WO2004081607A1 - シンチレータ部材、シンチレータユニットおよびこれらを用いた放射線検出器 - Google Patents

シンチレータ部材、シンチレータユニットおよびこれらを用いた放射線検出器 Download PDF

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WO2004081607A1
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scintillator
rod
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shaped member
unit
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PCT/JP2004/002895
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Inventor
Hiroto Sato
Takaharu Suzuki
Kazuaki Okumura
Original Assignee
Hamamatsu Photonics K.K.
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14643Photodiode arrays; MOS imagers
    • H01L27/14658X-ray, gamma-ray or corpuscular radiation imagers
    • H01L27/14663Indirect radiation imagers, e.g. using luminescent members
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0232Optical elements or arrangements associated with the device
    • H01L31/02322Optical elements or arrangements associated with the device comprising luminescent members, e.g. fluorescent sheets upon the device

Definitions

  • the present invention relates to a scintillator member and a scintillator unit used for medical and industrial X-ray photography and the like, and a radiation detector using the same.
  • a scintillator that converts radiation into visible light has been used as an energy discriminator that discriminates X-rays and ⁇ -rays and a radiation detector such as an image sensor that obtains a radiation image.
  • a scintillator is used as a substrate made of amorphous carbon or the like as described in International Publication No. WO99 / 66645 pamphlet (hereinafter referred to as Document 1).
  • Document 1 There is a scintillator panel with a scintillator formed on the surface.
  • a scintillation fiber composed of a material of the same quality as that of a scintillator described in Japanese Patent Application Laid-Open No. H8-94757 (hereinafter referred to as Document 2) is also disclosed.
  • Document 2 Japanese Patent Application Laid-Open No. H8-94757
  • the scintillator panel disclosed in Reference 1 has a scintillator formed on a substrate, the shape of the scintillator panel is almost determined by the shape of the substrate. Therefore, when scintillator panels are used for radiation detectors of various shapes and sizes, it is necessary to prepare scintillator panels having different shapes according to the types. In particular, in the case of a scintillator panel used for a large product, the substrate needs to be very large, and the scintillator must be formed uniformly here, making the production very difficult. . Also, the thickness of the scintillator is limited in a normal scintillator panel, and high-energy radiation requiring a thick scintillator is required. It was not suitable for detection.
  • the distributed detector disclosed in Reference 2 is simply a bundle of scintillation fibers. Therefore, the problem is that even if it is used for a radiation detector or the like, the function cannot be sufficiently performed.
  • an object of the present invention is to provide a scintillator member and a scintillator member that can be applied to products of various shapes and sizes, particularly large products when used in products such as radiation detectors. And a radiation detector using the same.
  • a scintillator member according to the present invention is formed by radially depositing a scintillator on a side surface of a rod-shaped member.
  • the scintillator member according to the present invention has a scintillator formed on the side surface of the rod-shaped member.
  • the support member forming the scintillator as a rod-shaped member and forming the scintillator on the side surface, the size of the scintillator member can be easily reduced. Therefore, by adjusting the number of the scintillator members to be used, the scintillator members can be suitably used for products such as image sensors of various shapes and sizes. In particular, when manufacturing a large product, a large product can be easily manufactured by using a large number of scintillator members.
  • the length of the rod-shaped member can be freely set, if the length of the rod-shaped member is increased, the thickness of the scintillator will eventually be increased. -High-energy radiation that can not be absorbed by tapers can be absorbed.
  • the rod-shaped member is a material that transmits light emitted from the scintillator.
  • the rod-shaped member is made of a material that transmits light emitted from the scintillator, light emitted from the scintillator is guided through the rod-shaped member, for example, in the direction of a support plate supporting the rod-shaped member. . Therefore, light emitted from the scintillator can be reliably guided to a desired position.
  • Glass is suitable as the light-transmitting material. By using glass, when the scintillator emits visible light, it is possible to reliably cover the converted visible light and to suitably support the scintillator.
  • the rod-shaped member may be made of a metal material.
  • a high strength scintillator member can be obtained.
  • light emitted from the scintillator can be reflected on the surface of the rod-shaped member and guided in a desired direction such as a support plate.
  • the rod-shaped member may be made of a carbon-based material.
  • a carbon-based material By forming the rod-shaped member from a carbon-based material, it is possible to prevent the incidence of radiation such as X-rays.
  • the rod-shaped member has a cylindrical shape. By making the rod-shaped member cylindrical, it becomes easy to arrange a plurality of scintillators evenly when a plurality of scintillator members are arranged on the same surface. Also, when forming the scintillator on the rod-shaped member, it becomes easy to form the scintillator evenly from the surface.
  • an embodiment may be adopted in which a protective film is formed on the surface of the scintillator formed on the rod-shaped member.
  • a protective film is formed on the surface of the scintillator formed on the rod-shaped member.
  • the protective film has a moisture-proof property.
  • Scintillators are generally highly deliquescent. If the deliquescence is high in this way, it deteriorates due to the adhesion of moisture. However, the contact between the scintillator and moisture can be suitably prevented by providing the protective film with moisture proofness. Therefore, deliquescence of the scintillator can be suitably prevented.
  • the reflective film is formed on the surface of the scintillator formed on the rod-shaped member. As described above, since the reflecting film is formed on the surface of the scintillator, the light emitted from the scintillator does not leak out of the scintillation member due to the scintillation light emission due to the incidence of radiation. And the amount of detected light can be increased.
  • a scintillator unit includes a scintillator bundle formed by bundling any of the above-mentioned scintillator members. Things. As described above, by forming any one of the above-mentioned scintillator members in a bundle, by adjusting the number of the scintillator members, etc., the scintillator members can be suitably used for products of various shapes and sizes. Can be.
