Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Unterdruck
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erzeugung von Unterdruck.
Aus der DE 42 19 268 C2 ist eine Anordnung zur Vakuumerzeugung bekannt, die zu einer Verwendung in einer Vakuum- beschichtungsanlage vorgesehen ist. Die Anordnung zur Va- kuumerzeugung weist mehrere Vakuumkammern zur stufenweisen Verringerung des Druckes von der Höhe des Istdruckes vor der ersten Kammer auf Solldruck in der letzten Kammer auf. Dabei ist jede Vakuumkammer mit einer Vakuumpumpe versehen, die einen Sauganschluss, mit dem die Vakuumpum- pe mit der Vakuumkammer verbunden ist, und einen Druckan- schluss aufweist. Weiterhin ist der Druckanschluss mindestens einer Vakuumpumpe der auf die erste Vakuumkammer folgenden Vakuumkammern sowohl mit dem Sauganschluss der Vakuumpumpe einer vorhergehenden Vakuumkammer als auch mit der Vakuumkammer selbst verbunden.
Aus der DE 83 14 499 Ul ist ein Gerät zur Vakuumerzeugung für Melkanlagen bekannt, welches mit einer Vakuumpumpe mit elektrischem Antriebsmotor und Schalldämpfer versehen ist. Die als Ringflüssigkeitspumpe ausgebildete Vakuumpumpe ist in einem mit einer allseitig umschließenden Schalldämm- und Wärmeisolation versehenen Wasserbehälter unterhalb dessen maximalen Wasserstandsniveaus angeordnet, in den die Zu- und Abluftleitungen zur Pumpe abge- dichtet eingeführt sind und an der Vakuumpumpe der wasserdicht gekapselte Antriebsmotor wasserdicht angeflanscht angeordnet ist.
Weiterhin ist aus der DE 41 39 809 AI eine mehrstufige Hubkolbenpumpe zur Vakuumerzeugung bekannt. Deren Stufen umfassen jeweils eine Zylinder/Kolben-Einrichtung. Zur Schaffung einer kompakten Pumpe mit verbessertem Wir- kungsgrad sind die Zylinder/Kolben-Einrichtungen derart nebeneinander angeordnet und einander zugeordnet, dass die Auslassöffnung einer vorhergehenden Stufe und die Einlassöffnung einer nachfolgenden Stufe unmittelbar benachbart oder identisch sind.
Aus der EP 0 821 079 Bl sind ein CVD-Verfahren und eine Vorrichtung zur Innenbeschichtung von Hohlkörpern bekannt. Bei diesem bekannten Verfahren werden die Hohlkörper in einer Aufheizphase mittels eines Plasmas auf eine vorgegebene Temperatur erwärmt. In der anschließenden Be- schichtungsphase wird Beschichtungsgas in den Hohlkörper eingeleitet. Es kommt ein Plasma-Impulsverfahren zum Einsatz, bei dem das Plasma durch eine zeitliche Abfolge von Zündimpulsen gezündet wird, wobei die Möglichkeit eröff- net wird, mindestens die Aufheizphase durch die Auswertung der zeitlichen Korrelation von Lichtimpulsen, die das Plasma aussendet, mit den Zündimpulsen zu überprüfen. Weiterhin ist im bekannten Fall vorgesehen, dass auch mindestens eine charakteristische Emissionslinie des Be- schichtungsgases überwacht wird. Dies geschieht sowohl während der Aufheizphase als auch während der Beschich- tungsphase. Dadurch wird auf einfache Weise erreicht, dass verlässliche Aussagen über die Qualität der Innenbeschichtung gemacht werden können.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen Weg aufzuzeigen, wie auf einfache Weise ohne die Notwendigkeit einer Vakuumpumpe Unterdruck erzeugt werden kann.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den im Anspruch 1 sowie eine Vorrichtung mit den im Anspruch 3 angegebenen Merkmalen gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen
und Weiterbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
Die Vorteile der Erfindung bestehen insbesondere darin, dass zur Erzeugung von Unterdruck bzw. eines Vakuums keine Vakuumpumpe benötigt wird. Weiterhin sind beim beanspruchten Verfahren und der beanspruchten Vorrichtung zur Erzeugung von Unterdruck keine mit Ventilen versehene Zuleitungssysteme notwendig.
