WO2005010980A1 - ベローズ支持構造及び可動ステージ装置 - Google Patents

Abstract

ベローズ（１）を内側から支持する構造は、ベローズの内部に配設され且つベローズの軸方向に沿って延在する案内トラック（８）を有する。前記軸方向に沿って案内トラック上を移動可能に移動部材（１０）が配設される。移動部材とベローズとは、中間支持部（５）によって接続される。

Description

明 細 書

ベローズ支持構造及び可動ステージ装置

技術分 Sf

本発明は、 ベローズの動作ス ト ロークが長い場合に発生し やすい応力集中を防止する こ とができ るべローズ支持構造及 び可動ステージ装置に関する。 本発明は、 特に、 半導体処理 システムに好適に利用可能なこの種の技術に関する。 こ こで 半導体処理と は、 ウェハや L C D (Liquid crystal display)や F P D (Flat Panel Display) 用のガラス基板な どの被処理基 板上に半導体層、 絶縁層、 導電層などを所定のパターンで形 成する こ と によ り 、 該被処理基板上に半導体デバイ スや、 半 導体デバイ スに接続される配線、 電極などを含む構造物を製 造するために実施される種々の処理を意味する。

背景技術

半導体デバイ ス の製造においては、 被処理基板 （被処理 体） 、 例えば半導体ウェハを真空室内で移動或いは搬送する 場合がある。 この場合、 真空室内で直線運動をする可動部と 固定部と を接続し、 真空側と大気側を仕切る手段と してべ口 ーズが使用される （例えば、 特開平 1 1 一 1 6 9 7 9 号公報 参照） 。 ベローズの不均一な伸縮は、 ベローズの耐久性の低 下や破損を招く 。 この問題を解消するため、 長尺べローズを 複数の支持体で支持して、 均一に伸縮させる よ う に したベロ 一ズの等間隔ガイ ド機構が提案される （例えば特開 2 0 0 0

— 1 3 6 9 0 7号公報参照） 。

図 9 Aは、 従来のベローズ支持構造 （内部支持構造） を概 略的に示す縦断面図である。 図 9 Aに示すよ う に、 ベローズ 1 の両端部に接続用のフ ラ ンジ 2 、 3 が配設される。 ベ ロ ー ズ 1 の中間箇所には、 別体と して形成された 1 以上の中間リ ング 5 が配設される。 ベロ ーズ 1 内の軸心部に中間リ ング 5 を支持案内するためのシャ フ ト 3 0が配置される。

図 9 B は、 従来の別のベローズ支持構造 （外部支持構造） を概略的に示す縦断面図である。 図 9 B に示すよ う に、 ベロ ーズ 1 の両端部に接続用のフ ラ ンジ 2 、 3 が配設される。 ベ ローズ 1 の中間箇所には、 別体と して形成された 1 以上の中 間 リ ング 5 が配設される。 ベローズ 1 の外側に中間リ ング 5 を支持案内するためのシャフ ト 3 1 が配置される。

図 9 A、 B に示す構造によれば、 動作ス ト ロークが長い場 合、 ベローズに発生しやすい撓み等による応力集中 （座屈や 変形） が防止される。 しかしなが ら、 本発明者によれば、 こ れ等の構造では、 パーテ ィ ク ルの発生や、 ベローズ内の十分 なスペース の確保に関連して問題が見出されている。

発明の開示

本発明の 目的は、 パーティ クルの飛散を防止する こ と がで きる と共に、 ベローズ内に十分なスペースを確保する こ とが でき るベローズ支持構造及び可動ス テージ装置を提供する こ と にある。

本発明の他の 目的は、 ベロ ーズの耐久性の向上が図れる と 共に、 ベローズ内に可動部の駆動部材等を配置する こ と がで き るべ口ーズ支持構造及ぴ可動ス テージ装置を提供する こ と にある。 本発明の更に他の 目的は、 構造の簡素化及ぴコ ス トの低減 が図れるベローズ支持構造及び可動ス テージ装置を提供する こ と にある。