  • a scintillator array formed by preparing a plurality of any of the above-mentioned scintillator members, and disposing each rod-shaped member of the plurality of scintillator members coaxially is formed. It is also possible to adopt a mode including: In this manner, even when the plurality of scintillator members are arranged coaxially, the scintillator members can be used in a manner corresponding to the shape of the product.
  • a mode may be adopted in which a fixing member is interposed between the plurality of scintillator members to fix the plurality of scintillator members.
  • a radiation detector according to the present invention is one in which an imaging element is connected to a rod-shaped member in the scintillator unit. Further, a mode in which the photoelectric conversion element is connected to the rod-shaped member in the scintillator unit may be adopted.
  • FIG. 1 is a side sectional view of an image sensor including a scintillator unit according to the present invention
  • FIG. 2 is a plan sectional view thereof.
  • FIG. 3 is a plan sectional view of the scintillator member of the apparatus of FIGS. 1 and 2, and FIG. 4 is a side sectional view thereof.
  • FIG. 6A to 6C are process diagrams showing another manufacturing process of the scintillator member of FIG.
  • FIG. 7 is a side sectional view showing a state in which the scintillator member manufactured according to FIGS. 6A to 6C is accommodated in a glass tube.
  • FIG. 8 is a side sectional view of a scintillator base material manufactured using the scintillator member of FIG.
  • FIG. 9 is a side sectional view of a scintillator unit formed by cutting the scintillator base material of FIG.
  • FIG. 1 shows an image including a scintillator unit according to the present embodiment.
  • FIG. 2 is a side sectional view of the disensor, and FIG.
  • the image sensor (radiation detector) M according to the present embodiment includes a scintillator unit 1.
  • the scintillator unit 1 includes a plurality of scintillator members 2. As shown in FIG. 2, the plurality of scintillator members 2 are arranged such that adjacent scintillator members 2 are substantially in close contact with each other.
  • the scintillator member 2 includes a columnar base material 11 which is a rod-shaped member, and the side surface thereof includes radiation such as X-rays and ⁇ -rays.
  • the scintillator 12 for converting the light into light of a predetermined wavelength is formed radially over the entire circumference.
  • ⁇ 1 doped CsI is used, and CsI has a structure in which a large number of needle-like crystals (columnar crystals) stand.
  • the scintillator 12 is formed on the surface around the substrate 11 by a vapor deposition method.
  • the scintillator 12 according to the present embodiment emits visible light by X-ray incidence.
  • the base material 11 is formed of glass, has radiation transmissivity, and allows light to propagate therein.
  • the base material 11 can be formed of amorphous carbon or another material containing carbon as a main component, in addition to glass.
  • FIG. 5A a substrate 11 is prepared, and the substrate 11 is rotated around its axis.
  • the substrate 11 is rotated, and a scintillator component serving as a material for forming the scintillator is deposited on the side surface of the substrate 11.
  • FIG. 5B when the scintillator component is deposited while rotating the substrate 11, the scintillator 12 on the surface of the substrate 11 gradually grows.
  • FIG. 5C when the scintillator 12 has grown to a desired length, the rotation of the base material 11 is stopped, and the growth of the scintillator 12 is stopped, so that the scintillator member 2 is formed.
  • FIG. 5C when the scintillator 12 has grown to a desired length, the rotation of the base material 11 is stopped, and the growth of the scintillator 12 is stopped, so that the scintillator member 2 is formed.
  • the scintillator 12 formed on the scintillator member 2 A protective film 13 is formed on the surface, and the surface of the scintillator 12 is covered with the protective film 13.
  • the protective film 13 is made of, for example, polyparaxylylene, and prevents physical and chemical damage to the scintillator 12.
  • the use of polyparaxylylene demonstrates high moisture resistance.
  • the scintillator 12 used here has a high deliquescent property, the deliquescent of the scintillator 12 is prevented by protecting polyparaxylylene with a high moisture-proof property.
  • a xylene-based resin such as polyparaxyloxylene can be used as polyparaxyloxylene can be used.
  • a metal reflection film 14 serving as a reflection film is formed via a protective film 13.
  • the metal reflective film 14 is made of a metal such as aluminum, for example, and covers the surface of the scintillator 12 via the protective film 13. This prevents the visible light emitted by the scintillator 12 from leaking out of the scintillator 12.
  • the metal reflective film 14 include the above-mentioned aluminum (A 1), and various types thereof. For example, Ag, Cr, Cu, Ni, Ti, Mg, Rh, Pt, and A A material containing a substance in the group consisting of u can be used.
  • the plurality of scintillator members 2 are housed in a case 3 whose lower surface is open.
  • the case 3 is formed of, for example, a resin having radiolucency, but may be formed of, for example, a glass tube, amorphous carbon, or another material mainly containing carbon.
  • the plurality of scintillator members 2 are fixed and bundled inside the case 3 by a fixing member made of, for example, a transparent resin, and are arranged so as to fill the inside of the case 3 as much as possible.
  • the fixing member is formed, for example, by solidifying the molten resin.
  • the molten resin is poured into the case 3, and the molten resin is impregnated with a plurality of scintillator members 2, and the resin is cooled and solidified. By doing so, the plurality of scintillator members 2 can be fixed.
  • a solid-state image sensor 20 serving as an image sensor is arranged on the open surface of the case 3 in the scintillator unit 1.
  • the end of the substrate 11 of the scintillator member 2 is connected to the solid-state imaging device 20 serving as an imaging device, and the solid-state imaging device 20 is connected to the scintillator 12 via the substrate 11.