Eine auf dem erfindungsgemäßen Prinzip beruhende Vakuumerzeugungsvorrichtung kann in vorteilhafter Weise bei Va- kuumsbeschichtungsanlagen Verwendung finden, bei welchen die Innenseiten von Hohlkörpern, beispielsweise Glas- oder Kunststoffflaschen, beschichtet werden sollen. Bei einer derartigen Verwendung sind mehrere nebeneinander angeordnete Körper vorgesehen, innerhalb derer jeweils ein Kolben beweglich ist, wobei die Kolben über eine Kurbelwelle miteinander verbunden sind. Bei einer derartigen Vorrichtung können nebeneinander angeordnete Kolben-
/Zylindersysteme jeweils unterschiedliche relative Stellungen zwischen dem jeweiligen Kolben und der Abschlusswand des Zylinders aufweisen, so dass im Betrieb der Vorrichtung die zum Drehen der Kurbelwelle benötigte Kraft gering ist.
Weitere vorteilhafte Eigenschaften der Erfindung ergeben sich aus deren beispielhafter Erläuterung anhand der Figuren.
Es zeigt:
Figur 1 eine erste Skizze zur Veranschaulichung des Wirkungsprinzips der Erfindung,
Figur 2 eine zweite Skizze zur Veranschaulichung des Wirkungsprinzips der Erfindung,
Figur 3 eine Skizze zur Veranschaulichung eines ersten Ausführungsbeispiels für die Erfindung,
Figur 4 eine Skizze zur Veranschaulichung eines zweiten Ausführungsbeispiels für die Erfindung und
Figur 5 eine Skizze zur Veranschaulichung einer bevorzugten Anwendung der Erfindung.
Die Figur 1 zeigt eine erste Skizze zur Veranschaulichung des Wirkungsprinzips der Erfindung. Mittels der dargestellten Vorrichtung soll in einem Körper 1, bei welchem es sich vorzugsweise um einen Zylinder handelt, Unterdruck bzw. ein Vakuum erzeugt werden. Der gezeigte Zylin- der 1 weist Seitenwände la und 1b sowie eine untere Abschlusswand lc auf, bei der es sich um eine radial gerichtete Abschlusswand handelt. In diesem Zylinder ist ein innerhalb des Zylinders beweglicher Kolben 2 positioniert, der an seiner von der Abschlusswand lc abgelegenen Seite mit einer Transportstange 3 verbunden ist. In der Figur 1 ist der Ausgangszustand dargestellt, bei welchem die Unterseite des Kolbens an der Abschlusswand lc anliegt.
Ausgehend von der in der Figur 1 gezeigten Ausgangsposition wird der Kolben 2 innerhalb des Zylinders soweit nach oben zurückgezogen, dass in dem beim Zurückziehen des Kolbens entstehenden Zwischenraum 4 zwischen dem Kolben 2 und der Abschlusswand lc des Zylinders ein ge- wünschter Unterdruck entsteht. Dies ist in der Figur 2 gezeigt, in welcher die Zylinder-/Kolben-Vorrichtung in einer Position dargestellt ist, bei welcher der Kolben 2 innerhalb des Zylinders zurückgezogen ist.
Zwischen der Außenseite der Seitenwände des Kolbens 2 und der Innenseite der Seitenwände des Zylinders 1 ist eine nicht gezeichnete Dichtung vorgesehen, die vorzugsweise in Form einer umlaufenden Gummidichtung realisiert ist,
welche ihrerseits unter Verwendung von Sprengringen an der Innenwand des Zylinders und der Außenwand des Kolbens befestigt ist. Diese Dichtung verhindert, dass beim Zurückziehen des Kolbens Luft zwischen den Kolben und die Seitenwände des Zylinders treten und in den Zwischenraum 4 einströmen kann.
