvature of the ball end mill is It is preferable that the end circumferential line is inclined at an angle greater than or equal to 90 ° and inclined to a position where the terminal circumferential line intersects the processing side surface of the work material.
  • the inclination angle of the ball end mill is 45.
  • the rotation speed is about 20000 rpm, and the feed rate is 18 ⁇ m / sec.
  • the radius of curvature of the ball end mill is 200 ⁇ m and the cutting depth is 15 to 20 ⁇ m.
  • the square end milling method of the present invention is characterized in that a square end mill having a rectangular cutting edge and a torsion angle is rotated to cut a work material made of a vitreous inorganic material or a hard and brittle inorganic material. It is characterized by performing cutting without damage at a feed rate of 8-6 nm / edge.
  • the feed rate is 0.24 mm / min or less.
  • the rotation speed is preferably set to 50,000 rpm or more.
  • a vitreous inorganic material As understood from the means for solving the above problems, according to the ball end milling method of the present invention, a vitreous inorganic material, hard brittleness and for a work material made of an inorganic material, for example, a fine machining groove having a depth of about 15 to 20 ⁇ and a width of about 200 / m can be efficiently cut at once. As a result, productivity can be improved about 20 times compared to the past.
  • a cemented carbide ball end mill costs about one tenth of a diamond end mill. Therefore, both the productivity and the cost of the tool can be expected to be reduced by about 200 times.
  • the feed of one cutting edge of the square end mill is set to 4.8-6 nm / edge.
  • FIG. 1 is a schematic explanatory view of a conventional ball end milling principle.
  • FIG. 2 is a plan view of FIG. 1.
  • FIG. 3 is a schematic explanatory view of conventional square end mill processing.
  • FIG. 4 is a schematic explanatory view of the principle of a ball end miller according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a schematic explanatory view of the above-mentioned ball end milling principle.
  • FIG. 6 is a schematic explanatory view of the ball end milling principle.
  • FIG. 7 is a partial perspective view of a machining center as a cutting device used in the embodiment.
  • FIG. 8 is an enlarged plan view of a part of an asperity processing example manufactured by the ball end milling method of the embodiment.
  • FIG. 9 is a perspective view showing a profile of a groove portion of the asperity in FIG. 8.
  • FIG. 10 is a schematic explanatory diagram of a square end miller tube according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a plan view of FIG.
  • FIG. 12 is a graph showing the total area of brittle damage with respect to the tool feed speed at a tool rotation speed of 2000 (kpm) of the square end miller.
  • FIG. 13 is a graph showing the total area of brittle damage with respect to the tool rotation speed when the tool feed speed of the square end miller is 0.48 mm / min.
  • FIG. 14 is a processing example of an asperity manufactured by the square end milling method, (A), (C), and (D) are plan views and (B) is a cross-sectional view.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view of the channel in FIG. 14 (D), wherein (A) is a cross-sectional view of a processing start point and (B) is a cross-sectional view of an end point.
  • FIG. 16 is a plan view of a groove shape in which (A) is a processing start point and a processing distance is 50 mm, and (B) is a graph showing the retreat amount of the cutting edge of various tools.
  • the cutting edge 3 of the ball end mill 1 has an obtuse angle and a torsion angle.
  • the two-dimensional X-axis and Y-axis have a small cutting thickness indicated by a solid line in FIG. 2 as described above.
  • Cutting edge 3 2 and the separated portion B of the cutting edge 3 which is fed in the direction of the arrow and is shown by the two-dot chain line in FIG. 2, and other portions are removed as chips in the subsequent cutting.
  • the cutting thickness of the biting portion A and the detached portion B of the cutting edge 3 forming the finished surface is reduced.
  • the cutting mechanism of the end mill is such that the thickness at which the cutting edge 3 cuts the material when processing the finished surface is 1 ⁇ m or less, at which the glass is not broken.
  • the machining by the ball end mill 1 of this embodiment is a three-dimensionally extended one in which the Z-axis is added to the machining principle described above. That is, since the cutting edge 3 of the ball end mill 1 has a radius of curvature R in the Z-axis direction, the cutting speed of the ball end mill 1 increases with the height of the cutting edge 3 which is small at the bottom of the machining groove 5.
  • the bottom of the ball end mill 1 creates a finished surface at the center of the groove (simply called a finished surface or a finished surface that will be a product). Create a surface. Therefore, by setting appropriate processing conditions, the work material 7 such as a vitreous inorganic material or a hard and brittle inorganic material can be cut ductilely.
  • the rotating shaft 9 of the ball end mill 1 When the rotating shaft 9 of the ball end mill 1 is cut so as to be substantially perpendicular to the processing side surface 11 of the work material 7 as in the related art, the vicinity of the center of the rotating shaft 9 In this embodiment, as shown in FIG. 4, the rotating shaft 9 of the ball end mill 1 By inclining the material 7 on the machining side surface 11 with the inclination angle ⁇ in the feed direction, the bottom of the machining groove 5 is machined while maintaining a certain cutting speed. Even if the inclination angle is 90 °, that is, even if the rotation axis 9 of the ball end mill 1 is perpendicular to the processing side surface 11 of the work material 7, a force that can be machined To secure a cutting speed It is desirable to have an inclination angle ⁇ .
  • the use range F of the cutting edge 3 actually cut by the ball end mill 1 is The machining side of the workpiece 7 in the feed direction from the vertical surface VP that passes through the center O of the radius of curvature R of the hole 1 and is perpendicular to the feed direction of the workpiece 7 and the feed direction of the ball end mill 1 Surface 1 1 In the range. Therefore, the machining side surface 11 of the work material 7 has a large cutting speed due to the turning radius rl of the cutting edge 3 and the cutting speed due to the turning radius r2 of the cutting edge 3 is maintained at the bottom of the machining groove 5. become. It should be noted that the smaller the inclination angle ⁇ , the higher the cutting speed by the turning radius r2.
  • the applicable range of the inclination angle ⁇ of the rotating shaft 9 of the ball end mill 1 is that the ball end mill 1 is inclined in the feed direction at an angle of the inclination angle ⁇ 1 or more.
