WO2004075389A1

WO2004075389A1 - アクチュエータ

Info

Publication number: WO2004075389A1
Application number: PCT/JP2004/001769
Authority: WO
Inventors: Tetsuji Zama; Susumu Hara; Minoru Nakayama; Shingo Sewa
Original assignee: Eamex Corporation
Priority date: 2003-02-18
Filing date: 2004-02-18
Publication date: 2004-09-02

Abstract

駆動部、電解質及び対極を備えたアクチュエータであって、前記駆動部が導電性高分子を含み、前記駆動部の形状が無端帯状またはリング状であり、前記駆動部を複数の支持体に掛架したアクチュエータは、容易に固定することができ、複層体とした場合であっても容易に固定することができる駆動部をとすることができる。

Description

明細書

ァクチユエータ

背景技術

本発明は、電圧を印加することにより駆動する駆動部若しくは駆動部を含むァクチユエータ並びに該ァクチユエータを用いた装置に関する。

ポリピロールなどの導電性高分子は、電気化学的な酸化還元によって伸縮あるレヽは変形する現象である電解伸縮を発現することが知られている。導電性高分子を含む成形品は、電圧を印加することにより、この電解伸縮により駆動することができァクチユエータ若しくは駆動機構の駆動部に用いることができる。この導電性高分子成形品を用いたァクチユエータ若しくは駆動機構は、人工筋肉、ロボットアーム、義手等の用途として応用が期待され、近年注目されている。

導電性高分子成形品を用いたァクチユエータとしては、セル内に電解液、対極及びポリピロールフィルムを備えたァクチユエータの構成が 1997年に報告さ; ^ている。 A. D e l i a S a n t a e t al _s" P e r f o rma n c e a n d wo r k c a p a c i t y o f a p o l y p y r r o l e c o n d u c t i n g p o l yme r l i n e a r a c t u a t o r 、 S y 11 t h e t i c Me t a l s、 E l s e v i e r S c i e n c e、 1 9 97年、第 90卷、 P 93— 100を参照のこと。

このァクチユエータはポリピロールフィルム及び対極が電解液に浸漬された状態で対極とポリピロールフィルムとの間に電圧を印加することによりポリピローノレフイノレムが伸縮し、ポリピロ一ルフィノレムが 14. 6MP a (45 g) の負荷を受けながらも l°/oの伸縮をすることが記載されている。つまり、このァクチユエータは、電解伸縮により、長さ方向に 14MP aの力を発生させることができる。前記ァクチユエータは、導電性高分子を含む成形品が膜状体であるために、駆動部として用いる場合には、チャックなどによって挟み、ァクチユエータとして固定する必要がある。

しかし、膜状の導電性高分子成形品をチヤック爪などでチヤックすることにより固定する方法は、強い力でチャックした場合には膜状が欠損して十分に固定できないことがあり、また、導電性高分子の有する可撓性により導電性高分子成形品が変形してチャックすることが難しい場合がある。そのため、膜状の導電性高分子成形品をチヤックすることにより位置を固定することは難しく、また、チャックする部材をシャフト等に接続して前記導電性高分子成形品の駆動を駆動力として取り出すことも難しい。

また、導電性高分子の伸縮運動による駆動で発生する力について、大きな発生力を得るために複数枚の導電性高分子薄膜を厚さ方向に積層して素子を得た場合に、前記素子の両端をチャックすることにより固定する方法は、全ての層に同じテンションをかけることが難しく、素子（積層体）を固定する方法としては不適当であった。

また、駆動装置等の駆動部として用いられる方法としては、ワイヤーによる牽引や、モーターによる回転など、機械的若しくは電気的な駆動方法が通常である。しかし、ワイヤーによる牽引で駆動させる場合には、ワイヤーのネジ止めや、滑車を備えるなど、構造が複雑になる。モーターにより駆動する場合には、振動や音を発生して静粛性に問題があり、構造が大掛かりになり、軽量化も難しい。また、素子に電圧印加することにより電気化学的な伸縮動作で駆動する素子を複数の支持体に掛架させて、前記素子の伸縮動作で駆動させる駆動機構は知られていない。

本発明の目的は、容易に固定することができ、複層体とした場合であっても容易に固定することができる駆動部を含むァクチユエータを提供することである。

発明の開示そこで、本発明者らは、鋭意検討の結果、駆動部、電解質及ぴ対極を備えたァクチユエータであって、前記駆動部が導電性高分子を含み、前記駆動部の形状が無端帯状またはリング状であり、前記駆動部を複数の支持体に掛架したァクチユエータを用いることにより、駆動部の固定が容易であり、前記駆動部を駆動させた際に前記支持体に駆動力が伝わって、容易に駆動力を得ることができることを見出し、本発明に至った。

また、前記駆動部として導電性高分子を含む捲回体を用いることにより、駆動部の固定が容易であり、前記駆動部を駆動させた際に前記支持体に駆動力が伝わって、容易に駆動力を得ることができることを見出し、本発明に至った。また、駆動部、電解質及び対極を備えたァクチユエータであって、前記駆動部の形状が無端帯状若しくはリング状であり、前記駆動部を掛架するための駆動部取付用支持体を備え、前記駆動部を張架するための補助支持体とを備えたァクチユエータを用いることにより、駆動部の固定が容易である。しかも、前記ァクチユエータは、前記駆動部を前記補助支持体に略 S字状、略 M字状若しくはこれらの連続した形状、ジグザグ状、渦巻き状または折り畳み状に保持することも容易であるので、駆動部が例えば 2 0 c m以上のように長い場合であつても、省スペース化を図ることができ、コンパクトな状態で,駆動部を容易に保持することができる。

上記ァクチユエ一タにおいて、少なくとも一の端部のループ状部を備えた駆動体を駆動部に用いることにより、ループ状部を駆動部取付用支持体に掛けて、支持体に卷き付けることにより、容易に捲回体である駆動部を形成することができる。

さらに、前記駆動部が、電解伸縮により最大の伸縮率が 8 %以上である導電性高分子を材料として含み、ァクチユエータの駆動時における前記駆動部の伸縮率を最大の伸縮率の 5 0 %以下となるように前記駆動部を伸縮させる請求項 3 2に記載のァクチユエータの駆動方法を用いることにより、（1 ) 駆動部を長くすることにより伸縮量を大きくすることができ最大伸縮率の 5 0 %以下の伸縮率で伸縮させることで伸縮速度を速くすることができる。図面の簡単な説明第 1図は、第一の発明の一実施態様についての断面図である。

第 2図（a ) は、筒状をした無端帯状の駆動部の斜視図である。（b ) は、リング状の駆動部の斜視図である。（c ) は、無端帯が積層された無端帯状の駆動部の斜視図である。

第 3図は、第二の発明の一実施態様についての断面図である。

第 4図（a ) は、無端帯状の捲回体の斜視図である。（b ) は、掛架されるための空間部を内側に備えた捲回体の斜視図である。

第 5図は、第二の発明の第二の実施態様についての断面図である。

第 6図（a ) は、前記駆動体の第一の実施態様例についての斜視図である。（b ) は、前記駆動体の第二の実施態様例についての斜視図である。（c ) は、前記駆動体の第三の実施態様例についての斜視図である。

第 7図は、第三の発明のァクチユエータ素子についての第一の実施態様例の斜視図である。

第 8図は、第三の発明のァクチユエータ素子についての第二の実施態様例の斜視図である。

第 9図は、第三の発明のァクチユエータ素子についての第三の実施態様例の斜視図である。

第 1 0図は、第三の発明のァクチユエータ素子についての第四の実施態様例の斜視図である。

第 1 1図は、最大の伸縮率が 1 2 %である導電性高分子に電圧を印加した場合における時間と伸縮率との相関図である。

発明を実施するための最良の形態

本発明について、以下図を用いて説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。 (ァクチユエータ）

本願発明は、駆動部、電解質及び対極を備えたァクチユエータであって、前記駆動部が導電性高分子を含み、前記駆動部の形状が無端帯状またはリング状であり、前記駆動部を複数の支持体に掛架したァクチュエータである。以下、本発明を第一の発明とする。

第 1図は、第一の発明の一実施態様例についての断面図である。箱状のァクチユエータ 1は、導電性高分子を含む無端帯状の駆動部 2と対極 3と液状の電解質 4とを箱状の筐体 5の内部に備えている。駆動部 2は、導電性の支持体 6 1、 6 2に掛架されている。馬区動部 2は導電性の支持体 6 2とリードを介して電源 7に接続され、対極 3はリードを介して電源 7に接続される。前記駆動部及び前記対極に電圧が印加されることにより、駆動部は電解伸縮をして駆動する。

第 1図においては、支持体 6 1、 6 2は、筐体 4に摺動可能なように設けられ、円柱状のシャフト 8 1、 8 2が固定されている。前記シャフトは、筐体の上部に設けられた図の左右方向の溝に沿って左右に摺動可能なように、設けられている。棒状の支持体 6 1、 6 2力ベルト状の駆動部 2が張架されることにより駆動部内側面で握持されるか、駆動部内側面に導電性接着剤等により導電可能なように接着される場合には、 2つの支持体が駆動部の図の左右への伸縮運動に追随して、左右へ摺動し、シャフトも左右方向へ摺動する。前記の無端帯状の駆動部が電解伸縮をすることにより支持体が運動するので、支持体の運動による力を直接またはシャフト等を介する等の手段によって動作させる対象物に伝えることで、前記駆動部の電解伸縮により発生する力を駆動力として取り出すことができる。

