WO2002089227A3 - Grünkörper, piezoelektrisches bauteil sowie verfahren zum herstellen eines piezoelektrischen bauteils - Google Patents

Grünkörper, piezoelektrisches bauteil sowie verfahren zum herstellen eines piezoelektrischen bauteils Download PDF

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Abstract

Es wird beschrieben ein Grünkörper, ein piezoelektrisches Bauteil (10) sowie ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Bauteils (10) in Vielschichtbauweise, welches wenigstens eine piezoelektrische Keramikschicht (11) und wenigstens eine mit der piezoelektrischen Keramikschicht (11) verbundene Elektrodenschicht (12) aufweist. Zunächst wird ein Grünkörper hergestellt, wobei wenigstens eine Elektrodenschicht (12) auf wenigstens eine piezoelektrische Grün-Keramikschicht aufgebracht wird. Anschließend wird der auf diese Weise entstehende Stapel (16) zur Herstellung des piezoelektrischen Bauteils (10) wenigstens einem weiteren Fertigungsschritt, beispielsweise einem Sinterschritt, unterzogen. Um piezoelektrische Bauteile (10) mit hoher Lebensdauer und Zuverlässigkeit herstellen zu können, ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß die wenigstens eine piezoelektrische Keramikschicht (11) nicht als Einzelschicht, sondern in Form einer ersten Keramikteilschicht (13) und wenigstens einer zweiten Keramikteilschicht (14, 15) ausgebildet ist. Die Keramikteilschichten (13, 14, 15) haben vorteilhaft eine Dicke, die geringer ist als die Dicke der piezoelektrischen Keramikschicht (11) nach Durchführung des Fertigungsschritts. Eine erste Grün-Keramikteilschicht, die die Elektrodenschicht (12) tragen kann, wird bei der Herstellung des Grünkörpers vorteilhaft auf wenigstens eine zweite Grün-Keramikteilschicht, die keine Elektrodenschicht trägt, aufgebracht.
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