本発明の第 1 の視点は、 ベローズを内側から支持する構造 であって、

前記べローズの内部に配設され且つ前記べローズの軸方向 に沿って延在する案内 ト ラ ック と、

前記軸方向に沿って前記案内 ト ラ ック上を移動可能に配設 された移動部材と、

前記移動部材と前記べローズと を実質的に接続する 中間支 持部と、

を具備する。

本発明の第 2 の視点は、 真空または所定の気体若しく は液 体を充填した室内で被処理体の移動を行う ための可動ス テー ジ装置であって、

前記室内の第 1 及び第 2側壁間に配設された リ ニアガイ ド と、

前記リ ユア ガイ ドの長手方向に沿って移動可能な可動枠と 前記リ ニアガイ ドは前記可動枠内に揷通される こ と と、

前記可動枠と前記第 1及び第 2側壁との間で前記リ ニアガ ィ ドを包囲する一対のベローズと、 前記可動枠と前記一対の ベローズは、 協働 して前記室内の他の部分から気密に隔離さ れた補助空間を形成するこ と と、

前記リ ニアガイ ドに沿って前記可動枠を移動させる駆動部 材と、 前記一対のベローズの内部に配設され且つ前記一対のベロ 一ズの軸方向に沿って延在する案内 ト ラ ック と、

前記軸方向に沿って前記案内 ト ラ ック上を移動可能に配設 された移動部材と、 .

前記移動部材と前記一対のベローズと を実質的に接続する 中間支持部と、

を具備する。

図面の簡単な説明

図 1 は、 本発明の実施形態に係るベローズ支持構造を概略 的に示す縦断面図。 .

図 2 は、 図 1 に示す構造の左側側面図。

図 3 は、 図 1 に示す構造の右側側面図。

図 4 は、 図 1 に示す構造の斜視図。

図 5 Aは、 図 1 に示す構造の移動部材を上方から見た斜視 図。

図 5 Bは、 図 5 Aに示す移動部材を下方から見た斜視図。 図 6 Aは、 図 1 に示す構造の移動部材同士が当接した時の 状態を示す平面図。 ·

図 6 B は、 図 6 Aに示す移動部材同士が離間 した時の状態 を示す平面図。

図 7 は、 本発明の実施形態に係る可動ス テージ装置を概略 的に示す斜視図。

図 8 は、 図 7 に示す可動ス テージ装置を組み込んだ半導体 処理シス テムを示す部分切欠斜視図。

図 9 Aは、 従来のベローズ支持構造 （内部支持構造） を概 略的に示す縦断面図。

図 9 B は、 従来の別のベローズ支持構造 （外部支持構造） を概略的に示す縦断面図。

発明を実施するための最良の形態

本発明者は、 本発明の開発の過程において、 従来のベロー ズ支持構造の抱える問題点、 特に半導体処理システムの駆動 系にこれらを適用 した場合の問題点について研究した。 その 結果、 以下に述べるよ う な知見を得た。

ベローズの伸び過ぎや縮み過ぎは、 ベローズの耐久性を低 下させる原因と なる。 この問題を解消するため、 ベローズに ス ト ッパを配設する こ とができ る。 図 9 A、 B に示すよ う な 内部支持構造と外部支持構造の何れの場合においても、 ス ト ッパはべローズの外側に配置する こ と が一般的に考えられる , ス ト ッパをべロ ーズの外側に配置する と、 外部支持構造の各 部材と同様、 摺動部がベローズの外側になる。 このため、 ス ト ッパ等の摺動部から発生するパーティ クルが真空室内に飛 散し、 ウェハを汚染する恐れがある。

この問題を回避するために、 内部支持構造の各部材と 同様 ス ト ツパをべローズの内側に配置する こ と が考え られる。 し 力、し、 この場合、 ス ト ッパが、 ベローズ内の多く のス ペース を占有する こ と になる。 その結果、 ベローズ内に十分なスぺ ースを確保する こ と が難しく な り 、 ベローズ内に可動部の駆 動部材等を配置する こ とが難しく なる。

以下に、 このよ う な知見に基づいて構成された本発明の実 施形態について図面を参照 して説明する。 なお、 以下の説明 において、 略同一の機能及び構成を有する構成要素について は、 同一符号を付し、 重複説明は必要な場合にのみ行う。

図 1 は、 本発明の実施形態に係るベローズ支持構造を概略 的に示す縦断面図である。 図 2 、 3 、 及ぴ 4 は、 夫々 図 1 に 示す構造の左側側面図、 右側側面図、 及び斜視図である。

