WO2003075096A2

WO2003075096A2 - Refraktives projektionsobjektiv

Info

Publication number: WO2003075096A2
Application number: PCT/EP2003/001147
Authority: WO
Inventors: Wilhelm Ulrich; Russell Hudyma; Hans-Jürgen Rostalski; Karl-Heinz Schuster
Original assignee: Carl Zeiss Smt Ag
Priority date: 2002-03-01
Filing date: 2003-02-06
Publication date: 2003-09-12
Also published as: JP2005519332A; KR20040089688A; AU2003230593A8; EP1483626A2; WO2003075049A3; AU2003230593A1; WO2003075096A3; AU2003210214A1; WO2003075049A2

Abstract

Refraktives Projektionsobjektiv mit einer numerischen Apertur grösser 0,7, bestehend aus einem ersten Bauch, einem zweiten Bauch und einer zwischen den Bäuchen angeordneten Taille, wobei der erste Bauch einen maximalen Durchmesser, mit D1 bezeichnet, aufweist und der zweite Bauch einen maximalen Durchmesser, mit D2 bezeichnet, aufweist und es gilt: 0,8<D1/D2<1,1.

Description

Beschreibung: Refr aktives Proj ektions obj ektiv

Die Erfindung betrifft ein refraktives Projektionsobjektiv für die Mi rolithographie, dass in Ausbreitungsrichtung des Lichtes aus einem ersten Bauch, einer Taille und einem zweiten Bauch besteht. Derartige refraktives Projektioήsobjektiv werden auch mit Eintaillen-Systeme bezeichnet.

Solche Eintaillen-Systeme sind zum Beispiel aus der US60/160799, der EP 1 061 396 A2 und aus der EP 1 139 138 AI bzw. WO 01/23933 -WO 01/23935_bekannt. Aus diesen Schriften ist es bereits bekannt, dass die erste oder die ersten beiden objektseitigen Linsen negative Brechkraft aufweisen. Weiterhin ist aus diesen Schriften bekannt, dass durch den Einsatz von Asphären die Abbildungsqualität gesteigert werden kann. Da die mit einem Projeldiόnsobjektiv erreichbare Auflösung proportional mit der bildseitigen numerischen Apertur des Projeküonsobjektives ansteigt und weiterhin proportional zum Kehrwert der Behchtuήgswellenlänge ansteigt, herrscht das Bestreben vor, Projektionsobjektive mit möglichst großer numerischer Apertur zur Steigerung der Auflösung bereitzustellen.

Bei den in der M--kroh^ographie gestellten Anforderungen an ein Projektionsobjektiv ist es weiterhin erforderlich, ausgewählte Materialien mit einer hohen Qualität zu verwenden. Insbesondere die Eluorid Materialien sind derzeit nur im begrenzten Umfange in der erforderlichen Qualität erhältlich. So wenden beispielsweise bei einer Behchtungs eilenlänge von 193 n in den für diese Wellenlänge ausgelegten Projel tionsobjektiven einige Linsen aus Calciυmfluorid zur Kompensation von Farbfehlern verwendet. Weiterhin werden bevorzugt kurz vor dem Wafer Calciu fluoridli-αsen eingesetzt, die bezüglich Compaction nicht so empfindlich sind.

. Der Erfindung Hegt die Aufgabe zugrunde eine refraktives Projektionsobjektiv bereitzustellen, dass bei einer hohen numerischen Apatur reduzierte Herstellungskosten durch einen verminderten Materiale nsatz aufweist.

Dies konnte insbesondere durch die Maßnahme, den maximalen Durchmesser des zweiten Bauches zu reduzieren, erreicht werden. l Eine Anordnung von zerstreuenden Linsen im Eingangsbereich des Objektives, insbesondere von drei negativen Linsen, tragen zur Verkürzung des Projektionsobjektives bei, was sich vorteilhaft auf den in der Proj ektionsbelichtungsanlage für das Proj ektionsobj ektiv erforderlichen Platzbedarf auswirkt. Weiterhin impliziert eine Verkürzung des Projektionsobjektives auch eine Reduzierung der eingesetzten Linsen, womit sich das eingesetzte Material und somit die Herstellkosten reduzieren lassen.

Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, zur Kompensation von sphärischen Aberrationen höherer Ordnung, die durch eine hohe numerische Apertur im Endbereich des Projel tionsobjektives erzeugt werden, stark gekrümmte Menisken vorzusehen, die negative Brechkraft aufweisen und die zwischen der engsten Einschnürung in der Taille und der Blende und direkt nach der Blende angeordnet sind..

Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, dass diese Menisken auf der dem Objekt zugewandten Seite eine konvexe Oberfläche aufweisen.

Es hat sich auch als vorteilhaft herausgestellt, zwischen der engsten Einschnürung des Lichtbündels in der Taille und der Blende zwei Menisken vorzusehen, deren konvexen Linsenoberflächen zueinander gewandt sind.

Weiterhin hat es sich als vorteilhaft herausgestellt, im zweiten Bauch einen freien Bereich für die Anordnung einer Systemblende vorzusehen. Durch das Vorsehen dieses freien Bereiches ist es möglich, eine Blende vorzusehen, die axial verschiebbar ist.

^' Weiterhin kann bei einem derartigen für die Anordnung der Blende zur Verfügung stehenden Bauraum problemlos auch die Verwendung von gebümmten Blenden vorgesehen werden.

Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt die vorgesehenen Linsenoberflächen gezielt so auszuwählen, dass der Ein- und Austrittswinkel der auf die Linse fallende Strahlung bzw. die Linsen verlassende Strahlung kleiner als 60° ist. Diese Maßnahme wirkt sich insbesondere vorteilhaft auf die verwendbaren Beschichtungen der Linsen aus bzw. es können einfachere Beschichtungen als Antireflexbeschichtung vorgesehen werden, da die Wirksamkeit solcher Beschichtungen wie eine Antireflexbeschichtung insbesondere vom Einfallswinkel der auftreffenden Stahlung abhängt.

Weitere vorteilhafte Maßnahmen sind in weiteren Unteransprüchen beschrieben.

Anhand der folgenden Ausführungsbeispiele wird die Erfindung näher erläutert. Diese Ausführungsbeispiele sind nicht einschränkend zu verstehen. Es zeigt:

Figur 1: Projektionsbelichtungsanlage;

Figur 2: Projektionsobjektiv für die Wellenlänge 193 n ;

Figur 3: Projektionsobjektiv für die BeHchtungswellenlänge 193 nm;

Figur 4: Projektionsobjektiv für die Wellenlänge 193 nm;

Figur 5: Projektionsobjektiv für die Belichtungswe-lenlänge 157 nm.

Figur 6 Projektionsobjektiv für die Wellenlänge 193 nm;

Figur 7:Projektionsobjektiv für die Belichtungswellenlänge 193 nm;

Figur 8: Projektionsobjektiv für die Wellenlänge 193 nm;

Figur 9: Projektionsobjektiv für die BeHchtungswellenlänge 193 nm.

Anhand von Figur 1 wird zunächst der prinzipieUe Aufbau einer Projel tionsbelichtungsanlage 101 der Mikrolithographie beschrieben. Die ProjektionsbeHchrungsanlage 101 weist eine Beleuchti gseinrichtung 103 und ein Projektionsobjektiv 105 auf. Das Projektionsobjektiv 105 umfasst eine Linsenanordnung 121 mit einer Aperturblende 119, wobei durch die Linsenanordnung 121 eine optische Achse 107 definiert wird. Zwischen Beleuchtungsemrichrung 3 und Projektionsobjektiv 105 ist eine Maske 109 angeordnet, die mittels eines Maskenhalters 111 im Strahlgang gehalten wird. Solche in der Mikrolithographie verwendeten Masken 109 weisen eine Mikrometer bis Nanometerstruktur auf, die mittels des Projektionsobjektives 105 bzw. durch die Linsenanordnung 121 bis zu einem Faktor von 10, insbesondere um den Faktor 4, verkleinert auf eine Bildebene 113 abgebildet wird. 1h der Bildebene 113 wird ein durch einen Sübstrathalter 117 positionierte Substrat bzw^'. ein Wafer 115 gehalten. Die noch auflösbaren minimalen Strukturen hängen von der Wellenlänge des für die Belichtung verwendeten Lichtes sowie von der Apertur des Projelctionsobjektives 5 ab; wobei die maximal erreichbare Auflösung der Projektionsbelichtungsanlage 1 mit abnehmender WeUenlänge und mit zunehmender bildseitiger numerischer Apertur des Projektionsobjektives 5 steigt.

In den Figuren_.2 bis 5 sind mögliche Linsenanordnungen 121 der Projektionsobjektive 105 detaillierter dargestellt. Diese dargestellten Linsenanordnungen 1 21, die auch mit Designs bezeichnet werden, weisen bildseitige eine numerische Apertur von 0,85 bzw. 0.9 auf. Die in Figur 2 bis 4 und 6 bis 9 dargestellten Designs sind für die Belichtungswellenlänge von 193 nm ausgelegt. Das in Figur 5 dargestellte Projektionsobjektiv ist für die Belichtungswellenlänge von 157 nm ausgelegt. All diesen Designs ist gemeinsam, dass die auftretenden Aberrationen sehr klein sind und damit strulcturbreiten von bis zu 70 nm aufgelöst werden können. Dabei sind einerseits die Wellenfrontfehler kleiner als 5/1000 der Wellenlänge des für die Belichtung eingesetzten Lichtes und andererseits die Verzeichnung kleiner als 1 nm. Der Farblängsfehler ist kleiner als 380nm pm. Die große Feldgröße von 26 x 10,5 mm² , in der die Abbildung derart hochwertig korrigiert ist, ermöglicht einen produktiven Einsatz in der Mikrolithographie. Aufgrund der Ausgestaltung der Feldgröße bzw. des Feldformates sind diese Proj ektionsobj ektive mit derartigen Linsenanordnungen insbesondere für den Einsatz in Hthographischen Scaneinrichtungen geeignet.

Bevor auf die ausgezeichneten optischen Eigenschaften der in den Figuren 2-9 gezeigten Linsenanordnungen 121 naher eingegangen wird, wird zunächst der prinzipielle Aufbau dieser Linsenanordnungen 121 näher beschrieben. In Ausbreitungsrichtung des Lichtbündels weisen die Linsenanordnungen 121 einen ersten Bauch 123 eine Taille 125 und einen zweiten Bauch 127 auf. Die Taille 125 umfasst eine Stelle engster Einschnürung 129 in dem zweiten Bauch ist eine Systemblende 119 angeordnet.