第一の発明のァクチユエータにおいては、前記駆動部は、導電性高分子を含むものであれば、無端帯状であってもリング状であってもよい。前記駆動部は、導電性高分子を含むために、前記駆動部と対極との間に電解質を介する状態で電圧印加されることにより前記駆動部中の導電性高分子が電解伸縮する駆動部である。前記駆動部は、導電性高分子を含み、更に無端帯状若しくはリング状をしているので、 2つ以上の支持体に掛架させることにより、駆動部としての設置が容易であり、支持体を駆動部内側面で握持されせることにより、容易に駆動させることができ、前記駆動部の固定も容易である。

前記駆動部としては、電解重合により容易に製造できることから、主成分として導電性高分子を含む、無端帯状もしくはリング状の導電性高分子成形品を好適に用いることができる。前記導電性高分子成形品は、その製造方法が特に限定されるものではない。例えば、製造方法（1) ：モノマー成分にピロールを用い、電解液に安息香酸メチル、電解液中のドーパントとして 0. 2M— TB ACF₃S0₃、対極として N ί電極を用い、作用電極として直径 10 Ommの T i円柱体を用いて公知の電解重合方法を行うことにより、導電性高分子を円筒状の作用電極の外周面に重合させ、作用電極外周面に得られた導電性高分子を切り出すことにより無端帯またはリング状の導電性高分子成形品を得ることができる。この導電 ¾Ξ高分子成形品を 5 mm幅のリング状とし、 150m:m間隔の 2本の P t棒を支持体として、前記導電性高分子成形品を張架させた場合には、前記導電性高分子成形品は、対極を含む電解液中で ±0. 7V V s A gZAg+の電圧を印加することで、良好な伸縮を示した。

製造方法（2) ：モノマー成分にピロールを用い、電解液に安息香酸メチル、電解液中のドーパントとして 0. 2M— TBACF₃S〇₃、対極として N i電極を用い、作用電極として板状の T i電極を用いて電解重合することにより得られた長さ 200mm、幅 5 mmの導電性高分子膜を、膜の両端を公知の導電性接着剤で張り合わせて、リング状の導電性高分子成形品を得ることができる。 100 mm間隔の 2本の P t棒を支持体として、このリング状導電性高分子成形品を張架させた場合には、前記導電性高分子成形品は、対極を含む電解液中で ±0. 7V V s A g/Ag"¹"の電圧を印加することで、良好な伸縮を示した。製造方法（3) ：モノマー成分にピロールを用い、電解液に安息香酸メチル、電解液中のドーパントとして 0. 2M— TB ACF₃S0₃、対極として N i電極を用い、作用電極として板状で長さ 10 Omm、幅 5 Ommである T〖電極を用いて電解重合することにより得られた 10枚の長さ 10 Omm、幅 5 mm の導電性高分子膜を、各膜の両端を公知の導電性接着剤で張り合わせて、リング状の導電性高分子成形品を 10枚得ることができる。 150 mm間隔の 2本の P t棒を支持体として、このリング状導電性高分子成形品を張架させて、積層させた場合には、前記導電性高分子成形品の積層体は、対極を含む電解液中で ± 0. 7 V V s Ag/Ag+の電圧を印加することで、良好な伸縮を示した。製造方法（4) ：モノマー成分にピロールを用い、電解液に安息香酸メチル、電解液中のドーパントとして 0. 2M— TBACF₃S〇₃、対極として N i電極を用い、作用電極として板状の T i電極を用いて電解重合することにより得られた長さ 200 mm、幅 5 mmの導電性高分子膜を、 10枚の各両端を公知の導電性接着剤でつなぎ合わせて、帯状の導電性高分子成形品を得ることができる。 10 Omm間隔の 2本の P t棒を支持体として、この帯状の導電性高分子成形品を 2点の支持体に捲きつけて無端帯状の捲回体とした場合には、前記導電性高分子成形品は、対極を含む電解液中で土 0. 7V V s Ag/Ag ⁺ の電圧を印加することで、良好な伸縮を示した。

これに対して、モノマー成分にピロールを用い、電解液に安息香酸メチル、電解液中のドーパントとして 0. 2M— TBACF₃S0₃、対極として N i電極を用い、作用電極として板状の T i電極を用いて電解重合することにより得られた長さ 10 Omm、幅 5 mmの導電性高分子膜を 20枚積層して両端を力シメた場合には、この積層体は、対極を含む電解液中で ±0. 7V V s A g/Ag ⁺の電圧を印加した際に、各層に均等なテンションを保つことができず、良好な伸縮性能を得ることができなかった。

上記製造方法（1) においては、周方向の断面が円状若しくは楕円状の導電性成形体に T i円柱体を作用電極として用い、対向電極に N i電極を用いて公知の電解重合方法を行い、作用電極の外周面に得られた導電性高分子を切り出すことにより無端帯またはリング状の導電性高分子成形品を得ている。周方向の断面が円状若しくは楕円状の導電性成形品としては、円筒体のような、内側面を備えた導電性成形体を用いてよい。この場合、作用電極に T i円柱体を用いて公知の電解重合方法を行い、作用電極の外周面及び Zまたは内周面に得られた導電性高分子を切り出すことにより、無端帯またはリング状の導電性高分子成形品を得ることができる。なお、前記導電性成形体には、導電性材料により成形されたものであれば、特に限定されるものではなく、作用電極として用いることができる。前記導電性材料としては、 T i、 N i、 M o、 W、 S U S などの金属または A u、 P t等の貴金属を含む金属であっても良く、導電性樹脂や I T Oガラス等の導電性非金属であっても良いが、大きな伸縮性能を持つ導電性高分子を得るために N i、 M oまたは T iが特に好ましい。

第一の発明のァクチユエータにおいて、前記駆動部の形状は、無端帯状またはリング状であれば、特に限定されるものではない。第 2図は、前記駆動部として使用することができる形状の駆動部の斜視図である。前記駆動部の形状は、第 2図（a ) のように筒状であって周方向の断面が中空の楕円状であってもよい。また、第 2図（b ) のようにリング状であっても、第 2図（c ) のように無端帯が積層された無端帯状であってもよい。また、帯状の導電性高分子フィルムを捲回して捲回体とし、無端帯状の駆動部としてもよい。

(第二の発明）

また、本願発明は、駆動部、電解質及び対極を備えたァクチユエータであつて、前記駆動部が導電性高分子を含む捲回体であり、掛架されるための空間部を前記駆動部の内側に備え、前記駆動部を複数の支持体に掛架したァクチユエータでもある。以下、本発明を第二の発明とする。

第 3図は、第二の発明の一実施態様についての断面図である。箱状のァクチユエータ 1 1は、導電性高分子を含む無端帯状の駆動部 1 2と対極 1 3と液状の電解質 1 4とを箱状の筐体 1 5の内部に備えている。駆動部 1 2は、導電性の支持体 1 6 1、 1 6 2に掛架されている。駆動部 1 2は導電性の支持体 1 6 2とリードを介して電源 1 7に接続され、対極 1 3はリードを介して電源 1 7 に接続される。前記駆動部及び前記対極に電圧が電解質を介して印加されることにより、駆動部は電解伸縮をして駆動する。

図 3においては、図 1と同様に支持体 1 6 1、 1 6 2は、筐体 1 4に摺動可能なように設けられ、円柱状のシャフト 1 8 1、 1 8 2が固定されている。前記シャフトは、筐体の上部に設けられた図の左右方向の溝に沿って左右に摺動可能なように、設けられている。棒状の支持体 6 1、 6 2が、ベルト状の駆動部 2が張架されることにより駆動部内側面で握持されるか、駆動部内側面に導電性接着剤等により導電可能なように接着される場合には、 2つの支持体が駆動部の図の左右への伸縮運動に追随して、左右へ摺動し、シャフトも左右方向へ摺動する。前記の無端帯状の駆動部が電解伸縮をすることにより支持体が運動するので、支持体の運動による力を直接またはシャフト等を介する等の手段によつて動作させる対象物に伝えることで、前記駆動部の電解伸縮による発生する力を駆動力として取り出すことができる。

第二の発明のァクチユエータにおいて、駆動部は、導電性高分子を含む捲回体であり、掛架されるための空間部を前記駆動部の内側に備えていればよい。前記駆動部は、電圧印加されることにより前記駆動部中の導電性高分子が電解伸縮する駆動部である。前記駆動部は、捲回体であり、掛架されるための空間部を前記駆動部の内側に備えているので、 '2つ以上の支持体に掛架させることにより、駆動部としての設置が容易であり、支持体を駆動部内側面で握持されせることにより、容易に駆動させることができ、前記駆動部の固定も容易である。

第二の発明のァクチユエータにおいて、前記駆動部の形状は、捲回体であり、掛架されるための空間部を前記駆動部の内側に備えていれば、特に限定されるものではない。図 4は、前記駆動部として使用することができる形状を駆動部の斜視図である。前記駆動部の形状は、第 4図（a ) のように無端帯状であつて、筒状の周方向の断面が中空の楕円状であってもよい。また、第 4図（b ) のように掛架されるための空間部を前記駆動部の内側に備えた形状であってもよい。また、帯状の導電性高分子フィルムを捲回して捲回体とし、無端帯状の駆動部としてもよい。

前記駆動部として、導電性高分子の捲回体を用いる場合においては、導電性高分子を含み、少なくとも一の端部のループ状部を備えた駆動体を捲回させることにより得られた捲回体を用いることができる。駆動体がループ状部を備えることにより、ループ状部を支持体に掛けることにより駆動体の一端が固定されるので、捲回体を形成するのが容易である。