  • the image sensor M In the image sensor M according to the present embodiment, radiation is incident from the incident surface at a position facing the open surface of the case 3. The radiation entering from the incident surface proceeds straight as it is, passes through the metal reflective film 14 and the protective film 13, and reaches the scintillator 12 of the scintillator member 2. When the radiation collides with the scintillator 12, the scintillator 12 emits scintillation light, and the scintillator 12 generates light of a predetermined wavelength (visible light in the present embodiment). The visible light generated by the scintillator 12 is emitted directly toward the substrate 11 or the metal reflection film 14.
  • the visible light directly traveling to the substrate 11 directly enters the substrate 11, propagates through the substrate 11, and reaches the solid-state imaging device 20.
  • the visible light directed to the metal reflection film 14 is reflected by the metal reflection film 14 and then enters the base material 11. The visible light thus incident on the substrate 11 propagates through the substrate 11 and reaches the solid-state imaging device 20.
  • the radiation incident from the incident surface of the case 3 proceeds straight as it is, and is converted into visible light by the scintillator 12 of the scintillator member 2, and the solid-state imaging device passes through the base 11. Propagated to 20. Therefore, the radiation image incident from the incident surface is visualized as it is, reaches the solid-state imaging device 20 as a visible light image, and the visible light image is captured, so that it functions as an image sensor. Become.
  • a plurality of scintillators The single member members 2 are bundled to form a scintillator bundle. For this reason, for example, even when manufacturing an image sensor having a different shape or size, the number of scintillator members forming the scintillator bundle and the manner in which the scintillator members are bundled are appropriately adjusted to manufacture the image sensor. It is possible to easily manufacture a scintillator bundle conforming to the shape and the like. Therefore, regardless of the shape and size of the image sensor, the scintillator member according to the present embodiment can be suitably used. Moreover, by using a large number of scintillator members, the scintillator portion (scintillator unit) used for the image sensor can be easily manufactured even when a large-sized image sensor is manufactured.
  • the scintillator member can be manufactured as follows. 6A to 6C are process diagrams illustrating another manufacturing process of the scintillator member. In this manufacturing process, as shown in FIG. 6A, a suspending member 30 capable of suspending a plurality of base materials 11 is used. As the substrate 11 at this time, for example, a glass fiber having a diameter of 0.5 mm and a length of 10 O mm is used.
  • the hanging member 30 has a rotating shaft 31 extending in the vertical direction, and a hanging bar 32 is attached to the rotating shaft 31.
  • a plurality of, in this embodiment, five, substrates 11 are suspended from the hanging rods 32, and by rotating the rotating shaft 31, the hanging rods 32 become the rotating shafts 3.
  • Rotate around 1 an evaporator 33 for evaporating the scintillator component is placed below the hanging member 30.
  • the scintillator component composed of, for example, Csi: T1 is evaporated by the evaporator 33 while rotating the hanging rod 32. Then, as shown in FIG. 6B, the scintillator gradually grows around the substrate 11. By evaporating the scintillator component by the evaporator 33 while rotating the hanging rod 32 as it is, the scintillator 12 grows to a desired thickness, for example, 0.5 mm as shown in FIG. 6C. I do. The scintillator member 2 is completed. By manufacturing the scintillator member 2 by this manufacturing method, a large amount of the scintillator member 2 can be manufactured in a short time.
  • the thus-produced scintillator members 2, 2,... Are each coated with a protective film 13 made of polyparaxylylene. Then, as shown in FIG. 7, a plurality of scintillator members 2, 2,... Are packed and housed in a glass tube 40 with as few gaps as possible. Subsequently, as shown in FIG. 8, a transparent resin is filled in the glass tube 40, and after being defoamed, solidified to form the fixing member 41, thereby producing the scintillator base material 42. After the scintillator base material 42 is manufactured, as shown in FIG. 9, the glass tube 40 and its contents are cut into a length of about 20 mm using a thin blade cutter.
  • a protective film 43 for protecting the cut surface is formed by the same procedure as that for forming the protective film on the surface of the scintillator member 2, and a scintillator unit 5 ° is manufactured.
  • Radiation is incident on one side 50a of the scintillator cut 50 that intersects the parallel direction of the scintillator members 2 in the parallel direction, and a solid-state image pickup device (not shown) By arranging them, a radiation detector can be obtained. Note that 50a and 50b can also be used in the opposite direction.
  • a glass base material is used as the base material that is the rod-shaped member, but other light-transmitting materials can be used.
  • a metal substrate can be used as the base material, and a carbon-based material should be used so as not to impede radiation. You can also.
  • a scintillator member formed by vapor deposition on a base material is inserted into a translucent tubular member such as glass to form a translucent tubular member. Light can be guided using the member as a light guide.
  • the base material as the rod-like member has a cylindrical shape.
  • the shape is not limited to this, and for example, a prismatic shape or an elliptic shape can be used.
  • the rod-shaped member is not limited to a columnar body.
  • a rod-shaped member having a cone shape such as a cone or a pyramid, a shape having a truncated top portion, or a wavy shape having a constricted central portion in the height direction is used.
  • the scintillator members when forming the scintillator unit, are arranged in a direction intersecting (orthogonal to) the axial direction to form a scintillator bundle. It is also possible to form a bundle.
  • the scintillator bundle directly fixed by the fixing member is accommodated inside the case 3, but for example, a reflection film such as a metal reflection film or the like is provided inside the case. At least one of the protective films may be interposed. At this time, the reflective film and the protective film can be formed by attaching to the inner surface of the case 3 or the like.
  • the scintillator bundle is formed by using the fixing member, but the scintillator bundle is formed by fixing the scintillator member to the case or the solid-state imaging device. You can also.
  • a scintillator unit with a solid-state imaging device attached is used as the image sensor, but a photoelectric conversion element such as a photomultiplier tube may be used, for example.