Diese Linsenanordnungen lassen sich auch in fünf Linsengruppen LG1-LG5 unterteilen. Die erste Linsengruppe LG1 umfasst drei negativ Linsen mit den Linsenoberflächen 2-7. Die ersten beiden Negativlinsen sind vorzugsweise zum Objekt hin durchgebogen. Die dritte Negativlinse ist vorzugsweise eine MeniskehHnse, die zum Bild hin durchgebogen ist. An diese erste Linsengruppe schließt sie die zweite Linsengruppe LG2 an, die positive Brechkraft aufweist, wobei eine Linse maximalen Durchmessers des ersten Bauches in dieser zweiten Linsengruppe angeordnet ist. Diese zweite Linsengruppe LG2 umfasst vorzugsweise ausschließlich Linsen positiver Brechkraft.

An diese Linsengruppe LG2 schließt sich die dritte Linsengruppe LG3, die negative Brechkraft auf eist, an. Diese dritte Linsengruppe LG3 umfasst mindestens drei aufeinanderfolgende Linsen negativer Brechkraft. An diese dritte Linsengruppe LG3 schließt sich eine vierte Linsengruppe LG4 an, die positive Brechkraft aufweist. Diese vierte Linsengruppe LG4 endet vor der Blende.

Durch die nach der Systemblende 119 angeordneten Linsen wird eine fünfte Linsengruppe LG5 gebildet, die ebenfalls positive Brechlcraft aufweist. Diese fünfte Linsengruppe LG5 umfasst eine Linse maximalen Durchmessers im zweiten Bauch, wobei dieser Durchmesser mit D2 bezeichnet wird.

Alle diese Beispiele zeichnen sich durch eine ausgezeichnete Korrektion der Wellenfront aus. Die auftretenden Bildfehler sind auf Werte kleiner 5/1000 der WeUenlänge korrigiert. Die Hauptstrahlverzeichnung ist auf Werte kleiner 1 nm korrigiert.

Der vorteilhafte Effekt der vorHegenden BrecMcraftverteilung ist durch den Einsatz von Asphären verstärkt worden. Die beiden Asphären auf den zerstreuenden Linsen in der ersten Linsengruppe LG1 dienen hauptsächlich zur Korrektion der Verzeichnung und der objekt- und bildseitigen Telezentrie der Hauptstrahlen des äußersten Feldpunlctes.

Die dritte Linsengruppe LG3 beginnt mit einem schwach zerstreuenden Meniskus, dessen konvexe Seite der Maske 109 zugewandt angeordnet ist. An diesen Meniskus schHeßt sich eine Linse mit positiver Brechkraft und mindestens zwei stark zerstreuenden bikonkave Linsen an. Wenn in dieser zweiten Linsengruppe LG2 Asphären vorgesehen sind, daon sind diese auf einer dem Wafer zugewandten Konkavfiäche angeordnet. Zur Korrektur von höheren Tennen des ^■ Öffhungsfehlers und der Koma werden mindestens je eine Asphäre in den Linsengruppen LG4 und 5 bzw. vor und hinter der Blende in der Nähe des größten Durchmessers des zweiten Bauches angeordnet. Zwischen der Taille und der Blende, also in der vierten Linsengruppe LG4, ist mindestens ein zerstreuender Meniskus angeordnet. In den bevorzugten Aus- lπτ-ngsformen, Figur 2 und 3, hat dieser eine dem Wafer zugewandte Konkavfiäche und damit eine ähnliche Form wie der unmittelbar hinter der Blende folgende zerstreuende Meniskus.

Der Korrelctionszustand wird für jedes Beispiel anhand von Kurven für die sphärische Aberration und den Astigmatismus und die Kennzahlen für den RMS Wert der Wellenfront in den Figuren 2a-2c... bis Figur 5a-5c dargestellt. Die RMS- Werte, welche der mittleren quadratischen Wellenfrontdeformation entsprechen, lassen sich wie folgt bestimmen: w_ms =^w -{w)² mit W als Wellenfirontfehler und die spitzen Kla mem als Operand für die Mittelwertbildung.

Der Farblängsfehler CHL, der wie folgt bestimmt wird:

_{CHL =} s'(Ä₂) -s'(λ_l) λ_l -λ₂

ist in Tabelle 1 angegeben. Dabei ist s' die paraxiale Bildweite nach der letzten Fläche und λi und λ₂ sind BezugsweHenlängen. CHL wird in nm pro p angegeben. ^'

Die- Wahl eines Eintaillensystems wirkt sich vorteilhaft auf das Auftreten von chromatischen Fehlern aus, die üblicherweise, wie zum Beispiel in der WO 01/23935 durch den Einsatz von mindestens zwei Materialien, so beispielsweise bei einer BeHchtungswellenlänge von 193 nm von Si0₂ und CaF₂ konigiert werden.

Dahingegen ist bei den in den Figuren 2-9 gezeigten Ausführungsbeispielen die Verwendung von nur einem Material vorgesehen, wobei gerade durch die Anordnung der nach der Stelle der engsten Einschnürung vorgesehenen Menisken eine hervorragende Bildqualität bezüglich der chromatischen Aberrationen erreicht werden konnte. Diese Bildqualität zeichnet sich durch einen Farblängsfehler oder „axial color" kleiner als 385nm pro pm aus. Der Farbver^'größerungsfehlers oder „lateral color" ist kleiner als 0,8 pprn pm, was einen hervorragenden Wert darstellt. Dies entspricht einem Farbvergrößerungsfehler von 1 lnm/pm am Bildrand. Wobei pp für parts per million steht. Der Einsatz eines eventuell zusätzlich verwendeten zweiten Materials kann zur Farbfehlerkorrektion und/oder an SteHen auftretender hoher Energiedichte zur Vermeidung von Compaction- und Rarefactioneffekte vorgesehen werden Mit Compaction- und Rarefactioneffekten sind dabei die materialabhängigen Brechzahländerungen in Bereichen großer Energiedichte gemeint.

Die ausgezeichnete Bildqualität bezüglich Farbfehler wird durch die Gestalten der beiden Bäuche maßgeblich unterstützt. Das Verhältnis der maximalen Durchmesser des ersten Bauches Di und des zweiten Bauches D₂ genügt den folgenden Bedingungen 0,8 < D1/D2 < 1,1. Vorzugsweise gilt: 0,8 < D1/D2 < 1,0.

In den vorliegenden Beispielen weisen alle Linsenanordnungen 121 eine numerische Apertur von mindestens 0,85 auf. Es ist jedoch selbstverständlich auch möglich, diese spezielle Anordnung bei einer Linsenanordnung, die bildseitig eine geringere numerische Apatur aufweist, einzusetzen, um entweder ein größeres Feld mit unverminderter Bildqualität bereitzustellen oder die BildquaHtät über die anhand der Ausfuhrungsbeispiele gezeigte Güte noch weiter zu verbessern oder den Einsatz von Asphären reduzieren zu können. Die Designs zeichnen sich trotz hoher numerischer Apatur durch geringe Strahlablenkungen bzw. Strahlwinkel an den meisten Flächen aus. Dadurch werden nur wenige Bildfehler höherer Ordnung generiert.

Da sich die hohen Einfallswinkel in der Nähe des Wafers auf den Linsen und der planparallelen Abschlussplatte nicht vermeiden lassen, werden zwangsläufig Aberrationen höherer Ordnung generiert. Um diese Aberrationen höherer Ordnung zu kompensieren, sind einige wenige Flächen im System vorgesehen, an denen die einfallende Strahlung bzw. die aus den Linsen austretende Strahlung einen großen Einfallswinkel bzw. Brechungswinkel aufweist, der einer Aberration höherer Ordnung durch Wahl des Vorzeichens entgegenwirkt. 3h den Beispielen sind aus diesem Grunde die stark gelcrü nmten Menisken, die negative Brechkraft aufweisen und die in der vierten und fünften Linsengruppe angeordnet sind, vorgesehen. Die meisten Linsen, mindestens 80 % aller Linsen weisen jedoch Linsenoberflächen auf, an denen das eintretende Licht einen Einfallswinkel von kleiner 60° aufweist. Das gleiche gilt für die Linsenflächen, an denen die Strahlung wieder austritt. Die Möglichkeiten für die optimale Beschichtung der Linsen werden dadurch vereinfacht bzw. eine Rückreflexion an den Linsenoberflächen kann weiter vermindert werden, da die Wirl--sarnkeit solcher Beschichtungen vom Emfallswinkel stark abhängt und mit steigendem Einfalls inlcel in der Regel abnimmt. Es ist nicht möglich mit einem homogenen Schichtsystem über die gesamte Fläche und das volle Spektrum der Einfallswinkel an der Linse konstante Transmission zu erhalten. Insbesondere in der Übergangszone des Winkelbereichs zwischen 50 und 60 Grad verschlechtert sich die Transmission bei gleicher Beschichtung erheblich. Deshalb ist es vorteilhaft, erstens die Einfallswinkel generell so klein wie möglich zu halten und zweitens, wenn sich große Einfallswinkel aus Korrektionsgründen nicht vermeiden lassen, die Flächen mit den maximalen Einfallswinkeln in die Nähe der Blende zu positionieren. In diesem Fall treten bestimmte Einfallswinkelspektren nur in definierten Ringzonen derLinse auf. Zur Erzielung eines optimalen Ergebnisses bezüglich der Transmission werden die Beschichrungen in Abhängigkeit des Radiusses variiert und somit optimal an den jeweiligen Einfallswinkelbereich angepasst.

Um unterschiedlichste Blendensysteme bei den dargestellten Designs vorsehen zu können, ist im Bereich der Blende ein freier Bereich, der mit L_AP bezeichnet wird, vorgesehen worden. Dadurch sind Blenden einsetzbar, die in Abhängigkeit von den Anforderungen an das Bild nachgefahren werden können. Auch sind unterschiedlichste Blenden einsetzbar und es können Blendenfassungen vorgesehen werden, die bereits einen Mechanismus zur Verstellung der Blende aufweisen, da für das Vorsehen einer derartigen Konstruktion ausreichend Bauraum zur Verfügung steht muss. Die letzten beiden Linsen vor der Systemblende 119 angeordneten Linsen haben maßgeblich dazu beigetragen, dass der Freiraum L_AP bereitgestellt werden konnte.

Durch die kleinen Durchmesser Dl und D2 in den beiden Bäuchen 123, 127, und die kurze Baulänge von 1000-1150 mm und die geringe Anzahl von Linsen konnte eine Reduktion des erforderHchen Linsenmaterials erreicht werden. Es konnte erreicht werden, dass die Linsenmasse m in einigen Ausführungsbeispielen kleiner als 55 kg ist siehe Tabelle 1 . Die

Linsen der in den Figuren 2-9 gezeigten Lmsenanordnungen Hegt im Bereich 54 bis 68 kg.