Die Figur 3 zeigt eine Skizze zur Veranschaulichung eines ersten Ausführungsbeispiels für die Erfindung, bei wel- ehern die dargestellte Vorrichtung zur Vakuumerzeugung bei der Innenbeschichtung eines Hohlkörpers 6 verwendet wird. Der Hohlkörper 6 ist beispielsweise eine Glasflasche, eine Kunststoffflasche oder eine Ampulle.
Bei diesem Ausführungsbeispiel weist der Kolben 2 in seinem Innenbereich einen Hohlraum 2a auf. In diesen Hohlraum 2a ist von oben her die zu beschichtende Flasche 6 eingebracht. Diese ist an einem Saugfuß 7 befestigt, welcher sich an der Unterseite der Transportstange 3 befin- det. Als oberes Verschlusselement des Kolbens 2 ist ein Abschlussdeckel 3a vorgesehen, der zum luftdichten Verschließen des Kolbens an dessen Oberseite dient und beim gezeigten Ausführungsbeispiel ebenfalls an der Transportstange 3 befestigt ist bzw. mit dieser eine Einheit bil- det. Der Flaschenhals der Flasche 6 ist in eine sich an der Unterseite des Kolbens 2 befindliche Bohrung 2c eingesetzt.
In Verlängerung zu dieser Bohrung 2c des Kolbens 2 befin- det sich eine Bohrung ld des Zylinders. Durch diese Bohrung ld des Zylinders ist eine Zuleitung 5 geführt, die sich - wie es durch die gestrichelten Linien angedeutet ist - bis in den Innenbereich der zu beschichtenden Flasche β erstreckt. Durch diese Zuleitung 5 wird während der der Beschichtungsphase vorgeschalteten Aufheizphase beispielsweise ein Sauerstoffplasma in den Innenraum der Flasche geleitet. Nach erfolgter Aufheizung auf die gewünschte Temperatur wird während der Beschichtungsphase
das Beschichtungsgas durch die Zuleitung 5 in den Innenraum der Flasche geleitet.
Der Beschichtungsvorgang läuft wie folgt ab:
Zunächst wird durch ein Zurückziehen des Kolbens 2 innerhalb des Zylinders im Innenraum 2a des Kolbens, im Innenraum der Flasche 6 und im Zwischenraum zwischen dem Kolben und der Abschlusswand lc des Zylinders ein Vakuum er- zeugt. Dabei wird durch die in der Kolbenwand befindliche Ausgleichsbohrung 2b sichergestellt, dass im Innenraum 2a des Kolbens dieselben Druckverhältnisse herrschen wie im Innenraum der Flasche und im Zwischenraum zwischen dem Kolben und der Abschlusswand lc des Zylinders. Bei diesem Zurückziehen des Kolbens 2 bewegen sich zusammen mit dem Kolben auch die Transportstange 3 mit dem Abschlussdeckel 3a und dem Saugfuß 7, die Flasche 6 und die Zuleitung 5 nach oben.
Um zu vermeiden, dass von der Unterseite des Zylinders 1 aus während des Zurückziehens des Kolbens 2 Luft durch die Bohrung ld in den Innenraum des Zylinders gelangen kann, ist auch zwischen der Zuleitung 5 und dem Zylinder eine nicht gezeichnete Dichtung vorgesehen.
Ist das gewünschte Vakuum erzeugt, dann folgt die Aufheizphase, während der Plasma durch die Zuleitung 5 in das Innere der Flasche 6 geleitet wird.
Nach dem Ende der Aufheizphase wird durch die Zuleitung 5 das Beschichtungsgas in das Innere der Flasche 6 geführt und mittels einer nicht gezeichneten Mikrowelleneinrichtung gezündet, wodurch die gewünschte Innenbeschichtung erfolgt.
Die Figur 4 zeigt eine Skizze zur Veranschaulichung eines zweiten Ausführungsbeispiels für die Erfindung, bei welchem die dargestellte Vorrichtung zur Vakuumerzeugung
ebenfalls bei der Innenbeschichtung eines Hohlkörpers 6 verwendet wird, beispielsweise einer Flasche.
Bei diesem Ausführungsbeispiel wird die Flasche 6 unter Verwendung eines mit einer Einsetzstange 10 verbundenen Saugfußes 7 von unten her in einen im Zylinderboden lc vorgesehenen Hohlraum ld eingesetzt.
