WO2004003609A1 - Verfahren zur herstellung von integrierten wellenleitern, polymersysteme zur herstellung solcher wellenleiter sowie verfahren zur erzeugung von planaren wellenleiterkanälen - Google Patents

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Gonzalo Urrutia Desmaison
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Atotech Deutschland Gmbh
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Definitions

  • the invention relates to a method for producing integrated waveguides, polymer systems for producing such waveguides with a high glass transition temperature (Tg) and a simplified method for producing planar waveguide channels.
  • Tg glass transition temperature
  • the conduction of light in waveguides is achieved through total reflection.
  • the reflection medium (superstrate) has a lower refractive index than the waveguide core.
  • the methods for producing planar waveguides in hybrid technology usually include hot stamping and photolithographic methods (see e.g. DE 198 66 658 and 196 25 386).
  • a wave structure is hot stamped into a substrate using a suitable stamping tool, and a superstrate is applied to the stamp with the conductor cores laminated on and finally filled in the wells. Then a cover layer (Superstrat) is inserted or directly laminated on.
  • a cover layer Superstrat
  • Processes for the direct structuring of the waveguide cores by means of photolithography offer shorter step sequences.
  • a dopant is used in the polymerization for the purpose of curing the material, which must then be evaporated from unexposed areas.
  • This process requires the introduction of the dopant into the substrate or at least its preliminary curing and also a thermal treatment
  • the evaporation of a component has disadvantages in application technology, this method is not widespread.
  • the invention is based on the object of providing a method for producing optical conductor structures, that requires fewer steps than the methods described above. Polymers with improved structural homogeneity are to be generated.
  • the method is intended to avoid the use of an embossing tool and to form the waveguide in one step.
  • the design of the conductor structure should be flexibly changeable and the imaging by lasers should be made possible.
  • polymer systems are to be provided which are compatible with the processes for the production of optoelectronic components and hybrid printed circuit boards.
  • the invention relates to a method for producing planar, optical waveguides for integration in optical or electro-optical components or in hybrid printed circuit boards, comprising the following stages:
  • the polymer layer used in stage (i) comprises polymethacrylates or polymethacrylate derivatives with a glass transition temperature above 145 ° C. obtainable from monomers selected for a high Tg value (A;
  • Preferred wavelengths are in the range of 600 to 1300 nm.
  • Preferred compositions are described later.
  • the polymer systems according to the invention have an increased glass transition temperature (Tg) and are less expensive than other materials. Due to the selected reaction conditions, statistically regular polymers with improved properties are created. Waveguide paths are generated directly by exposure. Dense regions with a changed refractive index are formed, which result in the required difference in the refractive index between the core and the shell. According to the invention, photolysis and recombination are used.
  • the radiation-induced photolysis of polymethyl methacrylate is a known method (cf. Ti pe, Photopolymers, pp. 175, 183, 255, 234 (1988)), which rather leads to poor solubility of the irradiated structure with low radiation intensity and recombination time. This leads to networked, denser structures (Frank Tomlinson, loc. Cit.). A thermal aftertreatment below the Tg is advantageous.
  • both the kernels and the lateral cladding structures in the waveguide layer can be produced simultaneously in one step.
  • FIG. 1 explains the method for differentiating between the waveguide and the refraction medium (cladding) according to the invention.
  • the stage of irradiation differentiates either by molecular regrouping and / or by cross-linking. If the radiation causes a lowering of the refractive index, the negative imaging method is used. Only the sheathing of the conductor core is irradiated.
  • FIG. 2 describes the method according to the invention for producing a waveguide system: a waveguide substrate is applied to a carrier and this is irradiated through a photomask. This may be followed by a heat treatment.
  • a cover layer for completing the optical cladding is applied to the waveguide thus produced.
  • a further cover layer is attached instead of the carrier, provided that this does not act as a superstrate.
  • the positive imaging method thus includes the imaging of optical conductor tracks and the application of cover layers to the waveguide.
  • a thermal aftertreatment can take place, but is not mandatory.
  • the finished optical system consists of a laminate in sandwich form, which contains the waveguide tracks inside.
  • a conductive pattern is created by irradiation on a polymer film (substrate). This can be followed by a heat treatment.
  • the thickness of the film used is generally 0.05 to 0.1 mm.
  • the waveguide patterns can be imaged in a simple manner, in particular with polymethacrylate copolymers, since these have a high optical transparency in the working area used.
  • An optically clear material such as TOPAS, PFCB, 12F-PEK Polynorbornen or optical glass from Schott (PFCB is a perfluorocyclobutane from Dow Chemical with up to Tg 400 ° C
  • TOPAS is a cycloolefin copolymer from TICONA with Tg 180 ° C
  • 12F-PEK is a polyphenylene ether ketone from Harris Corporation with Tg 180 ° C
  • polynorbornene is from BF Goodrich and has a Tg value of 280 ° C
  • Superstrat permanent cover
  • a gradual lamination or hot pressing of laminates can be used for the production.
  • the unexposed film is typically used as the superstrate.
  • Another light-refractive material can also be used advantageously in that a lamination step is omitted.
  • Transparent epoxy adhesives such as NOAA from Norland or hot presses typically at up to 150 ° C ⁇ 40 ° C are preferably used for the production of the composite in order to achieve adhesion of the laminates and to complete the laminate composite.
  • the composite can then be further processed in further lamination steps of a hybrid system.
  • the optical system can also be applied by applying a polymer solution or paste (as in the solder mask technique).
  • coatings are applied successively to a bare laminate and the system should preferably be on the outer layers of a hybrid circuit board. Adhesion is inherently brought about by applying a paste or coating solution, residual solvent is removed sequentially by a tempering step.
  • the finished waveguide system can be laminated or pressed onto carrier layers made of PCB pre-pregs, metal foils, silicon, glass or polymers.
  • Another object of the invention is a polymethacrylate composition with a glass transition temperature above 145 ° C obtainable by copolymerization of monomers selected from (a)
  • the composition of the invention is not brittle, includes fully transparent polymers, and has a glass transition temperature of more than 145 ⁇ C to 300 ° C.
  • Combinations of monomers are used, which are polymerized in a suitable statistical sequence.
  • the PREDICI software can be used to simulate the polymerization.
  • the polymers are preferably produced by radical polymerization.
  • Azobisisobutyronitrile is preferably used as a radical initiator in aprotic organic solvents at 70 ⁇ 15 ° C.
  • the statistical order of the recurring units in the polymer chain can be determined using PREDICI.
  • Monomers 1 to 7 shown above serve to stiffen the polymer chain and result in polymers with a high glass transition temperature. Glass transition temperatures of methacrylate homopolymers are reported by Cypcar (loc. Cit., P. 8954). You can with methyl methacrylate can be combined to optimize the mechanical properties if necessary.