Systeme mit großer numerischer Apertur neigen dazu, besonders große Durchmesser im zweiten Bauch 127 und eine große Baulänge 0 0^r zu erfordern. Wesentlich zur Erzielung der kleinen Bauchdurchmesser und der handlichen Baulänge ist die Gestaltung des Übergangs zwischen TaiUe und dem zweiten Bauch. Hier werden zwei sammelnde Menisken verwendet, die mit ihren konvexen Seiten zueinander gewandt angeordnet sind. Aufgrund dieser Anordnung konnte der maximale Linsendurchmesser und damit insbesondere die Masse der notwendigen Linsenblanks aufgrund der Ausgestaltung des zweiten Bauches gering gehalten werden. Um eine möglichst geringe Masse zu erzielen, müssen die folgenden Beziehungen eingehalten werden:

L * D_MX/(NA* 2yb) < 12850 wobei L die Baulänge gemessen vom Reticle zum Wafer ist, NA die bildseitige numerische Apertur ist, D _AX der maximale Durchmesser des Systems, also l oder D2 ist und 2yb der Durchmesser des Bildfeldes ist. Besonders vorteilhaft ist es, wenn der maximale Durchmesser des ersten Bauches Dl maximal gleich dem maximalen Durchmesser des zweiten Bauches D2 ist.

-h der nachfolgenden Tabelle 1 sind die jeweiligen Linsenanordnungen 121 charakterisierenden Daten angegeben. L_geo ist die Summe der Mittendicken aller Linsen des Objektives. LV ist ein Maß für den freien Bauraum um eine Systemblende herum, wobei mit L_AP der freie Abstand von der letzten Linsenoberfläche vor der Blende bis zur ersten Linsenoberfläche nach der Blende ist.

L_geo ist die Su me über die Mittendicken aller im Objektiv angeordneten Linsen ist und L der Abstand von Bildebene O' zur Objεktebene O ist.

TabeUe 1

Die genauen Linsendaten der in Figur 2 gezeigten Linsenanordnung sind aus Tabelle 2 zu entnehmen.

Tabelle 2:

TABELLE 2 crv8_ _5

1/2 FREIER

FLAECHE RADIEKT DICKEN GLAESER Brechzahl DURCHMESSER

0 0. 000000000 32.000000000 L710 0. 99998200 56.080

1 0. 000000000 0.000000000 L710 0 9999B200 63.104

2 727. 642869160 10.000000000 SI02HL 1. 56028895 63.718

3 226. 525323855AS 13.700039256 HΞ193 0. 99971200 65.318

4 2211. 534901544 10.867348809 SI02HL 1. 56028895 67.362

5 •272. 198328283AS 38.109427988 HE193 0. 99971200 70.568

6 -110. 26844B226 53.110762192 SI02HL 1. 56028895 71.923

7 -150. 645587119 1.027970654 HE193 0. 99971200 97.325

B -1859 686377061 35.612645698 SI02HL 1. 56028895 112.154

9 -785. 737931706 1.605632266 HE193 0. 99971200 120.907

10 -15567. 860025603 41.231791248 SI02HL 1. 56028895 124.874

11 -255 699077104 1.000000000 HE193 0 99971200 126.787

12 1289 315128841 21.016190377 SI02HL 1. 56028895 129.339

13 -1288 131288834 • 1.000000000 HΞ193 0 99971200 129.365

14 260 564227287 51.423634995 SI02HL 1 56028895 127.263

15 1730 695425203 13.188971653 HE193 0 99971200 122.159

16 176 011027540 55.000000000 . SI02HL 1 56028895 107.596

17 109 644556647 11.784016964 HE193 0 99971200 81.889

18 136 79S552665 41.333702101 SI02HL 1 56028895 81.527

19 127 780585003 23.051923975 HE193 0 99971200 68.904

20 .2669 .368605391 34^*.121643610 SI02HL 1 56028895 68.053

21 . 355 .264577081AS 30.898497897 HE193 0 99971200 62.218

22 -109 .389008884' 10.000000000 SI02HL 1 56028895 61.017

23 249 .223110659 27.598291596 HE193 ^■ 0 99971200 66.233

24 -143 .820224710 42.179010727 SI02HL 1 56028895 67.085

25 -176 .696299845 2.479524938 HE193 0 .99971200 84.196

26 -475 .210722340AS 19.825006874 ΞI02HL 1 56028895 90.545

27 -224 .363382582 1.042633596 HE193 0 .99971200 93.106

28 308 .609848426 ^• 16.000000000 SI02HL 1 .56028895 102.746

29 201 .721667456 25.52BB39747 HE193 0 .99971200 103.303

30 944 .6B7071148AS 19.894794059 SI02HL 1 .56028895 104.495

31 366 .820570030 8.208658436 HE193 0 .99971200 112.097

32 574 .278724113 39.477814236 SI02HL 1 .56028895 113.555

33 -358 .531323193 1.326991422 HE193 0 99971200 116.205

34 320 .594715977AS 33.261672159 SI02HL . 1 .56028895 129.696

35 1861 .755729783 32.119103109 HE193 0 .99971200 129.674

36 0 .000000000 17.287410699 HE193 0 .99971200 130.664

37 361 .690129139 40.443225527 SI02HL 1 .56028895 137.657 38 232..801533112 17.100750060 HE193 0,.99971200 134,.775

39 343 .521129222 43.749080263 SI02HL 1 .56028895 135, .562

40. -1180, ,085155420 5.861047182 HEI93 0, .99971200 136, .059

41 404, .126405350 50.820935982 SI02HL 1, .56028895 137, .263

42 -499, •905302311AS 1.129115320 HE193 0, .99971200 136, ,399

43 132, ,000000000 50.889776270 SI02HL 1, .56028895 108, .737

44 207, .781260330 1.875778948 HΞ193 0, .99971200 96, .990

45 131, .9760BÖ166 50.620041025 SI02HL 1, .56028895 88, .265

46 216, ,108478997 8.560819690 HE193 0, ,99971200 66, .515

47 345, . 8547312OAS 40.780402187 SI02HL 1. ,56028895 62, ,290

48 803. ,014748992 2.855378377 HE193 0, .99971200 37, ,054

49 0, ,000000000 10.000000000 SI02HL 1, .56028895 33, ,755

50 0. ,000000000 B.000000000 L710 0. .9999B200 27. ,205

51 0. ,000000000 0.000000000 1. ,00000000 14. ,020

ASPHR-ERISCHE KONSTANTEN :

FLAECHE MR. 3

K 0.0000 .

Cl -1.09559753e-007

C2 3.57696534e-012

C3 9.55681903e-017

C4 1.60627093e-020

C5 -2.383644116-024

C7 6.17790835e-034

CB 0.00000000e+000

C9 0.00000000e+000

FLAECHE NR. 5

K 0.0000

Cl -3.98669984e-00B

C2 1.21202773e-012

C3 -2.54482855e-016

C4 2.63372160e-020

C5 -7.20324194e-024

C6 1.1161Ö638e-027

C7 -6.59707609e-032

C8 o.ooooooooe+ooo

C9 0.00000000e+000

FLAECHE NR. 21

K O.0000

Cl -2.55118726e-008

C2 -2.20548948e-012

C3 -9.25235857e-017

C4 -3.33206057e-020

C5 6.94726983e-024

C5 -1.13902882e-027

C8 0.00000000e+000

C9 0.00000000e+000

FLAECHE NR. 26

K 0, ,0000

Cl -2, ,59102407e-009

C2 7. . B0412785e-013

C3 6. ,46009507e-01B

C4 9, ,48615754e-022

C5 -5, ,98580637e-026

C6 -6, ,85408327e-031

C7 -1, ,22088512e-035

CB 0, ,00000000e+000

C9 0, ,00000000e+000 FLAECHE NR. 30

K 0.0000

Cl -2.05499169e-009 C2 ' -9^'.59524174e-014

C3 3.47471870e-018

C4 -1.59033679e-023

C5 3.61312920e^'-027

C6 4.19166365e-031

C7 -6.21964399e-036

C8 O.DOOOOOOOe+OOO

C9 0.00000000e+000

FLAECHE NR. 34

K 0.0000

Cl -5.41197196e-011

C2 2.6B576256e-014

C3 1.97154224e-018

C4 -1.14136005e-023

•C5 -6.50140227e-029

C6 -1.62666510e-032

C7 1.03803879e-037

C8 0.00000000e+000

C9 0.0O0D0O00e+000

FLAECHE NR. 42 0.0000

Cl 4.81397179e-010

C2 -9.43105453e-016

C3 2.243595996- 019

C4 4.36770636e-024

CΞ -6.88569878e-028

C6 4.99976924e-033

C7 -3.386B3104e-039

C8 0.00000000e+000

C9 OlOOOOOOOOe+OOO

FLAECHE NR. 47

K O.0000

Cl -3.383793*88e-008

C2 1.92297513e-012

C3 3.68388126e-016

C4 -4.26261424e-020

C5 -7.931Ξ3105e-025

C6 5.33775440e-028

C7 -3.98605335e-032

C8 O.OOOOODOOe+000

C9 O.00000000e+000

Die asphärischen Flächen werden durch die Gleichung

beschrieben wobei P die Pfeilhöhe als Funktion des Radius h (Höhe zur optischen Achse 7 ) mit den in den Tabellen angegebenen asphärischen Konstanten K, Ci bis Cn ist. R ist der in den Tabellen angegebene Scheitelradius.

In den Figuren 2a bis 2c ist die Verteilung der Bildfehler über das Bild dargestellt. In Figur 2a ist die sphärische Längsaberration dargestellt, wobei auf der Vertikalachse die relative Öffnung und auf der Horizontalachse die Längsaberration aufgetragen ist. Aus Figur 2b ist der Verlauf des Astigmatismus zu entnehmen. Auf der Vertikalachse ist die Objekthöhe aufgetragen und auf der Horizontalachse ist die Defokussierung in mm aufgetragen. In Figur 2c ist die Verzeichnung dargestellt, wobei über die Horizontalachse die Verzeichnung in % gegenüber der Objekthöhe auf der Vertikalachse aufgetragen ist.

Die genauen Linsendaten zu der in Figur 3 dargestellten Linsenanordnung ist der Tabelle 3 zu entnehmen.

