WO2003017004A3 - Optische anordnung - Google Patents

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WO2003017004A3 PCT/EP2002/008695 EP0208695W WO03017004A3 WO 2003017004 A3 WO2003017004 A3 WO 2003017004A3 EP 0208695 W EP0208695 W EP 0208695W WO 03017004 A3 WO03017004 A3 WO 03017004A3
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Markus Weiss
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Abstract

Eine optische Anordnung (1), insbesondere eine Projektionsbelichtungsanlage der Mikrolithographie, weist ein schlitzförmiges Bildfeld oder eine nicht rotationssymmetrische Beleuchtung (3) auf. Ferner umfasst sie mindestens ein optisches Element (4) und mindestens eine eine Korrekturstrahlungsquelle (6) umfassende Korrekturstrahlungseinrichtung (6 bis 13) die dem optischen Element (4) Korrekturstrahlung (5) derart zuführt, dass die Abbildungseigenschaften des optischen Elements (4) durch die Wärmebeaufschlagung des optischen Elements (4) mit Korrekturstrahlung (5) korrigert werden. Die Korrekturstrahlunseinrichtung (6 bis 13), umfasst eine Scaneinrichtung (8, 9, 10) mit mindestens einem Scanspiegel (8), wobei der Scanspiegel (8) derart bestrahlt und angesteuert ist, dass ein definierter Bereich einer optischen Oberfläche des optischen Elements (4) mit Korrekturstrahlung (5) abgescannt wird. Hierdurch lassen sich die Abbildungseigenschaften der optischen Anordnung (1) gezielt und flexibel korrigieren bzw. justieren.
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