  • Adamantyl and isobornyl ester methacrylate homopolymers have a high glass transition temperature.
  • a glass transition temperature of 183 ° C (Cypcar, Camelio, Zazzeri, Mathias, Waegell, Macro-molecules (1996), p. 8956 and cit. Lit.) and when using 1 a Tg of 203 ° C (Allen, Wallraff, Dipietro, Hofer, J. of Photopolymer Science and Technol. 1_, (1994), pp. 511, 515).
  • the homopolymer 3-tetracyclododecyl methacrylate also has a high Tg: 204 ° C.
  • the unsubstituted imide 4 gives an MMA copolymer with a glass transition temperature of 180 ° C (Kwang-Duk Ahn, Young-Hun Lee, Deok-Il Koo, Polymer (1992-), p. 4855) during the polymerization Cyclohexylmaleimide with MMA a glass transition temperature of 158 ° C is obtained.
  • the hoopolymer of - methylenebutyrolactone 5 has a glass transition temperature above 300 ° C after polymerization (Arnoldi, Dorn, op. Cit.).
  • the side groups of class (b) used in the polymer composition additionally serve to increase the glass transition temperature by crosslinking.
  • Thermally stable but linkable side groups are advantageous for densification of the core of the waveguide: polymers containing dicyclopentenyl methacrylate 8 and furfuryl methacrylate 9 can crosslink better:
  • Photo-sensitizers / initiators cause handling and manufacturing difficulties.
  • the use of photo-sensitizers is not preferred, but may be necessary when using radiation sources with lower power or with wavelength maxima at 365 n and higher (for example iron-doped mercury lamps).
  • Benzyldimethylketal 13, benzoin methyl ether 12 and antrachinone 14 are preferably used, but are preferably incorporated into the polymer structure as acrylate or methacrylate ester 15-17:
  • R ' H, O-alkyl, OC (0) alkyl, phenyl
  • R 2 H, CH 3
  • Examples of alternative or additional components that can be used are light-decomposable dyes (spiro compounds) or photothermally differentially degradable chromophores (e.g. 5-naphthoquinonediazides).
  • the chemical reactions on the polymer chain induced by UV radiation include:
  • the radiation sources required to achieve these reactions emit radiation in the near to vacuum UV. Standard radiation sources are used. Depending on the system, the radiation intensity must be optimized. For example, a 3 ⁇ m layer of polymethyl methacrylate on a silicon substrate requires approximately 8 minutes of irradiation with a Xe-Hg arc lamp at 1 kW. Similar conditions apply to all aromatic-free polymethacrylates. Chrome or aluminum photomasks can be used.
  • UV radiation with wavelengths 250 ⁇ ⁇ 280 nm and a radiation intensity of 1-2 mW / cm 2 is used for 2-4 hours.
  • the polymer material does not contain any additives.
  • An ArF laser at 193 nm can also be used for the same purpose, but a low radiation intensity must be used to avoid ablation.
  • ester groups in 1-11 and 15-18 are used which give less volatile cleavage products.
  • the volume loss is less and the degree of crosslinking is higher.
  • the latter property leads to an increase in Tg as opposed to a decrease in Tg at the PMMA.
  • the photo-induced side chain cleavage above an irradiation wavelength of 260 nm is used to crosslink the irradiated structures, e.g. when using 15-18.
  • the photo-induced radical formation is used to cross-link the irradiated structures, e.g. when using 8 and 9.
  • the latter crosslinks on the ring (Gandini, The Behavior of Furan Derivatives in Polymerization Reactions, pp. 57, 78).
  • the photo-induced polymerization of dissolved residual monomer is used to densify the irradiated structures, e.g. when using 1-9.
  • PMMA polymethyl methacrylate
  • electron beams Frrank, Passive components in plastic materials using surface modification by ionizing radiation, Proc. POF 98, Berlin, 273 (1998)
  • the splitting into monomers depends on the radiation intensity and there is a recombination.
  • the curing of polymers by means of an electron beam was also observed.
  • the reactivity of polymethacrylates to UV light is also known. UV light can also be generated using a laser.
  • the insolubility of po- lymethacrylate with UV exposure Tomlinson, Hamikow, Chandross, Fork, Silfrast Appl. Phy. Lett. p. 486 (1970)).
  • a thermally stable photoinitiator can additionally be used as a sensitizer in the side chain in near UV. It also serves as a photo crosslinker.
  • poly methacrylate compositions which can be prepared as described above, commercially available poly methacrylate compositions can also be used, provided they have a glass transition temperature above 145 ° C.
  • Such poly methacrylate compositions are described, for example, in “heat resistant and optically brilliant”, Arnoldi, Dorn, Schwind, Hajikerl, Hauch in Kunststoffe 87 (1997), p. 734.
  • a copolymer of 40% 4-methyl-3-methylenedihydrofuran-2-one 5 with MMA has a Tg of 182 ° C.
  • a terpolymer of 5 with MMA but with a lower proportion of MMA and therefore containing 1, 2, 3, 4, 6 or 7 leads to at least the same or higher Tg by the internal softening (cf. 856 (1990)) of the MMA.
  • MMA has a Tg of 105 ° C, while the homopolymers of substitute components 1, 2, 3, 4, 6, or 7 are higher.
  • Tg values of methacrylate polymers can be reliably predicted as described by Cypcar et al. in Macromolecules, pp. 8954ff. shown.
  • the theory of the glass transition temperature is described in Elias, pp. 854ff. explained.
  • Another embodiment is copolymers with 1.
  • a copolymer with a Tg temperature of 170 ° C. (Allen, Wallraff (loc. Cit., P. 515)) and thus 33 ° C below the Tg temperature of the homopolymer.
  • Multi-component copolymers with 2 to 10 or 11 not only serve to achieve a high Tg, but also allow the mechanical properties to be optimized by means of synergistic effects by admixing these monomers.
  • compositions of high Tg polymethacrylates are obtained by statistically modeling Co, Ter, Tetra and Penta polymerizations.
  • the modeling enables higher molecular weights than with uncontrolled solution polymerization.
  • Modeling software can also be used to achieve a statistically homogeneous distribution tion of the monomers in the polymer chain (cf. Deuflhard, Wulkow, simulation method for polymer chemistry, Preprint SC 94-22 (March 1994), Konrad-Zuse Center for Information Technology Berlin).
  • Maeder and Renken describe one of the many possibilities for obtaining the optimization parameters in DECHEMA Monographs 131 (1995), p. 433.
  • the requirement for molecular homogeneity in waveguides for low dispersion losses is generally known. According to the invention, this problem is solved by modeling the polymerization as described. Without modeling, preferred monomer regions form in the polymer chain according to their reactivity (cf. Deuflhard, p. 15), a disadvantage for the mechanical and optical properties.