TABELLE 3 crv9_ _13

BRECHZAHL 1/2 FREIER

FLAECHE RADIEN DICKEN GLAESER 193.304nm DURCHMESSER

0 0.000000000 32. 000000000 L710 0.99998200 56. 080

1 0.000000000 0. 000000000 L710 0.99998200 63. 102

2 225.350754363AS 10. ooooooooo SI02HL 1.56028895 65. 569

3 205.452906258 16. 699011276 HE193 0.99971200 65. 485

4 -485.968436889AS 10. ,000000000 SI02HL 1.56028895 65. 851

5 236.1205B6098 35. 991435570 HE193 0.99971200 69. 716

6 -118.383252950 35. 248541973 SI02HL 1.5602B895 70. 715

7 -199.283119032 1. .000000000 HE193 0.99971200 91. 711

B -297.219107904 20. .818099956 SI02HL 1.56028B95 96. 216

9 -242.015290785 1. ,012985192 HE193 0.99971200 103. 186

10 -8025.596542346 34, .642805711 SI02HL 1.5602B895 115. ,500

11 -527.541918500 1, .061404340 HE193 0.99971200 122. .264

12 2846.863909159 47, .490572144 SI02HL 1.56028895 129. .024

13 -281.527506472 1, .000000000 HE193 0.99971200 131. .520

14 720.498316515 25 .197751101 SI02HL 1.56028895 133. .348

15 -1864.287720284 1 .000000000 HE1S3 0.99971200 133, .010

16 297.151930333 51 .479599832 SI02HL 1.56028895 129, .235

17 2167.873564789 1 .204618080 HE193 0.99971200 123, .220

18 188.319913743 55 .000000000 SI02HL 1.56028895 111. .397

19 108.153510038 15 .971910183 HE193 0.99971200 83, .7B3

20 148.002390368 55 .000000000 . SI02HL 1.56028895 83 .477

21 190.33590B124 13 .500103985 HE193 0.99971200 es , .512

22 1443.253928436 24 .323718717 SI02HL 1.56028B95 68 .921

23 199.695044391AS 37 .573461703 HE193 0.99971200 62 .387

24 -111.551299373 10 .000000000 SI02HL 1.56028895 60 .784

25 239.358614085 27 .666487186 HE193 0.99971200 65 .748

26 -142.880130573 41 .866297159 SI02HL 1.56028895 66 .580

27 -189.902057474 1 .589605652 HE193 0.99971200 84 .173

28 -748.290216502AS 29 .582545265 SI02HL 1.56028895 90 .858

29 -233.966894232 8 .147720844 HE193 0.99971200 95 .596

30 522.113109615 10 .822356285 SI02HL 1.56028895 105 .238

31 222.998461180 27 .042016978 HE193 0.99971200 107 .333

32 2251.467600263 35 .217263658 SI02HL 1.56028895 108 .549 33 -318.234735893 15.214352753 HEI93 '0.99971200 112.335

34 299 .639B63140 37, .156335602 SI02HL 1, .56028895 130, .529

35 1055 .209248614AS 29 .625427714 HE193 0 .99971200 130 .316

36 0 .000000000 22, .504097096 HE193 0, .99971200 131, .300

37 354, .29B294212 22, .700275111 SI02HL 1, .56028895 139. .703

38 238 .221108961 17 .302866825 HE193 0, .99971200 137 .684

39 350 .361961049 48. .201285092 SI02HL 1, .5602B895 138 .456

40 -830, .182582275AS 8, .553043233 HE193 0, .99971200 138 .929

41 451, .152609432 53, .706250069 SI02HL 1, .56028895 138 .872

42 -529, .782985076 2, .080488115 HE193 0. .99971200 137, .286

43 131 .667284180 ^'50, .882399067 SI02HL 1, .56028895 10B, .852

44 197, .437143555 1, .961444642 HE193 ^] 0. .99971200 96 . .477

45 128. .459992965 50, .613576955 SI02HL 1, •56028B95 87, .931

46 248, .183667913 8, ,856875224 HE193 0. ,99971200 67, .641

47 466. .791B6B973AS 40. ,667719468 SI02HL 1. .5602BB9S 63, .096

48 942, .984808834 2. ,803249134 HE193 0. ,99971200 37, .242

49 0. ,000000000 10. ooooooooo SI02HL 1. ,56028895 33. .823

50 0. ,000000000 8. ,020000000 L710 0. ,99998200 27. .268

51 0. ,000000000 0. ooooooooo 1. ,00000000 14. ,021

ASPHAERISCHE KONSTANTEN

FLAECHE NR. 2

K 0.0000

Cl 9.00497722e-008

C2 -2.96761245e-012

C3 2.42426411e-016

C4 -1.29024008e-020

C5 -2.03172826e-024

C6 5.50185705e-028

C7 -3.8?197744e-032

C8 o.obooooooe+ooo

C9 0.00000000e+000

FLAECHE NR. 4

K 0.0000

Cl 3.65969250e-008

C2 -1.92473151e-012

C3 -1.3266ΞB03e-016

C4 5.69164703e-021

CΞ 1.31041719e-024

C6 -1.53054324e-028

C7 9.97324868e-033

C8 o.ooooooooe+ooo

C9 0.00000000e+000

FLAECHE NR. 23

K 0. 0000

Cl -1. 279B9150e-008

C2 -3. ,BB749373e-012

C3 -2. ,51584504e-016

C4 -8. ,45723879e-021

C5 -7, ,11343179e-024

C6 1, ,64378151e-027

C7 -2, ,17615886e-031

C8 0, ,00000000e+000

C9 0, ,00000000e+000

FLAECHE NR. 28

K 0 .0000

Cl -1 .03153490e-008

C2 6 .25910971e-013

C3 5. .45981131e-01B

C4 9 .75498051e-022

C5 -1 .22736867e-025

C6 1 .17406737e-029

C7 -5 .B1094482e-034 CB 0.00000000e+000

C9 O.00000000e+O00

FLAECHE NR. 35

K 0.0000

Cl 5.28759000e-010

C2 1.518064966-014

C3 -1.87647477e-01B

C4 -1.08308029e-023

C5 -9.74605211e-028

C6 6.03242407e-032

C7 -5.09796873e-037

CB 0.00000000e+000

C9 0.00000000e+000

FLAECHE NR. 40

K 0.0000

Cl 1.83813349e-010

C2 3.19321009e-015

C3 2.04249906e-019

C4 6.57531812e-024

C5 -2.09352644e-028

C6 1.60987553e-033

C7 -2.90466412e-037

C8 O.OOOOOOOOe+OOO

C9 0.00000000e+000

FLAECHE NR. 47

K 0.0000

Cl -3.99800644e-008

C2 4.05930779e-012

C3 1.42362123e-016

C4 -3.12437665e-020

C5 -5.49454012e-024

C6 l.B4641101e-027

C7 -1.545S5739e-031

C8 0.00000000e+000

C9 0.00000000e+000

In den Figuren 3a-3c ist die sphärische Aberration, der Astigmatismus und die Verzeichnung wie bereits anhand von Figur 2a-2c beschrieben dargestellt.

Die genauen Linsendaten zu der in Figur 5 gezeigten Linsenanordnung sind aus Tabelle 5 zu entnehmen.

Tabelle 4

crl5_l

BRECHZAHL 1/2 FREIER FLAECHE RADIEN DICKEN GLAΞSER 157.6 nm DURCHMESSER 0 0.000000000 29.091200000 N2 1.00000300 46 ,.170

1 0.000000000 0.050360271 N2 1.00000300 52 , .536

2 -2_,7403.121890329 5.400000000 CAF2HL 1.55848720 ^• 52 , .536

3 128.789046652 8.167826938 N2 1.00000300 55 .162

4 464.48182B994AS 6.543292509 CAF2HL 1.55B48720 56, .851

5 250.689303807 19.604013184 N2 1.00000300 58 , .208

6 -223.266447510AS 50.327605169 CAF2HL 1.55848720 59, .504

7 -141.012345914 0.896857450 N2 1.00000300 77, .821

8 ■ -492.125790935 ■ 39.701273305 CAF2HL 1.5584*8720 84. ,708

9 -185.333140083 - 1.620061449 N2 1.00000300 91, .930 0 -4917.002616489AS 36.075373094 CAF2HL 1.55848720 96 . ,618 1 . -224.975412381 17.499455417 N2 1.00000300 98. .628 2 -249.735183706 31.779981213 CAF2HL 1.55848720 97. .516 3 -169.147720350 1.273004772 N2 1.00000300 99 . ,721 4 131.492053134 36.312876809 CAF2HL 1.55848720 83. ,705 5 1183.761281348 0.820000000 N2 1.00000300 79. 822 6 446.400836562 6.793752445 CAF2HL 1.55848720 76. 456 7 80.708201634 6.438487413 N2 1.00000300 62. ,135 8 88.076542641 28.609450919 . CAF2HL 1.55848720 61. 689 9 103.290384365 24.140118330 N2 1.00000300 53. 717 0 -214.410142174 6.400000000 CÄF2HL 1.55848720 , 52. 881 1 166.705978193AS 25.336749078 N2 1.00000300 50. 734 2 -86.759432429 6.718880984 CAF2H ^' 1.55848720 50. 602 3 -895.255217870 20.208808365 N2 1.00000300 55. 126 4 -94.182592644 7.167405034 CAF2HL 1.55848720 56. 136 5 -199.256306511 6.787427549 N2 1.00000300 63. 043 6 -257.348011065 42.358250101 CAF2HL 1.55848720 67. 198 7 -158.070327885 0.915908375 N2 1.00000300 79. ,706 8 -536.887928001 21.844348944 CAF2HL 1.55848720 84. ,997 9 -205.950312449 2.162149307 N2 1.00000300 87,. .472 0 -1B45.287959821AS 27.220459982 CAF2HL 1.55848720 90. .588 1 -211.608710551 29.606451754 N2 1.00000300 91. .877 2 -183.434679441 7.418912892 CAF2HL 1.55848720 90. ,562 3 240.98B713790 8.623094130 N2 1.00000300 99, .368 4 286.B16486745 50.566486028 CAF2HL 1.55848720 104. .285 5 -278.974234663 3.401812568 N2 1.00000300 106, .263 6 272.985081433 35.883815357 CAF2HL 1.55848720 110, .387 7 -1204.561658666AS 29.820606892 N2 1.00000300 109, .520 8 -205.963439341 9.589085190 CAF2HL 1.55848720 108. .972 9 -486.467956109 23.105163626 N2 1.00000300 111, .820 0 0. OOOOOOOOO -10.633177329 N2 1.00000300 113. .000 1 520.246306609AS 6.400000000 CÄF2HL 1.55848720 113 , .282