  • the photoelectric conversion element can be used as an image sensor by connecting it to a monitor via a predetermined image processing circuit.
  • radiation detectors can also be used for energy discriminators.
  • C s I (T 1) is used as the scintillator.
  • the present invention is not limited to this.
  • C si (N a), Na I (T l), L i I (E u), K i (T 1), etc. can also be used.
  • the scintillator is not limited to a type that emits visible light, but may be a type that emits ultraviolet light or infrared light upon incidence of radiation. In this case, an image sensor having sensitivity to the converted light may be used, and a base material serving as a light guide is preferably one having transparency to the converted light.
  • the scintillator member and the scintillator unit according to the present invention can be suitably used for producing detectors such as a large-area scintillator panel and a radiation image sensor, and various shapes of radiation.
  • the image sensor can be suitably used for producing a radiation detector.

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Abstract

シンチレータ部材2は、棒状の基材11を備えており、基材11の側面には、シンチレータ12が放射状に蒸着されて形成されている。このシンチレータ部材2を複数並べて束ねて、シンチレータユニット1が形成されている。また、シンチレータユニット1におけるケース3の開放面に固体撮像素子20を取り付けることにより、放射線検出器となるイメージセンサMが形成されている。イメージセンサMは、シンチレータ部材2の数などを調整することにより、その大きさを調整することができる。

Description

明糸田書
シンチレータ部材、 シンチレータュニットおよびこれらを用いた放射線検出器 技術分野
【0 0 0 1】 本発明は、 医療用、 工業用の X線撮影等に用いられるシンチレ一 タ部材およびシンチレータユニット、 ならびにこれを用いた放射線検出器に関す る。
背景技術
【0 0 0 2】 X線や γ線を弁別するエネルギー弁別器や、 放射線画像を得るィ メージセンサなどの放射線検出器として、 放射線を可視光に変換するシンチレ一 タが利用されている。 このようなシンチレータを利用したものとして、 従来、 国 際公開第 WO 9 9 / 6 6 3 4 5号パンフレツト (以下、文献 1と称する。) に記載 されているようなアモルファスカーボンなどからなる基板の表面にシンチレータ を形成したシンチレータパネルがある。
【0 0 0 3】 また、 特開平 8— 9 4 7 5 8号公報 (以下、 文献 2と称する。) に 記載されてレ、るようなシンチレータと同質の材料から構成されるシンチレーショ ンファイバを束ねて形成された分布型検出器がある。
発明の開示
【0 0 0 4】 しカ し、 文献 1に開示されているシンチレ一タパネルは、 基板に シンチレータを形成したものであるため、 そのシンチレ一タパネルとしての形状 は基板の形状によってほとんど決まってしまう。 そのため、 種々の形状、 大きさ の放射線検出器等にシンチレ一タパネルを用いようとすると、その種別に応じて、 形状の異なるシンチレータパネルを用意しなければならないという問題があつた。 特に、 大型の製品に用いるシンチレ一タパネルでは、 基板を非常に大きなものと する必要が生じ、 ここにシンチレータを一様に形成する必要があるため、 その製 造は非常に困難なものであった。 また、 通常のシンチレ一タパネルではシンチレ ータの厚さには限界があり、 厚いシンチレータが要求される高エネルギー放射線 の検出には不向きであつた。
【0 0 0 5】 一方、 文献 2に開示されている分布型検出器は、 単にシンチレ一 シヨンファイバを束ねたにすぎないものである。 したがって、 これを放射線検出 器等に用いようとしても、 その機能を十分に果たすことができないという問題が あつに。
【0 0 0 6】 そこで、 本発明の課題は、 放射線検出器などの製品に用いる場合 に、 種々の形状、 大きさの製品、 特に大型の製品に対応することができるシンチ レータ部材およびシンチレータュニット、 これらを用いた放射線検出器を提供す ることにある。
【0 0 0 7】 上記課題を解決するため、 本発明に係るシンチレ一タ部材は、 棒 状部材の側面に、 シンチレータが放射状に蒸着させて形成されている。
【0 0 0 8】 種々の形状、 大きさの製品に用いることができるシンチレータ部 材とするためには、 単にシンチレータを形成するパネルを小型化し、 このパネル を複数並べて、種々の製品の大きさ等に対応させることが考えられる。ところが、 単にパネルを小型化するとしても、 パネルは板状であることから、 その小型化に はおのずと限界が生じるものである。