  • Tg compositions A disadvantage of high Tg compositions is that internal stresses can result after the application and drying of the polymer solution. This is avoided by tempering below the Tg. Conventional ovens, infrared and microwave radiation can be used.
  • Photopolymerization can also be used to produce the copolymers. Davidenko, Peniche, Sastre, San Roman in J. of Polym. Science, Part A, Polymer Chemistry _5_4 (1996), p. 1753).
  • the listed monomers are commercially available, e.g. 1-Adamantyl methacrylate from BIMAX, isobornyl methacrylate from Atofina, norbornyl methacrylate from Aldrich, dicyclopentenyl methacrylate from Hitachi Chemical, furfuryl methacrylate from Aldrich and also sensitizers such as e.g. the 2-methyl-acrylic acid-5, 8-dioxo-5, 8-dihydro-naphthalene-1-yl ester.

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Abstract

Beschrieben werden ein Verfahren zur Herstellung von integrierten Wellenleitern, Polymersysteme zur Herstellung solcher Wellenleiter mit einer hohen Glasübergangstemperatur (Tg) sowie ein vereinfachtes Verfahren zur Erzeugung von planaren Wellenleiterkanälen.

Description

Verfahren zur Herstellung von integrierten Wellenleitern,
Polymersysteme zur Herstellung solcher Wellenleiter sowie Verfahren zur Erzeugung von planaren Wellenleiterkanälen
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von integrierten Wellenleitern, Polymersysteme zur Herstellung solcher Wellenleiter mit einer hohen Glasübergangstemperatur (Tg) sowie ein vereinfachtes Verfahren zur Erzeugung von planaren Wellenleiterkanälen.
Die Leitung von Licht in Wellenleitern wird durch Totalreflektion erzielt. Das Reflektionsmedium (Superstrat) weist einen niedrigeren Brechungsindex als der Wellenleiterkern auf.
Kleine Unterschiede im Brechungsindex, d.h. Unterschiede in der Größenordnung von 0,01, zwischen dem Kern des Wellenleiters und der ihn umgebenden Hülle sind mit geeigneten Einstrahlwinkeln ausreichend für die Lichtwellenleitung durch Totalreflexion.
Die Integration von optischen Signalnetzwerken und der starke Anstieg im Datentransfer hat die Entwicklung von neuen hybriden optoelektronischen gedruckten Leiterplatten angestoßen. Darüber hinaus erlangen optoelektronische Bauteilgruppen mit optischen integrierten und hybriden Wellenleitern immer mehr Bedeutung.
Derzeitige Verfahren zum Einbringen optischer Wellenleiter in Leiterplatten oder optoelektronische Bauteile umfassen viele Stufen und sind aufwendig. Existierende Systeme zur direkten Wellenleiterbildung in der hybriden Optoelektronik haben Glasübergangstemperaturen (Tg) um 145°C in Poly.carbonat- Packungen und erfordern 2-10 Stunden Härtung bei 135 °C laut Fa. Optical Crosslinks in Polyguide, SPIE 1997, Fig. 3 von Booth et al. Sie sind für kurze Wellenleiter in Bauteilen bestimmt und ihre Serienfertigung ist umständlich bzw. aufwendig. Andere Systeme mit hoher Thermostabilität jedoch mit ge- ringer optischer Transparenz werden in der integrierten Optoelektronik für kurze Verbindungsstrecken in gemeinsamen Substraten zwischen Funktionselemente eingesetzt.
Die Verfahren zur Herstellung von planaren Wellenleitern in der Hybridtechnik umfassen üblicherweise das Heißprägen und photolithographische Methoden (vgl. z.B. DE 198 66 658 und 196 25 386) .
Bei dem zweistufigen Heißprägen (das beispielsweise in Lehma- eher, Neyer, Electronic Letters 36, 2000, S. 1 beschrieben ist) wird mittels eines geeigneten Prägewerkzeugs unter Druck eine Wellenstruktur in ein Substrat heiß eingeprägt, auf den Stempel mit den Leiterkernen wird ein Superstrat auflaminiert und zuletzt die Vertiefungen ausgefüllt. Anschließend wird eine Abdecklage (Superstrat) eingebracht oder direkt auflaminiert .
Nur begrenzte Formate sind mit diesem Verfahren herstellbar, für jedes Wellenleiter-Design rauss zunächst das entsprechende Prägewerkzeug hergestellt werden.
Bei photolithographischen Verfahren (siehe DeForest, Photore- sist, 1975 S. 2,3) wird zunächst ein Substrat aufgebracht, auf dem anschließend die Wellenleiterschicht aufgetragen wird. Hieran schließt sich nach Auflegen einer Maske die Abbildung der Wellenleiter mittels Bestrahlung an. In einer weiteren Stufe wird die Struktur entwickelt. Die entstandenen Strukturen werden dann wie beim Prägeverfahren durch Füllen und Abdecken weiter aufgebaut. Nach dieser Technik werden auch wellenleitende und umhüllende Strukturen stufenweise erzielt. Dieses Verfahren erfordert das Herausentwickeln von Strukturen und damit eine längere Schrittabfolge .
Verfahren zur Direktstrukturierung der Wellenleiterkerne mittels Photolithographie bieten kürzere Schrittfolgen.
Das sogenannte „Photolocking-Verfahren" ist Gegenstand des US-Patents US 3,809,732. Dieses Verfahren wird im Weiteren erläutert ebenso wie das sogenannte „Diffusionsverfahren" welches Gegenstand der US-Patente 4,883,743, 5,292,620 und 5,402,514 ist.
Bei dem „Photolocking-Verfahren" wird ein Dotierungsmittel bei der Polymerisation zwecks Härtung des Materials mitverwendet, das anschließend aus nicht belichteten Flächen heraus verdampft werden muss. Dieses Verfahren erfordert das Einbringen des Dotierungsmittels in das Substrat oder zumindest dessen vorläufige Härtung und zusätzlich eine thermische Behandlung. Das Herausverdampfen einer Komponente bereitet anwendungstechnische Nachteile, dieses Verfahren ist nicht verbreitet .
Bei dem Diffusionsverfahren werden Monomere in einer Trägermatrix photogehärtet und es ist ein zweimaliges Belichten erforderlich. Dieses Verfahren führt zu ungleichmäßigen, molekular inhomogenen Polymerstrukturen. Solche Ungleichmäßigkei- ten sind unvorteilhaft und führen zu Rayleigh-Streuungsver- lusten. Ein weiterer Nachteil dieses Verfahrens sind die wiederholten Belichtungen, um zuletzt die Strukturen zu fixieren.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, ein Verfahren zu Herstellung von optischen Leiterstrukturen bereitzustellen, das weniger Stufen als die voranstehend beschriebenen Verfahren erfordert. Dabei sollen Polymere mit verbesserter struktureller Homogenität generiert werden. Insbesondere soll bei dem Verfahren die Verwendung eines Prägewerkzeugs vermieden und die Wellenleiterbildung in einem Schritt erfolgen. Weiterhin soll die Gestaltung der Leiterstruktur flexibel veränderbar sein und die Bildgebung durch Laser ermöglicht werden.