42 210.835739690 9.380949546 N2 1.00000300 113 , .819

43 249.610235127 72.66105685B CAF2HL 1.55848720 116 .2B3

44 -368.944153695 27.617582877 N2 1.00000300 118, .001

45 194.502406707AS 40.994994726 CAF2HL 1.55848720 111 .496

46 2325.171902613 0.959912478 N2 1.00000300 108 .992

47 120.131289340 32.489921154 CAF2HL 1.55848720 91 .646

48 219.061234205 4.330384877 N2 1.00000300 86 .556

49 148.308513415 23.818571196 CAF2HL 1.55848720 79 .114

50 203.105155430 0.826871809 N2 1.00000300 69 .446

51 . 136.769195322 19.729069306 ^' CAF2HL 1.55B4B720 ^' 64 .538

52 210.657871509 6.502120434 N2 1.00000300 55 .515

53 376.287223054 15.336785456 CAF2HL 1.55848720. 51 .778

54 183.572236231 4.060877180 N2 1.00000300 40 .084

55 181.243374040 16.948210271 CAF2HL 1.55848720 36 .115

56 426.075165306 1.398093981 N2 1.00000300 26 .107

57 0.000000000 2.400024000 CAF2HL 1.55848720 25 .121

58 0.000000000 7.272800000 N2 1.00000300 23 .545

59 0.000000000 q. ooooooooo N2 1.00000300 11 .543

60 0.000000000 0.000000000 .1.00000000 11 .543

ASPHAERISCHE KONSTANTEN

FLAECHE NR. 4

K 0.0000

Cl 3.68947301e-007

C2 -2.07010320e-011

C3 1.8044BB93e-015 C4 -2 .02024724e-019

C5 1. 06591750e- 023

C6 8 .66812157e- 027

C7 - 1 .28036020e-030

C8 0. 00000000e+000

C9 0 . 00000000e+000

FLAECHE NR. 6

K 0.0000

Cl -1.90456699e-007

C2 7.09276542e-012

C3 -9.42039479e-016

C4 9.60030375e-020

C5 -4.B1313543e-023

C6 1.26016542e-026

C7 -2..12906900e-030

C8 0.00000000e+000

C9 O.00000000e+O00

FLAECHE NR. 10

K 0.0000

Cl 1.24881874e-009

C2 -7.54632592e-013

C3 9.59548418e-018

C4 3.61424148e-022

C5 4.66204361e-026

C6 -5.1B069750e-030

C7 6.76055535e-035

C8 0.00000000e+000

C9 O.00000000e+000

FLAECHE NR. 21

K 0.0000

Cl -1.7B4S8549e-007

C2 -5.04642691e-012

C3 -9.31857452e-016

C4 2.412B5214e-019

C5 -1.68512636e-022

C6 5.20287108e-026

C7 -7.17032999e-030

CB 0.00000000e+000

C9 0.00000000e+000

FLAECHE NR. 30

K 0. ,0000

Cl -1. ,34161725e-00B

C2 8, ,16970893e-014

C3 -3. ,14061744e-018

C4 1, ,03237892e-021

C5 -1, .84717130e-025

C5 1, ,87170281e-029

C7 -7. .93751880e-034

CB 0. .00000000e+000

C9 0, . OOOOOOOOe+OOO

FLAECHE NR. 37

K 0, .0000

Cl 7. .99945890e-009

C2 -1, .42636B34Θ-013

C3 -2, .69989142e-019

C4 -5, ,15246689e-023

C5 -4. ,B3470243e-027

C6 2, ,584786226-031

C7 -7. ,74164486e-036

CB 0, .00000000e+000

C9 0, .00000000e+000 FLAECHE NR. 41

K 0 .0000

Cl -4, .43364674e-009

C2 1 .10741132e-014

C3 3, .55153523e-018

C4 -4. .85210428e-024

C5 2, .35336B26e-027

C6 -1 .03253172e-031

C7 4, ,79327883e-036

C8 0, .O0000000e+000

C9 0, .00000O00e+000

FLAECHE NR. 45

K 0, .0000

Cl -1, ,18399241e-009

C2 -1. ,58492270e-013

C3 -1. ,27975554e-018

C4 -1, ,10519991e-022

C5 2. ,24373710e-027

C6 ~9, ,77335519e-032

C7 -5. ,74659204e-036

CB 0. ,00000000e+000

C9 0. ,00000000e+000

Die Abbildungsgüte bezüglich sphärischer Aberration, Astigmatismus und Verzeichnung sind in den Figuren 4a-4c dargestellt.

Tabelle 5 crvll_ _10

BRECHZAHL 1/2 FREIER

FLAECI __. RADIEN DICKEN GLAESER 193.304nm DURCHMESSER

0 0. OOOOOOOOO 32. ooooooooo LUi"lV193 1.00030168 56.080

1 0. OOOOOOOOO 0. ooooooooo LUFTV193 1.00030168 53.258

2 -1268. 338705527AS 11. 478260873 SI02 1.56078570 63.258

3 267. 538117540 9. .451447213 N2VP950 1.00029966 65.916

4 600. .021131212AS 11. .500000000 SI02V 1.56078570 67.578

5 326. ,741991833 28. ,091498045 N2VP950 1.00029966 70.893

6 -170. ,788507842 51. .999135922 SI02V 1.56078570 72.910

7 -330. .329053389 1, ,000000000 N2VP950 1.00029966 99.226

8 -1068. .525517497 19, .979625145 SI02V 1.56078570 105.942

9 -387. .645501150 1. .ooooooooo N2VP 50 1.00029966 109.709

10 -704, .568730532AS 42, .420550373 SI02V 1.56078570 113.373

11 -222, .016287024 1 .ooooooooo N2VP950 1.00029956 119.118

12 1941, .257887377 52, .ooooooooo SI02V 1.55078570 126.942

13 -469, .372066662 3 .397916884 N2VP950 1.00029966 129.896

14 -4169, .926875111 52 .ooooooooo SI02V. 1.5607B570 129.822

15 -295 .686690038 1 .ooooooooo N2VP950 1.00029966 130.032

16 159. .750938231 51 .964442356 SI02V 1.56078570 108.529

17 376 .268786259 1 .ooooooooo N2VP950 1.00029966 97.568

18 307 .447954470 51 .969227450 SI02V 1.56078570 95.447

19 116 .498974152 31 .898186858 N2VP950 1.00029966 65.905

20 -288 .097826092 11 .500000000 SI02V 1.56078570 64.079

21 336 .397895010AS 37 .099202165 N2VP950 1.00029966 60.053

22 -106 .320408238 11 .500000000 SI02V 1.56078570 58.050

23 187 .789793825 26 .304322413 N2VP950 1.00029966 63.753

24 -209 .237460909 43 .406094751 SI02V 1.56078570 66.044 25 -216.929048076 1.ooooooooo N2VP950 1.00029965 82.840

26 1164 .410193579AS 23 .557441112 SI02V 1 .56078570 92 .682

27 -329 .001203575 1 .ooooooooo N2VP950 1 .00029966 9 .132

28 2521 .852603301 17 .217391310 SI02V 1, .56078570 97 .558

29 228 .980-652217 28 .589394523 N2VP950 1, .00029966 102 .117

30 27241 .479244975 36 .454077888 SI02V 1, .56078570 105 .084

31 -230 .122916051 2 .961510546 N2VP950 1. .00029965 108 .362

32 270 .92511B464 38 .714553103 SI02V 1, .56078570, 12 .500

33 763 .68B485160AS 35 .762711758 N2VP 50 1, ,00029966 . 123 .913

34 0. .ooooooooo 10 .2983B4083 N2VP950 1, .00029966 124 .951

35 305, .539519440 25, .677979598 SI02V • 1, .56078570 131, .506

36 216, .211099364 24, .769069040 N2VP950 1. .00029966 128, .830

37 382, .860100127 50, .973600009 SI02V 1. ,56078570 130. .799

38 -694, .560467360AS 5, .723480057 N2VP950 1. ,00029966 131. .956

39 325, .403745866 49, ,444778918 SI02V 1. .5607857*0 131. .961

40 -731. .949523671 1. ,000000000 N2VP950 1. ,00029965 130, .439

41 129. .520874552 46, ,268119852 SI02V 1. .5607B570 105, .425

42 252. .827890722 1. .OOOOOOOOO N2VP950 1. ,00029966 97. ,727

43 136. .184798222. 47. .793950778 SI02V 1. 56078570 87. ,092

44 291. ,218349738 8. ,959947251 N2VP950 1. 00029966 67. ,069

45 1284. 867832510AS 36. .652815450 SI02V 1. 56D7B570 62. ,759

46 1021. ,772390757 3. 210870937 N2VP950 1. 00029966 38. ,108

47 0. ooooooooo 10. OOOOOOOOO SI02V 1. 56078570 33. ,939

4B 0. ,000000000 8. ,000000000 LTJFTV193 1. 00030168 27. ,350

49 0. ,000000000 0. OOOOOOOOO 1. 00000000 14. ,020

ASPHAERISCHE KONSTANTEN FLAECHE NR . 2

K .0. .0000

Cl 1. .67561866e-007

C2 -2. ,12938922e-011

C3 1. ,69680309e-015

C4 -1, ,98132595e-019

C5 7, ,57848219e-024

C6 -1, ,91694592e-028

C7 7, ,31348529e-034

C8 0. .00000000e+000

C9 0. .QOOOOOOOe+000

FLAECHE NR. 4

K 0. .0000

Cl -7, .60044675e-008

C2 1 .17354453e-011

C3 -1 .30436139e-015

C4 1 .52774359e-019

C5 -6 .11275102e-024

C6 2 .17798015e-028

C7 -4 ,32254321e-033

C8 0 .00000000e+000

C9 0 .00000000e+000

FLAECHE NR . 10

K 0, ,0000

Cl -1, ,34208180e-009

C2 2, ,87384909e-013

C3 -2, ;97929643e-018

C4 -1, .89342955e-022

C5 -5. .11583717e-027

C5 1, .55819935e-031

C7 -1, .40446770e-038

CB 0 .00000000e+000

C9 0, .00000000e+000

FLAECHE NR. 21

K 0 .0000

Cl 1 .83877356e-008 C2 ^■2,.86899242e-012

C3 3. ,19518028e-017

C4 -7, .1905298Se-020

C5 1, .13466451e-023

C6 -1, .77192399e-027

C7 -1, .01670692e-031

C8 0, .00000000e+000

C9 0 .000000006+000

FLAECHE NR . 26

K 0, .0000

Cl -1 .01472536e-008

C2 1, .33731219e-012

C3 -5 .43150945e-018

C4 4, .71557114e-023

C5 -6, ,64341291e-026

C6 -3, ,91519695e-031

C7 6. .1663403Be-035

C8 0, .00000000e+000

C9 0, .00000000e+000

FLAECHE NR . 33

K 0. ,0000

Cl 2. ,13285827e-009

C2 -5. ,84623813e-014

C4 1, .10894118e-023

C5 -1 .75615181e-027

C6 1 .54014495e-031

C7 -3 .58350869e-036

C8 0 .00000000e+000

C9 0 .O0000000e+000

FLAECHE NR. 38

K 0. 0000

Cl -4. 16611922e-009

C2 4. 2861535^'3e-014

C3 -6. 79159744e-019

C4 -2. 60455674e-023

C5 1. 06709496e-027

C6 -7. 049B0983e-032

C7 3. .97315562e-037

CB 0. .00000000e+000

C9 0. .00000000e+000

FLAECHE NR. 45

K 0 .0000

Cl -1 .10987995e-008

C2 6 -74554563e-012

C3 -6 .08182492e-016

C4 2 .40267725e-020

C5 -2 .12B67221e-024

C6 6 .08391245e-028

C7 -5 .81691443e-032

CB 0 .OOOOOOOOe+000

C9 0 .O0000000e+Ö00

Die genauen Linsendaten zu der in Figur 6 gezeigten Linsenanordnung sind aus Tabelle 6 zu entnehmen. Tabelle 6 crl5f_ _cafl