  • the applicable range of the inclination angle ⁇ is 26 ° ⁇ ⁇ ⁇ 90 °.
  • the optimum inclination angle ⁇ is set in consideration of the number of revolutions of the ball end mill 1, feed speed, depth of cut, radius of curvature R, operability (machining efficiency), and other various machining conditions. Become.
  • a machining center 13 as a cutting device has a spindle attachment 17 attached to a lower portion of a spindle head 15 and a brushless motor having a maximum rotation speed of 80000 rpm.
  • a spindle 19 is provided so that the inclination angle ⁇ can be arbitrarily set via a spin Dole clamp 21.
  • a ball end mill 1 made of cemented carbide was used.
  • the carbide ball end mill 1 is mounted on the spindle 19, and the movement in the X-axis and Y-axis directions is performed using the servo mechanism of the machining center 13. Therefore, the spindle 19 is moved in the two-dimensional direction of the X-axis and Y-axis. Can be arbitrarily inclined with respect to. Accordingly, the ball end mill 1 can be similarly arbitrarily tilted.
  • a stage 23 driven by a stepping motor having a resolution of 0.3 ⁇ m was used. That is, the stage 23 can be moved in the X-axis and Y-axis directions by the servomotor, and the spindle head 15 can be moved in the Z-axis direction.
  • the stage 23 is provided on a pallet 25 of the machining center 13.
  • the glass as the work material 7 is held in a water tank 27 on the stage 23 so that it can be cut in water.
  • the carbide ball end mill 1 is mounted on the spindle 19 and tilts the spindle 19 in the X-axis and Y-axis directions at an inclination angle ⁇ of 45 °, for example, with a radius of curvature R of 0.2 mm or 0.2 mm.
  • a cutting test was performed using a 25 mm carbide ball end mill 1.
  • the cDNA attached to the test region It is essential to keep the amount of DNA and oligo DNA constant.
  • machining grooves 5 with a depth of 15-20 ⁇ were cut at regular intervals in the X-axis and Y-axis directions to create microasperities with a constant area.
  • FIGS. 8 and 9 this is an example in which a total of 100 asperities are processed by 10 in the vertical and horizontal directions.
  • Fig. 8 is an enlarged view of a part, and each asperity has a good machined surface.
  • FIG. 9 shows the profile of the groove in the asperity of FIG. 8, and a good finished surface is obtained as in the cross section shown in the lower side of FIG.
  • the cutting depth of the vertical machining grooves 5 is 20 ⁇ m
  • the cutting depth of the horizontal machining grooves 5 is 15 ⁇ m.
  • the distance between the processing grooves 5 in the column is 300 ⁇ m.
  • the ball end mill 1 having a radius of curvature R of 200 ⁇ m and 250 / im was used, and actually, the ball end mill 1 had another arbitrary radius of curvature. The same operation and effect can be obtained by using the ball end mill 1.
  • FIGS. 10 and 11 in a square end mill 29 (hereinafter, also simply referred to as a “tool”) according to this embodiment, as shown in FIG.
  • the rotating shaft 33 is cut so as to be substantially perpendicular to the processing-side surface 11 of the workpiece 7 and is moved in the direction of the arrow as shown in FIG.
  • the machining process of the square end mill 29 The process force is composed of a process in which the mill 29 cuts in the depth direction of the channel and a process force in the lateral direction.
  • the cutting mechanism is performed in the same relationship between the biting portion A and the detached portion B as in the ball end mill cap described above.
  • the feed F (feed / edge) per cutting edge 31 becomes the maximum cutting thickness.
  • the cutting thickness of glass is 1 ⁇ m or less, chips similar to metal are generated and processing can be performed without brittle cracks.
  • the feed F per one cutting edge 31 by setting the feed F per one cutting edge 31 to 1 ⁇ m or less, a machined surface without brittle damage can be obtained.
  • the cutting depth in the axial direction of the square mill 29 is set at several tens of ⁇ m, and the force for machining the groove 5 is set appropriately.
  • the feed F per cutting edge 31 needs to be considerably smaller than 1 / m. . Therefore, in order to obtain an appropriate feed speed per cutting edge 31 in the square end milling machine, various cutting characteristic tests were performed.
  • a machining center 13 shown in FIG. 7 is used as a cutting device.
  • the work material 7 is held in the water tank 27 so that the cutting fluid is sufficiently supplied.
  • the feed of the X and Y axes is driven by a servo mechanism of the machining center 13, and the cut in the Z axis direction is driven by a stepping motor having a resolution of 0.3 / im.
  • a two-blade carbide square end mill 29 with a TiAIN coat of ⁇ . 3 mm is used, and a microchannel having a rectangular cross section is usually formed in a crown glass used as a slide glass. An attempt was made to observe the brittle damage state of the groove edge.
  • the tool feed speed was kept constant at 0.48 mmZmin, and the tool rotation speed was changed to 30000 80000 rpm.
  • the total area of brittle damage that occurred at the end of the groove was compared with the number of rotations of the tool.
  • the feed speed per cutting edge decreases with an increase in the force rotational speed at which brittle damage occurs.
  • a high rotational speed of 50,000 rpm or more there is no favorable brittle damage.
  • a processed surface is obtained.
  • FIG. 14 (A) shows a 3 ⁇ 3 microchannel in which four channels of a processing groove 5 having a depth of 20 ⁇ m are orthogonally arranged vertically (vertical direction in the figure) and laterally (horizontal direction in the figure). This is an example of processing an asperity.
  • FIG. 14B is an example in which a channel of a deep groove 5 having a rectangular cross section of 0.3 mm in width and 0.1 mm in depth is added.
  • the cutting in the axial direction of 20 z m is repeated five times to form a machining groove 5 having a depth of 0.1 mm.
  • FIG. 14 (C) shows a microreactor in which a ⁇ -shaped channel is machined with a machining groove 5 having a depth of 20 ⁇ m. A spiral channel was created with a machining groove 5 of xm.