【0 0 0 9】 これに対して、 本発明に係るシンチレ一タ部材は、 棒状部材の側 面にシンチレータを形成するものである。 このようにシンチレータを形成する支 持部材を棒状部材とし、 その側面にシンチレータを形成することにより、 シンチ レータ部材を容易に小型化することができる。 したがって、 このシンチレータ部 材を用いる数を調整することにより、 種々の形状、 大きさのイメージセンサなど の製品に対して好適に利用することができる。 特に、 大型の製品を製造する場合 には、 多数のシンチレ一タ部材を用いることにより、 容易に大型の製品を製造す ることができる。
【0 0 1 0】 さらに棒状部材の長さを自在に設定することができるために棒状 部材の長さを長くすれば結果的にシンチレータの厚さを厚くすることになり、 通 -タパネルでは吸収しない高エネルギー放射線も吸収することがで きる。
【0 0 1 1】 この棒状部材は、 シンチレータから発せられる光を透過する材料
(透光性材料) からなるのが好適である。
【0 0 1 2】 棒状部材がシンチレータから発せられる光を透過する材料からな ることにより、 シンチレータから発せられた光が棒状部材を通じて、 たとえば棒 状部材を支持する支持板の方向に案内される。 このため、 シンチレータから発せ られた光を所望の位置に確実に案内することができる。
【0 0 1 3】 この透光性材料としてはガラスが好適である。 ガラスを用いるこ とにより、 シンチレータが可視光を発する場合に、 変換された可視光を確実に案 内するとともに、 シンチレータを好適に支持することができる。
【0 0 1 4】 あるいは、棒状部材を金属材料からなる態様とすることもできる。 棒状部材を金属材料で形成することにより、 強度の高いシンチレ一タ部材とする ことができる。 また、 棒状部材を金属材料で形成することにより、 シンチレータ から発せられた光を棒状部材の表面で反射させて支持板等所望の方向へと案内す ることができる。
【0 0 1 5】 あるいは、 棒状部材が、 カーボン系材料からなる態様とすること もできる。 棒状部材をカーボン系材料で形成することにより、 X線などの放射線 の入射を妨げないようにすることができる。
【0 0 1 6】 この棒状部材は、 円柱形状をなす態様とするのが好適である。 棒 状部材を円柱形状とすることにより、 複数のシンチレ一タ部材を同一面に並べる 場合に、 複数のシンチレータを均等に配置するのが容易になる。 また、 棒状部材 にシンチレータを形成する際にも、 その表面から均等にシンチレータを形成する ことが容易になる。
【0 0 1 7】 さらに、 棒状部材に形成されたシンチレータの表面に、 保護膜が 形成されている態様とすることもできる。 このように、 シンチレータの表面に保 護膜を形成することにより、 外的要因に基づく物理的、 化学的な障害からシンチ レータを保護することができる。
【0 0 1 8】 このとき、 保護膜が防湿性を備えるのが好適である。 シンチレ一 タは、 一般に潮解性が高いものである。 このように潮解性が高いと、 水分の付着 によって劣化してしまうが、 保護膜が防湿性を備えることにより、 シンチレータ と水分との接触を好適に防止することができる。 したがって、 シンチレ一タの潮 解を好適に防止することができる。
【0 0 1 9】 また、 棒状部材に形成されたシンチレータの表面に、 反射膜が形 成されている態様とするのが好適である。 このように、 シンチレータの表面に反 射膜が形成されていることにより、 放射線の入射によるシンチレーシヨン発光に よって、 シンチレータから発せられた光をシンチレーション部材の外に漏らさな いようにして確実に所望の方向へと導き、 検出される光の光量を大きくすること ができる。
【0 0 2 0】 他方、 上記課題を解決するため、 本発明に係るシンチレ一タュニ ットは、 上記のシ /チレ一タ部材のいずれかのを束ねて形成されたシンチレータ 束を備えているものである。 このように、 上記のいずれかのシンチレ一タ部材を 束ねて形成することにより、シンチレ一タ部材の数等を調整することにより、種々 の形状、 大きさの製品に対して、 好適に用いることができる。
【0 0 2 1】 あるいは、 上記のいずれかのシンチレ一タ部材を複数用意し、 複 数のシンチレ一タ部材におけるそれぞれの棒状部材を、 同軸上に配置して形成さ れたシンチレ一タ列を備える態様とすることもできる。 このように、 複数のシン チレ一タ部材を同軸上に配置する態様とすることによつても、 製品の形状に応じ た態様でシンチレ一タ部材を利用することができる。
【0 0 2 2】 また、 複数のシンチレ一タ部材に間に固定部材を介在させて、 複 数のシンチレ一タ部材を固定する態様とすることができる。 このように、 複数の
'一タ部材の間に固定部材、 たとえば樹脂などを介在させて複数のシンチ レータ部材を固定することにより、 シンチレ一タ部材を確実に固定しておくこと ができる。
【0 0 2 3】 また、 上記課題を解決するため、 本発明に係る放射線検出器は、 上記シンチレータユニットにおける棒状部材に撮像素子が接続されているもので ある。 また、 上記シンチレータユニットにおける棒状部材に光電変換素子が接続 されている態様とすることもできる。
図面の簡単な説明
【0 0 2 4】 図 1は、 本発明に係るシンチレータユニットを備えるイメージセ ンサの側断面図であり、 図 2はその平断面図である。
図 3は、 図 1、 図 2の装置のシンチレ一タ部材の平断面図であり、 図 4は、 そ の側断面図である。
図 5 A〜図 5 Cは、 図 3のシンチレ一タ部材の製造工程を示す工程図である。 図 6 A〜図 6 Cは、 図 3のシンチレ一タ部材の他の製造工程を示す工程図であ る。