図 1 乃至 4 に示すよ う に、 ベローズ （蛇腹） 1 は、 長手方 向に伸縮自在の円筒体からなる。 ベローズ 1 の一端には、 こ れを固定部例えば真空室の側壁に固定するためのフ ラ ンジ 2 が配設される。 ベローズ 1 の他端には、 これを可動部例えば 可動枠 （図 7 を参照 して後述する） に接続するためのフ ラ ン ジ 3 が配設ざれる。 ベローズ 1 の中間箇所には、 1 以上 （ 1 または複数） の中間支持部である中間 リ ング 5 がー体または 別体で配設される。 図示例では、 別体で配設された中間 リ ン グ 5 が示される。

固定側のフ ラ ンジ 2 の端面には、 環状取付け溝 6 が形成さ れる。 取付け溝 6 には、 真空室の側壁と の間を気密にシール するための O リ ング （気密材 ： 図示せず） が取付け られる。 可動側のフ ラ ンジ 3 の外周は、 可動枠の端面形状と 同 じよ う に正面方形に形成される。 フラ ンジ 3 の端面には、 可動枠の 端面に取付け られた O リ ングを当接させるための平らな当接 面 7が形成される。

ベロ ーズ 1 は、 例えばステン レス等の金属からなる複数枚 の リ ング状薄板同士を内周 と外周で交互に溶接接合して構成 される。 中間リ ング 5 は、 ベローズ 1 と略同径の リ ングから なる。 フ ラ ンジ 2 、 3及び中間 リ ング 5 は、 ベローズ 1 の端 部に夫々溶接で接合される。 中間 リ ング 5 は、 ベローズ 1 の 中間箇所に、 ベローズ 1 の長さ に応じて 1 または適宜間隔で 複数配設される。

ベローズ 1 内には、 その長手方向 （軸方向） に沿って案内 部材 （案内 ト ラ ック） である 2本のレール 8 が水平に配設さ れる。 2本のレーノレ 8 は、 ベローズ 1 の内面に近接する よ う に、 ベローズ 1 の内部の上側及び下側に夫々配設される。 レ ール 8 は、 占有スペースを小さ く するために高さの低い扁平 状である こ とが好ま しい。

レール 8 には、 その長手方向に沿って移動自在に、 移動部 材の本体である移動ブロ ック 1 0 が支持される。 移動プロ ッ ク 1 0 には、 夫々 中間 リ ング 5 取付け られる。 従って、 移動 ブロ ック 1 0 は、 中間 リ ング 5 を介してべローズ 1 の内面に 接続される。

具体的には、 レール 8 は、 底面部 8 a と 、 底面部 8 a の両 側から立ち上がった両側面部 8 b 、 8 b と、 両側面部 8 b 、 8 b の上縁部を内側に相対向 して折り 曲げたフ ラ ンジ部 8 c 8 c と を有する。 従って、 レール 8 は、 これらの部分によ り 包囲された、 横断面略 C字状の案内溝部 8 d を有する。 上側 のレール 8 の案内溝部 8 d は上方を向き、 下側の レール 8 の 案内溝部 8 d は下方を向く 。

2本の レ ^ "ル 8 は、 ベローズ 1 の内側に揷通される例えば 横材 （梁材） 1 1 の上部と下部と に夫々配設される。 図示例 の横材 1 1 は、 可動枠 （可動部） の駆動部材 （図 7 を参照 し て後述する） を取付けるためのスペースを確保するため、 ベ ローズ 1 内の軸心に対して偏心して配設される。

2本の レール 8 に代え、 1 本の レーノレ 8 だけが、 その案内 溝部 8 d が上方を向 く よ う に、 ベローズ 1 内の上部に配置さ れた構成とする こ と もでき る。 し力 し、 2本のレール 8 がべ ローズ 1 内の上部と下部に配置される と、 中間 リ ング 5 を安 定した支持状態でガイ ドする こ とができ る。

図 5 Aは、 図 1 に示す構造の移動部材を上方から見た斜視 図である。 図 5 Bは、 図 5 Aに示す移動部材を下方から見た 斜視図である。 図 6 Aは、 図 1 に示す構造の移動部材同士が 当接した時の状態を示す平面図である。 図 6 Bは、 図 6 Aに 示す移動部材同士が離間 した時の状態を示す平面図である。