Weiterhin sollen erfindungsgemäß Polymersysteme bereitge- stellt werden, welche mit den Verfahren zur Herstellung von optoelektronischen Bauteilen und hybriden Leiterplatten kompatibel sind.
Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung von planaren, optischen Wellenleitern zur Integration in optischen oder elektrooptischen Bauelementen oder in hybriden Leiterplatten, umfassend die folgenden Stufen:
(i) Erzeugen von integrierten planaren Wellenleiter-Kernen in einer Polymerlage bestehend aus Polyacrylat mit einer hohen Glasübergangstemperatur (Tg) mittels einmaligem differen- ziellen Belichten durch eine Photomaske oder mit Laser- Direktbelichtung und
(ii) Aufbringen mindestens einer weiteren Lage auf die dif- ferenziell belichtete oder direktstrukturierte Polymerlage, wobei die weitere Lage ein transparenter Superstrat mit geringerem Brechungsindex als der der differenziell belichteten oder direktdessinierten Strukturen ist.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform umfasst die in Stufe (i) verwendete Polymerlage Polymethacrylate oder Polymethac- rylatderivate mit einer Glasübergangstemperatur über 145°C erhältlich aus Monomeren für einen hohen Tg-Wert ausgewählt aus (a;
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(b) Monomeren mit vernetzbaren Seitengruppen
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und wahlweise mit (c) Methylmethacrylat zur Optimierung der mechanischen Eigenschaften, wobei weitere Monomere der Klasse (a)
(1) 1-3 und 6-7 mit Fluor in der Estergruppe (2) 1 und 7 mit Dimethylsubstitution am Polyzyklus, gegebenenfalls fluoriert, und (3)
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sind, und weitere Monomere der Klasse (b)
(1) 8 mit Methyl- oder Di ethyl-Substitution am Trizyklus, gegebenenfalls fluoriert,
(2) 9 mit Methyl- oder mehrfacher Methyl-Substitution am Ester-Substituent sind.
Üblicherweise werden optisch transparente und klare Materialien zur Herstellung von Wellenleitern bevorzugt. Erfindungs- gemäß werden daher Polymethacrylate bzw. Polymethacrylat-
Derivate als Material zur Herstellung der Wellenleiter eingesetzt. Bevorzugte Wellenlängen liegen im Bereich von 600 bis 1300 nm. Bevorzugte Zusammensetzungen werden später beschrieben.
Die erfindungsgemäßen Polymersysteme weisen eine erhöhte Glasübergangstemperatur (Tg) auf und sind im Vergleich mit anderen Materialien kostengünstiger. Auf Grund der gewählten Reaktionsbedingungen entstehen statistisch regelmäßige Poly- mere mit verbesserten Eigenschaften. Mittels Belichtung werden Wellenleiterbahnen direkt generiert. Es entstehen dichte Regionen mit verändertem Brechungsindex, welche den erforderlichen Unterschied im Brechungsindex zwischen dem Kern und der Hülle ergeben. Erfindungsgemäß werden dabei Photolyse und Rekombination genutzt. Die strahlungsinduzierte Photolyse von Polymethyl- methacrylat ist ein bekanntes Verfahren (vgl. Ti pe, Photopolymere, S. 175, 183, 255, 234 (1988)), das bei geringer Strahlungsintensität und Rekombinationszeit eher zur Schwerlöslichkeit der bestrahlten Struktur führt. Dabei kommt es zu vernetzten, dichteren Strukturen (Frank Tomlinson, a.a.O.). Eine thermische Nachbehandlung unterhalb des Tg ist vorteilhaft.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren können sowohl die Kernais auch die seitlichen Hüllstrukturen in der Wellenleiterschicht gleichzeitig in einem Schritt erzeugt werden.
Das Prinzip der Totalreflexion in planaren Wellenleitern wird von Glaser in Photonik für Ingenieure S. 132 (1987) beschrieben. Ein Gradienten-Index entsteht bei Überzeichnung der Strukturen mittels Überbelichtung mit konventionellen Photomasken. Auch Photogitter-Masken können verwendet werden. Wei- terhin können auch Multimodelichtwellenleiter mit großem Querschnitt eingesetzt werden (Glaser, S. 155).
Die Erfindung wird durch die beigefügten Figuren näher erläutert :
Die Figur 1 erläutert das Verfahren zur Differenzierung zwischen Wellenleiter und Refraktionsmedium (Umhüllung) gemäß der Erfindung. Die Stufe der Bestrahlung bewirkt die Differenzierung entweder durch molekulare Umgruppierung und/oder durch Vernetzung. Bewirkt die Bestrahlung eine Erniedrigung des Brechungsindex, so kommt das Negativ-Bildgebungsverfahren zur Anwendung. Dabei wird nur die Umhüllung des Leiterkerns bestrahlt. Die Figur 2 beschreibt das erfindungsgemäße Verfahren zur Erzeugung eines Wellenleitersystems: hierbei wird auf einen Träger ein Wellenleitersubstrat aufgebracht und dieses durch eine Photomaske bestrahlt. Daran schließt sich gegebenenfalls eine Wärmebehandlung an.
In der zweiten Stufe wird eine Abdecklage zur Vervollständigung der optischen Umhüllung auf den so erzeugten Wellenleiter aufgebracht. Eine weitere Abdecklage wird anstelle des Trägers angebracht, sofern dieser nicht als Superstrat fungiert .
Das Positiv-Bildgebungsverfahren umfasst somit das Abbilden optischer Leiterbahnen und das Aufbringen von Abdecklagen auf den Wellenleiter. Eine thermische Nachbehandlung kann erfolgen, ist aber nicht zwingend. Das fertige optische System besteht aus einem Laminat in Sandwich-Form, welches die Wellen- Leiterbahnen im Inneren enthält.
Nachfolgend werden die wichtigsten Schritte zur Bildung bzw. Herstellung der optischen Leiterbahnen beschrieben:
Ein Leiterbahn-Muster wird durch Bestrahlung auf einer Polymerfolie (Substrat) erzeugt. Daran kann sich eine Wärmebe- handlung anschließen. Die Dicke der verwendeten Folie beträgt im Allgemeinen 0,05 bis 0,1 mm.
Das Abbilden der Wellenleitermuster kann in einfacher Weise durchgeführt werden, insbesondere mit Polymethacrylat- Copolymeren, da diese eine hohe optische Transparenz im verwendeten Arbeitsbereich haben.