第 5図は、少なくとも一の端部のループ状部を備えた駆動体を駆動部として用いた場合に、一実施態様例の断面図である。第 5図の箱状のァクチユエータ 2 1は、第 3図のァクチユエータと同様の構成であり、導電性高分子を含む駆動部 2 2、対極 2 3及び液状の電解質 2 4を箱状の筐体 2 5の内部に備えている。駆動部 2 2は、ループ状部 2 2 1を導電性の支持体 2 6 1に掛けることで駆動部 2 2が支持体に固定され、さらに支持体 2 6 2と支持体 2 6 2とに掛架された無端帯状の駆動部である。駆動部 2 2は、導電性の支持体 2 6 2とリードを介して電源 2 7に接続され、対極 2 3はリードを介して電源 2 7に接続される。前記駆動部及ぴ前記対極に電圧が電解質を介して印加されることにより、駆動部は電解伸縮をして駆動する。第 5図においては、第 3図と同様に、支持体 2 6 1、 2 6 2は、筐体 2 4に図の左右に摺動可能なように設けられ、左右方向へ摺動可能なように円柱状のシャフト 2 8 1、 2 8 2が固定されている。捲回体である駆動部 2 2に電圧が印加されることで、前記駆動部の電解伸縮による発生する力を駆動力として取り出すことができる。

第 5図において、駆動部 2 2は、該ループ状部を端部に備えた駆動体を用意して、該ループ状部の内側面が支持体の外周面と接するように該ループ状部を支持体に掛けた後に、駆動体を支持体 2 6 2と支持体 2 6 2とに捲回さることで形成する方法により得られる。前記駆動体は、ベルト状の導電性高分子の一の端部 2 2 2を中心方向に曲げて積層させることでループ状部 2 2 1を形成し、ベルト状の導鼂性高分子を胴体部分とし、一端にはループ状部を備える。前記駆動体を用いて駆動部を得る前記方法は、前記ループ状部を支持体に掛けた後に、支持体に卷き付けることで無端帯状の捲回体を得られるので、第 3図に示したような既に捲回された無端帯状の捲回体を用いるよりも、支持体を握持する駆動部を容易に得ることができるので、好ましい。

前記駆動体は、駆動体全体としての端部のうち少なくとも一の端部にループ状部を備えていれば特に限定されるものではなく、両端にループ状部を備えていても良い。第 6図（a ) 〜（c ) は、前記駆動体の実施態様例についての斜視図である。第 6図（a ) は、ベルト状導電性高分子の一の端部を中心方向に曲げて積層させてループ状部を備えた駆動体の実施態様である。駆動体 3 1は、ベルト状導電性高分子の一の端部 3 2を中心方向に曲げて、端部 3 2を駆動体 3 1の胴体部 3 4に積層させて、ループ状部 3 3が形成されている。駆動体 3 1においては、図の左側の端部にループ状部 3 3が形成されているが、反対側の端部 3 5においても前記と同様に積層させて、ループ状部を形成させても良い。端部 3 2と胴体部 3 4との積層部分においては、端部が胴体部から脱離しないように、端部が胴体部に固定されていることが好ましい。端部を胴体部に固定させる方法としては、接着剤、力シメゃホッチキス止め等の公知の固定方法を用途に応じて用いることができる。

第 6図（b ) は、ベルト状導電性高分子の一の端部にループ形成用部材を備えてループ状部を形成させたループ状部を備えた駆動体の実施態様例である。駆動体 3 1 ' は、ベノレト状導電性高分子の一の端部 3 2 ' にループ形成用部材 3 6を設けた駆動体であり、該ループ形成用部材の有する開口部に駆動体の胴体部 3 4 ' を貫通させることにより、ループ状部 3 3 ' が形成されている。ループ形成用部材 3 6は、胴体部 3 4 ' に固定されていても良いが、摺動可能なように胴体部 3 4，が遊挿されていることが好ましい。前記ループ形成用部材は、特に限定されるものではなく、金属性であっても樹脂製であっても良い。本実施態様も他の端部 3 5 ' に前記ループ形成用部材を備えていても良い。第 6図（c ) は、ベルト状導電性高分子の一の端部にループ状部材を設けることにより、ループ状部を備えた駆動体の実施態様例である。駆動体 3 1 "は、ベルト状導電性高分子の一の端部 3 2 "にループ状部材 3 7を設けることによりループ状部 3 3 "が形成されている。第 6図（c ) の態様例においては、前記ル一プ状部材が略円筒状であるが、前記ループ状部材の形状は、円筒状に限定されず、捲回体を構成することを阻害する形状でなければ、所望の形状を用いることができる。駆動体 3 1 "は、第 6図（b ) に示した実施態様例と同様に、他の端部 3 5 "にループ状部材を備えていても良い。 .

(第三の発明）

また、本願発明は、無端帯状若しくはリング状の駆動部と、前記駆動部を掛架するための駆動部取付用支持体を備え、前記駆動部を張架するための補助支持体とを備えたことを特徴とするァクチユエータでもある。以下、本発明を第三の発明とする。

第 7図は、第三の発明の駆動機構についての第一の実施態様例を示す斜視図である。駆動機構装置 9 1は、無端帯状の駆動部 9 2が駆動部取付け用支持体 9 3、 9 3 ' に引っ掛けることにより掛着されている。駆動部 9 2は、複数の捕助支持体に掛けられて、駆動部取付け用支持体と補助支持体とを備えた駆動部取付け板 9 4に、張架された状態で取付けられている。

第 7図においては、無端帯状の駆動部の内側面が駆動部取付け用支持体と接するように、前記駆動部が駆動部取付け用支持体に取付けられている。前記駆動部は、駆動部取付け用支持体 9 3、 9 3 ' と一列をなすピン状の捕助支持体 9 5とその列と対面する列をなすピン状の補助支持体 9 5 ' とに、前記駆動部の外面を補助支持体の外周に周着させて、前記駆動部を張架させている。第 7 図において、前記駆動部 9 2が補助支持体 9 5、 9 5 ' の外周に周着されることにより張架されて略 S字状若しくは略 M字状の連続した形状（または、ジグザグ状または折り畳み状）となっている。前記駆動部は、駆動部取付け用支持体 9 3側と駆動部取付け用支持体 9 3 ' 側とにおいて、略 S字状若しくは略 M 字状の連続した形状として保持されている。駆動部 9 2は、このような張架された形態をとることにより、前記駆動部は折りたたまれて構造となり、駆動部が例えば 2 m以上のように長い場合であっても、省スペース化を図ることができ、コンパクトな状態で駆動部を容易に保持することができる。

また、駆動部 9 2には、駆動対象物と連結させるための連結部材 96が取付けられている。連結部材 9 6は、該連結部材が備える円柱体の外周に前記駆動部の外面が周着することにより、前記駆動部に取付けられている。また、図 7においては、前記駆動部取付け用支持体と補助支持体とが設けられている駆動部設置板 9 4には、他の部材と該駆動部設置板とを結合するための結合用部材 9 7が備えられている。例えば、前記結合用部材を掛け穴に掛けて駆動部 9 1を垂下させ、連結部材 9 6を牽引対象物に連結させることにより、駆動部 9 2を伸縮させることで該牽引対象物を上下動させることができる。

第 8図は、第三の発明の駆動機構についての第二の実施態様例を示す斜視図である。第 7図においては、駆動部 9 2が 2つの駆動部取付け用支持体 9 3、 9 3 ' に引っ掛けることにより掛着されているが、第 8図においては、駆動部 1 0 1が 1つの取付け用支持体 1 0 3に引っ掛けることにより掛着されている。また、前記駆動部は、駆動部取付け用支持体 1 0 3、 1 0 3 ' と一列をなすピン状の補助支持体 1 0 5とその列と対面する列をなすピン状の補助支持体 1 0 5 ' とに、前記駆動部の外面を補助支持体の外周に周着させて、前記駆動部を張架させている。第 8図に示した実施態様例では駆動部の外面に連結部材が取付けられ、第 9図に示した実施態様例では,駆動部の内面に連結部材が取付けられているが、駆動部の駆動力が連結部材に伝達されればよい。前記駆動部は、駆動部取付け用支持体 1 0 3と補助支持体 1 0とにより張架されて、略 S字状若しくは略 M字状の連続した形状として保持されている。第二の実施態様例においても、例えば、前記結合用部材を掛け穴に掛けて駆動機構体 1 0 1を垂下させ、連結部材 1 0 6を牽引対象物に連結させることにより、駆動部 1 0 2を伸縮させることで該牽引対象物を上下動させることができる。

第 9図は、第三の発明の駆動機構についての第三の実施態様例を示す斜視図である。駆動機構体 1 1 1は、無端帯状の駆動部 1 1 2が駆動部取付け用支持体 1 1 3に引っ掛けることにより掛着されている。駆動部 1 1 2は、複数の捕助支持体に掛けられて、駆動部取付け用支持体と補助支持体とを備えた駆動部取付け板 1 1 4に、張架された状態で取付けられている。

第 9図においては、無端帯状の駆動部の内側面が駆動部取付け用支持体と接するように、前記駆動部が駆動部取付け用支持体に取付けられている。前記駆動部は、駆動部取付け用支持体 1 1 3と複数の補助支持体 1 1 5とにより形成される渦卷き状の列において、前記駆動部の外面が補助支持体の外周に周着させるように前記駆動部が張架されている。このような前記駆動部が渦卷き状に保持されている形態をとることにより、駆動部が例えば 2 m以上のように長い場合であっても、省スペース化を図ることができ、コンパクトな状態で駆動部を容易に保持することができる。