移動部材の本体である移動プロ ック 1 0 は、 レール 8 の案 内溝部 8 d 内に中間 リ ング 5 と対応する数だけ直列に互いに 移動自在に配設される。 移動ブロ ック 1 0 は、 案内溝部 8 d 内を脱落 しないよ う に スライ ド自在或いは走行自在に配設さ れる。 更に、 各移動ブロ ッ ク 1 0 には、 レール 8 上を転がる よ う に、 2 つのローラ （車輪） 1 2 が、 支軸 1 2 a を介して 回転自在に軸支される。 なお、 移動ブロ ック 1 0 が案内溝部 8 d 内で滑らかに ライ ドできれば、 ローラ 1 2 は省略する こ と も可能である。

移動ブロ ック 1 0 の前側及び後側には、 走行方向へ突出 し た突出部 1 0 a 、 1 0 b が、 点対称と なる よ う に配設される 2つのローラ 1 2 は、 移動ブロ ック 1 0 の走行方向の前側と 後側と において、 突出部 1 0 a 、 1 0 b の側面の略中央部に 片持ち梁状態で支軸 1 2 a を介 して支持される。 換言する と 前側のローラ 1 2及び後側の突出部ュ 0 b と、 後側のローラ 1 2及び前側の突出部 1 0 a と は、 ベローズ 1 の軸方向に延 びる移動ブロ ッ ク 1 0 の中心線を挟んで対向する よ う に （即 ち右側及び左側に） 配置される。

'突出部 1 0 a 、 1 0 b は、 前後の移動ブロ ック 1 0 のロー ラ 1 2 が互いに接触する前に互いに当接する こ と によ り 、 ベ ローズ 1 の縮み過ぎを防止する。 即ち、 突出部 1 0 a 、 1 0 に よ り 、 隣り 合 う移動プロ ッ ク 1 0 の最近接距離が規定さ れる。 図示例の場合、 図 5 A乃至図 6 B に示すよ う に、 隣り 合う移動ブロ ック 1 0 は、 突出部 1 0 a 、 1 0 a または 1 0 b 、 1 0 b 同士が同 じ側 （右側または左側） に配置される。 従って、 隣り合 う移動ブロ ック 1 0 は、 突出部 1 0 a 、 1 0 a または 1 0 b 、 1 0 b 同士が当接する こ と に'よ り 、 最近接 距離が規定される。

更に、 レール 8 の案内溝部 8 d 内には、 図 6 B にも示すよ う に、 ベローズ 1 の伸び過ぎを防止するための平面略コ字状 のフ ックバー 1 3 が配設される。 フ ックノ ー 1 3 は、 ベロー ズ 1 の長手方向に隣り 合う移動ブロ ッ ク 1 0 同士を所定の間 隔内に繋ぎ止める。 即ち、 フ ックバー 1 3 によ り 、 隣り 合う 移動ブロ ック 1 0 の最離反距離が規定される。 図示例の場合 フ ッ クバー 1 3 は、 ベローズ 1 の軸方向に延びる移動ブロ ッ ク 1 0 の中心線を挟んで左右交互に配置される。 即ち、 図 5 B に示すよ う に、 連続する 3つの第 1 、 第 2、 及び第 3移動 ブロ ック 1 0 に関 し、 第 1 及び第 2移動ブロ ック 1 0 が右側 のフ ックバー 1 3 で係留される と、 第 2及び第 3移動ブロ ッ ク 1 0 は左側のフ ックバー 1 3 で係留される。

具体的には、 フ ッ クバー 1 3 は長尺の棒材 1 3 a の両端部 をフ ック部 1 3 b 、 1 3 b と して同方向に略直角に折 り 曲げ てなる。 隣り 合 う移動ブロ ック 1 0 の対向する突出部 1 0 a 1 0 a (または 1 0 b 、 1 0 b ) の下側には、 フ ッ ク バー 1 3 のフ ック部 1 3 b を係止するための係止部 1 0 c が配設さ れる （図 5 B参照） 。 移動プロ ック 1 0 の両側部には、 フ ッ ク部 1 3 b の移動を許容する た め の溝部 1 0 dが配設される , フ ッ クバー 1 3 は、 案内溝部 8 d 内の両側部に、 フ ラ ンジ 部 8 c で覆われた状態で長手方向に沿って脱落しないよ う に スライ ド自在に支持される。 各フ ッ クバー 1 3 の長さ は、 隣 り 合 う移動プロ ック 1 0 同士が当接したと きの両移動ブロ ッ ク 1 0 の長さ と ほぼ等 しい長さ と される こ と が好ま しい。 こ れによ り 、 隣り 合う フ ック バー 1 3 同士が干渉する こ と な く 隣り 合う移動ブロ ック 1 0 同士が当接する こ とができ る。 即 ち、 ベローズ 1 の縮み量を十分に確保する こ とができ、 隣り 合う移動ブロ ック 1 0 同士が離反 （離間） する と きにはベロ ーズ 1 の伸び量を十分に確保する こ とができ る。