  • FIGS. 14 (A) to 14 (D) at the start of machining, there is no brittle damage and a good machining surface is obtained. Force S, machining distance, width and depth of machining groove 5. Is getting smaller.
  • FIG. 15 (A) shows a cross section at the processing start point
  • FIG. 15 (B) shows a cross sectional shape at the processing end point.
  • the width and depth of the processing groove 5 decrease with the processing distance, and the central portion of the groove bottom is deeper than other portions.
  • the groove width is about 370 xm and the groove depth is about 32 ⁇ m.
  • the groove width is about 250 ⁇ m, and the groove depth is about 22 to 24 zm. It is about.
  • the following four types of tool materials are used: carbide alloy, TiAIN-coated cemented carbide, DLC-coated cemented carbide, and cBN.
  • a cutting test was performed using a square end mill 29, and the wear resistance of each of the above tools was measured and compared with the grooved surface. The cutting conditions were as follows: the tool feed rate was 0.24 mm / min, the number of revolutions of the tool was 20000 i "pm, and the axial depth of cut was 20 ⁇ m. Was.
  • the edge retreat amount (Edge lost) of the cutting edge 31 at the position of a radius of 90 ⁇ m of the bottom edge of the square end mill 29 was 7. 32 zm and most After that, the DLC-coated cemented carbide was 10.73 / im, the TiAIN-coated cemented carbide was S16. 31 ⁇ , and the cemented carbide was 26 ⁇ 08 ⁇ m, increasing in order.
  • the cBN tool has excellent wear resistance, based on the change in the processing groove width W that accompanies the processing distance and the amount of edge retreat (Edge lost). I knew it was there.
  • the feed F per one cutting edge 31 of the square end mill 29 is set to 4.86 nmZedge.
  • the effect of tool wear on the machined surface increases, but in the case of glass grooves, cBN tools have better wear resistance than cemented carbide tools.
  • the chemical analyzer “Micro TAS” integrated in the size of the preparation is inexpensive and efficient, and the trial production and practical application of making a “pattern” made of glass with a fine pattern, etc. Various applications can be expected.

Landscapes

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  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

　この発明では、超硬合金のボールエンドミルにより、被削材としてのガラスに１μｍより深い溝を効率よく切削加工することを目的とし、ボールエンドミル１を高速回転させてガラス質無機材料、硬脆性無機材料からなる被削材７に１μｍ以上の深さの溝を１回の切込みで無損傷で切削加工を行い、好ましくは、ボールエンドミル１の回転軸９が前記被削材７の加工側表面１１に対してボールエンドミル１の送り方向に相対的な傾斜角θを有すると共にボールエンドミル１を高速回転させて被削材７に切削加工を行うことにより、超硬合金のボールエンドミル１を用いて、一度の切削加工で、被削材７としてのガラス基板上に深さ幅２００μｍ、深さ２０μｍの加工溝５を形成する。

Description

明 細 書
硬脆性材のエンドミル切削加工方法
技術分野
[0001] この発明は、ボールエンドミルあるいはスクェアエンドミルを用いた硬脆性材のェン ドミル切削加工方法に関し、特にガラスなどのガラス質無機材料や、単結晶シリコン などの硬脆性無機材料などの被削材に微細な溝加工を行う硬脆性材のエンドミル切 削加工方法に関する。