Innerhalb des Zylinders befindet sich der bewegliche Kol- ben 2. Dieser weist eine mittig angeordnete, sich in Vertikalrichtung erstreckende durchgehende Bohrung 2d auf. Durch diese ist eine feststehende, sich nicht mit dem Kolben bewegende Zuleitung 5 geführt, durch welche ebenso wie beim ersten Ausführungsbeispiel während der Aufheiz- phase ein Sauerstoffplasma und während der Beschichtungsphase das Beschichtungsgas in den Innenraum der Flasche 6 geleitet wird.
Als unteres Verschlusselement des Zylinders 1 ist ein Ab- schlussdeckel 10a vorgesehen, der an der Einsetzstange 3 befestigt ist bzw. mit dieser eine Einheit bildet. Der Flaschenhals der Flasche 6 ist in eine sich an der Oberseite der unteren Abschlusswand lc befindliche Bohrung le eingesetzt .
Der Beschichtungsvorgang läuft wie folgt ab:
Zunächst wird durch ein Zurückziehen des Kolbens 2 mittels der Transportstange 3 innerhalb des Zylinders 1 im Zwischenraum 4 zwischen dem Kolben und der unteren Abschlusswand lc und im Innenraum der Flasche 6 ein Vakuum erzeugt. Dabei wird durch die im Zylinderboden angeordnete Ausgleichsbohrung lf sichergestellt, dass im Zwischenraum 4, im Inneren der Flasche β und im Hohlraum ld des Zylinderbodens dieselben Druckverhältnisse herrschen. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird im Rahmen der Vaku- umeerzeugung lediglich der Kolben 2 bewegt.
Um zu vermeiden, dass während des Zurückziehens des Kolbens 2 Luft durch die Bohrung 2d des Kolbens in den Zwischenraum 4 gelangen kann, ist zwischen dem Kolben und der Zuleitung 5 eine nicht gezeichnete Dichtung vorgese- hen.
Ist das gewünschte Vakuum erzeugt, dann folgt die Aufheizphase, während der Plasma durch die Zuleitung 5 in das Innere der Flasche 6 geleitet wird.
Nach dem Ende der Aufheizphase wird durch die Zuleitung 5 das Beschichtungsgas in das Innere der Flasche geführt und mittels einer nicht gezeichneten Mikrowelleneinrichtung gezündet, wodurch die gewünschte Innenbeschichtung erfolgt.
Die Figur 5 zeigt eine Skizze zur Veranschaulichung einer bevorzugten Anwendung der Erfindung. Bei dieser sind mehrere Zylinder-/Kolben-Einheiten nebeneinander angeordnet, wobei die Kolben über eine Kurbelwelle 8 miteinander verbunden sind. Zum Antrieb der Kurbelwelle 8 ist ein Antriebsmotor 9 vorgesehen.
Jede der Zylinder-/Kolben-Einheiten ist - was in der Zeichnung aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht dargestellt ist - so aufgebaut, wie es in der Figur 3 gezeigt ist. In jedem der Kolben ist eine zu beschichtende Flasche angeordnet.
Die relative Positionierung zwischen dem jeweiligen Kolben und dem jeweils zugehörigen Zylinder ist unterschiedlich und so gewählt, dass die während des Betriebes vom Antriebsmotor 9 zur Drehung der Kurbelwelle 8 aufzubringende Energie minimiert ist. Beispielsweise befindet sich einer der Kolben gerade in seiner untersten Position, während sich der Kolben des benachbarten Zylinders im teilweise oder vollständig zurückgezogenen Zustand befindet. Dies bedeutet, dass die Kolben benachbarter Zylin-
der jeweils eine vorgegebene, unterschiedliche Stellung bezüglich des jeweiligen Zylinders einnehmen.
Mittels der in der Figur 5 gezeigten Vorrichtung kann demnach im Sinne einer Beschichtungsstraße eine Innenbe- schichtung einer Vielzahl von Flaschen erfolgen, wobei während des Betriebes der aufzubringende Energieaufwand minimiert ist.