Ein optisch klares Material wie TOPAS, PFCB, 12F-PEK Polynor- bornen oder optisches Glas von Fa. Schott (PFCB ist ein Perfluorocyclobutan von Dow Chemical mit bis zu Tg 400 °C, TOPAS ist ein Cycloolefin Copolymer von TICONA mit Tg 180°C, 12F-PEK ist ein Polyphenylenetherketon von Harris Corporation mit Tg 180 °C und Polynorbornen ist von BF Goodrich und hat einen Tg-Wert von 280°C) kann als Trägermaterial und auch als permanente Abdeckung (Superstrat) verwendet werden. Eine stufenweise Lamination oder ein Heißpressen von Laminaten kann zur Herstellung dienen. Dabei dient als Superstrat typischerweise die unbelichtete Folie. Auch ein anderes lichtbrechendes Material kann vorteilhaft verwendet werden, indem ein La- minationsschritt entfällt.
Transparente Epoxid-Klebstoffe wie NOAA von Fa. Norland oder Heißpressen typischerweise bei bis zu 150°C ± 40°C werden zur Verbundherstellung bevorzugt eingesetzt, um eine Haftung der Laminate zu erzielen und den Laminat-Verbund fertig zu stellen. Der Verbund kann dann in weiteren Laminierungsschritten eines Hybrid-Systems weiterverarbeitet werden.
Das optische System kann auch durch Auftragen einer Polymer- lösung oder Paste (wie in der Lötmasken-Technik) appliziert werden. In diesem Fall werden Überzüge aufeinander folgend auf ein blankes Laminat aufgebracht und das System sollte sich vorzugsweise auf äußeren Schichten einer Hybrid-Leiter- platte befinden. Die Haftung wird inherent durch Auftrag ei- ner Paste oder Beschichtungslösung bewirkt, Restlösungsmittel wird durch einen Temperschritt sequenziell entfernt.
Schließlich kann das fertige Wellenleitersystem auf Trägerschichten aus PCB-pre-pregs, Metallfolien, Silizium, Glas o- der Polymere laminiert oder gepresst werden.
Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist eine Polymethacry- lat-Zusammensetzung mit einer Glasübergangstemperatur über 145 °C erhältlich durch Copolymerisation von Monomeren ausgewählt aus (a)
Figure imgf000012_0001
4
Figure imgf000012_0002
(b) Monomeren mit vernetzbaren Seitengruppen
Figure imgf000012_0003
8
und wahlweise mit (c) Methylmethacrylat zur Optimierung der mechanischen Eigenschaften, wobei weitere Monomere der Klasse (a)
;i) 1-3 und 6-7 mit Fluor in der Estergruppe (2) 1 und 7 mit Dimethylsubstitution am Polyzyklus, gegebenenfalls fluoriert, und (3)
Figure imgf000013_0001
sind, und weitere Monomere der Klasse (b)
(1) 8 mit Methyl- oder Dimethyl-Substitution am Trizyklus, gegebenenfalls fluoriert,
(2) 9 mit Methyl- oder mehrfacher Methyl-Substitution am Ester-Substituent sind.
Die erfindungsgemäße Zusammensetzung ist nicht spröde, um- fasst lichtdurchlässige Polymere und weist eine Glasüber- gangstemperatur von über 145αC bis 300°C auf.
Dabei werden Kombinationen von Monomeren eingesetzt, welche in einer geeigneten statistischen Aufeinanderfolge polymeri- siert werden. Dazu kann z.B. die Software PREDICI zur Simulation der Polymerisation genutzt werden.
Die Polymeren werden vorzugsweise durch radikalische Polymerisation hergestellt. Vorzugsweise wird dabei Azobisisobuty- ronitril als Radikalinitiator in aprotischen organischen Lö- sungsmittel bei 70 ± 15°C genutzt. Die statistische Reihenfolge der wiederkehrenden Einheiten in der Polymerkette kann mittels PREDICI ermittelt werden. Die oben gezeigten Monomeren 1 bis 7 dienen der Versteifung der Polymerkette und ergeben Polymere mit einer hohen Glasübergangstemperatur. Glas- Übergangstemperaturen von Methacrylathomopolymeren sind bei Cypcar (a.a.O., S. 8954) referiert. Sie können mit Methyl- methacrylat kombiniert werden, um die mechanischen Eigenschaften zu optimieren, sofern dies erforderlich ist.
Eine hohe Glasübergangstemperatur weisen Adamantyl- und Iso- bornylester-methacrylat-Homopoly ere auf. Bei Verwendung der Verbindung 2 beispielsweise wird eine Glasübergangstemperatur von 183°C (Cypcar, Camelio, Zazzeri, Mathias, Waegell, Macro- molecules (1996), S. 8956 und zit. Lit . ) und bei Verwendung von 1 ein Tg von 203°C (Allen, Wallraff, Dipietro, Hofer, J. of Photopolymer Science and Technol. 1_, (1994), S. 511, 515) beobachtet. Auch das Homopolymere 3-tetracyclododecylmeth- acrylat weist einen hohen Tg auf: 204 °C. N-Alkylmaleimide 4
(JP 63 89 806) führen durch Einbringen einer cyklischen
Struktur in die Polymerkette zu deren Steifigkeit und können mit Methacrylat polymerisiert werden (siehe Levesque, Johan- net, Pham, Busnot in Pol. Prepr. 1999, S. 1296). Das unsub- stituierte Imid 4 ergibt ein MMA-Copolymer mit einer Glasübergangstemperatur mit 180 °C (Kwang-Duk Ahn, Young-Hun Lee, Deok-Il Koo, Polymer (1992-) , S. 4855) während bei der Polyme- risation von Cyclohexylmaleimid mit MMA eine Glasübergangstemperatur von 158 °C erhalten wird. Das Ho opolymer vom - Methylenbutyrolacton 5 weist nach Polymerisation eine Glasübergangstemperatur über 300°C auf (Arnoldi, Dorn, a.a.O).