背景技術
[0002] 近年、 Lab on a chipとして知られるマイクロ TASは、化学、製薬、医療などの現場で 多用されており、ガラス質無機材料などの基板材料に対して微細な溝等の切削加工 を施す技術が重要となっている。
[0003] 従来、ガラス基板に微細な溝等の加工を行うのに、フッ酸等の化学薬品を使用して エッチング加工する方法が知られている。しかし、このような化学的な加工法には次 のような問題点がある。
[0004] 強酸の化学薬品であるので、取り扱いに注意を要すると共に取り扱いの有資格者 を必要とし、且つ環境問題を起こさないためには加工後の廃液処理が必要であり、こ のために、安全性対策を考慮する等のコストがかかる。
[0005] さらに、安全性を考慮して薄い濃度のフッ酸溶液を使用することが多レ、が、フッ酸 溶液の濃度を薄くすると加工処理に例えば 1日という時間がかかり、工程時間短縮の 障害となる。
[0006] また、所要の溝を形成するためにはマスキング部材を必要とし、マスキングの手間も かかるので作業効率の低下となる。
[0007] また、上記の化学薬品によるエッチング処理に対し、機械的な加工法として、例え ば、エンドミルを回転させながら所望の溝を切削する加工法、言い換えればエンドミ ル加工が行われている。エンドミルはマシニングセンタのスピンドルに装着され、この スピンドルにより回転されるエンドミルで被削材に対して相対的に X軸、 Y軸、 軸の 三次元的に切削される。 [0008] エンドミル加工には、ボールエンドミル加工とスクェアエンドミル加工がある。ボール エンドミル 101は図 1に示すような形状であり、スクェアエンドミル 113は図 3に示すよ うな形状である。
[0009] 従来のボールエンドミルカ卩ェにおいては、図 1に示されているようにボールエンドミ ノレ 101の回転軸 103が被削材 105の加工側表面 107に対してほぼ直交するように 切込まれ、矢印方向に移動される。ボールエンドミル 101の切れ刃 109で加工溝 11 1の仕上げ面を作っているところは、図 2の実線で示されている切削厚さの小さい切 れ刃 109の食いつき部分 Aと、矢印方向に送られて図 2の 2点鎖線で示されている切 れ刃 109の離脱部分 Bである。それ以外は、切りくずとして以後の切削で除去される ことになる。なお、図 2は、食いつき部分 Aの切れ刃 109が離脱部分 Bに回転移動し 、この間にボールエンドミル 101が実線の位置から 2点鎖線の位置まで移動すること を示している。
[0010] また、従来のスクェアエンドミル加工においては、図 3に示されているようにスクェア エンドミル 113の回転軸 115が被削材 105の加工側表面 107に対してほぼ直交する ようにして切れ刃 117が切込まれる。次いで、図 2で示した場合と同様に加工側表面 107に対してほぼ平行に矢印方向に移動される。切削のメカニズムは上述したボー ルエンドミル加工と同様の食いつき部分 Aと離脱部分 Bの関係で行われる。
[0011] 一般に、被削材 105としてのガラスの切削加工では、工具材料としてはダイヤモン ドが用いられる。切込み深さが 1 μ ΐη以下になると、特開平 9-155617号公報に記 載されているように、金属の切削加工の場合と同様に延性的に変形するために脆性 損傷のなレ、加工面が得られる。
[0012] ところ力 従来、ガラスをバイトで形削りする場合、加工溝 111の加工深さが浅ぐ切 込み深さ CDが l x m以下であれば、カンナで削ったような切りくずが出てきて良好な 切削加工が行われる力 l x mを超えるとガラスが割れてしまう。このため、マイクロメ 一トル単位のガラスの切削を行うためには、先端のとがったダイヤモンドの Rバイトを 用いて、一度に 以下し力、加工しない加工方法をとつており、加工性が悪いとい う問題点があった。
[0013] また、ダイヤモンドのボールエンドミルは、例えば超硬合金のボールエンドミル 101 やスクェアエンドミル 113の約 10倍の価格で非常に高価であるので、コスト高である という問題点があった。
[0014] また、従来のボールエンドミルカ卩ェにおいては、図 1に示されているように、曲率半 径 Rを有するボールエンドミル 101が被削材 105の加工表面付近を切削するとき、切 れ刃 109の回転半径 rlで切削される力 ボールエンドミル 101の回転軸 103の中心 の切れ刃 109の回転半径はゼロ（0)であり、回転軸 103の中心付近は切れ刃 109の 回転半径 r2が小さいために切削速度も小さくなるので切削加工性が低下するという 問題点があった。
発明の開示
[0015] この発明は上述の課題を解決するためになされたものである。
[0016] この発明のボールエンドミルカ卩ェ方法は、切れ刃が丸みとねじれ角を有する超硬ボ ールエンドミルを回転させてガラス質無機材料、硬脆性無機材料からなる被削材に 1
/i m以上の深さの溝を 1回の切込みで無損傷で切削加工を行うことを特徴とするもの である。
[0017] この発明のボールエンドミルカ卩ェ方法では、ボールエンドミルの回転軸が前記被削 材の加工側表面に対してボールエンドミルの送り方向に相対的な傾斜角を有してい ることが好ましい。
[0018] また、この発明のボールエンドミルカ卩ェ方法では、切削加工を水中で行うことが好ま しい。
[0019] また、この発明のボールエンドミルカ卩ェ方法では、ボールエンドミルの傾斜角は、ボ ールエンドミルの切れ刃の外周面を所定の切込み深さに位置させたときに、ボール エンドミルの曲率半径の終端円周線が被削材の加工側表面と交差する位置まで傾 斜した傾斜角度以上、かつ 90° 以内の範囲にすることが好ましい。
[0020] また、この発明のボールエンドミルカ卩ェ方法では、ボールエンドミルの傾斜角が 45 。 で、回転速度が 20000rpm程度で、送り速度が 1一 8 μ m/secであることが好ま しい。
[0021] さらに、この発明のボールエンドミル加工方法では、ボールエンドミルの曲率半径が 200 μ mで、切込み深さが 15— 20 μ mであることが好ましい。 [0022] この発明のスクェアエンドミル加工方法は、切れ刃が矩形とねじれ角を有するスク エアエンドミルを回転させてガラス質無機材料、硬脆性無機材料からなる被削材に、 一切れ刃あたり 4. 8— 6nm/edgeの送り速度で無損傷で切削加工を行うことを特徴 とするものである。