図 7は、 図 6 A〜図 6 Cにより製造されたシンチレ一タ部材をガラス管に収容 した状態を示す側断面図である。
図 8は、 図 7のシンチレ一タ部材を用いて製造したシンチレータ母材の側断面 図である。
図 9は、 図 8のシンチレータ母材を切断して作成したシンチレータュニットの 側断面図である。
発明を実施するための最良の形態
【0 0 2 5】 以下、 本発明の実施の形態を、 図面を参照しながら具体的に説明 する。 なお、 同一の部材については可能な限り同一の番号を付与し、 重複する説 明は省略する。 また、 各図面は説明の理解を容易にするため、 誇張ないし省略し ている部分があり、 その寸法比は必ずしも実際のそれとは一致しない。
【0 0 2 6】 図 1は、 本実施形態に係るシンチレータユニットを備えるィメー ジセンサの側断面図、 図 2は、 その内部の平断面図である。 図 1およぴ図 2に示 すように、 本実施形態に係るイメージセンサ (放射線検出器) Mは、 シンチレ一 タユニット 1を備えている。 シンチレータユエット 1は、 複数のシンチレータ部 材 2を備えている。 複数のシンチレ一タ部材 2は、 図 2にも示すように、 隣接す るシンチレータ部材 2がほぼ密接した状態で配置されている。
【0 0 2 7】 シンチレータ部材 2は、 図 3および図 4に示すように、 棒状部材 である円柱状の基材 1 1を備えており、 その側面には、 X線や γ線などの放射線 を所定の波長の光に変換するシンチレータ 1 2が全周にわたって放射状に形成さ れている。 シンチレータ 1 2には、 たとえば Τ 1 ドープの C s Iが用いられてお り、 C s Iは多数の針状結晶 (柱状結晶) が林立した構造を有している。 このシ ンチレータ 1 2は、 基材 1 1の周囲の表面に蒸着法によって形成されている。 本 実施形態におけるシンチレータ 1 2は、 X線入射によって可視光を発する。 【0 0 2 8】 基材 1 1は、 ガラスで形成されており、 放射線透過性を有すると ともに、 その内部を光が伝播することができるようになつている。 基材 1 1は、 ガラスのほか、 アモルファスカーボン、 その他の炭素を主成分とする材料によつ て形成することもできる。
【0 0 2 9】 ここで、 シンチレ一タ部材 2の製造方法について、 図 5 A〜図 5 Cを参照して説明する。 まず、 図 5 Aに示すように、 基材 1 1を用意し、 この基 材 1 1をその軸回りに回転させる。 基材 1 1を回転させるとともに、 基材 1 1の 側面に、 シンチレータを形成するための材料となるシンチレータ成分を蒸着させ る。 そのまま図 5 Bに示すように、 基材 1 1を回転させながらシ チレータ成分 を蒸着させると、 基材 1 1の表面におけるシンチレータ 1 2が徐々に成長する。 そして、 図 5 Cに示すように、 所望の長さまでシンチレータ 1 2が成長した時点 で、 基材 1 1の回転を止め、 シンチレータ 1 2の成長を停止させることで、 シン チレ一タ部材 2が完成する。
【0 0 3 0】 こうして、 シンチレ一タ部材 2に形成されたシンチレータ 1 2の 表面には、 保護膜 1 3が形成されており、 シンチレータ 1 2の表面は保護膜 1 3 によって覆われている。 保護膜 1 3は、 たとえばポリパラキシリレンによって構 成されており、 シンチレータ 1 2の物理的 '化学的損傷を防止している。 特に、 ポリパラキシリレンを用いることにより、 高い防湿性を発揮している。 ここで用 いているシンチレータ 1 2は、 潮解性が高いものであるが、 ポリパラキシリ レン の高い防湿性をもって保護することにより、 シンチレータ 1 2の潮解を防止して いる。 保護膜 1 3としては、 上記のポリパラキシリレンのほか、 たとえばポリパ ラクロ口キシリレンなどのキシレン系樹脂を用いることもできる。
【0 0 3 1】 さらに、 シンチレータ 1 2の表面には、 保護膜 1 3を介して、 反 射膜となる金属反射膜 1 4が形成されている。 金属反射膜 1 4は、 たとえばアル ミニゥムなどの金属によって構成されており、 保護膜 1 3を介してシンチレータ 1 2の表面を覆っている。 そして、 シンチレータ 1 2によって発せられた可視光 がシンチレータ 1 2の外側へともれるのを防止している。 金属反射膜 1 4として は上記のアルミニウム (A 1 ) のほか、 種々のものが挙げられ、 たとえば A g、 C r、 C u、 N i、 T i、 M g、 R h、 P tおよび A uからなる群の中の物質を 含む材料を用いることができる。
【0 0 3 2】 これらの複数のシンチレ一タ部材 2は、 図 1およぴ図 2に示すよ うに、 下面が開放されたケース 3に収容されている。 ケース 3は、 放射線透過性 を有するたとえば樹脂で形成されているが、 たとえばガラス管、 アモルファス力 —ボン、 その他の炭素を主成分とする材料から形成されている態様とすることも できる。 複数のシンチレ一タ部材 2は、 ケース 3の内側において、 たとえば透明 の樹脂からなる固定部材によって固定されて束ねられており、 ケース 3の内側を 極力埋め尽くすようにして配置されている。 固定部材はたとえば溶融した樹脂を 固めることによって形成されており、 溶融した状態の榭脂をケース 3に流し込む とともに、 溶融した樹脂に複数のシンチレ一タ部材 2を含浸させ、 樹脂を冷却し て固化させることによって、複数のシンチレ一タ部材 2を固定することができる。 【0 0 3 3】 さらに、シンチレータュニッ ト 1におけるケース 3の開放面には、 撮像素子となる固体撮像素子 2 0が配置されている。 撮像素子となる固体撮像素 子 2 0には、 シンチレ一タ部材 2における基材 1 1の端部が接続されており、 固 体撮像素子 2 0は、 基材 1 1を介してシンチレータ 1 2から伝播されてきた光を 受光する。