また、第 9図においては、前記駆動部取付け用支持体と補助支持体とが設けられている駆動部設置板 1 1 4には、他の部材と該駆動部設置板とを結合するための結合用部材 1 1 7が備えられている。例えば、前記結合用部材を掛け穴に掛けて駆動部 1 1 1を垂下させ、連結部材 1 1 6を牽引対象物に連結させることにより、駆動部 1 1 2を伸縮させることで該牽引対象物を上下動させることができる。第 1 0図は、第三の発明の駆動機構についての第四の実施態様例を示す斜視図である。第 8図においては無端帯状の駆動体が駆動部 9 2として用いられてレ、る。これに対して、第 1 0図の実施態様例では、第 6図（a ) に示すループ状部を備えた駆動体を駆動部として用いた場合である。ァクチユエータ素子 1 2 1において、駆動部 1 2 2は、一端にループ状部 1 2 8を備え、該ループ状部が駆動部取付け用支持体 1 2 3に引っ掛けることにより掛着されている。駆動部 1 2 2は、第 8図の実施態様例と同様に、前記駆動部の外面をピン状の補助支持体の外周に周着して、張架されている。また、駆動体のループ状部 1 2 8を備える端部の反対側の端部にもループ状部 1 2 8 ' を備え、ループ状部 1 2 8 ' には連結部材 1 2 6を備えている。ァクチユエータ素子 1 2 1は、第 8 図のァクチユエータ素子 1 0 1と同様に、電解液中で駆動部に電圧を印加することで、駆動体 1 2 2が電解伸縮し、連結部材 1 2 6に連結された牽引対象物を上下動させることができる。第 1 0図の実施態様例において、ループ状部を備えた駆動体は、駆動体の端部にループ状部を備えているので支持体に取付けることが容易であって、ベルト状のァクチユエータ素子を二枚重として補助支持体とりつける必要もないので、駆動部として好適である。特に、前記駆動体は、第 1 0図の支持体及び補助支持体の間隔が狭い場合などの複雑なァクチュエータ構造に用いる場合に好適である。

本願の第三の発明において、前記駆動部は、駆動部自身が伸縮するものであれば、伸縮のメカニズムが特に限定されるものではないが、前記駆動部の伸縮量を制御することが容易であることから、前記駆動部が導電性高分子を含み、該導電性高分子の電圧印加による電気化学的な伸縮動作で前記駆動部が伸縮することが好ましい。

(駆動部）

本願における第一乃至第三の発明のァクチユエータにおいて、前記駆動部は、導電性高分子を含み、電解伸縮により駆動するのであるが、前記導電性高分子としては、ポリピロール、ポリチォフェン、ポリア二リン、ポリフエ二レンなど用いることができる力分子鎖にピ口ール及び//またはピ口ール誘導体を含む導電性高分子であることが、製造が容易であり、導電性高分子として安定であるだけではなく、電解伸縮性能に優れているために好ましい。

前記駆動部は、ドーパントとして！一トルエンスルホン酸ナトリゥムを含む導電性高分子のような従来の導電性高分子を含むものであっても良い。また、第一の発明のァクチユエータを大きな伸縮を必要とする用途に用いる場合には、前記駆動部は、前記作動部が、前記作動部に含まれる導電性高分子が、電解重合法による導電性高分子の製造方法であって、前記電解重合法が有機化合物を溶媒として含む電解液を用いる該製造方法により得られた導電性高分子である作動部を用いることができる。前記有機化合物は、（1 ) エーテル結合、エステル結合、炭素一ハロゲン結合及びカーボネート結合からなる化学結合の群から少なくとも 1つ以上選ばれた化学結合種及び Zまたは（ 2 ) ヒドロキシル基、エトロ基、スルホン基及ぴニトリル基からなる官能基の群から少なくとも 1つ以上選ばれた官能基を分子中に含むことが好ましい。前記駆動部が前記製造方法により製造された導電性高分子を含む駆動部である場合には、前記駆動部の

1酸化還元サイクル当たりの伸縮率を容易に 3 %以上とすることができ、ァクチユエータを人工筋肉等の大きな伸縮率が要求される用途に用いることができる。記駆動部は、電解重合により得られた導電性高分子を捲回することにより得られら帯状体若しくは膜状体として得ることもできる。また、前記電解液中に、公知のドーパントを含んでいても良く、より大きな 1酸化還元サイクル当たりの伸縮率を得るためにトリフルォロメタンスルホン酸イオン及び Zまたは中心原子に結合するフッ素原子を複数含むァユオンを含むことが好ましい。更に、得られた導電性高分子の 1酸化還元サイクル当たりの伸縮率が 1 6 %以上とするために、前記電解液として、上記のトリフルォロメタンスルホン酸ィォン及び/ ^または中心原子に対してフッ素原子を複数含むァユオンの替りに、ィ匕学式（1 )

( C _n F _{( 2 n + 1 )} S 0 ₂) ( C_m F _{( 2 m+ 1 )} S 0 ₂ ) N" ( 1 )

(ここで、 11及び mは任意の整数。）

で表されるパーフルォロアルキルスルホ二ルイミドイオンをァニオンとして含む電解液を用いることが好ましい。

前記有機化合物としては、 1 , 2—ジメトキシェタン、 1， 2—ジェトキシェタン、テトラヒドロフラン、 2—メチルテトラヒドロフラン、 1， 4ージォキサン（以上、エーテル結合を含む有機化合物）、 γ—プチ口ラタトン、酢酸ェチル、酢酸 _η-ブチル、酢酸- 1-プチル、 1， 2—ジァセトキシェタン、 3—メチルー 2—ォキサゾリジノン、安息香酸メチル、安息香酸ェチル、安息香酸プチル、フタル酸ジェチル（以上、エステル結合を含む有機化合物）、プロピレン力ーボネート、エチレンカーボネート、ジメチノレカーボネート、ジェチノレカーボネート、メチルェチルカーボネート（以上、カーボネート結合を含む有機化合物）、エチレングリコーノレ、 1ーブタノ一ノレ、 1 一へキサノーノレ、シクロへキサノール、 1ーォクタノール、 1—デカノーノレ、 1ードデカノーノレ、 1ーォクタデカノール（以上、ヒドロキシル基を含む有機化合物）、ニトロメタン、ニトロベンゼン（以上、ニトロ基を含む有機化合物）、スルホラン、ジメチルスルホン (以上、スルホン基を含む有機化合物）、及ぴァセトニトリル、プチロニトリル、ベンゾ-トリル（以上、二トリル基を含む有機化合物）を例示することができる。なお、ヒドロキシル基を含む有機化合物は、特に限定されるものではない多価アルコール及び炭素数 4以上の 1価アルコールであることが、伸縮率が良いために好ましい。なお、前記有機化合物は、前記の例示以外にも、分子中にエーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ヒドロキシル基、ニト口基、スルホン基及ぴエトリル基のうち、 2つ以上の結合あるいは官能基を任意の組合わせで含む有機化合物であつてもよい。

また、前記製造方法において、電解液に溶媒として含まれるハロゲン化炭化水素は、炭化水素中の水素が少なくとも 1つ以上ハロゲン原子に置換されたもので、電解重合条件で液体として安定に存在することができるものであれば、特に限定されるものではない。

前記ハロゲン化炭化水素としては、例えば、ジクロロメタン、ジクロロエタンを挙げることができる。前記ハロゲン化炭化水素は、 1種類のみを前記電角军液中の溶媒として用いることもできるが、 2種以上併用することもできる。また、前記ハロゲン化炭化水素は、上記の有機化合物との混合して用いてもよく、該有機溶媒との混合溶媒を前記電解液中の溶媒として用いることもできる。前記電解重合法に用いられる電解液には、電解重合される有機化合物（例えば、ピロール）およびトリフルォロメタンスルホン酸イオン及ぴノまたは中心原子に対してフッ素原子を複数含むァ-オンを含む。この電解液を用いて電解重合を行うことにより、電解伸縮において 1酸化還元サイクル当たりの伸縮率及び Zまたは特定時間あたりの変位率が優れた導電性高分子を得ることができる。上記電解重合により、トリフルォロメタンスルホン酸イオン及び/または中心原子に対してフッ素原子を複数含むァニオンが導電性高分子に取り込まれることになる。

前記トリフルォロメタンスルホン酸イオン及び/または中心原子に対してフッ素原子を複数含むァニオンは、電解液中の含有量が特に限定されるものではないが、電解液中に 0. 1〜 30重量％含まれるのが好ましく、 1〜 1 5重量。 /₀ 含まれるのがより好ましい。

トリフルォロメタンスルホン酸イオンは、化学式 CF₃S〇₃一で表される化合物である。また、中心原子に対してフッ素原子を複数含むァニオンは、ホウ素、リン、アンチモン及びヒ素等の中心原子に複数のフッ素原子が結合をした構造を有している。中心原子に対してフッ素原子を複数含むァニオンとしては、特に限定されるものではないが、テトラフルォロホウ酸イオン（BF₄— )、へキサフルォロリン酸イオン（PF₆— )、へキサフルォロアンチモン酸イオン（S b F ₆一）、及びへキサフルォロヒ酸イオン（A s F₆一）を例示することができる。なかでも、 CF₃S0₃一、 BF₄一及び PF₆_が人体等に対する安全性を考慮すると好ましく、 CF₃S0₃一及び BF₄一がより好ましい。膜質の優れた導電性高分子膜を得るために C F 3 S O ₃一が特に好ましい。前記の中心原子に対してフッ素原子を複数含むァニオンは、 1種類のァ-オンを用いても良く、複数種のァュオンを同時に用いても良く、さらには、トリフルォロメタンスルホン酸イオンと複数種の中心原子に対しフッ素原子を複数含むァニオンとを同時に用いても良い。