[0023] この発明のスクェアエンドミルカ卩ェ方法では、スクェアエンドミルの回転速度を 200 OOrpmとしたとき、送り速度を 0. 24mm/min以下とすることが好ましい。
[0024] また、この発明のスクェアエンドミル加工方法では、スクェアエンドミルの送り速度を 0. 48mmZminとしたとき、回転速度を 50000rpm以上とすることが好ましい。
[0025] また、この発明のスクェアエンドミル加工方法では、スクェアエンドミルカ S、 cBNェ 具からなることが好ましい。
[0026] 以上のごとき課題を解決するための手段から理解されるように、この発明のボール エンドミル加工方法によれば、超硬合金のボールエンドミルを利用して、ガラス質無 機材料、硬脆性無機材料からなる被削材に対して、例えば深さ 15— 20 μ ΐη、幅 200 / m程度の微細加工溝を一度に効率よく切削加工できる。その結果、生産性は従来 の約 20倍向上できる。また、超硬合金のボールエンドミルはダイヤモンドのエンドミル の約 10分の 1の価格でよい。したがって、生産性と工具のコストの両面力 従来の約 200分の 1のコストダウンが期待できる。
[0027] また、この発明のスクェアエンドミル加工方法によれば、ガラス基板に矩形断面のマ イクロチャネルの加工を行う際に、スクェアエンドミルの一切れ刃の送りを 4. 8— 6nm /edgeとすることにより、脆性損傷のない極めて良好な加工面を得ることができる。
[0028] また、切削加工距離が長くなると、工具が摩耗するために切削加工面に及ぼす影 響が大きくなるが、 cBN工具はガラスの溝カ卩ェにおいて超硬合金工具より耐摩耗性 に優れているので、 cBN工具を用いることにより安定した切削加工を長い距離に亘っ て行うことができる。
図面の簡単な説明
[0029] [図 1]図 1は、従来のボールエンドミル加工原理の概略的な説明図。
[図 2]図 2は、図 1の平面図。
[図 3]図 3は、従来のスクェアエンドミル加工の概略的な説明図。 [図 4]図 4は、この発明の第 1の実施の形態のボールエンドミルカ卩ェ原理の概略的な 説明図。
[図 5]図 5は、上記ボールエンドミル加工原理の概略的な説明図。
[図 6]図 6は、上記ボールエンドミル加工原理の概略的な説明図。
[図 7]図 7は、上記実施の形態で用いられる切削加工装置としてのマシユングセンタ の部分的な斜視図。
[図 8]図 8は、上記実施の形態のボールエンドミルカ卩ェ方法で制作したァスペリティの 加工例で、その一部の拡大平面図。
[図 9]図 9は、図 8のァスペリティの溝部のプロフィルを示す斜視図。
[図 10]図 10は、この発明の第 2の実施の形態のスクェアエンドミルカ卩ェの概略的な 説明図。
[図 11]図 11は、図 10の平面図。
[図 12]図 12は、スクェアエンドミルカ卩ェの工具回転数 2000(kpmのときの工具送り 速度に対する脆性損傷の総面積を示すグラフ。
[図 13]図 13は、スクェアエンドミルカ卩ェの工具送り速度 0· 48mm/minのときのェ 具回転数に対する脆性損傷の総面積を示すグラフ。
[図 14]図 14は、スクェアエンドミルカ卩ェ方法で制作したァスペリティの加工例で、 （A) 、（C)、（D)は平面図で、（B)は断面図。
[図 15]図 15は、図 14 (D)のチャネルの断面図であり、（A)は加工開始点、（B)は終 点の断面図。
[図 16]図 16は、 （A)は加工開始点と加工距離 50mmの溝形状の平面図で、（B)は 各種工具における刃先後退量を示すグラフ。
発明を実施するための最良の形態
[0030] 以下、この発明の実施の形態を図に基づいて詳説する。
[0031] 図 4を参照するに、この発明の第 1の実施の形態に係るボールエンドミル 1の加工 原理としては、ボールエンドミル 1として切れ刃 3が鈍角で、かつねじれ角を有してい る。そして、前記切れ刃 3で加工溝 5の仕上げ面を作っているところは、 X軸、 Y軸の 二次元的には、前述したように図 2の実線で示されている切削厚さの小さい切れ刃 3 の食いつき部分 Aと、矢印方向に送られて図 2の 2点鎖線で示されている切れ刃 3の 離脱部分 Bであり、それ以外は、以後の切削で切りくずとして除去される。したがって 、被削材 7としてのガラスのエンドミルカ卩ェでは、適当な送り速度と回転数が設定され 、仕上げ面を創成している切れ刃 3の食いつき部分 Aと離脱部分 Bの切削厚さがサ ブミクロンオーダとされることにより、ガラスを延性的に切削できることになる。換言す れば、エンドミルの切削の仕組みは、切れ刃 3が仕上げ面を加工する際の材料を削 る厚さがガラスの割れない 1 μ m以下である。
[0032] この実施の形態のボールエンドミル 1による加工では、上記の加工原理に Z軸が加 わって三次元的に拡張されたものである。つまり、ボールエンドミル 1の切れ刃 3は Z 軸方向に曲率半径 Rを有しているので、ボールエンドミル 1の切削速度は加工溝 5の 底部で小さぐ切れ刃 3の高さとともに大きくなる。ボールエンドミル 1の底部は溝中心 部の加工仕上げ面（単に仕上げ面、又は製品となる仕上げ面とも言う）を創成し、切 れ刃 3の高さが大きくなると共に溝側面から縁部の加工仕上げ面を創成する。したが つて、適切な加工条件を設定することによってガラス質無機材料や硬脆性無機材料 などの被削材 7を延性的に切削できる。
[0033] し力し、従来のようにボールエンドミル 1の回転軸 9が被削材 7の加工側表面 1 1に 対してほぼ直交するように切込まれる場合は、回転軸 9の中心の付近は切れ刃 3の 回転半径が小さいために切削速度も小さくなつて切削加工性が低下するので、この 実施の形態では、図 4に示されているようにボールエンドミル 1の回転軸 9が被削材 7 の加工側表面 1 1に対して送り方向に傾斜角 Θを持って傾けることにより、加工溝 5の 底部でもある程度の切削速度を維持しながら加工するものである。傾斜角が 90° で も、すなわち、ボールエンドミル 1の回転軸 9が被削材 7の加工側表面 1 1に対して垂 直であっても、加工可能である力 切削速度を確保するためには、傾斜角 Θを有して レ、ることが望ましい。