【0 0 3 4】 以上の構成を有する本実施形態に係るイメージセンサにおける作 用について説明する。
【0 0 3 5】 本実施形態に係るイメージセンサ Mにおいては、 ケース 3におけ る開放面に対向する位置にある入射面から、 放射線を入射させる。 入射面から入 射した放射線は、 そのまま直進し、 やがて金属反射膜 1 4および保護膜 1 3を透 過して、 シンチレ一タ部材 2のシンチレータ 1 2へと達する。 シンチレータ 1 2 に放射線が衝突することにより、 シンチレータ 1 2がシンチレーシヨン発光し、 シンチレータ 1 2から所定の波長の光 (本実施形態では可視光) が発生する。 シ ンチレータ 1 2で発生した可視光は、 直接基材 1 1または金属反射膜 1 4に向け て発せられる。 ここで、 直接基材 1 1に向かった可視光は、 そのまま基材 1 1に 入射し、 基材 1 1内を伝播して固体撮像素子 2 0へと到達する。 また、 金属反射 膜 1 4に向かった可視光は、 金属反射膜 1 4に反射され、 やがて基材 1 1へと入 射する。 こうして基材 1 1に入射した可視光は、 基材 1 1内を伝播して固体撮像 素子 2 0へと到達する。
【0 0 3 6】 このように、 ケース 3の入射面から入射した放射線は、 そのまま 直進してシンチレ一タ部材 2におけるシンチレータ 1 2によって可視光に変換さ れ、 基材 1 1を通じて固体撮像素子 2 0に伝播される。 したがって、 入射面から 入射した放射線画像がそのまま可視化されて可視光像として固体撮像素子 2 0に 到達し、 この可視光像が撮影されることになるので、 イメージセンサとしての機 能を果たすことになる。
【0 0 3 7】 ここで、 本実施形態に係るィメージセンサでは、 複数のシンチレ 一タ部材 2を束ねてシンチレ一タ束を形成している。 このため、 たとえば違う形 状や大きさのイメージセンサを製造する場合であっても、 シンチレ一タ束を形成 するシンチレータ部材の数や束ね方を適宜調整することにより、 製造しようとす るィメージセンサの形状等に合わせたシンチレ一タ束を容易に製造することがで きる。 したがって、 イメージセンサの形状や大きさにかかわらず、 本実施形態に 係るシンチレ一タ部材を好適に利用することができる。 しかも、 多数のシンチレ 一タ部材を用いることにより、 大型のイメージセンサを製造する際にも、 ィメー ジセンサに用いられるシンチレータ部分 (シンチレータユニット) を容易に製造 することができる。
【0 0 3 8】 また、 シンチレ一タ部材は、 次のようにして製造することができ る。 図 6 A〜図 6 Cは、 シンチレ一タ部材の他の製造工程を説明する工程図であ る。 この製造工程では、 図 6 Aに示すように、 複数の基材 1 1を吊持することが できる吊持部材 3 0が用いられている。 このときの基材 1 1としては、 たとえば 直径が 0 . 5 mm、 長さ 1 0 O mmのガラスファイバが用いられる。
【0 0 3 9】 吊持部材 3 0は、 鉛直方向に延在する回転軸 3 1を有しており、 回転軸 3 1には、 吊持棒 3 2が取り付けられている。 そして、 吊持棒 3 2には、 複数、 本実施形態では 5本の基材 1 1が吊持されており、 回転軸 3 1を回転させ ることにより、 吊持棒 3 2が回転軸 3 1を中心として回転する。 また、 吊持部材 3 0の下方位置には、 シンチレータ成分を蒸発させる蒸発器 3 3が載置されてい る。
【0 0 4 0】 この状態で、 吊持棒 3 2を回転させながら蒸発器 3 3によって、 たとえば C s i : T 1からなるシンチレータ成分を蒸発させる。 すると、 図 6 B に示すように、 基材 1 1の周囲には、 徐々に、 シンチレータが成長していく。 そ のままさらに吊持棒 3 2を回転させながら蒸発器 3 3によってシンチレータ成分 を蒸発させることにより、 図 6 Cに示すように、 所望の厚さ、 たとえば 0 . 5 m mまでシンチレータ 1 2が成長する。 このあと、 所定のァニール工程を経て、 シ ンチレータ部材 2が完成する。 この製法でシンチレ一タ部材 2を製造することに より、 大量のシンチレ一タ部材 2を短時間で製造することができる。
【0 0 4 1】 こうして製造されたシンチレ一タ部材 2、 2…を、 それぞれポリ パラキシリレンからなる保護膜 1 3によって覆ってコーティングする。それから、 図 7に示すように、 ガラス管 4 0の中に複数のシンチレ一タ部材 2、 2…をでき る限り隙間をなくした状態で詰め込んで収容する。 続いて、 図 8に示すように、 ガラス管 4 0の中に透明な樹脂を充填し、 脱泡した後に固化させて固定部材 4 1 を形成し、 シンチレータ母材 4 2を製造する。 シンチレータ母材 4 2が製造され たら、 図 9に示すように、 ガラス管 4 0およびその内容物を、 薄刃カッターを用 いて約 2 O mmの長さに切断する。 それから、 シンチレ一タ部材 2の表面に保護 膜を形成したのと同様の手順によってカツトした面を保護する保護膜 4 3を形成 してシンチレータュニット 5◦が製造される。 このシンチレータュ-ット 5 0に おけるシンチレ一タ部材 2の並列方向に交差する一面 5 0 a側から放射線を入射 し、 この一面に対向する他面 5 0 b側に、 図示しない固体撮像素子などを配置す ることにより、 放射線検出器とすることができる。 なお、 5 0 aと 5 0 bは逆向 きに使用することも可能である。
【0 0 4 2】 以上、 本発明の好適な実施形態について説明したが、 本発明は上 記実施形態に限定されるものではない。 たとえば、 上記実施形態では、 棒状部材 である基材としてガラス製のものを用いているが、 他の透光性を有する材料を用 いることができる。 また、 シンチレ一タ部材の強度を高くするためには、 基材と して金属製のものを用いることもできるし、 放射線の入射を妨げないようにする ために、 カーボン系の材料を用いることもできる。 なお、 棒状部材として金属や カーボンなどの非透光性部材を用いる場合、 基材に蒸着形成したシンチレータ部 材をガラス等の透光性の管状部材の中に挿入して、 透光性の管状部材をライトガ イドとして光を導光することが可能となる。