前記電解重合法に用いられる電解液には、前記有機化合物溶媒と前記トリフルォロメタンスルホン酸イオン及び/または中心原子に対してフッ素原子を複数含むァオンとの溶液中に、導電性高分子の単量体を含み、さらにポリェチレングリコールやポリアクリルアミドなどの公知のその他の添加剤を含むこともできる。

前記電解重合法は、導電性高分子単量体の電解重合として、公知の電解重合方法を用いることが可能であり、定電位法、定電流法及び電気掃引法のいずれをも用いることができる。例えば、前記電解重合は、電流密度 0. 01〜20m A/c m2、反応温度一 70〜 80 °C、好ましくは電流密度 0. 1〜 2 mA/ c 反応温度一 40〜40°Cの条件下で行うことが好ましく、反応温度が一 3 0〜30°Cの条件であることがより好ましい。

前記駆動部は、導電性高分子が含まれる他に、駆動部としての抵抗値を低下させるために、金属線や導電性酸化物などの導電性材料を適宜含むことができる。また、導電率が 1. 0 X 10³SZcni以上である導電性基体と複合化させることにより、導電性基体と導電性高分子との複合構造体としてもよい。

前記導電性基体としては、前記導電性基体が伸縮性を有し、前記導電性基体の導電率が 1. 0X 10³SZ cm以上であれば特に限定されるものではない。前記導電性基体の導電率が 1. 0 X 1.0³S/ c m以上であることにより、前記導電性基体を含む導電性高分子複合構造体のサイズを大きくしても、ァクチュエータとして実用可能である大きな伸縮を得ることが可能となる。

前記導電性基体は、伸縮性を発揮し、導電率が 1. 0 X 10³S c m以上であれば、材質が特に限定されるものではない。前記材質は、導電性及び機械的強度の面から見て、金属、金属メツキした高分子繊維、及び炭素材料であることが好ましい。前記導電性基体の構造は、導電性基体が金属等の非伸縮性の材料を含むことによって導電率 1. 0X 10³ SZ cm以上の導電性を有する場合には、伸縮可能な構造とすることが好ましい。導電性基体が伸縮可能であることにより、導電性基体が導電性高分子と複合化された導電性高分子複合構造体は、ァクチユエータとして実用可能な伸縮等の変位を得ることができる。また、前記導電性高分子複合構造体は、導電性基体が前記導電性高分子複合構造体において芯材としても機能し得ることから、機械的強度も向上できる。

前記伸縮可能な構造は、伸縮可能であれば特に限定されるものではない。前記伸縮可能な構造は、板状や直線線分状の構造と異なり、コイル型ばね、板ばね及びメッシュの様に縦断面において導電性基体を構成する部材間に空間を有する構造を備えた構造であることが好ましい。前記伸縮可能な構造としては、パネ状部材、網目状部材、繊維構造シートを代表的に例示することができる。

(支持体）

本願の第一乃至第三の発明のァクチユエータにおける支持体は、前記駆動部が掛架できるものであって、 2つ以上の複数個がァクチユエータに備えてあれば特に限定されるものではな 'い。図 1、図 3、図 7〜1 0においては、前記支持体の形状は、棒状であるが、無端帯状またはリング伏である前記駆動部が掛架できるものであれば、棒状、筒状、円柱状や角柱状等の所望の形状とすることができる。

これらの図においては、前記支持体は、導電性を有し、リードを介して電源と接続されることにより、当該支持体に導電性高分子を含む駆動部が掛架されることで、当該駆動部に電圧を印加することができる。しカゝし、前記支持体は、必ずしも導電性を有する必要がなく、前記支持体が導電性を有さない場合には、前記駆動部に電源に接続されたリ一ドを直接接続することで、前記駆動部に電圧を印加することが可能となる。前記支持体が導電性を有する場合には、導電性を示す材料を含むことで導電性を示すものであればよく、例えば、金、白金、タングステン、ニッケルであってもよく、表面にこれらの材料が形成されているものでも良い。前記支持体が複数設置されている場合には、各支持体から電位を与えることができるので、駆動部が長い場合には、伸縮速度を向上させることができ、特に 5 O mm以上長さの駆動部である場合には、支持体間の間隔を 5 0 mm以内にして、各支持体に電位を与えることにより伸縮速度の向上を図ることができる。

前記支持体は、ァクチユエータ中に 2つ以上複数含んでいれば良く、特に個数が限定されるものではない。前記支持体は、駆動部が張架されるので、 2本以上であることが好ましい。前記支持体は、一つの駆動部が 2つの支持体に張架されても良く、 3つ以上の支持体に張架されてもよい。また、前記支持体は、 1つの支持体に 2つ以上の駆動部が張架されても良い。また、前記ァクチユエータにおいて、駆動部を支持体に張架するために、前記駆動部を押圧若しくは牽引するための、ピン等の補助部材を用いることができる。 W

20 図 7〜 1 0においてはリ一ド線及び電源が明^されてないが、前記支持体は、導電性を有し、リードを介して電源と接続されることにより、当該支持体に導電性高分子を含む駆動部が掛架されることで、当該駆動部に電圧を印加することができる。しカゝし、前記支持体は、必ずしも導電性を有する必要がなく、前記支持体が導電性を有さない場合には、前記駆動部に電源に接続されたリードを直接接続することで、前記駆動部に電圧を印加することが可能となる。

(電解質）

第一乃至第三の発明のァクチユエータは、電解質を含む。前記電解質は、通常の導電性高分子を駆動部とするァクチユエータと同様に、駆動部と接するように配置され、駆動部と対極とが電解質を介するように配置されていればよい。前記電解質は、特に限定されるものではなく、液状であってもよく、固体電解質でもよい。前記電解質が液状である場合には、水溶媒であっても、有機溶媒であっても良いが、毒性が低く揮発する速度が比較的遅いために取り扱いが容易であり、大きな伸縮を得ることができるため、水溶媒であることが好ましい。前記電解液が固体電解質である場合には、ゲル高分子電解質であっても完全固体高分子電解質であってもよいが、電解質中のイオン伝導度が大きいためにゲル高分子電解質が好ましい。前記ゲル高分子電解質に用いるゲルとしては、ポリアクリルアミド、ポリエチレングリコール、寒天などを用いること力水溶液電解質と複合させ、容易にゲル高分子電解質を調製できるので好ましい。前記電解質は、トリフルォロメタンスルホン酸イオン、中心原子に対してフッ素原子を複数含むァニオン及ぴ炭素数 3以下のスルホン酸塩からなる群より少なくとも 1以上選ばれた化合物を含む電解質とすることが、ァクチユエータが 1 酸化還元サイクル当たりのさらに大きな伸縮を生じることが可能となるので、好ましい。

(対極）

本願の第一乃至第三の発明のァクチユエータは、対極を含む。前記対極は、通常の導電性高分子を駆動部とするァクチユエータと同様に、電解質と接するように配置され、駆動部と対極とが電解質を介するように配置されていればよレ、。前記対極としては、電極として用いることができる導電性材料で形成されているものであれば、形状が特に限定されるものではなく、棒状、線状、膜状及ぴ板状であっても良い。また、前記対極の材質は、特に限定されるものではなく、種類として金、白金等の貴金属を含む金属であっても良く、導電性樹脂や I T Oガラス等の導電性非金属であっても良いが、腐食しにくくて加工が容易なことから貴金属であることが好ましく、白金または金であることがより好ましい。

(筐体）

図 1及ぴ図 3において、第一の発明のァクチユエータが筐体を備えている力 S、第一の発明は、当該ァクチユエータの構成及び用途に応じて用いられる。例えば、前記ァクチユエータが、支持体の移動による運動の力を、筐体を介して駆動対象物に伝達する場合には、ァクチユエータの筐体が可撓性を有する材料で形成され、ァクチユエータ全体が伸縮運動するものであってもよい。ァクチュエータ全体が伸縮運動する場合には、筐体を形成する可撓性材料は、特に限定されるものではなく、ァクチユエータの伸び率に応じて、適宜選択することができ、伸び率 5 %以上の合成樹脂を用いることが好ましく、伸び率 2 0 %以上の合成樹脂を用いることがより好ましい。前記可撓性材料としては、例えば、シリコン系樹脂、ウレタン系樹脂、シリコン系ゴム、ウレタン系ゴム等を用いることができる。また、前記可撓性材料は、電解質をァクチユエータ外部に漏洩することを防止する機能をも有することから、耐溶剤性を有することが好ましく、シリコン系樹脂、ウレタン系樹脂、シリコン系ゴム又はウレタン系ゴムを好適に用いることができる。なお、前記ァクチユエータは、作動部分が筐体により密閉されている構造を備えている場合には、棒状体のような力を伝える手段が筐体を貫通して構造に比べて、長期の使用による電解質の漏洩が無いので、人工筋肉等の機械部品として用いることに優れている。