[0034] より詳しく説明すると、図 4に示されているように上記の傾斜角 Θを有している場合 では、ボールエンドミル 1が実際に切削する切れ刃 3の使用範囲 Fは、ボールエンドミ ノレ 1の曲率半径 Rの中心 Oを通過して被削材 7の加工側表面 1 1とボールエンドミル 1 の送り方向とに直交する垂直面 VPから、送り方向側の被削材 7の加工側表面 1 1ま での範囲である。したがって、被削材 7の加工側表面 1 1では切れ刃 3の回転半径 rl による大きな切削速度を有し、加工溝 5の底部では切れ刃 3の回転半径 r2による切 削速度が維持されることになる。なお、上記の傾斜角 Θを小さくするほど回転半径 r2 による切削速度が大きくなる。
[0035] ボールエンドミル 1を傾けたときの操作性は別にして、上記の傾斜角 Θをさらに小さ くすると、図 5に示されているように、ボールエンドミル 1の切れ刃 3の外周面を所定の 切込み深さ CDに位置させたときに、ボールエンドミル 1の曲率半径 Rの終端円周線 ELが被削材 7の加工側表面 1 1と交差する位置まで傾斜したときの傾斜角度 θ 1とす ること力 Sできる。この状態が、被削材 7の加工側表面 1 1では切れ刃 3の回転半径 = 曲率半径 Rによる最も大きな切削速度となり、且つ加工溝 5の底部では切れ刃 3の回 転半径 r3による切削速度が最も大きくなる。
[0036] 一方、傾斜角 Θを大きくすると、図 6に示されているように被削材 7の加工側表面 1 1 では切れ刃 3の回転半径 r4による切削速度が小さくなり、加工溝 5の底部では切れ 刃 3の回転半径 r5による切削速度が小さくなる。
[0037] 以上のことから、ボールエンドミル 1の回転軸 9の傾斜角 Θの適用範囲としては、上 記の傾斜角 θ 1以上の角度で送り方向に傾斜していることである。例えば、図 5にお いて、ボールエンドミル 1の曲率半径 Rが 200 μ mで、切込み深さ CDが 20 μ mであ るとき、最 /J、の f頃斜角 θ 1は、 cos Θ 1 = (200—20) /200となり、ィ頃斜角 Θ 1 =約 26 。 となる。このときの傾斜角 Θの適用範囲は、 26° ≤ Θ < 90° となる。なお、最適な 傾斜角 Θは、ボールエンドミル 1の回転数、送り速度、切込み深さ、曲率半径 R、操 作性 (加工効率）やその他の種々の加工条件との兼ね合いで設定されることになる。
[0038] また、水中ではガラスの機械的強度が低下するので、切削性の向上を図るために ガラスのボールエンドミル加工を水中で行うのが好ましい。
[0039] 次に、上記の加工原理に基づいて行った加工特性試険について説明する。
[0040] 切削加工装置としてのマシユングセンタ 13は、図 7に示されているようにスピンドノレ ヘッド 15の下部にスピンドルアタッチメント 17が取り付けられ、このスピンドルアタッチ メント 17に最高回転数 80000rpmのブラッシュレスモータスピンドル 19がスピンドノレ クランプ 21を介して任意に傾斜角 Θを設定可能に設けられている。この試験では、 超硬合金製のボールエンドミル 1を使用した。
[0041] 超硬ボールエンドミル 1は前記スピンドル 19に装着され、 X軸および Y軸方向の移 動はマシニングセンタ 13のサーボ機構を用いて行われるので、スピンドル 19は X軸、 Y軸の二次元方向に対して任意に傾斜可能である。したがって、ボールエンドミル 1 が同様に任意に傾斜可能となる。
[0042] Z軸方向の切込み設定には、分解能 0. 3 μ mのステッピングモータ駆動によるステ ージ 23を使用した。すなわち、このステージ 23はサーボモータにより X軸、 Y軸方向 へ移動可能であると共に前記スピンドルヘッド 15が Z軸方向へ移動可能である。前 記ステージ 23はマシユングセンタ 13のパレット 25上に設けられている。なお、被削材 7としてのガラスは水中での切削加工が可能なように、ステージ 23上の水槽 27に保 持されている。
[0043] 超硬ボールエンドミル 1は前記スピンドル 19に装着され、スピンドル 19を X軸、 Y軸 方向に例えば傾斜角 Θを 45° として傾斜せしめ、例えば曲率半径 Rが 0. 2mm、又 は 0. 25mmの超硬ボールエンドミル 1により切削加工試験を行なった。
[0044] まず、ボールエンドミル 1の回転数 80000rpm、送り速度 1 μ m/secで溝加工した 結果、加工溝 5には切りくずの溶着物が多くなり、 80000rpmの回転数では切削温 度が高いことがわかった。し力も、加工後のボールエンドミル 1の工具損傷状態をみる と、切れ刃 3が過大に摩耗していた。したがって、回転数 80000i"pm、送り速度 Ι μ ΐη /secの加工条件が適切でないことが判明した。
[0045] そこで、前記回転数を下げて、加工面性状を評価した結果、回転数 20000rpmに おける加工溝面が最も良好であった。さらに、この 20000rpmの回転数において、 Z 軸方向の切込み深さを 18 z mとし、送り速度を変化させて、各送り速度が加工面に 及ぼす影響を調べた。切込み 18 z m、回転数 20000rpmでの各送り速度における 加工面性状を比較した結果、加工溝 5のエッジ部に脆性損傷が生じない最大の送り 速度が 8 μ m/secであることが判明した。したがって、少なくともこの実施の形態では、 回転数 20000rpmにおいては、送り速度 1一 8 μ m/secの範囲で良好な結果が得ら れている。
[0046] DNAマイクロアレイの解析精度を向上させるには、試験領域に付着させる cDNA やオリゴ DNAの量を一定にすることが不可欠である。このような要求から、 X軸、 Y軸 方向に一定間隔で、深さ 15— 20 μ ΐηの加工溝 5を切削加工し、一定の面積をもつ マイクロァスペリティを作成した。
[0047] 図 8及び図 9を参照するに、縦横 10個ずつ合計 100個のァスペリティを加工した例 である。図 8は、その一部を拡大したものであり、各ァスペリティは良好な加工面が得 られている。図 9は図 8のァスペリティにおける溝部のプロフィルであり、図 9において 下側に示された断面のように良好な仕上げ面が得られている。図 8において縦列の 加工溝 5の切込み深さは 20 μ mで、横列の加工溝 5の切込み深さは 15 μ mである。 また、縦列の加工溝 5の間の距離は 300 μ mである。
[0048] 以上のことから、ボールエンドミル 1によるガラスの微細溝加工の加工原理の妥当性 が明らかである。また、切削試験により、ボールエンドミル 1の適正な回転数は 20000 rpm、工具送り速度は 8 μ m/secであることを確認した。