【0 0 4 3】 また、 上記実施形態では、 棒状部材である基材として円柱形状の ものを用いているが、 これに限定されるものではなく、 たとえば角柱状のものや 楕円柱状のものなどを用いることもできる。 さらに、 棒状部材は柱状体に限定さ れるものではなく、 たとえば円錐、 角錐などの錐体形状のものやその頂部が切断 された形状のもの、 あるいは高さ方向中央部がくびれたひようたん型のものなど を用いることもできる。 また、 上記実施形態では、 シンチレータユニットを形成 するにあたり、 シンチレ一タ部材を、 その軸方向に交差 (直交) する方向に並べ てシンチレ一タ束を形成しているが、 それぞれ同軸上に配置して束ねた態様とす ることもできる。
【0 0 4 4】 さらに、 上記実施形態では、 ケース 3の内側に直接固定部材で固 められたシンチレ一タ束を収容しているが、 たとえばケースの内側に金属反射膜 などの反射膜および保護膜の少なくとも一方を介在させる態様とすることもでき る。 このとき、 反射膜や保護膜は、 ケース 3の内側面に貼り付けるなどして形成 することができる。 あるいは、 上記実施形態では、 固定部材を用いてシンチレ一 タ束を形成しているが、 シンチレ一タ部材をケースや固体撮像素子に固定するこ とでシンチレ一タ束を形成する態様とすることもできる。
【0 0 4 5】 他方、 イメージセンサとして、 シンチレータユニットに固体撮像 素子を取り付けたものを用いているが、 たとえば光電子増倍管などの光電変換素 子を用いることもできる。 この場合、 光電変換素子を所定の画像処理回路を介し てモニタに接続することにより、 イメージセンサとして用いることができる。 ま た、 放射線検出器としては、 イメージセンサのほか、 .エネルギー弁別器などに利 用することもできる。
【0 0 4 6】 以上の説明のとおり、 本発明によれば、 放射線検出器などの製品 に用いる場合に、 種々の形状、 大きさの製品、 特に大型の製品に対応することが できるシンチレータ部材ぉよびシンチレータユニットを提供することができる。 【0 0 4 7】 また、 上記実施形態では、 シンチレータとして C s I ( T 1 ) が 用いられているが、 これに限らず、 たとえば C s i (N a )、 N a I (T l )、 L i I ( E u )、 K i ( T 1 ) 等を用いることもできる。 シンチレータは可視光を発 するタイプに限られず、 放射線入射によつて紫外線や赤外線を発するタイプのも のでもよい。この場合、変換される光に感度を有する撮像素子を使用すれば良く、 光ガイドとなる基材についても変換される光に透過性を有するものが好ましい。 産業上の利用可能性
【0 0 4 8】 本発明に係るシンチレータ部材、 シンチレータユニットは、 大面 積のシンチレータパネルや放射線ィメージセンサ等の検出器を作成するのに好適 に使用することができるほか、 様々な形状の放射線ィメージセンサゃ放射線検出 器の作成に好適に使用することができる。

Claims

請求の範囲
1 . 棒状部材の側面上に放射状に蒸着されたシンチレータを備えていることを 特徴とするシンチレータ部材。
2 . 前記棒状部材が、 シンチレータで発光する光を透過する透光性材料を含む ことを特徴とする請求の範囲第 1項に記載のシンチレータ部材。
3 . 前記透光性材料はガラスであることを特徴とする請求の範囲第 2項に記載 のシンチレータ部材。
4 . 前記棒状部材が、 金属材料を含むことを特徴とする請求の範囲第 1項また は第 2項に記載のシンチレータ部材。
5 . 前記棒状部材が、 カーボン系材料を含むことを特徴とする請求の範囲第 1 項または第 2項に記載のシンチレータ部材。
6 . 前記棒状部材は、 円柱形状をなすことを特徴とする請求の範囲第 1項〜第 5項のうちのいずれか 1項に記載のシンチレータ部材。
7 . 前記棒状部材に形成されたシンチレータの表面を覆う保護膜を有している ことを特徴とする請求の範囲第 1項〜第 6項のうちのいずれか 1項に記載のシン チレータ部材。
8 . 前記保護膜は、 防湿性を備えることを特徴とする請求の範囲第 7項に記載 のシンチレータ部材。
9 . 前記棒状部材に形成されたシンチレータの表面に形成された反射膜を備え ていることを特徴とする請求の範囲第 1項〜第 8項のうちのいずれか 1項に記載 のシンチレ一タ部材。
1 0 . 請求の範囲第 1項〜第 9項のうちのいずれか 1項に記載のシンチレータ 部材を複数束ねて形成されたシンチレ一タ束を備えていることを特徴とするシン チレータュニッ 卜。
1 1 . 請求の範囲第 1項〜第 9項のうちのいずれか 1項に記載のシンチレータ 部材を複数用意し、 前記複数のシンチレータ部材におけるそれぞれの前記棒状部 材を、 同軸上に配置して形成されたシンチレ一タ列を備えるシンチレータュニッ 卜。
1 2 . 前記複数のシンチレ一タ部材の間に配置されて、 前記複数のシンチレ一 タ部材を固定している固定部材を備えている請求の範囲第 1 0項または第 1 1項 に記載のシンチレータユニット。
1 3 . 請求の範囲第 1 0項〜第 1 2項のうちのいずれか 1項に記載されたシン チレータュュットと、 前記シンチレータュニットの棒状部材に接続された撮像素 子とを備えている放射線検出器。
1 4 . 請求の範囲第 1 0項〜第 1 2項のうちのいずれか 1項に記載されたシン チレータュニットと、 前記シンチレータュニットの棒状部材に接続された光電変 換素子とを備えている放射線検出器。
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