BRECHZAHL 1/2 FREIER

FLAECHE RADIEN DICKEN GLAESER 193.304nm DURCHMESSER

0 0. OOOOOOOOO 31. OOOOOOOOO L710 0.99998200 ^• 56. ,080

1 0. OOOOOOOOO 1. OOOOOOOOO HE193 0.99971200 62. 856

2 324. 818247939AS 8. 109025357 SI02HL 1.56028895 64. ,645

3 219. 117611826 5. 509660348 HE193 0.99971200 65. 135

4 289. 200300616AS 7. OOOOOOOOO SI02HL 1.56028895 66. 381

5 227. 856104705 17. 243048254 HE193 0.99971200 66. 734

6 -377. 649070374 7. OOOOOOOOO SI02HL 1.5602B895 67. 059

.7 387. 641770903 30. 796463985 HE1S3 0.99971200 71. 597

8 -125. 714248975 54. 975207900 SI02HL 1.56028895 72. 277

9 - -176. 955529980 ■ 1. OOOOOOOOO HE193- 0.99971200 100. 007

10 -1297. 534B96140 31. 636302227 SI02HL 1.56028895 114. 600

11 -320. 961128376 1. OOOOOOOOO HE193 0.99971200 119. 511

12 936. 880173082 44. 820142873 SI02ΞL 1.5602B895 130. 745

13 -328. 618771838 3. 088384233 HE193 0.99971200 131. 968

14 317. 146645669 32. 169396486 SI02HL ^' 1.56028895 131. 861

15 1880. 972057190 78. 800003484 HE193 0.99971200 130. 569

16 778. ,616134901 21. 855706412 SI02HL 1.56028895 112. ,867

17 -1344. .B92951770 2. 1205848B2 HE193 0.99971200 111. ,151

1B 184. ,194583638 26. 864832492 SI02HL 1.56028895 98. ,404.

19 117. 923993472 8. ,944323916 HE193 0.99971200 83, ,450

20 122. ,599592610 50. ,092138884 SI02HL 1.56028895 82. ,216

21 123. ,591716800 52, ,677842672 HE193 0.99971200 66. ,129

22. -133, .413687632 7. .OOOOOOOOO SI02HL 1.56028895 59. ,894

23 201. .636820203 31. .091699285 HE193 0.99971200 59. .866

24 -117. ,12-2170355 22. .371886041 SI02HL 1.5602B895 60. ,770

25 271. .237822926 18, .190270939 HE193 0.99971200 77. .184

26 -828, .307583707 23. .724292231 SI02HL 1.56028895 80. .324

27 -217. .730531706 1, .629365175 HE193 0.99971200 86, .028

28 24863, .715253700 23, .891029762 SI02HL 1.56028895 99, .050

29 -340. .154546232 1, .OOOOOOOOO HE193 ^■ 0.99971200 102 , ..080

30 499, .177180862 33, .230036742 SI02HL 1.56028895 114, .528

31 -613, .861853920 4, .746303203 HE193 0.99971200 115. .894

32 -515, .657687359AS 7 .OOOOOOOOO SI02HL 1.56028B95 116 , .027

33 -2799 .133265700 28 .850953586 HE193 0.99971200 11 .520

34 -374 .801866679 25 .903304270 SI02HL 1.56028895 122 .380

35 -229 .064488423 .13079.8012 HE193 0.99971200 1.25 .091

36 0 .ooooooooo 4 .590309473 HE193 0.99971200 129 .531

37 0 .ooooooooo -1 .761443244 HE193 0.99971200 129 .976

38 480 .603781326 23 .8125B6743 SI02HL 1.56028895 134 .088

39 259 .375898088 8 .237844188 HE193 0.99971200 135 .910

40 312 .231631384 55 .513942588 SI02HL 1.56028895 136 .609

41 -596 .581070286 4 .943686708 HE193 0.99971200 137 .420

42 371 .538894387 38 .328387113 SI02HL i.56028895 138 .683

43 -20570 .555487000AS 2 .057897803 HEI93 0.99971200 137 .171

44 186 .804638892 55 .OOOOOOOOO SI02HL 1.56028895 127 .714

45 371 .539070225 13 .149085685 HE193 0.99971200 117 .755

46 136 .294111489 54 .999981718 SI02HL 1.55028895 99 .988

47 527 .773767013AS 1 .OOOOOOOOO HE193 0.99971200 86 .981

48 170 .379719961 35 .449588232 SI02HL 1.56028895 76 .078

49 292 .013444451AS 7 .226713258 HE193 0.99971200 57 .583

50 0 .ooooooooo 27 .238216082 CAF2HL^' 1.50143563 54 .452

51 0 .ooooooooo 1 .500000000 HE193 0.99971200 35 .406

52 0 .OOOOOOOOO 10 .OOOOOOOOO SI02HL 1.56028895 32 ^871

53 0 .OOOOOOOOO 7 .250000000 L710 0.99998200 26 .261

54 0 .OOOOOOOOO 0 .OOOOOOOOO 1.00000000 14 .020

ASPHAERISCHE KONSTANTEN FLAECHE NR. 2

K -1 .8845

Cl 5 .29821153e-008

C2 -4 -43279002e-012

C3 1 .28707472e-015

C4 -2 .39343289e-019

C5 1 .99234178e-023

C6 2 .46399483e-027

C7 -4 .33709316e-031

CB 0 .00000000e+000

C9 0 .00000000e+000

FLAECHE NR. 4

K 0, .1824

Cl 7, .99717816e-0OB

C2 3, .44235754e-013

C3 -1, ,08433322e-015

C4 2. .49428499e-019

C5 -4, ,04253B89e-023

C6 2, .92251162e-027

C7 -2, .35276355e-032

C8 0, .OO^'OOOOOOe+OOO

C9 0, .00O000OOe+000

FLAECHE NR. 32

K 0. .0000

Cl -1, ,27754362e-008

C2 3. ,02764844e-013

C3 1, ,00750526e-018

C4 -6, .13679336e-023

C5 4, .3B665224ε-027

C6 -3. .402502B6e-031

C7 1 .46968938e-035

CB 0 .00000000e+000

C9 0 •OOOOOOOOe+OOO

FLAECHE NR . 43

K 0 0000

Cl 1 576856 63 e- 009

C2 1 02156359e- 013

C3 -1 70007813e- 018

C4^' - -22 . 26737767e- 023

C5 2 2 B4920826- 027

C6 -1 04091200e- 031

C7 2 34019985e- 036

C8 0 00000000e+000

C9 0 00000000e+000

FLAECHE NR. 47

K 6, ,8784

Cl 1, ,53142434e-008

C2 -3. ,32257012e-013

C3 8, ,40396973e-017

C4 . -1. .22248965e-020

C5 1 .29284065e-024

C6 -8 .69096802e-029

C7 1 .99745782e-033

CB 0 .00000000e+000

C9 0 .00000000e+000

FLAECHE NR. 49

K 0 .0000

Cl -2 .17885424e-008

C2 -4 .43299434e-013 C3 - 1 .44194471e-015

C4 2 . 99216702e-019

C5 - 8 . 06687258e- 023

C6 1 . 77963946e-026

C7 -1 .41052000e- 030

C8 0 . 00000000e+000

C9 0 . 00000000e+000

Die genauen Linsendaten zu der in Figur 7 gezeigten Linsenanordnung sind aus Tabelle 7 zu entnehmen.