各可動ブロ ッ ク 1 0 上の略中央部には、 各中間 リ ング 5 を 固定するための固定片部 1 0 e が突設される。 固定片部 1 0 e には、 中間リ ング 5 がネジまたは溶接で取付けられる。

上述のよ う に、 このべローズ支持構造においては、 ベロー ズ 1 の中間箇所に一体または別体で 1 以上の中間 リ ング 5 が 配設される。 ベローズ 1 内の内面近傍にその長手方向に沿つ てレール 8 が配設される。 レール 8 にその長手方向に沿って 移動自在に移動ブロ ック 1 0 が支持される。 移動ブロ ック 1 0 に中間 リ ング 5 が支持される。 これによ り 、 ノ ーテイ クノレ の飛散を防止する こ と ができ る。 また、 ベローズ 1 内に十分 なスペースを確保する こ と ができ、 ベローズ 1 内に可動部の 駆動部材等を配置する こ とができる。

レール 8 は、 横断面略 C字状の案内溝部 8 d を有する。 案 内溝部 8 d が上方と下方に向 く よ う にレール 8 が水平方向に 沿って上部と下部に配置される。 このため、 中間 リ ング 5 を 介してべローズ 1 を水平状態で且つ安定した状態に支持する こ とができる。

ベローズ 1 の長手方向に隣り 合 う移動プロ ック 1 0 同士が 当接する こ と によ り べローズ 1 の縮み過ぎが防止される。 こ のため、 簡単な構造でベローズ 1 の縮み過ぎを防止する こ と ができ、 構造の簡素化、 耐久性の向上及びコ ス トの低減が図 れる。

レール 8 には、 ベローズ 1 の伸び過ぎを防止するため、 ベ ローズ 1 の長手方向に隣り 合う移動ブロ ッ ク 1 0 同士を所定 の間隔で繋ぎ止める平面略コ字状のフ ックバー 1 3 が左右交 互に配置される。 このため、 簡単な構造でベローズ 1 の伸び 過ぎを防止する こ と ができ、 構造の簡素化、 耐久性の向上及 びコ ス ト の低減が図れる。

図 7 は、 本発明の実施形態に係る可動ス テージ装置を概略 的に示す斜視図である。

図 7 に示すよ う に、 こ の可動ス テージ装置 1 5 は、 例えば 真空室 1 6 内で被処理体例えば半導体ウェハの搬送を行 う た めに配設される。 可動ス テージ装置 1 5 は、 真空室 1 6 内の 両側壁 1 7 間に横架された横材 （梁材） 1 1 を含む。 横材 1 1 の周囲を取り 囲み且つ横材の長手方向に沿って移動自在に 可動枠 1 8 が配設される。 可動枠 1 8 を横材 1 1 に沿って往 復移動させるため、 駆動部材 2 0 が配設される。 可動枠 1 8 の両側に位置する横材 1 1 を覆う よ う に一対のベローズ 1 が 配設される。 一対のベローズ 1 は、 一端がフラ ンジ 2 を介 し て側壁 1 7 に固定され、 且つ他端がフ ラ ンジ 3 を介して可動 枠 1 8 の端面に接続される。

ベローズ 1 の支持構造は、 図 1 乃至図 6 B を参照したもの と 同様である。 即ち、 図 1 乃至 4 に示すよ う に、 ベロ ーズ (蛇腹） 1 は、 長手方向に伸縮自在の円筒体からなる。 ベロ ーズ 1 の一端には、 これを固定部例えば真空室の側壁に固定 するためのフ ラ ンジ 2 が配設される。 ベローズ 1 の他端には これを可動枠 1 8 に接続するためのフ ラ ンジ 3 が配設される ベローズ 1 の中間箇所には、 1 以上 （ 1 または複数） の中間 支持部である中間リ ング 5 がー体または別体で配設される。