[0049] また、マイクロァスペリティの製作の結果から、この実施の形態のボールエンドミル 加工方法の実用性が明らかとなった。この例では、超硬合金のボールエンドミル 1を 利用して、ガラスに深さ 15— 20 μ m、幅 200 μ m程度の微細加工溝 5を一度に効率 よく切削加工できたことから、生産性は従来の約 20倍向上できる。また超硬合金のボ ールエンドミル 1ならダイヤモンドのエンドミルの約 10分の 1の価格で済むことになる。 したがって、生産性と工具のコストの両面から従来の約 200分の 1のコストダウンが期 待できる。
[0050] なお、上記の加工試験を行う過程で、ボールエンドミル 1として曲率半径 Rが 200 μ mと 250 /i mのものをそれぞれ用いて行っており、実際にはその他の任意の曲率半 径のボールエンドミル 1を使用しても同様の作用効果が得られる。
[0051] 次に、この発明の第 2の実施の形態に係るスクェアエンドミルカ卩ェ方法について図 面を参照して説明する。図 10および図 11を参照するに、この実施の形態のスクェア エンドミル 29 (以下、単に「工具」ともいう）は、図 10に示されているように、切れ刃 31 が矩形とねじれ角を有しており、その回転軸 33が被削材 7の加工側表面 11に対して ほぼ直交するように切込まれ、図 11に示されているように矢印方向に移動される。つ まり、スクェアエンドミル 29の加工工程は、被削材 7であるガラスに対してスクェアェ ンドミル 29がチャネルの深さ方向に切り込む過程と、横方向に送る過程力 構成され る。なお、切削のメカニズムは図 2に示されているように前述したボールエンドミルカ口 ェとほぼ同様の食いつき部分 Aと離脱部分 Bの関係で行われる。
[0052] このようなスクェアエンドミル加工においては、図 10および図 11に示されているよう に一切れ刃 31あたりの送り F (Feed/edge)が最大切削厚さになる。一方、ガラスは 1 μ m以下の切削厚さになると金属と同様の切りくずが生成され、脆性き裂が発生せず に加工できる。
[0053] したがって、スクェアエンドミルカ卩ェでは、一切れ刃 31あたりの送り Fを 1 μ m以下 にすることで、脆性損傷のない加工面が得られる。この実施の形態では、スクェアェ ンドミル 29の軸方向の切込み深さを数 10 μ mとして溝 5を加工している力 回転数と 送り速度を適切に設定して一切れ刃 31が除去する最大切削厚さをガラスの延性切 削条件で加工することにより、脆性損傷のない加工面を得ている。ただし、スクェアェ ンドミル 29の切削過程の切れ刃 31の食いつき時と離脱時の応力状態の変化による 脆性損傷を考慮し、一切れ刃 31あたりの送り Fを 1 / mよりかなり小さくする必要があ る。そこで、スクェアエンドミルカ卩ェにおける一切れ刃 31あたりの適正な送り速度を得 るために、種々の切削加工特性試験を行った。なお、切削加工装置としては、図 7に 示されてレ、るマシユングセンタ 13が用いられてレ、る。
[0054] この切削加工特性試験では切削液が十分に供給されるように、被削材 7が水槽 27 内に保持されている。また、 X、 Y軸の送りはマシニングセンタ 13のサーボ機構により 駆動され、 Z軸方向の切込みは、分解能 0. 3 /i mのステッピングモータにより駆動さ れる。
[0055] この実施の形態では、 φ θ. 3mmの TiAINコートの 2枚刃超硬スクェアエンドミル 2 9が用いられ、通常、スライドガラスとして使用されているクラウンガラスに矩形断面の マイクロチャネルの作成が試みられ、溝縁部の脆性損傷状態を観察した。
[0056] 図 12を参照するに、工具送り速度が加工面に及ぼす影響を調べるために、工具の 回転数を 20000rpmで一定にして、工具送り速度を 0. 06-0. 36mmZminに変 化させて、各工具送り速度に対して、溝端部に発生した脆性損傷の総面積を比較し た。その結果、送り速度の増加とともに溝縁部に観察される脆性損傷の大きさと数が 増えており、 0. 36mm/minではかなりの脆性損傷が確認されている。この場合、ェ 具送り速度が 0. 24mm/min以下では切削加工面が良好である。
[0057] 図 13を参照するに、工具の回転数が加工面に及ぼす影響を調べるために、工具 送り速度を 0. 48mmZminで一定にして、工具の回転数を 30000 80000rpmに 変化させて、各工具の回転数に対して、溝端部に発生した脆性損傷の総面積を比 較した。その結果、 30000rpmの低回転数では脆性損傷が生じている力 回転数の 増加に伴って一切れ刃あたりの送り速度が小さくなるために、 50000rpm以上の高 回転数になると脆性損傷のない良好な加工面が得られてレ、る。
[0058] 以上の両者の結果から、いずれも脆性損傷の有無に対しては、一切れ刃 31あたり の送り Fの影響が大きいものと考えられる。そこで、工具の回転数と送り速度を種々に 変化せしめて適切な切削加工面が得られる一切れ刃 31あたりの送り速度を試験した ところ、一切れ刃 31あたり 4. 8— 6nmZedgeの送り速度で脆性損傷のない加工が可 能であることが明らかとなった。
[0059] [実施例]
現在、医学などの研究機関におけるガラス基板としては、パイレックス（登録商標） や石英ガラスの使用が一般的である。そこで、この実施の形態では、ノ ィレックス（登 録商標）のガラス基板に対してスクェアエンドミル 29により図 14 (A)—（D)に示され ているようにマイクロチャネルの加工を試みた。ただし、切削加工条件は、工具回転 数力 S20000i"pmで、工具送り速度が 0. 12mm/minで、水中で加工した。
[0060] 図 14 (A)は、縦（図において上下方向）および横（図において左右方向）に深さ 20 μ mの加工溝 5のチャネルの 4本を直交させて、 3 X 3のマイクロァスペリティを加工し た例である。
[0061] 図 14 (B)は、幅 0. 3mmで、深さ 0. 1mmの矩形断面を持つ深溝 5のチャネルを加 ェした例である。ここでは 20 z mの軸方向の切込みを 5回繰り返して 0. 1mmの深さ の加工溝 5に加工している。