(ァクチユエータ構造）

駆動部は、図 1及び図 3においては無端帯の単独層である駆動部が液状の電解質に浸漬している状態となっているが、他の実施態様として、電解液が前記駆動部の内側に備えてあっても良い。前記電解質が前記駆動部の內側に備えてある場合には、液漏れを防ぐための被膜が必要ないために、固体電解質であることが好ましい。また、機械構成上のスペースが狭く、筐体を設置することができない場合には、前記駆動部を導電性高分子含有層と固体電解質層との積層体とする態様とすることが好ましい。また、前記駆動部は、リング状の駆動部を積層させて用いることができ、リングの厚さ方向に積層させてリング状体の積層体としても良く、リングの幅方向に積層させて筒状であるリング状体の積層体にしても良い。前記のリング状体の積層体は、さらに電解質層を設けて、駆動部と電解質との積層体としても良い。

(界面活性剤）

また、本願発明のァクチユエータにおいて、電解質中に界面活性剤を含むことが好ましい。前記駆動部が駆動することにより、上述の補助支持体や連結部材等のような駆動部と接する部材がある場合には、前記ァクチユエータの電解質中に界面活性剤を含むことにより、ァクチユエータの駆動回数が場合であつても、駆動部と接する部材と接触部付近における駆動部の摩耗を防止することができる。

前記界面活性剤としては、特に限定されるものではなく、ァニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、ノニオン系界面活¾£剤や両性イオン型界面活性剤などを用いることができるが、イオン的に中性の界面活¾：剤を用いることがドーパントとの相互作用を生じることが少ないので好ましい。前記界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレン（8 ) イソォクチルフエ二ルエーテル (商品名「トリトン X— 1 1 4」、和光純薬社製）、ポリオキシエチレン（1 0 ) ィォソクチルフエ-ルエーテル（商品名「トリトン X— 1 0 0」、アルドリッチ社製）を用いることができる。

前記界面活性剤は、電解質中に含まれれば、特に濃度が限定されるものではなく、界面活性剤の種類に応じて適宜濃度調整することができる。例えば、界面活性剤として、ポリオキシエチレン（8 ) イソォクチルフエ二ルエーテルを用いた場合には、 0 . 1重量。/。〜 5 0重量。 /₀の濃度範囲で電解質中に含むことができ、駆動部の表面に対する配向が小さい界面活性剤を用いる場合には含有量を前記範囲よりも大きくすることができる。なお、前記電解質は、特に限定されるものではないが、ゲル状または液状の電解質であることが好ましい。 (駆動方法）

また、本願発明は、上記の第一乃至第三の発明のァクチユエータを駆動させる駆動方法でもある。特に、電解伸縮により最大の伸縮率が 8%以上である導電性高分子を材料として含んで、ァクチユエータの駆動時における前記駆動部の伸縮率を最大の伸縮率の 50%以下となるように駆動部を伸縮させるァクチユエータの駆動方法を用いることが、所望の長さの変位をより短時間の駆動で得ることができるので、好ましい。前記伸縮率とは、伸長した状態の駆動部の長さ（L) に対する伸長した状態から収縮した状態へ変位した際の駆動部の長さの差（変位量、 D) の割合（D/Lxl O O (%)) をいい、最大の伸縮率とは、最も伸長した状態の駆動部の長さ（Lm i n) に対する最も伸長した状態力、ら最も収縮した状態に変位した際の駆動部の長さの差（変位量、 Dma x) の割合 (Dm a x/Lm i nx 100 (%)) をいう。

図 1 1は、最大の伸縮率が 1 2%である電気化学的な伸縮をする導電性高分子（短冊状、長さ 14mm、幅 2mm、厚さ 0. 02 mm) について、一0. 7 V V s Ag/Ag+の電圧を印加した場合における時間と伸縮率との相関を示した図である。この導電性高分子は、最大の伸縮率（1 2%) の 62. 5%である伸縮率（7. 5%) の伸縮をさせるのに、駆動開始から 80秒を要する。これに対し、この導電性高分子において、最大の伸縮率（12%) の 5 0%である伸縮率（6%) の伸縮は、駆動開始から 20秒で行うことができるので、短時間で大きな伸縮を行うことができる。さらに、前記の 50%である伸縮率（6%) を、 30%である伸縮率（4%) とすることで、伸縮に要する時間が 7秒とすることができるので、ァクチユエータの駆動時における前記駆動部の伸縮率を最大の伸縮率の 30 %以下となるように前記駆動部を伸縮させる駆動方法は、より短時間に伸縮するので実用的用途に好適に用いることができる。，

最大の伸縮率よりも小さな伸縮率で駆動部を駆動させることがより短時間で行われることの要因としては、電解伸縮での最大の伸縮率が 8 %以上である導電性高分子は、最大の伸縮率が 1〜 3。/。の電解伸縮である導電性高分子に比べて、電解質中のイオンを出し入れしゃすい構造であることが考えられる。そのために伸縮する際の初期のィオンの出し入れが早く、伸縮が大きくなるにつれて導電性高分子中のィオン占有量が増えて、又は減少してィオン反発等によりィオン出入速度が低下することが考えられる。

上記駆動方法においては、図 1 1において駆動開始 2 0秒後での単位時間当たりの伸縮率が 0 . 3 %/ sであるのに対し、駆動開始 1 0秒後での単位時間当たりの伸縮率が約 0 . 4 7 %ノ sであり、駆動時間が短レヽほど単位時間当たりの伸縮率が短くなる。つまり、上記駆動方法においては、所望の伸縮長さを得るためには、駆動部を構成する導電性高分子（駆動体）の長さを長くすることにより、（1 ) 従来の伸縮量よりも長い伸縮量を得ることができ、（2 ) さらに、所望の伸縮長さが最大の伸縮率よりも 5 0 %以下となるような導電性高分子（駆動体）の長さである場合には速い駆動をさせることができる。伸縮率が大きく、さらに速い伸縮をする駆動をするァクチユエータは、ロボットや義手などの実用的用途として有利であるために、各種装置の駆動装置等に好適である。

(用途）

上記の第一乃至第三の発明におけるァクチユエータは、より大きな伸縮率を得ることが容易であるので、変位が小さくても用いることができるスィツチやセンサー等の用途以外に、変位が大きい用途である人工筋肉としても好適に用いることがでる。つまり、本発明のァクチユエ一タは、変位が小さい用途にしか用いることができなかった導電性高分子を含むァクチユエ一タを、人工筋肉等の変位が大きな用途へと用途拡大を図ることができる。また、第一の発明及ぴ第二の発明は、リードに緩衝機能を有するリードを用いてもよい。前記ァクチュエータは、リニアァクチユエータとして用いることも可能であり、駆動装置や押圧装置として用いることができる。前記ァクチユエータにおいて駆動部の 1酸化還元サイクルあたりの伸縮率が 3 %以上である場合には、シャフトが 3 %以上伸縮して、ァクチユエータとして 3 %以上の伸縮を得ることができ、人工筋肉等の変位が大きな用途へと用途に好適に用いることができる。本発明のァクチユエータは、電気により導電性高分子が駆動するァクチユエータであるので、駆動時に無音であるために、室内用途装置における駆動部または押圧部として好適である。また、前記ァクチユエータは、金属部品が少ないために従来のリニアァクチユエータに比べて軽量であるので、位置決め装置、姿勢制御装置、昇降装置、搬送装置、移動装置、調節装置、調整装置、誘導装置並びに関節装置の駆動部として用いること好適に用いることができる。

上記の第一の発明及び第二の発明のァクチユエータは、人工筋肉として用いるためには、前記駆動部の伸縮率が、ァクチユエータとしての大きな伸縮を得ることができるために、 1酸化還元サイクル当たりの 3 %以上、より好ましくは 6 %以上であることが好ましい。

上記の本願発明のァクチユエータは、人工筋肉、ロボットアームや義手に好適に使用することができる。また、マイクロサージェリー技術におけるピンセット、ハサミ、鉗子、スネア、レーザメス、スパチュラ、クリップなどの医療器具、検査や補修等を行う各種センサー若しくは補修用工具など、健康器具、湿度計、湿度計コントロール装置、ソフトマ-ュピュレーター、水中バルブ、ソフト運搬装置などの工業用機器、金魚などの水中モービル、または動く釣り餌や推進ヒレなどのホビー用品などの水中で用いられる物品についても好適に使用することができる。