ベローズ 1 内には、 その長手方向 （軸方向） に沿って案内 部材 （案内 ト ラ ック） である 2本のレール 8 が水平に配設さ れる。 2本の レーノレ 8 は、 ベローズ 1 の内面に近接する よ う に、 ベローズ 1 の内部の上側及び下側に夫々配設される。 レ ール 8 には、 その長手方向に沿って移動自在に、 移動部材の 本体である移動プロ ック 1 0 が支持される。 移動プロ ック 1 0 には、 夫々 中間 リ ング 5 取付け られる。 従って、 移動プロ ック 1 0 は、 中間 リ ング 5 を介 してべローズ 1 の内面に接続 される。

図 7 'に示すよ う に、 横材 1 1 の一側面にはその長手方向に 沿って リ ニアガイ ド 2 1 が配設される。 リ ニアガイ ド 2 1 に ス ライ ダ 2 2 を介して可動枠 1 8 がス ライ ド自在に支持され る。 駆動部材 2 0 と して、 横材 1 1 の一側面にはその長手方 向に沿つてボールネジ 2 3 が回転自在に取付け られる。 ボー ルネジ 2 3 に螺合された雌ねじ部材 2 5 に、 可動枠 1 8 が固 定される。 ポールネジ 2 3 の一端には回転駆動用のモータ 2 6 が連結される。 これによ り 、 ボールネジ 2 3 の回転によ り 雌ねじ部材 2 5 を介 して可動枠 1 8 を水平方向に移動させる こ とができ る。

ベローズ 1 の内部は、 側壁 1 7 に形成された貫通孔 2 7 を 介して大気と連通される。 即ち、 駆動部材 2 0やべローズ 1 の支持構造 （支持機構） は、 ベローズ 1 の内側の大気側にあ る。 このため、 駆動部材 2 0や支持構造の摺動部から発生す るパーティ クルが真空室 1 6 内に飛散、 浮遊して ウェハを汚 染する よ う なこ と はない。 なお、 可動枠 1 8 には、 ウェハを 一枚ずつ保持して水平方向に搬送する旋回及び伸縮可能な搬 送アーム機構 （図 8 参照） を、 昇降機構を介 して配設する こ とができる。 '

図 8 は、 図 7 に示す可動ステージ装置を組み込んだ半導体 処理システムを示す部分切欠斜視図である。

図 8 に示すよ う に、 この半導体処理システム 3 0 は、 水平 な一方向に長い筐体で形成され、 内部が真空雰囲気に設定可 能な共通搬送室 3 2 (図 7 では真空室 1 6 と して示される） を有する。 共通搬送室 3 2 の一側面には、 半導体ウェハに対 して真空雰囲気下で半導体処理を施すための 3つの真空処理 室 3 4が接続される。 共通搬送室 3 2 の他側面には、 ウェハ を搬送する際の圧力バッ フ ァ室と して機能する 2つのロー ド ロ ック室 （図示せず） が接続される。

真空処理室 3 4及びロー ドロ ッ ク室に対応 して、 搬送室 3 2 の側面には、 被処理基板である半導体ウェハ Wを搬出入す るためのポー ト 3 6 が形成される。 各ポー ト 3 6 には、 搬送 室 3 2 と真空処理室 3 4及ぴロ ー ドロ ック室との間を気密に 仕切るためのゲー トバルブ Gが配設される。

共通搬送室 3 2 内には、 図 7 に示す可動ステージ装置 1 5 が配設される。 可動ステージ装置 1 5 は、 可動枠 1 8 と 可動 枠 1 8 の両側に配設された一対のベローズ 1 と を有する。 可 動枠 1 8 と一対のベローズ 1 と は、 協働して共通搬送室 3 2 内の雰囲気から気密に隔離された補助空間 4 2 を內部に形成 する。 こ の補助空間 4 2 は、 共通搬送室 3 2 の両端壁に形成 された開口 3 8 を通して、 大気圧雰囲気に連通する。

