WO2003050526A3 - Gassensor und verfahren zur detektion von wasserstoff nach dem prinzip der austrittsarbeitsmessung, sowie ein verfahren zur herstellung eines solchen gassensors - Google Patents

Gassensor und verfahren zur detektion von wasserstoff nach dem prinzip der austrittsarbeitsmessung, sowie ein verfahren zur herstellung eines solchen gassensors Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Gassensor, der nach dem Prinzip der Austrittsarbeitsmessung arbeitet, zur Detektion von Wasserstoff, Schwefelwasserstoff und/oder anderen Gasen, die chemisch ähnlich zu Wasserstoff sind, wobei der Gassensor eine sensitive Schicht (8) umfaßt und duch die Adsorption von Molekülen des zu detektierenden Gases an der sensitiven Schicht die Austrittsarbeit der sensitiven Schicht (8) veränderbar ist. Der Gassensor umfaßt eine sensitive Schicht (8), die Platin und ggf. Titan aufweist. Beispielsweise ist zwischen einer platinhaltigen Schicht (8) und einem Träger (6) eine titanhaltige Zwischenschicht (8') angeordnet. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Herstellen eines derartigen Gassensors und ein entsprechendes Detektionsverfahren.
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