Die in der Polymer-Zusammensetzung verwendeten Seitengruppen nach Klasse (b) dienen zusätzlich dazu, die Glasübergangstemperatur durch Vernetzen zu erhöhen. Thermisch stabile aber verknüpfungsfähige Seitengruppen sind für die Wellenleiterkernverdichtung vorteilhaft: Dicyclopentenyl-methacrylat 8 und Furfuryl-methacrylat 9 enthaltende Polymere können besser vernetzen :
Figure imgf000015_0001
8
Photo-Sensitizer/-Initiatoren bringen Schwierigkeiten hinsichtlich der Handhabung und der Herstellung mit sich. Im Rahmen der vorliegenden Erfindung ist die Verwendung von Pho- to-Sensibilisatoren nicht bevorzugt, gegebenenfalls aber erforderlich bei der Verwendung von Strahlungsquellen mit geringerer Leistung oder mit Wellenlängenmaxima bei 365 n und höher (zum Beispiel eisen-dotierten Quecksilberlampen). Vorzugsweise werden Benzyldimethylketal 13, Benzoinmethylether 12 und Antrachinon 14 verwendet, bevorzugt aber als Acrylat oder Methacrylatester 15-17 im Polymergerüst eingebaut:
Figure imgf000015_0002
15 16 17
Weitere Verbindungen sind nachfolgend dargestellt:
Figure imgf000016_0001
R' = H, O-Alkyl, OC(0)Alkyl, Phenyl
R2 = H, CH3
18
Als alternative oder zusätzliche Komponenten können zum Bei- spiel durch Licht zersetzbare Farbstoffe (Spiro-Verbindungen) oder photothermisch differenziell abbaubare Chromophore (z.B. 5-Naphthochinondiazide) enthalten sein.
Die durch UV-Bestrahlung induzierten chemischen Reaktionen an der Polymerkette umfassen erfindungsgemäß:
(i) Photodissoziation der α-Substituenten
(ii) Seitenketten-Photolyse
(iii) Vernetzung
(iv) Radikalbildung an der Seitenkette
(v) Rekombination Die zur Erzielung dieser Reaktionen erforderlichen Strahlungsquellen geben je nach Systemwahl Strahlung im nahen bis Vakuum-UV ab. Marktübliche Strahlungsquellen kommen dabei zur Anwendung. Je nach System bedarf es einer Optimierung der Strahlungsintensität. Beispielsweise erfordert eine 3 μm Schicht Polymethylmethacrylat auf einem Siliziumträger etwa 8 min Bestrahlung mit einer Xe-Hg-Bogenlampe bei 1 kW. Ähnliche Bedingungen gelten für alle aromatenfreie Polymethacrylate. Chrom- oder Aluminium-Photomasken können dabei verwendet wer- den.
In einer bevorzugten Ausführungsform wird UV-Strahlung mit Wellenlängen 250 < λ < 280 nm und einer Strahlungsintensität von 1-2 mW/cm2 während 2-4 Stunden verwendet. Das Polymerma- terial enthält dabei keinerlei Zusätze. Zum gleichen Zweck kann auch ein ArF-Laser bei 193 nm verwendet werden, jedoch muss eine geringe Strahlungsintensität verwendet werden, um Abtragung zu vermeiden.
Die Arbeitsweise mit kurzwelligem UV, z.B. bei 254 nm führt zu allen Reaktionen (i) bis (v) . Im Falle von reinem PMMA werden dabei kleinere Bruchstücke abgespalten (Hirabka, IBM J. Res. Dev. 2JL, 121 (1977)). Es kommt zu einem Volumenverlust und gleichzeitig zu einer Erhöhung des Brechungsindex in der bestrahlten Struktur. Dieser Volumenverlust ist bei PMMA gravierend (Frank, Passive components in plastic materials using surface modification by ionizing radiation, Proc. POF 98, Berlin, 273 (1998) ) .
In der erfindungsgemäßen Ausführungsform werden Estergruppierungen in 1-11 und 15-18 verwendet, die weniger flüchtige Abspaltprodukte ergeben. Infolgedessen ist der Volumenverlust geringer und der Vernetzungsgrad höher. Letztere Eigenschaft führt eher zur Tg-Erhöhung im Gegensatz zur Tg-Erniedrigung beim PMMA. Es kommt erfindungsgemäß darauf an, bei Raumtemperatur die Prozesse (i) bis (v) gegenüber der Kettenspaltung bei gerade noch ausreichender Energie bevorzugt zum Zuge kommen zu lassen. Dabei können auch kurze aufeinanderfolgende Belichtungen vorteilhaft benutzt werden. Eine Temperung des Materials nach der Belichtung unterhalb der Tg-Temperatur führt zu verbesserter thermischer Stabilität.
In einer weiteren Ausführungsform wird die photoinduzierte Seitenkettenspaltung oberhalb einer Bestrahlungswellenlänge von 260 nm zur Vernetzung der bestrahlten Strukturen genutzt, z.B. bei Verwendung von 15-18.
In einer weiteren Ausführungsform wird die photoinduzierte Radikalbildung zur Vernetzung der bestrahlten Strukturen genutzt, z.B. bei Verwendung von 8 und 9. Letzteres vernetzt am Ring (Gandini, The Behaviour of Furan Derivatives in Polyme- rization Reactions, S. 57, 78).
In einer weiteren Ausführungsform wird die photoinduzierte Einpolymerisation von gelöstem Restmonomer zur Verdichtung der bestrahlten Strukturen genutzt, z.B. bei Verwendung von 1-9.
Die Zersetzung von Polymethylmethacrylat (PMMA) durch Elektronenstrahlen (Frank, Passive components in plastic materials using surface modification by ionizing radiation, Proc. POF 98, Berlin, 273 (1998)) ist bekannt und untersucht: die Aufspaltung in Monomere hängt von der Strahlungsintensität ab und es kommt zu einer Rekombination. Beobachtet wurde ebenfalls die Härtung von Polymeren mittels Elektronenstrahl. Bekannt ist auch die Reaktivität von Polymethacrylaten gegenüber UV-Licht. UV-Licht kann auch mittels Laser erzeugt werden. Berichtet worden ist ebenfalls die Unlöslichkeit von Po- lymethacrylat bei UV-Belichtung (Tomlinson, Hamikow, Chan- dross, Fork, Silfrast Appl. Phy. Lett. S. 486 (1970)). Erfindungsgemäß kann im nahen UV zusätzlich ein thermisch beständiger Photoinitiator als Sensibilisator in der Seitenkette verwendet. Es dient gleichermaßen als Photovernetzer.
Ein Reaktionsbeispiel mit Dicyclopentenylmethacrylat zur Herstellung vernetzter Muster ist nachfolgend formelmäßig dargestellt :
Figure imgf000019_0001
Neben den wie vorstehend beschrieben herstellbaren Polymeth- acrylat-Zusammensetzungen können auch handelsübliche Poly- methacrylat-Zusammensetzungen verwendet werden, sofern diese eine Glasübergangstemperatur über 145 °C aufweisen. Solche Po- lymethaycrylat-Zusammensetzungen sind beispielsweise in „Wärmformbeständig und optisch brillant", Arnoldi, Dorn, Schwind, Haßkerl, Hauch in Kunststoffe 87 (1997), S. 734 be- schrieben. Dabei hat ein Copolymer aus 40% 4-Methyl-3-methylendi- hydrofuran-2-on 5 mit MMA ein Tg von 182 °C. Ein Terpolymer aus 5 mit MMA aber mit geringerem Anteil an MMA und dafür enthaltend 1, 2, 3, 4, 6, oder 7 führt zum mindestens gleichen oder höheren Tg, indem die innere Weichmachung (vgl. Hans-Georg Elias, Makromoleküle, S. 856 (1990)) des MMA herabgesetzt wird. MMA hat einen Tg von 105 °C, während die Homo- polymere der Ersatzkomponenten 1, 2, 3, 4, 6, oder 7 darüber liegen.