可動枠 1 8及びべローズ 1 内、 即ち、 補助空間 4 2 内には 図 7 に示す駆動構造及び支持構造が配設される。 これらの内 部構造によ り 、 可動枠 1 8 は、 共通搬送室 3 2 の両端壁間を 水平移動する こ とができ る。 更に、 可動枠 1 8 上には、 ゥェ ハ Wを取扱う ため、 旋回及び伸縮可能な搬送アーム機構 4 5 が、 昇降機構を介して配設される。 搬送アーム機構 4 5 によ り 、 ポー ト 3 6 を通 して、 真空処理室 3 4及びロー ドロ ック 室に対してウェハ Wが搬出入される。 図 7及び図 8 に示す可動ス テージ装置 1 5 によれば、 可動 枠 1 8 の両側のベローズ 1 内には、 真空室 1 6 、 3 2 内の雰 囲気から気密に隔離された補助空間 4 2 が形成される。 こ の 捕助空間 4 2 内に、 可動枠 1 8及びべローズ 1 の駆動構造及 び支持構造が配設される。 このよ う な構成下で、 可動枠 1 8 を介 して （図 8 では搬送アーム機構 4 5 を介 して） ウェハの 移動或いは搬送が行われる。 従って、 真空室 1 6 、 3 2 内に おけるパーティ クルの飛散やウェハへのパーティ クル汚染を 防止する こ とができる。

以上、 図面を参照 して本発明の実施形態を詳述したが、 本 発明はこれらに限定される も のではな く 、 本発明の要旨を逸 脱しない範囲での種々 の設計変更等が可能である。 例えば、 実施形態ではべローズを水平に した例が示されるが、 本発明 に係るベローズ支持構造はべローズが垂直の場合にも適用可 能である。 また、 実施形態では、 中間 リ ングがべローズと は 別体である例が示されるが、 中間 リ ングはべローズと一体形 成されていても よい。 また、 中間 リ ング （中間支持部） と移 動部材とが、 一体的または一体に形成されていてもよい。

実施形態では、 案内部材 （案内 ト ラ ック） と してレールが 例示されるが、 案内 ト ラ ック と してはローラ を長手方向に連 ねたローラ コ ンベア （ローラベア リ ング） であっても よい。 この場合、 移動部材がローラ コ ンベア上を移動する よ う にな る。 レール （案内部材） は上部と下部に限定される も のでは なく 、 左右に配置されていても よい。

可動ス テージ装置を設ける室と しては、 真空に限定される ものではな く 、 例えば所定の気体 （空気、 ガス等） または液 体 （水、 薬液等） を充填した室であっても よい。 室内の圧力 は常圧、 正圧、 負圧であっても よい。 腐食性を有するガス雰 囲気中で使用される場合、 ベローズは金属製に限定されず、 耐食性を有する材質例えばテ フ ロ ン （登録商標） 製等であつ ても よい。

産業上の利用可能性

本発明に係るベローズ支持構造及び可動ス テージ装置によ れば、 パーティ ク ルの飛散を防止する こ とができ る と共に、 ベローズ内に十分なスペースを確保する こ とができる。

Claims

請 求 の 範 囲

1 . ベローズを内側から支持する構造であって、

前記べローズの内部に配設され且つ前記べローズの軸方向 に沿って延在する案内 ト ラ ック と、

前記軸方向に沿って前記案内 ト ラ ック上を移動可能に配設 された移動部材と、

前記移動部材と前記べローズと を実質的に接続する 中間支 持部と、

を具備する。

2 . 請求の範囲 1 に記載の構造において、

前記案内 ト ラ ック は、 前記べローズの内面に近接する よ う に、 前記べローズの内部の上側及び下側に夫々配設された上 側及び下側 ト ラ ック を具備する。

3 . 請求の範囲 1 に記載の構造において、

前記移動部材は、 前記案内 ト ラ ック上を走行可能に且つ前 記案内 ト ラ ック から脱落しないよ う に装着された移動ブロ ッ クを夫々具備する。

4 . 請求の範囲 3 に記載の構造において、

前記案内 ト ラ ック は、 横断面略 C字状の案内溝部を有し、 前記移動ブロ ック は、 前記案内溝部内にス ライ ド可能に装着 される。

5 . 請求の範囲 3 に記載の構造において、

前記移動部材は、 前記案内 ト ラ ック上を転がる よ う に前記 移動プロ ック に軸支されたローラを具備する。

6 . 請求の範囲 5 に記載の構造において、 前記移動部材は複数の移動部材を具備し、 前記複数の移動 部材は前記軸方向に沿って互いに対して移動可能である こ と と、 前記複数の移動部材は、 前記ローラが互いに接触する前 に互いに当接して、 前記複数の移動部材同士の最近接距離を 規定する よ う に配設された突出部を具備する こ と と、 を含む ₍