TABELLE 7 crlδf

BRECHZAHL 1/2 FREIER

FLAEC -HE RADIEN DICKEN GLAESER 193.304πtll DURCHMESSER

0 0. OOOOOOOOO 31. ooooooooo L710 0.99998200 56. 080

1 0. ooooooooo 1. ooooooooo HE193 0.99971200 62. 856

2 324. B18247939AS 8. 109025357 SI02H , 1.56028895 64. 646

3 219. 117611826 5. 508087220 HE193 0.99971200 65. 135

4 289. 200300616AS 7. ooooooooo SI02HL 1.56028895 66. 381

5 227. 856104705 17. 243070148 HEI93 0.99971200 66. 734

6 -377. 649070374 7. ,000000000 SI02HL 1.56028895 67. ,059

7 387. 641770903 30. ,765544016 HE193 0.99971200 71. ,598

8 -125. .714248975 54. .975207900 SI02HL 1.56028895 72. ,265

9 -176. 955529980 1. .ooooooooo HE193 0.99971200 99. ,993

10 -1297. 534896140 31. .636302227 SI02HL 1.56028895 114. ,582

11 -320. 961128376 1. .ooooooooo HE193 0.99971200 119. .494

12 936. 880173082 44. ,820142873 SI02HL 1.56028895 130. ,725

13 -328. .618771838 3. ,492277374 HE193 0.99971200 ^■ 131, .951

14 317. 146646669 32, ,169396486 SI02HL 1.56028895 131, .848

15 1B80. ,972057190 78, .466159550 HE193 0.99971200 130. .555

16 778. .616134901 21. .855706412 SI02HL 1.56028895 112. .930

17 -1344. .892951770 1, .631223556 HE193 0.99971200 111, .218

18 184. .194583638 26, .864832492 SI02HL 1.56028895 98, .601

19 117, .923993472 8, .738538132 HE193 0.99971200 83. .612

20 122. .599592610 50 .09213B884 SI02HL 1.56028895 B2, .419

21 123. .591716B00 53 .386697866 HE193 0.99971200 66, .332

22 -133. .413687632 7 .ooooooooo SI02HL 1.55028895 59. .919

23 201, .636820203 31 .123951016 HE193 0.99971200 59 .900

24 -117. .122170355 22 .371886041 SI02HL 1.56028895 60 .806

25 271 .237822926 18 .548517752 HE193 0.99971200 77 .260

26. -B28 .307583.707 23 .724292231 SI02HL 1.56028895 80 .717

27 -217 .730531706 1- .^'ooooooooo HEI93 0.99971200 86 .373

28 24863 .715253700 23 .891029762 SI02HL 1.56028895 99 .099

29 -340 .154546232 1 .ooooooooo HE193 0.99971200 102 .128

30 499 .177180862 33 .230036742 SI02HL 1.56028895 114 .615

31 -613 .861853920 4 .746303203 HE193 0.99971200 115 .978

32 -515 .657687359AS 7 .ooooooooo SI02HL 1.55028895 116 .111

33 -2799 .133265700 28 .850953586 HE193 0.99971200 119 .614

34 -374 .801866579 25 .903304270 SI02HL 1.56028895 122 .472

35 -229 ,064488423 3 .130798012 HE193 0.99971200 125 .181

36 0 .ooooooooo 5 .173121288 HE193 0.99971200 129 .642

37 0 .ooooooooo 1 .ooooooooo HE193 0.99971200 130 .135

38 474 .346153969 24 .214285976 SI02HL 1.56028895 134 .997

39 257 .158432536 8 .053951335 HE193 0.99971200 136 .742

40 306 .376423539 57 .804293441 SI02HL 1.56028895 137 .456

41 -562 .895510400 ^• 1 .OOOOOOOOO HΞ193 0.99971200 138 .239

42 372 .293287787 33 .212051475 SI02HL 1.56028895 138 .770 43 12328,.532325400AS 1.1065B7587 HE193 0,.99971200 137,.675

44 193, .144605329 54, ,576878288 SI02HL 1, .56028895 128, .685

45 379, .786426378 16, .773776607 HE193 0, .99971200 118, .623

46 134, .855937913 55. ,000000000 SI02HL 1, .56028895 99, .496

47 536, .515306116AS 1, ,080464261 HE193 0, .99971200 86, .795

48 173, .206435013 35, .323967088 SI02HL 1. .56028895 76. .055

49 299 , 060830919AS 6, .56345B346 ^* HE193 0. .99971200 57. .738

5*0 0, .000000.000 28, .341741198 SI02HL 1, .56028895 55, .402

51 0, .ooooooooo 1, .500000000 HE193 0, .99971200 36, .669

52 0, .ooooooooo 10, .ooooooooo SI02HL 1. .56028895 34. ,134

53 0, .ooooooooo 7, ,999999986 L710 0. .99998200 27. .525

54 0, .ooooooooo 0, ,000000000 1. .00000000 14, .020

ASPHAERISCHE KONSTANTEN

FLAECHE NR. 2 ^'

K -1.8845

Cl 5.29821153e-008

C2 -4.43279002e-012

C3 1.2B707472e-015

C4 -2.39343289e-019

C5 1.9923417Be-023

C6 2.46399483e-027

C7 -4.337093166-031

C8 0.00000000e+000

C9 0.00000000e+000

FLAECHE NR. 4

K 0.1824

Cl 7.99717816e-008

C2 3.442357546-013

C3 -l.O8433322e-015

C4 2.49428499e-019

C5 -4.04263889e-023

C6 2.92251162e-027

C7 -2.35276355e-032

C8 0.00000000e+000

C9 0.00000000e+000

FLAECHE NR. 32

K 0.0000

Cl -1.27754362e-008

C2 3.02764844e-013

C3 1.00750526e-018

C4 -6.13679336e-023

C5 4.3B665224e-027

C6 -3.40250286e-031

C7 1.46968938e-035

C8 0.00000000e+000

C9 0.00000000e+000

FLAECHE NR. 43

K 0.0000

Cl 1.36549730e-009

C2 1.02306815e-013

C3 -1.35739896e-018

C4 -1.99345093e-023

C5 1.59224599e-027

C6 -6.7588225Be-032

C7 1.39559450e-036

C8 0.00000000e+000

C9 0.00000000e+000

FLAECHE NR. 47

K 7.2953 Cl 1 61057750e-008

C2 -5 05815963e-013

C3 8 8.84032736e-017

C4 --11.119B1147e-020

C5 1 140B5256e-024

C6 -7 433B7672e-029

C7 1 41113763e-033

C8 0 00000000e+000

C9 0 0.00000000e+000

FLAECHE NR. 49

K 0, .0000

Cl -3, .00219975e-008

C2 -1, .20927625e-013

C3 -1, .49865939e-015

C4 3, .27847128e-019

C5 -9, .19939235e-023

C6 2. ,08B07050e-026

C7 -1. ,7143536Se-030

CB 0. .00000000e+000

C9 0. .OOOOOOOOe+000

Die genauen Linsendaten zu der in Figur 8 gezeigten Lmsenanordnung sind aus Tabelle 8 zu entnehmen.

TABELLE 8 hna_ _28_NA09

BRECHZAHL 1/2 FREIER

FLAECHE RADIEN DICKEN GLAESER 193.304nra DURCHMESSER

0 0. ooooooooo 34. 598670703 LUK Vigs 1.00030168 56. 080

1 0. ooooooooo 5. 480144837 LUFTV193 1.00030168 64. 122

2 6478. 659586000AS 10. 8435B5909 SI02V 1.56078570 65. 807

3 -1354. 203087320 2. 423172128 N2VP950 1.00029966 66. 705

4 -1087. 803716660 9. 621961389 SI02V 1.56078570 67. 029

5 1B3. 366808766 2. 746190506 N2VP950 1.00029966 70. 249

6 206. 367008633AS 8. 085673558 SI02V 1.56078570 71. 462

7 193. 387116101 36. 794320510 N2VP950 1.00029966 72. 483

B -140. ,799169619 50. ,095071588 SI02V 1.56078570 73. .484

9 -373. ,463518266 1. .000055376 N2VP950 1.00029966 103. .736

10 -561, .45280648B 22, ,561578822 SI02V 1.56078570 107. ,508

11 -263. .612680429 1. ,000756794 N2VP950 1.00029966 111. .562

12 -49392. .564837400AS 53. .841314203 SI02V 1.56078570 124. .515

13 -266. .35900504B 15, .247580669 N2VP950 1.00029966 130, .728

14 840 .618794866 29, .011390428 SI02V 1.56078570 141. .816

15 -926 .722502535 1 .005611320 N2VP950 1.00029966 142. .120

16 2732 .904696180 38 .725041529 SI02V 1.56078570 141. .999

17 -356 .203262494AS 2 .005496104 N2VP950 1.00029966 141, .858

18 318 .151930355 16 .617316424 SI02V 1.56078570 12 .740

19 513 .819497301 1 .562497532 N2VP950 1.00029966 122 .663

20 171 .455700974 30 .277693574 SI02V 1.56078570 111 .385

21 154 .841382726 1 .064445848 N2VP950 1.00029966 98 .077

22 127 .756841801 43 .191494812 ΞI02V 1.56078570 94 .695

23 104 .271940246 52 .476004091 N2VP950 1.00029966 74 .378

24 -2B3 .692700248 8 .000000007 SI02V 1.56078570 68 .565

25 242 .925344027 39 .949819872 N2VP950 1.00029966 64 .404

26 -117 .414778719 8 .181191942 SI02V 1.56078570 63 .037

27 197 .144513187 26 .431530314 N2VP950 1.00029966 69 .190

28 -244 .477949570 44 .225451360 SI02V 1.56078570 71 .085

29 -230 .356430065 1 .409104251 N2VP950 1.00029966 88 .427

30 1472 .096750620AS 21 .137736519 SI02V 1.56078570 99 .340

31 -450 .7152834B4 1 .259333876 N2VP950 1.00029966 101 .126 32 3573,.378947270 8.391191259 SI02V 1.56078570 105,.206

33 7695, .066698120 1. .258010005 N2VP950 1, .00029966 106, .474

34 1029, .326174920 8. .390466230 SI02V 1, .56078570 108, .186

35 243 .058844043 29 .823514356 N2VP950 1 .00029966 ^" 112, .152

36 29057, .985214iθO 38 .911793339 SI02V 1, .56078570 114, .058

37 -232 .205630821 1, .000000003. N2VP950 1, .00029965 11*6, .928

38 270, .144711058 55, .B50950401 SI02V 1, .56078570 139. .162

39 1183 .955771760AS 20 .935175304 N2VP950 1 .00029966 138, .048

40 0 .ooooooooo -2 .958030543 N2VP950 1 .00029966 138, .244

41 368 .838236812 22 .472409726 SI02V 1, .56078570 141, .049

42 220, .05B626B92 26, .974361640 N2VP950 1. .00029966 137. .707

43 355. .728536436 58, .022036072 SI02V 1 .56078570 i;o, .923

44 -861, .478Ö61183AS 4, .104303800 N2VP950 1, .00029966 142, .103

45 420, .713002153 55, .049896341 SI02V 1, .56078570 142, .502

46 -478. .998238339 1. ,000000000 N2VP950 1, .00029966 141. .431

47 122. .579574949 4B. .569395230 SI02V 1. .56078570 106, .623

48 223. .61236435SAS 1, .OOOOOOOOO N2VP950 1, .00029966 99. .428

49 132. .028746911 49. .487311459 SI02V 1, .56078570 8B. .176

50 247. .223594320 10. ,595001724 N2VP950 1, .00029966 65. .249

51 .712, .954951376AS 8. .355490390 SI02V 1. .56078570 57. .430

52 163. .735058824 3. .094306970 N2VP950 1. .00029966 47. .446

53 154. ,368612651 19. ,294967287 SI02V 1, ,56078570 44. ,361

54 677. .158668491 2. ,851896407 N2VP950 1, .00029966 33. .956

55 o; .ooooooooo 10, .ooooooooo SI02V 1. .56078570 29. .686

56 0. ,000000000 4. ,000000000 LUFTV193 1. ,00030168 22. ,559

57 0. .ooooooooo ^■ 0. .OOOOOOOOO l^". .00000000 14. .020

ASPHAERISCHE KONSTANTEN FLAECHE* NR. 2

K 0. 0000 .