また、上記の本願発明のァクチユエータは、次の装置および機器において直線的な駆動力を発生する駆動部若しくは円弧部からなるトラック型の軌道を移動するための駆動力を発生する駆動部、または直線的な動作若しくは曲線的な動作をする押圧部として好適に用いることができる； O A機器、アンテナ、ベッドゃ椅子等の人を乗せる装置、医療機器、エンジン、光学機器、固定具、サイドトリマ、車両、昇降器械、食品加工装置、清掃装置、測定機器、検査機器、制御機器、工作機械、加工機械、電子機器、電子顕微鏡、電気かみそり、電動歯ブラシ、マニピュレータ、マスト、遊戯装置、アミューズメント機器、乗車用シミュレーション装置、車両乗員の押さえ装置及び航空機用付属装備展張装置。前記ァクチユエータは、例えば、 O A機器や測定機器等の上記機器等を含む機械全般に用いられる弁、ブレーキ及びロック装置において、直線的な駆動力を発生する駆動部もしくは円弧部からなるトラック型の軌道を移動するための駆動力を発生する駆動部、または直線的な動作をする押圧部として用いることができる。また、前記の装置、機器、器械等以外においても、機械機器類全般において、位置決め装置の駆動部、姿勢制御装置の駆動部、昇降装置の駆動部、搬送装置の駆動部、移動装置の駆動部、量や方向等の調節装置の駆動部、軸等の調整装置の駆動部、誘導装置の駆動部、及び押圧装置の押圧部として好適に用いることができる。また、前記ァクチユエータは、関節装置における駆動部として、関節中間部材等の直接駆動可能な関節部または関節に回転運動を与える駆動部に好適に用いることができる。上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、 C AD用プリンタ一等のインクジエツトプリンターにおけるインクジエツト部分の駆動部、プリンターの前記光ビームの光軸方向を変位させる駆動部、外部記憶装置等のディスクドライブ装置のヘッド駆動部、並びに、プリンタ、複写機及びファックスを含む画像形成装置の給紙装置における紙の押圧接触力調整手段の駆動部として好適に用いることができる。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、電波天文用の周波数共用アンテナ等の高周波数給電部を第 2焦点へ移動させるなどの測定部や給電部の移動設置させる駆動機構の駆動部、並びに、車両搭載圧空作動伸縮マスト（テレスコーピングマスト）等のマストゃアンテナにおけるリフト機構の駆動部に好適に用いることができる。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、椅子状のマッサージ機のマツサージ部の駆動部、介護用又は医療用ベットの駆動部、電動リクライニング椅子の姿勢制御装置の駆動部、マッサージ機や安楽椅子等に用いられるリクライニングチェアのバックレスト ■ォットマンの起倒動自在にする伸縮口ッドの駆動部、椅子や介護用べッド等における背もたれやレッダレスト等の人を乗せる家具における可倒式の椅子の背もたれやレッダレスト或いは介護用べッドの寝台の旋回駆動等に用いられる駆動部、並びに、起立椅子の姿勢制御のため駆動部に好適に用いることができる。， W 200

27 上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、検査装置の駆動部、体外血液治療装置等に用いられている血圧等の圧力測定装置の駆動部、カテーテル、内視鏡装置や鉗子等の駆動部、超音波を用いた白内障手術装置の駆動部、顎運動装置等の運動装置の駆動部、病弱者用ホイストのシャシの部材を相対的に伸縮させる手段の駆動部、並びに、介護用ベッドの昇降、移動や姿勢制御等のための駆動部に好適に用いることができる。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、エンジン等の振動発生部からフレーム等の振動受部へ伝達される振動を減衰させる防振装置の駆動部、内燃機関の吸排気弁のための動弁装置の駆動部、エンジンの燃料制御装置の駆動部、並びにディーゼルエンジン等のエンジンの燃料供給装置の駆動部として好適に用いることができる。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、手振れ補正機能付き撮像装置の校正装置の駆動部、家庭用ビデオ力メラレンズ等のレンズ駆動機構の駆動部、スチルカメラやビデオカメラ等の光学機器の移動レンズ群を駆動する機構の駆動部、カメラのオートフォーカス部の駆動部、カメラ、ビデオカメラ等の撮像装置に用いられるレンズ鏡筒の駆動部、光学望遠鏡の光を取り込むォートガイダの駆動部、立体視力メラゃ双眼鏡等の 2光学系を有する光学装置のレンズ駆動機構または鏡筒の駆動部、光通信、光情報処理や光計測等に用いられるファィバ型波長可変フィルタの波長変換のファィバに圧縮力を与える駆動部若しくは押圧部、光軸合せ装置の駆動部、並びに、カメラのシャツタ機構の駆動部に好適に用いることができる。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、ホース金具をホース本体に力シメ固定する等の固定具の押圧部に好適に用いることができる。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、自動車のサスペンションの卷ばね等の駆動部、車両のフューエルフィラーリツドを解錠するフューエルフィラーリッドオープナーの駆動部、プルドーザ一ブレードの伸張及び引っ込みの駆動の駆動部、自動車用変速機の変速比を自動的に切り替える為やクラッチを自動的に断接させる為の駆動装置の駆動部に好適に用いることができる。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、座板昇降装置付車椅子の昇降装置の駆動部、段差解消用昇降機の駆動部、昇降移載装置の駆動部、医療用べッド、電動ベッド、電動テーブル、電動椅子、介護用ベッド、昇降テーブル、 C Tスキャナ、トラックのキャビンチルト装置、リフタ一等や各種昇降機械装置の昇降用の駆動部、並びに重量物搬送用特殊車両の積み卸し装置の駆動部に好適に用いることができる。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、食品加工装置の食材吐出用ノズル装置等の吐出量調整機構の駆動部に好適に用いることができる。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、清掃装置の台車や清掃部等の昇降等の駆動部に好適に用いることができる。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、面の形状を測定する 3次元測定装置の測定部の駆動部、ステージ装置の駆動部、タイヤの動作特性を検知システム等のセンサー部分の駆動部、力センサーの衝撃応答の評価装置の初速を与える装置の駆動部、孔內透水試験装置を含む装置のビストンシリンダのビストン駆動装置の駆動部、集光追尾式発電装置における仰角方向へ動かすための駆動部、気体の濃度測定装置を含む測定装置のサファイアレーザー発振波長切替機構のチューニングミラーの振動装置の駆動部、プリント基板の検査装置や液晶、 P D Pなどのフラットパネルディスプレイの検査装置においてァライメントを必要とする場合に Χ Υ Θ テーブルの駆動部、電子ビーム（Eビーム）システム又はフォーカストイオンビーム（F I B ) システムなどの荷電粒子ビームシステム等において用いる調節可能なアパーチャ一装置の駆動部、平面度測定器における測定対象の支持装置若しくは検出部の駆動部、並びに、微細デバイスの組立をはじめ、半導体露光装置や半導体検査装置、 3次元形状測定装置などの精密位置決め装置の駆動部に好適に使用できる。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、電気かみそりの駆動部、並びに、電動歯ブラシの駆動部に好適に用いることができる。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、三次元物体の撮像デバイス或いは C D、 D V D共用の読み出し光学系の焦点深度調整用デバイスの駆動部、複数のァクチユエータによって駆動対象面を能動曲面としてその形状を変形させることによって所望の曲面を近似的に形成して焦点位置を容易に可変できる可変ミラーの駆動部、光ピックアップ等の磁気へッドの少なくとも一方を有する移動ュ-ットを直線移動させることが可能なディスク装置の駆動部、リニアテープストレージシステム等の磁気テープへッドアクチユエータアセンブリのヘッド送り機構の駆動部、電子写真方式の複写機、プリンタ、ファクシミリなどに適用される画像形成装置の駆動部、磁気へッド部材等の搭載部材の駆動部、集束レンズ群を光軸方向に駆動制御する光ディスク原盤露光装置の駆動部、光へッドを駆動するへッド駆動手段の駆動部、記録媒体に対する情報の記録又は記録媒体に記録された情報の再生を行う情報記録再生装置の駆動部、並びに、回路しや断器（配電用回路しや断器）の開閉操作の駆動部に好適に用いることができる。

前記ァクチユエータは、例えば、次の装置の駆動部として好適に用いることができる；ゴム組成物のプレス成形加硫装置の駆動部、移送される部品について単列■単層化や所定の姿勢への整列をさせる部品整列装置の駆動部、圧縮成形装置の駆動部、溶着装置の保持機構の駆動部、製袋充填包装機の駆動部、マシユングセンタ等の工作機械や射出成形機やプレス機等の成形機械等の駆動部、印刷装置、塗装装置やラッカ吹き付け装置等の流体塗布装置の駆動部、力ムシャフト等を製造する製造装置の駆動部、覆ェ材の吊上げ装置の駆動部、無杼織機における房耳規制体等の駆動装置、タフティング機の針駆動システム、ルーパー駆動システム、およびナイフ駆動システム等の駆動部、カム研削盤や超精密加工部品等の部品の研磨を行う研磨装置の駆動部、織機における綜銑枠の制動装置の駆動部、織機における緯糸揷通のための経糸の開口部を形成する開口装置の駆動部、半導体基板等の保護シート剥離装置の駆動部、通糸装置の駆動部、 C R T用電子銃の組立装置の駆動部、衣料用縁飾り、テーブルクロスゃシートカバー等に用途をもつトーションレースを製造するためのトーションレース機におけるシフターフォーク駆動選択リニア制御装置の駆動部、ァユールゥィンドウ駆動装置の水平移動機構の駆動部、ガラス溶融窯フォアハースの支持アームの駆動部、力ラ一受像管の蛍光面形成方法等の露光装置のラックを進退動させる駆動部、ボールボンディング装置のトーチアームの駆動部、ボンディングへッドの XY方向への駆動部、チップ部品のマウントやプローブを使った測定などにおける部品の実装工程や測定検査工程の駆動部、基板洗浄装置の洗浄具支持体の昇降駆動部、ガラス基板を走査される検出へッドを進退させる駆動部、パターンを基板上に転写する露光装置の位置決め装置の駆動部、精密加工などの分野においけるサブミク口ンのオーダで微小位置決め装置の駆動部、ケミカルメカニカルポリシングツールの計測装置の位置決め装置の駆動部、導体回路素子や液晶表示素子等の回路デバィスをリソグラフィ工程で製造する際に用いられる露光装置及び走査露光装置に好適なステージ装置の位置決めのための駆動部、ワーク等の搬送あるいは位置決め等の手段の駆動部、レチクルステージゃウェハステージ等の位置決めや搬送のための駆動部、チャンバ内の精密位置決めステージ装置の駆動部、ケミカルメカ-力ルポリシングシステムでのワークピースまたは半導体ゥユーハの位置決め装置の駆動部、半導体のステツパー装置の駆動部、加工機械の導入ステーション内に正確に位置決めする装置の駆動部、 N C機械ゃマシニングセンター等の工作機械等または I C業界のステッパーに代表される各種機器用のパッシブ除振及びァクティブ除振の除振装置の駆動部、半導体素子や液晶表示素子製造のリソグラフィ工程に使用される露光装置等において光ビーム走査装置の基準格子板を前記光ビームの光軸方向に変位させる駆動部、並びに、コンペャの横断方向に物品処理ユニット内へ移送する移送装置。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、電子顕.微鏡等の走査プローブ顕微鏡のプローブの位置決め装置の駆動部、並びに、電子顕微鏡用試料微動装置の位置決め等の駆動部に好適に用いることができる。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、自動溶接ロボット、産業用口ボットゃ介護用ロボットを含むロボットまたはマニピュレータにおけるロボットアームの手首等に代表される関節機構の駆動部、直接駆動型以外の関節の駆動部、ロボットの指のそのもの、ロボット等のハンドとして使用されるスライド開閉式チヤック装置の運動変換機構の駆動部、細胞微小操作や微小部品の組立作業等において微小な対象物を任意の状態に操作するためのマイクロマニピュレータの駆動部、開閉可能な複数のフィンガーを有する電動義手等の義肢の駆動部、ハンドリング用ロボットの駆動部、補装具の駆動部、並びにパワース一ッの馬区動部に好適に用いることができる。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、サイドトリマの上回転刃又は下回転刃等を押圧する装置の押圧部に好適に用いることができる。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、パチンコ等の遊戯装置における役物等の駆動部、人形ゃぺットロポット等のアミューズメント機器の駆動部、並びに、乗車用シミュレーシヨン装置のシミュレーション装置の駆動部に好適に用いることができる。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、上記機器等を含む機械全般に用いられる弁の駆動部に用いることができ、例えば、蒸発ヘリウムガスの再液化装置の弁の駆動部、ベローズ式の感圧制御弁の駆動部、綜銑枠を駆動する開口装置の駆動部、真空ゲート弁の駆動部、液圧システム用のソレノイド動作型制御バルブの駆動部、ピポットレバーを用いる運動伝達装置を組み込んだバルプの駆動部、ロケットの可動ノズルのバルブの駆動部、サックバックバルブの駆動部、並びに、調圧弁部の駆動部に好適に用いることができる。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、上記機器等を含む機械全般に用いられるブレーキの押圧部として用いることができ、例えば、非常用、保安用、停留用等のブレーキゃェレベータのブレーキに用いて好適な制動装置の押圧部、並びに、ブレーキ構造もしくはブレーキシステムの押圧部に好適に用いることができる。