7 . 請求の範囲 6 に記載の構造において、

前記ローラは、 前記突出部の側面に軸支される。

8 . 請求の範囲 6 に記載の構造において、

前記ローラは、 前記移動プロ ッ ク の前方及び後方に配設さ れた第 1 及び第 2 ローラを具備し、 前記第 1 及び第 2 ローラ は、 前記軸方向に延びる前記移動プロ ック の中心線を挟んで 互い違いに配設される こ と と、

前記突出部は、 前記移動ブロ ックの前方及び後方に配設さ れた第 1 及び第 2突出部を具備 し、 前記第 1 及び第 2突出部 は、 前記中心線を挟んで互い違いに配設される こ と と、

隣接する 2つの移.動部材の前記第 1 及び第 2突出部は、 前 記中心線に対して位置が逆転している こ と と、

を含む。

9 . 請求の範囲 3 に記載の構造において、

前記移動部材は複数の移動部材を具備し、 前記複数の移動 部材は前記軸方向に沿って互いに対して移動可能である こ と と、 前記構造は、 前記複数の移動部材同士の最離反距離を規 定する よ う に前記移動プロ ック と係合する係合部材を更に具 備する。

1 0 . 請求の範囲 9 に記載の構造において、 前記案内 ト ラ ック は、 横断面略 C字状の案内溝部を有し、 前記移動ブロ ック及び前記係合部材は、 前記案内溝部内にス ライ ド可能に装着される。

1 1 . 請求の範囲 9 に記載の構造において、

隣接する第 1 、 第 2、 及び第 3移動部材に対して、 前記係 合部材は、 前記第 1 及び第 2移動部材の互いの最離反距離を 規制する第 1 フ ック と、 前記第 2及び第 3移動部材の互いの 最離反距離を規制する第 2 フ ック と を具備 し、 前記第 1 及び 第 2 フ ッ ク は、 前記軸方向に延びる前記移動プロ ッ ク の中心 線を挟んで互い違いに配設される。

1 2 . 真空または所定の気体若しく は液体を充填した室内で 被処理体の移動を行う ための可動ステージ装置であって、 前記室内の第 1 及び第 2側壁間に配設された リ ニアガイ ド と、

前記リ ニアガイ ドの長手方向に沿って移動可能な可動枠と 前記リ ニアガイ ドは前記可動枠内に揷通される こ と と、

前記可動枠と前記第 1 及び第 2側壁と の間で前記リ ニアガ ィ ドを包囲する一対のベローズと、 前記可動枠と前記一対の ベローズは、 協働して前記室内の他の部分から気密に隔離さ れた補助空間を形成する こ と と、

前記リ ニアガイ ドに沿って前記可動枠を移動させる駆動部 材と、

前記一対のベロ ズの内部に配設され且つ前記一対のベロ 一ズの軸方向に沿って延在する案内 トラ ック と、

前記軸方向に沿って前記案内 ト ラ ック上を移動可能に配設 された移動部材と、

前記移動部材と前記一対のベローズと を実質的に接続する 中間支持部と、

を具備する。

1 3 . 請求の範囲 1 2 に記載の装置において、

前記室内は真空雰囲気に設定可能であ り 、 前記補助空間は 大気圧雰囲気に連通する。

1 4 . 請求の範囲 1 2 に記載の装置において、

前記駆動部材は、 前記一対のベローズ内の所定位置に配設 される。

1 5 . 請求の範囲 1 3 に記載の装置において、

前記被処理体を取扱 う ため、 前記可動枠上に配設された伸 縮可能な搬送アーム機構を更に具備する。

1 6 . 請求の範囲 1 5 に記載の装置において、

前記室を規定する搬送室筐体を更に具備 し、 前記搬送室筐 体は、 前記被処理体に半導体処理を施すための処理装置に接 続される。