Cl 1. 38277367e-007

C2 -1. B8982133e-011

C3 1. 94899866e-015

C4 -3. .04512613e-019

C5 3. ,31424645e-023

C6 -2. ,70316185e-027

C7 1, ,30470314e-031

C8 0, .00000000e+000

C9 0. .OOOOOOODe+OOO

FLAECHE NR. 6

K 0. .0000

Cl -1. .02654080e-008

C2 1 .22477004e-011

C3 -1 .70638250e-015

^•C4 2 .48526394e-019

C5 -2 -385B2445e-023

C6 1 .51451580e-027

C7 -6 .30610228e-032

C8 0 .00000000e+000

C9 0 .00000000e+000

FLAECHE NR . 12

K 0. .0000

Cl -3. , 368*70323e-009

C2 1. ,77350477e-013

C3 1. , 19052376e-019

C4 -1, .17127296Θ-022

C5 -9. .25382522e-027

C6 4. .88058037e-031

C7 -1, .327B2815e-035

CB 0. .00000000e+000

C9 0, .00000000e+000

FLAECHE NR . 17 K 0 . 0000 Cl 2.29017476e-010

C2 4.92394931e-014

C3 2.34180010e-019

C4 -2.74433865e-023

C5 B.0293B234e-029

C6 -1.052B2366e-032

C7 -1.44319713e-038

C8 0.00000000e+000

C9 0.00000000e+000

FLAECHE NR. 30

K 0 .0000

Cl -1 .51349530e-008

C2 9 .73999326e-013

C3 8, .62745113e-018

C4 5, .94720340e-022

C5 -4, .71903409e-026

C6 2. . B7654316e-031

C7 4 , ^,40822786e-035

C8 0. 00000000e+000

C9 0. 00000000e+000

FLAECHE NR. 39

K 0 00O0

Cl 5 16807B05e-009

C2 --6S.529B6543e-014

C3 -6 91577796e-019

C4 -3 S1532300e-024

C5 -1 38222518e-027

C6 1 06689880e-031

C7 -1 65303231e-036

C8 0 00000000e+000

C9 0 00000000e+000

FLAECHE NR. 44

K 0 .0000

Cl -3, .74086200e-009

C2 9 .09495287e-014

C3 -9, .58269360e-019

C4 2. .46215375e-023

C5 -8, .23397865e-02B

C6 1, .33400957e-032

C7 -5. .95002910e-037

C8 0, .00000000e+000

C9 0, .00000000e+000

FLAECHE NR. 48

K 0, .0000

Cl -2, .07951112e-00g

C2 -3, .247936B4e-014

C3 -4 , .06763809e-018

C4 -4, .85274422e-022

C5 2. .39376432e-027

C6 2. .44680800e-030

C7 -5, .62502628e-035

C8 0. .00000000e+000

C9 0, .00000000e+000

FLAECHE NR. 51

K 0.0000

Cl -6.57065732e-009

C2 2.35659016e-012

C3 -1.23585829e-016

C4 5.34294269e-020

C5 -1.12897797e-023

C6 1.37710849e-027 C7 -1.15055048e-031

C8 0 .O0000000e+O00

C9 0 .OOOOOOOOe+000

Bezugszeichenliste:

101 ProjektionsbeHchtungsanlage

103 Beleuchtungseinrichtung

105 Projektionsobjektiv

107 optische Achse

109 Maske

111 Maskenhafter

113 Bildebene

115 Wafer, Substrat

117 Substrathalter

119 Systemblende

121 Linsenanordnung

123 erster Bauch

125 Taille

127 zweiter Bauch

129 Stelle engste Einschnürung

Claims

Patentansprüche:

1. Refraktives Proj ektionsobj ektiv der Mikrohthographie mit einer numerischen Ap ertur von größer 0,7 bestehend aus einem ersten Bauch, einem zweiten Bauch und einer zwischen den Bäuchen angeordneten Taille, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Bauch einen maximalen Durchmesser, mit Dl bezeichnet, aufweist und der zweite Bauch ^' einen maximalen Durchmesser, mit D2 bezeichnet, aufweist und es gilt: 0,8 <Dι/D₂< l,l.

2. Refraktives Projektionsobjektiv nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass für die Verhältnisse der maximalen Durchmesser gilt:

0,9 < Dι/D₂ < l,0.

3. Refraktives Projektionsobjektiv, das in Ausbreitungsrichtung des Lichtes. aus einer ersten Linsengruppe mit negativer Brechkraft, aus einer zweiten Linsengruppe mit positiver Brechkraft, aus einer dritten Linsengruppe mit negativer Brechkraft zur Bereitstellung emer Einschnürung des Lichtbündels und aus einer nachfolgenden vierten Linsengruppe mit positiver Brechkraft, aus einer Systemblende mit einer nachfolgenden fünften Linsengruppe, die positive Brechkraft aufweist besteht, dadurch gekennzeichnet, dass vor der Blende und nach der Blende jeweils eine zum Objekt hin durchgebogene Meniskenlinse angeordnet ist.

4. Refraktives Projektionsobjektiv nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die folgenden Beziehungen gelten:

L * I (NA* 2yb) < 1285.0 wobei L die Baulänge gemessen vom Reticle zum Wafer ist, NA die bildseitige numerische Apertur ist, D _AX der maximale Durchmesser des Systems, also Dl oder D2 ist und 2yb der Durchmesser des Bildfeldes ist.

5. Refraktives Proj ektionsobj ektiv nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Linsengruppe mindestens zwei, vorzugsweise drei negative Linsen aufweist.

6. Refraktives Proj ektionsobj ektiv bestehend aus einem ersten Bauch und einem zweiten Bauch und einer zwischen den Bäuchen angeordneten Taille, die eine Stelle engster Einschnürung umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass nach dieser engsten Einschnürung und vor der Systemblende zwei Meniskenlinsen mit zueinander gewandten konvexen Oberflächen angeordnet sind.

7. Refraktives Projektionsobjektiv bestehend aus einem ersten Bauch, einer nachfolgenden Taille und einem darauffolgenden zweiten Bauch, wobei im zweiten Bauch eine Systemblende angeordnet ist und wobei der Bereich von der Objektebene 0 bis zur letzten der Blende zugewandten Linsenoberfläche mit Lp bezeichnet wird und der Bereich von der ersten auf die Blende folgende Linsenoberfläche bis zur Bildebene mit L_R bezeichnet wird und der Bereich zwischen Lp und L_R mit L_AP bezeichnet wird, dadurch gekennzeichnet, dass für das Längenverhältnis LV gilt:

LV ≥ O.l, wobei Lg_eo die Summe über die Mittendicken aller im Objektiv angeordneten Linsen ist und L der Abstand von Bildebene O' zur Objektebene O ist.

8. Refraktives Projektionsobjektiv nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die numerische Apertur größer 0,7, vorzugsweise größer 0,8 ist.

9. Refraktives Projektionsobjektiv nach den vorhergehenden Ansprüchen 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Lichtleitwert des projektionsobjektives größer als 2% der Baulänge ist, wobei der Lichtleitwert als Produkt aus Bildfelddurchmesser und numerischer Apertur auf der Bildseite definiert ist.

10. Refraktives Proj ektionsobj ektiv nach mindestens einem der Ansprüche 1, 3 bis 5, 6, 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass nur Linsen aus einem Material verwendet worden sind.

11. Refraktives Projektionsobjektiv* nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis von Baulänge (00') und Brennweite der fünften Linsengruppe größer acht ist.

12. Refralctives Projektionsobjektiv nach mindestens einem der Ansprüchen 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Linsengruppe LG1 mindestens eine asphärische Fläche enthält, wobei vorzugsweise zwei asphärische Flächen vorgesehen sind.

13. Refraktives Proj ektionsobj ektiv mindestens nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die asphärischen Flächen in der erste Linsengruppe LG1 bevorzugt auf der dem Retikel zugewandte Flächen liegen.

14. Refraktives Projektionsobjektiv mindestens nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die asphärischen Flächen in der erste Linsengruppe LG1 bevorzugt auf der dem Retikel zugewandte sammelnden Flächen Hegen.

15. Refraktives Projektionsobjektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass bei dem, wenn asphärische Flächen in der dritten Linsengruppe LG3 verwendet werden, diese immer auf Flächen, die dem afer zugewandt sind eingesetzt werden.

16. Refraktives Projektionsobjektiv nach mindestens einem der Ansprüche 1 , 2, 4, 5 und 7 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass in der dritten Linsengruppe keine asphärische Flächen vorgesehen sind

17. Refraktives Projektionsobjektiv nach den Ansprüchen 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass in der ersten Linsengruppe LG1 mindestens eine zur Objektebene konvexe Memskuslinse mit negativer Brechkraft angeordnet ist.

18. Refraktives Proj ektionsobj ektiv nach den Ansprüchen 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass die fünfte Linsengruppe LG5 mindestens zwei asphärische Fläche enthält.

19. Refraktives Projektionsobjektiv nach den Ansprüchen 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass die fünfte Linsengruppe LG5 mindestens zwei bikonvexe Linsen und zwei zum Bild konkave sammelnde Menisken.

20. Refraktives Proj ektionsobj ektiv nach den Ansprüchen 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass die fünfte Linsengruppe LG5 maximal als 5 sammelnde Linsen aufweist.

21. Refraktives Projektionsobjektiv nach den Ansprüchen 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass in den Linsengruppen LGl und LG2 die Höhe des Hauptstrahles für den äußersten Feldpunkt größer als die Höhe des Randstrahles zur Abbildung des Achspunktes ist, wobei sich dieses Verhältnis innerhalb der Linsengruppe G3 umkehrt.

22. Refralctives Proj ektionsobj ektiv nach den Ansprüchen 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass die maximale Höhe des Randstrahles zur Abbüdung des Achspunktes mehr als drei mal so groß ist wie seine Höhe in der engsten Einschnürung in Linsengruppe LG3.

23. Refraktives Projektionsobjektiv nach den Ansprüchen 15 oder 16. dadurch gekennzeichnet, dass der maximale Durchmesser der Linsengruppe zwei LG2 zwei Mal größer ist als der Objektfelddurchmesser.

24. . Refraktives Projektionsobjektiv nach den Ansprüchen 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass der minimale freie Durchmesser in der Linsengruppe LG3 kleiner als das 1.2fache des Objektfelddurchmessers ist, in bevorzugten Ausftώrungsformen kleiner als das 1.1 fache.

25. Proj lrtionsbelichtungsanlage der MikroHthographie umfassend einem Proj elctionsobj ektiv nach mindestens einem der Ansprüche 1-25 .

26. Verfahren zur Herstellung mikrostruleturiertε Bauteile, bei dem ein mit einer lichtempfindHchen Schicht versehene Substrat mittels einer Maske und einer Projektionsbelichtungsanlage mit einer Linsenanordnung nach mindestens einem der Ansprüche 1 -25 durch ultraviolettes LaserHcht beHchtet wird und gegebenenfaUs nach^' entwickeln der HchtempfindHchen Schicht entsprechend einem auf der Maske enthaltenen Muster strakturiert ird.