Die Tg-Werte von Methacrylat-Polymeren lassen sich zuverlässig voraussagen wie von Cypcar et al. in Macromolecules, S. 8954ff. gezeigt. Die Theorie der Glasübergangstemperatur wird in Elias, S. 854ff. erläutert.
Ein weiteres Ausführungsbeispiel sind Copolymere mit 1. Indem 42-5% MMA zum Isobornylmethacrylat 1 bei der Polymerisation zugefügt wird, entsteht ein Copolymer mit einer Tg-Temperatur von 170°C (Allen, Wallraff (a.a.O., S. 515)) und damit 33°C unterhalb der Tg-Temperatur des Homopolymers . Mehrkomponenti- ge Copolymere mit 2 bis 10 oder 11 dienen nicht allein der Erzielung eines hohen Tg, sondern erlauben durch Zumischung dieser Monomere auch eine Optimierung der mechanischen Eigen- schaften mittels synergistischer Effekte.
In der vorliegenden Erfindung werden verbesserte Zusammensetzungen von Hoch-Tg-Polymethacrylaten erhalten, indem Co-, Ter-, Tetra- und Penta-Polymerisationen statistisch model- liert werden.
Die Modellierung ermöglicht höhere Molekulargewichte als bei der ungesteuerten Lösungspolymerisation. Darüber hinaus kann mit Modellierungs-Software eine statistisch homogene Vertei- lung der Monomere in der Polymerkette eingestellt werden (vgl. Deuflhard, Wulkow, Simulationsverfahren für die Polymerchemie, Preprint SC 94-22 (August 1994), Konrad-Zuse- Zentrum für Informationstechnik Berlin) . Eine der vielen Mög- lichkeiten zur Gewinnung der Optimierungsparameter beschreiben Maeder und Renken in DECHEMA Monographs 131 (1995), S. 433. Die Anforderung nach molekularer Homogenität in Wellenleitern für geringe Dispersionsverluste ist allgemein bekannt. Erfindungsgemäß wird diese Aufgabenstellung durch Mo- dellierung der Polymerisation wie beschrieben gelöst. Ohne Modellierung bilden sich in der Polymerkette bevorzugte Monomer-Regionen gemäß ihrer Reaktivität (vgl. Deuflhard, S. 15), ein Nachteil für die mechanischen und optischen Eigenschaften.
Ein Nachteil von Hoch-Tg-Zusammensetzungen ist, dass nach dem Auftragen und Trocknen der Polymerlösung sich innere Spannungen ergeben können. Dieses wird durch Tempern unterhalb des Tg' s vermieden. Dabei können konventionelle Öfen, Infrarot- und Mikrowellenstrahlung eingesetzt werden.
Synthesevorschriften für die Polymerisation der Methacrylsäu- reester in Lösung sind in Makromolekulare Stoffe, Methoden der Org. Chemie, Houben-Weyl Müller, Band XIV 1, S. 1044- 1048, Makromolekulare Stoffe, Band E20 Teil 2, S. 1144-1149, 1156-1160 beschrieben.
Auch die Photopolymerisation kann zur Herstellung der Copolymere genutzt werden. Davidenko, Peniche, Sastre, San Roman in J. of Polym. Science, Part A, Polymer Chemistry _5_4 (1996), S. 1753) .
Zur Bestimmung der Glasübergangstemperatur werden handelsübliche Methoden eingesetzt, eine Zusammenstellung findet sich bei Behrstein, Egorov in „Differential Scanning Calorimetry of Polymers", S. 134 (1994).
Die angeführten Monomere sind vielfach käuflich erhältlich, z.B. 1-Adamantylmethacrylat von Fa. BIMAX, Isobornylmethacry- lat von Fa. Atofina, Norbornylmethacrylat von Fa. Aldrich, Dicyclopentenylmethacrylat von Fa. Hitachi Chemical, Furfu- rylmethacrylat von Fa. Aldrich und ebenso Sensibilisatoren, wie z.B. der 2-Methylacrylsäure-5, 8-dioxo-5, 8-dihydro- naphthalen-1-yl-Ester .

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Herstellung von planaren, optischen Wel- lenleitern zur Integration in optischen oder elektrooptischen Bauelementen oder in hybriden Leiterplatten, umfassend die folgenden Stufen:
(i) Erzeugen von integrierten planaren Wellenleiter-Kernen in einer Polymerlage bestehend aus Polyacrylat mit einer hohen Glasübergangstemperatur (Tg) mittels einmaligem differenziellen Belichten durch eine Photomaske o- der mit Laser-Direktbelichtung und
(ii) Aufbringen mindestens einer weiteren Lage auf die dif- ferenziell belichtete oder direktstrukturierte Polymerlage, wobei die weitere Lage ein transparenter Superstrat mit geringerem Brechungsindex als der der dif- ferenziell belichteten oder direktdessinierten Struktu- ren ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, dass die Polymerlage Polymethacrylate, Po- lymethacrylat-Derivate und Copolymer-Zusammensetzungen mit einer Glasübergangstemperatur über 145°C erhältlich aus Monomeren ausgewählt aus
(a) Monomere 1 bis 7 einzeln oder in Kombination mit folgenden Molprozenten bezogen auf das Polymer: 1 0-90%, 2 0-90%, 3 0-90%, 4 0-90%, 5 0-90%, 6 0-90% und 7 0-90%.
Figure imgf000024_0001
Figure imgf000024_0002
6 7
(b) Monomeren mit vernetzbaren Seitengruppen
Figure imgf000024_0003
und wahlweise mit (c) Methylmethacrylat zur Optimierung der mechanischen Eigenschaften, wobei weitere Monomere der Klasse (a)
(1) 1-3 und 6-7 mit Fluor in der Estergruppe (2) 1 und 7 mit Dimethylsubstitution am Polyzyklus, gegebenenfalls fluoriert, und (3)
Figure imgf000025_0001
sind, ferner weitere Monomere der Klasse
( b )
(1) 8 mit Methyl- oder Dimethyl-Substitution am Trizyklus, gegebenenfalls fluoriert,
(2) 9 mit Methyl- oder mehrfacher Methyl-Substitution am Ester-Substituent,
(3) Weitere gebräuchliche Monomere mit vernetzungsfähiger Funktionalität mit 0-45% Molprozenten bezogen auf das Polymer, vorzugsweise 2-Dicyclopentenyloxyethyl-methacrylat, Al- lylmethacrylat, Vinylmethacrylat, Propylenglycolmethacrylat, Glycidylmethacrylat, 2- (2-Oxo-imidazolidin-l-yl) ethylmeth- acrylat, Hydroxypropylmethacrylat, Hydroxyethylmethacrylat, 2-Isocyanatoethylmethacrylat und Acrylate sind, und weitere Monomere der Klasse
(c)
(1) Phenyl-, Benzyl-, n-Alkyl-, iso-Alkyl-, tert-Alkyl und Cycloalkyl-Methacrylate,
(2) Phenyl, Benzyl-, n-Alkyl-, iso-Alkyl-, tert-Alkyl und Cycloalkyl-Acrylate,
(3) Styrol-Derivate sind.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Polymerlage weiterhin Photosensibilisa- toren und/oder Vernetzungshilfen umfasst.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Photosensibilisator gleichzeitig als Vernetzungshilfe wirkt.