上記の本願発明のァクチユエータは、例えば、上記機器等を含む機械全般に用いられるロック装置の押圧部として用いることができ、例えば、機械的ロック装置の押圧部、車両用ステアリングロック装置の押圧部、並びに、負荷制限機構及び結合解除機構を合わせ持つ動力伝達装置の押圧部に好適に用いることができる。産業上の利用可能性

本願の第一乃至第三の発明のァクチユエータは、支持体に掛架することで容易に固定化することができ、特に駆動部を複層構造とした場合であっても各層に同じテンションをかけることができるので、大きな発生力をえるァクチユエータとして好適である。

上述のように本願の第一乃至第三の発明のァクチユエータは、容易に固定することができ、また、電気により導電性高分子が駆動するァクチユエータであるので、駆動時に無音であるために、室内用途装置における駆動部または押圧部として好適である。また、前記ァクチユエータは、金属部品が少ないために従来のリニアァクチユエータに比べて軽量であるので、位置決め装置、姿勢制御装置、昇降装置、搬送装置、'移動装置、調節装置、調整装置、誘導装置並びに関節装置の駆動部として用いること好適に用いることができる。

Claims

請求の範囲

1 . 駆動部、電解質及び対極を備えたァクチユエータであって、前記駆動部が導電性高分子を含み、前記駆動部の形状が無端帯状またはリング状であり、前記駆動部を複数の支持体に掛架したァクチユエータ。

2 . 前記駆動部が、前記導電性高分子の電圧印加による電気化学的な伸縮動作で伸縮することを特徴する請求の範囲第 1項に記載のァクチユエータ。

3 . 前記導電性高分子が、

電解重合法により製造する導電性高分子の製造方法であって、

前記電解重合法はエーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ヒドロキシル基、ニトロ基、スルホン基及び二トリル基のうち少なくとも 1つ以上の結合あるいは官能基を含む有機化合物及び /又はハロゲン化炭化水素を溶媒として含む電解液を用い、

前記電解液はトリフルォロメタンスルホン酸イオン及び Zまたは中心原子に対してフッ素原子を複数含むァニオンを含む

導電性高分子の製造方法

により得られた導電性高分子である請求の範囲第 1項に記載のァクチユエータ。

4 . 前記駆動部の伸縮率が 3 %以上である請求の範囲第 1項に記載のァクチユエ' ~々―

5 . 前記駆動部が無端帯体またはリング体の複層体である請求の範囲第 1項に記載のァクチユエータ。

6 . 駆動部、電解質及び対極を備えたァクチユエータであって、前記駆動部が導電性高分子を含む捲回体であり、掛架されるための空間部を前記駆動部の内側に備え、前記駆動部を複数の支持体に掛架したァクチユエータ。

7 . 前記駆動部が、前記導電性高分子の電圧印加による電気化学的な伸縮動作で伸縮することを特徴する請求の範囲第 6項に記載のァクチユエータ。

8 . 前記導電性高分子が、，電解重合法により製造する導電性高分子の製造方法であって、

前記電解重合法はエーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ヒドロキシル基、ニトロ基、スルホン基及び二トリル基のうち少なくとも 1つ以上の結合あるいは官能基を含む有機化合物及び Z又はハ口ゲン化炭化水素を溶媒として含む電解液を用い、

前記電解液はトリフルォロメタンスルホン酸ィオン及び Zまたは中心原子に対してフッ素原子を複数含むァユオンを含む

導電性高分子の製造方法

により得られた導電性高分子である請求の範囲第 6項に記載のァクチユエータ。

9 . 前記駆動部の伸縮率が 3 %以上である請求の範囲第 6項に記載のァクチユエータ。

1 0 . 請求の範囲第 1項に記載のァクチユエータを駆動部に用いた位置決め装置、姿勢制御装置、昇降装置、搬送装置、移動装置、調節装置、調整装置、誘導装置、または関節装置。

1 1 . 請求の範囲第 1項に記載のァクチユエ一タを押圧部に用いた押圧装置。

1 2 . 請求の範囲第 6項のァクチユエ ^"タを駆動部に用いた位置決め装置、姿勢制御装置、昇降装置、搬送装置、移動装置、調節装置、調整装置、誘導装置、または関節装置。

1 3 . 請求の範囲第 6項に記載のァクチユエ一タを押圧部に用いた押圧装置。

1 4. 無端帯状またはリング状の導電性高分子成形品。

1 5 . 周方向の断面が円状若しくは楕円状の導電性成形体の外周面及び Zまたは内周面を作用電極として用いて電解重合をすることにより、無端帯状またはリング状の導電性高分子成形品を得ることを特徴とする導電性高分子成形品の製造方法。

1 6 . 帯状若しくは膜状の導電性高分子を捲回することにより得られら導電 'I生高分子成形品。

1 7. 駆動部、電解質及び対極を備えたァクチユエータであって、前記駆動部の形状が無端帯状若しくはリング状であり、前記駆動部を掛架するための駆動部取付用支持体を備え、前記駆動部を張架するための補助支持体とを備えたことを特徴とするァクチユエータ。

1 8 . 前記駆動部が補助支持体の外周面と接することにより張架され、前記駆動部が略 S字状、略 M字状若しくはこれらの連続した形状、ジグザグ状、渦卷き状または折り畳み状に保持されていることを特徴とする請求の範囲第 1 7 項に記載のァクチユエータ。

1 9 . 筐体の内部に前記駆動部、前記電解質及び前記対極を備え、該筐体の内面に前記駆動部取付用支持体及び前記補助支持体を備えることを特徴とする請求の範囲第 1 7項に記載のァクチユエータ。

2 0 . 前記対極が前記筐体の内壁の表面に形成されていることを特徴とする請求の範囲第 1 7項に記載のァクチユエータ。

2 1 . 前記駆動部が導電性高分子を含み、該導電性高分子の電圧印加による電気化学的な伸縮動作で前記駆動部が伸縮することを特徴とする請求の範囲第 1 7項に記載のァクチユエータ。

2 2 . 前記補助支持体に前記駆動部が摺動可能とするためのスリーブ及び/ またはベアリングを備えることを特徴とする請求の範囲第 1 7項に記載のァクチュエータ。

2 3 . 前記駆動部に少なくとも一の端部のループ状部を備えた駆動体を用いたことを特徴とする請求の範囲第 1 7項に記載のァクチユエータ。

2 4 . 電解質中に界面活性剤を含む請求の範囲第 1 7項に記載のァクチユエータ。

2 5 . 請求の範囲第 1 7項に記載のァクチユエータを、駆動部を電解伸縮させることにより駆動させるァクチユエータの駆動方法。

2 6 . 前記駆動部が、電解伸縮により最大の伸縮率が 8 %以上である導電性高分子を材料として含み、ァクチユエータの駆動時における前記駆動部の伸縮率を最大の伸縮率の 5 0 %以下となるように前記駆動部を伸縮させる請求の範囲第 2 5項に記載のァクチユエータの駆動方法。