[0062] 図 14 (C)は、マイクロリアクターを想定したもので、深さ 20 μ mの加工溝 5で Υ字型 のチャネルを加工したものであり、図 14 (D)は、深さ 30 x mの加工溝 5で渦卷状のチ ャネルを作成したものである。 [0063] 上記の図 14 (A)—（D)のいずれの場合も加工開始時点では脆性損傷はなく良好 な加工面が得られている力 S、加工距離とともに加工溝 5の幅および深さが小さくなつ ている。
[0064] 例えば、図 14 (D)のチャネルにおける加工開始点と終点の各断面をレーザ顕微鏡 により測定した。図 15 (A)は加工開始点の断面を示し、図 15 (B)は加工終点の断面 形状を示し、同じ寸法で比較したものである。これらの図から分かるように、加工距離 に伴って加工溝 5の幅と深さが減少するとともに、溝底の中央部分が他の部分に比 ベて深くなつている。加工開始点では加工溝幅が約 370 x mほどで、加工溝深さが 約 32 μ mほどであり、終点では加工溝幅が約 250 μ mほどで、加工溝深さが約 22 一 24 z mほどである。
[0065] この断面形状の変化は、スクェアエンドミル 29の側刃および底刃の摩耗に起因す るものである。また、スクェアエンドミル 29の底刃の外周部は中心部より切削速度が 高いため、摩耗の進行が外周部で早ぐ中心部で遅くなる。そのために、加工距離が 長くなると、図 15 (B)に示されているように相対的に底刃の中心部の切込みが他の 部分より大きくなるのである。つまり、上記の実施例により、工具の摩耗による加工面 に及ぼす影響が大きいことが明らかである。
[0066] そこで、適切な工具材質についても検討するために、この実施の形態では、超硬合 金、 TiAINコートの超硬合金、 DLCコートの超硬合金、 cBNの 4種類の工具材質か らなるスクェアエンドミル 29を用いて切削加工試験を行レ、、上記の各工具の耐摩耗 性について溝加工面を測定して比較した。なお、切削加工条件としては、工具送り速 度が 0. 24mm/minで、工具の回転数が 20000i"pmで、軸方向の切込み深さが 2 0 μ mであり、水中で切削加工を行った。
[0067] その結果、加工開始時と加工距離 50mmの時点における溝 5の形状を比較したと ころ、溝幅 Wの変化は、図 16 (A)に示されているように、 cBN工具が最も少なぐ DL Cコートの超硬合金、超硬合金、 TiAINコートの超硬合金の順に溝幅変化量が大き くなつている。
[0068] また、スクェアエンドミル 29の底刃の半径 90 μ mの位置における切れ刃 31の刃先 後退量（Edge lost)は、図 16 (B)に示されているように、 cBN工具が 7. 32 z mと最も 少なぐ次いで、 DLCコートの超硬合金が 10. 73 /i mで、 TiAINコートの超硬合金 力 S16. 31 μ ΐηで、超硬合金が 26· 08 μ mで、順に大きくなつている。
[0069] 以上のように、加工距離に伴って生じる加工溝幅 Wの変化と刃先後退量 (Edge lost )から、比較した 4種類の工具材質の中では、 cBN工具が耐摩耗性に優れていること が分かった。
[0070] 以上説明したように、スクェアエンドミルカ卩ェにおいては、ガラス基板に矩形断面の マイクロチャネルの加工を行う際に、スクェアエンドミル 29の一切れ刃 31あたりの送り Fを 4. 8 6nmZedgeとすることにより、脆性損傷のない極めて良好な加工面が得ら れる。また、切削加工距離が長くなると、工具の摩耗による加工面に及ぼす影響が大 きくなるが、ガラスの溝カ卩ェにおいて、 cBN工具は超硬合金工具より耐摩耗性に優 れている。
[0071] なお、この発明は前述した実施の形態に限定されることなぐ適宜な変更を行うこと によりその他の態様で実施し得るものである。
産業上の利用の可能性
[0072] 本発明によれば、プレパラートの大きさに集積した化学分析装置「マイクロ TAS」の 安価で効率のよい試作や、微細なパターンのガラス製「型材」作りなどの試作や実用 化など、さまざまな応用を期待できる。

Claims

請求の範囲
[1] 切れ刃が丸みとねじれ角を有する超硬ボールエンドミルを回転させてガラス質無機 材料、硬脆性無機材料からなる被削材に 1 β m以上の深さの溝を 1回の切込みで無 損傷で切削加工を行うことを特徴とするボールエンドミル加工方法。
[2] 前記ボールエンドミルの回転軸が前記被削材の加工側表面に対してボールエンド ミルの送り方向に相対的な傾斜角を有していることを特徴とする請求項 1記載のボー ルエンドミル加工方法。
[3] 前記切削加工を水中で行うことを特徴とする請求項 1又は 2記載のボールエンドミ ル加工方法。
[4] 前記ボールエンドミルの傾斜角は、ボールエンドミルの切れ刃の外周面を所定の切 込み深さに位置させたときに、ボールエンドミルの曲率半径の終端円周線が被削材 の加工側表面と交差する位置まで傾斜した傾斜角度以上、かつ 90° 以内の範囲に あることを特徴とする請求項 2または 3の何れかに記載のボールエンドミル加工方法。
[5] 前記ボールエンドミルの傾斜角が 45° で、前記回転速度が 20000rpm程度で、送 り速度が 1一 8 μ m/secであることを特徴とする請求項 2乃至 4の何れかに記載のボ ールエンドミル加工方法。
[6] 前記ボールエンドミルの曲率半径が 200 z mで、前記切込み深さ力^ 5 20 x mで あることを特徴とする請求項 5記載のボールエンドミル加工方法。
[7] 切れ刃が矩形とねじれ角を有するスクェアエンドミルを回転させてガラス質無機材 料、硬脆性無機材料からなる被削材に、一切れ刃あたり 4. 8— 6nm/edgeの送り速 度で無損傷で切削加工を行うことを特徴とするスクェアエンドミル加工方法。
[8] 前記切削加工を水中で行うことを特徴とする請求項 7記載のスクェアエンドミルカロェ 方法。
[9] 前記スクェアエンドミルの回転速度を 20000rpmとしたとき、送り速度を 0. 24mm
/min以下とすることを特徴とする請求項 7又は 8記載のスクェアエンドミルカ卩ェ方法
[10] 前記スクェアエンドミルの送り速度を 0. 48mm/minとしたとき、回転速度を 5000 Orpm以上とすることを特徴とする請求項 7又は 8記載のスクェアエンドミル加工方法 前記スクェアエンドミルが、 cBN工具からなることを特徴とする請求項 7、 8、 9又は 1 記載のスクェアエンドミル加工方法。
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