5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Vernetzungshilfe gleichzeitig als Photosensibilisator wirkt.
6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekenn- zeichnet, dass der Photosensibilisator bzw. die Vernetzungshilfe ausgewählt ist aus Verbindungen der Formeln
Figure imgf000026_0001
15 16 17
Figure imgf000027_0001
R' = H, O-Alkyl, OC(O)Alkyl, Phenyl
R = H, CH3
18
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n - z e i c h n e t, dass das Aufbringen der Lagen durch Lami- nieren einer Folie erfolgt.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e n z e i c h n e t, dass das Aufbringen der Lagen durch Be- Schichtung erfolgt.
10. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch g e e n n z e i c h n e t, dass das die Beschichtung durch Aufbringen einer Polymerlösung oder Paste erfolgt.
11. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, dass die weitere Lage Glas, TOPAS, PFCB, 12F-PEK, Polynorbornen oder ein Epoxidharz ist.
12. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, dass der Superstrat Glas, TOPAS, PFCB oder 12F-PEK, Polynorbornen oder ein Epoxidharz ist.
13. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Wellenleiter-Kerne enthaltende Polymerfolie eine Dicke von 0,01 bis 0,1 mm auf eist.
14. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass in Stufe (i) das differenzielle Belichten durch Verwendung entsprechender Photomasken oder Überbelichten erfolgt.
15. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n - z e i c h n e t, dass die Bildgebung mit Licht von 190-
470 nm erfolgt.
16. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass nach Stufe (i) oder/und nach Stufe (ii) eine thermische Nachbehandlung erfolgt.
17. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die in Stufe (ii) aufgebrachte weitere Lage oder Superstrat aus dem gleichen Material wie die Wellenleiterlage besteht.
18. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Aufbringen weiterer Lagen durch La inieren oder Heißpressen erfolgt.
19. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, dass die weitere Lage oder Superstrat belichtungsunempfindlich ist.
20. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n - z e i c h n e t, dass eine lichtempfindliche Polymerlage auf ein lichtunempfindliches Superstrat mit geringerem Brechungsindex als der der Wellenleiter-Kerne aufgebracht wird.
21. Polymethacrylat-Zusammensetzung mit einer Glasübergangstemperatur über 145 °C erhältlich durch Copolymerisation von Monomeren ausgewählt aus
(a) Monomere 1 bis 7 einzeln oder in Kombination mit folgenden Molprozenten bezogen auf das Polymer: 1 0-90%, 2 0-90%, 3 0-90%, 4 0-90%, 5 0-90%, 6 0-90% und 7 0-90%.
Figure imgf000029_0001
Figure imgf000029_0002
6 7
(b ; Monomeren mit vernetzbaren Seitengruppen
Figure imgf000030_0001
und wahlweise mit (c) Methylmethacrylat zur Optimierung der mechanischen Eigenschaften, wobei weitere Monomere der Klasse (a)
(1) 1-3 und 6-7 mit Fluor in der Estergruppe
(2) 1 und 7 mit Dimethylsubstitution am Polyzyklus, gegebenenfalls fluoriert, und
(3)
Figure imgf000030_0002
sind, ferner weitere Monomere der Klasse
(b)
(1) 8 mit Methyl- oder Dimethyl-Substitution am Trizyklus, gegebenenfalls fluoriert, (2) 9 mit Methyl- oder mehrfacher Methyl-Substitution am Ester-Substituent,
(3) Weitere gebräuchliche Monomere mit vernetzungsfähiger Funktionalität mit 0-45% Molprozenten bezogen auf das Polymer, vorzugsweise 2-Dicyclopentenyloxyethyl-methacrylat, Al- lylmethacrylat, Vinylmethacrylat, Propylenglycolmethacrylat, Glycidylmethacrylat, 2- (2-Oxo-imidazolidin-l-yl) ethylmeth- acrylat, Hydroxypropylmethacrylat, Hydroxyethylmethacrylat, 2-Isocyanatoethylmethacrylat und Acrylate sind, und weitere Monomere der Klasse
(c)
(1) Phenyl-, Benzyl-, n-Alkyl-, iso-Alkyl-, tert-Alkyl und Cycloalkyl-Methacrylate,
(2) Phenyl, Benzyl-, n-Alkyl-, iso-Alkyl-, tert-Alkyl und Cycloalkyl-Acrylate , (3) Styrol-Derivate sind.
22. Polymethacrylat-Zusammensetzung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass sie weiterhin Photosensibili- satoren und/oder Vernetzungshilfen umfasst.
23. Polymethacrylat-Zusammensetzung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass der Photosensibilisator gleichzeitig als Vernetzungshilfe wirkt.
24. Polymethacrylat-Zusammensetzung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die Vernetzungshilfe gleichzeitig als Photosensibilisator wirkt.
25. Polymethacrylat-Zusammensetzung nach den Ansprüchen 22- 24, dadurch gekennzeichnet, dass der Photosensibilisator bzw. die Vernetzungshilfe ausgewählt ist aus Verbindungen der Formeln
Figure imgf000032_0001
15 16 17
Figure imgf000032_0002
R' = H, O-Alkyl, OC(O)Alkyl, Phenyl
R2 = H, CH3
18
26. Planarer polymerer Wellenleiter mit einer Glasübergangstemperatur über 145CC erhältlich durch Photospaltung der Polymethacrylat-Zusammensetzungen nach den Ansprüchen 21 bis 25.
27. Wellenleiter nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass er eine differenzielle Änderung des Brechungsindex aufweist.
28. Verwendung der Polymethacrylat-Zusam ensetzung nach den Ansprüchen 21 bis 25 zur Herstellung eines planaren optischen Wellenleiters in einem optischen, elektrooptischen oder hybriden System.
29. Verwendung des Verfahrens nach den Ansprüchen 1 bis 20 zur Herstellung von elektrooptischen Bauelementen oder hybriden elektrooptischen Leiterplatten.
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